JP2002285987A - Small-size vacuum pump - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、小型真空ポンプに
関し、とくに、大気圧（略１０5 Ｐａ）から超高真空
（略１０-6Ｐａ以下）まで１台で排気でき、半導体製造
装置用真空装置その他において有害なガスを排気し清浄
な超高真空を得るのに好適な小型真空ポンプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a small vacuum pump, and more particularly to a vacuum pump for a semiconductor manufacturing apparatus which can evacuate from an atmospheric pressure (approximately 10 5 Pa) to an ultra-high vacuum (approximately 10 −6 Pa or less). The present invention relates to a small vacuum pump suitable for exhausting harmful gas in a device or the like and obtaining a clean ultra-high vacuum.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば特公平７−１０１０３９号公報に
示されているように、半導体製造装置用真空装置その他
において有害なガスを排気し清浄な超高真空を得るのに
好適な真空ポンプとして、吸気口と排気口とを有するポ
ンプハウジング内に、該吸気口側から排気口側にかけて
ターボ分子ポンプ、ねじ溝ポンプおよび過流ポンプを順
次配設したものがある。このような２種以上のポンプを
直列につないで一体化した真空ポンプは複合真空ポンプ
と呼ばれる。2. Description of the Related Art As shown in, for example, Japanese Patent Publication No. 7-101039, a vacuum pump suitable for exhausting harmful gases and obtaining a clean ultra-high vacuum in a vacuum apparatus for semiconductor manufacturing equipment and the like is disclosed. 2. Description of the Related Art In a pump housing having an intake port and an exhaust port, there is a pump housing in which a turbo molecular pump, a screw groove pump, and an overflow pump are sequentially arranged from the intake port side to the exhaust port side. Such a vacuum pump in which two or more types of pumps are connected in series and integrated is called a composite vacuum pump.
【０００３】ターボ分子ポンプは、ロータの外周面に突
設した多数の回転翼（動翼）とポンプハウジングの内周
面に突設した多数の固定翼（静翼）とからなる。なお、
回転翼，固定翼は、通常、マシニングセンタなどの加工
機を用いてＡｌ合金ブロック材を切削加工して製作され
ている。ねじ溝ポンプは、前記ロータの外周面に形成さ
れたねじ溝と該ねじ溝の山部に微小な間隙で対向する内
周面を有する円筒状のステータとからなる。なお、 ねじ
溝はステータの方に設けてもよく、また、ロータとステ
ータの両方に設けてもよい。A turbo molecular pump is composed of a number of rotating blades (moving blades) protruding from an outer peripheral surface of a rotor and a number of fixed blades (static vanes) protruding from an inner peripheral surface of a pump housing. In addition,
The rotating wing and the fixed wing are usually manufactured by cutting an Al alloy block material using a processing machine such as a machining center. The thread groove pump includes a cylindrical groove having a thread groove formed on an outer peripheral surface of the rotor and an inner peripheral surface opposed to a ridge of the thread groove with a small gap. The thread groove may be provided on the stator, or may be provided on both the rotor and the stator.
【０００４】過流ポンプは、前記ロータの外周面に突設
し放射状の凹部を有する多数のラジアルブレードとこれ
らにそれぞれ対向する吸込流路を有するステータとから
なる。前記ロータ（ポンプ部のロータ）の軸は、ポンプ
ハウジング下方のモータハウジング内に延在して該延在
部分がモータのロータ軸をなし、軸受を介してモータハ
ウジングで支持されつつ、モータハウジング内に配設し
たモータステータにより回転駆動される。なお、ロータ
軸は高速回転（数万ｒｐｍ）するので、軸受部での摩擦
発熱を回避するために、気体圧力で軸を浮かして支持す
る方式の軸受（静圧気体軸受）を用いたものもある。[0004] The overflow pump comprises a number of radial blades projecting from the outer peripheral surface of the rotor and having radial concave portions, and a stator having a suction channel opposed to each of the radial blades. The shaft of the rotor (rotor of the pump unit) extends into the motor housing below the pump housing, and the extended portion forms a rotor shaft of the motor. Is driven to rotate by a motor stator disposed in the motor. In addition, since the rotor shaft rotates at high speed (tens of thousands of rpm), in order to avoid frictional heat generation in the bearing part, a bearing using a method of floating the shaft by gas pressure and supporting the shaft (hydrostatic gas bearing) may be used. is there.
【０００５】前記３種直列の複合真空ポンプは、１台で
大気圧から超高真空まで排気する能力を有する。なお、
前記特公平７−１０１０３９号公報では、ターボ分子ポ
ンプ部と過流ポンプ部との間にバイパス路を設け、該バ
イパス路内に、スプリングの弾発力によりターボ分子ポ
ンプ部に連通する開口を閉じる弁を設けている。これに
よれば、運転初期にねじ溝ポンプ部に生じる大きな圧力
差がスプリングの弾発力を凌いで弁を開き、その結果バ
イパス路が開通して排気流量が増大するので、より短時
間で排気することができる。[0005] The three types of series combined vacuum pumps have the capability of evacuating from atmospheric pressure to ultra-high vacuum with one unit. In addition,
In Japanese Patent Publication No. 7-101039, a bypass is provided between the turbo-molecular pump section and the overflow pump section, and an opening communicating with the turbo-molecular pump section is closed in the bypass path by the elastic force of a spring. A valve is provided. According to this, a large pressure difference generated in the thread groove pump portion in the early stage of operation opens the valve beyond the elasticity of the spring, and as a result, the bypass passage is opened and the exhaust gas flow rate increases, so that the exhaust gas is exhausted in a shorter time. can do.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】前記従来の複合真空ポ
ンプでは、１台で大気圧から超高真空まで排気する能力
を有するもののコンパクト化の点でまだ改善の余地があ
った。また、半導体製造装置などでＣＶＤ処理等に用い
られる腐食性ガスを吸引排出する場合、この腐食性排出
ガスがモータ部や軸受部に侵入してこれらの部位を腐食
させ複合真空ポンプ寿命を短縮させる問題があった。ま
た、回転翼、固定翼をブロック材から切削加工するの
は、加工時間が数時間から数十時間かかり、コストダウ
ンが難しいという問題があった。The above-mentioned conventional composite vacuum pump has the capability of evacuating from atmospheric pressure to ultra-high vacuum by itself, but there is still room for improvement in terms of compactness. Further, when a corrosive gas used for a CVD process or the like is suctioned and discharged in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, the corrosive gas enters a motor portion or a bearing portion to corrode these portions, thereby shortening the life of the composite vacuum pump. There was a problem. Further, there is a problem that cutting the rotor blades and the fixed blades from the block material takes several hours to several tens of hours, and it is difficult to reduce the cost.
【０００７】本発明の目的は、前記のような従来技術の
問題を解決し、大気圧から超高真空まで１台で排気する
複合真空ポンプをさらにコンパクト化した小型真空ポン
プを提供すること、また、ＣＶＤ処理等用腐食性ガスの
モータ部、軸受部への侵入を阻止した小型真空ポンプを
提供すること、また、安価な製造を可能とした小型真空
ポンプを提供することにある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and to provide a compact vacuum pump in which a combined vacuum pump for evacuating from atmospheric pressure to ultrahigh vacuum with one unit is further downsized. Another object of the present invention is to provide a small vacuum pump that prevents corrosive gas for CVD processing or the like from entering a motor unit and a bearing unit, and a small vacuum pump that can be manufactured at low cost.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】前記目的は以下に記載さ
れる本発明により達成された。 （１）吸気口と排気口とを有するポンプハウジング内
に、吸気口側からターボ分子ポンプ、ねじ溝ポンプおよ
び過流ポンプを順次配設し、これらポンプのロータを共
通の回転軸に固定してなる複合真空ポンプにおいて、前
記回転軸を静圧気体軸受で支持し、該静圧気体軸受の排
気口を前記過流ポンプの出側部に接続したことを特徴と
する小型真空ポンプ。The above object has been achieved by the present invention described below. (1) A turbo molecular pump, a screw groove pump and an overflow pump are sequentially arranged in a pump housing having an intake port and an exhaust port from the intake port side, and the rotors of these pumps are fixed to a common rotating shaft. A small vacuum pump, wherein the rotary shaft is supported by a static pressure gas bearing, and an exhaust port of the static pressure gas bearing is connected to an outlet side of the overflow pump.
【０００９】（２）前記静圧気体軸受の排気口は、前記
ポンプハウジングに固定されたフランジと前記回転軸に
固定されて前記フランジに弾発的に当接する皿バネ状の
リングとからなるリップを有することを特徴とする
（１）記載の小型真空ポンプ。 （３）前記リングと前記フランジとの相互接触面は耐薬
品性に優れた樹脂（例えばフッ素樹脂等）でコーティン
グされていることを特徴とする（２）記載の小型真空ポ
ンプ。(2) The exhaust port of the hydrostatic gas bearing has a lip comprising a flange fixed to the pump housing and a disc spring-shaped ring fixed to the rotating shaft and resiliently abutting the flange. (1) The small vacuum pump according to (1), (3) The small vacuum pump according to (2), wherein the mutual contact surface between the ring and the flange is coated with a resin having excellent chemical resistance (for example, fluororesin).
【００１０】（４）前記ターボ分子ポンプの回転翼、固
定翼の一方または両方が、板材をエッチングまたはプレ
ス打抜き後、翼部分を曲げ加工して形成されたことを特
徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の小型真空ポ
ンプ。(4) One or both of the rotor blade and the fixed blade of the turbo molecular pump are formed by etching or pressing a plate material and then bending the blade portion. The compact vacuum pump according to any one of 3).
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】本発明（１）では、吸気口と排気
口とを有するポンプハウジング内に、吸気口側からター
ボ分子ポンプ、ねじ溝ポンプおよび過流ポンプを順次配
設し、これらポンプのロータを共通の軸（回転軸）に固
定してなる複合真空ポンプにおいて、前記軸を静圧気体
軸受で支持し、軸受排気口（静圧気体軸受の排気口）を
前記過流ポンプの出側部に接続した。これにより、軸受
排気口からの排気流が過流ポンプからの排気流と合流し
てポンプハウジングの排気口へ向かう。そして、軸受排
気口の排気流速が大きい場合、そこからの排気流が過流
ポンプ出側部の気体をポンプハウジングの排気口へと連
れ去って圧力を低下させる。すなわち、過流ポンプ出側
部に軸受排気口を接続した部分がエジェクタ（エジェク
タ真空ポンプ）として作用する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention (1), a turbo-molecular pump, a screw groove pump and an overflow pump are sequentially arranged in a pump housing having an intake port and an exhaust port from the intake port side. In the compound vacuum pump in which the rotor is fixed to a common shaft (rotating shaft), the shaft is supported by a static pressure gas bearing, and a bearing exhaust port (exhaust port of the static pressure gas bearing) is connected to the outlet of the overflow pump. Connected to the side. As a result, the exhaust flow from the bearing exhaust port merges with the exhaust flow from the overflow pump and goes to the exhaust port of the pump housing. When the exhaust flow velocity at the bearing exhaust port is large, the exhaust flow therefrom removes the gas at the outlet of the overflow pump to the exhaust port of the pump housing to reduce the pressure. That is, the part where the bearing exhaust port is connected to the outlet side of the overflow pump acts as an ejector (ejector vacuum pump).
【００１２】このようなエジェクタでは、圧縮比を５〜
１０程度と過流ポンプの圧縮比１．５〜２．０程度に比
べて大きくとることができるので、かかるエジェクタの
付設により、排気性能の低下を伴わずして過流ポンプの
段数を３〜５段削減でき、それゆえ、本発明によれば、
複合真空ポンプ全体をさらにコンパクトに小型化するこ
とができる。また、発熱の原因になる高圧側でのロータ
の回転に対する気体の粘性抵抗が低減するので、発熱も
軽減する。また、過流ポンプ出側部の気体は軸受排気口
からの排気流によってポンプハウジングの排気口へとパ
ージされるから、腐食性ガスなどの有害な気体が軸受側
やモータ側に侵入するのを防止できる。In such an ejector, the compression ratio is 5 to 5.
Since the compression ratio of the overflow pump can be increased to about 10 and about 1.5 to 2.0, it is possible to reduce the number of stages of the overflow pump to 3 to 3 with the addition of the ejector without lowering the exhaust performance. It can be reduced by five stages, and therefore according to the invention,
The entire composite vacuum pump can be made more compact and compact. Further, since the viscous resistance of the gas to the rotation of the rotor on the high pressure side which causes heat generation is reduced, the heat generation is also reduced. Also, the gas at the outlet side of the overflow pump is purged to the exhaust port of the pump housing by the exhaust flow from the bearing exhaust port, so that harmful gases such as corrosive gas enter the bearing side and the motor side. Can be prevented.
【００１３】なお、前記のようなエジェクタの作用効果
を得るには、周知の流体工学理論に基づいて前記エジェ
クタ作用が起こる流速条件を求め、この流速条件が満た
されるように軸受排気口の寸法形状を設計すればよい。
また、本発明（２）では、本発明（１）において、軸受
排気口を、前記ポンプハウジングに固定されたフランジ
と前記軸に固定されて前記フランジに弾発的に当接する
皿バネ状のリングとからなるリップを有するものとし
た。これによれば、前記エジェクタの作用効果を得るに
は、リップの隙間を適切に設定してやればよく、しか
も、このリップの隙間は、リング（皿バネ）の弾発力、
静圧気体軸受の排気圧力、および軸の高速回転によりリ
ングにかかる遠心力の力関係のみに依存して変わるもの
であるから、考慮すべき設計因子がこれら３つに絞られ
て設計がやりやすくなる。In order to obtain the above-described effect of the ejector, the flow velocity condition at which the ejector action occurs is determined based on a well-known fluid engineering theory, and the dimensional shape of the bearing exhaust port is set so as to satisfy the flow velocity condition. Can be designed.
Further, according to the present invention (2), in the present invention (1), the bearing exhaust port is provided with a flange fixed to the pump housing and a disc spring-shaped ring fixed to the shaft and elastically abutting against the flange. And a lip consisting of According to this, in order to obtain the effect of the ejector, the gap between the lips may be appropriately set, and the gap between the lips is determined by the elasticity of the ring (disc spring),
It changes only depending on the exhaust pressure of the hydrostatic gas bearing and the force relationship of the centrifugal force applied to the ring due to the high-speed rotation of the shaft. Become.
【００１４】また、真空ポンプの運転休止時（軸の回転
停止あるいは静圧気体軸受への給気停止のとき）でも、
リングが自己の弾発力によってフランジに当接し、リッ
プの隙間がなくなって軸受排気口が閉ざされるから、腐
食性ガスなどの有害な気体が軸受側やモータ側に侵入す
ることはない。また、本発明（３）では、本発明（２）
において、リップを、そのリングとフランジとの相互接
触面に耐薬品性に優れる樹脂（例えばフッ素樹脂など）
をコーティングしたものとした。こうしておくと、リッ
プのリングとフランジとの相互接触面の腐食抵抗が強化
され、リップの密着性（軸受排気口の密閉性）を長期に
わたり良好に維持できて好ましい。Even when the operation of the vacuum pump is stopped (when the rotation of the shaft is stopped or the air supply to the static pressure gas bearing is stopped),
Since the ring abuts on the flange by its own elastic force, the gap of the lip is eliminated and the bearing exhaust port is closed, so that harmful gas such as corrosive gas does not enter the bearing side or the motor side. In the present invention (3), the present invention (2)
In the lip, the resin (eg, fluororesin) with excellent chemical resistance is provided on the mutual contact surface between the ring and the flange.
Was coated. This is preferable because the corrosion resistance of the mutual contact surface between the ring and the flange of the lip is enhanced, and the adhesion of the lip (the sealing property of the bearing exhaust port) can be favorably maintained for a long time.
【００１５】また，本発明（４）では、本発明（１）〜
（３）のいずれかにおいて、ターボ分子ポンプの回転
翼、固定翼の一方または両方（好ましくは両方）を、
「板材のエッチングまたはプレス打抜き→翼部分の曲げ
加工」という順次工程で製作したものとした。こうする
ことにより、複合真空ポンプの製作コストを大幅に削減
することができ、より廉価な小型真空ポンプを提供でき
るようになる。In the present invention (4), the present invention (1) to
In any one of (3), one or both (preferably both) of the rotor and the fixed wing of the turbo-molecular pump are
It was manufactured in a sequential process of "etching or press punching of plate material → bending of wing portion". By doing so, the manufacturing cost of the composite vacuum pump can be significantly reduced, and a more inexpensive small vacuum pump can be provided.
【００１６】[0016]
【実施例】図１は、本発明の１実施例を示す断面模式図
である。図示のように、本実施例では、本発明（１）に
従い、吸気口２と排気口３とを有するポンプハウジング
１内に、吸気口側２からターボ分子ポンプ４、ねじ溝ポ
ンプ５および過流ポンプ６が順次配設され、これらポン
プのロータ７が共通の軸（回転軸）９に固定された複合
真空ポンプにおいて、軸９が静圧気体軸受１０、１１
（１０はラジアル軸受、１１はスラスト軸受）で支持さ
れ、軸受排気口１３が過流ポンプ６の出側部に接続され
ている。FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of the present invention. As shown in the drawing, in this embodiment, according to the present invention (1), a turbo molecular pump 4, a thread groove pump 5 and an overflow are provided in a pump housing 1 having an intake port 2 and an exhaust port 3 from an intake port side 2. In a compound vacuum pump in which pumps 6 are sequentially arranged and the rotors 7 of these pumps are fixed to a common shaft (rotating shaft) 9, the shaft 9 is composed of hydrostatic gas bearings 10 and 11.
(10 is a radial bearing, 11 is a thrust bearing), and a bearing exhaust port 13 is connected to the outlet side of the overflow pump 6.
【００１７】なお、ロータ７の軸は、ポンプハウジング
１下方のモータハウジング１４内に延在して該延在部分
がモータロータ１８の軸となり、静圧気体軸受１０、１
１を介してモータハウジング１４で支持されつつ、モー
タハウジング１４内に配設したモータステータ１９によ
り回転駆動される。ターボ分子ポンプ４は、ロータ７の
外周面に突設した多数の回転翼（動翼）４Ａとポンプハ
ウジング１の内周面に突設した多数の固定翼（静翼）４
Ｂとからなり、出側圧力が１Ｐａ程度以下のとき入側圧
力を１０-6Ｐａ程度以下（超高真空）にする排気性能を
有する。The shaft of the rotor 7 extends into the motor housing 14 below the pump housing 1, and the extended portion becomes the shaft of the motor rotor 18, and the hydrostatic gas bearings 10, 1
While being supported by the motor housing 14 via the motor 1, the motor 1 is rotated by a motor stator 19 disposed in the motor housing 14. The turbo molecular pump 4 includes a number of rotating blades (moving blades) 4A protruding from the outer peripheral surface of the rotor 7 and a number of stationary blades (stationary vanes) 4 protruding from the inner peripheral surface of the pump housing 1.
B, and has an exhaust performance of reducing the inlet pressure to about 10 −6 Pa or less (ultra-high vacuum) when the outlet pressure is about 1 Pa or less.
【００１８】ねじ溝ポンプ５は、ステータ８の外周面に
形成されたねじ溝と該ねじ溝の山部に微小な間隙で対向
する内周面を有する円筒状のロータ７とからなり、出側
圧力が１０3 Ｐａ程度以下のとき入側圧力を１Ｐａ程度
にする排気性能を有する。過流ポンプ６は、ロータ７の
中空部の外周面に突設し放射状の凹部を有する多数のラ
ジアルブレードとこれらにそれぞれ対向する吸込流路を
有するステータ８とからなり、出側圧力が大気圧（１０
5 Ｐａ程度）のとき入側圧力を１０3 Ｐａ程度にする排
気性能を有する。The thread groove pump 5 comprises a cylindrical groove 7 formed on the outer peripheral surface of the stator 8 and a cylindrical rotor 7 having an inner peripheral surface opposing a ridge of the groove with a small gap. When the pressure is about 10 3 Pa or less, it has an exhaust performance of reducing the inlet pressure to about 1 Pa. The overflow pump 6 is composed of a number of radial blades protruding from the outer peripheral surface of the hollow portion of the rotor 7 and having radial concave portions, and a stator 8 having a suction flow path facing each of these blades. (10
( Approximately 5 Pa), and has an exhaust performance of setting the inlet pressure to approximately 10 3 Pa.
【００１９】過流ポンプ６は、１段あたりの圧縮比が
１．５〜２．０程度であることから従来では６〜１０段
を必要とするのに対し、本発明では軸受排気口１３を過
流ポンプ６の出側部に接続してエジェクタを構成したこ
とにより、過流ポンプ段数は４〜７段とすれば十分であ
る。本実施例では、過流ポンプ段数＝５段とした。ま
た、本実施例では、本発明（２）に従い、軸受排気口１
３の過流ポンプ６出側部との接続部にリップ１７を設け
ている。リップ１７は、ポンプハウジング１に固定され
たフランジ１５と、軸９に固定されてフランジ１５に弾
発的に当接する皿バネ状のリング１６とで形成されてい
る。なお、本実施例ではさらに、本発明（３）に従い、
リング１６とフランジ１５との相互接触面にはフッ素樹
脂コーティングを施した。The overflow pump 6 conventionally requires 6 to 10 stages because the compression ratio per stage is about 1.5 to 2.0. Since the ejector is connected to the outlet side of the overflow pump 6 and the ejector is configured, it is sufficient that the number of overflow pump stages is 4 to 7 stages. In the present embodiment, the number of stages of the overflow pump = 5. Further, in this embodiment, according to the present invention (2), the bearing exhaust port 1
A lip 17 is provided at a connection portion of the overflow pump 6 with the outlet side of the overflow pump 3. The lip 17 is formed of a flange 15 fixed to the pump housing 1 and a disc spring-shaped ring 16 fixed to the shaft 9 and resiliently abutting the flange 15. In this embodiment, further, according to the present invention (3),
The mutual contact surface between the ring 16 and the flange 15 was coated with a fluororesin.
【００２０】排気停止時には図２（ａ）に示すように、
リング１６の弾発力でリップ１７が閉じて軸受排気口１
３がシールされる。排気時には図２（ｂ）に示すよう
に、軸９の回転による遠心力と軸受排気口からの排気圧
力がリング１６の弾発力と釣り合うところまでリップ１
７が開き、形成された隙間からの吐出排気流により、エ
ジェクタ効果が発揮される。When the exhaust is stopped, as shown in FIG.
The lip 17 closes due to the elastic force of the ring 16 and the bearing exhaust port 1
3 is sealed. At the time of exhaust, as shown in FIG. 2B, the lip 1 is rotated until the centrifugal force due to the rotation of the shaft 9 and the exhaust pressure from the bearing exhaust port balance the elasticity of the ring 16.
7 is opened, and an ejector effect is exerted by the exhaust gas flow discharged from the formed gap.
【００２１】また、本実施例ではさらに、本発明（４）
に従い、ターボ分子ポンプ４の回転翼４Ａ、固定翼４Ｂ
の両方とも、薄厚のＳＵＳ３０４ステンレス鋼の中空円
板を、図３に示す要領で、所定のエッチング抜き代２１
の箇所をエッチング後、翼部分２０を曲げ加工して製作
したので、ターボ分子ポンプ部の製作コストを従来より
大幅に削減できた。In this embodiment, the present invention (4)
Rotor blade 4A, fixed blade 4B of the turbo molecular pump 4
In both cases, a thin SUS304 stainless steel hollow disk was cut into a predetermined etching allowance 21 in the manner shown in FIG.
After etching, the wing portion 20 was bent and manufactured, so that the manufacturing cost of the turbo-molecular pump portion could be significantly reduced.
【００２２】[0022]
【発明の効果】かくして本発明によれば、よりコンパク
トに小型化したうえ、回転駆動部への腐食性ガス侵入が
なく、製作コストも削減できる複合真空ポンプが得られ
るという優れた効果を奏する。As described above, according to the present invention, there is an excellent effect that a composite vacuum pump can be obtained which is more compact and compact, has no corrosive gas entering the rotary drive portion, and can reduce the manufacturing cost.
【図１】本発明の１実施例を示す断面模式図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of the present invention.
【図２】排気停止時（ａ）および排気時（ｂ）のリップ
部の状態を示す断面模式図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating a state of a lip portion when exhaust is stopped (a) and when exhaust is performed (b).
【図３】回転翼、固定翼の製作要領の例を示す説明図で
ある。FIG. 3 is an explanatory view showing an example of a manufacturing procedure of a rotary wing and a fixed wing.
１ ポンプハウジング ２ 吸気口 ３ 排気口 ４ ターボ分子ポンプ ４Ａ 回転翼 ４Ｂ 固定翼 ５ ねじ溝ポンプ ６ 過流ポンプ ７ ロータ ８ ステータ ９ 軸（回転軸） １０ 静圧気体軸受（ラジアル軸受） １１ 静圧気体軸受（スラスト軸受） １２ 軸受吸気口 １３ 軸受排気口 １４ モータハウジング １５ フランジ １６ リング １７ リップ １８ モータロータ １９ モータステータ ２０ 翼部分 ２１ エッチング抜き代 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pump housing 2 Intake port 3 Exhaust port 4 Turbo molecular pump 4A Rotor blade 4B Fixed blade 5 Screw groove pump 6 Overflow pump 7 Rotor 8 Stator 9 Shaft (rotating shaft) 10 Static pressure gas bearing (radial bearing) 11 Static pressure gas Bearing (thrust bearing) 12 Bearing inlet 13 Bearing exhaust 14 Motor housing 15 Flange 16 Ring 17 Lip 18 Motor rotor 19 Motor stator 20 Blade part 21 Etching allowance
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H022 AA01 BA06 CA14 CA21 CA22 CA58 DA00 DA04 DA14 3H031 DA01 DA02 DA05 DA07 EA00 EA06 FA01 FA03 FA14 FA32 FA34 FA36 Continued on the front page F term (reference) 3H022 AA01 BA06 CA14 CA21 CA22 CA58 DA00 DA04 DA14 3H031 DA01 DA02 DA05 DA07 EA00 EA06 FA01 FA03 FA14 FA32 FA34 FA36
Claims (4)
ング内に、吸気口側からターボ分子ポンプ、ねじ溝ポン
プおよび過流ポンプを順次配設し、これらポンプのロー
タを共通の回転軸に固定してなる複合真空ポンプにおい
て、前記回転軸を静圧気体軸受で支持し、該静圧気体軸
受の排気口を前記過流ポンプの出側部に接続したことを
特徴とする小型真空ポンプ。1. A turbo-molecular pump, a thread groove pump, and an overflow pump are sequentially arranged in a pump housing having an intake port and an exhaust port from the intake port side, and the rotors of these pumps are fixed to a common rotating shaft. A small vacuum pump, wherein the rotary shaft is supported by a static pressure gas bearing, and an exhaust port of the static pressure gas bearing is connected to an outlet side of the overflow pump.
プハウジングの部分に配設されたフランジと前記回転軸
に固定されて前記フランジに弾発的に当接する皿バネ状
のリングとからなるリップを有することを特徴とする請
求項１記載の小型真空ポンプ。2. An exhaust port of the hydrostatic gas bearing includes a flange provided in the pump housing and a disc spring-shaped ring fixed to the rotating shaft and resiliently abutting the flange. The miniature vacuum pump according to claim 1, further comprising a lip.
面は耐薬品性に優れた樹脂でコーティングされているこ
とを特徴とする請求項２記載の小型真空ポンプ。3. The miniature vacuum pump according to claim 2, wherein a mutual contact surface between the ring and the flange is coated with a resin having excellent chemical resistance.
の一方または両方が、板材をエッチングまたはプレス打
抜き後、翼部分を曲げ加工して形成されたことを特徴と
する請求項１〜３のいずれかに記載の小型真空ポンプ。4. The turbomolecular pump according to claim 1, wherein one or both of the rotor blades and the stationary blades are formed by etching or press-cutting a plate material and then bending the blade portion. A small vacuum pump according to any of the above.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001092139A JP2002285987A (en) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | Small-size vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001092139A JP2002285987A (en) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | Small-size vacuum pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002285987A true JP2002285987A (en) | 2002-10-03 |
Family
ID=18946653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001092139A Pending JP2002285987A (en) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | Small-size vacuum pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002285987A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP2105615A2 (en) | 2008-03-26 | 2009-09-30 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
| EP2108844A2 (en) | 2008-03-26 | 2009-10-14 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
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2001
- 2001-03-28 JP JP2001092139A patent/JP2002285987A/en active Pending
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| JP7215306B2 (en) | 2019-04-05 | 2023-01-31 | 三菱電機株式会社 | Blowers and fans |
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