JP2002324655A - Manufacturing method of heating plate having sheath heater - Google Patents
Manufacturing method of heating plate having sheath heaterInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、シースヒーターを
配設したヒータープレートの製造方法に係り、特に真空
容器（真空チャンバー）内で加熱して使用される高い絶
縁抵抗を有するシースヒーターを配設した半導体もしく
は液晶ディスプレー製造用ヒータープレートの製造方法
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a heater plate provided with a sheath heater, and more particularly, to a method of disposing a sheath heater having a high insulation resistance used by heating in a vacuum vessel (vacuum chamber). The present invention relates to a method for manufacturing a heater plate for manufacturing a semiconductor or liquid crystal display.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、アルミニウム等の金属部材を積層
し、内部にシースヒーターを設けたヒータープレート
は、図８に示すように、アルミニウム部材（５２）とア
ルミニウム部材（５３）の間に、口元（５５）を封口し
たシースヒーター（１）を組み付け、外周部（５４）を
ＴＩＧ溶接、ＭＩＧ溶接あるいはＥＢＷ溶接（電子ビー
ム溶接）を行って接合したものである。これは溶接時に
ピンホール、ガスの巻き込み等を生じ気密性に問題があ
ったので、このような問題を解決するために本発明者ら
は、積層する金属部材の接合面にシースヒーターを組み
付け、金属部材を熱間で鍛接を行うシースヒーターを配
設したヒータープレートの製造方法について提案を行っ
た。2. Description of the Related Art Conventionally, a heater plate in which a metal member such as aluminum is laminated and a sheath heater is provided therein is provided between an aluminum member (52) and an aluminum member (53) as shown in FIG. A sheath heater (1) in which (55) is sealed is assembled, and the outer peripheral portion (54) is joined by performing TIG welding, MIG welding or EBW welding (electron beam welding). This caused pinholes during welding and entrapment of gas, which caused a problem in airtightness.To solve such a problem, the present inventors assembled a sheath heater on the joint surface of the metal members to be laminated, A method for manufacturing a heater plate provided with a sheath heater for hot-forging a metal member was proposed.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】シースヒーターを配設
したヒータープレートは、真空容器（真空チャンバー）
内で半導体もしくは液晶ディスプレー等の基板の製造に
用いられるものであり、金属管の発熱線の囲りに高温絶
縁材を充填して、発熱線に通される電流を絶縁してヒー
タープレートに微弱な電流でも流れることがないように
する必要がある。本発明は、金属部材を熱間鍛接するヒ
ータープレートの製造方法において、シースヒーターが
高いレベルの絶縁抵抗を有するようにするヒータープレ
ートの製造方法を提供するものである。A heater plate provided with a sheath heater is a vacuum container (vacuum chamber).
It is used in the manufacture of substrates such as semiconductors or liquid crystal displays inside a tube. A high-temperature insulating material is filled around the heating wire of a metal tube to insulate the current passing through the heating wire and to weaken the heater plate. It is necessary to prevent the flow of even a large current. The present invention provides a method for manufacturing a heater plate for hot forging a metal member so that the sheath heater has a high level of insulation resistance.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の金属部
材を積層して熱間鍛圧を行う発熱線及び高温絶縁材を充
填したシースヒーターを配設したヒータープレートの製
造方法において、積層する金属部材の接合面に前記シー
スヒーターを組み付け、熱間鍛圧を行い、鍛圧されたシ
ースヒーターを配設したヒータープレートが冷却される
前に、前記シースヒーター発熱線端子の口元を封口する
工程を有することを特徴とする高い絶縁抵抗を有するシ
ースヒーターを配設したヒータープレートの製造方法で
ある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a heater plate in which a plurality of metal members are stacked and subjected to hot forging and a heating wire provided with a sheath heater filled with a high-temperature insulating material. Assembling the sheath heater on the joining surface of the metal member, performing hot forging, and closing a mouth of the sheath heater heating wire terminal before the heater plate provided with the forged sheath heater is cooled. A method for manufacturing a heater plate provided with a sheath heater having high insulation resistance.
【０００５】また、本発明の複数の金属部材を積層して
熱間鍛圧を行う発熱線及び高温絶縁材を充填した高い絶
縁抵抗を有するシースヒーターを配設したヒータープレ
ートの製造方法は、接合面に組み付ける発熱線と高温絶
縁材を充填したシースヒーターが、その発熱線端子の口
元を耐熱ガラスで封口されたものであり、鍛圧されたシ
ースヒーターを配設したヒータープレートが冷却される
前に、シースヒーター口元の前記耐熱ガラスを再溶融し
て封口することを特徴とするものである。また、本発明
の複数の金属部材を積層して熱間鍛圧を行う発熱線及び
高温絶縁材を充填した高い絶縁抵抗を有するシースヒー
ターを配設したヒータープレートの製造方法は、接合面
に組み付ける発熱線と高温絶縁材を充填したシースヒー
ターが、その発熱線端子の口元を解放して熱間鍛圧を行
い、鍛圧されたシースヒーターを配設したヒータープレ
ートが冷却される前に、ヒーターの発熱線端子の口元を
封口することを特徴とするものである。Further, the present invention provides a method of manufacturing a heater plate provided with a heating wire for performing hot forging by laminating a plurality of metal members and a sheath heater filled with a high-temperature insulating material and having a high insulation resistance. The heating wire and the sheath heater filled with high-temperature insulating material are sealed at the mouth of the heating wire terminal with heat-resistant glass, and before the heater plate provided with the forged sheath heater is cooled, The heat-resistant glass at the mouth of the sheath heater is re-melted and sealed. Further, the method of manufacturing a heater plate according to the present invention in which a heating wire for performing hot forging by laminating a plurality of metal members and a sheath heater having a high insulation resistance filled with a high-temperature insulating material is provided. The sheath heater filled with wire and high-temperature insulating material opens the mouth of the heating wire terminal to perform hot forging, and before the heater plate on which the forged sheath heater is disposed is cooled, the heating wire of the heater is heated. The mouth of the terminal is sealed.
【０００６】[0006]
【作用】本発明の複数の金属部材を積層して熱間鍛接を
行う発熱線及び高温絶縁材を充填したシースヒーターを
配設したヒータープレートの製造方法は、鍛圧されたシ
ースヒーターを配設したヒータープレートが冷却される
前に、シースヒーター発熱線端子の口元を封口する工程
を有することにより、シースヒーターの金属管内に負圧
が生じても大気を吸い込みむことがなく、大気中の水分
により絶縁材は吸湿することがなく、高いレベルの絶縁
抵抗を有する。このようにシースヒーターが高いレベル
の絶縁抵抗を有していることにより、発熱線の電流は絶
縁されてヒータープレートに微弱な電流も流れることが
なく、例えばヒータープレートに流れる微弱電流で真空
チャンバー内の成膜工程に影響を与えるというようなこ
とがないものである。According to the method of the present invention for producing a heater plate provided with a heating wire for performing hot forging by laminating a plurality of metal members and a sheath heater filled with a high-temperature insulating material, a forged sheath heater is provided. Before the heater plate is cooled, by having a step of sealing the mouth of the sheath heater heating wire terminal, even if a negative pressure is generated in the metal tube of the sheath heater, the atmosphere is not sucked in, and the moisture in the atmosphere causes The insulating material does not absorb moisture and has a high level of insulation resistance. Since the sheath heater has a high level of insulation resistance as described above, the current of the heating wire is insulated so that a weak current does not flow through the heater plate. It does not affect the film forming process.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】本発明の内部にシースヒーターを
配設したヒータープレートは、積層する金属部材の接合
面にシースヒーターを密着させてシースヒーターの発熱
をヒータープレートの金属部材に伝える。またシースヒ
ーターはヒータープレートを均一な温度に加熱するよう
にヒータープレートの内部に配設されているもので、例
えばシースヒーターを蛇行、渦巻き状等に配設してヒー
タープレートが均一な温度に加熱されるようにしてい
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A heater plate provided with a sheath heater inside the present invention transmits heat generated by the sheath heater to the metal member of the heater plate by bringing the sheath heater into close contact with the joining surface of the metal members to be laminated. The sheath heater is arranged inside the heater plate so as to heat the heater plate to a uniform temperature.For example, the sheath heater is arranged in a meandering or spiral shape to heat the heater plate to a uniform temperature. I am trying to be.
【０００８】また、シースヒーターは、金属管例えばス
テンレス鋼例えばＳＵＳ３０４、ニッケル合金例えばイ
ンコロイ、チタンの金属管の中に発熱線例えばニクロム
線を設け、その周囲に高温絶縁材例えばマグネシア（Ｍ
ｇＯ）を充填しているもので、発熱線に通される電流を
絶縁してヒータープレートに微弱な電流でも流れること
がないようにしている。The sheath heater is provided with a heating wire such as a nichrome wire in a metal tube such as stainless steel such as SUS304 or a nickel alloy such as Incoloy or titanium, and a high-temperature insulating material such as magnesia (Mg) around the tube.
gO) to insulate the current passed through the heating wire so that even a weak current does not flow through the heater plate.
【０００９】本発明により製造された高い絶縁抵抗を有
するシースヒーターを配設したヒータープレートは、半
導体、液晶の製造装置の真空容器（真空チャンバー）内
でヒータープレートとして用いられるものである。図７
にシースヒーターを配設したヒータープレートの使用例
を示す。図７は化学的気相成長（ＣＶＤ）処理装置であ
り、真空チャンバー（３１）内にシースヒーター（１）
を配設したヒータープレート（１０）が支持部材（３
４）により設けられている。ヒータープレート（１０）
には基板（３０）が載置される。また真空チャンバー
（３１）内には、ＣＶＤ処理のためのガス供給部（３
２）が設けられており、供給口（３３）よりガスを供給
して化学的気相成長により基板（３０）に膜を形成させ
るものである。The heater plate provided with the sheath heater having high insulation resistance manufactured according to the present invention is used as a heater plate in a vacuum vessel (vacuum chamber) of a semiconductor and liquid crystal manufacturing apparatus. FIG.
Shows a usage example of a heater plate provided with a sheath heater. FIG. 7 shows a chemical vapor deposition (CVD) processing apparatus in which a sheath heater (1) is placed in a vacuum chamber (31).
The heater plate (10) provided with the support member (3)
4). Heater plate (10)
A substrate (30) is placed on the substrate. In the vacuum chamber (31), a gas supply unit (3
2) is provided, and a gas is supplied from a supply port (33) to form a film on the substrate (30) by chemical vapor deposition.
【００１０】ヒータープレート（１０）は、ヒーター端
子（２）から発熱線に通電され、シースヒーター（１）
は成膜時の温度領域（２５０〜５００℃）に加熱される
ものである。この発熱線に流される電流は、高い絶縁抵
抗を有する絶縁材で絶縁されているので、ヒータープレ
ート（１０）には微弱な電流さえも流れることがなく、
真空チャンバー（３１）内の成膜工程が不安定になるよ
うなことはないものである。The heater plate (10) is energized from the heater terminal (2) to the heating wire, and the sheath heater (1)
Is heated to a temperature range (250 to 500 ° C.) during film formation. Since the current flowing through the heating wire is insulated by an insulating material having a high insulation resistance, even a weak current does not flow through the heater plate (10).
The film forming process in the vacuum chamber (31) does not become unstable.
【００１１】本発明の内部にシースヒーターを配設した
ヒータープレートの製造において、積層する金属部材の
接合面のそれぞれに環状凹部と環状凸部を設けることが
好ましい。金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部は、
内部に配設されるシースヒーターを囲むように全周に、
そして対向する接合面の対向位置に設ける。すなわち一
方の金属部材の接合面には環状凹部を設け、もう一方の
金属部材の接合面には環状凸部を設けるもので、環状凹
部と環状凸部は、例えば機械加工により成形する。また
環状凹部と環状凸部の断面形状は、矩形に限るものでは
なく、鍛圧圧縮により凹部に凸部が充満して締結部を形
成するものであればよい。また接合する金属部材の接合
面の対向位置に設けられている環状凹部と環状凸部を２
重または３重のように多重に設け、環状凹部と環状凸部
による締結部のよりより高度な密閉度にすることができ
る。In the manufacture of a heater plate in which a sheath heater is provided inside the present invention, it is preferable to provide an annular concave portion and an annular convex portion on each of the joining surfaces of the metal members to be laminated. The annular concave portion and the annular convex portion of the joining surface of the metal member are
Around the entire circumference so as to surround the sheath heater arranged inside,
And it is provided in the opposing position of the opposing joining surface. That is, an annular concave portion is provided on the joining surface of one metal member, and an annular convex portion is provided on the joining surface of the other metal member. The annular concave portion and the annular convex portion are formed by, for example, machining. Further, the cross-sectional shapes of the annular concave portion and the annular convex portion are not limited to rectangles, but may be any as long as the concave portion is filled with the convex portion by forging compression to form a fastening portion. Further, the annular concave portion and the annular convex portion provided at positions facing the joining surface of the metal member to be joined are two
It is possible to provide a higher degree of sealing of the fastening portion by the annular concave portion and the annular convex portion by providing multiple such as double or triple.
【００１２】また、本発明の内部にシースヒーターを配
設したヒータープレートの製造において接合する金属部
材の鍛圧を行う際、その前処理として表面を洗浄するこ
とが望ましい。例えばアルミニウム又はアルミニウム合
金部材の場合は、硝酸で表面の油とり、水洗、苛
性処理（アルカリ溶液によるエッチング）、水洗、
硝酸での洗浄、水洗、湯洗等の適宜の工程を組み合
わせて表面を洗浄するものである。積層する金属部材と
しては、例えばアルミニウムまたはアルミニウム合金が
用いられる。積層する金属部材は、同一材料であると接
合面の平面接触部は金属接合し易い。異種の材料であっ
ても鍛圧圧縮時の変形により部材同志が圧着し平面接触
部は物理的に金属接合するものである。In the present invention, when forging a metal member to be joined in the production of a heater plate having a sheath heater provided therein, it is desirable to clean the surface as a pretreatment. For example, in the case of an aluminum or aluminum alloy member, the surface is oiled with nitric acid, washed with water, caustic treatment (etching with an alkaline solution), washed with water,
The surface is washed by combining appropriate steps such as washing with nitric acid, washing with water, washing with hot water and the like. As the metal member to be laminated, for example, aluminum or an aluminum alloy is used. If the metal members to be laminated are made of the same material, the planar contact portion of the joint surface is easily metal-joined. Even when different materials are used, the members are pressed against each other due to deformation at the time of forging compression, and the plane contact portions are physically bonded to each other.
【００１３】[0013]
【実施例１】本発明の実施例１について、図１〜図５を
参照して説明する。図１は積層する金属部材の熱間鍛接
を示す断面図、図２は熱間鍛接時のシースヒーターの口
元の状況を示す図、図３及び図４はシースヒーターの口
元を封じる工程を示す図、図５は積層する金属部材とシ
ースヒーターを示す斜視図である。図５に示すように、
シースヒーターを配設したヒータープレートは、アルミ
ニウム部材（１１）、シースヒーター（１）、アルミニ
ウム部材（１２）で構成される。アルミニウム部材（１
２）の接合面（２１）にシースヒーター（１）を組み付
ける溝（２３）が形成されている。溝（２３）の端部に
は穴（２７）が形成されている。アルミニウム部材（１
１）の接合面（２５）にはシースヒーター（１）を組み
付ける溝（２６）が形成されている。シースヒーター
（１）を組み付けるアルミニウム部材（１２）の溝（２
３）及びアルミニウム部材（１１）の（２６）は、シー
スヒーター（１）が密着するように形成される。シース
ヒーター（１）は蛇行状に曲げ加工され、その端部の口
元はアルミニウム部材（１２）の穴（２７）から引き出
される。また、アルミニウム部材（１２）の接合面（２
１）には環状凸部（２２）、アルミニウム部材（１１）
の接合面（２５）には環状凹部（２４）が対向位置に設
けられている。Embodiment 1 Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 is a cross-sectional view showing hot forging of metal members to be laminated, FIG. 2 is a view showing a state of a mouth of a sheath heater at the time of hot forging, and FIGS. 3 and 4 are views showing a step of sealing the mouth of a sheath heater. FIG. 5 is a perspective view showing a metal member and a sheath heater to be laminated. As shown in FIG.
The heater plate provided with the sheath heater includes an aluminum member (11), a sheath heater (1), and an aluminum member (12). Aluminum member (1
A groove (23) for assembling the sheath heater (1) is formed in the joint surface (21) of (2). A hole (27) is formed at the end of the groove (23). Aluminum member (1
A groove (26) for assembling the sheath heater (1) is formed on the joint surface (25) of (1). The groove (2) of the aluminum member (12) for assembling the sheath heater (1)
3) and (26) of the aluminum member (11) are formed such that the sheath heater (1) is in close contact therewith. The sheath heater (1) is bent in a meandering shape, and the end of the end is pulled out from the hole (27) of the aluminum member (12). Also, the joining surface (2) of the aluminum member (12)
1) has an annular convex portion (22) and an aluminum member (11)
An annular concave portion (24) is provided on the joining surface (25) at an opposing position.
【００１４】図５に示したアルミニウム部材（１１）、
シースヒーター（１）、アルミニウム部材（１２）を、
図１に示すように、アルミニウム部材（１２）の接合面
（２１）の溝（２３）とアルミニウム部材（１１）の接
合面（２５）の溝（２６）にシースヒーター（１）を取
り付け、熱間で鍛圧を行い、アルミニウム部材（１１）
とアルミニウム部材（１２）を接合させ、シースヒータ
ー（１）をアルミニウム部材（１１）の溝（２６）及び
アルミニウム部材（１２）の溝（２３）に密着させる。
またアルミニウム部材（１２）の環状凸部（２２）とア
ルミニウム部材（１１）の環状凹凸部（２４）は締結部
を形成する。The aluminum member (11) shown in FIG.
Sheath heater (1), aluminum member (12)
As shown in FIG. 1, the sheath heater (1) is attached to the groove (23) of the joint surface (21) of the aluminum member (12) and the groove (26) of the joint surface (25) of the aluminum member (11). Forging pressure between the aluminum members (11)
And the aluminum member (12), and the sheath heater (1) is brought into close contact with the groove (26) of the aluminum member (11) and the groove (23) of the aluminum member (12).
The annular convex portion (22) of the aluminum member (12) and the annular concave and convex portion (24) of the aluminum member (11) form a fastening portion.
【００１５】シースヒーター（１）は、図１に一部その
断面を示すように、金属管（５）に発熱線のニクロム線
（４）と、その周囲に高温絶縁材のマグネシア（３）が
充填されているもので、端部には端子（２）が接続さ
れ、口元は鉛ガラス（６）を溶融して封口しているもの
である。図２（ａ）（ｂ）は、シースヒーター（１）の
端部を拡大して示したもので、アルミニウム部材（１
１）と（１２）を接合させ、シースヒーター（１）を密
着させる工程で、４００℃ような高温の鍛圧温度に加熱
されると、金属管（５）と鉛ガラス（６）また端子
（２）との線膨脹の差により鉛ガラス（６）に割れ
（７）が生ずる。鉛ガラス（６）に割れ（７）が生じて
も、熱間鍛圧が行われるような高温では、割れ（７）か
ら大気が入り込むことはなく、絶縁材のマグネシア
（３）の吸湿は起こらない。The sheath heater (1) has a metal tube (5) with a nichrome wire (4) as a heating wire and a magnesia (3) as a high-temperature insulating material around the metal tube (5), as shown partially in FIG. The terminal (2) is connected to the end, and the lead glass (6) is melted and sealed at the mouth. FIGS. 2A and 2B are enlarged views of an end of the sheath heater (1).
1) and (12) are joined together and the sheath heater (1) is brought into close contact with the metal tube (5) and the lead glass (6) and the terminal (2) when heated to a high forging pressure temperature such as 400 ° C. The lead glass (6) is cracked (7) due to the difference in linear expansion between the lead glass (6). Even if a crack (7) occurs in the lead glass (6), at a high temperature at which hot forging is performed, the air does not enter from the crack (7) and moisture absorption of the insulating material magnesia (3) does not occur. .
【００１６】ヒータープレートの熱間の鍛接作業が完了
し、鍛圧されたシースヒーターを配設したヒータープレ
ートが冷却すると、シースヒーター（１）の金属管
（５）内に負圧が生じる。金属管（５）内が負圧になる
と、鉛ガラス（６）の割れ（７）から矢印Ａのように大
気を吸い込むことになり、吸い込んだ大気中の水分によ
り絶縁材のマグネシア（３）は吸湿することになる。When the hot forging operation of the heater plate is completed and the heater plate provided with the forged sheath heater is cooled, a negative pressure is generated in the metal tube (5) of the sheath heater (1). When the inside of the metal tube (5) becomes negative pressure, the air is sucked from the crack (7) of the lead glass (6) as shown by an arrow A, and the magnesia (3) of the insulating material is dissipated by the sucked air moisture. It will absorb moisture.
【００１７】そこで、図３（ａ）に示すように、熱間の
鍛圧作業が完了し、鍛圧されたアルミニウム部材（１
１）、シースヒーター（１）、アルミニウム部材（１
２）からなるヒータープレートが冷却される前（ヒータ
ープレートの全体が冷却されて金属管（５）内に負圧が
生じる前）に、シースヒーター（１）の口元をペンシル
トーチ（１５）で加熱し、鉛ガラス（６）を再溶融させ
る。図３（ｂ）に拡大して示すように、シースヒーター
の口元をペンシルトーチ（１５）で加熱して鉛ガラス
（６）を再溶融させることにより、金属管（５）と端子
（２）の間の鉛ガラス（６）は割れのない状態になり口
元は封口される。熱間の鍛接作業が完了し、鍛圧された
アルミニウム部材（１１）、シースヒーター（１）、ア
ルミニウム部材（１２）の全体が冷却されると、シース
ヒーター（１）の金属管（５）内は負圧になるが、シー
スヒーター（１）の発熱線端子（２）の口元は封口され
ているので、大気を吸い込むことがなく、マグネシア
（３）は吸湿して絶縁抵抗が低下することがなく、高い
絶縁抵抗を有しているものである。Then, as shown in FIG. 3A, the hot forging operation is completed, and the forged aluminum member (1) is pressed.
1), sheath heater (1), aluminum member (1)
Before the heater plate composed of 2) is cooled (before the entire heater plate is cooled and a negative pressure is generated in the metal tube (5)), the mouth of the sheath heater (1) is heated with the pencil torch (15). Then, the lead glass (6) is re-melted. As shown in an enlarged view in FIG. 3 (b), the mouth of the sheath heater is heated with a pencil torch (15) to re-melt the lead glass (6), whereby the metal tube (5) and the terminal (2) are connected. The lead glass (6) in between is in a state without cracks and the mouth is sealed. When the hot forging operation is completed and the entire forged aluminum member (11), sheath heater (1), and aluminum member (12) are cooled, the inside of the metal tube (5) of the sheath heater (1) is cooled. Although the pressure becomes negative, the mouth of the heating wire terminal (2) of the sheath heater (1) is sealed, so that the air is not sucked in, and the magnesia (3) absorbs moisture and the insulation resistance does not decrease. Have high insulation resistance.
【００１８】このように、マグネシア（３）が高い絶縁
抵抗を有しているシースヒーター（１）を配設したヒー
タープレートは、加熱のためにニクロム線（４）に通電
しても周囲の高い絶縁抵抗を有するマグネシア（３）に
より絶縁されているので、ヒータープレートには微弱な
電流さえも流れることがないものであり、化学的気相成
長（ＣＶＤ）処理装置のヒータープレートとして用いた
場合、真空チャンバー内でのプラズマ発生状態に影響を
与えないものである。As described above, the heater plate provided with the sheath heater (1) in which the magnesia (3) has a high insulation resistance has a high surrounding area even when the nichrome wire (4) is energized for heating. Since it is insulated by magnesia (3) having insulation resistance, even a weak current does not flow through the heater plate. When used as a heater plate in a chemical vapor deposition (CVD) processing apparatus, It does not affect the plasma generation state in the vacuum chamber.
【００１９】シースヒーターの口元の鉛ガラス（６）を
再溶融させて割れのない状態に封口した後、図４（ａ）
に示すように鉛ガラス（６）に樹脂（８）での密封、あ
るいは図４（ｂ）に示すように鉛ガラス（６）に樹脂
（８）で密封し、さらに絶縁碍子（９）を設けてもよ
い。また、鍛圧されたアルミニウム部材（１１）、シー
スヒーター（１）、アルミニウム部材（１２）からなる
ヒータープレートは、アルミニウム部材（１２）の環状
凸部（２２）とアルミニウム部材（１１）の環状凹凸部
（２４）により締結部を形成して高度に密閉されてお
り、真空チャンバー内で高真空の状態におかれても、内
部のシースヒーター（１）の部分からの漏れが生じない
ものである。After remelting the lead glass (6) at the mouth of the sheath heater and sealing the lead glass without cracks, FIG.
As shown in FIG. 4, the lead glass (6) is sealed with a resin (8), or as shown in FIG. 4B, the lead glass (6) is sealed with a resin (8), and further an insulator (9) is provided. You may. Further, the heater plate including the forged aluminum member (11), the sheath heater (1), and the aluminum member (12) is provided with an annular protrusion (22) of the aluminum member (12) and an annular uneven portion of the aluminum member (11). (24) The fastening portion is formed to be highly sealed by forming a fastening portion, and even if the vacuum chamber is placed in a high vacuum state, leakage from the inner sheath heater (1) does not occur.
【００２０】[0020]
【実施例２】本発明の実施例２について、図６を参照し
て説明する。実施例２はシースヒーターの発熱線端子の
口元を解放して熱間鍛圧を行い、鍛圧されたシースヒー
ターを配設したヒータープレートが冷却される前にヒー
ターの発熱線端子の口元を封口するものである。図６は
シースヒーターの口元を封じる工程を示す図で、上記実
施例１の図１及び図５で説明したアルミニウム部材（１
２）の接合面（２１）の溝（２３）と、アルミニウム部
材（１１）の接合面（２５）の溝（２６）に、シースヒ
ーター（１）を取り付け、熱間で鍛圧を行い、アルミニ
ウム部材（１１）とアルミニウム部材（１２）を接合さ
せ、シースヒーター（１）をアルミニウム部材（１１）
の溝（２６）及びアルミニウム部材（１２）の溝（２
３）に密着させる場合のシースヒーターの発熱線端子の
口元を拡大して示したものである。Embodiment 2 Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG. In the second embodiment, the mouth of the heating wire terminal of the sheath heater is released and hot forging is performed, and the mouth of the heating wire terminal of the heater is sealed before the heater plate provided with the forged sheath heater is cooled. It is. FIG. 6 is a view showing a step of sealing the mouth of the sheath heater. The aluminum member (1) described in the first embodiment with reference to FIGS.
A sheath heater (1) is attached to the groove (23) of the joining surface (21) of (2) and the groove (26) of the joining surface (25) of the aluminum member (11), and hot forging is performed by hot forging. (11) and the aluminum member (12) are joined, and the sheath heater (1) is replaced with the aluminum member (11).
Groove (26) and aluminum member (12) groove (2).
FIG. 3 is an enlarged view of the mouth of a heating wire terminal of a sheath heater in the case of closely adhering to 3).
【００２１】図６（ａ）に示すように、シースヒーター
は、金属管（５）に発熱線のニクロム線（４）と、その
周囲に高温絶縁材のマグネシア（３）が充填されている
もので、端部には端子（２）が接続され、口元は解放さ
れている。アルミニウム部材（１１）と（１２）を接合
させ、シースヒーター（１）を密着させ４００℃ような
高温で鍛圧がれる行われる。熱間鍛圧が行われるような
高温では、解放された口元から大気が入り込むことはな
く、絶縁材のマグネシア（３）の吸湿は起こらない。As shown in FIG. 6 (a), the sheath heater has a metal tube (5) filled with a nichrome wire (4) as a heating wire and a magnesia (3) as a high-temperature insulating material around the wire. The terminal (2) is connected to the end, and the mouth is open. The aluminum members (11) and (12) are joined, the sheath heater (1) is brought into close contact, and forging is performed at a high temperature such as 400 ° C. At a high temperature at which hot forging is performed, the air does not enter from the opened mouth, and the insulating material magnesia (3) does not absorb moisture.
【００２２】図６（ｂ）に示すように、熱間の鍛圧作業
が完了し、鍛圧されたアルミニウム部材とシースヒータ
ーからなるヒータープレートが冷却されて、ヒータープ
レートの全体が冷却されて金属管（５）内に負圧が生じ
る前に、シースヒーターの金属管（５）の口元を樹脂
（１８）で仮止する。次いで湿度を管理した空間もしく
はヒータープレートを加熱した状態で仮止の樹脂（１
８）を削除して図６（ｃ）に示すように、金属管（５）
の口元を鉛ガラス（１９）で正式にり封口する。熱間の
鍛接作業が完了し、鍛圧されたアルミニウム部材及びシ
ースヒーターの全体が冷却されると、シースヒーターの
金属管（５）内は負圧になるが、シースヒーター（１）
の発熱線端子（２）の口元を樹脂（１８）で仮止してい
るので、大気を吸い込むことがなく、マグネシア（３）
は吸湿して絶縁抵抗が低下することがなく、高い絶縁抵
抗を有しているものである。As shown in FIG. 6 (b), the hot forging operation is completed, the forged aluminum member and the heater plate comprising the sheath heater are cooled, and the entire heater plate is cooled to form a metal pipe ( Before the negative pressure is generated in 5), the mouth of the metal tube (5) of the sheath heater is temporarily fixed with the resin (18). Then, the resin (1) temporarily fixed in a space where the humidity was controlled or the heater plate was heated.
8) to remove the metal pipe (5) as shown in FIG.
Is officially sealed with lead glass (19). When the hot forging operation is completed and the forged aluminum member and the sheath heater as a whole are cooled, the inside of the metal tube (5) of the sheath heater becomes negative pressure, but the sheath heater (1)
Since the mouth of the heating wire terminal (2) is temporarily fixed with the resin (18), the air is not sucked into the magnesia (3).
Has a high insulation resistance without a decrease in insulation resistance due to moisture absorption.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
シースヒーターを配設したヒータープレートが鍛圧され
冷却される前に、シースヒーター発熱線端子の口元を封
口することにより、シースヒーターの絶縁材が吸湿して
絶縁抵抗が低下することがなく高いレベルの絶縁抵抗を
有しているヒータープレートを製造することができると
いう効果を有するものである。As described above, according to the present invention,
Before the heater plate on which the sheath heater is installed is forged and cooled, the mouth of the sheath heater heating wire terminal is sealed, so that the insulation material of the sheath heater absorbs moisture and the insulation resistance does not decrease. This has the effect that a heater plate having insulation resistance can be manufactured.
【図１】 本発明の実施例１を説明する図FIG. 1 illustrates a first embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施例１を説明する図FIG. 2 illustrates a first embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の実施例１を説明する図FIG. 3 illustrates a first embodiment of the present invention.
【図４】 本発明の実施例１を説明する図FIG. 4 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention.
【図５】 本発明の実施例１を説明する図FIG. 5 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention.
【図６】 本発明の実施例２を説明する図FIG. 6 is a diagram illustrating a second embodiment of the present invention.
【図７】 本発明の実施の形態を示す図FIG. 7 is a diagram showing an embodiment of the present invention.
【図８】 従来技術を示す図FIG. 8 is a diagram showing a conventional technique.
１ シースヒーター ２ 端子 ３ 絶縁材 ４ 発熱線 ５ 金属管 ６ 鉛ガラス １１，１２ アルミニウム部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sheath heater 2 Terminal 3 Insulation material 4 Heating wire 5 Metal tube 6 Lead glass 11,12 Aluminum member
Claims (3)
う発熱線及び高温絶縁材を充填したシースヒーターを配
設したヒータープレートの製造方法において、積層する
金属部材の接合面に前記シースヒーターを組み付け、熱
間鍛圧を行い、鍛圧されたシースヒーターを配設したヒ
ータープレートが冷却される前に、前記シースヒーター
発熱線端子の口元を封口する工程を有することを特徴と
する高い絶縁抵抗を有するシースヒーターを配設したヒ
ータープレートの製造方法。1. A method of manufacturing a heater plate, comprising: a heating wire for laminating a plurality of metal members to perform hot forging and a sheath heater filled with a high-temperature insulating material; Assembling the heater, performing hot forging, and before closing the heater plate provided with the forged sheath heater, sealing the mouth of the sheath heater heating wire terminal, characterized by having a high insulation resistance A method for manufacturing a heater plate provided with a sheath heater having the following.
を充填したシースヒーターが、その発熱線端子の口元を
耐熱ガラスで封口されたものであり、鍛圧されたシース
ヒーターを配設したヒータープレートが冷却される前
に、シースヒーター口元の前記耐熱ガラスを再溶融して
封口することを特徴とする請求項１に記載の高い絶縁抵
抗を有するシースヒーターを配設したヒータープレート
の製造方法。2. A heater plate in which a sheath heater filled with a heating wire and a high-temperature insulating material to be assembled on a joint surface is formed by sealing a mouth of a heating wire terminal with heat-resistant glass, and provided with a forged sheath heater. 2. The method for manufacturing a heater plate provided with a sheath heater having a high insulation resistance according to claim 1, wherein the heat-resistant glass at the mouth of the sheath heater is re-melted and sealed before the sheath is cooled.
を充填したシースヒーターが、その発熱線端子の口元を
解放して熱間鍛圧を行い、鍛圧されたシースヒーターを
配設したヒータープレートが冷却される前に、ヒーター
の発熱線端子の口元を封口することを特徴とする請求項
１に記載の高い絶縁抵抗を有するシースヒーターを配設
したヒータープレートの製造方法。3. A heating plate, on which a heating wire and a high-temperature insulating material filled on a joint surface are filled, and the heating wire terminal is opened to perform hot forging by opening a mouth of the heating wire terminal. 2. The method for manufacturing a heater plate provided with a sheath heater having high insulation resistance according to claim 1, wherein a mouth of a heating wire terminal of the heater is sealed before cooling.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001127203A JP2002324655A (en) | 2001-04-25 | 2001-04-25 | Manufacturing method of heating plate having sheath heater |
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|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP2002324655A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005020636A1 (en) * | 2003-08-26 | 2005-03-03 | Tanico Corporation | Plate-type solid oil-melting heater |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000243542A (en) * | 1999-02-24 | 2000-09-08 | Nhk Spring Co Ltd | Heater unit and manufacture thereof |
-
2001
- 2001-04-25 JP JP2001127203A patent/JP2002324655A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000243542A (en) * | 1999-02-24 | 2000-09-08 | Nhk Spring Co Ltd | Heater unit and manufacture thereof |
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