JP2002263479A - Adsorbent, air purification filter and method for manufacturing the same - Google Patents
Adsorbent, air purification filter and method for manufacturing the sameInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばクリーンル
ーム、クリーンベンチや保管庫などといった高度清浄雰
囲気を要する設備や装置において、雰囲気中のガス状塩
基性不純物を除去するために使用される吸着剤、及びこ
の吸着剤を有する空気浄化フィルタとその製造方法に関
する。The present invention relates to an adsorbent used for removing gaseous basic impurities in an atmosphere in equipment or equipment requiring a highly clean atmosphere, such as a clean room, a clean bench or a storage. And an air purification filter having the adsorbent and a method for producing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造工程のうち露光工程では、使
用される光増幅型レジストが雰囲気中の微量アンモニア
ガス成分で特性劣化を起こすことが知られている。露光
工程における雰囲気中のアンモニア濃度は、ＳＥＭＡＴ
ＥＣＨが１９９５年５月３１日に発表したTechnology T
ransfer ＃95052812A-TR「Forecast of Airborne Molecu
lar Contamination Limits for the 0.25 Micron High
Performance Logic Process」によれば、１ｐｐｂ以下に
しなければならないとされている。2. Description of the Related Art It is known that, in an exposure process in a semiconductor manufacturing process, a light amplification type resist used is deteriorated in characteristics by a trace amount of ammonia gas component in an atmosphere. The concentration of ammonia in the atmosphere in the exposure step is
Technology T announced by ECH on May 31, 1995
ransfer # 95052812A-TR "Forecast of Airborne Molecu
lar Contamination Limits for the 0.25 Micron High
According to the “Performance Logic Process”, it must be 1 ppb or less.
【０００３】露光工程雰囲気のアンモニア濃度を低減さ
せるための手段としては、例えば特開平１１−３３３２
２６号公報に記載されているように、けいそう土、シリ
カ、アルミナ、シリカとアルミナの混合物、ケイ酸アル
ミニウム、活性アルミナ、多孔質ガラス、活性白土、活
性ベントナイト及び合成ゼオライトから選ばれる少なく
とも一種の無機系粉末に硫酸アルミニウム等の無機酸塩
を添着した吸着剤を含む空気浄化フィルタが知られてい
る。また例えば特開昭６１−１０３５１８号公報に記載
されているように、活性炭の粉末にポリリン酸二水素ア
ルミニウム等の難水溶性固体酸を添着した吸着剤を含む
空気浄化フィルタが知られている。As means for reducing the ammonia concentration in the exposure process atmosphere, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-3332
No. 26, diatomaceous earth, silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate, activated alumina, porous glass, activated clay, activated bentonite and synthetic zeolite An air purification filter including an adsorbent obtained by impregnating an inorganic acid salt such as aluminum sulfate with an inorganic powder is known. Also, as described in, for example, JP-A-61-103518, an air purification filter including an adsorbent obtained by impregnating a powder of activated carbon with a poorly water-soluble solid acid such as aluminum dihydrogen polyphosphate is known.
【０００４】これらの空気浄化フィルタを通過する雰囲
気中のアンモニアは、無機酸塩又は固体酸と中和反応を
起こして固定化され、雰囲気中から除去される。一方で
これらの空気浄化フィルタは、使用に伴い微量の塩化水
素を発生することが知られている。Ammonia in the atmosphere passing through these air purification filters undergoes a neutralization reaction with an inorganic acid salt or solid acid, is fixed, and is removed from the atmosphere. On the other hand, it is known that these air purification filters generate a small amount of hydrogen chloride with use.
【０００５】ここで前述したアンモニア除去用の空気浄
化フィルタから塩化水素が発生するメカニズムについて
説明する。なおここでは前述した特開平１１−３３３２
２６号公報に記載の空気浄化フィルタを例に説明する。[0005] Here, the mechanism by which hydrogen chloride is generated from the above-described ammonia removal air purification filter will be described. Here, the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-3332 is used.
An air purification filter described in Japanese Patent Publication No. 26 is described as an example.
【０００６】前述した無機系粉末には塩化ナトリウム
（ＮａＣｌ）や塩化マグネシウム（ＭｇＣｌ2）等の塩
化物が不純物として含まれている。さらに前述した無機
酸塩にも塩化物イオンが塩化アルミニウムの形態で不純
物として含まれている。[0006] The above-mentioned inorganic powder contains chlorides such as sodium chloride (NaCl) and magnesium chloride (MgCl 2 ) as impurities. Further, the above-mentioned inorganic acid salts also contain chloride ions as impurities in the form of aluminum chloride.
【０００７】硫酸アルミニウムや硝酸アルミニウム等の
無機酸塩を無機系粉末に担持させる工程としては浸漬工
程と乾燥工程とが一般に知られている。不純物としてＮ
ａＣｌやＭｇＣｌ2を含む無機系粉末を無機酸塩の水溶
液に浸漬すると、無機系粉末中のＮａＣｌやＭｇＣｌ2
は溶解し、Ｃｌ-となる。浸漬後の無機系粉末を乾燥す
る乾燥工程では粉末由来のＣｌ-が塩化アルミニウムと
なって析出する。 ６NaCl ＋ Al2(SO4)3 → ３Na2SO4 ＋ ２AlCl3 （１） ３NaCl ＋ Al(NO3)3 → ３NaNO3 ＋ AlCl3 （２） ３MgCl2 ＋ Al2(SO4)3 → ３MgSO4 ＋ ２AlCl3 （３） ３MgCl2 ＋ ２Al(NO3)3 → ３Mg(NO3)2 ＋ ２AlCl3 （４）As a process for supporting an inorganic acid salt such as aluminum sulfate or aluminum nitrate on an inorganic powder, a dipping process and a drying process are generally known. N as impurity
When the inorganic powder containing aCl and MgCl 2 is immersed in an aqueous solution of an inorganic salt, NaCl inorganic powder and MgCl 2
Dissolves, Cl - and becomes. Cl derived powder in the drying step of drying the inorganic powder after immersion - is precipitated as aluminum chloride. 6NaCl + Al 2 (SO 4) 3 → 3Na 2 SO 4 + 2AlCl 3 (1) 3NaCl + Al (NO 3) 3 → 3NaNO 3 + AlCl 3 (2) 3MgCl 2 + Al 2 (SO 4) 3 → 3MgSO 4 + 2AlCl 3 (3) 3MgCl 2 + 2Al (NO 3 ) 3 → 3Mg (NO 3 ) 2 + 2AlCl 3 (4)
【０００８】また硫酸アルミニウム溶液や硝酸アルミニ
ウム溶液に元々不純物として含まれていた塩化アルミニ
ウムも、浸漬後の乾燥工程で析出する。[0008] Aluminum chloride originally contained as an impurity in the aluminum sulfate solution or aluminum nitrate solution also precipitates in the drying step after immersion.
【０００９】塩化アルミニウムが析出した前記吸着剤を
用いた空気浄化フィルタにクリーンルーム雰囲気を通気
すると、析出物である塩化アルミニウムが通気空気中の
水分により加水分解して塩化水素を発生する。 AlCl3 ＋ ３H2O → Al(OH)3 ＋ ３HCl （５）When a clean room atmosphere is passed through an air purification filter using the adsorbent on which aluminum chloride has been deposited, aluminum chloride as a precipitate is hydrolyzed by moisture in the ventilation air to generate hydrogen chloride. AlCl 3 + 3H 2 O → Al (OH) 3 + 3HCl (5)
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】前記ＳＥＭＡＴＥＣＨ
＃95052812A-TRによれば、フッ酸、硫黄酸化物、窒素
酸化物、塩化水素等の酸性ガスは、露光工程では１０ｐ
ｐｂ以下にすれば良いとされている。すなわち露光工程
では、アンモニア除去用の空気浄化フィルタが吸着剤等
のフィルタ構成素材に不純物として元々含んでいた塩素
化合物由来の塩化水素を数ｐｐｂ放出してもなんら問題
を生じない。The above-mentioned SEMATECH
According to # 95052812A-TR, acidic gas such as hydrofluoric acid, sulfur oxides, nitrogen oxides, and hydrogen chloride is 10p in the exposure process.
It is said that the pressure should be pb or less. That is, in the exposure step, there is no problem even if the air purifying filter for removing ammonia emits several ppb of hydrogen chloride derived from a chlorine compound originally contained as an impurity in a filter material such as an adsorbent.
【００１１】しかし半導体製造工程におけるシリサイド
工程や配線工程では前記酸性ガスが製品の特性劣化を起
こすことが知られている。前記ＳＥＭＡＴＥＣＨ ＃950
52812A-TRによれば、シリサイド工程における雰囲気中
の酸性ガス濃度は１８０ｐｐｔ以下、配線工程における
雰囲気中の酸性ガス濃度は５ｐｐｔ以下と厳しい制御が
要求されている。However, it is known that the acid gas causes deterioration of the characteristics of products in a silicide process and a wiring process in a semiconductor manufacturing process. The SEMATECH # 950
According to 52812A-TR, strict control is required such that the acid gas concentration in the atmosphere in the silicide process is 180 ppt or less, and the acid gas concentration in the atmosphere in the wiring process is 5 ppt or less.
【００１２】したがって露光工程、シリサイド工程、配
線工程などの複数のプロセスが大きな一つのクリーンル
ーム内で行われる場合に前述したアンモニア除去用の空
気浄化フィルタを用いると、露光工程では全く問題を生
じなくても、空気浄化フィルタから発生した数ｐｐｂ程
度の塩化水素がシリサイド工程や配線工程に拡散し、酸
性ガスに敏感なこれらの工程で製品の品質低下を招くこ
とがある。このような場合に用いられる空気浄化フィル
タには、アンモニアの除去能力が優れていることのみな
らず、空気浄化フィルタ自身から塩化水素を発生しない
ことが要求される。Therefore, when a plurality of processes such as an exposure process, a silicide process, and a wiring process are performed in one large clean room, the use of the above-described air removing filter for removing ammonia causes no problem in the exposure process. In addition, about ppb of hydrogen chloride generated from the air purification filter is diffused in the silicide process and the wiring process, and the quality of the product may be deteriorated in these processes sensitive to the acid gas. The air purification filter used in such a case is required not only to have excellent ability to remove ammonia but also to generate no hydrogen chloride from the air purification filter itself.
【００１３】本発明は前記事項に鑑みなされたものであ
り、空気中のアンモニアを除去し、かつ空気中に塩化水
素を発生しない吸着剤、この吸着剤を有する空気浄化フ
ィルタ及びその製造方法を提供することを課題とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides an adsorbent that removes ammonia in the air and does not generate hydrogen chloride in the air, an air purification filter having the adsorbent, and a method of manufacturing the same. The task is to
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段として本発明は、アンモニアを固定化するアンモ
ニア固定化剤と、アンモニア固定化剤を担持する担体と
を有する吸着剤において、銀イオンを含む水系媒体中で
アンモニア固定化剤を担体に担持させたことを特徴とす
る吸着剤を提供する。According to the present invention, there is provided an adsorbent having an ammonia immobilizing agent for immobilizing ammonia, and a carrier supporting the ammonia immobilizing agent, the method comprising: An adsorbent characterized in that an ammonia immobilizing agent is supported on a carrier in an aqueous medium containing:
【００１５】この吸着剤によれば、アンモニア固定化剤
を有することから空気中のアンモニアを除去することが
可能であり、かつアンモニア固定化剤及び担体に不純物
として含まれる塩化物を塩化銀という加水分解しない塩
とすることから吸着剤からの塩化水素の発生を防止する
ことが可能である。According to this adsorbent, since it has an ammonia fixing agent, it is possible to remove ammonia in the air, and chloride contained as impurities in the ammonia fixing agent and the carrier is converted into a hydrochloride called silver chloride. Since the salt does not decompose, generation of hydrogen chloride from the adsorbent can be prevented.
【００１６】また本発明において前記水系媒体には硫酸
銀及び硝酸銀の少なくともいずれかを含むことが好まし
い。これらの銀化合物を用いることにより、前述の塩化
銀生成における余剰分が担体に担持されることから、気
相中の塩化水素の除去にも効果が期待される。 ２AlCl3 ＋ ３Ag2SO4 → Al2(SO4)3 ＋ ６AgCl↓ （６） AlCl3 ＋ ３AgNO3 → Al(NO3)3 ＋ ３AgCl↓ （７）In the present invention, the aqueous medium preferably contains at least one of silver sulfate and silver nitrate. By using these silver compounds, the surplus in the above-mentioned silver chloride production is supported on the carrier, so that an effect is expected also on the removal of hydrogen chloride in the gas phase. 2AlCl 3 + 3Ag 2 SO 4 → Al 2 (SO 4 ) 3 + 6AgCl ↓ (6) AlCl 3 + 3AgNO 3 → Al (NO 3 ) 3 + 3AgCl ↓ (7)
【００１７】また本発明において前記アンモニア固定化
剤は無機酸塩であることが好ましく、さらに硫酸アルミ
ニウム及び硝酸アルミニウムの少なくともいずれかを含
むことがより好ましい。In the present invention, the ammonia fixing agent is preferably an inorganic acid salt, and more preferably contains at least one of aluminum sulfate and aluminum nitrate.
【００１８】また本発明において前記担体は、けいそう
土、シリカ、アルミナ、シリカとアルミナの混合物、ケ
イ酸アルミニウム、活性アルミナ、多孔質ガラス、活性
白土、活性ベントナイト、合成ゼオライト、及び活性炭
の中から選ばれる少なくとも一種を含む粉体であること
が好ましい。In the present invention, the carrier is selected from diatomaceous earth, silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate, activated alumina, porous glass, activated clay, activated bentonite, synthetic zeolite, and activated carbon. It is preferable that the powder contains at least one selected from the following.
【００１９】すなわち本発明の吸着剤は、けいそう土、
シリカ、アルミナ、シリカとアルミナの混合物、ケイ酸
アルミニウム、活性アルミナ、多孔質ガラス、活性白
土、活性ベントナイト、合成ゼオライト、及び活性炭の
中から選ばれる少なくとも一種からなる担体に、硫酸ア
ルミニウム及び硝酸アルミニウムの少なくともいずれか
一方又は両方と、硫酸銀及び硝酸銀の少なくともいずれ
か一方又は両方とを添着させた吸着剤であることが好ま
しい。That is, the adsorbent of the present invention comprises diatomaceous earth,
Silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate, activated alumina, porous glass, activated clay, activated bentonite, synthetic zeolite, and a carrier consisting of at least one selected from activated carbon, aluminum sulfate and aluminum nitrate It is preferable that the adsorbent has at least one or both of them and at least one or both of silver sulfate and silver nitrate.
【００２０】また本発明は、前記課題を解決するための
手段として、通気路中に吸着剤を支持するための支持体
の表面に本発明の吸着剤を有する空気浄化フィルタを提
供する。The present invention also provides, as a means for solving the above problems, an air purification filter having the adsorbent of the present invention on the surface of a support for supporting the adsorbent in an air passage.
【００２１】本発明において前記支持体はハニカム構造
体であることが好ましい。In the present invention, the support is preferably a honeycomb structure.
【００２２】本発明の空気浄化フィルタは公知のごとく
支持体に吸着剤を固着させることで製造することができ
るが、本発明では前記課題を解決するための手段とし
て、塩化水素の発生を防止する上でより好適な製造方法
を提供する。The air purifying filter of the present invention can be manufactured by fixing an adsorbent to a support as is well known. In the present invention, as a means for solving the above-mentioned problem, generation of hydrogen chloride is prevented. A more suitable manufacturing method is provided above.
【００２３】すなわち本発明は、アンモニアを固定化す
るアンモニア固定化剤と、このアンモニア固定化剤を担
持する担体と、この担体を表面に有する支持体とから構
成される空気浄化フィルタを製造する方法において、銀
イオンを含む水系媒体中でアンモニア固定化剤と担体と
支持体の材料とを混合し、この混合物を所定の形状に成
形することを特徴とする空気浄化フィルタの製造方法を
提供する。That is, the present invention provides a method for producing an air purifying filter comprising an ammonia immobilizing agent for immobilizing ammonia, a carrier carrying the ammonia immobilizing agent, and a support having the carrier on its surface. The present invention provides a method for producing an air purification filter, comprising mixing an ammonia fixing agent, a carrier, and a material of a support in an aqueous medium containing silver ions, and forming the mixture into a predetermined shape.
【００２４】また本発明は、アンモニアを固定化するア
ンモニア固定化剤と、このアンモニア固定化剤を担持す
る担体と、この担体を表面に有する支持体とから構成さ
れる空気浄化フィルタを製造する方法において、銀イオ
ンを含む水系媒体中でアンモニア固定化剤と担体とを混
合し、この水系媒体中に支持体を浸漬し、水系媒体から
支持体を取り出して乾燥させることを特徴とする空気浄
化フィルタの製造方法を提供する。The present invention also provides a method for producing an air purifying filter comprising an ammonia immobilizing agent for immobilizing ammonia, a carrier carrying the ammonia immobilizing agent, and a support having the carrier on its surface. An air purification filter, comprising: mixing an ammonia fixing agent and a carrier in an aqueous medium containing silver ions; immersing the support in the aqueous medium; removing the support from the aqueous medium; and drying the air. And a method for producing the same.
【００２５】また本発明は、アンモニアを固定化するア
ンモニア固定化剤と、このアンモニア固定化剤を担持す
る担体と、この担体を表面に有する支持体とから構成さ
れる空気浄化フィルタを製造する方法において、アンモ
ニア固定化剤と銀イオンとを含む水系媒体に担体を表面
に固着させた支持体を浸漬し、水系媒体から支持体を取
り出して乾燥させることを特徴とする空気浄化フィルタ
の製造方法を提供する。Further, the present invention provides a method for producing an air purifying filter comprising an ammonia fixing agent for fixing ammonia, a carrier supporting the ammonia fixing agent, and a support having the carrier on its surface. In the method for producing an air purification filter, characterized in that the support having the carrier fixed on the surface thereof is immersed in an aqueous medium containing an ammonia fixing agent and silver ions, and the support is taken out from the aqueous medium and dried. provide.
【００２６】前述したこれらの製造方法によれば、空気
浄化フィルタの各構成要素に不純物として含まれる塩素
化合物を塩化銀として固定化することことから、塩化水
素の発生防止の観点からより優れた製造方法を提供する
ことが可能である。According to the above-described production methods, since the chlorine compound contained as an impurity in each component of the air purification filter is fixed as silver chloride, the production is more excellent from the viewpoint of preventing generation of hydrogen chloride. It is possible to provide a method.
【００２７】[0027]
【発明の実施の形態】＜吸着剤＞本発明の吸着剤は、ア
ンモニアを固定化するアンモニア固定化剤と、アンモニ
ア固定化剤を担持する担体とを有する吸着剤において、
銀イオンを含む水系媒体中でアンモニア固定化剤を担体
に担持させたことを特徴とする。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION <Adsorbent> The adsorbent of the present invention is an adsorbent having an ammonia immobilizing agent for immobilizing ammonia and a carrier supporting the ammonia immobilizing agent.
It is characterized in that an ammonia fixing agent is supported on a carrier in an aqueous medium containing silver ions.
【００２８】前記アンモニア固定化剤は、アンモニアを
固定化できるものであれば特に限定されず、このような
アンモニア固定化剤には例えば、強塩基性の四級アンモ
ニウム基及びより低級のアミンなどの弱塩基性基をビニ
ロン系繊維等に導入した塩基性陰イオン交換樹脂、ポリ
リン酸二水素アルミニウムなどの固体酸、及び無機酸塩
等を例示することができる。これらの中でも本発明に用
いられるアンモニア固定化剤としては、有機系ガス状汚
染物質や酸性ガスの発生防止及び耐熱性や耐久性の向
上、製造工程の簡略化等の観点から、無機酸塩を用いる
ことが好ましい。The ammonia immobilizing agent is not particularly limited as long as it can immobilize ammonia. Examples of the ammonia immobilizing agent include strongly basic quaternary ammonium groups and lower amines. Examples thereof include a basic anion exchange resin in which a weakly basic group is introduced into a vinylon-based fiber or the like, a solid acid such as aluminum dihydrogen polyphosphate, and an inorganic acid salt. Among these, as the ammonia fixing agent used in the present invention, from the viewpoint of preventing generation of organic gaseous pollutants and acidic gas and improving heat resistance and durability, simplifying the production process, etc., an inorganic acid salt is used. Preferably, it is used.
【００２９】アンモニア固定化剤としての無機酸塩とし
ては、アンモニア吸着（固定化）能力を有するものであ
れば特に限定されず、例えば炭酸塩、塩酸塩、硫酸塩、
硝酸塩、及びリン酸塩等を例示することができる。これ
らの中でも本発明に用いられる無機酸塩としては、アン
モニアの吸着能力やアンモニア吸着に伴う副生ガス状物
質の発生防止、及び無機酸塩の物性等の観点から強酸と
弱塩基との塩であることが好ましく、硫酸アルミニウム
や硝酸アルミニウムを用いることがより好ましい。なお
アンモニア固定化剤には市販品を用いることができ、ア
ンモニア固定化剤として無機酸塩を用いる場合では、市
販品や対応する酸及び塩基の中和反応によって生成した
ものを用いることができ、一種又は二種以上を用いても
良い。The inorganic acid salt as the ammonia-fixing agent is not particularly limited as long as it has an ammonia-adsorbing (fixing) ability, and examples thereof include carbonates, hydrochlorides, sulfates, and the like.
Nitrate, phosphate and the like can be exemplified. Among these, the inorganic acid salt used in the present invention is a salt of a strong acid and a weak base from the viewpoints of the ability to adsorb ammonia and to prevent the generation of by-product gaseous substances accompanying ammonia adsorption, and the properties of the inorganic acid salt. It is preferable that aluminum sulfate or aluminum nitrate be used. Note that a commercially available product can be used as the ammonia fixing agent, and when an inorganic acid salt is used as the ammonia fixing agent, a commercially available product or a product generated by a neutralization reaction of the corresponding acid and base can be used. One type or two or more types may be used.
【００３０】前記担体は、アンモニア固定化剤を担持す
ることのできるものであれば特に限定されず、気相中の
対象物質を吸着する際に用いられる公知の担体を本発明
では用いることができる。このような担体としては例え
ば粉末状の担体を好ましくは例示することができ、粉末
状の担体の中でもけいそう土、シリカ、アルミナ、シリ
カとアルミナの混合物、ケイ酸アルミニウム、活性アル
ミナ、多孔質ガラス、活性白土、活性ベントナイト、合
成ゼオライト、及び活性炭等を用いることが、アンモニ
ア以外のガス状汚染物質も含めたガス状汚染物質を吸着
（固定化）する上でより好ましい。The carrier is not particularly limited as long as it can carry an ammonia immobilizing agent, and a known carrier used for adsorbing a target substance in a gas phase can be used in the present invention. . As such a carrier, for example, a powdery carrier can be preferably exemplified. Among the powdery carriers, diatomaceous earth, silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate, activated alumina, porous glass It is more preferable to use activated clay, activated bentonite, synthetic zeolite, activated carbon and the like in order to adsorb (fix) gaseous pollutants including gaseous pollutants other than ammonia.
【００３１】これらの粉末は市販品を用いても良いし、
原料粉末から公知の手法によって生成しても良い。一例
を挙げるならば、けいそう土やケイ酸アルミニウムとし
ては例えば市販されている天然物が使用される。シリカ
としては例えばシリカゲルが使用される。アルミナとし
ては例えばアルミナゲルが使用される。シリカとアルミ
ナの混合物としては例えばシリカゲルとアルミナゲルの
混合物が使用される。活性アルミナとしては例えば水酸
化アルミニウムを加熱脱水（４５０℃）したものが使用
される。多孔質ガラスとしては例えばホウケイ酸塩ガラ
スの分相を利用して作られたものが使用される。活性白
土としては例えば酸性白土を硫酸処理したものが使用さ
れる。活性ベントナイトとしては例えばＣａ型ベントナ
イトや酸性白土を熱硫酸で処理しモンモリナイトのアル
ミニウムやマグネシウムを溶出させて細孔の多い表面を
有する過剰ケイ酸としたものが使用される。合成ゼオラ
イトとしては例えばケイ酸ナトリウム溶液とアルミン酸
ナトリウム溶液とを混合し生じたゲルを乾燥、粉砕した
ものが使用される。活性炭としては例えば原料炭化物を
水蒸気や薬品により賦活化したものが使用される。Commercially available products may be used for these powders.
It may be produced from a raw material powder by a known method. For example, as diatomaceous earth and aluminum silicate, commercially available natural products are used, for example. For example, silica gel is used as silica. As the alumina, for example, alumina gel is used. As the mixture of silica and alumina, for example, a mixture of silica gel and alumina gel is used. As the activated alumina, for example, one obtained by heating and dehydrating (450 ° C.) aluminum hydroxide is used. As the porous glass, for example, one made by utilizing the phase separation of borosilicate glass is used. As activated clay, for example, acid clay treated with sulfuric acid is used. As the activated bentonite, for example, Ca-type bentonite or acid clay is treated with hot sulfuric acid to elute aluminum and magnesium of montmorillonite to obtain excess silicic acid having a surface with many pores. As the synthetic zeolite, for example, a gel formed by mixing a sodium silicate solution and a sodium aluminate solution and then dried and pulverized is used. As the activated carbon, for example, a material obtained by activating a raw material carbide with steam or a chemical is used.
【００３２】これらの粉末は酸に侵されにくい性質を有
することが耐久性等の観点から好ましい。またこれらの
粉末は細孔を有しており比表面積が大きいことから、ア
ンモニア固定化剤によるアンモニアの固定化や後述する
水系媒体の浸透等においてより一層の効果が得られる。
さらに例示したような粉末の中でも無機系の粉末を用い
ると、アンモニア固定化剤を担持した後に高温でのベー
キングが可能となり、空気浄化時に問題となる不純物ガ
スを予め除去する観点から好ましい。It is preferable that these powders have a property of being hardly attacked by an acid from the viewpoint of durability and the like. In addition, since these powders have pores and a large specific surface area, further effects can be obtained in immobilization of ammonia by an ammonia immobilizing agent, permeation of an aqueous medium described later, and the like.
Further, among the powders exemplified above, the use of an inorganic powder enables baking at a high temperature after carrying the ammonia fixing agent, and is preferable from the viewpoint of previously removing impurity gas which is a problem during air purification.
【００３３】前述した粉末の担体を用いる場合では、粉
末のまま用いても良いし、所定の形状に加工して用いて
も良い。加工としては造粒を例示することができる。こ
のような加工によれば、粉末状よりもさらに扱いやすい
剤型で粉末と同等の性状を有する担体を形成することが
できる。When the above-mentioned powder carrier is used, it may be used as it is or may be processed into a predetermined shape before use. Granulation can be exemplified as the processing. According to such processing, a carrier having properties equivalent to powder can be formed in a dosage form that is easier to handle than powder.
【００３４】前述した加工においては、粉末同士の固着
を補助するためにバインダを用いても良い。このような
バインダとしては、粉末の加工（例えば造粒等）で用い
られる公知のバインダを用いることができるが、耐熱性
や耐久性、さらにはガス状汚染物質の発生防止等の観点
から、有機系バインダよりも無機系バインダを用いるこ
とが好ましい。このような無機系バインダとしては、例
えばタルク、カオリン鉱物、ベントナイト、けいそう
土、シリカ、アルミナ、シリカとアルミナの混合物、ケ
イ酸アルミニウム、活性アルミナ、多孔質ガラス、リボ
ン状構造の含水ケイ酸マグネシウム、及び合成ゼオライ
ト等を例示することができる。バインダには市販品を用
いることができ、必要に応じて一種又は二種以上が用い
られる。In the above-described processing, a binder may be used to assist in fixing the powders together. As such a binder, known binders used in powder processing (eg, granulation) can be used. However, from the viewpoints of heat resistance, durability, and prevention of generation of gaseous pollutants, organic binders are used. It is preferable to use an inorganic binder rather than a system binder. Examples of such an inorganic binder include talc, kaolin mineral, bentonite, diatomaceous earth, silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate, activated alumina, porous glass, and hydrated magnesium silicate having a ribbon-like structure. , And synthetic zeolites. Commercially available binders can be used, and one or two or more binders are used as necessary.
【００３５】前記水系媒体は銀イオンを含むものであれ
ば特に限定されない。なお本発明における水系媒体とは
水を主成分とする媒体であって、銀イオンを含むことの
できるものをいう。例えば水系媒体としては、金属の銀
を溶解できる酸や、銀を含む塩を溶解できる水系媒体も
用いることができる。水系媒体には銀イオンの含有を妨
げない範囲において、分散剤等の種々の添加物を添加し
ても良い。The aqueous medium is not particularly limited as long as it contains silver ions. The aqueous medium in the present invention is a medium containing water as a main component and can contain silver ions. For example, as the aqueous medium, an acid capable of dissolving metallic silver or an aqueous medium capable of dissolving a salt containing silver can be used. Various additives such as a dispersant may be added to the aqueous medium as long as the addition of silver ions is not hindered.
【００３６】前記銀イオンは、その供給源となる物質を
水系媒体の物性に応じて水系媒体に投入することで発生
する。銀イオンの供給源となる物質としては、例えば銀
イオンの供給源となる銀そのものや、水系媒体中で溶解
して銀イオンを放出する銀化合物等を挙げることができ
る。銀化合物としては、例えば硫酸銀や硝酸銀等を好ま
しい銀化合物として挙げることができる。また銀化合物
は一種又は二種以上を用いても良い。The silver ions are generated when a substance serving as a supply source is charged into an aqueous medium according to the physical properties of the aqueous medium. Examples of the substance serving as a supply source of silver ions include silver itself serving as a supply source of silver ions, and a silver compound which dissolves in an aqueous medium to release silver ions. As the silver compound, for example, silver sulfate, silver nitrate and the like can be mentioned as preferable silver compounds. One or more silver compounds may be used.
【００３７】銀イオンを含む水系媒体は、市販品の銀化
合物を水系媒体に添加することでも調製することがで
き、酸に銀を添加することでも調製することができる。
銀イオンを含む水系媒体の調製については、銀イオンの
供給源となる物質の種類や、アンモニア固定化剤や担体
等、本発明で用いられる材料中に不純物として含まれる
塩素化合物の総量によって異なるが、前記材料中の塩素
化合物の総量に応じて適当量の銀イオンが含まれるよう
に前記水系媒体を調製することが好ましい。The aqueous medium containing silver ions can also be prepared by adding a commercially available silver compound to the aqueous medium, and can also be prepared by adding silver to an acid.
The preparation of the aqueous medium containing silver ions varies depending on the type of the substance serving as the supply source of silver ions, the amount of the chlorine compound contained as an impurity in the material used in the present invention, such as the ammonia immobilizing agent and the carrier. Preferably, the aqueous medium is prepared so that an appropriate amount of silver ions is contained in accordance with the total amount of chlorine compounds in the material.
【００３８】アンモニア固定化剤を担体に担持させる際
の水系媒体は、アンモニア固定化剤及び前述した銀化合
物を水に添加したものでも良いし、アンモニア固定化剤
として無機酸塩を用いる場合では、酸に銀を投入し、無
機酸塩に対応する塩基を余剰の酸と中和させたものでも
良い。The aqueous medium for carrying the ammonia fixing agent on the carrier may be the one obtained by adding the ammonia fixing agent and the above-mentioned silver compound to water, or in the case of using an inorganic acid salt as the ammonia fixing agent, Silver may be added to the acid, and the base corresponding to the inorganic acid salt may be neutralized with excess acid.
【００３９】アンモニア固定化剤は、アンモニア固定化
剤に対する担体の担持能力やアンモニア固定化剤の物性
及びアンモニア固定化能力等に応じて必要量を水系媒体
に添加すれば良い。また銀イオンについては、アンモニ
ア固定化剤及び担体に不純物として含まれる塩化物イオ
ンの量に応じて、この塩化物イオンに対して等量以上の
銀イオンが水系媒体中に生じるように銀イオンの供給源
を水系媒体に添加すれば良い。また必要に応じて水系媒
体を加熱しても良い。なお担体は予め脱水処理して乾燥
させておくことが好ましい。The ammonia immobilizing agent may be added to the aqueous medium in a necessary amount according to the ability of the carrier to support the ammonia immobilizing agent, the physical properties of the ammonia immobilizing agent, the ammonia immobilizing ability, and the like. Further, with respect to silver ions, depending on the amount of chloride ions contained as impurities in the ammonia immobilizing agent and the carrier, silver ions are formed so that an equivalent amount or more of silver ions is generated in the aqueous medium with respect to the chloride ions. What is necessary is just to add a supply source to an aqueous medium. Moreover, you may heat an aqueous medium as needed. The carrier is preferably dehydrated and dried in advance.
【００４０】また担体を造粒してペレット等に加工する
場合では、加工前の担体にアンモニア固定化剤を銀イオ
ン存在下の水系媒体中で担持させ、その後に担体の加工
を行っても良いし、加工済みの担体にアンモニア固定化
剤を銀イオン存在下の水系媒体中で担持させても良い
が、前述したバインダを用いる場合などではバインダ中
に不純物として含まれる塩化物に由来する塩化水素の発
生を防止する観点から、加工後の担体にアンモニア固定
化剤を銀イオン存在下の水系媒体中で担持させることが
好ましい。When the carrier is granulated and processed into pellets or the like, the carrier before processing may be loaded with an ammonia fixing agent in an aqueous medium in the presence of silver ions, and then the carrier may be processed. Alternatively, the ammonia-fixing agent may be supported on the processed carrier in an aqueous medium in the presence of silver ions. However, in the case of using the above-described binder, hydrogen chloride derived from chloride contained as an impurity in the binder is used. From the viewpoint of preventing the generation of water, it is preferable to carry the ammonia immobilizing agent on the carrier after processing in an aqueous medium in the presence of silver ions.
【００４１】以下に本発明の吸着剤における製造方法の
一例を紹介する。イオン交換樹脂を用いケイ酸ソーダか
らナトリウムを除去し、残ったシリカを分散剤やｐＨ調
整剤などの安定化剤によって粒子化する。このシリカゾ
ルにアンモニア固定化剤及び銀化合物を混合、溶解す
る。アンモニア固定化剤や銀化合物の溶解度が小さい場
合では混合液を加熱しても良い。この混合懸濁液から水
分を留去させると、アンモニア固定化剤と銀化合物とを
担体上に添着させた本発明の吸着剤が得られる。An example of the method for producing the adsorbent of the present invention will be described below. Sodium silicate is removed from the sodium silicate using an ion exchange resin, and the remaining silica is formed into particles by a stabilizer such as a dispersant or a pH adjuster. An ammonia fixing agent and a silver compound are mixed and dissolved in the silica sol. If the solubility of the ammonia fixing agent or the silver compound is low, the mixture may be heated. When water is distilled off from the mixed suspension, an adsorbent of the present invention in which an ammonia fixing agent and a silver compound are impregnated on a carrier is obtained.
【００４２】なお担体を別途用意しておき、担体を水系
媒体に投入する場合では、担体を脱水処理して乾燥させ
た状態で水系媒体に大気圧下の雰囲気で浸漬すると、両
薬剤が担体の細孔内部まで容易に浸透することから好ま
しい。When a carrier is separately prepared and the carrier is introduced into an aqueous medium, the carrier is dehydrated and dried, and then immersed in an aqueous medium at atmospheric pressure, and both agents are converted to the carrier. It is preferable because it easily penetrates into the inside of the pores.
【００４３】＜空気浄化フィルタ＞本発明の空気浄化フ
ィルタは、通気路内に吸着剤を支持するための支持体の
表面に前述した吸着剤を有する。<Air Purification Filter> The air purification filter of the present invention has the above-mentioned adsorbent on the surface of a support for supporting the adsorbent in the ventilation path.
【００４４】前記支持体には従来より知られている種々
の支持体を用いることができる。このような支持体とし
ては例えばセラミックペーパ素材のハニカム構造体、ロ
ックウール素材の三次元網目構造体、ウレタン樹脂素材
の海綿状構造体等を例示することができるが、ハニカム
構造体であることが浄化対象となる空気と吸着剤との接
触面積を大きくし、浄化対象空気の流量や浄化対象空気
と吸着剤との接触面積を制御し、かつ通気に際して圧力
損失を少なくする上で好ましい。なお吸着剤は支持体の
断面平面方向のみならず支持体の奥行き方向にも固着さ
せることが好ましい。Various conventionally known supports can be used as the support. Examples of such a support include a honeycomb structure made of a ceramic paper material, a three-dimensional network structure made of a rock wool material, a spongy structure made of a urethane resin material, and the like, and the honeycomb structure may be used. This is preferable for increasing the contact area between the air to be purified and the adsorbent, controlling the flow rate of the air to be purified and the contact area between the air to be purified and the adsorbent, and reducing the pressure loss during ventilation. The adsorbent is preferably fixed not only in the cross-sectional plane direction of the support but also in the depth direction of the support.
【００４５】なお本発明においてハニカム構造体とは、
いわゆる蜂の巣構造の他、断面が格子状、波形状などの
単位形状の繰り返し構造を有し、この繰り返し構造によ
って構成されるセルを空気が通過しうる構造の全てを含
む。In the present invention, the honeycomb structure is
In addition to the so-called honeycomb structure, the cross-section has a repetitive structure of a unit shape such as a lattice shape or a wavy shape, and includes all structures that allow air to pass through cells formed by the repetitive structure.
【００４６】また支持体としては前述したように種々の
構成が適用できるが、無機材料で構成されていると耐熱
性や耐久性等の観点から好ましく、吸着剤を固着する前
に支持体を加熱処理することが、汚染物質となりうるガ
ス状物質の除去等の観点からより好ましい。As the support, various structures can be applied as described above. However, it is preferable that the support is made of an inorganic material from the viewpoint of heat resistance and durability, and the support is heated before the adsorbent is fixed. The treatment is more preferable from the viewpoint of removing gaseous substances that can be pollutants.
【００４７】また支持体は、銀イオンの存在下で処理さ
れていることが塩化水素の発生を防止する上で好まし
く、銀イオン存在下での処理としては例えば前述した水
系媒体への浸漬及び乾燥を挙げることができる。The support is preferably treated in the presence of silver ions in order to prevent generation of hydrogen chloride. Examples of the treatment in the presence of silver ions include immersion in an aqueous medium and drying as described above. Can be mentioned.
【００４８】また本発明の空気浄化フィルタは、前記し
た吸着剤及び支持体以外の構成を有していても良く、こ
のような構成要素としては、例えば浄化対象の空気の通
気路を形成し、通気路内に支持体を固定するケーシング
等を例示することができる。ケーシングの素材としては
アルミニウムのようにガス状有機物を発生せず、かつ可
燃物を含まない素材であることが好ましい。The air purification filter of the present invention may have a configuration other than the adsorbent and the support described above. Such components include, for example, a ventilation path for air to be purified, A casing or the like for fixing the support in the ventilation path can be exemplified. The material of the casing is preferably a material that does not generate gaseous organic substances and does not contain flammable substances, such as aluminum.
【００４９】次に前述した空気浄化フィルタの製造例を
説明する。まずセラミック繊維、ガラス繊維、シリカ繊
維、及びアルミナ繊維等の無機繊維と、パルプ及び溶融
ビニロン等の有機材料と、ケイ酸カルシウムの三つの材
料を１：１：１の等重量で配合し、湿式抄紙法により約
０．３ｍｍの厚みに抄造する。なおケイ酸カルシウムの
代わりにケイ酸マグネシウムを主成分とするセピオライ
トやパリゴルスカイト等の繊維状結晶の粘土鉱物を使用
しても良い。Next, an example of manufacturing the above-described air purification filter will be described. First, an inorganic fiber such as ceramic fiber, glass fiber, silica fiber, and alumina fiber, an organic material such as pulp and molten vinylon, and three materials of calcium silicate are blended at an equal weight of 1: 1: 1 and wet-processed. The paper is formed to a thickness of about 0.3 mm by a papermaking method. Instead of calcium silicate, a clay mineral of fibrous crystal such as sepiolite or palygorskite containing magnesium silicate as a main component may be used.
【００５０】この抄造シートをコルゲータによって波形
加工し波形シートを製造し、一方では抄造シートを薄板
形状に抄造して薄板シートを製造し、波形シートを薄板
シートに接着剤で接着することによりハニカム構造体を
得る。The paper sheet is corrugated by a corrugator to produce a corrugated sheet. On the other hand, the paper sheet is formed into a thin plate to produce a thin sheet, and the corrugated sheet is bonded to the thin sheet with an adhesive to form a honeycomb structure. Get the body.
【００５１】このハニカム構造体を電気炉に入れて約４
００℃で一時間程度の熱処理を行い、有機質成分を構造
体から除去する。有機質成分が除去されたハニカム構造
体の表面には無数のミクロンサイズの陥没穴が残り、多
孔性のハニカム構造体が得られる。このハニカム構造体
を、前述した本発明の吸着剤を含む懸濁混合液に浸漬
し、約２００℃で一時間程度の熱処理を行い乾燥させる
ことにより本発明の空気浄化フィルタを製造することが
できる。The honeycomb structure was placed in an electric furnace,
A heat treatment is performed at 00 ° C. for about one hour to remove organic components from the structure. Countless micron-sized depression holes remain on the surface of the honeycomb structure from which the organic components have been removed, and a porous honeycomb structure can be obtained. The honeycomb structure is immersed in the above-described suspension mixture containing the adsorbent of the present invention, and is subjected to a heat treatment at about 200 ° C. for about one hour to be dried, whereby the air purification filter of the present invention can be manufactured. .
【００５２】なお前記懸濁液には、支持体への吸着剤の
固着を補助する固着補助剤を必要に応じて添加しても良
い。このような固着補助剤も無機物であることが好まし
く、例えばケイ酸ソーダ、シリカ、及びアルミナ等を例
示することができる。If necessary, a fixation aid for assisting the fixation of the adsorbent to the support may be added to the suspension. Such a fixing aid is also preferably an inorganic substance, and examples thereof include sodium silicate, silica, and alumina.
【００５３】本発明では、接着剤を塗布した支持体に前
述した本発明の吸着剤を気流により吹き付けることによ
っても本発明の空気浄化フィルタを製造することができ
るが、このような接着剤から加水分解によって塩化水素
が発生するおそれもあり、塩化水素の発生をより確実に
防止する観点から、より優れた製造方法を本発明の製造
方法として以下に示す。In the present invention, the air purifying filter of the present invention can also be produced by spraying the above-mentioned adsorbent of the present invention on a support coated with an adhesive by an air current. Hydrogen chloride may be generated by decomposition, and a more excellent production method is shown below as the production method of the present invention from the viewpoint of more reliably preventing the generation of hydrogen chloride.
【００５４】＜空気浄化フィルタの製造方法＞本発明に
おける空気浄化フィルタの製造方法は、吸着剤や空気浄
化フィルタの材料を、銀イオンを含む水系媒体中で混
合、分散させ、この混合物を必要に応じて所定の形状に
成形し、乾燥することで、塩化水素の発生を防止する空
気浄化フィルタを製造する。<Production Method of Air Purification Filter> The production method of the air purification filter of the present invention involves mixing and dispersing the adsorbent and the material of the air purification filter in an aqueous medium containing silver ions, and making this mixture necessary. An air purifying filter that prevents the generation of hydrogen chloride is manufactured by molding into a predetermined shape and drying.
【００５５】前記空気浄化フィルタの製造方法は、吸着
剤の製造と支持体の成形とを行う方法であっても良く、
具体的には銀イオンを含む水系媒体中でアンモニア固定
化剤と担体と支持体の材料とを混合し、この混合物を所
定の形状に成形する方法であると、銀イオンによる塩素
の固定化がなされた成形品が得られ、支持体を材料から
製造する場合に空気浄化フィルタの製造工程をより簡略
化する上で好ましい。The method for producing the air purification filter may be a method for producing an adsorbent and molding a support.
Specifically, in a method of mixing an ammonia fixing agent, a carrier, and a material of a support in an aqueous medium containing silver ions, and forming the mixture into a predetermined shape, the fixation of chlorine by silver ions is difficult. It is preferable to obtain a molded article and to simplify the manufacturing process of the air purification filter when the support is manufactured from a material.
【００５６】前記混合物の成形は、前述した空気浄化フ
ィルタにおける支持体と同様に行うことができる。例え
ばセラミック繊維、パルプ、ケイ酸カルシウムを１：
１：１の割合で混合したものに硫酸銀、無機酸塩（アン
モニア固定化剤）及びけいそう土を加え、さらに水を添
加して混練し、スラリー状の混合物を得る。このスラリ
ー状の混合物を波形板や平板等の型板に敷き延べ、この
状態で焼成炉に入れて適温（例えば１５０〜４００℃）
で焼成し、得られた波形焼成品と平板焼成品又は波形焼
成品同士を接着剤で接着する。接着に際しては波形焼成
品の断面における頂部に接着剤を塗布して接着する。波
形焼成品同士を接着する場合では前記頂部同士を接着し
ても良い。また接着剤に有機物が含まれる場合では、接
着して得られたフィルタを上記温度でさらにベーキング
し、有機成分を除去することが好ましい。The molding of the mixture can be carried out in the same manner as the support in the air purification filter described above. For example, ceramic fiber, pulp, calcium silicate:
Silver sulfate, an inorganic acid salt (ammonia fixing agent) and diatomaceous earth are added to the mixture at a ratio of 1: 1. Water is further added and kneaded to obtain a slurry-like mixture. This slurry-like mixture is spread on a template such as a corrugated plate or a flat plate, and placed in a baking furnace in this state, and put into an appropriate temperature (for example, 150 to 400 ° C.).
And the resulting corrugated product and the flat plate product or the corrugated product are bonded to each other with an adhesive. At the time of bonding, an adhesive is applied to the top of the cross section of the corrugated product and bonded. When the corrugated products are bonded together, the tops may be bonded together. When the adhesive contains an organic substance, it is preferable that the filter obtained by bonding is further baked at the above temperature to remove the organic component.
【００５７】また前記空気浄化フィルタの製造方法は、
吸着剤の製造と吸着剤の支持体への固着とを行う方法で
あっても良く、具体的には銀イオンを含む水系媒体中で
アンモニア固定化剤と担体とを混合し、この水系媒体中
に支持体を浸漬し、水系媒体から支持体を取り出して乾
燥させる方法であると、支持体として成形品を用いる場
合に空気浄化フィルタの製造工程をより簡略化する上で
好ましい。The method for manufacturing the air purification filter is as follows.
A method of producing the adsorbent and fixing the adsorbent to the support may be used. Specifically, the ammonia immobilizing agent and the carrier are mixed in an aqueous medium containing silver ions, and the aqueous medium is mixed. The method in which the support is immersed in an aqueous medium and the support is taken out from the aqueous medium and dried is preferable in the case of using a molded article as the support in order to further simplify the manufacturing process of the air purification filter.
【００５８】また前記空気浄化フィルタの製造方法は、
空気浄化フィルタの構成要素に吸着剤成分を添着させる
方法であっても良く、具体的にはアンモニア固定化剤と
銀イオンとを含む水系媒体に担体を表面に固着させた支
持体を浸漬し、水系媒体から支持体を取り出して乾燥さ
せる方法であると、空気浄化フィルタ表面において塩素
を固定化することができ好ましい。支持体上への担体の
固着は、接着剤を塗布した支持体への担体の吹き付けで
あっても良いし、担体を含む懸濁液への支持体の浸漬及
び乾燥であっても良い。また担体の固着には、必要に応
じて支持体へ担体を固着させるために前述したバインダ
や固着補助剤等を用いても良い。なお上記の製造方法に
よれば使用された空気浄化フィルタを再生することも可
能である。Further, the method for manufacturing the air purification filter is as follows.
It may be a method of adsorbing the adsorbent component to the components of the air purification filter, specifically, immersing the support having the carrier fixed on the surface thereof in an aqueous medium containing an ammonia fixing agent and silver ions, The method of taking out the support from the aqueous medium and drying it is preferable because chlorine can be fixed on the surface of the air purification filter. The fixation of the carrier on the support may be spraying of the carrier on the support coated with an adhesive, or immersion and drying of the support in a suspension containing the carrier. For fixing the carrier, the above-mentioned binder, fixing auxiliary agent, or the like may be used to fix the carrier to the support as necessary. According to the above manufacturing method, it is possible to regenerate the used air purification filter.
【００５９】前述した本発明の製造方法によれば、空気
浄化フィルタの製造工程においていかなる工程からで
も、塩化水素の発生を防止する空気浄化フィルタを製造
することができる。なお本製造方法で用いられる空気浄
化フィルタ等の構成要素については、前述した吸着剤及
び空気浄化フィルタと同様である。According to the manufacturing method of the present invention described above, it is possible to manufacture an air purification filter for preventing generation of hydrogen chloride from any process in the air purification filter manufacturing process. The components such as an air purification filter used in the present manufacturing method are the same as those of the above-described adsorbent and air purification filter.
【００６０】[0060]
【実施例】＜実施例１＞けいそう土、シリカ、アルミ
ナ、シリカとアルミナの混合物、ケイ酸アルミニウム、
活性アルミナ、多孔質ガラス、活性白土、活性ベントナ
イト、合成ゼオライト、及び活性炭の各素材について、
重量基準の平均粒子径が１０μｍの粉末を準備した。こ
れらの粉末をそれぞれ硫酸アルミニウム及び硫酸銀を含
む水溶液に浸漬し、粉末を水溶液から取り出して乾燥す
ることにより吸着剤を生成した。なお粉末１ｋｇに対し
て硫酸アルミニウムは１ｋｇを用い、硫酸銀は硫酸アル
ミニウムに対して重量で０．０〜０．２％を用いた。<Example 1> Diatomaceous earth, silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate,
For each material of activated alumina, porous glass, activated clay, activated bentonite, synthetic zeolite, and activated carbon,
A powder having a weight-based average particle diameter of 10 μm was prepared. Each of these powders was immersed in an aqueous solution containing aluminum sulfate and silver sulfate, and the powder was taken out of the aqueous solution and dried to produce an adsorbent. In addition, 1 kg of aluminum sulfate was used for 1 kg of powder, and 0.0 to 0.2% by weight of silver sulfate was used for aluminum sulfate.
【００６１】一方で内部断面積１０ｃｍ2、厚み５ｍｍ
の円筒状ガラスの開口部を通気性のある濾紙製の粒子除
去フィルタで塞ぎ、充填層を作製した。充填層にはそれ
ぞれの吸着剤を充填し、吸着剤充填層を作製した。On the other hand, the internal sectional area is 10 cm 2 and the thickness is 5 mm
Of the cylindrical glass was closed with a gas-permeable filter for removing particles made of filter paper to form a packed layer. Each of the adsorbents was filled in the packed layer to prepare an adsorbent filled layer.
【００６２】作製した吸着剤充填層を図１に示す測定装
置に設置した。この測定装置は図１に示すようにクリー
ンルームエアの供給源と、この供給源から二つに分岐し
再び合流する通気路と、分岐前の通気路にアンモニアを
供給するアンモニア発生器と、合流後の通気路に設けら
れた真空ポンプとを有しており、各分岐通路には充填層
を設置することができ、充填層よりも下流側の分岐通路
には塩化水素濃度計とアンモニア濃度計と流量計とが設
けられている。The prepared adsorbent-filled layer was set in the measuring apparatus shown in FIG. As shown in FIG. 1, the measuring device includes a supply source of clean room air, a ventilation path that branches from the supply source into two, and joins again, an ammonia generator that supplies ammonia to a ventilation path before branching, A vacuum pump provided in the ventilation path of each of them, and a packed bed can be installed in each branch passage, and a hydrogen chloride concentration meter and an ammonia concentration meter are provided in a branch passage downstream of the packed bed. A flow meter is provided.
【００６３】この測定装置によるアンモニア濃度及び塩
化水素濃度の測定に際しては、クリーンルームエアにア
ンモニア発生器からアンモニアを供給、混合する。クリ
ーンルームエアの供給量は６リットル／minとし、アンモニ
アの供給はバルブの開閉によりアンモニア濃度が１０ｐ
ｐｂとなるように調整した。また各分岐通路にはアンモ
ニア濃度が１０ｐｐｂのクリーンルームエアが各３リットル
／minずつ流れるように調整した。なおクリーンルーム
エアの実験系への導入は真空ポンプにより行った。When the ammonia concentration and the hydrogen chloride concentration are measured by this measuring device, ammonia is supplied to and mixed with clean room air from an ammonia generator. The supply amount of clean room air is 6 liters / min, and the supply of ammonia is 10 p
It was adjusted to be pb. In addition, adjustment was made such that clean room air having an ammonia concentration of 10 ppb flows through each branch passage at a rate of 3 liters / min. The clean room air was introduced into the experimental system by a vacuum pump.
【００６４】一方の分岐通路には前述した吸着剤充填層
を配置し、もう一方の通気路には空の充填層を配置し、
それぞれの充填層を通過した空気中のアンモニア濃度と
塩化水素濃度をそれぞれのアンモニア濃度計及び塩化水
素濃度計で測定した。The above-mentioned adsorbent packed layer is arranged in one branch passage, and the empty packed bed is arranged in the other ventilation passage.
The ammonia concentration and the hydrogen chloride concentration in the air that passed through each packed bed were measured with the respective ammonia concentration meters and hydrogen chloride concentration meters.
【００６５】アンモニアについては、吸着剤充填層の上
流側及び下流側のアンモニア濃度を測定し、アンモニア
濃度の測定値からアンモニア除去率を下記式から算出し
た。なお測定に際しては空の充填層を通過した空気中の
アンモニア濃度を、吸着剤充填層の上流側における空気
中のアンモニア濃度とした。As for ammonia, the ammonia concentration on the upstream side and the downstream side of the adsorbent packed bed was measured, and the ammonia removal rate was calculated from the measured value of the ammonia concentration by the following equation. At the time of measurement, the ammonia concentration in the air that passed through the empty packed bed was defined as the ammonia concentration in the air upstream of the adsorbent packed bed.
【数１】 (Equation 1)
【００６６】また塩化水素については、吸着剤充填層の
下流側における塩化水素濃度を測定した。なお本測定に
おいて、吸着剤充填層上流側における塩化水素濃度は１
０ｐｐｔ以下であった。本測定によるアンモニア除去率
及び塩化水素濃度を表１に示す。For hydrogen chloride, the concentration of hydrogen chloride was measured on the downstream side of the adsorbent packed bed. In this measurement, the hydrogen chloride concentration upstream of the adsorbent packed bed was 1
It was 0 ppt or less. Table 1 shows the ammonia removal rate and the hydrogen chloride concentration according to this measurement.
【００６７】[0067]
【表１】 [Table 1]
【００６８】表１から明らかなように、硫酸銀を用いな
かった場合、すなわち粉末１ｋｇに対して硫酸アルミニ
ウムを１ｋｇ用いただけの場合では、素材Ｂ、Ｅ、Ｈを
用いた吸着剤は塩化水素濃度（塩素脱離量）が０．７ｐ
ｐｂであり、それ以外の素材Ａ、Ｃ、Ｄ、Ｆ、Ｇ、Ｉ、
Ｊ、Ｋを用いて同様に作製した吸着剤よりも塩素脱離量
が多い。しかし、それでも硫酸銀を硫酸アルミニウム１
ｋｇに対してせいぜい０．８ｇを添加すれば全ての塩化
物イオンＣｌ-を塩化銀という加水分解しない塩として
固定化することができ、下流側への塩化水素の脱離を完
全に防止することができた。As is clear from Table 1, when silver sulfate was not used, that is, when only 1 kg of aluminum sulfate was used for 1 kg of powder, the adsorbent using the materials B, E, and H exhibited a hydrogen chloride concentration. (Chlorine desorption amount) 0.7p
pb and other materials A, C, D, F, G, I,
The amount of chlorine desorbed is larger than that of the adsorbent similarly prepared using J and K. However, silver sulfate is still converted to aluminum sulfate 1
All chloride ion Cl if most added 0.8g relative kg - a can be immobilized as a salt that does not hydrolyze as silver chloride, the elimination of hydrogen chloride to the downstream side can be completely prevented Was completed.
【００６９】なお硫酸銀０．８ｇは０．００２６モルに
相当する。硫酸銀を用いることにより、化学式（６）よ
り硫酸銀のモル数の２倍、すなわち０．００５２モルの
塩化物イオンを塩化銀という加水分解しない塩として固
定化することができる。Incidentally, 0.8 g of silver sulfate corresponds to 0.0026 mol. By using silver sulfate, it is possible to immobilize twice the number of moles of silver sulfate, that is, 0.0052 moles of chloride ion as silver chloride, which is not hydrolyzed, according to the chemical formula (6).
【００７０】＜実施例２＞本実施例ではアンモニア固定
化剤として硫酸アルミニウム及び硝酸アルミニウムを、
また銀化合物として硫酸銀及び硝酸銀を使用して実施例
１と同様に吸着剤を作製し、アンモニア除去率及び塩化
水素濃度を測定した。本実施例では硫酸アルミニウムと
硝酸銀、硝酸アルミニウムと硫酸銀、硝酸アルミニウム
と硝酸銀の三通りの組み合わせについて測定を行った。<Example 2> In this example, aluminum sulfate and aluminum nitrate were used as ammonia fixing agents.
An adsorbent was prepared in the same manner as in Example 1 using silver sulfate and silver nitrate as silver compounds, and the ammonia removal rate and hydrogen chloride concentration were measured. In this example, the measurement was performed for three combinations of aluminum sulfate and silver nitrate, aluminum nitrate and silver sulfate, and aluminum nitrate and silver nitrate.
【００７１】その結果、硫酸アルミニウムの代わりに硝
酸アルミニウムを用いた場合、つまり各素材Ａ〜Ｋのそ
れぞれの１ｋｇに硝酸アルミニウム１ｋｇを添着させた
吸着剤のアンモニア除去率は８３〜９７％の範囲に分布
し、硫酸アルミニウムと硝酸アルミニウムとではアンモ
ニアを除去する能力においてほとんど変わりはなかっ
た。As a result, when aluminum nitrate was used instead of aluminum sulfate, that is, the ammonia removal rate of the adsorbent obtained by impregnating 1 kg of each of the raw materials A to K with 1 kg of aluminum nitrate was in the range of 83 to 97%. Aluminum sulfate and aluminum nitrate had little change in their ability to remove ammonia.
【００７２】さらに硫酸銀と硝酸銀のいずれも加えない
場合では０．５〜０．７ｐｐｂの塩化水素が吸着剤充填
層の下流側で検出されたが、硫酸銀を０．８ｇ（０．０
０２６モル）以上、又は硝酸銀を０．９ｇ（０．００５
１モル）以上加えれば、充填層よりも下流側への塩化水
素の脱離は完全に防止することができた。なお銀イオン
Ａｇ+と塩化物イオンＣｌ-は等量で反応するから、各素
材１ｋｇに対して硝酸アルミニウム１ｋｇを用いた吸着
剤に含まれるＣｌ-はせいぜい０．００５１モルである
ことがわかる。Further, when neither silver sulfate nor silver nitrate was added, 0.5 to 0.7 ppb of hydrogen chloride was detected downstream of the adsorbent packed bed.
026 mol) or more, or 0.9 g (0.005
1 mol) or more, the elimination of hydrogen chloride downstream of the packed bed could be completely prevented. Since silver ions Ag + and chloride ions Cl − react in equal amounts, it can be seen that Cl − contained in the adsorbent using 1 kg of aluminum nitrate is at most 0.0051 mol per 1 kg of each material.
【００７３】＜実施例３＞本実施例では本発明の吸着剤
を用いて空気浄化フィルタを製造した。本実施例の空気
浄化フィルタは図２に示すように、本発明の吸着剤を表
面に有しコルゲートハニカム構造のセラミックペーパで
形成した支持体１２と、この支持体１２の周囲に設けら
れ通気路を形成する外枠（ケーシング）とを有してい
る。Example 3 In this example, an air purification filter was manufactured using the adsorbent of the present invention. As shown in FIG. 2, the air purification filter of this embodiment has a support 12 formed of ceramic paper having a corrugated honeycomb structure having the adsorbent of the present invention on its surface, and a ventilation passage provided around the support 12. And an outer frame (casing) forming the same.
【００７４】支持体１２は浄化対象となる空気の通気路
に沿って波形を単位形状とする断面が連続して形成され
るように、波形シート１０と薄板シート１１とを積層す
ることにより構成されている。外枠は外枠板１５ａ〜１
５ｄを波形断面が連続する奥行き方向に沿って支持体１
２の周囲にそれぞれ接着することにより構成されてい
る。接着剤には塩化物イオンが含まれていないもの（例
えばエポキシ樹脂系接着剤）を用いる。The support 12 is formed by laminating the corrugated sheet 10 and the thin sheet 11 so that a cross section having a unit shape of a waveform is continuously formed along the air passage of the air to be purified. ing. Outer frame is outer frame plate 15a-1
5d is the support 1 along the depth direction where the corrugated section is continuous.
2 are bonded to each other. An adhesive containing no chloride ion (for example, an epoxy resin adhesive) is used.
【００７５】吸着剤は、担体としてのシリカ粉末にシリ
カゾルやアルミナゾルなどの無機系バインダで粒径０．
３〜０．８ｍｍ程度に固めたペレット２１に硫酸アルミ
ニウム及び硫酸銀を担持したものである。The adsorbent is prepared by adding an inorganic binder such as silica sol or alumina sol to silica powder as a carrier and having a particle diameter of 0.1.
Aluminum pellets and silver sulfate are supported on pellets 21 having a size of about 3 to 0.8 mm.
【００７６】吸着剤は図３に示すように、支持体１２の
表面に隙間なく担持されている。またこの空気浄化フィ
ルタは、図３に示すように支持体１２が形成する筒部
（セル）１７に浄化対象となる空気が流れる構成とされ
ている。As shown in FIG. 3, the adsorbent is carried on the surface of the support 12 without gaps. As shown in FIG. 3, the air purifying filter has a configuration in which air to be purified flows through a cylindrical portion (cell) 17 formed by the support 12.
【００７７】本実施例の空気浄化フィルタは、まずペレ
ット２１を作製し、接着剤を付着させた支持体１２に高
速気流を利用してペレット２１を吹き付け、ペレット２
１を付着した支持体１２を硫酸アルミニウム（又は硝酸
アルミニウム）と硫酸銀（又は硝酸銀）の混合溶液に浸
漬した後、支持体１２を取り出して乾燥し、外枠板をセ
ットすることにより製造される。なおペレット２１はバ
インダで固めてあることから、溶液への浸漬によって崩
れることはない。また硫酸銀（又は硝酸銀）は、銀イオ
ンの当量がペレット付き支持体及び硫酸アルミニウム
（又は硝酸アルミニウム）の全てに含まれる塩化物イオ
ンの総当量を越えるように含まれている。In the air purifying filter of the present embodiment, first, pellets 21 are prepared, and the pellets 21 are sprayed on the support 12 to which the adhesive is adhered by using a high-speed airflow.
After immersing the support 12 to which 1 is attached in a mixed solution of aluminum sulfate (or aluminum nitrate) and silver sulfate (or silver nitrate), the support 12 is taken out, dried, and set by setting an outer frame plate. . Since the pellets 21 are solidified by the binder, they do not collapse by immersion in the solution. Silver sulfate (or silver nitrate) is contained so that the equivalent of silver ions exceeds the total equivalent of chloride ions contained in all of the support with pellets and aluminum sulfate (or aluminum nitrate).
【００７８】＜実施例４＞本発明における空気浄化フィ
ルタの製造方法の一実施例を図４に示す。なお図４にお
いては紙面に対して左側に本実施例の製造方法を示し、
紙面に対して右側に従来の製造方法を示す。まずセラミ
ックペーパを成形加工して作製したコルゲートハニカム
構造体を焼成する。この時点ではハニカム構造体にはＮ
ａＣｌ等の形態で塩化物イオンが含まれている。<Embodiment 4> FIG. 4 shows an embodiment of a method for manufacturing an air purification filter according to the present invention. In FIG. 4, the manufacturing method of this embodiment is shown on the left side with respect to the page of FIG.
The conventional manufacturing method is shown on the right side of the paper. First, a corrugated honeycomb structure manufactured by molding ceramic paper is fired. At this point, the honeycomb structure has N
Chloride ions are contained in a form such as aCl.
【００７９】イオン交換水に担体としてのシリカゲル粉
末と無機系バインダとしてのシリカゾルを混ぜた懸濁液
中に焼成後のコルゲートハニカム構造体を浸漬し、これ
を取り出して乾燥する。この段階のハニカム構造体には
ＮａＣｌ等の形態で塩化物イオンが含まれている。The fired corrugated honeycomb structure is immersed in a suspension obtained by mixing silica gel powder as a carrier and silica sol as an inorganic binder in ion-exchanged water, and is taken out and dried. The honeycomb structure at this stage contains chloride ions in the form of NaCl or the like.
【００８０】上記のハニカム構造体を硫酸アルミニウム
と硫酸銀の混合懸濁液に浸漬し、これを取り出して乾燥
する。この段階のハニカム構造体には塩化物イオンが銀
イオンと反応して塩化銀という加水分解しない塩として
固定化されて含まれる。The above honeycomb structure is immersed in a mixed suspension of aluminum sulfate and silver sulfate, taken out and dried. In the honeycomb structure at this stage, chloride ions react with silver ions and are immobilized and contained as silver chloride which is not hydrolyzed.
【００８１】このハニカム構造体をケーシング内に収納
して空気浄化フィルタとする。この空気浄化フィルタに
クリーンルーム雰囲気を通気すれば雰囲気中のアンモニ
アを除去することができ、かつ下流側への塩化水素の脱
離を防止することができる。The honeycomb structure is housed in a casing to form an air purification filter. By passing a clean room atmosphere through this air purification filter, ammonia in the atmosphere can be removed, and desorption of hydrogen chloride to the downstream side can be prevented.
【００８２】一方で比較のため、従来の空気浄化フィル
タの製造方法を図４右側に示す。シリカゲルとシリカゾ
ルの懸濁液にハニカム構造体を浸漬して乾燥するまでは
本実施例と従来法とは同じように行われている。On the other hand, for comparison, a method for manufacturing a conventional air purification filter is shown on the right side of FIG. Until the honeycomb structure is immersed in a suspension of silica gel and silica sol and dried, the present embodiment and the conventional method are performed in the same manner.
【００８３】従来の空気浄化フィルタでは、上記のハニ
カム構造体を硫酸アルミニウムの溶液に浸漬し、これを
取り出して乾燥する。従来の空気浄化フィルタにおいて
はこの段階で塩化物イオンとアルミニウムイオンが反応
し、塩化アルミニウムという加水分解する塩が生成し、
ハニカム構造体にはこの塩化アルミニウムが含まれてい
る。In a conventional air purification filter, the above-mentioned honeycomb structure is immersed in a solution of aluminum sulfate, taken out and dried. In a conventional air purification filter, chloride ions and aluminum ions react at this stage, and a hydrolyzable salt called aluminum chloride is generated.
The aluminum chloride is contained in the honeycomb structure.
【００８４】したがって従来の空気浄化フィルタでは、
クリーンルーム雰囲気を通気すると雰囲気中のアンモニ
アは除去されるが、塩化アルミニウムが化学式（５）に
基づいて加水分解し、空気浄化フィルタ下流側に塩化水
素が脱離する。Therefore, in the conventional air purification filter,
When a clean room atmosphere is ventilated, ammonia in the atmosphere is removed, but aluminum chloride is hydrolyzed based on the chemical formula (5), and hydrogen chloride is desorbed downstream of the air purification filter.
【００８５】なお、本実施例における空気浄化フィルタ
に塩化水素を含まないクリーンルームエアを通気し、空
気浄化フィルタ下流側でのクリーンルームエア中の塩化
水素濃度を測定した測定結果を図５に示す。また従来の
空気浄化フィルタについても同様に塩化水素濃度を測定
し、その測定結果も合わせて図５に示す。FIG. 5 shows the measurement results obtained by passing clean room air containing no hydrogen chloride through the air purification filter in this embodiment and measuring the concentration of hydrogen chloride in the clean room air downstream of the air purification filter. The hydrogen chloride concentration was similarly measured for a conventional air purification filter, and the measurement results are also shown in FIG.
【００８６】なお塩化水素の検出下限は１０ｐｐｔであ
る。両フィルタのハニカムの目粗さは約３ｍｍ、フィル
タの厚みは５０ｍｍ、通気風速は０．３ｍ／ｓ、温湿度
は２３℃／４０％ＲＨであった。またハニカム１リットル当
たりの素材ごとの重量割合は、セラミックペーパが１０
０ｇ、シリカゲル粉末は１０３ｇ、硫酸アルミニウムが
１３０ｇ、硫酸銀が０．２６ｇ（硫酸銀は本実施例品の
み）であった。The lower limit of detection of hydrogen chloride is 10 ppt. Both filters had a honeycomb roughness of about 3 mm, a filter thickness of 50 mm, a ventilation velocity of 0.3 m / s, and a temperature and humidity of 23 ° C./40% RH. The weight ratio of each material per liter of honeycomb is 10% for ceramic paper.
0 g, silica gel powder was 103 g, aluminum sulfate was 130 g, and silver sulfate was 0.26 g (silver sulfate was only the product of this example).
【００８７】図５に示されるように、本実施例の空気浄
化フィルタでは通気２４時間後以降における塩化水素濃
度は１０ｐｐｔ以下であるが、従来の空気浄化フィルタ
では通気３００時間経過後においても２００ｐｐｔを越
える塩化水素濃度が検出された。As shown in FIG. 5, in the air purification filter of this embodiment, the concentration of hydrogen chloride after 24 hours of ventilation is 10 ppt or less, but in the conventional air purification filter, 200 ppt is maintained even after 300 hours of ventilation. Exceeding hydrogen chloride concentration was detected.
【００８８】本実施例の空気浄化フィルタにおいて通気
当初に１５ｐｐｔの塩化水素が放出された理由として
は、測定までの間に雰囲気中の塩化水素を吸着し、それ
が通気当初に脱離したものと考えられる。The reason why 15 ppt of hydrogen chloride was released at the beginning of ventilation in the air purification filter of the present embodiment is that hydrogen chloride in the atmosphere was adsorbed before the measurement and was desorbed at the beginning of ventilation. Conceivable.
【００８９】なお従来の空気浄化フィルタを超純水中に
浸漬し、従来の空気浄化フィルタから溶出する塩素（Ｃ
ｌ-）量を測定したところ、この測定値から算出した従
来の空気浄化フィルタにおけるハニカム１リットル当たりの
塩化物イオンは１４００μｍｏｌであった。The conventional air purification filter is immersed in ultrapure water, and chlorine (C) eluted from the conventional air purification filter is removed.
l -) was measured with the amount of chloride ion per honeycomb 1 liter of a conventional air purifying filter which is calculated from the measured value was 1400Myumol.
【００９０】[0090]
【発明の効果】本発明の吸着剤によれば、アンモニアを
固定化するアンモニア固定化剤と、アンモニア固定化剤
を担持する担体とを有する吸着剤において、銀イオンを
含む水系媒体中でアンモニア固定化剤を担体に担持させ
たことから、空気中のアンモニアを除去し、かつ空気中
に塩化水素を発生しない吸着剤を提供することができ
る。According to the adsorbent of the present invention, an adsorbent having an ammonia immobilizing agent for immobilizing ammonia and a carrier supporting the ammonia immobilizing agent can be used to fix ammonia in an aqueous medium containing silver ions. Since the agent is supported on the carrier, it is possible to provide an adsorbent that removes ammonia in the air and does not generate hydrogen chloride in the air.
【００９１】また本発明の空気浄化フィルタによれば、
通気路内に吸着剤を支持するための支持体の表面に本発
明の吸着剤を有することから、空気中のアンモニアを除
去し、かつ空気中に塩化水素を発生しない空気浄化フィ
ルタを提供することができる。Further, according to the air purification filter of the present invention,
Provided is an air purification filter that removes ammonia in the air and does not generate hydrogen chloride in the air because the adsorbent of the present invention is provided on the surface of a support for supporting the adsorbent in an air passage. Can be.
【００９２】また本発明の空気浄化フィルタの製造方法
によれば、空気浄化フィルタの製造工程におけるいずれ
かの工程において、空気浄化フィルタの材料が銀イオン
を含む水系媒体中で処理されることから、材料中に不純
物として含まれる塩素化合物を固定化することができ、
空気中のアンモニアを除去し、かつ空気中に塩化水素を
発生しない空気浄化フィルタの製造方法を提供すること
ができる。According to the method for manufacturing an air purification filter of the present invention, the material of the air purification filter is treated in an aqueous medium containing silver ions in any one of the steps of the air purification filter manufacturing process. Chlorine compounds contained as impurities in the material can be immobilized,
It is possible to provide a method of manufacturing an air purification filter that removes ammonia in air and does not generate hydrogen chloride in air.
【００９３】本発明の空気浄化フィルタの製造方法で
は、銀イオンを含む水系媒体中でアンモニア固定化剤と
担体と支持体の材料とを混合し、この混合物を所定の形
状に成形する製造方法であると、支持体の製造から空気
浄化フィルタを製造する場合に空気浄化フィルタの製造
工程をより簡略化することができる。In the method for producing an air purifying filter of the present invention, an ammonia fixing agent, a carrier and a material for a support are mixed in an aqueous medium containing silver ions, and the mixture is formed into a predetermined shape. If it is, when manufacturing an air purification filter from manufacture of a support body, the manufacturing process of an air purification filter can be simplified more.
【００９４】また銀イオンを含む水系媒体中でアンモニ
ア固定化剤と担体とを混合し、この水系媒体中に支持体
を浸漬し、水系媒体から支持体を取り出して乾燥させる
製造方法であると、支持体として成形品を用いる場合に
空気浄化フィルタの製造工程をより簡略化することがで
きる。[0094] Further, according to the production method, an ammonia fixing agent and a carrier are mixed in an aqueous medium containing silver ions, the support is immersed in the aqueous medium, and the support is taken out of the aqueous medium and dried. When a molded article is used as the support, the manufacturing process of the air purification filter can be further simplified.
【００９５】またアンモニア固定化剤と銀イオンとを含
む水系媒体に担体を表面に固着させた支持体を浸漬し、
水系媒体から支持体を取り出して乾燥させる製造方法で
あると、浄化対象空気との接触部分において塩素を固定
化することができ、安価でかつより一層簡略化された空
気浄化フィルタの製造方法を提供することができる。A support having a carrier fixed on its surface is immersed in an aqueous medium containing an ammonia fixing agent and silver ions,
According to the manufacturing method in which the support is taken out from the aqueous medium and dried, chlorine can be fixed in a portion in contact with the air to be purified, and a method for manufacturing an inexpensive and further simplified air purification filter is provided. can do.
【００９６】また本発明では、水系媒体には硫酸銀及び
硝酸銀の少なくともいずれかを含むと、塩化物を固定化
する上でより効果的である。In the present invention, when the aqueous medium contains at least one of silver sulfate and silver nitrate, it is more effective in immobilizing chloride.
【００９７】また本発明ではアンモニア固定化剤は無機
酸塩であり、さらに無機酸塩は硫酸アルミニウム及び硝
酸アルミニウムの少なくともいずれかを含むと、アンモ
ニアを固定化するに当たり有機系ガス等のガス状汚染物
質の発生を防止するなどの観点からより一層効果的であ
る。In the present invention, when the ammonia fixing agent is an inorganic acid salt, and the inorganic acid salt contains at least one of aluminum sulfate and aluminum nitrate, gaseous contaminants such as organic gas or the like may be used to fix ammonia. It is even more effective from the viewpoint of preventing the generation of substances.
【００９８】また本発明では、担体はけいそう土、シリ
カ、アルミナ、シリカとアルミナの混合物、ケイ酸アル
ミニウム、活性アルミナ、多孔質ガラス、活性白土、活
性ベントナイト、合成ゼオライト、及び活性炭の中から
選ばれる少なくとも一種を含む粉末であると、クリーン
ルーム等の清浄空間においてガス状汚染物質とされる各
種物質に対して担体が吸着能を有することから、対象空
気から汚染物質を除去する上でより一層効果的である。In the present invention, the carrier is selected from diatomaceous earth, silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate, activated alumina, porous glass, activated clay, activated bentonite, synthetic zeolite, and activated carbon. If the powder contains at least one of the above, the carrier has an adsorption capacity for various substances that are gaseous pollutants in a clean space such as a clean room, so that it is even more effective in removing pollutants from the target air. It is a target.
【００９９】また本発明では支持体はハニカム構造体で
あると、空気浄化フィルタへの吸着剤の固着量及び空気
浄化フィルタの通気量を制御し、かつ浄化対象空気と吸
着剤との接触性の向上させる上でより一層効果的であ
る。In the present invention, when the support is a honeycomb structure, the amount of adsorbent fixed to the air purification filter and the amount of air flow through the air purification filter are controlled, and the contact between the air to be purified and the adsorbent is controlled. It is even more effective in improving.
【図１】本発明の吸着剤におけるアンモニア除去能力及
び塩化水素発生防止能力を測定する測定装置の概略構成
図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a measuring device for measuring an ammonia removing ability and a hydrogen chloride generation preventing ability of an adsorbent of the present invention.
【図２】本発明の空気浄化フィルタにおける一例を示す
斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of the air purification filter of the present invention.
【図３】図２に示す空気浄化フィルタの要部拡大断面図
である。FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of the air purification filter shown in FIG.
【図４】本発明の空気浄化フィルタの製造方法における
一例及び従来の空気浄化フィルタの製造方法における一
例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a method of manufacturing an air purification filter of the present invention and an example of a method of manufacturing a conventional air purification filter.
【図５】実施例４の空気浄化フィルタ及び従来の空気浄
化フィルタにおけるフィルタ下流側での塩化水素濃度を
示すグラフである。FIG. 5 is a graph showing the concentration of hydrogen chloride on the downstream side of the air purification filter of Example 4 and the conventional air purification filter.
１ 空気浄化フィルタ １０ 波形シート １１ 薄板シート １２ 支持体 １５ａ〜１５ｄ 外枠板 １７ 筒部 ２１ ペレット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Air purification filter 10 Corrugated sheet 11 Thin sheet 12 Supporter 15a-15d Outer frame plate 17 Tube part 21 Pellet
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｄ 53/02 Ｂ０１Ｄ 53/02 Ｚ 53/04 53/04 Ａ Ｂ０１Ｊ 20/08 Ｂ０１Ｊ 20/08 Ｃ 20/20 20/20 Ｄ (72)発明者 五味 弘 神奈川県厚木市王子２−13−10 Ｆターム(参考） 4C080 AA06 BB02 CC08 CC12 HH05 JJ06 KK08 LL02 LL03 MM02 NN02 NN03 NN04 NN05 NN06 QQ03 QQ11 4D012 BA02 BA03 CA09 CA10 CA20 CB01 CB02 CB03 CB04 CG01 CG03 CH05 4D019 AA01 BA01 BA03 BA06 BC05 BC10 CA01 CB04 4G066 AA05B AA20B AA22B AA30B AA47B AA53B AA61B AA63B AA64B AA70B AA71B BA07 CA02 CA29 DA03 FA02 FA03 FA25 FA33 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) B01D 53/02 B01D 53/02 Z 53/04 53/04 A B01J 20/08 B01J 20/08 C 20 / 20 20/20 D (72) Inventor Hiroshi Gomi 2-13-10 Oji, Atsugi-shi, Kanagawa F term (reference) 4C080 AA06 BB02 CC08 CC12 HH05 JJ06 KK08 LL02 LL03 MM02 NN02 NN03 NN04 NN05 NN06 QQ03 QQ11 4D012 BA02 CA09 CA20 CB01 CB02 CB03 CB04 CG01 CG03 CH05 4D019 AA01 BA01 BA03 BA06 BC05 BC10 CA01 CB04 4G066 AA05B AA20B AA22B AA30B AA47B AA53B AA61B AA63B AA64B AA70B AA71 FA03 FA03
Claims (16)
化剤と、アンモニア固定化剤を担持する担体とを有する
吸着剤において、銀イオンを含む水系媒体中でアンモニ
ア固定化剤を担体に担持させたことを特徴とする吸着
剤。1. An adsorbent having an ammonia immobilizing agent for immobilizing ammonia and a carrier supporting the ammonia immobilizing agent, wherein the ammonia immobilizing agent is supported on the carrier in an aqueous medium containing silver ions. An adsorbent characterized by the following.
なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項１記載
の吸着剤。2. The adsorbent according to claim 1, wherein the aqueous medium contains at least one of silver sulfate and silver nitrate.
ることを特徴とする請求項１記載の吸着剤。3. The adsorbent according to claim 1, wherein the ammonia fixing agent is an inorganic acid salt.
酸アルミニウムの少なくともいずれかを含むことを特徴
とする請求項３記載の吸着剤。4. The adsorbent according to claim 3, wherein the inorganic acid salt contains at least one of aluminum sulfate and aluminum nitrate.
とアルミナの混合物、ケイ酸アルミニウム、活性アルミ
ナ、多孔質ガラス、活性白土、活性ベントナイト、合成
ゼオライト、及び活性炭の中から選ばれる少なくとも一
種を含む粉末であることを特徴とする請求項１記載の吸
着剤。5. It comprises at least one selected from diatomaceous earth, silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate, activated alumina, porous glass, activated clay, activated bentonite, synthetic zeolite, and activated carbon. The adsorbent according to claim 1, wherein the adsorbent is a powder.
とアルミナの混合物、ケイ酸アルミニウム、活性アルミ
ナ、多孔質ガラス、活性白土、活性ベントナイト、合成
ゼオライト、及び活性炭の中から選ばれる少なくとも一
種からなる担体に、硫酸アルミニウム及び硝酸アルミニ
ウムの少なくともいずれか一方又は両方と、硫酸銀及び
硝酸銀の少なくともいずれか一方又は両方とを添着させ
た吸着剤。6. At least one selected from diatomaceous earth, silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate, activated alumina, porous glass, activated clay, activated bentonite, synthetic zeolite, and activated carbon. An adsorbent obtained by impregnating a carrier with at least one or both of aluminum sulfate and aluminum nitrate and at least one or both of silver sulfate and silver nitrate.
体の表面に請求項１〜６のいずれか一項に記載の吸着剤
を有する空気浄化フィルタ。7. An air purification filter having the adsorbent according to claim 1 on a surface of a support for supporting the adsorbent in an air passage.
を特徴とする請求項７記載の空気浄化フィルタ。8. The air purification filter according to claim 7, wherein the support is a honeycomb structure.
化剤と、このアンモニア固定化剤を担持する担体と、こ
の担体を表面に有する支持体とから構成される空気浄化
フィルタを製造する方法において、銀イオンを含む水系
媒体中で前記アンモニア固定化剤と前記担体と前記支持
体の材料とを混合し、この混合物を所定の形状に成形す
ることを特徴とする空気浄化フィルタの製造方法。9. A method for producing an air purifying filter comprising an ammonia fixing agent for fixing ammonia, a carrier supporting the ammonia fixing agent, and a support having the carrier on a surface thereof. A method for producing an air purification filter, comprising mixing the ammonia immobilizing agent, the carrier, and the material of the support in an aqueous medium containing ions, and forming the mixture into a predetermined shape.
定化剤と、このアンモニア固定化剤を担持する担体と、
この担体を表面に有する支持体とから構成される空気浄
化フィルタを製造する方法において、 銀イオンを含む水系媒体中で前記アンモニア固定化剤と
前記担体とを混合し、この水系媒体中に前記支持体を浸
漬し、水系媒体から支持体を取り出して乾燥させること
を特徴とする空気浄化フィルタの製造方法。10. An ammonia immobilizing agent for immobilizing ammonia, a carrier supporting the ammonia immobilizing agent,
In a method for producing an air purification filter comprising a support having a carrier on its surface, the ammonia immobilizing agent and the carrier are mixed in an aqueous medium containing silver ions, and the support is mixed in the aqueous medium. A method for producing an air purification filter, comprising immersing a body, removing a support from an aqueous medium, and drying the support.
定化剤と、このアンモニア固定化剤を担持する担体と、
この担体を表面に有する支持体とから構成される空気浄
化フィルタを製造する方法において、 前記アンモニア固定化剤と銀イオンとを含む水系媒体に
前記担体を表面に固着させた支持体を浸漬し、水系媒体
から支持体を取り出して乾燥させることを特徴とする空
気浄化フィルタの製造方法。11. An ammonia immobilizing agent for immobilizing ammonia, a carrier supporting the ammonia immobilizing agent,
In a method for producing an air purification filter comprising a support having the carrier on the surface, immersing the support having the carrier fixed on the surface thereof in an aqueous medium containing the ammonia fixing agent and silver ions, A method for producing an air purification filter, comprising removing a support from an aqueous medium and drying the support.
少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項９〜
１１のいずれか一項に記載の空気浄化フィルタの製造方
法。12. The method according to claim 9, wherein the aqueous medium contains at least one of silver sulfate and silver nitrate.
A method for manufacturing an air purification filter according to any one of claims 11 to 13.
あることを特徴とする請求項９〜１１のいずれか一項に
記載の空気浄化フィルタの製造方法。13. The method according to claim 9, wherein the ammonia fixing agent is an inorganic acid salt.
硝酸アルミニウムの少なくともいずれかを含むことを特
徴とする請求項１３記載の空気浄化フィルタの製造方
法。14. The method according to claim 13, wherein the inorganic acid salt contains at least one of aluminum sulfate and aluminum nitrate.
ミナ、シリカとアルミナの混合物、ケイ酸アルミニウ
ム、活性アルミナ、多孔質ガラス、活性白土、活性ベン
トナイト、合成ゼオライト、及び活性炭の中から選ばれ
る少なくとも一種を含む粉末であることを特徴とする請
求項９〜１１のいずれか一項に記載の空気浄化フィルタ
の製造方法。15. The carrier is at least one selected from diatomaceous earth, silica, alumina, a mixture of silica and alumina, aluminum silicate, activated alumina, porous glass, activated clay, activated bentonite, synthetic zeolite, and activated carbon. The method for manufacturing an air purification filter according to claim 9, wherein the air purification filter is a powder containing one kind.
とを特徴とする請求項９〜１１のいずれか一項に記載の
空気浄化フィルタの製造方法。16. The method of manufacturing an air purification filter according to claim 9, wherein the support is a honeycomb structure.
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