JP2002311008A - Chip for chromatograph, and method for manufacturing the same - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a chip for a chromatograph having high reproducibility, low fluidity resistance, and high separation performance. SOLUTION: For this chip, silica thin holes are formed in analyzing passages 3 and 3', gel comprising a solvent-rich phase abundant in solvent continuous in a three-dimensional mesh form and a skeleton phase abundant in inorganic matter and having thin holes in the surface is regulated in a sol-gel method using phase separation in the passages, and gel in a wet state is dried and heated for manufacturing it.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、クロマトグラフ用
チップ及びその製造法に関する。本発明のクロマトグラ
フ用チップは、プロテオーム解析などに使用される。The present invention relates to a chromatographic chip and a method for producing the same. The chromatographic chip of the present invention is used for proteome analysis and the like.

【０００２】[0002]

【従来の技術】極微量のタンパクや核酸などを分析する
場合には、従来から電気泳動や液体クロマトグラフが用
いられており、その代表的なものとしてキャピラリー電
気泳動やキャピラリー液体クロマトグラフがある。これ
ら装置は内径が１００μｍ以下のガラスキャピラリー内
に分離マトリックスを充填し、分析を行うものである。
また、１９９０年代の初期には、分析装置のミニチュア
版を作る可能性が論議され、D. J. Harrison et al／An
al.Chem.1993、283、361-366には２枚の基材を接合して形
成された電気泳動用チップが提案されている。電気泳動
用チップは、一対の透明板状の無機材料からなる基材か
らなり、半導体フォトリソグラフィー技術及びエッチン
グ技術、又はマイクロマシニング技術により、一方の基
材の表面に互いに交差する泳動用キャピラリー溝を形成
し、他方の基材にはその溝に対応する位置に貫通孔をリ
ザーバとして設けたものである。2. Description of the Related Art Electrophoresis and liquid chromatography have been conventionally used for analyzing very small amounts of proteins and nucleic acids, and typical examples thereof include capillary electrophoresis and capillary liquid chromatography. In these apparatuses, a separation matrix is filled in a glass capillary having an inner diameter of 100 μm or less, and analysis is performed.
In the early 1990s, the possibility of creating a miniature version of the analyzer was discussed, and DJ Harrison et al / An
al. Chem. 1993, 283, 361-366 propose an electrophoresis chip formed by joining two substrates. The electrophoresis chip is composed of a base made of a pair of transparent plate-like inorganic materials, and a semiconductor photolithography technique and an etching technique or a micromachining technique are used to form electrophoresis capillary grooves crossing each other on the surface of one of the base materials. The other base material is provided with a through hole as a reservoir at a position corresponding to the groove.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記のような電気泳動
用チップをクロマトグラフ用として利用するためには、
溝内にシリカゲル等の無機質多孔体を充填する必要があ
る。しかし、粒子充填による方法は、充填方法が複雑で
長時間を要する上、分離性能に優れた充填状態を再現す
ることが難しい。さらに溝長（カラム長）が増加するに
従って、微粒子の均一な充填が飛躍的に困難になるの
で、カラム長を増すことによる分離性能の向上を図り難
い。また粒子充填法では、フリットと充填層の間の空間
においてしばしば試料溶液中に気泡を生じ、分離性能を
低下させるという問題がある。In order to use the above-described electrophoresis chip for chromatography,
It is necessary to fill the groove with an inorganic porous material such as silica gel. However, the method using particle filling is complicated in the filling method, requires a long time, and it is difficult to reproduce a packed state excellent in separation performance. Furthermore, as the groove length (column length) increases, it becomes extremely difficult to uniformly fill the fine particles, and it is difficult to improve the separation performance by increasing the column length. Further, in the particle filling method, there is a problem that air bubbles are often generated in the sample solution in a space between the frit and the packed layer, thereby deteriorating the separation performance.

【０００４】また、従来電気泳動用チップなどの分析用
チップに導入されるサンプルは前処理が施されて精製さ
れたものである。例えば生体試料などはゲルろ過法やエ
タノール沈殿法などにより予め精製されて夾雑物が除去
された後、分析用チップに導入される。ゲルろ過法やエ
タノール沈殿法では、処理時間を早めたり、サンプルの
回収率を上げたりするために、遠心操作が行われてい
る。しかし、精製と導入が別工程なので長時間を要する
とともに、分析用チップ以外に前処理用の装置も必要と
なる。A sample conventionally introduced into an analysis chip such as an electrophoresis chip has been subjected to pretreatment and purified. For example, a biological sample or the like is purified in advance by a gel filtration method, an ethanol precipitation method, or the like to remove contaminants, and then introduced into an analysis chip. In the gel filtration method and the ethanol precipitation method, a centrifugal operation is performed in order to shorten the processing time or increase the sample recovery rate. However, since the purification and the introduction are separate steps, it takes a long time, and also requires an apparatus for pretreatment in addition to the analysis chip.

【０００５】そこで本発明は、粒子充填法に代わり、チ
ップの溝内に液相反応で一体型（モノリス）多孔体を合
成することによって、高再現性、低流動抵抗、高分離性
能のクロマトグラフ用チップを提供することを目的とす
る。また、チップ上に分離用の流路（溝）のみならず、
前処理用の溝も形成し、前処理と分離を１台のチップ上
で実現することを目的とする。Accordingly, the present invention provides a chromatograph having high reproducibility, low flow resistance, and high separation performance by synthesizing a monolithic (monolith) porous body in a groove of a chip by a liquid phase reaction instead of a particle filling method. It is intended to provide a chip for use. Also, not only the separation channel (groove) on the chip,
It is another object of the present invention to form a groove for pretreatment and to realize pretreatment and separation on one chip.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明のチップは、板状
部材に溝を形成し、該溝に２重細孔構造のシリカゲルを
形成してなるクロマトグラフ用チップである。このチッ
プは、該溝内で相分離を利用したゾル−ゲル法により、
３次元網目状に連続した溶媒に富む溶媒リッチ相と無機
物質に富み表面に細孔を有する骨格相とからなるゲルを
調整し、続いて湿潤状態のゲルを乾燥・加熱して製造す
る。同じく上記目的達成の手段は、水溶性高分子、熱分
解する化合物を酸性水溶液に溶かし、それに加水分解性
の官能基を有する金属化合物を添加して加水分解反応を
行い、板状部材の溝内において生成物が固化した後、次
いで湿潤状態のゲルを加熱することにより、ゲル調製時
にあらかじめ溶解させておいた低分子化合物を熱分解さ
せ、次いで乾燥し加熱することを特徴とする。A chip according to the present invention is a chromatographic chip in which a groove is formed in a plate-like member and silica gel having a double pore structure is formed in the groove. This chip is formed by a sol-gel method utilizing phase separation in the groove.
A gel consisting of a solvent-rich phase rich in a solvent continuous in a three-dimensional network and a skeletal phase rich in inorganic substances and having pores on the surface is prepared, and then the wet gel is dried and heated to produce a gel. Similarly, a means for achieving the above object is to dissolve a water-soluble polymer and a compound that thermally decomposes in an acidic aqueous solution, add a metal compound having a hydrolyzable functional group to the solution, and carry out a hydrolysis reaction. The product is characterized in that after the product has solidified, the wet gel is then heated to thermally decompose the low molecular weight compound previously dissolved in the gel preparation, and then dried and heated.

【０００７】ここで、水溶性高分子は、理論的には適当
な濃度の水溶液と成し得る水溶性有機高分子であって、
加水分解性の官能基を有する金属化合物によって生成す
るアルコールを含む反応系中に均一に溶解し得るもので
あれば良いが、具体的には高分子金属塩であるポリスチ
レンスルホン酸のナトリウム塩またはカリウム塩、高分
子酸であって解離してポリアニオンとなるポリアクリル
酸、高分子塩基であって水溶液中でポリカチオンを生ず
るポリアリルアミンおよびポリエチレンイミン、あるい
は中性高分子であって主鎖にエーテル結合を持つポリエ
チレンオキシド、側鎖にカルボニル基を有するポリビニ
ルピロリドン等が好適である。また、有機高分子に代え
てホルムアミド、多価アルコール、界面活性剤を用いて
もよく、その場合多価アルコールとしてはグリセリン
が、界面活性剤としてはポリオキシエチレンアルキルエ
ーテル類が最適である。Here, the water-soluble polymer is a water-soluble organic polymer which can theoretically be formed into an aqueous solution having an appropriate concentration.
Any one can be used as long as it can be uniformly dissolved in a reaction system containing an alcohol generated by a metal compound having a hydrolyzable functional group, and specifically, a sodium salt or potassium salt of polystyrene sulfonic acid, which is a polymer metal salt Salts, polyacrylic acid which is a polymer acid and dissociates into a polyanion, polyallylamine and polyethyleneimine which are polymer bases and generate polycation in aqueous solution, or neutral polymer which is an ether bond to the main chain And polyethylene pyrrolidone having a carbonyl group in the side chain. In addition, formamide, polyhydric alcohol, and a surfactant may be used in place of the organic polymer. In this case, glycerin is most suitable as the polyhydric alcohol, and polyoxyethylene alkyl ether is most suitable as the surfactant.

【０００８】加水分解性の官能基を有する金属化合物と
しては、金属アルコキシド又はそのオリゴマーを用いる
ことができ、これらのものは例えば、メトキシ基、エト
キシ基、プロポキシ基等の炭素数の少ないものが好まし
い。また、その金属としては、最終的に形成される酸化
物の金属、例えばＳｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ａｌが使用され
る。この金属としては1種又は2種以上であっても良い。
一方オリゴマーとしてはアルコールに均一に溶解分散で
きるものであればよく、具体的には１０量体程度まで使
用できる。As the metal compound having a hydrolyzable functional group, a metal alkoxide or an oligomer thereof can be used. For example, those having a small number of carbon atoms such as a methoxy group, an ethoxy group and a propoxy group are preferable. . As the metal, a metal of an oxide finally formed, for example, Si, Ti, Zr, or Al is used. One or more of these metals may be used.
On the other hand, any oligomer can be used as long as it can be uniformly dissolved and dispersed in alcohol, and specifically, up to about 10-mers can be used.

【０００９】また、酸性水溶液としては、通常塩酸、硝
酸等の鉱酸０．００１モル濃度以上のもの、あるいは酢
酸、ギ酸等の有機酸０．０１モル濃度以上のものが好ま
しい。The acidic aqueous solution is preferably one having a concentration of at least 0.001 mol of a mineral acid such as hydrochloric acid or nitric acid or a solution having a concentration of 0.01 mol or more of an organic acid such as acetic acid or formic acid.

【００１０】相分離・ゲル化にあたっては、板状部材の
溝内に溶液を室温４０〜８０℃で０．５〜５時間保存す
ることにより達成できる。相分離・ゲル化は、当初透明
な溶液が白濁してシリカ相と水相との相分離を生じつい
にゲル化する過程を経る。この相分離・ゲル化で水溶性
高分子は分散状態にありそれらの沈殿は実質的に生じな
い。[0010] The phase separation and gelation can be achieved by storing the solution in the groove of the plate member at room temperature of 40 to 80 ° C for 0.5 to 5 hours. The phase separation / gelation involves a process in which a transparent solution becomes cloudy at first, causing a phase separation between a silica phase and an aqueous phase to finally gel. By this phase separation and gelation, the water-soluble polymer is in a dispersed state, and their precipitation does not substantially occur.

【００１１】あらかじめ共存させる熱分解性の化合物の
具体的な例としては、尿素あるいはヘキサメチレンテト
ラミン、ホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，
Ｎ−ジメチルホルムアミド、アセトアミド、Ｎ−メチル
アセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等の有機
アミド類を利用できるが、加熱後の溶媒のｐＨ値が重要
な条件であるので、熱分解後に溶媒を塩基性にする化合
物であれば特に制限はない。共存させる熱分解性化合物
は、化合物の種類にもよるが、例えば尿素の場合には、
反応溶液１０ｇに対し、０．０５〜０．８ｇ、好ましく
は０．１〜０．７ｇである。また、加熱温度は、例えば
尿素の場合には４０〜２００℃で、加熱後の溶媒のｐＨ
値は、６．０〜１２．０が好ましい。また、熱分解によ
ってフッ化水素酸のようにシリカを溶解する性質のある
化合物を生じるものも、同様に利用できる。Specific examples of the thermally decomposable compound to be coexisted in advance include urea or hexamethylenetetramine, formamide, N-methylformamide, N,
Organic amides such as N-dimethylformamide, acetamide, N-methylacetamide, and N, N-dimethylacetamide can be used, but the pH value of the solvent after heating is an important condition. There is no particular limitation as long as the compound is The thermally decomposable compound to be coexisted depends on the type of the compound, for example, in the case of urea,
The amount is 0.05 to 0.8 g, preferably 0.1 to 0.7 g, per 10 g of the reaction solution. The heating temperature is, for example, 40 to 200 ° C. in the case of urea, and the pH of the solvent after heating.
The value is preferably 6.0 to 12.0. Further, a compound which produces a compound having a property of dissolving silica, such as hydrofluoric acid, by thermal decomposition can also be used.

【００１２】本発明では、水溶性高分子を酸性水溶液に
溶かし、それに加水分解性の官能基を有する金属化合物
を添加して加水分解反応を行うと、溝内において、溶媒
リッチ相と骨格相とに分離したゲルが生成する。生成物
（ゲル）が固化した後、適当な熟成時間を経た後、湿潤
状態のゲルを加熱することによって、反応溶液にあらか
じめ溶解させておいたアミド系化合物が熱分解し、骨格
相の内壁面に接触している溶媒のｐＨが上昇する。そし
て、溶媒がその内壁面を浸食し、内壁面の凹凸状態を変
えることによって細孔径を徐々に拡大する。シリカを主
成分とするゲルの場合には、酸性あるいは中性領域にお
いては変化の度合は非常に小さいが、熱分解が盛んにな
り水溶液の塩基性が増すにつれて、細孔を構成する部分
が溶解し、より平坦な部分に再析出することによって、
平均細孔径が大きくなる反応が顕著に起こるようにな
る。In the present invention, when a water-soluble polymer is dissolved in an acidic aqueous solution, and a metal compound having a hydrolyzable functional group is added thereto to carry out a hydrolysis reaction, a solvent-rich phase and a skeletal phase are formed in the groove. A separated gel is formed. After the product (gel) solidifies and after an appropriate aging time, the amide compound dissolved in the reaction solution is thermally decomposed by heating the wet gel, and the inner wall of the skeletal phase is heated. The pH of the solvent in contact with increases. Then, the solvent erodes the inner wall surface and changes the unevenness of the inner wall surface, thereby gradually expanding the pore diameter. In the case of a gel containing silica as the main component, the degree of change is very small in the acidic or neutral region, but as the thermal decomposition becomes active and the basicity of the aqueous solution increases, the parts that make up the pores dissolve. And by re-depositing on a flatter part,
The reaction of increasing the average pore diameter becomes remarkable.

【００１３】巨大空孔を持たず３次元的に束縛された細
孔のみを持つゲルでは、平衡条件としては溶解し得る部
分でも、溶出物質が外部の溶液にまで拡散できないため
に、元の細孔構造が相当な割合で残る。これに対して巨
大空孔となる溶媒リッチ相を持つゲルにおいては、２次
元的にしか束縛されていない細孔が多く、外部の水溶液
との物質のやり取りが十分頻繁に起こるため、大きい細
孔の発達に並行して小さい細孔は消滅し、全体の細孔径
分布は顕著に広がることがない。In a gel having only three-dimensionally confined pores without large pores, the eluting substance cannot diffuse to an external solution even in a portion that can be dissolved under an equilibrium condition. A significant proportion of the pore structure remains. On the other hand, in a gel having a solvent-rich phase that is a huge pore, many pores are restricted only two-dimensionally, and exchange of substances with an external aqueous solution occurs frequently enough. The small pores disappear in parallel with the development of, and the entire pore size distribution does not remarkably widen.

【００１４】なお、加熱過程においては、ゲルを密閉条
件下に置き、熱分解生成物の蒸気圧が飽和して溶媒のｐ
Ｈが速やかに定常値をとるようにすることが有効であ
る。In the heating step, the gel is kept under closed conditions, and the vapor pressure of the pyrolysis product is saturated, and
It is effective that H quickly takes a steady value.

【００１５】溶解・再析出反応が定常状態に達し、これ
に対応する細孔構造を得るために要する、加熱処理時間
は、巨大空孔の大きさや試料の体積によって変化するの
で、それぞれの処理条件において実質的に細孔構造が変
化しなくなる、最短処理時間を決定することが必要であ
る。The heat treatment time required for the dissolution / reprecipitation reaction to reach a steady state and to obtain a corresponding pore structure varies depending on the size of the huge pores and the volume of the sample. It is necessary to determine the shortest processing time at which the pore structure does not substantially change.

【００１６】加熱処理を終えたゲルは、溶媒を気化させ
ることによって、溝内において、管壁に密着した乾燥ゲ
ルとなる。この乾燥ゲル中には、出発溶液中の共存物質
が残存する可能性があるので、適当な温度で熱処理を行
い、有機物等を熱分解することによって、目的の無機系
多孔質体を得ることができる。なお、乾燥は、３０〜８
０℃で数時間〜数十時間放置して行い、熱処理は、２０
０〜８００℃程度で加熱する。The gel after the heat treatment turns into a dry gel in close contact with the tube wall in the groove by evaporating the solvent. Since there is a possibility that coexisting substances in the starting solution may remain in the dried gel, it is possible to obtain a target inorganic porous material by performing a heat treatment at an appropriate temperature and thermally decomposing organic substances. it can. In addition, drying is 30-8.
It is left for several hours to several tens of hours at 0 ° C.
Heat at about 0-800 ° C.

【００１７】板状部材は、例えば各種ガラス、石英、Ｓ
ｉ基板、プラスチック、半導体基板が用いられ、それら
の厚みは例えば０．２〜５ｍｍ程度が好ましい。この板
状部材に、例えばフォトファブリケーション技術、マイ
クロマシニング技術、レーザ加工技術などにより溝（流
路およびリザーバー）が形成される。ここで、フォトフ
ァブリケーション技術とは、フォトマスクのパターンを
転写して複製を作製する技術をいい、一般にはフォトレ
ジストまたはレジストと呼ばれる感光性材料をメタルマ
スクを介し基板表面に塗布し、光でパターンを転写す
る。そして、転写した平面的なパターンからエッチング
などによりある程度の立体的な形に加工するものであ
る。使用するフォトレジスト（またはレジスト）は、例
えば東京応化社製ＯＦＰＲ５０００、シプレイ・ファー
イースト社製マイクロポジットＳ１４００、ＯＭＲ８３
−１００ｃｐを用いることができるが、これらに限定さ
れず、後のエッチング工程に耐え得るものであれば特に
限定されない。The plate member is made of, for example, various kinds of glass, quartz, S
An i-substrate, plastic, or semiconductor substrate is used, and their thickness is preferably, for example, about 0.2 to 5 mm. Grooves (flow channels and reservoirs) are formed in the plate-like member by, for example, photofabrication technology, micromachining technology, laser processing technology, or the like. Here, the photofabrication technology refers to a technology for transferring a pattern of a photomask to make a copy, and generally applies a photosensitive material called a photoresist or a resist to a substrate surface via a metal mask, and applies light to the substrate. Transfer the pattern. Then, the transferred planar pattern is processed into a certain three-dimensional shape by etching or the like. The photoresist (or resist) used is, for example, OFPR5000 manufactured by Tokyo Ohkasha, Microposit S1400 manufactured by Shipley Far East, or OMR83.
Although -100 cp can be used, the present invention is not limited thereto, and is not particularly limited as long as it can withstand a subsequent etching step.

【００１８】マスクパターンの転写は、一般の集積回路
の場合のようにレジストを塗布した基板にフォトマスク
を密着する密着露光やステッパ（縮小投影露光装置）な
どを用いる投影露光が行われる。また、ホログラフィッ
ク露光であっても良い。なお、露光の際に使用する光源
としては、例えば、超高圧水銀ランプのｇ線（４３６ｎ
ｍ）を用いることができ、露光条件はレジスト材とレジ
ストの厚みに依存する。マスクパターンが転写されてメ
タルが露出すると、メタルマスクのパターニングを行
い、基板表面を出す。メタルマスクのパターニングは、
例えばメタルとして金を用いた場合は、王水により行
う。The transfer of the mask pattern is performed by contact exposure in which a photomask is brought into close contact with a substrate coated with a resist, as in the case of a general integrated circuit, or projection exposure using a stepper (reduction projection exposure apparatus). Also, holographic exposure may be used. In addition, as a light source used at the time of exposure, for example, a g-line (436n
m) can be used, and the exposure conditions depend on the resist material and the thickness of the resist. When the mask pattern is transferred and the metal is exposed, the metal mask is patterned to expose the substrate surface. Metal mask patterning
For example, when gold is used as the metal, the process is performed using aqua regia.

【００１９】エッチングの方法は、各種ガラスや石英を
エッチングする場合は、ウエットエッチングが挙げられ
る。そのエッチャントは、各種ガラスや石英がエッチン
グされる溶液であれば特に限定されるものではないが、
例えば、弗酸系の溶液が使用されるのが一般的である。
また、Ｓｉ基板にエッチングする方法としては、ウエッ
トエッチング（異方性エッチング）が挙げられる。異方
性エッチングに用いるエッチャントは、ＫＯＨ水溶液、
ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドライド）、
ヒドラジンなどこの分野で使用されているエッチャント
であれば、特に限定されるものではない。As an etching method, when various kinds of glass and quartz are etched, wet etching is used. The etchant is not particularly limited as long as it is a solution for etching various glasses and quartz,
For example, a hydrofluoric acid-based solution is generally used.
Further, as a method for etching the Si substrate, wet etching (anisotropic etching) can be used. The etchant used for the anisotropic etching is a KOH aqueous solution,
TMAH (tetramethyl ammonium hydride),
There is no particular limitation on the etchant used in this field such as hydrazine.

【００２０】溝の本数は特に限定されないが、複数の溝
を形成し、該溝の少なくとも１つに２重細孔構造のシリ
カゲルを形成するのが好ましい。ここで、２重細孔と
は、例えば０．５〜１０μｍサイズの細孔（スルーポ
ア）と、２〜５０ｎｍサイズの細孔（メソポア）を有す
る構造をいう。複数の溝に同じ構造のシリカゲルを形成
することにより多流路の分析チップが作成できる。ま
た、複数の溝の一部を前処理流路として使用してもよ
い。この場合、前処理流路では、２重細孔構造のシリカ
ゲルまたは例えば電気泳動、ゲルろ過充填剤を充填して
前処理を行うことができる。したがって、本発明は、板
状部材にサンプルを精製するための前処理部が設けられ
た前処理流路と該前処理流路の下流側の位置に２重細孔
構造のシリカゲルを形成してなる分析流路を接続してな
るクロマトグラフ用チップをも提供する。ここで、分析
流路の内径は、５〜３００μｍ、好ましくは１０〜１０
０μｍで、前処理流路の内径は、５〜５００μｍ、好ま
しくは５０〜３００μｍである。さらに前記分析流路
は、シリル化剤で化学修飾しても良く、シリル化剤とし
ては、例えばオクタデシルシリル化剤およびトリメチル
シリル化剤、アミノプロピルトリメトキシシランが好ま
しく、オクタデシルシリル化剤としては、例えばオクタ
デシルジメチル−Ｎ、Ｎ−ジエチルアミノシラン、トリ
メチルシリル化剤としては、例えば1,1,1,3,3,3-ヘキサ
メチルシランを用いることができる。また、イオン交換
物質で化学修飾してもよい。Although the number of grooves is not particularly limited, it is preferable to form a plurality of grooves and form silica gel having a double pore structure in at least one of the grooves. Here, the double pore refers to a structure having pores (through pores) of, for example, 0.5 to 10 μm size, and pores (mesopores) of 2 to 50 nm size. By forming silica gel having the same structure in a plurality of grooves, a multi-channel analysis chip can be prepared. Further, a part of the plurality of grooves may be used as a pretreatment channel. In this case, the pretreatment channel can be filled with silica gel having a double pore structure or, for example, an electrophoresis or gel filtration filler to perform the pretreatment. Accordingly, the present invention provides a pretreatment channel provided with a pretreatment unit for purifying a sample on a plate-like member, and silica gel having a double pore structure formed at a position downstream of the pretreatment channel. Also provided is a chromatographic chip to which different analysis channels are connected. Here, the inner diameter of the analysis channel is 5 to 300 μm, preferably 10 to 10 μm.
At 0 μm, the inner diameter of the pretreatment channel is 5 to 500 μm, preferably 50 to 300 μm. Further, the analysis channel may be chemically modified with a silylating agent. As the silylating agent, for example, octadecyl silylating agent and trimethylsilylating agent, aminopropyltrimethoxysilane are preferable, and as the octadecyl silylating agent, for example, As octadecyldimethyl-N, N-diethylaminosilane and trimethylsilylating agent, for example, 1,1,1,3,3,3-hexamethylsilane can be used. Further, it may be chemically modified with an ion exchange substance.

【００２１】板状部材は、一枚で用いても、溝を内側に
して貼り合わせて用いても良い。一枚の場合は流路は開
放系になる。板状部材を貼り合わせる場合、一方の板状
部材には、例えば、テーパ状の貫通孔を形成する。板状
部材の張り合わせは、溝を内側にして重ね合わせて行
う。２枚の板状部材の張り合わせ（接合）手段は特に限
定されるものではないが、接着剤は使用せず板状部材同
士を直接接合するのが望ましい。ガラス同士の接合に
は、真空中もしくは窒素置換雰囲気中で６００〜１１０
０℃程度に加熱することで、２枚のガラスを融着する手
段が望ましい。また石英の接合には、例えば、少なくと
も一方の基板接合面にガラスをスパッタ成膜した後に、
上記と同様に加熱する手段が望ましい。さらにガラスと
シリコンを接合する場合は、例えば、４００℃程度に加
熱してガラス側に−１ｋＶ程度の負電圧を印加して接合
する陽極接合法を用いても良い。The plate-like members may be used singly or may be bonded together with the groove inside. In the case of one sheet, the flow path becomes an open system. When the plate-like members are bonded, for example, a tapered through hole is formed in one of the plate-like members. The lamination of the plate-like members is performed with the grooves inward. The means for bonding (joining) the two plate members is not particularly limited, but it is desirable to directly join the plate members without using an adhesive. For bonding between glasses, 600 to 110 in a vacuum or in a nitrogen-substituted atmosphere.
A means for fusing two glasses by heating to about 0 ° C. is desirable. In addition, for bonding quartz, for example, after forming a glass film by sputtering on at least one substrate bonding surface,
Means for heating as described above is desirable. Further, in the case of bonding glass and silicon, for example, an anodic bonding method in which heating is performed to about 400 ° C. and a negative voltage of about −1 kV is applied to the glass side to perform bonding may be used.

【００２２】さらに本発明では、クロマトグラフ用チッ
プを複数枚積層して用いてもよい。積層する場合は１枚
のチップの分析流路と積層させる側のチップの流路は液
連絡させて連続分析できるようにすることが好ましい
が、別々のチップとして独立に使用してもよい。Further, in the present invention, a plurality of chromatographic chips may be laminated and used. In the case of lamination, it is preferable that the analysis flow path of one chip and the flow path of the chip to be laminated be in liquid communication so that continuous analysis can be performed, but they may be used independently as separate chips.

【００２３】本発明では、分離されたサンプルの検出
は、例えば、光源からの光を分析流路に入射させ、分析
流路内での光の吸収を検出器で検出するもの、また流路
に電極を挿入して電気化学変化量を測定するものなどを
用いることができるが、これらに限定されない。光源と
しては、紫外・可視域の光源、例えばHe-Cd半導体レー
ザ、発光ダイオード、重水素ランプ、タングステンラン
プを用いることができ、これらの光は光ファイバーによ
り導いてもよい。また、検出器としては、例えば光電子
増倍管、PINダイオード、CCDカメラなどを用いることが
できるが、これらに限定されない。In the present invention, the separated sample is detected, for example, by irradiating light from a light source into an analysis channel and detecting light absorption in the analysis channel by a detector. A device in which an electrode is inserted to measure the amount of electrochemical change can be used, but is not limited thereto. As the light source, an ultraviolet / visible light source such as a He-Cd semiconductor laser, a light emitting diode, a deuterium lamp, or a tungsten lamp can be used, and these lights may be guided by an optical fiber. Further, as the detector, for example, a photomultiplier tube, a PIN diode, a CCD camera, or the like can be used, but the detector is not limited thereto.

【００２４】[0024]

【発明の実施の形態】本発明のクロマトグラフ用チップ
の平面図を図１に示す。クロマトグラフ用チップ１は、
例えば、縦20ｍｍ、横20ｍｍ、厚さ0.5ｍｍの透明の板
状部材（例えばガラス）が一対貼りあわされて形成され
ている。板状部材の下側板状部材側の表面に、フォトフ
ァブリケーション技術などにより、例えば幅寸法１００
μｍ、深さ１０μｍの溝からなる分析流路３、３'が形
成されている。分析流路３、３’には検出部６、６'が
形成されおり、この検出部は幅寸法が拡大している（例
えば１５０μｍ）。なお、検出部６、６'には、図示し
ないが光源および検出器が板状部材を挟むように配置さ
れている。また、分析流路３、３’の一端側には、例え
ば幅寸法１０μｍ、深さ１０μｍの溝からなるサンプル
導入流路２、２'が形成されており、サンプル導入流路
２、２’には例えば幅寸法１０μｍ、深さ１０μｍの溝
からなる移動相流路４、４'、５、５'が接続されてい
る。なお、図示していないが、移動相流路４、４'、
５、５'の一端には例えば、シリンジポンプシステムか
らなるマイクロ送液部が接続されている。FIG. 1 is a plan view of a chromatographic chip according to the present invention. The chromatographic chip 1
For example, a pair of transparent plate-shaped members (for example, glass) having a length of 20 mm, a width of 20 mm, and a thickness of 0.5 mm are bonded and formed. On the surface of the lower plate member side of the plate member, for example, a width dimension of 100
The analysis flow paths 3 and 3 ′ are formed by grooves having a depth of 10 μm and a depth of 10 μm. Detecting sections 6 and 6 'are formed in the analysis flow paths 3 and 3', and the detecting sections have an increased width (for example, 150 µm). Although not shown, a light source and a detector are arranged in the detectors 6 and 6 'so as to sandwich the plate-like member. At one end of each of the analysis channels 3 and 3 ', sample introduction channels 2 and 2' each formed of, for example, a groove having a width of 10 μm and a depth of 10 μm are formed. Are connected to mobile phase flow paths 4, 4 ', 5 and 5' each formed of a groove having a width of 10 μm and a depth of 10 μm, for example. Although not shown, the mobile phase flow paths 4, 4 ',
One end of each of 5, 5 'is connected to, for example, a micro-liquid sending unit including a syringe pump system.

【００２５】また、サンプル導入流路２、２'には弁流
路７，７'を介して前処理流路S１〜S8が形成されてお
り、前処理流路S１〜S8は、例えば幅寸法２００μｍ、
深さ１０μｍの溝からなる。さらに前処理流路S１〜S8
は合流部C1〜C8から各々２方に分岐して流路F1〜F16を
形成している。これら流路F1〜F16は、前処理流路S１〜
S8と同じ幅寸法、深さを有するのが好ましい。さらに流
路F1〜F16の一端側には、溶液貯留用の溝R１〜R16（幅
寸法５００μｍ、深さ３００μｍ）が形成されており、
例えば溝R１〜R16の奇数番の溝は試料貯留室として、偶
数番の溝は緩衝液貯蔵室として利用される。また、溝R
１〜R16には、例えばアルミの導線パターンからなる電
極パターンE１〜E16が接続されており、電極パターンE
１〜E16には電極コネクター８が接続されている。電極
コネクター８では、適宜１６本の電極パターンを切り換
えて印加できる。電極コネクター８の対電極は、前述し
たサンプル導入流路２、２'に電気リード線９、９'を埋
設接続することにより設置する。In the sample introduction channels 2, 2 ', pretreatment channels S1 to S8 are formed via valve channels 7, 7'. The pretreatment channels S1 to S8 have, for example, a width dimension. 200 μm,
It is composed of a groove having a depth of 10 μm. Further, pretreatment channels S1 to S8
Branch from the junctions C1 to C8 in two directions to form channels F1 to F16. These flow paths F1 to F16 are provided with the pretreatment flow paths S1 to S1.
It preferably has the same width dimension and depth as S8. Further, on one end side of the flow paths F1 to F16, grooves R1 to R16 (500 μm in width and 300 μm in depth) for storing the solution are formed.
For example, the odd-numbered grooves of the grooves R1 to R16 are used as a sample storage chamber, and the even-numbered grooves are used as a buffer storage chamber. Also, groove R
1 to R16 are connected to electrode patterns E1 to E16 made of, for example, an aluminum conductor pattern.
An electrode connector 8 is connected to 1 to E16. In the electrode connector 8, 16 electrode patterns can be appropriately switched and applied. The counter electrode of the electrode connector 8 is installed by burying and connecting the electric lead wires 9 and 9 'to the aforementioned sample introduction flow paths 2 and 2'.

【００２６】板状部材の上側板状部材には、溝R１〜R16
に対応する位置及び弁流路７、７'に対応する位置に貫
通孔が設けられており、溝R１〜R16に対応する位置の貫
通孔から試料、あるいは緩衝液を導入し、弁流路７、
７'に対応する位置に流路切換用の部材が挿入されてい
る。流路切換用の部材は、例えば棒状の先端に４方に穴
が設けられたものを用いることができる。The upper plate member of the plate member has grooves R1 to R16.
Are provided at positions corresponding to the valve channels 7 and 7 ', and a sample or a buffer solution is introduced from the through holes at positions corresponding to the grooves R1 to R16. ,
A channel switching member is inserted at a position corresponding to 7 '. As the member for switching the flow path, for example, a member having a rod-shaped tip provided with holes in four directions can be used.

【００２７】以上のクロマトグラフ用チップ１を使用す
るときは、まず分析流路３、３’を弁流路７、７'中の
部材により前処理流路S１〜S8から切り離して分析流路
３、３’内に２重細孔構造のシリカゲルを形成する。シ
リカゲルの形成は例えば次のように行った。まず水溶性
高分子であるポリエチレンオキシド（アルドリッチ製
商品番号85,645-2）0.90gおよび尿素0.90gを0.01規定酢
酸水溶液10gに溶解し、この溶液にテトラメトキシシラ
ン4mlをかくはん下で加えて、加水分解反応を行った。
数分かくはんしたのち、得られた透明溶液を分析流路
３、３’に導入し、４０℃の恒温漕中に保持したところ
約３０分後に固化した。固化した試料をさらに数時間熟
成させ、密閉条件下で１２０℃に１時間保った。このと
き、ゲルと共存する溶媒のｐＨ値は約１０．７であっ
た。この処理の後、ゲルを４０℃で３日間乾燥し、１０
０℃／ｈの昇温速度で４００℃まで加熱した。これによ
って、分析流路３、３’において、非晶質シリカよりな
る多孔質体を得た。When the above-described chromatographic chip 1 is used, first, the analysis flow paths 3, 3 'are separated from the pretreatment flow paths S1 to S8 by members in the valve flow paths 7, 7'. Form silica gel with double pore structure in 3 '. The formation of silica gel was performed, for example, as follows. First, polyethylene oxide (Aldrich product)
0.90 g of urea and 0.90 g of urea were dissolved in 10 g of a 0.01 N acetic acid aqueous solution, and 4 ml of tetramethoxysilane was added to this solution with stirring to carry out a hydrolysis reaction.
After stirring for several minutes, the obtained transparent solution was introduced into the analysis channels 3 and 3 ', and was kept in a constant temperature bath at 40 ° C., and solidified after about 30 minutes. The solidified sample was aged for several more hours and kept at 120 ° C. for 1 hour under closed conditions. At this time, the pH value of the solvent coexisting with the gel was about 10.7. After this treatment, the gel was dried at 40 ° C. for 3 days,
It was heated to 400 ° C. at a rate of 0 ° C./h. Thus, a porous body made of amorphous silica was obtained in the analysis channels 3 and 3 ′.

【００２８】次にマイクロシリンジなどによって溝R1、
3、5、7、9、11、13、15に試料を入れ、溝R2、4、6、8、10、12、14
に緩衝液を入れる。なお、緩衝液は流路F2、4、6、8、10、1
2、14、前処理流路S１〜S8、弁流路７、７'、サンプル導
入流路２、２'にまで導入する。まず、溝R1、3、5、7、9、1
1、13、15とサンプル導入流路２、２'間が導通するように
電圧を印加し、試料が合流部C1〜C8にくれば、電極用コ
ネクターの接続を切り換えて溝R1、3、5、7、9、11、13、15に
順次電圧を印加する。そうすれば、試料は順次前処理流
路S１〜S8を泳動してサンプル導入流路２、２'に入るこ
とになる。試料がサンプル導入流路２、２'に入れば、
移動相流路４と５、４'と５'から移動相を送液して試料
を分析流路３、３’に導入してクロマト分離を行う。分
離された試料は検出部６，６'で検出される。Next, the groove R1,
Put samples into 3, 5, 7, 9, 11, 13, 15 and groove R2, 4, 6, 8, 10, 12, 14
Fill the buffer. In addition, the buffer solution is used for the flow paths F2, 4, 6, 8, 10, and 1.
2, 14, the pretreatment channels S1 to S8, the valve channels 7, 7 ', and the sample introduction channels 2, 2'. First, grooves R1,3,5,7,9,1
A voltage is applied so that the connection between 1, 13, 15 and the sample introduction flow paths 2, 2 'is conducted. When the sample comes to the junctions C1 to C8, the connection of the electrode connector is switched to change the groove R1, 3, 5. , 7, 9, 11, 13 and 15 are sequentially applied. Then, the sample sequentially migrates through the pretreatment channels S1 to S8 and enters the sample introduction channels 2, 2 ′. If the sample enters the sample introduction channel 2, 2 ',
The mobile phase is sent from the mobile phase flow paths 4, 5, 4 'and 5', and the sample is introduced into the analysis flow paths 3, 3 'to perform chromatographic separation. The separated sample is detected by the detection units 6, 6 '.

【００２９】なお、以上のチップにおいて、分析流路
３、３’は同じシリカ剤で化学修飾しても、また異なる
シリカ剤で修飾していわゆる別カラムとして使用しても
よい。また、本発明は上記構成に限定されず、例えば図
２の構成でもよい。この構成は、複数のクロマトグラフ
用チップを積層したもので、チップは前述した図１と同
様に一対の板状部材を貼り合わせて形成している。前段
のチップ２１は図１の構造とほぼ同じで、一対の板状部
材の下側板状部材側の表面に分析流路２２、移動相流路
２３、２３'、サンプル導入流路２４、弁流路２５、前処
理流路２６、合流部２９、流路２７、溝２８、２８'が
形成されており、上側板状部材側には溝２８、２８'の
対応する位置、弁流路２５の対応する位置には貫通孔が
設けられている。また、溝２８、２８'と接続するよう
に電極パターンが形成され、またサンプル導入流路２４
と接続して電気リード線が埋設されていることは図１と
同様である。さらに分析流路２２の下流側は、下側板状
部材に貫通孔があいており、分析流路２２の溶出液がチ
ップ２１外に流出する。In the above chip, the analysis channels 3, 3 'may be chemically modified with the same silica agent, or may be modified with a different silica agent and used as a so-called separate column. Further, the present invention is not limited to the above configuration, and may be, for example, the configuration shown in FIG. In this configuration, a plurality of chromatographic chips are stacked, and the chips are formed by laminating a pair of plate-like members as in FIG. 1 described above. The former chip 21 has substantially the same structure as that of FIG. 1, and the analysis flow path 22, the mobile phase flow paths 23 and 23 ', the sample introduction flow path 24, the valve flow A channel 25, a pretreatment channel 26, a merging portion 29, a channel 27, grooves 28 and 28 'are formed, and a position corresponding to the grooves 28 and 28' A through hole is provided at a corresponding position. Further, an electrode pattern is formed so as to be connected to the grooves 28 and 28 ′.
1 and the electric lead wire is buried in the same manner as in FIG. Further, on the downstream side of the analysis channel 22, a through hole is formed in the lower plate-shaped member, and the eluate in the analysis channel 22 flows out of the chip 21.

【００３０】後段のチップ３６は、チップ２１と同様に
一対の板状部材を貼り合わせて形成されており、一対の
板状部材の下側板状部材側の表面に分析流路３４、移動
相流路３５、３５'、サンプル導入流路３３、弁流路３
２、前処理流路３１、溝３０が形成されており、上側板
状部材側には溝３０の対応する位置、弁流路３２の対応
する位置には貫通孔が設けられている。また、溝３０に
は図示されていないが、別の移動相流路が接続されてお
り、移動相により溝３０内に入った試料をサンプル導入
流路３３に導くようになっている。The chip 36 at the subsequent stage is formed by bonding a pair of plate members in the same manner as the chip 21, and the analysis flow path 34 and the mobile phase flow are formed on the surface of the lower plate member side of the pair of plate members. Channels 35, 35 ', sample introduction channel 33, valve channel 3
2. A pretreatment channel 31 and a groove 30 are formed, and a through hole is provided at a position corresponding to the groove 30 on the upper plate-like member side and a position corresponding to the valve channel 32. Further, although not shown, another mobile phase flow path is connected to the groove 30 so that the sample entering the groove 30 by the mobile phase is guided to the sample introduction flow path 33.

【００３１】チップ２１とチップ３６は、チップ２１の
分析流路２１の溶出液がチップ２２の溝３０に入るよう
に積層される。すなわち、チップ２１の分析流路２１の
下流側の貫通孔とチップ２２の溝３０の貫通孔が連通し
ている。The chip 21 and the chip 36 are stacked so that the eluate from the analysis channel 21 of the chip 21 enters the groove 30 of the chip 22. That is, the through hole of the chip 21 on the downstream side of the analysis flow path 21 communicates with the through hole of the groove 30 of the chip 22.

【００３２】以上の装置で、例えば溝３０にタンパク分
解酵素を入れ、分析流路２２内をイオン交換物質で修飾
し、分析流路３４をオクタデシル基で修飾しておくこと
により、プロテオーム解析用チップが作成できる。プロ
テオーム解析用チップでは、図１と同様に先ずマイクロ
シリンジなどにより緩衝液を溝２８'から流路２７、合
流部２９、前処理流路２６、サンプル導入流路２４に入
れ、電気導通可能な状態にした後、試料を溝２８に入れ
る。溝２８とサンプル導入流路間に電圧を印加して試料
を合流部２９に導いた後、電極を切り換え、溝２８'と
サンプル導入流路間に電圧を印加する。合流部２９に導
かれた試料は前処理流路２６、サンプル導入流路２４に
泳動していく。この電気泳動により、試料中のタンパク
質を切り出すことができる。In the above-described apparatus, for example, a proteome analysis chip is prepared by introducing a proteolytic enzyme into the groove 30, modifying the analysis channel 22 with an ion-exchange substance, and modifying the analysis channel 34 with an octadecyl group. Can be created. In the proteome analysis chip, a buffer solution is first introduced into the channel 27, the junction 29, the pretreatment channel 26, and the sample introduction channel 24 from the groove 28 'using a microsyringe or the like as in FIG. After that, the sample is put into the groove 28. After a voltage is applied between the groove 28 and the sample introduction channel to guide the sample to the junction 29, the electrodes are switched, and a voltage is applied between the groove 28 'and the sample introduction channel. The sample guided to the junction 29 migrates to the pretreatment channel 26 and the sample introduction channel 24. By this electrophoresis, proteins in the sample can be cut out.

【００３３】試料がサンプル導入流路２４に入ると、移
動相流路２３、２３'に図示しないマイクロシリンジに
より移動相を導入して、試料を分析流路２２に導く。分
析流路２２では試料中のタンパク質の精製が行われ、精
製されたタンパク質は、タンパク分解酵素を入れた溝３
０に入りタンパク質が酵素分解される。分解されたタン
パク質のフラグメントは、図示しない移動相流路からの
移動相によりサンプル導入流路３３に導入される。サン
プル導入流路３３に入ると、移動相流路３５、３５'に
図示しないマイクロシリンジにより移動相を導入して、
試料を分析流路３４に導き、タンパク質のフラグメント
を分離する。分析流路３４からの溶出液は例えば質量分
析計で測定される。When the sample enters the sample introduction channel 24, the mobile phase is introduced into the mobile phase channels 23 and 23 ′ by a micro syringe (not shown), and the sample is guided to the analysis channel 22. The protein in the sample is purified in the analysis channel 22, and the purified protein is added to the groove 3 containing the protease.
At 0, the protein is enzymatically degraded. The decomposed protein fragments are introduced into the sample introduction channel 33 by a mobile phase from a mobile phase channel (not shown). Upon entering the sample introduction channel 33, the mobile phase is introduced into the mobile phase channels 35, 35 'by a micro syringe (not shown),
The sample is introduced into the analysis channel 34 to separate protein fragments. The eluate from the analysis channel 34 is measured by, for example, a mass spectrometer.

【００３４】また、本発明は上記図１，２のチップには
限定されず、図１で示す分析流路のみ複数本板状部材に
形成してものでもよく、さらに複数本の分析流路の終端
に分取容器を配置して分取クロマトグラフとして利用し
てもよい。The present invention is not limited to the chips shown in FIGS. 1 and 2, but may be such that only a plurality of analysis channels shown in FIG. 1 are formed on a plate-like member. A preparative container may be arranged at the end to use as a preparative chromatograph.

【発明の効果】本発明によれば、チップの溝内に液相反
応で一体型（モノリス）多孔体を合成しているので、高
再現性、低流動抵抗、高分離性能のクロマトグラフ用チ
ップを作製できる。また、チップ上に分離用の流路
（溝）のみならず、前処理用の溝も形成し、前処理と分
離を１台のチップ上で実現することができる。According to the present invention, since a monolithic (monolithic) porous body is synthesized in the groove of the chip by a liquid phase reaction, a chromatographic chip having high reproducibility, low flow resistance and high separation performance is obtained. Can be produced. Further, not only a separation channel (groove) but also a pre-processing groove are formed on the chip, so that pre-processing and separation can be realized on one chip.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明のクロマトグラフ用チップの一実施例図FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of a chromatographic chip of the present invention.

【図２】本発明のクロマトグラフ用チップを積層してプ
ロテオーム解析用チップとした図FIG. 2 is a diagram showing a proteome analysis chip obtained by laminating chromatographic chips of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

３、３’、２２、３４：分析流路 S１〜S8、２６、３１：前処理流路 3, 3 ', 22, 34: analysis channel S1 to S8, 26, 31: pretreatment channel

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｎ 35/08 Ｇ０１Ｎ 27/26 ３１１Ｅ (72)発明者 曽我 直弘 兵庫県神戸市灘区篠原本町４丁目３−23 (72)発明者 中西 和樹 京都市左京区下鴨蓼倉町64−10 (72)発明者 水口 博義 京都市北区大宮釈迦谷３番地59 株式会社 京都モノテック内 Ｆターム(参考） 2G058 DA07 GA06 GA12 Continued on the front page (51) Int.Cl. ⁷ Identification symbol FI Theme coat II (Reference) G01N 35/08 G01N 27/26 311E (72) Inventor Naohiro Soga 4-23 Shinohara Honcho, Nada-ku, Kobe-shi, Hyogo ( 72) Inventor Kazuki Nakanishi 64-10 Shimogamo Tatekuracho, Sakyo-ku, Kyoto-shi (72) Hiroyoshi Mizuguchi 3-59 Omiya Shakadani, Kita-ku, Kyoto-shi F-term in Kyoto Monotec Co., Ltd. 2G058 DA07 GA06 GA12

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】板状部材に溝を形成し、該溝に２重細孔構
造のシリカゲルを形成してなるクロマトグラフ用チッ
プ。1. A chromatographic chip in which a groove is formed in a plate-like member, and silica gel having a double pore structure is formed in the groove. 【請求項２】板状部材にサンプルを精製するための前処
理部が設けられた前処理流路と該前処理流路の下流側の
位置に２重細孔構造のシリカゲルを形成してなる分析流
路を接続してなるクロマトグラフ用チップ。2. A pretreatment channel provided with a pretreatment section for purifying a sample on a plate-like member, and silica gel having a double pore structure is formed at a position downstream of the pretreatment channel. A chromatographic chip connected to analysis channels. 【請求項３】請求項２記載のチップを液連絡可能なよう
に複数枚積層してなるクロマトグラフ用チップ。3. A chromatographic chip obtained by laminating a plurality of chips according to claim 2 so as to be able to communicate with each other. 【請求項４】板状部材に溝を形成し、該溝内で相分離を
利用したゾル−ゲル法により、３次元網目状に連続した
溶媒に富む溶媒リッチ相と無機物質に富み表面に細孔を
有する骨格相とからなるゲルを調整し、続いて湿潤状態
のゲルを乾燥・加熱して製造することを特徴とするクロ
マトグラフ用チップの製造方法。4. A groove is formed in a plate-like member, and a solvent-rich phase continuous in a three-dimensional network and rich in a solvent, and a fine surface on an inorganic substance are formed by a sol-gel method utilizing phase separation in the groove. A method for producing a chromatographic chip, comprising preparing a gel comprising a skeletal phase having pores, and subsequently drying and heating the gel in a wet state.