JP2002257932A - Imaging device of type detecting reflected electromagnetic wave - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、物体で反射された
例えばミリ波帯の電磁波を検出することにより、物体を
可視化する反射電磁波検出型イメージング装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus for visualizing an object by detecting, for example, an electromagnetic wave in a millimeter wave band reflected by the object.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、ミリ波によるイメージング技術の
開発が盛んに行われている。ここで言うミリ波は、サブ
ミリ波も含めた広い周波数帯（３０ＧＨｚ〜３０ＴＨ
ｚ）の電磁波を包含する。この分野の研究開発は、文献
１（B.B.Hu and M.C.Nuss:"Imaging with terahertz wa
ves",Optics Letters,Vol.20,No.16,1995,p.1716）が報
告されて以来活発になり、文献１に報告されているもの
と類似したシステムを用いたミリ波イメージングが多数
報告されている。2. Description of the Related Art In recent years, imaging technology using millimeter waves has been actively developed. The millimeter wave referred to here is a wide frequency band including a submillimeter wave (30 GHz to 30 TH).
z). Research and development in this field is described in Reference 1 (BBHu and MCNuss: "Imaging with terahertz wa
ves ", Optics Letters, Vol. 20, No. 16, 1995, p. 1716), and many millimeter-wave imaging reports using systems similar to those reported in Ref. Have been.
【０００３】このような報告としては、例えば文献２
（D.M.Mittleman,J.Cunningham and M.C.Nuss:"Noncont
act semiconductor wafer characterization with tera
hertzHall effect",Applied Physics Letters,Vol.71,1
997,P.16 ）、文献３（Z.Jiang and X.-C.Zhang:"Terah
ertz Imaging via Electrooptic Effect",IEEE Transac
tions on Microwave Theory and Techniques,Vol.47,N
o.12,1999,p.2644）を挙げることができる。As such a report, for example, reference 2
(DMMittleman, J. Cunningham and MCNuss: "Noncont
act semiconductor wafer characterization with tera
hertzHall effect ", Applied Physics Letters, Vol.71,1
997, p. 16), reference 3 (Z. Jiang and X.-C. Zhang: "Terah
ertz Imaging via Electrooptic Effect ", IEEE Transac
tions on Microwave Theory and Techniques, Vol. 47, N
o.12, 1999, p.2644).
【０００４】これらの文献に報告されているような、従
来の一般的なミリ波イメージング法について図６にした
がって説明する。パルスレーザ光源１０１から出射した
光パルスは、ビームスプリッタ１０２によって２本の光
線に分割される。一方の光線は、光−ミリ波変換素子１
０３に入射し、ミリ波を発生する。光−ミリ波変換素子
１０３としては、ＧａＡｓなどの半導体とアンテナとを
集積したデバイスが用いられることが多い。このような
素子をＰＣＡ（Photoconductive Antennａ）と呼ぶ。A conventional general millimeter wave imaging method as reported in these documents will be described with reference to FIG. The light pulse emitted from the pulse laser light source 101 is split by the beam splitter 102 into two light beams. One of the light beams is a light-millimeter wave conversion element 1
03 and generates a millimeter wave. As the light-to-millimeter wave conversion element 103, a device in which a semiconductor such as GaAs and an antenna are integrated is often used. Such an element is called a PCA (Photoconductive Antenna).
【０００５】ＰＣＡなどの光−ミリ波変換素子１０３で
発生したミリ波は、ミリ波レンズ１０４で十分に絞って
から物体１０５に照射される。物体１０５を透過したミ
リ波は、再びミリ波レンズ１０６で絞られた後にミリ波
検出器１０７に入射する。一般的な検出法としては、Ｐ
ＣＳ（Photoconductive Sampling）が挙げられる。この
場合のミリ波検出器１０７は、同じくＰＣＡからなる。
ＰＣＡにミリ波が入射すると、ミリ波の瞬時電界に比例
する電流が流れる。ただし、電流が流れるのはＰＣＡに
光パルスが入射した瞬間だけてあるので、超短光パルス
を利用してミリ波の瞬時電界をサンプリングして検出す
る。ミリ波検出器１０７でサンプリングして得られた電
流は、電気信号測定器１０８によって測定される。A millimeter wave generated by a light-millimeter wave conversion element 103 such as a PCA is irradiated onto an object 105 after being sufficiently stopped down by a millimeter wave lens 104. The millimeter wave transmitted through the object 105 is again focused by the millimeter wave lens 106 and then enters the millimeter wave detector 107. As a general detection method, P
CS (Photoconductive Sampling). The millimeter wave detector 107 in this case is also made of PCA.
When a millimeter wave enters a PCA, a current proportional to the instantaneous electric field of the millimeter wave flows. However, since the current flows only at the moment when the optical pulse enters the PCA, the instantaneous electric field of the millimeter wave is sampled and detected using the ultrashort optical pulse. The current obtained by sampling with the millimeter wave detector 107 is measured by the electric signal measuring device 108.
【０００６】ミリ波検出器１０７でのサンプリングに利
用される光パルスとしては、ビームスプリッタ１０２で
分割された他方の光線が利用される。この光線は、鏡１
０９で反射し、光路長調整器１１０を通って、鏡１１
１，１１２で反射してミリ波検出器１０７に入射する。
光路長調整器１１０を使うことで、ミリ波の異なる位相
点における瞬時電界をサンプリングすることが可能にな
るので、ミリ波の波形全体を測定することができる。以
上述べたミリ波発生・検出システムにおいて、物体１０
５を２次元的に走査すれば、物体１０５の透過ミリ波像
を取得することが可能になる。The other light beam split by the beam splitter 102 is used as a light pulse used for sampling in the millimeter wave detector 107. This ray is reflected in mirror 1
09, passes through the optical path length adjuster 110, and passes through the mirror 11
The light is reflected at 1,112 and enters the millimeter wave detector 107.
By using the optical path length adjuster 110, the instantaneous electric field at different phase points of the millimeter wave can be sampled, so that the entire millimeter wave waveform can be measured. In the above-described millimeter wave generation / detection system, the object 10
By scanning the object 5 two-dimensionally, a transmitted millimeter wave image of the object 105 can be obtained.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６の
ような透過ミリ波検出型イメージング装置では、ミリ波
が透過しない物体の場合、物体のミリ波像を取得するこ
とができないという問題点があった。Ｘ線のように極め
て透過力が高い電磁波を用いた場合には、図６で説明し
たような透過電磁波を検出するイメージング装置は有効
である。しかし、それ以外の電磁波（可視光、赤外線、
マイクロ波など）や超音波などは必ずしも透過力が高く
ないために、これらを用いたイメージング装置の多く
は、物体を反射した電磁波又は音波を検出して像を得る
ものである。同様に、ミリ波についても反射波検出型イ
メージング装置の開発が、ミリ波イメージングを実用化
する上で極めて重要である。However, in the transmission millimeter wave detection type imaging apparatus as shown in FIG. 6, there is a problem that a millimeter wave image of the object cannot be obtained when the object does not transmit the millimeter wave. Was. When an electromagnetic wave having a very high transmission power such as X-rays is used, the imaging apparatus for detecting the transmitted electromagnetic wave as described with reference to FIG. 6 is effective. However, other electromagnetic waves (visible light, infrared light,
Microwaves) and ultrasonic waves do not always have high transmission power, and therefore, many imaging apparatuses using them detect electromagnetic waves or sound waves reflected from an object to obtain an image. Similarly, the development of the reflected wave detecting type imaging device also millimeter wave, it is extremely important for practical millimeter wave imaging.
【０００８】従来の反射型ミリ波イメージングの例とし
ては、文献４（D.M.Mittleman,R.H.Jacobsen and M.C.N
uss:"T-Tay Imaging",IEEE Journal of Selected Topic
s inQuantum Electronics,Vol.2,1996,p.679 ）が挙げ
られる。この例では、図７に示したように、ミリ波光源
２０１から出射したミリ波を鏡２０２〜２０４を使って
物体２０５に対して斜めに照射し、斜めに反射したミリ
波を鏡２０６，２０７を介して検出器２０８で検出して
いる。しかし、図７に示す反射電磁波検出型イメージン
グ装置には、光学系が複雑となり、システムの設計や構
築が難しくなるという問題点があった。したがって、よ
り簡素な構成の反射電磁波検出型イメージング装置の提
案が望まれている。本発明は、以上のような問題点を解
消するために、ミリ波等の電磁波を通さない物体におい
ても電磁波像を得ることのできる反射電磁波検出型イメ
ージング装置を従来よりも簡素な構成で提供することを
目的としている。As an example of conventional reflection-type millimeter-wave imaging, reference 4 (DMMittleman, RH Jacobsen and MCN)
uss: "T-Tay Imaging", IEEE Journal of Selected Topic
s inQuantum Electronics, Vol. 2, 1996, p. 679). In this example, as shown in FIG. 7, the object 205 is obliquely irradiated with the millimeter wave emitted from the millimeter wave light source 201 using the mirrors 202 to 204, and the obliquely reflected millimeter wave is reflected by the mirrors 206 and 207. Through the detector 208. However, the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus shown in FIG. 7 has a problem that the optical system becomes complicated, and it becomes difficult to design and construct the system. Therefore, there is a demand for a proposal of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus having a simpler configuration. The present invention provides a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus capable of obtaining an electromagnetic wave image even with an object that does not transmit electromagnetic waves such as millimeter waves with a simpler configuration than in the past, in order to solve the above problems. It is intended to be.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の反射電磁波検出
型イメージング装置は、電磁波を発生する電磁波発生器
（１０，３０）と、この電磁波発生器からの入射電磁波
と物体（１４，３４）からの反射電磁波とを分離する分
離器（１１，３１，４１）と、この分離器によって取り
出された前記入射電磁波を自由空間に放射する電磁波放
射器（１２，３２）と、この電磁波放射器から放射され
た電磁波を集束させて前記物体に照射する集束手段（１
３，３３）と、前記物体で反射され前記分離器によって
取り出された反射電磁波を検出する電磁波検出器（１
５，３５）と、前記物体の２次元像を得るために前記物
体を２次元的に移動させる物体駆動手段（３８）とを有
するものである。また、本発明の反射電磁波検出型イメ
ージング装置の１構成例において、前記分離器は、サー
キュレータ（３１）である。また、本発明の反射電磁波
検出型イメージング装置の１構成例において、前記分離
器は、方向性結合器（４１）である。The reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus of the present invention comprises an electromagnetic wave generator (10, 30) for generating an electromagnetic wave, and an electromagnetic wave generator from the electromagnetic wave generator and an object (14, 34). (11, 31, 41) for separating the reflected electromagnetic wave from the electromagnetic wave, an electromagnetic wave radiator (12, 32) for radiating the incident electromagnetic wave extracted by the separator to free space, and a radiation from the electromagnetic wave radiator. Focusing means (1) that focuses the applied electromagnetic wave and irradiates the object with the electromagnetic wave.
(3, 33) and an electromagnetic wave detector (1) for detecting reflected electromagnetic waves reflected by the object and taken out by the separator.
5, 35) and an object driving means (38) for two-dimensionally moving the object in order to obtain a two-dimensional image of the object. In one configuration example of the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus of the present invention, the separator is a circulator (31). Additionally, in an example of the reflection wave detecting type imaging device of the present invention, the separator is a directional coupler (41).
【００１０】本発明の反射電磁波検出型イメージング装
置は、電磁波を発生する電磁波発生器（２０，５０）
と、この電磁波発生器からの入射電磁波を自由空間に放
射する電磁波放射器（２１，５１）と、この電磁波放射
器から放射された電磁波を平行ビームに変換して物体
（２４，５４）に照射する変換手段（２２，５２）と、
この変換手段から前記物体に入射する入射電磁波と前記
物体からの反射電磁波とを分離する分離器（２３，５
３）と、前記物体で反射され前記分離器によって取り出
された反射電磁波を結像させる結像手段（２５，５５）
と、前記結像した反射電磁波を検出する電磁波検出器
（２６，５６）とを有するものである。また、本発明の
反射電磁波検出型イメージング装置の１構成例におい
て、前記分離器は、ビームスプリッタである。また、本
発明の反射電磁波検出型イメージング装置の１構成例に
おいて、前記分離器は、偏光ビームスプリッタ（５３）
である。また、本発明の反射電磁波検出型イメージング
装置の１構成例は、前記偏光ビームスプリッタと前記物
体との間に１／４波長板（５７）を設けたものである。
また、本発明の反射電磁波検出型イメージング装置の１
構成例において、前記電磁波検出器は、２次元状に配置
された複数の検出素子からなる検出器アレイ（５６）で
ある。また、本発明の反射電磁波検出型イメージング装
置の１構成例は、前記電磁波検出器を前記反射電磁波の
結像面に沿って２次元的に移動させる検出器駆動手段を
有し、前記電磁波検出器は、単素子の検出器である。The reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus of the present invention provides an electromagnetic wave generator (20, 50) for generating an electromagnetic wave.
An electromagnetic wave radiator (21, 51) for radiating an incident electromagnetic wave from the electromagnetic wave generator to free space; and converting the electromagnetic wave radiated from the electromagnetic wave radiator into a parallel beam to irradiate the object (24, 54). Conversion means (22, 52) for performing
A separator (23,5) for separating an incident electromagnetic wave incident on the object from the conversion means and an electromagnetic wave reflected from the object.
3) imaging means (25, 55) for imaging reflected electromagnetic waves reflected by the object and taken out by the separator.
And an electromagnetic wave detector (26, 56) for detecting the formed reflected electromagnetic wave. In one configuration example of the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus of the present invention, the separator is a beam splitter. In one configuration example of the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus of the present invention, the separator is a polarizing beam splitter (53).
It is. In one configuration example of the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus of the present invention, a quarter-wave plate (57) is provided between the polarizing beam splitter and the object.
Further, the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus of
In the configuration example, the electromagnetic wave detector is a detector array (56) including a plurality of detection elements arranged two-dimensionally. Also, one configuration example of the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus of the present invention includes a detector driving unit that two-dimensionally moves the electromagnetic wave detector along an image plane of the reflected electromagnetic wave, and the electromagnetic wave detector Is a single element detector.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】［実施の形態の１］以下、本発明
の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態となる反射電磁波検
出型イメージング装置の構成を示すブロック図である。
電磁波発生器１０によって発生した電磁波は、入射波と
反射波とを分離する入・反射波分離器１１を経由して電
磁波放射器１２に入射し、電磁波放射器１２から自由空
間中に放射され、レンズ（集束手段）１３で集束されて
物体１４の一点に入射する。物体１４で反射された電磁
波は、入射電磁波と同じ経路を逆行し、レンズ１３、電
磁波放射器１２を経由して入・反射波分離器１１に入射
する。入・反射波分離器１１は、物体１４からの反射波
を入射波の経路から分離して電磁波検出器１５に導く。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [Embodiment 1] Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a first embodiment of the present invention.
The electromagnetic wave generated by the electromagnetic wave generator 10 enters the electromagnetic wave radiator 12 via the input / reflected wave separator 11 that separates an incident wave and a reflected wave, and is radiated from the electromagnetic wave radiator 12 into free space. The light is focused by a lens (focusing means) 13 and enters one point of the object 14. The electromagnetic wave reflected by the object 14 reverses the same path as the incident electromagnetic wave, and enters the input / reflected wave separator 11 via the lens 13 and the electromagnetic wave radiator 12. The incoming / reflected wave separator 11 separates the reflected wave from the object 14 from the path of the incident wave and guides the reflected wave to the electromagnetic wave detector 15.
【００１２】こうして、反射電磁波のみを容易に検出す
ることができる。レンズ１３によって集束された電磁波
ビームが物体表面の各点に照射されるように、物体１４
を図示しない物体駆動手段によって２次元的（図１の上
下方向及び紙面と垂直な方向）に移動させることで物体
１４を電磁波で走査することができ、物体１４上の各点
から反射された電磁波を検出することにより、物体１４
の反射電磁波像を得ることができる。Thus, only the reflected electromagnetic waves can be easily detected. The object 14 is moved so that the electromagnetic wave beam focused by the lens 13 is applied to each point on the object surface.
Is moved two-dimensionally (in the vertical direction in FIG. 1 and in the direction perpendicular to the plane of FIG. 1) by object driving means (not shown), so that the object 14 can be scanned with electromagnetic waves, and the electromagnetic waves reflected from each point on the object 14 can be scanned. Is detected, the object 14 is detected.
Can be obtained.
【００１３】なお、本実施の形態では、物体２４の移動
を２次元としているが、物体１４の形状をより正確に可
視化するためには、物体を２次元的に移動させつつ、常
に一定のスポット径の電磁波ビームが物体１４の表面に
照射されるように（レンズ１３と物体表面との距離がレ
ンズ１３の焦点深度内に収まるように）、レンズ１３と
物体１４との距離を物体駆動手段で調節することが望ま
しい。In this embodiment, the movement of the object 24 is two-dimensional. However, in order to more accurately visualize the shape of the object 14, the object 24 is moved two-dimensionally and a fixed spot is always kept. The distance between the lens 13 and the object 14 is determined by the object driving means so that an electromagnetic wave beam having a diameter is irradiated on the surface of the object 14 (so that the distance between the lens 13 and the object surface falls within the depth of focus of the lens 13). It is desirable to adjust.
【００１４】［実施の形態の２］図２は本発明の第２の
実施の形態となる反射電磁波検出型イメージング装置の
構成を示すブロック図である。電磁波発生器２０によっ
て発生した電磁波は、電磁波放射器２１から自由空間中
に放射され、レンズ（変換手段）２２によって平行電磁
波ビームに変換される。この平行電磁波ビームは、分離
器２３を通過してから物体２４に照射される。[Embodiment 2] FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a second embodiment of the present invention. The electromagnetic wave generated by the electromagnetic wave generator 20 is radiated into free space from the electromagnetic wave radiator 21 and converted into a parallel electromagnetic wave beam by the lens (conversion means) 22. This parallel electromagnetic wave beam is irradiated on the object 24 after passing through the separator 23.
【００１５】物体２４で反射された電磁波ビームは、分
離器２３によって入射電磁波ビームの経路から分離され
る。レンズ（結像手段）２５は、分離器２３によって分
離された反射電磁波ビームを適当な位置（結像面）に結
像させる。この結像面に電磁波検出器２６を配置して、
反射電磁波ビームの空間分布を検出する。これにより、
物体２４を走査することなく、物体２４の反射電磁波像
を得ることができる。The electromagnetic wave beam reflected by the object 24 is separated by the separator 23 from the path of the incident electromagnetic wave beam. The lens (imaging means) 25 forms an image of the reflected electromagnetic wave beam separated by the separator 23 at an appropriate position (imaging plane). An electromagnetic wave detector 26 is arranged on this image plane,
The spatial distribution of the reflected electromagnetic wave beam is detected. This allows
A reflected electromagnetic wave image of the object 24 can be obtained without scanning the object 24.
【００１６】［実施の形態の３］図３は本発明の第３の
実施の形態となる反射電磁波検出型イメージング装置の
構成を示すブロック図である。本実施の形態は、実施の
形態の１の具体的な構成例を示すものである。図３にお
いて、３０は電磁波発生器となるミリ波発生器、３１は
入・反射波分離器となるサーキュレータ、３２は電磁波
放射器となるアンテナ、３３はミリ波レンズ、３４は物
体、３５は電磁波検出器となるミリ波検出器、３６は電
気信号測定器、３７はコンピュータ、３８は電動ステー
ジ（物体駆動手段）、３９ａ，３９ｂはミリ波伝送路で
ある。[Third Embodiment] FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a third embodiment of the present invention. This embodiment shows a specific configuration example of the first embodiment. In FIG. 3, reference numeral 30 denotes a millimeter wave generator serving as an electromagnetic wave generator, 31 denotes a circulator serving as an input / reflected wave separator, 32 denotes an antenna serving as an electromagnetic wave radiator, 33 denotes a millimeter wave lens, 34 denotes an object, and 35 denotes an electromagnetic wave. A millimeter wave detector serving as a detector, 36 is an electric signal measuring device, 37 is a computer, 38 is a motorized stage (object driving means), and 39a and 39b are millimeter wave transmission lines.
【００１７】本実施の形態では、入・反射波分離器とし
てサーキュレータ３１を用いる。ミリ波発生器３０で発
生したミリ波は、ミリ波伝送路３９ａによってサーキュ
レータ３１のポートＰ１に導かれる。サーキュレータ３
１は、３つのポートを持ち、ポートＰ１に入射したミリ
波をポートＰ２から送出し、ポートＰ２に入射したミリ
波をポートＰ３から送出し、ポートＰ３に入射したミリ
波をポートＰ１から送出するという機能を持つデバイス
である。In this embodiment, a circulator 31 is used as an input / reflected wave separator. The millimeter wave generated by the millimeter wave generator 30 is guided to the port P1 of the circulator 31 by the millimeter wave transmission path 39a. Circulator 3
1 has three ports, transmits a millimeter wave incident on the port P1 from the port P2, transmits a millimeter wave incident on the port P2 from the port P3, and transmits a millimeter wave incident on the port P3 from the port P1. It is a device that has the function.
【００１８】したがって、サーキュレータ３１のポート
Ｐ１に入射したミリ波は、ポートＰ２に接続されたアン
テナ３２に導かれた後に、アンテナ３２から自由空間に
放射される。自由空間に放射されたミリ波は、ミリ波レ
ンズ３３によって集束され、物体３４上の一点に照射さ
れる。Therefore, the millimeter wave incident on the port P1 of the circulator 31 is guided to the antenna 32 connected to the port P2 and then radiated from the antenna 32 to free space. The millimeter wave radiated into the free space is focused by the millimeter wave lens 33 and is irradiated on one point on the object 34.
【００１９】物体３４に照射されたミリ波のうち一部は
散乱するが、残りは物体３４によって反射され、入射ミ
リ波と同じ経路を逆行する。つまり、反射ミリ波は、ミ
リ波レンズ３３を再び通過してアンテナ３２に入射す
る。アンテナ３２に入射した反射ミリ波は、サーキュレ
ータ３１のポートＰ２に入射し、サーキュレータ３１の
ポートＰ３から送出され、ミリ波伝送路３９ｂによって
ミリ波検出器３５に導かれる。A part of the millimeter wave applied to the object 34 is scattered, but the rest is reflected by the object 34 and travels the same path as the incident millimeter wave. That is, the reflected millimeter wave passes through the millimeter wave lens 33 again and enters the antenna 32. The reflected millimeter wave that has entered the antenna 32 enters the port P2 of the circulator 31, is transmitted from the port P3 of the circulator 31, and is guided to the millimeter wave detector 35 by the millimeter wave transmission path 39b.
【００２０】ミリ波検出器３５は、入射したミリ波の振
幅または強度に応じた電気信号を出力する。ミリ波の振
幅を検出するか強度を検出するかは、使用するミリ波検
出器３５の性質に依存する。電気信号測定器３６は、ミ
リ波検出器３５から出力された電気信号を測定し、測定
した電気信号に対してデジタル化などの信号処理を行
う。通常用いられる電気信号測定器３６は、スペクトラ
ムアナライザやロックインアンプなどである。The millimeter wave detector 35 outputs an electric signal corresponding to the amplitude or intensity of the incident millimeter wave. Whether to detect the amplitude or the intensity of the millimeter wave depends on the properties of the millimeter wave detector 35 used. The electric signal measuring device 36 measures the electric signal output from the millimeter wave detector 35 and performs signal processing such as digitization on the measured electric signal. The commonly used electric signal measuring device 36 is a spectrum analyzer, a lock-in amplifier, or the like.
【００２１】コンピュータ３７は、電気信号測定器３６
から出力されたデジタルデータを取り込む。また、コン
ピュータ３７は、物体３４の全体の像を得るために、電
動ステージ３８を制御して物体３４を２次元的に移動さ
せることにより、物体３４をミリ波で走査し、物体３４
上の各点から反射されたミリ波のデータを取得する。こ
れにより、２次元のミリ波データを取得する。そして、
コンピュータ３７は、取得したデータを基に２次元のミ
リ波像を表示する。以上のようにして、物体３４の反射
ミリ波像を得ることができる。The computer 37 includes an electric signal measuring device 36
Capture digital data output from. The computer 37 scans the object 34 with a millimeter wave by controlling the motorized stage 38 to move the object 34 two-dimensionally in order to obtain an entire image of the object 34.
Obtain the millimeter wave data reflected from each point above. Thus, two-dimensional millimeter wave data is obtained. And
The computer 37 displays a two-dimensional millimeter wave image based on the acquired data. As described above, a reflected millimeter wave image of the object 34 can be obtained.
【００２２】［実施の形態の４］図４は本発明の第４の
実施の形態となる反射電磁波検出型イメージング装置の
構成を示すブロック図であり、図３と同一の構成には同
一の符号を付してある。本実施の形態は、実施の形態の
３のサーキュレータ３１の代わりに方向性結合器４１を
用いること以外の点では、実施の形態の３と全く同じで
ある。したがって、図４では、ミリ波レンズ３３、物体
３４、電気信号測定器３６、コンピュータ３７及び電動
ステージ３８を省いている。[Fourth Embodiment] FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. Is attached. This embodiment is exactly the same as the third embodiment except that a directional coupler 41 is used instead of the circulator 31 of the third embodiment. Therefore, in FIG. 4, the millimeter-wave lens 33, the object 34, the electric signal measuring device 36, the computer 37, and the motorized stage 38 are omitted.
【００２３】図４を用いて方向性結合器４１について説
明する。方向性結合器４１は、４つのポートを持つデバ
イスである。ポートＰ１またはＰ３にミリ波が入射する
と、この入射したミリ波のパワーが分割されてポートＰ
２，Ｐ４からそれぞれミリ波が送出される。同様に、ポ
ートＰ２またはＰ４にミリ波が入射すると、このミリ波
のパワーが分割されてポートＰ１，Ｐ３からそれぞれミ
リ波が送出される。The directional coupler 41 will be described with reference to FIG. The directional coupler 41 is a device having four ports. When a millimeter wave enters the port P1 or P3, the power of the incident millimeter wave is divided and
Millimeter waves are transmitted from P2 and P4, respectively. Similarly, when a millimeter wave enters the port P2 or P4, the power of the millimeter wave is divided and the millimeter waves are transmitted from the ports P1 and P3.
【００２４】ミリ波のパワーが分割される割合は、方向
性結合器４１の性質によるが、本実施の形態で用いる場
合には分割比１：１のものが最適である。このようにミ
リ波のパワーを１：１に分割する方向性結合器のことを
３ｄＢ方向性結合器と呼ぶ。また、本実施の形態で用い
る場合には、１つのポート（例えばポートＰ４）は不要
なので、ポートＰ４でのミリ波の反射を防ぐ目的でポー
トＰ４を終端する。The rate at which the power of the millimeter wave is divided depends on the nature of the directional coupler 41, but when used in the present embodiment, a division ratio of 1: 1 is optimal. The directional coupler that divides the millimeter wave power into 1: 1 is called a 3 dB directional coupler. Further, when used in the present embodiment, since one port (for example, port P4) is unnecessary, port P4 is terminated for the purpose of preventing reflection of millimeter waves at port P4.
【００２５】本実施の形態に３ｄＢ方向性結合器４１を
用いる場合には、例えば図４に示したような構成をと
る。ミリ波発生器３０で発生したミリ波は、ミリ波伝送
路３９ａによって方向性結合器４１のポートＰ１に導か
れる。ポートＰ１に入射したミリ波のパワーの半分は、
終端されたポートＰ４で消費されるが、残りの半分はポ
ートＰ２から送出される。ポートＰ２に入射したミリ波
はアンテナ３２から自由空間に放射され、ミリ波レンズ
３３によって集束され、物体３４上の一点に照射され
る。When the 3 dB directional coupler 41 is used in the present embodiment, for example, a configuration as shown in FIG. 4 is adopted. The millimeter wave generated by the millimeter wave generator 30 is guided to the port P1 of the directional coupler 41 by the millimeter wave transmission path 39a. Half of the power of the millimeter wave incident on port P1 is
It is consumed at the terminated port P4, but the other half is sent out from port P2. The millimeter wave that has entered the port P2 is radiated from the antenna 32 to free space, is focused by the millimeter wave lens 33, and irradiates one point on the object 34.
【００２６】実施の形態の３と同様に、物体３４によっ
て反射されたミリ波は、ミリ波レンズ３３を通過してア
ンテナ３２に入射し、方向性結合器４１のポートＰ２に
入射する。ポートＰ２に入射したミリ波のパワーの半分
がポートＰ３から送出され、ミリ波伝送路３９ｂによっ
てミリ波検出器３５に導かれる。以後の動作は実施の形
態の３と全く同じである。こうして、実施の形態の３と
同様に、物体３４の反射ミリ波像を取得することが可能
となる。As in the third embodiment, the millimeter wave reflected by the object 34 passes through the millimeter wave lens 33, enters the antenna 32, and enters the port P2 of the directional coupler 41. Half of the power of the millimeter wave incident on the port P2 is transmitted from the port P3 and guided to the millimeter wave detector 35 by the millimeter wave transmission line 39b. The subsequent operation is exactly the same as in the third embodiment. Thus, similarly to the third embodiment, a reflected millimeter wave image of the object 34 can be obtained.
【００２７】［実施の形態の５］図５は本発明の第５の
実施の形態となる反射電磁波検出型イメージング装置の
構成を示すブロック図である。本実施の形態は、実施の
形態の２の具体的な構成例を示すものである。ミリ波発
生器５０で発生したミリ波は、ミリ波伝送路６０によっ
てアンテナ５１に導かれ、アンテナ５１から自由空間中
に放射される。アンテナ５１から放射されたミリ波は、
十分に広がった後にミリ波レンズ５２によって平行ミリ
波ビームに変換される。このとき、ミリ波の偏光状態
は、直線偏光になっている。[Fifth Embodiment] FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a fifth embodiment of the present invention. This embodiment shows a specific configuration example of the second embodiment. The millimeter wave generated by the millimeter wave generator 50 is guided to the antenna 51 by the millimeter wave transmission path 60 and is radiated from the antenna 51 into free space. The millimeter wave radiated from the antenna 51 is
After being sufficiently spread, it is converted into a parallel millimeter wave beam by the millimeter wave lens 52. At this time, the polarization state of the millimeter wave is linearly polarized.
【００２８】平行ミリ波ビームは、ミリ波用の偏光ビー
ムスプリッタ（以下、ＰＢＳとする）５３へ入射する。
ＰＢＳ５３の角度は、入射ミリ波が透過できるように調
整されている。ＰＢＳ５３を透過した直線偏光ミリ波ビ
ームは、ミリ波用の１／４波長板（以下、ＱＷＰとす
る）５７を透過して円偏光ミリ波ビームに変換される。The parallel millimeter wave beam is incident on a polarizing beam splitter (hereinafter, referred to as PBS) 53 for millimeter waves.
The angle of the PBS 53 is adjusted so that the incident millimeter wave can be transmitted. The linearly polarized millimeter-wave beam transmitted through the PBS 53 is transmitted through a quarter-wave plate for millimeter waves (hereinafter referred to as QWP) 57 and converted into a circularly-polarized millimeter-wave beam.
【００２９】円偏光ミリ波ビームの一部は、物体５４で
反射されて再びＱＷＰ５７に入射し、今度は直線偏光ミ
リ波ビームに変換される。ただし、この直線偏光ミリ波
ビームの偏波面は、ミリ波レンズ５２側からＰＢＳ５３
に入射した直線偏光ミリ波ビームの偏波面に対して直交
しているので、ＰＢＳ５３を透過することができずに反
射される。ＰＢＳ５３で反射された直線偏光ミリ波ビー
ムは、適切な位置に配置されたミリ波レンズ５５を透過
することによって物体の像を結ぶ。物体５４のミリ波像
が結ばれた面（結像面）にミリ波検出器アレイ５６を配
置することにより、ミリ波像のデータを取得することが
可能である。A part of the circularly polarized millimeter-wave beam is reflected by the object 54 and reenters the QWP 57, and is converted into a linearly polarized millimeter-wave beam. However, the plane of polarization of this linearly polarized millimeter wave beam is
Is orthogonal to the plane of polarization of the linearly polarized millimeter-wave beam incident on the, and cannot be transmitted through the PBS 53 and is reflected. The linearly polarized millimeter-wave beam reflected by the PBS 53 forms an image of an object by transmitting through a millimeter-wave lens 55 arranged at an appropriate position. By arranging the millimeter-wave detector array 56 on the surface of the object 54 where the millimeter-wave image is formed (imaging plane), it is possible to acquire data of the millimeter-wave image.
【００３０】ミリ波検出器アレイ５６は、２次元のミリ
波像に応じた電気信号を出力する。実施の形態の３と同
様に、電気信号測定器５８は、ミリ波検出器アレイ５６
から出力された電気信号を測定し、測定した電気信号に
対してデジタル化などの信号処理を行う。コンピュータ
５９は、電気信号測定器５８から出力されたデジタルデ
ータを取り込み、２次元のミリ波像を表示する。The millimeter wave detector array 56 outputs an electric signal corresponding to a two-dimensional millimeter wave image. As in the third embodiment, the electric signal measuring device 58 includes a millimeter wave detector array 56.
, And performs signal processing such as digitization on the measured electric signal. The computer 59 takes in the digital data output from the electric signal measuring device 58 and displays a two-dimensional millimeter wave image.
【００３１】［実施の形態の６］なお、実施の形態の５
の構成からＱＷＰ５７を省いてもよい。この場合には、
物体５４で反射されることによって生じたミリ波の偏光
変化を検出することによって、物体５４のミリ波像を可
視化することが可能になる。以下、本実施の形態の原理
を説明する。[Sixth Embodiment] In the fifth embodiment,
The QWP 57 may be omitted from the above configuration. In this case,
By detecting the change in the polarization of the millimeter wave caused by being reflected by the object 54, it becomes possible to visualize the millimeter wave image of the object 54. Hereinafter, the principle of the present embodiment will be described.
【００３２】実施の形態の５と同様に、ミリ波発生器５
０で発生したミリ波は、アンテナ５１およびミリ波レン
ズ５２を経由してＰＢＳ５３を透過する。ＰＢＳ５３を
透過した直線偏光ミリ波ビームは物体５４で反射される
が、その反射波は入射した直線偏光ミリ波ビームと独立
な偏光成分を少なからず含む。したがって、この偏光成
分は、ＰＢＳ５３で反射された後にミリ波レンズ５５に
よってミリ波検出器アレイ５６の受光面上に結像され
る。こうして、物体５４で反射されることによって生じ
たミリ波の偏光変化を検出することにより、物体５４の
ミリ波像を可視化することが可能になる。As in the fifth embodiment, the millimeter wave generator 5
The millimeter wave generated at 0 passes through the PBS 53 via the antenna 51 and the millimeter wave lens 52. The linearly-polarized millimeter-wave beam transmitted through the PBS 53 is reflected by the object 54, and the reflected wave contains a considerable amount of polarization components independent of the incident linearly-polarized millimeter-wave beam. Therefore, after being reflected by the PBS 53, the polarized light component forms an image on the light receiving surface of the millimeter wave detector array 56 by the millimeter wave lens 55. Thus, the millimeter wave image of the object 54 can be visualized by detecting the change in the polarization of the millimeter wave caused by being reflected by the object 54.
【００３３】［実施の形態の７］また、実施の形態の６
において、ＰＢＳ５３をビームスプリッタ（以下、ＢＳ
とする）に置き換えてもよい。本実施の形態は、実施の
形態の５とほぼ同等の機能を有するが、ＱＷＰ５７が不
要な分だけ、より簡素な構成のイメージング装置を提供
することが可能になる。ＢＳの機能は、実施の形態の４
における方向性結合器４１と同じである。[Seventh Embodiment] Further, the sixth embodiment is explained.
, A PBS 53 is connected to a beam splitter (hereinafter, BS).
). The present embodiment has almost the same functions as the fifth embodiment, but it is possible to provide an imaging apparatus with a simpler configuration because the QWP 57 is unnecessary. The function of the BS is described in Embodiment 4
Is the same as the directional coupler 41 in FIG.
【００３４】すなわち、アンテナ５１から放射されたミ
リ波は、ミリ波レンズ５２によって平行ミリ波ビームに
変換された後にＢＳに入射する。入射したミリ波の一部
はＢＳで反射されるが、残りはＢＳを透過する。ＢＳを
透過したミリ波は物体５４で反射された後に再びＢＳに
入射する。このときも、物体５４で反射されたミリ波の
一部がＢＳで反射されるので、実施の形態の５，６と同
様に、物体５４で反射したミリ波を、ミリ波レンズ５５
を使ってミリ波検出器アレイ５６の受光面上に結像させ
ることができる。That is, the millimeter wave radiated from the antenna 51 is converted into a parallel millimeter wave beam by the millimeter wave lens 52 and then enters the BS. A part of the incident millimeter wave is reflected by the BS, but the rest is transmitted by the BS. The millimeter wave transmitted through the BS is reflected by the object 54 and then enters the BS again. At this time, a part of the millimeter wave reflected by the object 54 is also reflected by the BS, so that the millimeter wave reflected by the object 54 is converted into the millimeter wave lens 55 similarly to the fifth and sixth embodiments.
Can be used to form an image on the light receiving surface of the millimeter wave detector array 56.
【００３５】［実施の形態の８］なお、実施の形態の５
〜７では、複数の検出素子を２次元状に配置したミリ波
検出器アレイ５６を使用したが、これに限るものではな
く、単素子のミリ波検出器を用いてもよい。この場合
は、単素子のミリ波検出器を図示しない検出器駆動手段
によって前記結像面に沿って２次元的に移動させながら
ミリ波を検出することにより、２次元のミリ波像のデー
タを取得することができる。[Eighth Embodiment] Note that Embodiment 5
Although the millimeter wave detector array 56 in which a plurality of detection elements are arranged in a two-dimensional manner is used in the examples 7 to 7, the present invention is not limited to this, and a single element millimeter wave detector may be used. In this case, the data of the two-dimensional millimeter wave image is detected by detecting the millimeter wave while moving the single element millimeter wave detector two-dimensionally along the imaging plane by detector driving means (not shown). Can be obtained.
【００３６】[0036]
【発明の効果】本発明によれば、電磁波発生器、分離
器、電磁波放射器、集束手段、電磁波検出器及び物体駆
動手段を用いることにより、ミリ波等の電磁波を通さな
い物体においても電磁波像を得ることのできる反射電磁
波検出型イメージング装置を従来よりも簡素な構成で実
現することができる。According to the present invention, by using an electromagnetic wave generator, a separator, an electromagnetic wave radiator, a focusing means, an electromagnetic wave detector and an object driving means, an electromagnetic wave image can be formed even on an object which does not transmit electromagnetic waves such as millimeter waves. Can be realized with a simpler configuration than in the past.
【００３７】また、サーキュレータあるいは方向性結合
器を用いることにより、反射電磁波検出型イメージング
装置の分離器を容易に実現することができる。Further, by using a circulator or a directional coupler, a separator of the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus can be easily realized.
【００３８】また、電磁波発生器、電磁波放射器、変換
手段、分離器、結像手段及び電磁波検出器を用いること
により、反射電磁波検出型イメージング装置を従来より
も簡素な構成で実現することができ、物体を走査するこ
となく、物体の電磁波像を得ることができる。Further, by using an electromagnetic wave generator, an electromagnetic wave radiator, a converting means, a separator, an image forming means and an electromagnetic wave detector, a reflected electromagnetic wave detecting type imaging apparatus can be realized with a simpler structure than before. An electromagnetic wave image of an object can be obtained without scanning the object.
【００３９】また、ビームスプリッタあるいは偏光ビー
ムスプリッタを用いることにより、反射電磁波検出型イ
メージング装置の分離器を容易に実現することができ
る。Further, by using a beam splitter or a polarizing beam splitter, a separator of the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus can be easily realized.
【００４０】また、２次元状に配置された複数の検出素
子からなる検出器アレイを用いることにより、電磁波検
出器を移動させることなく、２次元の電磁波像を検出す
ることができる。By using a detector array composed of a plurality of detection elements arranged two-dimensionally, a two-dimensional electromagnetic wave image can be detected without moving the electromagnetic wave detector.
【００４１】また、単素子の電磁波検出器と検出器駆動
手段とを用いることにより、検出器アレイを用いる場合
よりも、反射電磁波検出型イメージング装置のコストを
削減することができる。Further, by using a single element electromagnetic wave detector and detector driving means, the cost of the reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus can be reduced as compared with the case where a detector array is used.
【図１】 本発明の第１の実施の形態となる反射電磁波
検出型イメージング装置の構成を示すブロック図であ
る。FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の第２の実施の形態となる反射電磁波
検出型イメージング装置の構成を示すブロック図であ
る。FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の第３の実施の形態となる反射電磁波
検出型イメージング装置の構成を示すブロック図であ
る。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【図４】 本発明の第４の実施の形態となる反射電磁波
検出型イメージング装置の構成を示すブロック図であ
る。FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
【図５】 本発明の第５の実施の形態となる反射電磁波
検出型イメージング装置の構成を示すブロック図であ
る。FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.
【図６】 従来の透過ミリ波検出型イメージング装置の
構成を示すブロック図である。FIG. 6 is a block diagram showing a configuration of a conventional transmission millimeter wave detection type imaging apparatus.
【図７】 従来の反射ミリ波検出型イメージング装置の
構成を示すブロック図である。FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of a conventional reflected millimeter wave detection type imaging apparatus.
１０、２０…電磁波発生器、１１…入・反射波分離器、
１２、２１…電磁波放射器、１３、２２、２５…レン
ズ、１４、２４、３４、５４…物体、１５、２６…電磁
波検出器、２３…分離器、３０、５０…ミリ波発生器、
３１…サーキュレータ、３２、５１…アンテナ、３３、
５２、５５…ミリ波レンズ、３５…ミリ波検出器、３
６、５８…電気信号測定器、３７、５９…コンピュー
タ、３８…電動ステージ、３９ａ、３９ｂ、６０…ミリ
波伝送路、４１…方向性結合器、５３…偏光ビームスプ
リッタ、５６…ミリ波検出器アレイ、５７…１／４波長
板。10, 20: electromagnetic wave generator, 11: input / reflected wave separator,
12, 21 ... electromagnetic wave radiator, 13, 22, 25 ... lens, 14, 24, 34, 54 ... object, 15, 26 ... electromagnetic wave detector, 23 ... separator, 30, 50 ... millimeter wave generator,
31: circulator, 32, 51 ... antenna, 33,
52, 55: millimeter-wave lens, 35: millimeter-wave detector, 3
6, 58: electric signal measuring instrument, 37, 59: computer, 38: motorized stage, 39a, 39b, 60: millimeter wave transmission line, 41: directional coupler, 53: polarization beam splitter, 56: millimeter wave detector Array, 57 ... 1/4 wavelength plate.
Claims (9)
を可視化する反射電磁波検出型イメージング装置におい
て、 電磁波を発生する電磁波発生器と、 この電磁波発生器からの入射電磁波と物体からの反射電
磁波とを分離する分離器と、 この分離器によって取り出された前記入射電磁波を自由
空間に放射する電磁波放射器と、 この電磁波放射器から放射された電磁波を集束させて前
記物体に照射する集束手段と、 前記物体で反射され前記分離器によって取り出された反
射電磁波を検出する電磁波検出器と、 前記物体の２次元像を得るために前記物体を２次元的に
移動させる物体駆動手段とを有することを特徴とする反
射電磁波検出型イメージング装置。1. A reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus for detecting an electromagnetic wave reflected by an object to visualize the object, comprising: an electromagnetic wave generator for generating an electromagnetic wave; an incident electromagnetic wave from the electromagnetic wave generator and a reflected electromagnetic wave from the object. A separator that separates the electromagnetic wave emitted from the electromagnetic wave radiator from the electromagnetic wave radiator, and a focusing unit that irradiates the object with the electromagnetic wave radiated from the electromagnetic wave radiator. An electromagnetic wave detector that detects a reflected electromagnetic wave reflected by the object and extracted by the separator; and an object driving unit that two-dimensionally moves the object to obtain a two-dimensional image of the object. Characterized reflected electromagnetic wave detection type imaging device.
ージング装置において、 前記分離器は、サーキュレータであることを特徴とする
反射電磁波検出型イメージング装置。2. The reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to claim 1, wherein the separator is a circulator.
ージング装置において、 前記分離器は、方向性結合器であることを特徴とする反
射電磁波検出型イメージング装置。3. The reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to claim 1, wherein the separator is a directional coupler.
を可視化する反射電磁波検出型イメージング装置におい
て、 電磁波を発生する電磁波発生器と、 この電磁波発生器からの入射電磁波を自由空間に放射す
る電磁波放射器と、 この電磁波放射器から放射された電磁波を平行ビームに
変換して物体に照射する変換手段と、 この変換手段から前記物体に入射する入射電磁波と前記
物体からの反射電磁波とを分離する分離器と、 前記物体で反射され前記分離器によって取り出された反
射電磁波を結像させる結像手段と、 前記結像した反射電磁波を検出する電磁波検出器とを有
することを特徴とする反射電磁波検出型イメージング装
置。4. A reflected electromagnetic wave detection type imaging device for detecting an electromagnetic wave reflected by an object to visualize the object, comprising: an electromagnetic wave generator for generating an electromagnetic wave; and an electromagnetic wave incident from the electromagnetic wave generator being radiated to free space. An electromagnetic wave radiator, converting means for converting an electromagnetic wave radiated from the electromagnetic wave radiator into a parallel beam and irradiating the object with the electromagnetic wave, separating an incident electromagnetic wave incident on the object from the converting means and a reflected electromagnetic wave from the object A reflected electromagnetic wave which is reflected by the object and forms an image of the reflected electromagnetic wave extracted by the separator, and an electromagnetic wave detector which detects the imaged reflected electromagnetic wave. Detection type imaging device.
ージング装置において、 前記分離器は、ビームスプリッタであることを特徴とす
る反射電磁波検出型イメージング装置。5. The reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to claim 4, wherein the separator is a beam splitter.
ージング装置において、 前記分離器は、偏光ビームスプリッタであることを特徴
とする反射電磁波検出型イメージング装置。6. The reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to claim 4, wherein the separator is a polarization beam splitter.
ージング装置において、 前記偏光ビームスプリッタと前記物体との間に１／４波
長板を設けたことを特徴とする反射電磁波検出型イメー
ジング装置。7. The reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to claim 6, wherein a quarter-wave plate is provided between the polarization beam splitter and the object.
イメージング装置において、 前記電磁波検出器は、２次元状に配置された複数の検出
素子からなる検出器アレイであることを特徴とする反射
電磁波検出型イメージング装置。8. The reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to claim 4, wherein said electromagnetic wave detector is a detector array including a plurality of detection elements arranged two-dimensionally. Reflected electromagnetic wave detection type imaging device.
イメージング装置において、 前記電磁波検出器を前記反射電磁波の結像面に沿って２
次元的に移動させる検出器駆動手段を有し、 前記電磁波検出器は、単素子の検出器であることを特徴
とする反射電磁波検出型イメージング装置。9. The reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus according to claim 4, wherein the electromagnetic wave detector is arranged along the imaging plane of the reflected electromagnetic wave.
A reflected electromagnetic wave detection type imaging apparatus, comprising: detector driving means for moving the electromagnetic wave in a three-dimensional manner, wherein the electromagnetic wave detector is a single-element detector.
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