JP2002258073A - Optical wavelength multiplexing branching device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small sized, low cost optical wavelength multiplexer/ branching filter that small in optical loss. SOLUTION: By enlarging the difference of the specific refractive index Δc1 between a core 8 and a clad 9 constituting the waveguides 3 to 7 is made larger and increasing the confinedness of light in waveguides 3 to 7, an optical circuit can be made smaller. In addition, if the optical circuit is miniaturized to be multi-channel circuit, since the waveguide arrangement in the connecting part with optical fibers comes to affect greatly on the element size, miniaturization can be attained by multiplexing/branching the wavelength using a pitch conversion waveguide 12.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光波長合分波器に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical wavelength multiplexer / demultiplexer.

【０００２】[0002]

【従来の技術】光通信の分野において、複数の信号を別
々の波長の光にのせ、１本の光ファイバで伝送し、情報
容量を拡大する方法（波長分割多重方式）が検討され、
一部実用化されている。この波長分割多重方式において
は、異なる波長の光を合波あるいは分波する合分波器が
重要な役割を果たしている。2. Description of the Related Art In the field of optical communication, a method (wavelength division multiplexing) in which a plurality of signals are put on light of different wavelengths and transmitted through a single optical fiber to expand the information capacity has been studied.
Some have been put to practical use. In this wavelength division multiplexing system, a multiplexer / demultiplexer that multiplexes or demultiplexes light of different wavelengths plays an important role.

【０００３】なかでも、アレイ導波路型回折格子は、チ
ャネル数によらず、同一プロセス、同一工程数で作製す
ることができ、原理的にも損失増加等の特性劣化がない
ので、多チャネル化になった場合に、波長多重伝送のキ
ーデバイスとして有望視されている。Above all, an arrayed waveguide type diffraction grating can be manufactured by the same process and the same number of steps irrespective of the number of channels. In this case, it is considered promising as a key device for wavelength multiplex transmission.

【０００４】アレイ導波路型回折格子の信号光の周波数
（透過波長）は、国際標準化規格にしたがって１００Ｇ
Ｈｚ（約０．８ｎｍ）か、あるいはその倍数でチャネル
間隔及び透過中心波長を設定するのが一般的である。The frequency (transmission wavelength) of signal light of an arrayed waveguide type diffraction grating is 100 G in accordance with international standardization standards.
Generally, the channel interval and the transmission center wavelength are set at Hz (about 0.8 nm) or a multiple thereof.

【０００５】しかし、近年、情報量の急激な増加によ
り、国際標準化規格の半分の５０ＧＨｚか、あるいはそ
の４分の１の２５ＧＨｚのチャネル間隔が検討されてい
る。チャネル間隔を狭くすることにより、ファイバアン
プの帯域により多くのチャネルを詰め込めるようにな
り、アレイ導波路型光波長合分波器へ要求されるチャネ
ル数も当初の３２ｃｈから、６４ｃｈから１２８ｃｈと
いった多チャネル化への要求がある。However, in recent years, due to the rapid increase in the amount of information, a channel spacing of 50 GHz, which is half of the international standardized standard, or 25 GHz, which is a quarter of that, has been studied. By narrowing the channel spacing, more channels can be packed in the band of the fiber amplifier, and the number of channels required for the arrayed waveguide type optical wavelength multiplexer / demultiplexer is increased from the initial 32 channels to 64 channels to 128 channels. There is a demand for conversion.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光デバイスに用いられる導波路のパラメータとしての比
屈折率差Δが０．３〜０．８％程度では、チャネル数を
多くすると、導波路素子サイズが非常に大きくなってし
まい、１ウェハ内に配置できる素子数が急激に減少して
しまう。また、要求仕様によっては、ウェハ内に配置で
きない等の問題があった。さらに、チャネル数が８〜３
２チャネル程度のアレイ導波路型光波長合分波器でもさ
らなる低コスト化が望まれており、素子サイズの小型化
は必須の技術課題である。However, when the relative refractive index difference Δ as a parameter of a waveguide used in a conventional optical device is about 0.3 to 0.8%, the waveguide element is increased when the number of channels is increased. The size becomes very large, and the number of elements that can be arranged in one wafer is rapidly reduced. Further, depending on the required specifications, there has been a problem that it cannot be arranged in a wafer. Further, when the number of channels is 8 to 3
Further cost reduction is desired for an arrayed waveguide type optical wavelength multiplexer / demultiplexer having about two channels, and miniaturization of the element size is an essential technical problem.

【０００７】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、小型で低コストで損失の少ない光波長合分波器を提
供することにある。It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems and to provide an optical wavelength multiplexer / demultiplexer which is small in size, low in cost and low in loss.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の光波長合分波器は、基板上に、一端から波長
分割多重信号光が入力される入力導波路と、入力導波路
の他端に接続され、波長分割多重信号光を発散させる入
力側スラブ導波路と、入力側スラブ導波路に接続され、
所定の導波路長差ΔＬを有する複数の導波路からなるア
レイ導波路と、アレイ導波路に接続され波長分割多重信
号光を分波する出力側スラブ導波路と、出力側スラブ導
波路に接続され、分波された波長分割多重光信号を出力
する複数の出力導波路とを備えた光波長合分波器におい
て、各導波路を構成するコアとクラッドとの比屈折率差
Δｃｌを０．８％より大きくしたものである。To achieve the above object, an optical wavelength multiplexer / demultiplexer according to the present invention comprises an input waveguide on one side of which a wavelength division multiplexed signal light is input from one end, and an input waveguide. Is connected to the other end of the input side slab waveguide for diverging the wavelength division multiplexed signal light, and connected to the input side slab waveguide,
An array waveguide composed of a plurality of waveguides having a predetermined waveguide length difference ΔL, an output-side slab waveguide connected to the array waveguide for splitting the wavelength division multiplexed signal light, and an output-side slab waveguide connected to the output-side slab waveguide; An optical wavelength multiplexer / demultiplexer provided with a plurality of output waveguides for outputting demultiplexed wavelength division multiplexed optical signals, wherein a relative refractive index difference Δcl between a core and a clad constituting each waveguide is 0.8 %.

【０００９】上記構成に加え本発明の光波長合分波器
は、出力導波路にピッチ変換導波路を接続してもよい。In the optical wavelength multiplexer / demultiplexer according to the present invention, in addition to the above configuration, a pitch conversion waveguide may be connected to the output waveguide.

【００１０】上記構成に加え本発明の光波長合分波器
は、ピッチ変換導波路の比屈折率差Δｐが光波長合分波
素子の比屈折率差Δｃｌよりも小さいのが好ましい。In addition to the above configuration, in the optical wavelength multiplexer / demultiplexer of the present invention, the relative refractive index difference Δp of the pitch conversion waveguide is preferably smaller than the relative refractive index difference Δcl of the optical wavelength multiplexer / demultiplexer.

【００１１】上記構成に加え本発明の光波長合分波器
は、入力導波路若しくは出力導波路の少なくとも一方に
スポットサイズ変換ファイバを接続してもよい。In addition to the above configuration, in the optical wavelength multiplexer / demultiplexer of the present invention, a spot size conversion fiber may be connected to at least one of the input waveguide and the output waveguide.

【００１２】本発明によれば、導波路を構成するコアと
クラッドとの比屈折率差Δｃｌを大きくし、導波路内で
の光の閉込め性を向上させることにより、光回路を小型
化することができる。また、光回路を小型化して多チャ
ネル化を図ると、ファイバとの接続部分の導波路配置が
素子サイズに大きく影響してくるので、ピッチ変換導波
路を用いて波長の合分波を行うことにより小型化するこ
とができる。According to the present invention, the optical circuit can be miniaturized by increasing the relative refractive index difference Δcl between the core and the clad constituting the waveguide and improving the light confinement in the waveguide. be able to. Also, if the optical circuit is miniaturized to increase the number of channels, the arrangement of the waveguides at the connection to the fiber will greatly affect the element size. Can be downsized.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【００１４】図１（ａ）は本発明の光波長合分波器の一
実施の形態を示す平面図であり、図１（ｂ）は図１
（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。FIG. 1A is a plan view showing an embodiment of an optical wavelength multiplexer / demultiplexer according to the present invention, and FIG.
FIG. 3A is a sectional view taken along line AA of FIG.

【００１５】このアレイ導波路型の光波長合分波器１
は、基板２上に、一端（図では左端）から波長分割多重
信号光が入力される入力導波路３と、入力導波路３の他
端（図では右端）に接続され、波長分割多重信号光を発
散させる入力側スラブ導波路４と、入力側スラブ導波路
４に接続され、所定の導波路長差ΔＬを有する複数の導
波路からなるアレイ導波路５と、アレイ導波路５に接続
され波長分割多重信号光を分波する出力側スラブ導波路
６と、出力側スラブ導波路６に接続され、分波された波
長分割多重光信号をそれぞれ出力する複数の出力導波路
７とが形成された光波長合分波器であって、各導波路３
〜７を構成するコア８とクラッド９との比屈折率差Δｃ
ｌを０．８％より大きくしたものである。This array waveguide type optical wavelength multiplexer / demultiplexer 1
Is connected to an input waveguide 3 on one end (left end in the figure) of the substrate 2 to which the wavelength division multiplexed signal light is input, and to the other end (the right end in the figure) of the input waveguide 3, Slab waveguide 4 that diverges, an array waveguide 5 that is connected to the input slab waveguide 4 and includes a plurality of waveguides having a predetermined waveguide length difference ΔL, and a wavelength that is connected to the array waveguide 5 An output-side slab waveguide 6 for demultiplexing the division multiplexed signal light and a plurality of output waveguides 7 connected to the output-side slab waveguide 6 and outputting the demultiplexed wavelength division multiplexed optical signals are formed. An optical wavelength multiplexer / demultiplexer, wherein each waveguide 3
7 is a relative refractive index difference Δc between the core 8 and the cladding 9.
1 is larger than 0.8%.

【００１６】光波長合分波器１の入力端にはスポットサ
イズ変換ファイバ１１の入力端が接続され、光波長合分
波器１の出力端にはピッチ変換導波路１２が接続されて
いる。ピッチ変換導波路１２は、導波路１３の比屈折率
差Δｐが光波長合分波器１の各導波路３〜７の比屈折率
差Δｃｌよりも小さく形成されている。ピッチ変換導波
路１２の出力端にはファイバアレイ１４が接続され、フ
ァイバアレイ１４には単一モード光ファイバ１５が接続
されている。The input end of the optical wavelength multiplexer / demultiplexer 1 is connected to the input end of a spot size conversion fiber 11, and the output end of the optical wavelength multiplexer / demultiplexer 1 is connected to a pitch conversion waveguide 12. The pitch conversion waveguide 12 is formed such that the relative refractive index difference Δp of the waveguide 13 is smaller than the relative refractive index difference Δcl of each of the waveguides 3 to 7 of the optical wavelength multiplexer / demultiplexer 1. A fiber array 14 is connected to the output end of the pitch conversion waveguide 12, and a single mode optical fiber 15 is connected to the fiber array 14.

【００１７】基板２には石英基板が用いられ、ゲルマニ
ウムを添加したコア８の屈折率Ｎｃｏを１．４７９６と
し、クラッド９の屈折率Ｎｃｌを１．４５７４とした。
コア８とクラッド９との比屈折率差Δｃｌ（＝（Ｎｃｏ
−Ｎｃｌ）／Ｎｃｏ×１００）は１．５％である。尚、
図１（ｂ）には基板２上にバッファ層１０が形成された
場合を示しているが、基板２に石英基板を用いた場合に
はバッファ層１０を形成せずに基板２上にコア８及びク
ラッド９を直接形成するが、基板２にＳｉ基板を用いた
場合はバッファ層１０を形成しバッファ層１０の上にコ
ア８及びクラッド９を形成する。A quartz substrate was used as the substrate 2. The refractive index Nco of the core 8 to which germanium was added was set to 1.4796, and the refractive index Ncl of the clad 9 was set to 1.4574.
The relative refractive index difference Δcl between core 8 and clad 9 (= (Nco
−Ncl) / Nco × 100) is 1.5%. still,
FIG. 1B shows a case where the buffer layer 10 is formed on the substrate 2. When a quartz substrate is used as the substrate 2, the core 8 is formed on the substrate 2 without forming the buffer layer 10. The cladding 9 is formed directly. When a Si substrate is used as the substrate 2, the buffer layer 10 is formed, and the core 8 and the cladding 9 are formed on the buffer layer 10.

【００１８】図２は光導波路の波長１．５５μｍでの曲
げ損失の比屈折率差Δの依存性を示す図であり、横軸が
曲率半径軸であり、縦軸が曲げ損失軸である。FIG. 2 is a diagram showing the dependence of the bending loss of the optical waveguide at a wavelength of 1.55 μm on the relative refractive index difference Δ. The horizontal axis is the radius of curvature axis, and the vertical axis is the bending loss axis.

【００１９】従来の比屈折率差Δが０．８％（コア寸
法：６．０μｍ×６．０μｍ）の場合には、曲率半径５
ｍｍで曲げ損失が０．００１ｄＢ／ｃｍ以下であった
が、比屈折率差Δを１．５％（コア寸法：４．３μｍ×
４．３μｍ）とすることにより、曲率半径が２ｍｍでも
曲げ損失が０．００１ｄＢ／ｃｍ以下となる。本光波長
合分波器では導波路の最小曲率半径を２ｍｍとすること
により、素子の小型化を図った。If the conventional relative refractive index difference Δ is 0.8% (core dimension: 6.0 μm × 6.0 μm), the radius of curvature 5
mm, the bending loss was 0.001 dB / cm or less, but the relative refractive index difference Δ was 1.5% (core size: 4.3 μm ×
4.3 μm), the bending loss becomes 0.001 dB / cm or less even when the radius of curvature is 2 mm. In this optical wavelength multiplexer / demultiplexer, the miniaturization of the element was achieved by setting the minimum radius of curvature of the waveguide to 2 mm.

【００２０】アレイ導波路型の光波長合分波器１の設計
パラメータとしては、分波間隔を１００ＧＨｚとし、チ
ャネル数を１２８とし、出力導波路７のピッチを３０μ
ｍとした。この結果、素子サイズ（光波長合分波器１の
サイズ）は、２２ｍｍ×７５ｍｍとなり、従来の比屈折
率差Δ（＝０．８％）の導波路を用いた場合には不可能
であった１０１．６ｍｍ（４インチ）ウェハ内への配置
が可能となった。また、出力端のコア寸法は、ピッチ変
換導波路１２とのミスマッチ損失低減のため、幅１１．
０μｍ、高さ４．３μｍとした。The design parameters of the arrayed waveguide type optical wavelength multiplexer / demultiplexer 1 include a demultiplexing interval of 100 GHz, a number of channels of 128, and a pitch of the output waveguide 7 of 30 μm.
m. As a result, the element size (the size of the optical wavelength multiplexer / demultiplexer 1) becomes 22 mm × 75 mm, which is impossible when a conventional waveguide having a relative refractive index difference Δ (= 0.8%) is used. In a 101.6 mm (4 inch) wafer. The core size at the output end has a width of 11.1 to reduce mismatch loss with the pitch conversion waveguide 12.
0 μm and a height of 4.3 μm.

【００２１】ピッチ変換導波路１２は、単一モード光フ
ァイバ１５とのミスマッチ損失を考慮し、比屈折率差Δ
ｐを０．８％（コア寸法：６．０μｍ×６．０μｍ）と
した。光ファイバとの接続部のコア寸法を幅１１．０μ
ｍ、高さ６．０μｍとし、単一モード光ファイバとのミ
スマッチ損失を低減している。また、光波長合分波器と
１の接続部のコア寸法は、幅１０．０μｍ、高さ６．０
μｍとし、モードミスマッチ損失を低減している。この
ピッチ変換導波路１２を用いることにより、比屈折率差
Δが１．５％の従来のピッチ変換導波路を用いる場合に
比べて、約０．４ｄＢの損失低減が可能となる。光波長
合分波器１との接続部は導波路ピッチ３０μｍとし、単
一モード光ファイバ１５との接続部は、ファイバアレイ
１４のピッチを考慮し、２５０μｍとした。尚、光波長
合分波器１、単一モード光ファイバ１５等の接続部端面
は、反射減衰量低減のため、すべて８°の斜め研磨され
ている。The pitch conversion waveguide 12 has a relative refractive index difference Δ in consideration of a mismatch loss with the single mode optical fiber 15.
p was set to 0.8% (core size: 6.0 μm × 6.0 μm). The width of the core at the connection to the optical fiber is 11.0μ.
m and a height of 6.0 μm to reduce mismatch loss with a single mode optical fiber. Further, the core dimension of the connection portion between the optical wavelength multiplexer / demultiplexer and 1 has a width of 10.0 μm and a height of 6.0.
μm to reduce the mode mismatch loss. By using this pitch conversion waveguide 12, it is possible to reduce the loss by about 0.4 dB as compared with the case where a conventional pitch conversion waveguide having a relative refractive index difference Δ of 1.5% is used. The connection with the optical wavelength multiplexer / demultiplexer 1 was set to a waveguide pitch of 30 μm, and the connection with the single mode optical fiber 15 was set to 250 μm in consideration of the pitch of the fiber array 14. The end faces of the connecting portions of the optical wavelength multiplexer / demultiplexer 1, the single mode optical fiber 15, and the like are all polished at an angle of 8 ° to reduce the amount of return loss.

【００２２】また、光波長合分波器１の単心側の接続に
は、スポットサイズファイバ１１を接続し、単一モード
光ファイバ１５とのミスマッチ損失を低減した。スポッ
トサイズファイバ１１を用いることによる損失低減は約
１．０ｄＢである。Further, a spot size fiber 11 is connected to the single-core side connection of the optical wavelength multiplexer / demultiplexer 1, so that a mismatch loss with the single mode optical fiber 15 is reduced. The loss reduction by using the spot size fiber 11 is about 1.0 dB.

【００２３】図３は図１（ａ）、（ｂ）に示した光波長
合分波器の波長損失特性を示す図であり、横軸が波長軸
であり、縦軸が損失軸である。FIG. 3 is a diagram showing the wavelength loss characteristics of the optical wavelength multiplexer / demultiplexer shown in FIGS. 1A and 1B. The horizontal axis is the wavelength axis, and the vertical axis is the loss axis.

【００２４】比屈折率差Δが０．８％のピッチ変換導波
路とスポットサイズファイバとを用いることにより、比
屈折率差Δが１．５％のピッチ変換導波路と単一モード
ファイバ接続とを用いる場合に比べ、約１．５％の損失
低減が達成され、モジュールとして損失１０ｄＢ以下の
実用性の高いモジュールが実現された。By using a pitch conversion waveguide having a relative refractive index difference Δ of 0.8% and a spot size fiber, a pitch conversion waveguide having a relative refractive index difference Δ of 1.5% can be connected to a single mode fiber connection. , A loss reduction of about 1.5% was achieved, and a highly practical module with a loss of 10 dB or less was realized.

【００２５】尚、本実施の形態では、周波数が１００Ｇ
Ｈｚで、チャネル数が１２８の光波長合分波器の場合に
ついて説明したが、本発明は１６チャネルや３２チャネ
ルといった多チャネル型合分波器に適用することによ
り、１ウェハからの素子取得数の増加が見込め、低コス
ト化が可能になる。さらに本発明では、アレイ導波路型
光波長合分波器とピッチ変換導波路とを別々に製造する
ので、光学特性の良好なチップを選別実装することがで
き、モジュールとしての歩留り向上も見込める。In this embodiment, the frequency is 100 G
Although the description has been given of the case of an optical wavelength multiplexer / demultiplexer having 128 channels at 128 Hz, the present invention is applied to a multi-channel type multiplexer / demultiplexer such as 16 channels or 32 channels to obtain the number of elements obtained from one wafer. Are expected to increase, and cost reduction can be achieved. Further, according to the present invention, since the arrayed waveguide type optical wavelength multiplexer / demultiplexer and the pitch conversion waveguide are manufactured separately, chips having good optical characteristics can be selectively mounted, and the yield as a module can be expected to be improved.

【００２６】以上要するに本発明によれば、光導波路の
コアとクラッドとの比屈折率差Δｃｌを大きくし、導波
路内での光の閉込め性を向上させることにより、素子小
型化を図り、モジュールの低コスト化あるいは多チャネ
ル化が可能となる。また、ピッチ変換導波路をアレイ導
波路型合分波素子よりも小さい比屈折率差Δｐで製造す
ることにより、単一モードファイバとのミスマッチ損失
を抑えることができ、損失低減が可能となる。さらに、
アレイ導波路型光波長合分波素子とピッチ変換導波路と
を別々に製造し、選別実装することにより、歩留向上も
期待できる。In short, according to the present invention, the relative refractive index difference Δcl between the core and the clad of the optical waveguide is increased, and the confinement of light in the waveguide is improved. The cost of the module can be reduced or the number of channels can be increased. Further, by manufacturing the pitch conversion waveguide with a relative refractive index difference Δp smaller than that of the arrayed waveguide type multiplexing / demultiplexing element, a mismatch loss with a single mode fiber can be suppressed, and the loss can be reduced. further,
By separately manufacturing and selectively mounting the arrayed waveguide type optical wavelength multiplexing / demultiplexing device and the pitch conversion waveguide, an improvement in yield can be expected.

【００２７】[0027]

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。In summary, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.

【００２８】小型で低コストで損失の少ない光波長合分
波器の提供を実現することができる。It is possible to provide an optical wavelength multiplexer / demultiplexer which is small in size, low in cost and low in loss.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】（ａ）は本発明の光波長合分波器の一実施の形
態を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面
図である。FIG. 1A is a plan view showing an embodiment of an optical wavelength multiplexer / demultiplexer according to the present invention, and FIG. 1B is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図２】光導波路の波長１．５５μｍでの曲げ損失の比
屈折率差Δの依存性を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the dependence of the bending loss at a wavelength of 1.55 μm of the optical waveguide on the relative refractive index difference Δ.

【図３】図１（ａ）、（ｂ）に示した光波長合分波器の
波長損失特性を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a wavelength loss characteristic of the optical wavelength multiplexer / demultiplexer shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 光波長合分波器 ２ 基板 ３ 入力導波路 ４ 入力側スラブ導波路 ５ アレイ導波路 ６ 出力側スラブ導波路 ７ 出力導波路 ８ コア ９ クラッド １２ ピッチ変換導波路 Reference Signs List 1 optical wavelength multiplexer / demultiplexer 2 substrate 3 input waveguide 4 input side slab waveguide 5 array waveguide 6 output side slab waveguide 7 output waveguide 8 core 9 clad 12 pitch conversion waveguide

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上塚 尚登 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 Ｆターム(参考） 2H047 KA04 KA12 LA19 MA05 QA04 RA08 TA01 TA31  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Naoto Uezuka 5-1-1, Hidaka-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture F-term in Opto-Systems Research Laboratory, Hitachi Cable, Ltd. 2H047 KA04 KA12 KA12 LA19 MA05 QA04 RA08 TA01 TA31

Claims (4)

【特許請求の範囲】[The claims] 【請求項１】 基板上に、一端から波長分割多重信号光
が入力される入力導波路と、該入力導波路の他端に接続
され、上記波長分割多重信号光を発散させる入力側スラ
ブ導波路と、該入力側スラブ導波路に接続され、所定の
導波路長差ΔＬを有する複数の導波路からなるアレイ導
波路と、該アレイ導波路に接続され上記波長分割多重信
号光を分波する出力側スラブ導波路と、該出力側スラブ
導波路に接続され、分波された波長分割多重光信号を出
力する複数の出力導波路とを備えた光波長合分波器にお
いて、各導波路を構成するコアとクラッドとの比屈折率
差Δｃｌを０．８％より大きくしたことを特徴とする光
波長合分波器。1. An input waveguide on one side of which a wavelength division multiplexed signal light is inputted from one end, and an input side slab waveguide connected to the other end of the input waveguide for diverging the wavelength division multiplexed signal light. An array waveguide composed of a plurality of waveguides connected to the input side slab waveguide and having a predetermined waveguide length difference ΔL; and an output connected to the array waveguide for demultiplexing the wavelength division multiplexed signal light. In the optical wavelength multiplexer / demultiplexer including a side slab waveguide and a plurality of output waveguides connected to the output side slab waveguide and outputting a demultiplexed wavelength division multiplexed optical signal, each waveguide is configured. An optical wavelength multiplexer / demultiplexer characterized in that a relative refractive index difference Δcl between a core and a cladding to be formed is larger than 0.8%. 【請求項２】 上記出力導波路にピッチ変換導波路を接
続した請求項１に記載の光波長合分波器。2. The optical wavelength multiplexer / demultiplexer according to claim 1, wherein a pitch conversion waveguide is connected to the output waveguide. 【請求項３】 上記ピッチ変換導波路の比屈折率差Δｐ
が光波長合分波素子の比屈折率差Δｃｌよりも小さい請
求項１または２に記載の光波長合分波器。3. The relative refractive index difference Δp of the pitch conversion waveguide.
3 is smaller than the relative refractive index difference Δcl of the optical wavelength multiplexing / demultiplexing device. 【請求項４】 上記入力導波路若しくは上記出力導波路
の少なくとも一方にスポットサイズ変換ファイバを接続
した請求項１から３のいずれかに記載の光波長合分波
器。4. The optical wavelength multiplexer / demultiplexer according to claim 1, wherein a spot size conversion fiber is connected to at least one of said input waveguide and said output waveguide.