JP2002301332A - 無機酸を含む気体の処理方法、処理装置、処理システム、及び、洗浄処理装置 - Google Patents
無機酸を含む気体の処理方法、処理装置、処理システム、及び、洗浄処理装置Info
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- Treating Waste Gases (AREA)
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- Water Treatment By Electricity Or Magnetism (AREA)
Abstract
を洗浄塔で処理する方法において、設備にかかるイニシ
ャルコスト及びランニングコストの低減を図ることので
きる装置や方法を提供する。 【解決手段】 洗浄機の排気側に微細水滴発生部6と、
気液分離部7と、気流発生部(ファン)4と、無機酸除
去ユニット11とを有する。無機酸除去ユニット11
は、洗浄室1から発生した無機酸ガスを吸収した洗浄水
中のF−,Cl−,PO4 3−,SO4 2−等の無機酸
イオンを処理する。無機酸除去ユニット11で処理され
た処理水は、ポンプ10を経て再び噴霧部6に供給され
る。噴霧部6は処理水を微細水滴に***させ、気流発生
部(ファン)4から吸引した無機酸ガスを含む排ガス5
aに微細水滴を混合し、吸着させる。気液分離部7で微
細水滴を捕捉して、清浄な空気5bとした後、洗浄室1
の吹出口1a側或いは室内に送気される。
Description
示装置等の電子部品の製造工程で用いられる、フッ酸や
塩酸、燐酸、硫酸等の無機酸を含む気体の処理方法、処
理装置、処理システム、及び、洗浄処理装置に関する。
洗浄機の排ガス処理は、一般的にワンパス処理であり、
クリーンルーム内の空気、即ち排ガスを取り入れて、屋
外にある洗浄塔の中で苛性ソーダ等の薬品を使用して分
解や処理を行なう、いわゆる酸アルカリ洗浄方法が広く
用いられているが、従来の方法では苛性ソーダ(NaO
H)等のアルカリや薬品を使用するため廃液処理の問題
が有る。
ス処理の為、クリーンルーム内の冷暖房及び清浄化され
た空気を屋外に放出して、省エネルギーが叫ばれている
昨今の風潮に逆行するというエネルギー収支上の問題も
ある。
がなされている。例えば、特許公開公報平成10年第1
13525号公報には、気液接触処理の噴射水に純水を
用いて、有機物成分、分子イオン成分、ガス状金属成分
など空気中の不純物を除去する空気清浄化方法が開示さ
れている。この方法は、純水製造ラインの前処理部と純
水処理部より構成されている。
純水製造ラインにおいては、カルシウム(Ca2+)、
マグネシウム(Mg2+)、ナトリウム(Na+)、カ
リウム(K+)等金属類がイオン化した成分、炭酸(C
O2 −)、塩素(Cl−)、硫酸根(SO4 2−)、硝
酸根(NO2 −)等酸根及び有機成分の全てのものを処
理するので非経済的である、また設備投資が高額にな
る、更に設置面積が大きくなる、といった問題がある。
なされた発明である。即ち本発明は、洗浄液から発生す
る無機酸類を主に含む気体、即ち、排ガスを洗浄塔で処
理する方法において、設備にかかるイニシャルコスト及
びランニングコストの低減を図ることのできる装置や方
法を提供することを目的とする。
体の処理装置は、無機酸を含む気体を流すダクトと、前
記ダクト内の一部に処理水を噴霧して前記ダクト内を通
る気体と処理水の霧状微粒子とを接触させる噴霧部と、
前記噴霧部の下側に配設され、前記噴霧部から落下する
処理水を収容する処理水収容槽と、前記処理水収容槽か
ら前記噴霧部に処理水を送る配管と、前記配管に接続さ
れ、前記処理水収容槽内の処理水から無機酸イオンを除
去する無機酸除去ユニットとを具備する。
具体的には、フッ酸、塩酸、硫酸、及び、燐酸からなる
群から選択される一又は二以上のものが挙げられる。
ニットとして、活性炭カラム、及び、アニオン交換樹脂
カラム、弱塩基性アニオン交換樹脂カラム、若しくは、
EDI(電気式脱イオンユニット)を含むものが挙げら
れる。
ニットが、処理水のpHを監視するpHモニタを更に具
備していてもよい。
テムは、無機酸を含む気体が発生する洗浄室と、前記洗
浄室の吹出口と排気口とを結ぶダクトと、前記ダクト内
の一部に処理水を噴霧して前記ダクト内を通る気体と処
理水の霧状微粒子とを接触させる噴霧部と、前記噴霧部
の下側に配設され、前記噴霧部から落下する処理水を収
容する処理水収容槽と、前記処理水収容槽から前記噴霧
部に処理水を送る配管と、前記配管に接続され、前記処
理水収容槽内の処理水から無機酸イオンを除去する無機
酸除去ユニットとを具備する。
む洗浄水で被処理基板を洗浄する洗浄槽と、前記洗浄槽
を収容する洗浄部と、前記洗浄部の吹出口と排気口とを
結ぶダクトと、前記ダクト内の一部に処理水を噴霧して
前記ダクト内を通る気体と処理水の霧状微粒子とを接触
させる噴霧部と、前記噴霧部の下側に配設され、前記噴
霧部から落下する処理水を収容する処理水収容槽と、前
記処理水収容槽から前記噴霧部に処理水を送る配管と、
前記配管に接続され、前記処理水収容槽内の処理水から
無機酸イオンを除去する無機酸除去ユニットとを具備す
る。 本発明の無機酸を含む気体の処理方法は、無機酸
を含む気体を噴霧した処理水と接触させることにより前
記気体中の無機酸を除去して清浄な空気として再生し、
一方、前記気体と接触した処理水を無機酸除去ユニット
に通すことにより前記処理水中の無機酸イオンを除去し
て清浄な処理水として再生することを特徴とする。
を噴霧処理水と接触して再生し再び使用可能にするの
で、エネルギー的に無駄が無く、また排ガスによる環境
破壊の虞れもない。
理水を無機酸除去ユニットで無機酸イオンを除去して再
生し再び使用するので、環境破壊の虞れがなく、使用す
る地下水の量も少なく抑えられる。
特定の成分の除去のみに向けて構成されているので、構
造が簡単でコストも安く、占有面積も小さく抑えられ
る。
処理システムについて説明する。図1は本実施形態に係
る気体処理システム100の概略構成を示した全体図で
ある。
洗浄ユニット2が配設される洗浄室1と、この洗浄室1
のエア吹出口1aと排気口1bとを結ぶダクト13と、
ダクト13内の一部に処理水を噴霧して前記ダクト13
内を通る気体と処理水の霧状微粒子とを接触させる噴霧
部6と、前記噴霧部6の下側に配設され、気体と接触し
た処理水の微粒子を気体中から分離する気液分離部7
と、前記気液分離部7から落下する処理水を収容する処
理水収容槽8と、前記処理水収容槽から前記噴霧部に処
理水を送る配管9と、前記配管9に接続され、前記処理
水収容槽8内の処理水から無機酸イオンを除去する無機
酸除去ユニット11とから構成されている。
や気体を流動させるための気流発生部(ファン)4が配
設されており、送気側のダクト13bの末端と、洗浄室
1のエア吹出口1aとの接続部にはエアを更に浄化する
ためのHEPAフィルタ3が配設されている。また、配
管9の途中には配管9内に処理水を流すためのポンプ1
0が配設されている。
む気体(以下、「排ガス」という。)の処理システム1
00のダクト13のうち、噴霧部6周辺を部分的に拡大
した垂直断面図である。図2に示したように、本実施形
態に係るダクト13の途中の噴霧部6には噴霧器61が
配設されている。次に、本実施形態に係る噴霧器61に
ついて説明する。図2の小円は本実施形態に係る噴霧器
61の垂直断面図であり、図3は同噴霧器61を下側か
ら見た平面図である。
1では、複数個の円錐吐出ノズル13,13,…が略水
平に配設されており、この円錐吐出ノズル13,13,
…と略同じ高さに案内板14が配設されている。この案
内板14には複数、例えば一枚の案内板14に6個の貫
通孔15,15,…が穿孔されている。この貫通孔1
5,15,…には円筒状のソケット16,16,…が案
内板14の下向きに配設されている。各円錐吐出ノズル
13は各貫通孔15の中心に配設され、各円錐吐出ノズ
ル13のノズルの先端は吐出口13aを頂点とする円錐
の側面を形成する方向に向けて配設されている。
続されており、ポンプ10で圧送された処理水を円錐吐
出ノズル13の吐出口13aから吐出するようになって
いる。円錐吐出ノズル13から吐出された処理水は吐出
口13aを頂点とする円錐側面状に噴出され、この噴出
された処理水は各ソケット16の内壁面に衝突する。こ
の衝突する際に更に微細な霧状の処理水微粒子が形成さ
れる。
りダクト13a内を流動してきた排ガス5aはこの噴霧
部6に差し掛かると、前記各貫通孔15内を通過する。
このときに排ガス5aは処理水微粒子と接触して排ガス
中の無機酸が処理水微粒子側に移行する。
されており、この気液分離部7には気液分離促進用の充
填材71、例えばテラレットが配設されている。この充
填材71は上述の噴霧器61を通過してきた排ガスを更
に気液分離して、かつ乾燥した清浄な空気(クリーンエ
ア)として送り出すための部材である。
に不活性な材料で形成された部材であり、同材料をメッ
シュ状、ハニカム状、コイル状など、中を通過する際の
経路が複雑化でき、表面積が大きくなるような形状に成
型されている。そのため、この充填材71を通過する空
気は複雑な経路を辿る。このときに充填材71の表面と
接触することにより空気中の水滴や水蒸気が結露しやす
くなり、この充填材71を通過する際に空気中の水滴が
結露する。
伝ってその下部に集められ、やがて大きな水滴となって
滴り落ちる。この滴り落ちた水滴は処理水収容槽8内に
収容される。処理水収容槽8の更に空気移動方向下流側
には気流発生部(ファン)4が配設され、ダクト13内
の空気を移動させる。一方、処理水収容槽8内に収容さ
れた処理水は後述する無機酸除去ユニット11に送られ
る。
について説明する。図4は本実施形態に係る無機酸除去
ユニット11の構造を模式的に示した図である。図4に
示したように本実施形態に係る無機酸除去ユニット11
では、配管9bに二本のボンベ状のカラム12が直列に
接続された構造となっている。
aと弱塩基性アニオン交換樹脂カラム12bである。そ
れぞれのカラム12内には長手方向中心部に導水管12
1が配設されており、この導水管121の回りに活性炭
粒子やビーズ状の弱塩基性アニオン交換樹脂粒子が充填
された構造となっている。
ン交換樹脂を充填した理由は、処理水中の炭酸イオン
([HCO3]−)を除去しないで、それ以外の無機酸
イオン、即ちフッ素イオン(HF,HF2 −)、塩素イ
オン(Cl−)、硫酸イオン(SO4 2−)及び燐酸イ
オン(PO4 3−)のみを除去するためである。
カチオンになるものはアルカリ類(Na,K等)やアル
カリ土類(Ca,Mg等)であり、その一方、アニオン
になるものは極微量の塩素(Cl)、硫酸(SO4)等
であり、大量の炭酸ガス(CO2)は炭酸イオン([H
CO3]−)として溶けこむ。従ってこの炭酸イオンを
処理せずに塩酸、燐酸、硫酸等の排ガスを処理水側に取
り込ませて水に溶け込んだ塩素イオン(Cl−)、硫酸
イオン(SO4 2−)、燐酸イオン(PO4 3 −)を処
理する必要がある。
排ガス成分は、フッ酸、塩酸、燐酸、硫酸で、水に溶解
するとそれぞれフッ素イオン(HF,HF2 −)、塩素
イオン(Cl−)、燐酸イオン(PO4 3−)、硫酸イ
オン(SO4 2−)のアニオンとなる。従って、処理水
中のこれらの無機アニオンを処理すれば、当該処理水は
無機アニオンにハングリーになり、アニオンである塩素
イオン、フッ素イオン、燐酸イオン、硫酸イオンは噴霧
部6で更に処理水中に取り込まれ易くなる。
しては以下のものが挙げられる。例えば、三菱化学
(株)製のダイヤイオン(商品名)と呼ばれているもの
のうち、アクリル系塩基性陰イオン交換樹脂(WA1
0,WA11)及びスチレン系塩基性イオン交換樹脂
(WA20,WA21,WA30)が挙げられる。ま
た、ROHM&HAAS,CO.社製の商品ではMP型
A−378LF(OH型)、A−375LF(OH型)
が挙げられる。
換樹脂を充填して使用しても良く、その場合に充填する
アニオン交換樹脂の例としては、下記のものが挙げられ
る。例えば、三菱化学(株)製のダイヤイオン(商品
名)と呼ばれているもののうち、スチレン系強塩基陰イ
オン交換樹脂として、PA306,PA308,PA3
32,PA316,PA318が挙げられる。また、R
OHM&HAAS,CO.社製の商品としては、GEL
型DUOLITE A−113LF,A−132LF,
A−116LF,A−134LF、及び、MP型A−1
71LFが挙げられる。
一旦カラム12の底部に処理水が送られ、この処理水が
水圧により押し上げられる際に導水管121とカラム内
壁との間に充填された活性炭粒子や弱塩基性アニオン交
換樹脂粒子と接触して処理水中の無機酸が除去され、カ
ラム外へ導出される構造となっている。
2bと接続された配管9bのうち、下流側の配管9bに
はpHモニタ17が配設されている。弱塩基性アニオン
交換樹脂カラム12bの弱塩基性アニオン交換樹脂のイ
オン交換能力が低下すると、この弱塩基性アニオン交換
樹脂カラム12bの下流側に流出する処理水のpHが変
化する。この原理を応用して、弱塩基性アニオン交換樹
脂カラム12bでイオン交換された処理水のpH値を監
視することにより、弱塩基性アニオン交換樹脂カラム1
2bのイオン交換能力の低下や弱塩基性アニオン交換樹
脂カラム12の交換時期を高精度にモニタリングできる
ようになっている。
100の処理の流れについて説明する。本実施形態に係
る気体処理システムの処理の対象となる気体は、電子部
品等の洗浄機から発生する無機酸ガスを含む排ガスであ
る。ここで、前記無機酸とは、具体的には、フッ酸、塩
酸、硫酸、及び、燐酸からなる群から選択される一又は
二以上の酸が挙げられる。まず、洗浄機1から発生し
た、フッ酸、塩酸、硫酸、及び、燐酸等の無機酸を含む
気体5aは、被処理ガス用ダクト13aを通り噴霧部6
に入る。噴霧部6に噴射される水は、処理水収容槽8か
らポンプ10を介して無機酸除去ユニット11に送ら
れ、この無機酸除去ユニット11で処理された処理水で
ある。
配管9bの前段に活性炭カラム12a、後段に弱塩基性
アニオン交換樹脂カラム12bが接続されている。その
ため、活性炭カラム12a内の活性炭により濾過が行わ
れ、次いで後段の弱塩基性アニオン交換樹脂カラム12
b内の弱塩基性アニオン交換樹脂によって無機酸イオン
と水酸イオン(OH−)との交換が行なわれる。
処理水の状態を示した模式図である。即ち、噴霧部6で
処理水は噴霧され、円錐側面状、即ちコーン状の微細水
滴の膜を形成する。噴霧部6を通過する排ガス5aはこ
の円錐側面状の微細水滴の膜を横切るときに微細水滴と
接触する。この排ガス5aには無機酸が含まれているた
め、微細水滴と接触する際に排ガス5a中に含まれる無
機酸は微細水滴中に溶け込み、排ガス5aの気相から処
理水の微細水滴の液相へ移行する。
Cl,H3PO4,H2SO4)は水に溶けると、イオ
ン解離して水素イオン(H+)と各種無機酸イオン(H
F−,HF2 −,Cl−,PO4 3−,SO4 2−)を
形成する。従って図5に示すように、処理水収容槽8に
収容される処理水中には、無機酸イオン(HF−,HF
2 −,Cl−,PO4 3−,SO4 2−)及び水素イオ
ン(H+)に解離している。このように無機酸イオン
(HF−,HF2 −,Cl−,PO4 3−,S
O 4 2−)や水素イオン(H+)が溶存した処理水は配
管9とこの配管9の途中に配設されたポンプ10により
噴霧部6に向けて圧送される。ポンプ10から送り出さ
れた処理水は無機酸除去ユニット11に送られる。無機
酸除去ユニット11内に送り込まれた処理水はまず活性
炭カラム12a内に入り、この中で活性炭カラム12a
内に充填された活性炭と接触する。このときに処理水中
に含まれる不純物は活性炭の吸着作用により活性炭に吸
着され、処理水中から除去される。また、この活性炭カ
ラム12aは後段の弱塩基性アニオン交換樹脂カラム1
2bを保護する機能をも果たしている。
された処理水は、下流側に配設された弱塩基性アニオン
交換樹脂カラム12b内に流れ込む。この弱塩基性アニ
オン交換樹脂カラム12b内で処理水はカラム12b内
に充填された弱塩基性アニオン交換樹脂と接触して次の
ような反応を行なう。即ち無機酸イオン(HF−,HF
2 −,Cl−,PO4 3−,SO4 2−)は弱塩基性ア
ニオン交換樹脂と触れることによりアニオンが交換さ
れ、弱塩基性アニオン交換樹脂表面にF,Cl,P
O3,SO4等として吸着されると同時に水酸イオン
(OH−)を放出する。
中に存在する水素イオン(H+)と結合して水分子を形
成する。従って、この弱塩基性アニオン交換樹脂カラム
12bを通過することにより、処理水中に溶存していた
無機酸イオン(HF−,HF 2 −,Cl−,P
O4 3−,SO4 2−)は処理水中から除去され、弱塩
基性アニオン交換樹脂カラム12bの下流側に流れ出て
くる処理水中にはもはや無機酸イオン(HF−,HF2
−,Cl−,PO4 3−,SO4 2−)は含まれていな
い。
すことにより処理水中からは溶存していた無機酸イオン
も除去され、清浄な処理水として噴霧部6に送り込ま
れ、再び噴霧されて排ガスの処理に供される。かくして
処理水は噴霧部6、処理水収容槽8、配管9、ポンプ1
0、無機酸除去ユニット11を経て再び噴霧部6で噴霧
され、排ガス中の無機酸の除去に供される。
スは微細水滴に吸収され、気液分離部7で気体中の無機
酸ガスを吸収した微細水滴が除去された気体5bはダク
ト13bを通り洗浄機のHEPAフィルタ3を通して、
洗浄機内へ送気、或いは室内へ送気され、再使用に供さ
れる。
体処理システムでは、排ガスを噴霧部6で噴霧した処理
水と接触させることにより排ガス中の無機酸を除去して
繰返して使用するので、環境破壊の虞れがない。また、
本実施形態に係る気体処理システムでは排ガスの処理に
供した処理水を無機酸除去ユニットで処理することによ
り処理水中に溶存する無機酸イオンを除去し、繰返して
使用するので、地下水の過剰な汲み上げなどの環境に変
化を及ぼす虞れがない。更に、本実施形態に係る排ガス
処理システムでは、活性炭カラムや弱塩基性アニオン交
換樹脂カラム等を利用したシンプルな構造となっている
ので、ユニット自体が小型で省スペース化が図られる。
更に安価にできるので製造コスト、ランニングコストを
低く抑えることができる。
説明する。本実施例の排ガス処理装置の概略構成は図1
と同じである。本実施例の排ガス処理装置の主な仕様や
条件は下記の通りであった。排ガス5aの無機酸濃度の
測定結果を表1〜表4に示す。
2050mmの洗浄室を使用した。この洗浄室の稼動条件とし
ては、清浄な空気を洗浄室上部のHEPAフィルタ(500×7
00mm)より風速0.25〜0.35m/secで、洗浄槽(幅300mm
×奥行400mm×高さ300mm)へ清浄な空気をダウンフロー
で流し、洗浄槽を通過した排ガス5aを無機酸除去ユニ
ットへ導入した。
液は下記組成のものを使用した。 (フッ酸)無機酸として特級試薬のフッ酸(HF)を使
用し、純水(H2O)として比抵抗値が6MΩ・cmの一
次純水を使用した。容量混合比は、HF/H2O=1.
5l/13.5l=15lとした。また、加熱温度は常
温から最大80℃までの設定値で制御した。 (塩酸)無機酸として特級試薬の塩酸(HCl)を使用
し、純水(H2O)として比抵抗値が6MΩ・cmの一次
純水を使用した。容量混合比は、HCl/H2O=1.
5l/13.5l=15lとした。 (燐酸)無機酸として特級試薬の燐酸(H3PO4)を
使用し、純水(H2O)として比抵抗値が6MΩ・cmの
一次純水を使用した。容量混合比は、H3PO 4/H2
O=1.5l/13.5l=15lとした。
2000mmであり、その構造として下記の気液接触部を有す
る装置を用いた。
噴射方向は送気方向に対し順方向とした。接触部断面積
は900cm2(30cm×30cm)であった。ノズル数は6個で
あり、排ガス処理装置の構造としては、それぞれのノズ
ルを塩ビ製50Aソケット内に設置した構造のものを用
いた。
と不織布(30cm×5cm厚)で構成された気液分離
器をセットした。
はボンベ型のカラム、即ち、活性炭充填ボンベ、及び弱
塩基性アニオン交換樹脂ボンベを使用した。活性炭充填
ボンベ、弱塩基性アニオン交換樹脂ボンベの仕様は下記
の通りであった。
高さ950mmのボンベにヤシ殻活性炭28Lを充填したものを
用いた。また、弱塩基性アニオン交換樹脂ボンベとして
は、寸法がφ200mm×高さ950mmのボンベを用い、弱塩基
性アニオン交換樹脂28Lを充填したものを用いた。
行なったところ、表1〜表3に示したような結果が得ら
れた。即ち、表1のNo.1からNo.2の各条件で測
定を行なったところ、いずれの条件でも気体処理装置の
出口で検出された無機酸ガス濃度は検出限界下限の0.
5ppmを下回っており、実質的に気体中に含まれる全
ての無機酸が除去されたことが確認された。
た場合と、従来の純水製造装置を用いて処理水を処理し
た場合について検討した。本発明の気体処理システムを
利用した場合では、処理水の処理にかかる費用のうち、
定常的に発生する費用は、は活性炭素充填ボンベと弱塩
基性アニオン交換樹脂ボンベの交換費用である。これら
は活性炭素充填ボンベの費用が約50,000円であ
り、弱塩基性アニオン交換樹脂ボンベの費用が約40,
000円であり、これらの寿命は活性炭素充填ボンベが
約1年間であり、弱塩基性アニオン交換樹脂ボンベが約
1年である。そのため、1年間にかかるランニングコス
トは約90,000円となる。なお、弱塩基性アニオン
交換樹脂ボンベの下流側の配管にpHモニタを取り付け
ておけば、常に弱塩基性アニオン交換樹脂ボンベ内の弱
塩基性アニオン交換樹脂のイオン交換能力を把握して能
力が低下したときに弱塩基性アニオン交換樹脂ボンベの
交換を適切なタイミングで行なうことができるので、更
に無駄なく運転することができ、ランニングコストの無
駄を省くことができる。
いて処理水を処理する構造の気体処理システムを構築し
た場合のランニングコストは1年間で約320,000
円かかる。その内訳は下記の通りである。
/1年、紫外線ランプが30,000円/1年、アニオ
ン交換樹脂ボンベが40,000円/3ヶ月、アニオン
+カチオン混床イオン交換樹脂ボンベが40,000/
6ヶ月でこれらを合計すると1年間で320,000円
となる。
ちイニシャルコストを比較すると、本発明の場合約1,
500,000円かかるのに対して従来の純水製造装置
を用いて処理水を処理する構造のシステムでは、約2,
500,000円かかる。
ニシャルコスト、ランニングコストのいずれを見ても従
来の純水製造装置を用いて処理水を処理する構造のシス
テムに比較して著しく安価であることが分かる。
の実施形態について説明する。本実施形態に係る気体処
理システムでは、上記第1の実施の形態に係る気体処理
システムの無機酸除去ユニット11内の弱塩基性アニオ
ン交換樹脂カラム(弱塩基性アニオン交換樹脂ボンベ)
の代わりに、EDI(電気式脱イオン)ユニット11A
を用いた構成とした。図6は本実施形態に係るEDIユ
ニット11Aの概略構成を示した断面図である。
用したEDIユニット11Aは、図6に示すように、カ
チオン交換膜Cとアニオン交換膜Aの間に弱塩基性アニ
オン交換樹脂を充填した複数のセルを、ブライン水路を
介して重ねてスタックを形成し、このスタックの両側に
陰極と陽極とを対向配置した構造となっている。そして
各セルの内側に処理水を流し、ブライン水路と陰極、陽
極の周辺にブラインと呼ばれるイオンを含んだ水を循環
させておく。
イオンを含んだ処理水が供給されると、無機酸イオンは
一旦弱塩基性アニオン交換樹脂表面に吸着されるため、
セルからは無機酸イオンが除去された清浄な処理水が流
れ出る。一方、弱塩基性アニオン交換樹脂表面に吸着さ
れた無機酸イオンは電界により陰極の方に移動してセル
内からカチオン交換膜を通過してブライン水路側に移動
する。このブライン水路には常にブラインが循環してい
るので、無機酸イオンはこのブラインの流れに乗って排
出される。
無機酸除去ユニット11a内の弱塩基性アニオン交換樹
脂カラムの代わりにEDIユニットを使用しているの
で、弱塩基性アニオン交換樹脂カラム(弱塩基性アニオ
ン交換樹脂ボンベ)を定期的に交換する必要がなく、ラ
ンニングコストを更に低減できるという特有の効果が得
られる。
浄装置200では、一つの筐体状のハウジング210の
中に洗浄ユニット220からロボット230、気体処理
ユニット240まで収容した構造とした。図7は本実施
形態に係る洗浄装置の斜視図であり、図8(a)は同洗
浄装置の概略構成を示した背面図であり、図8(b)は
同側面図である。図9(a)は同洗浄装置の概略構成を
示した正面図であり、図9(b)は同側面図である。
係る洗浄装置200では、一つの箱型のハウジング21
0内に、被処理基板を無機酸を含む洗浄水で洗浄する洗
浄処理ユニット220と、洗浄処理ユニット220内で
被処理基板を出し入れするロボット230と、洗浄処理
ユニット220から出る気体を処理する気体処理ユニッ
ト240が組込まれている。
0の正面左側に洗浄処理ユニット220が配設され、そ
の正面右側に洗浄処理ユニット220内で被処理基板を
出し入れするロボット230が配設され、ハウジング2
10の裏側に気体処理ユニット240が配設されてい
る。
ト240は上記第1の実施形態の気体処理システムを小
型化してハウジング210の背面側に取り付けたもので
あり、本質的には上記第1の実施形態の気体処理システ
ムと同じ構成のシステムである。
返し使用している。そのため環境破壊の虞がなく、しか
も小型で省スペース化が図られ、クリーンルーム内に置
くことも出来、その場合でもクリーンルーム内の空気や
水を汚す虞れがない、という特有の効果が得られる。
体図である。
霧部周辺の垂直断面図である。
式図である。
の間の処理水の状態を示した模式図である。
成を示した断面図である。
る。
図である。
図である。
0…ポンプ、3…HEPAフィルタ、11…無機酸除去
ユニット、12a…活性炭カラム、12b…弱塩基性ア
ニオン交換樹脂カラム、4…気流発生部(ファン)、5
a…排ガス、5b…清浄気体、13a…ダクト、13b
…ダクト、6…噴霧部、7…気液分離部、8…処理水収
容槽。
Claims (8)
- 【請求項1】 無機酸を含む気体を流すダクトと、 前記ダクト内の一部に処理水を噴霧して前記ダクト内を
通る気体と処理水の霧状微粒子とを接触させる噴霧部
と、 前記噴霧部の下側に配設され、前記噴霧部から落下する
処理水を収容する処理水収容槽と、 前記処理水収容槽から前記噴霧部に処理水を送る配管
と、 前記配管に接続され、前記処理水収容槽内の処理水から
無機酸イオンを除去する無機酸除去ユニットとを具備す
る、無機酸を含む気体の処理装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の無機酸を含む気体の処
理装置であって、前記無機酸が、フッ酸、塩酸、硫酸、
及び、燐酸からなる群から選択される一又は二以上であ
ることを特徴とする無機酸を含む気体の処理装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載の無機酸を含む気
体の処理装置であって、前記無機酸除去ユニットが、活
性炭カラム、及び、アニオン交換樹脂カラム、弱塩基性
アニオン交換樹脂カラム、若しくは、EDI(電気式脱
イオン)ユニットを含むことを特徴とする無機酸を含む
気体の処理装置。 - 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか1項に記載の無
機酸を含む気体の処理装置であって、前記無機酸除去ユ
ニットが、処理水のpHを監視するpHモニタを更に具
備することを特徴とする無機酸を含む気体の処理装置。 - 【請求項5】 無機酸を含む気体が発生する洗浄室と、 前記洗浄室の吹出口と排気口とを結ぶダクトと、 前記ダクト内の一部に処理水を噴霧して前記ダクト内を
通る気体と処理水の霧状微粒子とを接触させる噴霧部
と、 前記噴霧部の下側に配設され、前記噴霧部から落下する
処理水を収容する処理水収容槽と、 前記処理水収容槽から前記噴霧部に処理水を送る配管
と、 前記配管に接続され、前記処理水収容槽内の処理水から
無機酸イオンを除去する無機酸除去ユニットとを具備す
る、無機酸を含む気体の処理システム。 - 【請求項6】 無機酸を含む洗浄水で被処理基板を洗浄
する洗浄槽と、 前記洗浄槽を収容する洗浄部と、 前記洗浄部の吹出口と排気口とを結ぶダクトと、 前記ダクト内の一部に処理水を噴霧して前記ダクト内を
通る気体と処理水の霧状微粒子とを接触させる噴霧部
と、 前記噴霧部の下側に配設され、前記噴霧部から落下する
処理水を収容する処理水収容槽と、 前記処理水収容槽から前記噴霧部に処理水を送る配管
と、 前記配管に接続され、前記処理水収容槽内の処理水から
無機酸イオンを除去する無機酸除去ユニットと、を具備
する洗浄処理装置。 - 【請求項7】 無機酸を含む気体を処理する処理方法で
あって、無機酸を含む気体を、噴霧した処理水と接触さ
せることにより前記気体中の無機酸を除去して清浄な空
気として再生し、 一方、前記気体と接触した処理水を無機酸除去ユニット
に通すことにより前記処理水中の無機酸イオンを除去し
て清浄な処理水として再生することを特徴とする、無機
酸を含む気体の処理方法。 - 【請求項8】 請求項7に記載の処理方法であって、前
記無機酸除去ユニットが、活性炭カラムと、弱塩基性ア
ニオン交換樹脂カラムとからなることを特徴とする、無
機酸を含む気体の処理方法。
Priority Applications (1)
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JP2001107642A JP2002301332A (ja) | 2001-04-05 | 2001-04-05 | 無機酸を含む気体の処理方法、処理装置、処理システム、及び、洗浄処理装置 |
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ID=18959929
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