JP2002221547A - Inspection method for active matrix display driving board - Google Patents
Inspection method for active matrix display driving boardInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に輝
点欠陥、輝線欠陥等の画素欠陥をもたらす駆動基板の不
良を、液晶パネルの組立前に検出する方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for detecting a defect of a driving substrate which causes a pixel defect such as a bright spot defect or a bright line defect in a liquid crystal display device before assembling a liquid crystal panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４に示すように、アクティブ・マトリ
クス表示を行う液晶表示装置の液晶パネル１は、概略、
画素電極２とこの画素電極２を駆動するＴＦＴ３等の画
素トランジスタがマトリックス状に配置されたＴＦＴ基
板４等の駆動基板と、透明基板上に対向電極５を有する
対向基板６とがスペーサ７を介して所定のセルギャップ
で対向し、シール材８で双方の基板が接合され、双方の
基板間に液晶層９が挟持された構造を有している。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 4, a liquid crystal panel 1 of a liquid crystal display device for performing active matrix display has a schematic structure.
A pixel electrode 2 and a driving substrate such as a TFT substrate 4 in which pixel transistors such as a TFT 3 for driving the pixel electrode 2 are arranged in a matrix, and an opposing substrate 6 having an opposing electrode 5 on a transparent substrate via a spacer 7. The two substrates are opposed to each other at a predetermined cell gap with a sealing material 8, and a liquid crystal layer 9 is sandwiched between the two substrates.
【０００３】図５は、液晶パネル１のＴＦＴ基板４の一
画素分の回路図である。このように、ＴＦＴ基板４にお
いては、複数の信号ラインとゲートラインが交差するよ
うに形成され、その交差部に、各画素電極２をスイッチ
ング駆動させるＴＦＴ３が形成されている。ＴＦＴ３の
ソース端子Ｓは画素電極２とコンタクトホールＨを介し
て接続されており、ドレイン端子Ｄは信号ラインと接続
され、ゲート端子Ｇはゲートラインと接続されている。
信号ラインは水平駆動回路及び画像信号入力端子１０に
接続され、ゲートラインは垂直駆動回路に接続されてい
る。ここで、水平駆動回路は信号ラインに順次走査パル
スを与え、各画素を列単位で選択することにより水平走
査を行う。また、垂直駆動回路は水平駆動回路の走査の
一水平走査に同期して１ゲートラインずつ順次選択す
る。したがって、画素への書き込みは、１水平走査ごと
に線順次になされることとなる。FIG. 5 is a circuit diagram of one pixel of the TFT substrate 4 of the liquid crystal panel 1. As described above, in the TFT substrate 4, a plurality of signal lines and gate lines are formed so as to intersect with each other, and a TFT 3 for switchingly driving each pixel electrode 2 is formed at the intersection. The source terminal S of the TFT 3 is connected to the pixel electrode 2 via a contact hole H, the drain terminal D is connected to a signal line, and the gate terminal G is connected to a gate line.
The signal line is connected to the horizontal drive circuit and the image signal input terminal 10, and the gate line is connected to the vertical drive circuit. Here, the horizontal drive circuit performs horizontal scanning by sequentially applying scanning pulses to the signal lines and selecting each pixel on a column basis. The vertical drive circuit sequentially selects one gate line at a time in synchronization with one horizontal scan of the horizontal drive circuit. Therefore, writing to pixels is performed line-sequentially for each horizontal scan.
【０００４】ところで、図６に示すように、液晶表示装
置の製造工程においては、ＴＦＴ基板４及び対向基板６
を作製後、双方の基板を接合して液晶パネル１を組み立
てる前に、ＴＦＴ基板４の電気的不良を調べる検査や対
向基板６の塵や傷等の外観を調べる検査が行われる。ま
た、液晶パネル１を組み立て、液晶を注入した後には輝
点欠陥や輝線欠陥等の画素欠陥の有無を検査する画素欠
陥検査工程が行われる。この画素欠陥は、ＴＦＴ３や画
素電極２の破壊、ＴＦＴ３と画素電極２を接続するコン
タクトホールＨの形成不良により生じるものである。As shown in FIG. 6, in the manufacturing process of the liquid crystal display device, a TFT substrate 4 and a counter substrate 6 are formed.
After the fabrication, before the two substrates are joined to assemble the liquid crystal panel 1, an inspection for examining electrical defects of the TFT substrate 4 and an inspection for examining the appearance of the opposing substrate 6 such as dust and scratches are performed. After assembling the liquid crystal panel 1 and injecting the liquid crystal, a pixel defect inspection step for inspecting for pixel defects such as bright point defects and bright line defects is performed. This pixel defect is caused by the destruction of the TFT 3 and the pixel electrode 2 and the formation failure of the contact hole H connecting the TFT 3 and the pixel electrode 2.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従来の液晶表示装置の
製造工程において、ＴＦＴ基板４上のＴＦＴ３や画素電
極２の破壊、ＴＦＴ３と画素電極２を接続するコンタク
トホールＨの形成不良により生じる画素欠陥検査を液晶
パネルの組立後に行うのは、このような画素欠陥は、液
晶パネルに液晶が注入された状態でないと検査できない
ためである。しかしながら、この製造工程によれば、Ｔ
ＦＴ基板４が不良品であっても液晶パネルの組立を行う
ことが必要とされるため、無駄な組立材料費や組立加工
費が費やされるという問題がある。In the conventional manufacturing process of a liquid crystal display device, pixel defects caused by destruction of the TFT 3 and the pixel electrode 2 on the TFT substrate 4 and defective formation of the contact hole H connecting the TFT 3 and the pixel electrode 2 are formed. The inspection is performed after the liquid crystal panel is assembled because such a pixel defect cannot be inspected unless liquid crystal is injected into the liquid crystal panel. However, according to this manufacturing process, T
Since it is necessary to assemble the liquid crystal panel even if the FT substrate 4 is defective, there is a problem that useless assembly material costs and assembly processing costs are spent.
【０００６】本発明は、このような問題に対し、液晶パ
ネルの組立前に、画素欠陥の原因となる、ＴＦＴ３や画
素電極２の破壊、ＴＦＴ３と画素電極２を接続するコン
タクトホールＨの形成不良を検出できるようにすること
を目的とする。In the present invention, in order to solve such a problem, before assembling the liquid crystal panel, the TFT 3 and the pixel electrode 2 are destroyed and the contact hole H connecting the TFT 3 and the pixel electrode 2 is defectively formed, which causes pixel defects. It is intended to be able to detect
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明者は、ＴＦＴ基板
等の駆動基板を対向基板と接合し、液晶パネルを組み立
てる前に、全画素電極を短絡状態に形成しておき、短絡
状態にした画素電極に電圧印加用プローブを接触させる
ことにより全画素電極に同時に所定の電圧を印加し、各
画素電極に検査信号を順次入力し、その検査信号に応じ
た出力を、例えばアクティブマトリクス表示時に画像信
号を入力する画像信号入力端子で検出すると、検出され
る電流は、ＴＦＴ等の画素トランジスタと画素電極との
間のコンタクトホールの形成不良等によりこの部分が高
抵抗となっている場合には減少すること、したがって、
この検出値にもとづいて、輝点欠陥、輝線欠陥等の画素
欠陥をもたらす駆動基板の不良を判別できることを見出
した。The inventor of the present invention joined a driving substrate such as a TFT substrate to an opposing substrate, and formed all pixel electrodes in a short-circuit state before assembling a liquid crystal panel, thereby forming a short-circuit state. A predetermined voltage is simultaneously applied to all the pixel electrodes by bringing a voltage application probe into contact with the pixel electrodes, an inspection signal is sequentially input to each pixel electrode, and an output according to the inspection signal is output, for example, during active matrix display. When the current is detected at the image signal input terminal for inputting the signal, the detected current decreases when this portion has a high resistance due to defective formation of a contact hole between the pixel transistor such as a TFT and the pixel electrode. To do, therefore
Based on this detection value, it has been found that it is possible to determine a defect of the driving substrate that causes a pixel defect such as a bright spot defect or a bright line defect.
【０００８】即ち、第１に、本発明は、マトリクス状に
配置される複数の画素電極と画素電極に接続された画素
トランジスタを有するアクティブマトリクス表示用駆動
基板の検査方法であって、全画素電極を短絡状態にし、
短絡状態にした画素電極に電圧印加用プローブを接触さ
せて所定の外部電圧を印加し、アクティブマトリクス表
示時に画素電極の走査のために使用される水平駆動回路
及び垂直駆動回路を駆動して画素電極を順次選択すると
共に画素電極に検査信号を入力し、その検査信号に応じ
た出力信号を検出し、駆動基板の良否を判別する駆動基
板の検査方法を提供する。That is, first, the present invention relates to a method of inspecting an active matrix display driving substrate having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes. Short circuit,
A predetermined external voltage is applied by bringing a voltage application probe into contact with the short-circuited pixel electrode, and a horizontal drive circuit and a vertical drive circuit used for scanning the pixel electrode during active matrix display are driven to drive the pixel electrode. Are sequentially selected, a test signal is input to the pixel electrode, an output signal corresponding to the test signal is detected, and the quality of the drive substrate is determined.
【０００９】第２に、本発明は、マトリクス状に配置さ
れる複数の画素電極と画素電極に接続された画素トラン
ジスタを有するアクティブマトリクス表示用駆動基板の
良否の判別に使用する駆動基板検査用プローブであっ
て、全画素電極の短絡状態において画素電極に接触し、
所定の電圧を印加する電圧印加用プローブ、及び画素電
極に検査信号を入力するために、アクティブマトリクス
表示時に画素電極の走査のために使用される水平駆動回
路又は垂直駆動回路に検査信号を入力する駆動端子用プ
ローブからなる駆動基板検査用プローブを提供する。Second, the present invention provides a drive board inspection probe for use in judging the quality of an active matrix display drive board having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes. Contacting the pixel electrodes in a short-circuit state of all the pixel electrodes,
In order to input a test signal to a voltage application probe for applying a predetermined voltage and a pixel electrode, the test signal is input to a horizontal drive circuit or a vertical drive circuit used for scanning the pixel electrode during active matrix display. Provided is a drive board inspection probe including a drive terminal probe.
【００１０】第３に、本発明は、マトリクス状に配置さ
れる複数の画素電極と画素電極に接続された画素トラン
ジスタを有するアクティブマトリクス表示用駆動基板の
良否を判別する駆動基板検査装置であって、全画素電極
の短絡状態において画素電極に接触し、所定の電圧を印
加する電圧印加用プローブ、及び画素電極に検査信号を
入力するために、アクティブマトリクス表示時に画素電
極の走査のために使用される水平駆動回路又は垂直駆動
回路に検査信号を入力する駆動端子用プローブ、検査信
号に応じた出力信号を検出する出力信号検出用プロー
ブ、駆動端子用プローブに検査信号を出力する検査信号
発生手段、出力信号検出用プローブで検出された出力信
号を増幅する増幅手段、及び増幅された出力信号を画像
処理する画像処理装置、からなる駆動基板検査装置を提
供する。Third, the present invention is a driving board inspection apparatus for judging pass / fail of an active matrix display driving board having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes. A voltage application probe that contacts a pixel electrode when all pixel electrodes are short-circuited and applies a predetermined voltage, and is used for scanning the pixel electrode during active matrix display to input an inspection signal to the pixel electrode. A drive terminal probe for inputting a test signal to a horizontal drive circuit or a vertical drive circuit, an output signal detection probe for detecting an output signal corresponding to the test signal, a test signal generating means for outputting a test signal to the drive terminal probe, Amplifying means for amplifying an output signal detected by the output signal detecting probe, and an image processing apparatus for performing image processing on the amplified output signal , To provide a driving board inspection apparatus comprising a.
【００１１】第４に、本発明は、マトリクス状に配置さ
れた複数の画素電極と画素電極に接続された画素トラン
ジスタを有するアクティブマトリクス表示用駆動基板
と、対向電極を有する対向基板とが所定間隔をあけて接
合され、双方の基板間に液晶層が挟持されている液晶表
示装置であって、駆動基板と対向基板とを接合する前に
該駆動基板の良否の判別が行われており、該良否の判別
が、全画素電極を短絡状態にし、短絡状態にした画素電
極に電圧印加用プローブを接触させて所定の外部電圧を
印加し、アクティブマトリクス表示時に画素電極の走査
のために使用される水平駆動回路及び垂直駆動回路を駆
動して画素電極を順次選択すると共に画素電極に検査信
号を入力し、その検査信号に応じた出力信号を検出し、
駆動基板の良否を判別することからなる液晶表示装置を
提供する。Fourth, according to the present invention, an active matrix display driving substrate having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes, and a counter substrate having a counter electrode are disposed at a predetermined distance. A liquid crystal display device in which a liquid crystal layer is sandwiched between both substrates, and in which the quality of the driving substrate is determined before bonding the driving substrate and the counter substrate, The pass / fail judgment is used for short-circuiting all pixel electrodes, applying a predetermined external voltage by bringing a voltage application probe into contact with the short-circuited pixel electrodes, and scanning the pixel electrodes during active matrix display. Driving the horizontal drive circuit and the vertical drive circuit to sequentially select the pixel electrodes, input an inspection signal to the pixel electrodes, and detect an output signal corresponding to the inspection signal,
Provided is a liquid crystal display device that determines whether a driving substrate is good or bad.
【００１２】第５に、本発明は、マトリクス状に配置さ
れた複数の画素電極と画素電極に接続された画素トラン
ジスタを有するアクティブマトリクス表示用駆動基板
と、対向電極を有する対向基板とを所定間隔をあけて接
合し、双方の基板間に液晶層を注入する液晶表示装置の
製造方法であって、駆動基板と対向基板を接合する前に
該駆動基板の良否の判別を行ない、該良否の判別が、全
画素電極を短絡状態にし、短絡状態にした画素電極に電
圧印加用プローブを接触させて所定の外部電圧を印加
し、アクティブマトリクス表示時に画素電極の走査のた
めに使用される水平駆動回路及び垂直駆動回路を駆動し
て画素電極を順次選択すると共に画素電極に検査信号を
入力し、その検査信号に応じた出力信号を検出し、駆動
基板の良否を判別することからなる液晶表示装置の製造
方法を提供する。Fifthly, the present invention provides an active matrix display driving substrate having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes, and a counter substrate having a counter electrode at a predetermined distance. A method for manufacturing a liquid crystal display device in which a liquid crystal layer is injected between both substrates by bonding the driving substrate and the driving substrate and the opposing substrate. However, a horizontal drive circuit used for scanning the pixel electrodes during active matrix display by applying a predetermined external voltage by bringing all the pixel electrodes into a short-circuit state, bringing a voltage application probe into contact with the short-circuited pixel electrodes, and applying a predetermined external voltage. And driving the vertical drive circuit to sequentially select the pixel electrodes, input an inspection signal to the pixel electrodes, detect an output signal corresponding to the inspection signal, and determine the quality of the drive substrate. To provide a method of manufacturing a liquid crystal display device comprising a.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
を詳細に説明する。なお、各図中、同一符号は同一又は
同等の構成要素を表している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In each of the drawings, the same reference numerals represent the same or equivalent components.
【００１４】図１は、本発明の駆動基板検査装置２０を
使用してＴＦＴ基板４を検査することにより、輝点、輝
線等の画素欠陥をもたらす不良を検出する場合のブロッ
ク図である。なお、同図において、ＴＦＴ基板４の回路
としては一画素分が表わされている。FIG. 1 is a block diagram showing a case where a defect which causes a pixel defect such as a bright spot or a bright line is detected by inspecting the TFT substrate 4 using the driving substrate inspection apparatus 20 of the present invention. In FIG. 1, the circuit of the TFT substrate 4 corresponds to one pixel.
【００１５】このＴＦＴ基板４は、最終製品においては
図５に示したＴＦＴ基板と同様に、複数の画素電極２と
各画素電極２に接続されたＴＦＴ３とがマトリックス状
に配置されたものとなるが、検査時においては、全ての
画素電極２がそのパターニング工程において互いに短絡
状態に形成されたものとなっている。全画素電極２が短
絡状態にある以外は図５に示したＴＦＴ基板と同様に、
各ＴＦＴ３は信号ラインとゲートラインの交差部に形成
されている。また、ＴＦＴのソース端子Ｓは画素電極２
とコンタクトホールＨを介して接続されており、ドレイ
ン端子Ｄは信号ラインと接続され、ゲート端子Ｇはゲー
トラインと接続されている。ＴＦＴ基板４上には、アク
ティブマトリクス表示時に画素電極の走査のために使用
される水平駆動回路及び垂直駆動回路が形成され、アク
ティブマトリクス表示時に画像信号を入力する画像信号
入力端子１０が形成されている。また、信号ラインは水
平駆動回路及び画像信号入力端子１０に接続され、ゲー
トラインは垂直駆動回路に接続されている。In the final product, a plurality of pixel electrodes 2 and TFTs 3 connected to each pixel electrode 2 are arranged in a matrix in the final product, similarly to the TFT substrate shown in FIG. However, at the time of inspection, all the pixel electrodes 2 are short-circuited to each other in the patterning process. Except that all the pixel electrodes 2 are in a short-circuit state, like the TFT substrate shown in FIG.
Each TFT 3 is formed at the intersection of a signal line and a gate line. The source terminal S of the TFT is the pixel electrode 2
Are connected via a contact hole H, the drain terminal D is connected to a signal line, and the gate terminal G is connected to a gate line. On the TFT substrate 4, a horizontal drive circuit and a vertical drive circuit used for scanning pixel electrodes during active matrix display are formed, and an image signal input terminal 10 for inputting an image signal during active matrix display is formed. I have. The signal line is connected to the horizontal drive circuit and the image signal input terminal 10, and the gate line is connected to the vertical drive circuit.
【００１６】一方、本発明の駆動基板検査装置２０は、
電圧印加用プローブ２１、駆動端子用プローブ２２、出
力信号検出用プローブ２３、電源２４、検査信号発生手
段２５、Ｉ／Ｖ変換・増幅手段２６、画像処理装置２７
からなる。On the other hand, the driving board inspection apparatus 20 of the present invention
Voltage application probe 21, drive terminal probe 22, output signal detection probe 23, power supply 24, inspection signal generation means 25, I / V conversion / amplification means 26, image processing device 27
Consists of
【００１７】ここで、電圧印加用プローブ２１は、全画
素電極の短絡状態において画素電極２に接触し、所定の
電圧を印加するものである。全画素電極を短絡状態にし
て電圧印加用プローブ２１で電圧を印加することによ
り、画素電極２の全てに外部電圧を印加することが可能
となる。電圧印加用プローブ２１から画素電極２に印加
する外部電圧は、例えば、５〜１５．５Ｖとする。Here, the voltage application probe 21 contacts the pixel electrode 2 and applies a predetermined voltage when all the pixel electrodes are short-circuited. By applying a voltage with the voltage application probe 21 with all the pixel electrodes short-circuited, an external voltage can be applied to all of the pixel electrodes 2. The external voltage applied from the voltage applying probe 21 to the pixel electrode 2 is, for example, 5 to 15.5V.
【００１８】駆動端子用プローブ２２は、画素電極２に
順次検査信号を印加していくために、水平駆動回路、垂
直駆動回路のクロック入力端子、スタートパルス入力端
子等に検査信号を入力するためのプローブである。検査
信号としては、実駆動となるように、水平駆動回路、垂
直駆動回路のクロック入力、スタートパルス入力等の信
号を使用する。かかる検査信号を発生させる検査信号発
生手段２５は、信号パターン発生部、信号振幅調整部、
信号位相（タイミング）調整部から構成できる。なお、
図１では、検査信号の垂直駆動回路への入力が省略され
ているが、検査信号は、水平駆動回路及び垂直駆動回路
の双方に入力する。The drive terminal probe 22 is for inputting a test signal to a horizontal drive circuit, a clock input terminal of a vertical drive circuit, a start pulse input terminal, etc. in order to sequentially apply a test signal to the pixel electrode 2. Probe. As an inspection signal, signals such as a clock input and a start pulse input of a horizontal drive circuit and a vertical drive circuit are used so that actual driving is performed. The test signal generating means 25 for generating such a test signal includes a signal pattern generator, a signal amplitude adjuster,
It can be composed of a signal phase (timing) adjustment unit. In addition,
Although the input of the inspection signal to the vertical drive circuit is omitted in FIG. 1, the inspection signal is input to both the horizontal drive circuit and the vertical drive circuit.
【００１９】出力信号検出用プローブ２３は、電圧印加
用プローブ２１を用いて画素電極２に所定の外部電圧を
印加し、かつ水平駆動回路、垂直駆動回路を介して検査
信号を入力した場合に、画像信号入力端子１０から出力
される信号を検出するプローブである。この信号は電流
変化として出力され、ＴＦＴ３と画素電極２との間のコ
ンタクトホールＨの形成不良等によりＴＦＴ３と画素電
極２が高抵抗になっていた場合には、その電流値が減少
する。従って、この出力信号に基づいて、コンタクトホ
ールＨの形成不良の有無等を判別することができる。The output signal detecting probe 23 applies a predetermined external voltage to the pixel electrode 2 using the voltage applying probe 21 and inputs an inspection signal via a horizontal driving circuit and a vertical driving circuit. This is a probe that detects a signal output from the image signal input terminal 10. This signal is output as a current change. If the TFT 3 and the pixel electrode 2 have a high resistance due to a defective formation of the contact hole H between the TFT 3 and the pixel electrode 2, the current value decreases. Therefore, based on the output signal, it is possible to determine whether or not there is a formation failure of the contact hole H.
【００２０】Ｉ／Ｖ変換・増幅手段２６は、出力信号検
出用プローブ２３で電流変化として検出された出力信号
を電圧変化に変換し増幅するもので、公知の電流／電圧
変換・増幅回路を使用することができる。The I / V conversion / amplification means 26 converts the output signal detected as a current change by the output signal detection probe 23 into a voltage change and amplifies it. A known current / voltage conversion / amplification circuit is used. can do.
【００２１】画像処理装置２７は、Ｉ／Ｖ変換・増幅手
段２６で増幅された出力信号の変化を任意の画像表示装
置、印刷装置等に出力し、コンタクトホールＨの形成不
良の有無等を視覚的に容易に判別できるようにするもの
であり、例えば、Ｉ／Ｖ変換・増幅手段２６で増幅され
た出力信号を高速デジタル処理し、基準電圧と比較し、
正常画素か不良画素かを瞬時に判別し、その結果を画像
として表示できるものを使用する。The image processing device 27 outputs a change in the output signal amplified by the I / V conversion / amplification means 26 to an arbitrary image display device, a printing device, or the like, and visually checks whether or not there is a contact hole H formation defect. For example, the output signal amplified by the I / V conversion / amplification means 26 is subjected to high-speed digital processing and compared with a reference voltage.
A pixel that can immediately determine whether it is a normal pixel or a defective pixel and displays the result as an image is used.
【００２２】この駆動基板検査装置２０を用いてＴＦＴ
基板４の良否を判別する方法としては、まず、短絡状態
にした画素電極２に電圧印加用プローブ２１を接触させ
て所定の外部電圧を印加する。Using this driving substrate inspection apparatus 20, a TFT
As a method of determining the quality of the substrate 4, first, a predetermined external voltage is applied by bringing the voltage application probe 21 into contact with the short-circuited pixel electrode 2.
【００２３】一方、水平駆動回路及び垂直駆動回路を駆
動させて画素電極を順次選択すると共に水平駆動回路を
介して画素電極２に検査信号を入力する。そして、選択
した画素ごとに、画像信号入力端子１０から出力される
信号を出力信号検出用プローブ２３で検出し、その信号
をＩ／Ｖ変換・増幅手段２６で所定の電圧に高め、それ
を画像処理装置２７に入力することにより、輝点、輝線
等の画素欠陥をもたらすＴＦＴ基板の不良の有無を判別
する。On the other hand, the horizontal drive circuit and the vertical drive circuit are driven to sequentially select pixel electrodes, and an inspection signal is input to the pixel electrodes 2 via the horizontal drive circuit. Then, for each of the selected pixels, a signal output from the image signal input terminal 10 is detected by the output signal detecting probe 23, and the signal is increased to a predetermined voltage by the I / V conversion / amplification means 26, and the image is converted to an image. By inputting to the processing device 27, it is determined whether or not there is a defect on the TFT substrate that causes pixel defects such as bright spots and bright lines.
【００２４】この検査方法を行うにあたり、図２に示し
たように、上述の電圧印加用プローブ２１と駆動端子用
プローブ２２とが一体となっており、電圧印加用プロー
ブ２１の形成位置と駆動端子用プローブ２２の形成位置
とが、それぞれ検査対象とする当該ＴＦＴ基板４の画素
電極２の形成位置と水平駆動回路、垂直駆動回路の端子
１１にそれぞれ合致したカード状のプローブ（駆動基板
検査用プローブ３０）を作製し、用いることが作業性の
点から好ましい。この駆動基板検査用プローブ３０に
は、出力信号検出用プローブ２３を組み込んでも良い。In performing this inspection method, as shown in FIG. 2, the voltage application probe 21 and the drive terminal probe 22 are integrated, and the formation position of the voltage application probe 21 and the drive terminal Card-shaped probe (drive board inspection probe) in which the formation position of the probe 22 matches the formation position of the pixel electrode 2 of the TFT substrate 4 to be inspected and the terminal 11 of the horizontal drive circuit and the vertical drive circuit, respectively. It is preferable to prepare and use 30) from the viewpoint of workability. An output signal detection probe 23 may be incorporated in the drive board inspection probe 30.
【００２５】ＴＦＴ基板の輝点、輝線等の画素欠陥をも
たらす不良の検出を上述のように行うと、ＴＦＴ基板を
用いた液晶表示装置の製造工程は、図３に示すように、
ＴＦＴ基板４及び対向基板６を作製後、双方の基板を接
合して液晶パネルを組み立てる前に、ＴＦＴ基板４、対
向基板６のそれぞれについて電気的不良検査、塵、傷等
を調べる外観検査等の従来の基板の検査工程を行い、引
き続き、画素欠陥の原因となるＴＦＴ基板の不良を検出
する本発明の検査方法を行い、その後、短絡状態にして
いた画素電極を本来の個々のパターンにし、液晶パネル
を組み立て、液晶を注入し、液晶を注入した液晶パネル
でなければ検査できないコントラスト、透過率等の光学
特性や残像等を検査する画素欠陥検査工程を行う。した
がって、本発明によれば、液晶パネルの組立前におい
て、輝点、輝線等の画素欠陥をもたらす不良を有する基
板を判別できるので、無駄な組立材料費や組立加工費を
省くことができ、また、液晶パネルの組立後において
は、輝点、輝線等の画素欠陥をもたらす不良の検査は不
要となるため、液晶パネルの組立後に行う検査項目を減
らすことができる。When a defect that causes a pixel defect such as a bright spot or a bright line on the TFT substrate is detected as described above, the manufacturing process of the liquid crystal display device using the TFT substrate is as shown in FIG.
After the TFT substrate 4 and the opposing substrate 6 are manufactured and before the two substrates are joined to assemble the liquid crystal panel, the TFT substrate 4 and the opposing substrate 6 are each subjected to an electrical defect inspection, a visual inspection for examining dust, scratches, etc. A conventional substrate inspection process is performed, followed by the inspection method of the present invention for detecting a defect of the TFT substrate that causes a pixel defect, and thereafter, the short-circuited pixel electrode is changed to an original individual pattern, and a liquid crystal is formed. The panel is assembled, a liquid crystal is injected, and a pixel defect inspection process for inspecting optical characteristics such as contrast and transmittance, an afterimage, and the like, which cannot be inspected unless the liquid crystal panel is injected with the liquid crystal. Therefore, according to the present invention, before assembling a liquid crystal panel, a substrate having a defect that causes a pixel defect such as a bright spot or a bright line can be determined, so that unnecessary assembly material costs and assembly processing costs can be reduced, and After the liquid crystal panel is assembled, it is not necessary to inspect for defects that cause pixel defects such as bright spots and bright lines, so that the number of inspection items to be performed after the liquid crystal panel is assembled can be reduced.
【００２６】以上、図１に基づいて本発明を説明した
が、本発明は種々の態様をとることができる。例えば、
画素トランジスタとしては、ＴＦＴに代えてＭＩＭ等を
用いた駆動基板に対しても本発明の方法を適用すること
ができる。Although the present invention has been described with reference to FIG. 1, the present invention can take various aspects. For example,
As the pixel transistor, the method of the present invention can be applied to a driving substrate using MIM or the like instead of the TFT.
【００２７】また、図１に示したＴＦＴ基板４では、水
平駆動回路及び垂直駆動回路がＴＦＴ基板４上に形成さ
れているが、本発明において、これらの一方又は双方が
基板外に形成されていてもよい。In the TFT substrate 4 shown in FIG. 1, a horizontal drive circuit and a vertical drive circuit are formed on the TFT substrate 4. In the present invention, one or both of them are formed outside the substrate. You may.
【００２８】本発明の検査方法は、アクティブマトリク
ス表示を行う種々の液晶表示装置に対して適用すること
ができ、それにより液晶表示装置の検査コストを節減す
ることができる。The inspection method of the present invention can be applied to various liquid crystal display devices that perform active matrix display, thereby reducing the inspection cost of the liquid crystal display device.
【００２９】よって、本発明は、ＴＦＴ基板等のアクテ
ィブマトリクス表示用駆動基板と、対向電極を有する対
向基板とを所定間隔をあけて接合し、双方の基板間に液
晶層を注入する液晶表示装置の製造方法において、その
駆動基板を対向基板と接合させる前に本発明の検査方法
を行う液晶表示装置の製造方法を包含し、また、そのよ
うにして得られる液晶表示装置を包含する。Accordingly, the present invention provides a liquid crystal display device in which a drive substrate for an active matrix display such as a TFT substrate and a counter substrate having a counter electrode are joined at a predetermined interval, and a liquid crystal layer is injected between both substrates. The manufacturing method of the present invention includes a method of manufacturing a liquid crystal display device in which the inspection method of the present invention is performed before bonding the driving substrate to the opposing substrate, and also includes a liquid crystal display device obtained as described above.
【００３０】[0030]
【発明の効果】本発明によれば、液晶パネルに組み立て
る前の、ＴＦＴ基板等の駆動基板に対して、輝点、輝線
等の画素欠陥の原因となる不良の有無を判別することが
できる。したがって、不良な駆動基板を組み立てること
を省くことができ、従来の画素欠陥の検査工程に費やさ
れていた加工費、材料費を削減でき、生産効率を向上さ
せることができる。According to the present invention, it is possible to determine the presence or absence of a defect which causes a pixel defect such as a bright spot or a bright line on a driving substrate such as a TFT substrate before assembling into a liquid crystal panel. Therefore, it is possible to omit assembling a defective drive substrate, reduce the processing cost and material cost used in the conventional pixel defect inspection process, and improve the production efficiency.
【図１】 本発明の駆動基板検査装置をＴＦＴ基板の検
査に適用した場合のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram in a case where a driving substrate inspection apparatus according to the present invention is applied to inspection of a TFT substrate.
【図２】 駆動基板検査用プローブの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a driving board inspection probe.
【図３】 本発明の液晶表示装置の検査工程の流れ図で
ある。FIG. 3 is a flowchart of an inspection process of the liquid crystal display device of the present invention.
【図４】 アクティブマトリクス表示を行う液晶表示装
置の一般的な概略断面図である。FIG. 4 is a general schematic cross-sectional view of a liquid crystal display device that performs active matrix display.
【図５】 ＴＦＴ基板の一画素分の回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram of one pixel of a TFT substrate.
【図６】 従来の液晶表示装置の検査工程の流れ図であ
る。FIG. 6 is a flowchart of an inspection process of a conventional liquid crystal display device.
１…液晶パネル、 ２…画素電極、 ３…ＴＦＴ、 ４
…ＴＦＴ基板、 ５…対向電極、 ６…対向基板、 ７
…スペーサ、 ８…シール材、 ９…液晶層、１０…画
像信号入力端子、 Ｈ…コンタクトホール、 ２０…駆
動基板検査装置、 ２１…電圧印加用プローブ、 ２２
…駆動端子用プローブ、 ２３…出力信号検出用プロー
ブ、 ２４…電源、 ２５…検査信号発生手段、 ２６
…Ｉ／Ｖ変換・増幅手段、 ２７…画像処理装置、 ３
０…駆動基板検査用プローブ1: liquid crystal panel, 2: pixel electrode, 3: TFT, 4
... TFT substrate, 5 ... Counter electrode, 6 ... Counter substrate, 7
... spacer, 8 ... seal material, 9 ... liquid crystal layer, 10 ... image signal input terminal, H ... contact hole, 20 ... drive board inspection device, 21 ... voltage application probe, 22
... probe for drive terminal, 23 ... probe for detecting output signal, 24 ... power supply, 25 ... means for generating test signal, 26
... I / V conversion / amplification means 27 ... Image processing device 3
0: Probe for driving board inspection
Claims (7)
極と画素電極に接続された画素トランジスタを有するア
クティブマトリクス表示用駆動基板の検査方法であっ
て、全画素電極を短絡状態にし、短絡状態にした画素電
極に電圧印加用プローブを接触させて所定の外部電圧を
印加し、アクティブマトリクス表示時に画素電極の走査
のために使用される水平駆動回路及び垂直駆動回路を駆
動して画素電極を順次選択すると共に画素電極に検査信
号を入力し、その検査信号に応じた出力信号を検出し、
駆動基板の良否を判別する駆動基板の検査方法。1. A method for inspecting an active matrix display driving substrate having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes, wherein all pixel electrodes are short-circuited, and A predetermined external voltage is applied by bringing a voltage application probe into contact with the pixel electrode thus formed, and a horizontal drive circuit and a vertical drive circuit used for scanning the pixel electrode during active matrix display are driven to sequentially select the pixel electrode. Input a test signal to the pixel electrode and detect an output signal corresponding to the test signal.
A driving board inspection method for determining whether the driving board is good or bad.
時に画像信号を入力する画像信号入力端子から検出する
請求項１記載の駆動基板の検査方法。2. The method according to claim 1, wherein an output signal is detected from an image signal input terminal for inputting an image signal during active matrix display.
極と画素電極に接続された画素トランジスタを有するア
クティブマトリクス表示用駆動基板の良否の判別に使用
する駆動基板検査用プローブであって、全画素電極の短
絡状態において画素電極に接触し、所定の電圧を印加す
る電圧印加用プローブ、及び画素電極に検査信号を入力
するために、アクティブマトリクス表示時に画素電極の
走査のために使用される水平駆動回路又は垂直駆動回路
に検査信号を入力する駆動端子用プローブからなる駆動
基板検査用プローブ。3. A drive board inspection probe used for judging pass / fail of an active matrix display drive board having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes, wherein all pixels are provided. A voltage application probe that contacts the pixel electrode and applies a predetermined voltage when the electrode is short-circuited, and a horizontal drive used for scanning the pixel electrode during active matrix display to input an inspection signal to the pixel electrode A drive board inspection probe comprising a drive terminal probe for inputting an inspection signal to a circuit or a vertical drive circuit.
用プローブとして、アクティブマトリクス表示時に画像
信号を入力する画像信号入力端子から出力信号を検出す
る出力信号検出用プローブが設けられている請求項３記
載の駆動基板検査用プローブ。4. An output signal detection probe for detecting an output signal from an image signal input terminal for inputting an image signal at the time of active matrix display is provided as a probe for detecting an output signal according to the input of an inspection signal. Item 4. The driving substrate inspection probe according to Item 3.
極と画素電極に接続された画素トランジスタを有するア
クティブマトリクス表示用駆動基板の良否を判別する駆
動基板検査装置であって、全画素電極の短絡状態におい
て画素電極に接触し、所定の電圧を印加する電圧印加用
プローブ、及び画素電極に検査信号を入力するために、
アクティブマトリクス表示時に画素電極の走査のために
使用される水平駆動回路又は垂直駆動回路に検査信号を
入力する駆動端子用プローブ、検査信号に応じた出力信
号を検出する出力信号検出用プローブ、駆動端子用プロ
ーブに検査信号を出力する検査信号発生手段、出力信号
検出用プローブで検出された出力信号を増幅する増幅手
段、及び増幅された出力信号を画像処理する画像処理装
置、からなる駆動基板検査装置。5. A driving board inspection apparatus for judging pass / fail of an active matrix display driving board having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes, wherein all the pixel electrodes are short-circuited. In order to contact the pixel electrode in the state, to apply a predetermined voltage to the voltage application probe, and to input an inspection signal to the pixel electrode,
A drive terminal probe for inputting a test signal to a horizontal drive circuit or a vertical drive circuit used for scanning a pixel electrode during active matrix display, an output signal detection probe for detecting an output signal corresponding to the test signal, and a drive terminal Signal generating means for outputting a test signal to a probe for use in a driving circuit, an amplifying means for amplifying an output signal detected by the probe for detecting an output signal, and an image processing device for image-processing the amplified output signal .
極と画素電極に接続された画素トランジスタを有するア
クティブマトリクス表示用駆動基板と、対向電極を有す
る対向基板とが所定間隔をあけて接合され、双方の基板
間に液晶層が挟持されている液晶表示装置であって、駆
動基板と対向基板とを接合する前に該駆動基板の良否の
判別が行われており、該良否の判別が、全画素電極を短
絡状態にし、短絡状態にした画素電極に電圧印加用プロ
ーブを接触させて所定の外部電圧を印加し、アクティブ
マトリクス表示時に画素電極の走査のために使用される
水平駆動回路及び垂直駆動回路を駆動して画素電極を順
次選択すると共に画素電極に検査信号を入力し、その検
査信号に応じた出力信号を検出し、駆動基板の良否を判
別することからなる液晶表示装置。6. An active matrix display driving substrate having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes, and a counter substrate having a counter electrode are joined at predetermined intervals, In a liquid crystal display device in which a liquid crystal layer is sandwiched between both substrates, the quality of the driving substrate is determined before joining the driving substrate and the opposing substrate, and the determination of the quality is completely performed. A pixel electrode is short-circuited, a voltage application probe is brought into contact with the short-circuited pixel electrode to apply a predetermined external voltage, and a horizontal drive circuit and a vertical drive used for scanning the pixel electrode during active matrix display. Driving the circuit, sequentially selecting the pixel electrodes, inputting an inspection signal to the pixel electrodes, detecting an output signal corresponding to the inspection signal, and judging the quality of the driving substrate. Liquid crystal display.
極と画素電極に接続された画素トランジスタを有するア
クティブマトリクス表示用駆動基板と、対向電極を有す
る対向基板とを所定間隔をあけて接合し、双方の基板間
に液晶層を注入する液晶表示装置の製造方法であって、
駆動基板と対向基板を接合する前に該駆動基板の良否の
判別を行ない、該良否の判別が、全画素電極を短絡状態
にし、短絡状態にした画素電極に電圧印加用プローブを
接触させて所定の外部電圧を印加し、アクティブマトリ
クス表示時に画素電極の走査のために使用される水平駆
動回路及び垂直駆動回路を駆動して画素電極を順次選択
すると共に画素電極に検査信号を入力し、その検査信号
に応じた出力信号を検出し、駆動基板の良否を判別する
ことからなる液晶表示装置の製造方法。7. An active matrix display driving substrate having a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix and pixel transistors connected to the pixel electrodes, and a counter substrate having a counter electrode are joined at a predetermined interval, A method for manufacturing a liquid crystal display device in which a liquid crystal layer is injected between both substrates,
Before bonding the drive substrate and the opposing substrate, the quality of the drive substrate is determined. And driving the horizontal drive circuit and the vertical drive circuit used for scanning the pixel electrodes during active matrix display to sequentially select the pixel electrodes and input an inspection signal to the pixel electrodes, and perform the inspection. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising detecting an output signal corresponding to a signal and determining whether the drive substrate is good or bad.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001019300A JP2002221547A (en) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | Inspection method for active matrix display driving board |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008003025A (en) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Seiko Epson Corp | Device for inspecting starting abnormality of displaying device, and method therefor |
| US7570072B2 (en) | 2006-02-03 | 2009-08-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device including test circuit and electronic apparatus having the display device |
| JP2009229522A (en) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | Pixel data readout method of active matrix substrate inspection method and inspection device of active matrix substrate, active matrix substrate, and electrophoretic display device |
| CN109493769A (en) * | 2018-11-12 | 2019-03-19 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | Test method, device and storage medium |
-
2001
- 2001-01-26 JP JP2001019300A patent/JP2002221547A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7570072B2 (en) | 2006-02-03 | 2009-08-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device including test circuit and electronic apparatus having the display device |
| US8324920B2 (en) | 2006-02-03 | 2012-12-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device including test circuit, and electronic apparatus having the display device |
| JP2008003025A (en) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Seiko Epson Corp | Device for inspecting starting abnormality of displaying device, and method therefor |
| JP4670752B2 (en) * | 2006-06-26 | 2011-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | Start-up abnormality inspection device for display device and start-up abnormality inspection method |
| JP2009229522A (en) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | Pixel data readout method of active matrix substrate inspection method and inspection device of active matrix substrate, active matrix substrate, and electrophoretic display device |
| CN109493769A (en) * | 2018-11-12 | 2019-03-19 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | Test method, device and storage medium |
| CN109493769B (en) * | 2018-11-12 | 2022-03-01 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | Test method, test device and storage medium |
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