JP2002286910A - Microlens array, method for manufacturing the same and optical device - Google Patents
Microlens array, method for manufacturing the same and optical deviceInfo
- Publication number
- JP2002286910A JP2002286910A JP2001085376A JP2001085376A JP2002286910A JP 2002286910 A JP2002286910 A JP 2002286910A JP 2001085376 A JP2001085376 A JP 2001085376A JP 2001085376 A JP2001085376 A JP 2001085376A JP 2002286910 A JP2002286910 A JP 2002286910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- lens
- microlens array
- transmitting layer
- lenses
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロレンズア
レイ及びその製造方法並びに光学装置に関する。The present invention relates to a microlens array, a method for manufacturing the same, and an optical device.
【０００２】[0002]
【発明の背景】これまでに、複数の微小なレンズが並べ
られて構成されるマイクロレンズアレイが、例えば液晶
パネルに適用されてきた。マイクロレンズアレイを適用
することで、各レンズによって各画素に入射する光が集
光するので、表示画面を明るくすることができる。しか
しながら、従来のマイクロレンズアレイでは、レンズ面
で反射する光を少なくすることへの考慮が欠けており、
明るさの向上に限界があった。BACKGROUND OF THE INVENTION Heretofore, a microlens array constituted by arranging a plurality of minute lenses has been applied to, for example, a liquid crystal panel. By applying a microlens array, light incident on each pixel is condensed by each lens, so that a display screen can be brightened. However, conventional microlens arrays lack consideration for reducing the light reflected on the lens surface,
There was a limit to the improvement in brightness.
【０００３】本発明は、このような問題点を解決するも
ので、その目的は、反射する光を減らすことができるマ
イクロレンズアレイを製造する方法及びその方法により
製造されるマイクロレンズアレイ並びに光学装置を提供
することにある。The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a method of manufacturing a microlens array capable of reducing reflected light, a microlens array manufactured by the method, and an optical device. Is to provide.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】（１）本発明に係るマイ
クロレンズアレイは、光透過性層を有し、前記光透過性
層は第１及び第２のレンズ面を有し、前記第１のレンズ
面の各レンズは、前記第２のレンズ面の各レンズよりも
緩やかな曲面で形成されてなる。(1) A microlens array according to the present invention has a light transmitting layer, the light transmitting layer has first and second lens surfaces, Each lens on the lens surface is formed with a gentler curved surface than each lens on the second lens surface.
【０００５】本発明によれば、第１のレンズ面のレンズ
は緩やかな曲面で形成されているので、光が入射すると
きに、光の入射角（レンズ面の法線と光線とのなす角）
が小さくなる。したがって、反射する光の量が少なくな
り、明るさを向上させることができる。According to the present invention, since the lens on the first lens surface is formed with a gentle curved surface, when light enters, the angle of incidence of light (the angle between the normal to the lens surface and the light beam) )
Becomes smaller. Therefore, the amount of reflected light is reduced, and the brightness can be improved.
【０００６】（２）このマイクロレンズアレイにおい
て、前記第１のレンズ面の各レンズの曲率半径は、前記
第２のレンズ面の各レンズの曲率半径よりも大きくても
よい。(2) In this microlens array, the radius of curvature of each lens on the first lens surface may be larger than the radius of curvature of each lens on the second lens surface.
【０００７】（３）このマイクロレンズアレイにおい
て、前記第１及び第２のレンズ面の前記レンズは、全て
ほぼ等しい幅で形成されていてもよい。(3) In this microlens array, the lenses on the first and second lens surfaces may all be formed with substantially equal widths.
【０００８】（４）このマイクロレンズアレイにおい
て、前記第１及び第２のレンズ面の前記レンズは、全て
凸レンズであり、前記光透過性層を構成する媒質の絶対
屈折率は、前記第１及び第２のレンズ面の外側にある媒
質の絶対屈折率よりも大きくてもよい。(4) In this microlens array, the lenses on the first and second lens surfaces are all convex lenses, and the medium constituting the light transmitting layer has an absolute refractive index of the first and second lenses. It may be larger than the absolute refractive index of the medium outside the second lens surface.
【０００９】（５）このマイクロレンズアレイにおい
て、前記第１及び第２のレンズ面の前記レンズは、全て
凹レンズであり、前記光透過性層を構成する媒質の絶対
屈折率は、前記第１及び第２のレンズ面の外側にある媒
質の絶対屈折率よりも小さくてもよい。(5) In this microlens array, the lenses on the first and second lens surfaces are all concave lenses, and the absolute refractive index of the medium constituting the light transmitting layer is the first and second lenses. It may be smaller than the absolute refractive index of the medium outside the second lens surface.
【００１０】（６）本発明に係る光学装置は、上記マイ
クロレンズアレイを有する。(6) An optical device according to the present invention has the microlens array.
【００１１】（７）この光学装置において、光源をさら
に有し、前記光源からの光が入射する側に、前記マイク
ロレンズアレイの前記第１のレンズ面が位置していても
よい。(7) The optical device may further include a light source, and the first lens surface of the microlens array may be located on a side where light from the light source is incident.
【００１２】これによれば、光源からの光がマイクロレ
ンズアレイに入射するときに、光の入射角（レンズ面の
法線と光線とのなす角）が小さくなる。したがって、反
射する光の量が少なくなり、明るさを向上させることが
できる。According to this, when the light from the light source enters the microlens array, the incident angle of the light (the angle between the normal to the lens surface and the light beam) is reduced. Therefore, the amount of reflected light is reduced, and the brightness can be improved.
【００１３】（８）この光学装置において、撮像素子を
さらに有し、外部からの光が入射する側に、前記マイク
ロレンズアレイの前記第１のレンズ面が位置していても
よい。(8) The optical device may further include an image pickup device, and the first lens surface of the microlens array may be located on a side on which light from the outside is incident.
【００１４】これによれば、外部からの光がマイクロレ
ンズアレイに入射するときに、光の入射角（レンズ面の
法線と光線とのなす角）が小さくなる。したがって、反
射する光の量が少なくなり、明るさを向上させることが
できる。According to this, when light from the outside enters the microlens array, the incident angle of the light (the angle between the normal to the lens surface and the light beam) is reduced. Therefore, the amount of reflected light is reduced, and the brightness can be improved.
【００１５】（９）本発明に係るマイクロレンズアレイ
の製造方法は、第１及び第２のレンズ面を有する光透過
性層を形成することを含み、前記第１のレンズ面の各レ
ンズを、前記第２のレンズ面の各レンズよりも緩やかな
曲面で形成する。(9) A method of manufacturing a microlens array according to the present invention includes forming a light-transmitting layer having first and second lens surfaces, wherein each lens on the first lens surface is formed by: The second lens surface is formed to have a gentler curved surface than each lens.
【００１６】本発明によれば、第１のレンズ面のレンズ
を緩やかな曲面で形成する。したがって、光が入射する
ときに、光の入射角（レンズ面の法線と光線とのなす
角）が小さくなるので、反射する光の量が少なくなって
明るさを向上させることができる。According to the present invention, the lens of the first lens surface is formed with a gentle curved surface. Therefore, when light is incident, the angle of incidence of light (the angle between the normal to the lens surface and the light beam) is reduced, so that the amount of reflected light is reduced and the brightness can be improved.
【００１７】（１０）このマイクロレンズアレイの製造
方法において、前記第１のレンズ面の各レンズの曲率半
径を、前記第２のレンズ面の各レンズの曲率半径よりも
大きく形成してもよい。(10) In this method of manufacturing a microlens array, the radius of curvature of each lens on the first lens surface may be larger than the radius of curvature of each lens on the second lens surface.
【００１８】（１１）このマイクロレンズアレイの製造
方法において、前記第１及び第２のレンズ面の前記レン
ズを、全てほぼ等しい幅で形成してもよい。(11) In this method of manufacturing a microlens array, the lenses on the first and second lens surfaces may all be formed with substantially the same width.
【００１９】（１２）このマイクロレンズアレイの製造
方法において、前記第１及び第２のレンズ面の前記レン
ズを、全て凸レンズとして形成し、前記光透過性層を、
前記第１及び第２のレンズ面の外側にある媒質よりも絶
対屈折率が大きい媒質で形成してもよい。(12) In this method of manufacturing a microlens array, the lenses on the first and second lens surfaces are all formed as convex lenses, and the light transmitting layer is
It may be formed of a medium having an absolute refractive index larger than that of the medium outside the first and second lens surfaces.
【００２０】（１３）このマイクロレンズアレイの製造
方法において、前記第１及び第２のレンズ面の前記レン
ズを、全て凹レンズとして形成し、前記光透過性層を、
前記第１及び第２のレンズ面の外側にある媒質よりも絶
対屈折率が小さい媒質で形成してもよい。(13) In this method of manufacturing a microlens array, the lenses on the first and second lens surfaces are all formed as concave lenses, and the light transmitting layer is
A medium having an absolute refractive index smaller than that of the medium outside the first and second lens surfaces may be used.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２２】（第１の実施の形態）図１は、本発明を適
用した第１の実施の形態に係るマイクロレンズアレイを
有する光学装置を示す図である。(First Embodiment) FIG. 1 is a view showing an optical device having a microlens array according to a first embodiment of the present invention.
【００２３】マイクロレンズアレイは、光透過性層１０
を有する。光透過性層１０は、光を透過する性質を有し
ていればよく、透明であっても着色されていてもよい。
光透過性層１０の光透過率は、０％でなければ１００％
でなくてもよい。光透過性層１０を構成する材料は、樹
脂であってもよいし、ガラスであってもよい。The microlens array includes the light transmitting layer 10
Having. The light transmitting layer 10 only needs to have a property of transmitting light, and may be transparent or colored.
The light transmittance of the light transmitting layer 10 is 100% unless it is 0%.
It does not have to be. The material forming the light transmitting layer 10 may be resin or glass.
【００２４】光透過性層１０は、第１及び第２のレンズ
面１２，１４を有する。第１及び第２のレンズ面１２，
１４の一方に光が入射し、他方から光が出射するように
なっている。第１及び第２のレンズ面１２，１４は、光
透過性層１０の外側の媒質との界面である。図１に示す
光透過性層１０は、基板の形状をなしている。その場
合、光透過性層１０の厚みを規定する両面が、第１及び
第２のレンズ面１２，１４である。第１及び第２のレン
ズ面１２，１４は、積層されてあるいは重なって位置す
る。図示しない変形例として、光透過性層は、直方体又
は立方体などの多面体であってもよい。その場合、角を
形成する２つの面が第１及び第２のレンズ面であっても
よい。The light transmitting layer 10 has first and second lens surfaces 12 and 14. First and second lens surfaces 12,
Light is incident on one of the fourteen and light is emitted from the other. The first and second lens surfaces 12 and 14 are interfaces with a medium outside the light transmitting layer 10. The light transmissive layer 10 shown in FIG. 1 has the shape of a substrate. In that case, both surfaces defining the thickness of the light transmitting layer 10 are the first and second lens surfaces 12 and 14. The first and second lens surfaces 12, 14 are stacked or overlapped. As a modification not shown, the light transmitting layer may be a polyhedron such as a rectangular parallelepiped or a cube. In that case, the two surfaces forming the corner may be the first and second lens surfaces.
【００２５】第１のレンズ面１２には、複数のレンズ１
６が形成されている。第２のレンズ面１４には、複数の
レンズ１８が形成されている。マイクロレンズアレイ
が、複数の画素によって画像を表示する光学装置に組み
込まれるときには、レンズ１６，１８は、各画素（カラ
ー表示の場合にはサブ画素）に対応するように配置され
る。図１に示すレンズ１６，１８は全て凸レンズであ
る。図示しない変形例として、少なくとも１つのレンズ
１６，１８を凹レンズにしてもよい。On the first lens surface 12, a plurality of lenses 1
6 are formed. A plurality of lenses 18 are formed on the second lens surface 14. When the microlens array is incorporated in an optical device that displays an image using a plurality of pixels, the lenses 16 and 18 are arranged so as to correspond to each pixel (sub-pixel in the case of color display). The lenses 16 and 18 shown in FIG. 1 are all convex lenses. As a modification not shown, at least one of the lenses 16 and 18 may be a concave lens.
【００２６】第１のレンズ面１２におけるいずれか１つ
のレンズ１６の曲率中心を通る法線と、第２のレンズ面
１４におけるいずれか１つのレンズ１８の曲率中心を通
る法線とは一致することが好ましい。この法線は光軸と
なる。レンズ１６，１８は、球面レンズであってもよい
し、非球面レンズ（楕円面、放物面等のレンズ）であっ
てもよいし、円柱レンズであってもよい。また、レンズ
１６，１８は、ほぼ等しい（完全に一致していてもよ
い）幅Ｗを有するように形成されていてもよい。The normal passing through the center of curvature of any one of the lenses 16 on the first lens surface 12 and the normal passing through the center of curvature of any one of the lenses 18 on the second lens surface 14 must match. Is preferred. This normal is the optical axis. The lenses 16 and 18 may be spherical lenses, aspherical lenses (lenses having an elliptical surface, a paraboloid, or the like), or cylindrical lenses. Further, the lenses 16 and 18 may be formed so as to have widths W that are substantially equal (may be completely matched).
【００２７】第１のレンズ面１２におけるレンズ１６
は、第２のレンズ面１４におけるレンズ１８よりも緩や
かな曲面で形成されている。例えば、レンズ１６，１８
が球面レンズであれば、レンズ１６の曲率半径Ｒ1と、
レンズ１８の曲率半径Ｒ2とは、 Ｒ2＜Ｒ1 の関係を有する。The lens 16 on the first lens surface 12
Is formed with a curved surface that is gentler than the lens 18 on the second lens surface 14. For example, lenses 16, 18
Is a spherical lens, the radius of curvature R 1 of the lens 16 and
The radius of curvature R 2 of the lens 18 has a relationship of R 2 <R 1.
【００２８】本実施の形態によれば、第１のレンズ面１
２のレンズ１６は緩やかな曲面で形成されているので、
光が入射するときに、光の入射角ｉ（レンズ面の法線と
光線とのなす角）が小さくなる。したがって、反射する
光の量が少なくなり、多くの光が入射するので、明るさ
を向上させることができる。一般に、２つの物質の界面
に光が入射すると、一部の光は界面で反射する。この反
射する光の量は、２つの物質の屈折率差が大きいほど又
は光の入射角が大きいほど大きくなることが知られてい
る。According to the present embodiment, the first lens surface 1
Since the second lens 16 is formed with a gentle curved surface,
When light enters, the incident angle i of light (the angle between the normal to the lens surface and the light beam) decreases. Therefore, the amount of reflected light is reduced, and more light enters, so that the brightness can be improved. Generally, when light enters an interface between two substances, some light is reflected at the interface. It is known that the amount of reflected light increases as the refractive index difference between the two substances increases or as the incident angle of the light increases.
【００２９】本実施の形態では、光透過性層（第１の光
透過性層）１０の外側に、光透過性層（第２及び第３の
光透過性層）２０，２２が形成されている。詳しくは、
第１のレンズ面１２に密着して第２の光透過性層２０が
形成され、第２のレンズ面１４に密着して第３の光透過
性層２２が形成されている。第２及び第３の光透過性層
２０，２２を構成する材料として、第１の光透過性層１
０として選択できるものを使用することができる。In this embodiment, light-transmitting layers (second and third light-transmitting layers) 20 and 22 are formed outside the light-transmitting layer (first light-transmitting layer) 10. I have. For more information,
A second light transmissive layer 20 is formed in close contact with the first lens surface 12, and a third light transmissive layer 22 is formed in close contact with the second lens surface 14. As a material for forming the second and third light transmitting layers 20 and 22, the first light transmitting layer 1
Anything that can be selected as 0 can be used.
【００３０】第１、２及び３の光透過性層１０，２０，
２２の屈折率（例えば真空に対する屈折率として絶対屈
折率）ｎ1，ｎ2，ｎ3は、 ｎ2＜ｎ1 ｎ3＜ｎ1 の関係を有する。この関係を有することで、第２の光透
過性層２０から第１の光透過性層１０に入射する光は、
レンズ１６の凸面に入射し、レンズ１６の法線に近づく
方向（光軸に近づく方向）に屈折する。そして、第１の
光透過性層１０から第３の光透過性層２２に入射する光
は、レンズ１８の凹面に入射し、レンズ１８の法線から
離れる方向（光軸に近づく方向）に屈折する。The first, second and third light-transmitting layers 10, 20,
The refractive indices 22 (for example, absolute refractive indices for vacuum) n 1 , n 2 , and n 3 have a relationship of n 2 <n 1 n 3 <n 1 . By having this relationship, light incident on the first light transmitting layer 10 from the second light transmitting layer 20 is
The light enters the convex surface of the lens 16 and is refracted in a direction approaching the normal of the lens 16 (direction approaching the optical axis). Then, the light that enters the third light-transmitting layer 22 from the first light-transmitting layer 10 enters the concave surface of the lens 18 and is refracted in a direction away from the normal of the lens 18 (a direction approaching the optical axis). I do.
【００３１】なお、第２及び第３の光透過性層２０，２
２の一方又は両方（少なくとも一方）をなくしてもよ
い。その場合、第１又は第２のレンズ面１２，１４の外
側にある空気が、第２又は第３の光透過性層２０，２２
の代わりの媒質となる。したがって、第１の光透過性層
２０を、空気よりも屈折率が大きい材料で形成する。The second and third light transmitting layers 20, 2
One or both (at least one) of the two may be eliminated. In that case, the air outside the first or second lens surfaces 12, 14 is removed by the second or third light transmitting layers 20, 22.
It is an alternative medium. Therefore, the first light transmitting layer 20 is formed of a material having a higher refractive index than air.
【００３２】図１に示すように、第２及び第３の光透過
性層２０，２２の外側に基板（補強板、保護板又はカバ
ー等）２４，２６を設けてもよい。基板２４，２６も、
第１の光透過性層１０として選択できる材料で形成する
ことができる。基板２４，２６は、ガラス等であって、
第２及び第３の光透過性層２０，２２よりも強度が高い
ものを使用することが好ましい。基板２４，２６によっ
て、第２及び第３の光透過性層２０，２２を保護するこ
とができる。第２及び第３の光透過性層２０，２２に、
プロセス耐性等の必要な強度があれば、基板２４，２６
がなくてもよい。第２及び第３の光透過性層２０，２２
も、第１の光透過性層１０を保護する機能を有する。As shown in FIG. 1, substrates (such as a reinforcing plate, a protective plate or a cover) 24 and 26 may be provided outside the second and third light transmitting layers 20 and 22. The substrates 24 and 26 also
The first light transmitting layer 10 can be formed of a material that can be selected. The substrates 24 and 26 are made of glass or the like,
It is preferable to use a material having higher strength than the second and third light transmitting layers 20 and 22. The substrates 24 and 26 can protect the second and third light transmitting layers 20 and 22. In the second and third light transmitting layers 20 and 22,
If there is a necessary strength such as process resistance, the substrates 24, 26
May not be required. Second and third light transmitting layers 20, 22
Also has a function of protecting the first light transmitting layer 10.
【００３３】本実施の形態では、第１の光透過性層１０
のみをマイクロレンズアレイと称してもよいし、他の部
材（例えば第２、３の光透過性層２０，２２や基板２
４，２６等）を備える第１の光透過性層１０をマイクロ
レンズアレイと称してもよい。In this embodiment, the first light transmitting layer 10
May be referred to as a microlens array, or other members (for example, the second and third light-transmitting layers 20, 22 and the substrate 2).
4, 26, etc.) may be referred to as a microlens array.
【００３４】図１に示す光学装置の説明では、基板２６
を液晶パネルの構成要素として説明する。液晶パネル
は、基板２６と基板（ＴＦＴ基板）２８とを有する。基
板２６には、ブラックマトリクス３０、共通電極３２、
配向膜３４が形成されている。基板２８には、個別電極
３６、薄膜トランジスタ３８が設けられており、これら
の上に配向膜４０が形成されている。配向膜３４，４０
間には、液晶４２が封入されており、薄膜トランジスタ
３８によって制御される電圧によって、液晶４２が駆動
されるようになっている。In the description of the optical device shown in FIG.
Will be described as components of the liquid crystal panel. The liquid crystal panel has a substrate 26 and a substrate (TFT substrate) 28. A black matrix 30, a common electrode 32,
An alignment film 34 is formed. An individual electrode 36 and a thin film transistor 38 are provided on the substrate 28, and an alignment film 40 is formed thereon. Alignment films 34, 40
A liquid crystal 42 is sealed in between, and the liquid crystal 42 is driven by a voltage controlled by the thin film transistor 38.
【００３５】このような液晶パネルにマイクロレンズア
レイが取り付けられている。詳しくは、マイクロレンズ
アレイの少なくとも一部となる光透過性層１０は、第１
のレンズ面１２が、光の入射方向に対向している。した
がって、第１のレンズ面１２から光が入射する。また、
第２のレンズ面１４が光の出射方向を向いている。した
がって、第２のレンズ面１４から光が出射する。こうす
ることで、反射を少なくして多くの光がマイクロレンズ
アレイに入射し、集光しながら出射する。こうして、多
くの光が集光して液晶パネルに入射し、明るい画像を表
示することができる。A micro lens array is attached to such a liquid crystal panel. Specifically, the light transmissive layer 10 that becomes at least a part of the microlens array is the first layer.
Are opposed to each other in the light incident direction. Therefore, light enters from the first lens surface 12. Also,
The second lens surface 14 faces the light emission direction. Therefore, light is emitted from the second lens surface 14. By doing so, much light is incident on the microlens array with less reflection, and is emitted while being collected. Thus, a lot of light is condensed and incident on the liquid crystal panel, and a bright image can be displayed.
【００３６】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、種々の変形が可能である。図１に示す光学
装置は、液晶パネルであるが、本発明に係るマイクロレ
ンズアレイは、他の光学装置にも適用することができ
る。以下、本発明のその他の実施の形態について説明す
る。The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. Although the optical device shown in FIG. 1 is a liquid crystal panel, the microlens array according to the present invention can be applied to other optical devices. Hereinafter, other embodiments of the present invention will be described.
【００３７】（第２の実施の形態）図２は、本発明を適
用した第２の実施の形態に係るマイクロレンズアレイを
有する光学装置を示す図である。本実施の形態では、光
透過性層（第１の光透過性層）５０の形状が、第１の実
施の形態で説明した光透過性層１０の形状と異なる。(Second Embodiment) FIG. 2 is a diagram showing an optical device having a microlens array according to a second embodiment of the present invention. In the present embodiment, the shape of the light transmitting layer (first light transmitting layer) 50 is different from the shape of the light transmitting layer 10 described in the first embodiment.
【００３８】光透過性層５０の第１のレンズ面５２に
は、複数のレンズ５６が形成されている。光透過性層５
０の第２のレンズ面５４には、複数のレンズ５８が形成
されている。図２に示すレンズ５６，５８は全て凹レン
ズである。図示しない変形例として、少なくとも１つの
レンズ５６，５８を凸レンズにしてもよい。A plurality of lenses 56 are formed on the first lens surface 52 of the light transmitting layer 50. Light transmitting layer 5
A plurality of lenses 58 are formed on the 0 second lens surface 54. The lenses 56 and 58 shown in FIG. 2 are all concave lenses. As a modification not shown, at least one of the lenses 56 and 58 may be a convex lens.
【００３９】第１のレンズ面５２におけるレンズ５６
は、第２のレンズ面５４におけるレンズ５８よりも緩や
かな曲面で形成されている。例えば、レンズ５６，５８
が球面レンズであれば、レンズ５６の曲率半径Ｒ11と、
レンズ１８の曲率半径Ｒ12とは、 Ｒ12＜Ｒ11 の関係を有する。The lens 56 on the first lens surface 52
Is formed with a curved surface that is gentler than the lens 58 on the second lens surface 54. For example, lenses 56 and 58
There if a spherical lens, the radius of curvature R 11 of the lens 56,
The curvature radius R 12 of the lens 18 has a relationship of R 12 <R 11 .
【００４０】また、光透過性層（第１の光透過性層）５
０の外側に、光透過性層（第２及び第３の光透過性層）
６０，６２が形成されている。第１、２及び３の光透過
性層５０，６０，６２の屈折率（例えば真空に対する屈
折率として絶対屈折率）ｎ11，ｎ12，ｎ13は、 ｎ11＜ｎ12 ｎ11＜ｎ13 の関係を有する。この関係を有することで、第２の光透
過性層６０から第１の光透過性層５０に入射する光は、
レンズ５６の凹面に入射し、レンズ５６の法線から離れ
る方向（光軸に近づく方向）に屈折する。そして、第１
の光透過性層５０から第３の光透過性層６２に入射する
光は、レンズ５８の凸面に入射し、レンズ５８の法線に
近づく方向（光軸に近づく方向）に屈折する。The light transmitting layer (first light transmitting layer) 5
0, a light-transmitting layer (second and third light-transmitting layers)
60 and 62 are formed. First, second and third refractive index of the light transmitting layer 50,60,62 (absolute refractive index as the refractive index for example, with respect to vacuum) n 11, n 12, n 13 is, n 11 <n 12 n 11 <n 13 Has the relationship By having this relationship, light incident on the first light transmitting layer 50 from the second light transmitting layer 60 is
The light enters the concave surface of the lens 56 and is refracted in a direction away from the normal line of the lens 56 (a direction approaching the optical axis). And the first
The light incident on the third light transmissive layer 62 from the light transmissive layer 50 is incident on the convex surface of the lens 58 and is refracted in a direction approaching the normal of the lens 58 (direction approaching the optical axis).
【００４１】第１、２及び３の光透過性層５０，６０，
６２のその他の内容については、第１の実施の形態で第
１、２及び３の光透過性層１０，２０，２２について説
明した内容が該当し、同じ効果を達成することができ
る。本実施の形態に係る光学装置のその他の内容には、
第１の実施の形態で説明した内容が該当する。The first, second and third light transmitting layers 50, 60,
The other contents of 62 correspond to the contents described for the first, second, and third light-transmitting layers 10, 20, and 22 in the first embodiment, and the same effect can be achieved. Other contents of the optical device according to the present embodiment include:
The contents described in the first embodiment apply.
【００４２】（第３の実施の形態）図３（Ａ）〜図４
（Ｂ）は、本発明を適用した第３の実施の形態に係るマ
イクロレンズアレイの製造方法を説明する図である。本
実施の形態では、原盤の形状を光透過性層前駆体に転写
する。例えば、図３（Ａ）に示すように、原盤７０と基
板（又は補強板）７２とを、光透過性層前駆体７４を介
して密着させる。光透過性層前駆体７４を原盤７０上に
載せてもよいし、基板７２に光透過性層前駆体７４を載
せてその上に原盤７０を被せてもよいし、原盤７０及び
基板７２の両方に光透過性層前駆体７４を設けてもよ
い。(Third Embodiment) FIGS. 3A to 4
(B) is a figure explaining the manufacturing method of the micro lens array concerning a 3rd embodiment to which the present invention is applied. In the present embodiment, the shape of the master is transferred to the light transmitting layer precursor. For example, as shown in FIG. 3A, a master 70 and a substrate (or a reinforcing plate) 72 are brought into close contact with each other via a light transmitting layer precursor 74. The light-transmitting layer precursor 74 may be placed on the master 70, the light-transmitting layer precursor 74 may be placed on the substrate 72 and the master 70 may be placed thereon, or both the master 70 and the substrate 72 may be used. May be provided with a light transmitting layer precursor 74.
【００４３】原盤７０には、複数のレンズに対応する複
数の曲面部７６が形成されている。曲面部７６は凸部で
ある。レンズの形状については、第１の実施の形態で説
明した内容が該当する。原盤７０の平面形状は特に限定
されず、円形であっても、矩形などの多角形であっても
よい。基板７２は、マイクロレンズアレイの一部として
残されるのであれば、マイクロレンズアレイとして要求
される光透過性等の光学的な物性や、機械的強度等の特
性を満足するものであれば特に限定されるものではな
く、例えば、石英やガラス、あるいは、ポリカーボネー
ト、ポリアリレート、ポリエーテルサルフォン、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレート、ア
モルファスポリオレフィン等のプラスチック製の基板あ
るいはフィルムを利用することが可能である。基板７２
を後の工程で剥離するのであれば、基板７２には光透過
性がなくてもよい。A plurality of curved surfaces 76 corresponding to a plurality of lenses are formed on the master 70. The curved surface portion 76 is a convex portion. The contents described in the first embodiment correspond to the shape of the lens. The planar shape of the master 70 is not particularly limited, and may be a circle or a polygon such as a rectangle. The substrate 72 is not particularly limited as long as it satisfies the optical properties such as light transmittance required for the microlens array and the characteristics such as mechanical strength required as a part of the microlens array. However, for example, quartz or glass, or a plastic substrate or film such as polycarbonate, polyarylate, polyethersulfone, polyethylene terephthalate, polymethyl methacrylate, and amorphous polyolefin can be used. Substrate 72
Is removed in a later step, the substrate 72 may not have light transmittance.
【００４４】光透過性層前駆体７４は、液状あるいは液
状化可能な物質である。液状の物質としては、エネルギ
ーの付与により硬化可能な物質が利用でき、液状化可能
な物質としては、可塑性を有する物質が利用できる。光
透過性層前駆体７４は、光透過性層となった際に、光透
過性等の要求される特性を有するものであれば特に限定
されるものではないが、樹脂であることが好ましい。樹
脂は、エネルギー硬化性を有するもの、あるいは可塑性
を有するものが容易に得られ、好適である。The light transmitting layer precursor 74 is a liquid or liquefiable substance. As the liquid substance, a substance that can be cured by applying energy can be used, and as the liquefiable substance, a plastic substance can be used. The light-transmitting layer precursor 74 is not particularly limited as long as it has characteristics required for light transmission and the like when it becomes a light-transmitting layer, but is preferably a resin. As the resin, a resin having energy curability or a resin having plasticity is easily obtained, and is preferable.
【００４５】エネルギー硬化性を有する樹脂としては、
光及び熱の少なくともいずれかー方の付与により硬化可
能であることが望ましい。光や熱の利用は、汎用の露光
装置、ベイク炉やヒータ等の加熱装置を利用することが
でき、省設備コスト化を図ることが可能である。エネル
ギー硬化性を有する樹脂としては、例えば、アクリル系
樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、ポリイミド系
樹脂等が利用できる。特に、アクリル系樹脂は、市販品
の様々な前駆体や感光剤（光重合開始剤）を利用するこ
とで、光の照射で短時間に硬化するものが容易に得られ
るため好適である。Examples of the resin having energy curability include:
Desirably, it can be cured by applying at least one of light and heat. For the use of light and heat, a general-purpose exposure apparatus, a heating apparatus such as a bake furnace or a heater can be used, and the equipment cost can be reduced. As the resin having energy curability, for example, an acrylic resin, an epoxy resin, a melamine resin, a polyimide resin, or the like can be used. In particular, an acrylic resin is preferable because it can easily be cured by irradiation with light by using various commercially available precursors and photosensitive agents (photopolymerization initiators).
【００４６】光硬化性のアクリル系樹脂の基本組成の具
体例としては、プレポリマーまたはオリゴマー、モノマ
ー、光重合開始剤があげられる。Specific examples of the basic composition of the photocurable acrylic resin include a prepolymer or oligomer, a monomer, and a photopolymerization initiator.
【００４７】プレポリマーまたはオリゴマーとしては、
例えば、エポキシアクリレート類、ウレタンアクリレー
ト類、ポリエステルアクリレート類、ポリエーテルアク
リレート類、スピロアセタール系アクリレート類等のア
クリレート類、エポキシメタクリレート類、ウレタンメ
タクリレート類、ポリエステルメタクリレート類、ポリ
エーテルメタクリレート類等のメタクリレート類等が利
用できる。As the prepolymer or oligomer,
For example, acrylates such as epoxy acrylates, urethane acrylates, polyester acrylates, polyether acrylates, and spiroacetal acrylates; methacrylates such as epoxy methacrylates, urethane methacrylates, polyester methacrylates, and polyether methacrylates; Is available.
【００４８】モノマーとしては、例えば、２−エチルヘ
キシルアクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレー
ト、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキ
シエチルメタクリレート、Ｎ−ビニル−２−ピロリド
ン、カルビトールアクリレート、テトラヒドロフルフリ
ルアクリレート、イソボルニルアクリレート、ジシクロ
ペンテニルアクリレート、１，３−ブタンジオールアク
リレート等の単官能性モノマー、１，６−ヘキサンジオ
ールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタ
クリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、
ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレング
リコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジア
クリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート等の
二官能性モノマー、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、
ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート等の多官能性モノマーが
利用できる。Examples of the monomer include 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, N-vinyl-2-pyrrolidone, carbitol acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, isovol Monofunctional monomers such as nyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate and 1,3-butanediol acrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol diacrylate,
Bifunctional monomers such as neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate,
Polyfunctional monomers such as pentaerythritol triacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate can be used.
【００４９】光重合開始剤としては、例えば、２，２−
ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン等のアセトフ
ェノン類、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、ｐ−イ
ソプロピル−α−ヒドロキシイソブチルフェノン等のブ
チルフェノン類、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルジクロロアセト
フェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルトリクロロアセトフェ
ノン、α，α−ジクロル−４−フェノキシアセトフェノ
ン等のハロゲン化アセトフェノン類、ベンゾフェノン、
Ｎ，Ｎ−テトラエチル−４，４−ジアミノベンゾフェノ
ン等のベンゾフェノン類、ベンジル、ベンジルジメチル
ケタール等のベンジル類、ベンゾイン、ベンゾインアル
キルエーテル等のベンゾイン類、１−フェニル−１，２
−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オ
キシム等のオキシム類、２−メチルチオキサントン、２
−クロロチオキサントン等のキサントン類、ミヒラーケ
トン、ベンジルメチルケタール等のラジカル発生化合物
が利用できる。As the photopolymerization initiator, for example, 2,2-
Acetophenones such as dimethoxy-2-phenylacetophenone, butylphenones such as α-hydroxyisobutylphenone and p-isopropyl-α-hydroxyisobutylphenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, α, halogenated acetophenones such as α-dichloro-4-phenoxyacetophenone, benzophenone,
Benzophenones such as N, N-tetraethyl-4,4-diaminobenzophenone; benzyls such as benzyl and benzyldimethylketal; benzoins such as benzoin and benzoin alkyl ether; 1-phenyl-1,2
Oximes such as -propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 2-methylthioxanthone,
-Xanthones such as chlorothioxanthone, and radical generating compounds such as Michler's ketone and benzyl methyl ketal can be used.
【００５０】必要に応じて、酸素による硬化阻害を防止
する目的でアミン類等の化合物を添加したり、塗布を容
易にする目的で溶剤成分を添加してもよい。溶剤成分と
しては、特に限定されるものではなく、種々の有機溶
剤、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、メトキシメチルプロピオネート、エトキシ
エチルプロピオネート、エチルラクテート、エチルピル
ビネート、メチルアミルケトン等が利用可能である。If necessary, a compound such as an amine may be added to prevent curing inhibition by oxygen, or a solvent component may be added to facilitate coating. The solvent component is not particularly limited, and various organic solvents, for example, propylene glycol monomethyl ether acetate, methoxymethyl propionate, ethoxyethyl propionate, ethyl lactate, ethyl pyruvate, methyl amyl ketone, etc. Available.
【００５１】可塑性を有する樹脂としては、例えば、ポ
リカーボネート系樹脂、ポリメチルメタクリレート系樹
脂、アモルファスポリオレフィン系樹脂等の熱可塑性を
有する樹脂を利用できる。このような樹脂を、軟化点温
度以上に加熱することにより可塑化させて液状として使
用することができる。As the resin having plasticity, for example, a resin having thermoplasticity such as a polycarbonate resin, a polymethyl methacrylate resin, and an amorphous polyolefin resin can be used. Such a resin can be plasticized by heating to a temperature equal to or higher than the softening point and used as a liquid.
【００５２】図３（Ｂ）に示すように、光透過性層前駆
体７４を、原盤７０と基板７２との間で押し広げる。光
透過性層前駆体７０としてエネルギー硬化性（例えば光
硬化性）の樹脂を用いた場合であれば、所定の条件でエ
ネルギー（例えば光）を照射する。これにより光透過性
層前駆体７４を固化（硬化）させることができる。な
お、原盤７０がエネルギー透過性（例えば光透過性）を
有していれば、原盤７０を通してエネルギー（例えば
光）を照射することもできる。あるいは、軟化点温度以
上に加熱して可塑化させた樹脂を光透過性層前駆体７４
として使用する場合には、冷却することによりこれを硬
化させることができる。As shown in FIG. 3B, the light transmitting layer precursor 74 is spread between the master 70 and the substrate 72. If an energy-curable (for example, light-curable) resin is used as the light-transmitting layer precursor 70, energy (for example, light) is irradiated under predetermined conditions. Thereby, the light transmitting layer precursor 74 can be solidified (cured). If the master 70 has energy permeability (for example, light transmittance), energy (for example, light) can be irradiated through the master 70. Alternatively, the resin that has been plasticized by heating to a temperature equal to or higher than the softening point may be used as the light transmitting layer
When used as, it can be cured by cooling.
【００５３】必要に応じて、原盤７０及び基板７２の少
なくともいずれか一方を介して光透過性層前駆体７４を
加圧しても良い。加圧することで、光透過性層前駆体７
４を拡げる時間を短縮できるので作業性が向上し、か
つ、原盤７０の屈曲部７６間への光透過性層前駆体７４
の充填が確実となる。こうして設けられた光透過性層前
駆体７４を硬化させて、光透過性層７８を形成すること
ができる。If necessary, the light-transmitting layer precursor 74 may be pressurized via at least one of the master 70 and the substrate 72. By applying pressure, the light transmitting layer precursor 7
4 can be shortened, the workability is improved, and the light-transmitting layer precursor 74 between the bent portions 76 of the master 70 is improved.
Filling is ensured. The light transmitting layer precursor 74 thus provided is cured to form the light transmitting layer 78.
【００５４】図３（Ｃ）に示すように、光透過性層７８
を原盤７０から剥離する。光透過性層７８には、原盤７
０の屈曲部７６の反転形状である複数の凹部８０が形成
されている。As shown in FIG. 3C, the light transmitting layer 78
From the master 70. The light-transmitting layer 78 includes the master 7
A plurality of concave portions 80 having an inverted shape of the zero bent portion 76 are formed.
【００５５】図４（Ａ）に示すように、光透過性層７８
の凹部８０に、光透過性層前駆体８２を充填する。光透
過性層前駆体８２として、図３（Ａ）に示す光透過性層
前駆体７４として説明した物質を使用してもよい。ただ
し、光が屈折できるように、光透過性層前駆体８２，７
４として、異なる物質を使用する。詳しくは、第１の実
施の形態で説明した屈折率の関係を有する物質を使用す
る。As shown in FIG. 4A, the light transmitting layer 78
Is filled with a light-transmitting layer precursor 82. As the light-transmitting layer precursor 82, the substance described as the light-transmitting layer precursor 74 illustrated in FIG. 3A may be used. However, the light-transmitting layer precursors 82 and 7 are provided so that light can be refracted.
For 4, a different substance is used. Specifically, a substance having a refractive index relationship described in the first embodiment is used.
【００５６】光透過性層前駆体８２は、インクジェット
方式によって凹部８０に充填してもよい。または、凹部
８０の開口端部が、光透過性層前駆体８２に対して親和
性が低いときには、塗布によって光透過性層前駆体８２
を設けてもよい。例えば、親和性の小さい（低い）膜
を、凹部８０の開口端部の表面に形成してもよい。膜
は、ＣＶＤ等の気相成長法によって形成してもよいし、
スピンコート法やディップ法等の液相を用いた方法によ
って形成してもよく、その場合には液体又は溶媒に溶か
した物質を使用する。例えば、シランカップリング剤
（有機ケイ素化合物）やチオール化合物を使用すること
ができる。ここで、チオール化合物とは、メルカブト基
（−ＳＨ）を持つ有機化合物（Ｒ1−ＳＨ；Ｒ1はアルキ
ル基等の置換可能な炭化水素基）の総称をいう。このよ
うなチオール化合物を、例えば、ジクロロメタン、トリ
クロロメタン等の有機溶剤に溶かして０．１〜１０ｍＭ
程度の溶液とする。The light transmitting layer precursor 82 may be filled in the recess 80 by an ink jet method. Alternatively, when the open end of the concave portion 80 has a low affinity for the light transmitting layer precursor 82, the light transmitting layer precursor 82
May be provided. For example, a film having a low (low) affinity may be formed on the surface of the opening end of the recess 80. The film may be formed by a vapor phase growth method such as CVD,
It may be formed by a method using a liquid phase such as a spin coating method or a dipping method. In this case, a substance dissolved in a liquid or a solvent is used. For example, a silane coupling agent (organosilicon compound) or a thiol compound can be used. Here, the thiol compound is a general term for an organic compound having a mercapto group (-SH) (R 1 -SH; R 1 is a substitutable hydrocarbon group such as an alkyl group). Such a thiol compound is, for example, dissolved in an organic solvent such as dichloromethane, trichloromethane, etc.
Solution.
【００５７】また、シランカップリング剤とは、Ｒ2 nＳ
ｉＸ4-n（ｎは自然数、Ｒ2はＨ、アルキル基等の置換可
能な炭化水素基）で表される化合物であり、Ｘは−ＯＲ
3、−ＣＯＯＨ、−ＯＯＣＲ3、−ＮＨ3-nＲ3 n、−ＯＣ
Ｎ、ハロゲン等である（Ｒ3はアルキル基等の置換可能
な炭化水素基）。これらシランカップリング剤及びチオ
ール化合物の中で、特にＲ1やＲ3がＣnＦ2n+1ＣmＨ
2m（ｎ、ｍは自然数）であるようなフッ素原子を有する
化合物は表面自由エネルギーが高くなり他材料との親和
性が小さくなるため、好適に用いられる。The silane coupling agent is represented by R 2 n S
iX 4-n (n is a natural number, R 2 is H, a substitutable hydrocarbon group such as an alkyl group), and X is -OR
3, -COOH, -OOCR 3, -NH 3-n R 3 n, -OC
N, halogen and the like (R 3 are replaceable hydrocarbon group such as an alkyl group). Among these silane coupling agents and thiol compounds, especially R 1 and R 3 are C n F 2n + 1 C m H
A compound having a fluorine atom of 2m (n and m are natural numbers) is preferably used because it has a high surface free energy and low affinity with other materials.
【００５８】または、メルカプト基や−ＣＯＯＨ基を有
する化合物による上述した方法で得られる膜を用いるこ
ともできる。以上の材料による膜は、適切な方法により
単分子膜やその累積膜の形で用いることができる。Alternatively, a film obtained by the above-mentioned method using a compound having a mercapto group or a -COOH group can be used. The film made of the above materials can be used in the form of a monomolecular film or a cumulative film thereof by an appropriate method.
【００５９】光透過性層前駆体８２は、表面張力によっ
て凹部８０の開口端部から盛り上がるように充填しても
よい。光透過性層７８における凹部８０の開口端部が、
光透過性層前駆体８２に対して親和性が低いときには、
光透過性層前駆体８２が盛り上がるようになりやすい。The light transmitting layer precursor 82 may be filled so as to rise from the opening end of the concave portion 80 by surface tension. The opening end of the concave portion 80 in the light transmitting layer 78 is
When the affinity for the light transmitting layer precursor 82 is low,
The light-transmitting layer precursor 82 tends to swell.
【００６０】図４（Ｂ）に示すように、凹部８０に充填
された光透過性層前駆体８２を固化（硬化）して、光透
過性層８４を形成する。光透過性層前駆体８２は各凹部
８０ごとに分離して充填されるが、複数の凹部８０に充
填された光透過性層前駆体８２からなる層の全体が、光
透過性層８４である。光透過性層前駆体８２の固化（硬
化）については、上述した光透過性層前駆体７４の固化
（硬化）についての内容が該当する。また、光透過性層
前駆体８２を固化（硬化）させるときに、その表面を曲
面にする。必要に応じて、光透過性層８４上に、さらに
光透過性層や基板（補強板等）を設けてもよい。これら
の材料についても、層の界面で光が屈折できるものを選
択する。As shown in FIG. 4B, the light transmitting layer precursor 82 filled in the recess 80 is solidified (cured) to form a light transmitting layer 84. The light-transmitting layer precursor 82 is separately filled in each of the recesses 80, and the entire layer including the light-transmitting layer precursor 82 filled in the plurality of recesses 80 is the light-transmitting layer 84. . The solidification (curing) of the light-transmitting layer precursor 82 corresponds to the above-described content regarding the solidification (curing) of the light-transmitting layer precursor 74. Further, when the light transmitting layer precursor 82 is solidified (cured), its surface is formed into a curved surface. If necessary, a light transmitting layer and a substrate (such as a reinforcing plate) may be further provided on the light transmitting layer 84. Also for these materials, those capable of refracting light at the interface of the layers are selected.
【００６１】光透過性層８４は、マイクロレンズアレイ
の少なくとも一部となる。光透過性層８４は、第１及び
第２のレンズ面９２，９４を有する。第１のレンズ面９
２は複数のレンズ９６を含み、第２のレンズ面９４は複
数のレンズ９８を含む。第１のレンズ面９２におけるレ
ンズ９６は、第２のレンズ面９４におけるレンズ９８よ
りも緩やかな曲面で形成されている。その詳細について
は、第１の実施の形態で説明した内容が該当し、同じ効
果を達成することができる。The light transmitting layer 84 becomes at least a part of the micro lens array. The light transmitting layer 84 has first and second lens surfaces 92 and 94. First lens surface 9
2 includes a plurality of lenses 96, and second lens surface 94 includes a plurality of lenses 98. The lens 96 on the first lens surface 92 is formed with a gentler curved surface than the lens 98 on the second lens surface 94. The details correspond to the contents described in the first embodiment, and the same effect can be achieved.
【００６２】また、本実施の形態では、一方のレンズ９
６を表面張力や固化（硬化）のときの作用で形成してい
るが、このレンズ９６は緩やかな曲面でよい。他方のレ
ンズ９８は、原盤７０の曲面部７６の形状に応じて形成
することができるので、曲率半径の小さい曲面も形成が
可能である。In the present embodiment, one of the lenses 9
Although the lens 6 is formed by the action of surface tension or solidification (hardening), the lens 96 may have a gentle curved surface. Since the other lens 98 can be formed according to the shape of the curved surface portion 76 of the master 70, a curved surface having a small radius of curvature can also be formed.
【００６３】（第４の実施の形態）図５は、本発明を適
用した第４の実施の形態に係る光学装置の一例として撮
像装置を示す図である。撮像装置は、撮像素子（イメー
ジセンサ）を有する。例えば、２次元イメージセンサで
あれば、複数の画素のそれぞれに対応して受光部（例え
ばフォトダイオード）１００が設けられている。ＣＣＤ
（Charge Coupled Device）型の撮像素子であれば、転
送部１０２を有し、各画素の受光部１００からの電荷を
高速で転送するようになっている。なお、対応しない画
素から受光部１００に光が入射しないように遮光膜１０
４を形成してもよい。カラーの撮像素子には、カラーフ
ィルタ１０８を設ける。(Fourth Embodiment) FIG. 5 is a view showing an image pickup apparatus as an example of an optical apparatus according to a fourth embodiment to which the present invention is applied. The imaging device has an imaging element (image sensor). For example, in the case of a two-dimensional image sensor, a light receiving unit (for example, a photodiode) 100 is provided for each of a plurality of pixels. CCD
In the case of a (Charge Coupled Device) type image pickup device, the image pickup device has a transfer unit 102, and charges from the light receiving unit 100 of each pixel are transferred at high speed. It should be noted that the light-shielding film 10 is so set that light does not enter the light-receiving unit 100 from an uncorresponding pixel.
4 may be formed. The color filter 108 is provided for the color image sensor.
【００６４】この撮像素子に、本発明を適用したマイク
ロレンズアレイが取り付けられている。マイクロレンズ
アレイは光透過性層１１０を有する。光透過性層１１０
には、第１の実施の形態に係る光透過性層１０の内容が
該当する。光透過性層１１０の第１のレンズ面１１２に
外部からの光が入射するようになっており、第２のレン
ズ面１１４が撮像素子を向いている。第１及び第２のレ
ンズ面１１２，１１４には、第１の実施の形態に係る第
１及び第２のレンズ面１２，１４の内容が該当する。A microlens array to which the present invention is applied is attached to this image sensor. The micro lens array has a light transmitting layer 110. Light transmitting layer 110
Corresponds to the content of the light transmitting layer 10 according to the first embodiment. Light from the outside is incident on the first lens surface 112 of the light transmissive layer 110, and the second lens surface 114 faces the image sensor. The contents of the first and second lens surfaces 12, 14 according to the first embodiment correspond to the first and second lens surfaces 112, 114.
【００６５】本実施の形態によれば、多くの光が集光し
て受光部１００に入射するので、鮮明な画像を生成する
ことができる。詳しい作用効果は第１の実施の形態で説
明した通りである。According to the present embodiment, since a large amount of light is condensed and enters the light receiving unit 100, a clear image can be generated. The detailed operation and effect are as described in the first embodiment.
【００６６】（第５の実施の形態）図６は、本発明を適
用した第５の実施の形態に係る光学装置を示す図であ
る。この光学装置は、投射型表示装置（液晶プロジェク
ター）である。(Fifth Embodiment) FIG. 6 is a diagram showing an optical device according to a fifth embodiment to which the present invention is applied. This optical device is a projection type display device (liquid crystal projector).
【００６７】光学装置２００は、光源２０２と、複数の
液晶パネル２０４，２０６，２０８を有する。液晶パネ
ル２０４，２０６，２０８は、それぞれ、赤色に対応し
た（赤色用の）液晶ライトバルブ（液晶光シャッターア
レイ）、緑色に対応した（緑色用の）液晶ライトバルブ
（液晶光シャッターアレイ）、青色に対応した（青色用
の）液晶ライトバルブ（液晶光シャッターアレイ）であ
る。The optical device 200 has a light source 202 and a plurality of liquid crystal panels 204, 206, 208. The liquid crystal panels 204, 206, and 208 include a liquid crystal light valve (liquid crystal light shutter array) corresponding to red (for red), a liquid crystal light valve (liquid crystal light shutter array) for green (for green), and blue, respectively. This is a liquid crystal light valve (liquid crystal light shutter array) (for blue) corresponding to.
【００６８】液晶パネル２０４，２０６，２０８には、
図示しないマイクロレンズアレイが取り付けられてい
る。マイクロレンズアレイには、第１又は第２の実施の
形態で説明した内容が該当する。例えば、第１の実施の
形態で説明したように、マイクロレンズアレイの一部を
なす光透過性層１０の第１のレンズ面１２が、光源２０
２からの光が入射する側に位置している。The liquid crystal panels 204, 206, 208
A microlens array (not shown) is attached. The contents described in the first or second embodiment correspond to the microlens array. For example, as described in the first embodiment, the first lens surface 12 of the light transmitting layer 10 forming a part of the microlens array is
2 is located on the side where the light from 2 is incident.
【００６９】光学装置２００は、複数のインテグレータ
レンズを備えた照明光学系と、複数のダイクロイックミ
ラー等を備えた色分離光学系（導光光学系）と、赤色光
のみを反射するダイクロイックミラー面２１０および青
色光のみを反射するダイクロイックミラー面２１２が形
成されたダイクロイックプリズム（色合成光学系）２１
４と、投射レンズ（投射光学系）２１６とを有してい
る。The optical device 200 includes an illumination optical system having a plurality of integrator lenses, a color separation optical system (a light guiding optical system) having a plurality of dichroic mirrors, and a dichroic mirror surface 210 for reflecting only red light. And a dichroic prism (color combining optical system) 21 on which a dichroic mirror surface 212 that reflects only blue light is formed.
4 and a projection lens (projection optical system) 216.
【００７０】照明光学系は、インテグレータレンズ２１
８および２２０を有している。色分離光学系は、ミラー
２２２、２２４、２２６、青色光および緑色光を反射す
る（赤色光のみを透過する）ダイクロイックミラー２２
８、緑色光のみを反射するダイクロイックミラー２３
０、青色光のみを反射するダイクロイックミラー（また
は青色光を反射するミラー）２３２、集光レンズ２３
４、２３６、２３８、２４０および２４２とを有してい
る。The illumination optical system includes an integrator lens 21
8 and 220. The color separation optical system includes mirrors 222, 224, and 226, a dichroic mirror 22 that reflects blue light and green light (transmits only red light).
8. Dichroic mirror 23 that reflects only green light
0, a dichroic mirror (or a mirror that reflects blue light) 232 that reflects only blue light, and a condenser lens 23
4, 236, 238, 240 and 242.
【００７１】液晶パネル２０４の入射面側（マイクロレ
ンズ基板が位置する面側、すなわちダイクロイックプリ
ズム２１４と反対側）には第１の偏光板（図示せず）が
接合され、液晶パネルの出射面側（マイクロレンズ基板
と対向する面側、すなわちダイクロイックプリズム２１
４側）には第２の偏光板（図示せず）が接合されてい
る。液晶パネル２０６および２０８も、液晶パネル２０
４と同様の構成となっている。これら液晶パネル２０
４、２０６および２０８は、図示しない駆動回路にそれ
ぞれ接続されている。A first polarizing plate (not shown) is joined to the incident surface side of the liquid crystal panel 204 (the surface side where the microlens substrate is located, that is, the side opposite to the dichroic prism 214), and the light emitting surface side of the liquid crystal panel. (The surface side facing the microlens substrate, that is, the dichroic prism 21
A second polarizing plate (not shown) is joined to the (4th side). The liquid crystal panels 206 and 208 also
4 has the same configuration. These liquid crystal panels 20
4, 206 and 208 are respectively connected to a drive circuit (not shown).
【００７２】光学装置２００では、ダイクロイックプリ
ズム２１４と投射レンズ２１６とで、光学ブロック２４
４が構成されている。また、この光学ブロック２４４
と、ダイクロイックプリズム２１４に対して固定的に設
置された液晶パネル２０４、２０６および２０８とで、
表示ユニット２４６が構成されている。In the optical device 200, the dichroic prism 214 and the projection lens 216 form the optical block 24.
4 are configured. Also, this optical block 244
And the liquid crystal panels 204, 206 and 208 fixedly installed with respect to the dichroic prism 214,
A display unit 246 is configured.
【００７３】以下、光学装置２００の作用を説明する。
光源２０２から出射された白色光（白色光束）は、イン
テグレータレンズ２１８および２２０を透過する。この
白色光の光強度（輝度分布）は、インテグレータレンズ
２１８および２２０により均一にされる。インテグレー
タレンズ２１８および２２０を透過した白色光は、ミラ
ー２２２で反射し、その反射光のうちの青色光（Ｂ）お
よび緑色光（Ｇ）は、それぞれダイクロイックミラー２
２８で反射し、赤色光（Ｒ）は、ダイクロイックミラー
２２８を透過する。ダイクロイックミラー２２８を透過
した赤色光は、ミラー２２４で反射し、その反射光は、
集光レンズ２３４により整形され、赤色用の液晶パネル
２０４に入射する。ダイクロイックミラー２２８で反射
した青色光および緑色光のうちの緑色光は、ダイクロイ
ックミラー２３０で反射し、青色光は、ダイクロイック
ミラー２３０を透過する。ダイクロイックミラー２３０
で反射した緑色光は、集光レンズ２３６により整形さ
れ、緑色用の液晶パネル２０６に入射する。ダイクロイ
ックミラー２３０を透過した青色光は、ダイクロイック
ミラー（またはミラー）２３２で反射し、その反射光
は、ミラー２２６で反射する。青色光は、集光レンズ２
３８、２４０および２４２により整形され、青色用の液
晶パネル２０８に入射する。The operation of the optical device 200 will be described below.
White light (white light flux) emitted from the light source 202 passes through the integrator lenses 218 and 220. The light intensity (luminance distribution) of this white light is made uniform by the integrator lenses 218 and 220. The white light transmitted through the integrator lenses 218 and 220 is reflected by the mirror 222, and the blue light (B) and the green light (G) of the reflected light are respectively reflected by the dichroic mirror 2
The red light (R) reflected at 28 passes through the dichroic mirror 228. The red light transmitted through the dichroic mirror 228 is reflected by the mirror 224, and the reflected light is
The light is shaped by the condenser lens 234 and enters the liquid crystal panel 204 for red. The green light of the blue light and the green light reflected by the dichroic mirror 228 is reflected by the dichroic mirror 230, and the blue light is transmitted by the dichroic mirror 230. Dichroic mirror 230
Is reflected by the condenser lens 236 and enters the liquid crystal panel 206 for green. The blue light transmitted through the dichroic mirror 230 is reflected by a dichroic mirror (or mirror) 232, and the reflected light is reflected by a mirror 226. Blue light is collected by the condenser lens 2
38, 240, and 242, and enters the blue liquid crystal panel 208.
【００７４】このように、光源２０２から出射された白
色光は、色分離光学系により、赤色、緑色および青色の
三原色に色分離され、それぞれ、対応する液晶パネルに
導かれ入射する。この際、液晶パネル２０４が有する液
晶パネルの各画素（薄膜トランジスタとこれに接続され
た画素電極）は、赤色用の画像信号に基づいて作動する
駆動回路（駆動手段）により、スイッチング制御（オン
／オフ）、すなわち変調される。同様に、緑色光および
青色光は、それぞれ、液晶パネル２０６および２０８に
入射し、それぞれの液晶パネルで変調され、これにより
緑色用の画像および青色用の画像が形成される。この
際、液晶パネル２０６が有する液晶パネルの各画素は、
緑色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路によりス
イッチング制御され、液晶パネル２０８が有する液晶パ
ネルの各画素は、青色用の画像信号に基づいて作動する
駆動回路によりスイッチング制御される。これにより赤
色光、緑色光および青色光は、それぞれ、液晶パネル２
０４、２０６および２０８で変調され、赤色用の画像、
緑色用の画像および青色用の画像がそれぞれ形成され
る。As described above, the white light emitted from the light source 202 is color-separated into the three primary colors of red, green and blue by the color separation optical system, and each is guided to the corresponding liquid crystal panel and enters. At this time, each pixel (a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor) of the liquid crystal panel included in the liquid crystal panel 204 is subjected to switching control (on / off) by a driving circuit (driving means) that operates based on an image signal for red. ), That is, modulated. Similarly, the green light and the blue light enter the liquid crystal panels 206 and 208, respectively, and are modulated by the respective liquid crystal panels, thereby forming a green image and a blue image. At this time, each pixel of the liquid crystal panel of the liquid crystal panel 206 has:
Switching control is performed by a driving circuit that operates based on a green image signal, and switching of each pixel of the liquid crystal panel included in the liquid crystal panel 208 is controlled by a driving circuit that operates based on a blue image signal. As a result, the red light, the green light and the blue light are respectively transmitted to the liquid crystal panel 2
Images modulated for 04, 206 and 208, for red,
A green image and a blue image are respectively formed.
【００７５】液晶パネル２０４により形成された赤色用
の画像、すなわち液晶パネル２０４からの赤色光は、面
２４８からダイクロイックプリズム２１４に入射し、ダ
イクロイックミラー面２１０で反射し、ダイクロイック
ミラー面２１２を透過して、出射面２５０から出射す
る。液晶パネル２０６により形成された緑色用の画像、
すなわち液晶パネル２０６からの緑色光は、面２５２か
らダイクロイックプリズム２１４に入射し、ダイクロイ
ックミラー面２１０および２１２をそれぞれ透過して、
出射面２５０から出射する。液晶パネル２０８により形
成された青色用の画像、すなわち液晶パネル２０８から
の青色光は、面２５６からダイクロイックプリズム２１
４に入射し、ダイクロイックミラー面２１２で反射し、
ダイクロイックミラー面２１０を透過して、出射面２５
０から出射する。The image for red color formed by the liquid crystal panel 204, that is, the red light from the liquid crystal panel 204 enters the dichroic prism 214 from the surface 248, is reflected by the dichroic mirror surface 210, and transmits through the dichroic mirror surface 212. Out of the light exit surface 250. A green image formed by the liquid crystal panel 206,
That is, the green light from the liquid crystal panel 206 enters the dichroic prism 214 from the surface 252 and passes through the dichroic mirror surfaces 210 and 212, respectively.
The light exits from the exit surface 250. The blue image formed by the liquid crystal panel 208, that is, the blue light from the liquid crystal panel 208 passes through the dichroic prism 21 from the surface 256.
4 and is reflected by the dichroic mirror surface 212,
The light is transmitted through the dichroic mirror surface 210,
Emitted from 0.
【００７６】このように、液晶パネル２０４、２０６お
よび２０８からの各色の光、すなわち液晶パネル２０
４、２０６および２０８により形成された各画像は、ダ
イクロイックプリズム２１４により合成され、これによ
りカラーの画像が形成される。この画像は、投射レンズ
２１６により、所定の位置に設置されているスクリーン
２５４上に投影（拡大投射）される。As described above, the light of each color from the liquid crystal panels 204, 206 and 208, ie, the liquid crystal panel 20
The images formed by the images 4, 206, and 208 are combined by the dichroic prism 214, thereby forming a color image. This image is projected (enlarged projection) by a projection lens 216 onto a screen 254 installed at a predetermined position.
【図１】図１は、本発明を適用した第１の実施の形態に
係るマイクロレンズアレイを有する光学装置を示す図で
ある。FIG. 1 is a diagram illustrating an optical device having a microlens array according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図２は、本発明を適用した第２の実施の形態に
係るマイクロレンズアレイを有する光学装置を示す図で
ある。FIG. 2 is a diagram illustrating an optical device having a microlens array according to a second embodiment of the present invention.
【図３】図３（Ａ）〜図３（Ｃ）は、本発明を適用した
第３の実施の形態に係るマイクロレンズアレイの製造方
法を説明する図である。FIGS. 3A to 3C are diagrams illustrating a method for manufacturing a microlens array according to a third embodiment to which the present invention is applied.
【図４】図４（Ａ）〜図４（Ｂ）は、本発明を適用した
第３の実施の形態に係るマイクロレンズアレイの製造方
法を説明する図である。FIGS. 4A and 4B are diagrams illustrating a method for manufacturing a microlens array according to a third embodiment of the present invention.
【図５】図５は、本発明を適用した第４の実施の形態に
係る光学装置を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an optical device according to a fourth embodiment to which the present invention is applied.
【図６】図６は、本発明を適用した第５の実施の形態に
係る光学装置を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an optical device according to a fifth embodiment to which the present invention is applied.
１０ 光透過性層 １２ 第１のレンズ面 １４ 第２のレンズ面 １６ レンズ １８ レンズ ５０ 光透過性層 ５２ 第１のレンズ面 ５４ 第２のレンズ面 ５６ レンズ ５８ レンズ ８４ 光透過性層 ９２ 第１のレンズ面 ９４ 第２のレンズ面 ９６ レンズ ９８ レンズ １１０ 光透過性層 １１２ 第１のレンズ面 １１４ 第２のレンズ面 Reference Signs List 10 light transmitting layer 12 first lens surface 14 second lens surface 16 lens 18 lens 50 light transmitting layer 52 first lens surface 54 second lens surface 56 lens 58 lens 84 light transmitting layer 92 first Lens surface 94 second lens surface 96 lens 98 lens 110 light transmitting layer 112 first lens surface 114 second lens surface
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉澤 睦美 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2H088 EA15 HA13 HA14 HA21 HA24 HA25 HA28 MA06 2H091 FA02Z FA05Z FA26Z FA29Z FA35Z GA06 GA13 LA16 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Mutsumi Yoshizawa 3-3-5 Yamato, Suwa-shi, Nagano F-term in Seiko Epson Corporation (Reference) 2H088 EA15 HA13 HA14 HA21 HA24 HA25 HA28 MA06 2H091 FA02Z FA05Z FA26Z FA29Z FA35Z GA06 GA13 LA16
Claims (13)
１及び第２のレンズ面を有し、前記第１のレンズ面の各
レンズは、前記第２のレンズ面の各レンズよりも緩やか
な曲面で形成されてなるマイクロレンズアレイ。1. A light-transmitting layer, wherein the light-transmitting layer has first and second lens surfaces, and each lens on the first lens surface is provided on each of the second lens surfaces. A microlens array formed with a curved surface that is gentler than a lens.
おいて、 前記第１のレンズ面の各レンズの曲率半径は、前記第２
のレンズ面の各レンズの曲率半径よりも大きいマイクロ
レンズアレイ。2. The microlens array according to claim 1, wherein a radius of curvature of each lens on the first lens surface is equal to the second radius.
A microlens array that is larger than the radius of curvature of each lens on the lens surface.
ンズアレイにおいて、 前記第１及び第２のレンズ面の前記レンズは、全てほぼ
等しい幅で形成されてなるマイクロレンズアレイ。3. The microlens array according to claim 1, wherein the lenses on the first and second lens surfaces are all formed with substantially equal widths.
のマイクロレンズアレイにおいて、 前記第１及び第２のレンズ面の前記レンズは、全て凸レ
ンズであり、 前記光透過性層を構成する媒質の絶対屈折率は、前記第
１及び第２のレンズ面の外側にある媒質の絶対屈折率よ
りも大きいマイクロレンズアレイ。4. The microlens array according to claim 1, wherein the lenses on the first and second lens surfaces are all convex lenses, and constitute the light transmitting layer. A microlens array, wherein the absolute refractive index of the medium is larger than the absolute refractive index of the medium outside the first and second lens surfaces.
のマイクロレンズアレイにおいて、 前記第１及び第２のレンズ面の前記レンズは、全て凹レ
ンズであり、 前記光透過性層を構成する媒質の絶対屈折率は、前記第
１及び第２のレンズ面の外側にある媒質の絶対屈折率よ
りも小さいマイクロレンズアレイ。5. The microlens array according to claim 1, wherein the lenses on the first and second lens surfaces are all concave lenses and constitute the light transmitting layer. A microlens array, wherein the absolute refractive index of the medium is smaller than the absolute refractive index of the medium outside the first and second lens surfaces.
のマイクロレンズアレイを有する光学装置。6. An optical device comprising the microlens array according to claim 1.
アレイの前記第１のレンズ面が位置する光学装置。7. The optical device according to claim 6, further comprising a light source, wherein the first lens surface of the microlens array is located on a side on which light from the light source is incident.
イの前記第１のレンズ面が位置する光学装置。8. The optical device according to claim 6, further comprising an image sensor, wherein the first lens surface of the microlens array is located on a side on which light from the outside is incident.
性層を形成することを含み、 前記第１のレンズ面の各レンズを、前記第２のレンズ面
の各レンズよりも緩やかな曲面で形成するマイクロレン
ズアレイの製造方法。9. Forming a light transmissive layer having first and second lens surfaces, wherein each lens on the first lens surface is more gradual than each lens on the second lens surface. A method for manufacturing a microlens array formed with a curved surface.
の製造方法において、 前記第１のレンズ面の各レンズの曲率半径を、前記第２
のレンズ面の各レンズの曲率半径よりも大きく形成する
マイクロレンズアレイの製造方法。10. The method for manufacturing a microlens array according to claim 9, wherein a radius of curvature of each lens on the first lens surface is set to the second radius.
A method of manufacturing a microlens array in which the lens surface is formed to have a larger radius of curvature than each lens.
ロレンズアレイの製造方法において、 前記第１及び第２のレンズ面の前記レンズを、全てほぼ
等しい幅で形成するマイクロレンズアレイの製造方法。11. The method of manufacturing a microlens array according to claim 9, wherein the lenses on the first and second lens surfaces are all formed with substantially equal widths.
記載のマイクロレンズアレイの製造方法において、 前記第１及び第２のレンズ面の前記レンズを、全て凸レ
ンズとして形成し、 前記光透過性層を、前記第１及び第２のレンズ面の外側
にある媒質よりも絶対屈折率が大きい媒質で形成するマ
イクロレンズアレイの製造方法。12. The method of manufacturing a microlens array according to claim 9, wherein the lenses on the first and second lens surfaces are all formed as convex lenses, and A method for manufacturing a microlens array, wherein a layer is formed of a medium having an absolute refractive index larger than that of a medium outside the first and second lens surfaces.
記載のマイクロレンズアレイの製造方法において、 前記第１及び第２のレンズ面の前記レンズを、全て凹レ
ンズとして形成し、 前記光透過性層を、前記第１及び第２のレンズ面の外側
にある媒質よりも絶対屈折率が小さい媒質で形成するマ
イクロレンズアレイの製造方法。13. The method of manufacturing a microlens array according to claim 9, wherein all of the lenses on the first and second lens surfaces are formed as concave lenses, and A method for manufacturing a microlens array, wherein a layer is formed of a medium having an absolute refractive index smaller than that of a medium outside the first and second lens surfaces.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001085376A JP2002286910A (en) | 2001-03-23 | 2001-03-23 | Microlens array, method for manufacturing the same and optical device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001085376A JP2002286910A (en) | 2001-03-23 | 2001-03-23 | Microlens array, method for manufacturing the same and optical device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002286910A true JP2002286910A (en) | 2002-10-03 |
Family
ID=18940895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001085376A Withdrawn JP2002286910A (en) | 2001-03-23 | 2001-03-23 | Microlens array, method for manufacturing the same and optical device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002286910A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7339638B2 (en) | 2003-02-10 | 2008-03-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Micro-lens substrate, liquid crystal display element having same, and projection-type liquid crystal display device |
| US10025135B2 (en) | 2014-05-28 | 2018-07-17 | Seiko Epson Corporation | Lens array substrate, optoelectronic device, and electronic apparatus |
-
2001
- 2001-03-23 JP JP2001085376A patent/JP2002286910A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7339638B2 (en) | 2003-02-10 | 2008-03-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Micro-lens substrate, liquid crystal display element having same, and projection-type liquid crystal display device |
| US10025135B2 (en) | 2014-05-28 | 2018-07-17 | Seiko Epson Corporation | Lens array substrate, optoelectronic device, and electronic apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3968545B2 (en) | Manufacturing method of microlens array | |
| US6618201B2 (en) | Micro lens array, method of fabricating the same, and display device | |
| US6297911B1 (en) | Micro lens array, method of fabricating the same, and display device | |
| EP0659521B1 (en) | Method of producing a condenser lens substrate | |
| US20180284534A1 (en) | Quantum dot color filter, liquid crystal panel and liquid crystal display device thereof | |
| US6535338B2 (en) | Microlens array, method of manufacturing the same, and optical device and electronic apparatus using the same | |
| JP3344635B2 (en) | Color liquid crystal display | |
| JP2002283361A (en) | Microlens array, method for manufacturing the same and optical device | |
| US20070195417A1 (en) | Light-absorbing member | |
| EP1818713A1 (en) | Electro-optic device, method for manufacturing electro-optic device, projector, and electronic apparatus | |
| JP3824042B2 (en) | Optical substrate, manufacturing method thereof, and display device | |
| JP2003121609A (en) | Optical sheet and display device equipped with the same | |
| WO2003083525A1 (en) | Micro-lens array substrate and production method therefor, and projection type liquid crystal display unit using those | |
| JP2002196104A (en) | Microlens array, method for manufacturing the same and optical device | |
| JP2002214405A (en) | Lens array substrate and image display device | |
| US10871613B2 (en) | Optical waveguide apparatus and display | |
| JP3965541B2 (en) | Manufacturing method of microlens array | |
| JP2000193928A (en) | Optical modulating element and image projection display device | |
| KR0135922B1 (en) | Liquid crystal projector and liquid crystal display device using micro lens plate | |
| JP2004021209A (en) | Microlens array, liquid crystal panel, projection type display device and manufacture method of microlens array | |
| JP2002286910A (en) | Microlens array, method for manufacturing the same and optical device | |
| JP3129386B2 (en) | Optical device | |
| JP2006039507A (en) | Manufacturing method for structure material for liquid crystal display device, structure material for liquid crystal display device, transfer material, and liquid crystal display device | |
| JP2002283362A (en) | Microlens array, method for manufacturing the same and optical device | |
| JP4196150B2 (en) | Manufacturing method of microlens array |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040317 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20051220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070829 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20071026 |