JP2002321364A - Ink jet recording head and ink jet printer - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet recording head capable of ejecting ink obliquely without boring a nozzle obliquely, and an ink jet printer using the same. SOLUTION: In the thermal ink jet recording head, when the diameter of an ink inflow part of the nozzle is represented by D, the actual nozzle length is represented by h, and the shortest distance from a heater to the ink inflow part of the nozzle is represented by H, the relationship h/D<=0.53, H<=14 μm is satisfied, and the center of the nozzle opening and the gravity center of a heater heated face are offset, and/or the heater has a difference in heating efficiency of ink at an end part in one direction of the heated face to solve the problem.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、各種のプリンタに
利用されるインクジェット記録ヘッドの技術分野に属
し、詳しくは、生産性や加工性を低下することなく、イ
ンクを吐出面に対して斜め方向に吐出することを実現し
たインクジェット記録ヘッド、および、このインクジェ
ット記録ヘッドを利用するインクジェットプリンタに関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention belongs to the technical field of an ink jet recording head used for various printers, and more particularly, to a method in which ink is inclined obliquely to a discharge surface without lowering productivity or workability. TECHNICAL FIELD The present invention relates to an ink jet recording head realizing ejection to an ink jet recording head, and an ink jet printer using the ink jet recording head.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ヒータによる加熱でインクの一部を急速
に気化させ、その膨張力等によってインク液滴をノズル
から吐出させる、サーマルインクジェットが各種のプリ
ンタに利用されている（特開昭４８−９６２２号公報、
同５４−５１８３７号等の各公報参照）。2. Description of the Related Art Thermal ink jets, in which a portion of ink is rapidly vaporized by heating by a heater and ink droplets are ejected from nozzles by the expansion force or the like, are used in various printers (Japanese Patent Laid-Open No. 48-48). No. 9622,
No. 54-51837, etc.).

【０００３】このようなサーマルインクジェット（以
下、インクジェットとする）においては、インク（イン
ク液滴）を吐出するノズルは、通常、オリフィスプレー
トやノズルプレートと呼ばれる板材に穿孔され、インク
は、インクの吐出面（プレート面）に対して、直交する
方向にノズルから吐出される。一方で、様々な効果を期
待して、インクを吐出面に対して斜めに吐出（以下、
「斜め吐出」等と称する）することも考えられている。In such a thermal ink jet (hereinafter, referred to as an ink jet), a nozzle for discharging ink (ink droplets) is usually bored in a plate material called an orifice plate or a nozzle plate, and the ink is discharged from the ink. It is discharged from the nozzle in a direction orthogonal to the surface (plate surface). On the other hand, in expectation of various effects, ink is ejected obliquely to the ejection surface
(Referred to as "oblique ejection").

【０００４】例えば、受像紙の一辺を超えるノズルの配
列を有するラインヘッドを、安価かつ高い歩留りで製造
できる記録ヘッドとして、小型の記録ヘッド（以下、短
尺ヘッドとする）を複数、ノズル配列方向に並べて長尺
化したインクジェット記録ヘッド（以下、記録ヘッドと
する）が知られている。このような短尺ヘッドを並べて
なる記録ヘッドにおいても、高画質な画像記録を行うた
めには、ノズル配列の全域にわたって、均一かつ適正な
ノズルピッチを実現する必要が有る。しかしながら、最
端部のノズルと短尺ヘッドのノズル配列方向の端部との
間隔は、通常は、ノズルピッチより広い。従って、単純
に端部を突き合わせて短尺ヘッドを並べたのでは、各短
尺ヘッドの接合部において、ノズルピッチが広くなって
しまう。For example, as a recording head capable of manufacturing a line head having an arrangement of nozzles exceeding one side of an image receiving paper at a low cost and with a high yield, a plurality of small recording heads (hereinafter, referred to as short heads) are arranged in the nozzle arrangement direction. 2. Description of the Related Art An ink jet recording head (hereinafter, referred to as a recording head) which is arranged and elongated is known. Even in such a recording head in which short heads are arranged, it is necessary to realize a uniform and appropriate nozzle pitch over the entire area of the nozzle array in order to perform high-quality image recording. However, the distance between the end nozzle and the end of the short head in the nozzle arrangement direction is generally wider than the nozzle pitch. Therefore, simply arranging the short heads by abutting the end portions results in an increase in the nozzle pitch at the joint of the short heads.

【０００５】このような問題点を解決する方法として、
特開平７−１７１９５６号公報には、複数の短尺ヘッド
を配列して長尺化した記録ヘッドにおいて、各短尺ヘッ
ドのノズルを、吐出面に対してノズル配列方向に５°〜
１０°傾けて形成し、インクを斜めに吐出する記録ヘッ
ドが開示されている。この記録ヘッドによれば、インク
を斜めに吐出することにより、短尺ヘッドの接合部にお
けるノズルピッチの誤差を、インク着弾位置（受像紙
上）において補正することができ、すなわち、記録ヘッ
ドのノズル配列方向の全域に渡って、所定の記録密度の
画像記録を行うことができる。As a method for solving such a problem,
Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-171956 discloses that, in a print head in which a plurality of short heads are arranged and elongated, the nozzles of each short head are arranged at 5 ° to the ejection surface in the nozzle arrangement direction.
A recording head that is formed at an angle of 10 ° and ejects ink obliquely is disclosed. According to this recording head, by ejecting the ink obliquely, an error in the nozzle pitch at the joint of the short head can be corrected at the ink landing position (on the image receiving paper), ie, in the nozzle arrangement direction of the recording head. Image recording at a predetermined recording density can be performed over the entire area.

【０００６】また、インクジェットプリンタにおけるト
ラブルとして、記録ヘッドのノズルの詰まりや、ノズル
周辺の汚れに起因する画質低下が知られている。このト
ラブルが発生する一因として、ノズルから吐出されて受
像紙に着弾したインクの一部が、受像紙に跳ね返されて
しまい、ノズルの周辺に付着し、乾燥してしまうことが
挙げられる。このような不都合を防止するために、ノズ
ル配列と直交する方向に向かって、インクを斜めに吐出
することにより、受像紙で跳ね返されたインクをノズル
から離れる方向に向かわせ、ノズル周辺の汚染を防止す
る方法が知られている。[0006] Further, as a trouble in the ink jet printer, it is known that the image quality is deteriorated due to clogging of nozzles of the recording head and dirt around the nozzles. One cause of this trouble is that part of the ink ejected from the nozzles and landed on the image receiving paper is repelled by the image receiving paper, adheres around the nozzles, and dries. In order to prevent such inconvenience, ink is ejected obliquely in a direction orthogonal to the nozzle arrangement, so that the ink repelled by the image receiving paper is directed in a direction away from the nozzles, and contamination around the nozzles is reduced. Methods to prevent this are known.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】このように、インクジ
ェットにおいてインクを斜めに吐出することは、様々な
メリットがある。その反面、記録ヘッドの生産性等の点
では、通常の記録ヘッドよりも不利である。As described above, the oblique ejection of the ink in the ink jet has various advantages. On the other hand, it is disadvantageous from the viewpoint of productivity of the recording head and the like as compared with the ordinary recording head.

【０００８】前述の特開平７−１７１９５６号公報にも
開示されるように、インクジェットの記録ヘッドで、イ
ンクを斜めに吐出する際には、通常、前述のオリフィス
プレート等にノズルを斜め（プレート面に対して斜め）
に穿孔する必要がある。このような斜め方向にノズルを
穿孔する加工は、プレート面に対して直交する穿孔に比
して、非常に手間のかかる作業で、記録ヘッドの生産
性、生産コスト、得率等の点で不利である。特に、特開
平７−１７１９５６号公報に開示される記録ヘッドで
は、３つ以上の短尺ヘッドを用いる場合には、中央は垂
直で、端部に行くにしたがって大きく角度をつけたノズ
ルを穿孔する必要があるが、１枚のプレートに、このよ
うな角度の異なるノズルを穿孔する作業は、非常に手間
の係る作業で、生産性等を大幅に低下してしまう。As disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-171956, when ink is ejected obliquely by an ink jet recording head, nozzles are usually obliquely attached to the above-mentioned orifice plate (plate surface). Oblique to
Need to be perforated. Such a process of drilling a nozzle in an oblique direction is a very laborious operation compared with a drilling that is perpendicular to the plate surface, and is disadvantageous in terms of productivity, production cost, and yield of the recording head. It is. In particular, in the recording head disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-171956, when three or more short heads are used, it is necessary to perforate a nozzle whose center is vertical and whose angle is increased toward the end. However, the operation of perforating nozzles having different angles in one plate is a very laborious operation, and greatly reduces productivity and the like.

【０００９】本発明の目的は、前記従来技術の問題点を
解決することにあり、前述の複数の短尺ヘッドを接合し
て長尺化した記録ヘッドにおける、短尺ヘッド接合部の
記録密度の適正化、インクによるノズル周辺の汚染防止
等、各種のインクジェット記録ヘッドにおける種々の目
的に対応して、インク（液滴）をオリフィスプレート面
等のインク吐出面に対して斜め方向に吐出、飛翔するこ
とができ、しかも、生産性や加工性も良好なインクジェ
ット記録ヘッド、および、このインクジェット記録ヘッ
ドを利用するインクジェットプリンタを提供することに
ある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to optimize the recording density of a short head joining portion in a recording head which is made long by joining a plurality of short heads. According to various purposes in various ink jet recording heads, such as prevention of contamination around nozzles by ink, ink (droplets) can be ejected and fly obliquely to an ink ejection surface such as an orifice plate surface. An object of the present invention is to provide an ink jet recording head which can be manufactured and has good productivity and workability, and an ink jet printer using the ink jet recording head.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のインクジェット記録ヘッドは、一方向に配
列された複数のノズルと、インクを加熱して気泡を生成
することにより、前記ノズルからインク液滴を吐出させ
るヒータとを有するインクジェット記録ヘッドであっ
て、前記ノズルのインク流入部の径をＤ、前記ノズルの
実質的な長さをｈ、前記ヒータから前記ノズルのインク
流入部までの最短部の距離をＨとした際に、「ｈ／Ｄ≦
０．５３」および「Ｈ≦１４μｍ」を満たし、かつ、ノ
ズルの中心軸方向から見た際に、前記ノズル開口中心と
ヒータの加熱面の重心とがオフセットしていることを特
徴とするインクジェット記録ヘッドを提供する。このイ
ンクジェット記録ヘッドにおいては、前記ノズル開口中
心とヒータ加熱面の重心とがノズルの配列方向にオフセ
ットしており、かつ、このオフセット量が、ノズルの配
列方向の位置に応じて異なるのが好ましい。In order to achieve the above object, an ink jet recording head according to the present invention comprises a plurality of nozzles arranged in one direction, and a nozzle formed by heating ink to generate bubbles. And a heater for ejecting ink droplets from the nozzle, wherein the diameter of the ink inflow portion of the nozzle is D, the substantial length of the nozzle is h, and the distance from the heater to the ink inflow portion of the nozzle is h. When the distance of the shortest part is H, “h / D ≦
0.53 ”and“ H ≦ 14 μm ”, and the center of the nozzle opening and the center of gravity of the heating surface of the heater are offset when viewed from the center axis direction of the nozzle. Providing head. In this ink jet recording head, it is preferable that the center of the nozzle opening and the center of gravity of the heater heating surface are offset in the nozzle arrangement direction, and that the offset amount differs depending on the position in the nozzle arrangement direction.

【００１１】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
の別の態様は、一方向に配列された複数のノズルと、イ
ンクを加熱して気泡を生成することにより、前記ノズル
からインク液滴を吐出させるヒータとを有するインクジ
ェット記録ヘッドであって、前記ノズルのインク流入部
の径をＤ、前記ノズルの実質的な長さをｈ、前記ヒータ
から前記ノズルのインク流入部までの最短部の距離をＨ
とした際に、「ｈ／Ｄ≦０．５３」および「Ｈ≦１４μ
ｍ」を満たし、かつ、前記ヒータは、加熱面の一方向の
端部でインクの加熱速度に差を有することを特徴とする
インクジェット記録ヘッドを提供する。このインクジェ
ット記録ヘッドにおいては、前記ヒータは、ノズルの配
列方向の加熱面端部で加熱速度に差を有するものであ
り、かつ、この加熱速度の差が、ノズルの配列方向の位
置に応じて異なるのが好ましく、また、前記ヒータは、
発熱抵抗体と、前記加熱面の一方向の端部に対応する位
置において発熱抵抗体に接続する電極対とを有して構成
されるものであり、かつ、前記電極対の接続位置におけ
る発熱抵抗体の電気抵抗が異なることにより、ヒータの
加熱面の一方向の端部でインクの加熱速度に差を有する
のが好ましい。According to another aspect of the ink jet recording head of the present invention, a plurality of nozzles arranged in one direction and a heater for discharging ink droplets from the nozzles by heating ink to generate bubbles. Wherein the diameter of the ink inflow portion of the nozzle is D, the substantial length of the nozzle is h, and the shortest distance from the heater to the ink inflow portion of the nozzle is H.
, “H / D ≦ 0.53” and “H ≦ 14μ
m ", and the heater has a difference in the heating speed of the ink at one end of the heating surface in one direction. In this ink jet recording head, the heater has a difference in the heating speed at the end of the heating surface in the nozzle arrangement direction, and the difference in the heating speed differs depending on the position in the nozzle arrangement direction. Preferably, and the heater,
A heating resistor, and an electrode pair connected to the heating resistor at a position corresponding to one end of the heating surface in one direction, and a heating resistor at a connection position of the electrode pair. The difference in the electrical resistance of the body preferably causes a difference in the heating rate of the ink at one end of the heating surface of the heater in one direction.

【００１２】このような本発明のインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、前記ノズルはノズルが穿孔される部材の
表面に形成された凹部に穿孔され、もしくは、吐出方向
に漸次拡径するのが好ましく、また、前記ノズルは、前
記ヒータの形成基板面を覆って配置される部材に、前記
ヒータの形成基板面と直交するように穿孔されるのが好
ましい。In the ink jet recording head of the present invention, it is preferable that the nozzle is pierced in a concave portion formed on the surface of a member where the nozzle is pierced, or the diameter of the nozzle is gradually increased in a discharge direction. The nozzle is preferably pierced in a member disposed over the heater forming substrate surface so as to be orthogonal to the heater forming substrate surface.

【００１３】また、本発明のインクジェットプリンタ
は、前記本発明のインクジェット記録ヘッドを用いる特
徴とするインクジェットプリンタを提供する。Further, an ink jet printer according to the present invention provides an ink jet printer using the ink jet recording head according to the present invention.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明のインクジェット記
録ヘッド、および、このインクジェット記録ヘッドを利
用する本発明のインクジェットプリンタについて、添付
の図面に示される好適実施例を基に詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an ink jet recording head of the present invention and an ink jet printer of the present invention using the ink jet recording head will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

【００１５】なお、本発明のインクジェット記録ヘッド
は、対応する受像紙（受像媒体）の一辺の全域に対応し
てノズルが配列された、いわゆるラインヘッドであって
もよく、受像紙の断続的な搬送に組み合わされて、キャ
リッジによってノズル列と直交する方向に走査される、
キャリッジタイプのプリンタに対応するインクジェット
記録ヘッドであってもよい。The ink jet recording head of the present invention may be a so-called line head in which nozzles are arranged corresponding to the whole area of one side of the corresponding image receiving paper (image receiving medium). Combined with the transport, the carriage is scanned in the direction orthogonal to the nozzle row,
An ink jet recording head corresponding to a carriage type printer may be used.

【００１６】図１に、本発明にかかるインクジェット記
録ヘッドの一例の概略図を示す。図１において、（Ａ）
は、インクジェット記録ヘッドを基板面と直交する方向
（図示例においては、インクの吐出方向）から見た図
（平面図）であり、（Ｂ）は、そのｂ−ｂ線断面図であ
る。FIG. 1 is a schematic view showing an example of an ink jet recording head according to the present invention. In FIG. 1, (A)
FIG. 3 is a diagram (plan view) of the inkjet recording head viewed from a direction perpendicular to the substrate surface (in the illustrated example, the ink ejection direction), and FIG.

【００１７】図１に示されるインクジェット記録ヘッド
１０（以下、記録ヘッド１０とする）は、一方向（図中
矢印ｘ方向 図１（Ｂ）では紙面に垂直方向）に配列さ
れた多数のノズル２０を有し、かつ、このノズル２０の
列（以下、ノズル列とする）を２列有することにより、
記録密度の向上を図っている。後述するが、図示例にお
いては、ノズル２０は、Ｓｉ基板１２（隔壁１５）の上
に積層されるオリフィスプレート２２に形成される。The ink jet recording head 10 (hereinafter referred to as the recording head 10) shown in FIG. 1 has a large number of nozzles 20 arranged in one direction (the direction indicated by the arrow x in FIG. 1A and the direction perpendicular to the paper in FIG. 1B). By having two rows of nozzles 20 (hereinafter, referred to as nozzle rows),
The recording density is improved. As will be described later, in the illustrated example, the nozzle 20 is formed on an orifice plate 22 laminated on the Si substrate 12 (the partition 15).

【００１８】なお、本発明の記録ヘッド１０は、図示例
のように、ノズル列を２列有するのに限定はされず、ノ
ズル列は１列であってもよく、あるいは、３列以上のノ
ズル列を有するものであってもよい。また、各ノズル列
から吐出するインクの色およびその組み合わせも、任意
である。The recording head 10 of the present invention is not limited to having two nozzle rows as in the illustrated example, and may have one nozzle row or three or more nozzle rows. It may have a row. Further, the color of the ink ejected from each nozzle row and the combination thereof are also arbitrary.

【００１９】図示例の記録ヘッド１０は、半導体装置の
製造技術を利用して、Ｓｉ基板１２に作製されたもので
あり、インクを加熱して気泡を生じさせて、そのエネル
ギでノズル２０からインクを吐出させる、各ノズル２０
に対応して形成されるヒータ３０（図２参照）、このヒ
ータ３０を駆動する駆動用集積回路１４（以下、駆動回
路１４とする）等が、Ｓｉ基板１２に形成されている。The recording head 10 in the illustrated example is manufactured on a Si substrate 12 by utilizing a semiconductor device manufacturing technique. Each nozzle 20
The heater 30 (see FIG. 2) formed corresponding to the above, a driving integrated circuit 14 (hereinafter, referred to as a driving circuit 14) for driving the heater 30, and the like are formed on the Si substrate 12.

【００２０】また、Ｓｉ基板１２には、各ヒータ３０
（ノズル２０）にインクを供給するためのインク溝１
６、およびインク溝１６にインクを供給するインク供給
孔１８が形成される。インク溝１６は、ノズル列方向に
延在して、Ｓｉ基板１２の表面（インク吐出側面）を掘
り下げるように形成される。他方、インク供給孔１８
は、裏面からインク溝１６に連通するようにＳｉ基板１
２を貫通して、ノズル列方向に配列されて所定の間隔で
複数が穿孔される。Each heater 30 is provided on the Si substrate 12.
Ink groove 1 for supplying ink to (nozzle 20)
6 and an ink supply hole 18 for supplying ink to the ink groove 16 are formed. The ink groove 16 extends in the nozzle row direction and is formed so as to dig down the surface (ink ejection side surface) of the Si substrate 12. On the other hand, the ink supply hole 18
Is the Si substrate 1 so as to communicate with the ink groove 16 from the back surface.
2, a plurality of holes are arranged at predetermined intervals and arranged in the nozzle row direction.

【００２１】Ｓｉ基板１２の上には、インク溝１６から
各ヒータ３０（ノズル２０）に至る、個別のインク供給
路を形成する隔壁１５が積層される。隔壁１５に関して
は、後に詳述する。さらに、この隔壁１５の上には、Ｓ
ｉ基板１２面を覆うようにして、円筒状のノズル２０が
形成（穿孔）されるオリフィスプレート２２が積層、貼
着される。オリフィスプレート２２および隔壁１５の形
成材料は、公知の材料が各種利用可能であり、例えば、
ポリイミドが例示される。On the Si substrate 12, partition walls 15 forming individual ink supply passages from the ink groove 16 to each heater 30 (nozzle 20) are laminated. The partition 15 will be described later in detail. Further, on this partition wall 15, S
An orifice plate 22 in which a cylindrical nozzle 20 is formed (perforated) is laminated and attached so as to cover the surface of the i-substrate 12. As a material for forming the orifice plate 22 and the partition wall 15, various known materials can be used.
A polyimide is exemplified.

【００２２】このようなＳｉ基板１２（Ｓｉチップ）
は、支持部材となるフレーム２４の所定位置に接着／固
定（実装）され、さらに、このフレーム２４は、図示し
ないインクジェットプリンタのヘッドユニット（例え
ば、いわゆるカートリッジ等）の所定位置に装着され
る。このフレーム２４およびヘッドユニットには、ヘッ
ドユニットに装着されたインクタンクから、Ｓｉ基板１
２に形成されたインク供給孔１８にインクを供給するた
めのインク供給路（フレーム２４では、インク流路２
６）が形成される。Such a Si substrate 12 (Si chip)
Is bonded / fixed (mounted) to a predetermined position of a frame 24 serving as a support member, and the frame 24 is attached to a predetermined position of a head unit (for example, a so-called cartridge or the like) of an inkjet printer (not shown). The frame 24 and the head unit receive the Si substrate 1 from the ink tank mounted on the head unit.
Supply path for supplying ink to the ink supply holes 18 formed in the ink supply passage 2 (the ink passage 2 in the frame 24).
6) is formed.

【００２３】図２に、記録ヘッド１０のノズル２０近傍
の概略図を示す。なお、図２において、（Ａ）は平面
図、（Ｂ）は図１（Ｂ）と同断面図（ノズル列と直交方
向の断面図）、（Ｃ）はノズル列方向の断面図（図２
（Ａ）のＣ−Ｃ線断面）である。従って、図２（Ｂ）に
おいては、ノズル列方向（矢印ｘ方向）は、紙面に垂直
方向となる。FIG. 2 is a schematic view showing the vicinity of the nozzle 20 of the recording head 10. 2A is a plan view, FIG. 2B is a cross-sectional view of FIG. 1B (a cross-sectional view in a direction orthogonal to the nozzle row), and FIG. 2C is a cross-sectional view in a nozzle row direction (FIG. 2).
(A) is a cross section taken along line CC. Therefore, in FIG. 2B, the nozzle row direction (the direction of the arrow x) is perpendicular to the paper surface.

【００２４】前述のように、記録ヘッド１０において、
ノズル２０からインクを吐出する吐出手段であるヒータ
３０は、Ｓｉ基板１２に形成される。ヒータ３０は、イ
ンクジェットの記録ヘッドで通常に利用されるものであ
る。図示例においては、一例として、離間して配置され
る一対の電極対を構成する導体薄膜と、この導体薄膜を
接続する薄膜の発熱抵抗体（以下、薄膜抵抗体とする）
とで、ヒータ３０が構成される。なお、図２において、
ヒータ３０は、インクの加熱面（この例においては、電
極対間の薄膜抵抗体）のみを示している。As described above, in the recording head 10,
The heater 30 serving as a discharging unit for discharging ink from the nozzle 20 is formed on the Si substrate 12. The heater 30 is normally used in an ink jet recording head. In the illustrated example, as an example, a conductor thin film that forms a pair of electrode pairs that are spaced apart from each other, and a heating resistor of the thin film that connects the conductor thin films (hereinafter, referred to as a thin film resistor)
Thus, the heater 30 is configured. In FIG. 2,
The heater 30 shows only the heating surface of the ink (in this example, the thin film resistor between the electrode pair).

【００２５】図示例においては、薄膜抵抗体としてタン
タル（Ｔａ）−Ｓｉ−酸素の三元合金を、導体薄膜とし
てニッケル（Ｎｉ）を、それぞれ用いて、ヒータ３０を
形成している。また、薄膜抵抗体の導体薄膜で覆われて
いない領域の表面、すなわちヒータ３０として図２に示
す領域には、薄膜抵抗体（前記三元合金）を酸化してな
る絶縁皮膜が形成される。この絶縁皮膜は、保護層とし
て作用する。このヒータ３０は、別途、耐キャビテーシ
ョン等を目的とする保護層等を設ける必要がなく、熱効
率に優れている。In the illustrated example, the heater 30 is formed by using a ternary alloy of tantalum (Ta) -Si-oxygen as a thin film resistor and nickel (Ni) as a conductor thin film. An insulating film formed by oxidizing the thin film resistor (the ternary alloy) is formed on the surface of the thin film resistor that is not covered with the conductor thin film, that is, the region shown in FIG. This insulating film functions as a protective layer. The heater 30 does not need to separately provide a protective layer or the like for cavitation resistance and the like, and is excellent in thermal efficiency.

【００２６】なお、本発明の記録ヘッドにおいて、ヒー
タ３０は、上記構成に限定はされず、（サーマル）イン
クジェットに用いられる各種のものが利用可能である。
例えば、薄膜抵抗体として、ハフニウム（Ｈｆ）−ホウ
素（Ｂ）やＴａ−アルミニウム（Ａｌ）からなる薄膜抵
抗体や、Ａｌからなる導体薄膜を用いてもよく、また、
耐蝕性、耐キャビテーション等を目的とする保護層を有
してもよい。In the recording head of the present invention, the heater 30 is not limited to the above-described configuration, and various types used for (thermal) ink jet can be used.
For example, as the thin film resistor, a thin film resistor made of hafnium (Hf) -boron (B) or Ta-aluminum (Al) or a conductor thin film made of Al may be used.
It may have a protective layer for the purpose of corrosion resistance, cavitation resistance and the like.

【００２７】前述のように、Ｓｉ基板１２の上には、各
ヒータ３０（ノズル２０）への個別のインク供給路を形
成する隔壁１５が積層される。図示例において、隔壁１
５は、インク溝１６に対してノズル列と逆側の全面をノ
ズル２０の直近まで覆う領域１５ａと、各ノズル２０の
間において、この領域１５ａからインク溝１６に向かっ
て突出して形成される、各ヒータ３０への個別のインク
供給路を形成する壁部１５ｂとを有する。As described above, on the Si substrate 12, the partition walls 15 that form individual ink supply paths to the respective heaters 30 (nozzles 20) are stacked. In the illustrated example, the partition 1
5 is a region 15a that covers the entire surface of the ink groove 16 on the side opposite to the nozzle row up to the vicinity of the nozzle 20, and is formed between the nozzles 20 so as to protrude from the region 15a toward the ink groove 16. And a wall portion 15b that forms an individual ink supply path to each heater 30.

【００２８】図示例は、Ｓｉ基板１２（記録ヘッドの形
成基板）の表面に対して、上方に飛翔するようにインク
を吐出する、いわゆるトップシュータ型（フェイスイン
クジェット）の記録ヘッド１０であり、この隔壁１５の
上には、ノズル２０（ノズル列）が穿孔されたオリフィ
スプレート２２が積層される。後に詳述するが、本発明
の記録ヘッド１０は、オリフィスプレート２２の表面
（インクの吐出面）に対して、斜め方向にインク（イン
ク液滴）を吐出するが、ノズル２０は、斜めではなく、
図２に示されるように、オリフィスプレート２２（Ｓｉ
基板１２）の表面に対して直交して穿孔される。The illustrated example is a so-called top shooter type (face ink jet) recording head 10 which discharges ink so as to fly upward onto the surface of a Si substrate 12 (substrate for forming a recording head). An orifice plate 22 in which nozzles 20 (nozzle rows) are perforated is stacked on the partition wall 15. As will be described later in detail, the recording head 10 of the present invention discharges ink (ink droplets) in an oblique direction with respect to the surface of the orifice plate 22 (ink discharge surface). ,
As shown in FIG. 2, the orifice plate 22 (Si
Drilled perpendicular to the surface of the substrate 12).

【００２９】なお、本発明は、後述するようなサイドシ
ュータ型の記録ヘッドにも利用可能である。しかしなが
ら、斜め吐出は、わずかながらではあるが吐出エネルギ
への変換効率の低下を伴うものであり、これを考慮する
と、本発明は、構造等の点で基本的に吐出エネルギへの
変換効率が高い、図示例のような、トップシュータ型の
記録ヘッドには、特に好適である。The present invention is also applicable to a side shooter type recording head as described later. However, oblique ejection involves a small but slightly reduced conversion efficiency to ejection energy, and taking this into account, the present invention basically has a high conversion efficiency to ejection energy in terms of structure and the like. It is particularly suitable for a top shooter type recording head as shown in FIG.

【００３０】このような記録ヘッド１０において、ヘッ
ドユニットに装着されたインクタンクから所定の経路で
供給されたインクは、フレーム２４のインク供給路２６
を経て、Ｓｉ基板１２の裏面側からインク供給孔１８に
供給され、Ｓｉ基板１２の表面に形成されたインク溝１
６に導入される。インク溝１６に供給されたインクは、
隔壁１５の壁部１５ｂによって各ヒータ３０毎に分離さ
れた個別のインク供給路に至り、駆動回路１４による駆
動の下、各ヒータ３０の加熱によって生じた核沸騰によ
って、対応するノズル２０から吐出される。In such a recording head 10, the ink supplied along a predetermined path from the ink tank mounted on the head unit is supplied to the ink supply path 26 of the frame 24.
Is supplied to the ink supply holes 18 from the back surface side of the Si substrate 12 and the ink grooves 1 formed on the surface of the Si substrate 12
6 is introduced. The ink supplied to the ink groove 16 is
The ink flows to individual ink supply paths separated for each heater 30 by the wall portion 15 b of the partition wall 15, and is ejected from the corresponding nozzle 20 by nucleate boiling caused by heating of each heater 30 under driving by the drive circuit 14. You.

【００３１】なお、このような構成を有する記録ヘッド
１０については、特開平６−７１８８８号、同６−２９
７７１４号、同７−２２７９６７号、同８−２０１１０
号、同８−２０７２９１号、同１０−１６２４２号等の
各公報に詳述されている。The recording head 10 having such a configuration is described in JP-A-6-71888 and JP-A-6-29888.
No. 7714, No. 7-227966, No. 8-20110
And JP-A-8-207291 and JP-A-10-16242.

【００３２】ここで、本発明の記録ヘッド１０において
は、ノズル２０のインク流入部（図示例においては、オ
リフィスプレート２２下端）の径をＤ、ノズル２０の実
質的な長さ（インクの吐出に作用する長さ）をｈ、ヒー
タ３０からノズル２０のインク流入部までの距離（図示
例においては、隔壁１５の厚さ）をＨとした際に、「長
さｈ／径Ｄ≦０．５３」および「距離Ｈ≦１４μｍ」を
満たす。Here, in the recording head 10 of the present invention, the diameter of the ink inflow portion (the lower end of the orifice plate 22 in the illustrated example) of the nozzle 20 is D, and the substantial length of the nozzle 20 (for discharging ink). Assuming that h is the operating length and h is the distance from the heater 30 to the ink inflow portion of the nozzle 20 (the thickness of the partition wall 15 in the illustrated example), “length h / diameter D ≦ 0.53 "And" distance H ≦ 14 μm ".

【００３３】また、図示例の記録ヘッド１０は、本発明
の第１の態様にかかるものであり、ノズル２０の中心軸
方向（ノズル２０の穿孔方向）から見た際に、ノズル２
０の開口中心とヒータ３０の加熱面の重心とがオフセッ
ト（開口中心と加熱面重心の位置が異なる）している
（以下、単に「ノズル２０とヒータ３０とがオフセット
している」等と表現する）。図示例においては、ヒータ
３０がインク溝１６に近接するように（すなわち、イン
クの流れ方向の上流側に）、ノズル列と直交する方向
（以下、走査方向とする）に、ノズル２０とヒータ３０
とがオフセットしている。The recording head 10 in the illustrated example is according to the first embodiment of the present invention, and when viewed from the central axis direction of the nozzle 20 (the direction in which the nozzle 20 is pierced), the nozzle 2
The center of the opening of 0 and the center of gravity of the heating surface of the heater 30 are offset (the position of the center of the opening and the center of gravity of the heating surface are different) (hereinafter simply referred to as “the nozzle 20 and the heater 30 are offset”, etc.). Do). In the illustrated example, the nozzle 20 and the heater 30 are arranged in a direction orthogonal to the nozzle row (hereinafter, referred to as a scanning direction) so that the heater 30 approaches the ink groove 16 (that is, on the upstream side in the ink flow direction).
And are offset.

【００３４】前述のように、インクジェットによる画像
記録においては、オリフィスプレート２２の表面（イン
クの吐出面）に対して直交する方向にインクを吐出する
のが通常であるが、種々の目的に応じて、オリフィスプ
レート２２の表面に対して斜め方向、すなわち、吐出面
と直交する方向に対して角度を有して、インクを吐出／
飛翔することが行われている。しかしながら、従来の記
録ヘッドにおいて、このように、インクをオリフィスプ
レート２２の表面に対して斜め方向に吐出（以下、斜め
吐出とする）するためには、ノズルをオリフィスプレー
ト２２（ノズルの形成材）に斜めに穿孔する必要があ
り、加工性が悪い。As described above, in image recording by ink jet, it is normal to eject ink in a direction orthogonal to the surface of the orifice plate 22 (ink ejection surface), but according to various purposes. The ink is ejected / oblique in a direction oblique to the surface of the orifice plate 22, that is, at an angle to a direction orthogonal to the ejection surface.
Flying is being done. However, in the conventional recording head, in order to discharge the ink obliquely to the surface of the orifice plate 22 (hereinafter, referred to as oblique discharge), the nozzle is formed by the orifice plate 22 (a material for forming the nozzle). It is necessary to make a hole at an angle, and the workability is poor.

【００３５】これに対し、本発明の記録ヘッド１０は、
上記構成、すなわち、ノズル２０の径Ｄ、ノズル２０の
長さｈ、およびヒータ３０とノズル２０の距離Ｈを規定
すると共に、ノズル２０とヒータ３０とをオフセットす
ることにより、あるいは後述するように、ヒータ形状に
よる電流方向の抵抗値の差等でヒータ加熱面の所定方向
で加熱速度に差をつけることにより、ノズルを斜めに穿
孔することなく、インクの斜め吐出を実現している。ま
た、上記構成を有する本発明の記録ヘッド１０によれ
ば、高周波数でのインクの吐出を可能にして、より記録
密度の高い、高精細な画像を記録できる。しかも、この
ような構成は、半導体製造技術を利用した通常の（イン
クジェット）記録ヘッドの製造方法で、容易に達成でき
るので、加工性や生産性の低下はほとんど無い。On the other hand, the recording head 10 of the present invention
The above configuration, that is, by defining the diameter D of the nozzle 20, the length h of the nozzle 20, and the distance H between the heater 30 and the nozzle 20, and by offsetting the nozzle 20 and the heater 30, or as described later, By making the heating speed different in a predetermined direction on the heater heating surface by a difference in resistance value in the current direction due to the heater shape, oblique ejection of ink is realized without obliquely piercing the nozzle. Further, according to the recording head 10 of the present invention having the above-described configuration, ink can be ejected at a high frequency, and a high-definition image with a higher recording density can be recorded. In addition, such a configuration can be easily achieved by a normal (inkjet) recording head manufacturing method using a semiconductor manufacturing technique, so that there is almost no reduction in workability and productivity.

【００３６】下記表１に、図１および図２に示される構
成の記録ヘッド１０において、諸元（オフセット量Ｓ
（ノズル２０の開口中心とヒータ３０の加熱面重心の距
離）、ノズル密度、前記長さｈ、径Ｄおよび距離Ｈ等）
を種々変更した際における、インクの斜め吐出性、およ
び最高吐出周波数（表では最高周波数と表記）を示す。
なお、表１において、各種のサイズは全て［μｍ］、ノ
ズル密度は［ｎｐｉ（ノズル数／インチ）］、最高吐出
周波数は［ｋＨｚ］で、ノズル密度は「密度」、最高吐
出周波数は「最高周波数」と表記する。インクの斜め吐
出性は、オリフィスプレート２２の表面（インクの吐出
面）から１ｍｍに配置して受像紙にインクを着弾した際
に、ノズル２０の中心軸と、インクの着弾位置とが、ノ
ズルピッチ（ノズル密度６００ｎｐｉで約４２μｍ、９
００ｎｐｉで約２８μｍ）の２０％以上異なった場合
に、斜め吐出性が良好「○」と判定した。また、ヒータ
３０（加熱面）の形状は正方形とし、サイズは、ノズル
密度が６００ｄｐｉの例で２２μｍ、９００ｄｐｉの例
で１５μｍとした。Table 1 below shows the specifications (offset amount S) of the recording head 10 having the configuration shown in FIGS.
(Distance between center of opening of nozzle 20 and center of gravity of heating surface of heater 30), nozzle density, length h, diameter D, distance H, etc.
Shows the oblique ejection property of ink and the maximum ejection frequency (expressed as the maximum frequency in the table) when various changes are made.
In Table 1, all sizes are [μm], nozzle density is [npi (number of nozzles / inch)], maximum ejection frequency is [kHz], nozzle density is “density”, and maximum ejection frequency is “highest”. Frequency ". The oblique ejection property of the ink is such that the center axis of the nozzle 20 and the landing position of the ink are determined by the nozzle pitch when the ink is landed on the image receiving paper at 1 mm from the surface of the orifice plate 22 (the ink ejection surface). (Approximately 42 μm at a nozzle density of 600 npi, 9
When the difference was 20% or more (approximately 28 μm at 00 npi), the oblique ejection property was determined to be good “O”. The shape of the heater 30 (heating surface) was a square, and the size was 22 μm in a case where the nozzle density was 600 dpi and 15 μm in a case where the nozzle density was 900 dpi.

【００３７】[0037]

【表１】 [Table 1]

【００３８】上記表より明らかなように、「長さｈ／径
Ｄ≦０．５３」および「距離Ｈ≦１４μｍ」を満たし、
かつ、ヒータ３０とノズル２０とがオフセットされた本
発明の記録ヘッド１０（Ｎｏ．５〜８、１１および１
２）によれば、ノズル２０を斜めに穿孔しなくても、好
適にインクの斜め吐出を実現できる。しかも、本発明品
は、インクの最高吐出周波数も、いずれも１２ｋＨｚ以
上で、高速でのインク吐出による高精細画像の記録が可
能である。As is clear from the above table, “length h / diameter D ≦ 0.53” and “distance H ≦ 14 μm” are satisfied.
In addition, the recording head 10 of the present invention (Nos. 5 to 8, 11, and 1) in which the heater 30 and the nozzle 20 are offset from each other.
According to 2), the oblique ejection of the ink can be favorably realized without obliquely piercing the nozzle 20. In addition, the product of the present invention has a maximum ink ejection frequency of 12 kHz or more, and can record a high-definition image by ink ejection at high speed.

【００３９】上記構成を有する本発明の第１の態様にお
いて、インクは、基本的に、ヒータ３０からノズル２０
に向かう方向（以下、オフセット方向とする）に向かっ
て斜め吐出される。すなわち、本態様においては、オフ
セット方向を選択することにより、インクの吐出方向を
選択することができる。図示例の記録ヘッド１０におい
ては、走査方向にヒータ３０とノズル２０とをオフセッ
トしているので、インクは、走査方向すなわち（インク
ジェット）プリンタにおける記録ヘッドと受像紙との相
対的な移動方向に斜め吐出される（図示例では、図３
（Ａ）および（Ｂ）は図中右方向、（Ｃ）では紙面に手
前方向に斜め吐出される）。従って、この構成によれ
ば、受像紙に跳ね返されたインクによるノズル２０周辺
の汚染を防止して、インクによるノズル２０の詰まりを
長期に渡って防止でき、また、ノズル２０周辺の汚染に
起因する受像紙の汚れ等も防止できる。In the first embodiment of the present invention having the above configuration, ink is basically supplied from the heater 30 to the nozzle 20.
(Hereinafter, referred to as an offset direction). That is, in this embodiment, the ink ejection direction can be selected by selecting the offset direction. In the recording head 10 of the illustrated example, since the heater 30 and the nozzle 20 are offset in the scanning direction, the ink is inclined in the scanning direction, that is, in the relative movement direction between the recording head and the image receiving paper in the (inkjet) printer. Is discharged (in the illustrated example, FIG. 3
(A) and (B) are ejected diagonally rightward in the figure, and (C) is ejected obliquely toward the front of the paper.) Therefore, according to this configuration, it is possible to prevent contamination around the nozzles 20 due to the ink rebounded on the image receiving paper, and to prevent clogging of the nozzles 20 with ink for a long period of time. It is also possible to prevent the image receiving paper from being stained.

【００４０】図３に、本態様の記録ヘッドの別の例のノ
ズル２０近傍の概略図を示す。なお、前述の図２と同
様、図３も、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は走査方向の断面
図、（Ｃ）はノズル列方向の断面図（図３（Ａ）のＣ−
Ｃ線断面）である。従って、図３（Ｂ）においても、ノ
ズル列方向（矢印ｘ方向）は、紙面に垂直方向となる。
また、図３に示される例は、オフセット方向、および、
それに伴う隔壁の形状が異なる以外は、前述の図１およ
び図２に示される例と同様の構成を有するので、同じ部
材には同じ符号を付す。FIG. 3 is a schematic view showing the vicinity of the nozzle 20 of another example of the recording head of this embodiment. 3A, FIG. 3A is a plan view, FIG. 3B is a cross-sectional view in the scanning direction, and FIG. 3C is a cross-sectional view in the nozzle row direction (C-C in FIG. 3A).
(C section). Therefore, also in FIG. 3B, the nozzle row direction (the direction of the arrow x) is perpendicular to the paper surface.
In addition, the example shown in FIG.
Except for a different shape of the partition wall accompanying this, it has the same configuration as the example shown in FIGS. 1 and 2 described above, and thus the same members are denoted by the same reference numerals.

【００４１】通常、インクジェットの記録ヘッドにおい
ては、各ノズル２０への個別のインク供給路は、ノズル
列方向には、ノズル２０の中心軸に対象で、かつ、ノズ
ル２０の径に対応した幅で形成される。これに対し、図
３に示される記録ヘッド５０は、隔壁５２の形状（領域
５２ａから突出する壁部５２ｂの位置）を調整して、隔
壁５２によって形成される個別のインク供給路を、対応
するノズル２０の下部より、一方（図３（Ａ）では図中
上方、（Ｂ）では紙面奥手側、（Ｃ）では図中右側）の
隣のノズル２０近傍まで広げ、この領域にヒータ３０を
形成することにより、ノズル２０とヒータ３０とを、ノ
ズル列方向にオフセットしている。Normally, in an ink jet recording head, an individual ink supply path to each nozzle 20 has a width corresponding to the center axis of the nozzle 20 in the nozzle row direction and corresponding to the diameter of the nozzle 20. It is formed. In contrast, the recording head 50 shown in FIG. 3 adjusts the shape of the partition 52 (the position of the wall 52b protruding from the region 52a) to correspond to the individual ink supply paths formed by the partition 52. The heater 30 is formed in the area from the lower part of the nozzle 20 to the vicinity of the adjacent nozzle 20 on one side (upper side in the figure in FIG. 3A, deeper side in FIG. 3B, right side in FIG. 3C). By doing so, the nozzle 20 and the heater 30 are offset in the nozzle row direction.

【００４２】前述のように、本態様においては、オフセ
ット方向に傾けてインクを吐出するので、本例では、ノ
ズル列方向（図３（Ａ）では図中下方、（Ｂ）では紙面
手前側、（Ｃ）では図中左側）に傾けて、インクを斜め
吐出できる。これにより、受像媒体におけるインクの着
弾位置をノズル２０の位置に対してノズル列方向に変え
ることができ、例えば、後述する短尺ヘッドを端部で接
合して長尺化した記録ヘッドにおいて、接合に起因する
ノズルピッチの誤差を補正して、インクの着弾位置にお
ける記録ピッチを適正に均一ピッチにできる。As described above, in this embodiment, the ink is ejected while being inclined in the offset direction. Therefore, in this example, the nozzle row direction (the lower side in the figure in FIG. 3A, the near side in the drawing in FIG. (C), the ink can be ejected obliquely by tilting it to the left side in the figure. Thereby, the landing position of the ink on the image receiving medium can be changed in the nozzle row direction with respect to the position of the nozzle 20. For example, in a recording head in which a short head to be described later is joined at an end portion and lengthened, the joining is performed. The resulting nozzle pitch error can be corrected, and the recording pitch at the ink landing position can be properly made uniform.

【００４３】さらに、図４（（Ａ），（Ｂ）および
（Ｃ）は、前述の例と同様）に、本態様の別の例を示
す。図４に示される例は、図２と図３とを組み合わせた
例であり、ノズル２０とヒータ３０とを、ノズル列方向
および走査方向の両方向にオフセットしている。従っ
て、本例においては、オフセットの方向およびオフセッ
ト量をベクトルとして、このベクトルを合成した方向に
傾いて、インクが斜め吐出される。なお、本例において
は、オフセット量Ｓは、走査方向のオフセット量をＳ
１、ノズル列方向のオフセット量をＳ２として、Ｓ＝
（Ｓ１² ＋Ｓ２² ）^1/2 とすればよい。FIG. 4 ((A), (B) and (C) are the same as the above-mentioned example) shows another example of this embodiment. The example shown in FIG. 4 is an example in which FIGS. 2 and 3 are combined, and the nozzle 20 and the heater 30 are offset in both the nozzle row direction and the scanning direction. Accordingly, in this example, the ink is ejected obliquely in a direction in which the vector and the offset direction and the offset amount are used as a vector. In this example, the offset amount S is the offset amount in the scanning direction.
1. Assuming that the offset amount in the nozzle row direction is S2, S =
(S1 ² + S2 ² ) may be set to ^1/2 .

【００４４】このような本発明の第１の態様の記録ヘッ
ドにおいて、ノズル２０とヒータ３０とのオフセット量
Ｓには、特に限定はない。一般的に、オフセット量Ｓが
大きくなるほど、インクを大きく傾けて（オリフィスプ
レート２２面との直交方向に対して、大きな角度で）吐
出／飛翔させることができるので、目的とするインクの
吐出角度や着弾位置等に応じて、適宜設定すればよい。
しかしながら、本発明者らの検討によれば、ノズル２０
の中心軸方向から見た際に、ノズル２０とヒータ３０と
が全く重複しないように両者をオフセットすると、逆
に、インクを好適に斜めに吐出することができない場合
があるので、オフセット量は、この大きさを超えないよ
うにするのが好ましい。また、良好な斜め吐出を安定し
て行える等の点で、オフセット量は、１μｍ以上とする
のが好ましい。In the recording head according to the first aspect of the present invention, the offset amount S between the nozzle 20 and the heater 30 is not particularly limited. Generally, as the offset amount S increases, the ink can be ejected / flighted with a large inclination (at a large angle with respect to the direction orthogonal to the surface of the orifice plate 22). What is necessary is just to set suitably according to a landing position etc.
However, according to the study of the present inventors, the nozzle 20
When viewed from the central axis direction, if the nozzle 20 and the heater 30 are offset so that they do not overlap at all, on the contrary, the ink may not be able to be ejected in a suitable oblique manner. It is preferable not to exceed this size. Further, the offset amount is preferably set to 1 μm or more from the viewpoint that good oblique ejection can be performed stably.

【００４５】図５に、本発明の別の態様のインクジェッ
ト記録ヘッドのノズル２０近傍の概略図を示す。なお、
図５においても、図２等と同様、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は走査方向の断面図、（Ｃ）はノズル列方向の断
面図（図５（Ａ）のＣ−Ｃ線断面）である。従って、図
５（Ｂ）においても、ノズル列方向（矢印ｘ方向）は、
紙面に垂直方向となる。また、図５に示される例は、ヒ
ータ（加熱領域）の形状が異なる以外は、図２に示され
る例と、基本的に同じ構成を有するので、同じ部材には
同じ符号を付し、以下の説明は、異なる部分を主に行
う。また、図５は、インクをノズル列方向に斜め吐出す
る例であるが、本態様においても、後述する加熱速度に
差を付ける方向を選択することにより、インクを例えば
走査方向等に斜め吐出してもよいのは、もちろんであ
る。FIG. 5 is a schematic view showing the vicinity of the nozzle 20 of an ink jet recording head according to another embodiment of the present invention. In addition,
5, (A) is a plan view and FIG.
5B is a cross-sectional view in the scanning direction, and FIG. 5C is a cross-sectional view in the nozzle row direction (a cross section taken along line CC in FIG. 5A). Therefore, also in FIG. 5B, the nozzle row direction (the direction of the arrow x) is
It is perpendicular to the paper. Further, the example shown in FIG. 5 has basically the same configuration as the example shown in FIG. 2 except that the shape of the heater (heating region) is different, so that the same members are denoted by the same reference numerals. Will mainly be described for different parts. FIG. 5 shows an example in which ink is ejected obliquely in the nozzle row direction. In this embodiment, too, ink is ejected obliquely in, for example, the scanning direction by selecting a direction that makes a difference in the heating speed described later. Of course, you can.

【００４６】図５に示される本発明の第２の態様におい
ては、前記「長さｈ／径Ｄ≦０．５３」および「距離Ｈ
≦１４μｍ」の規定を満たした上で、ノズル２０とヒー
タ３０のオフセットではなく、電流方向でヒータ６２
（加熱面の形状以外は、前記ヒータ３０と同構成）の抵
抗値に差を付けることで、インクの斜め吐出を行う。す
なわち、電流方向でヒータ６２の抵抗値に差を付けるこ
とにより、インクの加熱速度（発泡に寄与する熱量）
に、抵抗値の差に応じた勾配を付け、気泡の成長方向
を、抵抗値が大きい場所から抵抗値が小さい方向に向か
うようにする。これにより、インクの吐出に前記勾配に
応じた斜め方向のエネルギを与えることができ、前記径
Ｄや長さｈ、距離Ｈの規定と相俟って、好適なインクの
斜め吐出を実現できる。また、同様に、先の例と同様
に、高い吐出周波数も実現できる。In the second embodiment of the present invention shown in FIG. 5, the “length h / diameter D ≦ 0.53” and “distance H
.Ltoreq.14 μm ”, the heater 62 in the current direction instead of the offset between the nozzle 20 and the heater 30.
The oblique ejection of the ink is performed by making a difference in the resistance value (the configuration is the same as that of the heater 30 except for the shape of the heating surface). That is, by making the resistance value of the heater 62 different in the current direction, the heating speed of the ink (the amount of heat contributing to foaming) is obtained.
In this case, a gradient corresponding to the difference in the resistance value is provided so that the growth direction of the bubbles is directed from the place where the resistance value is large to the direction where the resistance value is small. This makes it possible to apply an energy in an oblique direction corresponding to the gradient to the ejection of the ink, and it is possible to realize a suitable oblique ejection of the ink in combination with the definition of the diameter D, the length h, and the distance H. Similarly, a high ejection frequency can be realized similarly to the previous example.

【００４７】図５に示される記録ヘッド５４は、ヒータ
５６における電流方向（電極対の対向方向）をノズル列
方向として、ヒータ５６（加熱面）のサイズを、ノズル
列方向（図５に示される例において、（Ａ）では図中上
方、（Ｂ）では紙面奥手側、（Ｃ）では図中右側）に向
かって漸増した構成を有する。これにより、ヒータ５６
の電気抵抗を前記ノズル列方向に漸減して、加熱速度を
同方向に漸減し、気泡の成長方向すなわちインクの吐出
に同方向のエネルギを付与し、このノズル列方向へのイ
ンクの斜め吐出を実現している。In the recording head 54 shown in FIG. 5, the size of the heater 56 (heating surface) is set in the nozzle row direction (shown in FIG. 5), with the current direction (opposite direction of the electrode pair) in the heater 56 as the nozzle row direction. In the example, (A) has a configuration that gradually increases toward the upper side in the drawing, (B) to the back side of the drawing, and (C) to the right side in the drawing). Thereby, the heater 56
Is gradually reduced in the nozzle row direction, the heating rate is gradually reduced in the same direction, and energy in the same direction is applied to the bubble growth direction, that is, the ink discharge, thereby obliquely discharging the ink in the nozzle row direction. Has been realized.

【００４８】下記表２に、図５に示される記録ヘッド５
４において、先と同様に諸元を種々変更した際におけ
る、インクの斜め吐出性および最高吐出周波数を示す。
なお、表２において、各種の単位や斜め吐出性の評価基
準は、前記表１と同様であるが、幅ａおよび幅ｂはヒー
タ５６の走査方向端部のサイズ、長ｃは同ノズル列方向
のサイズである。Table 2 below shows the recording head 5 shown in FIG.
4 shows the oblique ejection property and the maximum ejection frequency of the ink when the specifications are variously changed in the same manner as above.
In Table 2, various units and evaluation criteria for oblique ejection properties are the same as those in Table 1, except that the width a and the width b are the size of the end of the heater 56 in the scanning direction, and the length c is the same in the nozzle row direction. Is the size of

【００４９】[0049]

【表２】 [Table 2]

【００５０】表２より明らかなように、「長さｈ／径Ｄ
≦０．５３」および「距離Ｈ≦１４μｍ」を満たし、か
つ、ヒータ５６のサイズが電流方向に漸増（幅ａ〜幅
ｂ）する、本発明の記録ヘッド５４（Ｎｏ．１８〜２
３、２５および２６）によれば、ノズル２０を斜めに穿
孔しなくても、好適にインクの斜め吐出を実現できる。
しかも、インクの最高吐出周波数も、いずれも１２ｋＨ
ｚ以上で、高速でのインク吐出による高精細画像の記録
が可能である。As is clear from Table 2, “length h / diameter D
≦ 0.53 ”and“ distance H ≦ 14 μm ”, and the size of the heater 56 gradually increases (width a to width b) in the current direction (widths a to b).
According to 3, 25 and 26), the oblique ejection of the ink can be suitably realized without obliquely piercing the nozzle 20.
In addition, the maximum ink ejection frequency is 12 kHz.
Above z, high-definition images can be recorded by high-speed ink ejection.

【００５１】このような本発明の第２の態様の記録ヘッ
ドにおいて、電流方向における抵抗値の差（加熱速度の
差）には、特に限定はない。一般的に、抵抗値の差が大
きい程、インクを大きく傾けて吐出することができるの
で、目的とするインクの吐出角度や着弾位置等に応じ
て、適宜設定すればよい。なお、本発明者らの検討によ
れば、図５および表２に示されるような構成およびサイ
ズの記録ヘッド５４であれば、幅ａと幅ｂとの差が１μ
ｍ程度で、良好な斜め吐出を行うことができる。この結
果から、ノズルのサイズやピッチ等にもよるが、この例
においては、一般的に、これに応じた５％程度の抵抗値
の差で、良好な斜め吐出が可能である。In the recording head according to the second aspect of the present invention, the difference in the resistance value in the current direction (the difference in the heating speed) is not particularly limited. In general, the larger the difference between the resistance values, the more inclined the ink can be ejected. Therefore, the ink may be appropriately set according to the target ink ejection angle, landing position, and the like. According to the study of the present inventors, the difference between the width a and the width b is 1 μm for the recording head 54 having the configuration and the size shown in FIG. 5 and Table 2.
m, favorable oblique ejection can be performed. From this result, although depending on the size, pitch, etc. of the nozzles, in this example, favorable oblique ejection is generally possible with a resistance value difference of about 5% corresponding thereto.

【００５２】図示例においては、ヒータ加熱面のサイズ
を漸減（漸増）することにより、電流方向においてヒー
タの抵抗値を変えているが、本発明は、これに限定はさ
れず、例えば、サイズの異なる矩形を接合したような形
状のヒータのように、電流方向に段階的に抵抗値を異な
らしめてもよい。あるいは、抵抗体薄膜として、抵抗値
の異なる材料を接合してヒータを形成することによっ
て、電流方向に抵抗値を異ならしめてもよい。さらに、
ヒータ加熱面のサイズではなく、ヒータ（薄膜抵抗体）
の厚さを電流方向で変えることにより、抵抗値すなわち
加熱速度に差を付け、気泡の成長方向にエネルギを付与
して、インクの斜め吐出を行ってもよい。In the illustrated example, the resistance of the heater is changed in the current direction by gradually decreasing (gradually increasing) the size of the heater heating surface. However, the present invention is not limited to this. As in a heater having a shape in which different rectangles are joined, the resistance value may be varied stepwise in the current direction. Alternatively, the resistance may be made different in the current direction by forming a heater by bonding materials having different resistances as the resistor thin film. further,
Heater (thin film resistor), not heater heating surface size
By changing the thickness in the current direction, the resistance value, that is, the heating rate may be made different, and energy may be applied in the bubble growth direction to perform oblique ejection of ink.

【００５３】以上の例のように、本発明の第２の態様に
おいて、ヒータの抵抗値によって加熱速度を変える構成
においては、抵抗値に起因する電流方向の加熱速度の違
いが、できるだけ、直接的にインクに作用するのが好ま
しい。従って、ヒータの保護層は、薄い方が好ましく、
特に、１０００Å以下であるのが好ましい。そのため、
前述のように、三元合金表面の自己酸化膜を保護層とで
き、熱効率に優れた図示例のヒータ５６は、特に、好適
である。As described above, in the second embodiment of the present invention, in the configuration in which the heating speed is changed by the resistance value of the heater, the difference in the heating speed in the current direction caused by the resistance value is as direct as possible. It is preferable to act on the ink. Therefore, the protective layer of the heater is preferably thin,
In particular, it is preferable that the angle is 1000 ° or less. for that reason,
As described above, the heater 56 shown in the illustrated example, which is capable of using the self-oxidized film on the surface of the ternary alloy as a protective layer and has excellent thermal efficiency, is particularly suitable.

【００５４】また、本発明の第２の態様において、イン
クの加熱速度を変える方法すなわち発泡に寄与する熱量
に勾配を付ける方法は、電流方向のヒータの抵抗値の違
いに限定はされず、各種の方法が利用可能である。例え
ば、目的とする斜め吐出方向に応じて、ヒータの放熱率
や熱伝導率に勾配を付けることにより、ヒータによる加
熱速度をヒータ（加熱面）の一方向の両端で変えてもよ
い。あるいは、薄膜抵抗体に接続する導体薄膜（電極
対）のサイズに差を設け、これによって、薄膜抵抗体内
に電流分布を生じさせて、電流分布の疎密によってヒー
タによる加熱速度を一方向の両端で変えてもよい。In the second embodiment of the present invention, the method of changing the heating rate of the ink, that is, the method of giving a gradient to the amount of heat contributing to foaming is not limited to the difference in the resistance value of the heater in the current direction. Are available. For example, the heating rate of the heater may be changed at both ends in one direction of the heater (heating surface) by giving a gradient to the heat radiation rate or the heat conductivity of the heater according to the target oblique ejection direction. Alternatively, a difference is provided in the size of the conductive thin film (pair of electrodes) connected to the thin-film resistor, thereby generating a current distribution in the thin-film resistor. You may change it.

【００５５】なお、本発明の記録ヘッドにおいては、第
１の態様のノズルとヒータのオフセットと、第２の態様
のヒータの加熱速度に差（勾配）を付ける方法の、両者
を併用することにより、インクの斜め吐出を行ってもよ
いのは、もちろんであり、これにより、より好適なイン
クの斜め吐出を実現できる。In the recording head of the present invention, the offset of the nozzle and the heater of the first embodiment and the method of giving a difference (gradient) to the heating speed of the heater of the second embodiment are used in combination. Needless to say, oblique ejection of ink may be performed, whereby more preferable oblique ejection of ink can be realized.

【００５６】このような本発明にかかるトップシュータ
型の記録ヘッドにおいては、インクの吐出方向に対応し
て、隔壁の壁面に勾配を付けることにより、インクの斜
め吐出を補助してもよい。なお、勾配の形成方法には特
に限定はなく、前述の図２（Ｂ）の走査方向の断面図を
例にすれば、図６（Ａ）に示されるような連続的な勾配
を有する壁面としてもよく、あるいは、図６（Ｂ）に示
されるように、隔壁１５を多層構成として、壁面を階段
状にすることによって勾配を付けてもよい。勾配を有す
る連続的な壁面は、隔壁１５を形成する際のエッチング
等によって形成すればよい。In such a top shooter type recording head according to the present invention, oblique ejection of ink may be assisted by forming a gradient on the wall surface of the partition wall in accordance with the ink ejection direction. The method of forming the gradient is not particularly limited. If the cross-sectional view in the scanning direction in FIG. 2B is taken as an example, a wall having a continuous gradient as shown in FIG. Alternatively, as shown in FIG. 6 (B), the partition wall 15 may have a multi-layer structure and the wall surface may be stepped to provide a gradient. A continuous wall surface having a gradient may be formed by etching or the like when forming the partition wall 15.

【００５７】以上の記録ヘッドは、いずれも、Ｓｉ基板
面（記録ヘッドの形成基板面）に対して、直交する方向
のノズルを有する、いわゆるトップシュータ型の記録ヘ
ッドであるが、本発明は、これに限定はされず、基板面
に対して平行な方向のノズルを有する、いわゆるサイド
シュータ型（エッジインクジェット）にも利用可能であ
る。Each of the above recording heads is a so-called top shooter type recording head having nozzles in a direction orthogonal to the Si substrate surface (the substrate surface on which the recording head is formed). The present invention is not limited to this, and can also be used for a so-called side shooter type (edge inkjet) having a nozzle in a direction parallel to the substrate surface.

【００５８】図７に、その一例のノズル近傍の平面図
（基板面と直交する方向から見た図）と、インク吐出方
向から見た図（正面図）を示す。なお、図７において
は、ヒータの形成基板面を覆って配置されるプレート
は、省略する。サイドシュータ型である図示例の記録ヘ
ッドにおいては、オリフィスプレート５８は、基板の端
部に、基板面に対して垂直に立設するように配置され、
ノズル６０は、オリフィスプレート５８面に垂直で、か
つ基板面に平行となるように、穿孔される。なお、図７
においても、ノズル列は矢印ｘ方向である。また、平面
図（左側）における図中左方向（正面図（右側）では紙
面奥手側）に位置する図示しないインク溝から各ノズル
６０（ヒータ６２）に至る個別のインク流路は、隔壁６
４によって形成される。FIG. 7 shows a plan view of the vicinity of the nozzle (a view as seen from a direction perpendicular to the substrate surface) and a view as seen from the ink ejection direction (a front view). In FIG. 7, a plate arranged to cover the surface of the substrate on which the heater is formed is omitted. In the recording head of the illustrated example of the side shooter type, the orifice plate 58 is arranged at the end of the substrate so as to stand upright with respect to the substrate surface.
The nozzle 60 is perforated so as to be perpendicular to the surface of the orifice plate 58 and parallel to the substrate surface. FIG.
Also, the nozzle row is in the direction of the arrow x. The individual ink flow paths from the ink grooves (not shown) located in the left direction in the plan view (left side) of the drawing (the back side in the front view (right side) in the drawing) to each nozzle 60 (heater 62)
4 formed.

【００５９】本発明においては、サイドシュータ型であ
っても、ノズル６０のインク流入部の径をＤ、ノズル６
０の実質的な長さをｈ、ヒータ６２からノズル６０のイ
ンク流入部までの距離をＨとした際に、「長さｈ／径Ｄ
≦０．５３」および「距離Ｈ≦１４μｍ」を満たす。In the present invention, the diameter of the ink inflow portion of the nozzle 60 is D, and
0 as h and the distance from the heater 62 to the ink inflow portion of the nozzle 60 as H, “length h / diameter D
≦ 0.53 ”and“ distance H ≦ 14 μm ”.

【００６０】図７（Ａ）に示される例は、図２〜図４に
示される例と同様に、上記構成を満たした上で、ノズル
６０とヒータ６２ａをとオフセットすることにより、イ
ンクの斜め吐出を行う例である。図示例においては、ノ
ズル６０の中心軸に対して、ヒータ６２ａを図中上方に
オフセットしている。従って、このオフセット量Ｓに応
じて、インクを、図中下方に斜め吐出する。他方、図７
（Ｂ）に示される例は、図５に示される例と同様に、電
流方向にヒータ６２ｂの加熱面のサイズを変えることに
より、電流方向の抵抗値に差を設けて、加熱速度に勾配
を付け、斜め吐出を行う例である。図示例においては、
ヒータ６２ｂは、図中下方に向かって加熱面のサイズが
漸減する形状を有する。従って、このサイズの差すなわ
ち抵抗値の差に応じて、インクを、図中下方に斜め吐出
する。In the example shown in FIG. 7A, similarly to the examples shown in FIGS. 2 to 4, the above structure is satisfied, and the nozzle 60 and the heater 62a are offset from each other so that the ink is oblique. This is an example of performing ejection. In the illustrated example, the heater 62a is offset upward in the figure with respect to the center axis of the nozzle 60. Accordingly, the ink is ejected obliquely downward in the figure according to the offset amount S. On the other hand, FIG.
In the example shown in FIG. 5B, similarly to the example shown in FIG. 5, by changing the size of the heating surface of the heater 62b in the current direction, a difference is provided in the resistance value in the current direction, and a gradient is set in the heating speed. This is an example of attaching and oblique ejection. In the example shown,
The heater 62b has a shape in which the size of the heating surface gradually decreases downward in the drawing. Therefore, the ink is ejected obliquely downward in the figure according to the difference in the size, that is, the difference in the resistance value.

【００６１】前述のように、本発明の記録ヘッドは、何
れの構成であっても、長さｈ／径Ｄ≦０．５３を満たす
ものである。従って、高いノズル密度や、１ドット（一
回のインク吐出）におけるインク液滴量を低減した高精
細な画像を記録する記録ヘッドのように、径Ｄが小さい
場合には、ノズルの長さｈもそれに応じて短くする必要
がある。このような短いノズルを実現する方法として
は、まず、オリフィスプレートを薄くする方法が例示さ
れる。薄いオリフィスプレートの作成方法としては、一
例として、仮支持体の上に樹脂溶液を塗布、乾燥してな
る樹脂層転写材材料を、形成した隔壁の上に積層し、そ
の後、樹脂層の組成に応じた硬化方法（例えば、紫外線
硬化や加熱硬化等）によって樹脂層を硬化させた後、仮
支持体を剥離して、オリフィスプレート（ノズル穿孔
前）とする方法が例示される。As described above, the recording head of the present invention satisfies the relationship of length h / diameter D ≦ 0.53 regardless of the configuration. Therefore, when the diameter D is small, as in a recording head for recording a high-definition image with a high nozzle density or a reduced amount of ink droplets per dot (one ink ejection), the nozzle length h Need to be shortened accordingly. As a method of realizing such a short nozzle, first, a method of thinning an orifice plate is exemplified. As a method of forming a thin orifice plate, as an example, a resin solution is applied on a temporary support, and a resin layer transfer material obtained by drying is laminated on the formed partition wall, and then the composition of the resin layer is determined. After curing the resin layer by a suitable curing method (for example, ultraviolet curing or heat curing), the temporary support is peeled off to form an orifice plate (before drilling the nozzle).

【００６２】あるいは、図８（Ａ）に示されるように、
オリフィスプレート２２の表面に例えば円筒状の凹部６
６を形成して、この凹部６６の中心にノズル２０を穿孔
する構成や、図８（Ｂ）に示されるノズル６８のよう
に、吐出方向に向かって漸次拡径する形状とすることに
より、オリフィスプレート２２は十分な厚さを確保し
て、実質的な長さｈが短いノズルとする方法も好適であ
る。なお、これらのノズルにおいては、インクの吐出に
実質的に作用しない内壁面、具体的には、凹部６６の内
壁面やノズル６８の上部（吐出方向下流側）領域の内壁
面は、撥インク処理を施すのが好ましい。Alternatively, as shown in FIG.
For example, a cylindrical concave portion 6 is formed on the surface of the orifice plate 22.
The orifice 6 is formed and the nozzle 20 is pierced in the center of the concave portion 66, or the nozzle orifice 68 is gradually increased in diameter in the discharge direction as in the nozzle 68 shown in FIG. It is also preferable that the plate 22 has a sufficient thickness to form a nozzle having a substantially short length h. In these nozzles, the inner wall surface that does not substantially act on ink ejection, specifically, the inner wall surface of the concave portion 66 and the inner wall surface of the upper region of the nozzle 68 (downstream in the ejection direction) are treated with an ink-repellent treatment. Is preferably applied.

【００６３】このような本発明の記録ヘッドは、公知の
方法で製造すればよい。例えば、半導体装置の製造技術
を利用して、Ｓｉウエハ（Ｓｉ基板１２）に、多数の記
録ヘッド１０に対応して、ヒータ３０や駆動回路１４、
インク溝１６やインク供給孔１８、隔壁１５等を形成す
る。次いで、ノズル２０を形成していないオリフィスプ
レート２２を積層／貼着し、フォトリソグラフィーによ
って各記録ヘッド１０に対応してノズル２０を形成し
て、記録ヘッド１０となる多数のＳｉチップを完成す
る。その後、Ｓｉウエハをダイシングして各チップを切
り出し、さらに、個々の記録ヘッド１０毎に、フレーム
２４の所定位置に実装し、結線等を行う。Such a recording head of the present invention may be manufactured by a known method. For example, using a semiconductor device manufacturing technique, a heater 30, a drive circuit 14, and a plurality of recording heads 10 are formed on a Si wafer (Si substrate 12).
The ink groove 16, the ink supply hole 18, the partition 15 and the like are formed. Next, the orifice plate 22 without the nozzle 20 is laminated / sticked, and the nozzle 20 is formed corresponding to each recording head 10 by photolithography to complete a number of Si chips to be the recording head 10. Thereafter, each chip is cut out by dicing the Si wafer, and each chip is mounted on a predetermined position of the frame 24 for each recording head 10 to perform connection and the like.

【００６４】前述のように、本発明の記録ヘッドによれ
ば、ノズル列方向へのインクの斜め吐出を行うことがで
きる。また、ヒータのオフセット量や、電流方向のヒー
タの抵抗値の差（加熱速度の勾配の大きさ）に応じて、
より角度の大きい斜め吐出が可能である。従って、本発
明の記録ヘッドを利用することにより、前述のように、
小型の記録ヘッド（以下、短尺ヘッドとする）を端部で
突き合わせて接合して、長尺化してなる記録ヘッド（以
下、ラインヘッドとする）において、短尺ヘッドの接合
部におけるノズルピッチの広がりを、インクの斜め吐出
によって補正して、受像媒体上におけるインクの着弾位
置のピッチを均一にできる。As described above, according to the recording head of the present invention, oblique ejection of ink in the nozzle row direction can be performed. Further, according to the offset amount of the heater or the difference in the resistance value of the heater in the current direction (the magnitude of the gradient of the heating speed),
Oblique ejection with a larger angle is possible. Therefore, by using the recording head of the present invention, as described above,
In a long recording head (hereinafter, referred to as a line head) formed by joining and joining small recording heads (hereinafter, referred to as short heads) at the ends, the spread of the nozzle pitch at the junction of the short heads is reduced. In addition, the pitch of the ink landing positions on the image receiving medium can be made uniform by correcting the oblique ejection of the ink.

【００６５】図９（Ａ）に、トップシュータ型の短尺ヘ
ッドを複数接合することにより長尺化してなるラインヘ
ッドの一例の概略平面図を示す。図示例のラインヘッド
７０は、複数の短尺ヘッド７２をノズル列方向（矢印ｘ
方向）の端部を突き合わせて接合した状態で、基台７４
に組み込むことにより、長尺なノズル列を有するライン
ヘッドを構成している。各短尺ヘッド８４は、前述の本
発明の記録ヘッドを利用するものであり、インクをノズ
ル列方向に斜め吐出する。FIG. 9A is a schematic plan view showing an example of a line head which is made longer by joining a plurality of short heads of the top shooter type. In the illustrated example, the line head 70 moves the plurality of short heads 72 in the nozzle row direction (arrow x).
Direction), the ends of the base 74 are joined together.
To form a line head having a long nozzle row. Each short head 84 utilizes the above-described recording head of the present invention, and discharges ink obliquely in the nozzle row direction.

【００６６】前述のように、（インクジェットの）記録
ヘッドにおいては、記録ヘッドの強度や取り付けのマー
ジン等を考慮して、通常、最端部のノズルと記録ヘッド
端部の距離は、ノズル列におけるノズルピッチよりも広
い。従って、図示例のように短尺ヘッド７２を端部を突
き合わせて接合、配列してなるラインヘッド７０では、
全体的に見たノズル列のピッチは、各短尺ヘッド７２の
接合部で広くなってしまい、通常の記録ヘッドでは、適
正な画像記録を行うことができない。As described above, in a printhead (of ink jet), the distance between the nozzle at the extreme end and the end of the printhead is usually determined in consideration of the strength of the printhead, the margin for mounting, and the like. Wider than the nozzle pitch. Therefore, in the line head 70 formed by joining and arranging the short heads 72 with their ends abutting each other as in the illustrated example,
The overall pitch of the nozzle rows is wide at the joints of the short heads 72, so that an ordinary recording head cannot perform proper image recording.

【００６７】これに対し、本発明の記録ヘッドを利用す
るラインヘッド７０においては、各ノズル２０からノズ
ル列方向にインクを斜め吐出すると共に、各ノズル２０
からのインク吐出角度を適正に設定することにより、接
合位置におけるノズルピッチの誤差を補正して、受像紙
上におけるインクの着弾位置のピッチを、ノズル列方向
の全域で均一化している。すなわち、図９（Ｂ）の走査
方向から見た概念図に示されるように、各短尺ヘッド７
２においては、ノズル列方向の中心から外方に向かうに
したがって、各ノズル２０からのインクの斜め吐出の角
度を漸次大きくして、各ノズルから吐出されたインクの
受像紙Ｐ上における着弾位置のピッチを均一にしてい
る。これにより、短尺ヘッド７２を端部で接合してなる
ラインヘッド７０において、適正な記録密度での高画質
な画像記録を可能にしている。On the other hand, in the line head 70 using the recording head of the present invention, ink is obliquely ejected from each nozzle 20 in the nozzle row direction, and
By properly setting the ink ejection angle from the nozzles, the error of the nozzle pitch at the joining position is corrected, and the pitch of the ink landing position on the image receiving paper is made uniform throughout the nozzle row direction. That is, as shown in the conceptual diagram of FIG. 9B viewed from the scanning direction, each short head 7
In No. 2, the angle of oblique ejection of ink from each nozzle 20 is gradually increased from the center in the nozzle row direction toward the outside, and the landing position of the ink ejected from each nozzle on the image receiving paper P is determined. The pitch is uniform. This enables high-quality image recording at an appropriate recording density in the line head 70 formed by joining the short heads 72 at the ends.

【００６８】各ノズルからの斜め吐出の角度は、前述の
ように、ノズル列方向のオフセット量や、ノズル列方向
におけるヒータ加熱面の抵抗値差（加熱速度差）の大き
さによって調整できる。As described above, the angle of the oblique ejection from each nozzle can be adjusted by the offset amount in the nozzle row direction and the resistance value difference (heating speed difference) of the heater heating surface in the nozzle row direction.

【００６９】例えば、図９（Ｃ）に示されるように、ノ
ズル列方向中央（以下、「ノズル列方向」は省略する）
のノズル２０ａは通常と同様に真っ直ぐにインクを吐出
するように、ノズル２０とヒータ３０とをオフセットせ
ず、その外側（ノズル２０ａの両側）のノズル２０ｂで
は、ノズル２０に対してヒータ３０を若干中央側に位置
してノズル列方向（矢印ｘ方向）にオフセットし、その
外側のノズル２０ｃでは、ノズル２０ｂよりもオフセッ
ト量を若干大きくし、さらに、その外側のノズル２０ｄ
では、よりオフセット量を大きくする。このように、中
央から外方向に向かって（ノズル２０ａからノズル２０
ｄに向かって）、漸次、中央寄りにするオフセット量を
大きくすることにより、各ノズル２０からのインク吐出
角度を調整して、外側のノズル２０ほど、大きな角度で
インクを吐出することにより、受像紙Ｐ上におけるイン
クの着弾位置のピッチを均一にする。For example, as shown in FIG. 9C, the center in the nozzle row direction (hereinafter, “nozzle row direction” is omitted)
Nozzle 20a does not offset the nozzle 20 and the heater 30 so that ink is ejected straight as usual, and the nozzle 20b outside (on both sides of the nozzle 20a) slightly moves the heater 30 with respect to the nozzle 20. It is located at the center side and is offset in the nozzle row direction (arrow x direction), and the outer nozzle 20c has a slightly larger offset amount than the nozzle 20b, and further, the outer nozzle 20d
Then, the offset amount is further increased. Thus, from the center outward (from the nozzle 20a to the nozzle 20a).
(d), gradually increasing the offset amount toward the center, thereby adjusting the ink ejection angle from each nozzle 20, and ejecting the ink at a larger angle toward the outer nozzles 20, thereby receiving the image. The pitch of the ink landing positions on the paper P is made uniform.

【００７０】あるいは、前述のように、オフセットと加
熱速度差による斜め吐出を併用して、受像紙Ｐ上におけ
るインクの着弾位置のピッチを均一にしてもよい。例え
ば、図９（Ｄ）に示されるように、中央のノズル２０
ａ、および、その隣のノズル２０ｂは、前記図９（Ｃ）
に示される例と同様にし、その外側のノズル２０ｃ、中
央寄りへのオフセット量をさらに大きくすると共に、ヒ
ータ３０の加熱面を内側から外側に向かって漸次拡大す
ることにより、同方向に抵抗値の勾配を付け、さらに、
その外側のノズル２８ｄは、オフセット量および抵抗値
勾配をより大きくすることにより、各ノズル２０からの
インク吐出角度を調整して、受像紙Ｐ上におけるインク
の着弾位置のピッチを均一にする。Alternatively, as described above, the pitch of the ink landing positions on the image receiving paper P may be made uniform by using both the offset and the oblique ejection based on the difference in the heating speed. For example, as shown in FIG.
a and the nozzle 20b adjacent thereto are as shown in FIG.
In the same manner as in the example shown in FIG. 1, the nozzle 20c on the outer side, the offset amount toward the center is further increased, and the heating surface of the heater 30 is gradually expanded from the inside to the outside, so that the resistance value in the same direction is increased. With a gradient,
By increasing the offset amount and the resistance value gradient, the outer nozzle 28d adjusts the ink ejection angle from each nozzle 20 to make the pitch of the ink landing position on the image receiving paper P uniform.

【００７１】このようなインクの着弾位置によるノズル
ピッチの補正は、ノズルを斜めに穿孔することにより、
実現することも可能である。しかしながら、ノズルの斜
め穿孔は、手間の係る作業であることは、前述の通りで
ある。しかも、図示例のように３以上の短尺ヘッドを接
合する場合には、穿孔角度が異なるノズルが多数存在す
る結果となり、加工性および生産効率の点では、極めて
不利である。これに対し、このようなヒータとノズルの
オフセットや、ヒータ形状等による抵抗値の差は、例え
ば、半導体製造技術を利用して記録ヘッドを作製するこ
とにより、容易に達成できるのは、前述の通りである。
従って、本発明の記録ヘッドによれば、このように短尺
ヘッドを接合してなるラインヘッドを、良好な加工性お
よび生産性で製造することが可能である。The correction of the nozzle pitch based on the ink landing position is performed by obliquely piercing the nozzle.
It is also possible to realize. However, as described above, the oblique drilling of the nozzle is a laborious operation. Moreover, when three or more short heads are joined as in the illustrated example, a large number of nozzles having different drilling angles are present, which is extremely disadvantageous in terms of workability and production efficiency. On the other hand, the offset between the heater and the nozzle and the difference in resistance value due to the heater shape and the like can be easily achieved, for example, by manufacturing a recording head using semiconductor manufacturing technology. It is on the street.
Therefore, according to the recording head of the present invention, it is possible to manufacture the line head formed by joining the short heads with good workability and productivity.

【００７２】図１０に、このような本発明にかかる記録
ヘッドを用いる、本発明のインクジェットプリンタの一
例の概略図を示す。図１０において、（Ａ）は、このイ
ンクジェットプリンタの構成を示す概念図であり、
（Ｂ）は、このインクジェットプリンタを斜め方向から
見た際の概念図である。図１０に示されるインクジェッ
トプリンタ８０（以下、プリンタ８０とする）は、本発
明にかかる記録ヘッド１１０を用いる以外は、基本的
に、公知のインクジェットプリンタであって、記録ヘッ
ド１１０として、受像紙Ｐの一辺を超えて延在するノズ
ル列を有する、いわゆるラインヘッドを用いるものであ
る。FIG. 10 is a schematic view showing an example of the ink jet printer of the present invention using such a recording head of the present invention. FIG. 10A is a conceptual diagram showing the configuration of the ink jet printer.
(B) is a conceptual diagram when the ink jet printer is viewed from an oblique direction. An ink-jet printer 80 (hereinafter, referred to as a printer 80) shown in FIG. 10 is basically a known ink-jet printer except that the recording head 110 according to the present invention is used. A so-called line head having a nozzle row extending beyond one side is used.

【００７３】図６に示されるプリンタ８０は、本発明の
記録ヘッド１１０を用いる記録部８２、給紙部８４、プ
レヒート部８６、および排出部８８（図６（Ｂ）では省
略）を有して構成される。なお、プリンタ８０は、これ
以外にも、記録ヘッド１０の清掃や保護を行う、ワイパ
ーやキャップ等を有するメンテナンスユニットを有して
もよい。The printer 80 shown in FIG. 6 has a recording unit 82 using the recording head 110 of the present invention, a paper feeding unit 84, a preheating unit 86, and a discharging unit 88 (omitted in FIG. 6B). Be composed. The printer 80 may include a maintenance unit for cleaning and protecting the recording head 10 having a wiper, a cap, and the like.

【００７４】給紙部８４は、搬送ローラ対９２および９
４と、ガイド９６および９８とを有するもので、受像紙
Ｐは、給紙部８４によって、横方向から上方に搬送さ
れ、プレヒート部８６に供給される。The paper feeding section 84 includes a pair of transport rollers 92 and 9
4 and guides 96 and 98, and the image receiving paper P is transported upward from the lateral direction by a paper feeding unit 84 and supplied to a preheating unit 86.

【００７５】プレヒート部８６は、３本のローラおよび
エンドレスベルトからなるコンベア１００と、コンベア
１００の外方からエンドレスベルトに押圧される圧着ロ
ーラ１０２と、コンベア１００の内方から圧着ローラ１
０２（エンドレスベルト）に押圧されるヒータ１０４
と、プレヒート部８６内（ハウジング８６ａ内）を排気
する排気ファン１０６とを有する。このようなプレヒー
ト部８６は、インクジェットによる画像記録に先立ち、
受像紙Ｐを加熱することで、インクの乾燥を促進するた
めのもので、給紙部８４から搬送された受像紙Ｐは、コ
ンベア１００と圧着ローラ１０２とによって挟持搬送さ
れつつ、ヒータ１０４によって加熱され、記録部８２に
搬送される。The preheating section 86 includes a conveyor 100 composed of three rollers and an endless belt, a pressure roller 102 pressed against the endless belt from the outside of the conveyor 100, and a pressure roller 1 from the inside of the conveyor 100.
02 (endless belt) pressed by heater 104
And an exhaust fan 106 for exhausting the inside of the preheating unit 86 (the inside of the housing 86a). Such a pre-heating unit 86 is used for recording an image by an ink jet,
By heating the image receiving paper P, the drying of the ink is promoted. The image receiving paper P conveyed from the paper feeding unit 84 is heated by the heater 104 while being nipped and conveyed by the conveyor 100 and the pressure roller 102. Then, it is conveyed to the recording unit 82.

【００７６】記録部８２は、本発明にかかる記録ヘッド
１１０と、搬送手段１０８とを有して構成される。The recording section 82 has a recording head 110 according to the present invention and a conveying means 108.

【００７７】記録ヘッド１１０は、本発明の記録ヘッド
であり、一例として、図９（Ａ）に示されるような、短
尺ヘッドを端部で接合してなるラインヘッドで、従っ
て、短尺ヘッドのノズルは、前述のように、インクをノ
ズル列方向に斜め吐出することにより、受像紙Ｐ上にお
けるインクの着弾位置のピッチを均一にしている。ま
た、記録ヘッド１１０は、Ｙ（イエロー）、Ｃ（シア
ン）、Ｍ（マゼンタ）およびＫ（クロ）の４色のインク
を吐出して、フルカラー画像を記録するもので、インク
タンク１１２（１１２Ｙ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，および
１１２Ｂ）が装着される。The recording head 110 is a recording head according to the present invention. As an example, as shown in FIG. 9A, the recording head 110 is a line head formed by joining short heads at their ends. As described above, the pitch of ink landing positions on the image receiving paper P is made uniform by obliquely discharging ink in the nozzle row direction, as described above. The recording head 110 discharges four color inks of Y (yellow), C (cyan), M (magenta), and K (black) to record a full-color image. 112C, 112M, and 112B) are mounted.

【００７８】ここで、この記録ヘッド１１０は、１つの
短尺ヘッドの中に、各色のインクに対応するノズル列を
４つ有するものであってもよく、あるいは、図９（Ａ）
に示されるような短尺ヘッドの配列を基台に４列組み込
んだものであってもよく、あるいは、図９（Ａ）に示さ
れるようなラインヘッド７０を４台組み込んだものであ
ってもよい。なお、各色のノズル列は、互いに平行に配
置されるのは言うまでもない。Here, the recording head 110 may have four nozzle arrays corresponding to inks of each color in one short head, or FIG. 9A
9A may be one in which four rows of short heads are incorporated in a base, or four line heads 70 as shown in FIG. 9A may be incorporated. . It goes without saying that the nozzle rows of each color are arranged in parallel with each other.

【００７９】搬送手段１０８は、ローラ１１４ａ，１１
４ｂおよび吸引ローラ１１６、ならびに多孔エンドレス
ベルト１１８からなるコンベア１２０と、多孔エンドレ
スベルト１１８に押圧されるニップローラ１２２（図６
（Ｂ）では省略）と、コンベア１２０内に配置される吸
引箱１２４とを有して構成される。The conveying means 108 includes rollers 114a, 11
4b, a suction roller 116, and a conveyor 120 including a porous endless belt 118, and a nip roller 122 pressed by the porous endless belt 118 (FIG. 6).
(Omitted in (B)) and a suction box 124 arranged in the conveyor 120.

【００８０】記録ヘッド１１０は、ノズル列を図中矢印
ｘ方向（図１０（Ａ）においては、紙面に垂直方向）と
して、ノズルを吸着ローラ１１６に向けて配置される。
また、搬送手段１０８は、記録ヘッド１０のノズル列方
向と直交する方向に、所定速度で連続的に受像紙Ｐを搬
送する。従って、プレヒート部８０から供給された受像
紙Ｐは、ラインヘッドである記録ヘッド１０のノズル列
で全面を走査され、画像が記録される。また、記録中
は、吸引ローラ１１６および吸引箱１２４が駆動してお
り、受像紙Ｐは、多孔エンドレスベルト１１８に吸着さ
れた状態で搬送され、記録ヘッド１０に対して所定位置
に保たれた状態で搬送される。The recording head 110 is arranged with the nozzle row facing the suction roller 116 with the nozzle row in the direction indicated by the arrow x in FIG. 10 (in FIG. 10A, the direction perpendicular to the paper surface).
The transport unit 108 continuously transports the image receiving paper P at a predetermined speed in a direction orthogonal to the nozzle row direction of the recording head 10. Therefore, the image receiving paper P supplied from the preheating unit 80 is scanned over the entire surface by the nozzle row of the recording head 10 which is a line head, and an image is recorded. Further, during recording, the suction roller 116 and the suction box 124 are driven, and the image receiving paper P is conveyed while being sucked by the perforated endless belt 118, and is held at a predetermined position with respect to the recording head 10. Conveyed by.

【００８１】画像を記録された受像紙Ｐは、排出部８８
に供給され、搬送ローラ対１２６および排出ローラ１２
８によって搬送されて、例えば、図示しない排出トレイ
に排出される。The image receiving paper P on which the image has been recorded is delivered to a discharge section 88.
And a pair of transport rollers 126 and a discharge roller 12
8 and is discharged to, for example, a discharge tray (not shown).

【００８２】なお、本発明のインクジェットプリンタ
は、上述の例に限定はされず、公知のインクジェットプ
リンタが、各種利用可能であり、例えば、前述の受像紙
を断続的に搬送すると共に、キャリッジによって記録ヘ
ッド（ヘッドユニット）を走査するシリアルタイプのプ
リンタであってもよく、また、受像紙を自動的に供給す
るフィーダ等を有していてもよい。The ink-jet printer of the present invention is not limited to the above-described example, and various known ink-jet printers can be used. For example, the above-mentioned image-receiving paper is intermittently conveyed and recorded by a carriage. The printer may be a serial type printer that scans a head (head unit), or may have a feeder or the like that automatically supplies image receiving paper.

【００８３】以上、本発明のインクジェット記録ヘッ
ド、およびインクジェットプリンタについて詳細に説明
したが、本発明は、上記実施例に限定はされず、本発明
の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を
行ってもよいのは、もちろんである。Although the ink jet recording head and the ink jet printer of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various improvements and modifications can be made without departing from the gist of the present invention. Of course, you may do.

【００８４】[0084]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、小型の記録ヘッドを複数接合して長尺化してな
る記録ヘッドにおける、接合部におけるノズルピッチの
補正や、受像紙に跳ね返されたインクによるノズル周辺
の汚染の防止等のために、インクを吐出面に対して斜め
に吐出でき、しかも、吐出角度および方向も好適に選択
かつ調整でき、さらに、加工性および生産性も良好なイ
ンクジェット記録ヘッド、および、これを用いるインク
ジェットプリンタを実現できる。As described above in detail, according to the present invention, it is possible to correct a nozzle pitch at a joint portion in a recording head formed by joining a plurality of small recording heads to make the recording head long, and to provide an image receiving paper. The ink can be ejected obliquely to the ejection surface, and the ejection angle and direction can be appropriately selected and adjusted, in order to prevent contamination around the nozzle by the bounced ink, and further, the processability and productivity are improved. A good ink jet recording head and an ink jet printer using the same can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 本発明にかかるインクジェット記録ヘッドの
一例の概略図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のｂ
−ｂ線断面図である。FIG. 1 is a schematic view of an example of an ink jet recording head according to the present invention, wherein (A) is a plan view and (B) is (b) of (A).
It is a -b line sectional view.

【図２】 図１の部分拡大概略図で、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は走査方向の断面図、（Ｃ）はノズル列方向の断
面図である。FIG. 2 is a partially enlarged schematic view of FIG. 1, (A) is a plan view,
(B) is a sectional view in the scanning direction, and (C) is a sectional view in the nozzle row direction.

【図３】 本発明のインクジェット記録ヘッドの別の例
のノズル近傍の概略図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は走
査方向の断面図、（Ｃ）はノズル列方向の断面図であ
る。3A and 3B are schematic views of the vicinity of nozzles of another example of the inkjet recording head of the present invention, wherein FIG. 3A is a plan view, FIG. 3B is a cross-sectional view in a scanning direction, and FIG. is there.

【図４】 本発明のインクジェット記録ヘッドの別の例
のノズル近傍の概略図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は走
査方向の断面図、（Ｃ）はノズル列方向の断面図であ
る。4A and 4B are schematic views of the vicinity of nozzles of another example of the inkjet recording head of the present invention, wherein FIG. 4A is a plan view, FIG. 4B is a cross-sectional view in a scanning direction, and FIG. is there.

【図５】 本発明のインクジェット記録ヘッドの別の例
のノズル近傍の概略図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は走
査方向の断面図、（Ｃ）はノズル列方向の断面図であ
る。5A and 5B are schematic views of the vicinity of nozzles in another example of the inkjet recording head of the present invention, wherein FIG. 5A is a plan view, FIG. 5B is a cross-sectional view in a scanning direction, and FIG. is there.

【図６】 （Ａ）および（Ｂ）は、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドの別の例のノズル近傍の概略断面図であ
る。FIGS. 6A and 6B are schematic cross-sectional views showing the vicinity of a nozzle of another example of the ink jet recording head of the present invention.

【図７】 （Ａ）および（Ｂ）は、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドの別の例のノズル近傍の概略図である。FIGS. 7A and 7B are schematic views of the vicinity of a nozzle of another example of the ink jet recording head of the present invention.

【図８】 （Ａ）および（Ｂ）は、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドに用いられるオリフィスプレートのノズ
ル近傍の概略断面図である。FIGS. 8A and 8B are schematic cross-sectional views showing the vicinity of a nozzle of an orifice plate used in an ink jet recording head of the present invention.

【図９】 （Ａ）は発明のインクジェット記録ヘッドの
別の例の概略平面図、（Ｂ）はその作用を説明するため
の概略図、（Ｃ）および（Ｄ）は、その構成を説明する
ための概略平面図である。9A is a schematic plan view of another example of the ink jet recording head of the present invention, FIG. 9B is a schematic diagram for explaining the operation thereof, and FIGS. 9C and 9D explain the configuration thereof. FIG.

【図１０】 本発明のインクジェットプリンタの概略図
であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は斜視図である。FIGS. 10A and 10B are schematic views of the ink jet printer of the present invention, wherein FIG. 10A is a front view and FIG. 10B is a perspective view.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０，５０，５４，７０，１１０ （インクジェット）
記録ヘッド １２ Ｓｉ基板 １４ 駆動回路 １５，５２，６４ 隔壁 １６ インク溝 １８ インク供給孔 ２０，６０，６８ ノズル ２２，５８ オリフィスプレート ２４ フレーム ３０，５６，６２ ヒータ ６６ 凹部 ７２ 短尺ヘッド ７４ 基台 ８０ （インクジェット）プリンタ ８２ 記録部 ８４ 供給部 ８６ プレヒート部 ８８ 排出部 ９６，９８ ガイド ９２，９４，１２６ 搬送ローラ対 １００，１２０ コンベア １０２ 圧着ローラ １０４ ヒータ １０６ 排気ファン １０８ 搬送手段 １１０ 記録ヘッド １１２ インクタンク １１４ａ，１１４ｂ ローラ １１６ 吸引ローラ １１８ 多孔エンドレスベルト １２２ ニップローラ １２４ 吸引箱 １２８ 排出ローラ対10, 50, 54, 70, 110 (inkjet)
Recording head 12 Si substrate 14 drive circuit 15, 52, 64 partition 16 ink groove 18 ink supply hole 20, 60, 68 nozzle 22, 58 orifice plate 24 frame 30, 56, 62 heater 66 recess 72 short head 74 base 80 ( Inkjet) printer 82 Recording unit 84 Supply unit 86 Preheating unit 88 Ejection unit 96, 98 Guide 92, 94, 126 Conveying roller pair 100, 120 Conveyor 102 Crimping roller 104 Heater 106 Exhaust fan 108 Conveying means 110 Recording head 112 Ink tank 114a, 114b roller 116 suction roller 118 perforated endless belt 122 nip roller 124 suction box 128 discharge roller pair

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】一方向に配列された複数のノズルと、イン
クを加熱して気泡を生成することにより、前記ノズルか
らインク液滴を吐出させるヒータとを有するインクジェ
ット記録ヘッドであって、 前記ノズルのインク流入部の径をＤ、前記ノズルの実質
的な長さをｈ、前記ヒータから前記ノズルのインク流入
部までの最短部の距離をＨとした際に、「ｈ／Ｄ≦０．
５３」および「Ｈ≦１４μｍ」を満たし、かつ、ノズル
の中心軸方向から見た際に、前記ノズル開口中心とヒー
タの加熱面の重心とがオフセットしていることを特徴と
するインクジェット記録ヘッド。1. An ink jet recording head comprising: a plurality of nozzles arranged in one direction; and a heater for discharging ink droplets from the nozzles by heating ink to generate bubbles. Where D is the diameter of the ink inflow portion, h is the substantial length of the nozzle, and H is the distance of the shortest portion from the heater to the ink inflow portion of the nozzle, "h / D ≦ 0.
53 ”and“ H ≦ 14 μm ”, and the center of the nozzle opening is offset from the center of gravity of the heating surface of the heater when viewed from the center axis direction of the nozzle. 【請求項２】前記ノズル開口中心とヒータ加熱面の重心
とがノズルの配列方向にオフセットしており、かつ、こ
のオフセット量が、ノズルの配列方向の位置に応じて異
なる請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。2. The nozzle according to claim 1, wherein the center of the nozzle opening and the center of gravity of the heater heating surface are offset in the direction in which the nozzles are arranged, and the amount of offset varies depending on the position in the direction in which the nozzles are arranged. Ink jet recording head. 【請求項３】一方向に配列された複数のノズルと、イン
クを加熱して気泡を生成することにより、前記ノズルか
らインク液滴を吐出させるヒータとを有するインクジェ
ット記録ヘッドであって、 前記ノズルのインク流入部の径をＤ、前記ノズルの実質
的な長さをｈ、前記ヒータから前記ノズルのインク流入
部までの最短部の距離をＨとした際に、「ｈ／Ｄ≦０．
５３」および「Ｈ≦１４μｍ」を満たし、かつ、前記ヒ
ータは、加熱面の一方向の端部でインクの加熱速度に差
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。3. An ink jet recording head, comprising: a plurality of nozzles arranged in one direction; and a heater for discharging ink droplets from said nozzles by heating ink to generate bubbles. Where D is the diameter of the ink inflow portion, h is the substantial length of the nozzle, and H is the distance of the shortest portion from the heater to the ink inflow portion of the nozzle, "h / D ≦ 0.
53 ”and“ H ≦ 14 μm ”, and the heater has a difference in the heating speed of the ink at one end of the heating surface in one direction. 【請求項４】前記ヒータは、ノズルの配列方向の加熱面
端部で加熱速度に差を有するものであり、かつ、この加
熱速度の差が、ノズルの配列方向の位置に応じて異なる
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。4. The heater according to claim 1, wherein the heater has a difference in heating speed at an end of a heating surface in a nozzle arrangement direction, and the difference in heating speed differs according to a position in a nozzle arrangement direction. 4. The ink jet recording head according to 3. 【請求項５】前記ヒータは、発熱抵抗体と、前記加熱面
の一方向の端部に対応する位置において発熱抵抗体に接
続する電極対とを有して構成されるものであり、 かつ、前記電極対の接続位置における発熱抵抗体の電気
抵抗が異なることにより、ヒータの加熱面の一方向の端
部でインクの加熱速度に差を有する請求項３または４に
記載のインクジェット記録ヘッド。5. The heater includes: a heating resistor; and a pair of electrodes connected to the heating resistor at a position corresponding to one end of the heating surface in one direction, and 5. The ink jet recording head according to claim 3, wherein a difference in electric resistance of the heating resistor at a connection position of the electrode pair causes a difference in a heating speed of the ink at one end of the heating surface of the heater in one direction. 【請求項６】前記ノズルはノズルが穿孔される部材の表
面に形成された凹部に穿孔され、もしくは、吐出方向に
漸次拡径する請求項１〜５のいずれかに記載のインクジ
ェット記録ヘッド。6. An ink jet recording head according to claim 1, wherein said nozzle is perforated in a concave portion formed on a surface of a member on which the nozzle is perforated, or has a diameter gradually increased in a discharge direction. 【請求項７】前記ノズルは、前記ヒータの形成基板面を
覆って配置される部材に、前記ヒータの形成基板面と直
交するように穿孔される請求項１〜６のいずれかに記載
のインクジェット記録ヘッド。7. The ink-jet apparatus according to claim 1, wherein said nozzle is bored in a member arranged to cover a surface of said heater forming substrate so as to be orthogonal to said heater forming substrate surface. Recording head. 【請求項８】請求項１〜７に記載のいずれかに記載のイ
ンクジェット記録ヘッドを用いることを特徴とするイン
クジェットプリンタ。8. An ink jet printer using the ink jet recording head according to any one of claims 1 to 7.