JP2002203889A

JP2002203889A - 被処理体の真空保持装置

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Publication number: JP2002203889A
Application number: JP2000399183A
Authority: JP
Inventors: Shuji Akiyama; 収司秋山; Hiroki Hosaka; 広樹保坂
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2000-12-27
Filing date: 2000-12-27
Publication date: 2002-07-19
Anticipated expiration: 2020-12-27
Also published as: JP4727810B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】移動体に搭載する低容量の電源でも排気流量を
十分に確保することができ、被処理体を確実に真空吸着
することができる被処理体の真空保持装置を提供するこ
と。【解決手段】被処理体の真空保持装置３８は、ウエハを
吸着保持するアーム３４１と、アーム３４１内に形成さ
れ且つその吸着面で開口する排気路３４１Ｃと、排気路
３４１Ｃに配管３４４Ａを介して連結された真空吸着機
構３４３とを備え、真空吸着機構は、搭載バッテリ（図
示せず）で駆動するコンプレッサ３４４と、コンプレッ
サ３４４から圧送される空気を圧縮空気として貯留する
空気タンク３４５と、空気タンク３４５内から流出する
圧縮空気の圧力を調整する空気圧調整機構３４６と、空
気圧調整機構３４６から供給される圧力空気を噴出させ
るエジェクタ３４７とを有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理体の真空保
持装置に関し、更に詳しくは自動搬送装置等の移動体に
搭載される被処理体の真空保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体装置の検査工程では半導体
ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称す。）の検査装置と
してプローバが広く用いられている。プローバは、通
常、ローダ室とプローバ室とを備え、ウエハ状態でデバ
イスの電気的特性検査を行う。ローダ室は、複数（例え
ば、２５枚）のウエハが収納されたキャリアを載置する
キャリア載置部と、キャリア載置部からウエハを一枚ず
つ搬送するウエハ搬送機構（以下、「ピンセット」と称
す。）と、ピンセットを介して搬送されるウエハのプリ
アライメントを行うプリアライメント機構（以下、「サ
ブチャック」と称す。）とを備えている。また、プロー
バ室は、ウエハを載置してＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動
する載置台（以下、「メインチャック」と称す。）と、
メインチャックと協働してウエハのアライメントを行う
アライメント機構と、メインチャックの上方に配置され
たプローブカードと、プローブカードとテスタ間に介在
するテストヘッドとを備えている。

【０００３】従って、ウエハの検査を行う場合には、ま
ずオペレータがロット単位で複数のウエハが収納された
キャリアをローダ室のキャリア載置部に載置する。次い
で、プローバが駆動すると、ピンセットがキャリア内の
ウエハを一枚ずつ取り出し、サブチャックを介してプリ
アライメントを行った後、ピンセットを介してプローバ
室内のメインチャックへウエハを引き渡す。ローダ室で
はメインチャックとアライメント機構が協働してウエハ
のアライメントを行う。アライメント後のウエハをメイ
ンチャックを介してインデックス送りしながらプローブ
カードと電気的に接触させて所定の電気的特性検査を行
う。ウエハの検査が終了すれば、メインチャック上のウ
エハをローダ室のピンセットで受け取ってキャリア内の
元の場所に戻した後、次のウエハの検査を上述の要領で
繰り返す。キャリア内の全てのウエハの検査が終了すれ
ば、オペレータが次のキャリアと交換し、新たなウエハ
について上述の検査を繰り返す。

【０００４】しかしながら、例えば３００ｍｍウエハの
ように大口径化すると、複数枚のウエハが収納されたキ
ャリアは極めて重いため、オペレータがキャリアを持ち
運ぶことが殆ど不可能に近くなって来ている。また、持
ち運びできたとしても重量物であるため一人での持ち運
びには危険を伴う。このようなことはプローバに限らず
半導体製造装置一般に云えることでもある。

【０００５】そこで、特開平１０−３０３２７０号公報
では自動搬送車（以下、「ＡＧＶ」と称す。）を使って
キャリアをロット単位で搬送する方法が提案されてい
る。この搬送方法を用いればウエハの搬送は解決するこ
とができる。

【発明が解決しようとする課題】

【０００６】しかしながら、ウエハの大口径化及びデバ
イスの超微細化により一枚のウエハに形成されるデバイ
スの数が飛躍的に増え、一枚のウエハの検査を終えるに
も長時間を要する上に、ロット単位でウエハの検査を行
うと全てのウエハの検査を終了するまで検査済みのウエ
ハまでプローバ（キャリア）内に止め置くことになり、
ロット単位のウエハを後工程に廻す時間がそれだけ遅延
し、結果的にＴＡＴ（Turn-Around-Time）の短縮が難し
い。

【０００７】そこで、ウエハを一枚ずつ複数のプローバ
に分散して複数のプローバでウエハを並行処理し、検査
を終えたウエハを順次取り出してロット毎にキャリアに
纏め、纏まったウエハをキャリア単位で次工程へ廻すこ
とでＴＡＴを短縮することができる。この場合にはウエ
ハを一枚ずつ受け渡すためにＡＧＶにもピンセットを搭
載する必要がある。しかしながら、ピンセットを用いて
ウエハを一枚ずつアーム上に保持するためには、真空吸
着機構が必要になる。真空吸着機構としては例えばコン
プレッサとエジェクタを用いた機構が簡便で好ましい
が、ＡＧＶに搭載できるコンプレッサの駆動源であるバ
ッテリの電源容量には限界があり、真空吸着に必要な排
気流量を十分に確保することができないという課題があ
った。

【０００８】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、移動体に搭載する低容量の電源でも排気流
量を十分に確保することができ、被処理体を確実に真空
吸着することができる被処理体の真空保持装置を提供す
ることを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の被処理体の真空保持装置は、被処理体を吸着保持する
アームと、このアーム内に形成され且つ上記アームの吸
着面で開口する排気路と、この排気路に連通管を介して
連結された真空吸着機構とを備え、移動体に搭載して使
用する被処理体の真空保持装置であって、上記真空吸着
機構は、搭載電源で駆動するコンプレッサと、このコン
プレッサから圧送される気体を圧縮気体として貯留する
容器と、この容器内から流出する圧縮気体の圧力を調整
する気体圧調整手段と、この気体圧調整手段から供給さ
れる圧力気体を噴出させる手段とを有することを特徴と
するものである。

【００１０】また、本発明の請求項２に記載の被処理体
の真空保持装置は、請求項１に記載の発明において、上
記移動体が自動搬送車であることを特徴とする被処理体
のものである。

【００１１】また、本発明の請求項３に記載の被処理体
の真空保持装置は、請求項１または請求項２に記載の発
明において、上記アームを複数有することを特徴とする
ものである。

【００１２】また、本発明の請求項４に記載の被処理体
の真空保持装置は、請求項１〜請求項３のいずれか１項
に記載の発明において、上記連通管を開閉する第１の開
閉弁を上記気体圧調整手段と上記噴出手段の間に設けた
ことを特徴とするものである。

【００１３】また、本発明の請求項５に記載の被処理体
の真空保持装置は、請求項１〜請求項４のいずれか１項
に記載の発明において、上記連通管を開閉する第２の開
閉弁を上記アームと上記噴出手段の間に設けたことを特
徴とするものである。

【００１４】また、本発明の請求項６に記載の被処理体
の真空保持装置は、請求項５に記載の発明において、上
記アームと第２の開閉弁の間で上記排気路内の圧力を検
出する手段を設けたことを特徴とするものである。

【００１５】また、本発明の請求項７に記載の被処理体
の真空保持装置は、請求項６に記載の発明において、上
記圧力検出手段は、上記アーム上における上記被処理体
の有無を検出する第１の圧力手段と、上記排気路内の圧
力漏れを検出する第２の圧力検出手段を有し、上記第２
の開閉弁は、上記第２の圧力検出手段の検出結果に基づ
いて開閉することを特徴とする被処理体の真空保持装
置。

【００１６】また、本発明の請求項８に記載の被処理体
の真空保持装置は、請求項１〜請求項７のいずれか１項
に記載の発明において、上記気体圧調整手段と上記噴出
手段の間に上記連通管内の圧力を検出する第３の圧力検
出手段を設け、上記第３の圧力検出手段の検出結果に基
づいて上記コンプレッサを駆動させることを特徴とする
被処理体の真空保持装置。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図１６に示す実施形
態に基づいて本発明を説明する。まず、本実施形態の被
処理体の真空保持装置を適用した被処理体（以下、「ウ
エハ」と称す。）を搬送する搬送システムについて説明
する、この搬送システムＥは、図１の（ａ）、（ｂ）に
示すように、ウエハ（図示せず）の検査工程を含む工場
全体を生産管理するホストコンピュータ１と、このホス
トコンピュータ１の管理下でウエハの電気的特性検査を
行う複数の検査装置（例えば、プローバ）２と、これら
のプローバ２に対してそれぞれの要求に応じてウエハを
一枚ずつ自動搬送する複数の自動搬送装置３と、これら
のＡＧＶ３を制御する搬送制御装置（以下、「ＡＧＶコ
ントローラ」と称す。）４とを備えている。プローバ２
とＡＧＶ３は、ＳＥＭＩ規格Ｅ２３やＥ８４に基づく光
結合された並列Ｉ／Ｏ（以下、「ＰＩＯ」と称す。）イ
ンターフェースを有し、両者間でＰＩＯ通信を行うこと
によりウエハＷを一枚ずつ受け渡すようにしてある。こ
のプローバ２はウエハＷを一枚ずつ枚葉単位で受け取っ
て検査を行うため、枚葉式プローバ２として構成されて
いる。以下では枚葉式プローバ２を単にプローバとして
説明する。また、ＡＧＶコントローラ４はホストコンピ
ュータ１とＳＥＣＳ(Semiconductor Equipment Communi
cation Standard)通信回線を介して接続され、ホストコ
ンピュータ１の管理下でＡＧＶ３を無線通信を介して制
御すると共にウエハＷをロット単位で管理している。

【００１８】また、図１に示すように、複数のプローバ
２はグループコントローラ５を介してホストコンピュー
タ１とＳＥＣＳ通信回線を介して接続され、ホストコン
ピュータ１はグループコントローラ５を介して複数のプ
ローバ２を管理している。グループコントローラ５は、
プローバ２のレシピデータやログデータ等の検査に関す
る情報を管理している。また、各プローバ２にはそれぞ
れテスタ６がＳＥＣＳ通信回線を介して接続され、各プ
ローバ２はそれぞれのテスタ６からの指令に従って所定
の検査を個別に実行する。これらのテスタはテスタホス
ト７を介してホストコンピュータ１とＳＥＣＳ通信回線
を介して接続され、ホストコンピュータ１はテスタホス
トコンピュータ（以下、「テスタホスト」と称す。）７
を介して複数のテスタ６を管理している。また、ホスト
コンピュータ１にはウエハの検査結果に基づいて所定の
マーキングを行うマーキング装置８がマーキング指示装
置９を介して接続されている。マーキング指示装置９は
テスタホスト７のデータに基づいてマーキング装置８に
対してマーキングを指示する。更に、ホストコンピュー
タ１には複数のキャリアＣを保管するストッカ１０がＳ
ＥＣＳ通信回線を介して接続され、ストッカ１０はホス
トコンピュータ１の管理下で検査の前後のウエハをキャ
リア単位で保管、分類すると共にキャリア単位でウエハ
の出し入れを行う。

【００１９】而して、プローバ２は、図２の（ａ）に示
すように、ローダ室２１と、プローバ室２２とを備えて
いる。ローダ室２１はアダプタ２３、ピンセット２４及
びサブチャック２５を有し、アダプタ２３を除き従来の
プローバに準じて構成されている。アダプタ２３はＡＧ
Ｖ３との間でウエハＷを一枚ずつ受け渡す第１の受け渡
し機構として構成されている。アダプタ２３の詳細は後
述する。ピンセット２４は、上下二段のアーム２４１を
有し、それぞれのアーム２４１でウエハＷを真空吸着し
て保持し、真空吸着を解除することでアダプタ２３との
間でウエハの受け渡しを行い、受け取ったウエハＷをプ
ローバ室２２へ搬送する。サブチャック２５はピンセッ
ト２４でウエハＷを搬送する間にオリフラを基準にプリ
アライメントを行う。また、プローバ室２２はウエハチ
ャック２６、アライメント機構２７及びプローブカード
２８を有している。メインチャック２６はＸ、Ｙテーブ
ル２６１を介してＸ、Ｙ方向へ移動すると共に図示しな
い昇降機構及びθ回転機構を介してＺ及びθ方向へ移動
する。アライメント機構２７は、従来公知のようにアラ
イメントブリッジ２７１、ＣＣＤカメラ２７２等を有
し、メインチャック２６と協働してウエハＷとプローブ
カード２８とのアライメントを行う。プローブカード２
８は複数のプローブ２８Ａを有し、プローブ２８Ａとメ
インチャック２６上のウエハが電気的に接触し、テスト
ヘッド（図示せず）を介してテスタ６と接続される。
尚、ピンセット２４は上下二段のアーム２４１を有して
いるため、以下では必要に応じて上段のアームをアーム
２４１Ａ、下段のアームを２４１Ｂとして説明する。

【００２０】アダプタ２３は本実施形態に固有の機器で
ある。このアダプタ２３は、図２の（ｂ）に示すよう
に、偏平な筒状に形成され且つテーパ面を有するアダプ
タ本体２３１と、アダプタ本体２３１の底面中央で昇降
するサブチャック２３２とを備え、ＡＧＶ３との間ある
いはピンセット２４との間でウエハＷを受け渡す際にサ
ブチャック２３２が昇降すると共にウエハＷを吸着保持
できるようにしてある。このアダプタ２３は、例えばキ
ャリアテーブル（図示せず）に着脱可能に配設され、キ
ャリアテーブルのインデクサ（図示せず）を介して昇降
するようになっている。キャリアテーブルはキャリアも
配置可能に構成され、キャリアあるいはアダプタ２３を
判別する判別センサ（図示せず）を有している。従っ
て、ウエハＷを受け渡す際に、アダプタ２３がインデク
サを介して上昇すると共に、図２の（ｂ）に示すように
サブチャック２３２がウエハＷの受け渡し位置まで上昇
し、ウエハＷを受け取った後、同図に二点鎖線で示す位
置まで下降してアダプタ本体２３１を介してウエハＷの
センタリングを行う。

【００２１】また、ＡＧＶ３は、図１の（ｂ）、図２の
（ａ）、（ｂ）に示すように、装置本体３１と、装置本
体３１の一端部に配置され且つキャリアＣを載置する昇
降可能なキャリア載置部３２と、キャリア内でのウエハ
の収納位置を検出するマッピングセンサ３３と、キャリ
アＣ内のウエハを搬送するピンセット３４と、ウエハＷ
のプリアライメントを行うサブチャック３５と、光学式
のプリアライメントセンサ３６（図１１参照）と、ウエ
ハＷのＩＤコード（図示せず）を読み取る光学式文字読
取装置（ＯＣＲ）３７と、駆動源となるバッテリ（図示
せず）とを備え、ＡＧＶコントローラ４との無線通信を
介してストッカ１０とプローバ２間や複数のプローバ２
間を自走してキャリアＣを搬送し、ピンセット３４を介
してキャリアＣのウエハ２Ｗを複数のプローバ２に対し
て一枚ずつ配るようにしてある。

【００２２】ピンセット３４はＡＧＶ３に搭載されたウ
エハ搬送機構である。このピンセット３４はウエハＷの
受け渡し時に回転及び昇降可能に構成されている。即
ち、ピンセット３４は、図２の（ａ）、（ｂ）に示すよ
うに、ウエハＷを真空吸着する上下二段のアーム３４１
を有する真空保持装置３８と、これらのアーム３４１を
前後動可能に支持する正逆回転可能な基台３４２と、基
台３４２内に収納された駆動機構（図示せず）とを備
え、ウエハＷを受け渡す際に後述のように上下のアーム
３４１が駆動機構を介して基台３４２上で個別に前後へ
移動し、ウエハＷを受け渡す方向へ基台３４２が正逆回
転する。尚、以下では、必要に応じて上段のアームをア
ーム３４１Ａ、下段のアームを３４１Ｂとして説明す
る。

【００２３】しかし、ＡＧＶ３に搭載可能なコンプレッ
サは搭載バッテリを電源にしているが、前述したように
バッテリとしては例えばせいぜい２５Ｖ程度の低容量も
のしか搭載することができないため、ピンセット３４の
真空吸着機構としては利用するには空気流量が不足す
る。即ち、ＡＧＶ３の搭載バッテリを電源とする小型の
コンプレッサ３４４で空気をそのままエジェクタ３４７
Ａから排気してもコンプレッサ３４４の空気流量が小さ
いため、アーム３４１の排気路３４１Ｃ内の空気を十分
に吸引排気することができず、アーム３４１上にウエハ
Ｗを真空吸着することができない。そこで、本実施形態
の被処理体の真空保持装置３８に以下のような特殊な工
夫を施すことで流量不足を補っている。

【００２４】即ち、本実施形態の真空保持装置３８は、
図３、図４に示すように、ウエハＷを吸着保持する上下
二段のアーム３４１と、これらのアーム３４１内に形成
された且つウエハＷの吸着面で開口する排気路３４１Ｃ
と、この排気路３４１Ｃに配管３４４Ａを介して連結さ
れた真空吸着機構３４３とを備え、ＡＧＶコントローラ
４の制御下で駆動する。この真空吸着機構３４３は、搭
載バッテリで駆動するコンプレッサ３４４と、このコン
プレッサ３４４から圧送される空気を所定の圧力（例え
ば、０．４５ＭＰａ）で圧縮空気として貯留する空気タ
ンク３４５と、この空気タンク３４５から流出する圧縮
空気の圧力を調整する気体圧調整機構３４６と、この気
体圧調整機構３４６から供給される圧力空気を噴出させ
るエジェクタ３４７Ａとを備えている。

【００２５】コンプレッサ３４４は空気を圧送して所定
圧力で圧縮空気を空気タンク３４５内に一旦貯留する。
ＡＧＶ３の搭載バッテリを電源とする小型のコンプレッ
サ３４４の空気流量が小さくても所定量の圧縮空気で空
気タンク３４５内に一旦貯留することによってウエハＷ
の真空吸着に必要な空気流量を確保することができる。
即ち、空気タンク３４５内に貯留された圧縮空気を利用
することによりウエハＷの真空吸着に必要な空気流量を
確保することができる。気体圧調整機構３４６は、図４
に示すように、エアフィルタ３４６Ａ、減圧弁３４６
Ｂ、及び圧力計３４６Ｃを有し、空気タンク３４５内の
圧縮空気を貯留すると共にウエハＷの真空吸着に必要な
一定の流量で圧縮空気をエジェクタ３４７Ａから外部へ
排気する。尚、図３の配管３４４Ａの斜線部分は減圧部
分である。

【００２６】また、真空吸着機構３４３は、気体圧調整
機構３４６とエジェクタ３４７Ａの間に配設された配管
３４４Ａを開閉する切換弁３４７と、アーム３４１とエ
ジェクタ３４７Ａの間に配設された配管３４４Ａを開閉
するパイロット付き逆止弁３４８と、アーム３４１とパ
イロット付き逆止弁３４８の間に配設された排気路３４
１Ｃ内の圧力を検出する圧力センサ３４９とを備え、ア
ーム３４１でウエハＷを保持し解放するように構成され
ている。

【００２７】切替弁３４７は図４に示すようにソレノイ
ドバルブによって構成され、ソレノイドが付勢されると
気体圧調整機構３４６とアーム３４１とを連通し、それ
以外の時は気体圧調整機構３４６をアーム３４１から遮
断する。従って、切替弁３４７が付勢される気体圧調整
機構３４６から一定圧の空気が流れ、エジェクタ３４７
Ａから空気を排気すると共にアーム３４１の排気路３４
１Ｃから空気を吸引して排気する。この時、アーム３４
１でウエハＷを保持していると、アーム３４１の排気路
３４１Ｃの開口部をウエハＷで閉じているため、排気路
３４１Ｃ（図４では配管３４４Ａの減圧部分も排気路３
４１Ｃとして示してある）内は減圧状態になってウエハ
Ｗをアーム３４１上に真空吸着することになる。この時
の真空度を圧力センサ３４９が検出し、この検出値に基
づいてソレノイドバルブ３４７ＡのＯＮ、ＯＦＦを制御
する。また、空気タンク３４５内の空気が消費されるこ
とで圧力計３４６Ｃの検出値に基づいてコンプレッサ３
４４のＯＮ、ＯＦＦを制御する。また、パイロット付き
逆止弁３４８はソレノイドが付勢されるとアーム３４１
の排気路３４１Ｃをエジェクタ３４７Ａ側に連通して排
気路３４１Ｃから空気を吸引し、ソレノイドが付勢状態
でなくなるとパイロット付き逆止弁３４８が排気路３４
１Ｃを閉じて所定の減圧度を保持する。アーム３４１で
の真空吸着を解除する時にはパイロット付き逆止弁３４
８のソレノイドを付勢して排気路３４１Ｃとエジェクタ
３４７Ａを連通させて排気路３４１Ｃを大気に開放すれ
ば良い。

【００２８】また、圧力センサ３４９は、図４に示すよ
うに、第１圧力スイッチ３４９Ａ及び第２圧力スイッチ
３４９Ｂを有し、それぞれ異なった圧力を検出する。第
１圧力スイッチ３４９Ａはアーム３４１上のウエハＷの
有無を検出するセンサで、排気路３４１Ｃ内の圧力が例
えば大気圧より２５ｋＰａ低い圧力を検出し、この検出
値に基づいてウエハＷの存在の有無を知らせる。また、
第２圧力スイッチ３４９Ｂは排気路３４１Ｃ内の圧力漏
れを検出するセンサで、排気路３４１Ｃ内の圧力が例え
ば大気圧より４０ｋＰａ低い圧力を検出し、内圧がこの
検出値より高くなった時点で圧力漏れのあることを知ら
せる。第２圧力スイッチ３４９Ｂが圧力漏れを検出する
と、即ち排気路３４１Ｃ内の圧力が高くなると（真空度
が低下すると）、第２圧力スイッチ３４９Ｂの検出結果
に基づいてソレノイドバルブ３４７を付勢してパイロッ
ト付きパイロット付き逆止弁３４８が開いて圧縮空気を
エジェクタ３４７Ａから排気することにより排気路３４
１Ｃ内の減圧を行い、第２圧力スイッチ３４９Ｂの圧力
が大気圧より４０ｋＰａ以上低い圧力に達したらソレノ
イドバルブ３４７をＯＦＦすると共にパイロット付きパ
イロット付き逆止弁３４８が閉じて減圧状態を保持す
る。また、圧力計３４６Ｃの値が所定の値を下回った場
合には、コンプレッサ３４４が駆動して空気タンク３４
５内に圧縮空気を補充する。

【００２９】而して、ＡＧＶ３がプローバ２のウエハＷ
の受け渡し位置に到達すると、ＡＧＶ３においてピンセ
ット３４が駆動してキャリアＣ内のウエハＷを一枚ずつ
取り出す。ところが、図５に示すようにキャリアＣの内
面には例えば上下方向に２５段の溝Ｃ１が形成され、こ
れらの溝Ｃ１にそれぞれウエハＷを挿入して水平に収納
している。そのため、ウエハＷはキャリアＣ内の溝Ｃ１
に左右にゆとりを持って挿入されウエハＷの左右に隙間
があるため、ピンセット３４を用いてキャリアＣからウ
エハＷを取り出した後、例えば光学式のセンサを用いて
センタリングを行う必要がある。ところが、本実施形態
ではキャリアＣを利用してウエハＷのセンタリングを行
う。

【００３０】即ち、キャリアＣは、図５に示すように、
キャリアＣの背面に背面に向けて側面が徐々に狭くなる
傾斜面Ｃ２が左右対称に形成されている。そこで、ウエ
ハＷのセンタリングを行う際にこの傾斜面Ｃ２を利用す
る。例えば、図５に示すようにピンセット３４を駆動
し、真空吸着機構３４３をＯＦＦの状態にしてアーム３
４１を所定のウエハＷの下側からカセットＣ内へ挿入す
る。この間にピンセット３４ＷＰが僅かに持ち上げてア
ーム３４１上にウエハＷを載せる。この状態でアーム３
４１をキャリアＣ内の奥へ更に挿入すると、アーム３４
１を介してウエハＷが同図の破線で示す位置から奥に移
動する間にキャリアＣの左右の傾斜面Ｃ２と接触して止
まる一方、アーム３４１は奥に進入する。この際、左右
の傾斜面Ｃ２は左右対称になっているため、ピンセット
３４１がウエハＷをキャリアＣ内に押し込む間にアーム
３４１上のウエハＷを左右の傾斜面Ｃ２に接触させて自
動的にセンタリングを行うことができる。センタリング
後に真空吸着機構３４３が駆動してウエハＷをアーム３
４１で吸着保持する。この状態でアーム３４１がキャリ
アＣ内から後退し、ウエハＷをキャリアＣから取り出
す。ピンセット３４は上述のようにしてキャリアＣから
一枚のウエハＷを取り出すと、９０°回転してプローバ
２のアダプタ２３にウエハＷを受け渡す。

【００３１】ＡＧＶ３のピンセット３４がプローバ２の
アダプタ２３との間でウエハＷの受け渡しを行う際に
は、前述のようにプローバ２とＡＧＶ３間で光結合ＰＩ
Ｏ通信を行う。そのため、ＡＧＶ３とプローバ２はそれ
ぞれＰＩＯ通信インターフェースを備え、互いにＰＩＯ
通信利用して一枚のウエハＷの受け渡しを正確に行うよ
うにしてある。ＡＧＶ３は従来にないピンセット３４を
備えているため、従来のＳＥＭＩ規格で規定された通信
回線に加えて、ピンセット３４の真空吸着機構３４３を
制御するための信号回線及びアーム３４１を制御するた
めの信号回線を有している。

【００３２】また、プローバ２は前述のようにウエハＷ
の受け渡しのためのロードポートとして一つのアダプタ
（以下では、必要に応じて「ロードポート」とも称
す。）２３を備えている。ところが、ロードポート２３
が一つの場合にはプローバ２では検査済みのウエハＷを
取り出すまでは次のウエハＷを投入することができず、
スループット向上に限界があった。そこで、本実施形態
では図６に示すようにソフトウエアによって実際のロー
ドポート（以下、「実ロードポート」と称す。）２３と
は別に仮想ロードポート２３Ｖを少なくとも一つプロー
バ２に設定し、あたかも複数のロードポートがあるかの
ごとく取り扱うようにしてある。即ち、ＡＧＶ３は、ウ
エハＷを受け渡す際に図６に示すようにプローバ２内に
検査済みのウエハＷが存在していても、光信号Ｌによる
ＰＩＯ通信を行う時にソフトウエアを介してＰＩＯ通信
インターフェースの信号回線のロードポート番号を切り
換え、プローバ２内にウエハＷが存在していても新たに
ウエハＷを投入することができる。

【００３３】ＡＧＶ３とプローバ２とのＰＩＯ通信を介
してプローバ２に仮想ロードポート２３Ｖを指定する
と、実ロードポート２３に検査済みのウエハＷを戻すこ
となく、例えばアンロード用のアーム２４１やアンロー
ドテーブル（図示せず）が仮想ロードポート２３Ｖとし
て機能し、これらで検査済みのウエハＷを保持し、アダ
プタ２３を空けておき次のウエハＷを待機することがで
きる。このように仮想ロードポート２３Ｖを設けること
で、アンロード用のアーム２４１やアンロードテーブル
（図示せず）をフルに活用することができ、スループッ
トの向上を図ることができ、余分な実ロードポートを設
ける必要がなく、フットプリントアップや装置のコスト
アップを防止することができる。

【００３４】ところで、本実施形態の搬送システムＥ
は、図１、図７に示すように、ＡＧＶ３のピンセット３
４とプローバ２のアダプタ２３との間でウエハＷを正確
に受け渡すために独自のＰＩＯ通信インターフェース１
１Ａ、１１Ｂを備えている。これらのＰＩＯ通信インタ
ーフェース１１Ａ、１１Ｂは、図７に示すように、それ
ぞれ８つのポートを有する８ビットで構成され、第１ビ
ットから第８ビットには同図に示す信号が割り振られて
いる。

【００３５】そこで、図７に示すＰＩＯ通信インターフ
ェース１１Ａ、１１Ｂを用いたＰＩＯ通信を利用したＡ
ＧＶ３とプローバ２間のウエハＷの受け渡し方法につい
て図８〜図１６を参照しながら説明する。図８〜図１２
はＡＧＶ３からプローバ３へウエハＷをロードする方法
を示し、図１３はプローバ２内のウエハＷの流れを示
し、図１４から図１６はプローバ２からＡＧＶ３へウエ
ハＷをアンロードする方法を示す。

【００３６】まず、ＡＧＶ３からプローバ２へウエハＷ
を受け渡すウエハのロード方法について説明する。ホス
トコンピュータ１がＳＥＣＳ通信を介してＡＧＶコント
ローラ４へウエハＷの搬送指令を送信すると、図８のフ
ローチャートに示すように、ＡＧＶ３はＡＧＶコントロ
ーラ４の制御下でプローバ２の前（ウエハ受け渡し位
置）へ移動する（ステップＳ１）。ＡＧＶ３が図１０の
（ａ）に示すようにプローバ２に到達すると、図１０の
（ｂ）に示すようにマッピングセンサ３３がキャリアＣ
側へ進出すると共にピンセット３４が昇降し、ピンセッ
ト３４が昇降する間にマッピングセンサ３３を介してキ
ャリアＣ内のウエハＷの収納状況をマッピングした後、
図１０の（ｃ）に示すようにピンセット３４の上段アー
ム３４１Ａが前進して所定のウエハＷの僅か下方からキ
ャリアＣ内に進入する。この間に図８のフローチャート
に示すようにアーム３４１ＡとキャリアＣを介してウエ
ハＷのセンタリングを行う（ステップＳ２）。即ち、図
１０の（ｃ）に示すようにアーム３４１ＡがキャリアＣ
の最奥部へ進入する間に、ピンセット３４が僅かに上昇
してアーム３４１Ａ上にウエハＷを載せ、そのままアー
ム３４１Ａが最奥部に到達する。この間にアーム３４１
ＡはウエハＷをキャリアＣの左右対称の傾斜面Ｃ２に接
触させてウエハＷのセンタリングを行う。次いで、ピン
セット３４の真空吸着機構３４３（図３、図４参照）が
駆動してアーム３４１ＡでウエハＷを真空吸着した後、
アーム３４１ＡがキャリアＣから後退してセンタリング
後のウエハＷをキャリアＣから取り出す（ステップＳ
２）。

【００３７】アーム３４１ＡでウエハＷをキャリアＣか
ら取り出すと、図１０の（ｄ）に示すようにサブチャッ
ク３５が上昇してアーム３４１からウエハＷを受け取っ
た後、サブチャック２５が回転する間にプリアライメン
トセンサ３６を介してウエハＷのプリアライメントを行
う。引き続き、図１０の（ｅ）に示すようにサブチャッ
ク３５が回転を停止した後下降し、ウエハＷをアーム３
４１Ａへ戻す間にピンセット３４が上昇しＯＣＲ３７で
ウエハＷに附されたＩＤコードを読み取ってウエハＷの
ロットを識別した後、図１０の（ｆ）に示すようにピン
セット３４が９０°回転してプローバ２のアダプタ２３
にアーム３４１の向きを合わせ、図１１の（ａ）に示す
状態になる。ＯＣＲ３７で識別されたウエハＷのＩＤコ
ードは後述の光通信によってＡＧＶ３からプローバ２に
通知する。

【００３８】次いで、図８、図９に示すようにＡＧＶ３
とプローバ２間の光結合ＰＩＯ通信を開始する。まず、
図８、図９に示すようにＡＧＶ３はプローバ２に対して
Ｈｉｇｈ状態のＣＳ_０信号を送信した後、Ｈｉｇｈ状
態のＶＡＬＩＤ信号を送信する。ＣＳ_０信号がＨｉｇ
ｈ状態で有効であればＶＡＬＩＤ信号はＨｉｇｈ状態を
維持し、プローバ２のアダプタ（ロードポート）２３が
ウエハＷの受け取り可能な状態を確認する（ステップＳ
３）。プローバ２はＶＡＬＩＤ信号を受信すると図９に
示すようにプローバ２のＬ_ＲＥＱ信号がＨｉｇｈ状態
になってＡＧＶ３へＬ_ＲＥＱ信号を送信してウエハロ
ードのための搬送を指示する。

【００３９】ＡＧＶ３は図８に示すようにＬ_ＲＥＱ信
号を受信したか否かを判断し（ステップＳ４）、ＡＧＶ
３がＬ_ＲＥＱ信号を受信していないと判断すると、プ
ローバ２はＡＧＶ３へＬ_ＲＥＱ信号を送信する（ステ
ップＳ５）。ＡＧＶ３がＬ_ＲＥＱ信号を受信した旨判
断すると、ウエハＷの搬送を開始するためにＡＧＶ３の
ＴＲ_ＲＥＱ信号がＨｉｇｈ状態になってプローバ３へ
ＴＲ_ＲＥＱ信号を送信し（ステップＳ６）、ＡＧＶ３
はプローバ２に対してウエハＷの搬送を開始する旨通知
する。プローバ２は図９に示すようにＴＲ_ＲＥＱ信号
を受信するとＲＥＡＤＹ信号がＨｉｇｈ状態になってＡ
ＧＶ３に対してＲＥＡＤＹ信号を送信し、ロードポート
２３がアクセス可能になっていることをＡＧＶ３に通知
する。

【００４０】ＡＧＶ３はプローバ２からＲＥＡＤＹ信号
を受信したか否かを判断し（ステップＳ７）、ＡＧＶ３
がＲＥＡＤＹ信号を受信していないと判断すると、プロ
ーバ２はＡＧＶ３へＲＥＡＤＹ信号を送信する（ステッ
プＳ８）。ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信した旨判断
すると、図９に示すようにＡＧＶ３ではＢＵＳＹ信号が
Ｈｉｇｈ状態になってプローバ３へその信号を送信し
（ステップＳ９）、プローバ２に対してウエハＷの搬送
を開始する旨通知する。

【００４１】次いで、ＡＧＶ３は図８に示すようにＡＥ
ＮＢ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ１
０）、ＡＧＶ３がＡＥＮＢ信号を受信していないと判断
すると、図９に示すようにプローバ２ではＡＥＮＢ信号
をＨｉｇｈ状態にして送信を開始する（ステップＳ１
１）。このＡＥＮＢ信号はＡＧＶ３からのＢＵＳＹ信号
がＨｉｇｈ状態になった後、ロード時にはアダプタ２３
のサブチャック２３２が下降位置にあってウエハＷを保
持していない時、つまりウエハＷをロードできる状態の
時にＨｉｇｈ状態になり、アンロード時にはサブチャッ
ク２３２が上昇位置にあってウエハＷを保持し、ウエハ
Ｗをアンロードできることを確認してＨｉｇｈ状態にな
る。また、ＡＥＮＢ信号はアダプタ２３内のサブチャッ
ク２３２の真空吸着センサでロード時にウエハＷを検出
してロードできない時にはＬｏｗ状態になり、アンロー
ド時にウエハＷを検出せず、アンロードできない時にＬ
ｏｗ状態になる。

【００４２】而して、ステップＳ１０においてＡＧＶ３
がＨｉｇｈ状態のＡＥＮＢ信号を受信した旨判断する
と、ＡＧＶ３からのウエハＷの搬送（ロード）を開始し
（ステップＳ１１）、図１１の（ａ）に示す状態からピ
ンセット３４の上段アーム３４１Ａがプローバ２のアダ
プタ２３に向けて進出し、同図の（ｂ）に示すようにウ
エハＷをロードポート２３の真上まで搬送する。

【００４３】次いで、ＡＧＶ３はプローバ２へＰＥＮＢ
信号を送信した後（ステップＳ１２）、プローバ２でウ
エハＷを検出してＡＥＮＢ信号がＬｏｗ状態で且つＬ_
ＲＥＱ信号がＬｏｗ状態であるか否かを判断し（ステッ
プＳ１３）、プローバ２がいずれの信号もＨｉｇｈ状態
でサブチャック２３２が下降位置でウエハＷが無く、ア
クセス可能状態である判断すると、図１１の（ｃ）に示
すようにサブチャック２３２が上昇すると共にピンセッ
ト３４の真空吸着機構３４３が真空吸着を解除する。Ｐ
ＥＮＢ信号はロード時には真空吸着機構３４３をＯＦＦ
にした時にＨｉｇｈ状態になる。また、ロードポート２
３内のサブチャック２３２は図９に示すように真空吸着
を行ってウエハＷを受け取る（ステップＳ１４）。引き
続き、図９に示すようにプローバ２がＡＥＮＢ信号をＬ
ｏｗ状態にしてＡＧＶ３へその信号を送信し、サブチャ
ック３２３でウエハＷを保持している旨通知する（ステ
ップＳ１５）。また、これと同時にプローバ２はＬ_Ｒ
ＥＱ信号をＬｏｗ状態にしてその信号をＡＧＶ３へ送信
し、Ｌｏｗでいない旨通知する（ステップＳ１６）。こ
れによりＡＧＶ３はこのプローバ２では現在のところ次
のウエハＷをロードでいないことを認識する。

【００４４】その後、ステップＳ１３へ戻り、再度プロ
ーバ２でウエハＷを検出してＡＥＮＢ信号がＬｏｗ状態
で且つＬ_ＲＥＱ信号がＬｏｗ状態であるか否かを判断
し、いずれの信号もＬｏｗ状態であり、ロードを終了し
た旨判断すると、アーム３４１Ａをロードポート２３か
らＡＧＶ３へ戻す（ステップＳ１７）。ＡＧＶ３ではア
ーム３４１Ａが戻るとＴＲ_ＲＥＱ信号、ＢＵＳＹ信
号、ＰＥＮＢ信号をいずれもＬｏｗ状態にしてそれぞれ
の信号をプローバ２へ送信し、ウエハＷのロードを終了
した旨通知する（ステップＳ１８）。

【００４５】次いで、ＡＧＶ３は図９に示すようにＣＯ
ＭＰＴ信号をＨｉｇｈ状態にしてプローバ２へ送信して
ウエハＷの搬送作業を完了した旨通知した後（ステップ
Ｓ１９）、ＡＧＶ３がプローバ２からＬｏｗ状態のＲＥ
ＡＤＹ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ２
０）、ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信していないと判
断すると、図９に示すようにプローバ２がＲＥＡＤＹ信
号をＬｏｗ状態してＡＧＶ３へ送信し、一連の搬送作業
が完了したことを通知する（ステップＳ２１）。ＡＧＶ
３がＬｏｗ状態のＲＥＡＤＹ信号を受信した旨判断する
と、図９に示すようにＡＧＶ３ではＣＳ_０信号、ＶＡ
ＬＩＤ信号をＬｏｗ状態にしてプローバ３へそれぞれの
信号を送信し（ステップＳ２２）、ウエハＷの搬送作業
を終了すると共に図１１の（ｄ）に示すようにピンセッ
ト３４を逆方向に９０°回転させ、ホストコンピュータ
１の指示を待って次のウエハＷの受け渡し態勢に入る。

【００４６】プローバ２では図１１の（ｅ）に示すよう
にアダプタ２３内でウエハＷを受け取ったサブチャック
２３２が一旦下降してアダプタ２３内でウエハＷのセン
タリングを行った後、同図の（ｆ）に示すようにアダプ
タ２３がピンセット２４とのウエハＷの受け渡し位置ま
で下降すると共にサブチャック２３２が上昇してアダプ
タ本体２３１の上方まで上昇する。この状態でピンセッ
ト２４の上段アーム２４１Ａが同図の（ｇ）に示すよう
にアダプタ２３側へ進出し、アダプタ２３のサブチャッ
ク２３１が下降すると共にアーム２４１ＡでウエハＷを
真空吸着して受け取る。

【００４７】アーム２４１ＡでウエハＷを受け取ると、
アーム２４１は図１２の（ａ）に示すように向きをプロ
ーバ室２２内のメインチャック２６の方向に向ける。後
は従来のプローバと同様に、同図の（ｂ）に示すように
ピンセット２４とサブチャック２５が協働してウエハＷ
のプリアライメントを行った後、同図の（ｃ）に示すよ
うにメインチャック２６へウエハＷを引き渡す。更に、
同図の（ｄ）に示すようにアライメント機構２７を介し
てアライメントを行った後、同図の（ｅ）に示すように
メインチャック２６をインデックス送りを行いながらウ
エハＷとプローブカード２８のプローブ２８Ａと電気的
に接触させてウエハＷの電気的特性検査を行う。尚、図
１２の（ｂ）、（ｃ）において２６ＡはウエハＷの昇降
ピンである。

【００４８】ウエハＷを受け取ったプローバ２が検査を
実施している間に、ウエハＷの受け渡しを終了した上述
のＡＧＶ３はホストコンピュータ１の制御下で同一ロッ
トのウエハＷを他の複数のプローバ２の要求に応じて、
上述の要領で他の複数のプローバ２との間でウエハＷの
受け渡しを行った後、このプローバ２において同一の検
査を並行して実施することができる。

【００４９】プローバ２でのウエハＷの電気的特性検査
を終了すると、図１３の（ａ）に示すようにメインチャ
ック２６の昇降ピン２６Ａが上昇してウエハＷをメイン
チャック２６から持ち上げる。引き続き、同図の（ｂ）
に示すようにピンセット２４の下段のアーム２４１Ｂが
メインチャック２６へ進出してウエハＷを受け取り、同
図の（ｃ）に示すようにピンセット２４を９０°回転さ
せ、先端をアダプタ２３に向けた後、同図の（ｄ）に示
すようにピンセット２４がアダプタ２３へ進出すると、
同図の（ｅ）に示すようにアダプタ２３内のサブチャッ
ク２３２が上昇してウエハＷをアーム２４１Ｂから受け
取る。その後、図１３の（ｆ）に示すようにＡＧＶコン
トローラ４の制御下でＡＧＶ３がプローバ２の前に移動
する。ＡＧＶ３がプローバ２と対峙すると、アダプタ２
３が図１３の（ｆ）に示すように二点鎖線で示す位置か
らウエハＷを受け渡す実線位置まで上昇する。

【００５０】次に、図１４〜図１６を参照しながらプロ
ーバ２からＡＧＶ３へウエハＷを引き渡すウエハのアン
ロード方法について説明する。図１４、図１５に示すよ
うにＡＧＶ３がＡＧＶコントローラ４からの指示に基づ
いて所定のプローバ２の前に移動すると（ステップ３
１）、ＡＧＶ３とプローバ２間のＰＩＯ通信を開始す
る。ＡＧＶ３はプローバ２に対してＣＳ_０信号を送信
した後、ＶＡＬＩＤ信号を送信する（ステップＳ３
２）。プローバ２はＶＡＬＩＤ信号を受信すると図１５
に示すようにプローバ２のＵ_ＲＥＱ信号がＨｉｇｈ状
態になってＡＧＶ３へＵ_ＲＥＱ信号を送信してウエハ
Ｗをアンロードするための搬送を指示する。

【００５１】ＡＧＶ３は図１４に示すようにＵ_ＲＥＱ
信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ３３）、Ａ
ＧＶ３がＵ_ＲＥＱ信号を受信していないと判断する
と、プローバ２はＡＧＶ３へＵ_ＲＥＱ信号を送信する
（ステップＳ３４）。これによりステップＳ３３におい
てＡＧＶ３がＵ_ＲＥＱ信号を受信した旨判断すると、
ウエハＷの搬送を開始するためにＡＧＶ３はＴＲ_ＲＥ
Ｑ信号をＨｉｇｈ状態にしてプローバ３へその信号を送
信し（ステップＳ３５）、プローバ２に対してウエハＷ
の搬送を開始する旨通知する。

【００５２】次いで、ＡＧＶ３はプローバ２からＲＥＡ
ＤＹ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ３
６）、ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信していないと判
断すると、プローバ２はＡＧＶ３へＲＥＡＤＹ信号をＨ
ｉｇｈ状態にして送信する（ステップＳ３７）。ＡＧＶ
３がＲＥＡＤＹ信号を受信し、プローバ２へのアクセス
可能と判断すると、図１５に示すようにＡＧＶ３ではＢ
ＵＳＹ信号をＨｉｇｈ状態にしてプローバ３へその信号
を送信し（ステップＳ３８）、プローバ２に対してウエ
ハＷの搬送を開始する。

【００５３】次いで、ＡＧＶ３は図１４に示すようにプ
ローバ２からＡＥＮＢ信号のＨｉｇｈ状態の受信したか
否かを判断し（ステップＳ３９）、ＡＧＶ３がＡＥＮＢ
信号を受信していないと判断すると、図１５に示すよう
にプローバ２はＡＥＮＢ信号をＨｉｇｈ状態にして送信
する。（ステップＳ４０）。ステップＳ３９においてＡ
ＧＶ３がＨｉｇｈ状態のＡＥＮＢ信号を受信し、プロー
バ２におけるウエハＷを検出しロードポート２３内のサ
ブチャック２３２が上昇状態でアンロード可能であると
判断すると、ＡＧＶ３からのウエハＷの搬送を開始して
図１６の（ａ）に示すようにピンセット３４の下段アー
ム３４１Ｂをプローバ２のアダプタ２３の真上まで移動
させる（ステップＳ４１）。

【００５４】次いで、ＡＧＶ３は真空吸着機構３４３を
ＯＮしてプローバ２へＨｉｇｈ状態のＰＥＮＢ信号を送
信した後（ステップＳ４２）、プローバ２はウエハＷが
無いことを検出してプローバ２のＡＥＮＢ信号がＬｏｗ
状態で且つＵ_ＲＥＱ信号がＬｏｗ状態であるか否かを
判断し（ステップＳ４３）、プローバ２がいずれの信号
もＨｉｇｈ状態でサブチャック２３２がアクセス可能状
態である判断すると、図１６の（ａ）に示すようにアダ
プタ２３が上昇すると共にサブチャック２３２が下降し
た後、ピンセット３４の下段アーム３４１ＢでウエハＷ
を真空吸着してウエハＷをアダプタ２３からピンセット
３４へ引き渡す（ステップＳ４４）。プローバ２はウエ
ハＷが取り除かれたことを検出すると図１５に示すよう
にＵ_ＲＥＱ信号をＬｏｗ状態にしてその信号をＡＧＶ
３へ送信し、ウエハＷが取り除かれたことをＡＧＶ３に
通知する（ステップＳ４５）。引き続き、プローバ２は
ＡＥＮＢ信号をＬｏｗ状態にしてＡＧＶ３へ送信し、ア
ダプタ２３にウエハＷがない旨通知する（ステップＳ４
６）。

【００５５】その後、ステップＳ４３へ戻り、プローバ
２はアダプタ２３にウエハＷの無いことを検出してＡＥ
ＮＢ信号がＬｏｗ状態で且つＵ_ＲＥＱ信号がＬｏｗ状
態であるか否かを判断し、いずれの信号もＬｏｗ状態で
アダプタ２３でのウエハＷのアンロードが終了したと判
断すると、アーム３４１Ｂをロードポート２３からＡＧ
Ｖ３へ戻す（ステップＳ４７）。ＡＧＶ３はアーム３４
１Ｂが戻るとＴＲ_ＲＥＱ信号、ＢＵＳＹ信号、ＰＥＮ
Ｂ信号をいずれもＬｏｗ状態にしてそれぞれの信号をプ
ローバ２へ送信し、アンロード作業が終了したことをプ
ローバ２に通知した後（ステップＳ４８）、ＡＧＶ３は
図１５に示すようにＣＯＭＰＴ信号をＨｉｇｈ状態にし
てプローバ２へ送信し、アンロード作業の完了を通知す
る（ステップＳ４９）。

【００５６】次いで、ＡＧＶ３がプローバ２からＬｏｗ
状態のＲＥＡＤＹ信号を受信したか否かを判断し（ステ
ップＳ５０）、ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信してい
ないと判断すると、図１４に示すようにプローバ２がＲ
ＥＡＤＹ信号をＬｏｗ状態して送信する（ステップＳ５
１）。ＡＧＶ３がＬｏｗ状態のＲＥＡＤＹ信号を受信し
た旨判断すると、図１５に示すようにＡＧＶ３ではＣＳ
_０信号、ＶＡＬＩＤ信号をＬｏｗ状態にしてプローバ
３へそれぞれの信号を送信し（ステップＳ５２）、ウエ
ハＷの搬送を終了すると共に図１６の（ｂ）に示すよう
にピンセット３４を逆方向に９０°回転させた後、図１
６の（ｃ）に示すようにサブチャック３５が上昇してウ
エハＷをアーム３４１Ｂから受け取り、プリアライメン
トセンサ３６でオリフラを検出する。引き続き、同図の
（ｄ）に示すようにサブチャック３５が下降してアーム
３４１ＢへウエハＷを戻し、ピンセット３４が上昇して
ＯＣＲ３７でウエハＷのＩＤコードを読み取った後、同
図の（ｅ）に示すようにアーム３４１ＢをキャリアＣ内
の元の場所へ収納する。

【００５７】以上説明したように本実施形態によれば、
ウエハＷを吸着保持するアーム３４１と、このアーム３
４１内に形成された且つウエハＷの吸着面で開口する排
気路３４１Ｃと、この排気路３４１Ｃに配管３４４Ａを
介して連結された真空吸着機構３４３とを備え、真空吸
着機構３４３は、搭載バッテリで駆動するコンプレッサ
３４４と、このコンプレッサ３４４から圧送される気体
を圧縮気体として貯留する空気タンク３４５と、この空
気タンク３４５から流出する圧縮気体の圧力を調整する
気体圧調整機構３４６と、この気体圧調整機構３４６か
ら供給される圧力気体を噴出させるエジェクタ３４７Ａ
とを有するため、ＡＧＶ３に搭載されたバッテリによっ
て駆動するコンプレッサ３４４から圧送される空気を空
気タンク３４５内に圧縮空気として貯留した後、気体圧
調整機構３４６を介して圧縮空気の圧力を調整しながら
エジェクタ３４７Ａから噴出させることでアーム３４１
にウエハＷを確実に真空吸着することができる。

【００５８】また、本実施形態によれば、上下二段のア
ーム３４１Ａ、３４１Ｂを有するため、上段のアーム３
４１Ａをウエハロード専用に使用することができると共
に下段のアーム３４１Ｂをウエハアンロード専用に使用
することができ、ウエハＷの搬送能力を高めることがで
きる。また、気体圧調整機構３４６とエジェクタ３４７
Ａの間に配管３４４Ａを開閉する切換弁３４７を設けた
ため、切換弁３４７を介して真空吸着機構３４３を確実
にＯＮ、ＯＦＦ制御することができる。アーム３４１と
エジェクタ３４７Ａの間に配管３４４Ａを開閉するパイ
ロット付き逆止弁３４８を設けたため、パイロット付き
逆止弁３４８を介してウエハＷの真空保持、真空保持解
除を確実に制御することができる。アーム３４１とパイ
ロット付き逆止弁３４８の間で排気路３４１Ｃ内の圧力
を検出する圧力センサ３４９を設けたため、圧力センサ
３４９を介して排気路３４１Ｃ内の真空度を検出してア
ーム３４１上のウエハＷの保持状況を知ることができ、
しかも検出値に基づいてコンプレッサ３４４をＯＮ、Ｏ
ＦＦ制御することができる。

【００５９】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではなく、必要に応じて適宜設計変更することが
できる。例えば、真空吸着機構３４３の空気回路に用い
られる弁類は必要に応じて変更することができる。本発
明の要旨は、真空吸着する真空吸着機構３４３として用
いられるコンプレッサ３４４の流量不足をコンプレッサ
３４４で空気タンク３４５に圧縮空気を貯留して空気等
の流量を確保する点に特徴がある。

【００６０】

【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項８に記載の発
明によれば、移動体に搭載する低容量の電源でも排気流
量を十分に確保することができ、被処理体を確実に真空
吸着することができる被処理体の真空保持装置を提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の被処理体の真空保持装置の一
実施形態を示す概念図、（ｂ）はＡＧＶの構成を概念図
である。

【図２】（ａ）はプローバとＡＧＶ間のウエハを受け渡
す状態を概念的に示す平面図、（ｂ）は（ａ）の要部を
示す断面図である。

【図３】ＡＧＶに用いられるピンセットの真空吸着機構
を示す概念図である。

【図４】図３に示す真空吸着機構を示す回路図である。

【図５】キャリアを利用したウエハのセンタリング方法
を説明するための説明図である。

【図６】プローバに仮想ロードポートを設定した場合の
ウエハの受け渡しを説明するための説明図である。

【図７】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示す搬送シス
テムのＰＩＯ通信に用いられるインターフェースを示す
構成図である。

【図８】図１に示す搬送システムを用いたウエハの搬送
方法に適用されるウエハのロード方法を示すフローチャ
ートである。

【図９】図８に示すロード方法に適用される光通信のタ
イミングチャートである。

【図１０】（ａ）〜（ｆ）は図８に示すフローチャート
に対応するロード工程を示す工程図である。

【図１１】（ａ）〜（ｇ）は図８に示すフローチャート
に対応するロード工程を示す工程図である。

【図１２】（ａ）〜（ｅ）はプローバ内におけるウエハ
のフローを示す工程図である。

【図１３】（ａ）〜（ｆ）は図８に示すフローチャート
に対応するロード工程を示す工程図である。

【図１４】図１に示す搬送システムを用いたウエハの搬
送方法におけるウエハのアンロード方法を示すフローチ
ャートである。

【図１５】図１４に示すアンロード方法に適用される光
通信のタイミングチャートである。

【図１６】（ａ）〜（ｅ）は図１４に示すフローチャー
トに対応するアンロード工程を示す工程図である。

【符号の説明】

３８被処理体の真空保持装置３４１アーム３４３真空吸着機構３４４コンプレッサ３４４Ａ配管（連通管）３４５空気タンク（容器）３４６気体圧調整機構（気体圧調整手段）３４６Ｃ圧力計（第３の圧力検出手段）３４７切換弁（第１の開閉弁）３４７Ａエジェクタ（噴出手段）３４８パイロット付き逆止弁（第２の開閉弁）３４９圧力センサ（圧力検出手段）３４９Ａ第１圧力スイッチ（第１の圧力検出手段）３４９Ｂ第２圧力スイッチ（第２の圧力検出手段）Ｗウエハ（被処理体）

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Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理体を吸着保持するアームと、この
アーム内に形成され且つ上記アームの吸着面で開口する
排気路と、この排気路に連通管を介して連結された真空
吸着機構とを備え、移動体に搭載して使用する被処理体
の真空保持装置であって、上記真空吸着機構は、搭載電
源で駆動するコンプレッサと、このコンプレッサから圧
送される気体を圧縮気体として貯留する容器と、この容
器内から流出する圧縮気体の圧力を調整する気体圧調整
手段と、この気体圧調整手段から供給される圧力気体を
噴出させることにより上記排気路内を減圧する手段とを
有することを特徴とする被処理体の真空保持装置。
【請求項２】上記移動体が自動搬送車であることを特
徴とする請求項１に記載の被処理体の真空保持装置。
【請求項３】上記アームを複数有することを特徴とす
る請求項１または請求項２に記載の被処理体の真空保持
装置。
【請求項４】上記連通管を開閉する第１の開閉弁を上
記気体圧調整手段と上記噴出手段の間に設けたことを特
徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の被
処理体の真空保持装置。
【請求項５】上記連通管を開閉する第２の開閉弁を上
記アームと上記噴出手段の間に設けたことを特徴とする
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の被処理体の
真空保持装置。
【請求項６】上記アームと第２の開閉弁の間で上記排
気路内の圧力を検出する圧力手段を設けたことを特徴と
する請求項５に記載の被処理体の真空保持装置。
【請求項７】上記圧力検出手段は、上記アーム上にお
ける上記被処理体の有無を検出する第１の圧力手段と、
上記排気路内の圧力漏れを検出する第２の圧力検出手段
を有し、上記第２の開閉弁は、上記第２の圧力検出手段
の検出結果に基づいて開閉することを特徴とする請求項
６に記載の被処理体の真空保持装置。
【請求項８】上記気体圧調整手段と上記噴出手段の間
に上記連通管内の圧力を検出する第３の圧力検出手段を
設け、上記第３の圧力検出手段の検出結果に基づいて上
記コンプレッサを駆動させることを特徴とする請求項１
〜請求項７のいずれか１項に記載の被処理体の真空保持
装置。