JP2002250700A - パターン検査方法およびその装置 - Google Patents
パターン検査方法およびその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】不良の種類を識別可能としたパターン検査方法
を提供する。 【解決手段】撮像手段１を検査対象２の正面に配置し、
落射光源３によって検査対象２を正面から照明したとき
の画像を撮像する。また、斜方光源４によって検査対象
を正面に対して斜め方向から照明したときの画像を撮像
装置１により撮像する。画像処理部７では、落射光源３
により検査対象２を照明した状態で撮像装置１に撮像さ
れた画像内において不良部分の領域を抽出する。その
後、画像処理部７は、斜方光源４により検査対象を照明
した状態で撮像装置１に撮像された画像内において不良
部分を含む領域の濃度変化の形により不良の種類を識別
する。
を提供する。 【解決手段】撮像手段１を検査対象２の正面に配置し、
落射光源３によって検査対象２を正面から照明したとき
の画像を撮像する。また、斜方光源４によって検査対象
を正面に対して斜め方向から照明したときの画像を撮像
装置１により撮像する。画像処理部７では、落射光源３
により検査対象２を照明した状態で撮像装置１に撮像さ
れた画像内において不良部分の領域を抽出する。その
後、画像処理部７は、斜方光源４により検査対象を照明
した状態で撮像装置１に撮像された画像内において不良
部分を含む領域の濃度変化の形により不良の種類を識別
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板に形成さ
れたパターンの画像を用いてパターンを外観検査するパ
ターン検査方法に関するものである。
れたパターンの画像を用いてパターンを外観検査するパ
ターン検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、各種検査対象の外観検査を行
う画像処理技術が提案されている。この種の画像処理技
術を、回路基板に形成されたパターンに適用した例は特
開平１０−１８５８３２号公報に記載されており、この
公報に記載の技術では、検査対象物の表面を均一に照明
した状態で検査対象物の正面を撮像手段で撮像すること
によって、微小な凹凸と比較的大きな凹凸との画像のコ
ントラストの差が大きくなるようにしてある。つまり、
コントラスト差によって比較的大きな凹凸である欠陥を
非欠陥である微小な凹凸と分離し、欠陥の検出精度を高
めている。
う画像処理技術が提案されている。この種の画像処理技
術を、回路基板に形成されたパターンに適用した例は特
開平１０−１８５８３２号公報に記載されており、この
公報に記載の技術では、検査対象物の表面を均一に照明
した状態で検査対象物の正面を撮像手段で撮像すること
によって、微小な凹凸と比較的大きな凹凸との画像のコ
ントラストの差が大きくなるようにしてある。つまり、
コントラスト差によって比較的大きな凹凸である欠陥を
非欠陥である微小な凹凸と分離し、欠陥の検出精度を高
めている。
【０００３】ところで、図９に示すように、ベアチップ
である集積回路１１を回路基板１２に実装する際に、回
路基板１２にパターン１３として形成したボンディング
パッドと集積回路１１に形成したボンディングパッド１
１ａとの間を金線などのワイヤ１４を用いて接続するこ
とがある。集積回路１１と回路基板１２との間の接続を
ワイヤボンディングによって行うときには、ボンディン
グパッドであるパターン１３に、ピンホール、しみ、
凹、凸が不良として存在するとパターン１３とワイヤ１
４との接合強度が低下することが知られている。また、
不良の種類ごとに不良のサイズと接合強度が低下する程
度との関係が異なることも知られている。
である集積回路１１を回路基板１２に実装する際に、回
路基板１２にパターン１３として形成したボンディング
パッドと集積回路１１に形成したボンディングパッド１
１ａとの間を金線などのワイヤ１４を用いて接続するこ
とがある。集積回路１１と回路基板１２との間の接続を
ワイヤボンディングによって行うときには、ボンディン
グパッドであるパターン１３に、ピンホール、しみ、
凹、凸が不良として存在するとパターン１３とワイヤ１
４との接合強度が低下することが知られている。また、
不良の種類ごとに不良のサイズと接合強度が低下する程
度との関係が異なることも知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、ワイ
ヤボンディングを行うときには、ボンディングパッドで
あるパターン１３とワイヤ１４との接合強度を確保する
ために、ボンディングパッドであるパターン１３に生じ
た不良の種類を区別し、さらに不良のサイズを検出する
ことが要求される。
ヤボンディングを行うときには、ボンディングパッドで
あるパターン１３とワイヤ１４との接合強度を確保する
ために、ボンディングパッドであるパターン１３に生じ
た不良の種類を区別し、さらに不良のサイズを検出する
ことが要求される。
【０００５】しかしながら、上記公報に記載の技術で
は、回路基板に形成されたパターン１３に生じている不
良の種類がピンホール、しみ、凹、凸のいずれであるか
を区別することができないという問題がある。また、不
良の種類を区別することができないから、当然のことな
がら、接合強度を確保するためのサイズを不良の種類別
に設定することができない。その結果、不良の種類にか
かわらずサイズに関して不良と判定する水準をもっとも
小さいものに合わせることになり、結果的に不良の発生
率が高くなって全体としての歩留まりが低下するという
問題が生じる。
は、回路基板に形成されたパターン１３に生じている不
良の種類がピンホール、しみ、凹、凸のいずれであるか
を区別することができないという問題がある。また、不
良の種類を区別することができないから、当然のことな
がら、接合強度を確保するためのサイズを不良の種類別
に設定することができない。その結果、不良の種類にか
かわらずサイズに関して不良と判定する水準をもっとも
小さいものに合わせることになり、結果的に不良の発生
率が高くなって全体としての歩留まりが低下するという
問題が生じる。
【０００６】本発明は上記事由に鑑みて為されたもので
あり、その目的は、不良の種類を識別可能としたパター
ン検査方法を提供することにある。
あり、その目的は、不良の種類を識別可能としたパター
ン検査方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、回路
基板に形成されたパターンを検査対象とし、検査対象の
正面方向から撮像した画像を用いて検査対象の不良の有
無を検査する方法であって、検査対象の正面方向から照
明したときの画像内で不良部分の領域を抽出する第１ス
テップと、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照
明したときの画像内において不良部分を含む領域の濃度
変化の形により不良の種類を識別する第２ステップとを
有することを特徴とする。
基板に形成されたパターンを検査対象とし、検査対象の
正面方向から撮像した画像を用いて検査対象の不良の有
無を検査する方法であって、検査対象の正面方向から照
明したときの画像内で不良部分の領域を抽出する第１ス
テップと、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照
明したときの画像内において不良部分を含む領域の濃度
変化の形により不良の種類を識別する第２ステップとを
有することを特徴とする。
【０００８】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分の全領域が
周囲よりも明るいときに不良の種類をピンホールと判定
することを特徴とする。
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分の全領域が
周囲よりも明るいときに不良の種類をピンホールと判定
することを特徴とする。
【０００９】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分の全領域が
周囲の濃度と規定範囲内であるときに不良の種類をしみ
と判定することを特徴とする。
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分の全領域が
周囲の濃度と規定範囲内であるときに不良の種類をしみ
と判定することを特徴とする。
【００１０】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分で検査対象
を照明する光源に近い側から周囲よりも暗い領域と明る
い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凹と判定するこ
とを特徴とする。
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分で検査対象
を照明する光源に近い側から周囲よりも暗い領域と明る
い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凹と判定するこ
とを特徴とする。
【００１１】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分で検査対象
を照明する光源に近い側から周囲よりも明るい領域と暗
い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凸と判定するこ
とを特徴とする。
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分で検査対象
を照明する光源に近い側から周囲よりも明るい領域と暗
い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凸と判定するこ
とを特徴とする。
【００１２】請求項６の発明は、請求項１ないし請求項
５の発明において、前記検査対象の正面方向に対して斜
め方向から照明する際に検査対象の周囲の複数の位置か
ら照明し、各位置から照明したときの画像のうち不良部
分の領域で不良の種類の特徴を最大に表している画像を
用いて不良の種類を識別することを特徴とする。
５の発明において、前記検査対象の正面方向に対して斜
め方向から照明する際に検査対象の周囲の複数の位置か
ら照明し、各位置から照明したときの画像のうち不良部
分の領域で不良の種類の特徴を最大に表している画像を
用いて不良の種類を識別することを特徴とする。
【００１３】請求項７の発明は、請求項１ないし請求項
６の発明において、前記検査対象の正面方向からの照明
光と前記検査対象の正面方向に対する斜め方向からの照
明光とを異なる光色として検査対象を同時に照明し、検
査対象のカラー画像から各照明光の色ごとの画像を分離
することによって、検査対象の正面方向から照明したと
きの画像と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から
照明したときの画像とを抽出することを特徴とする。
６の発明において、前記検査対象の正面方向からの照明
光と前記検査対象の正面方向に対する斜め方向からの照
明光とを異なる光色として検査対象を同時に照明し、検
査対象のカラー画像から各照明光の色ごとの画像を分離
することによって、検査対象の正面方向から照明したと
きの画像と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から
照明したときの画像とを抽出することを特徴とする。
【００１４】請求項８の発明は、回路基板に形成された
パターンを検査対象とし検査対象を正面方向から撮像す
る撮像装置と、検査対象の正面方向から照明する落射光
源と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明す
る斜方光源と、落射光源により検査対象を照明した状態
で撮像装置に撮像された画像内において不良部分の領域
を抽出するとともに、斜方光源により検査対象を照明し
た状態で撮像装置に撮像された画像内において不良部分
を含む領域の濃度変化の形により不良の種類を識別する
画像処理部とを備えるものである。
パターンを検査対象とし検査対象を正面方向から撮像す
る撮像装置と、検査対象の正面方向から照明する落射光
源と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明す
る斜方光源と、落射光源により検査対象を照明した状態
で撮像装置に撮像された画像内において不良部分の領域
を抽出するとともに、斜方光源により検査対象を照明し
た状態で撮像装置に撮像された画像内において不良部分
を含む領域の濃度変化の形により不良の種類を識別する
画像処理部とを備えるものである。
【００１５】なお、検査対象は平面であることが良品で
あって、その面に直交する方向を検査対象の正面方向と
する。
あって、その面に直交する方向を検査対象の正面方向と
する。
【００１６】
【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）図１に本実
施形態の基本的な構成を示す。図示例ではＴＶカメラで
ある撮像手段１によって検査対象２を正面から撮像する
ことができるように、撮像手段１の正面に検査対象２を
配置してあり、さらに検査対象２を正面から均一に照明
することができる光源（以下、「落射光源」という）３
と、検査対象２の正面に対して斜め方向から照明する光
源（以下、「斜方光源」という）４とを配置してある。
施形態の基本的な構成を示す。図示例ではＴＶカメラで
ある撮像手段１によって検査対象２を正面から撮像する
ことができるように、撮像手段１の正面に検査対象２を
配置してあり、さらに検査対象２を正面から均一に照明
することができる光源（以下、「落射光源」という）３
と、検査対象２の正面に対して斜め方向から照明する光
源（以下、「斜方光源」という）４とを配置してある。
【００１７】ただし、検査対象２に対して落射光源３か
ら照射される光の中心線と撮像手段１の光軸とが一致す
るように、撮像手段１と検査対象２との間にハーフミラ
ー５が配置され、撮像手段１ではハーフミラー５を通し
て検査対象２を撮像し、落射光源３からの光はハーフミ
ラー５で反射された後に検査対象２に照射されるように
してある。ただし、この関係は逆であってもよく、撮像
手段１が検査対象２をハーフミラー５で反射させて撮像
し、落射光源３からハーフミラー５を通して検査対象２
に照射してもよい。落射光源３には、光の出射面が円環
状であるいわゆるリング照明を用いたり、発光ダイオー
ドのような発光素子を多数個配列した面状光源などを用
いたりすればよい。いずれにしても、検査対象２を正面
から均一に照明できる構成であれば落射光源３の構成は
とくに制限を受けない。
ら照射される光の中心線と撮像手段１の光軸とが一致す
るように、撮像手段１と検査対象２との間にハーフミラ
ー５が配置され、撮像手段１ではハーフミラー５を通し
て検査対象２を撮像し、落射光源３からの光はハーフミ
ラー５で反射された後に検査対象２に照射されるように
してある。ただし、この関係は逆であってもよく、撮像
手段１が検査対象２をハーフミラー５で反射させて撮像
し、落射光源３からハーフミラー５を通して検査対象２
に照射してもよい。落射光源３には、光の出射面が円環
状であるいわゆるリング照明を用いたり、発光ダイオー
ドのような発光素子を多数個配列した面状光源などを用
いたりすればよい。いずれにしても、検査対象２を正面
から均一に照明できる構成であれば落射光源３の構成は
とくに制限を受けない。
【００１８】一方、斜方光源４は光の出射面の正面方向
が検査対象２の正面方向に対して傾斜するように配置さ
れており、検査対象２に対して斜め方向から光を照射す
る。斜方光源４としては光の出射面の輝度が均一である
面状光源を用いるのが望ましく、また斜方光源４は検査
対象２を一様に照明できるように発光面の大きさおよび
検査対象２からの距離が設定されている。つまり、斜方
光源４は検査対象２をむらなく照明することができるよ
うに配置される。
が検査対象２の正面方向に対して傾斜するように配置さ
れており、検査対象２に対して斜め方向から光を照射す
る。斜方光源４としては光の出射面の輝度が均一である
面状光源を用いるのが望ましく、また斜方光源４は検査
対象２を一様に照明できるように発光面の大きさおよび
検査対象２からの距離が設定されている。つまり、斜方
光源４は検査対象２をむらなく照明することができるよ
うに配置される。
【００１９】撮像装置１の光軸および落射光源３からの
光の中心線を検査対象２の中心付近に位置させるために
検査対象２をＸ−Ｙテーブル６の上に載せてある。した
がって、Ｘ−Ｙテーブル６によって検査対象２の位置を
調節することで撮像装置１および落射光源３と検査対象
２との位置合わせを行うから、撮像装置１と落射光源３
とハーフミラー５との位置を固定しておくことができ、
これらの部材の位置ずれを防止することができる。
光の中心線を検査対象２の中心付近に位置させるために
検査対象２をＸ−Ｙテーブル６の上に載せてある。した
がって、Ｘ−Ｙテーブル６によって検査対象２の位置を
調節することで撮像装置１および落射光源３と検査対象
２との位置合わせを行うから、撮像装置１と落射光源３
とハーフミラー５との位置を固定しておくことができ、
これらの部材の位置ずれを防止することができる。
【００２０】落射光源３と斜方光源４とを用いて検査対
象２を照明した状態で撮像装置１により検査対象２を撮
像することにより得られる画像は、マイコンを主構成と
する画像処理部７に入力される。本実施形態では、撮像
装置１としてモノクロの濃淡画像を出力するものを用い
ており、落射光源３と斜方光源４とを照明制御部８によ
って択一的に点灯させることにより、撮像装置１から出
力されている画像が落射光源３と斜方光源４とのどちら
で照明されているときの画像かを容易に識別でいるよう
にしてある。ここに、画像処理部７には照明制御部８か
ら落射光源３と斜方光源４とのどちらで検査対象２を照
明しているかの情報が入力される。
象２を照明した状態で撮像装置１により検査対象２を撮
像することにより得られる画像は、マイコンを主構成と
する画像処理部７に入力される。本実施形態では、撮像
装置１としてモノクロの濃淡画像を出力するものを用い
ており、落射光源３と斜方光源４とを照明制御部８によ
って択一的に点灯させることにより、撮像装置１から出
力されている画像が落射光源３と斜方光源４とのどちら
で照明されているときの画像かを容易に識別でいるよう
にしてある。ここに、画像処理部７には照明制御部８か
ら落射光源３と斜方光源４とのどちらで検査対象２を照
明しているかの情報が入力される。
【００２１】ところで、本発明における検査対象２は、
図９を用いて従来構成として説明したように、パターン
１３を形成した回路基板１２であり、本発明では、落射
光源３により検査対象２を照明したときに撮像装置１で
得られる画像と、斜方光源４により検査対象２を照明し
たときに撮像装置１で得られる画像との特性を利用して
パターン１３に生じた不良の種類を区別して検出する。
区別可能な不良の種類には、ピンホール、しみ、凹、凸
の４種類があり、図３に示すような組合せにより不良の
種類を区別する。ピンホールはパターンに生じた小孔、
しみはパターンに付着した汚れ、凹はパターンの凹み、
凸はパターンの盛り上がりを意味し、図３の１行目にそ
れぞれの典型例を示してある。図３の２〜４行目は、落
射光源３による照明（落射照明）での画像、斜方光源４
による検査対象２の左側からの照明（斜方照明（左））
での画像、斜方光源４による検査対象２の右側からの照
明（斜方照明（右））での画像をそれぞれ示している。
ここに、図３において、白抜きは濃度がもっとも高い
（明るい）状態、黒塗りは濃度がもっとも低い（暗い）
状態を示し、濃度が低いほうに向かって、白抜き（明部
という）、細点部（準明部という）、斜線部（準暗部と
いう）、黒塗り（暗部という）で順に表してある。
図９を用いて従来構成として説明したように、パターン
１３を形成した回路基板１２であり、本発明では、落射
光源３により検査対象２を照明したときに撮像装置１で
得られる画像と、斜方光源４により検査対象２を照明し
たときに撮像装置１で得られる画像との特性を利用して
パターン１３に生じた不良の種類を区別して検出する。
区別可能な不良の種類には、ピンホール、しみ、凹、凸
の４種類があり、図３に示すような組合せにより不良の
種類を区別する。ピンホールはパターンに生じた小孔、
しみはパターンに付着した汚れ、凹はパターンの凹み、
凸はパターンの盛り上がりを意味し、図３の１行目にそ
れぞれの典型例を示してある。図３の２〜４行目は、落
射光源３による照明（落射照明）での画像、斜方光源４
による検査対象２の左側からの照明（斜方照明（左））
での画像、斜方光源４による検査対象２の右側からの照
明（斜方照明（右））での画像をそれぞれ示している。
ここに、図３において、白抜きは濃度がもっとも高い
（明るい）状態、黒塗りは濃度がもっとも低い（暗い）
状態を示し、濃度が低いほうに向かって、白抜き（明部
という）、細点部（準明部という）、斜線部（準暗部と
いう）、黒塗り（暗部という）で順に表してある。
【００２２】落射光源３によって検査対象２を照明した
ときに撮像装置１によって得られる画像は、不良の正面
形状が同じであれば、図３の２列目に示すように、濃淡
に若干の差が生じるもののほぼ同様の画像になる。ここ
に、不良部分の周囲の濃度が高い（明るい）のは落射光
源３で照明すると正反射に近い反射光が撮像装置１に入
射するからである。
ときに撮像装置１によって得られる画像は、不良の正面
形状が同じであれば、図３の２列目に示すように、濃淡
に若干の差が生じるもののほぼ同様の画像になる。ここ
に、不良部分の周囲の濃度が高い（明るい）のは落射光
源３で照明すると正反射に近い反射光が撮像装置１に入
射するからである。
【００２３】斜方光源４からの光を検査対象２の左側か
ら照射するか右側から照射するかは、ピンホールやしみ
では差がほとんど生じないが、凹や凸では陰影の位置に
差が生じる。また、不良の種類が凹あるいは凸の場合に
は、不良部分の領域内において周囲よりも明るい領域と
暗い領域とが形成される。つまり、凹では斜方光源４に
近い側が影になるが遠い側が明るくなり、逆に凸では斜
方光源４から遠い側が影になるが近い側が明るくなる。
要するに、斜方光源４に近い側から準暗部（周囲）→暗
部→明部→準暗部（周囲）と変化すれば凹であり、斜方
光源４に近い側から準暗部（周囲）→明部→暗部→準暗
部（周囲）と変化すれば凸であると言える。したがっ
て、斜方光源４と検査対象２との位置関係と、明暗の位
置関係とを抽出すれば、凹か凸かの区別が可能になる。
また、しみは斜方光源４では不良部分が周囲とほぼ同程
度の濃度になり（つまり、不良部分の領域と周囲との濃
度差が規定範囲内になり）、ピンホールでは斜方光源４
を用いたときに不良部分の領域が周囲よりも明るくな
る。これは、検査対象が回路基板に形成したパターンで
あって、パターンが一般に銅箔のような金属であること
に起因する特徴であると言える。
ら照射するか右側から照射するかは、ピンホールやしみ
では差がほとんど生じないが、凹や凸では陰影の位置に
差が生じる。また、不良の種類が凹あるいは凸の場合に
は、不良部分の領域内において周囲よりも明るい領域と
暗い領域とが形成される。つまり、凹では斜方光源４に
近い側が影になるが遠い側が明るくなり、逆に凸では斜
方光源４から遠い側が影になるが近い側が明るくなる。
要するに、斜方光源４に近い側から準暗部（周囲）→暗
部→明部→準暗部（周囲）と変化すれば凹であり、斜方
光源４に近い側から準暗部（周囲）→明部→暗部→準暗
部（周囲）と変化すれば凸であると言える。したがっ
て、斜方光源４と検査対象２との位置関係と、明暗の位
置関係とを抽出すれば、凹か凸かの区別が可能になる。
また、しみは斜方光源４では不良部分が周囲とほぼ同程
度の濃度になり（つまり、不良部分の領域と周囲との濃
度差が規定範囲内になり）、ピンホールでは斜方光源４
を用いたときに不良部分の領域が周囲よりも明るくな
る。これは、検査対象が回路基板に形成したパターンで
あって、パターンが一般に銅箔のような金属であること
に起因する特徴であると言える。
【００２４】したがって、落射光源３で検査対象２を照
明したときに撮像装置１で得られる画像によって検査対
象２における不良の有無および位置を知ることができ、
斜方光源４で検査対象２を照明したときに撮像装置１で
得られる画像によって不良の種類を識別することができ
ることになる。
明したときに撮像装置１で得られる画像によって検査対
象２における不良の有無および位置を知ることができ、
斜方光源４で検査対象２を照明したときに撮像装置１で
得られる画像によって不良の種類を識別することができ
ることになる。
【００２５】いま、落射光源３で検査対象２を照明した
ときに図４に示す濃淡画像Ｐ１が得られたとする。ここ
で、図４にＡ部で示す部分については、図５（ａ）のよ
うな濃淡画像Ｐ１が得られているものとする。画像処理
部７ではまず濃淡画像Ｐ１に微分を施す。濃淡画像Ｐ１
を微分すれば濃度変化の大きい部分が強調されて図５
（ｂ）のような微分画像Ｐ２が得られる。こうして得ら
れた微分画像Ｐ２にいわゆる膨張処理を施して図５
（ｃ）のような画像Ｐ３を生成し、さらにこの画像Ｐ３
からエッジを抽出する。抽出されたエッジはあらかじめ
設定してあるテンプレートと比較すれば、不良部分を抽
出することが可能になる。こうして不良部分が抽出され
ると、不良部分の位置および大きさ（寸法）の特定が可
能になる。
ときに図４に示す濃淡画像Ｐ１が得られたとする。ここ
で、図４にＡ部で示す部分については、図５（ａ）のよ
うな濃淡画像Ｐ１が得られているものとする。画像処理
部７ではまず濃淡画像Ｐ１に微分を施す。濃淡画像Ｐ１
を微分すれば濃度変化の大きい部分が強調されて図５
（ｂ）のような微分画像Ｐ２が得られる。こうして得ら
れた微分画像Ｐ２にいわゆる膨張処理を施して図５
（ｃ）のような画像Ｐ３を生成し、さらにこの画像Ｐ３
からエッジを抽出する。抽出されたエッジはあらかじめ
設定してあるテンプレートと比較すれば、不良部分を抽
出することが可能になる。こうして不良部分が抽出され
ると、不良部分の位置および大きさ（寸法）の特定が可
能になる。
【００２６】上述のようにして落射光源３により照明し
たときの画像から不良部分の位置が特定されると、斜方
光源４により照明したときの画像に対して上述の特性を
利用して不良の種類を識別することができる。
たときの画像から不良部分の位置が特定されると、斜方
光源４により照明したときの画像に対して上述の特性を
利用して不良の種類を識別することができる。
【００２７】上述した処理の手順をまとめると図２のよ
うになる。すなわち、まずＸ−Ｙテーブル６を移動させ
て検査対象２と撮像装置１との位置合わせを行う（Ｓ
１）。次に、落射光源３を点灯させて撮像装置１で検査
対象２を撮像し（Ｓ２）、さらに照明制御部８により落
射光源３を消灯させるとともに斜方光源４を点灯させ
（Ｓ３）、この状態で撮像装置１で検査対象２を撮像す
る（Ｓ４）。このようにして落射光源３を用いて撮像し
た画像と、斜方光源４を用いて撮像した画像とが得られ
ると、落射光源３による画像から不良部位を特定すると
ともに不良部分のサイズを計測し（Ｓ５）、さらに不良
部位として特定された位置について、斜方光源４による
画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定するのであ
る（Ｓ６）。
うになる。すなわち、まずＸ−Ｙテーブル６を移動させ
て検査対象２と撮像装置１との位置合わせを行う（Ｓ
１）。次に、落射光源３を点灯させて撮像装置１で検査
対象２を撮像し（Ｓ２）、さらに照明制御部８により落
射光源３を消灯させるとともに斜方光源４を点灯させ
（Ｓ３）、この状態で撮像装置１で検査対象２を撮像す
る（Ｓ４）。このようにして落射光源３を用いて撮像し
た画像と、斜方光源４を用いて撮像した画像とが得られ
ると、落射光源３による画像から不良部位を特定すると
ともに不良部分のサイズを計測し（Ｓ５）、さらに不良
部位として特定された位置について、斜方光源４による
画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定するのであ
る（Ｓ６）。
【００２８】上述のようにして不良の種類を識別するこ
とができるとともに不良部分のサイズを知ることができ
るから、不良部分の種類ごとにサイズを判別して不良品
とすべきか否かの判断を細かく行うことができ、結果的
に歩留まりの向上につながる。また、不良の種類ごとの
集計をとるようにすれば、検査前の工程での不良の発生
原因に応じて製造装置の管理などが可能になり、結果的
に前工程における不良の発生率を低減させるような管理
が可能になる。
とができるとともに不良部分のサイズを知ることができ
るから、不良部分の種類ごとにサイズを判別して不良品
とすべきか否かの判断を細かく行うことができ、結果的
に歩留まりの向上につながる。また、不良の種類ごとの
集計をとるようにすれば、検査前の工程での不良の発生
原因に応じて製造装置の管理などが可能になり、結果的
に前工程における不良の発生率を低減させるような管理
が可能になる。
【００２９】（第２の実施の形態）第１の実施の形態で
は斜方光源４を１個としたが、本実施形態は図６に示す
ように左右２個の斜方光源４ａ，４ｂを用いるものであ
る。つまり、斜方光源４ａ，４ｂを用いると不良の種類
を識別することができるのであるが、斜方光源４ａ，４
ｂと不良部位との距離が大きいほど、斜方光源４ａ，４
ｂからの光が検査対象の表面となす角度が小さくなるか
ら、不良部位における濃度変化の特性がより強く生じる
と考えられる。そこで、本実施形態では、落射光源３を
用いて撮像した画像によって不良部位の位置が特定され
ると、その位置から遠いほうの斜方光源４ａ，４ｂによ
って得られた画像を用いることによって、不良の種類の
識別を第１の実施の形態よりも容易にしているのであ
る。
は斜方光源４を１個としたが、本実施形態は図６に示す
ように左右２個の斜方光源４ａ，４ｂを用いるものであ
る。つまり、斜方光源４ａ，４ｂを用いると不良の種類
を識別することができるのであるが、斜方光源４ａ，４
ｂと不良部位との距離が大きいほど、斜方光源４ａ，４
ｂからの光が検査対象の表面となす角度が小さくなるか
ら、不良部位における濃度変化の特性がより強く生じる
と考えられる。そこで、本実施形態では、落射光源３を
用いて撮像した画像によって不良部位の位置が特定され
ると、その位置から遠いほうの斜方光源４ａ，４ｂによ
って得られた画像を用いることによって、不良の種類の
識別を第１の実施の形態よりも容易にしているのであ
る。
【００３０】本実施形態において不良を検出する手順
は、図７に示すように、第１の実施の形態とほぼ同様で
あって、まずＸ−Ｙテーブル６を移動させて検査対象２
と撮像装置１との位置合わせを行い（Ｓ１）、次に、落
射光源３を点灯させて撮像装置１で検査対象２を撮像し
（Ｓ２）、照明制御部８により落射光源３を消灯させる
とともに図６の左側の斜方光源４ａを点灯させ（Ｓ
３）、この状態で撮像装置１で検査対象２を撮像する
（Ｓ４）。さらに、照明制御部８により図６の左側の斜
方光源４ａを消灯させるとともに図６の右側の斜方光源
４ｂを点灯させ（Ｓ５）、この状態で撮像装置１で検査
対象２を撮像する（Ｓ６）。落射光源３を用いて撮像し
た画像と、左右２個の斜方光源４ａ，４ｂを用いてそれ
ぞれ撮像した画像とが得られると、落射光源３による画
像から不良部位を特定するとともに不良部分のサイズを
計測する（Ｓ７）。ここで、不良部位が画像の中央に対
して左右どちら側に偏っているかを判定し（Ｓ８）、右
側の不良部位であれば左側の斜方光源４ａで照明したと
きの画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定し（Ｓ
９）、左側の不良部位であれば右側の斜方光源４ｂで照
明したときの画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特
定する（Ｓ１０）。他の構成および動作は第１の実施の
形態と同様である。なお、本実施形態では２個の斜方光
源４ａ，４ｂを用いているが、さらに多数個の斜方光源
を検査対象２の周囲に配置してもよい。
は、図７に示すように、第１の実施の形態とほぼ同様で
あって、まずＸ−Ｙテーブル６を移動させて検査対象２
と撮像装置１との位置合わせを行い（Ｓ１）、次に、落
射光源３を点灯させて撮像装置１で検査対象２を撮像し
（Ｓ２）、照明制御部８により落射光源３を消灯させる
とともに図６の左側の斜方光源４ａを点灯させ（Ｓ
３）、この状態で撮像装置１で検査対象２を撮像する
（Ｓ４）。さらに、照明制御部８により図６の左側の斜
方光源４ａを消灯させるとともに図６の右側の斜方光源
４ｂを点灯させ（Ｓ５）、この状態で撮像装置１で検査
対象２を撮像する（Ｓ６）。落射光源３を用いて撮像し
た画像と、左右２個の斜方光源４ａ，４ｂを用いてそれ
ぞれ撮像した画像とが得られると、落射光源３による画
像から不良部位を特定するとともに不良部分のサイズを
計測する（Ｓ７）。ここで、不良部位が画像の中央に対
して左右どちら側に偏っているかを判定し（Ｓ８）、右
側の不良部位であれば左側の斜方光源４ａで照明したと
きの画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定し（Ｓ
９）、左側の不良部位であれば右側の斜方光源４ｂで照
明したときの画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特
定する（Ｓ１０）。他の構成および動作は第１の実施の
形態と同様である。なお、本実施形態では２個の斜方光
源４ａ，４ｂを用いているが、さらに多数個の斜方光源
を検査対象２の周囲に配置してもよい。
【００３１】（第３の実施の形態）本実施形態は、第２
の実施の形態と同様に２個の斜方光源４ａ，４ｂを用い
るものであるが、第２の実施の形態では落射光源３と各
斜方光源４ａ，４ｂとを別々に点灯させていたのに対し
て、本実施形態では落射光源３と２個の斜方光源４ａ，
４ｂとを同時に点灯可能としたものである。このような
動作を実現するために、本実施形態では撮像装置１とし
てカラーＴＶカメラを用い、落射光源３と各斜方光源４
ａ，４ｂの各発光色を異ならせている。つまり、落射光
源３と各斜方光源４ａ，４ｂとをそれぞれ異なる発光色
として、撮像装置１において得られるカラー画像から画
像処理部７において色ごとの情報を分離抽出することに
より、第２の実施の形態において３回の撮像を行って得
た情報と同等の情報を１回の撮像によって得るのであ
る。
の実施の形態と同様に２個の斜方光源４ａ，４ｂを用い
るものであるが、第２の実施の形態では落射光源３と各
斜方光源４ａ，４ｂとを別々に点灯させていたのに対し
て、本実施形態では落射光源３と２個の斜方光源４ａ，
４ｂとを同時に点灯可能としたものである。このような
動作を実現するために、本実施形態では撮像装置１とし
てカラーＴＶカメラを用い、落射光源３と各斜方光源４
ａ，４ｂの各発光色を異ならせている。つまり、落射光
源３と各斜方光源４ａ，４ｂとをそれぞれ異なる発光色
として、撮像装置１において得られるカラー画像から画
像処理部７において色ごとの情報を分離抽出することに
より、第２の実施の形態において３回の撮像を行って得
た情報と同等の情報を１回の撮像によって得るのであ
る。
【００３２】いま、撮像装置１での色情報の分離を容易
にするために、落射光源３の発光色を赤色、図６におけ
る左側の斜方光源４ａの発光色を緑色、図６における右
側の斜方光源の発光色を青色に設定しているものとす
る。図８に示すように、本実施形態では、まずＸ−Ｙテ
ーブル６を移動させて検査対象２と撮像装置１との位置
合わせを行い（Ｓ１）、次に、落射光源３と２個の斜方
光源４ａ，４ｂとを同時に点灯させ（Ｓ２）、撮像装置
１で検査対象２を撮像する（Ｓ３）。画像処理部７で
は、撮像装置１で撮像されたカラー画像について、赤色
成分と緑色成分と青色成分とが分離して処理される。赤
色成分は落射光源３により撮像された画像になるから、
赤色成分の画像から不良部位を特定するとともに不良部
分のサイズを計測する（Ｓ４）。ここで、不良部位が画
像の中央に対して左右どちら側に偏っているかを判定し
（Ｓ５）、右側の不良部位であれば左側の斜方光源４ａ
での照明に相当する緑色成分の画像の濃度変化に基づい
て不良の種類を特定し（Ｓ６）、左側の不良部位であれ
ば右側の斜方光源４ｂでの照明に相当する青色成分の画
像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定する（Ｓ
７）。このように、本実施形態では第２の実施の形態と
同様の情報量を持ちながらも、処理手順が第２の実施の
形態よりも少なくなる。他の構成および動作は第１の実
施の形態と同様である。
にするために、落射光源３の発光色を赤色、図６におけ
る左側の斜方光源４ａの発光色を緑色、図６における右
側の斜方光源の発光色を青色に設定しているものとす
る。図８に示すように、本実施形態では、まずＸ−Ｙテ
ーブル６を移動させて検査対象２と撮像装置１との位置
合わせを行い（Ｓ１）、次に、落射光源３と２個の斜方
光源４ａ，４ｂとを同時に点灯させ（Ｓ２）、撮像装置
１で検査対象２を撮像する（Ｓ３）。画像処理部７で
は、撮像装置１で撮像されたカラー画像について、赤色
成分と緑色成分と青色成分とが分離して処理される。赤
色成分は落射光源３により撮像された画像になるから、
赤色成分の画像から不良部位を特定するとともに不良部
分のサイズを計測する（Ｓ４）。ここで、不良部位が画
像の中央に対して左右どちら側に偏っているかを判定し
（Ｓ５）、右側の不良部位であれば左側の斜方光源４ａ
での照明に相当する緑色成分の画像の濃度変化に基づい
て不良の種類を特定し（Ｓ６）、左側の不良部位であれ
ば右側の斜方光源４ｂでの照明に相当する青色成分の画
像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定する（Ｓ
７）。このように、本実施形態では第２の実施の形態と
同様の情報量を持ちながらも、処理手順が第２の実施の
形態よりも少なくなる。他の構成および動作は第１の実
施の形態と同様である。
【００３３】
【発明の効果】請求項１の発明は、回路基板に形成され
たパターンを検査対象とし、検査対象の正面方向から撮
像した画像を用いて検査対象の不良の有無を検査する方
法であって、検査対象の正面方向から照明したときの画
像内で不良部分の領域を抽出する第１ステップと、検査
対象の正面方向に対して斜め方向から照明したときの画
像内において不良部分を含む領域の濃度変化の形により
不良の種類を識別する第２ステップとを有しており、照
明方向を変えることによって、検査対象の正面から照明
したときの画像に基づいて不良部分の領域を抽出するこ
とができ、抽出された不良部分の領域について検査対象
の正面に対して斜め方向から照明したときの画像内での
濡度変化に基づいて不良部分の種類を識別することがで
きるという利点がある。
たパターンを検査対象とし、検査対象の正面方向から撮
像した画像を用いて検査対象の不良の有無を検査する方
法であって、検査対象の正面方向から照明したときの画
像内で不良部分の領域を抽出する第１ステップと、検査
対象の正面方向に対して斜め方向から照明したときの画
像内において不良部分を含む領域の濃度変化の形により
不良の種類を識別する第２ステップとを有しており、照
明方向を変えることによって、検査対象の正面から照明
したときの画像に基づいて不良部分の領域を抽出するこ
とができ、抽出された不良部分の領域について検査対象
の正面に対して斜め方向から照明したときの画像内での
濡度変化に基づいて不良部分の種類を識別することがで
きるという利点がある。
【００３４】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分の全領域が
周囲よりも明るいときに不良の種類をピンホールと判定
することを特徴としており、ピンホールを他の不良と区
別して抽出することができるから、ピンホールの発生を
抑制するための対策をとりやすくなる。
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分の全領域が
周囲よりも明るいときに不良の種類をピンホールと判定
することを特徴としており、ピンホールを他の不良と区
別して抽出することができるから、ピンホールの発生を
抑制するための対策をとりやすくなる。
【００３５】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分の全領域が
周囲の濃度と規定範囲内であるときに不良の種類をしみ
と判定することを特徴としており、しみを他の不良と区
別して抽出することができるから、しみの発生を抑制す
るための対策をとりやすくなる。
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分の全領域が
周囲の濃度と規定範囲内であるときに不良の種類をしみ
と判定することを特徴としており、しみを他の不良と区
別して抽出することができるから、しみの発生を抑制す
るための対策をとりやすくなる。
【００３６】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分で検査対象
を照明する光源に近い側から周囲よりも暗い領域と明る
い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凹と判定するこ
とを特徴としており、凹をを他の不良と区別して抽出す
ることができるから、凹の発生を抑制するための対策を
とりやすくなる。
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分で検査対象
を照明する光源に近い側から周囲よりも暗い領域と明る
い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凹と判定するこ
とを特徴としており、凹をを他の不良と区別して抽出す
ることができるから、凹の発生を抑制するための対策を
とりやすくなる。
【００３７】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分で検査対象
を照明する光源に近い側から周囲よりも明るい領域と暗
い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凸と判定するこ
とを特徴としており、凸を他の不良と区別して抽出する
ことができるから、凸の発生を抑制するための対策をと
りやすくなる。
て、前記第２ステップで、画像内の不良部分で検査対象
を照明する光源に近い側から周囲よりも明るい領域と暗
い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凸と判定するこ
とを特徴としており、凸を他の不良と区別して抽出する
ことができるから、凸の発生を抑制するための対策をと
りやすくなる。
【００３８】請求項６の発明は、請求項１ないし請求項
５の発明において、前記検査対象の正面方向に対して斜
め方向から照明する際に検査対象の周囲の複数の位置か
ら照明し、各位置から照明したときの画像のうち不良部
分の領域で不良の種類の特徴を最大に表している画像を
用いて不良の種類を識別することを特徴としており、検
査対象を複数の方向から照明するとともに不良の種類の
特徴を最大に表している画像を用いて不良の種類を識別
するから、不良の種類の識別が容易になる。
５の発明において、前記検査対象の正面方向に対して斜
め方向から照明する際に検査対象の周囲の複数の位置か
ら照明し、各位置から照明したときの画像のうち不良部
分の領域で不良の種類の特徴を最大に表している画像を
用いて不良の種類を識別することを特徴としており、検
査対象を複数の方向から照明するとともに不良の種類の
特徴を最大に表している画像を用いて不良の種類を識別
するから、不良の種類の識別が容易になる。
【００３９】請求項７の発明は、請求項１ないし請求項
６の発明において、前記検査対象の正面方向からの照明
光と前記検査対象の正面方向に対する斜め方向からの照
明光とを異なる光色として検査対象を同時に照明し、検
査対象のカラー画像から各照明光の色ごとの画像を分離
することによって、検査対象の正面方向から照明したと
きの画像と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から
照明したときの画像とを抽出することを特徴としてお
り、カラー画像を用いることによって検査対象を複数の
光色の照明で同時に照明しても、色ごとの画像を分離す
ることによって照明光を方向別に分離することが可能に
なり、複数の照明を順に行う場合に比較して短時間で検
査することが可能になる。
６の発明において、前記検査対象の正面方向からの照明
光と前記検査対象の正面方向に対する斜め方向からの照
明光とを異なる光色として検査対象を同時に照明し、検
査対象のカラー画像から各照明光の色ごとの画像を分離
することによって、検査対象の正面方向から照明したと
きの画像と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から
照明したときの画像とを抽出することを特徴としてお
り、カラー画像を用いることによって検査対象を複数の
光色の照明で同時に照明しても、色ごとの画像を分離す
ることによって照明光を方向別に分離することが可能に
なり、複数の照明を順に行う場合に比較して短時間で検
査することが可能になる。
【００４０】請求項８の発明は、回路基板に形成された
パターンを検査対象とし検査対象を正面方向から撮像す
る撮像装置と、検査対象の正面方向から照明する落射光
源と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明す
る斜方光源と、落射光源により検査対象を照明した状態
で撮像装置に撮像された画像内において不良部分の領域
を抽出するとともに、斜方光源により検査対象を照明し
た状態で撮像装置に撮像された画像内において不良部分
を含む領域の濃度変化の形により不良の種類を識別する
画像処理部とを備えるものであり、照明方向を変えるこ
とによって、検査対象の正面から照明したときの画像に
基づいて不良部分の領域を抽出することができ、抽出さ
れた不良部分の領域について検査対象の正面に対して斜
め方向から照明したときの画像内での濡度変化に基づい
て不良部分の種類を識別することができるという利点が
ある。
パターンを検査対象とし検査対象を正面方向から撮像す
る撮像装置と、検査対象の正面方向から照明する落射光
源と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明す
る斜方光源と、落射光源により検査対象を照明した状態
で撮像装置に撮像された画像内において不良部分の領域
を抽出するとともに、斜方光源により検査対象を照明し
た状態で撮像装置に撮像された画像内において不良部分
を含む領域の濃度変化の形により不良の種類を識別する
画像処理部とを備えるものであり、照明方向を変えるこ
とによって、検査対象の正面から照明したときの画像に
基づいて不良部分の領域を抽出することができ、抽出さ
れた不良部分の領域について検査対象の正面に対して斜
め方向から照明したときの画像内での濡度変化に基づい
て不良部分の種類を識別することができるという利点が
ある。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示すブロック図で
ある。
ある。
【図２】同上の動作説明図である。
【図３】同上の原理説明図である。
【図４】同上における画像の一例を示す図である。
【図５】同上における画像の一例を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示すブロック図で
ある。
ある。
【図７】同上の動作説明図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態を示す動作説明図で
ある。
ある。
【図９】検査対象物の一例を示す斜視図である。
１ 撮像装置 ２ 検査対象 ３ 落射光源 ４ 斜方光源 ４ａ，４ｂ 斜方光源 ５ ハーフミラー ６ Ｘ−Ｙテーブル ７ 画像処理部 ８ 照明制御部 １２ 回路基板 １３ パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０６Ｔ 7/00 １００ Ｇ０１Ｂ 11/24 Ａ Ｋ Ｆターム(参考） 2F065 AA49 AA51 BB02 CC01 FF04 GG07 GG17 GG18 HH02 HH12 HH13 JJ03 JJ26 MM02 PP12 QQ31 UU05 2G051 AA65 AB02 AB04 BA01 BA08 BB01 BB03 BB11 CA04 DA07 EA08 EA17 EC01 5B047 AA12 AB04 BB06 BC09 BC12 CA19 CB18 5B057 AA03 BA02 CA01 CA08 CA12 CA16 DA03 DB02 DB06 DB09 DC22 DC25 DC36 5L096 AA02 BA03 CA04 FA14 JA11
Claims (8)
- 【請求項１】 回路基板に形成されたパターンを検査対
象とし、検査対象の正面方向から撮像した画像を用いて
検査対象の不良の有無を検査する方法であって、検査対
象の正面方向から照明したときの画像内で不良部分の領
域を抽出する第１ステップと、検査対象の正面方向に対
して斜め方向から照明したときの画像内において不良部
分を含む領域の濃度変化の形により不良の種類を識別す
る第２ステップとを有することを特徴とするパターン検
査方法。 - 【請求項２】 前記第２ステップにおいて、画像内の不
良部分の全領域が周囲よりも明るいときに不良の種類を
ピンホールと判定することを特徴とする請求項１記載の
パターン検査方法。 - 【請求項３】 前記第２ステップにおいて、画像内の不
良部分の全領域が周囲の濃度と規定範囲内であるときに
不良の種類をしみと判定することを特徴とする請求項１
記載のパターン検査方法。 - 【請求項４】 前記第２ステップにおいて、画像内の不
良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲より
も暗い領域と明るい領域とが順に並ぶときに不良の種類
を凹と判定することを特徴とする請求項１記載のパター
ン検査方法。 - 【請求項５】 前記第２ステップにおいて、画像内の不
良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲より
も明るい領域と暗い領域とが順に並ぶときに不良の種類
を凸と判定することを特徴とする請求項１記載のパター
ン検査方法。 - 【請求項６】 前記検査対象の正面方向に対して斜め方
向から照明する際に検査対象の周囲の複数の位置から照
明し、各位置から照明したときの画像のうち不良部分の
領域で不良の種類の特徴を最大に表している画像を用い
て不良の種類を識別することを特徴とする請求項１ない
し請求項５のいずれか１項に記載のパターン検査方法。 - 【請求項７】 前記検査対象の正面方向からの照明光と
前記検査対象の正面方向に対する斜め方向からの照明光
とを異なる光色として検査対象を同時に照明し、検査対
象のカラー画像から各照明光の色ごとの画像を分離する
ことによって、検査対象の正面方向から照明したときの
画像と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明
したときの画像とを抽出することを特徴とする請求項１
ないし請求項６のいずれか１項に記載のパターン検査方
法。 - 【請求項８】 回路基板に形成されたパターンを検査対
象とし検査対象を正面方向から撮像する撮像装置と、検
査対象の正面方向から照明する落射光源と、検査対象の
正面方向に対して斜め方向から照明する斜方光源と、落
射光源により検査対象を照明した状態で撮像装置に撮像
された画像内において不良部分の領域を抽出するととも
に、斜方光源により検査対象を照明した状態で撮像装置
に撮像された画像内において不良部分を含む領域の濃度
変化の形により不良の種類を識別する画像処理部とを備
えることを特徴とするパターン検査装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001049175A JP4216485B2 (ja) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | パターン検査方法およびその装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002250700A true JP2002250700A (ja) | 2002-09-06 |
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-
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