JP2002286653A - Automatic defect inspection apparatus for optical recording medium - Google Patents
Automatic defect inspection apparatus for optical recording mediumInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク等の光
記録媒体の製造工程において使用される自動欠陥検査装
置に関するものである。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an automatic defect inspection apparatus used in a process of manufacturing an optical recording medium such as an optical disk.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１に光ディスクの一例として現状のＣ
Ｄ−Ｒディスクの構成図を示す。ＣＤ−Ｒディスク１
は、成形基板（ポリカーボネート）２、記録層（色素
層）３、反射層４、保護層５、印刷層６の５層となって
いる。ディスク１の生産では、まず成形機にて厚さ１．
２ｍｍの基板２が成形される。成形時の金型にはトラッ
クピッチ１．６μｍの溝が形成されているスタンパがセ
ットされており、基板２の表面はこの形に成形される。
この基板２上に記録材料として色素が塗布され、記録層
３が形成される。色素塗布工程ではスピナーが用いら
れ、溝（グルーブ）より内側の内周位置から色素液が塗
布されスピナーで外周まで色素液が広げられる。色素塗
布後、乾燥されその上にスパッタ工程にて金又は銀など
の反射層４がスパッタされで形成される。その上に紫外
線硬化性樹脂の保護層材がスピナーで塗布され、紫外線
が照射されて固められ保護層５が形成される。さらにそ
の上に印刷層６が形成され、１枚の記録再生が可能なデ
ィスクが完成される。完成したディスクは自動欠陥検査
機を用いて、欠陥のないディスクができているか全数確
認される。2. Description of the Related Art FIG.
1 shows a configuration diagram of a DR disk. CD-R disc 1
Are five layers of a molded substrate (polycarbonate) 2, a recording layer (dye layer) 3, a reflective layer 4, a protective layer 5, and a print layer 6. In the production of the disk 1, first, a thickness of 1.
A 2 mm substrate 2 is formed. A stamper in which a groove having a track pitch of 1.6 μm is formed is set in a mold at the time of molding, and the surface of the substrate 2 is molded in this shape.
A dye is applied as a recording material on the substrate 2 to form a recording layer 3. In the dye application step, a spinner is used, the dye liquid is applied from the inner peripheral position inside the groove, and the dye liquid is spread to the outer periphery by the spinner. After application of the dye, the coating is dried, and a reflective layer 4 of gold or silver is formed thereon by sputtering in a sputtering process. A protective layer material of an ultraviolet curable resin is applied thereon by a spinner, and is irradiated with ultraviolet rays to be hardened, thereby forming a protective layer 5. Further, a printing layer 6 is formed thereon, thereby completing one recording / reproducing disk. All the completed disks are checked for defects using an automatic defect inspection machine.
【０００３】次に図２に従来の自動欠陥検査装置の簡単
なメカニズムを示す。この自動欠陥検査装置によれば、
図２中Ａで示されたランプユニットより平行光が発せら
れ、Ｂの位置にセットされた検査ディスクに当てられ
る。この光の波長はＣＤプレーヤーのレーザー光の波長
に合わせて７８０ｎｍの光源を用いている。ディスクに
欠陥があった場合、例えば反射層が欠如している場合
は、上面にセットされたＣＣＤセンサーＣで光を感知
し、ディスクにピンホールが空いていることを検知でき
る。また、ディスクより反射された光はＣＣＤセンサー
Ｄによって検知される。従って、ディスク上にキズがあ
ったり、黒く焼けた樹脂が基板内に混在していたり、も
しくは色素層が欠如していたり、むらになっている場合
は、このセンサーＤで検知される。ディスクはＢの位置
で１回転し、ディスク１面の欠陥が検知されその内容が
集計され、あらかじめセットされていた欠陥の大きさよ
り大きい欠陥がディスク上に存在する場合、このディス
クはＮＧ（不良品）ディスクとしてリジェクトされる。
この手法を用いて生産されたディスクは数秒で検査を終
了し、ＯＫ（良品）ディスクのみが次工程に進められ
る。FIG. 2 shows a simple mechanism of a conventional automatic defect inspection apparatus. According to this automatic defect inspection device,
Parallel light is emitted from the lamp unit indicated by A in FIG. 2 and is applied to the inspection disk set at the position B. The wavelength of this light uses a light source of 780 nm in accordance with the wavelength of laser light of a CD player. If the disc has a defect, for example, if the reflective layer is missing, light can be sensed by the CCD sensor C set on the upper surface, and it can be detected that the disc has a pinhole. The light reflected from the disk is detected by the CCD sensor D. Therefore, if the disc has a scratch, black burnt resin is mixed in the substrate, or the dye layer is missing or uneven, it is detected by the sensor D. The disk rotates once at the position B, and the defects on the surface of the disk 1 are detected and the contents thereof are totaled. If a defect larger than the previously set defect size exists on the disk, the disk is determined to be NG (defective). ) Rejected as a disc.
Inspection of a disk produced using this method is completed in a few seconds, and only an OK (non-defective) disk proceeds to the next step.
【０００４】従来のこの欠陥検査装置は平行光を用いて
検査を行っているが、実際のＣＤの記録装置、再生装置
は集光された光をディスク表面に当て、フォーカス／ト
ラッキングされ、ディスク上のデータの読み書きを行っ
ている。ディスクの検査としては平行光での検査よりも
集光された光で実施した方が正確な検査ができ望ましい
が、ディスクにフォーカス／トラッキングして検査を実
施するには、検査時間が多くかかってしまい、ディスク
の生産タクト（１枚あたりの生産時間）にはマッチしな
いという問題があった。また平行光の検査でＮＧと判定
したディスクでも実際のＣＤ記録再生装置では問題無く
動作するディスクがあり、良品ディスクをＮＧ判定して
しまうという問題もあった。さらに検査に用いている光
源は普通７８０ｎｍのＣＤのレーザー光に近い領域を用
いており、この波長領域が人間の可視領域（４００ｎｍ
〜７００ｎｍ）を超えているため、欠陥検査装置では検
知できないが、人の目には見えてしまうという主に記録
材料（有機色素）の塗布ムラ欠陥が欠陥検査機をパスし
てしまうという問題もあった。[0004] This conventional defect inspection apparatus performs inspection using parallel light. However, an actual CD recording and reproducing apparatus irradiates the condensed light to the disk surface, focuses / tracks the light, and focuses on the disk. Reading and writing data. Inspection of the disk is preferably performed by using condensed light rather than by collimated light, and it is desirable to perform an accurate inspection. However, it takes much inspection time to perform inspection by focusing / tracking the disk. As a result, there is a problem that the production tact (production time per disc) does not match the disc production tact. In addition, some discs determined to be NG in the inspection of parallel light can be operated without any problem in an actual CD recording / reproducing apparatus, and there is also a problem that a non-defective disc is judged to be NG. Further, the light source used for the inspection usually uses a region near a 780 nm CD laser beam, and this wavelength region is in the human visible region (400 nm).
(700 nm), the defect cannot be detected by the defect inspection apparatus, but is visible to the human eye. Also, there is a problem that the coating material (organic dye) coating unevenness mainly passes through the defect inspection apparatus. there were.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ＣＤ−Ｒ、
ＣＤ−ＲＷディスクのごとき光記録媒体の生産工程の欠
陥検査工程におけるこれら生産上の問題を解決すること
ができる光記録媒体の自動欠陥検査装置を提供すること
をその課題とする。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides a CD-R,
It is an object of the present invention to provide an automatic defect inspection apparatus for an optical recording medium that can solve these production problems in a defect inspection step in a production step of an optical recording medium such as a CD-RW disk.
【０００６】本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意研
究を重ねた結果、本発明を完成するに至った。すなわ
ち、本発明によれば、情報を記録再生する光記録媒体を
製造する工程の自動欠陥検査にて光を該光記録媒体に照
射してその透過光及び反射光を検出して該光記録媒体の
欠陥を検査する自動欠陥検査装置において、検査に用い
る光源として、平行光用と集光光用の２種類の光源を設
けたことを特徴とする自動欠陥検査装置が提供される。The inventor of the present invention has conducted intensive studies to solve the above problems, and as a result, completed the present invention. That is, according to the present invention, the optical recording medium is irradiated with light in an automatic defect inspection in a process of manufacturing the optical recording medium for recording and reproducing information, and the transmitted light and the reflected light are detected to detect the transmitted light and the reflected light. In the automatic defect inspection apparatus for inspecting the defects described above, two types of light sources for parallel light and condensed light are provided as light sources used for the inspection.
【０００７】また、本発明によれば、上記構成におい
て、平行光で検査を行う第１の自動欠陥検査機と、集光
光で検査を行う第２の自動欠陥検査機を具備し、第１の
自動欠陥検査機でＮＧとなった光記録媒体に対して第２
の自動欠陥検査機で集光光による検査を行うようにシス
テム化したことを特徴とする自動欠陥検査装置が提供さ
れる。Further, according to the present invention, in the above configuration, there is provided a first automatic defect inspection machine for inspecting with parallel light, and a second automatic defect inspection machine for inspecting with condensed light. Second for optical recording media that failed with the automatic defect inspection machine
An automatic defect inspection apparatus characterized by being systematized so as to perform an inspection using condensed light with the automatic defect inspection apparatus of (1).
【０００８】また、本発明によれば、上記構成におい
て、平行光による第１の欠陥検査機でＮＧかつ集光光に
よる第２の欠陥検査機でＯＫの組み合わせで判定された
ディスクと、平行光による第１の欠陥検査機でＮＧかつ
集光光による第２の欠陥検査機でＮＧの組み合わせで判
定されたディスクが分別できるように、判定ステージを
設けたことを特徴とする自動欠陥検査装置が提供され
る。Further, according to the present invention, in the above-described configuration, the disc determined as a combination of NG in the first defect inspection device using parallel light and OK in the second defect inspection device using condensed light, and the parallel light A discriminating stage provided so that discs determined by a combination of NG in the first defect inspector and NG in the second defect inspector using condensed light can be sorted out. Provided.
【０００９】さらに、本発明によれば、上記構成におい
て、さらに可視領域での平行光の光源を追加し、平行光
２種類、集光光１種類の計３種類の光源を設けたことを
特徴とする自動欠陥検査装置が提供される。なお、本明
細書では、ＣＤ−ＲディスクやＣＤ−ＲＷディスクを例
示してあるが、それ以外の各種ディスク、カード等の光
記録媒体の検査に適用が可能である。Further, according to the present invention, in the above configuration, a parallel light source in the visible region is further added, and a total of three types of light sources, two types of parallel light and one type of condensed light, are provided. Is provided. In this specification, a CD-R disc and a CD-RW disc are exemplified, but the present invention can be applied to inspection of other optical recording media such as various discs and cards.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を好ま
しい実施例により詳述する。請求項１に記載の自動欠陥
検査装置は、検査に用いる光源として平行光用と集光光
用の２種類のものを設けたものである。また、その欠陥
検査機構としては、図２に示す欠陥検査機構の他に、新
たに図３に示す集光光の検査システムを付加したもので
ある。この検査システムは、ピックアップ１２、増幅回
路１３、バッファ１４、積分回路１５、比較回路１６、
乗算回路１７及びカウンター回路１８から構成される。
なお、１１は検査光ディスクである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments. The automatic defect inspection apparatus according to the first aspect is provided with two types of light sources for parallel light and condensed light as light sources used for inspection. As the defect inspection mechanism, a condensed light inspection system shown in FIG. 3 is newly added in addition to the defect inspection mechanism shown in FIG. This inspection system includes a pickup 12, an amplification circuit 13, a buffer 14, an integration circuit 15, a comparison circuit 16,
It comprises a multiplication circuit 17 and a counter circuit 18.
Reference numeral 11 denotes an inspection optical disk.
【００１１】この自動欠陥検査装置における新たに付加
した検査システムでは、ディスク１１にピックアップ１
２よりレーザービームを当てディスク表面にフォーカス
する。この反射光をピックアップ１２中のフォトディテ
クタにより光量変化を検査し、欠陥による反射光量波形
の乱れを電気的に検査する。その検査された波形の一例
を図４に示す。図４に示すように反射光量に対し、上限
と下限にスレッシュＳＨ，ＳＬをそれぞれ設定する。こ
のレベルは例えば、ＲＦ信号１００％に対して＋／−１
０％をスレッシュレベルとし、これをオーバーする欠陥
が発生した場合、比較回路１６、カウンター回路１８に
よってエラーの長さを検査する。この長さが規定された
長さより大きいと判断した場合、この箇所をエラーとし
てこの欠陥が存在するディスクをＮＧディスクとして排
除する。なお、平行光による検査動作は従来のものと同
様である。In the inspection system newly added to this automatic defect inspection apparatus, a pickup 1
A laser beam is applied from 2 to focus on the disk surface. The reflected light is inspected for a change in light amount by a photodetector in the pickup 12, and a disturbance in the reflected light amount waveform due to a defect is electrically inspected. FIG. 4 shows an example of the inspected waveform. As shown in FIG. 4, thresholds SH and SL are set at the upper and lower limits with respect to the amount of reflected light, respectively. This level is, for example, +/- 1 for 100% of the RF signal.
The threshold level is set to 0%. If a defect exceeding the threshold level occurs, the length of the error is checked by the comparison circuit 16 and the counter circuit 18. If it is determined that this length is longer than the specified length, this location is regarded as an error and the disk having this defect is excluded as an NG disk. The inspection operation using the parallel light is the same as the conventional one.
【００１２】従来の欠陥検査装置では、欠陥部を平行光
のみで検査しているため、ディスク上にフォーカス／ト
ラッキングされた検査とはなっていなく、正確な検知が
難しかった。よって欠陥が流出するのを防止するために
従来の欠陥検査のレベルを厳しくして、その結果として
ＯＫディスクまでＮＧディスクとして破棄してしまうこ
とになっていた。ところが、請求項１に記載の発明によ
る自動欠陥検査装置では、平行光と集光光の２種類のも
のを利用して検査を行うので、従来より正確な検査を行
うことができ、ＮＧディスクとＯＫディスクを精度良く
分類することができ、歩留まりを向上させることができ
る。In the conventional defect inspection apparatus, since the defect is inspected only by the parallel light, it is not an inspection focused / tracked on the disk, and it is difficult to perform an accurate detection. Therefore, in order to prevent the defect from leaking out, the level of the conventional defect inspection is made strict, and as a result, the OK disk is discarded as an NG disk. However, in the automatic defect inspection apparatus according to the first aspect of the present invention, the inspection is performed by using two types of light, that is, parallel light and condensed light. The OK disks can be classified with high accuracy, and the yield can be improved.
【００１３】次に請求項２に記載の自動欠陥検査装置に
ついて述べる。この装置は、平行光で検査を行う第１の
欠陥検査機と、集光光で検査を行う第２の欠陥検査機を
具備するものである。そして、この装置では、まず第１
の欠陥検査機で検査を行い、この平行光検査時にＮＧと
なったディスクを第２の欠陥検査機で検査を行うよう
に、システム化したものである。Next, an automatic defect inspection apparatus according to a second aspect will be described. This apparatus includes a first defect inspection machine that performs inspection using parallel light, and a second defect inspection machine that performs inspection using condensed light. In this device, first,
Inspection is carried out by a defect inspection machine, and a disk which has failed during the parallel light inspection is inspected by a second defect inspection machine.
【００１４】前述のように、従来は欠陥を検知するため
に欠陥検査装置のレベルを厳しいものにしており、疑わ
しいディスクはすべてＮＧの判定をするようにしてい
る。ところが、請求項２に記載の自動欠陥検査装置で
は、平行光による第１の欠陥検査機で検査したディスク
の中でＮＧのものについて、さらに集光光による第２の
欠陥検査機でＮＧと判定された箇所のみを検査しようと
するものである。集光光による検査はフォーカス／トラ
ッキングして検査を行うので、検査時間が長くかかる。
しかし、このように第１の欠陥検査機でＮＧと判定され
た箇所のみを検査することによって、第２の集光光での
検査時間を短縮することができ、ディスクの製造ライン
のタクトを満足するライン構成を保てることができる。As described above, conventionally, the level of the defect inspection apparatus is made strict in order to detect a defect, and all suspicious disks are judged to be NG. However, in the automatic defect inspection apparatus according to the second aspect, among the disks inspected by the first defect inspection apparatus using the parallel light, NG discs are further judged as NG by the second defect inspection apparatus using the condensed light. It is intended to inspect only the places where the inspection is performed. Inspection using condensed light is performed by focusing / tracking, so that the inspection time is long.
However, by inspecting only the portions determined as NG by the first defect inspection machine in this manner, the inspection time with the second condensed light can be reduced, and the tact time of the disk manufacturing line can be satisfied. Line configuration can be maintained.
【００１５】次に請求項３に記載の自動欠陥検査装置に
ついて述べる。この装置は、平行光による第１の欠陥検
査機でＮＧかつ集光光による第２の欠陥検査機でＯＫの
組み合わせで判定されたディスクと、平行光による第１
の欠陥検査機でＮＧかつ集光光による第２の欠陥検査機
でＮＧの組み合わせで判定されたディスクが分別できる
ように、判定ステージを製造設備側（自動欠陥検査装
置）に設けることによって、疑わしいディスクを別途目
視検査等で再検査することでき、欠陥の流出を確実に防
ぐことができ、また欠陥の原因解析にも利用することが
できるようにしたものである。Next, an automatic defect inspection apparatus according to a third aspect will be described. This apparatus includes a disc determined as a combination of NG in a first defect inspection apparatus using parallel light and OK in a second defect inspection apparatus using condensed light, and a first defect inspection apparatus using parallel light.
The discrimination stage is provided on the manufacturing facility side (automatic defect inspection device) so that the discs determined by the combination of NG with the defect inspection device of NG and NG with the second defect inspection device by the condensed light can be separated. The disk can be re-inspected separately by visual inspection or the like, so that the outflow of defects can be reliably prevented, and the disk can be used for cause analysis of defects.
【００１６】最後に請求項４に記載の自動欠陥検査装置
に関しては、平行光の検査ピックアップをさらに１つ追
加し、この光源波長を人間の可視範囲にするというもの
である。この検査を追加することによって今までの検査
波長では検知できないが、人の目には見えてしまうとい
う主に記録材料（有機色素）の塗布ムラ欠陥が欠陥検査
機をパスしてしまうという問題を無くし、欠陥ディスク
を完全にソーティングできるシステムを構成することが
可能となる。Finally, in the automatic defect inspection apparatus according to the fourth aspect of the present invention, one more parallel light inspection pickup is added, and the wavelength of the light source is made to be in the visible range of humans. By adding this inspection, it is impossible to detect with the inspection wavelength up to now, but it is visible to human eyes, and the problem that the coating material (organic dye) coating unevenness defect mainly passes the defect inspection machine. Thus, a system that can completely sort defective disks can be configured.
【００１７】[0017]
【発明の効果】請求項１の発明によれば、検査に用いる
光源を平行光と集光光の２種類を設けて検査することに
よってより正確な検査を行うことができ、ＮＧディスク
とＯＫディスクを精度よく分類することができる。According to the first aspect of the present invention, a more accurate inspection can be performed by providing two types of light sources, ie, a parallel light and a condensed light, for the inspection, whereby the NG disk and the OK disk can be inspected. Can be classified with high accuracy.
【００１８】請求項２の発明によれば、まず平行光で検
査を行い、この平行光検査時にＮＧとなったディスクの
欠陥箇所のみを集光光の検査を行うことによって、ライ
ンのタクトを延ばさずに生産を行うことができる。According to the second aspect of the present invention, the inspection is first performed with parallel light, and only the defective portion of the disk which has failed during the parallel light inspection is inspected with the condensed light, thereby extending the tact of the line. Production can be carried out without the need.
【００１９】請求項３の発明によれば、平行光でＮＧか
つ集光光でＯＫの組み合わせで判定されたディスクと、
平行光ＮＧかつ集光光ＮＧの組み合わせで判定されたデ
ィスクが分別できるように判定ステージを設けることに
よって、疑わしいディスクを再検査することでき、また
欠陥の原因解析にも利用することができる。According to the third aspect of the present invention, a disc determined by a combination of NG with parallel light and OK with condensed light;
By providing a determination stage so that a disk determined by a combination of the parallel light NG and the condensed light NG can be sorted, a suspicious disk can be re-inspected, and can also be used for analyzing the cause of a defect.
【００２０】請求項４の発明によれば、可視光領域の検
査とＣＤドライブ装置の光領域とまたこれによって欠陥
が検査された箇所をフォーカス／トラッキングして検査
することによって、欠陥ディスクを完全にソーティング
することができる。According to the fourth aspect of the present invention, the defective disk is completely inspected by focusing / tracking and inspecting the visible light region, the light region of the CD drive device, and the portion where the defect is inspected thereby. Can be sorted.
【００２１】さらに、請求項１〜４の発明で検査された
ディスクは欠陥を完全にソーティングしたディスクであ
るので、市場でトラブルの発生を防ぐことができる。Further, since the disks inspected according to the first to fourth aspects of the present invention are disks in which defects are completely sorted, it is possible to prevent troubles from occurring in the market.
【図１】ＣＤ−Ｒディスクの構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a configuration of a CD-R disc.
【図２】従来の自動欠陥検査装置の構成説明図である。FIG. 2 is a diagram illustrating the configuration of a conventional automatic defect inspection apparatus.
【図３】本発明で付加した集光光の検査システムの構成
図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a converged light inspection system added in the present invention.
【図４】ディスクの欠陥部の反射光量とスレッシュレベ
ルの説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a reflected light amount and a threshold level of a defective portion of a disk.
１１ ディスク １２ ピックアップ １３ 増幅回路 １４ 比較回路 １５ 積分回路 １６ 比較回路 １７ 乗算回路 １８ カウンター回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Disc 12 Pickup 13 Amplification circuit 14 Comparison circuit 15 Integration circuit 16 Comparison circuit 17 Multiplication circuit 18 Counter circuit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB02 BB03 CC03 DD00 DD06 FF02 FF44 GG04 GG22 HH03 HH04 HH15 JJ01 JJ03 JJ05 JJ26 PP13 QQ06 QQ14 QQ21 QQ23 QQ25 QQ51 RR05 TT06 2G051 AA71 AB07 AB12 AC02 BA01 CA03 CB01 CB03 DA13 5D121 HH02 HH18 HH20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page F term (reference) 2F065 AA49 BB02 BB03 CC03 DD00 DD06 FF02 FF44 GG04 GG22 HH03 HH04 HH15 JJ01 JJ03 JJ05 JJ26 PP13 QQ06 QQ14 QQ21 QQ23 QQ25 QQ51 RR05 TT06 2G051AB01A01 ACB HH02 HH18 HH20
Claims (4)
る工程の自動欠陥検査にて光を該光記録媒体に照射して
その透過光及び反射光を検出して該光記録媒体の欠陥を
検査する自動欠陥検査装置において、検査に用いる光源
として、平行光用と集光光用の２種類の光源を設けたこ
とを特徴とする自動欠陥検査装置。1. A method of manufacturing an optical recording medium for recording and reproducing information, comprising: irradiating the optical recording medium with light in an automatic defect inspection process, detecting transmitted light and reflected light thereof, and detecting defects in the optical recording medium. An automatic defect inspection apparatus for inspecting, wherein two types of light sources for parallel light and condensed light are provided as light sources for inspection.
機と、集光光で検査を行う第２の自動欠陥検査機を具備
し、第１の自動欠陥検査機でＮＧとなった光記録媒体に
対して第２の自動欠陥検査機で集光光による検査を行う
ようにシステム化したことを特徴とする請求項１に記載
の自動欠陥検査装置。2. It has a first automatic defect inspection machine for inspecting with parallel light, and a second automatic defect inspection machine for inspecting with condensed light, and the first automatic defect inspection machine has failed. 2. An automatic defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the optical recording medium is inspected by a second automatic defect inspection machine using condensed light.
つ集光光による第２の欠陥検査機でＯＫの組み合わせで
判定されたディスクと、平行光による第１の欠陥検査機
でＮＧかつ集光光による第２の欠陥検査機でＮＧの組み
合わせで判定されたディスクが分別できるように、判定
ステージを設けたことを特徴とする請求項２に記載の自
動欠陥検査装置。3. A disc determined by a combination of NG in the first defect inspection device using parallel light and OK in the second defect inspection device using condensed light, and NG in the first defect inspection device using parallel light and 3. The automatic defect inspection apparatus according to claim 2, wherein a determination stage is provided so that a disk determined by a combination of NG in the second defect inspection apparatus using the condensed light can be classified.
し、平行光２種類、集光光１種類の計３種類の光源を設
けたことを特徴とする請求項１に記載の自動欠陥検査装
置。4. The automatic defect according to claim 1, wherein a total of three types of light sources, two types of parallel light and one type of condensed light, are provided by further adding a light source of parallel light in a visible region. Inspection equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001083462A JP2002286653A (en) | 2001-03-22 | 2001-03-22 | Automatic defect inspection apparatus for optical recording medium |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP2001083462A Withdrawn JP2002286653A (en) | 2001-03-22 | 2001-03-22 | Automatic defect inspection apparatus for optical recording medium |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050225 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080220 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080806 |