JP2002346320A - Filter medium, filter pack and method for manufacturing air filter unit - Google Patents
Filter medium, filter pack and method for manufacturing air filter unitInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、フィルタ濾材、フ
ィルタパック及びエアフィルタユニットの製造法に関す
る。The present invention relates to a method for manufacturing a filter medium, a filter pack, and an air filter unit.
【０００２】[0002]
【従来の技術】高い清浄度の要求されるクリーンルー
ム、半導体製造装置等においては、ＨＥＰＡ（:High Ef
ficiency Particulate Air）フィルタ、ＵＬＰＡ（:Ult
ra Low Penetration Air）フィルタ等の高捕集型のエア
フィルタユニットが用いられている。これらのエアフィ
ルタユニットは、空気を透過させ浮遊微粒子を捕集する
ためのフィルタ濾材を備えているが、従来のこの種のフ
ィルタ濾材としてはガラス繊維からなるフィルタ濾材が
用いられていた。2. Description of the Related Art In a clean room, a semiconductor manufacturing apparatus, and the like that require high cleanliness, HEPA (High Ef) is used.
ficiency Particulate Air) filter, ULPA (: Ult
A high collection type air filter unit such as a ra Low Penetration Air) filter is used. These air filter units are provided with a filter medium for permeating air and collecting suspended particulates. A filter medium made of glass fiber has been used as a conventional filter medium of this type.
【０００３】フィルタ濾材の作製時においては、濾材が
ロール等に接触することにより静電気が発生する場合が
あるが、ガラス繊維製のフィルタ濾材においては、静電
気自体はあまり発生せず、また、静電気が発生し放電が
起こったとしても、濾材の厚みは通常２００〜４００μ
ｍと厚いため、リーク等のダメージが生じることはなか
った。[0003] When a filter medium is manufactured, static electricity may be generated when the filter medium comes into contact with a roll or the like. However, in a filter medium made of glass fiber, a small amount of static electricity itself is not generated. Even when the discharge occurs, the thickness of the filter medium is usually 200 to 400 μm.
Since the thickness was as large as m, no damage such as leakage occurred.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ＨＥＰＡ及びＵＬＰＡフィルタに用いられるフィルタ濾
材として、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦ
Ｅ）からなる多孔膜が用いられた場合、帯電列からも静
電気が発生し易く、また、静電気が蓄積されて静電気放
電が起こった場合、ＰＴＦＥ多孔膜の厚みは小さいた
め、リーク等のダメージが生じうることが本発明者らの
研究により判明した。However, as a filter material used in the above-mentioned HEPA and ULPA filters, polytetrafluoroethylene (hereinafter referred to as PTF) is used.
When the porous film made of E) is used, static electricity is easily generated from the charging line, and when the static electricity is accumulated and the electrostatic discharge occurs, the thickness of the porous PTFE film is small, so that damage such as leak is caused. It has been found from our studies that this can occur.
【０００５】濾材の材質によりこのような相違が生じる
理由は、ＰＴＦＥ濾材は、濾過層のＰＴＦＥと、サポー
ト材のポリオレフィンとで構成されるが、帯電列に示さ
れるように、ＰＴＦＥやポリオレフィン等は、マイナス
側の最も静電気が発生しやすい性質を有する領域に属す
るためであり、一方、従来のガラス製濾材は、ガラス自
体が帯電列で中央部の領域に属すること等から静電気は
発生しにくいためである。[0005] The reason that such a difference occurs depending on the material of the filter medium is that the PTFE filter medium is composed of PTFE of a filtration layer and polyolefin of a support material. This is because it belongs to the area on the negative side where static electricity is most likely to be generated.On the other hand, conventional glass filter media are unlikely to generate static electricity because the glass itself belongs to the central area in the charging line. It is.
【０００６】本発明の目的は、リークのないフィルタ濾
材、フィルタパック及びエアフィルタユニットを作製す
ることにある。An object of the present invention is to produce a filter medium, a filter pack and an air filter unit which do not leak.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のフィル
タ濾材の製造方法は、第１工程と、第２工程とを備えて
いる。第１工程では、フィルタ用部品からフィルタ濾材
を作製する。第２工程は、フィルタ用部品及びフィルタ
濾材に生じた静電気を除去する。According to the first aspect of the present invention, a method for manufacturing a filter medium includes a first step and a second step. In the first step, a filter material is manufactured from the filter component. In the second step, static electricity generated in the filter component and the filter medium is removed.
【０００８】フィルタ濾材は、その製造時において、ロ
ールに巻き取られたり、他の部材と接触したりすること
により静電気が生じ、静電気放電が起きる場合がある。
静電気放電が起きると、フィルタ濾材が損傷し、これに
より、空気中の浮遊微粒子が濾材に捕集されずに通過す
るリークが生じることとなる。[0008] At the time of manufacturing the filter medium, when it is wound up on a roll or comes into contact with other members, static electricity is generated, which may cause electrostatic discharge.
When the electrostatic discharge occurs, the filter medium is damaged, and this causes a leak that airborne particulates pass through without being collected by the filter medium.
【０００９】そこで、このフィルタ濾材の製造方法で
は、フィルタ濾材を作製する工程に、フィルタ用部品及
びフィルタ濾材に生じた静電気を除去することにより、
静電気放電が起きるのを抑え、フィルタ濾材のリークの
発生を抑えることとしている。Therefore, in this method for manufacturing a filter medium, in the step of manufacturing the filter medium, static electricity generated in the filter component and the filter medium is removed.
It suppresses the occurrence of electrostatic discharge and suppresses the occurrence of leakage of filter media.
【００１０】なお、フィルタ用部品とは、後述するよう
に、例えば、フィルタ濾材を構成する多孔膜、この多孔
膜を補強するための補強材等が含まれる。請求項２に記
載のフィルタ濾材の製造方法は、請求項１の製造方法に
おいて、第２工程では、フィルタ用部品及びフィルタ濾
材の近傍位置に配置された静電気除去器により静電気を
除去する。[0010] The filter parts include, for example, a porous membrane constituting a filter medium and a reinforcing material for reinforcing the porous membrane, as described later. According to a second aspect of the present invention, in the manufacturing method of the first aspect, in the second step, static electricity is removed by a static eliminator disposed near the filter component and the filter medium.
【００１１】ここでは、静電気を除去するための具体的
な手段として、静電気除去器を用いることとし、この静
電気除去器をフィルタ用部品及びフィルタ濾材の近傍位
置に配置することで、静電気が溜まり静電気放電が起き
るのを防止するようにしている。Here, as a specific means for removing static electricity, an electrostatic eliminator is used, and this static eliminator is disposed in the vicinity of a filter component and a filter material, so that static electricity is accumulated and static electricity is removed. The discharge is prevented from occurring.
【００１２】請求項３に記載のフィルタ濾材の製造方法
は、請求項１または２の製造方法において、フィルタ用
部品は、ＰＴＦＥからなる多孔膜と、多孔膜の少なくと
も片面に熱ラミネートされる補強材とを含む。According to a third aspect of the present invention, there is provided a filter medium according to the first or second aspect, wherein the filter component comprises a porous membrane made of PTFE and a reinforcing material thermally laminated on at least one surface of the porous membrane. And
【００１３】前述のように、ＰＴＦＥ多孔膜は、帯電列
にも示されるように、従来のガラス繊維製の濾材に比べ
静電気が発生しやすく、このため、静電気放電によるリ
ーク等のダメージを受けやすい性質を有している。ま
た、ＰＴＦＥ多孔膜に熱ラミネートされる補強材も、一
般にポリオレフィン系樹脂製のものが用いられており、
ＰＴＦＥ多孔膜と同様、ガラス濾材に比べ静電気を発生
しやすい。As described above, the porous PTFE membrane is more likely to generate static electricity than the conventional glass fiber filter media, as shown in the charging column, and is therefore more susceptible to damage such as leakage due to electrostatic discharge. Has properties. In addition, the reinforcing material thermally laminated to the PTFE porous membrane is also generally made of a polyolefin resin,
Like the PTFE porous membrane, static electricity is easily generated as compared with the glass filter medium.
【００１４】そこで、ここでは、特に、ＰＴＦＥ多孔膜
及びその補強材からフィルタ濾材を作製する場合におい
て、静電気放電が起きるのを抑えて、リーク等のダメー
ジを防止することとしている。Therefore, here, particularly when a filter medium is manufactured from a porous PTFE membrane and its reinforcing material, the occurrence of electrostatic discharge is suppressed to prevent damage such as leak.
【００１５】請求項４に記載のフィルタ濾材の製造方法
は、請求項１から３のいずれかの製造方法において、第
１工程は、ＰＴＦＥからなる多孔膜の少なくとも片面に
補強材を熱ラミネートしてフィルタ濾材を作製する第３
工程と、フィルタ濾材を巻き取る第４工程とを含んでい
る。第２工程は、第３及び第４工程の少なくとも１つの
工程と平行して行われる。According to a fourth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a filter medium according to any one of the first to third aspects, in the first step, a reinforcing material is thermally laminated on at least one surface of a porous membrane made of PTFE. Third to make filter media
And a fourth step of winding the filter medium. The second step is performed in parallel with at least one of the third and fourth steps.
【００１６】フィルタ濾材の製造工程では、一般に、Ｐ
ＴＦＥ多孔膜は、補強材と熱ラミネートされた後、巻き
取りロールに巻き取られるが、熱ラミネート時及び巻き
取り時のいずれにおいても静電気が発生しうる。In the manufacturing process of the filter medium, generally, P
After the TFE porous film is heat-laminated with the reinforcing material, it is wound on a take-up roll. However, static electricity can be generated both during the heat lamination and during the winding.
【００１７】そこで、この製造方法では、熱ラミネート
時及び巻き取り時の少なくとも一方において、フィルタ
濾材等に生じた静電気を除去し、これにより、静電気放
電によるリーク等のダメージを防止することとしてい
る。Therefore, in this manufacturing method, static electricity generated in the filter medium or the like is removed during at least one of thermal lamination and winding, thereby preventing damage such as leakage due to electrostatic discharge.
【００１８】請求項５に記載のフィルタ濾材の製造方法
は、請求項４の製造方法において、第２工程は、第４工
程と平行して行われる。フィルタ濾材等に発生する静電
気は、前述のように熱ラミネート時及び巻き取り時のい
ずれにおいても発生しうるが、特に、巻き取り時には、
発生した静電気の逃げ場がない等の理由で、熱ラミネー
ト時に比べ静電気が溜まり、静電気放電が起こり易くな
る。According to a fifth aspect of the present invention, in the manufacturing method of the fourth aspect, the second step is performed in parallel with the fourth step. The static electricity generated in the filter medium and the like can be generated both at the time of thermal lamination and at the time of winding as described above.
Because there is no place for the generated static electricity to escape, static electricity accumulates compared to that during thermal lamination, and electrostatic discharge tends to occur.
【００１９】そこで、この製造方法では、フィルタ濾材
の巻き取り時において、静電気の除去を行うことによ
り、静電気放電によるリーク等のダメージを防止するこ
ととしている。Therefore, in this manufacturing method, damage such as leakage due to electrostatic discharge is prevented by removing static electricity when winding the filter medium.
【００２０】請求項６に記載のフィルタ濾材の製造方法
は、請求項５の製造方法において、静電気除去器は送風
タイプのものである。送風タイプの静電気除去器は、遠
距離及び近距離からのいずれの除電も可能であるため、
ロールに巻き取られるフィルタ濾材において発生する静
電気を有効に除去することができる。そこで、ここで
は、この種の静電気除去器を用いることとしている。According to a sixth aspect of the present invention, in the manufacturing method of the fifth aspect, the static eliminator is a blower type. Since the fan type static eliminator can remove static electricity from a long distance and a short distance,
The static electricity generated in the filter medium wound around the roll can be effectively removed. Therefore, here, this type of static eliminator is used.
【００２１】請求項７に記載のフィルタ濾材の製造方法
は、請求項１から６のいずれかの製造方法において、フ
ィルタ濾材は、、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合
における粒子径が０．３μｍ以上の粒子の捕集効率が９
９．９７％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／
秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以
下であるエアフィルタユニットに用いられる。According to a seventh aspect of the present invention, in the method for manufacturing a filter medium according to any one of the first to sixth aspects, the filter medium has a particle diameter of 0 cm at a filter medium transmission air velocity of 1.4 cm / sec. Collection efficiency of particles of 0.3 μm or more is 9
9.97% or more, and the filter medium permeation wind speed is 1.4 cm /
It is used for an air filter unit having a pressure loss of 50 Pa or more and 500 Pa or less in seconds.
【００２２】このような性能を有するエアフィルタユニ
ットは、一般に、ＨＥＰＡフィルタとしての規格を有
し、高い清浄度が要求される空間での使用に適したエア
フィルタユニットとして近年そのニーズが高まってい
る。しかし、このようなフィルタとして用いられるフィ
ルタ濾材は、繊維径が小さく微細な繊維構造を有してい
るため、静電気放電によりフィルタ濾材が受けるダメー
ジは特に大きくなる。An air filter unit having such performance generally has a standard as a HEPA filter, and its needs have recently been increasing as an air filter unit suitable for use in a space where high cleanliness is required. . However, since the filter medium used as such a filter has a small fiber diameter and a fine fiber structure, damage to the filter medium due to electrostatic discharge is particularly large.
【００２３】ここでは、このようなＨＥＰＡフィルタと
して使用可能なフィルタ濾材を製造する場合において、
リーク等のダメージが抑えられたフィルタ濾材を得るこ
ととしている。Here, when manufacturing a filter medium usable as such a HEPA filter,
It is intended to obtain a filter medium in which damage such as leaks is suppressed.
【００２４】請求項８に記載のフィルタ濾材の製造方法
は、請求項１から６のいずれかのフィルタ濾材の製造方
法において、フィルタ濾材は、濾材透過風速が１．４ｃ
ｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上の粒子の
捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾材透過風
速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ
以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用い
られる。According to a eighth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a filter medium according to any one of the first to sixth aspects, wherein the filter medium has a filter medium transmission wind velocity of 1.4c.
In the case of m / s, the collection efficiency of particles having a particle diameter of 0.1 μm or more is 99.9999% or more, and the pressure loss in the case of a filter medium permeation wind speed of 1.4 cm / sec is 50 Pa.
It is used for an air filter unit having a pressure of not less than 500 Pa.
【００２５】このような性質を有するエアフィルタユニ
ットは、一般に、ＵＬＰＡフィルタとしての規格を有
し、ＨＥＰＡフィルタよりさらに高い清浄度が要求され
る空間での使用に適している。しかし、このようなフィ
ルタとして用いられるフィルタ濾材は、さらに繊維径が
小さく微細な繊維構造を有しているため、静電気放電に
よりフィルタ濾材が受けるダメージは一層大きくなる。An air filter unit having such properties generally has a ULPA filter standard and is suitable for use in a space where higher cleanliness is required than a HEPA filter. However, the filter medium used as such a filter has a smaller fiber diameter and a fine fiber structure, so that damage to the filter medium due to electrostatic discharge is further increased.
【００２６】ここでは、このようなＵＬＰＡフィルタと
して使用可能なフィルタ濾材を製造する場合において、
リーク等のダメージが抑えられたフィルタ濾材を得るこ
ととしている。Here, when manufacturing a filter medium usable as such an ULPA filter,
It is intended to obtain a filter medium in which damage such as leaks is suppressed.
【００２７】請求項９に記載のフィルタパックの製造方
法は、第５工程と、第６工程とを備えている。第５工程
では、請求項１から８のいずれかに記載の製造方法によ
り製造されたフィルタ濾材を所定の形状に加工してフィ
ルタパックを得る。第６工程では、フィルタ濾材及びフ
ィルタパックに生じた静電気を除去する。The method for manufacturing a filter pack according to the ninth aspect includes a fifth step and a sixth step. In the fifth step, the filter medium manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 8 is processed into a predetermined shape to obtain a filter pack. In the sixth step, static electricity generated in the filter medium and the filter pack is removed.
【００２８】フィルタパックの製造においても、他の部
材との接触等により静電気が発生しうるが、ここでも、
フィルタ濾材等に生じた静電気が除去されるため、静電
気放電が起きるのを防止してリーク等のダメージが抑え
られたフィルタパックが得られる。In the manufacture of the filter pack, static electricity may be generated due to contact with other members, etc.
Since the static electricity generated in the filter medium or the like is removed, the occurrence of electrostatic discharge is prevented, and a filter pack with reduced damage such as leaks can be obtained.
【００２９】請求項１０に記載のフィルタパックの製造
方法は、請求項９の製造方法において、第６工程では、
フィルタ濾材及びフィルタパックの近傍位置に配置され
た静電気除去器により静電気を除去する。[0029] According to a tenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a filter pack according to the ninth aspect, in the sixth step,
Static electricity is removed by a static eliminator disposed near the filter medium and the filter pack.
【００３０】ここでも、請求項２の製造方法と同様、具
体的には、静電気除去器を用いることによりフィルタ濾
材等の静電気の除去を行うこととしている。請求項１１
に記載のフィルタパックの製造方法は、請求項９または
１０の製造方法において、第５工程は、巻き取られたフ
ィルタ濾材を巻き出す第７工程と、フィルタ濾材をプリ
ーツ加工する第８工程と、プリーツ加工されたフィルタ
濾材を展開する第９工程と、展開されたフィルタ濾材に
スペーサを塗布する第１０工程と、スペーサが塗布され
たフィルタ濾材を再度プリーツ加工する第１１工程とを
含んでいる。第６工程で、少なくとも第７から１１工程
のいずれか１つの工程と平行して行われる。Here, as in the manufacturing method of the second aspect, more specifically, static electricity is removed from the filter medium or the like by using a static electricity remover. Claim 11
The method according to claim 9 or 10, wherein the fifth step is a step of unwinding the wound filter medium, and an eighth step of pleating the filter medium. The method includes a ninth step of developing the pleated filter medium, a tenth step of applying a spacer to the developed filter medium, and an eleventh step of pleating the filter medium coated with the spacer again. The sixth step is performed in parallel with at least one of the seventh to eleventh steps.
【００３１】フィルタパックの製造においては、ロール
状に巻き取られたフィルタ濾材を巻き出し、巻き出され
た濾材に対してプリーツ加工、スペーサ塗布等の作業が
行われるが、このような工程中においても、フィルタ濾
材等に静電気が発生しうる。In the manufacture of a filter pack, the filter medium wound up in a roll is unwound, and the unwound filter medium is subjected to pleating, spacer application, and the like. Also, static electricity may be generated on a filter medium or the like.
【００３２】そこで、この製造方法では、上記各工程の
少なくとも一の工程において、フィルタ濾材等に生じた
静電気を除去し、これにより、静電気放電によるリーク
等のダメージを防止することとしている。Therefore, in this manufacturing method, in at least one of the above-described steps, static electricity generated in the filter medium or the like is removed, thereby preventing damage such as leakage due to electrostatic discharge.
【００３３】請求項１２に記載のフィルタパックの製造
方法は、請求項９から１１のいずれかの製造方法におい
て、フィルタパックは、、濾材透過風速が１．４ｃｍ／
秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上の粒子の捕集
効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透過風速が１．
４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５０
０Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられる。According to a twelfth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a filter pack according to any one of the ninth to eleventh aspects, the filter pack has a filter material transmission wind velocity of 1.4 cm / cm.
The collection efficiency of particles having a particle diameter of 0.3 μm or more in the case of seconds is 99.97% or more, and the wind velocity through the filter medium is 1.
Pressure loss at 4 cm / sec is 50 Pa or more and 50 Pa or more.
Used for an air filter unit of 0 Pa or less.
【００３４】ＨＥＰＡフィルタに用いられるフィルタパ
ックは、微細な繊維構造を有しているため、静電気放電
が起きると、リーク等のダメージを受けやすい。そこ
で、ここでは、このようなＨＥＰＡフィルタとして使用
可能なフィルタパックを製造する場合において、リーク
等のダメージが抑えられたフィルタパックを得ることと
している。The filter pack used for the HEPA filter has a fine fiber structure, and is susceptible to damage such as leakage when electrostatic discharge occurs. Therefore, here, when manufacturing a filter pack that can be used as such a HEPA filter, a filter pack in which damage such as leak is suppressed is obtained.
【００３５】請求項１３に記載のフィルタパックの製造
方法は、請求項９から１１のいずれかにの製造方法にお
いて、フィルタ濾材は、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒
の場合における粒子径が０．１μｍ以上の粒子の捕集効
率が９９．９９９９％以上でありかつ濾材透過風速が
１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上
５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられ
る。According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a filter pack manufacturing method according to any one of the ninth to eleventh aspects, wherein the filter medium has a particle diameter of 0 cm when the filter medium transmission air velocity is 1.4 cm / sec. It is used for an air filter unit having a collection efficiency of 99.9999% or more for particles having a particle size of 0.1 μm or more and a pressure loss of 50 Pa or more and 500 Pa or less when the air flow rate of the filter medium is 1.4 cm / sec.
【００３６】ＵＬＰＡフィルタに用いられるフィルタパ
ックは、微細な繊維構造を有しているため、静電気放電
が起きると、リーク等のダメージを受けやすい。そこ
で、ここでは、このようなＵＬＰＡフィルタとして使用
可能なフィルタ濾材を製造する場合において、リーク等
のダメージが抑えられたフィルタパックを得ることとし
ている。The filter pack used in the ULPA filter has a fine fiber structure, and is susceptible to damage such as leakage when an electrostatic discharge occurs. Therefore, here, in the case of manufacturing a filter medium that can be used as such an ULPA filter, a filter pack in which damage such as leak is suppressed is obtained.
【００３７】請求項１４に記載のエアフィルタユニット
の製造方法は、第１２工程と、第１３工程とを備えてい
る。第１２工程では、請求項９から１３のいずれかに記
載の製造方法により製造されたフィルタパックを所定の
枠体内に収納してエアフィルタユニットを得る。第１３
工程では、フィルタパック及びエアフィルタユニットに
生じた静電気を除去する。A method for manufacturing an air filter unit according to a fourteenth aspect includes a twelfth step and a thirteenth step. In the twelfth step, the filter pack manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 9 to 13 is housed in a predetermined frame to obtain an air filter unit. Thirteenth
In the process, static electricity generated in the filter pack and the air filter unit is removed.
【００３８】エアフィルタユニットの製造においても、
他の部材との接触等により静電気が発生しうるが、ここ
でも、フィルタパック等に生じた静電気が除去されるた
め、静電気放電が起きるのを防止してリーク等のダメー
ジが抑えられたエアフィルタユニットが得られる。In the manufacture of the air filter unit,
Although static electricity can be generated by contact with other members, etc., here too, the static electricity generated in the filter pack and the like is removed, preventing the occurrence of electrostatic discharge and suppressing the damage such as leakage etc. A unit is obtained.
【００３９】請求項１５に記載のエアフィルタユニット
の製造方法は、請求項１４の製造方法において、第１３
工程では、フィルタ濾材及びフィルタパックの近傍位置
に配置された静電気除去器により静電気を除去する。According to a fifteenth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an air filter unit according to the fourteenth aspect, wherein
In the process, static electricity is removed by a static electricity remover arranged near the filter medium and the filter pack.
【００４０】ここでも、請求項２、１０の製造方法と同
様、具体的には、静電気除去器を用いてフィルタ濾材等
の静電気の除去を行うこととしている。請求項１６に記
載のエアフィルタユニットの製造方法は、請求項１４ま
たは１５の製造方法において、第１２工程は、第７工程
を経たフィルタパックを梱包する１４工程と、梱包され
たフィルタパックの梱包を解く１５工程と、取り出され
たフィルタパックを枠体に組み込む１６工程とを含んで
いる。第１２工程は、第１４，第１５及び第１６工程と
平行して行われる。Here, similarly to the manufacturing method of the second and tenth aspects, specifically, the static electricity is removed from the filter material using a static electricity remover. The method for manufacturing an air filter unit according to claim 16 is the method for manufacturing an air filter unit according to claim 14 or 15, wherein the twelfth step is a step of packing the filter pack after the seventh step, and the packing of the packed filter pack. And the 16 steps of incorporating the removed filter pack into the frame. The twelfth step is performed in parallel with the fourteenth, fifteenth, and sixteenth steps.
【００４１】エアフィルタユニットの製造において、フ
ィルタパックと枠体とが接触することにより静電気が発
生しうるが、このフィルタパックは、作製後、ユニット
製造が行われるまでの間、梱包して一時的に保管される
場合がり、この場合にも、フィルタパックと梱包材との
接触により静電気が発生しうる。In the manufacture of the air filter unit, static electricity may be generated due to the contact between the filter pack and the frame. However, after the filter pack is manufactured, the filter pack is temporarily packed until the unit is manufactured. In this case, static electricity may be generated due to contact between the filter pack and the packing material.
【００４２】そこで、この製造方法では、上記各工程の
少なくとも一の工程において、フィルタパック等に生じ
た静電気を除去し、これにより、静電気放電によるリー
ク等のダメージを防止することとしている。Therefore, in this manufacturing method, in at least one of the above steps, static electricity generated in the filter pack or the like is removed, thereby preventing damage such as leakage due to electrostatic discharge.
【００４３】請求項１７に記載のエアフィルタユニット
の製造方法は、請求項１４から１６のいずれかの製造方
法において、エアフィルタユニットは、濾材透過風速が
１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上
の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透
過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０
Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットと
して用いられる。According to a seventeenth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an air filter unit according to any one of the fourteenth to sixteenth aspects, wherein the air filter unit has a particle diameter of 1.4 cm / sec when the air flow through the filter is 1.4 cm / sec. The pressure loss is 50 when the collection efficiency of particles of 0.3 μm or more is 99.97% or more and the air velocity through the filter medium is 1.4 cm / sec.
It is used as an air filter unit having a pressure of Pa or more and 500 Pa or less.
【００４４】ＨＥＰＡフィルタとして用いられるエアフ
ィルタユニットは、微細な繊維構造を有しているため、
静電気放電によるリーク等のダメージを受けやすい。そ
こで、ここでは、このようなＨＥＰＡフィルタとして使
用可能なエアフィルタユニットを製造する場合におい
て、リーク等のダメージが抑えられたエアフィルタユニ
ットを得ることとしている。The air filter unit used as the HEPA filter has a fine fiber structure.
It is susceptible to damage such as leakage due to electrostatic discharge. Therefore, here, in the case of manufacturing an air filter unit that can be used as such a HEPA filter, an air filter unit in which damage such as leak is suppressed is obtained.
【００４５】請求項１８に記載のエアフィルタユニット
の製造方法は、請求項１４から１６のいずれかの製造方
法において、エアフィルタユニットは、濾材透過風速が
１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上
の粒子の捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾
材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が
５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニッ
トとして用いられる。The method for manufacturing an air filter unit according to claim 18 is the method for manufacturing an air filter unit according to any one of claims 14 to 16, wherein the air filter unit has a particle diameter in a case where the wind velocity through the filter medium is 1.4 cm / sec. The filter is used as an air filter unit having a collection efficiency of 99.9999% or more for particles having a size of 0.1 μm or more and a pressure loss of 50 Pa or more and 500 Pa or less when the air flow rate of a filter medium is 1.4 cm / sec.
【００４６】ＵＬＰＡフィルタとして用いられるエアフ
ィルタユニットは、微細な繊維構造を有しているため、
静電気放電によるリーク等のダメージを受けやすい。そ
こで、ここでは、このようなＵＬＰＡフィルタとして使
用可能なエアフィルタユニットを製造する場合におい
て、リーク等のダメージが抑えられたエアフィルタユニ
ットを得ることとしている。The air filter unit used as the ULPA filter has a fine fiber structure.
It is susceptible to damage such as leakage due to electrostatic discharge. Therefore, here, in the case of manufacturing an air filter unit that can be used as such an ULPA filter, an air filter unit in which damage such as leakage is suppressed is obtained.
【００４７】[0047]
【発明の実施の形態】［フィルタ濾材の製造方法］図１
及び図２に、本発明の一実施形態が採用されたフィルタ
濾材の製造方法の概要を示す。図１において、１は巻き
出しロール、２は巻き取りロール、３〜５はロール、
６，７はヒートロール、８〜１２はロールをそれぞれ示
す。また、図２において、１４は、巻き出しロール、１
５は余熱ゾーン、１６は延伸ゾーン、１７は熱固定ゾー
ン、１９はラミネートロール、２１は巻き取りロールを
それぞれ示す。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [Method of Manufacturing Filter Media] FIG.
FIG. 2 and FIG. 2 show an outline of a method for manufacturing a filter medium employing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is an unwinding roll, 2 is a winding roll, 3 to 5 are rolls,
Reference numerals 6 and 7 indicate heat rolls, and 8 to 12 indicate rolls. In FIG. 2, reference numeral 14 denotes an unwinding roll, 1
Reference numeral 5 denotes a preheating zone, 16 denotes a stretching zone, 17 denotes a heat setting zone, 19 denotes a laminating roll, and 21 denotes a winding roll.
【００４８】このフィルタ濾材の製造方法は、濾材作製
工程と、除電工程とを備えている。濾材作製工程は、さ
らに、多孔膜作製工程と、熱ラミネート工程と、巻き取
り工程とを有している。The method for manufacturing the filter medium includes a filter medium manufacturing step and a charge eliminating step. The filter medium producing step further includes a porous membrane producing step, a heat laminating step, and a winding step.
【００４９】多孔膜作製工程では、図１に示す工程と図
２の左半分に示す工程とにより、ＰＴＦＥ未焼成フィル
ムを２軸延伸してＰＴＦＥ多孔膜を作製する。熱ラミネ
ート工程では、図２の右半分に示す工程により、ＰＴＦ
Ｅ多孔膜の両側に不織布からなる通気性支持材１８を熱
ラミネートしてフィルタ濾材１３を得る。In the porous film forming step, the PTFE unfired film is biaxially stretched by the steps shown in FIG. 1 and the step shown in the left half of FIG. 2 to form a PTFE porous film. In the heat lamination process, the PTF is formed by the process shown in the right half of FIG.
The filter material 13 is obtained by thermally laminating the air-permeable supporting material 18 made of a nonwoven fabric on both sides of the E porous membrane.
【００５０】巻き取り工程では、フィルタ濾材１３を巻
き取りロール２１に巻き取る。除電工程では、不織布１
８及びフィルタ濾材１３の近傍位置に静電気除去器を配
置し、上記熱ラミネート工程及び巻き取り工程の間これ
を作動させることにより行う。なお、本発明で用いられ
る静電気除去器としては、送風型の除去器２２、棒状の
除電電極２３等が用いられる。In the winding step, the filter medium 13 is wound around a winding roll 21. In the static elimination step, the nonwoven fabric 1
This is performed by arranging a static eliminator in the vicinity of the filter 8 and the filter medium 13 and activating the static eliminator during the heat laminating step and the winding step. In addition, as the static electricity remover used in the present invention, a blower-type remover 22, a rod-shaped neutralizing electrode 23, and the like are used.
【００５１】除電器２２は、コロナ放電によりイオン化
された空気を送風可能な装置であり、図２に示すよう
に、巻き取りロール２１の近傍であって巻き取られるＰ
ＴＦＥ多孔膜１３の全体に対して送風可能に配置されて
いる。The static eliminator 22 is a device that can blow air ionized by corona discharge, and as shown in FIG.
The TFE porous film 13 is arranged so as to be able to blow air to the whole.
【００５２】除電電極２３は、高速で移動する物体に対
して有効に除電可能な装置であり、本実施形態では、Ｐ
ＴＦＥ多孔膜に熱ラミネートされる前の不織布１８の近
傍、熱ラミネートされる直前の不織布１８の近傍、熱ラ
ミネート後のフィルタ濾材１３の近傍に配置される。The static elimination electrode 23 is a device capable of effectively eliminating static electricity from an object moving at a high speed.
It is arranged in the vicinity of the nonwoven fabric 18 before thermal lamination on the TFE porous membrane, in the vicinity of the nonwoven fabric 18 immediately before thermal lamination, and in the vicinity of the filter medium 13 after thermal lamination.
【００５３】なお、ここで説明する除電器２２及び除電
電極２３の配置位置は一例に過ぎず、静電気が発生しや
すい場所、特に帯電圧が１０ｋＶを超えるような場所に
配置されるのが好ましい。具体的には、フィルタ濾材１
３、不織布１８等と、ロール、その他の部材とが接触す
る場所は、静電気が発生し易いため、このような場所の
少なくとも一部、好ましくは全部に配置するのが有効で
ある。また、除電器２２及び除電電極２３のいずれを配
置するかについても、ここで説明した場合に限定され
ず、例えば、巻き取り工程において、フィルタ濾材１３
が巻き取られる直前の位置に、除電電極２３が配置され
てもよい。The positions of the static eliminator 22 and the static elimination electrode 23 described here are merely examples, and it is preferable that the static eliminator 22 and the static elimination electrode 23 are arranged in a place where static electricity is easily generated, particularly in a place where the charged voltage exceeds 10 kV. Specifically, filter media 1
3. A place where the non-woven fabric 18 and the like come into contact with the roll and other members is likely to generate static electricity. Therefore, it is effective to arrange at least a part, preferably all of such a place. Further, the arrangement of the static eliminator 22 or the static elimination electrode 23 is not limited to the case described here. For example, in the winding step, the filter medium 13 may be used.
The static elimination electrode 23 may be arranged at a position immediately before the is wound.
【００５４】このような方法によりフィルタ濾材１３を
製造した場合、熱ラミネート工程及び巻き取り工程にお
いて、不織布１８及びフィルタ濾材１３が除電されてい
るため、静電気が溜まって静電気放電が起きることが無
く、したがって、フィルタ濾材１３等がリーク等のダメ
ージを受けるのを抑えることができる。In the case where the filter material 13 is manufactured by such a method, since the non-woven fabric 18 and the filter material 13 are neutralized in the heat laminating step and the winding step, static electricity does not accumulate and no electrostatic discharge occurs. Therefore, it is possible to prevent the filter medium 13 and the like from being damaged by a leak or the like.
【００５５】特に、巻き取り工程においては、巻き取ら
れたフィルタ濾材１３に静電気が蓄積され易いが、本方
法により、冬場等の乾燥時においても静電気放電が生じ
るのを有効に抑えることができる。In particular, in the winding step, static electricity easily accumulates on the wound filter medium 13, but this method can effectively suppress the occurrence of electrostatic discharge even during drying in winter or the like.
【００５６】なお、本実施形態の方法により製造される
フィルタ濾材１３は、ＨＥＰＡフィルタまたはＵＬＰＡ
フィルタに用いることが可能であるが、ＰＴＦＥ多孔膜
を利用したこれらのフィルタは、繊維径が非常に細か
く、微細な繊維構造を有しているため、静電気放電が起
きることにより受ける影響が大きい。しかし、上述のよ
うに、フィルタ作製工程において不織布１８及びフィル
タ濾材１３は除電されているため、静電気放電によるリ
ーク等が生じず、したがって、その高い捕集機能が損な
われるのを防止することができる。The filter medium 13 manufactured by the method of the present embodiment is a HEPA filter or ULPA.
Although it is possible to use the filter as a filter, these filters using a porous PTFE membrane have a very small fiber diameter and a fine fiber structure, and are greatly affected by the occurrence of electrostatic discharge. However, as described above, since the non-woven fabric 18 and the filter medium 13 are neutralized in the filter manufacturing process, no leakage or the like due to electrostatic discharge occurs, and therefore, the high collecting function can be prevented from being impaired. .
【００５７】［フィルタパックの製造方法］図３及び図
４に、本発明の一実施形態が採用されたフィルタパック
の製造方法の概要を示す。[Method of Manufacturing Filter Pack] FIGS. 3 and 4 show an outline of a method of manufacturing a filter pack employing an embodiment of the present invention.
【００５８】このフィルタパックの製造方法は、フィル
タパック作製工程と、除電工程とを備えている。フィル
タパック作製工程は、さらに、巻き出し工程と、プリー
ツ加工工程と、展開工程と、スペーサ塗布工程と、再プ
リーツ加工工程とを有している。This filter pack manufacturing method includes a filter pack manufacturing step and a charge removing step. The filter pack manufacturing step further includes an unwinding step, a pleating step, an unfolding step, a spacer applying step, and a pleating step.
【００５９】巻き出し工程では、上記実施形態の巻き取
り工程で巻き取られたフィルタ濾材１３を巻き出す。プ
リーツ加工工程では、図３に示すように、フィルタ濾材
１３を、交互に折り返して波型形状に加工（プリーツ加
工）し、これにより、波型の折り目を形成する。In the unwinding step, the filter medium 13 wound up in the winding step of the above embodiment is unwound. In the pleating process, as shown in FIG. 3, the filter material 13 is alternately folded and processed into a corrugated shape (pleating), thereby forming a corrugated fold.
【００６０】展開工程では、プリーツ加工されたフィル
タ濾材１３をシート状に展開する。スペーサ塗布工程で
は、図４に示すように、展開されたフィルタ濾材１３に
スペーサ２４を塗布する。In the developing step, the pleated filter medium 13 is developed into a sheet. In the spacer applying step, as shown in FIG. 4, a spacer 24 is applied to the developed filter material 13.
【００６１】再プリーツ加工工程では、スペーサ２４が
塗布されたフィルタ濾材１３を再度プリーツ加工してフ
ィルタパック２５を得る。除電工程では、図３及び図４
に示す位置に配置され除電器２２により、フィルタ濾材
１３及びフィルタパック２５に生じた静電気を除去する
が、除電器２２の配置位置は、上記実施形態と同様、こ
こで説明するものに限定されず、静電気の発生しやすい
場所であるのが有効である。また、除電器２２に替えて
除電電極２３を適宜配置してもよい。In the pleating step, the filter medium 13 coated with the spacer 24 is pleated again to obtain a filter pack 25. 3 and 4 in the static elimination process.
The static electricity generated in the filter medium 13 and the filter pack 25 is removed by the static eliminator 22 disposed at the position shown in FIG. 3, but the disposition position of the static eliminator 22 is not limited to that described here, as in the above embodiment. It is effective to have a place where static electricity is easily generated. Further, a charge removing electrode 23 may be appropriately arranged in place of the charge remover 22.
【００６２】このような方法により得られたフィルタパ
ック２５は、上記実施形態と同様、静電気が除去される
ことにより、静電気が溜まって静電気放電が起きるのを
防止でき、これにより、フィルタ濾材１３及びフィルタ
パック２５にリーク等のダメージが発生するのを抑える
ことができる。また、フィルタパック２５は、上記フィ
ルタ濾材１３と同様、ＨＥＰＡ及びＵＬＰＡフィルタに
用いることが可能であるが、本方法により製造すること
で、高捕集機能を維持しつつリークの無いフィルタパッ
クを得ることができる。In the filter pack 25 obtained by such a method, as in the above-described embodiment, by removing static electricity, it is possible to prevent the accumulation of static electricity and the occurrence of electrostatic discharge. It is possible to prevent the filter pack 25 from being damaged such as a leak. The filter pack 25 can be used for HEPA and ULPA filters as in the case of the filter medium 13 described above. However, by using this method, a filter pack having no leakage while maintaining a high collection function can be obtained. be able to.
【００６３】［エアフィルタユニットの製造方法］図５
に、本発明の一実施形態がされたエアフィルタユニット
の製造方法の概要を示す。[Method of Manufacturing Air Filter Unit] FIG.
An outline of a method of manufacturing an air filter unit according to an embodiment of the present invention will be described below.
【００６４】このエアフィルタユニットの製造方法は、
ユニット組み立て工程と、除電工程とを備えている。ユ
ニット組み立て工程は、さらに、梱包工程と、取り出し
工程と、組み立て工程とを有している。The method of manufacturing this air filter unit is as follows.
A unit assembling step and a static elimination step are provided. The unit assembling step further includes a packing step, a take-out step, and an assembling step.
【００６５】梱包工程では、上記実施形態で得られたフ
ィルタパック２５を、後の組み立て工程が行われるまで
の間、有機物質等の付着を防止するために、一旦袋詰め
にする。In the packing step, the filter pack 25 obtained in the above embodiment is once packed in a bag until the subsequent assembling step is performed in order to prevent the attachment of organic substances and the like.
【００６６】取り出し工程では、次の組み立て工程を行
うために、梱包されたフィルタパック２５を袋から取り
出す。組み立て工程では、図５に示すように、取り出さ
れたフィルタパック２５を枠体２６に組み込んで、エア
フィルタユニットを得る。In the take-out step, the packed filter pack 25 is taken out of the bag for performing the next assembling step. In the assembling process, as shown in FIG. 5, the taken out filter pack 25 is incorporated into a frame 26 to obtain an air filter unit.
【００６７】除電工程では、上記実施形態の除電工程と
同様、フィルタパック２５及びエアフィルタユニットの
近傍位置に配置された除電器２２除電電極２３により静
電気を除去する。除電器２２等は、上記実施形態と同様
に、静電気の発生しやすい場所に、配置するのが好まし
い。特に、本実施形態では、取り出し工程、組み立て工
程においても、フィルタパック２５と袋等の梱包材との
接触により静電気が発生し易い状況にあるため、除電器
２２等を配置するのが好ましい。In the static elimination step, similarly to the static elimination step of the above-described embodiment, static electricity is eliminated by the static eliminator 22 and the static elimination electrode 23 disposed near the filter pack 25 and the air filter unit. It is preferable to dispose the static eliminator 22 and the like in a place where static electricity is easily generated, as in the above embodiment. Particularly, in the present embodiment, static electricity is likely to be generated due to contact between the filter pack 25 and a packing material such as a bag even in the taking-out step and the assembling step. Therefore, it is preferable to dispose the static eliminator 22 and the like.
【００６８】このような方法により得られたエアフィル
タユニットは、上記実施形態と同様、静電気が除去され
ているため、静電気が溜まって静電気放電が起きること
が無く、したがって、フィルタパック２５及びエアフィ
ルタユニットにリーク等のダメージが生じるのを防止す
ることができる。また、エアフィルタユニットは、ＨＥ
ＰＡ及びＵＬＰＡフィルタとして用いることができる
が、本方法で製造することにより、高捕集機能を維持し
つつリークの無いものが得られる。In the air filter unit obtained by such a method, since the static electricity has been removed as in the above embodiment, the static electricity does not accumulate and the electrostatic discharge does not occur. It is possible to prevent the unit from being damaged such as a leak. The air filter unit is HE
Although it can be used as a PA and ULPA filter, it is possible to obtain a filter having no leakage while maintaining a high collection function by producing it by this method.
【００６９】[0069]
【実施例】［フィルタ濾材のリークの有無］フィルタ濾
材の測定サンプルを、直径１００ｍｍのフィルターホル
ダーにセットし、コンプレッサーで入口側を加圧し、流
量計で空気の透過する流量を５.３ｃｍ／秒に調整し
た。この状態で上流側から多分散ＤＯＰを粒子濃度１０
8個／３００ｍｌで流し、下流側に設置したパーティク
ルカウンターによって、粒径別の透過粒子数を求め、上
流、下流の粒子数の比率から粒径０.１０〜０.１２μｍ
及び０.２５〜０.３５μｍのＤＯＰ粒子の捕集効率を求
め、粒径０.２５〜０.３５μｍのＤＯＰの捕集効率が粒
径０.１０〜０.１２μｍのＤＯＰの捕集効率より１００
倍以上高ければリーク無しと判定した。 ［フィルタ濾材の圧力損失（Pa）］ＰＴＦＥ多孔膜及び
フィルタ濾材の測定サンプルを、直径１００ｍｍのフィ
ルターホルダーにセットし、コンプレッサーで入口側を
加圧し、流量計で空気の透過する流量を５．３ｃｍ／秒
に調整した。そしてこの時の圧力損失をマノメーターで
測定した。 ［フィルタ濾材の捕集効率（％）］ＰＴＦＥ多孔膜及び
フィルタ濾材の測定サンプルを、直径１００ｍｍのフィ
ルターホルダーにセットし、コンプレッサーで入口側を
加圧し、流量計で空気の透過する流量を５.３ｃｍ／秒
に調整した。この状態で上流側から粒子径０.１〜０.１
２μｍの多分散ＤＯＰを粒子濃度１０8個／３００ｍｌ
で流し、下流側に設置したパーティクルカウンター（Ｐ
ＭＳ ＬＡＳ−Ｘ−ＣＲＴ ＰＡＲＴＩＣＬＥＭＥＡＳ
ＵＲＩＮＧ ＳＹＳＴＥＭ ＩＮＣ．（ＰＭＳ）社製、
以下同じ）によって、粒子径０.１０〜０.１２μｍのＤ
ＯＰの透過粒子数を求め、上流の粒子濃度をＣｉ、下流
粒子濃度をＣｏとして下記式により測定サンプルの捕集
効率を計算した。 ［数１］ 捕集効率（％）＝（１−Ｃｏ／Ｃｉ）×１００ 捕集効率が非常に高いフィルタ濾材については、吸引時
間を長くしサンプリング空気量を多くして測定を行っ
た。例えば、吸引時間を１０倍にすると下流側のカウン
ト粒子数が１０倍に上がり、即ち測定感度が１０倍にな
る。 ［エアフィルタユニットのリークの有無］エアフィルタ
ユニットのリーク箇所の測定は、ＪＡＣＡ Ｎｏ．１０
Ｃ 4.5.4に準拠して行った（日本空気清浄協会発行１
９７９年「空気清浄装置性能試験方法基準」）。[Example] [Existence of leakage of filter medium] A measurement sample of the filter medium was set in a filter holder having a diameter of 100 mm, the inlet side was pressurized by a compressor, and the flow rate of air permeated by a flow meter was 5.3 cm / sec. Was adjusted. In this state, the polydisperse DOP was added from the upstream side to a particle concentration of
The flow rate is 8 particles / 300 ml, and the number of permeated particles for each particle size is determined by a particle counter installed on the downstream side, and the particle size is 0.10 to 0.12 μm based on the ratio of the upstream and downstream particle numbers.
And the collection efficiency of DOP particles having a particle size of 0.25 to 0.35 μm was obtained, and the collection efficiency of DOP having a particle size of 0.25 to 0.35 μm was obtained from the collection efficiency of DOP having a particle size of 0.10 to 0.12 μm. 100
If it was higher than twice, it was determined that there was no leak. [Pressure loss of filter medium (Pa)] The measurement sample of the porous PTFE membrane and the filter medium was set in a filter holder having a diameter of 100 mm, the inlet side was pressurized by a compressor, and the flow rate of air permeated by a flow meter was 5.3 cm. / Sec. The pressure loss at this time was measured with a manometer. [Collection efficiency of filter medium (%)] The measurement sample of the porous PTFE membrane and the filter medium was set in a filter holder having a diameter of 100 mm, the inlet side was pressurized by a compressor, and the flow rate of air permeated by a flow meter was set to 5. Adjusted to 3 cm / sec. In this state, the particle diameter is 0.1 to 0.1 from the upstream side.
2 μm polydisperse DOP with a particle concentration of 10 8 particles / 300 ml
And a particle counter (P
MS LAS-X-CRT PARTICLEMEAS
URING SYSTEM INC. (PMS)
The same applies hereinafter), D of particle size 0.10 to 0.12 μm
The number of permeated particles of OP was determined, and the collection efficiency of the measurement sample was calculated by the following equation, with the upstream particle concentration being Ci and the downstream particle concentration being Co. [Equation 1] Collection efficiency (%) = (1−Co / Ci) × 100 For a filter medium having a very high collection efficiency, measurement was performed with a longer suction time and a larger sampling air amount. For example, if the suction time is increased by a factor of 10, the number of counted particles on the downstream side increases by a factor of 10, that is, the measurement sensitivity increases by a factor of 10. [Existence of Leak in Air Filter Unit] The measurement of the leak location in the air filter unit is performed according to JACA No. 10
Performed in accordance with C 4.5.4 (issued by Japan Air Purification Association 1
979 "Air Purifier Performance Test Method Standards").
【００７０】ラスキンノズルより発生させたシリカ粒子
を清浄空気に混合して、粒径が０.１μｍ以上の粒子を
濃度１０8個／ｆｔ3以上で含む検査流体を調製した。次
に、エアフィルタユニットの上流から検査流体をエアフ
ィルタユニット面の風速が０.５ｍ／秒になるようにし
てエアフィルタユニットに通した。その後、エアフィル
タユニットの下流側２５ｍｍの位置で、捜査プローブを
１秒間に５ｃｍの速度で走査させながら、下流側空気を
２８．３ｌ／分で吸引し、パーティクルカウンターで下
流側のシリカ粒子濃度を測定した。但し、この走査はエ
アフィルタユニットの濾材及び濾材とフレームとの結合
部の全面にわたって行い、そのストロークはわずかに重
なり合うようにした。エアフィルタユニットにリークが
存在する場合は、下流側のシリカ粒子の粒径分布が、上
流側の粒径分布と同じようになるため判別が可能であ
る。 ［エアフィルタユニットの圧力損失（Ｐａ）］図６に示
した装置を用い、エアフィルタユニットを装着後フィル
タ濾材を透過する風速が１.４ｃｍ／秒になるように調
整し、その時のエアフィルタユニット前後の圧力損失を
マノメーターで測定した。 ［エアフィルタユニットの捕集効率（％）］図６示した
装置を用い、エアフィルタユニットを装着後フィルタ濾
材を透過する風速が１.４ｃｍ/秒になるように調整し、
この状態で上流側に粒子径が０.１〜０.１２μｍのＤＯ
Ｐ粒子を濃度１×１０9／ft3で流し、下流側の粒子径
０.１〜０.１２μｍの粒子数をパーティクルカウンター
で測定し、上流の粒子濃度をＣｉ、下流粒子濃度をＣｏ
として下記式により測定サンプルの捕集効率を計算し
た。 ［数１］ 捕集効率（％）＝（１−Ｃｏ／Ｃｉ）×１００ なお、図６中の符号の説明は以下のとおりである。The silica particles generated from the Ruskin nozzle were mixed with clean air to prepare a test fluid containing particles having a particle size of 0.1 μm or more at a concentration of 10 8 particles / ft 3 or more. Next, the test fluid was passed through the air filter unit from the upstream of the air filter unit such that the wind speed on the air filter unit surface was 0.5 m / sec. Then, at a position 25 mm downstream of the air filter unit, while scanning the scanning probe at a speed of 5 cm per second, the downstream air is sucked at 28.3 l / min, and the concentration of silica particles on the downstream side is measured by a particle counter. It was measured. However, this scanning was performed over the entire surface of the filter medium of the air filter unit and the joint between the filter medium and the frame, and the strokes were slightly overlapped. If there is a leak in the air filter unit, the particle size distribution of the silica particles on the downstream side becomes the same as the particle size distribution on the upstream side, so that it is possible to determine. [Pressure loss of air filter unit (Pa)] Using the device shown in FIG. 6, after installing the air filter unit, adjust the air velocity passing through the filter medium to be 1.4 cm / sec. The pressure loss before and after was measured with a manometer. [Collection efficiency of air filter unit (%)] Using the apparatus shown in FIG. 6, after the air filter unit is mounted, the wind speed passing through the filter medium is adjusted to be 1.4 cm / sec.
In this state, a DO having a particle size of 0.1 to 0.12 μm is provided on the upstream side.
P particles are flowed at a concentration of 1 × 10 9 / ft 3 , the number of particles having a particle diameter of 0.1 to 0.12 μm on the downstream side is measured with a particle counter, the upstream particle concentration is Ci, and the downstream particle concentration is Co.
The collection efficiency of the measurement sample was calculated by the following equation. [Equation 1] Collection efficiency (%) = (1−Co / Ci) × 100 The description of reference numerals in FIG. 6 is as follows.
【００７１】３１：送風機、３２,３２'：ＨＥＰＡフィ
ルター、３３：試験用粒子導入管、３４,３４'：整流
板、３５：上流側試験用粒子採取管、３６：静圧測定
孔、３７：供試フィルターユニット、３８：下流側試験
用粒子採取管、３９：層流型流量計 ［帯電量の測定方法］静電気帯電量の測定は、春日電機
株式会社製 振動式静電電位測定器「ＫＳＤ−０１０
３」を用いて測定した。 ［ＰＴＦＥフィルタ濾材の製造］まず、数平均分子量６
２０万のＰＴＦＥファインパウダー（ダイキン工業株式
会社製「ポリフロンファインパウダーＦ−１０４Ｕ」）
１００重量部に、押出助剤としての炭化水素油（エッソ
石油株式会社製「アイソパー」）２５重量部を加えて混
合した。31: blower, 32, 32 ': HEPA filter, 33: test particle introduction tube, 34, 34': rectifying plate, 35: upstream test particle collection tube, 36: static pressure measurement hole, 37: Test filter unit, 38: Particle sampling tube for downstream test, 39: Laminar flow meter [Measurement method of charge amount] The electrostatic charge amount was measured by a vibration type electrostatic potential meter “KSD” manufactured by Kasuga Electric Co., Ltd. −010
3 ". [Manufacture of PTFE filter medium] First, the number average molecular weight was 6
200,000 PTFE fine powder (“Polyflon Fine Powder F-104U” manufactured by Daikin Industries, Ltd.)
To 100 parts by weight, 25 parts by weight of a hydrocarbon oil ("ISOPAR" manufactured by Esso Oil Co., Ltd.) as an extrusion aid was added and mixed.
【００７２】次に、この混合物をペースト押出により丸
棒状に成形した。そして、この丸棒状成形体を７０℃に
加熱したカレンダーロールによりフィルム状に成形し、
ＰＴＦＥフィルムを得た。このフィルムを２５０℃の熱
風乾燥炉に通して押出助剤を蒸発除去し、平均厚み２０
０μｍ、平均幅１５０ｍｍの未焼成フィルムを得た。Next, the mixture was formed into a round bar by paste extrusion. Then, this round bar-shaped molded body is formed into a film by a calender roll heated to 70 ° C.
A PTFE film was obtained. This film was passed through a hot-air drying oven at 250 ° C. to remove the extrusion aid by evaporation.
An unfired film having a thickness of 0 μm and an average width of 150 mm was obtained.
【００７３】次に、この未焼成ＰＴＦＥフィルムを、図
１に示す装置を用いて長手方向に延伸倍率５倍で延伸し
た。未焼成フィルムはロール１にセットし、延伸したフ
ィルムは巻き取りロール２に巻き取った。また、延伸温
度は２５０℃で行った。Next, this unfired PTFE film was stretched in the machine direction at a stretching ratio of 5 times using the apparatus shown in FIG. The unfired film was set on a roll 1, and the stretched film was wound on a winding roll 2. The stretching was performed at 250 ° C.
【００７４】次に、得られた長手方向延伸フィルムを、
連続クリップで挟むことのできる図２の左半分に示す装
置（テンター）を用いて幅方向に延伸倍率３０倍で延伸
し、熱固定を行った。この時の延伸温度は２９０℃、熱
固定温度は３６０℃、また延伸速度は３３０％／秒であ
った。上記のＰＴＦＥ多孔膜の両面に、下記の不織布
Ａ，Ｂを用いて、図２の右半分に示す装置によって熱融
着することにより、フィルタ濾材を得た。 不織布Ａ：ユニチカ株式会社製「エルベスＳ０４０３Ｗ
ＤＯ」ＰＥＴ／ＰＥ芯／鞘不織布、目付４０ｇ／ｍ2 不織布Ｂ：ユニチカ株式会社製「エルベスＴ０４０３Ｗ
ＤＯ」ＰＥＴ／ＰＥ芯／鞘不織布、目付４０ｇ／ｍ2 ＜実施例１＞上記フィルタ濾材について、図２の不織布
巻出し部、ラミネート部に春日電機株式会社製の除電電
極（棒状タイプ）の静電気除去器（ＫＯＲ型）、巻取部
で巻き取時に、巻き取るロール全体に春日電機株式会社
製の送風タイプの静電気除去器（ＫＤ−４１０型）数台
を設置し、静電気を除去しながら巻き取った。 ＜比較例１＞上記フィルタ濾材について、静電気除去器
を稼働させないで巻き取った。Next, the obtained longitudinally stretched film is
The film was stretched in the width direction at a stretch ratio of 30 times using a device (tenter) shown in the left half of FIG. At this time, the stretching temperature was 290 ° C., the heat setting temperature was 360 ° C., and the stretching speed was 330% / sec. The following nonwoven fabrics A and B were heat-sealed on both sides of the porous PTFE membrane using an apparatus shown in the right half of FIG. 2 to obtain a filter medium. Non-woven fabric A: "Elves S0403W" manufactured by Unitika Ltd.
DO "PET / PE core / sheath non-woven fabric, basis weight of 40g / m 2 non-woven fabric B: Unitika Ltd." ELEVES T0403W
DO "PET / PE core / sheath nonwoven fabric, basis weight 40 g / m < 2 ><Example1> For the above filter media, the static electricity of a static elimination electrode (rod type) manufactured by Kasuga Electric Co., Ltd. in the unwoven fabric unwinding portion and the laminating portion of FIG. Remover (KOR type), several wind-type static eliminators (KD-410 type) manufactured by Kasuga Electric Co., Ltd. are installed on the entire roll to be wound at the time of winding at the winding section, and winding is performed while removing static electricity. I took it. <Comparative Example 1> The above filter medium was wound up without operating the static eliminator.
【００７５】上記実施例１及び比較例１のフィルタ濾材
について、圧力損失、捕集効率、帯電量、リークの有無
についての比較を表１に示す。尚、帯電量については、
濾材を巻き取ってから１０分後のロール表面の量を測定
した。又、リークの有無は、濾材ロールから２０枚サン
プリングしたものについて測定したものである。Table 1 shows a comparison of the filter media of Example 1 and Comparative Example 1 with respect to pressure loss, collection efficiency, charge amount, and presence or absence of leakage. In addition, regarding the charge amount,
The amount of the roll surface 10 minutes after winding the filter medium was measured. The presence or absence of a leak was measured by sampling 20 sheets from the filter medium roll.
【００７６】[0076]
【表１】 [Table 1]
【００７７】表１に示すように、比較例１では全てのサ
ンプルについてリークがあったのに対し、実施例１で
は、全てのサンプルについてリークはなかった。したが
って、静電気除去器による除電により、フィルタ濾材の
リークを防止できていることが分かる。 ［フィルターユニットの製造］実施例１で製造したフィ
ルタ濾材を、レシプロ折り機で高さ５.５ｃｍにプリー
ツ加工し、プリーツ後９０℃の温度をかけて折りくせを
つけた。この後、プリーツされたフィルタ濾材を一旦開
き（展開）、ポリアミドホットメルト樹脂製のスペーサ
を塗布し、再度プリーツ状にレシプロ立ち上げ機で立ち
上げ、大きさ５８ｃｍ×５８ｃｍに切断して、エアフィ
ルターパックを得た。この時のプリーツ間隔は３.１２
５ｍｍ／プリーツであった。As shown in Table 1, while there was a leak in all samples in Comparative Example 1, there was no leak in all samples in Example 1. Therefore, it can be seen that leakage of the filter material can be prevented by static elimination by the static eliminator. [Manufacture of Filter Unit] The filter medium produced in Example 1 was pleated to a height of 5.5 cm with a reciprocating folder, and was pleated at 90 ° C. after pleating. Thereafter, the pleated filter medium is once opened (deployed), a spacer made of polyamide hot melt resin is applied, and the pleat is again pleated by a reciprocating starter, and cut into a size of 58 cm × 58 cm. Got a pack. The pleat interval at this time is 3.12.
5 mm / pleat.
【００７８】次に、外寸６１ｃｍ×６１ｃｍ、内寸５８
ｃｍ×５８ｃｍ、厚さ６.５ｃｍのアルマイト加工アル
ミニウム製枠を用意し、この枠内にプリーツ加工された
エアフィルターパックを入れ、ウレタン接着剤でエアフ
ィルターパック周囲とアルミニウム枠とをシールしてエ
アフィルタユニットを作製した。 ＜実施例２＞上記エアフィルタユニットの製造におい
て、濾材の巻出し工程、プリーツ加工直後、展開後及び
再立ち上げ後に春日電機株式会社製の送風タイプの静電
気除去器（ＫＤ―４１０型）数台を設置し、静電気を除
去しながらプリーツパック及びフィルターユニットを作
製した。 ＜比較例２＞上記エアフィルタユニットの製造におい
て、静電気除去器を稼働しないでプリーツパック及びフ
ィルターユニットを作製した。Next, an outer dimension of 61 cm × 61 cm and an inner dimension of 58 cm
Prepare an alumite-processed aluminum frame with a size of cm × 58 cm and a thickness of 6.5 cm, put a pleated air filter pack into this frame, seal the air filter pack area and the aluminum frame with urethane adhesive to remove air. A filter unit was manufactured. <Example 2> In the manufacture of the air filter unit, several units of a ventilation type static eliminator (KD-410 type) manufactured by Kasuga Electric Co., Ltd. after the unwinding process of the filter medium, immediately after pleating, after deployment and after restarting. Was installed, and a pleated pack and a filter unit were produced while removing static electricity. <Comparative Example 2> In the manufacture of the air filter unit, a pleated pack and a filter unit were produced without operating the static eliminator.
【００７９】上記実施例２及び比較例２のエアフィルタ
ユニットについて、圧力損失、捕集効率、帯電量、リー
クの有無の比較を表２に示す。尚、帯電量は、最初のプ
リーツ加工直後に測定したパックの帯電量と、スペーサ
塗布し再立ち上げを行った直後に測定したパックの帯電
量である。Table 2 shows a comparison of the pressure loss, the collection efficiency, the charge amount, and the presence / absence of leakage of the air filter units of Example 2 and Comparative Example 2. The charge amount is the charge amount of the pack measured immediately after the first pleating process and the charge amount of the pack measured immediately after the spacer is applied and restarted.
【００８０】[0080]
【表２】 [Table 2]
【００８１】表２に示すように、比較例２では多数のリ
ークが発生しているのに対し、実施例２では、リークの
発生は見られなかった。したがって、ここでも、除電を
行うことにより、リークの発生を防止できていることが
分かる。As shown in Table 2, while a large number of leaks occurred in Comparative Example 2, no leak was observed in Example 2. Therefore, it can be seen that, also in this case, the occurrence of the leak can be prevented by performing the charge elimination.
【００８２】[0082]
【本発明の効果】本発明によれば、フィルタ濾材、フィ
ルタパック及びエアフィルタユニットの作製時に、フィ
ルタ濾材等が除電されるため、静電気が溜まって静電気
放電が起きることが無く、これにより、リークのないフ
ィルタ濾材、フィルタパック及びエアフィルタユニット
を得ることができる。According to the present invention, when the filter medium, the filter pack, and the air filter unit are manufactured, the filter medium and the like are neutralized, so that static electricity does not accumulate and electrostatic discharge does not occur. , A filter medium, a filter pack and an air filter unit having no filter can be obtained.
【図１】本発明の一実施形態によるフィルタ濾材の製造
方法の概要の一部を示す。FIG. 1 shows a part of an outline of a method for manufacturing a filter medium according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施形態によるフィルタ濾材の製造
方法の概要の一部を示す。FIG. 2 shows a part of an outline of a method for manufacturing a filter medium according to an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施形態によるフィルタパックの製
造方法の概要の一部を示す。FIG. 3 shows a part of an outline of a method for manufacturing a filter pack according to an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の一実施形態によるフィルタパックの製
造方法の概要の一部を示す。FIG. 4 shows a part of an outline of a method for manufacturing a filter pack according to an embodiment of the present invention.
【図５】本発明の一実施形態によるエアフィルタユニッ
トの製造方法の概要の一部を示す。FIG. 5 shows a part of an outline of a method for manufacturing an air filter unit according to an embodiment of the present invention.
【図６】エアフィルタユニットの圧力損失の測定装置を
示す模式図。FIG. 6 is a schematic diagram showing a device for measuring pressure loss of an air filter unit.
１３ フィルタ濾材 ２２ 除電器 ２３ 除電電極 ２５ フィルタパック ２６ 枠体 13 Filter media 22 Static eliminator 23 Static elimination electrode 25 Filter pack 26 Frame
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浦岡 伸樹 大阪府摂津市西一津屋１番１号 ダイキン 工業株式会社淀川製作所内 Ｆターム(参考） 4D006 GA44 HA72 MA03 MA07 MB06 MB20 MC30 NA34 PB17 PC05 4D019 AA01 BA13 BB08 BB10 BC15 CA02 CB06 4D058 JA14 JB14 JB23 JB25 JB39 KA08 KA13 SA04 UA12 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Nobuki Uraoka 1-1, Nishiichitsuya, Settsu-shi, Osaka Daikin Industries, Ltd. Y-term F-term (reference) 4D006 GA44 HA72 MA03 MA07 MB07 MB20 MC30 NA34 PB17 PC05 4D019 AA01 BA13 BB08 BB10 BC15 CA02 CB06 4D058 JA14 JB14 JB23 JB25 JB39 KA08 KA13 SA04 UA12
Claims (18)
る第１工程と、 前記フィルタ用部品及びフィルタ濾材に生じた静電気を
除去する第２工程と、を備えたフィルタ濾材の製造方
法。1. A method for manufacturing a filter medium, comprising: a first step of producing a filter medium from a filter part; and a second step of removing static electricity generated in the filter part and the filter medium.
びフィルタ濾材の近傍位置に配置された静電気除去器に
より静電気を除去する、請求項１に記載のフィルタ濾材
の製造方法。2. The method for manufacturing a filter medium according to claim 1, wherein in the second step, static electricity is removed by an electrostatic eliminator disposed near the filter component and the filter medium.
ロエチレンからなる多孔膜と、前記多孔膜の少なくとも
片面に熱ラミネートされる補強材とを含む、請求項１に
記載の製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the filter component includes a porous film made of polytetrafluoroethylene, and a reinforcing material thermally laminated on at least one surface of the porous film.
レンからなる多孔膜の少なくとも片面に補強材を熱ラミ
ネートして前記フィルタ濾材を作製する第３工程と、前
記フィルタ濾材を巻き取る第４工程とを含み、 前記第２工程は、前記第３及び第４工程の少なくとも１
つの工程と平行して行われる、請求項１から３のいずれ
かに記載のフィルタ濾材の製造方法。4. The first step is a third step of thermally laminating a reinforcing material on at least one surface of a porous film made of polytetrafluoroethylene to produce the filter medium, and the fourth step of winding the filter medium. Wherein the second step is at least one of the third and fourth steps.
The method for producing a filter medium according to claim 1, wherein the method is performed in parallel with the three steps.
行われる、請求項４に記載のフィルタ濾材の製造方法。5. The method according to claim 4, wherein the second step is performed in parallel with the fourth step.
る、請求項５に記載のフィルタ濾材の製造方法。6. The method according to claim 5, wherein said static eliminator is of a blower type.
４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上の粒
子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透過風
速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ
以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用い
られる、請求項１から６のいずれかに記載のフィルタ濾
材の製造方法。7. The filter medium has a filter medium transmitted air velocity of 1.
A pressure loss of 50 Pa when the collection efficiency of particles having a particle diameter of 0.3 μm or more in the case of 4 cm / sec is 99.97% or more and the wind velocity through the filter medium is 1.4 cm / sec.
The method for producing a filter medium according to any one of claims 1 to 6, which is used for an air filter unit having a pressure of not less than 500 Pa and not more than 500 Pa.
４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上の粒
子の捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾材透
過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０
Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに
用いられる、請求項１から６のいずれかに記載のフィル
タ濾材の製造方法。8. The filter medium has a filter medium transmission air velocity of 1.
In the case of 4 cm / sec, the collection efficiency of the particles having a particle diameter of 0.1 μm or more is 99.9999% or more, and the pressure loss in the case of the filter medium passing wind velocity of 1.4 cm / sec is 50.
The method for producing a filter medium according to any one of claims 1 to 6, which is used for an air filter unit having a pressure of Pa or more and 500 Pa or less.
法により製造されたフィルタ濾材を所定の形状に加工し
てフィルタパックを得る第５工程と、 前記フィルタ濾材及びフィルタパックに生じた静電気を
除去する第６工程と、を備えたフィルタパックの製造方
法。9. A fifth step of processing a filter medium produced by the production method according to claim 1 into a predetermined shape to obtain a filter pack; and forming a filter pack on the filter medium and the filter pack. And a sixth step of removing static electricity.
びフィルタパックの近傍位置に配置された静電気除去器
により静電気を除去する、請求項９に記載のフィルタパ
ックの製造方法。10. The method for manufacturing a filter pack according to claim 9, wherein in the sixth step, static electricity is removed by a static electricity remover arranged near the filter medium and the filter pack.
ルタ濾材を巻き出す第７工程と、前記フィルタ濾材をプ
リーツ加工する第８工程と、前記プリーツ加工されたフ
ィルタ濾材を展開する第９工程と、前記展開されたフィ
ルタ濾材にスペーサを塗布する第１０工程と、前記スペ
ーサが塗布されたフィルタ濾材を再度プリーツ加工する
第１１工程とを含み、 前記第６工程は、少なくとも前記第７から１１工程のい
ずれか１つの工程と平行して行われる、請求項９または
１０に記載のフィルタパックの製造方法。11. The fifth step includes unwinding the wound filter medium, a seventh step of pleating the filter medium, and a ninth step of unfolding the pleated filter medium. And a tenth step of applying a spacer to the developed filter medium, and an eleventh step of pleating the filter medium coated with the spacer again, wherein the sixth step is at least from the seventh step. The method for producing a filter pack according to claim 9, wherein the method is performed in parallel with any one of the 11 steps.
１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上
の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透
過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０
Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに
用いられる、請求項９から１１のいずれかに記載のフィ
ルタパックの製造方法。12. The filter pack according to claim 1, wherein the filter medium has a collection efficiency of 99.97% or more for particles having a particle diameter of 0.3 μm or more when the air flow velocity of the filter medium is 1.4 cm / sec. The pressure loss at 4 cm / sec is 50
The method for producing a filter pack according to any one of claims 9 to 11, which is used for an air filter unit having a pressure of Pa or more and 500 Pa or less.
１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上
の粒子の捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾
材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が
５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニッ
トに用いられる、請求項９から１１のいずれかに記載の
フィルタパックの製造方法。13. The filter medium has a collection efficiency of 99.9999% or more for particles having a particle diameter of 0.1 μm or more when the air flow velocity of the filter medium is 1.4 cm / sec. The method for producing a filter pack according to any one of claims 9 to 11, which is used for an air filter unit having a pressure loss of 50 Pa or more and 500 Pa or less at 4 cm / sec.
造方法により製造されたフィルタパックを所定の枠体内
に収納してエアフィルタユニットを得る第１２工程と、 前記フィルタパック及びエアフィルタユニットに生じた
静電気を除去する第１３工程と、を備えたエアフィルタ
ユニットの製造方法。14. A twelfth step in which a filter pack manufactured by the method according to claim 9 is housed in a predetermined frame to obtain an air filter unit; and the filter pack and the air filter unit. And a thirteenth step of removing static electricity generated in the air filter unit.
及びフィルタパックの近傍位置に配置された静電気除去
器により静電気を除去する、請求項１４に記載のエアフ
ィルタユニットの製造方法。15. The method of manufacturing an air filter unit according to claim 14, wherein in the thirteenth step, static electricity is removed by a static electricity remover arranged near the filter medium and the filter pack.
フィルタパックを梱包する１４工程と、前記梱包された
フィルタパックの梱包を解く１５工程と、前記取り出さ
れたフィルタパックを前記枠体に組み込む１６工程とを
含み、 前記第１２工程は、前記第１４，第１５及び第１６工程
と平行して行われる、請求項１４または１５に記載のエ
アフィルタユニットの製造方法。16. The twelfth step is a step of packing the filter pack after the seventh step, a step of unpacking the packed filter pack, and a step of unpacking the packed filter pack. The method of manufacturing an air filter unit according to claim 14, wherein the method further comprises: incorporating the 16th step into the step. 15. The twelfth step is performed in parallel with the fourteenth, fifteenth, and sixteenth steps.
風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μ
ｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ
濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失
が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニ
ットとして用いられる、請求項１４から１６のいずれか
に記載のエアフィルタユニットの製造方法。17. The air filter unit has a particle diameter of 0.3 μm when the air flow rate through the filter medium is 1.4 cm / sec.
17. The air filter unit according to claim 14, which is used as an air filter unit having a collection efficiency of 99.97% or more for particles having a particle size of m or more and a pressure loss of 50 Pa or more and 500 Pa or less when a wind velocity through a filter medium is 1.4 cm / sec. The method for manufacturing an air filter unit according to any one of the above.
風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μ
ｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９９９９％以上であり
かつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力
損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタ
ユニットとして用いられる、請求項１４から１６のいず
れかに記載のエアフィルタユニットの製造方法。18. The air filter unit has a particle diameter of 0.1 μm when the airflow through the filter medium is 1.4 cm / sec.
17. The air filter unit according to claim 14, which is used as an air filter unit having a collection efficiency of particles of m or more of 99.9999% or more and a pressure loss of 50 Pa or more and 500 Pa or less in a case where a filtration material permeation wind speed is 1.4 cm / sec. The method for manufacturing an air filter unit according to any one of the above.
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002346320A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013014826A1 (en) * | 2011-07-28 | 2013-01-31 | 日東電工株式会社 | Method for forming pleats in filtering member and device for forming pleats |
| JP2013056343A (en) * | 2004-05-18 | 2013-03-28 | Asahi Kasei Chemicals Corp | Gas separator, and method for operating the same |
| JP2014193431A (en) * | 2013-03-28 | 2014-10-09 | Nitto Denko Corp | Filter medium manufacturing device |
| JP2016026870A (en) * | 2015-09-14 | 2016-02-18 | 日東電工株式会社 | Pleating method of filter filtering material and pleating apparatus |
| CN108905638A (en) * | 2018-06-27 | 2018-11-30 | 中材科技股份有限公司 | A kind of preparation method of high performance membrane filtering material |
| JP2019209244A (en) * | 2018-06-01 | 2019-12-12 | ダイキン工業株式会社 | Method for manufacturing air filter medium, method for manufacturing air filter pack and method for manufacturing air filter unit |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1076148A (en) * | 1996-09-02 | 1998-03-24 | Nippon Muki Co Ltd | Processing method for filter material for air filter having polytetrafluoroethylene film |
| WO1998026860A1 (en) * | 1996-12-04 | 1998-06-25 | Daikin Industries, Ltd. | Filter medium and air filter unit using the same |
| JPH10211409A (en) * | 1997-01-28 | 1998-08-11 | Nippon Muki Co Ltd | Filter media for air filter and air filter |
| JP2000176262A (en) * | 1998-12-11 | 2000-06-27 | Daikin Ind Ltd | Porous material, filter material for air filter, air filter unit, and supporting material for filter material for air filter |
| JP2002273126A (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-24 | Nitto Denko Corp | Filter medium for air filter and method for manufacturing the same |
-
2001
- 2001-05-24 JP JP2001155285A patent/JP2002346320A/en active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1076148A (en) * | 1996-09-02 | 1998-03-24 | Nippon Muki Co Ltd | Processing method for filter material for air filter having polytetrafluoroethylene film |
| WO1998026860A1 (en) * | 1996-12-04 | 1998-06-25 | Daikin Industries, Ltd. | Filter medium and air filter unit using the same |
| JPH10211409A (en) * | 1997-01-28 | 1998-08-11 | Nippon Muki Co Ltd | Filter media for air filter and air filter |
| JP2000176262A (en) * | 1998-12-11 | 2000-06-27 | Daikin Ind Ltd | Porous material, filter material for air filter, air filter unit, and supporting material for filter material for air filter |
| JP2002273126A (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-24 | Nitto Denko Corp | Filter medium for air filter and method for manufacturing the same |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013056343A (en) * | 2004-05-18 | 2013-03-28 | Asahi Kasei Chemicals Corp | Gas separator, and method for operating the same |
| WO2013014826A1 (en) * | 2011-07-28 | 2013-01-31 | 日東電工株式会社 | Method for forming pleats in filtering member and device for forming pleats |
| JP2013028873A (en) * | 2011-07-28 | 2013-02-07 | Nitto Denko Corp | Pleating method of filter filtering material and pleating apparatus |
| CN103547351A (en) * | 2011-07-28 | 2014-01-29 | 日东电工株式会社 | Method for forming pleats in filtering member and device for forming pleats |
| TWI569951B (en) * | 2011-07-28 | 2017-02-11 | Nitto Denko Corp | Filter material of the filter processing and discount processing equipment |
| JP2014193431A (en) * | 2013-03-28 | 2014-10-09 | Nitto Denko Corp | Filter medium manufacturing device |
| TWI641415B (en) * | 2013-03-28 | 2018-11-21 | 日商日東電工股份有限公司 | Apparatus for manufacturing filter material |
| JP2016026870A (en) * | 2015-09-14 | 2016-02-18 | 日東電工株式会社 | Pleating method of filter filtering material and pleating apparatus |
| JP2019209244A (en) * | 2018-06-01 | 2019-12-12 | ダイキン工業株式会社 | Method for manufacturing air filter medium, method for manufacturing air filter pack and method for manufacturing air filter unit |
| JP7208464B2 (en) | 2018-06-01 | 2023-01-19 | ダイキン工業株式会社 | Air filter medium manufacturing method, air filter pack manufacturing method, and air filter unit manufacturing method |
| CN108905638A (en) * | 2018-06-27 | 2018-11-30 | 中材科技股份有限公司 | A kind of preparation method of high performance membrane filtering material |
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