JP2002221232A - Seal mechanism - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は軸支持体と回転軸と
の間に介在するシール機構に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a seal mechanism interposed between a shaft support and a rotating shaft.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図３は近年計画されている反応器の一例
であり、この反応器は、内部に試料ａが装填される中空
構造の反応器本体１と、該反応器本体１の両端部にそれ
ぞれ同軸に連なる筒状の回転軸２と、架台３の両端部に
設けられ且つ各回転軸２が回転可能に挿入される軸支持
体４とを備えている。2. Description of the Related Art FIG. 3 shows an example of a reactor planned in recent years. This reactor has a hollow-structured reactor body 1 in which a sample a is loaded, and both ends of the reactor body 1. And a shaft support 4 provided at both ends of the gantry 3 and rotatably inserted into each of the rotating shafts 2.
【０００３】一方の回転軸２には、架台３に装着したモ
ータ５の回転が、プーリ６、ベルト７、プーリ８を介し
て伝達されるようになっている。The rotation of a motor 5 mounted on a gantry 3 is transmitted to one rotating shaft 2 via a pulley 6, a belt 7, and a pulley 8.
【０００４】一方の軸支持体４の端部には、試料送給装
置９が設けられている。A sample feeder 9 is provided at one end of the shaft support 4.
【０００５】この試料送給装置９は、軸支持体４に締結
した固定管１０と、該固定管１０、軸支持体４、及び回
転軸２に挿通したスクリュー軸１１と、該スクリュー軸
１１を回転させるモータ１２と、固定管１０側部に設け
た試料導入管１３とを有し、該試料導入管１３に供給さ
れる試料ａを、スクリュー軸１１の回転によって固定管
１０から反応器本体１内へ試料ａを送給するようになっ
ている。The sample feeding device 9 includes a fixed tube 10 fastened to the shaft support 4, a screw shaft 11 inserted through the fixed tube 10, the shaft support 4, and the rotating shaft 2, and a screw shaft 11. It has a motor 12 for rotating, and a sample introduction tube 13 provided on the side of the fixed tube 10, and a sample a supplied to the sample introduction tube 13 is supplied from the fixed tube 10 to the reactor main body 1 by rotation of the screw shaft 11. The sample a is fed into the inside.
【０００６】更に、一方の軸支持体４の側部には、回転
軸２を介して反応器本体１内へガスｂを送給するための
ガス導入管１４が設けられている。Further, a gas introduction pipe 14 for feeding gas b into the reactor main body 1 via the rotating shaft 2 is provided on a side portion of the one shaft support 4.
【０００７】他方の軸支持体４の端部には、試料回収装
置１５が設けられており、試料送給装置９による反応器
本体１内への試料ａの押し込みに伴って、反応器本体１
外へ押し出される試料ａが、試料回収装置１５の下部か
ら排出され、反応器本体１を通過したガスｂが、試料回
収装置１５の上部から排出されるようになっている。At the end of the other shaft support 4, a sample recovery device 15 is provided, and when the sample a is pushed into the reactor main body 1 by the sample feeding device 9, the reactor main body 1 is moved.
The sample a pushed out is discharged from the lower part of the sample recovery device 15, and the gas b passing through the reactor body 1 is discharged from the upper part of the sample recovery device 15.
【０００８】また、架台３には、反応器本体１を周方向
に取り囲むヒータ１６が設けられており、該ヒータ１６
によって、反応器本体１内の試料ａ及びガスｂが加熱さ
れるようになっている。The gantry 3 is provided with a heater 16 surrounding the reactor body 1 in the circumferential direction.
Thereby, the sample a and the gas b in the reactor main body 1 are heated.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３に
示す反応器では、反応器本体１内へ送給するガスｂとし
てフッ素や三フッ素化塩素などの腐食性が強い物質が用
いられるため、当該ガスｂが軸支持体４と回転軸２との
間から外部へ漏洩しないようにする必要がある。However, in the reactor shown in FIG. 3, since a highly corrosive substance such as fluorine and chlorine trifluoride is used as the gas b to be fed into the reactor body 1, It is necessary to prevent the gas b from leaking from between the shaft support 4 and the rotating shaft 2 to the outside.
【００１０】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、軸支持体と回転軸との間の気密性を保持し得るシー
ル機構を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a seal mechanism capable of maintaining airtightness between a shaft support and a rotating shaft.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のシール機構では、内部が大気中への漏洩を
抑止すべきガス雰囲気に保持される構造体に締結され且
つ当該構造体に挿通した回転軸を周方向に取り囲む軸支
持体を備え、当該軸支持体と回転軸との間に、耐腐食性
リング、荷重支持用グランドパッキング、リップシール
リング、及び充填型ガスケットを、回転軸の外周面に接
するように介在させ、耐腐食性リング及びリップシール
リングを回転軸へ押圧するための背圧付与用の不活性ガ
ス送給管を軸支持体に設けている。In order to achieve the above object, in the seal mechanism of the present invention, the inside is fastened to a structure that is maintained in a gas atmosphere in which leakage to the atmosphere is to be suppressed, and is attached to the structure. A shaft support that circumferentially surrounds the inserted rotating shaft is provided, and a corrosion-resistant ring, a load supporting gland packing, a lip seal ring, and a filling gasket are provided between the shaft support and the rotating shaft. An inert gas supply pipe for applying a back pressure for pressing the corrosion resistant ring and the lip seal ring against the rotating shaft is provided on the shaft support so as to be in contact with the outer peripheral surface of the shaft.
【００１２】本発明のシール機構においては、耐腐食性
リング、リップシールリング、及び充填型ガスケットに
よって、軸支持体と回転軸との間でのガスの通過を阻止
し、不活性ガス送給管から付与されるガス圧により、耐
腐食性リング、リップシールリングの回転軸外周面への
密着性の向上を図る。In the seal mechanism of the present invention, the passage of gas between the shaft support and the rotary shaft is prevented by the corrosion-resistant ring, the lip seal ring, and the filling type gasket, and the inert gas supply pipe is provided. The gas pressure applied from the above improves the adhesion of the corrosion-resistant ring and the lip seal ring to the outer peripheral surface of the rotating shaft.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例とともに説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１４】図１及び図２は本発明のシール機構の実施
の形態の一例を示すものであり、図中、図３と同一の符
号を付したものは同一物を表している。FIGS. 1 and 2 show an embodiment of a seal mechanism according to the present invention. In FIG. 1 and FIG. 2, the same reference numerals as in FIG. 3 denote the same parts.
【００１５】このシール機構は、構造体１７に締結され
且つ当該構造体１７に挿通した回転軸２を周方向に取り
囲む軸支持体１８を備えている。The seal mechanism has a shaft support 18 fastened to the structure 17 and surrounding the rotary shaft 2 inserted in the structure 17 in the circumferential direction.
【００１６】該構造体１７は、たとえば、図３に示す試
料送給装置９のように、内部が大気中への漏洩を抑止す
べきガス（フッ素、三フッ化塩素）雰囲気に保持されて
おり、中空の回転軸２が挿通されている。The structure 17 is held in a gas (fluorine, chlorine trifluoride) atmosphere in which the inside of the structure 17 is to be prevented from leaking into the atmosphere, for example, like the sample feeding device 9 shown in FIG. , The hollow rotary shaft 2 is inserted.
【００１７】軸支持体１８は、回転軸２を周方向に取り
囲む筒状体であり、その構造体１７寄り端部内面には、
軸支持体１８軸方向に間隔を隔ててそれぞれ周方向へ延
びる２本のＯリング用溝１９，２０が形成されている。The shaft support 18 is a cylindrical body that surrounds the rotating shaft 2 in the circumferential direction.
The shaft support 18 has two O-ring grooves 19 and 20 extending circumferentially at intervals in the axial direction.
【００１８】また、軸支持体１８の内面には、後述のグ
ランドパッキング２７，３０などの部材を嵌め込むため
の切り欠き部２１が、前記のＯリング用溝２０の反構造
体側に隣接するように形成されている。On the inner surface of the shaft support 18, a notch 21 for fitting members such as gland packings 27 and 30 described later is arranged adjacent to the O-ring groove 20 on the side opposite to the structure. Is formed.
【００１９】更に、軸支持体１８各端には、フランジ部
２２，２３が形成されており、一端のフランジ部２２
は、構造体１７にボルト締結され、他端のフランジ部２
３には、押え蓋２４がボルト締結されている。Further, flange portions 22 and 23 are formed at each end of the shaft support 18, and the flange portion 22 at one end is formed.
Is bolted to the structure 17 and the other end of the flange 2
A holding lid 24 is bolted to 3.
【００２０】押え蓋２４は、切り欠き部２１に嵌合し得
る胴部２４ａと、フランジ部２３に対峙するフランジ２
４ｂとを有している。The holding lid 24 includes a body portion 24 a that can be fitted into the notch portion 21 and a flange 2 that faces the flange portion 23.
4b.
【００２１】Ｏリング用溝１９には、耐腐食性樹脂（テ
フロン（登録商標））を素材とするＯリング２５が、Ｏ
リング用溝２０には、耐腐食性樹脂（カルレッツ）を素
材とするＯリング２６が挿入されている。In the O-ring groove 19, an O-ring 25 made of a corrosion-resistant resin (Teflon (registered trademark)) is provided.
An O-ring 26 made of a corrosion-resistant resin (Kalrez) is inserted into the ring groove 20.
【００２２】切り欠き部２１には、並列した２個のグラ
ンドパッキング２７、並列した３個の真空リップシール
２８、及び充填型樹脂（テフロン）ガスケット２９を挟
んだ２箇のグランドパッキング３０が、回転軸２の外周
面に接するように挿入されている。In the notch portion 21, two parallel gland packings 27, three parallel vacuum lip seals 28, and two gland packings 30 sandwiching a filling type resin (Teflon) gasket 29 are rotated. It is inserted so as to be in contact with the outer peripheral surface of the shaft 2.
【００２３】そして、前記の押え蓋２４のフランジ２４
ｂを軸支持体１８のフランジ部２３にボルト締結するこ
とにより、グランドパッキング２７、真空リップシール
２８、充填型樹脂ガスケット２９、及びグランドパッキ
ング３０を、軸支持体１８の軸方向へ押圧し、これらを
軸支持体１８内に固定している。The flange 24 of the holding lid 24 is
b is fastened to the flange portion 23 of the shaft support 18 by bolts, thereby pressing the gland packing 27, the vacuum lip seal 28, the filling resin gasket 29, and the gland packing 30 in the axial direction of the shaft support 18. Are fixed in the shaft support 18.
【００２４】更に、軸支持体１８には、不活性ガス送給
管３１が設けられている。Further, the shaft support 18 is provided with an inert gas supply pipe 31.
【００２５】この不活性ガス送給管３１は、軸支持体１
８の近傍に設置した逆止弁３２と、不活性ガス供給源
（図示せず）から逆止弁３２に連通する送給本管３３
と、逆止弁３２を経てＯリング２６が挿入されているＯ
リング用溝２０に連通する第１の分岐管３４と、逆止弁
３２を経て真空リップシール２８間の２箇所の空隙に連
通する第２の分岐管３５，３６とで構成されている。The inert gas supply pipe 31 is connected to the shaft support 1.
8 and a main feed line 33 communicating with the check valve 32 from an inert gas supply source (not shown).
And the O-ring 26 into which the O-ring 26 is inserted via the check valve 32.
The first branch pipe 34 communicates with the ring groove 20, and the second branch pipes 35 and 36 communicate with the two gaps between the vacuum lip seals 28 via the check valve 32.
【００２６】従って、不活性ガス供給源から送給される
不活性ガスを、送給本管３３、逆止弁３２、各分岐管３
４，３５，３６を介してＯリング用溝２０及び真空リッ
プシール２８の空隙に送給することにより、Ｏリング２
６や真空リップシール２８に対して背圧が付与される。Therefore, the inert gas supplied from the inert gas supply source is supplied to the supply main pipe 33, the check valve 32, and each branch pipe 3.
The O-ring 2 is fed to the gap between the O-ring groove 20 and the vacuum lip seal 28 through the O-rings 2, 35, 36.
6, and a back pressure is applied to the vacuum lip seal 28.
【００２７】また、軸支持体１８には、冷却水管、導熱
セメント、ヒータなどで構成された温度調節装置３７
が、軸支持体１８を周方向に取り囲むように設けられて
いる。The shaft support 18 has a temperature control device 37 composed of a cooling water pipe, heat conducting cement, a heater and the like.
Are provided so as to surround the shaft support 18 in the circumferential direction.
【００２８】図１及び図２に示すシール機構では、軸支
持体１８内部に挿入され且つ回転軸２の外周面に接する
各グランドパッキング２７，３０によって、回転軸２の
荷重を負担し、Ｏリング２５，２６、真空リップシール
２８、及び充填型樹脂ガスケット２９によって、軸支持
体１８と回転軸２との間でのガスの通過を阻止する。In the sealing mechanism shown in FIGS. 1 and 2, the gland packings 27 and 30 inserted into the shaft support 18 and in contact with the outer peripheral surface of the rotating shaft 2 bear the load of the rotating shaft 2 and the O-ring. 25, 26, the vacuum lip seal 28, and the filling type resin gasket 29 prevent gas from passing between the shaft support 18 and the rotating shaft 2.
【００２９】更に、不活性ガス送給管３１で付与される
ガス圧によって、Ｏリング２６及び真空リップシール２
８の回転軸２外周面に対する密着性の向上を図る。Further, the O-ring 26 and the vacuum lip seal 2 are controlled by the gas pressure applied through the inert gas supply pipe 31.
8 to improve the adhesion to the outer peripheral surface of the rotating shaft 2.
【００３０】このように、図１及び図２に示すシール機
構においては、Ｏリング２５，２６、真空リップシール
２８、及び充填型樹脂ガスケット２９により、構造体１
７内から、軸支持体１８と回転軸２との間へのガスの通
過を阻止することができる。As described above, in the sealing mechanism shown in FIGS. 1 and 2, the structure 1 is formed by the O-rings 25 and 26, the vacuum lip seal 28 and the filling resin gasket 29.
It is possible to prevent gas from passing between the shaft support 18 and the rotating shaft 2 from inside.
【００３１】なお、本発明のシール機構は、上述した実
施の形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨
を逸脱しない範囲において変更を加え得ることは勿論で
ある。It should be noted that the seal mechanism of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be modified without departing from the scope of the present invention.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上述べたように、本発明のシール機構
によれば、下記のような種々の優れた効果を奏し得る。As described above, according to the sealing mechanism of the present invention, the following various excellent effects can be obtained.
【００３３】（１） 回転軸を周方向に取り囲む軸支持
体の内部に、耐腐食性リング、リップシールリング、及
び充填型ガスケットを設けているので、軸支持体と回転
軸との間でのガスの通過を確実に阻止することができ
る。(1) Since the corrosion-resistant ring, the lip seal ring, and the filling gasket are provided inside the shaft support surrounding the rotation shaft in the circumferential direction, the space between the shaft support and the rotation shaft is provided. The passage of gas can be reliably prevented.
【００３４】（２） 耐腐食性リング及びリップシール
リングの外周面に、不活性ガス送給管によってガス圧を
付与するので、耐腐食性リング、リップシールリングの
回転軸外周面への密着性の向上を図ることができる。(2) Since the gas pressure is applied to the outer peripheral surfaces of the corrosion-resistant ring and the lip seal ring by the inert gas supply pipe, the adhesion of the corrosion-resistant ring and the lip seal ring to the outer peripheral surface of the rotating shaft is achieved. Can be improved.
【図１】本発明のシール機構の実施の形態の一例を示す
縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an example of an embodiment of a seal mechanism of the present invention.
【図２】図１に示すシール機構の外形図である。FIG. 2 is an external view of the seal mechanism shown in FIG.
【図３】近年計画されている反応器の概念図である。FIG. 3 is a conceptual diagram of a reactor planned in recent years.
２ 回転軸 １７ 構造体 １８ 軸支持体 ２５ Ｏリング（耐腐食性リング） ２６ Ｏリング（耐腐食性リング） ２７ グランドパッキング（荷重支持用グランド
パッキング） ２８ 真空リップシール（リップシールリング） ２９ 充填型樹脂ガスケット（充填型ガスケッ
ト） ３０ グランドパッキング（荷重支持用グランド
パッキング） ３１ 不活性ガス送給管2 Rotating shaft 17 Structure 18 Shaft support 25 O-ring (corrosion-resistant ring) 26 O-ring (corrosion-resistant ring) 27 Gland packing (Grand packing for load support) 28 Vacuum lip seal (Lip seal ring) 29 Filling type Resin gasket (fill-type gasket) 30 Gland packing (gland packing for load support) 31 Inert gas supply pipe
Claims (1)
雰囲気に保持される構造体に締結され且つ当該構造体に
挿通した回転軸を周方向に取り囲む軸支持体を備え、当
該軸支持体と回転軸との間に、耐腐食性リング、荷重支
持用グランドパッキング、リップシールリング、及び充
填型ガスケットを、回転軸の外周面に接するように介在
させ、耐腐食性リング及びリップシールリングを回転軸
へ押圧するための背圧付与用の不活性ガス送給管を軸支
持体に設けたことを特徴とするシール機構。1. A shaft support, the inside of which is fastened to a structure which is held in a gas atmosphere in which leakage to the atmosphere is to be suppressed, and which circumferentially surrounds a rotating shaft inserted through the structure. A corrosion-resistant ring, a gland packing for load support, a lip seal ring, and a filling gasket are interposed between the body and the rotating shaft so as to be in contact with the outer peripheral surface of the rotating shaft. A seal mechanism characterized in that an inert gas supply pipe for applying a back pressure for pressing the shaft against the rotating shaft is provided on the shaft support.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001018774A JP2002221232A (en) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | Seal mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001018774A JP2002221232A (en) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | Seal mechanism |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002221232A true JP2002221232A (en) | 2002-08-09 |
Family
ID=18884750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001018774A Pending JP2002221232A (en) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | Seal mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002221232A (en) |
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- 2001-01-26 JP JP2001018774A patent/JP2002221232A/en active Pending
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