JP2002312021A - Management system for semiconductor equipment - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置製造管理
システムに関し、特に、半導体製造ラインのアセンブリ
工程において、半導体製造装置の稼動状態や生産情報等
をデータベースサーバに蓄積し、蓄積されたデータを遠
隔地において取り出して製造装置を監視する半導体製造
装置の管理システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device manufacturing management system, and more particularly, to the operation of assembling a semiconductor manufacturing line, storing the operating status of a semiconductor manufacturing device, production information, and the like in a database server, and remotely storing the stored data. The present invention relates to a management system for a semiconductor manufacturing apparatus that takes out the ground and monitors the manufacturing apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造ラインでは、半導体チップを
基板やパッケージに接続する組立工程や、半導体パッケ
ージなど電子部品を基板やパッケージに接続する工程が
含まれている。例えば、ウェーハ工程が施された後、半
導体チップをウェーハからダイシング工程で切り出し、
ダイボンディング、ワイヤボンディング工程で電気的に
接続した後、モールド工程による樹脂封止やリード成形
加工等が施される。または、半導体パッケージをプリン
ト基板に実装し、基板に半田ペーストを塗布し、半導体
パッケージを搭載した後、半田を溶融させてパッケージ
と基板とを電気的に接続する工程等、種々の処理工程が
含まれる。2. Description of the Related Art A semiconductor manufacturing line includes an assembly process of connecting a semiconductor chip to a substrate or a package, and a process of connecting electronic components such as a semiconductor package to a substrate or a package. For example, after the wafer process is performed, the semiconductor chips are cut out from the wafer by a dicing process,
After the electrical connection in the die bonding and wire bonding processes, resin molding, lead molding, and the like are performed in a molding process. Alternatively, various processing steps are included, such as mounting the semiconductor package on a printed circuit board, applying solder paste to the board, mounting the semiconductor package, melting the solder, and electrically connecting the package and the board. It is.
【０００３】従来、半導体製造工場においては、製造工
場内の多数のロットの工程進捗等の管理、各ロットに対
する製造工程を各製造装置や作業者へ指示したり、製造
装置による処理結果や各ロットの製造履歴等の各種情報
を統括管理し保存しておくために、製造管理システム
は、製造装置側の端末器に接続され、中央処理装置を用
いて各ロット毎に製造工程を記憶したり、製造装置への
指示をしたり、製造履歴等のデータを保存したりする統
括的な製造管理を行うホストコンピュータを備えた構成
を用いていた。Conventionally, in a semiconductor manufacturing plant, management of the process progress of a lot of lots in the manufacturing plant, instructing a manufacturing process for each lot to each manufacturing apparatus and an operator, a processing result by the manufacturing apparatus and each lot. In order to centrally manage and store various information such as manufacturing history, the manufacturing management system is connected to a terminal device on the manufacturing device side, and stores a manufacturing process for each lot using a central processing unit, A configuration including a host computer for performing overall production management for instructing a production apparatus and storing data such as production history has been used.
【０００４】また、半導体製造工程における不良分析過
程では、作業日誌を参照して組立工程が進行された半導
体製造の工程条件等を記録した被製造物に関するデータ
ベースと、不良チェックされ分類されたデータベースが
設けられている。[0004] In the defect analysis process in the semiconductor manufacturing process, a database relating to a workpiece recording process conditions and the like of a semiconductor manufacturing process in which an assembly process is performed with reference to a work log, and a database in which a defect is checked and classified. Is provided.
【０００５】チェック時に特定の工程における不良の発
生、または半導体チップの非正常な状態の発生が検出さ
れた場合は、工程が進行されたチップを探し、データベ
ースを参照して正常な工程が進行されたチップを探し出
し、チェックされた非正常なチップデータと検索された
正常なチップデータとを比較分析して、不良を誘発した
装備の状態および工程条件等をチェックしていた。If a defect is detected in a specific step or an abnormal state of a semiconductor chip is detected at the time of checking, a chip in which the step has been processed is searched for, and the normal step is performed by referring to a database. The chip that was found was searched for, and the checked abnormal chip data and the searched normal chip data were compared and analyzed to check the state of the equipment that caused the failure and the process conditions.
【０００６】しかし、このような従来の製造工程の管理
方法では、すでに組立工程が進行された後の不良分析で
あるので、事後処理に過ぎず、稼動状態をリアルタイム
で表示することができないため、迅速な対処が困難であ
り、装置の稼働率と生産性向上の観点において問題があ
った。However, in such a conventional method of managing the manufacturing process, since the failure analysis is performed after the assembly process has already been performed, it is only post-processing, and the operating state cannot be displayed in real time. It was difficult to quickly deal with the problem, and there was a problem in terms of improving the operation rate and productivity of the apparatus.
【０００７】また、従来のデータベースでは被製造物に
関するデータを蓄積する方式であるため、各製造装置自
体の稼動履歴やエラー履歴、生産数履歴を分析し、傾向
管理や変動管理を行うことができないため、事前に装置
の故障やトラブルを防止・抑制することが困難であっ
た。[0007] Further, since the conventional database is a system for accumulating data on a product to be manufactured, it is not possible to analyze the operation history, error history, and production number history of each manufacturing apparatus itself and perform trend management and fluctuation management. For this reason, it has been difficult to prevent or suppress the failure or trouble of the apparatus in advance.
【０００８】また、従来は、各製造装置の処理数や稼動
情報等のデータを検索・分析・活用するためには、ファ
ックス、電話、メール等での情報伝達によりデータを取
得していたため受動的であり、得たい人が自らリアルタ
イムでアクセスしてデータを取り出してチップを加工す
ることができず、最新の情報を得ることが困難であっ
た。Conventionally, in order to search, analyze, and utilize data such as the number of processes and operation information of each manufacturing apparatus, data has been obtained by transmitting information by facsimile, telephone, mail, or the like. However, it is difficult for a person who wants to obtain the latest information to access the data in real time and extract the data to process the chip.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記課題を
解決するためになされたもので、製造装置の稼動状態を
リアルタイム表示することにより、最適な動作が行え、
製造装置の稼働率向上、生産性向上が可能な半導体製造
装置の管理システムであって、半導体製造ラインの後ア
センブリ工程に適用され、半導体製造装置の稼動状態や
生産情報等をデータベースサーバに蓄積し、蓄積された
データを遠隔地において取り出して製造装置を監視し、
半導体製造ラインの各装置の稼動状態をリアルタイムで
表示することができ、この表示された情報に基づいて最
適なアクションを取ることで、装置の稼働率の向上と生
産性の向上が可能となる半導体製造装置の管理システム
を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and an optimum operation can be performed by displaying an operating state of a manufacturing apparatus in real time.
This is a management system for semiconductor manufacturing equipment that can improve the operating rate and productivity of manufacturing equipment, and is applied to the post-assembly process of semiconductor manufacturing lines, and stores the operating status of semiconductor manufacturing equipment and production information in a database server. , Retrieve the stored data at a remote location and monitor the manufacturing equipment,
Semiconductors that can display the operating status of each device in a semiconductor manufacturing line in real time, and take the most appropriate action based on the displayed information to improve the operating rate of the device and improve productivity. An object of the present invention is to provide a management system for a manufacturing apparatus.
【００１０】また、製造装置の稼動履歴、ジャム(Japan
ese Access Method)履歴等を分析することで、事前に装
置の故障やトラブルを防止し、装置を最適状態に維持で
きるとともに、安定した生産数量を確保できる半導体製
造装置の管理システムであって、データベースサーバに
リアルタイムで蓄積される各装置の稼動履歴やエラー履
歴、生産数履歴を分析し、傾向管理や変動管理を行うこ
とで、事前に装置の故障やトラブルを防止・抑制し、
中、長期にわたって半導体製造ラインを最適状態に維持
でき、安定した生産数量を確保できる半導体製造装置の
管理システムを提供することを目的とする。In addition, the operation history of the manufacturing apparatus, the jam (Japan)
(ese Access Method) A management system for semiconductor manufacturing equipment that can prevent equipment failures and troubles in advance, maintain equipment in an optimal state, and secure a stable production quantity by analyzing the history etc. By analyzing the operation history, error history, and production history of each device accumulated in real time on the server and performing trend management and fluctuation management, device failures and troubles are prevented and suppressed in advance,
It is an object of the present invention to provide a semiconductor manufacturing apparatus management system capable of maintaining a semiconductor manufacturing line in an optimum state for a long period of time and securing a stable production quantity.
【００１１】また、ネットワークを生かして、遠隔地か
ら製造装置の生産情報、稼動情報を検索して分析、活用
することで、従来のファックス、電話、メール等での情
報伝達によらず、データを得たい人が自らリアルタイム
でアクセスして、最新の情報を得ることができる半導体
製造装置の管理システムであって、製造ラインと距離的
に離れた場所や事業所からも、データベースサーバに蓄
積された各装置の処理数や稼動情報等のデータを検索・
分析・活用することにより、従来のファックス、電話、
ｅメール等での情報伝達によることなく、データを得た
い人が自らリアルタイムでアクセスしてデータを取り出
し、加工することにより、最新の情報を得ることができ
る半導体製造装置の管理システムを提供することを目的
とする。Further, by utilizing the network to search, analyze, and utilize production information and operation information of a manufacturing apparatus from a remote location, data can be transmitted without using conventional information transmission by fax, telephone, mail, or the like. This is a management system for semiconductor manufacturing equipment that allows people who want to gain access in real time to obtain the latest information, and is stored in a database server even from places and offices that are far away from the manufacturing line. Search and search data such as the number of processes and operation information of each device
By analyzing and utilizing traditional fax, telephone,
To provide a semiconductor manufacturing equipment management system in which a person who wants to obtain data can access the data in real time and retrieve and process the data without obtaining information by e-mail or the like, thereby obtaining the latest information. With the goal.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１の態様による半導体製造装置の管理シ
ステムは、半導体製造ラインの複数の半導体製造装置の
稼動状態を管理し、各製造装置の稼動状態に関する情報
を格納するデータベースサーバと、半導体製造装置とデ
ータベースサーバとの間に介在して、各製造装置とデー
タベースサーバ間のインターフェース接続を行い、稼動
状態に関する情報を収集する端末器と、を備え、データ
ベースサーバに蓄積された稼動状態に関する情報を遠隔
地において取り出して各製造装置を監視する。管理シス
テムは、半導体製造ラインの後アセンブリ工程に適用さ
れ、半導体製品の製造をロット単位で管理してもよい。In order to achieve the above object, a management system for a semiconductor manufacturing apparatus according to a first aspect of the present invention manages operating states of a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses on a semiconductor manufacturing line, and A database server that stores information on the operation status of the manufacturing equipment, and a terminal device that intervenes between the semiconductor manufacturing equipment and the database server, performs an interface connection between each manufacturing equipment and the database server, and collects information on the operation status. The information on the operation status stored in the database server is extracted at a remote location and each manufacturing apparatus is monitored. The management system may be applied to a post-assembly process of a semiconductor manufacturing line, and may manage the manufacture of semiconductor products in lot units.
【００１３】本発明の第１の態様によれば、半導体製造
ラインの各装置の稼動状態をリアルタイムで表示するこ
とができ、この表示された情報に基づいて最適なアクシ
ョンを取ることで、装置の稼働率の向上と生産性の向上
が可能となる。[0013] According to the first aspect of the present invention, the operating state of each device in the semiconductor manufacturing line can be displayed in real time. It is possible to improve the operation rate and the productivity.
【００１４】本発明の第２の態様による半導体製造装置
の管理システムは、稼動状態に関する情報は、生産数情
報と稼働率情報とエラー発生情報と製造履歴情報を含
む。また、稼動状態に関する情報は、製造工程情報ファ
イル、ロット属性情報、製造履歴情報ファイル、工程変
更情報に分類される。データベースサーバは、前記稼動
状態に関する情報を格納する情報格納部と、該稼動状態
に関する情報を統括管理するためのデータ処理装置を備
えてもよい。In the management system for a semiconductor manufacturing apparatus according to the second aspect of the present invention, the information on the operation state includes production number information, operation rate information, error occurrence information, and manufacturing history information. The information on the operation state is classified into a manufacturing process information file, lot attribute information, a manufacturing history information file, and process change information. The database server may include an information storage unit for storing the information on the operation status, and a data processing device for centrally managing the information on the operation status.
【００１５】また、データベースサーバは、半導体製造
装置毎に重大エラーの判定及び通常エラーの発生件数を
判定するエラー判定部と、重大エラー発生があると判定
された場合および通常エラー件数が設定値を超えた場合
に管理者に警告を出す警告発生部とを備えてもよい。The database server includes an error determination unit for determining a serious error and the number of occurrences of normal errors for each semiconductor manufacturing apparatus, and a setting value for determining whether a serious error has occurred and for the number of normal errors. And a warning generating unit that warns the administrator when the number exceeds the threshold.
【００１６】本発明の第２の態様によれば、データベー
スサーバにリアルタイムで蓄積される各装置の稼動履歴
やエラー履歴、生産数履歴を分析し、傾向管理や変動管
理を行うことで、事前に装置の故障やトラブルを防止・
抑制し、中、長期にわたって半導体製造ラインを最適状
態に維持でき、安定した生産数量を確保できる。According to the second aspect of the present invention, the operation history, error history, and production number history of each device stored in real time in the database server are analyzed, and the trend management and the fluctuation management are performed in advance. Prevent equipment failure and trouble
The semiconductor manufacturing line can be maintained in an optimum state for a medium and long term, and a stable production quantity can be secured.
【００１７】本発明の第３の態様による半導体製造装置
の管理システムは、データベースサーバをネットワーク
網に接続して遠隔地よりアクセスすることで各半導体製
造装置の遠隔監視を行う。遠隔監視を行う手段として、
ネットワーク網を介してデータベースサーバと接続され
た遠隔地のデータベースクライアントを備える。データ
ベースクライアントは、データベースサーバより各製造
装置の稼動状態に関する情報を検索集計する情報検索集
計部と、該検索集計された情報を表示する表示部を備え
る。The semiconductor manufacturing apparatus management system according to the third aspect of the present invention performs remote monitoring of each semiconductor manufacturing apparatus by connecting a database server to a network and accessing from a remote place. As a means of remote monitoring,
A remote database client connected to the database server via a network is provided. The database client includes an information search and counting unit that searches and counts information on the operation status of each manufacturing apparatus from the database server, and a display unit that displays the searched and counted information.
【００１８】また、データベースクライアントは、ネッ
トワークを介して遠隔地より各半導体製造装置の制御用
ソフトウェアの更新を行うために、該装置制御用ソフト
ウェアをデータベースサーバに登録し、データベースサ
ーバは、データベースクライアントから受け取り保管し
た該装置制御用ソフトウェアを、半導体製造装置からの
要求に応じて当該製造装置に送信する。Further, the database client registers the control software of each semiconductor manufacturing apparatus in the database server in order to update the control software of each semiconductor manufacturing apparatus from a remote place via the network. The received and stored apparatus control software is transmitted to the manufacturing apparatus in response to a request from the semiconductor manufacturing apparatus.
【００１９】本発明の第３の態様によれば、ネットワー
クを利用して、製造ラインと距離的に離れた場所や事業
所からも、データベースサーバに蓄積された各装置の処
理数や稼動情報等のデータを検索・分析・活用すること
により、従来のファックス、電話、メール等での情報伝
達によることなく、データを得たい人が自らリアルタイ
ムでアクセスしてデータを取り出し、加工することによ
り、最新の情報を得ることができる。According to the third aspect of the present invention, the number of processes, operation information, and the like of each device stored in the database server can be stored in a database server from a place or a business place distant from the production line by using a network. By searching, analyzing, and utilizing the data, people who want to access the data in real-time can access the data in real time, extract and process the data without using the conventional information transmission by fax, telephone, e-mail, etc. Information can be obtained.
【００２０】[0020]
【実施例】図１乃至図６を用いて本発明の１実施例につ
いて説明する。なお、各図において共通する要素には同
一の符号を付し、重複する説明については省略してい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the drawings, common elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
【００２１】図１は、本発明による半導体製造管理シス
テムの１実施例のブロック構成を示す。同図において、
製造管理システムは、データベースサーバ１と、多数の
各製造装置Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３と、製造装置側に設けられ
た端末器Ｐ１、Ｐ２と、ネットワーク網３を介してデー
タベースサーバ１と接続された遠隔地のデータベースク
ライアント２を備え、データベースサーバ１と、多数の
各製造装置Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３と、端末器Ｐ１、Ｐ２は、
製造ライン工場内に設置されている。また、工場内にお
いて、別のデータベースクライアント２’が構内ネット
ワーク４を介して接続されている。FIG. 1 shows a block configuration of an embodiment of a semiconductor manufacturing management system according to the present invention. In the figure,
The manufacturing management system includes a database server 1, a number of manufacturing apparatuses M1, M2, and M3, terminals P1 and P2 provided on the manufacturing apparatus side, and a remote server connected to the database server 1 via a network 3. A local database client 2, a database server 1, a number of manufacturing apparatuses M1, M2, M3, and terminals P1, P2.
Installed in the production line factory. In the factory, another database client 2 ′ is connected via a private network 4.
【００２２】ここで、各端末器Ｐ１、Ｐ２は、例えば、
情報収集用パソコンで構成され、直接データベースサー
バ１とインターフェースできない各複数の半導体製造装
置Ｍ１、Ｍ２について、各製造装置とデータベースサー
バ１との間に介在して、製造装置の種類毎の通信インタ
ーフェース仕様の違いを変換し、各製造装置とデータベ
ースサーバ１とのインターフェースを可能にしている。
各種の半導体製造装置Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３がデータベース
サーバ１とインターフェースする方法は、直接データベ
ースサーバとインターフェースする方法と、情報収集用
パソコン端末器Ｐ１、Ｐ２を介してインターフェースす
る方法とがある。Here, each terminal device P1, P2 is, for example,
Communication interface specifications for each type of manufacturing equipment, each of a plurality of semiconductor manufacturing equipments M1 and M2 which are composed of information collecting personal computers and cannot directly interface with the database server 1, are interposed between each manufacturing equipment and the database server 1. Is converted, and an interface between each manufacturing apparatus and the database server 1 is enabled.
Various semiconductor manufacturing apparatuses M1, M2, and M3 can be interfaced with the database server 1 by a method of directly interfacing with the database server or by a method of interfacing with the information collecting personal computer terminals P1 and P2.
【００２３】図２に示すように、データベースサーバ１
は、各製造装置の稼動状態等を表す各種情報を格納する
情報格納部１１を備え、データベースクライアント２か
らの要求により、格納された情報データをデータベース
クライアント２に送信する。稼動情報としては、生産数
情報と稼働率情報とエラー発生情報と履歴情報を含むと
ともに、情報格納部１１に格納される製造装置の各種情
報としては、製造工程情報ファイル１１ａ、ロット属性
情報１１ｂ、製造履歴情報ファイル１１ｃ、工程変更情
報１１ｄ等に分類される。As shown in FIG. 2, the database server 1
Comprises an information storage unit 11 for storing various information indicating the operating state of each manufacturing apparatus and the like, and transmits the stored information data to the database client 2 in response to a request from the database client 2. The operation information includes production number information, operation rate information, error occurrence information, and history information, and various types of manufacturing apparatus information stored in the information storage unit 11 include a manufacturing process information file 11a, lot attribute information 11b, It is classified into a manufacturing history information file 11c, process change information 11d, and the like.
【００２４】また、データベースサーバ１は、データベ
ースクライアント２から装置制御用ソフトウェアを受け
取り、保管する装置制御用データ保持部１２を備え、製
造装置からの要求に応じて装置制御用ソフトウェアを各
製造装置Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３に送信する。Further, the database server 1 includes a device control data holding unit 12 for receiving and storing the device control software from the database client 2, and supplies the device control software to each of the manufacturing devices M1 in response to a request from the manufacturing device. , M2, M3.
【００２５】また、ロット毎の製造工程や製造履歴等の
各種の情報を統括管理するためのデータ処理装置１３を
搭載し、データベースサーバ１の情報格納部１１に格納
される製造工程情報ファイル１１ａ、ロット属性情報１
１ｂ、製造履歴情報ファイル１１ｃ、工程変更情報１１
ｄ等を統括的に管理する構成とすることができる。さら
に、データベースサーバ１は、通信制御部１４とターミ
ナルサーバ１５を備え、ターミナルサーバ１５は各端末
器の入出力制御部と接続され、通信インターフェースを
構成している。Further, a data processing device 13 for integrally managing various information such as a manufacturing process and a manufacturing history for each lot is mounted, and a manufacturing process information file 11 a stored in the information storage section 11 of the database server 1 is provided. Lot attribute information 1
1b, manufacturing history information file 11c, process change information 11
d and the like may be configured to be managed collectively. Further, the database server 1 includes a communication control unit 14 and a terminal server 15, and the terminal server 15 is connected to an input / output control unit of each terminal device to constitute a communication interface.
【００２６】尚、製造工程や製造履歴等の各種の情報を
統括管理するためのデータ処理装置１３は、ネットワー
ク網３に接続されたホストコンピュータ（不図示）の中
央処理装置にその機能を兼用させることも可能であり、
また、各端末器のデータ処理装置にその機能を兼用させ
ることもできる。The data processing device 13 for centrally managing various information such as the manufacturing process and the manufacturing history makes a central processing device of a host computer (not shown) connected to the network 3 also share its functions. It is also possible,
In addition, the data processing device of each terminal device can also share the function.
【００２７】データベースサーバ１の情報格納部１１に
格納される製造工程情報ファイル１１ａは、品種毎の工
程順や工程名、処理装置や処理条件等が記憶された製造
工程情報を品種の数に応じてファイル状に記憶したもの
である。ロット属性情報１１ｂは、工場内の全てのロッ
トに対するロット番号とその品種および工程変更フラグ
と現工程順が記憶されたものである。製造履歴情報ファ
イル１１ｃは、例えば、エラー履歴、生産数履歴、装置
稼働率履歴、ジャム（ＪＡＭ）履歴等の情報等が含ま
れ、各製造履歴情報についてロットの数に応じてファイ
ル状に記憶したものであり、図３に示すように、ロット
番号と、通過した工程名、処理開始・終了日付・時刻、
処理装置名、及びエラー履歴、生産数履歴、装置稼働率
履歴等の各履歴情報が時系列的に記憶されている。工程
変更情報は、図４に示すように、工程の追加や変更、削
除があった場合、その変更内容に変更番号を付して記憶
されたものである。The manufacturing process information file 11a stored in the information storage section 11 of the database server 1 stores the manufacturing process information in which the process order and process name for each product type, the processing device and the processing conditions are stored according to the number of product types. This is stored in a file. The lot attribute information 11b stores lot numbers, types, process change flags, and current process order for all lots in the factory. The manufacturing history information file 11c includes, for example, information such as an error history, a production number history, a device operation rate history, and a jam (JAM) history. Each manufacturing history information is stored in a file according to the number of lots. As shown in FIG. 3, the lot number, the passed process name, the processing start / end date / time,
Each history information such as a processing apparatus name, an error history, a production number history, and an apparatus operation rate history is stored in chronological order. As shown in FIG. 4, the process change information is a process in which, when a process is added, changed, or deleted, the content of the change is attached with a change number and stored.
【００２８】このように構成されたデータベースサーバ
１が各製造装置の稼動データの収集を行う場合、各製造
装置Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３において、例えば、稼動状態が変
化した時、生産を行った時、エラーが発生・解除した時
に、情報収集用パソコン端末器Ｐ１、Ｐ２を介してデー
タベースサーバ１に稼動状態の変化報告、生産報告、エ
ラーの発生・解除報告等が行われる。報告を受けたデー
タベースサーバ１は、それらの情報を分類し、日付・時
間等を付加して情報格納部１１のデータベースに製造工
程情報ファイル１１ａ、ロット属性情報１１ｂ、製造履
歴情報ファイル１１ｃ、工程変更情報１１ｄ等として格
納し、統括的に管理する。When the database server 1 configured as described above collects the operation data of each manufacturing apparatus, when each of the manufacturing apparatuses M1, M2, M3, for example, changes in the operating state, performs production, When an error occurs / cancels, a change in operating status, a production report, an error occurrence / cancellation report, etc. are made to the database server 1 via the information collecting personal computer terminals P1 and P2. Upon receiving the report, the database server 1 classifies the information, adds the date / time, etc. to the database of the information storage unit 11 to store the manufacturing process information file 11a, the lot attribute information 11b, the manufacturing history information file 11c, the process change The information is stored as information 11d or the like and is managed collectively.
【００２９】また、データベースサーバ１は、エラー判
定部１６と警告発信部１７を有し、データベースクライ
アント２でのキー入力部等の操作により重大エラー及び
エラー件数の登録が行われ、製造装置毎に重大エラーの
項目、エラー件数の登録を行う。データベースサーバ１
では、エラー判定部１６は、稼動データの収集によるエ
ラー発生報告を受けると、その報告された発生エラーが
重大エラーとして登録されているか否か検索を行い、そ
の結果、重大エラーと一致した場合は、警告発信部１７
により予め登録されたメールアドレスに第１の警告のメ
ールを発信する。また、通常のエラー発生の場合は、エ
ラー発生毎にエラーカウント値にプラス１していき、そ
のカウント値が登録されたエラー件数を超えたときは第
２の警告のメールを発信する。The database server 1 has an error determination unit 16 and a warning transmission unit 17, and a serious error and the number of errors are registered by operating a key input unit or the like on the database client 2, and each of the manufacturing apparatuses is registered. Register the items of serious errors and the number of errors. Database server 1
Then, when receiving the error occurrence report by collecting the operation data, the error determination unit 16 searches whether or not the reported occurrence error is registered as a serious error. As a result, when the error coincides with the severe error, , Warning sending unit 17
Sends a first warning mail to a mail address registered in advance. In addition, in the case of a normal error occurrence, the error count value is incremented by one every time an error occurs, and when the count value exceeds the registered number of errors, a second warning mail is transmitted.
【００３０】データベースクライアント２は、図５に示
すように、データベースサーバ１より各製造装置の情
報、例えば、エラー履歴、生産履歴、装置稼働率等の稼
動情報を検索集計する情報検索集計部２１と、検索集計
された情報を表示する表示部２２を備える。また、デー
タベースクライアント２は、装置制御用ソフトウェアを
データベースサーバ１に登録するための装置制御用デー
タ等を保持するデータ保持部２３と、各種データ入力操
作を行うキー入力部２４を有する。As shown in FIG. 5, the database client 2 includes, from the database server 1, an information retrieval / aggregation unit 21 which retrieves / aggregates information on each manufacturing apparatus, for example, operation information such as an error history, a production history, and an apparatus operation rate. And a display unit 22 for displaying the searched and counted information. Further, the database client 2 has a data holding unit 23 for holding device control data for registering device control software in the database server 1, and a key input unit 24 for performing various data input operations.
【００３１】各端末器Ｐ１、Ｐ２は、図６に示すよう
に、各品種別に複数の製造装置を統括するように構内ネ
ットワーク４を介して接続され、各種データ処理を行う
ＣＰＵ等によって構成されるデータ処理装置３０と、デ
ータ処理条件等を表示する表示部３１と、データ入力操
作用のキー入力部３２と、データベースサーバとのイン
ターフェースおよび各製造装置との間で情報の入出力を
行い、通信インターフェース手段として機能する入出力
制御部３３、３３’と、各種処理データを保持するメモ
リ３４とを備えている。As shown in FIG. 6, each of the terminals P1 and P2 is connected via a private network 4 so as to control a plurality of manufacturing apparatuses for each product type, and is constituted by a CPU for performing various data processing. A data processing device 30, a display unit 31 for displaying data processing conditions and the like, a key input unit 32 for data input operation, an interface with a database server and input / output of information between each manufacturing device, The system includes input / output control units 33 and 33 'functioning as interface means, and a memory 34 for storing various processing data.
【００３２】上述のように構成された半導体製造工程管
理システムの処理手順動作について、以下に説明する。
先ず、製造ラインにおける各製造装置の稼動データの収
集について、図７に示すフローチャートを用いて説明す
る。各製造装置Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３において、稼動状態が
変化した時、生産を行った時、エラーが発生・解除した
時に（Ｓ７１）、情報収集用パソコン端末器Ｐ１、Ｐ２
がそのときの稼動変化等を検知し（Ｓ７２）、稼動デー
タをメモリ３４に一時記憶するとともに（Ｓ７３）、各
端末器Ｐ１、Ｐ２の入出力制御部３３を経由して、デー
タベースサーバ１に稼動状態の変化報告、生産報告、エ
ラーの発生・解除報告等を行う（Ｓ７４）。報告を受け
たデータベースサーバ１は、それらの情報を分類し、日
付・時間等を付加して（Ｓ７５）、情報格納部１１のデ
ータベースに製造工程情報ファイル１１ａ、ロット属性
情報１１ｂ、製造履歴情報ファイル１１ｃ、工程変更情
報１１ｄ等として格納され（Ｓ７６）、統括的に管理さ
れる。The processing procedure operation of the semiconductor manufacturing process management system configured as described above will be described below.
First, collection of operation data of each manufacturing apparatus in a manufacturing line will be described with reference to a flowchart shown in FIG. In each of the manufacturing apparatuses M1, M2, M3, when the operation state changes, when the production is performed, when an error occurs or is canceled (S71), the information collecting personal computer terminals P1, P2.
Detects the operation change at that time (S72), temporarily stores the operation data in the memory 34 (S73), and operates the database server 1 via the input / output control unit 33 of each terminal device P1, P2. A status change report, a production report, an error occurrence / cancellation report, and the like are made (S74). Upon receiving the report, the database server 1 classifies the information, adds date / time, and the like (S75), and adds the manufacturing process information file 11a, the lot attribute information 11b, and the manufacturing history information file to the database of the information storage unit 11. 11c, the process change information 11d, and the like are stored (S76), and are managed collectively.
【００３３】次に、エラー発生があった場合、重大エラ
ー及びエラー件数の登録と警告発生手順について、図８
に示すフローチャートを用いて説明する。重大エラー及
びエラー件数の登録は、データベースクライアント２の
操作により、製造装置毎に重大エラーの項目、エラー件
数の登録を行う（Ｓ８１）。データベースサーバ１は、
稼動データの収集によるエラー発生報告を受けると（Ｓ
８２）、重大エラーとして登録されているか否か検索を
行い（Ｓ８３）、その結果、重大エラーと一致した場合
は、予め登録されたメールアドレスに第１の警告のメー
ルを発信する（Ｓ８４）。また、通常エラーの場合は、
エラー発生毎にエラーカウント値にプラス１していき
（Ｓ８５）、そのカウント値が登録されたエラー件数を
超えたか否か判定し（Ｓ８６）、登録されたエラー件数
を超えたときは第２の警告のメールを発信する（Ｓ８
７）。Next, when an error occurs, the registration of a serious error and the number of errors and the procedure for generating a warning will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to the flowchart shown in FIG. For the registration of the serious error and the number of errors, the item of the serious error and the number of errors are registered for each manufacturing apparatus by operating the database client 2 (S81). The database server 1
When an error occurrence report is received by collecting operation data (S
82) Then, a search is performed to determine whether the error is registered as a serious error (S83). If the result matches the serious error, a first warning mail is transmitted to a mail address registered in advance (S84). Also, for normal errors,
Every time an error occurs, the error count value is incremented by one (S85), and it is determined whether or not the count value has exceeded the registered number of errors (S86). Send warning mail (S8
7).
【００３４】次に、遠隔地データベースクライアント２
からの監視手順について図９を参照して説明する。デー
タベースサーバ１とデータベースクライアント２をネッ
トワーク網３を介して接続することにより、遠隔地にあ
るデータベースクライアント２がデータベースサーバ１
の情報格納部１１に蓄積されたデータにアクセスして
（Ｓ９１）、各製造装置の稼動状態等を取り出し、監視
することができる。即ち、データベースクライアント２
の情報検索集計部２１は、データベースサーバ１より各
製造装置の情報、例えば、エラー履歴、生産履歴、装置
稼働率等の情報を検索集計する（Ｓ９２）。そして検索
集計された情報を表示部２２に表示する（Ｓ９３）。こ
こで、遠隔地からのアクセスは、例えばインターネット
などの通信インフラを使用して行うことができる。Next, the remote database client 2
Will be described with reference to FIG. By connecting the database server 1 and the database client 2 via the network 3, the database client 2 at a remote location can be connected to the database server 1.
By accessing the data stored in the information storage unit 11 (S91), the operating state and the like of each manufacturing apparatus can be extracted and monitored. That is, the database client 2
The information retrieval / aggregation unit 21 retrieves / aggregates information of each manufacturing apparatus from the database server 1, for example, information such as an error history, a production history, and an apparatus operation rate (S92). Then, the information obtained by the search is displayed on the display unit 22 (S93). Here, access from a remote place can be performed using a communication infrastructure such as the Internet.
【００３５】次に、遠隔地のデータベースクライアント
２からの指示により装置制御用ソフトウェアを変更する
動作について図１０を参照して説明する。遠隔地にある
データベースクライアント２において、装置制御用ソフ
トウェアをキー入力部２４の操作により入力し、データ
保持部２３に保持する（Ｓ１０１）。保持された装置制
御プログラムをネットワーク網３を介してデータベース
サーバ１の装置制御用データ保持部１２に蓄積する（Ｓ
１０２）。そしてデータベースサーバ１の装置制御用デ
ータ保持部１２に蓄積された装置制御プログラムを製造
装置の要求に応じて、情報収集用パソコン端末器Ｐ１、
Ｐ２などを経由して（Ｓ１０３）、データサーバ１から
所望の各製造装置に送り、装置制御プログラムの変更を
行う（Ｓ１０４）。このようにして、工程の追加や変
更、削除があった場合、その変更内容に変更番号を付し
て、図４に示すように、工程変更情報１１ｄとして、デ
ータベースサーバの情報格納部１１に記憶される。Next, the operation of changing the device control software in accordance with an instruction from the remote database client 2 will be described with reference to FIG. In the remote database client 2, device control software is input by operating the key input unit 24, and is stored in the data storage unit 23 (S101). The held device control program is stored in the device control data holding unit 12 of the database server 1 via the network 3 (S
102). The device control program stored in the device control data holding unit 12 of the database server 1 is transferred to the information collecting personal computer terminal P1,
Via P2 or the like (S103), the data is sent from the data server 1 to each desired manufacturing device, and the device control program is changed (S104). In this manner, when a process is added, changed, or deleted, a change number is assigned to the changed content, and as shown in FIG. Is done.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上のように、本発明の第１の態様によ
れば、半導体製造ラインの各装置の稼動状態をリアルタ
イムで表示することができ、この表示された情報に基づ
いて最適なアクションを取ることで、装置の稼働率の向
上と生産性の向上が可能となる。As described above, according to the first aspect of the present invention, it is possible to display the operating state of each device of the semiconductor manufacturing line in real time, and to execute the optimum action based on the displayed information. By doing so, it is possible to improve the operation rate of the apparatus and the productivity.
【００３７】また、本発明の第２の態様によれば、デー
タベースサーバにリアルタイムで蓄積される各装置の稼
動履歴やエラー履歴、生産数履歴を分析し、傾向管理や
変動管理を行うことで、事前に装置の故障やトラブルを
防止・抑制し、中、長期にわたって半導体製造ラインを
最適状態に維持でき、安定した生産数量を確保できる。According to the second aspect of the present invention, the operation history, error history, and production number history of each device accumulated in real time in the database server are analyzed, and trend management and fluctuation management are performed. It is possible to prevent / suppress equipment failures and troubles in advance, maintain the semiconductor manufacturing line in an optimum state for medium and long term, and secure a stable production quantity.
【００３８】また、ネットワークを利用して、製造ライ
ンと距離的に離れた場所や事業所からも、データベース
サーバに蓄積された各装置の処理数や稼動情報等のデー
タを検索・分析・活用することにより、従来のファック
ス、電話、ｅメール等での情報伝達によることなく、デ
ータを得たい人が自らリアルタイムでアクセスしてデー
タを取り出し、加工することにより、最新の情報を得る
ことができるという効果がある。Further, using a network, data such as the number of processes and operation information of each device stored in the database server is searched, analyzed, and used from a place or a business place distant from the production line. Thus, it is possible for a person who wants to obtain data to access the data in real time, retrieve the data, and process the data without obtaining the conventional information by facsimile, telephone, e-mail, etc., thereby obtaining the latest information. effective.
【図１】 本発明に係る半導体製造装置の管理システム
の１実施例の全体構成を示すブロック図FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of one embodiment of a management system for a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.
【図２】 同実施例のデータベースサーバの構成を示す
ブロック図FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a database server according to the embodiment;
【図３】 同実施例のデータベースサーバに格納される
製造履歴情報の構成を示す図FIG. 3 is a diagram showing a configuration of manufacturing history information stored in a database server of the embodiment.
【図４】 同実施例のデータベースサーバに格納される
工程変更情報の構成を示す図FIG. 4 is a diagram showing a configuration of process change information stored in the database server of the embodiment.
【図５】 同実施例のデータベースクライアントの構成
を示すブロック図FIG. 5 is a block diagram showing the configuration of a database client according to the embodiment;
【図６】 同実施例の端末器の構成を示すブロック図FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the terminal device of the embodiment.
【図７】 本発明に係る稼動データの収集を説明するフ
ローチャートFIG. 7 is a flowchart illustrating the collection of operation data according to the present invention.
【図８】 本発明に係るエラー発生時の警告発信を説明
するフローチャートFIG. 8 is a flowchart for explaining a warning transmission when an error occurs according to the present invention.
【図９】 本発明に係る遠隔地クライアントによる監視
動作を説明するフローチャートFIG. 9 is a flowchart illustrating a monitoring operation by a remote client according to the present invention.
【図１０】 本発明に係る装置制御用ソフトの変更動作
を説明するフローチャート。FIG. 10 is a flowchart illustrating an operation of changing the device control software according to the present invention.
１ データベースサーバ ２、２’ データベースクライアント ３ ネットワーク網 ４ 構内ネットワーク １１ 情報格納部 １２ 装置制御用データ保持部 １３，３０ データ処理装置 １６ エラー判定部 １７ 警告発信部 ２１ 情報検索集計部 ２２，３１ 表示部 ２３ データ保持部 ２４，３２ キー入力部 ３３，３３’ 入出力制御部 ３４ メモリ部 Ｐ１，Ｐ２ パソコン端末器 Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３ 半導体製造装置 REFERENCE SIGNS LIST 1 database server 2, 2 ′ database client 3 network 4 premises network 11 information storage unit 12 device control data holding unit 13, 30 data processing device 16 error determination unit 17 warning transmission unit 21 information search and aggregation unit 22, 31 display unit 23 Data holding unit 24, 32 Key input unit 33, 33 'Input / output control unit 34 Memory unit P1, P2 Personal computer terminal M1, M2, M3 Semiconductor manufacturing apparatus
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深見 法生 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C100 AA59 BB02 BB03 BB27 BB33 CC01 CC08 CC11 EE06 5B075 KK07 PQ29 5H223 AA05 CC08 CC09 DD07 DD09 EE30 FF09 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued from the front page (72) Inventor Hosei Fukami 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo F-term (reference) 3C100 AA59 BB02 BB03 BB27 BB33 CC01 CC08 CC11 EE06 5B075 KK07 PQ29 5H223 AA05 CC08 CC09 DD07 DD09 EE30 FF09
Claims (10)
置の稼動状態を管理する管理システムであって、 各製造装置の稼動状態に関する情報を格納するデータベ
ースサーバと、 上記半導体製造装置と上記データベースサーバとの間に
介在して、各製造装置とデータベースサーバ間のインタ
ーフェース接続を行い、上記稼動状態に関する情報を収
集する端末器と、を備え、 上記データベースサーバに蓄積された稼動状態に関する
情報を遠隔地において取り出して各製造装置を監視する
ことを特徴とする半導体製造装置の管理システム。1. A management system for managing operating states of a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses in a semiconductor manufacturing line, comprising: a database server for storing information on an operating state of each manufacturing apparatus; A terminal for interfacing between each manufacturing apparatus and the database server, and collecting information on the operation state, and transmitting the information on the operation state stored in the database server to a remote location. A management system for semiconductor manufacturing equipment, wherein the system is taken out and each manufacturing equipment is monitored.
の後アセンブリ工程に適用され、半導体製品の製造をロ
ット単位で管理する請求項１に記載の管理システム。2. The management system according to claim 1, wherein the management system is applied to a post-assembly process of a semiconductor manufacturing line, and manages the manufacture of semiconductor products in lot units.
報と稼働率情報とエラー発生情報と製造履歴情報を含む
請求項１に記載の管理システム。3. The management system according to claim 1, wherein the information on the operation state includes production number information, operation rate information, error occurrence information, and manufacturing history information.
情報ファイル、ロット属性情報、製造履歴情報ファイ
ル、工程変更情報に分類される請求項１に記載の管理シ
ステム。4. The management system according to claim 1, wherein the information on the operation state is classified into a manufacturing process information file, lot attribute information, a manufacturing history information file, and process change information.
態に関する情報を格納する情報格納部と、該稼動状態に
関する情報を統括管理するためのデータ処理装置を備え
る請求項１に記載の管理システム。5. The management system according to claim 1, wherein the database server includes an information storage unit that stores the information about the operation state, and a data processing device that manages the information about the operation state.
装置毎に重大エラーの判定及び通常エラーの発生件数を
判定するエラー判定部と、重大エラー発生があると判定
された場合および通常エラー件数が設定値を超えた場合
に管理者に警告を出す警告発生部とを有する請求項１に
記載の管理システム。6. The database server according to claim 1, wherein the error determination unit determines a serious error and determines the number of normal errors for each semiconductor manufacturing apparatus. The management system according to claim 1, further comprising: a warning generation unit configured to warn an administrator when the number exceeds the limit.
接続して遠隔地よりアクセスすることで各半導体製造装
置の遠隔監視を行う請求項１に記載の管理システム。7. The management system according to claim 1, wherein each semiconductor manufacturing apparatus is remotely monitored by connecting a database server to a network and accessing from a remote place.
ットワーク網を介して前記データベースサーバと接続さ
れた遠隔地のデータベースクライアントを備える請求項
７に記載の管理システム。8. The management system according to claim 7, wherein said remote monitoring means includes a remote database client connected to said database server via said network.
データベースサーバより各製造装置の前記稼動状態に関
する情報を検索集計する情報検索集計部と、該検索集計
された情報を表示する表示部を備える請求項８に記載の
管理システム。9. The database client according to claim 8, wherein the database client includes an information search and tally unit that searches and counts information on the operation state of each manufacturing apparatus from the database server, and a display unit that displays the searched and tallyed information. The management system described.
記ネットワークを介して遠隔地より各半導体製造装置の
制御用ソフトウェアの更新を行うために、該装置制御用
ソフトウェアを前記データベースサーバに登録し、前記
データベースサーバは、前記データベースクライアント
から受け取り保管した該装置制御用ソフトウェアを、前
記半導体製造装置からの要求に応じて当該製造装置に送
信する請求項８に記載の管理システム。10. The database client registers the device control software in the database server in order to update the control software of each semiconductor manufacturing device from a remote location via the network, and the database server 9. The management system according to claim 8, wherein said apparatus control software received and stored from said database client is transmitted to said manufacturing apparatus in response to a request from said semiconductor manufacturing apparatus.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001115295A JP2002312021A (en) | 2001-04-13 | 2001-04-13 | Management system for semiconductor equipment |
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