JP2002267859A - Optical waveguide and method for manufacturing the same - Google Patents
Optical waveguide and method for manufacturing the sameInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体レーザや
光ファイバ等の光学素子を光学的に接続するための光導
波路とその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical waveguide for optically connecting optical elements such as a semiconductor laser and an optical fiber, and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】端面発光型の半導体レーザと光ファイバ
とを光結合させる場合、広がりを持った半導体レーザの
出力ビームを、光ファイバに入り易く変換し結合損失を
抑えるために、レンズ等の光学手段が広く使用されてい
る。2. Description of the Related Art When an edge emitting semiconductor laser is optically coupled to an optical fiber, an output beam of the widened semiconductor laser is easily converted into an optical fiber to reduce coupling loss. Means are widely used.
【０００３】しかしながら、活性層幅が１５０μｍ〜５
００μｍ程度、活性層厚が０．１μｍ程度と、活性層の
垂直方向と水平方向の大きさが極端に異なると考えられ
るワット級レーザに対しては、その出力をレンズ等の光
学手段で例えば直径１０μｍ程度のファイバに集光する
ことは一般に非常に困難である。However, when the width of the active layer is 150 μm to 5 μm,
For a watt-class laser in which the size of the active layer in the vertical direction and the horizontal direction is considered to be extremely different, such as about 00 μm and the active layer thickness of about 0.1 μm, the output of the laser is measured by optical means such as a lens. It is generally very difficult to focus light on a fiber of about 10 μm.
【０００４】これを解決するものとして、レンズ等の光
学手段を使用せず光導波路を使用した光結合方法が特開
平７−６３９３５号に開示されている。これによれば、
半導体レーザと光ファイバなど異なる二つの光機能素子
間を低損失で光結合することができる。このような光導
波路の生産性を向上させる製造方法として、毛細管現象
を利用した提案が特開平８−１６０２３９号や特開２０
００−２８８３９号に開示されている。As a solution to this problem, an optical coupling method using an optical waveguide without using optical means such as a lens is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 7-63935. According to this,
Optical coupling can be performed between two different optical functional elements such as a semiconductor laser and an optical fiber with low loss. As a manufacturing method for improving the productivity of such an optical waveguide, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-160239 and Japanese Patent Application Laid-Open No.
No. 00-28839.
【０００５】これによると、コア領域に相当する溝のパ
ターンが形成された基板と、平板状の基板を密着させる
かまたはコア領域に相当する溝のパターンが形成された
別の基板を溝部が対向するよう密着させ、その溝で形成
される隙間に液体状のコア材を、毛細管現象を利用して
充填する。充填後、コア材を硬化させて光導波路を形成
するが、その際特に前者では研磨によるコアの端面形成
を行うというものである。[0005] According to this, the substrate having the groove pattern corresponding to the core region formed thereon and the flat substrate are adhered to each other, or the other substrate having the groove pattern corresponding to the core region formed is opposed to the groove portion. The gap formed by the groove is filled with a liquid core material using a capillary phenomenon. After the filling, the core material is cured to form the optical waveguide. In this case, the former particularly forms the end face of the core by polishing.
【０００６】また、溝の一方の開口部を封止して基板を
真空におき、封止していない開口部をコア材溶液に浸
し、徐々に気圧を真空から大気圧に上げていく、あるい
はコア材溶液に浸していない開口部を真空引きしながら
コア材を充填すると言う毛細管現象を補助する方法も提
案されている。Further, one opening of the groove is sealed, the substrate is evacuated, and the unsealed opening is immersed in a core material solution, and the pressure is gradually increased from vacuum to atmospheric pressure. A method of assisting the capillary phenomenon of filling the core material while evacuating the opening not immersed in the core material solution has also been proposed.
【０００７】ところで、このように形成された光導波路
は他の光学素子と接触させて使用するため、発熱によっ
て各素子が膨張した場合それぞれの素子がダメージを受
ける可能性がある。上述したようなワット級レーザを使
用する場合は特に注意を要する。これを回避する手段と
して光導波路に軟質樹脂を使用し、各光学素子が膨張し
ても光導波路部分で形状変化を吸収する方法が考えられ
る。Incidentally, since the optical waveguide thus formed is used in contact with another optical element, each element may be damaged when each element expands due to heat generation. Special care must be taken when using a watt-class laser as described above. As a means for avoiding this, a method of using a soft resin for the optical waveguide and absorbing a change in shape at the optical waveguide portion even when each optical element expands can be considered.
【０００８】しかしながら、このような軟質樹脂を使用
した光導波路に対しては、端面形成に研磨手法は使え
ず、また真空引きによるコア材充填もコア溝を形成して
いるクラッド基板が柔らかいため真空に引いたときに変
形が生じてしまい、先に引例として挙げた特許で開示さ
れている方法では形成が難しい。また、端面を形成する
際に切断する方法もあるが、この場合切断面に刃物の粗
さに起因する筋状の「引き目」が生じ、やはりきれいな
面を形成することができない。However, for an optical waveguide using such a soft resin, a polishing method cannot be used for forming the end face, and the core material is filled by vacuuming. When it is pulled, deformation occurs, and it is difficult to form it by the method disclosed in the patent cited above. In addition, there is a method of cutting when forming the end face, but in this case, a streak-like "crease" due to the roughness of the cutting tool occurs on the cut face, so that a clean face cannot be formed.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上記したように軟質樹
脂を使用した光導波路は、半導体レーザ等の光学素子と
直接突合わせる端面部分の表面性よくしたものを形成す
ることが困難であった。As described above, it has been difficult to form an optical waveguide using a soft resin with an improved surface property at an end face portion directly abutting with an optical element such as a semiconductor laser.
【００１０】そこでこの発明では、軟質樹脂を使用し、
半導体レーザ等の光学素子と直接突合わせて結合する端
面部分の表面性をよくした光導波路とその製造する方法
を提供することを目的とする。Therefore, in the present invention, a soft resin is used,
It is an object of the present invention to provide an optical waveguide having improved surface properties at an end face portion which is directly butt-coupled to an optical element such as a semiconductor laser, and a method for manufacturing the same.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明の光導波路は、それぞれ一方の側面から他方
の側面まで溝が形成されたシリコーン樹脂等の軟質樹脂
の第１および第２の光学部材を、各溝が対向するよう配
すことでコア領域が形成され、このコア領域に第３の光
学部材が充填されている光導波路であって、光の進行方
向に垂直な二つの端面のうち、少なくとも一方の端面で
は前記第１および第２および第３の光学部材の各面が同
一平面上にあることを特徴とする。In order to achieve the above object, an optical waveguide according to the present invention comprises first and second soft resins, such as silicone resins, each having a groove formed from one side to the other side. A core region is formed by arranging the optical members so that the grooves face each other, and the core region is filled with a third optical member, and is an optical waveguide, and two end faces perpendicular to the light traveling direction. Of the above, at least one end surface is characterized in that the surfaces of the first, second and third optical members are on the same plane.
【００１２】また、前記コア領域は、光の進行方向に垂
直な端面からそれと平行な端面に向かって、水平面では
狭まる方向、垂直面では広がる方向にテーパがついた形
状であることを特徴とする。Further, the core region has a tapered shape from an end surface perpendicular to the light traveling direction to an end surface parallel thereto in a horizontal plane narrowing direction and a vertical plane expanding direction. .
【００１３】また、光の進行方向に同一長さでその端面
を平滑面としたシリコーン樹脂の第１および第２の光学
部材に、光の進行方向に平行にそれぞれ所望の溝を形成
し、端面を一致させかつ各溝が対向するようにこの第１
および第２の光学部材を密着させてこれらの溝による空
洞を形成する際、一方の端面に平滑な部材を密着させて
空洞開口部を塞ぎ、他方の端面に形成されたもう一方の
空洞開口部から毛細管現象によって第３の光学部材を充
填することを特徴とする。A desired groove is formed in each of the first and second optical members made of silicone resin having the same length in the light traveling direction and having smooth end faces in parallel with the light traveling direction. And the first so that the grooves face each other.
When a cavity is formed by these grooves by bringing the second optical member into close contact with the second optical member, a smooth member is brought into close contact with one end face to close the cavity opening, and the other cavity opening formed at the other end face is formed. The third optical member is filled by capillary action.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図面を参照しながら詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１５】図1は、この発明の実施の形態について説
明するための斜視図である。この実施の形態は、光ファ
イバと光ファイバを光接続するために用いる光導波路で
ある。FIG. 1 is a perspective view for explaining an embodiment of the present invention. This embodiment is an optical waveguide used for optically connecting optical fibers.
【００１６】図１において、１１は、溝１２が形成され
た軟質樹脂の第１の光学部材であり、１３は、溝１４が
形成され光の進行方向に第１の光学部材１１と同一の長
さを有する軟質樹脂の第２の光学部材である。第１およ
び第２の光学部材１１，１３は、溝１２，１４が対向す
るように密着させている。溝１２と溝１４で形成される
空洞部は、コア領域１５を構成し、ここに第３の光学部
材１６を充填する。In FIG. 1, reference numeral 11 denotes a first optical member made of a soft resin having a groove 12 formed therein. This is a second optical member made of a soft resin having a thickness. The first and second optical members 11 and 13 are in close contact with each other so that the grooves 12 and 14 face each other. The cavity formed by the groove 12 and the groove 14 constitutes a core region 15 in which the third optical member 16 is filled.
【００１７】コア領域１５の形状は、図１では直方体と
しているがこれに限定されるものではなく、光結合する
光学素子の形状によって決定されるものである。図２は
半導体レーザと光ファイバとの光結合に使用する場合
の、図１の第３の光学部材（コア）に相当する部分のみ
を示した斜視図である。The shape of the core region 15 is a rectangular parallelepiped in FIG. 1, but is not limited to this, and is determined by the shape of the optical element that optically couples. FIG. 2 is a perspective view showing only a portion corresponding to the third optical member (core) in FIG. 1 when used for optical coupling between a semiconductor laser and an optical fiber.
【００１８】この第３の光学部材１６１は、半導体レー
ザと接続する側のコア端面１０１から光ファイバと接続
する側のコア端面１０２に向かって水平面では狭まる方
向に、垂直面では広がる方向にテーパがついた形状とな
っている。The third optical member 161 has a taper that narrows in a horizontal plane from the core end face 101 on the side connected to the semiconductor laser to the core end face 102 on the side connected to the optical fiber, and expands in the vertical plane. It has a shape of a hook.
【００１９】このコア領域１５は、これに合った形状の
溝を、第１および第２の光学部材１１，１３にそれぞれ
形成し、これらの溝を対向させて第１および第２の光学
部材１１，１３を貼り合わせることで溝と溝による空洞
をコア領域とし、ここにコア材を充填硬化させることで
形成できる。In the core region 15, grooves having a shape corresponding to the grooves are formed in the first and second optical members 11 and 13, respectively, and these grooves are opposed to each other to form the first and second optical members 11 and 13. , 13 are bonded to each other to form a groove and a cavity formed by the groove as a core region.
【００２０】図１において、第１および第２の光学部材
１１，１３はシリコーン樹脂であるが、第３の光学部材
１６は屈折率が第１の光学部材１１と第２の光学部材１
３より高ければシリコーン樹脂でなくてもよい。第１の
光学部材１１の端面１８と第２の光学部材１３の端面１
９と第３の光学部材１６の端面２０は、それぞれ同一平
面上に構成されておりかつ平滑であるため、ここでの光
の散乱は小さく光の導波特性に優れた構造になってい
る。In FIG. 1, the first and second optical members 11 and 13 are made of silicone resin, while the third optical member 16 has a refractive index of the first optical member 11 and the second optical member 1.
If it is higher than 3, it may not be a silicone resin. End face 18 of first optical member 11 and end face 1 of second optical member 13
Since the end faces 9 and the end faces 20 of the third optical member 16 are formed on the same plane and are smooth, light scattering here is small and the structure has excellent light guiding characteristics. .
【００２１】なお、図１および図３の各実施の形態にお
いて、第１および第２の光学部材はクラッドで、第３の
光学部材はコアである。In each of the embodiments shown in FIGS. 1 and 3, the first and second optical members are clads, and the third optical member is a core.
【００２２】図３は、この発明の他の実施の形態につい
て説明するための斜視図である。この実施の形態は、図
１の第２の光学部材１３に形成された溝１４をなくし、
単に平板で構成した第２の光学部材１３１に置き換えた
もので、図１と同一の構成部分には同一の符号を付して
説明する。FIG. 3 is a perspective view for explaining another embodiment of the present invention. This embodiment eliminates the groove 14 formed in the second optical member 13 in FIG.
It is replaced with a second optical member 131 simply composed of a flat plate, and the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals and described.
【００２３】コア領域１５が第１の光学部材１１か第２
の光学部材１３１の何れか一方に形成された溝で構成可
能な場合は、ここで示すように、密着させてコア領域１
５を形成する二つの光学部材のうち片方は平板でよい。
端面の状態などそれ以外の形態は図２で説明した光導波
路と同一であるので省略する。When the core region 15 is the first optical member 11 or the second
If it can be constituted by a groove formed in any one of the optical members 131, the core member 1 is brought into close contact with the core region 1 as shown here.
One of the two optical members forming 5 may be a flat plate.
Other aspects such as the state of the end face are the same as those of the optical waveguide described with reference to FIG.
【００２４】図４は、この発明の光導波路の製造方法に
ついて説明するためのもので、ここでは図１の光導波路
の製造方法の工程を示す。なお、各工程において金型は
何れも省略する。FIG. 4 is for explaining the method of manufacturing the optical waveguide of the present invention. Here, the steps of the method of manufacturing the optical waveguide of FIG. 1 are shown. In each step, the mold is omitted.
【００２５】まず、図４（ａ）において、溝１２を構成
する三つの面に対応する部分に鏡面加工を施した金型を
用いて、溝１２が形成された第１の光学部材１１を熱硬
化或いは紫外線硬化のシリコーン樹脂で形成する。鏡面
加工の面粗さについては後述する。First, in FIG. 4A, the first optical member 11 in which the groove 12 is formed is heat-treated by using a mold in which portions corresponding to three surfaces constituting the groove 12 are mirror-finished. It is formed of a cured or ultraviolet-cured silicone resin. The surface roughness of the mirror finishing will be described later.
【００２６】次に、図４（ｂ）のように、光学部材１１
を形成したのと同じ金型か、または少なくとも光の進行
方向の長さＬが光学部材１１と同じ長さになるような金
型を用いて、光学部材１１を形成したのと同様に溝１４
が形成された第２の光学部材１３をシリコーン樹脂で形
成する。なお、ここでは第２の光学部材１３に溝１４が
形成されたものについて説明しているが、溝１４のない
図３のものについても同様である。Next, as shown in FIG.
The groove 14 is formed in the same manner as when the optical member 11 is formed by using the same mold as that in which the optical member 11 is formed, or using a mold in which at least the length L in the light traveling direction is the same length as the optical member 11.
Is formed of silicone resin. Here, the case where the groove 14 is formed in the second optical member 13 is described, but the same applies to FIG. 3 without the groove 14.
【００２７】このように形成した第１光学部材１１の溝
１２と第２の光学部材１３の溝１４を対向させるととも
に、端面１８と１９が同一平面を構成するように位置を
合わせて密着させ、コア領域１５を有するクラッド３１
を形成する（図４（ｃ）、（ｄ））。The groove 12 of the first optical member 11 and the groove 14 of the second optical member 13 formed as described above are opposed to each other, and the end faces 18 and 19 are brought into close contact with each other so as to form the same plane. Cladding 31 having core region 15
Is formed (FIGS. 4C and 4D).
【００２８】次に、図４（ｅ）に示すように、第１およ
び第２の光学部材１１，１３を密着させて形成したクラ
ッド３１の一端を平滑な平板３２に押し当てて密着さ
せ、コア領域１５の開口部１７ａを塞ぐ。なお、形成し
ている光導波路を半導体レーザと光ファイバとの光結合
に使用する場合は、半導体レーザと対向する端面側に平
滑な平板３２を密着させるようにする。Next, as shown in FIG. 4E, one end of a clad 31 formed by bringing the first and second optical members 11 and 13 into close contact with each other is pressed against a smooth flat plate 32 to bring the core into close contact. The opening 17a of the region 15 is closed. When the formed optical waveguide is used for optical coupling between a semiconductor laser and an optical fiber, a smooth flat plate 32 is brought into close contact with the end face side facing the semiconductor laser.
【００２９】その後、図４（ｆ）に示すように、クラッ
ド３１のコア領域１５の他方の開口部１７ｂからコア材
３３を毛細管現象で充填する。このとき、コア領域１５
の出口は塞がった状態にあるが、「シリコーンの応用展
開」（黛哲也 編集、株式会社 シーエムシー 発行）p.
５や「シリコーン活用技術」（株式会社 技術情報協会
発行）p.６に記載があるように、クラッドを形成してい
るシリコーン樹脂にはガス透過性があるため、空洞内の
空気は外界に抜けて行きコア材３３は最後の出口位置ま
で充填される。Thereafter, as shown in FIG. 4F, the core material 33 is filled by capillarity from the other opening 17b of the core region 15 of the clad 31. At this time, the core region 15
Exit is blocked, but "Development of Silicone Applications" (edited by Tetsuya Mayuzumi, published by CMC Co., Ltd.) p.
5 and "silicone utilization technology" (Technical Information Association, Inc.)
Issue) As described on page 6, since the silicone resin forming the clad has gas permeability, the air in the cavity escapes to the outside and the core material 33 is filled to the last exit position. You.
【００３０】充填が完了後、コア材３３の材質に応じた
所望の方法で硬化させる。硬化された後、平板３２をク
ラッド３１から外せば、平滑に形成されたコア部端面を
得ることができる。After the filling is completed, the core material 33 is cured by a desired method according to the material. After the hardening, the flat plate 32 is removed from the clad 31 to obtain a smooth end face of the core portion.
【００３１】コア領域１５のコア材を充填する側の端面
は、コア領域１５の体積は予め分かっていることから、
充填するコア材３３の量を制御することでクラッド３１
の端面と概ね同一面にすることが可能である。また、充
填量をやや多めにすることでコア部端面を外側に膨らま
せ、コア内を通って来る光が外へ出る際に広がらないよ
うにするためのレンズ効果を持たせてもよい。The end face of the core region 15 on the side filled with the core material has a volume of the core region 15 known in advance.
The cladding 31 is controlled by controlling the amount of the core material 33 to be filled.
Can be made substantially flush with the end face of. In addition, by slightly increasing the filling amount, the end face of the core portion may be expanded outward, and a lens effect may be provided to prevent light coming through the core from spreading when going outside.
【００３２】また、コア領域１５を形成するときやクラ
ッド３１の端面に平滑な平板３２を押し当てるときな
ど、第１と第２の光学部材１１，１３およびクラッド３
１と平板３２をそれぞれ密着させる必要がある。そのた
め、それぞれの突き合わせ面は平滑な面である必要があ
ることから、金型も相応の表面性で作らなければならな
い。コア領域１５を形成する面は鏡面である必要があ
る。その表面の粗さは、Ｒｙ＜λ／１０（λ：光の波
長）程度必要であり、突き合わせ面についてはここまで
の表面性はいらず、サブミクロンの粗さであればよい。The first and second optical members 11 and 13 and the cladding 3 are formed when the core region 15 is formed or when a smooth flat plate 32 is pressed against the end face of the cladding 31.
1 and the flat plate 32 need to be brought into close contact with each other. For this reason, the respective mating surfaces need to be smooth surfaces, so that the mold must also be made with appropriate surface properties. The surface forming the core region 15 needs to be a mirror surface. The surface roughness needs to be about Ry <λ / 10 (λ: wavelength of light), and the abutting surface does not need to have the above surface properties, but may be a submicron roughness.
【００３３】なお、簡単のためここでは溝が１つのもの
について説明してきたが、複数の溝を光学部材１１に形
成するようにすれば、手順は同じであるので量産性を上
げることも可能である。Although a single groove has been described here for the sake of simplicity, if a plurality of grooves are formed in the optical member 11, the procedure is the same, so that mass productivity can be improved. is there.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
軟質樹脂を用いて半導体レーザ等の光学素子と直接突合
わせて結合する端面部分を形成することで、表面性の向
上を図ることができる。また、その表面性の向上を簡単
な製造工程で実現することができる。As described above, according to the present invention,
The surface property can be improved by using soft resin to form an end face portion that directly abuts and couples with an optical element such as a semiconductor laser. Further, the improvement of the surface property can be realized by a simple manufacturing process.
【図１】 この発明の一実施の形態のついて説明すため
の斜視図。FIG. 1 is a perspective view for explaining an embodiment of the present invention.
【図２】 図１のコア形状の異なる光導波路のコア領域
のみを示した斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing only a core region of the optical waveguide having a different core shape in FIG. 1;
【図３】 この発明による他の実施の形態を示す光導波
路の斜視図。FIG. 3 is a perspective view of an optical waveguide showing another embodiment according to the present invention.
【図４】 この発明による光導波路の製造工程について
説明するための説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining a manufacturing process of the optical waveguide according to the present invention.
１１…第１の光学部材、１２，１４…溝、１３，１３１
…第２の光学部材、１５…コア領域、１６，１６１…第
３の光学部材、１７…第３の光学部材、１８，１９，２
０…端面、１０１，１０２…コア端面、３１…クラッ
ド、３２…平板、３３…コア材。11 first optical member, 12, 14 groove, 13, 131
... second optical member, 15 ... core region, 16, 161 ... third optical member, 17 ... third optical member, 18, 19, 2
0: end face, 101, 102: core end face, 31: clad, 32: flat plate, 33: core material.
Claims (8)
側面まで第１の溝を形成した第１の光学部材と、 軟質樹脂の平板に一方の側面から他方の側面まで第２の
溝を形成した第２の光学部材と、 前記第１および第２の溝を対向配置することでコア領域
とし、該コア領域にコアを形成するために充填した第３
の光学部材とを備え、 光の進行方向に垂直な二つの端面のうち、少なくとも一
方の端面では前記第１乃至第３の光学部材の各面が同一
平面上にあることを特徴とする光導波路。1. A first optical member in which a first groove is formed from one side surface to another side surface in a soft resin flat plate, and a second groove from one side surface to the other side surface is formed in a soft resin flat plate. A second optical member is formed, and the first and second grooves are opposed to each other to form a core region, and a third region filled to form a core in the core region is formed.
An optical member, wherein at least one of the two end surfaces perpendicular to the traveling direction of light has the respective surfaces of the first to third optical members on the same plane. .
側面まで溝が形成された第１の光学部材と、 軟質樹脂の平板である第２の光学部材と、 前記第１の光学部材の溝が形成された面に第２の光学部
材を配置することで、該第２の光学部材と前記溝との間
をコア領域とし、該コア領域にコアを形成するために充
填した第３の光学部材と、 光の進行方向に垂直な二つの端面のうち、少なくとも一
方の端面では前記第１乃至第３の光学部材の各面が同一
平面上にあることを特徴とする光導波路。2. A first optical member in which a groove is formed from one side surface to the other side surface in a soft resin flat plate; a second optical member which is a soft resin flat plate; By disposing the second optical member on the surface where the groove is formed, a third core filled between the second optical member and the groove is formed to form a core in the core region. An optical waveguide comprising: an optical member; and at least one of the two end surfaces perpendicular to the light traveling direction, the surfaces of the first to third optical members are on the same plane.
なくとも第１及び第２の光学部材はシリコーン樹脂であ
ることを特徴とする請求項１または２に記載の光導波
路。3. The optical waveguide according to claim 1, wherein at least the first and second optical members among the first to third optical members are made of silicone resin.
一端面から該端面と平行な他端面に向かって、前記第１
及び第２の光学部材の突き合わせ面に対して平行な断面
では狭まる方向、垂直な断面では広がる方向にテーパ形
状に形成してなることを特徴とする請求項１または２に
記載の光導波路。4. The first core region extends from one end surface perpendicular to the light traveling direction to the other end surface parallel to the end surface.
The optical waveguide according to claim 1, wherein the optical waveguide is formed in a tapered shape in a direction in which the cross section is parallel to the butting surface of the second optical member and in a direction in which the second optical member expands in a vertical section.
ドであり、前記第３の光学部材はコアであることを特徴
とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光導波路。5. The optical waveguide according to claim 1, wherein the first and second optical members are clads, and the third optical member is a core.
滑面とした軟質樹脂の第１及び第２の平板に、光の進行
方向に平行に各々所望の溝を形成し第１及び第２の光学
部材を作製する工程と、 前記各溝を対向して前記第１及び第２の光学部材を密着
させることで前記各溝による空洞を形成するとともに、
前記第１および第２の光学部材の端面を一致させる工程
と、 一方の端面に平滑な部材を密着させて空洞開口部を塞
ぎ、他方の端面に形成されたもう一方の空洞開口部から
毛細管現象によって第３の光学部材を充填する工程とか
らなることを特徴とする光導波路の製造方法。6. A first and a second flat plate made of a soft resin having the same length in the light traveling direction and having smooth end faces, respectively forming desired grooves in parallel with the light traveling direction. Producing a second optical member, and forming a cavity by each of the grooves by bringing the first and second optical members into close contact with each other with the grooves facing each other;
A step of matching the end faces of the first and second optical members; and a step of bringing a smooth member into close contact with one end face to close the cavity opening, and a capillary action from the other cavity opening formed on the other end face. Filling a third optical member by the method.
光の進行方向に平行に溝を形成し第１の光学部材を作製
する工程と、 前記第１の光学部材の溝が形成された面に、端面を平滑
面とした軟質樹脂の平板である第２の光学部材を密着さ
せて前記溝による空洞を形成するとともに、前記第１お
よび第２の光学部材の端面を一致させる工程と、 一方の端面に平滑な部材を密着させて空洞開口部を塞
ぎ、他方の端面に形成されたもう一方の空洞開口部から
毛細管現象によって第３の光学部材を充填する工程とか
らなることを特徴とする光導波路の製造方法。7. A flat plate made of a soft resin having a smooth end surface,
Forming a groove in parallel with the traveling direction of light to produce a first optical member; and forming a first optical member on the surface of the groove where the groove is formed, the first optical member being a flat plate of a soft resin having a smooth end surface. Forming a cavity by the groove by bringing the second optical member into close contact with the end surface of the first and second optical members, and closing a cavity opening by bringing a smooth member into close contact with one end surface. Filling the third optical member by capillary action from the other cavity opening formed on the other end face.
ドであり、前記第３の光学部材はコアであることを特徴
とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光導波路の製
造方法。8. The method of manufacturing an optical waveguide according to claim 1, wherein said first and second optical members are clads, and said third optical member is a core. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001069782A JP2002267859A (en) | 2001-03-13 | 2001-03-13 | Optical waveguide and method for manufacturing the same |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001069782A JP2002267859A (en) | 2001-03-13 | 2001-03-13 | Optical waveguide and method for manufacturing the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002267859A true JP2002267859A (en) | 2002-09-18 |
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ID=18927771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001069782A Withdrawn JP2002267859A (en) | 2001-03-13 | 2001-03-13 | Optical waveguide and method for manufacturing the same |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002267859A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7604758B2 (en) | 2003-12-19 | 2009-10-20 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Process for producing polymer optical waveguide |
| JP2016157829A (en) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 株式会社島津製作所 | Laser beam damper and laser device including the same |
| US9958607B2 (en) | 2015-12-03 | 2018-05-01 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Light waveguide, method of manufacturing light waveguide, and light waveguide device |
-
2001
- 2001-03-13 JP JP2001069782A patent/JP2002267859A/en not_active Withdrawn
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| JP2016157829A (en) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 株式会社島津製作所 | Laser beam damper and laser device including the same |
| US9958607B2 (en) | 2015-12-03 | 2018-05-01 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Light waveguide, method of manufacturing light waveguide, and light waveguide device |
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