JP2002282624A - Filter medium for air filter and air filter unit - Google Patents
Filter medium for air filter and air filter unitInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はエアフィルタ濾材お
よびエアフィルタユニットに関する。本フィルタ濾材は
特にクリーンルームや半導体製造装置、液晶製造装置に
好ましく用いられる。The present invention relates to an air filter medium and an air filter unit. The present filter medium is particularly preferably used in a clean room, a semiconductor manufacturing apparatus, and a liquid crystal manufacturing apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】空気中のガス状物質を除去、分解もしく
は特定のガス状物質を付加するためのエアフィルタの構
成として、エアが通気する部分にフィルタ剤を充填した
ものがある。このとき、エアの通気性を向上するために
空隙を保持したままフィルタ剤を充填する技術が必要で
ある。2. Description of the Related Art As a configuration of an air filter for removing or decomposing gaseous substances in air or adding a specific gaseous substance, there is an air filter in which a portion through which air passes is filled with a filter agent. At this time, a technique for filling the filter agent while maintaining the air gap is required to improve air permeability.
【０００３】空隙率の高い状態でフィルタ剤を充填した
エアフィルタとして、特開平８−２９４６１１号公報に
は、フィルタ剤として活性炭粒子をバインダーで点接着
してハニカムのセルの中に空隙率が高い状態で保持する
技術が開示されている。また、他の技術としては３次元
網状支持体、例えばポリウレタン発泡体に接着剤で活性
炭粒子を保持させた技術が知られている。As an air filter filled with a filter agent in a high porosity state, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-294611 discloses a method in which activated carbon particles are spot-bonded as a filter agent with a binder and a high porosity is contained in a honeycomb cell. A technique for holding in a state is disclosed. As another technique, there is known a technique in which activated carbon particles are held by an adhesive on a three-dimensional network support, for example, a polyurethane foam.
【０００４】しかしながら特開平８−２９４６１１号公
報で開示された技術では、活性炭粒子同士をバインダー
で接着するので、バインダーにより活性炭表面が被覆さ
れてガス吸着性能が低下する問題点がある。また、バイ
ンダーを極力少なくして活性炭表面の被覆が少なくなる
ようにしようとすると、活性炭粒子同士の結合力が低下
して、少しの振動でも活性炭粒子同士の結合が離れてし
まい必要な空隙を保持できなくなる。However, in the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-294611, activated carbon particles are adhered to each other with a binder. Therefore, there is a problem that the activated carbon surface is coated with the binder and the gas adsorption performance is reduced. In addition, if the binder is reduced as much as possible to reduce the coating on the surface of the activated carbon, the bonding force between the activated carbon particles is reduced, and even with a slight vibration, the activated carbon particles are separated from each other and the necessary voids are maintained. become unable.
【０００５】また、３次元網状支持体、例えばポリウレ
タン発泡体に接着剤で活性炭粒子を保持させる方法で
は、支持体に活性炭を接着剤で保持させようとするた
め、やはり、接着剤で活性炭表面が被覆されガス吸着性
能が低下する問題がある。In a method of holding activated carbon particles with an adhesive on a three-dimensional network support, for example, a polyurethane foam, the activated carbon is held on the support by an adhesive. There is a problem that the gas adsorption performance is reduced due to the coating.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、フィルタ剤
粒子の表面を損なうことなく、高い空隙率を保持するこ
とが可能なエアフィルタ濾材を提供することを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an air filter medium capable of maintaining a high porosity without damaging the surface of filter agent particles.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、セル構造体の各セル内にフィルタ剤粒子を
装填してなり、かつ、各セルの円換算直径Ｗとフィルタ
剤粒子の球換算直径Ｒとの比Ｗ／Ｒが１＜Ｗ／Ｒ＜２．
５の範囲内にあるエアフィルタ濾材を特徴とするもので
ある。According to the present invention, there is provided a cell structure in which filter cells are loaded in each cell of a cell structure. The ratio W / R to the sphere-converted diameter R is 1 <W / R <2.
5 characterized by an air filter medium in the range of 5.
【０００８】フィルタ剤粒子は、球換算直径Ｒが０．３
〜３０ｍｍの範囲内にあり、かつ、アスペクト比が１〜
５の範囲内にあるものが好ましく用いられる。The filter agent particles have a spherical equivalent diameter R of 0.3.
３０30 mm and the aspect ratio is 1１〜
Those in the range of 5 are preferably used.
【０００９】フィルタ剤粒子としては、ガス吸着剤、ガ
ス分解剤およびガス徐放剤から選ばれる少なくとも１種
を含んでいるものが用いられる。具体的には、活性炭、
ゼオライト、活性白土、シリカゲル、イオン交換樹脂、
デキストリンおよび酸化チタンから選ばれる少なくとも
一種を含んでいる、フィルタ剤粒子が好ましく用いられ
る。As the filter agent particles, those containing at least one selected from a gas adsorbent, a gas decomposer and a gas sustained release agent are used. Specifically, activated carbon,
Zeolite, activated clay, silica gel, ion exchange resin,
Filter agent particles containing at least one selected from dextrin and titanium oxide are preferably used.
【００１０】セル構造体は、略六角形のハニカム構造体
または略三角形のコルゲート構造体からなるものが好ま
しい。The cell structure is preferably made of a substantially hexagonal honeycomb structure or a substantially triangular corrugated structure.
【００１１】また、フィルタ剤粒子の脱落を防ぐため
に、セルの開口側の少なくとも一方の側、好ましくは下
流側に、フィルタ剤粒子の脱落防止シートを配置してな
ることが好ましい。脱落防止シートは、不織布シートで
あることが好ましく、特に、不織布シートが芯鞘構造を
有する熱融着性複合繊維からなっていることがより好ま
しい。Further, in order to prevent the filter agent particles from falling off, it is preferable that a sheet for preventing the filter agent particles from falling off is arranged on at least one of the opening sides of the cells, preferably on the downstream side. The falling-off prevention sheet is preferably a nonwoven fabric sheet, and more preferably, the nonwoven fabric sheet is made of a heat-fusible conjugate fiber having a core-sheath structure.
【００１２】また、本発明のエアフィルタ濾材は、非通
気性外枠内に納めてエアフィルタユニットとして使用で
きる。Further, the air filter medium of the present invention can be used as an air filter unit when housed in a non-permeable outer frame.
【００１３】本発明は、エアフィルタ濾材の面が装置へ
のエアの流入方向に対して平行または斜めになるように
配置してなるエアフィルタ装置を提供する。エアフィル
タ濾材の配置は、複数個を屏風状または櫛状に配置して
なるものが好ましい。The present invention provides an air filter device in which the surface of an air filter medium is arranged so as to be parallel or oblique to the direction of air flow into the device. The arrangement of the air filter media is preferably a plurality of filters arranged in a folding screen or comb shape.
【００１４】また、本発明は、上記のエアフィルタ濾
材、上記のエアフィルタユニットまたは上記のエアフィ
ルタ装置を通気口に装着してなるクリーンルームを提供
する。Further, the present invention provides a clean room in which the above air filter medium, the above air filter unit or the above air filter device is attached to a vent.
【００１５】さらに、本発明は、上記のエアフィルタ濾
材、上記のエアフィルタユニットまたは上記のエアフィ
ルタ装置を通気口に装着してなる半導体等製造装置を提
供する。Further, the present invention provides an apparatus for manufacturing a semiconductor or the like comprising the above-mentioned air filter medium, the above-mentioned air filter unit or the above-mentioned air filter device attached to a vent.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】本発明のエアフィルタ濾材は、セ
ル構造体の各セル内にフィルタ剤粒子を装填してなり、
かつ、各セル断面の円換算直径Ｗとフィルタ剤粒子の球
換算直径Ｒとの比Ｗ／Ｒが１＜Ｗ／Ｒ＜２．５の範囲内
にあるものである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The air filter medium of the present invention is obtained by loading filter agent particles in each cell of a cell structure,
In addition, the ratio W / R between the circle-converted diameter W of each cell cross section and the sphere-converted diameter R of the filter agent particles is in the range of 1 <W / R <2.5.
【００１７】図１は、本発明のエアフィルタ濾材をエア
フィルタ濾材通気方向から見た図であり、図２は図１の
エアフィルタ濾材のＡ−Ａ’における断面図である。壁
材１で囲まれて形成されたセル構造体の各セル２内にフ
ィルタ剤粒子３が含まれている。図３にＷ／Ｒと充填密
度との関係を示すが、Ｗ／Ｒが１＜Ｗ／Ｒ＜２の範囲内
のとき、フィルタ剤粒子３は、高い空隙率を保ってセル
２内に充填される。セルの形状と粒子の形状は異なる場
合が多いので、Ｗ／Ｒが約２．５になるまでの間は、あ
る程度の空隙率を保って粒子がセル内に充填される。セ
ルの大きさが粒子径と同等（Ｗ／Ｒ＝１）のときは、セ
ル内に粒子が縦一列に並ぶので、充填密度は高くなる。
また、セルの大きさが大きくなる（２．５≪Ｗ／Ｒ）
と、粒子はセル内に密に充填され、最密充填に近づく。FIG. 1 is a view of the air filter medium of the present invention viewed from the air filter medium ventilation direction, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA 'of the air filter medium of FIG. The filter agent particles 3 are contained in each cell 2 of the cell structure formed by being surrounded by the wall material 1. FIG. 3 shows the relationship between W / R and the packing density. When W / R is within the range of 1 <W / R <2, the filter agent particles 3 fill the cell 2 while maintaining a high porosity. Is done. Since the shape of the cell and the shape of the particle are often different, the particle is filled into the cell while maintaining a certain porosity until the W / R becomes about 2.5. When the size of the cell is equal to the particle diameter (W / R = 1), the packing density is high because the particles are arranged in a vertical line in the cell.
In addition, the size of the cell increases (2.5 W / R).
Then, the particles are tightly packed in the cell, approaching close packing.
【００１８】すなわち、各セル断面の円換算直径Ｗとフ
ィルタ剤粒子の球換算直径Ｒとの比を１＜Ｗ／Ｒ＜２．
５の範囲内、より好ましくは１＜Ｗ／Ｒ＜２の範囲内に
設定することにより、フィルタ剤粒子をバインダー等を
用いることなく高い空隙率で保持できるので、バインダ
ーの表面被覆によるフィルタ剤粒子の性能低下を防い
だ、圧損の低いエアフィルタ濾材を提供することができ
る。That is, the ratio of the circle-converted diameter W of each cell cross section to the sphere-converted diameter R of the filter agent particles is defined as 1 <W / R <2.
By setting the ratio within the range of 5, more preferably within the range of 1 <W / R <2, the filter agent particles can be held at a high porosity without using a binder or the like. It is possible to provide an air filter medium having a low pressure loss and preventing a decrease in performance.
【００１９】フィルタ剤粒子は、それと同一の体積の球
に換算したときの直径、すなわち、球換算直径Ｒが０．
３〜３０ｍｍの範囲内にあり、かつ、アスペクト比が１
〜５の範囲内にあるものが好適に用いられる。球換算直
径が０．３ｍｍ以下の場合は、粒子が細かすぎて充分な
空隙を保持することが難しく、３０ｍｍ以上の場合は、
エアと接触する表面積が少なすぎて充分なガス除去性能
が発揮しにくい。また、アスペクト比が５より大きい場
合は、フィルタ剤粒子を充填したときの空隙が広くなり
すぎて、充分なガス除去性能が発揮しにくい。The filter agent particles have a diameter when converted into a sphere having the same volume, that is, a sphere-converted diameter R of 0.
Within the range of 3 to 30 mm and an aspect ratio of 1
Those in the range of 5 to 5 are preferably used. When the sphere-equivalent diameter is 0.3 mm or less, it is difficult to maintain sufficient voids due to the particles being too fine, and in the case of 30 mm or more,
The surface area in contact with air is too small and sufficient gas removal performance is difficult to exhibit. On the other hand, if the aspect ratio is larger than 5, the space when the filter agent particles are filled becomes too large, and it is difficult to exhibit sufficient gas removal performance.
【００２０】フィルタ剤粒子は充填後の粒子の移動が少
ないようにきつく充填することが望ましい。方法として
は、充填時振動を与えながら充填することが望ましい。It is desirable that the filter agent particles be packed tightly so that the movement of the particles after filling is small. As a method, it is desirable to perform filling while applying vibration during filling.
【００２１】フィルタ剤粒子の形状は、特に限定され
ず、球状、円柱状、卵形状、砕石状等のものが用いられ
るが、略球状もしくは略円柱状であると、セル内に一旦
充填されたフィルタ剤粒子は振動などによっても動きに
くく、充填時に形成された空隙が保持されやすいので、
好ましく用いられる。The shape of the filter agent particles is not particularly limited, and those having a spherical shape, a cylindrical shape, an egg shape, a crushed stone shape and the like are used. Since the filter agent particles are hard to move even by vibration etc., and the voids formed at the time of filling are easily held,
It is preferably used.
【００２２】フィルタ剤粒子は略同粒径であることが望
ましい。粒径を揃えていない場合は、大きな粒子同士で
空隙が形成されても、その隙間に小さな粒子が充填され
てしまい空隙を保ったまま粒子を充填するという目的が
達成されない。略同粒径にするための操作としては、ふ
るい分け、重量落下法等の方法を用いることができる。It is desirable that the filter agent particles have substantially the same particle size. If the particle diameters are not uniform, even if voids are formed between the large particles, the voids are filled with small particles, and the purpose of filling the particles while maintaining the voids is not achieved. As an operation for obtaining substantially the same particle size, a method such as sieving or a weight drop method can be used.
【００２３】フィルタ剤粒子としては、ガス吸着剤、ガ
ス分解剤およびガス徐放剤から選ばれる少なくとも１種
を含んでいるものを用いる。As the filter agent particles, those containing at least one selected from a gas adsorbent, a gas decomposer and a gas sustained release agent are used.
【００２４】フィルタ剤粒子は、除去対象となるガスの
種類によって適宜選択することができるが、特にガス吸
着剤もしくはガス分解剤が好ましく用いられる。さらに
特定のガスをエアに添加する場合は、ガスを徐々に放出
する性能を有するガス徐放剤が好ましく用いられる。The filter agent particles can be appropriately selected depending on the type of gas to be removed, but a gas adsorbent or a gas decomposer is particularly preferably used. Further, when a specific gas is added to air, a gas sustained release agent having a performance of gradually releasing a gas is preferably used.
【００２５】除去対象となるガスの種類は、例えばアン
モニアやアミンなどのアルカリ性ガス類、フッ酸やＳＯ
2、ＮＯ2などの酸性ガス類、フタル酸ジオクチル（ＤＯ
Ｐ）などのフタル酸類、Ｎ-メチル−２-ピロリドン（Ｎ
ＭＰ）、トルエン、キシレン、ホルマリン等の溶剤類の
蒸気、シロキサンなどの高沸点ガス類、水分などを挙げ
ることができる。The types of gases to be removed are, for example, alkaline gases such as ammonia and amine, hydrofluoric acid and SO 2
2 , acid gases such as NO 2 , dioctyl phthalate (DO
Phthalic acids such as P), N-methyl-2-pyrrolidone (N
MP), vapors of solvents such as toluene, xylene and formalin, high-boiling gases such as siloxane, and moisture.
【００２６】フィルタ剤粒子としては、活性炭、ゼオラ
イト、活性白土、シリカゲル、イオン交換樹脂、デキス
トリン、あるいは触媒性を有する酸化チタンなどの金属
から選ばれる少なくとも一種を含むものが好ましい。As the filter agent particles, those containing at least one selected from metals such as activated carbon, zeolite, activated clay, silica gel, ion exchange resin, dextrin, and titanium oxide having catalytic properties are preferable.
【００２７】さらに、上記の物質をセラミックやガラス
のような無機材料など他の基材からなる粒状物に担持さ
せたものも使用することができる。Further, a substance in which the above-mentioned substance is supported on a granular material made of another base material such as an inorganic material such as ceramic or glass can also be used.
【００２８】フィルタ剤粒子を充填するセル構造体のセ
ル形状としては、花びら形状、三角形のコルゲート構造
体、四角形の升目セル構造体、六角形のハニカム構造体
などが用いられるが、特に、コルゲート構造体およびハ
ニカム構造体は、セルの剛性が高く、微細化も容易であ
り、好ましく用いられる。また、セルを構成する壁材の
材料は、アルミニウム箔、紙、樹脂フイルムなど公知の
材料を用いることができるが、特に細かいセルを構成す
る場合には、アルミニウム箔が薄くかつ適度な腰を持つ
材料として好ましく用いられる。As the cell shape of the cell structure filled with the filter agent particles, a petal shape, a triangular corrugated structure, a square cell structure, a hexagonal honeycomb structure and the like are used. The body and the honeycomb structure are preferably used because the rigidity of the cell is high and the cell can be easily miniaturized. In addition, as a material of a wall material forming the cell, a known material such as aluminum foil, paper, or resin film can be used, but when forming a particularly fine cell, the aluminum foil has a thin and moderate waist. It is preferably used as a material.
【００２９】また、壁材を成型してセル構造体を製造す
る際は接着剤を用いると、この接着剤から微量のガスが
発生しやすい。このガスは、濾材内のフィルタ剤粒子の
性能を劣化させ、また、通気下流側から発生したガスは
そのまま浄化エアに混合するので好ましくない。よっ
て、本発明の濾材に用いるセル構造体は、壁材成型後、
通気処理や加熱処理またはこれらを複合した処理による
脱ガス処理をすることが望ましい。When an adhesive is used when the cell structure is manufactured by molding the wall material, a small amount of gas is easily generated from the adhesive. This gas deteriorates the performance of the filter agent particles in the filter medium, and the gas generated from the downstream side of the ventilation is directly mixed with the purified air, which is not preferable. Therefore, the cell structure used for the filter medium of the present invention, after molding the wall material,
It is desirable to perform degassing treatment by aeration treatment, heating treatment, or a combination of these treatments.
【００３０】さらに、フィルタ剤粒子を充填したセルの
開口側の少なくとも一方、好ましくは下流側、より好ま
しくは両側に、フィルタ剤粒子の脱落防止シートを配置
することが好ましい。下流側に脱落防止シートを設ける
と、下流側の浄化されたエアへのフィルタ剤粒子の混入
を防ぐことができる。エアフィルタ濾材の運搬中や、装
着セッティング中のフィルタ剤の脱落を防ぐためには、
上流側と下流側の両側に脱落防止シートを設けるとよ
い。脱落防止シートとしては、通気性に優れた材料が濾
材の圧損を少なくできるので好ましい。通気性材料とし
てはネット、金網などのメッシュ状物、繊維織物および
不織布などが単体もしくは組み合わせて使用できる。特
に、熱融着性を有する通気性材料は、セル構造体のセル
開口部に熱で融着接着して開口部を確実に封止でき、ま
た、接着剤を用いることなく設けることができるので、
ガスの発生が少なくなるため好ましい。熱融着性を有す
る通気性材料としては、たとえば、熱可塑性繊維を含有
する不織布や熱融着ネットを挙げることができる。この
なかでも、芯成分が熱溶融温度の高い補強樹脂からな
り、鞘成分が熱溶融温度の低い易熱溶融性樹脂からなる
芯鞘構造を有する熱可塑性繊維を含有する熱融着性ネッ
トが特に好ましく用いられる。芯鞘構造を有する熱可塑
性繊維を用いることで、セル構造体との熱融着時に、溶
融した熱融着性ネット全体もしくは一部が通気孔を塞い
で通気性が低下することを防ぐ効果があり、極めて好ま
しい。また、熱融着性ネットを介して別の不織布をセル
構造体に熱接着する方法も好ましく用いられる。ここで
用いる別の不織布には、粒子除去性を有する不織布、た
とえばエレクトレット加工された不織布を用いることに
より、ガスと同時に微細粒子も同時に除去できるエアフ
ィルター濾材を構成することができる。Further, it is preferable to dispose a sheet for preventing the filter agent particles from falling off, at least on one side, preferably on the downstream side, more preferably on both sides, of the cell filled with the filter agent particles. Providing the fall prevention sheet on the downstream side can prevent the filter agent particles from being mixed into the purified air on the downstream side. In order to prevent the filter agent from dropping off during the transport of the air filter media or during the installation setting,
It is preferable to provide a fall prevention sheet on both sides of the upstream side and the downstream side. As the falling-off prevention sheet, a material having excellent air permeability is preferable because the pressure loss of the filter medium can be reduced. As the air-permeable material, meshes such as nets and wire nets, fiber woven fabrics and non-woven fabrics can be used alone or in combination. In particular, a gas-permeable material having a heat-fusing property can be securely fused to the cell opening of the cell structure by heat and sealed at the opening, and can be provided without using an adhesive. ,
This is preferable because generation of gas is reduced. Examples of the heat-fusible air-permeable material include a non-woven fabric containing a thermoplastic fiber and a heat-sealing net. Among these, a heat-fusible net containing a thermoplastic fiber having a core-sheath structure in which a core component is made of a reinforcing resin having a high heat melting temperature and a sheath component is made of a heat-meltable resin having a low heat melting temperature is particularly preferable. It is preferably used. By using a thermoplastic fiber having a core-sheath structure, the effect of preventing the whole or a part of the melted heat-fusible net from blocking the air holes and preventing the air permeability from being lowered at the time of heat fusion with the cell structure. Yes, very preferred. Further, a method of thermally bonding another nonwoven fabric to the cell structure via a heat-fusible net is also preferably used. As another non-woven fabric used here, a non-woven fabric having particle removing properties, for example, an electret-processed non-woven fabric, can be used to constitute an air filter medium capable of simultaneously removing gas and fine particles.
【００３１】上記の本発明のエアフィルタ濾材は、エア
フィルタユニットとして使用できる。ここでいうエアフ
ィルタユニットとは、エアフィルタ濾材が開口部を有す
る非通気性外枠に納められたもので、開口部から被処理
空気を濾材にさらす一方で、被処理空気がエアフィルタ
濾材を通過せずに通気することがないように、外枠と濾
材とが密着するように構成されたものである。このよう
な形態をとることにより、クリーンルーム等の粒子除去
フィルタ装着部分にそのままエアフィルタユニットを装
着することができる。なお、非通気性外枠としては、強
度、軽さなどの面からアルミニウムやアルミニウム合金
が好ましく用いられる。The air filter medium of the present invention can be used as an air filter unit. The air filter unit referred to here is one in which the air filter medium is accommodated in a non-permeable outer frame having an opening, and while the air to be processed is exposed to the filter medium from the opening, the air to be processed removes the air filter medium. The outer frame and the filter medium are configured so as to be in close contact with each other so as not to ventilate without passing through. By adopting such a configuration, the air filter unit can be directly mounted on a particle removal filter mounting portion such as a clean room. As the non-permeable outer frame, aluminum or an aluminum alloy is preferably used in terms of strength, lightness and the like.
【００３２】さらに、本発明のエアフィルタ濾材を、そ
のエアフィルタ濾材の面が装置へのエアの流入方向に対
して平行または斜めになるように配置してなるエアフィ
ルタ装置であってもよい。具体的には、エアフィルタ濾
材の複数個を屏風状に配置したものや、櫛状に配置した
ものが挙げられる。Furthermore, an air filter device in which the air filter material of the present invention is arranged so that the surface of the air filter material is parallel or oblique to the direction of air flow into the device. Specifically, a filter in which a plurality of air filter media are arranged in a folding screen or a comb in which a plurality of air filter media are arranged is cited.
【００３３】屏風状に配置したものとは、複数のエアフ
ィルタ濾材を、そのエアフィルタ濾材の面がエアフィル
タ装置へのエア流入方向に対して斜めになるようにジグ
ザグに配置したものである。なお、図４はエアフィルタ
濾材５を屏風状に配置したエアフィルタ装置２００を上
面から見た断面図であるが、エアフィルタ装置へのエア
流入方向とは、同図中の矢印６で示すように通常の使用
におけるエアフィルタ装置全体の上流側の空気流通方向
をいう。なお、矢印７は本エアフィルタ装置を通過する
被処理空気の流れを示す。The arrangement in a screen shape means that a plurality of air filter media are arranged in a zigzag manner such that the surfaces of the air filter media are oblique to the direction of air flow into the air filter device. FIG. 4 is a cross-sectional view of the air filter device 200 in which the air filter media 5 is arranged in a folding screen shape as viewed from above. The direction of air flow into the air filter device is indicated by an arrow 6 in FIG. Means the air flow direction on the upstream side of the entire air filter device in normal use. Arrow 7 indicates the flow of the air to be processed passing through the air filter device.
【００３４】櫛状に配置したものとは、エアフィルタ濾
材をエアフィルタ装置へのエアの流入方向とエアフィル
タ濾材の厚み方向とのなす角度が６０度以上９０度以下
で配置し、被処理空気が必ずエアフィルタ濾材を通気す
るようにエアフィルタ濾材の開口部以外には非通気壁を
設けたものなどがある。エアフィルタ装置へのエア流入
方向とエアフィルタ濾材の厚み方向とのなす角度が６０
度よりも小さい場合には、エアフィルタ濾材を多数装置
内に組み込みにくい。また、多数組み込んだ場合はエア
フィルタ濾材が重なった状態になり、濾材に有効に利用
されない領域が発生してしまうことがある。よって、エ
アフィルタ装置へのエア流入方向とエアフィルタ濾材の
厚み方向とのなす角度は６０度以上９０度以下が好まし
い。図５に示すエアフィルタ装置２０１は、エアフィル
タ濾材５を櫛状に配置したものであり、図６はエアフィ
ルタ装置２０１のＢ−Ｂ’における矢視断面図である。
本例は、エアフィルタ装置２０１へのエア流入方向とフ
ィルタ剤厚み方向が直行するように複数のエアフィルタ
濾材５を配置したもので、被処理空気が必ずエアフィル
タ濾材を通過するように、エアフィルタ濾材の開口部以
外は非通気壁９を設けた。矢印７は本エアフィルタ装置
を通過する被処理空気の流れを示す。非通気壁１０は通
気性のないものであればいかなるものでも良いが、強
度、軽さの点からアルミニウム板やアルミニウム合金板
などが好ましい。The term "comb-shaped arrangement" means that the air filter medium is arranged at an angle of 60 degrees or more and 90 degrees or less between the inflow direction of the air into the air filter device and the thickness direction of the air filter medium. However, there is an air filter medium provided with a non-ventilated wall other than the opening of the air filter medium so that the air filter medium can always be ventilated. The angle between the direction of air flow into the air filter device and the thickness direction of the air filter medium is 60.
If it is smaller than the degree, it is difficult to incorporate a large number of air filter media into the apparatus. Further, when a large number of air filters are incorporated, the air filter media may be in an overlapping state, and a region that is not effectively used for the filter media may be generated. Therefore, it is preferable that the angle between the direction of air flow into the air filter device and the thickness direction of the air filter medium is 60 degrees or more and 90 degrees or less. The air filter device 201 shown in FIG. 5 has the air filter medium 5 arranged in a comb shape, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the air filter device 201 taken along the line BB ′.
In this example, a plurality of air filter media 5 are arranged so that the direction of air inflow into the air filter device 201 and the thickness direction of the filter agent are orthogonal to each other, and the air is filtered so that air to be processed always passes through the air filter media. The non-ventilated wall 9 was provided except for the opening of the filter medium. Arrow 7 indicates the flow of the air to be processed passing through the air filter device. The non-permeable wall 10 may be any material as long as it does not have air permeability, but is preferably an aluminum plate or an aluminum alloy plate in terms of strength and lightness.
【００３５】かかるエアフィルタ装置に屏風状または櫛
状にエアフィルタ濾材を組み込むときは、エアフィルタ
ユニットの形態で組み込んでもよい。この場合は、有効
な開口面積は減少するが、ハンドリング性が向上する。When the air filter medium is incorporated into the air filter device in a folding screen or comb shape, it may be incorporated in the form of an air filter unit. In this case, the effective opening area is reduced, but the handleability is improved.
【００３６】このようにエアフィルタ濾材の面が装置へ
のエアの流入方向に対して平行または斜めになるように
配置したエアフィルタ装置を構成することによって、被
処理空気はフィルタ装置の開口面積よりも広い面積のエ
アフィルタ濾材を通過することになり、単にフィルタ剤
層を厚くしたものに比べて低圧力損失のエアフィルタ装
置を得ることができる。また、圧力損失を低く保ちなが
ら、多くのフィルタ剤を配することができるので、高性
能かつ長寿命のエアフィルタ装置を得ることができると
いうメリットがある。By configuring the air filter device such that the surface of the air filter medium is parallel or oblique to the direction in which the air flows into the device, the air to be processed is smaller than the opening area of the filter device. Therefore, an air filter device having a low pressure loss can be obtained as compared with an air filter device having a thicker filter agent layer. Further, since many filter agents can be disposed while keeping the pressure loss low, there is a merit that a high-performance and long-life air filter device can be obtained.
【００３７】なお、上記フィルタ装置の上流側または下
流側の少なくとも一方に被処理空気中に含まれる粒子を
除去するための不織布などを配してもよい。A nonwoven fabric or the like for removing particles contained in the air to be treated may be provided on at least one of the upstream side and the downstream side of the filter device.
【００３８】本発明のエアフィルタ装置は、半導体製造
工程や液晶表示板製造工程、ハードディスク製造工程で
悪影響を及ぼすことが知られている空気中のガス状物質
を除去できるので、本発明のエアフィルタ濾材、エアフ
ィルタユニットおよびエアフィルタ装置はクリーンルー
ムや半導体製造装置または液晶表示板製造装置、ハード
ディスク製造装置等の半導体等製造装置に組み込まれて
好ましく使用できる。The air filter device of the present invention can remove gaseous substances in the air which are known to have an adverse effect on the semiconductor manufacturing process, the liquid crystal display panel manufacturing process, and the hard disk manufacturing process. The filter medium, the air filter unit, and the air filter device can be preferably used by being incorporated in a clean room, a semiconductor manufacturing device, a semiconductor manufacturing device such as a liquid crystal display panel manufacturing device, a hard disk manufacturing device, or the like.
【００３９】本発明のクリーンルームを備えたクリーン
ルームシステムの一形態の概略平面図を図７に示す。本
クリーンルームシステム３００においては、外気は外気
取り入れ口１１から上記のようなエアフィルタユニット
１２を通過して取り入れられ、空気搬送経路１５に設置
したエアフィルタユニット１６を通過して、吹き入れ口
１３に設置されたエアフィルタユニット１４を通過して
クリーンルーム２０に吹き入れられる。クリーンルーム
２０内には、半導体製造装置、液晶表示板製造装置、又
は、ハードディスク製造装置等の製造装置１７が設置さ
れており、本装置にもエアフィルタユニット１８が設置
されている。本クリーンルームシステム内では、外気か
ら取り入れられた空気が、空気搬送経路１５、吹き入れ
口１３、クリーンルーム２０の流路で内部循環してお
り、複数回上記のようなエアフィルタユニットを通過す
るので、浄化度の高い被処理空気がクリーンルーム内や
半導体等製造装置に入れられる。FIG. 7 is a schematic plan view showing one embodiment of a clean room system having the clean room of the present invention. In the clean room system 300, outside air is taken in from the outside air intake 11 through the above-described air filter unit 12, passes through the air filter unit 16 installed in the air conveyance path 15, and enters the air inlet 13. The air is blown into the clean room 20 through the installed air filter unit 14. A manufacturing apparatus 17 such as a semiconductor manufacturing apparatus, a liquid crystal display panel manufacturing apparatus, or a hard disk manufacturing apparatus is installed in the clean room 20, and an air filter unit 18 is also installed in this apparatus. In the clean room system, the air taken in from the outside air is circulated internally in the air conveyance path 15, the air inlet 13, and the flow path of the clean room 20, and passes through the air filter unit as described above a plurality of times. Air to be treated having a high degree of purification is introduced into a clean room or a manufacturing apparatus for semiconductors.
【００４０】なお、４箇所に上記のエアフィルタユニッ
トが設置されているが、いずれか１箇所でもよいし、複
数箇所組み合わせてもよい。Although the air filter unit is installed at four locations, it may be installed at any one location or may be combined at a plurality of locations.
【００４１】また、上記のようなエアフィルタユニット
の代わりに、エアフィルタ装置を設置しても良い。Further, an air filter device may be provided instead of the above air filter unit.
【００４２】[0042]
【実施例】以下実施例によって、本発明をさらに詳細に
説明する。 実施例１ まず、セルサイズ１．０ｍｍの、図１に示すようなアル
ミニウムハニカムを製作し、縦１２０ｍｍ×横１２０ｍ
ｍ×通気方向の厚み２０ｍｍに切断した。当該ハニカム
の円換算直径は１．０５ｍｍである。このアルミニウム
ハニカムの通気方向片面に鞘側に熱溶融温度の低い変性
ポリエステル、芯側に熱溶融温度の高い通常ポリエステ
ルを配した芯鞘繊維からなる不織布を熱圧着により固定
した。さらに、当該ハニカムの通気方向開口側から球換
算直径０．７ｍｍの略球形粒状活性炭を振動を与えなが
ら厚み２０ｍｍ分充填した。活性炭充填後、通気方向開
口側に先に使用した芯鞘繊維からなる不織布を熱圧着に
より固定し本発明のフィルタ濾材を構成した。The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. Example 1 First, an aluminum honeycomb having a cell size of 1.0 mm as shown in FIG.
It was cut to a thickness of 20 mm in the direction of mx ventilation. The equivalent circle diameter of the honeycomb is 1.05 mm. A nonwoven fabric made of a core-sheath fiber in which a modified polyester having a low heat melting temperature was disposed on the sheath side on one side in the ventilation direction of the aluminum honeycomb and a normal polyester having a high heat melting temperature was disposed on the core side was fixed by thermocompression bonding. Further, from the opening side in the ventilation direction of the honeycomb, approximately spherical granular activated carbon having a sphere-converted diameter of 0.7 mm was filled with a thickness of 20 mm while applying vibration. After the activated carbon was filled, the previously used nonwoven fabric of the core-sheath fiber was fixed to the opening side in the ventilation direction by thermocompression bonding to form the filter medium of the present invention.
【００４３】このとき、セルの円換算直径Ｗは１．０５
ｍｍ、フィルタ剤粒子の球換算直径Ｒは０．７ｍｍであ
り、Ｗ／Ｒは１．５なので条件１＜Ｗ／Ｒ＜２．５を満
たしている。本実施例で、ハニカム中に充填された活性
炭量は８７ｇであった。 本活性炭の嵩密度は０．５８
ｇ／ｃｍ3なので、見かけの活性炭充填率は次式より５
２％であると計算された。 活性炭充填量／ハニカム体積／活性炭嵩密度×１００＝
見かけの充填率（％） 比較例１ セルサイズ６．０ｍｍのアルミニウムハニカムを製作し
縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍ×通気方向の厚み２０ｍｍ
に切断後、実施例１と同様の方法で球換算直径０．７ｍ
ｍの略球形粒状活性炭を充填したフィルタ濾材を構成し
た。このとき、セルの円換算直径Ｗは６．３ｍｍ、フィ
ルタ粒子の球換算直径Ｒは０．７ｍｍであり、Ｗ／Ｒは
９なので条件１＜Ｗ／Ｒ＜２．５を満たしていない。本
比較例で、ハニカム中に充填された活性炭量は１２５ｇ
であった。本活性炭の嵩密度は０．５８ｇ／ｃｍ3なの
で、見かけの活性炭充填率は９１％であると計算され
た。 比較例２ 縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍ×通気方向の厚み１０ｍｍ
のアルミニウム型枠の中に、実施例１と同様の材料・方
法で活性炭８７ｇをハニカムなしで不織布間に保持させ
た。この時の活性炭層の厚みは約１０ｍｍであったが、
均一の厚みに揃えるのは極めて困難であった。このとき
の見かけの活性炭充填率は約１００％である。At this time, the circle-converted diameter W of the cell is 1.05.
mm, the sphere-converted diameter R of the filter agent particles is 0.7 mm, and W / R is 1.5, which satisfies the condition 1 <W / R <2.5. In this example, the amount of activated carbon filled in the honeycomb was 87 g. The bulk density of the activated carbon is 0.58
g / cm 3 , the apparent activated carbon filling rate is 5
It was calculated to be 2%. Activated carbon filling amount / Honeycomb volume / Activated carbon bulk density × 100 =
Apparent filling ratio (%) Comparative Example 1 An aluminum honeycomb having a cell size of 6.0 mm was manufactured and was 120 mm long × 120 mm wide × 20 mm thick in the ventilation direction.
After being cut into pieces, the ball equivalent diameter was 0.7 m in the same manner as in Example 1.
Thus, a filter medium filled with m-granular granular activated carbon was constructed. At this time, the circle-converted diameter W of the cell is 6.3 mm, the sphere-converted diameter R of the filter particles is 0.7 mm, and W / R is 9, which does not satisfy the condition 1 <W / R <2.5. In this comparative example, the amount of activated carbon filled in the honeycomb was 125 g.
Met. Since the bulk density of the activated carbon was 0.58 g / cm 3 , the apparent activated carbon filling rate was calculated to be 91%. Comparative Example 2 120 mm long x 120 mm wide x 10 mm thick in the ventilation direction
87 g of activated carbon was held between the nonwoven fabrics without a honeycomb by the same material and method as in Example 1 in the aluminum mold. The thickness of the activated carbon layer at this time was about 10 mm,
It was extremely difficult to make the thickness uniform. The apparent activated carbon filling rate at this time is about 100%.
【００４４】実施例１および比較例１、２で得られたト
ルエンの除去効率およびフィルタの圧力損失を測定し
た。トルエンの除去効率は、フィルタ濾材を取り付けた
ダクトの上流側から、トルエンガスボンベより上流濃度
が体積比１００ｐｐｂになるように供給して、下流側の
トルエン濃度を測定した。濃度測定方法は、フィルタの
上流及び下流それぞれから一定量エアをサンプリングし
てガス吸着管にトルエンガスを吸着させ、ついで吸着し
たトルエンガスを熱脱離してガスクロマトグラフに導入
しガス量を定量評価した。上流側のガス濃度をＰ、下流
側のガス濃度をＱとすると、フィルタのガス除去効率
（％）は （１−Ｑ／Ｐ）×１００ で計算される。フィルタの圧力損失は、被測定フィルタ
濾材の通気方向片面から所定の風速に調整したエアがフ
ィルタ面一様に透過するように風を送って、フィルタ濾
材前後の圧力差をマノメーターで測定した。それぞれの
結果を表１、表２に示す。The removal efficiency of the toluene obtained in Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 and the pressure loss of the filter were measured. Toluene removal efficiency was measured by supplying toluene from the upstream side of the duct to which the filter medium was attached so that the upstream concentration from the toluene gas cylinder became 100 ppb in volume ratio, and the toluene concentration on the downstream side. In the concentration measurement method, a fixed amount of air was sampled from each of the upstream and downstream of the filter, toluene gas was adsorbed on a gas adsorption tube, and then the adsorbed toluene gas was thermally desorbed and introduced into a gas chromatograph to quantitatively evaluate the gas amount. . When the gas concentration on the upstream side is P and the gas concentration on the downstream side is Q, the gas removal efficiency (%) of the filter is calculated by (1−Q / P) × 100. The pressure loss of the filter was measured by using a manometer to measure the pressure difference between the front and the rear of the filter medium by blowing air from one side in the ventilation direction of the filter medium to be measured so that air adjusted to a predetermined wind velocity uniformly permeated the filter surface. Tables 1 and 2 show the results.
【００４５】[0045]
【表１】 [Table 1]
【００４６】[0046]
【表２】 [Table 2]
【００４７】表１の結果より、本発明のエアフィルタ濾
材は、充分なガス除去性能を有しつつ、見かけ充填率を
バインダーなどの吸着材表面を覆うようなことなく下げ
ることができ、適度な空隙を保っていることが分かる。
さらに表２の結果より、本発明のエアフィルタ濾材の圧
力損失値は、厚みを揃えた比較例１対比で半分以下、充
填フィルタ剤量を合わせた比較例２対比で約２／３と、
極めて低い圧力損失であることがわかる。From the results in Table 1, it can be seen that the air filter medium of the present invention has a sufficient gas removal performance and can reduce the apparent filling rate without covering the surface of the adsorbent such as a binder. It can be seen that the gap is maintained.
Further, from the results in Table 2, the pressure loss value of the air filter medium of the present invention is less than half in comparison with Comparative Example 1 in which the thickness is uniform, and about ２ in comparison with Comparative Example 2 in which the amount of the filled filter agent is adjusted.
It can be seen that the pressure loss is extremely low.
【００４８】[0048]
【発明の効果】本発明によると、フィルタ剤と当該粒子
を充填するセルの大きさを適度に調整することにより、
バインダー等のフィルタ剤劣化材料を使用することなく
適度な空隙を有したままガス吸着剤が充填されているの
で、充分なガス除去効率を有しながら、圧力損失が低い
エアフィルタ濾材を得ることができる。According to the present invention, by appropriately adjusting the size of the cell filled with the filter agent and the particles,
Since the gas adsorbent is filled with appropriate voids without using a filter agent deterioration material such as a binder, it is possible to obtain an air filter medium having a low pressure loss while having a sufficient gas removal efficiency. it can.
【図１】本発明のエアフィルタ濾材をエアフィルタ濾材
通気方向から見た図である。FIG. 1 is a view of an air filter medium of the present invention as viewed from the air filter medium ventilation direction.
【図２】図１のエアフィルタ濾材のＡ−Ａ’における断
面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA ′ of the air filter medium of FIG. 1;
【図３】Ｗ／Ｒと充填密度との関係を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the relationship between W / R and packing density.
【図４】本発明のエアフィルタ装置をフィルタ装置の上
面から見た断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of the air filter device of the present invention as viewed from above the filter device.
【図５】本発明のエアフィルタ装置の他の実施形態を示
す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing another embodiment of the air filter device of the present invention.
【図６】図５のエアフィルタ装置のＢ−Ｂ’における断
面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line BB ′ of the air filter device of FIG. 5;
【図７】本発明のエアフィルタ濾材の使用の実施形態の
例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of an embodiment of use of the air filter medium of the present invention.
１：壁材 ２：セル ３：フィルタ剤粒子 ４：脱落防止シート ５：エアフィルタ濾材 ６：エアフィルタ装置の通気方向 ７：被処理空気の通気方向 ８：装置外枠 ９：非通気壁 １１：外気取り入れ口 １２：外気取り入れ口に設置された本発明のエアフィル
タユニット １３：吹き入れ口 １４：吹き入れ口に設定、装着された本発明のエアフィ
ルタユニット １５：空気搬送経路 １６：空気搬送経路に設置、装着された本発明のエアフ
ィルタユニット １７：半導体等デバイス製造装置 １８：半導体等デバイス製造装置に設置、装着されたエ
アフィルタユニット １９：クリーンルーム内の空気の流れを示す矢印 ２０：クリーンルーム1: wall material 2: cell 3: filter agent particles 4: drop-off prevention sheet 5: air filter material 6: ventilation direction of air filter device 7: ventilation direction of air to be treated 8: outer frame of device 9: non-ventilated wall 11: Outside air intake 12: Air filter unit of the present invention installed at outside air intake 13: Inlet 14: Air filter unit of the present invention set and mounted on the inlet 15: Air transport path 16: Air transport path Air filter unit of the present invention installed and mounted on device 17: Device for manufacturing a device such as a semiconductor 18: Air filter unit mounted and mounted on a device for manufacturing a device such as a semiconductor 19: Arrow indicating the flow of air in a clean room 20: Clean room
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｊ 20/10 Ｂ０１Ｊ 20/24 Ａ 20/12 20/26 Ａ 20/24 20/28 Ａ 20/26 Ｆ２４Ｆ 7/013 １０１Ｇ 20/28 7/06 Ｃ Ｆ２４Ｆ 7/013 １０１ Ｂ０１Ｄ 53/34 ＺＡＢＡ 7/06 Ｆターム(参考） 3L058 BF09 4D002 AA02 AA12 AA13 AA14 AA23 AA32 AA33 AA40 AB01 AC10 BA04 CA07 DA11 DA21 DA41 DA45 DA46 DA47 DA70 GA01 GB12 4D019 AA01 BA02 BA13 BB03 BB12 BC05 BD01 CA01 CB02 CB04 DA06 4D058 JA32 JA60 JB04 JB06 JB13 JB34 KA18 KA23 KA25 KB06 KC04 SA04 TA02 TA04 4G066 AA05B AA22B AA23B AA61B AA64B AC06B AC11B BA09 BA12 BA20 CA23 CA27 CA28 CA29 CA32 CA51 CA52 CA56 DA03 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) B01J 20/10 B01J 20/24 A 20/12 20/26 A 20/24 20/28 A 20/26 F24F 7/013 101G 20/28 7/06 C F24F 7/013 101 B01D 53/34 ZABA 7/06 F term (reference) 3L058 BF09 4D002 AA02 AA12 AA13 AA14 AA23 AA32 AA33 AA40 AB01 AC10 BA04 CA07 DA11 DA21 DA41 DA45 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA46 DA70 GA01 GB12 4D019 AA01 BA02 BA13 BB03 BB12 BC05 BD01 CA01 CB02 CB04 DA06 4D058 JA32.
Claims (13)
装填してなり、かつ、各セルの円換算直径Ｗとフィルタ
剤粒子の球換算直径Ｒとの比Ｗ／Ｒが１＜Ｗ／Ｒ＜２．
５の範囲内にあるエアフィルタ濾材。1. A filter structure in which filter agent particles are loaded in each cell of a cell structure, and a ratio W / R of a circle-converted diameter W of each cell to a sphere-converted diameter R of the filter agent particles is 1 <W. / R <2.
An air filter medium within the range of 5.
〜３０ｍｍの範囲内にあり、かつ、アスペクト比が１〜
５の範囲内にある、請求項１に記載のエアフィルタ濾
材。2. The filter agent particles have a spherical equivalent diameter R of 0.3.
３０30 mm and the aspect ratio is 1１〜
The air filter medium according to claim 1, wherein the air filter medium is within a range of 5.
剤およびガス徐放剤から選ばれる少なくとも１種を含ん
でいる、請求項１〜２のいずれかに記載のエアフィルタ
ー濾材3. The air filter medium according to claim 1, wherein the filter agent particles contain at least one selected from a gas adsorbent, a gas decomposer, and a gas sustained release agent.
活性白土、シリカゲル、イオン交換樹脂、デキストリン
および酸化チタンから選ばれる少なくとも一種を含んで
いる、請求項１〜３のいずれかに記載のエアフィルタ濾
材。4. The method of claim 1, wherein the filter agent particles are activated carbon, zeolite,
The air filter medium according to any one of claims 1 to 3, wherein the air filter medium comprises at least one selected from activated clay, silica gel, an ion exchange resin, dextrin, and titanium oxide.
ート構造体からなる、請求項１〜４のいずれかに記載の
エアフィルタ濾材。5. The air filter medium according to claim 1, wherein the cell structure comprises a honeycomb structure or a corrugated structure.
ルタ剤粒子の脱落防止シートを配置してなる、請求項１
〜５のいずれかに記載のエアフィルタ濾材。6. The filter according to claim 1, wherein a sheet for preventing the filter agent particles from falling off is arranged on at least one side of the opening side of the cell.
The air filter medium according to any one of claims 1 to 5, wherein
請求項６に記載のエアフィルタ濾材。7. The sheet for preventing falling off is a non-woven sheet.
The air filter medium according to claim 6.
複合繊維からなっている、請求項７に記載のエアフィル
タ濾材。8. The air filter medium according to claim 7, wherein the nonwoven fabric sheet is made of a heat-fusible conjugate fiber having a core-sheath structure.
ルタ濾材を有するエアフィルタユニット。9. An air filter unit comprising the air filter medium according to claim 1.
ィルタ濾材を、そのエアフィルタ濾材の面が装置へのエ
アの流入方向に対して平行または斜めになるように配置
してなるエアフィルタ装置。10. An air filter wherein the air filter medium according to claim 1 is arranged so that the surface of the air filter medium is parallel or oblique to the direction of air flow into the apparatus. Filter device.
は櫛状に配置してなる、請求項１０に記載のエアフィル
タ装置。11. The air filter device according to claim 10, wherein a plurality of air filter media are arranged in a folding screen or comb shape.
ィルタ濾材、請求項９に記載のエアフィルタユニットま
たは請求項１０もしくは１１に記載のエアフィルタ装置
を通気口に装着してなるクリーンルーム。12. A clean room in which the air filter medium according to any one of claims 1 to 8, the air filter unit according to claim 9, or the air filter device according to claim 10 or 11 is attached to a vent. .
ィルタ濾材、請求項９に記載のエアフィルタユニットま
たは請求項１０もしくは１１に記載のエアフィルタ装置
を通気口に装着してなる半導体等製造装置。13. A semiconductor comprising the air filter medium according to any one of claims 1 to 8, the air filter unit according to claim 9, or the air filter device according to claim 10 or 11 mounted on a vent. Etc. manufacturing equipment.
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|---|---|---|---|
| JP2001092047A JP2002282624A (en) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | Filter medium for air filter and air filter unit |
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011193789A (en) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Yoshikane Ito | Material for adsorbing virus |
| JP2011235239A (en) * | 2010-05-11 | 2011-11-24 | Umezawa Nobuyuki | Air filter with easily detachable component filter |
| JP2013034961A (en) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Hitachi Appliances Inc | Air cleaner |
| US10471388B2 (en) | 2016-04-04 | 2019-11-12 | Cppe Carbon Process & Plant Engineering S.A. | Sulfur dioxide removal from waste gas |
| US10478776B2 (en) | 2016-04-04 | 2019-11-19 | Cppe Carbon Process & Plant Engineering S.A. | Process for the removal of heavy metals from fluids |
| CN110860180A (en) * | 2018-08-27 | 2020-03-06 | 苏州三星电子有限公司 | Activated carbon filter screen, manufacturing process thereof, air purifier and application thereof |
| JP7012814B1 (en) | 2020-12-23 | 2022-01-28 | 株式会社ドゥエルアソシエイツ | Air purification device |
| US11369922B2 (en) | 2016-04-04 | 2022-06-28 | Cppe Carbon Process & Plant Engineering S.A. | Catalyst mixture for the treatment of waste gas |
| US11839847B2 (en) | 2019-12-02 | 2023-12-12 | 3Ac., Ltd. | Air purifier filter |
-
2001
- 2001-03-28 JP JP2001092047A patent/JP2002282624A/en active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011193789A (en) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Yoshikane Ito | Material for adsorbing virus |
| JP2011235239A (en) * | 2010-05-11 | 2011-11-24 | Umezawa Nobuyuki | Air filter with easily detachable component filter |
| JP2013034961A (en) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Hitachi Appliances Inc | Air cleaner |
| US10471388B2 (en) | 2016-04-04 | 2019-11-12 | Cppe Carbon Process & Plant Engineering S.A. | Sulfur dioxide removal from waste gas |
| US10478776B2 (en) | 2016-04-04 | 2019-11-19 | Cppe Carbon Process & Plant Engineering S.A. | Process for the removal of heavy metals from fluids |
| US11369922B2 (en) | 2016-04-04 | 2022-06-28 | Cppe Carbon Process & Plant Engineering S.A. | Catalyst mixture for the treatment of waste gas |
| CN110860180A (en) * | 2018-08-27 | 2020-03-06 | 苏州三星电子有限公司 | Activated carbon filter screen, manufacturing process thereof, air purifier and application thereof |
| CN110860180B (en) * | 2018-08-27 | 2022-02-01 | 苏州三星电子有限公司 | Activated carbon filter screen, manufacturing process thereof, air purifier and application thereof |
| US11839847B2 (en) | 2019-12-02 | 2023-12-12 | 3Ac., Ltd. | Air purifier filter |
| JP7012814B1 (en) | 2020-12-23 | 2022-01-28 | 株式会社ドゥエルアソシエイツ | Air purification device |
| JP2022099693A (en) * | 2020-12-23 | 2022-07-05 | 株式会社ドゥエルアソシエイツ | Air purifier |
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