JP2002217268A - 基板搬送方法および基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送方法および基板搬送装置Info
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- JP2002217268A JP2002217268A JP2001011951A JP2001011951A JP2002217268A JP 2002217268 A JP2002217268 A JP 2002217268A JP 2001011951 A JP2001011951 A JP 2001011951A JP 2001011951 A JP2001011951 A JP 2001011951A JP 2002217268 A JP2002217268 A JP 2002217268A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】スペース効率、スループットを向上させ、プリ
アライメントの位置補正が容易な基板搬送方法および基
板搬送装置を提供する。 【解決手段】ロボットを用いてウェハ２を搬送する基板
搬送方法として、プリアライメント手段をロボットの胴
体部７に設け、プリアライメント手段の制御装置によ
り、回転前の初期位置となるウェハ２の中心とプリアラ
イメントステージ８の中心との間の相対位置を検出し、
ウェハ２を回転しながらオリフラの方向を決定し、最終
位置となる回転停止後のウェハ２の中心とプリアライメ
ントステージ８の中心との間の相対位置を検出し、最終
位置でウェハ２が所定方向を向くようにオリフラの方向
を揃えると共に初期位置と最終位置の差に基づいてウェ
ハ２の位置補正を行うようにプリアライメントステージ
８を操作しながら、リニアスライダ１０に取り付けたロ
ボットを用いて処理ステージ２０に移送させる。
アライメントの位置補正が容易な基板搬送方法および基
板搬送装置を提供する。 【解決手段】ロボットを用いてウェハ２を搬送する基板
搬送方法として、プリアライメント手段をロボットの胴
体部７に設け、プリアライメント手段の制御装置によ
り、回転前の初期位置となるウェハ２の中心とプリアラ
イメントステージ８の中心との間の相対位置を検出し、
ウェハ２を回転しながらオリフラの方向を決定し、最終
位置となる回転停止後のウェハ２の中心とプリアライメ
ントステージ８の中心との間の相対位置を検出し、最終
位置でウェハ２が所定方向を向くようにオリフラの方向
を揃えると共に初期位置と最終位置の差に基づいてウェ
ハ２の位置補正を行うようにプリアライメントステージ
８を操作しながら、リニアスライダ１０に取り付けたロ
ボットを用いて処理ステージ２０に移送させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
分野に用いられると共に、特にウェハを搬送し、プリア
ライメント手段が必要とされる基板搬送方法および基板
搬送装置に関するものである。
分野に用いられると共に、特にウェハを搬送し、プリア
ライメント手段が必要とされる基板搬送方法および基板
搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置の分野で、ウェハ
を縮小投影型の露光装置（以下、「ステッパ」と称す
る。）のステージに載せる前工程と、露光、焼付けを終
えたウェハをステッパ本体から回収する後工程の処理を
行うフロントエンドシステムが知られている。このう
ち、上述の前工程では、ウェハのオリエンテーションフ
ラット（ウェハ外周縁に設けられた切欠きを意味し、以
下、「オリフラ」と称する。）の検出と方向を決めるプ
リアライメント手段には±０．１°〜１°の高度な精密
位置決めが要求される。
を縮小投影型の露光装置（以下、「ステッパ」と称す
る。）のステージに載せる前工程と、露光、焼付けを終
えたウェハをステッパ本体から回収する後工程の処理を
行うフロントエンドシステムが知られている。このう
ち、上述の前工程では、ウェハのオリエンテーションフ
ラット（ウェハ外周縁に設けられた切欠きを意味し、以
下、「オリフラ」と称する。）の検出と方向を決めるプ
リアライメント手段には±０．１°〜１°の高度な精密
位置決めが要求される。
【０００３】図５は、従来のプリアライメント手段を備
えた基板搬送装置の概略を示した平面図、図６は従来の
プリアライメント手段の側面図である。２１はウェハカ
セット、２２は基板となるウェハ、２３はロボットアー
ム、２４はエンドエフェクタ、２５は第２アーム、２６
は第１アーム、２７は胴体部、２８はウェハ２２の中央
部を回転しながらオリフラの方向を決定するプリアライ
メントステージ、２９はオリフラの検出を行う検出手段
となるプリアライメントセンサ、３０はプリアライメン
トステージ２８を回転・昇降移動させるプリアライメン
ト駆動装置、３１は支持台である。このような構成にお
いて、支持台３１上には胴体部２７を介してロボットア
ーム２３が設けられ、胴体部２７と間隔を置いてプリア
ライメントステージ２８とプリアライメントセンサ２９
が取り付けられている、この場合、ウェハカセット２１
はロボットアーム２３に対して放射状に配置されてい
る。ロボットアーム２３は第１アーム２６、第２アーム
２５、エンドエフェクタ２４のそれぞれアームの連結部
を支点とすることでそれぞれのアームが回転動作を行
い、ウェハカセット２１からプリアライメントステージ
２８へのウェハ２２の搬送を容易にしてる。まず、この
ような搬送装置では、エンドエフェクタ２４にてウェハ
カセット２１からウェハ２２を取り出してプリアライメ
ントステージ２８へ載置し、プリアライメント駆動装置
３０によりウェハ２２を回転させながらプリアライメン
トセンサ２９の出力からウエハ２２のオリフラの回転方
向位置を検出し、Ｘ軸、Ｙ軸方向の位置合わせを行う。
その後ウェハ２２はロボットアーム２３により次段の処
理ステージ（不図示）へ搬送され、露光処理等が行われ
る。
えた基板搬送装置の概略を示した平面図、図６は従来の
プリアライメント手段の側面図である。２１はウェハカ
セット、２２は基板となるウェハ、２３はロボットアー
ム、２４はエンドエフェクタ、２５は第２アーム、２６
は第１アーム、２７は胴体部、２８はウェハ２２の中央
部を回転しながらオリフラの方向を決定するプリアライ
メントステージ、２９はオリフラの検出を行う検出手段
となるプリアライメントセンサ、３０はプリアライメン
トステージ２８を回転・昇降移動させるプリアライメン
ト駆動装置、３１は支持台である。このような構成にお
いて、支持台３１上には胴体部２７を介してロボットア
ーム２３が設けられ、胴体部２７と間隔を置いてプリア
ライメントステージ２８とプリアライメントセンサ２９
が取り付けられている、この場合、ウェハカセット２１
はロボットアーム２３に対して放射状に配置されてい
る。ロボットアーム２３は第１アーム２６、第２アーム
２５、エンドエフェクタ２４のそれぞれアームの連結部
を支点とすることでそれぞれのアームが回転動作を行
い、ウェハカセット２１からプリアライメントステージ
２８へのウェハ２２の搬送を容易にしてる。まず、この
ような搬送装置では、エンドエフェクタ２４にてウェハ
カセット２１からウェハ２２を取り出してプリアライメ
ントステージ２８へ載置し、プリアライメント駆動装置
３０によりウェハ２２を回転させながらプリアライメン
トセンサ２９の出力からウエハ２２のオリフラの回転方
向位置を検出し、Ｘ軸、Ｙ軸方向の位置合わせを行う。
その後ウェハ２２はロボットアーム２３により次段の処
理ステージ（不図示）へ搬送され、露光処理等が行われ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は以下の問題があった。 （１）図６に示すように、プリアライメント手段は、マ
ニプレータ２３とは独立させて設けているため、それぞ
れの専用機構スペースが必要となり、スペース効率が悪
くなっていた。 （２）ロボットアーム２３のエンドエフェクタ２４に載
置されたウェハ２２がプリアライメントを行う所定位置
まで移動した段階で、プリアライメント駆動装置３０が
上へ上昇し、プリアライメント終了時には下降する構成
となっているため、プリアライメントの昇降する動作ス
トロークはロボットアーム２３の昇降する動作ストロー
クから大きく影響を受けるため、ロボットアーム２３お
よびプリアライメント駆動装置３０の制御が複雑になる
と共に、動作時間も長くなることから、スループットの
向上を阻害していた。 （３）ウェハ２２のプリアライメントを行い、次段階の
処理ステージに移送する際、ロボットアーム２３の動作
ストロークは長く、複雑な動作が要求されるため、これ
によって発生する振動を抑えることは難しく、振動によ
って位置ずれを起こした場合には、プリアライメント手
段による正確なウェハ位置の検出ができない。本発明
は、上記課題を解決するためになされたものであり、ス
ペース効率、スループットを向上させることができると
共に、ロボットなどの複雑な動作に影響されることなく
プリアライメントの位置補正が容易な基板搬送方法およ
び基板搬送装置を提供することを目的とする。
は以下の問題があった。 （１）図６に示すように、プリアライメント手段は、マ
ニプレータ２３とは独立させて設けているため、それぞ
れの専用機構スペースが必要となり、スペース効率が悪
くなっていた。 （２）ロボットアーム２３のエンドエフェクタ２４に載
置されたウェハ２２がプリアライメントを行う所定位置
まで移動した段階で、プリアライメント駆動装置３０が
上へ上昇し、プリアライメント終了時には下降する構成
となっているため、プリアライメントの昇降する動作ス
トロークはロボットアーム２３の昇降する動作ストロー
クから大きく影響を受けるため、ロボットアーム２３お
よびプリアライメント駆動装置３０の制御が複雑になる
と共に、動作時間も長くなることから、スループットの
向上を阻害していた。 （３）ウェハ２２のプリアライメントを行い、次段階の
処理ステージに移送する際、ロボットアーム２３の動作
ストロークは長く、複雑な動作が要求されるため、これ
によって発生する振動を抑えることは難しく、振動によ
って位置ずれを起こした場合には、プリアライメント手
段による正確なウェハ位置の検出ができない。本発明
は、上記課題を解決するためになされたものであり、ス
ペース効率、スループットを向上させることができると
共に、ロボットなどの複雑な動作に影響されることなく
プリアライメントの位置補正が容易な基板搬送方法およ
び基板搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の本発明は、胴体部と、前記胴体部に設け
られた旋回軸を中心に旋回可能に取付けられたロボット
アームと、前記ロボットアームの先端に取付けられたエ
ンドエフェクタとより構成されるロボットを用いて基板
を搬送する基板搬送方法において、前記胴体部に前記基
板のオリエンテーションフラットの検出を行う検出手
段、前記基板の中央部を回転しながらオリエンテーショ
ンフラットの方向を決定するプリアライメントステージ
および前記プリアライメントステージを回転移動させる
プリアライメント駆動装置を配設し、予め、初期位置と
なる回転前の前記基板の中心と前記プリアライメントス
テージの中心との間の相対的な位置を検出し、前記基板
を回転しながらオリエンテーションフラットの方向を決
定し、最終位置となる回転停止後の前記基板の中心と前
記プリアライメントステージの中心との間の相対的な位
置を検出し、最終位置で前記基板が所定方向を向くよう
にオリエンテーションフラットの方向を揃えると共に初
期位置と最終位置の差に基づいて前記基板の位置補正を
行うように前記プリアライメントステージを操作し、前
記ロボットを直線運動するリニアスライダに設けて前記
基板を所望の位置に搬送し受け渡すようにしたものであ
る。また、請求項２の本発明は、胴体部と、前記胴体部
に設けられた旋回軸を中心に旋回可能に取付けられたロ
ボットアームと、前記ロボットアームの先端に取付けら
れたエンドエフェクタとより構成されるロボットを用い
て基板を搬送する基板搬送装置において、前記胴体部に
前記基板のオリエンテーションフラットの検出を行う検
出手段、前記基板の中央部を回転しながらオリエンテー
ションフラットの方向を決定するプリアライメントステ
ージおよび前記プリアライメントステージを回転移動さ
せるプリアライメント駆動装置とよりなるプリアライメ
ント手段を配設したものである。また、請求項３の本発
明は、請求項２記載の基板搬送装置において、前記プリ
アライメント手段は、予め、初期位置となる回転前の前
記基板の中心と前記プリアライメントステージの中心と
の間の相対的な位置を検出し、前記基板を回転しながら
オリエンテーションフラットの方向を決定し、最終位置
となる回転停止後の前記基板の中心と前記プリアライメ
ントステージの中心との間の相対的な位置を検出し、最
終位置で前記基板が所定方向を向くようにオリエンテー
ションフラットの方向を揃えると共に初期位置と最終位
置の差に基づいて前記基板の位置補正を行うように前記
プリアライメントステージを操作する制御装置を設けた
ものである。さらに、請求項４の本発明は、請求項２ま
たは請求項３に記載の基板搬送装置において、前記基板
を所望の位置に搬送し受け渡すことができるよう、前記
ロボットを直線運動するリニアスライダに取り付けたも
のである。
に、請求項１の本発明は、胴体部と、前記胴体部に設け
られた旋回軸を中心に旋回可能に取付けられたロボット
アームと、前記ロボットアームの先端に取付けられたエ
ンドエフェクタとより構成されるロボットを用いて基板
を搬送する基板搬送方法において、前記胴体部に前記基
板のオリエンテーションフラットの検出を行う検出手
段、前記基板の中央部を回転しながらオリエンテーショ
ンフラットの方向を決定するプリアライメントステージ
および前記プリアライメントステージを回転移動させる
プリアライメント駆動装置を配設し、予め、初期位置と
なる回転前の前記基板の中心と前記プリアライメントス
テージの中心との間の相対的な位置を検出し、前記基板
を回転しながらオリエンテーションフラットの方向を決
定し、最終位置となる回転停止後の前記基板の中心と前
記プリアライメントステージの中心との間の相対的な位
置を検出し、最終位置で前記基板が所定方向を向くよう
にオリエンテーションフラットの方向を揃えると共に初
期位置と最終位置の差に基づいて前記基板の位置補正を
行うように前記プリアライメントステージを操作し、前
記ロボットを直線運動するリニアスライダに設けて前記
基板を所望の位置に搬送し受け渡すようにしたものであ
る。また、請求項２の本発明は、胴体部と、前記胴体部
に設けられた旋回軸を中心に旋回可能に取付けられたロ
ボットアームと、前記ロボットアームの先端に取付けら
れたエンドエフェクタとより構成されるロボットを用い
て基板を搬送する基板搬送装置において、前記胴体部に
前記基板のオリエンテーションフラットの検出を行う検
出手段、前記基板の中央部を回転しながらオリエンテー
ションフラットの方向を決定するプリアライメントステ
ージおよび前記プリアライメントステージを回転移動さ
せるプリアライメント駆動装置とよりなるプリアライメ
ント手段を配設したものである。また、請求項３の本発
明は、請求項２記載の基板搬送装置において、前記プリ
アライメント手段は、予め、初期位置となる回転前の前
記基板の中心と前記プリアライメントステージの中心と
の間の相対的な位置を検出し、前記基板を回転しながら
オリエンテーションフラットの方向を決定し、最終位置
となる回転停止後の前記基板の中心と前記プリアライメ
ントステージの中心との間の相対的な位置を検出し、最
終位置で前記基板が所定方向を向くようにオリエンテー
ションフラットの方向を揃えると共に初期位置と最終位
置の差に基づいて前記基板の位置補正を行うように前記
プリアライメントステージを操作する制御装置を設けた
ものである。さらに、請求項４の本発明は、請求項２ま
たは請求項３に記載の基板搬送装置において、前記基板
を所望の位置に搬送し受け渡すことができるよう、前記
ロボットを直線運動するリニアスライダに取り付けたも
のである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は、本発明の実施例を示す基板搬送
装置の平面図を示したもの、図２はプリアライメント手
段の側面図、図３は図１の胴体部に配設したロボットア
ームおよびプリアライメント手段の構成を示す部分拡大
図である。図において、１はウェハカセット、２はウェ
ハ、７はロボットの胴体部、３は胴体部７に設けられ旋
回軸を中心に旋回可能に取付けられたロボットアーム
で、エンドエフェクタ４、第１アーム６および第２アー
ム５で構成されている。また、８はプリアライメントス
テージ、９はプリアライメントセンサ、１３はプリアラ
イメント駆動装置であって、プリアライメント手段を構
成している。１２は支持台である。上記の構成並びに機
能は基本的には従来と同じである。
いて説明する。図１は、本発明の実施例を示す基板搬送
装置の平面図を示したもの、図２はプリアライメント手
段の側面図、図３は図１の胴体部に配設したロボットア
ームおよびプリアライメント手段の構成を示す部分拡大
図である。図において、１はウェハカセット、２はウェ
ハ、７はロボットの胴体部、３は胴体部７に設けられ旋
回軸を中心に旋回可能に取付けられたロボットアーム
で、エンドエフェクタ４、第１アーム６および第２アー
ム５で構成されている。また、８はプリアライメントス
テージ、９はプリアライメントセンサ、１３はプリアラ
イメント駆動装置であって、プリアライメント手段を構
成している。１２は支持台である。上記の構成並びに機
能は基本的には従来と同じである。
【０００７】本発明が従来と異なる点は、以下のとおり
である。すなわち、ロボットの胴体部７に、プリアライ
メント手段であるプリアライメントステージ８、プリア
ライメントセンサ９およびプリアライメント駆動装置１
３が取り付けられている。２０は処理ステージである。
また、プリアライメント手段には、予め、初期位置とな
る回転前のウェハ２の中心とプリアライメントステージ
８の中心との間の相対的な位置を検出し、ウェハ２を回
転しながらオリエンテーションフラットの方向を決定
し、最終位置となる回転停止後のウェハ２の中心とプリ
アライメントステージ８の中心との間の相対的な位置を
検出し、最終位置でウェハ２が所定方向を向くようにオ
リエンテーションフラットの方向を揃えると共に初期位
置と最終位置の差に基づいてウェハ２の位置補正を行う
ようにプリアライメントステージ８を操作する制御装置
１４が設けられている。また、ウェハ２を所望の位置と
なる次段の処理ステージ２０に搬送し受け渡すことがで
きるよう、ロボットの胴体部７は、スライダ用ブラケッ
ト１１を介して直線運動する走行軸であるリニアスライ
ダ１０に取り付けられており、この時、プリアライメン
トを行いながら、ロボットアーム３を走行するようにし
ている。
である。すなわち、ロボットの胴体部７に、プリアライ
メント手段であるプリアライメントステージ８、プリア
ライメントセンサ９およびプリアライメント駆動装置１
３が取り付けられている。２０は処理ステージである。
また、プリアライメント手段には、予め、初期位置とな
る回転前のウェハ２の中心とプリアライメントステージ
８の中心との間の相対的な位置を検出し、ウェハ２を回
転しながらオリエンテーションフラットの方向を決定
し、最終位置となる回転停止後のウェハ２の中心とプリ
アライメントステージ８の中心との間の相対的な位置を
検出し、最終位置でウェハ２が所定方向を向くようにオ
リエンテーションフラットの方向を揃えると共に初期位
置と最終位置の差に基づいてウェハ２の位置補正を行う
ようにプリアライメントステージ８を操作する制御装置
１４が設けられている。また、ウェハ２を所望の位置と
なる次段の処理ステージ２０に搬送し受け渡すことがで
きるよう、ロボットの胴体部７は、スライダ用ブラケッ
ト１１を介して直線運動する走行軸であるリニアスライ
ダ１０に取り付けられており、この時、プリアライメン
トを行いながら、ロボットアーム３を走行するようにし
ている。
【０００８】次に本発明のプリアライメント方法を、図
１〜図４を用いて説明する。なお、図４は本発明のプリ
アライメント方法を示すフローチャートである。以下
は、図１の装置を用いて、ウェハ２をＡ地点（ウェハカ
セット）からＢ地点（処理ステージ）へ搬送する途中で
プリアライメントを行う場面を想定したものについて述
べる。 （ＳＴ１）まず、ロボットアーム３を伸ばして該ロボッ
トアーム３と回転自在なエンドエフェクタ４をウェハカ
セット１へ挿入して、エンドエフェクタ４にウェハ２を
載置して取り出す。次にロボットアーム３のそれぞれの
連結部で屈曲させて、ウェハ２をプリアライメントステ
ージ８上へ移送する。ウェハ２の中心がプリアライメン
トステージ８の真上に到達した後、プリアライメント駆
動装置１３によりプリアライメントステージ８を上昇さ
せてウェハ２を下方から吸着し、ロボットの胴体部７に
設けたプリアライメントステージ８にウェハ２を載せ
る。 （ＳＴ２）プリアライメントセンサ９を作動させて,最
初にウェハ２の初期位置（プリアライメントステージ８
の中心に対するウェハ２の中心位置との間の相対的な位
置）を検出する。 （ＳＴ３）リニアスライダ１０でロボットを走行させな
がら、ウェハ２を１回転させると同時にウェハ２に設け
られたオリフラを検出し、ウェハ２の位置（形状）、ウ
ェハ２の方向を決定する。 （ＳＴ４）ウェハ２を回転停止する。 （ＳＴ５）ウェハ２の１回転後の最終位置を検出する。 （ＳＴ６）ウェハ２の回転前の初期位置とウェハ２の１
回転後の最終位置を比較し、初期位置と最終位置が異な
っていれば、走行中にウェハ位置がずれたと判断し、Ｂ
地点で再度（ＳＴ２）〜（ＳＴ６）の処理を実行し、再
度ウェハ２を回転させ、ウェハ２の位置を検出する。 （ＳＴ７）ウェハ２の回転前後の初期位置と最終位置が
同じであれば、ウェハ位置検出は完了し（ＳＴ３）より
得られた検出データを解析し、ウェハ２のオリフラの方
向を決定する。 （ＳＴ８）プリアライメントステージ８が駆動し、ウェ
ハ２のオリフラの方向を揃え、位置補正を同時に行う。 （ＳＴ９））最後に、プリアライメント駆動装置１３を
下降させて、方向が決定し位置補正完了後のウェハ２
を、エンドエフェクタ４を用いてウェハ２を吸着し、プ
リアライメントステージ８から取り出し、ウェハ２をス
テッパ（不図示）の処理ステージ２０へ搬送する。
１〜図４を用いて説明する。なお、図４は本発明のプリ
アライメント方法を示すフローチャートである。以下
は、図１の装置を用いて、ウェハ２をＡ地点（ウェハカ
セット）からＢ地点（処理ステージ）へ搬送する途中で
プリアライメントを行う場面を想定したものについて述
べる。 （ＳＴ１）まず、ロボットアーム３を伸ばして該ロボッ
トアーム３と回転自在なエンドエフェクタ４をウェハカ
セット１へ挿入して、エンドエフェクタ４にウェハ２を
載置して取り出す。次にロボットアーム３のそれぞれの
連結部で屈曲させて、ウェハ２をプリアライメントステ
ージ８上へ移送する。ウェハ２の中心がプリアライメン
トステージ８の真上に到達した後、プリアライメント駆
動装置１３によりプリアライメントステージ８を上昇さ
せてウェハ２を下方から吸着し、ロボットの胴体部７に
設けたプリアライメントステージ８にウェハ２を載せ
る。 （ＳＴ２）プリアライメントセンサ９を作動させて,最
初にウェハ２の初期位置（プリアライメントステージ８
の中心に対するウェハ２の中心位置との間の相対的な位
置）を検出する。 （ＳＴ３）リニアスライダ１０でロボットを走行させな
がら、ウェハ２を１回転させると同時にウェハ２に設け
られたオリフラを検出し、ウェハ２の位置（形状）、ウ
ェハ２の方向を決定する。 （ＳＴ４）ウェハ２を回転停止する。 （ＳＴ５）ウェハ２の１回転後の最終位置を検出する。 （ＳＴ６）ウェハ２の回転前の初期位置とウェハ２の１
回転後の最終位置を比較し、初期位置と最終位置が異な
っていれば、走行中にウェハ位置がずれたと判断し、Ｂ
地点で再度（ＳＴ２）〜（ＳＴ６）の処理を実行し、再
度ウェハ２を回転させ、ウェハ２の位置を検出する。 （ＳＴ７）ウェハ２の回転前後の初期位置と最終位置が
同じであれば、ウェハ位置検出は完了し（ＳＴ３）より
得られた検出データを解析し、ウェハ２のオリフラの方
向を決定する。 （ＳＴ８）プリアライメントステージ８が駆動し、ウェ
ハ２のオリフラの方向を揃え、位置補正を同時に行う。 （ＳＴ９））最後に、プリアライメント駆動装置１３を
下降させて、方向が決定し位置補正完了後のウェハ２
を、エンドエフェクタ４を用いてウェハ２を吸着し、プ
リアライメントステージ８から取り出し、ウェハ２をス
テッパ（不図示）の処理ステージ２０へ搬送する。
【０００９】したがって、本発明の実施例は、プリアラ
イメント手段を、ロボットアーム３の胴体部７に設けて
いるので、それぞれの専用機構スペースが不要となり、
スペース効率を向上することができる。そして、ロボッ
トアーム３の動作ストロークは短くなり、複雑な動作を
なくすことができ、スループットを向上することができ
る。また、プリアライメント手段として、予め、初期位
置となる回転前のウェハ２の中心とプリアライメントス
テージ８の中心との間の相対的な位置を検出し、ウェハ
２を回転しながらオリエンテーションフラットの方向を
決定し、最終位置となる回転停止後のウェハ２の中心と
プリアライメントステージ８の中心との間の相対的な位
置を検出し、最終位置でウェハ２が所定方向を向くよう
にオリエンテーションフラットの方向を揃えると共に初
期位置と最終位置の差に基づいてウェハ２の位置補正を
行うようにプリアライメントステージ８を操作する制御
装置１４を設けたので、プリアライメント駆動装置１３
が振動をうけることによって生じる位置ずれをなくすこ
とができる。また、ロボットの胴体部７を、スライダ用
ブラケット１１を介して直線運動するリニアスライダ１
０に取り付けたので、ロボットアーム３により次段の処
理ステージ２０にウェハ２を移送しながらプリアライメ
ントを行うことができ、ダイレクトに搬送およびプリア
ライメントを行うことで、よりスループットを向上する
ことができる。その結果、ロボットによる搬送中でも、
ロボットなどの複雑な動作に影響されることなくプリア
ライメントの位置補正を容易に行うことができ、プリア
ライメントと搬送を別々に行っていた従来技術に比べて
各段に効率が良く、信頼性の高い基板搬送を実施するこ
とができる。
イメント手段を、ロボットアーム３の胴体部７に設けて
いるので、それぞれの専用機構スペースが不要となり、
スペース効率を向上することができる。そして、ロボッ
トアーム３の動作ストロークは短くなり、複雑な動作を
なくすことができ、スループットを向上することができ
る。また、プリアライメント手段として、予め、初期位
置となる回転前のウェハ２の中心とプリアライメントス
テージ８の中心との間の相対的な位置を検出し、ウェハ
２を回転しながらオリエンテーションフラットの方向を
決定し、最終位置となる回転停止後のウェハ２の中心と
プリアライメントステージ８の中心との間の相対的な位
置を検出し、最終位置でウェハ２が所定方向を向くよう
にオリエンテーションフラットの方向を揃えると共に初
期位置と最終位置の差に基づいてウェハ２の位置補正を
行うようにプリアライメントステージ８を操作する制御
装置１４を設けたので、プリアライメント駆動装置１３
が振動をうけることによって生じる位置ずれをなくすこ
とができる。また、ロボットの胴体部７を、スライダ用
ブラケット１１を介して直線運動するリニアスライダ１
０に取り付けたので、ロボットアーム３により次段の処
理ステージ２０にウェハ２を移送しながらプリアライメ
ントを行うことができ、ダイレクトに搬送およびプリア
ライメントを行うことで、よりスループットを向上する
ことができる。その結果、ロボットによる搬送中でも、
ロボットなどの複雑な動作に影響されることなくプリア
ライメントの位置補正を容易に行うことができ、プリア
ライメントと搬送を別々に行っていた従来技術に比べて
各段に効率が良く、信頼性の高い基板搬送を実施するこ
とができる。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、以下
の効果がある。 （１）プリアライメント手段を、ロボットアームの胴体
部に設けているため、それぞれの専用機構スペースが不
要となり、スペース効率を向上することができる。そし
て、ロボットアームの動作ストロークは短くなり、複雑
な動作をなくすことができ、スループットを向上するこ
とができる。 （２）プリアライメント手段として、予め、初期位置と
なる回転前のウェハの中心とプリアライメントステージ
の中心との間の相対的な位置を検出し、ウェハを回転し
ながらオリエンテーションフラットの方向を決定し、最
終位置となる回転停止後のウェハの中心とプリアライメ
ントステージの中心との間の相対的な位置を検出し、最
終位置でウェハが所定方向を向くようにオリエンテーシ
ョンフラットの方向を揃えると共に初期位置と最終位置
の差に基づいてウェハの位置補正を行うようにプリアラ
イメントステージを操作する制御装置を設けたため、プ
リアライメント駆動装置が振動をうけることによって生
じる位置ずれをなくすことができる。また、ロボットの
胴体部を、スライダ用ブラケットを介して直線運動する
リニアスライダに取り付けたので、ロボットアームによ
り次段の処理ステージにウェハを移送しながらプリアラ
イメントを行うことができ、ダイレクトに搬送およびプ
リアライメントを行うことで、よりスループットを向上
することができる。その結果、ロボットによる搬送中で
も、ロボットなどの複雑な動作に影響されることなくプ
リアライメントの位置補正を容易に行うことができ、プ
リアライメントと搬送を別々に行っていた従来技術に比
べて各段に効率が良く、信頼性の高い基板搬送を実施す
ることができる。
の効果がある。 （１）プリアライメント手段を、ロボットアームの胴体
部に設けているため、それぞれの専用機構スペースが不
要となり、スペース効率を向上することができる。そし
て、ロボットアームの動作ストロークは短くなり、複雑
な動作をなくすことができ、スループットを向上するこ
とができる。 （２）プリアライメント手段として、予め、初期位置と
なる回転前のウェハの中心とプリアライメントステージ
の中心との間の相対的な位置を検出し、ウェハを回転し
ながらオリエンテーションフラットの方向を決定し、最
終位置となる回転停止後のウェハの中心とプリアライメ
ントステージの中心との間の相対的な位置を検出し、最
終位置でウェハが所定方向を向くようにオリエンテーシ
ョンフラットの方向を揃えると共に初期位置と最終位置
の差に基づいてウェハの位置補正を行うようにプリアラ
イメントステージを操作する制御装置を設けたため、プ
リアライメント駆動装置が振動をうけることによって生
じる位置ずれをなくすことができる。また、ロボットの
胴体部を、スライダ用ブラケットを介して直線運動する
リニアスライダに取り付けたので、ロボットアームによ
り次段の処理ステージにウェハを移送しながらプリアラ
イメントを行うことができ、ダイレクトに搬送およびプ
リアライメントを行うことで、よりスループットを向上
することができる。その結果、ロボットによる搬送中で
も、ロボットなどの複雑な動作に影響されることなくプ
リアライメントの位置補正を容易に行うことができ、プ
リアライメントと搬送を別々に行っていた従来技術に比
べて各段に効率が良く、信頼性の高い基板搬送を実施す
ることができる。
【図１】本発明の実施例を示す基板搬送装置の平面図を
示したものである。
示したものである。
【図２】プリアライメント手段の側面図である。
【図３】図１の胴体部に取り釣られたロボットアームお
よびプリアライメント手段の構成を示す部分拡大図であ
る。
よびプリアライメント手段の構成を示す部分拡大図であ
る。
【図４】本発明のプリアライメント方法を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図５】従来のプリアライメント手段を備えた基板搬送
装置の概略を示した平面図である。
装置の概略を示した平面図である。
【図６】従来のプリアライメント手段の側面図である。
１；ウェハカセット ２；ウェハ（基板） ３：ロボットアーム ４：エンドエフェクタ ５：第２アーム ６：第１アーム ７：胴体部 ８：プリアライメントステージ ９：プリアライメントセンサ １０：リニアスライダ（走行軸） １１：スライダ用ブラケット １２：支持台 １３：プリアライメント駆動装置 １４：制御装置 ２０；処理ステージ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤井 崇男 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号 株式会社安川電機内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA01 FA01 FA07 FA11 FA12 FA15 GA08 GA35 GA43 GA47 GA48 HA53 HA58 JA01 JA15 JA28 JA29 JA34 KA08 KA11 KA13 MA03 MA06 MA13 PA02
Claims (4)
- 【請求項１】 胴体部と、前記胴体部に設けられた旋回
軸を中心に旋回可能に取付けられたロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に取付けられたエンドエフェ
クタとより構成されるロボットを用いて基板を搬送する
基板搬送方法において、 前記胴体部に前記基板のオリエンテーションフラットの
検出を行う検出手段、前記基板の中央部を回転しながら
オリエンテーションフラットの方向を決定するプリアラ
イメントステージおよび前記プリアライメントステージ
を回転移動させるプリアライメント駆動装置を配設し、 予め、初期位置となる回転前の前記基板の中心と前記プ
リアライメントステージの中心との間の相対的な位置を
検出し、前記基板を回転しながらオリエンテーションフ
ラットの方向を決定し、最終位置となる回転停止後の前
記基板の中心と前記プリアライメントステージの中心と
の間の相対的な位置を検出し、最終位置で前記基板が所
定方向を向くようにオリエンテーションフラットの方向
を揃えると共に初期位置と最終位置の差に基づいて前記
基板の位置補正を行うように前記プリアライメントステ
ージを操作し、 前記ロボットを直線運動するリニアスライダに設けて前
記基板を所望の位置に搬送し受け渡すことを特徴とする
基板搬送方法。 - 【請求項２】 胴体部と、前記胴体部に設けられた旋回
軸を中心に旋回可能に取付けられたロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に取付けられたエンドエフェ
クタとより構成されるロボットを用いて基板を搬送する
基板搬送装置において、 前記胴体部に前記基板のオリエンテーションフラットの
検出を行う検出手段、前記基板の中央部を回転しながら
オリエンテーションフラットの方向を決定するプリアラ
イメントステージおよび前記プリアライメントステージ
を回転移動させるプリアライメント駆動装置とよりなる
プリアライメント手段を配設したことを特徴とする基板
搬送装置。 - 【請求項３】 前記プリアライメント手段は、予め、初
期位置となる回転前の前記基板の中心と前記プリアライ
メントステージの中心との間の相対的な位置を検出し、
前記基板を回転しながらオリエンテーションフラットの
方向を決定し、最終位置となる回転停止後の前記基板の
中心と前記プリアライメントステージの中心との間の相
対的な位置を検出し、最終位置で前記基板が所定方向を
向くようにオリエンテーションフラットの方向を揃える
と共に初期位置と最終位置の差に基づいて前記基板の位
置補正を行うように前記プリアライメントステージを操
作する制御装置を設けたことを特徴とする請求項２に記
載の基板搬送装置。 - 【請求項４】 前記基板を所望の位置に搬送し受け渡す
ことができるよう、前記ロボットを直線運動するリニア
スライダに取り付けたことを特徴とする請求項２または
請求項３に記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001011951A JP2002217268A (ja) | 2001-01-19 | 2001-01-19 | 基板搬送方法および基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001011951A JP2002217268A (ja) | 2001-01-19 | 2001-01-19 | 基板搬送方法および基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002217268A true JP2002217268A (ja) | 2002-08-02 |
Family
ID=18879024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001011951A Pending JP2002217268A (ja) | 2001-01-19 | 2001-01-19 | 基板搬送方法および基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002217268A (ja) |
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-
2001
- 2001-01-19 JP JP2001011951A patent/JP2002217268A/ja active Pending
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