JP2002206918A - 間隙測定方法、間隙測定装置、形状測定方法、形状測定装置並びに液晶装置の製造方法 - Google Patents
間隙測定方法、間隙測定装置、形状測定方法、形状測定装置並びに液晶装置の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高速かつ高精度で測定対象物の間隙や形状の
測定を行う技術を提供すること、また液晶装置の製造を
効率化することを目的とする。 【解決手段】 間隙１０１を有する測定対象物１００に
光を照射しカラー干渉縞を生じさせる工程と、その干渉
縞をカラーカメラ３で撮像して得た画像の所定位置にお
ける青、緑、赤の各色光の各強度を求め、得られた各強
度の実測比率を算出する工程と、予め設定した複数の間
隙値を基に各色光に対応した干渉縞の強度から計算した
理論比率と実測比率とに基づいて、測定対象物１００が
有する間隙の値を求める工程を備える。
測定を行う技術を提供すること、また液晶装置の製造を
効率化することを目的とする。 【解決手段】 間隙１０１を有する測定対象物１００に
光を照射しカラー干渉縞を生じさせる工程と、その干渉
縞をカラーカメラ３で撮像して得た画像の所定位置にお
ける青、緑、赤の各色光の各強度を求め、得られた各強
度の実測比率を算出する工程と、予め設定した複数の間
隙値を基に各色光に対応した干渉縞の強度から計算した
理論比率と実測比率とに基づいて、測定対象物１００が
有する間隙の値を求める工程を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光の干渉を利用し
て、部材の間隙（ギャップ）及び形状を測定する技術に
関する。
て、部材の間隙（ギャップ）及び形状を測定する技術に
関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶セルなどの光透過部材の間隙を測定
する装置として、例えば図１９の構成図に示すような間
隙測定装置があった。これは、ハーフミラーを介して顕
微鏡対物レンズで照明された実厚ｄの間隙（媒質の屈折
率をｎとする）の上面及び下面からの反射波が２ｎｄの
位相差を持って戻り、これら２つの光がウォラストンプ
リズム及び偏光板Ａ，Ｐを通ることで干渉縞を生じさせ
ることを利用したものである。すなわち、上面又は下面
同志の反射光による干渉縞と、上面と下面との反射波面
の交線における干渉縞とのピーク間隙ｙを測定すること
により、次の式（１）から間隙ｄの値が求まる。 ｙ＝ｎｄ／（ｎe−ｎo）ｔａｎθ・・・・・（１） ただし、θはウォラストンプリズム角 ｎe，ｎoはウォラストンプリズムの屈折率
する装置として、例えば図１９の構成図に示すような間
隙測定装置があった。これは、ハーフミラーを介して顕
微鏡対物レンズで照明された実厚ｄの間隙（媒質の屈折
率をｎとする）の上面及び下面からの反射波が２ｎｄの
位相差を持って戻り、これら２つの光がウォラストンプ
リズム及び偏光板Ａ，Ｐを通ることで干渉縞を生じさせ
ることを利用したものである。すなわち、上面又は下面
同志の反射光による干渉縞と、上面と下面との反射波面
の交線における干渉縞とのピーク間隙ｙを測定すること
により、次の式（１）から間隙ｄの値が求まる。 ｙ＝ｎｄ／（ｎe−ｎo）ｔａｎθ・・・・・（１） ただし、θはウォラストンプリズム角 ｎe，ｎoはウォラストンプリズムの屈折率
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の間隙測定器は、対象物の１ポイントを測定
するものであって、一定区間における間隙分布を測定す
る為には、対象物を移動させながら測定を繰り返さねば
ならず、作業が複雑で時間も多く掛かかる。本発明は上
記課題に鑑みなされたもので、高速かつ高精度で対象物
の間隙あるいは形状の測定を行える方法及び装置、並び
にそれらを利用して液晶装置の効率的な製造方法を提供
することを目的とする。
ような従来の間隙測定器は、対象物の１ポイントを測定
するものであって、一定区間における間隙分布を測定す
る為には、対象物を移動させながら測定を繰り返さねば
ならず、作業が複雑で時間も多く掛かかる。本発明は上
記課題に鑑みなされたもので、高速かつ高精度で対象物
の間隙あるいは形状の測定を行える方法及び装置、並び
にそれらを利用して液晶装置の効率的な製造方法を提供
することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の間隙測定方法
は、間隙を有する部材に光を照射しカラー干渉縞を生じ
させる工程と、前記干渉縞をカラーカメラで撮像して得
た画像の所定位置における複数の色光の各強度を求め、
得られた各強度の実測比率を算出する工程と、予め設定
した複数の間隙値を基に前記各色光に対応した干渉縞の
強度から計算した理論比率と前記実測比率とに基づいて
前記部材が有する間隙の測定値を求める工程と、を備え
たことを特徴とする。その際、前記干渉縞は部材を透過
する透過光を利用して、あるいは部材からの反射光を利
用して得ることができる。この方法により、測定対象物
や測定機器を移動させることなく、高速かつ高精度で間
隙、特に微細な間隙の測定が可能となる。
は、間隙を有する部材に光を照射しカラー干渉縞を生じ
させる工程と、前記干渉縞をカラーカメラで撮像して得
た画像の所定位置における複数の色光の各強度を求め、
得られた各強度の実測比率を算出する工程と、予め設定
した複数の間隙値を基に前記各色光に対応した干渉縞の
強度から計算した理論比率と前記実測比率とに基づいて
前記部材が有する間隙の測定値を求める工程と、を備え
たことを特徴とする。その際、前記干渉縞は部材を透過
する透過光を利用して、あるいは部材からの反射光を利
用して得ることができる。この方法により、測定対象物
や測定機器を移動させることなく、高速かつ高精度で間
隙、特に微細な間隙の測定が可能となる。
【０００５】また、前記部材に作用する光を異なる複数
の色光の合成光とすれば、カラーカメラでの撮影が一回
で済むので、より短時間での測定が可能となる。
の色光の合成光とすれば、カラーカメラでの撮影が一回
で済むので、より短時間での測定が可能となる。
【０００６】また、前記部材に作用する光を白色光とす
る場合には、前記カラーカメラ側に異なる複数の色光を
取り込むフィルタを備えて、これらの各色光による干渉
縞が撮像されるようにすることもできる。
る場合には、前記カラーカメラ側に異なる複数の色光を
取り込むフィルタを備えて、これらの各色光による干渉
縞が撮像されるようにすることもできる。
【０００７】また、前記カラーカメラで撮像して得た画
像の各色光の強度は、その正確さを期すために各色光に
対する変動要素を考慮して補正することが好ましい。
像の各色光の強度は、その正確さを期すために各色光に
対する変動要素を考慮して補正することが好ましい。
【０００８】また、前記画像を複数の画素から構成し、
間隙の測定を各画素毎に行うと、カラーカメラで撮像さ
れた全範囲の部材の間隙値が測定できる。
間隙の測定を各画素毎に行うと、カラーカメラで撮像さ
れた全範囲の部材の間隙値が測定できる。
【０００９】さらに、上記の間隙測定方法を用いて、前
記間隙を構成する部材の一方を表面が平坦な板状体にし
て測定を行えば、各測定値の差が他方の部材の間隙面の
形状変化に対応するのでその形状を決定することが可能
となる。
記間隙を構成する部材の一方を表面が平坦な板状体にし
て測定を行えば、各測定値の差が他方の部材の間隙面の
形状変化に対応するのでその形状を決定することが可能
となる。
【００１０】本発明の間隙測定装置は、光透過性を有す
る測定対象物に対して異なる複数の色光を照射する光源
と、前記測定対象物を透過した光によって形成される干
渉縞を撮像するカラーカメラと、前記カラーカメラによ
って撮像された画像データを記憶する画像メモリと、前
記画像データの所定位置における前記各色光の強度を求
め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前
記各色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて
記憶した参照データメモリと、前記実測比率と前記理論
比率とに基づいて前記測定対象物が有する間隙の値を決
定する間隙値比較決定手段と、を備えたことを特徴とす
る。
る測定対象物に対して異なる複数の色光を照射する光源
と、前記測定対象物を透過した光によって形成される干
渉縞を撮像するカラーカメラと、前記カラーカメラによ
って撮像された画像データを記憶する画像メモリと、前
記画像データの所定位置における前記各色光の強度を求
め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前
記各色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて
記憶した参照データメモリと、前記実測比率と前記理論
比率とに基づいて前記測定対象物が有する間隙の値を決
定する間隙値比較決定手段と、を備えたことを特徴とす
る。
【００１１】また、光透過性を有する測定対象物に対し
て光を照射する光源と、前記測定対象物を透過した光に
よって形成される干渉縞を撮像するカラーカメラと、前
記カラーカメラに異なる複数の色光を取り込ませるフィ
ルタと、前記カラーカメラによって撮像された画像デー
タを記憶する画像メモリと、前記画像データの所定位置
における前記各色光の強度を求め、前記各色光の強度の
実測比率を算出する演算手段と、予め設定した複数の間
隙値に基づく干渉縞強度の前記各色光間の理論比率を前
記間隙値との関係に基づいて記憶した参照データメモリ
と、前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定
対象物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段
と、を備えたことを特徴とする。
て光を照射する光源と、前記測定対象物を透過した光に
よって形成される干渉縞を撮像するカラーカメラと、前
記カラーカメラに異なる複数の色光を取り込ませるフィ
ルタと、前記カラーカメラによって撮像された画像デー
タを記憶する画像メモリと、前記画像データの所定位置
における前記各色光の強度を求め、前記各色光の強度の
実測比率を算出する演算手段と、予め設定した複数の間
隙値に基づく干渉縞強度の前記各色光間の理論比率を前
記間隙値との関係に基づいて記憶した参照データメモリ
と、前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定
対象物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段
と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】また、異なる複数の色光を射出する光源
と、光の干渉縞を撮像するカラーカメラと、前記光源か
らの光を測定対象物の方向に向けその光の前記測定対象
物による反射光を前記カラーカメラの方向に向ける光学
手段と、前記光学手段からの光により形成された干渉縞
の前記カラーカメラで撮像した画像データを記憶する画
像メモリと、前記画像データの所定位置における前記各
色光の強度を求め、前記各色光の強度の実測比率を算出
する演算手段と、予め設定した複数の間隙値に基づく干
渉縞強度の前記各色光間の理論比率を前記間隙値との関
係に基づいて記憶した参照データメモリと、前記実測比
率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象物が有する
間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、を備えたこ
とを特徴とする。
と、光の干渉縞を撮像するカラーカメラと、前記光源か
らの光を測定対象物の方向に向けその光の前記測定対象
物による反射光を前記カラーカメラの方向に向ける光学
手段と、前記光学手段からの光により形成された干渉縞
の前記カラーカメラで撮像した画像データを記憶する画
像メモリと、前記画像データの所定位置における前記各
色光の強度を求め、前記各色光の強度の実測比率を算出
する演算手段と、予め設定した複数の間隙値に基づく干
渉縞強度の前記各色光間の理論比率を前記間隙値との関
係に基づいて記憶した参照データメモリと、前記実測比
率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象物が有する
間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、を備えたこ
とを特徴とする。
【００１３】また、光を射出する光源と、光の干渉縞を
撮像するカラーカメラと、前記カラーカメラに異なる複
数の色光を取り込ませるフィルタと、前記光源からの光
を測定対象物の方向に向けその光の前記測定対象物によ
る反射光を前記カラーカメラの方向に向ける光学手段
と、前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前
記カラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メ
モリと、前記画像データの所定位置における前記各色光
の強度を求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する
演算手段と、予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞
強度の前記各色光間の理論比率を前記間隙値との関係に
基づいて記憶した参照データメモリと、前記実測比率と
前記理論比率とに基づいて前記測定対象物が有する間隙
の値を決定する間隙値比較決定手段と、を備えたことを
特徴とする。
撮像するカラーカメラと、前記カラーカメラに異なる複
数の色光を取り込ませるフィルタと、前記光源からの光
を測定対象物の方向に向けその光の前記測定対象物によ
る反射光を前記カラーカメラの方向に向ける光学手段
と、前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前
記カラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メ
モリと、前記画像データの所定位置における前記各色光
の強度を求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する
演算手段と、予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞
強度の前記各色光間の理論比率を前記間隙値との関係に
基づいて記憶した参照データメモリと、前記実測比率と
前記理論比率とに基づいて前記測定対象物が有する間隙
の値を決定する間隙値比較決定手段と、を備えたことを
特徴とする。
【００１４】これらの間隙測定装置により、測定対象物
や測定機器を移動させることなく、高速かつ高精度で測
定対象物の間隙、特に微細な間隙が測定できる。
や測定機器を移動させることなく、高速かつ高精度で測
定対象物の間隙、特に微細な間隙が測定できる。
【００１５】本発明の形状測定装置は、上記の各間隙測
定装置を利用するもので、測定対象物に対して間隙を有
して配置させる光透過性板状体を備えて測定対象物と該
光透過性板状体との間隙値を測定し、その測定された間
隙値を基に測定対象物の形状を決定する間隙値／形状変
換手段を備えたものである。
定装置を利用するもので、測定対象物に対して間隙を有
して配置させる光透過性板状体を備えて測定対象物と該
光透過性板状体との間隙値を測定し、その測定された間
隙値を基に測定対象物の形状を決定する間隙値／形状変
換手段を備えたものである。
【００１６】さらに、本発明の形状測定装置は、異なる
複数の色光の合成光を射出する光源と、光の干渉縞を撮
像するカラーカメラと、光を反射させる参照反射部材
と、前記光源からの光を物体光として測定対象物の方向
に向けてその物体光の前記測定対象物で反射した反射光
を前記カラーカメラの方向に向けるとともに、前記光源
からの光を参照光として前記参照反射部材の方向に向け
てその参照光の前記参照反射部材で反射した反射光を前
記カラーカメラの方向に向ける光学手段と、前記光学手
段からの光により形成された干渉縞の前記カラーカメラ
で撮像した画像データを記憶する画像メモリと、前記画
像データの所定位置における前記各色光の強度を求め、
前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段と、予
め設定した複数の光路差に基づく干渉縞強度の前記各色
光間の理論比率を前記光路差との関係に基づいて記憶し
た参照データメモリと、前記実測比率と前記理論比率と
に基づいて前記光学手段から前記測定対象物までの間と
前記光学手段から前記参照反射部材までの間の光路差を
決定する光路差比較決定手段と、前記光路差比較決定手
段で得られた光路差を基に前記測定対象物の形状を決定
する光路差／形状変換手段と、を備えたことを特徴とす
る。
複数の色光の合成光を射出する光源と、光の干渉縞を撮
像するカラーカメラと、光を反射させる参照反射部材
と、前記光源からの光を物体光として測定対象物の方向
に向けてその物体光の前記測定対象物で反射した反射光
を前記カラーカメラの方向に向けるとともに、前記光源
からの光を参照光として前記参照反射部材の方向に向け
てその参照光の前記参照反射部材で反射した反射光を前
記カラーカメラの方向に向ける光学手段と、前記光学手
段からの光により形成された干渉縞の前記カラーカメラ
で撮像した画像データを記憶する画像メモリと、前記画
像データの所定位置における前記各色光の強度を求め、
前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段と、予
め設定した複数の光路差に基づく干渉縞強度の前記各色
光間の理論比率を前記光路差との関係に基づいて記憶し
た参照データメモリと、前記実測比率と前記理論比率と
に基づいて前記光学手段から前記測定対象物までの間と
前記光学手段から前記参照反射部材までの間の光路差を
決定する光路差比較決定手段と、前記光路差比較決定手
段で得られた光路差を基に前記測定対象物の形状を決定
する光路差／形状変換手段と、を備えたことを特徴とす
る。
【００１７】また、光を射出する光源と、光の干渉縞を
撮像するカラーカメラと、前記カラーカメラに異なる複
数の色光を取り込ませるフィルタと、光を反射させる参
照反射部材と、前記光源からの光を物体光として測定対
象物の方向に向けてその物体光の前記測定対象物で反射
した反射光を前記カラーカメラの方向に向けるととも
に、前記光源からの光を参照光として前記参照反射部材
の方向に向けてその参照光の前記参照反射部材で反射し
た反射光を前記カラーカメラの方向に向ける光学手段
と、前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前
記カラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メ
モリと、前記画像データの所定位置における前記各色光
の強度を求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する
演算手段と、予め設定した複数の光路差に基づく干渉縞
強度の前記各色光間の理論比率を前記光路差との関係に
基づいて記憶した参照データメモリと、前記実測比率と
前記理論比率とに基づいて前記光学手段から前記測定対
象物までの間と前記光学手段から前記参照反射部材まで
の間の光路差を決定する光路差比較決定手段と、前記光
路差比較決定手段で得られた光路差を基に前記測定対象
物の形状を決定する光路差／形状変換手段と、を備えた
ことを特徴とする。
撮像するカラーカメラと、前記カラーカメラに異なる複
数の色光を取り込ませるフィルタと、光を反射させる参
照反射部材と、前記光源からの光を物体光として測定対
象物の方向に向けてその物体光の前記測定対象物で反射
した反射光を前記カラーカメラの方向に向けるととも
に、前記光源からの光を参照光として前記参照反射部材
の方向に向けてその参照光の前記参照反射部材で反射し
た反射光を前記カラーカメラの方向に向ける光学手段
と、前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前
記カラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メ
モリと、前記画像データの所定位置における前記各色光
の強度を求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する
演算手段と、予め設定した複数の光路差に基づく干渉縞
強度の前記各色光間の理論比率を前記光路差との関係に
基づいて記憶した参照データメモリと、前記実測比率と
前記理論比率とに基づいて前記光学手段から前記測定対
象物までの間と前記光学手段から前記参照反射部材まで
の間の光路差を決定する光路差比較決定手段と、前記光
路差比較決定手段で得られた光路差を基に前記測定対象
物の形状を決定する光路差／形状変換手段と、を備えた
ことを特徴とする。
【００１８】これらの形状測定装置により、測定対象物
や測定機器を移動させることなく、高速かつ高精度で測
定対象物の形状、特に微細な形状変化が測定できる。
や測定機器を移動させることなく、高速かつ高精度で測
定対象物の形状、特に微細な形状変化が測定できる。
【００１９】なお、上記の間隙測定装置や形状測定装置
に、前記カラーカメラで撮像して得た画像の前記各色光
の強度を、各色光に対する変動要素を考慮して補正する
補正手段を備えると、測定の正確性を高めることができ
る。
に、前記カラーカメラで撮像して得た画像の前記各色光
の強度を、各色光に対する変動要素を考慮して補正する
補正手段を備えると、測定の正確性を高めることができ
る。
【００２０】さらに、２つの基板の間隙に液晶を注入し
て封止する液晶装置の製造方法において、上記の間隙測
定装置を利用して前記間隙の間隙値を測定し、その間隙
値が規定の範囲内にある場合に、前記間隙に液晶を注入
することを特徴とする。これにより、液晶を封入する間
隙の良否が即座にチェックできるため、液晶装置の製造
効率が向上する。
て封止する液晶装置の製造方法において、上記の間隙測
定装置を利用して前記間隙の間隙値を測定し、その間隙
値が規定の範囲内にある場合に、前記間隙に液晶を注入
することを特徴とする。これにより、液晶を封入する間
隙の良否が即座にチェックできるため、液晶装置の製造
効率が向上する。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下に、図を参照しながら本発明
の実施の形態を詳細に説明する。
の実施の形態を詳細に説明する。
【００２２】（１）間隙測定のために用いる干渉縞のカ
ラー画像データを得るための光学系の構成 （その１）図１は本発明の実施の形態に係る干渉縞のカ
ラー画像を得るための第１の光学系構成図である。異な
る複数の波長の色光（以下の例では、青色、緑色、赤色
の３種類の色光とする）を射出する３波長光源１からの
光をバックライト２を介して測定対象物１００に照射し
て測定対象物１００を透過させ、測定対象物１００が有
する間隙１０１に起因して生じる干渉縞をカラーカメラ
３で撮像する。
ラー画像データを得るための光学系の構成 （その１）図１は本発明の実施の形態に係る干渉縞のカ
ラー画像を得るための第１の光学系構成図である。異な
る複数の波長の色光（以下の例では、青色、緑色、赤色
の３種類の色光とする）を射出する３波長光源１からの
光をバックライト２を介して測定対象物１００に照射し
て測定対象物１００を透過させ、測定対象物１００が有
する間隙１０１に起因して生じる干渉縞をカラーカメラ
３で撮像する。
【００２３】（その２）図２は本発明の実施の形態に係
る干渉縞のカラー画像を得るための第２の光学系構成図
である。ここでは、白色光源４からの光をバックライト
２を介して測定対象物１００に照射して測定対象物１０
０を透過させ、測定対象物１００が有する間隙１０１に
起因して生じる干渉縞をカラーカメラ３で撮像する。こ
の際、カラーカメラ３側に異なる複数の波長の色光（以
下の例では、青色、緑色、赤色の３種類の色光とする）
を選択透過させる波長選択フィルタ５を備えて、それら
の色の干渉縞をカラーカメラ３で撮像する。なお、波長
選択フィルタ５はカラーカメラ３内に設けてもよい。
る干渉縞のカラー画像を得るための第２の光学系構成図
である。ここでは、白色光源４からの光をバックライト
２を介して測定対象物１００に照射して測定対象物１０
０を透過させ、測定対象物１００が有する間隙１０１に
起因して生じる干渉縞をカラーカメラ３で撮像する。こ
の際、カラーカメラ３側に異なる複数の波長の色光（以
下の例では、青色、緑色、赤色の３種類の色光とする）
を選択透過させる波長選択フィルタ５を備えて、それら
の色の干渉縞をカラーカメラ３で撮像する。なお、波長
選択フィルタ５はカラーカメラ３内に設けてもよい。
【００２４】（その３）図３は本発明の実施の形態に係
る干渉縞のカラー画像を得るための第３の光学系構成図
である。異なる複数の波長の色光（以下の例では、青
色、緑色、赤色の３種類の色光とする）を射出する３波
長光源１からの光をビームスプリッタ６により測定対象
物１００に向けて反射させ、その光を測定対象物１００
により再度反射させ、さらに、その反射光をビームスプ
リッタ６を透過させその透過光をカラーカメラ３で撮像
することで、測定対象物１００が有する間隙１０１に起
因して生じる干渉縞を撮像する。
る干渉縞のカラー画像を得るための第３の光学系構成図
である。異なる複数の波長の色光（以下の例では、青
色、緑色、赤色の３種類の色光とする）を射出する３波
長光源１からの光をビームスプリッタ６により測定対象
物１００に向けて反射させ、その光を測定対象物１００
により再度反射させ、さらに、その反射光をビームスプ
リッタ６を透過させその透過光をカラーカメラ３で撮像
することで、測定対象物１００が有する間隙１０１に起
因して生じる干渉縞を撮像する。
【００２５】（その４）図４は本発明の実施の形態に係
る干渉縞のカラー画像を得るための第４の光学系構成図
である。白色光源４からの光をビームスプリッタ６によ
り測定対象物１００に向けて反射させ、その光を測定対
象物１００により再度反射させ、さらに、その反射光を
ビームスプリッタ６を透過させその透過光をカラーカメ
ラ３で撮像することで、測定対象物１００が有する間隙
１０１に起因して生じる干渉縞を撮像する。なお、カラ
ーカメラ３側には、異なる複数の波長の色光（以下の例
では、青色、緑色、赤色の３種類の色光とする）を選択
透過させる波長選択フィルタ５を備えている。
る干渉縞のカラー画像を得るための第４の光学系構成図
である。白色光源４からの光をビームスプリッタ６によ
り測定対象物１００に向けて反射させ、その光を測定対
象物１００により再度反射させ、さらに、その反射光を
ビームスプリッタ６を透過させその透過光をカラーカメ
ラ３で撮像することで、測定対象物１００が有する間隙
１０１に起因して生じる干渉縞を撮像する。なお、カラ
ーカメラ３側には、異なる複数の波長の色光（以下の例
では、青色、緑色、赤色の３種類の色光とする）を選択
透過させる波長選択フィルタ５を備えている。
【００２６】上記その３、その４の場合、光源からの光
をビームスプリッタ６で測定対象物１００に向けて透過
させ、その光を測定対象物１００により反射させ、さら
に、その反射光をビームスプリッタ６で再反射させてそ
の反射光をカラーカメラ３で撮像するようにしてもよ
い。
をビームスプリッタ６で測定対象物１００に向けて透過
させ、その光を測定対象物１００により反射させ、さら
に、その反射光をビームスプリッタ６で再反射させてそ
の反射光をカラーカメラ３で撮像するようにしてもよ
い。
【００２７】また、上記その１、その３において、３波
長光源１からの色光を時分割により個別に射出させる
と、カラーカメラ３での干渉縞撮像が各色光毎に１回の
合計３回必要となるが、３波長光源１からの色光を合成
光とした場合は、カラーカメラ３での干渉縞撮像が１回
で済み、より高速な測定が可能となる。なお、３波長光
源１には、ＬＥＤやレーザなどを用いることができる
が、３波長光源１から射出する各色光の波長の帯域が広
いと干渉パターンがぼやけてしまうので、その射出光に
はできるだけ狭い帯域の波長を使用する。
長光源１からの色光を時分割により個別に射出させる
と、カラーカメラ３での干渉縞撮像が各色光毎に１回の
合計３回必要となるが、３波長光源１からの色光を合成
光とした場合は、カラーカメラ３での干渉縞撮像が１回
で済み、より高速な測定が可能となる。なお、３波長光
源１には、ＬＥＤやレーザなどを用いることができる
が、３波長光源１から射出する各色光の波長の帯域が広
いと干渉パターンがぼやけてしまうので、その射出光に
はできるだけ狭い帯域の波長を使用する。
【００２８】また、上記その１からその４において、カ
ラーカメラ３をＣＣＤカメラとすると、多数の画素から
構成される画像データが得られるので、データ処理がし
易くなる。
ラーカメラ３をＣＣＤカメラとすると、多数の画素から
構成される画像データが得られるので、データ処理がし
易くなる。
【００２９】（２）本発明の間隙測定装置の構成 図５は本発明の実施の形態に係る間隙測定装置の構成を
示すブロック図である。ここで、１１は干渉縞を発生さ
せてそれをカラー撮像する機能を備えた上記（１）のそ
の１〜その４で説明した干渉縞カラー画像取得光学系、
１２は干渉縞カラー画像取得光学系１１で得た干渉縞カ
ラー画像データを記憶する画像メモリ、１３はカラーカ
メラ３で撮像して得た干渉縞画像の青色光、緑色光、赤
色光の強度を、各色光に対する変動要素を考慮して補正
するための補正データを予め記憶しておく補正データメ
モリ、１４は画像メモリ１２から得た画像データの所定
位置（これは任意に定めることができ、例えば、画像の
全画素毎あるいは中央幅方向の各画素毎の位置）の青色
光、緑色光、赤色光の強度を上記補正データを利用して
上記要素による変動を補正し、その補正されたデータを
基に上記所定位置毎に各色光の強度の実測比率を算出す
る演算手段、１５は予め設定した複数の間隙値を基に青
色光、緑色光、赤色光の各波長に対応した干渉縞の強度
を計算してそれらの間の理論比率を求め、それらの理論
比率を前記間隙値と関係づけて記憶している参照データ
メモリ、１６は演算手段１４による実測比率と参照デー
タメモリ１５による理論比率とを比較して、上記実測比
率に最も近い理論比率に対応する間隙値を、測定対象物
が有する間隙の値と決定する間隙比較決定手段である。
示すブロック図である。ここで、１１は干渉縞を発生さ
せてそれをカラー撮像する機能を備えた上記（１）のそ
の１〜その４で説明した干渉縞カラー画像取得光学系、
１２は干渉縞カラー画像取得光学系１１で得た干渉縞カ
ラー画像データを記憶する画像メモリ、１３はカラーカ
メラ３で撮像して得た干渉縞画像の青色光、緑色光、赤
色光の強度を、各色光に対する変動要素を考慮して補正
するための補正データを予め記憶しておく補正データメ
モリ、１４は画像メモリ１２から得た画像データの所定
位置（これは任意に定めることができ、例えば、画像の
全画素毎あるいは中央幅方向の各画素毎の位置）の青色
光、緑色光、赤色光の強度を上記補正データを利用して
上記要素による変動を補正し、その補正されたデータを
基に上記所定位置毎に各色光の強度の実測比率を算出す
る演算手段、１５は予め設定した複数の間隙値を基に青
色光、緑色光、赤色光の各波長に対応した干渉縞の強度
を計算してそれらの間の理論比率を求め、それらの理論
比率を前記間隙値と関係づけて記憶している参照データ
メモリ、１６は演算手段１４による実測比率と参照デー
タメモリ１５による理論比率とを比較して、上記実測比
率に最も近い理論比率に対応する間隙値を、測定対象物
が有する間隙の値と決定する間隙比較決定手段である。
【００３０】（３）補正データメモリ１３に記憶してお
く補正データ カラーカメラ３で撮像された画像データは、光の波長に
対して主に、（ａ）光源の発光分光特性、（ｂ）照明光
学系の分光特性、（ｃ）カメラの分光感度特性などの変
動要素の影響を受けるため、それらの変動を排除するの
がよい。そこで、予め補正テーブルを作成しておき、こ
れを基に各波長に対して上記要素による変動を補正す
る。この補正テーブルは、例えば、干渉縞の密な領域の
平均強度を波長毎に測定するか、可干渉距離以上の間隙
を持ったサンプルを用意し波長毎の強度を測定して、図
６のような波長と強度の関係を示したものである。
く補正データ カラーカメラ３で撮像された画像データは、光の波長に
対して主に、（ａ）光源の発光分光特性、（ｂ）照明光
学系の分光特性、（ｃ）カメラの分光感度特性などの変
動要素の影響を受けるため、それらの変動を排除するの
がよい。そこで、予め補正テーブルを作成しておき、こ
れを基に各波長に対して上記要素による変動を補正す
る。この補正テーブルは、例えば、干渉縞の密な領域の
平均強度を波長毎に測定するか、可干渉距離以上の間隙
を持ったサンプルを用意し波長毎の強度を測定して、図
６のような波長と強度の関係を示したものである。
【００３１】（４）参照データメモリ１５に記憶してお
く参照データ 間に間隙ｄを有する透明な平行平板に波長λの光を透過
させると、透過してきた光Ｉ1，Ｉ2は図７のように干渉
し、それら干渉縞の強度は、 Ｉ＝Ｉ1＋Ｉ2＋２（Ｉ1・Ｉ2）1/2 ・ｃｏｓ（４πｄ／λ）・・・（２） となる。ここで、例えば、Ｉ1＋Ｉ2＝２（Ｉ1・Ｉ2）
1/2＝１／２とし、また、間隙ｄに測定しようとする範
囲の値、例えば３０００ｎｍ〜４０００ｎｍ間の値を与
えると、青色光、緑色光、赤色光の各波長λに対する干
渉縞の強度ＩB，ＩG，ＩRの理論強度が求まり、従って
それらの理論比率が求まる。そして、これらの理論比率
を、先に与えた間隙ｄの値と関係づけて、例えば図８の
グラフで表されるような、各色光の理論比率と間隙ｄと
の関係を示す参照データが得られる。
く参照データ 間に間隙ｄを有する透明な平行平板に波長λの光を透過
させると、透過してきた光Ｉ1，Ｉ2は図７のように干渉
し、それら干渉縞の強度は、 Ｉ＝Ｉ1＋Ｉ2＋２（Ｉ1・Ｉ2）1/2 ・ｃｏｓ（４πｄ／λ）・・・（２） となる。ここで、例えば、Ｉ1＋Ｉ2＝２（Ｉ1・Ｉ2）
1/2＝１／２とし、また、間隙ｄに測定しようとする範
囲の値、例えば３０００ｎｍ〜４０００ｎｍ間の値を与
えると、青色光、緑色光、赤色光の各波長λに対する干
渉縞の強度ＩB，ＩG，ＩRの理論強度が求まり、従って
それらの理論比率が求まる。そして、これらの理論比率
を、先に与えた間隙ｄの値と関係づけて、例えば図８の
グラフで表されるような、各色光の理論比率と間隙ｄと
の関係を示す参照データが得られる。
【００３２】（５）本発明の間隙測定装置による測定 図９は本発明の実施の形態に係る間隙測定装置による測
定処理手順を示すフローチャートである。まず、干渉縞
カラー画像取得光学系１１を利用して画像メモリ１２に
干渉縞のカラー画像データを取り込む（Ｓ１）。続い
て、演算手段１４が、画像メモリ１２からの画像データ
の所定位置、例えば図１０に示すような干渉縞の中央幅
方向の各画素毎の青色光、緑色光、赤色光の強度を解析
し、それらの解析データの青色光、緑色光、赤色光の強
度を、補正データメモリ１３の補正データで除算あるい
は減算などして正規化することで、各色光の強度を補正
して上記変動要因による影響を排除した後、各色光強度
の実測比率を算出する（Ｓ２）。さらに、間隙比較決定
手段１６が、演算手段１４で算出された実測比率を、参
照データメモリ１５の理論比率と比較して、実測比率に
最も近い理論比率に対応する間隙値を、測定対象物の所
定位置における間隙値と決定する（Ｓ３）。従って、こ
れらＳ２とＳ３のデータ処理を測定対象物の中央幅方向
の各画素について行えば、その部分の間隙値が決定でき
る。なお、上記Ｓ２とＳ３の工程は各所定位置毎に繰り
返して良い。さらに、上記Ｓ２とＳ３の工程を繰り返す
ことなく、Ｓ２で全ての所定位置の各実測比率を算出
し、Ｓ３でそれらの各実測比率を理論比率と比較して全
ての所定位置の間隙値を決定しても良い。また、画像デ
ータの全画素位置で上記データ処理を行えば、測定対象
物の間隙を３次元的に決定することができる。
定処理手順を示すフローチャートである。まず、干渉縞
カラー画像取得光学系１１を利用して画像メモリ１２に
干渉縞のカラー画像データを取り込む（Ｓ１）。続い
て、演算手段１４が、画像メモリ１２からの画像データ
の所定位置、例えば図１０に示すような干渉縞の中央幅
方向の各画素毎の青色光、緑色光、赤色光の強度を解析
し、それらの解析データの青色光、緑色光、赤色光の強
度を、補正データメモリ１３の補正データで除算あるい
は減算などして正規化することで、各色光の強度を補正
して上記変動要因による影響を排除した後、各色光強度
の実測比率を算出する（Ｓ２）。さらに、間隙比較決定
手段１６が、演算手段１４で算出された実測比率を、参
照データメモリ１５の理論比率と比較して、実測比率に
最も近い理論比率に対応する間隙値を、測定対象物の所
定位置における間隙値と決定する（Ｓ３）。従って、こ
れらＳ２とＳ３のデータ処理を測定対象物の中央幅方向
の各画素について行えば、その部分の間隙値が決定でき
る。なお、上記Ｓ２とＳ３の工程は各所定位置毎に繰り
返して良い。さらに、上記Ｓ２とＳ３の工程を繰り返す
ことなく、Ｓ２で全ての所定位置の各実測比率を算出
し、Ｓ３でそれらの各実測比率を理論比率と比較して全
ての所定位置の間隙値を決定しても良い。また、画像デ
ータの全画素位置で上記データ処理を行えば、測定対象
物の間隙を３次元的に決定することができる。
【００３３】（６）形状測定のために用いる干渉縞のカ
ラー画像データを得るための光学系の構成 （その１）図１１は本発明の実施の形態に係る干渉縞の
カラー画像を得るための第５の光学系構成図である。異
なる複数の波長の色光（以下の例では、青色、緑色、赤
色の３種類の色光とする）を射出する３波長光源１から
の光をバックライト２を介して測定対象物２００及び測
定対象物２００の測定面に対し間隙を有して対向配置し
た表面が平坦な透明板状体７を透過させ、測定対象物２
００と透明板状体７により形成される間隙２０１に起因
して生じる干渉縞をカラーカメラ３で撮像する。
ラー画像データを得るための光学系の構成 （その１）図１１は本発明の実施の形態に係る干渉縞の
カラー画像を得るための第５の光学系構成図である。異
なる複数の波長の色光（以下の例では、青色、緑色、赤
色の３種類の色光とする）を射出する３波長光源１から
の光をバックライト２を介して測定対象物２００及び測
定対象物２００の測定面に対し間隙を有して対向配置し
た表面が平坦な透明板状体７を透過させ、測定対象物２
００と透明板状体７により形成される間隙２０１に起因
して生じる干渉縞をカラーカメラ３で撮像する。
【００３４】（その２）図１２は本発明の実施の形態に
係る干渉縞のカラー画像を得るための第６の光学系構成
図である。ここでは、白色光源４からの光をバックライ
ト２を介して測定対象物２００及び測定対象物２００の
測定面に対し間隙を有して対向配置した表面が平坦な透
明板状体７を透過させ、測定対象物２００と透明板状体
７により形成される間隙２０１に起因して生じる干渉縞
をカラーカメラ３で撮像する。この際、カラーカメラ３
側に異なる複数の波長の色光（以下の例では、青色、緑
色、赤色の３種類の色光とする）を選択透過させる波長
選択フィルタ５を備えて、それらの色の干渉縞をカラー
カメラ３で撮像する。なお、波長選択フィルタ５はカラ
ーカメラ３内に設けてもよい。
係る干渉縞のカラー画像を得るための第６の光学系構成
図である。ここでは、白色光源４からの光をバックライ
ト２を介して測定対象物２００及び測定対象物２００の
測定面に対し間隙を有して対向配置した表面が平坦な透
明板状体７を透過させ、測定対象物２００と透明板状体
７により形成される間隙２０１に起因して生じる干渉縞
をカラーカメラ３で撮像する。この際、カラーカメラ３
側に異なる複数の波長の色光（以下の例では、青色、緑
色、赤色の３種類の色光とする）を選択透過させる波長
選択フィルタ５を備えて、それらの色の干渉縞をカラー
カメラ３で撮像する。なお、波長選択フィルタ５はカラ
ーカメラ３内に設けてもよい。
【００３５】（その３）図１３は本発明の実施の形態に
係る干渉縞のカラー画像を得るための第７の光学系構成
図である。異なる複数の波長の色光（以下の例では、青
色、緑色、赤色の３種類の色光とする）を射出する３波
長光源１からの光をビームスプリッタ６で測定対象物２
００及び測定対象物２００の測定面に対し間隙を有して
対向配置した表面が平坦な透明板状体７に向けて反射さ
せ、その光を測定対象物２００及び透明板状体７により
反射させ、さらに、その反射光をビームスプリッタ６を
透過させその透過光をカラーカメラ３で撮像すること
で、測定対象物２００と透明板状体７により形成される
間隙２０１に起因して生じる干渉縞を撮像する。
係る干渉縞のカラー画像を得るための第７の光学系構成
図である。異なる複数の波長の色光（以下の例では、青
色、緑色、赤色の３種類の色光とする）を射出する３波
長光源１からの光をビームスプリッタ６で測定対象物２
００及び測定対象物２００の測定面に対し間隙を有して
対向配置した表面が平坦な透明板状体７に向けて反射さ
せ、その光を測定対象物２００及び透明板状体７により
反射させ、さらに、その反射光をビームスプリッタ６を
透過させその透過光をカラーカメラ３で撮像すること
で、測定対象物２００と透明板状体７により形成される
間隙２０１に起因して生じる干渉縞を撮像する。
【００３６】（その４）図１４は本発明の実施の形態に
係る干渉縞のカラー画像を得るための第８の光学系構成
図である。白色光源４からの光をビームスプリッタ６で
測定対象物２００及び測定対象物２００の測定面に対し
間隙を有して対向配置した表面が平坦な透明板状体７に
向けて反射させ、その光を測定対象物２００及び透明板
状体７により反射させ、さらに、その反射光をビームス
プリッタ６を透過させその透過光をカラーカメラ３で撮
像することで、測定対象物２００と透明板状体７により
形成される間隙２０１に起因して生じる干渉縞を撮像す
る。この際、カラーカメラ３側に異なる複数の波長の色
光（以下の例では、青色、緑色、赤色の３種類の色光と
する）を選択透過させる波長選択フィルタ５を備えて、
それらの色の干渉縞をカラーカメラ３で撮像する。な
お、波長選択フィルタ５はカラーカメラ３内に設けても
よい。
係る干渉縞のカラー画像を得るための第８の光学系構成
図である。白色光源４からの光をビームスプリッタ６で
測定対象物２００及び測定対象物２００の測定面に対し
間隙を有して対向配置した表面が平坦な透明板状体７に
向けて反射させ、その光を測定対象物２００及び透明板
状体７により反射させ、さらに、その反射光をビームス
プリッタ６を透過させその透過光をカラーカメラ３で撮
像することで、測定対象物２００と透明板状体７により
形成される間隙２０１に起因して生じる干渉縞を撮像す
る。この際、カラーカメラ３側に異なる複数の波長の色
光（以下の例では、青色、緑色、赤色の３種類の色光と
する）を選択透過させる波長選択フィルタ５を備えて、
それらの色の干渉縞をカラーカメラ３で撮像する。な
お、波長選択フィルタ５はカラーカメラ３内に設けても
よい。
【００３７】なお、上記その３、その４において、光源
からの光をビームスプリッタ６で測定対象物２００及び
透明板状体７に向けて透過させ、その光を測定対象物２
００及び透明板状体７により反射させ、さらに、その反
射光をビームスプリッタ６で反射させその反射光をカラ
ーカメラ３で撮像するようにしてもよい。
からの光をビームスプリッタ６で測定対象物２００及び
透明板状体７に向けて透過させ、その光を測定対象物２
００及び透明板状体７により反射させ、さらに、その反
射光をビームスプリッタ６で反射させその反射光をカラ
ーカメラ３で撮像するようにしてもよい。
【００３８】（その５）図１５は本発明の実施の形態に
係る干渉縞のカラー画像を得るための第９の光学系構成
図で、これはいわゆるマイケルソン干渉計の原理を利用
したものである。異なる複数の波長の色光（以下の例で
は、青色、緑色、赤色の３種類の色光とする）を射出す
る３波長光源１からの光をビームスプリッタ８を介して
測定対象物２００に向けて反射させ、その光を測定対象
物２００により反射させ、さらに、その反射光をビーム
スプリッタ８を透過させる。同時に、３波長光源１から
の光源光をビームスプリッタ８で参照鏡９に向けて透過
させ、その光を測定対象物２００により反射させ、さら
に、その反射光をビームスプリッタ８で反射させる。こ
のような、測定対象物２００からの反射光と参照鏡９か
らの反射光とがビームスプリッター８を介して交わるこ
とで、２つの反射光の光路差に起因して生じる干渉縞を
カラーカメラ３で撮像する。
係る干渉縞のカラー画像を得るための第９の光学系構成
図で、これはいわゆるマイケルソン干渉計の原理を利用
したものである。異なる複数の波長の色光（以下の例で
は、青色、緑色、赤色の３種類の色光とする）を射出す
る３波長光源１からの光をビームスプリッタ８を介して
測定対象物２００に向けて反射させ、その光を測定対象
物２００により反射させ、さらに、その反射光をビーム
スプリッタ８を透過させる。同時に、３波長光源１から
の光源光をビームスプリッタ８で参照鏡９に向けて透過
させ、その光を測定対象物２００により反射させ、さら
に、その反射光をビームスプリッタ８で反射させる。こ
のような、測定対象物２００からの反射光と参照鏡９か
らの反射光とがビームスプリッター８を介して交わるこ
とで、２つの反射光の光路差に起因して生じる干渉縞を
カラーカメラ３で撮像する。
【００３９】（その６）図１６は本発明の実施の形態に
係る干渉縞のカラー画像を得るための第１０の光学系構
成図で、上記その５の構成において、３波長光源１を利
用する代わりに、白色光源４と波長選択フィルタ５とを
用いたものである。なお、上記その５、その６の場合、
測定対象物２００と参照鏡９の位置を入れ替えてもよ
い。
係る干渉縞のカラー画像を得るための第１０の光学系構
成図で、上記その５の構成において、３波長光源１を利
用する代わりに、白色光源４と波長選択フィルタ５とを
用いたものである。なお、上記その５、その６の場合、
測定対象物２００と参照鏡９の位置を入れ替えてもよ
い。
【００４０】また、上記その１、その３、その５におい
て、３波長光源１からの色光を時分割により個別に射出
させると、カラーカメラ３での干渉縞撮像が各色光毎に
１回の合計３回必要となるが、３波長光源１からの色光
を合成光とした場合は、カラーカメラ３での干渉縞撮像
が１回で済み、より高速な測定が可能となる。なお、３
波長光源１には、ＬＥＤやレーザなどを用いることがで
きるが、３波長光源１から射出する各色光の波長の帯域
が広いと干渉パターンがぼやけてしまうので、その射出
光にはできるだけ狭い帯域の波長を使用する。
て、３波長光源１からの色光を時分割により個別に射出
させると、カラーカメラ３での干渉縞撮像が各色光毎に
１回の合計３回必要となるが、３波長光源１からの色光
を合成光とした場合は、カラーカメラ３での干渉縞撮像
が１回で済み、より高速な測定が可能となる。なお、３
波長光源１には、ＬＥＤやレーザなどを用いることがで
きるが、３波長光源１から射出する各色光の波長の帯域
が広いと干渉パターンがぼやけてしまうので、その射出
光にはできるだけ狭い帯域の波長を使用する。
【００４１】また、上記その１からその６において、カ
ラーカメラ３をＣＣＤカメラとすると、多数の画素から
構成される画像データが得られるので、データ処理がし
易くなる。
ラーカメラ３をＣＣＤカメラとすると、多数の画素から
構成される画像データが得られるので、データ処理がし
易くなる。
【００４２】（７）本発明の形状測定装置の構成および
測定手順 （その１）図１７は本発明の実施の形態に係る形状測定
装置の構成を示すブロック図である。ここで、１１は干
渉縞を発生させてそれをカラー撮像する機能を備えた上
記（６）その１〜その４に説明した干渉縞カラー画像取
得光学系、１２は干渉縞カラー画像取得光学系１１で得
た干渉縞カラー画像データを記憶する画像メモリ、１３
はカラーカメラ３で撮像して得た干渉縞画像の青色光、
緑色光、赤色光の強度を、各色光に対する変動要素を考
慮して補正するための補正データを予め記憶しておく補
正データメモリ、１４は画像メモリ１２から得た画像デ
ータの所定位置（これは任意に定めることができ、例え
ば、画像の全画素毎あるいは中央幅方向の各画素毎の位
置）の青色光、緑色光、赤色光の強度を解析し、上記補
正データを利用して変動要素による変動を補正し、その
補正されたデータを基に各色光の強度の実測比率を算出
する演算手段、１５は予め設定した複数の間隙値を基に
青色光、緑色光、赤色光の各波長に対応した干渉縞の強
度を計算してそれらの間の理論比率を求め、それらの理
論比率を設定間隙値と関係づけて記憶している参照デー
タメモリ、１６は演算手段１４による実測比率と参照デ
ータメモリ１５による理論比率とを比較して、上記実測
比率に最も近い理論比率に対応する間隙値を、測定対象
物が有する間隙と決定する間隙比較決定手段、１７は間
隙比較決定手段１６で得られた間隙測定値を基に測定対
象物の形状を決定する間隙値／形状変換手段である。
測定手順 （その１）図１７は本発明の実施の形態に係る形状測定
装置の構成を示すブロック図である。ここで、１１は干
渉縞を発生させてそれをカラー撮像する機能を備えた上
記（６）その１〜その４に説明した干渉縞カラー画像取
得光学系、１２は干渉縞カラー画像取得光学系１１で得
た干渉縞カラー画像データを記憶する画像メモリ、１３
はカラーカメラ３で撮像して得た干渉縞画像の青色光、
緑色光、赤色光の強度を、各色光に対する変動要素を考
慮して補正するための補正データを予め記憶しておく補
正データメモリ、１４は画像メモリ１２から得た画像デ
ータの所定位置（これは任意に定めることができ、例え
ば、画像の全画素毎あるいは中央幅方向の各画素毎の位
置）の青色光、緑色光、赤色光の強度を解析し、上記補
正データを利用して変動要素による変動を補正し、その
補正されたデータを基に各色光の強度の実測比率を算出
する演算手段、１５は予め設定した複数の間隙値を基に
青色光、緑色光、赤色光の各波長に対応した干渉縞の強
度を計算してそれらの間の理論比率を求め、それらの理
論比率を設定間隙値と関係づけて記憶している参照デー
タメモリ、１６は演算手段１４による実測比率と参照デ
ータメモリ１５による理論比率とを比較して、上記実測
比率に最も近い理論比率に対応する間隙値を、測定対象
物が有する間隙と決定する間隙比較決定手段、１７は間
隙比較決定手段１６で得られた間隙測定値を基に測定対
象物の形状を決定する間隙値／形状変換手段である。
【００４３】上記形状測定装置を利用した形状測定で
は、上記（５）で説明した間隙測定手順のステップＳ１
〜Ｓ３と同じ手順で得た間隙測定値を、間隙値／形状変
換手段１７で測定対象物の高さ方向の位置に変換するも
のであり、従って所定の範囲でこの処理を行うことで、
その範囲における測定対象物の表面形状が決定される。
これは、間隙２０１を構成する透明板状対７が平坦なた
め、間隙測定値が測定対象物２００の間隙形成面の変化
に対応することを利用したものである。
は、上記（５）で説明した間隙測定手順のステップＳ１
〜Ｓ３と同じ手順で得た間隙測定値を、間隙値／形状変
換手段１７で測定対象物の高さ方向の位置に変換するも
のであり、従って所定の範囲でこの処理を行うことで、
その範囲における測定対象物の表面形状が決定される。
これは、間隙２０１を構成する透明板状対７が平坦なた
め、間隙測定値が測定対象物２００の間隙形成面の変化
に対応することを利用したものである。
【００４４】（その２）図１８は本発明の実施の形態に
係る別の形状測定装置の構成を示すブロック図である。
ここで、１１は干渉縞を発生させてそれをカラー撮像す
る機能を備えた上記（６）その５又はその６に説明した
干渉縞カラー画像取得光学系、１２は干渉縞カラー画像
取得光学系１１で得た干渉縞カラー画像データを記憶す
る画像メモリ、１３はカラーカメラ３で撮像して得た干
渉縞画像の青色光、緑色光、赤色光の強度を、各色光に
対する変動要素を考慮して補正するための補正データを
予め記憶しておく補正データメモリ、１４は画像メモリ
１２から得た画像データの所定位置（これは任意に定め
ることができ、例えば、画像の全画素毎あるいは中央幅
方向の各画素毎の位置）の青色光、緑色光、赤色光の強
度を解析し、上記補正データを利用して変動要素よる変
動を補正し、その補正されたデータを基に各色光の強度
の実測比率を算出する演算手段、２０は予め設定した複
数の光路差（間隙ｄ×２）を基に青色光、緑色光、赤色
光の各波長に対応した干渉縞強度を計算してそれらの間
の理論比率を求め、それらの理論比率を設定光路差と関
係づけて記憶している図８に準じた参照データメモリ、
１８は演算手段１４による実測比率と参照データメモリ
２０による理論比率とを比較して、上記実測比率に最も
近い理論比率に対応する光路差を、ビームスプリッタ８
−測定対象物２００間とビームスプリッタ８−参照鏡９
間との光路差と決定する光路差比較決定手段、１９は光
路差比較決定手段１８で得られた光路差を基に測定対象
物の形状を決定する光路差／形状変換手段である。
係る別の形状測定装置の構成を示すブロック図である。
ここで、１１は干渉縞を発生させてそれをカラー撮像す
る機能を備えた上記（６）その５又はその６に説明した
干渉縞カラー画像取得光学系、１２は干渉縞カラー画像
取得光学系１１で得た干渉縞カラー画像データを記憶す
る画像メモリ、１３はカラーカメラ３で撮像して得た干
渉縞画像の青色光、緑色光、赤色光の強度を、各色光に
対する変動要素を考慮して補正するための補正データを
予め記憶しておく補正データメモリ、１４は画像メモリ
１２から得た画像データの所定位置（これは任意に定め
ることができ、例えば、画像の全画素毎あるいは中央幅
方向の各画素毎の位置）の青色光、緑色光、赤色光の強
度を解析し、上記補正データを利用して変動要素よる変
動を補正し、その補正されたデータを基に各色光の強度
の実測比率を算出する演算手段、２０は予め設定した複
数の光路差（間隙ｄ×２）を基に青色光、緑色光、赤色
光の各波長に対応した干渉縞強度を計算してそれらの間
の理論比率を求め、それらの理論比率を設定光路差と関
係づけて記憶している図８に準じた参照データメモリ、
１８は演算手段１４による実測比率と参照データメモリ
２０による理論比率とを比較して、上記実測比率に最も
近い理論比率に対応する光路差を、ビームスプリッタ８
−測定対象物２００間とビームスプリッタ８−参照鏡９
間との光路差と決定する光路差比較決定手段、１９は光
路差比較決定手段１８で得られた光路差を基に測定対象
物の形状を決定する光路差／形状変換手段である。
【００４５】このマイケルソン干渉計を利用した装置で
の形状測定は、間隙値を利用する代わりに、ビームスプ
リッタ８−測定対象物２００間とビームスプリッタ８−
参照鏡９間との光路差（この光路差が上記間隙値の２倍
に対応する）を利用したものである。従って、このマイ
ケルソン干渉計を利用した装置での形状測定も、上記そ
の１で説明した形状測定手順に準じて、光路差比較決定
手段１８で光路差を測定し、その光路差から光路差／形
状変換手段１９により測定対象物２００の表面形状が決
定される。
の形状測定は、間隙値を利用する代わりに、ビームスプ
リッタ８−測定対象物２００間とビームスプリッタ８−
参照鏡９間との光路差（この光路差が上記間隙値の２倍
に対応する）を利用したものである。従って、このマイ
ケルソン干渉計を利用した装置での形状測定も、上記そ
の１で説明した形状測定手順に準じて、光路差比較決定
手段１８で光路差を測定し、その光路差から光路差／形
状変換手段１９により測定対象物２００の表面形状が決
定される。
【００４６】なお、上記の実施例において、画像デー
タ、補正データ、及び参照データを別々のメモリ（装
置）に記憶させたが、これらのデータを１つのメモリに
記憶させてもよい。また、演算手段１４、間隙比較決定
手段１６、間隙値／形状変換手段１７は、、例えば一個
のＣＰＵを利用して、それぞれの機能を実行させること
ができる。さらに、演算手段１４、光路差比較決定手段
１８、光路差／形状変換手段１９についても、同様に一
個のＣＰＵを利用して、それぞれの機能を実行させるこ
とができる。
タ、補正データ、及び参照データを別々のメモリ（装
置）に記憶させたが、これらのデータを１つのメモリに
記憶させてもよい。また、演算手段１４、間隙比較決定
手段１６、間隙値／形状変換手段１７は、、例えば一個
のＣＰＵを利用して、それぞれの機能を実行させること
ができる。さらに、演算手段１４、光路差比較決定手段
１８、光路差／形状変換手段１９についても、同様に一
個のＣＰＵを利用して、それぞれの機能を実行させるこ
とができる。
【００４７】最後に、本発明の間隙測定方法又は装置を
利用した液晶装置の製造工程の一例を、図２０に基づい
て説明する。 （Ａ）まず、フォトリソグラフィーを用いて、上基板３
２１及び下基板３３１に、必要な回路を形成する。例え
ば、上基板３２１には共通電極３２２が形成され、下基
板３３１には薄膜トランジスタ３３２が形成される。な
お、この工程において形成される素子は、液晶装置の種
類に応じて異なったものになる。 （Ｂ）次に、共通電極３２２が形成された上基板３２１
に配向膜３２３を形成してラビングを施す。また、薄膜
トランジスタ３３２が形成された下基板３３１について
も同様に配向膜３３３を形成してラビングを施す。 （Ｃ）次に、一方の基板、例えば上基板３２１に液晶を
シールするためシール材３２４を塗布する。そして、他
方の基板、例えば下基板３３１の配向膜３３３の上にギ
ャップ材３３４を散布する。なお、シール材の塗布、ギ
ャップの散布は前述の形態に限られるものではなく、一
方の基板にシール材を塗布し、ギャップ材の散布を行う
ことも可能である。 （Ｄ）（Ａ）〜（Ｃ）の工程で作られた２つの基板３２
５，３３５を貼り合わせて、１枚のパネル４００を製造
する。そして、このパネル４００の間隙を、前述の間隙
測定方法又は装置により測定し、それが規定の範囲内に
あるかどうか検査する。 （Ｅ）次に、１次ブレーク工程として、規定の範囲内に
あることが確認されたパネル４００を割断して短冊状の
パネル４１０を製造する。 （Ｆ）短冊状のパネル４１０の液晶注入部を介して前記
間隙に液晶を注入し、液晶封止材３５０により液晶を封
止する。 （Ｇ）さらに、２次ブレーク工程として、液晶が封止さ
れた短冊状のパネル４１０を割断して１パネル分（製
品）の大きさに相当するパネル４２０を形成する。そし
て、そのパネル４２０にドライバＩＣ３６０等を取り付
けて、液晶装置４２０を完成させる。
利用した液晶装置の製造工程の一例を、図２０に基づい
て説明する。 （Ａ）まず、フォトリソグラフィーを用いて、上基板３
２１及び下基板３３１に、必要な回路を形成する。例え
ば、上基板３２１には共通電極３２２が形成され、下基
板３３１には薄膜トランジスタ３３２が形成される。な
お、この工程において形成される素子は、液晶装置の種
類に応じて異なったものになる。 （Ｂ）次に、共通電極３２２が形成された上基板３２１
に配向膜３２３を形成してラビングを施す。また、薄膜
トランジスタ３３２が形成された下基板３３１について
も同様に配向膜３３３を形成してラビングを施す。 （Ｃ）次に、一方の基板、例えば上基板３２１に液晶を
シールするためシール材３２４を塗布する。そして、他
方の基板、例えば下基板３３１の配向膜３３３の上にギ
ャップ材３３４を散布する。なお、シール材の塗布、ギ
ャップの散布は前述の形態に限られるものではなく、一
方の基板にシール材を塗布し、ギャップ材の散布を行う
ことも可能である。 （Ｄ）（Ａ）〜（Ｃ）の工程で作られた２つの基板３２
５，３３５を貼り合わせて、１枚のパネル４００を製造
する。そして、このパネル４００の間隙を、前述の間隙
測定方法又は装置により測定し、それが規定の範囲内に
あるかどうか検査する。 （Ｅ）次に、１次ブレーク工程として、規定の範囲内に
あることが確認されたパネル４００を割断して短冊状の
パネル４１０を製造する。 （Ｆ）短冊状のパネル４１０の液晶注入部を介して前記
間隙に液晶を注入し、液晶封止材３５０により液晶を封
止する。 （Ｇ）さらに、２次ブレーク工程として、液晶が封止さ
れた短冊状のパネル４１０を割断して１パネル分（製
品）の大きさに相当するパネル４２０を形成する。そし
て、そのパネル４２０にドライバＩＣ３６０等を取り付
けて、液晶装置４２０を完成させる。
【００４８】
【発明の効果】本発明の方法及び装置によれば、測定対
象物や測定機器を移動させることなく、しかも高速かつ
高精度で、測定対象物の間隙や形状の測定を行うことが
可能となり、液晶装置の製造効率も高めることができ
る。
象物や測定機器を移動させることなく、しかも高速かつ
高精度で、測定対象物の間隙や形状の測定を行うことが
可能となり、液晶装置の製造効率も高めることができ
る。
【図１】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画像
を得るための第１の光学系構成図。
を得るための第１の光学系構成図。
【図２】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画像
を得るための第２の光学系構成図。
を得るための第２の光学系構成図。
【図３】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画像
を得るための第３の光学系構成図。
を得るための第３の光学系構成図。
【図４】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画像
を得るための第４の光学系構成図。
を得るための第４の光学系構成図。
【図５】本発明の実施の形態に係る間隙測定装置の構成
を示すブロック図。
を示すブロック図。
【図６】カラーカメラで撮像された画像データの各波長
に対する変動要素による影響を排除するための補正デー
タを示す図。
に対する変動要素による影響を排除するための補正デー
タを示す図。
【図７】間隙を透過する光Ｉ1，Ｉ2の干渉を説明する模
式図。
式図。
【図８】所定の間隙値に対する青色光、緑色光、赤色光
の各波長におけるそれらの理論比率データを示す関係
図。
の各波長におけるそれらの理論比率データを示す関係
図。
【図９】本発明の実施の形態に係る間隙測定装置による
測定処理手順を示すフローチャートである。
測定処理手順を示すフローチャートである。
【図１０】干渉縞の色光データ採取例を示す説明図。
【図１１】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画
像を得るための第５の光学系構成図である。
像を得るための第５の光学系構成図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画
像を得るための第６の光学系構成図である。
像を得るための第６の光学系構成図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画
像を得るための第７の光学系構成図である。
像を得るための第７の光学系構成図である。
【図１４】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画
像を得るための第８の光学系構成図である。
像を得るための第８の光学系構成図である。
【図１５】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画
像を得るための第９の光学系構成図である。
像を得るための第９の光学系構成図である。
【図１６】本発明の実施の形態に係る干渉縞のカラー画
像を得るための第１０の光学系構成図である。
像を得るための第１０の光学系構成図である。
【図１７】本発明の実施の形態に係る形状測定装置の構
成を示すブロック図。
成を示すブロック図。
【図１８】本発明の実施の形態に係る別の形状測定装置
の構成を示すブロック図。
の構成を示すブロック図。
【図１９】従来の間隙測定装置の構成図。
【図２０】本発明の実施の形態に係る液晶装置の製造工
程図。
程図。
１…３波長光源 ２…バックライト ３…カラーカメラ ４…白色光源 ５…波長選択フィルタ ６…ビームスプリッタ ７…透明板状体 ８…ビームスプリッタ ９…参照鏡 １１…干渉縞カラー画像取得光学系 １２…画像メモリ １３…補正データメモリ １４…演算手段 １５…参照データメモリ １６…間隙比較決定手段 １７…間隙値／形状変換手段 １８…光路差比較決定手段 １９…光路差／形状変換手段 ２０…参照データメモリ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA01 AA22 AA24 AA51 BB01 BB18 BB22 CC21 DD06 FF04 FF51 FF52 FF61 GG02 GG04 GG07 GG23 HH15 JJ03 JJ26 LL01 LL02 LL12 LL22 LL46 NN06 QQ03 QQ24 QQ26 QQ28 QQ32 QQ42 RR05 RR06 RR07 RR08 5B057 AA03 BA02 DA08 DB02 DB06 DB09 DC03 DC09 DC22 DC33 5L096 AA02 AA06 BA03 CA17 DA02 EA12 FA66
Claims (21)
- 【請求項１】 間隙を有する部材に光を照射しカラー干
渉縞を生じさせる工程と、 前記干渉縞をカラーカメラで撮像して得た画像の所定位
置における複数の色光の各強度を求め、得られた各強度
の実測比率を算出する工程と、 予め設定した複数の間隙値を基に前記各色光に対応した
干渉縞の強度から計算した理論比率と前記実測比率とに
基づいて前記部材が有する間隙の値を求める工程と、 を備えたことを特徴とする間隙測定方法。 - 【請求項２】 前記干渉縞を前記部材を透過する透過光
を利用して得ることを特徴とする請求項１記載の間隙測
定方法。 - 【請求項３】 前記干渉縞を前記部材からの反射光を利
用して得ることを特徴とする請求項１記載の間隙測定方
法。 - 【請求項４】 前記部材に作用する光が異なる複数の色
光の合成光であることを特徴とする請求項２又は３のい
ずれかに記載の間隙測定方法。 - 【請求項５】 前記部材に作用する光が白色光であり、
前記カラーカメラ側に異なる複数の色光を取り込むフィ
ルタを備えることを特徴とする請求項２又は３のいずれ
かに記載の間隙測定方法。 - 【請求項６】 前記カラーカメラで撮像して得た画像に
おける前記各色光の強度を、各色光に対する変動要素を
考慮して補正することを特徴とする請求項１乃至５のい
ずれかに記載の間隙測定方法。 - 【請求項７】 前記画像を複数の画素から構成し、間隙
の測定を各画素毎に行うことを特徴とする請求項１乃至
６のいずれかに記載の間隙測定方法。 - 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれかに記載の間隙
測定方法を用いて、間隙を構成する部材の一方を表面が
平坦な板状体にして測定を行い、得られた間隙測定値を
基に前記間隙を構成する他方の部材の形状を決定するこ
とを特徴とする形状測定方法。 - 【請求項９】 光透過性を有する測定対象物に対して異
なる複数の色光を照射する光源と、 前記測定対象物を透過した光によって形成される干渉縞
を撮像するカラーカメラと、 前記カラーカメラによって撮像された画像データを記憶
する画像メモリと、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象
物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、 を備えたことを特徴とする間隙測定装置。 - 【請求項１０】 光透過性を有する測定対象物に対して
光を照射する光源と、 前記測定対象物を透過した光によって形成される干渉縞
を撮像するカラーカメラと、 前記カラーカメラに異なる複数の色光を取り込ませるフ
ィルタと、 前記カラーカメラによって撮像された画像データを記憶
する画像メモリと、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象
物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、 を備えたことを特徴とする間隙測定装置。 - 【請求項１１】 異なる複数の色光を射出する光源と、 光の干渉縞を撮像するカラーカメラと、 前記光源からの光を測定対象物の方向に向けその光の前
記測定対象物による反射光を前記カラーカメラの方向に
向ける光学手段と、 前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前記カ
ラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メモリ
と、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象
物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、 を備えたことを特徴とする間隙測定装置。 - 【請求項１２】 光を射出する光源と、 光の干渉縞を撮像するカラーカメラと、 前記カラーカメラに異なる複数の色光を取り込ませるフ
ィルタと、 前記光源からの光を測定対象物の方向に向けその光の前
記測定対象物による反射光を前記カラーカメラの方向に
向ける光学手段と、 前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前記カ
ラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メモリ
と、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象
物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、 を備えたことを特徴とする間隙測定装置。 - 【請求項１３】 前記カラーカメラで撮像して得た画像
の前記各色光の強度を、各色光に対する変動要素を考慮
して補正する補正手段を備えたことを特徴とする請求項
９乃至１２のいずれかに記載の間隙測定装置。 - 【請求項１４】 光透過性を有する測定対象物に対して
異なる複数の色光を照射する光源と、 前記測定対象物に対して間隙を有して配置される表面が
平坦な光透過性板状体と、 前記測定対象物及び前記光透過性板状体を透過した光で
形成される干渉縞を撮像するカラーカメラと、 前記カラーカメラによって撮像された画像データを記憶
する画像メモリと、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象
物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、 前記間隙値比較決定手段によって得られた間隙値を基に
前記測定対象物の形状を決定する間隙値／形状変換手段
と、 を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 【請求項１５】 光透過性の測定対象物に対して光を照
射する光源と、 前記測定対象物に対して間隙を有して配置される表面が
平坦な光透過性板状体と、 前記測定対象物及び前記光透過性板状体とを透過した光
で形成される干渉縞を撮像するカラーカメラと、 前記カラーカメラに異なる複数の色光を取り込ませるフ
ィルタと、 前記カラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像
メモリと、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象
物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、 前記間隙値比較決定手段によって得られた間隙値を基に
前記測定対象物の形状を決定する間隙値／形状変換手段
と、 を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 【請求項１６】 異なる複数の色光を射出する光源と、 測定対象物に対して間隙を有して配置される表面が平坦
な光透過性板状体と、 光の干渉縞を撮像するカラーカメラと、 前記光源からの光を前記測定対象物及び前記光透過性板
状体の方向に向けその光の前記測定対象物及び光透過性
板状体による反射光を前記カラーカメラの方向に向ける
光学手段と、 前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前記カ
ラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メモリ
と、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象
物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、 前記間隙値比較決定手段で得られた間隙値を基に前記測
定対象物の形状を決定する間隙値／形状変換手段と、 を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 【請求項１７】 光を射出する光源と、 測定対象物に対して間隙を有して配置される表面が平坦
な光透過性板状体と、 光の干渉縞を撮像するカラーカメラと、 前記カラーカメラに異なる複数の色光を取り込ませるフ
ィルタと、 前記光源からの光を測定対象物及び前記光透過性板状体
の方向に向けその光の前記測定対象物及び前記光透過性
板状体による反射光を前記カラーカメラの方向に向ける
光学手段と、 前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前記カ
ラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メモリ
と、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の間隙値に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記間隙値との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記測定対象
物が有する間隙の値を決定する間隙値比較決定手段と、 前記間隙値比較決定手段で得られた間隙値を基に前記測
定対象物の形状を決定する間隙値／形状変換手段と、 を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 【請求項１８】 異なる複数の色光の合成光を射出する
光源と、 光の干渉縞を撮像するカラーカメラと、 光を反射させる参照反射部材と、 前記光源からの光を物体光として測定対象物の方向に向
けてその物体光の前記測定対象物で反射した反射光を前
記カラーカメラの方向に向けるとともに、前記光源から
の光を参照光として前記参照反射部材の方向に向けてそ
の参照光の前記参照反射部材で反射した反射光を前記カ
ラーカメラの方向に向ける光学手段と、 前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前記カ
ラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メモリ
と、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の光路差に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記光路差との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記光学手段
から前記測定対象物までの間と前記光学手段から前記参
照反射部材までの間の光路差を決定する光路差比較決定
手段と、 前記光路差比較決定手段で得られた光路差を基に前記測
定対象物の形状を決定する光路差／形状変換手段と、 を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 【請求項１９】 光を射出する光源と、 光の干渉縞を撮像するカラーカメラと、 前記カラーカメラに異なる複数の色光を取り込ませるフ
ィルタと、 光を反射させる参照反射部材と、 前記光源からの光を物体光として測定対象物の方向に向
けてその物体光の前記測定対象物で反射した反射光を前
記カラーカメラの方向に向けるとともに、前記光源から
の光を参照光として前記参照反射部材の方向に向けてそ
の参照光の前記参照反射部材で反射した反射光を前記カ
ラーカメラの方向に向ける光学手段と、 前記光学手段からの光により形成された干渉縞の前記カ
ラーカメラで撮像した画像データを記憶する画像メモリ
と、 前記画像データの所定位置における前記各色光の強度を
求め、前記各色光の強度の実測比率を算出する演算手段
と、 予め設定した複数の光路差に基づく干渉縞強度の前記各
色光間の理論比率を前記光路差との関係に基づいて記憶
した参照データメモリと、 前記実測比率と前記理論比率とに基づいて前記光学手段
から前記測定対象物までの間と前記光学手段から前記参
照反射部材までの間の光路差を決定する光路差比較決定
手段と、 前記光路差比較決定手段で得られた光路差を基に前記測
定対象物の形状を決定する光路差／形状変換手段と、 を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 【請求項２０】 前記カラーカメラで撮像して得た画像
の前記各色光の強度を、各色光に対する変動要素を考慮
して補正する補正手段を備えたことを特徴とする請求項
１４乃至１９のいずれかに記載の形状測定装置。 - 【請求項２１】 ２つの基板の間隙に液晶を注入して封
止する液晶装置の製造方法において、 請求項９乃至１３のいずれかの間隙測定装置を利用して
前記間隙の間隙値を測定し、その間隙値が規定の範囲内
にある場合に、前記間隙に液晶を注入することを特徴と
する液晶装置の製造方法。
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