JP2002249385A - Calcination furnace, method for removing silicon monoxide in calcination furnace and method for manufacturing silicon carbide filter - Google Patents
Calcination furnace, method for removing silicon monoxide in calcination furnace and method for manufacturing silicon carbide filterInfo
- Publication number
- JP2002249385A JP2002249385A JP2001046463A JP2001046463A JP2002249385A JP 2002249385 A JP2002249385 A JP 2002249385A JP 2001046463 A JP2001046463 A JP 2001046463A JP 2001046463 A JP2001046463 A JP 2001046463A JP 2002249385 A JP2002249385 A JP 2002249385A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- muffle
- silicon carbide
- silicon
- silicon monoxide
- molded body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、炭化珪素からなる
成形体を焼成する焼成炉、焼成炉における一酸化珪素の
除去方法、及び炭化珪素製フィルタの製造方法に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a firing furnace for firing a compact made of silicon carbide, a method for removing silicon monoxide in the firing furnace, and a method for manufacturing a silicon carbide filter.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、この種の成形体は、ディーゼル
エンジン等の内燃機関の排気ガス中に含まれるパティキ
ュレートを燃焼除去する排気ガス浄化装置のフィルタと
して用いられる。一般的な排気ガス浄化装置は、エンジ
ンの排気マニホールドに連結された排気管の途上にケー
シングを設け、その中に微細な孔を有するフィルタを配
置した構造を有している。最近では、フィルタの形成材
料としては、非酸化物セラミックの一種である多孔質炭
化珪素が多く用いられる。この材料を採用する理由とし
ては、耐熱性・機械的強度・捕集効率が高い、化学的に
安定している、圧力損失が小さい等の利点があるからで
ある。2. Description of the Related Art For example, a molded article of this type is used as a filter of an exhaust gas purifying apparatus for burning and removing particulates contained in exhaust gas of an internal combustion engine such as a diesel engine. A general exhaust gas purifying apparatus has a structure in which a casing is provided on an exhaust pipe connected to an exhaust manifold of an engine, and a filter having fine holes is disposed therein. Recently, porous silicon carbide, which is a kind of non-oxide ceramic, is often used as a material for forming a filter. The reason for using this material is that it has advantages such as high heat resistance, high mechanical strength, high collection efficiency, chemical stability, and low pressure loss.
【０００３】従来、このようなフィルタを製造するのに
焼成炉が用いられる。焼成炉は炭素からなるマッフルを
備えており、そのマッフルの両端に投入口及び排出口が
設けられている。炭化珪素成形体は、炭素からなる治具
に載置されながらコンベアベルトによって投入口から排
出口へと搬送される。この搬送中において、炭化珪素成
形体はマッフルの内壁に設けられたヒータで加熱される
ことにより脱脂される。炭化珪素成形体の酸化を防止す
るために、マッフル内にはアルゴン等の不活性ガスが導
入される。そして、それらのガスはマッフルに設けられ
ている排気筒を介して外部に排出される。Conventionally, a baking furnace has been used to manufacture such a filter. The firing furnace has a muffle made of carbon, and an inlet and an outlet are provided at both ends of the muffle. The silicon carbide molded body is conveyed from an inlet to an outlet by a conveyor belt while being placed on a jig made of carbon. During this transfer, the silicon carbide compact is degreased by being heated by a heater provided on the inner wall of the muffle. In order to prevent oxidation of the silicon carbide compact, an inert gas such as argon is introduced into the muffle. Then, those gases are discharged to the outside via an exhaust pipe provided in the muffle.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の焼成
炉においては、マッフル内の温度が１５００〜１８００
℃に上昇すると、炭化珪素成形体の原料に含まれる二酸
化珪素（ＳｉＯ2）が気体となり、一酸化珪素（Ｓｉ
Ｏ）に変化する。これにより、マッフル内の雰囲気中に
一酸化珪素が充満すると、炭化珪素成形体、治具及びマ
ッフル等といった炭素製部材が酸化する。However, in a conventional firing furnace, the temperature in the muffle is 1500 to 1800.
° C., silicon dioxide (SiO 2 ) contained in the raw material of the silicon carbide compact becomes gas, and silicon monoxide (Si
O). Thus, when silicon monoxide fills the atmosphere inside the muffle, carbon members such as a silicon carbide molded body, a jig, and a muffle are oxidized.
【０００５】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的は、
炭化珪素成形体が劣化するのを防止することが可能な焼
成炉、焼成炉における一酸化珪素の除去方法、及び炭化
珪素製フィルタの製造方法を提供することにある。The present invention has been made by paying attention to such problems existing in the prior art. The purpose is
It is an object of the present invention to provide a firing furnace capable of preventing a silicon carbide compact from being deteriorated, a method for removing silicon monoxide in the firing furnace, and a method for manufacturing a silicon carbide filter.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、一端に炭化珪素成形
体が投入される投入口を有するとともに、他端に炭化珪
素成形体が排出される排出口を有するマッフルと、炭化
珪素成形体を前記投入口から排出口に向かって搬送する
搬送手段と、前記マッフル内を移動する前記炭化珪素成
形体を加熱する加熱手段と、マッフル内の気体が排出さ
れる排気経路とを備えた焼成炉において、前記マッフル
内の気体に含まれる一酸化珪素を除去する一酸化珪素除
去手段を前記排気経路に設けたことを要旨とする。In order to solve the above-mentioned problems, according to the first aspect of the present invention, a silicon carbide molded body is provided at one end and a silicon carbide molded body is provided at the other end. A muffle having an outlet through which the silicon carbide molded body is discharged from the inlet, and a heating means for heating the silicon carbide molded body moving in the muffle; In a baking furnace provided with an exhaust path through which gas inside is exhausted, silicon exhaust gas removing means for removing silicon monoxide contained in the gas inside the muffle is provided in the exhaust path.
【０００７】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載の焼成炉において、前記一酸化珪素除去手段は、炭素
を含む固体を材料として形成されたものであることを要
旨とする。According to a second aspect of the present invention, in the firing furnace of the first aspect, the silicon monoxide removing means is formed by using a solid containing carbon as a material.
【０００８】請求項３に記載の発明では、請求項２に記
載の焼成炉において、前記一酸化珪素除去手段は繊維の
集合体から構成され、その集合体に通気性が与えられて
いることを要旨とする。According to a third aspect of the present invention, in the firing furnace according to the second aspect, the silicon monoxide removing means is formed of an aggregate of fibers, and the aggregate is provided with air permeability. Make a summary.
【０００９】請求項４に記載の発明では、請求項２又は
３に記載の焼成炉において、前記一酸化珪素除去手段
は、マッフルの最高温度領域に配置され、かつマッフル
の上部に配置された排気筒内に収容されていることを要
旨とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the firing furnace according to the second or third aspect, the silicon monoxide removing means is disposed in a maximum temperature region of the muffle and is disposed above the muffle. The gist is that it is housed in a cylinder.
【００１０】請求項５に記載の発明では、請求項４に記
載の焼成炉において、前記一酸化珪素除去手段は、前記
排気筒に対して着脱可能なカートリッジケースに収容さ
れていることを要旨とする。According to a fifth aspect of the present invention, in the firing furnace of the fourth aspect, the silicon monoxide removing means is housed in a cartridge case detachable from the exhaust stack. I do.
【００１１】請求項６に記載の発明では、請求項１〜５
のうちいずれかに記載の焼成炉において、前記排気経路
には、貴金属元素からなる触媒が設けられていることを
要旨とする。[0011] According to the invention described in claim 6, according to claims 1 to 5,
In the firing furnace according to any one of the above, the gist is that a catalyst made of a noble metal element is provided in the exhaust path.
【００１２】請求項７に記載の発明では、マッフルの投
入口から投入される炭化珪素成形体を同マッフルの排出
口に向けて加熱しながら搬送する際に、前記マッフル内
の気体中に含まれる一酸化珪素を除去する方法におい
て、前記排気経路において前記一酸化珪素を化学的反応
によって除去するようにしたことを要旨とする。According to the seventh aspect of the present invention, when the silicon carbide molded body fed from the inlet of the muffle is conveyed while being heated toward the outlet of the muffle, it is contained in the gas in the muffle. In the method for removing silicon monoxide, the gist is that the silicon monoxide is removed by a chemical reaction in the exhaust path.
【００１３】請求項８に記載の発明では、マッフルに投
入した炭化珪素成形体を加熱手段により加熱しながら搬
送手段で搬送し、炭化珪素成形体を焼成することで炭化
珪素製フィルタを製造する方法において、前記炭化珪素
成形体が加熱された際にマッフル内に発生する一酸化珪
素を除去することにより、焼成される炭化珪素成形体の
酸化を防止するようにしたことを要旨とする。According to the present invention, a method of manufacturing a silicon carbide filter by conveying a silicon carbide molded body put into a muffle by a conveying means while heating it by a heating means and firing the silicon carbide molded body. In the above, the gist is that oxidation of the silicon carbide molded body to be fired is prevented by removing silicon monoxide generated in the muffle when the silicon carbide molded body is heated.
【００１４】以下、本発明の「作用」について説明す
る。請求項１に記載の発明によれば、マッフル内の気体
は排気経路を介して外部に排出される。この排気手段を
通過するとき、気体中に含まれる一酸化珪素が一酸化珪
素除去手段によって除去される。この結果、炭化珪素成
形体が酸化しなくなるので、炭化珪素成形体の劣化を防
止することが可能になる。The "action" of the present invention will be described below. According to the first aspect of the invention, the gas in the muffle is discharged to the outside via the exhaust path. When passing through the exhaust means, silicon monoxide contained in the gas is removed by the silicon monoxide removing means. As a result, the silicon carbide molded body does not oxidize, so that deterioration of the silicon carbide molded body can be prevented.
【００１５】請求項２に記載の発明によれば、炭素と一
酸化珪素との化学的反応によって一酸化珪素は除去され
る。又、一酸化珪素除去手段の形成材料は汎用性のある
炭素を含んで構成されているため、低コスト化を図るこ
とが可能になる。しかも、一酸化珪素除去手段は固体で
あるため液体等と比較して扱い易い。よって、排気経路
に対し一酸化珪素除去手段を容易に装着できる。According to the second aspect of the present invention, silicon monoxide is removed by a chemical reaction between carbon and silicon monoxide. In addition, since the material for forming the silicon monoxide removing means includes general-purpose carbon, cost reduction can be achieved. Moreover, since the silicon monoxide removing means is a solid, it is easier to handle than a liquid or the like. Therefore, the silicon monoxide removing means can be easily attached to the exhaust path.
【００１６】請求項３に記載の発明によれば、一酸化珪
素除去手段は通気性を有していることから、マッフル内
に一酸化珪素が滞留しなくなる。そのため、効率よく一
酸化珪素を除去することができる。しかも、一酸化珪素
除去手段は繊維状であるためその比表面積を高くするこ
とができ、一酸化珪素を効率よく一酸化珪素を除去する
ことができる。According to the third aspect of the present invention, since the silicon monoxide removing means has air permeability, silicon monoxide does not stay in the muffle. Therefore, silicon monoxide can be efficiently removed. Moreover, since the silicon monoxide removing means is fibrous, its specific surface area can be increased, and silicon monoxide can be efficiently removed from silicon monoxide.
【００１７】請求項４に記載の発明によれば、マッフル
の最高温度領域に排気筒が配置されていることから、こ
の排気筒には高温度の気体が流れる。そのため、排気筒
に設置された一酸化珪素除去手段には高温の気体が触れ
ることになる。従って、一酸化珪素と炭素との化学的反
応が活性化する。この結果、一酸化珪素を除去する効率
を向上することが可能になる。According to the fourth aspect of the present invention, since the exhaust pipe is arranged in the highest temperature region of the muffle, a high-temperature gas flows through this exhaust pipe. Therefore, the high temperature gas comes into contact with the silicon monoxide removing means provided in the exhaust pipe. Therefore, the chemical reaction between silicon monoxide and carbon is activated. As a result, the efficiency of removing silicon monoxide can be improved.
【００１８】請求項５に記載の発明によれば、排気手段
にカートリッジケースを着脱することにより、一酸化珪
素除去手段を新しいものと交換することが可能になる。
これにより、一酸化珪素の除去能力が低下するのを防止
できる。According to the fifth aspect of the invention, by attaching and detaching the cartridge case to and from the exhaust means, it becomes possible to replace the silicon monoxide removing means with a new one.
This can prevent the ability to remove silicon monoxide from decreasing.
【００１９】請求項６に記載の発明によれば、炭素と一
酸化珪素との反応により生じた一酸化炭素の酸化反応が
触媒によって活性化される。これにより、一酸化炭素が
速やかに除去され、焼成炉が配置されている所の作業環
境を向上させることができる。According to the present invention, the oxidation reaction of carbon monoxide generated by the reaction between carbon and silicon monoxide is activated by the catalyst. Thereby, carbon monoxide is promptly removed, and the working environment where the firing furnace is disposed can be improved.
【００２０】請求項７に記載の発明によれば、大型装置
などを用いることなく一酸化珪素を除去することが可能
である。従って、排気手段のようにスペースの少ない箇
所で一酸化珪素を除去することができ、焼成炉が大型化
するのを防止することが可能になる。According to the seventh aspect of the invention, it is possible to remove silicon monoxide without using a large-sized device or the like. Therefore, silicon monoxide can be removed at a place with a small space such as an exhaust means, and it becomes possible to prevent the firing furnace from becoming large.
【００２１】請求項８に記載の発明によれば、炭化珪素
成形体が加熱手段によって加熱されるとマッフル内に一
酸化珪素が発生するが、この一酸化珪素は除去されるこ
とから焼成される炭化珪素成形体の酸化が防止される。
この結果、炭化珪素成形体の劣化が防止される。According to the eighth aspect of the present invention, when the silicon carbide molded body is heated by the heating means, silicon monoxide is generated in the muffle, but this silicon monoxide is removed and fired. Oxidation of the silicon carbide compact is prevented.
As a result, deterioration of the silicon carbide molded body is prevented.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態を、図面に基づき詳細に説明する。まず、本実施形
態において製造されるハニカム状の排気ガス浄化フィル
タ１１について説明する。図１，図２に示すように、排
気ガス浄化フィルタ１１は、ディーゼルエンジンの排気
ガス中に含まれるパティキュレートを除去するものであ
って、一般にディーゼルパティキュレートフィルタ（Ｄ
ＰＦ）と呼ばれる。この排気ガス浄化フィルタ１１は四
角柱状であって、その外形寸法は３３ｍｍ×３３ｍｍ×
１６７ｍｍに設定されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. First, the honeycomb-shaped exhaust gas purification filter 11 manufactured in the present embodiment will be described. As shown in FIGS. 1 and 2, the exhaust gas purifying filter 11 is for removing particulates contained in exhaust gas of a diesel engine, and is generally a diesel particulate filter (D).
PF). The exhaust gas purifying filter 11 is in the shape of a quadrangular prism, and its outer dimensions are 33 mm × 33 mm ×
It is set to 167 mm.
【００２３】これらの排気ガス浄化フィルタ１１は、セ
ラミック焼結体の一種である多孔質炭化珪素焼結体製で
ある。炭化珪素焼結体を採用した理由は、他のセラミッ
クに比較して、とりわけ機械的強度、耐熱性及び熱伝導
性等に優れるという利点があるからである。These exhaust gas purifying filters 11 are made of a porous silicon carbide sintered body which is a kind of a ceramic sintered body. The reason why the silicon carbide sintered body was used is that it has an advantage of being superior in mechanical strength, heat resistance, heat conductivity, and the like as compared with other ceramics.
【００２４】排気ガス浄化フィルタ１１は同方向に延び
る多数のセルからなるハニカム構造を有している。ハニ
カム構造を採用した理由は、微粒子の捕集量が増加した
ときでも圧力損失が小さいという利点があるからであ
る。排気ガス浄化フィルタ１１には、断面略正方形状を
なす複数の貫通孔１２がその軸線方向に沿って規則的に
形成されている。各貫通孔１２は薄いセル壁１３によっ
て互いに仕切られている。セル壁１３の外表面には、白
金族元素（例えばＰｔ等）やその他の金属元素及びその
酸化物等からなる酸化触媒が担持されている。各貫通孔
１２の開口部は、いずれか一方の端面１５ａ，１５ｂの
側において封止体１４（ここでは多孔質炭化珪素焼結
体）により市松模様状に封止されている。従って、端面
９ａ，９ｂ全体としてみると市松模様状を呈している。
その結果、排気ガス浄化フィルタ１１には、断面四角形
状をした多数のセルが形成されている。セルの密度は２
００個／インチ前後に設定されている。多数あるセルの
うち、約半数のものは一端面１５ａにおいて開口し、残
りのものは他端面１５ｂにおいて開口している。The exhaust gas purifying filter 11 has a honeycomb structure composed of a number of cells extending in the same direction. The reason for adopting the honeycomb structure is that there is an advantage that the pressure loss is small even when the amount of collected fine particles increases. In the exhaust gas purification filter 11, a plurality of through holes 12 having a substantially square cross section are formed regularly along the axial direction. Each through hole 12 is separated from each other by a thin cell wall 13. On the outer surface of the cell wall 13, an oxidation catalyst comprising a platinum group element (for example, Pt or the like) or another metal element and an oxide thereof is supported. The opening of each through hole 12 is sealed in a checkered pattern by a sealing body 14 (here, a porous silicon carbide sintered body) on one of the end faces 15a and 15b. Accordingly, the end faces 9a and 9b as a whole have a checkered pattern.
As a result, a large number of cells having a square cross section are formed in the exhaust gas purification filter 11. Cell density is 2
It is set to around 00 pieces / inch. Of the large number of cells, about half of the cells are open at one end face 15a, and the remaining cells are open at the other end face 15b.
【００２５】次に、上記の排気ガス浄化フィルタ１１を
製造する手順を説明する。まず、押出成形工程で使用す
るセラミック原料スラリー、端面封止工程で使用する封
止用ペーストをあらかじめ作製しておく。Next, a procedure for manufacturing the exhaust gas purifying filter 11 will be described. First, a ceramic raw material slurry used in the extrusion molding step and a sealing paste used in the end face sealing step are prepared in advance.
【００２６】セラミック原料スラリーとしては、炭化珪
素粉末（二酸化珪素：ＳｉＣ）に有機バインダ及び水等
の分散媒液を所定分量ずつ配合し、かつ混練したものを
用いる。封止用ペーストとしては、炭化珪素粉末に有機
バインダ、潤滑剤、可塑剤及び水を配合し、かつ混練し
たものを用いる。As the ceramic raw material slurry, a mixture obtained by mixing a predetermined amount of a dispersion medium such as an organic binder and water with silicon carbide powder (silicon dioxide: SiC) and kneading the mixture is used. As the sealing paste, a mixture obtained by mixing and kneading an organic binder, a lubricant, a plasticizer, and water with silicon carbide powder is used.
【００２７】有機バインダとしては、例えばメチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチ
ルセルロース、ポリエチレングリコール、フェノール樹
脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。有機バインダの配合
量は、通常、炭化珪素粉末１００重量部に対して、１重
量部〜１０重量部程度であることがよい。分散媒液とし
ては、上記した水の他、例えばメタノール等のアルコー
ル類や、ベンゼン等の有機溶媒を用いることができる。Examples of the organic binder include methyl cellulose, carboxymethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, polyethylene glycol, phenol resin, epoxy resin and the like. Generally, the amount of the organic binder is preferably about 1 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the silicon carbide powder. As the dispersion medium liquid, in addition to the above-mentioned water, for example, alcohols such as methanol, and organic solvents such as benzene can be used.
【００２８】次に、前記セラミック原料スラリーを押出
成形機に投入し、かつ金型を介してそれを連続的に押し
出す。そして、押出成形されてくる炭化珪素成形体１６
を、マイクロ波乾燥機や熱風乾燥機を用いて酸素雰囲気
下で乾燥する。これにより、主として炭化珪素成形体１
６中の分散媒液を揮発させる。この場合、乾燥温度を１
００℃〜２００℃に設定することがよい。その後、乾燥
工程を経た炭化珪素成形体１６を等しい長さに切断し、
ハニカム構造を有する四角柱状の炭化珪素成形体１６を
得る。Next, the ceramic raw material slurry is charged into an extruder and continuously extruded through a mold. Then, the silicon carbide molded body 16 to be extruded
Is dried under an oxygen atmosphere using a microwave dryer or a hot air dryer. Thereby, silicon carbide compact 1
The dispersion medium liquid in 6 is volatilized. In this case, the drying temperature is 1
It is preferable to set the temperature between 00 ° C and 200 ° C. Thereafter, the silicon carbide molded body 16 that has undergone the drying step is cut into equal lengths,
A quadrangular prism-shaped silicon carbide molded body 16 having a honeycomb structure is obtained.
【００２９】さらに、成形工程を経た炭化珪素成形体１
６の各セルの片側開口に所定量ずつ封止用ペーストを充
填し、両端面９ａ，９ｂを市松模様状に封止する。ここ
で、封止用ペーストを乾燥させるために再度乾燥を行っ
てもよい。Further, the silicon carbide molded body 1 having undergone the molding step
A predetermined amount of sealing paste is filled into one opening of each cell of No. 6, and both end surfaces 9a and 9b are sealed in a checkered pattern. Here, drying may be performed again to dry the sealing paste.
【００３０】次に、乾燥工程を経た炭化珪素成形体１６
を以下に説明する焼成炉２１で脱脂する。この脱脂によ
り、主として炭化珪素成形体１６中における有機バイン
ダを分解・除去する。次いで、脱脂工程を経た炭化珪素
成形体１６を、アルゴン等の不活性ガス雰囲気に保たれ
た焼成炉において焼成する。以上の結果、所望の排気ガ
ス浄化フィルタ１１が完成するようになっている。この
場合、焼成温度を２２００±１０℃程度に設定するとと
もに、焼成時間を０．１時間〜５時間に設定し、炉内圧
力を常圧に設定することがよい。Next, the silicon carbide compact 16 having undergone the drying step
Is degreased in a firing furnace 21 described below. By this degreasing, the organic binder in the silicon carbide molded body 16 is mainly decomposed and removed. Next, the silicon carbide compact 16 having undergone the degreasing step is fired in a firing furnace maintained in an atmosphere of an inert gas such as argon. As a result, a desired exhaust gas purification filter 11 is completed. In this case, it is preferable to set the firing temperature to about 2200 ± 10 ° C., set the firing time to 0.1 to 5 hours, and set the furnace pressure to normal pressure.
【００３１】続いて、本実施形態において使用される焼
成炉２１の構成を説明する。図３，図４に示すように、
この焼成炉２１は、この連続炉２１を構成する横長の本
体フレーム２２内には、管状の炭素製マッフル２３が横
置きに支持されている。マッフル２３の一端には炭化珪
素成形体１６が投入される投入口２４が形成され、他端
には炭化珪素成形体１６が排出される排出口２５が形成
されている。Next, the configuration of the firing furnace 21 used in the present embodiment will be described. As shown in FIGS. 3 and 4,
In the firing furnace 21, a tubular carbon muffle 23 is horizontally supported in a horizontally long main body frame 22 constituting the continuous furnace 21. At one end of the muffle 23, an inlet 24 into which the silicon carbide molded body 16 is introduced is formed, and at the other end, an outlet 25 through which the silicon carbide molded body 16 is discharged is formed.
【００３２】マッフル２３の内部には、搬送手段として
のコンベアベルト２６が設けられている。このコンベア
ベルト２６は、無端状かつメッシュ状に形成され、マッ
フル２３の長手方向に沿って延びるように敷設されてい
る。そして、コンベアベルト２６が駆動することによ
り、炭化珪素成形体１６は投入口２４から排出口２５に
向けて移動する。なお、炭化珪素成形体１６は、炭素か
らなる治具２７に載置されながら移動される。Inside the muffle 23, a conveyor belt 26 as a conveying means is provided. The conveyor belt 26 is formed in an endless and mesh shape, and is laid so as to extend along the longitudinal direction of the muffle 23. When the conveyor belt 26 is driven, the silicon carbide molded body 16 moves from the charging port 24 to the discharging port 25. Silicon carbide molded body 16 is moved while being placed on jig 27 made of carbon.
【００３３】マッフル２３の内周面には、四角筒状の断
熱材２８が設けられ、その断熱材２８の内部には加熱手
段としてのヒータ２９が設置されている。前記ヒータ２
９は、マッフル２３内を移動する炭化珪素成形体１６を
脱脂可能な温度に加熱するためのものである。マッフル
２３内には、低酸素濃度の不活性ガスを図示しないノズ
ルを介して供給できるようになっている。ちなみに、不
活性ガスとしては、エアと窒素との混合気が使用されて
いる。窒素を用いた場合、焼成炉２１の酸素濃度のコン
トロールが容易になるとともに、炭化珪素成形体１６、
マッフル２３及び治具２７といった炭素製部材の劣化の
原因となるような化合物が生成されにくくなる。On the inner peripheral surface of the muffle 23, a quadrangular cylindrical heat insulating material 28 is provided. Inside the heat insulating material 28, a heater 29 as a heating means is installed. The heater 2
Reference numeral 9 is for heating the silicon carbide molded body 16 moving in the muffle 23 to a temperature at which degreasing can be performed. In the muffle 23, an inert gas having a low oxygen concentration can be supplied through a nozzle (not shown). Incidentally, a mixture of air and nitrogen is used as the inert gas. When nitrogen is used, the control of the oxygen concentration in the firing furnace 21 is facilitated, and the silicon carbide molded body 16,
Compounds that cause deterioration of the carbon member such as the muffle 23 and the jig 27 are less likely to be generated.
【００３４】次に、本実施形態の要部について説明す
る。図３，図４に示すように、マッフル２３の上面に
は、上下方向に沿って延びる２つの排気筒３１が突出さ
れている。排気筒３１の径は、内端側に向かうほど段階
的（本実施形態では３段階）に小さくなっている。各排
気筒３１の内端部は、前記断熱材２８の上部にそれぞれ
貫通されている。各排気筒３１の外端部周面には、排気
口３２がそれぞれ突設され、その排気口３２には図示し
ない吸引ブロアが接続されている。そして、吸引ブロア
が駆動されることにより、マッフル２３内にある気体が
排気筒３１の排気口３２を介して外部に排出されるよう
になっている。本実施形態では、排気筒３１の内部が排
気経路となっている。なお、吸引ブロアの回転数を制御
することにより、マッフル２３内にある気体の排気量を
調節することが可能である。このような調節をする主た
る目的は、マッフル２３内の温度を一定の温度、すなわ
ち２２００±１０℃に保持するためである。Next, the main part of this embodiment will be described. As shown in FIGS. 3 and 4, two exhaust cylinders 31 protruding from the upper surface of the muffle 23 extend vertically. The diameter of the exhaust pipe 31 decreases stepwise (in this embodiment, three steps) toward the inner end side. The inner end of each exhaust pipe 31 is penetrated through the upper part of the heat insulating material 28, respectively. An exhaust port 32 is projected from the outer peripheral surface of each exhaust tube 31, and a suction blower (not shown) is connected to the exhaust port 32. When the suction blower is driven, the gas in the muffle 23 is discharged to the outside through the exhaust port 32 of the exhaust pipe 31. In the present embodiment, the inside of the exhaust pipe 31 is an exhaust path. In addition, by controlling the rotation speed of the suction blower, it is possible to adjust the amount of gas exhausted in the muffle 23. The main purpose of such adjustment is to maintain the temperature inside the muffle 23 at a constant temperature, that is, 2200 ± 10 ° C.
【００３５】各排気筒３１の外端部には、カートリッジ
ケース３３が着脱可能に設けられている。このカートリ
ッジケース３３は、筒状に形成され、排気筒３１の上端
開口部３１ａを介してその内部に出し入れ自在である。
カートリッジケース３３は、その下端部が排気筒３１の
外端部に形成された段差部３４に支持されている。排気
筒３１の外端には、その上端開口部３１ａを開閉する蓋
３５が着脱自在に装着されている。At the outer end of each exhaust cylinder 31, a cartridge case 33 is provided detachably. The cartridge case 33 is formed in a tubular shape, and can be taken in and out of the exhaust tube 31 through the upper end opening 31a.
The lower end of the cartridge case 33 is supported by a step 34 formed at the outer end of the exhaust pipe 31. A lid 35 for opening and closing the upper end opening 31a is detachably attached to the outer end of the exhaust pipe 31.
【００３６】前記カートリッジケース３３の内部には、
一酸化珪素除去手段としての一酸化珪素除去材３６が収
容されている。この一酸化珪素除去材３６は、炭素から
なる繊維の集合体であり、通気性を有している。より具
体的に言うと、一酸化珪素除去材３６は、建築物の断熱
材として用いられる「グラスウール」のようなものであ
る。Inside the cartridge case 33,
A silicon monoxide removing material 36 as silicon monoxide removing means is accommodated. The silicon monoxide removing material 36 is an aggregate of fibers made of carbon and has air permeability. More specifically, the silicon monoxide removing material 36 is like "glass wool" used as a heat insulating material for buildings.
【００３７】マッフル２３から排出される気体が一酸化
珪素除去材３６を通過して排出されることにより、気体
に含まれる一酸化珪素（ＳＯ）ガスが除去される。すな
わち、一酸化珪素の除去に関する化学式を示すと、Ｓｉ
Ｏ＋２Ｃ→ＳｉＣ＋ＣＯとなる。このことから明らかな
ように、一酸化珪素は炭素と化学的に反応し、炭化珪素
と一酸化炭素ガスとになる。なお、マッフル２３内に一
酸化珪素ガスが存在するのは、マッフル２３内の温度が
１５００〜１８００℃に達すると、炭化珪素成形体１６
のセラミック原料に含まれる二酸化珪素が一酸化珪素ガ
スに変化するからである。The gas discharged from the muffle 23 passes through the silicon monoxide removing material 36 and is discharged, whereby the silicon monoxide (SO) gas contained in the gas is removed. That is, the chemical formula for removing silicon monoxide is as follows:
O + 2C → SiC + CO. As is apparent from this, silicon monoxide chemically reacts with carbon to form silicon carbide and carbon monoxide gas. The reason why the silicon monoxide gas is present in the muffle 23 is that when the temperature in the muffle 23 reaches 1500 to 1800 ° C., the silicon carbide compact 16
This is because the silicon dioxide contained in the ceramic raw material changes into silicon monoxide gas.
【００３８】各排気筒３１は、マッフル２３の長手方向
中央部に配置されている。この排気筒３１が配置されて
いる箇所は、マッフル２３の最高温度領域である。この
ことから、一酸化珪素除去材３６を通る気体の温度は高
いといえる。別の言い方をすれば、炭素繊維製の一酸化
珪素除去材３６は高温の気体に晒される。従って、一酸
化珪素と炭素との化学的反応が活性化するようになる。Each exhaust cylinder 31 is arranged at the longitudinal center of the muffle 23. The place where the exhaust pipe 31 is arranged is a maximum temperature region of the muffle 23. From this, it can be said that the temperature of the gas passing through the silicon monoxide removing material 36 is high. In other words, the carbon fiber silicon monoxide removing material 36 is exposed to a high-temperature gas. Accordingly, the chemical reaction between silicon monoxide and carbon is activated.
【００３９】図５に示すように、一酸化珪素除去材３６
には一酸化炭素除去手段としての触媒３７が担持されて
いる。本実施形態における触媒３７は、貴金属元素であ
って、本実施形態では白金（Ｐｔ）が用いられている。
そして、上述したように一酸化珪素と炭素とが反応した
際に生成される一酸化炭素の酸化反応を活性化すること
が可能になる。つまり、触媒３７によって有害な一酸化
炭素を除去できるようになっている。As shown in FIG. 5, the silicon monoxide removing material 36
Supports a catalyst 37 as carbon monoxide removing means. The catalyst 37 in this embodiment is a noble metal element, and in this embodiment, platinum (Pt) is used.
As described above, it becomes possible to activate the oxidation reaction of carbon monoxide generated when silicon monoxide reacts with carbon. That is, harmful carbon monoxide can be removed by the catalyst 37.
【００４０】次に、上述した焼成炉２１の作用について
説明する。マッフル２３の投入口２４に入れられた炭化
珪素成形体１６は、ヒータ２９によって加熱されなが
ら、コンベアベルト２６で投入口２４から排出口２５に
向けて移動される。炭化珪素成形体１６が加熱されるこ
とにより、炭化珪素成形体１６のセラミック原料に含ま
れる二酸化珪素（ＳＯ2）が一酸化珪素ガス（ＳＯ）に
変化する。その一酸化珪素ガスを含む気体は、図示しな
いブロアによって吸引され、排気筒３１を介して外部へ
排出される。このとき、一酸化珪素除去材３６に一酸化
珪素ガスが通過すると、一酸化珪素除去材３６の炭素と
一酸化珪素とが反応し、炭化珪素（ＳｉＣ）になる。そ
して、この炭化珪素は一酸化珪素除去材３６に付着した
状態で保持される。Next, the operation of the above-described firing furnace 21 will be described. The silicon carbide compact 16 placed in the inlet 24 of the muffle 23 is moved from the inlet 24 to the outlet 25 by the conveyor belt 26 while being heated by the heater 29. By heating silicon carbide compact 16, silicon dioxide (SO 2 ) contained in the ceramic raw material of silicon carbide compact 16 changes to silicon monoxide gas (SO). The gas containing the silicon monoxide gas is sucked by a blower (not shown) and discharged to the outside via an exhaust pipe 31. At this time, when the silicon monoxide gas passes through the silicon monoxide removing material 36, the carbon of the silicon monoxide removing material 36 reacts with silicon monoxide to form silicon carbide (SiC). Then, this silicon carbide is held in a state of being attached to silicon monoxide removing material 36.
【００４１】更に、炭化珪素が生成される際には、一酸
化炭素（ＣＯ）が生成される。この一酸化炭素は、一酸
化珪素除去材３６に担持された触媒３７によって酸化さ
れ、二酸化炭素（ＣＯ2）に変化する。そして、この二
酸化炭素は、ブロアによって排気筒３１から排出され
る。Further, when silicon carbide is generated, carbon monoxide (CO) is generated. The carbon monoxide is oxidized by the catalyst 37 supported on the silicon monoxide removing material 36 and changes to carbon dioxide (CO 2 ). Then, the carbon dioxide is discharged from the exhaust stack 31 by the blower.
【００４２】一酸化珪素除去材３６に炭化珪素が所定量
付着、又は一酸化珪素除去材３６の使用期限が経過した
ら、一酸化珪素除去材３６を新しいものに交換する。す
なわち、焼成炉２１のヒータ２９を停止させた状態で、
蓋３５を取り外し、排気筒３１の上端開口部３１ａから
カートリッジケース３３を取り外す。次いで、新しい一
酸化珪素除去材３６をカートリッジケース３３に収容
し、それを再び排気筒３１の外端部に装着する。When a predetermined amount of silicon carbide adheres to the silicon monoxide removing material 36 or the expiration date of the silicon monoxide removing material 36 has passed, the silicon monoxide removing material 36 is replaced with a new one. That is, with the heater 29 of the firing furnace 21 stopped,
The lid 35 is removed, and the cartridge case 33 is removed from the upper end opening 31a of the exhaust pipe 31. Next, the new silicon monoxide removing material 36 is accommodated in the cartridge case 33, and is attached to the outer end of the exhaust pipe 31 again.
【００４３】従って、本実施形態によれば以下に示す効
果を得ることができる。 （１）本実施形態の焼成炉２１では、排気筒３１の外端
部に炭素からなる一酸化珪素除去材３６が設けられてい
る。そのため、マッフル２３内から排出される気体に含
まれる一酸化珪素を、炭素と反応させることにより除去
することができる。この結果、炭化珪素成形体１６、マ
ッフル２３及び治具２７等の炭素製部材が酸化しなくな
るため、それら炭素製部材の劣化を防止することができ
る。しかも、一酸化珪素を除去するのに化学的反応によ
って除去している。そのため、除去するのに大がかりな
除去装置等を設け、その装置を駆動させるための電源等
が必要ない。要するに、排気筒３１に一酸化珪素除去材
３６を設置するだけで、一酸化珪素を除去することがで
きる。よって、焼成炉２１のイニシャルコスト及びラン
ニングコストを低く抑えることができる。Therefore, according to the present embodiment, the following effects can be obtained. (1) In the firing furnace 21 of the present embodiment, a silicon monoxide removing material 36 made of carbon is provided at the outer end of the exhaust pipe 31. Therefore, silicon monoxide contained in the gas discharged from the muffle 23 can be removed by reacting with the carbon. As a result, carbon members such as the silicon carbide molded body 16, the muffle 23, and the jig 27 are not oxidized, so that deterioration of the carbon members can be prevented. Moreover, silicon monoxide is removed by a chemical reaction. Therefore, a large-scale removal device or the like is provided for the removal, and a power supply or the like for driving the device is not required. In short, silicon monoxide can be removed only by installing the silicon monoxide removing material 36 in the exhaust pipe 31. Therefore, the initial cost and running cost of the firing furnace 21 can be reduced.
【００４４】（２）一酸化珪素除去材３６は、炭素から
構成されている。すなわち、一酸化珪素除去材３６は、
汎用性の高く低コストなものを原料としていることか
ら、一酸化珪素の除去を低コストで実現することができ
る。(2) The silicon monoxide removing material 36 is made of carbon. That is, the silicon monoxide removing material 36 is
Since a highly versatile and low-cost material is used as a raw material, silicon monoxide can be removed at low cost.
【００４５】（３）一酸化珪素除去材３６は、グラスウ
ールのような繊維の集合体からなるため比表面積が高
く、多くの一酸化珪素を効率よく反応させることができ
る。従って、一酸化珪素の除去効率を向上することがで
きる。又、一酸化珪素除去材３６は繊維状であって通気
性を有しているため、圧力損失が大きくなるのを抑える
ことができる。そのため、一酸化珪素除去材３６に気体
をスムーズに通過させることができ、マッフル２３内に
一酸化珪素が滞留するのを防止できる。更に、圧力損失
が大きくなるのを抑えることができるので、マッフル２
３内の気体をブロア等で吸引することによるマッフル２
３内の温度調節制御を的確に行うことができる。なお、
「圧力損失」とは、一酸化珪素除去材３６の上流側の圧
力値から下流側の圧力値を引いたものをいう。(3) Since the silicon monoxide removing material 36 is made of an aggregate of fibers such as glass wool, the specific surface area is high, and many silicon monoxides can be reacted efficiently. Therefore, the efficiency of removing silicon monoxide can be improved. Further, since the silicon monoxide removing material 36 is fibrous and has air permeability, it is possible to suppress an increase in pressure loss. Therefore, the gas can be smoothly passed through the silicon monoxide removing material 36, and the silicon monoxide can be prevented from staying in the muffle 23. Further, since the pressure loss can be suppressed from increasing, the muffle 2
Muffle 2 by sucking the gas in 3 with a blower or the like
The temperature adjustment control in 3 can be performed accurately. In addition,
“Pressure loss” refers to a value obtained by subtracting the pressure value on the downstream side from the pressure value on the upstream side of the silicon monoxide removing material 36.
【００４６】（４）排気筒３１は、マッフル２３の最高
温度領域に配置され、かつマッフルの上部に配置されて
いる。これにより、一酸化珪素除去材３６に高温の気体
を通過させることができる。よって、一酸化珪素と炭素
との化学的反応を活性化させることができ、一酸化珪素
の除去効率を一段と向上することができる。(4) The exhaust pipe 31 is disposed in the highest temperature region of the muffle 23 and is disposed above the muffle. Thereby, a high-temperature gas can be passed through the silicon monoxide removing material 36. Therefore, the chemical reaction between silicon monoxide and carbon can be activated, and the efficiency of removing silicon monoxide can be further improved.
【００４７】（５）排気筒３１の内部には一酸化珪素除
去材３６を収容したカートリッジケース３３が着脱可能
に設けられている。そのため、一酸化珪素除去材３６を
取り外すことにより、新しい一酸化珪素除去材３６に交
換することができる。一酸化珪素除去材３６を定期的に
交換すれば、一酸化珪素の除去能力が低下するのを防止
できる。(5) A cartridge case 33 containing a silicon monoxide removing material 36 is detachably provided inside the exhaust pipe 31. Therefore, by removing the silicon monoxide removing material 36, it can be replaced with a new silicon monoxide removing material 36. If the silicon monoxide removing material 36 is replaced regularly, it is possible to prevent the ability to remove silicon monoxide from being reduced.
【００４８】（６）一酸化珪素除去材３６には、貴金属
元素からなる触媒３７が担持されている。そのため、一
酸化珪素と炭素とを反応させた際に発生する一酸化炭素
を触媒によって酸化させることで除去できる。この結
果、焼成炉２１が配置されている所の作業環境を衛生的
に保つことができる。(6) A catalyst 37 made of a noble metal element is carried on the silicon monoxide removing material 36. Therefore, carbon monoxide generated when silicon monoxide reacts with carbon can be removed by oxidizing with a catalyst. As a result, the working environment where the firing furnace 21 is disposed can be kept hygienic.
【００４９】なお、本発明の実施形態は以下のように変
更してもよい。 ・前記実施形態では、一酸化珪素除去材３６をカートリ
ッジケース３３内に収容した。この構成以外に、一酸化
珪素除去材３６をカートリッジケース３３を使用するこ
となく収容してもよい。又、排気筒３１の一部（外端
部）又は全体を、炭素を含む形成材料としてもよい。こ
の構成にすれば、排気筒３１内に一酸化珪素除去材３６
を収容せずに、一酸化珪素と炭素とを反応させ、一酸化
珪素を除去することができる。しかも、排気筒３１内を
流れる気体の圧損を更に小さくすることができる。更
に、炭素材料から排気筒３１を形成した場合には、排気
筒３１をマッフル２３に対して着脱可能に設けてもよ
い。The embodiment of the present invention may be modified as follows. In the above embodiment, the silicon monoxide removing material 36 is accommodated in the cartridge case 33. Other than this configuration, the silicon monoxide removing material 36 may be accommodated without using the cartridge case 33. Further, a part (outer end) or the whole of the exhaust pipe 31 may be made of a forming material containing carbon. With this configuration, the silicon monoxide removing material 36
, Silicon monoxide can be reacted with carbon to remove silicon monoxide. In addition, the pressure loss of the gas flowing through the exhaust pipe 31 can be further reduced. Furthermore, when the exhaust pipe 31 is formed from a carbon material, the exhaust pipe 31 may be provided detachably with respect to the muffle 23.
【００５０】・一酸化珪素除去材３６は、その形成材料
に炭素を含んでいればよく、例えば、炭素を含む一酸化
珪素除去手段として粒状の活性炭からなるフィルタにし
てもよい。又、一酸化珪素除去材３６の形態は、繊維状
に限定されない。例えばハニカム状又はメッシュ状のフ
ィルタに変更してもよい。The silicon monoxide removing material 36 only needs to contain carbon in its forming material. For example, a filter made of granular activated carbon may be used as a means for removing carbon monoxide containing carbon. Further, the form of the silicon monoxide removing material 36 is not limited to a fibrous shape. For example, the filter may be changed to a honeycomb or mesh filter.
【００５１】・前記実施形態において、触媒３７として
白金を使用したが、それ以外にも、例えばロジウム（Ｒ
ｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、
銅（Ｃｕ）の中から選ばれる少なくとも１つの単体又は
化合物を、一酸化珪素除去材３６に担持してもよい。In the above embodiment, platinum was used as the catalyst 37. Alternatively, for example, rhodium (R
h), palladium (Pd), gold (Au), silver (Ag),
At least one element or compound selected from copper (Cu) may be carried by the silicon monoxide removing material 36.
【００５２】・一酸化炭素を除去するための触媒３７
は、その配置されている箇所が一酸化珪素除去材３６、
又はそれよりも下流側の位置であれば、任意の位置に変
更してもよい。例えば、一酸化珪素除去材３６の外周面
と対峙する排気筒３１の内周面に触媒３７を担持させて
もよい。A catalyst 37 for removing carbon monoxide
Is a silicon monoxide removing material 36,
Alternatively, the position may be changed to an arbitrary position as long as the position is on the downstream side. For example, the catalyst 37 may be carried on the inner peripheral surface of the exhaust pipe 31 facing the outer peripheral surface of the silicon monoxide removing material 36.
【００５３】次に、特許請求の範囲に記載された技術的
思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技
術的思想を以下に示す。 （１）請求項６において、貴金属元素は、ロジウム、白
金、パラジウム、金、銀、銅の中から選ばれる少なくと
も１つを含む。Next, in addition to the technical idea described in the claims, the technical idea grasped by the above-described embodiment will be described below. (1) In claim 6, the noble metal element includes at least one selected from rhodium, platinum, palladium, gold, silver, and copper.
【００５４】（２）請求項８において、一酸化珪素を炭
素と化学的に反応させて炭化珪素とした上で同一酸化珪
素を除去するようにした炭化珪素製フィルタの製造方
法。 （３）マッフルに投入した炭化珪素成形体を加熱手段に
より加熱し、その炭化珪素成形体を焼成することで炭化
珪素製フィルタを製造する方法において、前記炭化珪素
成形体が加熱された際にマッフル内に発生する一酸化珪
素を除去することにより、焼成される炭化珪素成形体の
酸化を防止するようにしたことを特徴とする炭化珪素製
フィルタの製造方法。(2) The method for manufacturing a silicon carbide filter according to claim 8, wherein silicon monoxide is chemically reacted with carbon to form silicon carbide, and the same silicon oxide is removed. (3) In the method of manufacturing a silicon carbide filter by heating a silicon carbide molded body charged into a muffle by a heating means and firing the silicon carbide molded body, the muffle is formed when the silicon carbide molded body is heated. A method for manufacturing a silicon carbide filter, characterized in that oxidation of a silicon carbide molded body to be fired is prevented by removing silicon monoxide generated therein.
【００５５】[0055]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
一酸化珪素を除去することができるので、炭化珪素成形
体の強度低下を防止することができる。As described in detail above, according to the present invention,
Since silicon monoxide can be removed, a reduction in the strength of the silicon carbide molded body can be prevented.
【図１】一実施形態における排気ガス浄化フィルタの斜
視図。FIG. 1 is a perspective view of an exhaust gas purification filter according to an embodiment.
【図２】排気ガス浄化フィルタの断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of an exhaust gas purification filter.
【図３】焼成炉の内部を拡大して示す断面図。FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the inside of a firing furnace.
【図４】焼成炉全体を示す正面図。FIG. 4 is a front view showing the entire firing furnace.
【図５】要部を示す拡大断面図。FIG. 5 is an enlarged sectional view showing a main part.
１１…排気ガス浄化フィルタ、１６…炭化珪素成形体、
２１…焼成炉、２３…マッフル、２４…投入口、２５…
排出口、２６…コンベアベルト（搬送手段）、２９…ヒ
ータ（加熱手段）、３１…排気筒、３３…カートリッジ
ケース、３７…触媒。11 ... exhaust gas purification filter, 16 ... silicon carbide molded body,
21: firing furnace, 23: muffle, 24: inlet, 25 ...
Discharge port, 26: conveyor belt (conveying means), 29: heater (heating means), 31: exhaust cylinder, 33: cartridge case, 37: catalyst.
フロントページの続き Ｆターム(参考） 4G001 BA22 BB22 BC61 4K050 AA04 BA07 CC07 CC10 CG09 4K063 AA06 BA04 CA03 CA05 DA05 DA24 Continued on the front page F term (reference) 4G001 BA22 BB22 BC61 4K050 AA04 BA07 CC07 CC10 CG09 4K063 AA06 BA04 CA03 CA05 DA05 DA24
Claims (8)
入口を有するとともに、他端に炭化珪素成形体が排出さ
れる排出口を有するマッフルと、炭化珪素成形体を前記
投入口から排出口に向かって搬送する搬送手段と、前記
マッフル内を移動する前記炭化珪素成形体を加熱する加
熱手段と、マッフル内の気体が排出される排気経路とを
備えた焼成炉において、 前記マッフル内の気体に含まれる一酸化珪素を除去する
一酸化珪素除去手段を前記排気経路に設けたことを特徴
とする焼成炉。1. A muffle having an inlet at one end into which a silicon carbide molded body is charged and an outlet at the other end through which the silicon carbide molded body is discharged, and a muffler for discharging a silicon carbide molded body from the inlet. A heating means for heating the silicon carbide compact moving in the muffle, and an exhaust path through which the gas in the muffle is exhausted. A silicon monoxide removing means for removing silicon monoxide contained in the evacuation path.
む固体を材料として形成されたものであることを特徴と
する請求項１に記載の焼成炉。2. The firing furnace according to claim 1, wherein said means for removing silicon monoxide is formed using a solid containing carbon as a material.
体から構成され、その集合体に通気性が与えられている
ことを特徴とする請求項２に記載の焼成炉。3. The firing furnace according to claim 2, wherein said silicon monoxide removing means is composed of an aggregate of fibers, and the aggregate is provided with air permeability.
の最高温度領域に配置され、かつマッフルの上部に配置
された排気筒内に収容されていることを特徴とする請求
項２又は３に記載の焼成炉。4. The method according to claim 2, wherein the silicon monoxide removing unit is disposed in a maximum temperature region of the muffle and is housed in an exhaust pipe disposed above the muffle. Firing furnace.
筒に対して着脱可能なカートリッジケースに収容されて
いることを特徴とする請求項４に記載の焼成炉。5. The firing furnace according to claim 4, wherein said silicon monoxide removing means is housed in a cartridge case detachable from said exhaust stack.
る触媒が設けられていることを特徴とする請求項１〜５
のうちいずれかに記載の焼成炉。6. The exhaust path is provided with a catalyst made of a noble metal element.
The firing furnace according to any one of the above.
珪素成形体を同マッフルの排出口に向けて加熱しながら
搬送する際に、前記マッフル内の気体中に含まれる一酸
化珪素を除去する方法において、 前記排気経路において前記一酸化珪素を化学的反応によ
って除去するようにしたことを特徴とする焼成炉におけ
る一酸化珪素の除去方法。7. A method for removing silicon monoxide contained in a gas in a muffle when transferring a silicon carbide molded body fed from an inlet of the muffle to a discharge outlet of the muffle while heating the molded body. 3. The method for removing silicon monoxide in a firing furnace, wherein the silicon monoxide is removed by a chemical reaction in the exhaust path.
加熱手段により加熱しながら搬送手段で搬送し、炭化珪
素成形体を焼成することで炭化珪素製フィルタを製造す
る方法において、 前記炭化珪素成形体が加熱された際にマッフル内に発生
する一酸化珪素を除去することにより、焼成される炭化
珪素成形体の酸化を防止するようにしたことを特徴とす
る炭化珪素製フィルタの製造方法。8. A method for producing a silicon carbide filter by conveying a silicon carbide molded body charged into a muffle by a conveying means while heating it by a heating means, and firing the silicon carbide molded body, wherein the silicon carbide molded body is heated. A method for manufacturing a silicon carbide filter, comprising: removing silicon monoxide generated in a muffle when heating is performed to prevent oxidation of a silicon carbide molded body to be fired.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001046463A JP4323104B2 (en) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | Calcination furnace, method for removing silicon monoxide in the calcination furnace, and method for manufacturing a silicon carbide filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001046463A JP4323104B2 (en) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | Calcination furnace, method for removing silicon monoxide in the calcination furnace, and method for manufacturing a silicon carbide filter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002249385A true JP2002249385A (en) | 2002-09-06 |
| JP4323104B2 JP4323104B2 (en) | 2009-09-02 |
Family
ID=18908082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001046463A Expired - Lifetime JP4323104B2 (en) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | Calcination furnace, method for removing silicon monoxide in the calcination furnace, and method for manufacturing a silicon carbide filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4323104B2 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007080628A1 (en) * | 2006-01-10 | 2007-07-19 | Ibiden Co., Ltd. | Burning furnace and method for burning ceramic |
| WO2007091451A1 (en) * | 2006-02-10 | 2007-08-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of discharging gas from continuous oven and gas discharge structure |
| US7284980B2 (en) | 2004-08-04 | 2007-10-23 | Ibiden Co., Ltd. | Continuous firing furnace, manufacturing method of porous ceramic member using the same, porous ceramic member, and ceramic honeycomb filter |
| US7498544B2 (en) | 2004-08-25 | 2009-03-03 | Ibiden Co., Ltd. | Firing furnace and method for manufacturing porous ceramic fired object with firing furnace |
| KR101177545B1 (en) | 2011-04-19 | 2012-08-27 | 부산대학교 산학협력단 | Heat treatment apparatus for producing high reactivity positive active material for lithium secondary battery |
| JP2014074521A (en) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Koyo Thermo System Kk | Continuous burning furnace |
| WO2016114036A1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | イビデン株式会社 | Continuous firing furnace |
| CN113654343A (en) * | 2021-06-30 | 2021-11-16 | 陕西彩虹工业智能科技有限公司 | Muffle furnace silicon carbide heating system for manufacturing flexible glass and muffle furnace |
-
2001
- 2001-02-22 JP JP2001046463A patent/JP4323104B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7284980B2 (en) | 2004-08-04 | 2007-10-23 | Ibiden Co., Ltd. | Continuous firing furnace, manufacturing method of porous ceramic member using the same, porous ceramic member, and ceramic honeycomb filter |
| US7498544B2 (en) | 2004-08-25 | 2009-03-03 | Ibiden Co., Ltd. | Firing furnace and method for manufacturing porous ceramic fired object with firing furnace |
| WO2007080628A1 (en) * | 2006-01-10 | 2007-07-19 | Ibiden Co., Ltd. | Burning furnace and method for burning ceramic |
| US7997897B2 (en) | 2006-02-10 | 2011-08-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of discharging gas from continuous oven and gas discharge structure |
| EP1983284A1 (en) * | 2006-02-10 | 2008-10-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of discharging gas from continuous oven and gas discharge structure |
| KR101041518B1 (en) | 2006-02-10 | 2011-06-16 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | Method of discharging gas from continuous oven and gas discharge structure |
| WO2007091451A1 (en) * | 2006-02-10 | 2007-08-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of discharging gas from continuous oven and gas discharge structure |
| EP1983284A4 (en) * | 2006-02-10 | 2012-04-04 | Ngk Insulators Ltd | Method of discharging gas from continuous oven and gas discharge structure |
| JP5134376B2 (en) * | 2006-02-10 | 2013-01-30 | 日本碍子株式会社 | Continuous furnace exhaust method and exhaust structure |
| KR101177545B1 (en) | 2011-04-19 | 2012-08-27 | 부산대학교 산학협력단 | Heat treatment apparatus for producing high reactivity positive active material for lithium secondary battery |
| JP2014074521A (en) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Koyo Thermo System Kk | Continuous burning furnace |
| WO2016114036A1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | イビデン株式会社 | Continuous firing furnace |
| JP2016132581A (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | イビデン株式会社 | Continuous firing furnace |
| CN113654343A (en) * | 2021-06-30 | 2021-11-16 | 陕西彩虹工业智能科技有限公司 | Muffle furnace silicon carbide heating system for manufacturing flexible glass and muffle furnace |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4323104B2 (en) | 2009-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5237630B2 (en) | Honeycomb structure | |
| KR100842595B1 (en) | Continuous firing kiln and process for producing porous ceramic member therewith | |
| EP1974798B1 (en) | Exhaust gas purifying system | |
| EP1977809B1 (en) | Honeycomb filter | |
| JP4812316B2 (en) | Honeycomb structure | |
| EP1974795B1 (en) | Honeycomb filter | |
| US20080197544A1 (en) | Heating furnace and method for manufacturing honeycomb structure | |
| EP1974792B1 (en) | Honeycomb filter | |
| EP1977813B1 (en) | Honeycomb filter | |
| US20070202455A1 (en) | Firing furnace, manufacturing method of a ceramic member using the firing furnace, ceramic member, and ceramic honeycomb filter | |
| EP1974813B1 (en) | Honeycomb structured body | |
| CN107262109A (en) | Honeycomb structured body | |
| JPWO2006013932A1 (en) | Firing furnace and method for producing a porous ceramic fired body using the firing furnace | |
| JP4323064B2 (en) | Continuous degreasing furnace, method for producing porous silicon carbide sintered body | |
| WO2007102217A1 (en) | Fired body cooler, firing furnace, method of cooling ceramic fired body, and process for producing honeycomb structure | |
| JP5106716B2 (en) | Exhaust gas purification material and exhaust gas purification device | |
| JP4323104B2 (en) | Calcination furnace, method for removing silicon monoxide in the calcination furnace, and method for manufacturing a silicon carbide filter | |
| JP2002020173A (en) | Method for dewaxing silicon carbide molding and method for manufacturing porous silicon carbide sintered compact | |
| EP2329874B1 (en) | Honeycomb filter and exhaust gas purifying apparatus | |
| JP2010002056A (en) | Heating furnace and method for manufacturing honeycomb structure | |
| JP3503823B2 (en) | Porous ceramic honeycomb structure | |
| JP2002143615A (en) | Porous ceramic honeycomb structural body | |
| JP2008238158A (en) | Honeycomb filter | |
| JP2011224538A (en) | Honeycomb filter and apparatus for cleaning exhaust gas | |
| JP2006007100A (en) | Exhaust gas purifying filter |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050408 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080319 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080401 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080528 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090310 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090511 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090602 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090604 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4323104 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130612 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |