JP2002286754A - Probe unit - Google Patents
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- JP2002286754A JP2002286754A JP2002023354A JP2002023354A JP2002286754A JP 2002286754 A JP2002286754 A JP 2002286754A JP 2002023354 A JP2002023354 A JP 2002023354A JP 2002023354 A JP2002023354 A JP 2002023354A JP 2002286754 A JP2002286754 A JP 2002286754A
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルのよう
な被検査基板の通電試験に用いるプローブカードのよう
な電気接続装置に配置されるプローブユニットに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe unit arranged in an electric connection device such as a probe card used for a current test of a substrate to be inspected such as a liquid crystal panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】仮想的な四角形の少なくとも隣り合う２
つの辺のそれぞれに複数の電極を配列した液晶パネル
は、プローブカード、プローブユニット等の電気接続装
置を用いて通電試験をされる。2. Description of the Related Art At least two neighboring virtual squares
A liquid crystal panel in which a plurality of electrodes are arranged on each of the two sides is subjected to a conduction test using an electrical connection device such as a probe card or a probe unit.
【０００３】この種の電気接続装置の１つとして、液晶
パネルの電極に個々に接触される複数のプローブを並列
的に配置した複数のプローブブロックを、矩形の開口を
有する板状のフレームに取り付けたものがある（例え
ば、特開平８−２０１４３０号公報）。As one type of this type of electrical connection device, a plurality of probe blocks in which a plurality of probes individually contacting electrodes of a liquid crystal panel are arranged in parallel are mounted on a plate-like frame having a rectangular opening. (For example, JP-A-8-201430).
【０００４】この電気接続装置においては、プローブが
液晶パネルの電極に正確に接触するように、プローブブ
ロックがフレームに対して位置決められるとともに、電
気接続装置が液晶プローバに対して位置決められる。In this electrical connection device, the probe block is positioned with respect to the frame and the electrical connection device is positioned with respect to the liquid crystal prober so that the probe accurately contacts the electrodes of the liquid crystal panel.
【０００５】一方、液晶パネルには、パネル自体の大き
さ、電極の配置ピッチ、電極数等が異なる種々のものが
存在する。このため、液晶パネルの通電試験は、一般
に、検査すべき液晶パネルの種類に応じた電気接続装置
を用いて行われる。On the other hand, there are various types of liquid crystal panels which are different in the size of the panel itself, the arrangement pitch of electrodes, the number of electrodes, and the like. For this reason, the energization test of the liquid crystal panel is generally performed using an electrical connection device according to the type of the liquid crystal panel to be inspected.
【０００６】[0006]
【解決しようとする課題】しかし、従来の電気接続装置
では、電気接続装置全体が一種類の液晶パネルの検査に
使用し得るにすぎないから、電気接続装置全体を検査す
べき液晶パネルに応じたものに交換し、プローバに対す
る位置調整を行う作業を、検査すべき液晶パネルの種類
を変更するたびに行わなければならない。However, in the conventional electric connection device, since the entire electric connection device can be used only for inspection of one type of liquid crystal panel, the entire electric connection device is adapted to the liquid crystal panel to be inspected. The work of replacing the probe and adjusting the position with respect to the prober must be performed every time the type of the liquid crystal panel to be inspected is changed.
【０００７】また、液晶パネルの大型化にともなって、
電気接続装置自体も大型化している今日では、そのよう
な電気接続装置の取り扱いが難しく、電気接続装置の交
換作業が困難になり、交換を複数の作業者により行わざ
るを得ない。Also, with the enlargement of the liquid crystal panel,
Nowadays, the size of the electrical connection device itself is increasing, and it is difficult to handle such an electrical connection device, and the replacement work of the electrical connection device becomes difficult, and the replacement has to be performed by a plurality of operators.
【０００８】それゆえに、本発明の目的は、検査すべき
被検査体の種類を変更するときの作業を容易にすること
にある。Therefore, an object of the present invention is to facilitate the operation when changing the type of the object to be inspected.
【０００９】[0009]
【解決手段、作用及び効果】本発明に係るプローブユニ
ットは、一方向へ伸びるプローブベースと、該プローブ
ベースの一端部に配置された原点マークと、前記プロー
ブベースに配置された複数のプローブとを含む。A probe unit according to the present invention includes a probe base extending in one direction, an origin mark disposed at one end of the probe base, and a plurality of probes disposed on the probe base. Including.
【００１０】プローブユニットは、そのプローブベース
において電気接続装置の本体の仮想的な四角形の少なく
とも隣り合う各辺に、プローブベースが対応する辺の方
向に伸びる状態に、取り外し可能に配置される。[0010] The probe unit is removably arranged on at least each adjacent side of a virtual square of the main body of the electrical connection device in the probe base, with the probe base extending in the direction of the corresponding side.
【００１１】検査すべき被検査体の種類を変更すると
き、電気接続装置に配置されているプローブユニットが
取り外され、その代わりに新たな被検査基板に対応する
新たなプローブユニットが電気試験装置に配置される。
このため、検査すべき被検査体の種類を変更するときの
作業が容易になる。When changing the type of the object to be inspected, the probe unit arranged in the electrical connection device is removed, and a new probe unit corresponding to a new substrate to be inspected is replaced by the electrical test device. Be placed.
For this reason, the operation when changing the type of the inspection object to be inspected is facilitated.
【００１２】また、プローブブロックと原点マークとが
共通のプローブベースに配置されているから、プローブ
ブロックひいてはこれに配置されているプローブと原点
マークとの相対的位置関係が不変である。このため、新
たなプローブユニットは、対応する原点マークと被検査
基板に形成されているアライメントマークとが一致する
ように、対応するプローブベースとプローバ又は被検査
基板とを相対的に変位させることにより、プローバ又は
被検査基板に対するプローブユニットの位置調整をする
ことができ、したがってこの点からも検査すべき被検査
体の種類を変更するときの作業が容易になる。In addition, since the probe block and the origin mark are arranged on a common probe base, the relative positional relationship between the probe block and the probe arranged on the probe block and the origin mark is unchanged. For this reason, the new probe unit relatively displaces the corresponding probe base and the prober or the substrate to be inspected so that the corresponding origin mark and the alignment mark formed on the substrate to be inspected match. The position of the probe unit with respect to the prober or the substrate to be inspected can be adjusted, and this also facilitates the operation for changing the type of the object to be inspected.
【００１３】プローブユニットは、さらに、前記原点マ
ークが形成された透明板を前記プローブベースに組み付
けているマークホルダを含むことができる。[0013] The probe unit may further include a mark holder for assembling the transparent plate having the origin mark formed thereon to the probe base.
【００１４】前記各プローブブロックは、複数のプロー
ブを前記プローブベースの長手方向に並列的に配列して
おり、また前記プローブの先端を下方へ突出させていて
もよい。In each of the probe blocks, a plurality of probes may be arranged in parallel in the longitudinal direction of the probe base, and the tips of the probes may be projected downward.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】図１から図４を参照するに、プロ
ーブカードすなわち電気接続装置１０は、長方形をした
液晶パネル１２の通電試験に用いられる。液晶パネル１
２は、長方形をした複数の電極を長方形の隣り合う２つ
の辺（Ｘ辺及びＹ辺）のそれぞれに並列的に配置してお
り、また図５に示すように十字状のアライメントマーク
１４を少なくとも３つの隅角部に有している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 to 4, a probe card, that is, an electrical connection device 10 is used for a conduction test of a liquid crystal panel 12 having a rectangular shape. LCD panel 1
2 has a plurality of rectangular electrodes arranged in parallel on each of two adjacent sides (X side and Y side) of the rectangle, and has at least a cross-shaped alignment mark 14 as shown in FIG. It has at three corners.
【００１６】液晶パネル１２は、液晶プローバの検査ス
テージ１６に載置され、その状態で検査ステージ１６に
より電気接続装置１０に対し、液晶パネル１２の長手方
向（Ｘ方向）と、液晶パネル１２の幅方向（Ｙ方向）
と、液晶パネル１２と垂直の方向（Ｚ方向）とへ移動さ
れるとともに、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回
転される。The liquid crystal panel 12 is mounted on an inspection stage 16 of a liquid crystal prober, and in this state, the inspection stage 16 applies a force to the electrical connection device 10 in the longitudinal direction (X direction) of the liquid crystal panel 12 and the width of the liquid crystal panel 12. Direction (Y direction)
Is moved in a direction (Z direction) perpendicular to the liquid crystal panel 12 and is rotated angularly about an axis extending in the Z direction.
【００１７】検査ステージ１６は、液晶パネル１２をＸ
方向へ移動させるＸステージ１８と、ステージ１８に支
持されて液晶パネル１２をＹ方向へ移動させるＹステー
ジ２０と、ステージ２０に支持されて液晶パネル１２を
Ｚ方向へ移動させるＺステージ２２と、ステージ２２に
支持されて液晶パネル１２をＺ方向へ伸びる軸線の周り
に角度的に回転させるθステージ２４とを備える。The inspection stage 16 sets the liquid crystal panel 12 to X
An X stage 18 for moving the liquid crystal panel 12 in the Y direction, a Y stage 20 supported by the stage 18 for moving the liquid crystal panel 12 in the Y direction, a Z stage 22 for supporting the liquid crystal panel 12 in the Z direction supported by the stage 20, and a stage. And a θ stage 24 that is supported by 22 and rotates the liquid crystal panel 12 angularly around an axis extending in the Z direction.
【００１８】電気接続装置１０は、装置本体３０と、仮
想的な四角形のＸ辺にあって本体３０に取り外し可能に
配置されたプローブユニット３２と、Ｘ辺の隣りのＹ辺
にあって本体３０に取り外し可能に配置されたプローブ
ユニット３４とを含む。The electrical connection device 10 includes a device main body 30, a probe unit 32 removably disposed on the X side of a virtual square, and a main body 30 on the Y side adjacent to the X side. And a probe unit 34 removably disposed at
【００１９】図示の例では、プローブユニット３２はデ
ータ側プローブユニットとして用いられ、プローブユニ
ット３４はゲート側プローブユニットとして用いられ
る。しかし、前記と逆に用いてもよい。In the illustrated example, the probe unit 32 is used as a data-side probe unit, and the probe unit 34 is used as a gate-side probe unit. However, they may be used in the opposite manner.
【００２０】本体３０は、プローブユニット３２をＸ辺
の長手方向（Ｘ方向）へ移動させる移動機構３６を、長
方形の開口３８を有する板状のフレーム４０の上に配置
している。移動機構３６は、Ｘ方向へ伸びるガイド部を
有する１以上のガイド４２をフレーム４０の上に配置
し、Ｘ方向へ伸びる板状の移動体４４をＸ方向へ移動可
能にガイド４２の上に配置している。In the main body 30, a moving mechanism 36 for moving the probe unit 32 in the longitudinal direction of the X side (X direction) is disposed on a plate-shaped frame 40 having a rectangular opening 38. The moving mechanism 36 arranges at least one guide 42 having a guide portion extending in the X direction on the frame 40, and arranges a plate-shaped moving body 44 extending in the X direction on the guide 42 so as to be movable in the X direction. are doing.
【００２１】ガイド４２は、Ｘ方向へ伸びるＸ軸レール
であり、図示しない複数のねじ部材によりフレーム４０
に取り付けられている。移動体４４は、ガイド４２のガ
イド部に滑動可能に嵌合された複数のスライドガイド４
６を有しており、またほぼ水平に維持されている。スラ
イドガイド４６は、移動体４４の長手方向に間隔をおい
ている。The guide 42 is an X-axis rail extending in the X direction.
Attached to. The moving body 44 includes a plurality of slide guides 4 slidably fitted to the guide portions of the guides 42.
6 and is maintained substantially horizontal. The slide guides 46 are spaced apart in the longitudinal direction of the moving body 44.
【００２２】移動機構３６のリードナット４８は、移動
体４４に組み付けられており、またリードスクリュー５
０と螺合されている。移動体４４は、リードスクリュー
５０がＸ軸モータ５２により回転されることにより、Ｘ
方向へ移動される。モータ５２は、ブラケット５４によ
りフレーム４０の上に組み付けられている。The lead nut 48 of the moving mechanism 36 is assembled to the moving body 44 and the lead screw 5
It is screwed with 0. When the lead screw 50 is rotated by the X-axis motor 52, the moving body 44
Moved in the direction. The motor 52 is mounted on the frame 40 by a bracket 54.
【００２３】プローブユニット３２は、Ｘ方向へ伸びる
板状のプローブベース５６を移動体４４上に配置し、複
数のプローブブロック５８をプローブベース５６に配置
し、図５に示す十字状の原点マーク６０を有するガラス
板のような透明板６２をマークホルダ６４によりプロー
ブベース５６の一端部に組み付け、原点マーク６０を撮
影するテレビカメラ６６をプローブベース５６の一端部
に組み付けている。In the probe unit 32, a plate-like probe base 56 extending in the X direction is arranged on the moving body 44, a plurality of probe blocks 58 are arranged on the probe base 56, and a cross-shaped origin mark 60 shown in FIG. A transparent plate 62 such as a glass plate having a mark is attached to one end of the probe base 56 by a mark holder 64, and a television camera 66 for photographing the origin mark 60 is attached to one end of the probe base 56.
【００２４】プローブユニット３４は、Ｙ方向へ伸びる
板状のプローブベース６８をフレーム４０上に配置し、
複数のプローブブロック７０をプローブベース６８に配
置し、図５に示す十字状の原点マーク６０を有するガラ
ス板のような透明板７２をマークホルダ７４によりプロ
ーブベース６８の一端部及び他端部に組み付け、原点マ
ークを撮影するテレビカメラ７６をプローブベース６８
の一端部及び他端部のそれぞれに組み付けている。In the probe unit 34, a plate-like probe base 68 extending in the Y direction is disposed on the frame 40,
A plurality of probe blocks 70 are arranged on a probe base 68, and a transparent plate 72 such as a glass plate having a cross-shaped origin mark 60 shown in FIG. The television camera 76 for photographing the origin mark with the probe base 68
At one end and the other end.
【００２５】プローブユニット３２のプローブベース５
６は、長手方向の各端部において位置決めピン７８と取
付ねじ８０とにより移動体４４の上に組み付けられてい
ることにより、フレーム４０ひいては本体３０に対し取
り外し可能である。The probe base 5 of the probe unit 32
6 is detachable from the frame 40 and thus the main body 30 by being assembled on the moving body 44 by positioning pins 78 and mounting screws 80 at each end in the longitudinal direction.
【００２６】これに対し、プローブユニット３４のプロ
ーブベース６８は、長手方向の各端部において位置決め
ピン８２と取付ねじ８４とにより、スペーサ８６を介し
てフレーム４０の上に組み付けられていることにより、
本体３０に対し取り外し可能である。On the other hand, the probe base 68 of the probe unit 34 is mounted on the frame 40 via the spacer 86 by the positioning pin 82 and the mounting screw 84 at each end in the longitudinal direction.
It is detachable from the main body 30.
【００２７】各プローブブロック５８は、複数のプロー
ブ８８を幅方向（Ｘ方向）に並列的に配列しており、ま
たプローブ８８の先端（針先）をフレーム４０の下方へ
突出させた状態に、プローブベース５６に組み付けられ
ている。図示の例では、各プローブ８８は、ポゴピンタ
イプすなわちスプリングピンタイプのプローブである
が、ニードルタイプのプローブ、ブレードタイプのプロ
ーブ又はバンプタイプのプローブであってもよい。In each probe block 58, a plurality of probes 88 are arranged in parallel in the width direction (X direction), and the probe 88 has a tip (needle tip) protruding below the frame 40. It is assembled to the probe base 56. In the illustrated example, each probe 88 is a pogo pin type, ie, a spring pin type probe, but may be a needle type probe, a blade type probe, or a bump type probe.
【００２８】各プローブブロック７０も、複数のプロー
ブ８８を幅方向（Ｙ方向）に並列的に配列しており、ま
たプローブ８８の先端（針先）をフレーム４０の下方へ
突出させた状態に、プローブベース６８に組み付けられ
ている。Each probe block 70 also has a plurality of probes 88 arranged in parallel in the width direction (Y direction), and with the tips of the probes 88 (needle tips) protruding below the frame 40. It is assembled to the probe base 68.
【００２９】マークホルダ６４及び７４は、それぞれ、
原点マーク６０がプローブ８８の先端（針先）より数ｍ
ｍ程度高くなるように、対応するプローブベース５６及
び６８に組み付けられている。The mark holders 64 and 74 respectively
The origin mark 60 is several meters from the tip (needle tip) of the probe 88
It is assembled to the corresponding probe bases 56 and 68 so as to be higher by about m.
【００３０】テレビカメラ６６及び７６は、それぞれ、
対応する原点マーク６０とその下側に配置される液晶パ
ネル１２の対応するアライメントマーク１４とを上方か
ら撮影するように、対応するプローブベース５６及び６
８の端部に組み付けられている。テレビカメラ６６及び
マークホルダ６４は、プローブユニット３４側と反対側
の部位に設けられている。The television cameras 66 and 76 are respectively
The corresponding probe bases 56 and 6 are photographed from above so as to photograph the corresponding origin mark 60 and the corresponding alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12 disposed therebelow.
8 at the end. The television camera 66 and the mark holder 64 are provided at a portion opposite to the probe unit 34 side.
【００３１】プローブユニット３２及び３４の各原点マ
ーク６０と対応するプローブ８８との位置関係は、液晶
パネル１２の対応するアライメントマーク１４と電極と
の位置関係と同じになるように、予め調整されている。The positional relationship between each origin mark 60 of the probe units 32 and 34 and the corresponding probe 88 is adjusted in advance so as to be the same as the positional relationship between the corresponding alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12 and the electrode. I have.
【００３２】テレビカメラ６６及び７６は、その焦点位
置を、電気接続装置１０における原点マーク６０の高さ
位置に対応する原点位置と、プローブ８８に接触する液
晶パネル１２の高さ位置に対応するコンタクト位置と、
液晶パネル１２をプローブ８８から離して液晶パネル１
２の位置合わせをする位置に対応するアライメント位置
とに変更可能の３焦点式のカメラである。Each of the television cameras 66 and 76 has its focal position set at the origin position corresponding to the height position of the origin mark 60 in the electric connection device 10 and at the contact position corresponding to the height position of the liquid crystal panel 12 in contact with the probe 88. location and,
The liquid crystal panel 12 is separated from the probe 88 so that the liquid crystal panel 1
This is a three-focus camera that can be changed to an alignment position corresponding to the position where the position 2 is to be aligned.
【００３３】電気接続装置１０は、プローブユニット３
２側のプローブ８８の配列方向とプローブユニット３４
側のプローブ８８の配列方向とが直角となるとともに、
移動機構３６による移動方向とプローブユニット３４側
のプローブ８８の配列方向とが直角となるように、製作
されている。また、各テレビカメラ６６及び７６は、対
応する原点マーク６０を視野の中央で撮影するように、
それぞれ対応するプローブベース５６及び６８に組み付
けられている。The electrical connection device 10 is connected to the probe unit 3
Arrangement direction of probe 88 on two sides and probe unit 34
And the arrangement direction of the probe 88 on the side becomes a right angle,
It is manufactured such that the moving direction by the moving mechanism 36 and the arrangement direction of the probes 88 on the probe unit 34 side are at right angles. Also, each television camera 66 and 76 shoots the corresponding origin mark 60 at the center of the field of view,
It is assembled to the corresponding probe bases 56 and 68, respectively.
【００３４】異なる種類の液晶基板１２の通電試験をす
るとき、その液晶基板１２に応じたプローブユニット３
２及び３４がそれぞれ移動体４４及びスペーサ８６に取
り付けられる。When conducting an energization test on different types of liquid crystal substrates 12, the probe units 3 corresponding to the liquid crystal substrates 12 are used.
2 and 34 are attached to the moving body 44 and the spacer 86, respectively.
【００３５】プローブユニット３２及び３４がそれぞれ
移動体４４及びスペーサ８６に取り付けられた状態にお
いて、Ｘ方向及びＹ方向におけるプローブユニット３２
及び３４の位置が相対的にずれている可能性があり、ま
たＸ方向及びＹ方向における検査ステージ１６上の液晶
基板１２に対するプローブユニット３２及び３４の位置
が相対的にずれている可能性があり、さらにプローブユ
ニット３２及び３４の対応するテレビカメラ６６又は７
２の光軸が検査ステージ１６のＺ軸線に対し傾いている
可能性がある。When the probe units 32 and 34 are attached to the moving body 44 and the spacer 86, respectively, the probe units 32 in the X direction and the Y direction
And 34 may be relatively shifted, and the positions of the probe units 32 and 34 with respect to the liquid crystal substrate 12 on the inspection stage 16 in the X direction and the Y direction may be relatively shifted. And the corresponding television camera 66 or 7 of the probe units 32 and 34
There is a possibility that the second optical axis is inclined with respect to the Z axis of the inspection stage 16.
【００３６】特に、テレビカメラの光軸が検査ステージ
のＺ軸線（Ｚステージによる移動方向）に対して傾いて
いると、たとえ原点マークとアライメントマークとがア
ライメント位置において一致していても、液晶パネルが
コンタクト位置に移動されたとき、液晶パネルがプロー
ブユニットに対しＸ方向又はＹ方向へ変位し、コンタク
ト位置において液晶パネルの電極がプローブに接触しな
いことがある。In particular, if the optical axis of the television camera is inclined with respect to the Z-axis of the inspection stage (moving direction by the Z stage), even if the origin mark and the alignment mark are aligned at the alignment position, When is moved to the contact position, the liquid crystal panel is displaced in the X direction or the Y direction with respect to the probe unit, and the electrode of the liquid crystal panel may not contact the probe at the contact position.
【００３７】このため、液晶パネル１２をアライメント
位置とコンタクト位置とに移動させてプローブユニット
３２及び３４の位置調整をすること、特にコンタクト位
置において原点マーク６０とアライメントマーク１４と
を一致させた後、液晶パネル１２をアライメント位置に
下降させ、その位置における原点マーク６０とアライメ
ントマーク１４とのずれ量又はその位置における液晶パ
ネルの座標位置を得ることは、テレビカメラの光軸とＺ
軸線とが傾いている場合に重要である。Therefore, the position of the probe units 32 and 34 is adjusted by moving the liquid crystal panel 12 between the alignment position and the contact position. In particular, after aligning the origin mark 60 with the alignment mark 14 at the contact position, Lowering the liquid crystal panel 12 to the alignment position and obtaining the amount of displacement between the origin mark 60 and the alignment mark 14 at that position or the coordinate position of the liquid crystal panel at that position requires the optical axis of the television camera and the Z position.
This is important when the axis is inclined.
【００３８】それえゆえに、次に、装置本体３０（プロ
ーバ）及び液晶パネル１２に対するプローブユニット３
２及び３４の位置調整がプローブユニット３４及び３２
の順に以下のような手順により自動的に行われる。Therefore, next, the probe unit 3 for the device body 30 (prober) and the liquid crystal panel 12
The position adjustment of 2 and 34 is performed by the probe units 34 and 32.
Are automatically performed in the following order.
【００３９】先ず、図６（Ａ）に示すように、液晶パネ
ル１２が検査ステージ１６によりプローブユニット３４
のプローブ８８から下方へ離れたアライメント位置に移
動される。First, as shown in FIG. 6A, the liquid crystal panel 12 is moved by the inspection stage 16 to the probe unit 34.
Is moved to an alignment position separated downward from the probe 88 of FIG.
【００４０】次いで、プローブユニット３４用の各アラ
イメントマーク１４が対応するテレビカメラ７６の視野
に入るように、液晶パネル１２が検査ステージ１６によ
りＸ方向及びＹ方向へ移動されるとともに、Ｚ軸線の周
りに角度的に回転される。Next, the liquid crystal panel 12 is moved by the inspection stage 16 in the X direction and the Y direction so that each alignment mark 14 for the probe unit 34 enters the field of view of the corresponding television camera 76, and the liquid crystal panel 12 is moved around the Z axis. Rotated angularly.
【００４１】プローブユニット３４用の各アライメント
マーク１４が対応するテレビカメラ７６の視野に入る
と、そのときのプローブユニット３４の原点マークとア
ライメントマークとのずれ量ΔＸ及びΔＹ（又は、液晶
パネルの座標位置）が測定され、そのずれ量（又は、座
標位置）が図示しないメモリに記憶される。When each alignment mark 14 for the probe unit 34 enters the field of view of the corresponding television camera 76, the deviation amounts ΔX and ΔY between the origin mark and the alignment mark of the probe unit 34 at that time (or the coordinates of the liquid crystal panel). Position) is measured, and the shift amount (or coordinate position) is stored in a memory (not shown).
【００４２】次いで、図６（Ｂ）に示すように、液晶パ
ネル１２のアライメントマーク１４がプローブユニット
３４の原点マーク６０と一致するように、液晶パネル１
２が検査ステージ１６により所定量（前記メモリに記憶
したずれ量ΔＸ及びΔＹ）だけ移動される。アライメン
トマーク１４が原点マーク６０と一致すると、そのとき
の液晶パネル１２の座標位置が前記メモリに記憶され
る。Next, as shown in FIG. 6B, the liquid crystal panel 1 is adjusted so that the alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12 coincides with the origin mark 60 of the probe unit 34.
2 is moved by the inspection stage 16 by a predetermined amount (the deviation amounts ΔX and ΔY stored in the memory). When the alignment mark 14 matches the origin mark 60, the coordinate position of the liquid crystal panel 12 at that time is stored in the memory.
【００４３】次いで、図６（Ｃ）に示すように、液晶パ
ネル１２が検査ステージ１６によりプローブユニット３
４のプローブ８８に接触するコンタクト位置に移動さ
れ、その位置におけるプローブユニット３４の原点マー
ク６０と液晶パネル１２のアライメントマーク１４との
ずれ量ΔＸ及びΔＹ（又は、液晶パネル１２の座標位
置）が再度測定され、そのずれ量（又は、座標位置）が
前記メモリに記憶される。Next, as shown in FIG. 6C, the liquid crystal panel 12 is moved by the inspection stage 16 to the probe unit 3.
4 is moved to the contact position where it contacts the fourth probe 88, and the deviation amounts ΔX and ΔY between the origin mark 60 of the probe unit 34 and the alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12 (or the coordinate position of the liquid crystal panel 12) at that position again. It is measured, and the deviation amount (or coordinate position) is stored in the memory.
【００４４】次いで、図７（Ａ）に示すように、液晶パ
ネル１２のアライメントマーク１４がコンタクト位置に
おいてプローブユニット３４の原点マーク６０と一致す
るように、液晶パネル１２の下降、その状態での液晶パ
ネル１２の移動、液晶パネル１２のコンタクト位置への
上昇、及び、その位置における原点マークとアライメン
トマークとの位置関係の確認が一回以上行われる。この
ときの液晶パネルの下降、移動及び上昇は、いずれも、
検査ステージ１６により行われる。Next, as shown in FIG. 7A, the liquid crystal panel 12 is lowered so that the alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12 coincides with the origin mark 60 of the probe unit 34 at the contact position. The movement of the panel 12, the elevation of the liquid crystal panel 12 to the contact position, and the confirmation of the positional relationship between the origin mark and the alignment mark at that position are performed one or more times. At this time, the lowering, moving, and rising of the liquid crystal panel
This is performed by the inspection stage 16.
【００４５】液晶パネル１２のアライメントマーク１４
がコンタクト位置においてプローブユニット３４の原点
マーク６０と一致すると、そのときの液晶パネル１２の
座標位置が前記メモリに記憶される。The alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12
Is coincident with the origin mark 60 of the probe unit 34 at the contact position, the coordinate position of the liquid crystal panel 12 at that time is stored in the memory.
【００４６】次いで、図７（Ｂ）に示すように、液晶パ
ネル１２が検査ステージ１６によりアライメント位置に
下降され、その位置におけるプローブユニット３４の原
点マーク６０とアライメントマーク１４とのずれ量ΔＸ
及びΔＹ（又は、そのときの液晶パネル１２の座標位
置）が測定され、そのずれ量（又は、座標位置）が前記
メモリに記憶される。Next, as shown in FIG. 7B, the liquid crystal panel 12 is lowered to the alignment position by the inspection stage 16, and the deviation amount ΔX between the origin mark 60 of the probe unit 34 and the alignment mark 14 at that position.
And ΔY (or the coordinate position of the liquid crystal panel 12 at that time) are measured, and the shift amount (or the coordinate position) is stored in the memory.
【００４７】上記の作業すなわち工程は、プローブユニ
ット３４用の両アライメントマークを用いて行われる。
このため、装置本体３０に対するプローブユニット３４
の位置決めが正確に行われる。前記のような工程によ
り、本体３０ひいてはプローバと液晶基板１２とに対す
るプローブユニット３４の位置調整が終了する。The above operation, that is, the process, is performed using both alignment marks for the probe unit 34.
For this reason, the probe unit 34 with respect to the
Is accurately positioned. Through the steps described above, the adjustment of the position of the probe unit 34 with respect to the main body 30 and thus the prober and the liquid crystal substrate 12 is completed.
【００４８】この状態においては、一般に図８（Ａ）に
示すように、プローブユニット３２の原点マーク６０に
対応するアライメントマーク１４はプローブユニット３
２のテレビカメラ６６の視野内に入っている。In this state, generally, as shown in FIG. 8A, the alignment mark 14 corresponding to the origin mark 60 of the probe unit 32 is
2 is in the field of view of the television camera 66.
【００４９】しかし、プローブユニット３２の原点マー
ク６０に対応するアライメントマーク１４が対応するテ
レビカメラ６６の視野内に入っていないと、そのアライ
メントマーク１４が対応するテレビカメラ６６の視野内
に入るように、プローブユニット３２が移動機構３６に
よりＸ方向に移動される。However, if the alignment mark 14 corresponding to the origin mark 60 of the probe unit 32 does not fall within the field of view of the corresponding television camera 66, the alignment mark 14 will fall within the field of view of the corresponding television camera 66. The probe unit 32 is moved in the X direction by the moving mechanism 36.
【００５０】次いで、そのアライメントマーク１４が対
応するテレビカメラ６６の視野内に入ると、そのときの
プローブユニット３２の原点マーク６０とアライメント
マーク１４とのずれ量ΔＸ、ΔＹ（又は、そのときの液
晶パネル１２の座標位置）が測定され、そのずれ量（又
は、座標位置）が前記メモリに記憶される。Next, when the alignment mark 14 enters the field of view of the corresponding television camera 66, the deviation amounts ΔX, ΔY between the origin mark 60 of the probe unit 32 and the alignment mark 14 at that time (or the liquid crystal at that time) The coordinate position of the panel 12) is measured, and the shift amount (or coordinate position) is stored in the memory.
【００５１】次いで、図８（Ｂ）に示すように、プロー
ブユニット３２の原点マーク６０が液晶パネル１２のア
ライメントマーク１４と一致するように、プローブユニ
ット３２が移動機構３６により所定量Ｘ方向へ移動され
る。Next, as shown in FIG. 8B, the probe unit 32 is moved in the X direction by a predetermined amount by the moving mechanism 36 so that the origin mark 60 of the probe unit 32 matches the alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12. Is done.
【００５２】次いで、図８（Ｃ）に示すように、液晶パ
ネル１２が検査ステージ１６によりプローブユニット３
２のプローブ８８に接触するコンタクト位置に移動さ
れ、その位置におけるプローブユニット３２の原点マー
クと液晶パネル１２のアライメントマーク１４とのずれ
量ΔＸ及びΔＹ（又は、液晶パネル１２の座標位置）が
再度測定され、そのずれ量（又は、座標位置）が前記メ
モリに記憶される。Next, as shown in FIG. 8C, the liquid crystal panel 12 is moved by the inspection stage 16 to the probe unit 3.
The displacement ΔX and ΔY between the origin mark of the probe unit 32 and the alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12 (or the coordinate position of the liquid crystal panel 12) at that position are measured again. The shift amount (or coordinate position) is stored in the memory.
【００５３】次いで、図９（Ａ）に示すように、コンタ
クト位置においてプローブユニット３２の原点マークが
少なくともＸ方向において液晶パネル１２のアライメン
トマーク１４と一致するように、検査ステージ１６によ
る液晶パネル１２の下降、その状態での移動機構３６に
よるＸ方向へのプローブユニット３２の移動、検査ステ
ージ１６による液晶パネル１２のコンタクト位置への上
昇、及び、コンタクト位置における原点マークとアライ
メントマークとの位置関係の確認が一回以上行われる。Next, as shown in FIG. 9A, the inspection stage 16 adjusts the liquid crystal panel 12 so that the origin mark of the probe unit 32 coincides with the alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12 at least in the X direction at the contact position. The probe unit 32 is moved down in the X direction by the moving mechanism 36 in that state, the liquid crystal panel 12 is moved up to the contact position by the inspection stage 16, and the positional relationship between the origin mark and the alignment mark at the contact position is confirmed. Is performed one or more times.
【００５４】液晶パネル１２のアライメントマーク１４
がコンタクト位置においてプローブユニット３２の原点
マークと一致すると、そのときの液晶パネル１２の座標
位置が前記メモリに記憶される。The alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12
Is coincident with the origin mark of the probe unit 32 at the contact position, the coordinate position of the liquid crystal panel 12 at that time is stored in the memory.
【００５５】次いで、図９（Ｂ）に示すように、液晶パ
ネル１２が検査ステージ１６によりアライメント位置に
下降され、その位置におけるプローブユニット３２の原
点マーク６０とアライメントマーク１４とのずれ量ΔＸ
及びΔＹ（又は、液晶パネルの座標位置）が測定され、
そのずれ量（又は、座標位置）が前記メモリに記憶され
る。Next, as shown in FIG. 9B, the liquid crystal panel 12 is lowered to the alignment position by the inspection stage 16, and the deviation amount ΔX between the origin mark 60 of the probe unit 32 and the alignment mark 14 at that position.
And ΔY (or the coordinate position of the liquid crystal panel) are measured,
The shift amount (or coordinate position) is stored in the memory.
【００５６】上記のような工程により、プローブユニッ
ト３４に対するプローブユニット３２の位置調整が終了
し、本体３０ひいてはプローバと液晶基板１２とに対す
るプローブユニット３２の位置調整が終了する。Through the steps described above, the position adjustment of the probe unit 32 with respect to the probe unit 34 is completed, and the position adjustment of the probe unit 32 with respect to the main body 30 and thus the prober and the liquid crystal substrate 12 is completed.
【００５７】プローブユニット３２に関する上記工程に
おいては、プローブユニット３２のＸ方向における位置
を調整しているが、Ｙ方向における位置を調整していな
い。これは、液晶パネルの電極が一般にその配列方向と
直角の方向に長いから（図１３参照）、Ｙ方向における
プローブユニット３２の位置は、プローバ及び液晶パネ
ルに対するプローブユニット３４の調整が終了したこと
により、許容範囲内に調整されるためである。In the above process for the probe unit 32, the position of the probe unit 32 in the X direction is adjusted, but the position in the Y direction is not adjusted. This is because the position of the probe unit 32 in the Y direction is determined by the completion of the adjustment of the probe unit 34 with respect to the prober and the liquid crystal panel because the electrodes of the liquid crystal panel are generally long in the direction perpendicular to the arrangement direction (see FIG. 13). This is because it is adjusted within the allowable range.
【００５８】上記のように、液晶パネル１２をアライメ
ント位置とコンタクト位置とに移動させてプローブユニ
ット３２及び３４の位置調整をする理由、特にコンタク
ト位置において原点マークとアライメントマークとを一
致させた後、液晶パネルをアライメント位置に下降さ
せ、その位置における原点マークとアライメントマーク
とのずれ量又はその位置における液晶パネルの座標位置
を得る理由は、対応するテレビカメラの光軸が検査ステ
ージのＺ軸線に対して傾いていることによる。As described above, the reason for adjusting the positions of the probe units 32 and 34 by moving the liquid crystal panel 12 to the alignment position and the contact position, especially after the origin mark and the alignment mark are matched at the contact position, The reason for lowering the liquid crystal panel to the alignment position and obtaining the amount of displacement between the origin mark and the alignment mark at that position or the coordinate position of the liquid crystal panel at that position is that the optical axis of the corresponding TV camera is positioned with respect to the Z axis of the inspection stage. Depending on the inclination.
【００５９】図７（Ｂ）及び図９（Ｂ）のようにして最
終的に得られたずれ量（又は、座標位置）は、その後の
同種の液晶パネルの検査時のアライメントに利用され
る。The shift amount (or coordinate position) finally obtained as shown in FIGS. 7B and 9B is used for alignment at the time of inspection of the same type of liquid crystal panel thereafter.
【００６０】以後の同種の液晶パネルは、アライメント
位置においてアライメントマーク１４が原点マーク６０
に対し図７（Ｂ）及び図９（Ｂ）に示す最終的なずれ量
（又は、座標位置）を有するように、検査ステージ１６
により位置を調整される。Subsequent liquid crystal panels of the same type have the alignment mark 14 at the alignment position where the origin mark 60
The inspection stage 16 has a final displacement (or coordinate position) shown in FIGS. 7B and 9B.
To adjust the position.
【００６１】しかし、以後の同種の液晶パネルのアライ
メントは、プローブユニット３４の側の両テレビカメラ
のみを用いて行ってもよい。また、コンタクト位置にお
いてアライメントマーク１４の位置の確認を時々行って
もよい。However, subsequent alignment of the same type of liquid crystal panel may be performed using only the two television cameras on the probe unit 34 side. Further, the position of the alignment mark 14 may be checked at the contact position from time to time.
【００６２】原点マークとアライメントマークとが一致
しているか否かの確認をする工程及び原点マークとアラ
イメントマークとのずれ量を算出する工程において、各
テレビカメラは、液晶基板１２がアライメント位置に移
動されている状態において焦点位置を対応する原点位置
とアライメント位置とに少なくとも一回切り換えられ、
また液晶基板１２がコンタクト位置に移動されている状
態において焦点位置を対応する原点位置とコンタクト位
置とに少なくとも一回切り換えられる。In the step of confirming whether the origin mark and the alignment mark match, and in the step of calculating the amount of deviation between the origin mark and the alignment mark, each television camera moves the liquid crystal substrate 12 to the alignment position. The focus position is switched at least once between the corresponding origin position and the alignment position in a state where
When the liquid crystal substrate 12 is moved to the contact position, the focal position is switched at least once between the corresponding origin position and the contact position.
【００６３】上記のように、本体３０を複数種類の液晶
パネルに共通に利用し、検査すべき液晶パネルの種類を
変更するときは、装置全体を交換することなく、プロー
ブユニット３２，３４のみを交換するならば、装置全体
を交換する場合に比べ、ユニットの交換作業が容易にな
る。As described above, when the main body 30 is used in common for a plurality of types of liquid crystal panels and the type of liquid crystal panel to be inspected is changed, only the probe units 32 and 34 are used without replacing the entire apparatus. When the unit is replaced, the unit replacement operation is easier than when the entire device is replaced.
【００６４】また、原点マーク６０と液晶パネルのアラ
イメントマーク１４とを所定のテレビカメラ６６又は７
６で撮影し、両マークが一致するように、新たなプロー
ブユニットのプローブベースをプローバに対して変位さ
せることにより、プローバに対する位置調整をするなら
ば、装置全体の位置調整をする場合に比べ、位置調整作
業が容易になる。The origin mark 60 and the alignment mark 14 of the liquid crystal panel are aligned with a predetermined television camera 66 or 7.
6. If the position is adjusted with respect to the prober by photographing in step 6 and displacing the probe base of the new probe unit with respect to the prober so that the two marks coincide with each other, compared with the case of adjusting the position of the entire apparatus, Position adjustment work becomes easy.
【００６５】液晶パネル１２の場合、一般に図１３に示
すように、長い複数の電極１１２が矩形の辺の方向に並
列的に形成されている。また、プローブの配置ピッチが
検査中の温度変化によるプローブブロック等の伸縮によ
り変化すると、それに起因する配置ピッチの累積誤差に
より、電極１１２に接触しないプローブが存在すること
がある。このようなコンタクト不良は、特に、電極数の
多いデータ側プローブユニットにおいて生じやすい。In the case of the liquid crystal panel 12, generally, as shown in FIG. 13, a plurality of long electrodes 112 are formed in parallel in the direction of a rectangular side. Further, when the arrangement pitch of the probes changes due to expansion and contraction of the probe block or the like due to a temperature change during the inspection, some probes may not contact the electrode 112 due to the accumulated error of the arrangement pitch. Such a contact failure is particularly likely to occur in a data-side probe unit having a large number of electrodes.
【００６６】そのようなプローブの配置ピッチずれによ
るコンタクト不良が生じたときは、図１３に示すよう
に、電極１１２へのプローブのコンタクトラインを１１
４から１１６に又はその逆に所定量θだけ変化させて、
プローブの配置ピッチを見かけ上変化させることが好ま
しい。When a contact failure occurs due to such a displacement of the arrangement pitch of the probes, as shown in FIG.
From 4 to 116 or vice versa by a predetermined amount θ,
It is preferable that the arrangement pitch of the probes is apparently changed.
【００６７】そのような見かけ上の変化は、図１０から
図１２に示すように、プローブユニット３２を液晶パネ
ルと垂直のＺ軸線の周りに角度的に回転させる回転機構
９０により発生することができる。Such an apparent change can be caused by a rotation mechanism 90 for rotating the probe unit 32 angularly around a Z-axis perpendicular to the liquid crystal panel, as shown in FIGS. .
【００６８】回転機構９０は、長い板状の回転体９２を
その一端部においてピン９４及び軸受９６によりＺ軸線
の周りに角度的に回転可能に移動体４４に組み付けてい
る。プローブベース５６は、回転体９２の上に組み付け
られている。ピン９４及び軸受９６は、テレビカメラ６
２が配置された側に設けられている。The rotating mechanism 90 has a long plate-shaped rotating body 92 assembled at one end thereof to the moving body 44 by a pin 94 and a bearing 96 so as to be rotatable angularly around the Z axis. The probe base 56 is mounted on the rotating body 92. The pin 94 and the bearing 96 are mounted on the TV camera 6.
2 is provided on the side where it is arranged.
【００６９】回転体９２の回転精度は、ピン９４と、軸
受９６と、移動体４４の上に取り付けられたＲガイドレ
ール１００と、Ｒガイドレール１００に滑動可能に嵌合
されかつ回転体９２に取り付けられたＲガイド９８とに
より規制されている。Ｒガイド９８は、回転体９２の他
端部の下側に下向きに取り付けられている。The rotation accuracy of the rotating body 92 is determined by the pin 94, the bearing 96, the R guide rail 100 mounted on the moving body 44, and slidably fitted to the R guide rail 100 and attached to the rotating body 92. It is regulated by the attached R guide 98. The R guide 98 is attached downward below the other end of the rotating body 92.
【００７０】回転体９２は、リードスクリュー１０２
と、リードスクリュー１０２を前進後退させる中空モー
タ１０４と、回転体９２をリードスクリュー１０２に向
けて付勢している引っ張りコイルばね１０６とにより、
ピン９４の周りに角度的に回転される。The rotating body 92 includes a lead screw 102
And a hollow motor 104 for moving the lead screw 102 forward and backward, and a tension coil spring 106 for urging the rotating body 92 toward the lead screw 102,
It is rotated angularly about pin 94.
【００７１】リードスクリュー１０２は、モータ１０４
を貫通して、回転体９２の他端部側面に当接している。
中空モータ１０４は、ブラケット１０８によりフレーム
４０の上に取り付けられている。The lead screw 102 is connected to a motor 104
And abuts the other end side surface of the rotating body 92.
The hollow motor 104 is mounted on the frame 40 by a bracket 108.
【００７２】上記のような回転機構９０を備えた電気接
続装置において、検査中に温度上昇によると思われるコ
ンタクト不良が発生したときは、先ず検査ステージ上の
液晶パネルに対するゲート側プローブユニット３４の位
置が再度確認される。この作業は図７及び図８に関連し
て説明した手法で行われる。In the electrical connection device provided with the rotation mechanism 90 as described above, when a contact failure which seems to be caused by a temperature rise occurs during the inspection, first, the position of the gate side probe unit 34 with respect to the liquid crystal panel on the inspection stage. Is confirmed again. This operation is performed by the method described with reference to FIGS.
【００７３】次いで、データ側プローブユニット３２の
原点マークと液晶パネル１２のアライメントマーク１４
との位置ずれ量が確認される。Next, the origin mark of the data side probe unit 32 and the alignment mark 14 of the liquid crystal panel 12
Is confirmed.
【００７４】次いで、確認したずれ量からそれに対応す
る補正量θが、予め設定されているプログラムにしたが
って計算される。Next, a correction amount θ corresponding to the determined deviation amount is calculated according to a preset program.
【００７５】次いで、プローブユニット３２を移動機構
３６によりＸ方向へ移動させることにより、プローブユ
ニット３２の原点マークと液晶基板１２のアライメント
マーク１４との位置合わせが行われる。Next, the position of the origin mark of the probe unit 32 and the alignment mark 14 of the liquid crystal substrate 12 are aligned by moving the probe unit 32 in the X direction by the moving mechanism 36.
【００７６】次いで、回転機構９０の中空モータ１０４
が回転されて、プローブユニット３２がピン９４の周り
に所定角度回転される。これにより、プローブの配置ピ
ッチが見かけ上変化し、温度変化に起因するコンタクト
不良が解消される。Next, the hollow motor 104 of the rotation mechanism 90
Is rotated, and the probe unit 32 is rotated around the pin 94 by a predetermined angle. Thereby, the arrangement pitch of the probes is apparently changed, and the contact failure caused by the temperature change is eliminated.
【００７７】上記のような見かけ上の変化は、プローブ
ブロックの温度それに配置された温度センサにより監視
し、そのプローブブロックの温度が変化したとき、予め
設定されたプログラムにしたがって移動機構３６及び回
転機構９０を作動させることにより、発生してもよい。The above-mentioned apparent change is monitored by the temperature of the probe block and a temperature sensor disposed on the probe block. When the temperature of the probe block changes, the moving mechanism 36 and the rotating mechanism according to a preset program. Activating 90 may cause this.
【００７８】図１４に示すように、Ｘ辺と対向する第３
の辺に複数の電極を配置した液晶パネルは、さらに、第
３の移動機構１２０と第３のプローブユニット１２２と
を第３の辺に配置した電気接続装置を用いて検査され
る。As shown in FIG. 14, the third side facing the X side
The liquid crystal panel having a plurality of electrodes arranged on the side of is further inspected using an electrical connection device having the third moving mechanism 120 and the third probe unit 122 arranged on the third side.
【００７９】第３の移動機構１２０及び第３のプローブ
ユニット１２２は、図１から図４の実施例における移動
機構３６及びプローブユニット３２と同様に同様の部材
で構成されている。The third moving mechanism 120 and the third probe unit 122 are constituted by the same members as the moving mechanism 36 and the probe unit 32 in the embodiment shown in FIGS.
【００８０】それゆえに、第３の移動機構１２０は、ガ
イド４２、移動体４４、スライドガイド４６、リードナ
ット４８、リードスクリュー５０、Ｘ軸モータ５２、ブ
ラケット５４等を備えている。これらの部材は、移動機
構３６のそれらと同じである。Therefore, the third moving mechanism 120 includes the guide 42, the moving body 44, the slide guide 46, the lead nut 48, the lead screw 50, the X-axis motor 52, the bracket 54 and the like. These members are the same as those of the moving mechanism 36.
【００８１】プローブユニット１２２は、プローブベー
ス５６、複数のプローブブロック５８、原点マーク６０
を有する透明板６２、マークホルダ６４、テレビカメラ
６６等を備えている。これらの部材は、プローブユニッ
ト３２におけるそれらと同じである。The probe unit 122 includes a probe base 56, a plurality of probe blocks 58, and an origin mark 60.
, A mark holder 64, a television camera 66, and the like. These members are the same as those in the probe unit 32.
【００８２】なお、図１０から図１２に示すような回転
機構をプローブユニット３２用又はプローブユニット１
２２用にも設けてもよい。本発明は、液晶パネルの通電
試験に用いる電気接続装置のみならず、他の平板状の被
検査基板の通電試験に用いる電気接続装置にも適用する
ことができる。A rotation mechanism as shown in FIGS. 10 to 12 is used for the probe unit 32 or the probe unit 1.
22 may also be provided. The present invention can be applied not only to the electric connection device used for the current test of the liquid crystal panel, but also to the electric connection device used for the current test of the other flat substrate to be inspected.
【００８３】上記実施例では、プローブユニット３２及
び３４をそれぞれ移動機構３６及びスペーサ８６により
フレーム４０に取り付けているが、移動機構３６及びス
ペーサ８６を用いることなくプローブユニット３２及び
３４をフレーム４０に取り付けてもよい。また、プロー
ブユニット３２，３４を、Ｌ字状又はコ字状の補助部材
若しくはプローブユニット毎の補助部材によりフレーム
４０に取り付けてもよい。In the above embodiment, the probe units 32 and 34 are attached to the frame 40 by the moving mechanism 36 and the spacer 86, respectively. However, the probe units 32 and 34 are attached to the frame 40 without using the moving mechanism 36 and the spacer 86. You may. Further, the probe units 32 and 34 may be attached to the frame 40 with an L-shaped or U-shaped auxiliary member or an auxiliary member for each probe unit.
【００８４】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。The present invention is not limited to the above embodiment. The present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.
【図１】本発明に係るプローブユニットを備えた電気接
続装置の一実施例を示す平面図FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of an electric connection device provided with a probe unit according to the present invention.
【図２】図１の２−２線に沿って得た断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along the line 2-2 in FIG. 1;
【図３】図１の３−３線に沿って得た断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along the line 3-3 in FIG. 1;
【図４】図１に示す電気接続装置の後面図。FIG. 4 is a rear view of the electric connection device shown in FIG. 1;
【図５】アライメントマークと原点マークとを示す斜視
図。FIG. 5 is a perspective view showing an alignment mark and an origin mark.
【図６】ゲート側プローブユニットと液晶パネルとの位
置合わせ方法を説明するための図。FIG. 6 is a diagram for explaining a method of aligning a gate-side probe unit and a liquid crystal panel.
【図７】位置合わせ方法の図６に続く工程を説明するた
めの図。FIG. 7 is a view for explaining a step following the step in FIG. 6 of the alignment method.
【図８】データ側プローブユニットと液晶パネルとの位
置合わせ方法を説明するための図。FIG. 8 is a view for explaining a method of aligning a data side probe unit and a liquid crystal panel.
【図９】位置合わせ方法の図８に続く工程のを説明する
ための図。FIG. 9 is a diagram for explaining a step subsequent to FIG. 8 in the alignment method.
【図１０】電気接続装置の他の実施例を示す断面図。FIG. 10 is a sectional view showing another embodiment of the electric connection device.
【図１１】図１０に示す電気接続装置の右側面図。11 is a right side view of the electric connection device shown in FIG.
【図１２】図１０に示す電気接続装置の平面図。FIG. 12 is a plan view of the electric connection device shown in FIG. 10;
【図１３】コンタクト不良を修正する方法を説明するた
めの図。FIG. 13 is a diagram for explaining a method of correcting a contact failure.
【図１４】３つのプローブユニットを備えた電気接続装
置の実施例を示す平面図。FIG. 14 is a plan view showing an embodiment of an electric connection device including three probe units.
１０ 電気接続装置 １２ 液晶パネル １４ アライメントマーク １６ 検査ステージ ３０ 装置本体 ３２，３４，１２２ プローブユニット ３６，１２０ 移動機構 ３８ 開口 ４０ フレーム ４２ ガイド ４４ 移動体 ５２ Ｘ軸モータ ５６，６８ プローブベース ５８，７０ プローブブロック ６０ 原点マーク ６４ マークホルダ ６６，７６ テレビカメラ ８８ プローブ ９０ 回転機構 ９２ 回転体 １０４ 中空モータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Electric connection apparatus 12 Liquid crystal panel 14 Alignment mark 16 Inspection stage 30 Main body 32, 34, 122 Probe unit 36, 120 Moving mechanism 38 Opening 40 Frame 42 Guide 44 Moving body 52 X-axis motor 56, 68 Probe base 58, 70 Probe Block 60 origin mark 64 mark holder 66,76 television camera 88 probe 90 rotating mechanism 92 rotating body 104 hollow motor
フロントページの続き (72)発明者 尾石 上人 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 2G011 AA01 AA17 AB01 AC31 AE01 AF01 2G014 AA01 AB21 AB59 AC10 AC12 2G132 AA20 AB01 AF06 AL06 Continued on the front page (72) Inventor Kamito Oishi 2-6-8 Kichijoji Honcho, Musashino-shi, Tokyo F-term in Japan Micronics Co., Ltd. (reference) 2G011 AA01 AA17 AB01 AC31 AE01 AF01 2G014 AA01 AB21 AB59 AC10 AC12 2G132 AA20 AB01 AF06 AL06
Claims (3)
ローブベースの一端部に配置された原点マークと、前記
プローブベースに配置された複数のプローブとを含む、
プローブユニット。1. A probe base extending in one direction, an origin mark arranged at one end of the probe base, and a plurality of probes arranged on the probe base.
Probe unit.
明板を前記プローブベースに組み付けているマークホル
ダを含む、請求項１に記載のプローブユニット。2. The probe unit according to claim 1, further comprising a mark holder for assembling the transparent plate on which the origin mark is formed to the probe base.
ーブを前記プローブベースの長手方向に並列的に配列し
ており、また前記プローブの先端を下方へ突出させてい
る、請求項１又は２に記載のプローブユニット。3. The probe block according to claim 1, wherein each probe block has a plurality of probes arranged in parallel in a longitudinal direction of the probe base, and a tip of the probe protrudes downward. Probe unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002023354A JP2002286754A (en) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | Probe unit |
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|---|---|---|---|
| JP2002023354A JP2002286754A (en) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | Probe unit |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25449899A Division JP3545655B2 (en) | 1999-09-08 | 1999-09-08 | Electrical connection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=19192246
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP2002286754A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006003588A (en) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Micronics Japan Co Ltd | Alignment method of liquid crystal panel lighting inspecting device, and liquid crystal panel lighting inspecting device |
| JP2007316022A (en) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Micronics Japan Co Ltd | Mobile probe unit mechanism and electric inspection apparatus |
| JP2011175298A (en) * | 2011-06-02 | 2011-09-08 | Micronics Japan Co Ltd | Apparatus for testing liquid crystal panel |
| JP2013205210A (en) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Seiko Epson Corp | Inspection method and inspection jig for wiring board |
-
2002
- 2002-01-31 JP JP2002023354A patent/JP2002286754A/en active Pending
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040323 |