JP2002244138A - 高コントラスト比液晶表示素子の製造方法 - Google Patents

高コントラスト比液晶表示素子の製造方法

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JP2002244138A JP2001086398A JP2001086398A JP2002244138A JP 2002244138 A JP2002244138 A JP 2002244138A JP 2001086398 A JP2001086398 A JP 2001086398A JP 2001086398 A JP2001086398 A JP 2001086398A JP 2002244138 A JP2002244138 A JP 2002244138A
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Shunsuke Kobayashi
駿介 小林
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Japan Society for Promotion of Science
Japan Society For Promotion of Machine Industry
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Tokyo University of Science
Japan Society for Promotion of Science
Japan Society For Promotion of Machine Industry
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】アクティヴマトリクス駆動強誘電性液晶表示素
子の作製において、コントラスト比低下の原因となるジ
グ−ザグ欠陥及びヘアピン欠陥の発生を抑えて少なくと
もコントラスト比が200:1程度またはそれ以上とな
るC−2一様相を再現性よく実現する。 【解決手段】無欠陥強誘電性液晶(FLCD)ディスプ
レイを作製する工程において、TFTなどの駆動用半導
体素を備えた基板1a側は光配向により液晶分子を配向
し、それに対向する基板1b側はラビング処理により液
晶を配向する。また、液晶配向膜4a、4b及びその下
地となる透明導電膜3a、3bそれぞれの表面構造の表
面粗さを少なくともRMS値で1nm程度またはそれ以
下、前記表面構造の傾き角を2°程度あるいはそれ以
下、また、前記表面構造の周期を50nm程度またはそ
れ以下とするように平滑化処理を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子、特
に強誘電性液晶電気光学または表示素子において高いコ
ントラスト比を実現するための製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】クラーク及びラガーウォルにより提案さ
れた強誘電性液晶表示素子〔特開昭56−107216
号公報〕は双安定性を示し、且つ高速度応答であるため
動画表示用液晶表示素子として期待されてきた。しか
し、ジグ−ザグ欠陥という欠陥が生じ易く、そのため光
漏れが生じ高コントラスト比の液晶の表示を実現するの
が難しかった。過去においてもC−1及びC−2一様
相の定義(J.Kanbeet al:Ferroel
ectrics,114,3−26,1991;M.K
oden et al:Jpn.J.Apple.Ph
ys.31,3632−3635(1992)、プレ
ティルトの値(Kanbe et al;Koden
et al;P.Watson,P.J.Bos;Ph
ys.Rev.E56 R3769−R3711(19
97))、配向膜表面の粗さの関係(P.Watso
n,P.J.Bos;H.Furue et al;M
ol.Cryst.Liq.Cryst.,32
8))、光配向技術(R.Kurihara et
al:SID Digest of Tech.Pap
ers 30,807−809(2000))について
の報告はある。しかしこれら〜はそれぞれ断片的で
あり、そしてかつそれらの一つのみまたは一部のみが充
足してもC−1、C−2一様相は作り出すことは出来な
い。またアクティブマトリクス駆動表示装置に対するよ
り進んだ対応はなされていない。高性能アクティヴマト
リクス強誘電性液晶素子を製作するためには総合的対策
と新規な技術的アプローチを採用する必要がある。
【0003】
【本発明が解決しようとする課題】TFTやC−MOS
の二次元アレイの基板を持った強誘電性液晶ディスプレ
イにおいて、無欠陥C−2一様状態を実現し望ましくは
200:1以上のコントラスト比を得るために断片的で
なく総括的な必要事項に漏れがない実際的な製造方法を
提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記課題を解
決するために広くかつ深く研究を進め、1)TFTまた
はC−MOSなどの駆動素子側の基板は光配向処理し、
他方の基板はラビング配向処理を行う、2)ポリイミド
などの液晶配向膜の表面構造の粗さ、傾き角及び周期の
値に一定の許容値以下に抑えたときある大きさのコント
ラスト比を得ることができる、3)配向膜の下地となる
透明導電膜についても、表面構造の粗さ、傾き角、周期
の値を一定の許容値以下に抑える必要がある、4)さら
に無欠陥C−2相を実現するためには、極角アレカリン
グエネルギーAθ、方位角アレカリングエネルギー
ψ、プレティルト角、液晶層の厚さ及び弾性定数に特
定な許容値または許容範囲がある。そしてなおかつ、こ
れら2)〜4)の項目
【請求項1〜8】が同時にすべて満足されていなければ
ならない。
【請求項2】の液晶配向技術については(A)ラビング
法、(B)光配向法、および(C)ラビング法と光配向
法の組合せとあるが、これらのうち(A)と(B)はそ
れ自体、公知であるので本発明では(C)のみとした。
ただし、(A)および(B)の液晶配向法を用いた場合
でも
【請求項1】、
【請求項3】〜
【請求項8】は充足されていなければならない。以上の
事柄を総合的に明らかにし上記課題を解決できることを
見出し本発明を提供するに至った。
【0005】図1液晶表示セルの断面図、図2にC−1
とC−2の層構造を、さらに図3にC−2相における界
面近傍の液晶分子に関する角度の関係を示す。
【0006】一対の基板間に強誘電性液晶を介在させて
液晶素子表示を得る方法において、TFTやC−MOS
など駆動素子が二次元的に配置されている基板側では液
晶分子の配向法として光配向法を用い、またそれと対向
する基板ではラビング配向法を用いる。
【0007】前項の強誘電性液晶表示素子において、コ
ントラスト比が200:1程度またはそれ以上となるよ
うな無欠陥C−2一様相を得るためには、プレティルト
角θ、相傾き角δ、コーン角θの間にθ<θ
δの関係を満足していなければならない。この意味でプ
レティルト角θ=0.3°〜2°位となるようにす
る。これは高分子配向膜を選ぶことにより光配向法でも
ラビング法でも共に可能である。これらの記号を記入し
たC−2一様相の液晶分子(ダイレクターn)、基板面
Z方向、層傾き角δ、プレティルト角θ、コーン角θ
、ダイレクターの方位角Ψなどを図3に示す。
【0008】強誘電性液晶表示素子においてコントラス
ト比が200:1程度またはそれ以上となるような無欠
陥C−2一様相を得るためには極角アンカリングエネル
ギーを10−4J/m程度またはそれ以上とする。
【0009】強誘電性液晶表示素子において、コントラ
スト比が200:1程度またはそれ以上となるような無
欠陥C−2一様相を得るためには方位角アンカリングエ
ネルギーを2×10−6J/m程度またはそれ以上と
する。
【0010】強誘電性液晶表示素子においてコントラス
ト比が200:1程度またはそれ以上となるような無欠
陥C−2一様相を得るためには下地の透明導電膜と液晶
配向膜を含めた形で、配向膜の構造表面の粗さはRMS
値で1nm程度またはそれ以下、表面構造の傾き角2°
程度またはそれ以下、そして構造の周期は50nm程度
またはそれ以下とする必要がある。
【実施例】
【0011】強誘電性液晶ディスプレイセルの断面図を
図1に示す。液晶セルは2枚の偏光板6a,6bに挟ま
れている。下方の基板には薄膜トランジスタQ(TF
T)7と画素電極PX3a配置された例を示している。
上下基板それぞれに液晶配向膜4a,4bが塗布されて
いる。
【0012】配向膜4a,4bは日産化学工業(株)製
のポリイミドRN1199を用いた。下方のTFTを配
置した方の配向膜4aは紫外線斜方照射により光配向処
理を行った。紫外光の照射条件は波長340nm、照射
エネルギーは200J/cmである。この様な照射で
プレティルト角約1.5°〜2°を持った一様な強誘電
性液晶の配向が得られる。また上方の配向膜はラビング
処理され、方位角アンカリング強度1〜5×10−4
/m程度の強い配向を得ることができる。この様なハ
イブリッド型の配向処理をすることにより光配向の長所
を生かすことができる。その長所は、静電気の発生が
なくTFTの破壊がない、塵の発生がなく工程の管理
が容易である。一方、光配向はラビング処理と比較して
方位角アンカリングが弱いという点は上方配向膜の強い
アンカリングで補うことができ液晶相2を無欠陥C−2
一様相とすることができる。
【0013】十数種類の強誘電性液晶を用いて試験研究
を行った。それらのうち良好な結果を得た強誘電性液晶
材料を挙げると、FELIXM−4851−100(ク
ラリアントジャパン)及びCS1014(チッソ石油化
学)であった。
【0014】配向膜4a,4bに対する平滑性は請求項
1〜8を満たすように予め整調された。そのため必要に
応じて透明導電膜3a,3b、カラーフィルター5に平
滑処理を施した。なおフィールドシークェンシャルフル
カラー表示方式ではカラーフィルター5は不要である。
【発明の形態】本発明の実施の形態の例を図面を参照に
説明する。
【0015】図1に示すように、この発明の形態に係わ
る液晶表示素子は一対の透明基板(たとえばガラス基
板)1a,1bで液晶セルを構成し、その内部に液晶層
2(この場合は強誘電性液晶スメクティックC相)を
保持する。上下の基板には透明電極3a(PX),3b
を配置し液晶に電圧を印加する。透明導電膜として通常
ITOを用いる。
【0016】液晶セルの内面壁には液晶配向膜4a,4
bが塗布されている。
【0017】カラー表示のためカラーフィルター5を用
いる。フィールドシークェンシャル方式ではカラーフィ
ルターは不要である。アクティヴマトリクス表示では薄
膜トランジスタ(TFT)Q(7)、ピクセル電極PX
(3a)、ブラックストライプB5が用いられる。TF
Tの代わりに結晶シリコントランジスターなどを用いて
もよい。液晶表示として用いるための2枚の基板と液晶
よりなるセルを2枚の偏光板6a,6bに挟んだ形で用
いられる。反射型で用いるときは下側の基板1aの上に
光反射板を配し、偏光板は一枚でよい。
【0018】図2の下の図は強誘電性液晶(Ferro
electric LiquidCrystal=FL
C)セルの断面図を示している。ラビング方向または光
配向方向を8a,8bの矢印のようにとると、液層分子
9は折れ曲がった層構造(シェブロン型)10をとる。
【0019】界面の液晶分子配向を8a,8bの方向と
なるようにとると、上下の基板においてプレティルト角
11a,11bが生じる。プレティルトの方向は矢印8
a,8bの方向に立ち上がる方向をとる。シェブロン層
の傾きの角度はδ 12で示されている。
【0020】シェブロンの傾きの向きとプレティルト角
の向きとの関係でC−1相13とC−2相14が生じ
る。一般にC−2相の方がC−1相より安定であるので
本発明はC−2一様相を得ることを目的としている。
【0021】C−1相とC−2相の境界に屈折率不連続
が生じ、それらは稲妻欠陥(またはジグザグ欠陥)15
およびヘアピン欠陥16を生じる。これらの欠陥は液晶
セルを2枚の偏光板で挟んで用いたとき光漏れが生じコ
ントラスト比を低下させてしまう。
【0022】本発明は図1におけるトランジスターなど
の駆動用半導体素が付いた側をラビングなしの光配向を
用いて配向し、対向する側をラビング処理を施すことに
より、これら2種類の配向法の長所を生かした形で用い
られている。液晶層の厚さ17に比べて界面配向層の厚
さはほぼ10nm位で極めて薄い。
【0023】図3はC−2一様相を得るために用いられ
るいろいろな液晶分子に関する角度関係を示している。
n18は液晶分子のダイレクター18であり、プレティ
ルト角が19である。シェブロン傾き角はδ 20であ
る。セルの基板方向がZ21、セル基板垂直方向がY2
2である。FLC分子はコーン23の上を動く、そのと
き分子ダイレクターn18の一方の端が原点024の方
向に向かうような状態を保ちながら動く、そしてコーン
角がθ25である。また液晶分子の方位角はΨ 26
である。
【0024】液晶分子の電界によるスウィッチングはC
ベクトル27が回転し角度φ28を変える形で生じる。
そのとき自発分極P29が反転する形となる、これが強
誘電性液晶の分極反転スウィッチングである。
【0025】本発明においては請求項1〜請求項8に述
べられているように、FLCDにおいて、少なくともコ
ントラスト比が200:1またはそれ以上となるような
C−2一様相を得るために、1)光配向とラビング配向
の組合せ、2)透明導電膜図1の3a,3bの表面粗さ
または平坦性に対する数値的必要条件、3)液晶配向膜
4a,4bは目的とする方向に、目的とする値をもつプ
レティルト角(図2,11a,11b)、(図3,1
9)を生じ、かつ液晶配向膜の表面の粗さまたは平坦性
にある数値的条件が付される。4)極角(それはプレテ
ィルト角の方向にとった角度)(図3,19)、方向ア
ンカリングエネルギーおよび方位角(図3,26方向)
のアンカリングエネルギーに数値的条件が付けられる。
これらの条件は請求項1〜8に数値的に述べられてい
る。そして請求項1〜8が同時に満足しなければならな
い。
【0026】実施例として、ラビング配向および光配向
膜として日産化学工業のポリイミドRN1199、また
強誘電性液晶としてクライアントジャパン社のFELI
XM−46540100,FELIXM−4851−1
00,およびチッソ石油化学のCS1014を用いてC
−2一様相を得ることができた。
【発明の効果】強誘電性液晶を用いた電気光学素子及び
表示素子は一般的にはジグ−ザグ欠陥が発生し易く、そ
のため光漏れが生じて高いコントラスト比を得るのが難
しい。本発明はコントラスト比200:1程度またはそ
れ以上の強誘電性液晶電気光学素子及び表示素子を総括
的かつ総合的な方法により実現する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の強誘電性液晶表示セルの概略断面で
ある。
【図2】 強誘電性液晶に生じるジグ−ザグ欠陥とヘア
ピン欠陥の分子構造を示す。
【図3】 C−2一様相を生じる界面近傍の強誘電性液
晶分子に係わる角度の関係を示す。
【符号の説明】
1 基板 2 液晶 3a,3b 透明導電膜 4a,4b 液晶配向膜 5 カラーフィルター 6a,6b 偏光板 Q(7) トランジスター PX(3a) 電極 BS ブラックストライプ 8a,8b ラビング配向または光配向の方向 9 液晶分子 10 液晶分子の層構造(シェブロン構造) 11a,11b プレティルト角 12 シェブロン傾き角 13 C−1相 14 C−2相 15 ジグ−ザグ欠陥 16 ヘアピン配向 17 液晶層の厚さ 18 液晶分子ダイレクター 19 プレティルト角(極角の方向) 20 シェブロン傾き角(12と同じ) 21 基板面の方向 22 基板に対する法線方向 23 コーン 24 原点 25 コーン角
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02F 1/1337 525 G02F 1/1337 525

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくても一方の透明基板にその基板
    面内の所定の方向にスメクティック液晶、カイラルスメ
    クティック液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶分子を
    配向させる積極的配向構造を有する一対の透明基板また
    は一方が透明基板となる一対の基板と、前記一対の基板
    間に挟まれた液晶層とを有し、液晶の配向に極力欠陥が
    生じないようにした液晶表示素子。
  2. 【請求項2】 前記積極的配向構造は一対の高分子配
    向膜または無機配向膜であり、それら配向膜の一方たと
    えばTFTやC−MOSなどの駆動素子側の配向膜は光
    配向処理され、もう一方の配向膜はラビング処理されて
    いる。この二つの配向方法を組合せて用いる方式は液晶
    として強誘電性液晶のみならず他の液晶たとえばネマテ
    ィック液晶を用いた場合にも適用できる。
  3. 【請求項3】 液晶セル内においてその厚さが1μm
    〜2μm程度である強誘電性液晶に生じるジグ−ザグ欠
    陥の発生を抑えてC−2一様相を作り、少なくともコン
    トラスト比を200:1程度またはそれ以上とするため
    に高分子配向膜の下地となるたとえば透明導電膜ITO
    の表面粗さは少なくともRMS値で1nm程度またはそ
    れ以下、表面構造の傾き角2°程度またはそれ以下、ま
    た構造の周期は50nm程度またはそれ以下とする。こ
    れらの条件を満たすために必要に応じて平滑化処理を行
    う。
  4. 【請求項4】 液晶セル内においてそこに介在する液
    晶層の厚さが1μm〜2μm程度である強誘電性液晶に
    生じるジグ−ザグ欠陥の発生を抑えC−2一様相を作
    り、少なくともコントラスト比を200:1以上とする
    ために少なくとも高分子配向膜の粗さはRMS値で少な
    くとも0.5nm程度またはそれ以下、傾き角1°程度
    またはそれ以下、周期100nm程度またはそれ以下と
    する。
  5. 【請求項5】 上記請求事項1〜4の条件下で、方位
    角アンカリングの強度は10−4J/m程度またはそ
    れ以上の強いアンカリングであることが望ましい。
  6. 【請求項6】 上記の請求事項1〜5の条件下で極角
    方向のアンカリング強度は10−5J/m程度または
    それ以上の強いアンカリングとする。
  7. 【請求項7】 上記の請求項1〜6の条件下で光配向
    のアンカリング強度も強く10−4J/m程度である
    ことが望ましいが、光配向の方位角アンカリング強度は
    10−5J/m〜10−6/m程度でも止むを得な
    いとする。このようなアンカリングエネルギーに対応し
    てC−2一様相を与えるための液晶材料の弾性エネルギ
    ー値はほぼ1×10−12N〜5×10−12Nの範囲
    である。
  8. 【請求項8】 上記請求項1〜7が一つまたは一部の
    みが充足されただけでは充分でなく、1〜7の事項がす
    べて同時に満足されること。
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