JP2002203486A - A.c. drive type plasma display device and its manufacturing device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an A.C. drive type plasma display device having a high degree of freedom relative to a distance between electrodes formed between a first substrate and a second substrate and contributing to discharge, and allowing the increase of the area of a phosphor layer. SOLUTION: This device comprises: (A) a first substrate 11; (B) a second substrate 21; (C) a plurality of first electrodes 13 formed on the first substrate 11 and extending in a first direction; (D) a plurality of first projecting parts 22A and second projecting parts 22B alternately formed on the surface of the second substrate 21 and extending in a second direction different from the first direction; (E) second electrodes 23 formed on the top faces of the projecting parts 22A; (F) phosphor layers 26 formed between the projecting parts 22A and the projecting parts 22B positioned on both sides of the projecting parts 22A for emitting the same color light; and (G) a discharge gas filled in the space formed between the first substrate and the second substrate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、交流駆動型プラズ
マ表示装置及びその製造方法に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an AC-driven plasma display device and a method of manufacturing the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】現在主流の陰極線管（ＣＲＴ）に代わる
画像表示装置として、平面型（フラットパネル形式）の
表示装置が種々検討されている。このような平面型の表
示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロル
ミネッセンス表示装置（ＥＬＤ）、プラズマ表示装置
（ＰＤＰ：プラズマ・ディスプレイ）を例示することが
できる。中でも、プラズマ表示装置は、大画面化や広視
野角化が比較的容易であること、温度、磁気、振動等の
環境要因に対する耐性に優れること、長寿命であること
等の長所を有し、家庭用の壁掛けテレビの他、公共用の
大型情報端末機器への適用が期待されている。2. Description of the Related Art Various types of flat-panel (flat-panel) display devices have been studied as image display devices to replace the currently mainstream cathode ray tube (CRT). Examples of such a flat display device include a liquid crystal display device (LCD), an electroluminescence display device (ELD), and a plasma display device (PDP: plasma display). Among them, the plasma display device has advantages such as relatively easy enlargement of the screen and wide viewing angle, excellent resistance to environmental factors such as temperature, magnetism and vibration, and long life. It is expected to be applied not only to wall-mounted TVs for home use but also to large public information terminals.

【０００３】プラズマ表示装置は、希ガスから成る放電
ガスを放電空間内に封入した放電セルに電圧を印加し
て、放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫
外線で放電セル内の蛍光体層を励起することによって発
光を得る表示装置である。つまり、個々の放電セルは蛍
光灯に類似した原理で駆動され、放電セルが、通常、数
十万個のオーダーで集合して１つの表示画面が構成され
ている。プラズマ表示装置は、放電セルへの電圧の印加
方式によって直流駆動型（ＤＣ型）と交流駆動型（ＡＣ
型）とに大別され、それぞれ一長一短を有する。交流駆
動型プラズマ表示装置（以下、単にプラズマ表示装置と
略称する）は、表示画面内で個々の放電セルを仕切る役
割を果たす隔壁を例えばストライプ状に形成すればよい
ので、高精細化に適している。しかも、放電のための電
極の表面が誘電体膜で覆われているので、かかる電極が
磨耗し難く、長寿命であるといった長所を有する。In a plasma display device, a voltage is applied to a discharge cell in which a discharge gas made of a rare gas is sealed in a discharge space, and a fluorescent substance in the discharge cell is generated by vacuum ultraviolet rays generated based on a glow discharge in the discharge gas. A display device that emits light by exciting a layer. That is, the individual discharge cells are driven according to a principle similar to a fluorescent lamp, and the discharge cells are usually assembled in the order of several hundred thousand to form one display screen. The plasma display device has a direct current drive type (DC type) and an alternating current drive type (AC type) depending on a method of applying a voltage to a discharge cell.
Type), and each has its advantages and disadvantages. An AC-driven plasma display device (hereinafter simply referred to as a plasma display device) may be formed in a stripe shape, for example, in which partition walls that separate individual discharge cells in a display screen are formed. I have. In addition, since the surface of the electrode for discharging is covered with the dielectric film, such an electrode has advantages that it is hard to be worn and has a long life.

【０００４】第１の方向に延びる第１の放電維持電極が
第１の基板に形成され、第１の方向とは異なる第２の方
向（具体的には、直交する方向）に延びる第２の放電維
持電極が第２の基板に形成された、所謂２電極型のプラ
ズマ表示装置が、例えば、特開平６−５２８０２号公報
に開示されている。このプラズマ表示装置においては、
第１の基板と第２の基板は、これらの周縁部において接
合され、第１の基板と第２の基板との間の空間には放電
ガスが充填されている。そして、第１及び第２の放電維
持電極は絶縁材料で被覆されており、放電ガスと直接接
触することはない。第２の放電維持電極の両側の基板の
部分には蛍光体層が形成されている。第１の放電維持電
極と第２の放電維持電極との間に交流電圧を印加するこ
とによって、第１の放電維持電極と第２の放電維持電極
との間で放電が生じ、その結果生じた真空紫外線の照射
によって励起された蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応
じた特有の発光色を呈する。A first sustaining electrode extending in a first direction is formed on a first substrate, and a second sustaining electrode extending in a second direction different from the first direction (specifically, a direction orthogonal to the first direction). A so-called two-electrode type plasma display device in which a discharge sustaining electrode is formed on a second substrate is disclosed in, for example, JP-A-6-52802. In this plasma display device,
The first substrate and the second substrate are joined at their peripheral edges, and a space between the first substrate and the second substrate is filled with a discharge gas. The first and second discharge sustaining electrodes are covered with an insulating material, and do not come into direct contact with the discharge gas. Phosphor layers are formed on portions of the substrate on both sides of the second discharge sustaining electrode. By applying an AC voltage between the first sustaining electrode and the second sustaining electrode, a discharge occurs between the first sustaining electrode and the second sustaining electrode, and the resulting discharge occurs. The phosphor layer excited by the irradiation of the vacuum ultraviolet light emits a specific emission color according to the type of the phosphor material.

【０００５】従来のプラズマ表示装置の典型的な別の構
成例の一部分の模式的な分解斜視図を、図２６に示す。
このプラズマ表示装置は所謂３電極型に属し、一対の放
電維持電極１１２の間で放電が生じる。図２６に示すプ
ラズマ表示装置は、フロントパネルに相当する第１パネ
ル１１０とリアパネルに相当する第２パネル１２０とが
それらの外周部で接合されて成る。第２パネル１２０上
の蛍光体層１２６の発光は、例えば、第１パネル１１０
を通して観察される。FIG. 26 is a schematic exploded perspective view of a part of another typical configuration of a conventional plasma display device.
This plasma display device belongs to a so-called three-electrode type, and discharge occurs between a pair of discharge sustaining electrodes 112. The plasma display device shown in FIG. 26 has a first panel 110 corresponding to a front panel and a second panel 120 corresponding to a rear panel joined at their outer peripheral portions. The light emission of the phosphor layer 126 on the second panel 120 is, for example, the first panel 110
Observed through.

【０００６】第１パネル１１０は、透明な第１の基板１
１１と、第１の基板１１１上にストライプ状に設けら
れ、透明導電材料から成る複数の一対となった放電維持
電極１１２と、放電維持電極１１２のインピーダンスを
低下させるために放電維持電極１１２上に設けられ、放
電維持電極１１２よりも電気抵抗率の低い材料から成る
バス電極１１３と、バス電極１１３及び放電維持電極１
１２上を含む第１の基板１１１上に形成された誘電体材
料から成る誘電体層１１４と、誘電体層１１４上に形成
されたＭｇＯから成る保護層１１５から構成されてい
る。The first panel 110 includes a transparent first substrate 1.
11, a plurality of pairs of discharge sustaining electrodes 112 provided in a stripe shape on the first substrate 111 and made of a transparent conductive material, and on the discharge sustaining electrodes 112 to reduce the impedance of the discharge sustaining electrodes 112. A bus electrode 113 formed of a material having a lower electrical resistivity than the discharge sustaining electrode 112;
A dielectric layer 114 made of a dielectric material is formed on a first substrate 111 including a layer 12, and a protective layer 115 made of MgO is formed on the dielectric layer 114.

【０００７】一方、第２パネル１２０は、第２の基板１
２１と、第２の基板１２１上にストライプ状に設けられ
た複数のアドレス電極（データ電極とも呼ばれる）１２
３と、アドレス電極１２３上を含む第２の基板１２１上
に形成された誘電体膜１２４と、誘電体膜１２４上であ
って隣り合うアドレス電極１２３の間の領域にアドレス
電極１２３と平行に延びる絶縁性の隔壁１２７と、誘電
体膜１２４上から隔壁１２７の側壁面上に亙って設けら
れた蛍光体層１２６とから構成されている。蛍光体層１
２６は、プラズマ表示装置においてカラー表示を行う場
合、赤色蛍光体層１２６Ｒ、緑色蛍光体層１２６Ｇ、及
び青色蛍光体層１２６Ｂから構成されており、これらの
各色の蛍光体層１２６Ｒ，１２６Ｇ，１２６Ｂが所定の
順序に従って設けられている。図２６は一部分解斜視図
であり、実際には第２パネル側の隔壁１２７の頂部が第
１パネル側の保護層１１５に当接している。一対の放電
維持電極１１２と、２つの隔壁１２７の間に位置するア
ドレス電極１２３とが重複する領域が、放電セルに相当
する。そして、隣り合う隔壁１２７と蛍光体層１２６と
保護層１１５とによって囲まれた放電空間内には、放電
ガスが封入されている。On the other hand, the second panel 120 is a second substrate 1
And a plurality of address electrodes (also referred to as data electrodes) 12 provided in stripes on the second substrate 121.
3, a dielectric film 124 formed on the second substrate 121 including on the address electrode 123, and a region on the dielectric film 124 between the adjacent address electrodes 123 and extending in parallel with the address electrode 123. It is composed of an insulating partition wall 127 and a phosphor layer 126 provided over the dielectric film 124 and on the side wall surface of the partition wall 127. Phosphor layer 1
When color display is performed in the plasma display device, the reference numeral 26 includes a red phosphor layer 126R, a green phosphor layer 126G, and a blue phosphor layer 126B. They are provided according to a predetermined order. FIG. 26 is a partially exploded perspective view. In fact, the top of the partition wall 127 on the second panel side is in contact with the protective layer 115 on the first panel side. A region where the pair of discharge sustaining electrodes 112 and the address electrode 123 located between the two partition walls 127 overlap corresponds to a discharge cell. Then, a discharge gas is sealed in a discharge space surrounded by the adjacent partition wall 127, the phosphor layer 126, and the protective layer 115.

【０００８】放電維持電極１１２の射影像が延びる方向
とアドレス電極１２３の射影像が延びる方向とは直交し
ており、一対の放電維持電極１１２と、３原色を発光す
る蛍光体層１２６Ｒ，１２６Ｇ，１２６Ｂの１組とが重
複する領域が１画素（１ピクセル）に相当する。グロー
放電が一対の放電維持電極１１２間で生じることから、
このタイプのプラズマ表示装置は「面放電型」と称され
る。例えば、一対の放電維持電極１１２間に電圧を印加
する直前に、例えば、放電セルの放電開始電圧よりも低
いパルス電圧をアドレス電極１２３に印加することで、
放電セル内に壁電荷が蓄積され（表示を行う放電セルの
選択）、見掛け上の放電開始電圧が低下する。次いで、
一対の放電維持電極１１２の間で開始された放電は、放
電開始電圧よりも低い電圧にて維持され得る。放電セル
においては、放電ガス中でのグロー放電に基づき発生し
た真空紫外線の照射によって励起された蛍光体層が、蛍
光体材料の種類に応じた特有の発光色を呈する。尚、封
入された放電ガスの種類に応じた波長を有する真空紫外
線が発生する。The direction in which the projected image of the discharge sustaining electrode 112 extends and the direction in which the projected image of the address electrode 123 extends are orthogonal to each other, and include a pair of discharge sustaining electrodes 112 and phosphor layers 126R, 126G, which emit three primary colors. An area where one set of 126B overlaps corresponds to one pixel (one pixel). Since the glow discharge occurs between the pair of sustain electrodes 112,
This type of plasma display device is called a "surface discharge type". For example, immediately before applying a voltage between the pair of discharge sustaining electrodes 112, for example, by applying a pulse voltage lower than the discharge starting voltage of the discharge cell to the address electrode 123,
Wall charges are accumulated in the discharge cells (selection of a discharge cell for display), and the apparent discharge start voltage decreases. Then
The discharge started between the pair of discharge sustaining electrodes 112 can be maintained at a voltage lower than the discharge starting voltage. In a discharge cell, a phosphor layer excited by irradiation with vacuum ultraviolet rays generated based on a glow discharge in a discharge gas exhibits a specific emission color according to the type of phosphor material. In addition, vacuum ultraviolet rays having a wavelength corresponding to the type of the sealed discharge gas are generated.

【０００９】通常、放電空間内に封入されている放電ガ
スは、ネオン（Ｎｅ）ガス、ヘリウム（Ｈｅ）ガス、ア
ルゴン（Ａｒ）ガス等の不活性ガスにキセノン（Ｘｅ）
ガスを４容積％程度混合した混合ガスから構成されてい
る。また、一対の放電維持電極１１２の間の距離は１０
０μｍ程度、具体的には、７０μｍ〜１２０μｍ程度で
ある。Normally, the discharge gas sealed in the discharge space is an inert gas such as a neon (Ne) gas, a helium (He) gas, an argon (Ar) gas, or a xenon (Xe) gas.
It is composed of a mixed gas in which gas is mixed at about 4% by volume. The distance between the pair of discharge sustaining electrodes 112 is 10
It is about 0 μm, specifically, about 70 μm to 120 μm.

【００１０】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上述の２電極型のプラ
ズマ表示装置においては、第２の基板上に蛍光体層を形
成するために、第１の放電維持電極と第２の放電維持電
極との間の距離を一定の値以上にしなければならない。
その結果、放電のために第１の放電維持電極及び第２の
放電維持電極に印加する交流電圧の値を低くすることが
困難であるといった問題がある。また、蛍光体層を第２
の基板上に平坦な状態にて形成するので、蛍光体層の面
積を増加させることができず、プラズマ表示装置の輝度
の向上を図り難いといった問題もある。In the above-described two-electrode type plasma display device, in order to form the phosphor layer on the second substrate, the first and second discharge sustaining electrodes and the second sustaining electrode are formed. Must be at least a certain value.
As a result, there is a problem that it is difficult to reduce the value of the AC voltage applied to the first and second discharge sustaining electrodes for the purpose of discharging. Also, the phosphor layer is
Since the phosphor layer is formed in a flat state on the substrate, the area of the phosphor layer cannot be increased, and there is a problem that it is difficult to improve the brightness of the plasma display device.

【００１１】上述の３電極型のプラズマ表示装置におい
ては、隔壁１２７の高さによって、放電維持電極１１２
とアドレス電極１２３との間の距離が規定されるが故
に、放電維持電極１１２とアドレス電極１２３との間の
距離の設計自由度に乏しく、放電を開始させるために放
電維持電極１１２とアドレス電極１２３とに印加する電
圧の値を低くすることが困難であるといった問題があ
る。また、蛍光体層は、誘電体膜１２４上から隔壁１２
７の側壁に亙り形成されているが、プラズマ表示装置の
輝度の一層の向上といった要請を満足させるためには、
蛍光体層の面積を一層拡大する必要がある。In the above-described three-electrode type plasma display device, the discharge sustaining electrode 112 depends on the height of the partition wall 127.
Since the distance between the discharge sustain electrode 112 and the address electrode 123 is limited, the degree of freedom in designing the distance between the discharge sustain electrode 112 and the address electrode 123 is poor. However, there is a problem that it is difficult to lower the value of the voltage applied to the above. Further, the phosphor layer is formed on the dielectric film 124 from the partition wall 12.
7 are formed over the side wall of the plasma display device 7.
It is necessary to further increase the area of the phosphor layer.

【００１２】従って、本発明の目的は、第１の基板と第
２の基板に設けられた放電に寄与する電極の間の距離に
関する設計自由度が高く、しかも、蛍光体層の面積を拡
大し得る交流駆動型プラズマ表示装置及びその製造方法
を提供することにある。Accordingly, an object of the present invention is to increase the degree of freedom in designing the distance between the electrodes provided on the first substrate and the second substrate which contribute to discharge, and to increase the area of the phosphor layer. An object of the present invention is to provide an AC driven plasma display device to be obtained and a method of manufacturing the same.

【００１３】[0013]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の交流駆動型プラズマ表示装置は、（Ａ）第
１の基板、（Ｂ）第１の基板に対向して配された第２の
基板、（Ｃ）第１の基板上に形成され、第１の方向に延
びる複数の第１の電極、（Ｄ）第１の基板と対向した第
２の基板の表面に交互に設けられ、第１の方向とは異な
る第２の方向に延びる複数の第１の凸部及び第２の凸
部、（Ｅ）第１の凸部の頂面に形成された第２の電極、
（Ｆ）第１の凸部と、該第１の凸部の両側に位置する第
２の凸部との間に形成され、同色を発光する蛍光体層、
並びに、（Ｇ）第１の基板と第２の基板との間に形成さ
れた空間内に充填された放電ガス、から成ることを特徴
とする。According to another aspect of the present invention, there is provided an AC-driven type plasma display device, comprising: (A) a first substrate; and (B) a first substrate. A second substrate, (C) a plurality of first electrodes formed on the first substrate and extending in the first direction, and (D) alternately provided on a surface of the second substrate facing the first substrate. A plurality of first protrusions and second protrusions extending in a second direction different from the first direction, (E) a second electrode formed on the top surface of the first protrusions,
(F) a phosphor layer formed between the first convex portion and the second convex portions located on both sides of the first convex portion and emitting the same color;
And (G) a discharge gas filled in a space formed between the first substrate and the second substrate.

【００１４】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にあ
っては、第１の電極及び第２の電極の表面が誘電体層で
覆われていることが、イオンや電子とこれらの電極の直
接的な接触を防止し、これらの電極の損傷発生を防止す
るといった観点から望ましい。また、誘電体層は、交流
駆動型プラズマ表示装置の構造に依っては、壁電荷を蓄
積する機能、過剰な放電電流を制限する抵抗体としての
機能、放電状態を維持するメモリ機能を有する。更に
は、誘電体層の上に保護層が形成されていること好まし
い。保護層は、放電に必要な２次電子を放出する機能も
有する。In the AC-driven plasma display device according to the present invention, the fact that the surfaces of the first electrode and the second electrode are covered with the dielectric layer means that ions and electrons are directly connected to these electrodes. It is desirable from the viewpoints of preventing excessive contact and preventing damage to these electrodes. Further, depending on the structure of the AC-driven plasma display device, the dielectric layer has a function of accumulating wall charges, a function as a resistor for limiting an excessive discharge current, and a memory function for maintaining a discharge state. Further, it is preferable that a protective layer is formed on the dielectric layer. The protective layer also has a function of emitting secondary electrons required for discharge.

【００１５】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にお
いて、第１の凸部と第２の凸部とは第２の基板に交互に
設けられているが、具体的には、第１の凸部の両側に第
２の凸部が設けられており、第２の凸部の両側に第１の
凸部が設けられている。尚、第１の凸部と第２の凸部と
の間に、更に、１又は２以上の凸部が設けられていても
よい。In the AC-driven plasma display device of the present invention, the first projections and the second projections are provided alternately on the second substrate. Are provided on both sides thereof, and the first protrusions are provided on both sides of the second protrusion. In addition, one or more convex portions may be further provided between the first convex portion and the second convex portion.

【００１６】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にお
いては、第１の電極の射影像と第２の電極の射影像とは
直交していることが、交流駆動型プラズマ表示装置の構
造の簡素化といった観点から好ましい。即ち、第１の方
向と第２の方向とは直角を成すことが望ましい。In the AC-driven plasma display device of the present invention, the projected image of the first electrode and the projected image of the second electrode are orthogonal to each other, which simplifies the structure of the AC-driven plasma display device. It is preferable from such a viewpoint. That is, it is desirable that the first direction and the second direction form a right angle.

【００１７】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にあ
っては、第２の基板の表面から第２の凸部の頂面（誘電
体層や保護層が形成されている場合にはこれらの層の最
上層）までの高さ（Ｈ₂）は、第２の基板の表面から第
１の凸部の頂面に形成された第２の電極（誘電体層や保
護層が形成されている場合にはこれらの層の最上層）ま
での高さ（Ｈ₁）よりも高く、即ち、Ｈ₂＞Ｈ₁を満足
し、第１の基板と第２の基板が対向して配された状態に
おいて、第２の凸部の頂面が第１の基板に接する構成と
することができる。尚、このような構成を、便宜上、第
１の構成と呼ぶ。ここで、第２の凸部の頂面が第１の基
板に接するとは、第２の凸部の頂面に誘電体層や保護層
が形成されている場合にはこれらの層の最上層と、第１
の基板に誘電体層や保護層が形成されている場合にはこ
れらの層の最上層とが接することを意味する。以下にお
いても同様である。また、高さの定義も、以下において
も同様である。In the AC-driven plasma display device according to the present invention, the top surface of the second projection from the surface of the second substrate (when a dielectric layer or a protective layer is formed, these layers are used). (H ₂ ) from the surface of the second substrate to the second electrode (when a dielectric layer or a protective layer is formed) formed on the top surface of the first protrusion. Is higher than the height (H ₁ ) up to the uppermost layer of these layers, that is, H ₂ > H ₁ is satisfied, and the first substrate and the second substrate are arranged to face each other. , The top surface of the second projection may be in contact with the first substrate. Note that such a configuration is referred to as a first configuration for convenience. Here, that the top surface of the second protrusion contacts the first substrate means that, when a dielectric layer or a protective layer is formed on the top surface of the second protrusion, the uppermost layer of these layers is formed. And the first
When a dielectric layer and a protective layer are formed on the substrate, it means that these layers are in contact with the uppermost layer. The same applies to the following. The same applies to the definition of height.

【００１８】また、本発明の交流駆動型プラズマ表示装
置にあっては、隣接する第１の電極の間の第１の基板の
領域には、第１の方向に延びる突起部が形成され、第１
の基板と第２の基板が対向して配された状態において、
少なくとも該突起部の頂部と第２の凸部の頂面とが接
し、あるいは又、該突起部の頂部と第１の凸部の頂面に
形成された第２の電極とが接する構成とすることができ
る。このような構成を、便宜上、第２の構成と呼ぶ。こ
こで、高さＨ₂と高さＨ₁の関係は、Ｈ₂＞Ｈ₁であっても
よいし、Ｈ₂＝Ｈ₁であってもよいし、Ｈ₂＜Ｈ₁であって
もよい。ここで、Ｈ₂＞Ｈ₁の場合には、突起部の頂部と
第２の凸部の頂面とが接する。また、Ｈ₂＝Ｈ₁の場合に
は、突起部の頂部と第２の凸部の頂面とが接し、且つ、
突起部の頂部と第１の凸部の頂面に形成された第２の電
極とが接する。更には、Ｈ₂＜Ｈ₁の場合には、突起部の
頂部と第１の凸部の頂面に形成された第２の電極とが接
する。尚、突起部の頂部と第２の凸部の頂面とが接する
とは、第２の凸部の頂面に誘電体層や保護層が形成され
ている場合にはこれらの層の最上層と、突起部に誘電体
層や保護層が形成されている場合にはこれらの層の最上
層とが接することを意味する。以下においても同様であ
る。In the AC-driven plasma display device according to the present invention, a projection extending in a first direction is formed in a region of the first substrate between adjacent first electrodes. 1
In a state where the substrate and the second substrate are arranged to face each other,
At least the top of the projection is in contact with the top of the second projection, or the top of the projection is in contact with the second electrode formed on the top of the first projection. be able to. Such a configuration is referred to as a second configuration for convenience. The relationship between the height H ₂ and height H ₁ may be a H _2> H _1, may be a H ₂ = H _1, it may be H ₂ <H ₁ . Here, when H ₂ > H ₁ , the top of the projection and the top of the second projection come into contact with each other. When H ₂ = H ₁ , the top of the protrusion contacts the top of the second protrusion, and
The top of the protrusion contacts the second electrode formed on the top of the first protrusion. Furthermore, when H ₂ <H ₁ , the top of the protrusion contacts the second electrode formed on the top of the first protrusion. Note that the contact between the top of the projection and the top of the second projection means that when a dielectric layer or a protective layer is formed on the top of the second projection, the top layer of these layers is used. This means that when a dielectric layer or a protective layer is formed on the protrusion, the uppermost layer of these layers is in contact with the protrusion. The same applies to the following.

【００１９】更には、本発明の交流駆動型プラズマ表示
装置にあっては、第２の凸部と対向する第１の基板の領
域には、第２の方向に延びる突起部が形成され、第１の
基板と第２の基板が対向して配された状態において、該
突起部の頂部と第２の凸部の頂面とが接する構成とする
ことができる。尚、このような構成を、便宜上、第３の
構成と呼ぶ。ここで、高さＨ₂と高さＨ₁の関係は、Ｈ₂
＞Ｈ₁であってもよいし、Ｈ₂＝Ｈ₁であってもよいし、
Ｈ₂＜Ｈ₁であってもよい。Further, in the AC-driven plasma display device of the present invention, a projection extending in the second direction is formed in a region of the first substrate opposed to the second projection. In a state where the first substrate and the second substrate are arranged to face each other, the top of the projection and the top of the second projection may be in contact with each other. Note that such a configuration is referred to as a third configuration for convenience. The relationship between the height H ₂ and height H ₁ is, H ₂
> H ₁ , H ₂ = H ₁ ,
H ₂ <H ₁ may be satisfied.

【００２０】また、本発明の交流駆動型プラズマ表示装
置にあっては、隣接する第１の電極の間の第１の基板の
領域には、第１の方向に延びる第１の突起部が形成さ
れ、更に、第２の凸部と対向する第１の基板の領域に
は、第２の方向に延びる第２の突起部が形成され、第１
の突起部と第２の突起部とによって、井桁状の突起部が
形成され、第１の基板と第２の基板が対向して配された
状態において、少なくとも該第２の突起部の頂部と第２
の凸部の頂面とが接し、あるいは又、該第１の突起部の
頂部と第１の凸部の頂面に形成された第２の電極とが接
する構成とすることができる。尚、このような構成を、
便宜上、第４の構成と呼ぶ。ここで、高さＨ ₂と高さＨ₁
の関係は、第２の突起部の頂部と第２の凸部の頂面とが
接する場合には、Ｈ₂＞Ｈ₁を満足し、第２の突起部の頂
部と第２の凸部の頂面とが接し、且つ、第１の突起部の
頂部と第１の凸部の頂面に形成された第２の電極とが接
する場合には、Ｈ₂＝Ｈ₁を満足し、第１の突起部の頂部
と第１の凸部の頂面に形成された第２の電極とが接する
場合には、Ｈ₂＜Ｈ₁を満足する。第１の突起部と第２の
突起部の高さは等しいことが望ましい。井桁状の突起部
を形成することによって、所謂光学的クロストークの発
生を効果的に抑制することができる。Further, the AC-driven plasma display device of the present invention is provided.
The first substrate between adjacent first electrodes.
A first projection extending in a first direction is formed in the region.
And a region of the first substrate facing the second convex portion.
Has a second projection extending in the second direction,
And the second projection form a girder-shaped projection.
Formed, and the first substrate and the second substrate are arranged to face each other.
In the state, at least the top of the second protrusion and the second
Abuts on the top surface of the projection, or alternatively, of the first projection.
The top and the second electrode formed on the top surface of the first projection are in contact with each other.
Configuration. In addition, such a configuration,
This is referred to as a fourth configuration for convenience. Where height H _TwoAnd height H₁
Is that the top of the second projection and the top of the second projection are
If touching, H_Two> H₁Is satisfied, and the top of the second protrusion is
The portion and the top surface of the second projection contact each other, and the first projection
The top and the second electrode formed on the top surface of the first projection are in contact with each other.
If so, H_Two= H₁The top of the first protrusion
Is in contact with the second electrode formed on the top surface of the first projection
In case, H_Two<H₁To be satisfied. The first protrusion and the second
It is desirable that the heights of the protrusions are equal. Double girder projection
, The generation of so-called optical crosstalk
Life can be effectively suppressed.

【００２１】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にあ
っては、複数の第１の電極は第１の放電維持電極を構成
し、複数の第２の電極は第２の放電維持電極を構成す
る、所謂２電極型構造とすることができる。In the AC-driven plasma display device according to the present invention, the plurality of first electrodes constitute a first sustaining electrode, and the plurality of second electrodes constitute a second sustaining electrode. , A so-called two-electrode type structure.

【００２２】あるいは又、複数の第１の電極は一対の放
電維持電極の複数から成り、複数の第２の電極はアドレ
ス電極を構成する、所謂３電極型構造とすることもでき
る。尚、３電極型構造の交流駆動型プラズマ表示装置に
おいては、一対の第１の電極の対向する縁部の間のギャ
ップ形状を、直線状としてもよい。あるいは又、第１の
電極の幅方向に屈曲したパターン若しくは湾曲したパタ
ーンとすることもでき、これによって、放電に寄与する
第１の電極の部分の面積の増加を図ることができる。あ
るいは又、第１の方向に延びる一対のバス電極（後述す
る）の複数が第１の基板に設けられ、一対の放電維持電
極の一方が一方のバス電極から他方のバス電極に向かっ
て第２の方向に沿って延び、一対の放電維持電極の他方
が他方のバス電極から一方のバス電極に向かって第２の
方向に沿って延びている構造とすることもできる。この
ような構造とすれば、放電に寄与する放電維持電極の領
域を拡大することが可能となる。尚、このような構造の
第１の電極も、第１の方向に延びる第１の電極に包含さ
れる。Alternatively, the plurality of first electrodes may include a plurality of pairs of discharge sustaining electrodes, and the plurality of second electrodes may have a so-called three-electrode type structure forming an address electrode. In an AC-driven plasma display device having a three-electrode structure, the gap between the opposing edges of the pair of first electrodes may be linear. Alternatively, a pattern that is bent or curved in the width direction of the first electrode can be used, whereby the area of the first electrode portion that contributes to discharge can be increased. Alternatively, a plurality of a pair of bus electrodes (described later) extending in the first direction is provided on the first substrate, and one of the pair of sustain electrodes is connected to the second bus electrode from one bus electrode toward the other bus electrode. , And the other of the pair of sustain electrodes extends in the second direction from the other bus electrode toward the one bus electrode. With such a structure, it is possible to expand the region of the discharge sustaining electrode that contributes to the discharge. Note that the first electrode having such a structure is also included in the first electrode extending in the first direction.

【００２３】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置の製
造方法は、（Ａ）第１の基板、（Ｂ）第１の基板に対向
して配された第２の基板、（Ｃ）第１の基板上に形成さ
れ、第１の方向に延びる複数の第１の電極、（Ｄ）第１
の基板と対向した第２の基板の表面に交互に設けられ、
第１の方向とは異なる第２の方向に延びる複数の第１の
凸部及び第２の凸部、（Ｅ）第１の凸部の頂面に形成さ
れた第２の電極、（Ｆ）第１の凸部と、該第１の凸部の
両側に位置する第２の凸部との間に形成され、同色を発
光する蛍光体層、並びに、（Ｇ）第１の基板と第２の基
板との間に形成された空間内に充填された放電ガス、か
ら成る交流駆動型プラズマ表示装置の製造方法である。The method of manufacturing an AC-driven plasma display device according to the present invention includes the steps of (A) a first substrate, (B) a second substrate disposed opposite to the first substrate, and (C) a first substrate. A plurality of first electrodes formed on the substrate and extending in a first direction;
Are provided alternately on the surface of the second substrate facing the substrate of
A plurality of first protrusions and second protrusions extending in a second direction different from the first direction; (E) a second electrode formed on the top surface of the first protrusion; (F) A phosphor layer formed between the first convex portion and the second convex portions located on both sides of the first convex portion and emitting the same color; and (G) a first substrate and a second And a discharge gas filled in a space formed between the substrate and the substrate.

【００２４】そして、本発明の第１の態様に係る交流駆
動型プラズマ表示装置の製造方法は、（ａ）第２の基板
に、第１の凸部及び第２の凸部を形成する工程、（ｂ）
第１の凸部の頂面に、第２の電極を形成する工程、並び
に、（ｃ）第１の凸部と、該第１の凸部の両側に位置す
る第２の凸部との間に位置する第２の基板の領域に同色
を発光する蛍光体層を形成する工程、を具備することを
特徴とする。The method for manufacturing an AC-driven plasma display device according to the first aspect of the present invention comprises the steps of: (a) forming a first projection and a second projection on a second substrate; (B)
Forming a second electrode on the top surface of the first projection; and (c) between the first projection and the second projections located on both sides of the first projection. Forming a phosphor layer that emits the same color in the region of the second substrate located at

【００２５】尚、第２の電極上に誘電体層を形成する場
合には、工程（ｂ）と工程（ｃ）の間で第２の電極上に
誘電体層を形成することが望ましい。更には、保護層を
形成する場合には、誘電体層を形成した後、あるいは、
蛍光体層を形成した後、保護層を形成することが望まし
い。When a dielectric layer is formed on the second electrode, it is desirable to form the dielectric layer on the second electrode between the steps (b) and (c). Furthermore, when forming a protective layer, after forming a dielectric layer, or
After forming the phosphor layer, it is desirable to form a protective layer.

【００２６】また、本発明の第２の態様に係る交流駆動
型プラズマ表示装置の製造方法は、（ａ）第２の基板上
に、第２の方向に延びる第２の電極を形成する工程、
（ｂ）第２の電極と第２の電極との間の第２の基板の領
域に凹部を形成し、以て、第１の凸部及び第２の凸部を
形成する工程、（ｃ）第１の凸部と、該第１の凸部の両
側に位置する第２の凸部との間に位置する第２の基板の
領域に同色を発光する蛍光体層を形成する工程、を具備
することを特徴とする。The method of manufacturing an AC-driven plasma display device according to the second aspect of the present invention comprises the steps of: (a) forming a second electrode extending in a second direction on a second substrate;
(B) forming a concave portion in a region of the second substrate between the second electrode and the second electrode, thereby forming a first convex portion and a second convex portion; (c) Forming a phosphor layer emitting the same color in a region of the second substrate located between the first convex portion and the second convex portions located on both sides of the first convex portion. It is characterized by doing.

【００２７】尚、第２の電極上に誘電体層を形成する場
合には、工程（ａ）と工程（ｂ）の間で第２の電極上に
誘電体層を形成することが望ましく、あるいは又、工程
（ｂ）と工程（ｃ）の間で第２の電極上に誘電体層を形
成することが望ましい。更には、保護層を形成する場合
には、誘電体層を形成した後、あるいは、蛍光体層を形
成した後、保護層を形成することが望ましい。When a dielectric layer is formed on the second electrode, it is desirable to form a dielectric layer on the second electrode between step (a) and step (b). Further, it is desirable to form a dielectric layer on the second electrode between the steps (b) and (c). Furthermore, when forming a protective layer, it is desirable to form the protective layer after forming the dielectric layer or after forming the phosphor layer.

【００２８】更には、本発明の第３の態様に係る交流駆
動型プラズマ表示装置の製造方法は、（ａ）第２の基板
上に、第２の電極を構成する導電材料層を形成する工
程、（ｂ）第２の基板に凹部を形成し、以て、頂面に導
電材料層から成る第２の電極が形成された第１の凸部、
及び、頂面に導電材料層が形成された第２の凸部を形成
する工程、（ｃ）第２の凸部の頂面に形成された導電材
料層を除去する工程、並びに、（ｄ）第１の凸部と、該
第１の凸部の両側に位置する第２の凸部との間に位置す
る第２の基板の領域に同色を発光する蛍光体層を形成す
る工程、を具備することを特徴とする。Further, the method for manufacturing an AC-driven plasma display device according to the third aspect of the present invention comprises the steps of: (a) forming a conductive material layer constituting a second electrode on a second substrate; (B) a first convex portion having a concave portion formed in the second substrate, and a second electrode made of a conductive material layer formed on the top surface;
And a step of forming a second convex portion having a conductive material layer formed on the top surface, (c) a step of removing the conductive material layer formed on the top surface of the second convex portion, and (d) Forming a phosphor layer emitting the same color in a region of the second substrate located between the first convex portion and the second convex portions located on both sides of the first convex portion. It is characterized by doing.

【００２９】尚、第２の電極上に誘電体層を形成する場
合には、工程（ｂ）と工程（ｃ）の間で第２の電極上に
誘電体層を形成することが望ましく、あるいは又、工程
（ｃ）と工程（ｄ）の間で第２の電極上に誘電体層を形
成することが望ましい。更には、保護層を形成する場合
には、誘電体層を形成した後、あるいは、蛍光体層を形
成した後、保護層を形成することが望ましい。When a dielectric layer is formed on the second electrode, it is desirable to form the dielectric layer on the second electrode between the steps (b) and (c), or Further, it is desirable to form a dielectric layer on the second electrode between the steps (c) and (d). Furthermore, when forming a protective layer, it is desirable to form the protective layer after forming the dielectric layer or after forming the phosphor layer.

【００３０】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置（以
下、単にプラズマ表示装置と略称する場合がある）にあ
っては、第１の凸部及び第２の凸部を、第２の基板の表
面部分から構成することができる。即ち、第１の凸部及
び第２の凸部が第２の基板から延在している構成とする
ことができる。In the AC-driven plasma display device of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as a plasma display device), the first projection and the second projection are formed on the surface of the second substrate. It can be composed of parts. That is, the first and second protrusions can be configured to extend from the second substrate.

【００３１】あるいは又、第１の凸部及び第２の凸部や
突起部（第１の突起部及び第２の突起部を含む）を、従
来公知の絶縁材料から構成することができ、例えば、広
く用いられている低融点ガラスにアルミナ等の金属酸化
物を混合した材料から構成することができる。突起部
は、プラズマ表示装置の構造に依存して、第１の基板上
に形成され、あるいは又、第１の基板に形成された第１
の電極上及び第１の基板上に形成されている。第１の凸
部及び第２の凸部の形成方法（即ち、本発明の第１の態
様に係るプラズマ表示装置の製造方法における工程
（ａ））、あるいは又、突起部（これらを総称して、便
宜上、凸部等と呼ぶ場合がある）の形成方法として、ス
クリーン印刷法、ドライフィルム法、感光法を例示する
ことができる。ここで、スクリーン印刷法とは、凸部等
を形成すべき部分に対応するスクリーンの部分に開口部
が形成されており、スクリーン上の凸部等形成用材料を
スキージを用いて開口部を通過させ、第２の基板上、第
１の基板上、第１の基板に形成された誘電体層上（以
下、これらを総称して、第２の基板等上と呼ぶ）に凸部
等形成用材料層を形成した後、かかる凸部等形成用材料
層を焼成する方法である。ドライフィルム法とは、第２
の基板等上に感光性フィルムをラミネートし、露光及び
現像によって凸部等形成予定部位の感光性フィルムを除
去し、除去によって生じた開口部に凸部等形成用材料を
埋め込み、焼成する方法である。感光性フィルムは焼成
によって燃焼、除去され、開口部に埋め込まれた凸部等
形成用材料が残り、凸部等となる。感光法とは、第２の
基板等上に感光性を有する凸部等形成用材料層を形成
し、露光及び現像によってこの凸部等形成用材料層をパ
ターニングした後、焼成を行う方法である。また、第１
の凸部及び第２の凸部の形成方法（即ち、本発明の第１
の態様に係るプラズマ表示装置の製造方法における工程
（ａ））として、サンドブラスト形成法を挙げることも
できる。ここで、サンドブラスト形成法とは、例えば、
スクリーン印刷やロールコーター、ドクターブレード、
ノズル吐出式コーター等を用いて凸部等形成用材料層を
第２の基板上に形成し、乾燥させた後、凸部等を形成す
べき凸部等形成用材料層の部分をマスク層で被覆し、次
いで、露出した凸部等形成用材料層の部分をサンドブラ
スト法によって除去する方法である。突起部の形成方法
を、物理的気相成長法（ＰＶＤ法）とエッチング法の組
合せ、あるいは、化学的気相成長法（ＣＶＤ法）とエッ
チング法の組合せとすることもできる。Alternatively, the first projection, the second projection, and the projection (including the first projection and the second projection) can be made of a conventionally known insulating material. It can be made of a material obtained by mixing a widely used low melting glass with a metal oxide such as alumina. The protrusion is formed on the first substrate, or may be formed on the first substrate, depending on the structure of the plasma display device.
And on the first substrate. A method for forming the first convex portion and the second convex portion (that is, the step (a) in the method for manufacturing a plasma display device according to the first embodiment of the present invention) or a projection portion (collectively referred to as these). , For convenience, may be referred to as projections, etc.), a screen printing method, a dry film method, and a photosensitive method. Here, the screen printing method means that an opening is formed in a portion of the screen corresponding to a portion where a convex portion or the like is to be formed, and a material for forming the convex portion on the screen is passed through the opening using a squeegee. Then, on the second substrate, on the first substrate, and on the dielectric layer formed on the first substrate (hereinafter, these are collectively referred to as “on the second substrate or the like”). This is a method in which after forming the material layer, the material layer for forming such protrusions is fired. What is dry film method?
Laminate the photosensitive film on the substrate etc., remove the photosensitive film at the site where the projections and the like are to be formed by exposure and development, embed the material for forming the projections and the like in the opening created by the removal, and bake it. is there. The photosensitive film is burned and removed by baking, and the material for forming the projections and the like embedded in the openings remains to form projections and the like. The photosensitive method is a method in which a material layer for forming a convex portion or the like having photosensitivity is formed on a second substrate or the like, and the material layer for forming a convex portion or the like is patterned by exposure and development, followed by baking. . Also, the first
The method of forming the convex portion and the second convex portion (that is, the first method of the present invention)
As the step (a)) in the method for manufacturing a plasma display device according to the aspect, a sandblast forming method can also be mentioned. Here, the sandblasting method is, for example,
Screen printing, roll coater, doctor blade,
A material layer for forming convex portions or the like is formed on the second substrate using a nozzle discharge type coater or the like, and after drying, a portion of the material layer for forming convex portions or the like where a convex portion or the like is to be formed is masked. This is a method of coating, and then removing the exposed portions of the material layer for forming protrusions and the like by sandblasting. The method for forming the protrusions may be a combination of physical vapor deposition (PVD) and etching, or a combination of chemical vapor deposition (CVD) and etching.

【００３２】あるいは又、本発明の第１の態様に係るプ
ラズマ表示装置の製造方法における前記工程（ａ）は、
また、本発明の第２の態様若しくは第３の態様に係るプ
ラズマ表示装置の製造方法における前記工程（ｂ）は、
開口部が形成されたレジスト層を第２の基板に形成した
後、このレジスト層をエッチング用マスクとして第２の
基板をエッチング（ウエットエッチングあるいはドライ
エッチング）する工程から成る形態とすることができ
る。これによって、溝部あるいは孔部から構成された凹
部を得ることができる。あるいは又、これらの工程は、
対向する第２の基板に、機械的掘削法あるいは機械的研
削法にて溝部から成る凹部を形成する工程から成る形態
とすることができる。ここで、機械的掘削法としてダイ
シング・ソー法を挙げることができ、また、機械的研削
法としてサンドブラスト形成法を挙げることができる。
場合によっては、第２の基板を例えば熱間プレス法にて
製造して、第２の基板に予め溝部あるいは孔部から構成
された凹部を形成しておいてもよく、このような方法
も、本発明の第１の態様に係るプラズマ表示装置の製造
方法における工程（ａ）に包含される。Alternatively, in the method of manufacturing a plasma display device according to the first aspect of the present invention, the step (a) comprises:
Further, the step (b) in the method for manufacturing a plasma display device according to the second aspect or the third aspect of the present invention, comprises:
After the resist layer having the opening is formed on the second substrate, the second substrate can be etched (wet etching or dry etching) using the resist layer as an etching mask. Thereby, a concave portion composed of a groove or a hole can be obtained. Alternatively, these steps
The method may include a step of forming a concave portion having a groove in the opposing second substrate by a mechanical excavation method or a mechanical grinding method. Here, a dicing saw method can be cited as a mechanical excavation method, and a sandblasting method can be cited as a mechanical grinding method.
In some cases, the second substrate may be manufactured by, for example, a hot pressing method, and a concave portion formed of a groove or a hole may be formed on the second substrate in advance. This is included in step (a) in the method for manufacturing a plasma display device according to the first aspect of the present invention.

【００３３】第２の凸部を黒くすることにより、所謂ブ
ラック・マトリックスを形成し、表示画面の高コントラ
スト化を図ることができる。このような第２の凸部を黒
くする方法として、黒色に着色されたカラーレジスト材
料を用いて第２の凸部を形成する方法、第２の凸部の頂
面に遮光材料層を形成する方法を例示することができ
る。By making the second projection black, a so-called black matrix can be formed, and the display screen can have high contrast. As a method of blackening such a second convex portion, a method of forming the second convex portion using a color resist material colored black, and a method of forming a light shielding material layer on the top surface of the second convex portion. The method can be illustrated.

【００３４】第１の電極を構成する導電性材料は、プラ
ズマ表示装置が透過型であるか、反射型であるかによっ
て異なる。透過型のプラズマ表示装置では、蛍光体層の
発光は第２の基板を通して観察されるので、第１の電極
を構成する導電性材料に関して透明／不透明の別は問わ
ず、また、第２の電極を構成する導電性材料に関しても
透明／不透明の別は問わない。一方、反射型のプラズマ
表示装置では、蛍光体層の発光は第１の基板を通して観
察されるので、第２の電極を構成する導電性材料に関し
て透明／不透明の別は問わないが、第１の電極を構成す
る導電性材料は透明である必要がある。尚、ここで述べ
る透明／不透明とは、蛍光体材料に固有の発光波長（可
視光域）における導電性材料の光透過性に基づく。即
ち、蛍光体層から射出される光に対して透明であれば、
第１の電極や第２の電極を構成する導電性材料は透明で
あると云える。不透明な導電性材料として、Ｎｉ、Ａ
ｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ／Ａｇ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｂ
ａ、ＬａＢ₆、Ｃａ_0.2Ｌａ_0.8ＣｒＯ₃等の材料を単独又
は適宜組み合わせて用いることができる。透明な導電性
材料として、ＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）やＳｎＯ
₂を挙げることができる。第１の電極や第２の電極は、
スパッタ法や、真空蒸着法、スクリーン印刷法、サンド
ブラスト形成法、メッキ法、リフトオフ法等によって形
成することができる。The conductive material forming the first electrode differs depending on whether the plasma display device is a transmission type or a reflection type. In the transmission type plasma display device, since the light emission of the phosphor layer is observed through the second substrate, it does not matter whether the conductive material constituting the first electrode is transparent or opaque. Regarding the conductive material constituting, it does not matter whether it is transparent or opaque. On the other hand, in the reflection type plasma display device, the light emission of the phosphor layer is observed through the first substrate. The conductive material forming the electrodes needs to be transparent. The transparency / opacity described here is based on the light transmittance of the conductive material at an emission wavelength (visible light region) specific to the phosphor material. That is, if it is transparent to light emitted from the phosphor layer,
The conductive material forming the first electrode and the second electrode can be said to be transparent. Ni, A as opaque conductive material
1, Au, Ag, Pd / Ag, Cr, Ta, Cu, B
Materials such as a, LaB ₆ , Ca _0.2 La _0.8 CrO ₃ can be used alone or in appropriate combination. As a transparent conductive material, ITO (indium tin oxide) or SnO
₂ can be mentioned. The first electrode and the second electrode are
It can be formed by a sputtering method, a vacuum evaporation method, a screen printing method, a sand blast forming method, a plating method, a lift-off method, or the like.

【００３５】第１の電極に加えて、第１の電極全体のイ
ンピーダンスを低下させるために、第１の電極に接し
て、第１の電極よりも電気抵抗率の低い材料から成るバ
ス電極が設けられている構成とすることもできる。バス
電極は、典型的には、金属材料、例えば、Ａｇ、Ａｕ、
Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層
膜から構成することができる。かかる金属材料から成る
バス電極は、反射型のプラズマ表示装置においては、蛍
光体層から放射されて第１の基板を通過する可視光の透
過光量を低減させ、表示画面の輝度を低下させる要因と
なり得るので、第１の電極全体に要求される電気抵抗値
が得られる範囲内で出来る限り細く形成することが好ま
しい。バス電極は、スパッタ法や、真空蒸着法、スクリ
ーン印刷法、サンドブラスト形成法、メッキ法、リフト
オフ法等によって形成することができる。In addition to the first electrode, a bus electrode made of a material having a lower electric resistivity than the first electrode is provided in contact with the first electrode to reduce the impedance of the entire first electrode. It is also possible to adopt a configuration that has been used. The bus electrode is typically made of a metal material such as Ag, Au,
It can be composed of Al, Ni, Cu, Mo, Cr, Cr / Cu / Cr laminated film. The bus electrode made of such a metal material, in a reflective plasma display device, reduces the amount of visible light transmitted from the phosphor layer and passing through the first substrate, thereby reducing the brightness of the display screen. Therefore, it is preferable to form the first electrode as thin as possible within a range in which the electric resistance required for the entire first electrode can be obtained. The bus electrode can be formed by a sputtering method, a vacuum evaporation method, a screen printing method, a sand blast forming method, a plating method, a lift-off method, or the like.

【００３６】先に述べたように、第１の電極及び第２の
電極の表面には、例えば、電子ビーム蒸着法やスパッタ
法、真空蒸着法、スクリーン印刷法等に基づき、誘電体
層が形成されていることが好ましい。誘電体層を設ける
ことによって、イオンや電子と放電維持電極との直接接
触を防止することができる結果、第１の電極や第２の電
極の磨耗を防ぐことができる。誘電体層は、壁電荷を蓄
積する機能、過剰な放電電流を制限する抵抗体としての
機能、放電状態を維持するメモリ機能を有する。誘電体
層は、典型的には、低融点ガラスあるいは酸化ケイ素か
ら構成することができるが、その他の誘電体材料を用い
て形成することもできる。As described above, a dielectric layer is formed on the surfaces of the first electrode and the second electrode by, for example, an electron beam evaporation method, a sputtering method, a vacuum evaporation method, a screen printing method, or the like. It is preferred that By providing the dielectric layer, it is possible to prevent direct contact between ions and electrons and the discharge sustaining electrode, and as a result, it is possible to prevent abrasion of the first electrode and the second electrode. The dielectric layer has a function of accumulating wall charges, a function as a resistor for limiting an excessive discharge current, and a memory function for maintaining a discharge state. The dielectric layer can be typically made of low-melting glass or silicon oxide, but can also be formed using other dielectric materials.

【００３７】誘電体層の上に、保護層を形成することが
一層好ましい。保護層を設けることによって、イオンや
電子と放電維持電極との直接接触を防止することができ
る結果、放電維持電極の磨耗を防ぐことができる。保護
層は、放電に必要な２次電子を放出する機能も有する。
保護層を構成する材料として、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ₂）、フッ化カルシ
ウム（ＣａＦ₂）を例示することができる。中でも酸化
マグネシウムは、２次電子放出比が高い上に、スパッタ
リング率が低く、蛍光体層の発光波長における光透過率
が高く、放電開始電圧が低い等の特色を有する好適な材
料である。尚、保護層を、これらの材料から成る群から
選択された少なくとも２種類の材料から構成された積層
膜構造としてもよい。It is more preferable to form a protective layer on the dielectric layer. By providing the protective layer, it is possible to prevent direct contact between ions or electrons and the sustain electrode, and as a result, it is possible to prevent wear of the sustain electrode. The protective layer also has a function of emitting secondary electrons required for discharge.
Magnesium oxide (Mg)
O), magnesium fluoride (MgF ₂ ), and calcium fluoride (CaF ₂ ). Among them, magnesium oxide is a suitable material having characteristics such as a high secondary electron emission ratio, a low sputtering rate, a high light transmittance at the emission wavelength of the phosphor layer, and a low discharge starting voltage. Incidentally, the protective layer may have a laminated film structure composed of at least two kinds of materials selected from the group consisting of these materials.

【００３８】本発明のプラズマ表示装置において、第１
パネルを構成する第１の基板及び第２パネルを構成する
第２の基板の構成材料として、高歪点ガラス、ソーダガ
ラス（Ｎａ₂Ｏ・ＣａＯ・ＳｉＯ₂）、硼珪酸ガラス（Ｎ
ａ₂Ｏ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂）、フォルステライト（２Ｍｇ
Ｏ・ＳｉＯ₂）、鉛ガラス（Ｎａ₂Ｏ・ＰｂＯ・Ｓｉ
Ｏ ₂）を例示することができる。第１の基板と第２の基
板の構成材料は、同じであっても異なっていてもよい。In the plasma display device of the present invention, the first
Constructing a first substrate and a second panel constituting a panel
High strain point glass, sodaga
Las (Na_TwoO ・ CaO ・ SiO_Two), Borosilicate glass (N
a_TwoOB_TwoO_Three・ SiO_Two), Forsterite (2Mg)
O ・ SiO_Two), Lead glass (Na_TwoO ・ PbO ・ Si
O _Two) Can be exemplified. First substrate and second substrate
The constituent materials of the plates may be the same or different.

【００３９】蛍光体層は、例えば、赤色を発光する蛍光
体材料、緑色を発光する蛍光体材料及び青色を発光する
蛍光体材料から成る群から選択された蛍光体材料から構
成され、第１の凸部と、この第１の凸部の両側に位置す
る第２の凸部との間（以下、第２の基板の凹部領域と呼
ぶ場合がある）に形成されている。プラズマ表示装置が
カラー表示の場合、具体的には、例えば、赤色を発光す
る蛍光体材料から構成された蛍光体層（赤色蛍光体層）
が第２の基板の凹部領域に設けられ、緑色を発光する蛍
光体材料から構成された蛍光体層（緑色蛍光体層）が第
２の基板の別の凹部領域に設けられ、青色を発光する蛍
光体材料から構成された蛍光体層（青色蛍光体層）が更
に別の第２の基板の凹部領域に設けられており、これら
の３原色を発光する蛍光体層が１組となり、所定の順序
に従って設けられている。そして、第１の電極と第２の
電極とこれらの３原色を発光する１組の蛍光体層が重複
する領域が、１画素に相当する。赤色蛍光体層、緑色蛍
光体層及び青色蛍光体層は、ストライプ状に形成されて
いてもよいし、ドット状に形成されていてもよい。更に
は、第１の電極と第２の電極とが重複する領域近傍にの
み、蛍光体層を形成してもよい。第２の基板の凹部領域
は、第２の方向に沿って各画素毎に連続していてもよい
し、不連続であってもよい。The phosphor layer is made of, for example, a phosphor material selected from the group consisting of a phosphor material that emits red light, a phosphor material that emits green light, and a phosphor material that emits blue light. It is formed between the convex portion and the second convex portions located on both sides of the first convex portion (hereinafter, may be referred to as a concave region of the second substrate). When the plasma display device performs color display, specifically, for example, a phosphor layer (a red phosphor layer) composed of a phosphor material that emits red light
Is provided in a concave region of the second substrate, and a phosphor layer (green phosphor layer) made of a phosphor material that emits green light is provided in another concave region of the second substrate, and emits blue light. A phosphor layer (a blue phosphor layer) made of a phosphor material is further provided in a recessed region of another second substrate, and a set of the phosphor layers emitting these three primary colors is provided. They are provided in order. A region where the first electrode, the second electrode, and a set of phosphor layers that emit these three primary colors overlaps corresponds to one pixel. The red phosphor layer, the green phosphor layer, and the blue phosphor layer may be formed in a stripe shape or in a dot shape. Further, the phosphor layer may be formed only in the vicinity of the region where the first electrode and the second electrode overlap. The concave region of the second substrate may be continuous for each pixel along the second direction, or may be discontinuous.

【００４０】蛍光体層を構成する蛍光体材料としては、
従来公知の蛍光体材料の中から、量子効率が高く、真空
紫外線に対する飽和が少ない蛍光体材料を適宜選択して
用いることができる。カラー表示を想定した場合、色純
度がＮＴＳＣで規定される３原色に近く、３原色を混合
した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、３原色の
残光時間がほぼ等しくなる蛍光体材料を組み合わせるこ
とが好ましい。真空紫外線の照射により赤色に発光する
蛍光体材料として、（Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ）、（ＹＢＯ₃Ｅ
ｕ）、（ＹＶＯ₄：Ｅｕ）、（Ｙ_0.96Ｐ_0.60Ｖ_0.40Ｏ₄：
Ｅｕ_0.04）、［（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ］、（ＧｄＢ
Ｏ₃：Ｅｕ）、（ＳｃＢＯ₃：Ｅｕ）、（３．５ＭｇＯ・
０．５ＭｇＦ₂・ＧｅＯ₂：Ｍｎ）を例示することができ
る。真空紫外線の照射により緑色に発光する蛍光体材料
として、（ＺｎＳｉＯ₂：Ｍｎ）、（ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：
Ｍｎ）、（ＢａＭｇ₂Ａｌ₁₆Ｏ₂₇：Ｍｎ）、（ＭｇＧａ₂
Ｏ₄：Ｍｎ）、（ＹＢＯ₃：Ｔｂ）、（ＬｕＢＯ₃：Ｔ
ｂ）、（Ｓｒ₄Ｓｉ₃Ｏ₈Ｃｌ₄：Ｅｕ）を例示することが
できる。真空紫外線の照射により青色に発光する蛍光体
材料として、（Ｙ₂ＳｉＯ₅：Ｃｅ）、（ＣａＷＯ₄：Ｐ
ｂ）、ＣａＷＯ₄、ＹＰ_{0. 85}Ｖ_0.15Ｏ₄、（ＢａＭｇＡｌ
₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ）、（Ｓｒ₂Ｐ₂Ｏ₇：Ｅｕ）、（Ｓｒ ₂Ｐ₂
Ｏ₇：Ｓｎ）を例示することができる。蛍光体層の形成
方法として、厚膜印刷法、蛍光体粒子をスプレーする方
法、蛍光体層の形成予定部位に予め粘着性物質を付けて
おき、蛍光体粒子を付着させる方法、感光性の蛍光体ペ
ーストを使用し、露光及び現像によって蛍光体層をパタ
ーニングする方法、全面に蛍光体層を形成した後に不要
部をサンドブラスト形成法により除去する方法を挙げる
ことができる。As the phosphor material constituting the phosphor layer,
Among the known phosphor materials, high quantum efficiency, vacuum
Select a phosphor material that is less saturated with ultraviolet light
Can be used. Assuming color display, color pure
The degree is close to the three primary colors specified by NTSC, and the three primary colors are mixed
White balance, short afterglow time, and three primary colors
Combine phosphor materials with almost equal afterglow times.
Is preferred. Emit red light when irradiated with vacuum ultraviolet light
As a phosphor material, (Y_TwoO_Three: Eu), (YBO)_ThreeE
u), (YVO_Four: Eu), (Y_0.96P_0.60V_0.40O_Four:
Eu_0.04), [(Y, Gd) BO_Three: Eu], (GdB
O_Three: Eu), (ScBO)_Three: Eu), (3.5MgO.
0.5MgF_Two・ GeO_Two: Mn).
You. Phosphor material that emits green light when irradiated with vacuum ultraviolet light
As (ZnSiO_Two: Mn), (BaAl)₁₂O₁₉:
Mn), (BaMg_TwoAl₁₆O₂₇: Mn), (MgGa_Two
O_Four: Mn), (YBO)_Three: Tb), (LuBO)_Three: T
b), (Sr_FourSi_ThreeO₈Cl_Four: Eu)
it can. Phosphor that emits blue light when irradiated with vacuum ultraviolet light
As a material, (Y_TwoSiO_Five: Ce), (CaWO)_Four: P
b), CaWO_Four, YP_{0. 85}V_0.15O_Four, (BaMgAl
₁₄O_{twenty three}: Eu), (Sr_TwoP_TwoO₇: Eu), (Sr _TwoP_Two
O₇: Sn). Formation of phosphor layer
Thick film printing method, method of spraying phosphor particles
Method, attach a sticky substance to the phosphor layer
Method of attaching phosphor particles, photosensitive phosphor
The phosphor layer by exposure and development.
Cleaning method, unnecessary after forming phosphor layer on the entire surface
To remove the parts by sandblasting
be able to.

【００４１】場合によっては、蛍光体層の表面に、酸化
マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ
₂）、フッ化カルシウム（ＣａＦ₂）等から成る保護層を
形成してもよい。In some cases, magnesium oxide (MgO), magnesium fluoride (MgF
₂ ), a protective layer made of calcium fluoride (CaF ₂ ) or the like may be formed.

【００４２】本発明のプラズマ表示装置若しくはその製
造方法において、第１の基板と第２の基板によって挟ま
れた空間に充填、封入された放電ガスである希ガスの圧
力は、２．０×１０⁴Ｐａ（０．２気圧）乃至３．０×
１０⁵Ｐａ（３気圧）、好ましくは４．０×１０⁴Ｐａ
（０．４気圧）乃至２．０×１０⁵Ｐａ（２気圧）とす
ることが望ましい。In the plasma display device or the method of manufacturing the same according to the present invention, the pressure of the rare gas, which is the discharge gas filled and sealed in the space between the first substrate and the second substrate, is 2.0 × 10 ⁴ Pa (0.2 atm) to 3.0 ×
10 ⁵ Pa (3 atm), preferably 4.0 × 10 ⁴ Pa
(0.4 atm) to 2.0 × 10 ⁵ Pa (2 atm) is desirable.

【００４３】空間に封入される希ガスには、以下の点が
要求される。 プラズマ表示装置の長寿命化の観点から、化学的に
安定であり、且つ、ガス圧力を高く設定し得ること 表示画面の高輝度化の観点から、真空紫外線の放射
強度が大きいこと 真空紫外線から可視光線へのエネルギー変換効率を
高める観点から、放射される真空紫外線の波長が長いこ
と 消費電力低減の観点から、放電開始電圧の低いことThe following points are required for the rare gas sealed in the space. It is chemically stable from the viewpoint of extending the life of the plasma display device and the gas pressure can be set high. From the viewpoint of increasing the brightness of the display screen, the emission intensity of vacuum ultraviolet rays is large. Visible from vacuum ultraviolet rays. The wavelength of the emitted vacuum ultraviolet rays is long from the viewpoint of increasing the energy conversion efficiency to light rays. The discharge starting voltage is low from the viewpoint of reducing power consumption.

【００４４】希ガスとして、Ｈｅ（共鳴線の波長＝５
８．４ｎｍ）、Ｎｅ（同７４．４ｎｍ）、Ａｒ（同１０
７ｎｍ）、Ｋｒ（同１２４ｎｍ）、Ｘｅ（同１４７ｎ
ｍ）を単独で用いるか、又は混合して用いることが可能
であるが、ペニング効果による放電開始電圧の低下が期
待できる混合ガスが特に有用である。かかる混合ガスと
しては、Ｎｅ−Ａｒ混合ガス、Ｈｅ−Ｘｅ混合ガス、Ｎ
ｅ−Ｘｅ混合ガス、Ｘｅ−Ｋｒ混合ガスを挙げることが
できる。尚、これらの希ガスの中でも最も長い共鳴線波
長を有するＸｅは、波長１７２ｎｍの強い真空紫外線も
放射するので、好適な希ガスである。As a rare gas, He (resonance line wavelength = 5)
8.4 nm), Ne (74.4 nm), Ar (10
7 nm), Kr (124 nm), Xe (147 n)
It is possible to use m) alone or to mix them, but a mixed gas which is expected to lower the firing voltage due to the Penning effect is particularly useful. As such a mixed gas, a Ne—Ar mixed gas, a He—Xe mixed gas, a N
An e-Xe mixed gas and a Xe-Kr mixed gas can be exemplified. Xe, which has the longest resonance line wavelength among these rare gases, is also a preferred rare gas because it also emits strong vacuum ultraviolet light having a wavelength of 172 nm.

【００４５】第１の電極と第２の電極との間の距離（誘
電体層や保護層が形成されている場合には、これらの層
の間の距離）は本質的には任意であり、１×１０^-4ｍ程
度であってもよいし、数十μｍ程度、例えば、５×１０
^-5ｍ未満であってもよい。３電極型のプラズマ表示装置
とする場合、一対の第１の電極（一対の放電維持電極）
の間の距離も本質的には任意であり、１×１０^-4ｍ程度
であってもよいが、５×１０^-5ｍ未満、好ましくは５．
０×１０^-5ｍ未満、更に好ましくは４×１０^-5ｍ以下、
一層好ましくは２×１０^-5ｍ以下であることが望まし
い。尚、２電極型のプラズマ表示装置における第１の電
極と第２の電極との間の距離、あるいは、３電極型のプ
ラズマ表示装置における一対の第１の電極（一対の放電
維持電極）の間の距離を５×１０^-5ｍ未満とする場合に
は、空間内における希ガスの圧力を２．０×１０⁴Ｐａ
（０．２気圧）以上３．０×１０⁵Ｐａ（３気圧）以
下、好ましくは４．０×１０⁴Ｐａ（０．４気圧）以上
２．０×１０⁵Ｐａ（２気圧）以下とすることが望まし
く、このような圧力範囲とすることによって、希ガス中
での陰極グローに主に基づき発生した紫外線に照射され
て蛍光体層が発光するし、このような圧力範囲内では、
圧力が高いほどプラズマ表示装置を構成する各種部材の
スパッタリング率が低減する結果、プラズマ表示装置を
長寿命化することができる。The distance between the first electrode and the second electrode (if a dielectric layer or a protective layer is formed, the distance between these layers is essentially arbitrary) It may be about 1 × 10 ⁻⁴ m or about several tens μm, for example, 5 × 10
^It may be less than ^-5 m. In the case of a three-electrode type plasma display device, a pair of first electrodes (a pair of discharge sustaining electrodes)
Is essentially arbitrary and may be about 1 × 10 ⁻⁴ m, but less than 5 × 10 ⁻⁵ m, preferably 5.
Less than 0 × 10 ⁻⁵ m, more preferably 4 × 10 ⁻⁵ m or less,
More preferably, it is desirably 2 × 10 ⁻⁵ m or less. The distance between the first electrode and the second electrode in the two-electrode type plasma display device, or between the pair of first electrodes (a pair of discharge sustaining electrodes) in the three-electrode type plasma display device. Is less than 5 × 10 ⁻⁵ m, the pressure of the rare gas in the space is set to 2.0 × 10 ⁴ Pa
(0.2 atm) or more and 3.0 × 10 ⁵ Pa (3 atm) or less, preferably 4.0 × 10 ⁴ Pa (0.4 atm) or more and 2.0 × 10 ⁵ Pa (2 atm) or less. It is desirable that by setting the pressure range as described above, the phosphor layer emits light when irradiated with ultraviolet light generated mainly based on the cathode glow in the rare gas, and within such a pressure range,
The higher the pressure, the lower the sputtering rate of the various members constituting the plasma display device. As a result, the life of the plasma display device can be extended.

【００４６】本発明においては、第２の電極が第１の凸
部の頂面に形成されているが故に、第２の電極と第１の
電極との間の距離に関する設計自由度を高くすることが
できる。また、第１の凸部と、この第１の凸部の両側に
位置する第２の凸部との間に、即ち、第１の凸部の両側
に設けられた２つの凹部に、同色を発光する蛍光体層が
形成されているが故に、蛍光体層の面積を拡大すること
ができる。In the present invention, since the second electrode is formed on the top surface of the first projection, the degree of freedom in designing the distance between the second electrode and the first electrode is increased. be able to. In addition, the same color is applied between the first convex portion and the second convex portions located on both sides of the first convex portion, that is, two concave portions provided on both sides of the first convex portion. Since the phosphor layer that emits light is formed, the area of the phosphor layer can be increased.

【００４７】[0047]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、発明の実
施の形態（実施の形態と略称する）に基づき本発明を説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings based on embodiments of the invention (abbreviated as embodiments).

【００４８】（実施の形態１）実施の形態１は、本発明
のプラズマ表示装置に関する。第１の構成に係るプラズ
マ表示装置を第１の方向と平行な垂直面で切断したとき
の模式的な一部断面図を図１に示す。また、第１の基板
における第１の電極等の模式的な配置図を図２の
（Ａ）、図４の（Ａ）に示し、第２の方向と平行な垂直
面（図２の（Ａ）、図４の（Ａ）の矢印Ｂ−Ｂを参照）
で第１の基板を切断したときの模式的な一部断面図を図
２の（Ｂ）、図４の（Ｂ）に示す。更には、プラズマ表
示装置を分解した状態の模式的な部分的斜視図を図３、
図５に示す。尚、図２の（Ａ）及び図４の（Ａ）におい
ては、明示のために構成要素に斜線を付した。Embodiment 1 Embodiment 1 relates to a plasma display device of the present invention. FIG. 1 shows a schematic partial cross-sectional view when the plasma display device according to the first configuration is cut along a vertical plane parallel to the first direction. In addition, FIGS. 2A and 4A show schematic layout views of the first electrode and the like on the first substrate, and show a vertical plane parallel to the second direction (FIG. 2A). ), Arrow BB in FIG. 4 (A))
FIGS. 2 (B) and 4 (B) are schematic partial cross-sectional views when the first substrate is cut by using FIGS. FIG. 3 is a schematic partial perspective view showing a state where the plasma display device is disassembled.
As shown in FIG. In FIG. 2A and FIG. 4A, components are hatched for clarity.

【００４９】本発明のプラズマ表示装置は、（Ａ）第１
の基板１１、（Ｂ）第１の基板１１に対向して配された
第２の基板２１、（Ｃ）第１の基板１１上に形成され、
第１の方向に延びる複数の第１の電極１２（あるいは第
１の電極１２Ａ，１２Ｂ）、（Ｄ）第１の基板１１と対
向した第２の基板２１の表面に交互に設けられ、第１の
方向とは異なる第２の方向に延びる複数の第１の凸部２
２Ａ及び第２の凸部２２Ｂ、（Ｅ）第１の凸部２２Ａの
頂面に形成された第２の電極２３、（Ｆ）第１の凸部２
２Ａと、この第１の凸部２２Ａの両側に位置する第２の
凸部２２Ｂとの間に形成され、同色を発光する蛍光体層
２６（赤色発光蛍光体層２６Ｒ，緑色発光蛍光体層２６
Ｇ，青色発光蛍光体層２６Ｂ）、並びに、（Ｇ）第１の
基板１１と第２の基板２１との間に形成された空間内に
充填された放電ガスから成る。尚、第１の電極１２全体
のインピーダンスを低下させるために、第１の電極１
２，１２Ａ，１２Ｂに接して、第１の電極１２，１２
Ａ，１２Ｂよりも電気抵抗率の低い材料から成るバス電
極１３，１３Ａ，１３Ｂが設けられている。また、第１
の電極１２，１２Ａ，１２Ｂ、バス電極１３，１３Ａ，
１３Ｂ及び第１の基板１１上には第１の誘電体層１４が
形成され、第１の誘電体層１４の上には第１の保護層１
５が形成されている。更には、第２の電極２３の上には
第２の誘電体層２４が形成され、第２の誘電体層２４
上、凸部２２Ａ，２２Ｂの露出した部分、蛍光体層２６
上には、第２の保護層２５が形成されている。尚、図３
及び図５においては、第２の保護層２５の図示を省略し
た。According to the plasma display device of the present invention, (A) the first
(B) formed on the first substrate 11, (B) a second substrate 21 disposed opposite to the first substrate 11,
A plurality of first electrodes 12 (or first electrodes 12A and 12B) extending in a first direction; A plurality of first protrusions 2 extending in a second direction different from the direction of
2A and the second projection 22B, (E) the second electrode 23 formed on the top surface of the first projection 22A, (F) the first projection 2
2A and the second protrusions 22B located on both sides of the first protrusion 22A, and the phosphor layers 26 (red light-emitting phosphor layer 26R, green light-emitting phosphor layer 26, which emit the same color).
G, the blue light emitting phosphor layer 26B), and (G) a discharge gas filled in a space formed between the first substrate 11 and the second substrate 21. In order to reduce the impedance of the entire first electrode 12, the first electrode 1
2, 12A, 12B, the first electrodes 12, 12
Bus electrodes 13, 13A, 13B made of a material having a lower electrical resistivity than A, 12B are provided. Also, the first
Electrodes 12, 12A, 12B, bus electrodes 13, 13A,
13B and a first dielectric layer 14 are formed on the first substrate 11, and the first protective layer 1 is formed on the first dielectric layer 14.
5 are formed. Further, a second dielectric layer 24 is formed on the second electrode 23, and the second dielectric layer 24
Upper, exposed portions of the projections 22A and 22B, the phosphor layer 26
A second protective layer 25 is formed thereon. FIG.
5, the illustration of the second protective layer 25 is omitted.

【００５０】フロントパネルに相当する第１パネル１０
は、第１の基板１１、第１の電極１２（あるいは第１の
電極１２Ａ，１２Ｂ）、バス電極１３（あるいはバス電
極１３Ａ，１３Ｂ）、第１の誘電体層１４、第１の保護
層１５から構成されている。また、バックパネルに相当
する第２パネル２０は、第２の基板２１、第１の凸部２
２Ａ及び第２の凸部２２Ｂ、第２の電極２３、蛍光体層
２６（赤色発光蛍光体層２６Ｒ，緑色発光蛍光体層２６
Ｇ，青色発光蛍光体層２６Ｂ）、第２の誘電体層２４、
第２の保護層２５から構成されている。第１の電極１２
（あるいは第１の電極１２Ａ，１２Ｂ）の射影像と第２
の電極２３の射影像とは直交している。第１の電極１２
（あるいは第１の電極１２Ａ，１２Ｂ）と、第２の電極
２３と、これらの３原色を発光する１組の蛍光体層２６
Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂとが重複する領域が、１画素に相当
する。また、第１の電極１２（あるいは第１の電極１２
Ａ，１２Ｂ）と、第２の電極２３と、蛍光体層２６と、
一対の第２の凸部２２Ｂとによって囲まれた空間が、１
つの放電セルに相当する。First panel 10 corresponding to front panel
Are a first substrate 11, a first electrode 12 (or first electrodes 12A and 12B), a bus electrode 13 (or bus electrodes 13A and 13B), a first dielectric layer 14, and a first protective layer 15. It is composed of The second panel 20 corresponding to the back panel includes the second substrate 21 and the first protrusion 2.
2A and the second protrusion 22B, the second electrode 23, and the phosphor layer 26 (red light-emitting phosphor layer 26R, green light-emitting phosphor layer 26).
G, blue light emitting phosphor layer 26B), second dielectric layer 24,
It is composed of a second protective layer 25. First electrode 12
(Or the projected images of the first electrodes 12A and 12B) and the second electrode
Is orthogonal to the projected image of the electrode 23. First electrode 12
(Or the first electrodes 12A and 12B), the second electrode 23, and a set of phosphor layers 26 that emits these three primary colors.
An area where R, 26G, and 26B overlap corresponds to one pixel. In addition, the first electrode 12 (or the first electrode 12
A, 12B), the second electrode 23, the phosphor layer 26,
The space surrounded by the pair of second convex portions 22B is 1
One discharge cell.

【００５１】ここで、図２及び図３に示すプラズマ表示
装置は、所謂２電極型に属する。即ち、第１の電極１２
と第２の電極２３との間に交流を印加することによっ
て、第１の電極１２と第２の電極２３との間で放電が生
じ、その結果生じた真空紫外線の照射によって励起され
た蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光色
を呈する。Here, the plasma display device shown in FIGS. 2 and 3 belongs to a so-called two-electrode type. That is, the first electrode 12
When an alternating current is applied between the first electrode 12 and the second electrode 23, a discharge occurs between the first electrode 12 and the second electrode 23, and the resulting phosphor is excited by irradiation with vacuum ultraviolet rays. The layer exhibits a unique emission color according to the type of phosphor material.

【００５２】一方、図４及び図５に示すプラズマ表示装
置は、所謂３電極型に属する。即ち、一対の第１の電極
１２Ａ，１２Ｂの間に交流を印加することによって、一
対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂの間で放電が生じ、その
結果生じた真空紫外線の照射によって励起された蛍光体
層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光色を呈す
る。放電開始前に、一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂの
一方と第２の電極２３との間にパルス状の電圧を印加す
ることで、放電開始の電圧を低下させることができる。
尚、３電極型のプラズマ表示装置にあっては、第２の保
護層２５を省略することができる。On the other hand, the plasma display device shown in FIGS. 4 and 5 belongs to a so-called three-electrode type. That is, by applying an alternating current between the pair of first electrodes 12A and 12B, a discharge is generated between the pair of first electrodes 12A and 12B, and the resulting fluorescent light is excited by irradiation with vacuum ultraviolet rays. The body layer emits a specific emission color according to the type of the phosphor material. By applying a pulsed voltage between one of the pair of first electrodes 12A and 12B and the second electrode 23 before the start of discharge, the voltage at the start of discharge can be reduced.
In the case of a three-electrode type plasma display device, the second protective layer 25 can be omitted.

【００５３】そして、第１の構成のプラズマ表示装置に
あっては、第２の基板２１の表面から第２の凸部２２Ｂ
の頂面（より具体的には、第２の凸部２２Ｂの頂面に形
成された第２の保護層２５）までの高さＨ₂は、第２の
基板２１の表面から第１の凸部２２Ａの頂面に形成され
た第２の電極２３（より具体的には、第１の凸部２２Ａ
の頂面上方に形成された第２の保護層２５）までの高さ
Ｈ₁よりも高く、即ち、Ｈ₂＞Ｈ₁を満足し、第１の基板
１１と第２の基板１２が対向して配された状態におい
て、第２の凸部２２Ｂの頂面（より具体的には、第２の
凸部２２Ｂの頂面に形成された第２の保護層２５）が、
第１の基板１１（より具体的には、第１の保護層１５）
に接している。Ｈ₂、Ｈ₁の値を、例えば、それぞれ、６
０μｍ、４０μｍとすることができる。Then, in the plasma display device of the first configuration, the second convex portion 22B extends from the surface of the second substrate 21.
The height H ₂ from the surface of the second substrate 21 to the top surface of the second substrate 21 (more specifically, the second protective layer 25 formed on the top surface of the second projection 22B) is The second electrode 23 formed on the top surface of the portion 22A (more specifically, the first convex portion 22A
Is higher than the height H ₁ to the second protective layer 25) formed above the top surface of the first substrate, that is, H ₂ > H ₁ is satisfied, and the first substrate 11 and the second substrate 12 face each other. In the state where the second protrusion 22B is disposed, the top surface of the second protrusion 22B (more specifically, the second protective layer 25 formed on the top surface of the second protrusion 22B)
First substrate 11 (more specifically, first protective layer 15)
Is in contact with The values of H ₂ and H ₁ are, for example, 6 respectively.
It can be set to 0 μm or 40 μm.

【００５４】第２の構成に係るプラズマ表示装置を第１
の方向と平行な垂直面で切断したときの模式的な一部断
面図を図６の（Ａ）及び（Ｂ）、並びに図７に示す。ま
た、第１の基板における第１の電極等の模式的な配置図
を図８の（Ａ）に示し、第２の方向と平行な垂直面（図
８の（Ａ）の矢印Ｂ−Ｂを参照）で第１の基板を切断し
たときの模式的な一部断面図を図８の（Ｂ）に示す。
尚、図８の（Ａ）においては、明示のために構成要素に
斜線を付した。The plasma display device according to the second configuration is the first type.
6A and 6B and FIG. 7 are schematic partial cross-sectional views cut along a vertical plane parallel to the direction of FIG. FIG. 8A is a schematic layout view of the first electrode and the like on the first substrate, and a vertical plane parallel to the second direction (the arrow BB in FIG. FIG. 8B shows a schematic partial cross-sectional view when the first substrate is cut in the step (see FIG. 8).
In FIG. 8A, components are hatched for clarity.

【００５５】この第２の構成のプラズマ表示装置にあっ
ては、隣接する第１の電極１２の間の第１の基板１１の
領域には、第１の方向に延びる突起部１６Ａが形成され
ている。そして、第１の基板１１と第２の基板１２が対
向して配された状態において、図６の（Ａ）に示すよう
に、突起部１６Ａの頂部（より具体的には、頂部に形成
された第１の保護層１５）と第２の凸部２２Ｂの頂面
（より具体的には、第２の凸部２２Ｂの頂面に形成され
た第２の保護層２５）とが接しており、高さＨ₂と高さ
Ｈ₁の関係はＨ₂＞Ｈ₁を満足する。In the plasma display device of the second configuration, a projection 16A extending in the first direction is formed in the region of the first substrate 11 between the adjacent first electrodes 12. I have. Then, in a state where the first substrate 11 and the second substrate 12 are arranged to face each other, as shown in FIG. The first protective layer 15) and the top surface of the second convex portion 22B (more specifically, the second protective layer 25 formed on the top surface of the second convex portion 22B). , the relationship of the height H ₂ and height H ₁ satisfies the H _2> H _1.

【００５６】あるいは又、図６の（Ｂ）に示すように、
突起部１６Ａの頂部（より具体的には、頂部に形成され
た第１の保護層１５）と第２の凸部２２Ｂの頂面（より
具体的には、第２の凸部２２Ｂの頂面に形成された第２
の保護層２５）とが接しており、且つ、突起部１６Ａの
頂部（より具体的には、頂部に形成された第１の保護層
１５）と第１の凸部２２Ａの頂面に形成された第２の電
極２３（より具体的には、第１の凸部２２Ａの頂面上方
に形成された第２の保護層２５）とが接しており、高さ
Ｈ₂と高さＨ₁の関係はＨ₂＝Ｈ₁を満足する。Alternatively, as shown in FIG.
The top of the projection 16A (more specifically, the first protective layer 15 formed on the top) and the top of the second projection 22B (more specifically, the top of the second projection 22B) The second formed on
Of the projection 16A (more specifically, the first protection layer 15 formed on the top) and the top surface of the first projection 22A. and (more specifically, the second protective layer 25 formed on the top surface above the first projecting portion 22A) the second electrode 23 and the contacts, the height H ₂ and height H ₁ The relationship satisfies H ₂ = H ₁ .

【００５７】あるいは又、図７に示すように、突起部１
６Ａの頂部（より具体的には、頂部に形成された第１の
保護層１５）と第１の凸部２２Ａの頂面に形成された第
２の電極２３（より具体的には、第１の凸部２２Ａの頂
面上方に形成された第２の保護層２５）とが接してお
り、高さＨ₂と高さＨ₁の関係はＨ₂＜Ｈ₁を満足する。Alternatively, as shown in FIG.
6A (more specifically, the first protective layer 15 formed on the top) and the second electrode 23 (more specifically, the first protection layer 15 formed on the top surface of the first protrusion 22A). and the second protective layer 25) and the contacts formed on the top surface above the convex portions 22A of the relationship the height H ₂ and height H ₁ satisfies the H ₂ <H _1.

【００５８】ここで、図８に示すプラズマ表示装置は所
謂２電極型に属するが、第２の構成に係るプラズマ表示
装置を、図４及び図５に示した３電極型とすることもで
きる。Here, the plasma display device shown in FIG. 8 belongs to a so-called two-electrode type, but the plasma display device according to the second configuration may be a three-electrode type shown in FIGS. 4 and 5.

【００５９】第３の構成に係るプラズマ表示装置を第１
の方向と平行な垂直面で切断したときの模式的な一部断
面図を図９の（Ａ）及び（Ｂ）、並びに図１０に示す。
また、第１の基板における第１の電極等の模式的な配置
図を図１１の（Ａ）に示し、第２の方向と平行な垂直面
（図１１の（Ａ）の矢印Ｂ−Ｂを参照）で第１の基板を
切断したときの模式的な一部断面図を図１１の（Ｂ）に
示す。尚、図１１の（Ａ）においては、明示のために構
成要素に斜線を付した。The plasma display device according to the third configuration is the first type.
FIGS. 9A and 9B and FIG. 10 are schematic partial cross-sectional views cut along a vertical plane parallel to the direction of FIG.
FIG. 11A is a schematic layout view of the first electrode and the like on the first substrate, and a vertical plane parallel to the second direction (the arrow BB in FIG. FIG. 11B shows a schematic partial cross-sectional view when the first substrate is cut in the step (see FIG. 11). In FIG. 11A, the components are hatched for clarity.

【００６０】この第３の構成のプラズマ表示装置にあっ
ては、第２の凸部２２Ｂと対向する第１の基板１１の領
域には、第２の方向に延びる突起部１６Ｂが形成されて
いる。そして、第１の基板１１と第２の基板１２が対向
して配された状態において、図９の（Ａ）に示すよう
に、突起部１６Ｂの頂部（より具体的には、頂部に形成
された第１の保護層１５）と第２の凸部２２Ｂの頂面
（より具体的には、第２の凸部２２Ｂの頂面に形成され
た第２の保護層２５）とが接しており、高さＨ₂と高さ
Ｈ₁の関係はＨ₂＞Ｈ₁を満足する。あるいは又、図９の
（Ｂ）に示すように、高さＨ₂と高さＨ₁の関係はＨ₂＝
Ｈ₁を満足する。あるいは又、高さＨ₂と高さＨ₁の関係
はＨ₂＜Ｈ₁を満足する。In the plasma display device having the third configuration, a projection 16B extending in the second direction is formed in a region of the first substrate 11 facing the second projection 22B. . Then, in a state where the first substrate 11 and the second substrate 12 are arranged to face each other, as shown in FIG. 9A, the top portion of the protrusion 16B (more specifically, the top portion is formed on the top portion). The first protective layer 15) and the top surface of the second convex portion 22B (more specifically, the second protective layer 25 formed on the top surface of the second convex portion 22B). , the relationship of the height H ₂ and height H ₁ satisfies the H _2> H _1. Alternatively, as shown in FIG. 9B, the relationship between the height H ₂ and the height H ₁ is H ₂ =
To satisfy the H _1. Alternatively, the relationship between the height H ₂ and height H ₁ satisfies the H ₂ <H _1.

【００６１】ここで、図１１に示すプラズマ表示装置
は、所謂２電極型に属するが、第３の構成に係るプラズ
マ表示装置を、図４及び図５に示した３電極型とするこ
ともできる。Here, the plasma display device shown in FIG. 11 belongs to a so-called two-electrode type, but the plasma display device according to the third configuration can be a three-electrode type shown in FIGS. 4 and 5. .

【００６２】第４の構成に係るプラズマ表示装置を第１
の方向と平行な垂直面で切断したときの模式的な一部断
面図を図１２の（Ａ）及び（Ｂ）、並びに図１３に示
す。また、第１の基板における第１の電極等の模式的な
配置図を図１４の（Ａ）に示し、第２の方向と平行な垂
直面（図１４の（Ａ）の矢印Ｂ−Ｂを参照）で第１の基
板を切断したときの模式的な一部断面図を図１４の
（Ｂ）に示す。尚、図１４の（Ａ）においては、明示の
ために構成要素に斜線を付した。The plasma display device according to the fourth configuration is the first
12A and 12B and FIG. 13 are schematic partial cross-sectional views cut along a vertical plane parallel to the direction of FIG. FIG. 14A is a schematic layout view of the first electrode and the like on the first substrate, and a vertical plane parallel to the second direction (the arrow BB in FIG. FIG. 14B shows a schematic partial cross-sectional view when the first substrate is cut in the step (see FIG. 14). In FIG. 14A, the components are hatched for clarity.

【００６３】この第４の構成のプラズマ表示装置にあっ
ては、隣接する第１の電極１２の間の第１の基板１１の
領域には、第１の方向に延びる第１の突起部１１６Ａが
形成され、更に、第２の凸部２２Ｂと対向する第１の基
板１１の領域には、第２の方向に延びる第２の突起部１
１６Ｂが形成されている。そして、第１の突起部１１６
Ａと第２の突起部１１６Ｂとによって、井桁状の突起部
が形成されている。ここで、第１の基板１１と第２の基
板１２が対向して配された状態において、図１２の
（Ａ）に示すように、第２の突起部１１６Ｂの頂部（よ
り具体的には、頂部に形成された第１の保護層１５）と
第２の凸部２２Ｂの頂面（より具体的には、第２の凸部
２２Ｂの頂面に形成された第２の保護層２５）とが接し
ており、高さＨ₂と高さＨ₁の関係はＨ₂＞Ｈ₁を満足す
る。In the plasma display device having the fourth configuration, the first projection 116A extending in the first direction is provided in the region of the first substrate 11 between the adjacent first electrodes 12. The second projection 1 extending in the second direction is formed in a region of the first substrate 11 which is formed and faces the second projection 22B.
16B are formed. Then, the first protrusion 116
A and a second protrusion 116B form a girder-shaped protrusion. Here, in a state where the first substrate 11 and the second substrate 12 are arranged to face each other, as shown in FIG. 12A, the top of the second protrusion 116B (more specifically, A first protective layer 15 formed on the top portion) and a top surface of the second convex portion 22B (more specifically, a second protective layer 25 formed on the top surface of the second convex portion 22B); is in contact, the relationship between the height H ₂ and height H ₁ satisfies the H _2> H _1.

【００６４】あるいは又、図１２の（Ｂ）に示すよう
に、第２の突起部１１６Ｂの頂部（より具体的には、頂
部に形成された第１の保護層１５）と第２の凸部２２Ｂ
の頂面（より具体的には、第２の凸部２２Ｂの頂面に形
成された第２の保護層２５）とが接しており、且つ、第
１の突起部１１６Ａの頂部（より具体的には、頂部に形
成された第１の保護層１５）と第１の凸部２２Ａの頂面
に形成された第２の電極２３（より具体的には、第１の
凸部２２Ａの頂面上方に形成された第２の保護層２５）
とが接しており、高さＨ₂と高さＨ₁の関係はＨ₂＝Ｈ₁を
満足する。Alternatively, as shown in FIG. 12B, the top of the second protrusion 116B (more specifically, the first protective layer 15 formed on the top) and the second protrusion are formed. 22B
(More specifically, the second protective layer 25 formed on the top surface of the second protrusion 22B) is in contact with the top surface of the first protrusion 116A (more specifically, The first protective layer 15 formed on the top and the second electrode 23 formed on the top of the first protrusion 22A (more specifically, the top surface of the first protrusion 22A) Second protective layer 25 formed above)
Doo is in contact, the relationship between the height H ₂ and height H ₁ satisfies the H ₂ = H _1.

【００６５】あるいは又、図１３に示すように、第１の
突起部１１６Ａの頂部（より具体的には、頂部に形成さ
れた第１の保護層１５）と第１の凸部２２Ａの頂面に形
成された第２の電極２３（より具体的には、第１の凸部
２２Ａの頂面上方に形成された第２の保護層２５）とが
接しており、高さＨ₂と高さＨ₁の関係はＨ₂＜Ｈ₁を満足
する。Alternatively, as shown in FIG. 13, the top of the first projection 116A (more specifically, the first protective layer 15 formed on the top) and the top of the first projection 22A. the second electrode 23 formed on (more specifically, the second protective layer 25 formed on the top surface above the first protrusion 22A) and is in contact, the height H ₂ and height the relationship of H ₁ satisfies the H ₂ <H _1.

【００６６】ここで、図１４に示すプラズマ表示装置
は、所謂２電極型に属するが、第４の構成に係るプラズ
マ表示装置を、図４及び図５に示した３電極型とするこ
ともできる。Here, the plasma display device shown in FIG. 14 belongs to a so-called two-electrode type, but the plasma display device according to the fourth configuration can be a three-electrode type shown in FIGS. 4 and 5. .

【００６７】以上に説明した各種の構成のプラズマ表示
装置におけるフロントパネルに相当する第１パネル１０
は、例えば、以下の方法にて作製することができる。
尚、以下の説明においては、２電極型のプラズマ表示装
置を例にとり説明するが、３電極型も同様の方法で作製
することができる。The first panel 10 corresponding to the front panel in the various types of plasma display devices described above.
Can be produced, for example, by the following method.
In the following description, a two-electrode-type plasma display device will be described as an example, but a three-electrode-type plasma display device can also be manufactured by a similar method.

【００６８】先ず、高歪点ガラスやソーダガラスから成
る第１の基板１１の全面に例えばスパッタリング法によ
り厚さ０．３μｍのＩＴＯ層を形成し、フォトリソグラ
フィ技術及びエッチング技術によりＩＴＯ層をストライ
プ状にパターニングすることによって、第１の電極１２
を、複数、形成する。第１の電極１２は第１の方向に延
びている。次に、全面に例えば真空蒸着法により厚さ約
１μｍのアルミニウム膜を形成し、フォトリソグラフィ
技術及びエッチング技術によりアルミニウム膜をパター
ニングすることによって、各第１の電極１２の縁部に沿
ってバス電極１３を形成する。その後、全面に、低融点
ガラスペースト層をスクリーン印刷法にて形成し、かか
る低融点ガラスペースト層を焼成することによって、厚
さ約２０μｍの第１の誘電体層１４を形成する。次い
で、その上に電子ビーム蒸着法により厚さ０．６μｍの
酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から成る第１の保護層１５
を形成する。以上の工程により第１パネル１０を完成す
ることができる。First, a 0.3 μm thick ITO layer is formed on the entire surface of the first substrate 11 made of high strain point glass or soda glass by, for example, a sputtering method, and the ITO layer is formed into a stripe shape by a photolithography technique and an etching technique. By patterning the first electrode 12
Are formed in plurality. The first electrode 12 extends in a first direction. Next, an aluminum film having a thickness of about 1 μm is formed on the entire surface by, for example, a vacuum deposition method, and the aluminum film is patterned by a photolithography technique and an etching technique. 13 is formed. Thereafter, a low-melting glass paste layer is formed on the entire surface by a screen printing method, and the low-melting glass paste layer is baked to form a first dielectric layer 14 having a thickness of about 20 μm. Then, a first protective layer 15 made of magnesium oxide (MgO) having a thickness of 0.6 μm is formed thereon by electron beam evaporation.
To form Through the above steps, the first panel 10 can be completed.

【００６９】そして、後述する製造方法にて製造された
バックパネルに相当する第２パネル２０の周縁部に例え
ばスクリーン印刷により、フリットガラスから成るシー
ル層を形成した後、第１パネル１０と第２パネル２０と
を貼り合わせ、焼成してシール層を硬化させる。その
後、第１パネル１０と第２パネル２０との間に形成され
た空間を排気した後、放電ガスであるＮｅ−Ｘｅ混合ガ
ス（例えば、Ｎｅ５０％−Ｘｅ５０％混合ガス）を圧力
８×１０⁴Ｐａ（０．８気圧）にて封入し、かかる空間
を封止する。こうして、プラズマ表示装置を完成させる
ことができる。尚、第１のパネル１０と第２のパネル２
０との貼り合わせを圧力８×１０⁴Ｐａ（０．８気圧）
のＮｅ−Ｘｅ混合ガスを満たしたチャンバ内で行えば、
排気工程とＮｅ−Ｘｅ混合ガスの封入工程を省略するこ
とも可能である。Then, a seal layer made of frit glass is formed on the peripheral portion of the second panel 20 corresponding to the back panel manufactured by a manufacturing method described later, for example, by screen printing. The panel 20 is bonded and fired to cure the seal layer. Then, after evacuating the space formed between the first panel 10 and the second panel 20, a Ne—Xe mixed gas (for example, a Ne50% -Xe50% mixed gas) as a discharge gas is applied at a pressure of 8 × 10 ^4. The space is sealed at Pa (0.8 atm) and the space is sealed. Thus, a plasma display device can be completed. Note that the first panel 10 and the second panel 2
The pressure of 8 × 10 ⁴ Pa (0.8 atm) for bonding with 0
In a chamber filled with a Ne-Xe mixed gas of
It is also possible to omit the exhausting step and the step of enclosing the Ne—Xe mixed gas.

【００７０】尚、突起部１６Ａ，１６Ｂ，１１６Ａ，１
１６Ｂを備えた第１パネル１０を製造する場合には、例
えば、バス電極を形成した後、高さ約２０μｍ、幅３０
〜４０μｍ前後のＳｉＯ₂層を、例えばＣＶＤ法とドラ
イエッチング法との組合せによって第１の基板１１の上
に形成すればよい。尚、これらの突起部は、第１の誘電
体層１４の形成後、あるいは、第１の保護層１５の形成
後に、形成してもよい。The projections 16A, 16B, 116A, 1
When manufacturing the first panel 10 provided with the 16B, for example, after forming a bus electrode, the height is about 20 μm and the width is 30 μm.
An SiO ₂ layer having a thickness of about 40 μm may be formed on the first substrate 11 by a combination of, for example, a CVD method and a dry etching method. Note that these protrusions may be formed after the formation of the first dielectric layer 14 or after the formation of the first protective layer 15.

【００７１】かかる構成を有する２電極型のプラズマ表
示装置において、画像を表示する場合、第１の電極１２
と第２の電極２３との間に交流電圧を印加すればよい。When displaying an image in the two-electrode type plasma display device having such a configuration, the first electrode 12
An AC voltage may be applied between the first electrode and the second electrode.

【００７２】３電極型プラズマ表示装置の交流グロー放
電動作の一例を説明する。尚、以下の動作説明において
は、一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂを、放電維持電極
１２と表現する。先ず、例えば、全ての一方の放電維持
電極１２に、放電開始電圧Ｖ _bdよりも高いパルス電圧を
短時間印加する。これによってグロー放電が生じ、一方
の放電維持電極１２の近傍の第１の誘電体層１４の表面
に誘電分極に起因して壁電荷が発生し、壁電荷が蓄積
し、見掛けの放電開始電圧が低下する。その後、第２の
電極（アドレス電極）２３に電圧を印加しながら、表示
をさせない放電セルに含まれる一方の放電維持電極１２
に電圧を印加することによって、第２の電極（アドレス
電極）２３と一方の放電維持電極１２との間にグロー放
電を生じさせ、蓄積された壁電荷を消去する。この消去
放電を各第２の電極（アドレス電極）２３において順次
実行する。一方、表示をさせる放電セルに含まれる一方
の放電維持電極には電圧を印加しない。これによって、
壁電荷の蓄積を維持する。その後、全ての一対の放電維
持電極１２間に所定のパルス電圧を印加することによっ
て、壁電荷が蓄積されていた放電セルにおいては一対の
放電維持電極１２の間でグロー放電が開始し、放電セル
においては、放電空間内における放電ガス中でのグロー
放電に基づき発生した真空紫外線の照射によって励起さ
れた蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光
色を呈する。尚、一方の放電維持電極と他方の放電維持
電極に印加される放電維持電圧の位相は半周期ずれてお
り、放電維持電極の極性は交流の周波数に応じて反転す
る。The AC glow discharge of the three-electrode type plasma display device
An example of the electric operation will be described. In the following description of the operation,
Connects the pair of first electrodes 12A and 12B to the discharge sustaining electrodes.
Expressed as 12. First, for example, maintaining all one discharge
The discharge starting voltage V is applied to the electrode 12. _bdHigher pulse voltage than
Apply for a short time. This produces a glow discharge, while
Surface of first dielectric layer 14 near discharge sustaining electrode 12
Wall charge is generated due to dielectric polarization, and the wall charge is accumulated
As a result, the apparent discharge starting voltage decreases. Then the second
Display while applying voltage to electrode (address electrode) 23
Discharge sustain electrode 12 included in a discharge cell that does not
Is applied to the second electrode (address).
Glow discharge between the electrode 23 and one of the sustain electrodes 12.
A charge is generated and the accumulated wall charge is erased. This erase
Discharge is sequentially performed at each second electrode (address electrode) 23.
Execute. On the other hand, the one included in the discharge cell to display
No voltage is applied to the discharge sustain electrodes. by this,
Maintain wall charge accumulation. After that, all pairs of discharge fibers
By applying a predetermined pulse voltage between the holding electrodes 12,
Therefore, in the discharge cell in which the wall charges have been accumulated, a pair of
A glow discharge starts between the discharge sustaining electrodes 12, and a discharge cell
In the discharge gas in the discharge space
It is excited by the irradiation of vacuum ultraviolet light generated by the discharge.
Phosphor layer provides unique light emission according to the type of phosphor material
It takes on a color. In addition, one sustaining electrode and the other sustaining electrode
The phases of the sustaining voltage applied to the electrodes are shifted by half a cycle.
The polarity of the sustain electrode is reversed according to the AC frequency.
You.

【００７３】プラズマ表示装置の交流グロー放電動作の
別の例を以下に説明する。先ず、全画素を初期化するた
めに全画素に対して消去放電を行い、次いで、放電動作
を行う。放電動作は、初期放電によって第１の誘電体層
の表面に壁電荷を発生させるアドレス期間と、グロー放
電を維持する放電維持期間とに分けて行われる。アドレ
ス期間では、選択された一方の放電維持電極１２と選択
された第２の電極２１３に、放電開始電圧Ｖ_bdよりも低
いパルス電圧を短時間印加する。パルス電圧が印加され
た一方の放電維持電極１２と第２の電極（アドレス電
極）２３との重複領域が表示画素として選択され、この
重複領域において第１の誘電体層１４の表面に誘電分極
に起因して壁電荷が発生し、壁電荷が蓄積される。続く
放電維持期間では、対になった放電維持電極にＶ_bdより
も低い放電維持電圧Ｖ_susを印加する。壁電荷が誘起す
る壁電圧Ｖ_wと放電維持電圧Ｖ_susとの和が放電開始電圧
Ｖ_bdよりも大きくなれば（即ち、Ｖ_w＋Ｖ_sus＞Ｖ_bd）、
グロー放電が開始される。一方の放電維持電極と他方の
放電維持電極に印加される放電維持電圧Ｖ_susの位相は
半周期ずれており、放電維持電極の極性は交流の周波数
に応じて反転する。Another example of the AC glow discharge operation of the plasma display device will be described below. First, an erasing discharge is performed on all the pixels to initialize all the pixels, and then a discharging operation is performed. The discharge operation is performed by dividing into an address period in which wall charges are generated on the surface of the first dielectric layer by an initial discharge and a discharge sustaining period in which glow discharge is maintained. In the address period, a pulse voltage lower than the discharge start voltage _Vbd is applied for a short time to one of the selected sustain electrodes 12 and the selected second electrode 213. An overlap region between one of the sustaining electrodes 12 to which the pulse voltage is applied and the second electrode (address electrode) 23 is selected as a display pixel, and the surface of the first dielectric layer 14 undergoes dielectric polarization in the overlap region. As a result, wall charges are generated, and the wall charges are accumulated. In the subsequent sustain period, a sustain voltage V _sus lower than V _bd is applied to the pair of sustain electrodes. If the sum of the wall voltage V _w induced by the wall charge and the sustaining voltage V _sus is greater than the _firing voltage V _bd (ie, V _w + V _sus > V _bd ),
Glow discharge is started. The phases of the sustaining voltage V _sus applied to one sustaining electrode and the other sustaining electrode are shifted by half a cycle, and the polarity of the sustaining electrode is inverted according to the frequency of the alternating current.

【００７４】（実施の形態２）実施の形態２は、本発明
の第１の態様に係るプラズマ表示装置の製造方法に関す
る。実施の形態２においては、図１に模式的な一部断面
図を示した第２パネル２０を製造するが、他の構成の第
２パネルも実質的に同様の方法で製造することができ
る。以下、第２の基板等の模式的な一部断面図である図
１５を参照して、実施の形態２のプラズマ表示装置の製
造方法を説明する。(Embodiment 2) Embodiment 2 relates to a method for manufacturing a plasma display device according to the first aspect of the present invention. In the second embodiment, the second panel 20 whose schematic partial cross-sectional view is shown in FIG. 1 is manufactured. However, a second panel having another configuration can be manufactured by a substantially similar method. Hereinafter, a method for manufacturing the plasma display device according to the second embodiment will be described with reference to FIG. 15 which is a schematic partial cross-sectional view of the second substrate and the like.

【００７５】［工程−２００］先ず、高歪点ガラスやソ
ーダガラスから成る第２の基板２１に、第２の方向に延
びる第１の凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを形成す
る。具体的には、ストライプ状の低融点ガラスペースト
層をスクリーン印刷法にて重ね印刷する。尚、１回のス
クリーン印刷にて、一般に、概ね１０μｍの低融点ガラ
スペースト層が形成される。その後、低融点ガラスペー
スト層を焼成することによって、第１の凸部２２Ａ及び
第２の凸部２２Ｂを得ることができる（図１５の（Ａ）
参照）。[Step-200] First, a first projection 22A and a second projection 22B extending in the second direction are formed on a second substrate 21 made of high strain point glass or soda glass. Specifically, a stripe-shaped low-melting glass paste layer is overprinted by a screen printing method. In general, a low-melting glass paste layer of about 10 μm is formed by one screen printing. Thereafter, the first convex portion 22A and the second convex portion 22B can be obtained by firing the low melting point glass paste layer (FIG. 15A).
reference).

【００７６】［工程−２１０］次に、第１の凸部２２Ａ
の頂面に第２の電極２３を形成する。具体的には、銀
（Ａｇ）から成る導電性ペーストを第１の凸部２２Ａの
頂面にクリーン印刷法にて印刷した後、導電性ペースト
を乾燥、焼成することによって、厚さ約５〜１０μｍの
第２の電極２３を得ることができる（図１５の（Ｂ）参
照）。[Step-210] Next, the first convex portion 22A
The second electrode 23 is formed on the top surface of the first electrode. Specifically, after printing a conductive paste made of silver (Ag) on the top surface of the first convex portion 22A by a clean printing method, the conductive paste is dried and fired to have a thickness of about 5 to 5 mm. A second electrode 23 of 10 μm can be obtained (see FIG. 15B).

【００７７】［工程−２２０］その後、第２の電極２３
を覆うように、第２の誘電体層２４を形成する。具体的
には、低融点ガラスペースト層をスクリーン印刷法にて
形成し、かかる低融点ガラスペースト層を焼成すること
によって、第２の誘電体層２４を形成することができる
（図１５の（Ｃ）参照）。第２の電極２３の頂面におけ
る第２の誘電体層２４の厚さを、約５〜２０μｍとし
た。[Step-220] Then, the second electrode 23
Is formed so as to cover the second dielectric layer 24. Specifically, the second dielectric layer 24 can be formed by forming a low-melting glass paste layer by a screen printing method and baking the low-melting glass paste layer ((C in FIG. 15). )reference). The thickness of the second dielectric layer 24 on the top surface of the second electrode 23 was about 5 to 20 μm.

【００７８】［工程−２３０］次いで、第１の凸部２２
Ａと、この第１の凸部２２Ａの両側に位置する第２の凸
部２２Ｂとの間に位置する第２の基板２１の領域（第２
の基板２１の凹部領域）に同色を発光する蛍光体層２６
を形成する。具体的には、３原色の蛍光体スラリーを順
次印刷し、焼成を行うことによって、蛍光体層２６Ｒ，
２６Ｇ，２６Ｂを形成することができる（図１５の
（Ｄ）参照）。[Step-230] Next, the first convex portion 22
A and a region of the second substrate 21 (second region
Phosphor layer 26 which emits the same color in the concave region of the substrate 21).
To form Specifically, the phosphor slurries of the three primary colors are sequentially printed and baked, whereby the phosphor layers 26R,
26G and 26B can be formed (see FIG. 15D).

【００７９】［工程−２４０］その後、全面に電子ビー
ム蒸着法により厚さ０．６μｍの酸化マグネシウム（Ｍ
ｇＯ）から成る第２の保護層２５を形成する。以上の工
程により第２パネル２０を完成することができる。尚、
第１の凸部２２Ａの高さＨ₁を４０μｍ、第２の凸部２
２Ｂの高さＨ₂を６０μｍとした。尚、３電極型のプラ
ズマ表示装置にあっては、第２の保護層２５を省略して
もよい。以下に説明する各種の製造方法においても同様
である。[Step-240] Thereafter, a 0.6 μm-thick magnesium oxide (M
gO) is formed. Through the above steps, the second panel 20 can be completed. still,
The height H1 of the _first projection 22A is 40 μm, and the height of the second projection 2A is 40 μm.
The height H _{2 of} 2B was set to 60 μm. In the case of a three-electrode type plasma display device, the second protective layer 25 may be omitted. The same applies to various manufacturing methods described below.

【００８０】第１の凸部２２Ａの高さＨ₁と第２の凸部
２２Ｂの高さＨ₂とがＨ₁＝Ｈ₂を満足し、あるいは、Ｈ₁
＞Ｈ₂を満足するような構造の第２パネルを製造する場
合には、［工程−２００］におけるストライプ状の低融
点ガラスペースト層をスクリーン印刷法にて重ね印刷す
るときの印刷回数を適切に選択すればよい。[0080] and the height H ₂ satisfies the H ₁ = H ₂ of the first height of the convex portion 22A H ₁ and the second convex portion 22B, or, H ₁
> When producing the second panel of the structure which satisfies with H _2, the [Step-200] print count when a stripe-shaped low melting point glass paste layer is overprinted by screen printing of a suitably in Just choose.

【００８１】場合によっては、［工程−２００］の後、
サンドブラスト形成法等によって、第１の凸部２２Ａ
と、この第１の凸部２２Ａの両側に位置する第２の凸部
２２Ｂとの間に位置する第２の基板２１の領域（第２の
基板２１の凹部領域）を掘り込み、第２の基板２１の凹
部の深さを深くしてもよい。あるいは又、［工程−２０
０］の前に、第１の凸部２２Ａを形成すべき第２の基板
２１の領域と第２の凸部２２Ｂを形成すべき第２の基板
２１の領域との間に位置する第２の基板２１の領域を、
サンドブラスト形成法等によって掘り込んでもよい。In some cases, after [Step-200],
The first projection 22A is formed by a sandblasting method or the like.
And a region of the second substrate 21 (a concave region of the second substrate 21) located between the first convex portion 22A and the second convex portions 22B located on both sides of the first convex portion 22A. The depth of the concave portion of the substrate 21 may be increased. Alternatively, [Step-20]
0], a second position located between the region of the second substrate 21 where the first protrusion 22A is to be formed and the region of the second substrate 21 where the second protrusion 22B is to be formed. The area of the substrate 21 is
It may be dug by a sandblasting method or the like.

【００８２】（実施の形態３）実施の形態３は、実施の
形態２にて説明した本発明の第１の態様に係るプラズマ
表示装置の製造方法の変形に関する。実施の形態３にお
いては、図７に模式的な一部断面図を示した第２パネル
２０を製造するが、他の構成の第２パネルも実質的に同
様の方法で製造することができる。以下、第２の基板等
の模式的な一部断面図である図１６を参照して、実施の
形態３のプラズマ表示装置の製造方法を説明する。(Embodiment 3) Embodiment 3 relates to a modification of the method of manufacturing a plasma display device according to the first embodiment of the present invention described in Embodiment 2. In the third embodiment, the second panel 20 whose schematic partial cross-sectional view is shown in FIG. 7 is manufactured. However, the second panel having another configuration can be manufactured by substantially the same method. Hereinafter, a method of manufacturing the plasma display device according to the third embodiment will be described with reference to FIG. 16 which is a schematic partial cross-sectional view of the second substrate and the like.

【００８３】［工程−３００］先ず、高歪点ガラスやソ
ーダガラスから成る第２の基板２１に、第２の方向に延
びる第１の凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを形成す
る。具体的には、第２の基板２１の全面にレジスト層を
形成し、リソグラフィ技術によって、第１の凸部２２Ａ
及び第２の凸部２２Ｂを形成すべき第２の基板２１の部
分以外の部分のレジスト層を除去する。次いで、サンド
ブラスト形成法にて、露出した第２の基板２１に凹部を
形成した後、レジスト層を除去する。こうして、第１の
凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを得ることができる
（図１６の（Ａ）参照）。尚、エッチング技術によっ
て、露出した第２の基板２１に凹部を形成してもよい。[Step-300] First, a first projection 22A and a second projection 22B extending in the second direction are formed on a second substrate 21 made of high strain point glass or soda glass. Specifically, a resist layer is formed on the entire surface of the second substrate 21 and the first convex portions 22A are formed by lithography.
Then, the resist layer is removed from portions other than the portion of the second substrate 21 where the second protrusions 22B are to be formed. Next, after forming a concave portion in the exposed second substrate 21 by a sandblasting method, the resist layer is removed. Thus, the first protrusion 22A and the second protrusion 22B can be obtained (see FIG. 16A). Note that a concave portion may be formed in the exposed second substrate 21 by an etching technique.

【００８４】［工程−３１０］次に、実施の形態２の
［工程−２１０］と同様にして、第１の凸部２２Ａの頂
面に第２の電極２３を形成する（図１６の（Ｂ）参
照）。[Step-310] Next, in the same manner as in [Step-210] of the second embodiment, the second electrode 23 is formed on the top surface of the first projection 22A (see FIG. )reference).

【００８５】［工程−３２０］その後、実施の形態２の
［工程−２２０］と同様にして、第２の電極２３を覆う
ように、第２の誘電体層２４を形成する（図１６の
（Ｃ）参照）。[Step-320] Then, similarly to [Step-220] of the second embodiment, a second dielectric layer 24 is formed so as to cover the second electrode 23 (see FIG. C)).

【００８６】［工程−３３０］次いで、第１の凸部２２
Ａと、この第１の凸部２２Ａの両側に位置する第２の凸
部２２Ｂとの間に位置する第２の基板２１の領域（第２
の基板２１の凹部領域）に同色を発光する蛍光体層２６
を形成する。具体的には、３原色の蛍光体スラリーを順
次印刷し、焼成を行うことによって、蛍光体層２６Ｒ，
２６Ｇ，２６Ｂを形成することができる（図１６の
（Ｄ）参照）。[Step-330] Next, the first convex portion 22
A and a region of the second substrate 21 (second region
Phosphor layer 26 which emits the same color in the concave region of the substrate 21).
To form Specifically, the phosphor slurries of the three primary colors are sequentially printed and baked, whereby the phosphor layers 26R,
26G and 26B can be formed (see FIG. 16D).

【００８７】［工程−３４０］その後、実施の形態２の
［工程−２４０］と同様にして、全面に第２の保護層２
５を形成する。以上の工程により第２パネル２０を完成
することができる。尚、第１の凸部２２Ａの高さＨ₁を
６０μｍ、第２の凸部２２Ｂの高さＨ₂を４０μｍとし
た。[Step-340] Thereafter, the second protective layer 2 is formed on the entire surface in the same manner as in [Step-240] of the second embodiment.
5 is formed. Through the above steps, the second panel 20 can be completed. The height H1 of the _first protrusion 22A was 60 μm, and the height H2 of the _second protrusion 22B was 40 μm.

【００８８】第１の凸部２２Ａの高さＨ₁と第２の凸部
２２Ｂの高さＨ₂とがＨ₁＝Ｈ₂を満足し、あるいは、Ｈ₁
＜Ｈ₂を満足するような構造の第２パネルを製造する場
合には、［工程−３００］における第１の凸部２２Ａ、
第２の凸部２２Ｂを形成した後、第２の凸部２２Ｂの頂
面に低融点ガラスペースト層をスクリーン印刷法にて形
成し、低融点ガラスペースト層を焼成すればよい。ある
いは又、工程−３００］における第１の凸部２２Ａ、第
２の凸部２２Ｂを形成した後、第１の凸部２２Ａの頂部
をエッチング法等に基づき削ってもよい。[0088] and the height H ₂ satisfies the H ₁ = H ₂ of the first height of the convex portion 22A H ₁ and the second convex portion 22B, or, H ₁
<In the case of producing a second panel having a structure that satisfies with H _2, the first protrusion 22A in [Step-300],
After forming the second convex portion 22B, a low-melting glass paste layer may be formed on the top surface of the second convex portion 22B by a screen printing method, and the low-melting glass paste layer may be fired. Alternatively, after forming the first convex portion 22A and the second convex portion 22B in [Step-300], the top portion of the first convex portion 22A may be ground based on an etching method or the like.

【００８９】（実施の形態４）実施の形態４は、本発明
の第２の態様に係るプラズマ表示装置の製造方法に関す
る。実施の形態４においては、図７に模式的な一部断面
図を示した第２パネル２０を製造するが、他の構成の第
２パネルも実質的に同様の方法で製造することができ
る。以下、第２の基板等の模式的な一部断面図である図
１７を参照して、実施の形態４のプラズマ表示装置の製
造方法を説明する。(Embodiment 4) Embodiment 4 relates to a method for manufacturing a plasma display device according to the second aspect of the present invention. In the fourth embodiment, the second panel 20 whose schematic partial cross-sectional view is shown in FIG. 7 is manufactured, but a second panel having another configuration can be manufactured by a substantially similar method. Hereinafter, a method of manufacturing the plasma display device according to the fourth embodiment will be described with reference to FIG. 17 which is a schematic partial cross-sectional view of the second substrate and the like.

【００９０】［工程−４００］先ず、第２の基板２１上
に、第２の方向に延びる第２の電極２３を形成する。具
体的には、アルミニウム（Ａｌ）金（Ａｕ）から成る厚
さ約１〜３μｍの導電材料層を真空蒸着法やスパッタリ
ング法にて第２の基板２１の全面に形成した後、リソグ
ラフィ技術及びエッチング技術によってパターニングを
行い、第２の方向に延びるストライプ状の第２の電極２
３を得ることができる（図１７の（Ａ）参照）。[Step-400] First, a second electrode 23 extending in the second direction is formed on the second substrate 21. Specifically, after a conductive material layer made of aluminum (Al) gold (Au) and having a thickness of about 1 to 3 μm is formed on the entire surface of the second substrate 21 by a vacuum evaporation method or a sputtering method, lithography and etching are performed. Patterning by a technique, a second electrode 2 in the form of a stripe extending in the second direction.
3 can be obtained (see FIG. 17A).

【００９１】［工程−４１０］その後、実施の形態２の
［工程−２２０］と同様にして、第２の電極２３を覆う
ように、第２の誘電体層２４を形成する（図１７の
（Ｂ）参照）。[Step-410] Then, similarly to [Step-220] of the second embodiment, a second dielectric layer 24 is formed so as to cover the second electrode 23 (see FIG. B)).

【００９２】［工程−４２０］次に、第２の電極２３と
第２の電極２３との間の第２の基板２１の領域に凹部を
形成し、以て、第２の基板２１の表面に交互に、第２の
方向に延びる複数の第１の凸部２２Ａ及び第２の凸部２
２Ｂを形成する。具体的には、第２の基板２１の全面に
レジスト層を形成し、リソグラフィ技術によって、第１
の凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを形成すべき第２の
基板２１の部分以外の部分のレジスト層を除去する。次
いで、サンドブラスト形成法にて、露出した第２の基板
２１に凹部を形成した後、レジスト層を除去する。こう
して、第１の凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを得るこ
とができる（図１７の（Ｃ）参照）。尚、エッチング技
術によって、露出した第２の基板２１に凹部を形成して
もよい。[Step-420] Next, a concave portion is formed in the region of the second substrate 21 between the second electrodes 23, so that the surface of the second substrate 21 is formed. Alternately, a plurality of first protrusions 22A and second protrusions 2 extending in the second direction
Form 2B. Specifically, a resist layer is formed on the entire surface of the second substrate 21 and the first layer is formed by a lithography technique.
The resist layer is removed from portions other than the portion of the second substrate 21 where the second protrusions 22A and the second protrusions 22B are to be formed. Next, after forming a concave portion in the exposed second substrate 21 by a sandblasting method, the resist layer is removed. Thus, the first protrusion 22A and the second protrusion 22B can be obtained (see FIG. 17C). Note that a concave portion may be formed in the exposed second substrate 21 by an etching technique.

【００９３】［工程−４３０］その後、第１の凸部２２
Ａと、この第１の凸部２２Ａの両側に位置する第２の凸
部２２Ｂとの間に位置する第２の基板２１の領域（第２
の基板２１の凹部領域）に同色を発光する蛍光体層２６
を形成する。具体的には、３原色の蛍光体スラリーを順
次印刷し、焼成を行うことによって、蛍光体層２６Ｒ，
２６Ｇ，２６Ｂを形成することができる。[Step-430] Then, the first convex portion 22 is formed.
A and a region of the second substrate 21 (second region
Phosphor layer 26 which emits the same color in the concave region of the substrate 21).
To form Specifically, the phosphor slurries of the three primary colors are sequentially printed and baked, whereby the phosphor layers 26R,
26G and 26B can be formed.

【００９４】［工程−４４０］その後、実施の形態２の
［工程−２４０］と同様にして、全面に第２の保護層２
５を形成する。以上の工程により第２パネル２０を完成
することができる。尚、第１の凸部２２Ａの高さＨ₁を
６０μｍ、第２の凸部２２Ｂの高さＨ₂を４０μｍとし
た。[Step-440] Thereafter, the second protective layer 2 is formed on the entire surface in the same manner as in [Step-240] of the second embodiment.
5 is formed. Through the above steps, the second panel 20 can be completed. The height H1 of the _first protrusion 22A was 60 μm, and the height H2 of the _second protrusion 22B was 40 μm.

【００９５】第１の凸部２２Ａの高さＨ₁と第２の凸部
２２Ｂの高さＨ₂とがＨ₁＝Ｈ₂を満足し、あるいは、Ｈ₁
＜Ｈ₂を満足するような構造の第２パネルを製造する場
合には、［工程−４２０］における第１の凸部２２Ａ、
第２の凸部２２Ｂを形成した後、第２の凸部２２Ｂの頂
面に低融点ガラスペースト層をスクリーン印刷法にて形
成した後、低融点ガラスペースト層を焼成すればよい。[0095] and the height H ₂ satisfies the H ₁ = H ₂ of the first height of the convex portion 22A H ₁ and the second convex portion 22B, or, H ₁
When manufacturing a second panel having a structure satisfying <H ₂ , the first convex portion 22A in [Step-420],
After forming the second convex portion 22B, a low-melting glass paste layer may be formed on the top surface of the second convex portion 22B by a screen printing method, and then the low-melting glass paste layer may be fired.

【００９６】（実施の形態５）実施の形態５は、実施の
形態４の製造方法の変形である。実施の形態５において
は、図６の（Ｂ）に模式的な一部断面図を示したと概ね
同様の構造を有する第２パネル２０を製造するが、他の
構成の第２パネルも実質的に同様の方法で製造すること
ができる。以下、第２の基板等の模式的な一部断面図で
ある図１８を参照して、実施の形態５のプラズマ表示装
置の製造方法を説明する。(Embodiment 5) Embodiment 5 is a modification of the manufacturing method of Embodiment 4. In Embodiment 5, the second panel 20 having substantially the same structure as that shown in the schematic partial cross-sectional view of FIG. 6B is manufactured. It can be manufactured in a similar manner. Hereinafter, a method of manufacturing the plasma display device according to the fifth embodiment will be described with reference to FIG. 18 which is a schematic partial cross-sectional view of the second substrate and the like.

【００９７】［工程−５００］先ず、実施の形態４の
［工程−４００］と同様にして、第２の基板２１上に、
第２の方向に延びる第２の電極２３を形成する（図１８
の（Ａ）参照）。[Step-500] First, as in [Step-400] of the fourth embodiment, the second substrate 21 is
A second electrode 23 extending in the second direction is formed (FIG. 18).
(A)).

【００９８】［工程−５１０］その後、実施の形態２の
［工程−２２０］と同様にして、但し、第２の電極２３
上及び第２の基板２１上に、第２の誘電体層２４を形成
する（図１８の（Ｂ）参照）。[Step-510] Then, the same as [Step-220] of the second embodiment except that the second electrode 23
A second dielectric layer 24 is formed on the upper and second substrates 21 (see FIG. 18B).

【００９９】［工程−５２０］次に、第２の電極２３と
第２の電極２３との間の第２の基板２１の領域に凹部を
形成し、以て、第２の基板２１の表面に交互に、第２の
方向に延びる複数の第１の凸部２２Ａ及び第２の凸部２
２Ｂを形成する。具体的には、第２の誘電体層２４の全
面にレジスト層を形成し、リソグラフィ技術によって、
第１の凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを形成すべき第
２の基板２１の部分以外の部分のレジスト層を除去す
る。次いで、サンドブラスト形成法にて、露出した第２
の誘電体層２４を除去し、更に、第２の基板２１に凹部
を形成した後、レジスト層を除去する。こうして、第１
の凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを得ることができる
（図１８の（Ｃ）参照）。尚、エッチング技術によっ
て、露出した第２の基板２１に凹部を形成してもよい。[Step-520] Next, a concave portion is formed in the region of the second substrate 21 between the second electrodes 23, so that the surface of the second substrate 21 is formed. A plurality of first protrusions 22A and second protrusions 2 alternately extending in the second direction.
Form 2B. Specifically, a resist layer is formed on the entire surface of the second dielectric layer 24, and is formed by a lithography technique.
The resist layer is removed from portions other than the portion of the second substrate 21 where the first protrusion 22A and the second protrusion 22B are to be formed. Next, the exposed second
After the dielectric layer 24 is removed, and a recess is formed in the second substrate 21, the resist layer is removed. Thus, the first
22A and the second convex portion 22B can be obtained (see FIG. 18C). Note that a concave portion may be formed in the exposed second substrate 21 by an etching technique.

【０１００】［工程−５３０］その後、第１の凸部２２
Ａと、この第１の凸部２２Ａの両側に位置する第２の凸
部２２Ｂとの間に位置する第２の基板２１の領域（第２
の基板２１の凹部領域）に同色を発光する蛍光体層２６
を形成する。具体的には、３原色の蛍光体スラリーを順
次印刷し、焼成を行うことによって、蛍光体層２６Ｒ，
２６Ｇ，２６Ｂを形成することができる。[Step-530] Then, the first convex portion 22 is formed.
A and a region of the second substrate 21 (second region
Phosphor layer 26 which emits the same color in the concave region of the substrate 21).
To form Specifically, the phosphor slurries of the three primary colors are sequentially printed and baked, whereby the phosphor layers 26R,
26G and 26B can be formed.

【０１０１】［工程−５４０］その後、実施の形態２の
［工程−２４０］と同様にして、全面に第２の保護層２
５を形成する。以上の工程により第２パネル２０を完成
することができる。尚、第１の凸部２２Ａの高さＨ₁及
び第２の凸部２２Ｂの高さＨ₂は等しく、６０μｍとし
た。[Step-540] Thereafter, the second protective layer 2 is formed on the entire surface in the same manner as in [Step-240] of the second embodiment.
5 is formed. Through the above steps, the second panel 20 can be completed. The height H ₂ of the height H ₁ and the second projecting portion 22B of the first convex portion 22A is equal to a 60 [mu] m.

【０１０２】第１の凸部２２Ａの高さＨ₁と第２の凸部
２２Ｂの高さＨ₂とがＨ₁＞Ｈ₂を満足し、あるいは、Ｈ₁
＜Ｈ₂を満足するような構造の第２パネルを製造する場
合には、［工程−５２０］における第１の凸部２２Ａ、
第２の凸部２２Ｂを形成した後、第２の凸部２２Ｂの頂
面から第２の誘電体層２４を除去し、あるいは又、第２
の凸部２２Ｂの頂面に低融点ガラスペースト層をスクリ
ーン印刷法にて形成した後、低融点ガラスペースト層を
焼成すればよい。[0102] and the height H ₂ satisfies the H _1> H ₂ of the first height of the convex portion 22A H ₁ and the second convex portion 22B, or, H ₁
When manufacturing a second panel having a structure that satisfies <H ₂ , the first convex portion 22A in [Step-520],
After forming the second protrusion 22B, the second dielectric layer 24 is removed from the top surface of the second protrusion 22B, or
After the low melting point glass paste layer is formed on the top surface of the projection 22B by the screen printing method, the low melting point glass paste layer may be fired.

【０１０３】（実施の形態６）実施の形態６も、実施の
形態４にて説明した本発明の第２の態様に係るプラズマ
表示装置の製造方法の変形に関する。実施の形態６にお
いては、図７に模式的な一部断面図を示した第２パネル
２０を製造するが、他の構成の第２パネルも実質的に同
様の方法で製造することができる。以下、第２の基板等
の模式的な一部断面図である図１９を参照して、実施の
形態６のプラズマ表示装置の製造方法を説明する。(Embodiment 6) Embodiment 6 also relates to a modification of the method of manufacturing a plasma display device according to the second embodiment of the present invention described in Embodiment 4. In the sixth embodiment, the second panel 20 whose schematic partial cross-sectional view is shown in FIG. 7 is manufactured. However, the second panel having another configuration can be manufactured by substantially the same method. Hereinafter, a method of manufacturing the plasma display device according to the sixth embodiment will be described with reference to FIG. 19 which is a schematic partial cross-sectional view of the second substrate and the like.

【０１０４】［工程−６００］先ず、実施の形態４の
［工程−４００］と同様にして、第２の基板２１上に、
第２の方向に延びる第２の電極２３を形成する（図１９
の（Ａ）参照）。[Step-600] First, as in [Step-400] of the fourth embodiment, the second substrate 21 is
A second electrode 23 extending in the second direction is formed (FIG. 19).
(A)).

【０１０５】［工程−６１０］次に、第２の電極２３と
第２の電極２３との間の第２の基板２１の領域に凹部を
形成し、以て、第２の基板２１の表面に交互に、第２の
方向に延びる複数の第１の凸部２２Ａ及び第２の凸部２
２Ｂを形成する。具体的には、第２の基板２１の全面に
レジスト層を形成し、リソグラフィ技術によって、第１
の凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを形成すべき第２の
基板２１の部分以外の部分のレジスト層を除去する。次
いで、サンドブラスト形成法にて、露出した第２の基板
２１に凹部を形成した後、レジスト層を除去する。こう
して、第１の凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを得るこ
とができる（図１９の（Ｂ）参照）。尚、エッチング技
術によって、露出した第２の基板２１に凹部を形成して
もよい。[Step-610] Next, a concave portion is formed in the region of the second substrate 21 between the second electrodes 23, so that the surface of the second substrate 21 is formed. The plurality of first protrusions 22A and the second protrusions 2 extending alternately in the second direction
Form 2B. Specifically, a resist layer is formed on the entire surface of the second substrate 21 and the first layer is formed by a lithography technique.
The resist layer is removed from portions other than the portion of the second substrate 21 where the second protrusions 22A and the second protrusions 22B are to be formed. Next, after forming a concave portion in the exposed second substrate 21 by a sandblasting method, the resist layer is removed. Thus, the first protrusion 22A and the second protrusion 22B can be obtained (see FIG. 19B). Note that a concave portion may be formed in the exposed second substrate 21 by an etching technique.

【０１０６】［工程−６２０］その後、実施の形態２の
［工程−２２０］と同様にして、第２の電極２３を覆う
ように、第２の誘電体層２４を形成する（図１９の
（Ｃ）参照）。[Step-620] Then, similarly to [Step-220] of the second embodiment, a second dielectric layer 24 is formed so as to cover the second electrode 23 (see FIG. C)).

【０１０７】［工程−６３０］その後、第１の凸部２２
Ａと、この第１の凸部２２Ａの両側に位置する第２の凸
部２２Ｂとの間に位置する第２の基板２１の領域（第２
の基板２１の凹部領域）に同色を発光する蛍光体層２６
を形成する。具体的には、３原色の蛍光体スラリーを順
次印刷し、焼成を行うことによって、蛍光体層２６Ｒ，
２６Ｇ，２６Ｂを形成することができる。[Step-630] Then, the first convex portion 22 is formed.
A and a region of the second substrate 21 (second region
Phosphor layer 26 which emits the same color in the concave region of the substrate 21).
To form Specifically, the phosphor slurries of the three primary colors are sequentially printed and baked, whereby the phosphor layers 26R,
26G and 26B can be formed.

【０１０８】［工程−６４０］その後、実施の形態２の
［工程−２４０］と同様にして、全面に第２の保護層２
５を形成する。以上の工程により第２パネル２０を完成
することができる。尚、第１の凸部２２Ａの高さＨ₁を
６０μｍ、第２の凸部２２Ｂの高さＨ₂を４０μｍとし
た。[Step-640] Thereafter, the second protective layer 2 is formed on the entire surface in the same manner as in [Step-240] of the second embodiment.
5 is formed. Through the above steps, the second panel 20 can be completed. The height H1 of the _first protrusion 22A was 60 μm, and the height H2 of the _second protrusion 22B was 40 μm.

【０１０９】第１の凸部２２Ａの高さＨ₁と第２の凸部
２２Ｂの高さＨ₂とがＨ₁＝Ｈ₂を満足し、あるいは、Ｈ₁
＜Ｈ₂を満足するような構造の第２パネルを製造する場
合には、［工程−６１０］における第１の凸部２２Ａ、
第２の凸部２２Ｂを形成した後、第２の凸部２２Ｂの頂
面に低融点ガラスペースト層をスクリーン印刷法にて形
成した後、低融点ガラスペースト層を焼成すればよい。[0109] and the height H ₂ satisfies the H ₁ = H ₂ of the first height of the convex portion 22A H ₁ and the second convex portion 22B, or, H ₁
In the case of manufacturing a second panel having a structure satisfying <H ₂ , the first protrusion 22A in [Step-610],
After forming the second convex portion 22B, a low-melting glass paste layer may be formed on the top surface of the second convex portion 22B by a screen printing method, and then the low-melting glass paste layer may be fired.

【０１１０】（実施の形態７）実施の形態７は、本発明
の第３の態様に係るプラズマ表示装置の製造方法に関す
る。実施の形態７においては、図７に模式的な一部断面
図を示した第２パネル２０を製造するが、他の構成の第
２パネルも実質的に同様の方法で製造することができ
る。以下、第２の基板等の模式的な一部断面図である図
２０を参照して、実施の形態７のプラズマ表示装置の製
造方法を説明する。(Embodiment 7) Embodiment 7 relates to a method of manufacturing a plasma display device according to the third aspect of the present invention. In the seventh embodiment, the second panel 20 whose schematic partial cross-sectional view is shown in FIG. 7 is manufactured. However, the second panel having another configuration can be manufactured by a substantially similar method. Hereinafter, a method for manufacturing the plasma display device according to the seventh embodiment will be described with reference to FIG. 20 which is a schematic partial cross-sectional view of the second substrate and the like.

【０１１１】［工程−７００］先ず、第２の基板２１上
に、第２の電極を構成する導電材料層２３Ａを形成す
る。具体的には、厚さ１μｍ程度のアルミニウム（Ａ
ｌ）から成る導電材料層２３Ａをスパッタリング法や真
空蒸着法によって第２の基板２１の全面に成膜する（図
２０の（Ａ）参照）。[Step-700] First, a conductive material layer 23A constituting a second electrode is formed on the second substrate 21. Specifically, aluminum (A) having a thickness of about 1 μm
The conductive material layer 23A made of 1) is formed on the entire surface of the second substrate 21 by a sputtering method or a vacuum evaporation method (see FIG. 20A).

【０１１２】［工程−７１０］次に、第２の基板２１に
凹部を形成し、以て、頂面に導電材料層２３Ａから成る
第２の電極２３が形成された第１の凸部２２Ａ、及び、
頂面に導電材料層２３Ａが形成された第２の凸部２２Ｂ
を形成する。具体的には、導電材料層２３Ａの全面にレ
ジスト層を形成し、リソグラフィ技術によって、第１の
凸部２２Ａ及び第２の凸部２２Ｂを形成すべき第２の基
板２１の部分以外の部分のレジスト層を除去する。次い
で、サンドブラスト形成法にて、露出した導電材料層２
３Ａを除去し、更に、第２の基板２１に凹部を形成した
後、レジスト層を除去する。こうして、第１の凸部２２
Ａ及び第２の凸部２２Ｂを得ることができる（図２０の
（Ｂ）参照）。尚、エッチング技術によって、露出した
第２の基板２１に凹部を形成してもよい。[Step-710] Next, a concave portion is formed in the second substrate 21, and the first convex portion 22A having the second electrode 23 made of the conductive material layer 23A formed on the top surface is formed. as well as,
Second convex portion 22B having conductive material layer 23A formed on the top surface
To form Specifically, a resist layer is formed on the entire surface of the conductive material layer 23A, and a portion other than the portion of the second substrate 21 on which the first protrusion 22A and the second protrusion 22B are to be formed by lithography. The resist layer is removed. Next, the exposed conductive material layer 2 is formed by a sandblasting method.
After removing 3A and forming a recess in the second substrate 21, the resist layer is removed. Thus, the first protrusion 22
A and the second convex portion 22B can be obtained (see FIG. 20B). Note that a concave portion may be formed in the exposed second substrate 21 by an etching technique.

【０１１３】［工程−７２０］その後、第２の凸部２２
Ｂの頂面に形成された導電材料層２３Ａを除去し、併せ
て、第１の凸部２２Ａの頂面に形成された第２の電極２
３の幅を狭め、第１の凸部２２Ａの頂面を部分的に露出
させる（図２０の（Ｃ）参照）。具体的には、リソグラ
フィ技術及びエッチング技術に基づき、導電材料層２３
Ａの除去、第２の電極２３のパターニングを行えばよ
い。[Step-720] Then, the second convex portion 22 is formed.
B, the conductive material layer 23A formed on the top surface is removed, and the second electrode 2 formed on the top surface of the first projection 22A is removed.
3 is narrowed, and the top surface of the first convex portion 22A is partially exposed (see FIG. 20C). Specifically, based on the lithography technology and the etching technology, the conductive material layer 23 is formed.
Removal of A and patterning of the second electrode 23 may be performed.

【０１１４】［工程−７３０］次に、実施の形態２の
［工程−２２０］と同様にして、第２の電極２３を覆う
ように、第２の誘電体層２４を形成する（図２０の
（Ｄ）参照）。[Step-730] Next, a second dielectric layer 24 is formed so as to cover the second electrode 23 in the same manner as in [Step-220] of the second embodiment (FIG. 20). (D)).

【０１１５】［工程−７４０］その後、第１の凸部２２
Ａと、この第１の凸部２２Ａの両側に位置する第２の凸
部２２Ｂとの間に位置する第２の基板２１の領域（第２
の基板２１の凹部領域）に同色を発光する蛍光体層２６
を形成する。具体的には、３原色の蛍光体スラリーを順
次印刷し、焼成を行うことによって、蛍光体層２６Ｒ，
２６Ｇ，２６Ｂを形成することができる。[Step-740] Then, the first convex portion 22 is formed.
A and a region of the second substrate 21 (second region
Phosphor layer 26 which emits the same color in the concave region of the substrate 21).
To form Specifically, the phosphor slurries of the three primary colors are sequentially printed and baked, whereby the phosphor layers 26R,
26G and 26B can be formed.

【０１１６】［工程−７５０］次いで、実施の形態２の
［工程−２４０］と同様にして、全面に第２の保護層２
５を形成する。以上の工程により第２パネル２０を完成
することができる。尚、第１の凸部２２Ａの高さＨ₁を
６０μｍ、第２の凸部２２Ｂの高さＨ₂を４０μｍとし
た。[Step-750] Next, in the same manner as in [Step-240] of the second embodiment, the second protective layer 2
5 is formed. Through the above steps, the second panel 20 can be completed. The height H1 of the _first protrusion 22A was 60 μm, and the height H2 of the _second protrusion 22B was 40 μm.

【０１１７】第１の凸部２２Ａの高さＨ₁と第２の凸部
２２Ｂの高さＨ₂とがＨ₁＝Ｈ₂を満足し、あるいは、Ｈ₁
＜Ｈ₂を満足するような構造の第２パネルを製造する場
合には、［工程−７２０］の後、第２の凸部２２Ｂの頂
面に低融点ガラスペースト層をスクリーン印刷法にて形
成し、低融点ガラスペースト層を焼成すればよい。[0117] and the height H ₂ satisfies the H ₁ = H ₂ of the first height of the convex portion 22A H ₁ and the second convex portion 22B, or, H ₁
<In the case of producing a second panel having a structure as to satisfy and H ₂ is formed by after [Step -720], screen printing low-melting glass paste layer on the top surface of the second projecting portion 22B Then, the low melting point glass paste layer may be fired.

【０１１８】以上、本発明を、発明の実施の形態に基づ
き説明したが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。発明の実施の形態にて説明した第１パネルや第２パ
ネルの製造方法は例示であり、使用した材料等も例示で
あり、適宜変更することができる。The present invention has been described based on the embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to these embodiments. The method of manufacturing the first panel and the second panel described in the embodiment of the invention is an example, and the materials used are also examples, and can be appropriately changed.

【０１１９】３電極型プラズマ表示装置においては、第
１の電極を構成する一対の放電維持電極１２Ａ，１２Ｂ
は、第１の方向に沿って隣接する放電セルで共通でな
く、一対の第２の凸部の間に対向する第１の基板１０の
領域に形成されていてもよい。即ち、各放電セル毎に形
成されていてもよい。In a three-electrode type plasma display device, a pair of sustain electrodes 12A and 12B constituting a first electrode is provided.
May not be common to the discharge cells adjacent to each other along the first direction, and may be formed in a region of the first substrate 10 facing between a pair of second protrusions. That is, it may be formed for each discharge cell.

【０１２０】第１の電極に相当する放電維持電極１２
Ａ，１２Ｂと、バス電極１３Ａ，１３Ｂと、第２の凸部
２２Ｂの配置関係を、図２１に模式的に示す。この例に
おいては、第２の凸部２２Ｂと第２の凸部２２Ｂの間
で、第１のバス電極１３Ａから第１の放電維持電極１２
Ａが第２のバス電極１３Ｂに向かって、第２の方向と平
行に延びており、第２の凸部２２Ｂと第２の凸部２２Ｂ
の間で、第２のバス電極１３Ｂから第２の放電維持電極
１２Ｂが第１のバス電極１３Ａに向かって、第２の方向
と平行に延びており、第１の放電維持電極１２Ａの先端
部１２ａ’と第２の放電維持電極１２Ｂの先端部１２
ｂ’との間でグロー放電が生じる。尚、第１の放電維持
電極１２Ａの先端部１２ａ’及び第２の放電維持電極１
２Ｂの先端部１２ｂ’の形状は、直線状、あるいは、ジ
グザグ状（例えば、「く」の字の組合せ、「Ｓ」字の組
合せや弧の組合せ、任意の曲線の組合せ）とすることが
できる。尚、このような構成にすることによって、放電
維持電極の面積を縮小することができる結果、電極容量
を小さくすることができ、消費電力の低減を図ることが
できる。The sustain electrode 12 corresponding to the first electrode
FIG. 21 schematically shows an arrangement relationship between A, 12B, the bus electrodes 13A, 13B, and the second convex portion 22B. In this example, the first bus electrode 13A is connected to the first discharge sustaining electrode 12 between the second protrusion 22B and the second protrusion 22B.
A extends toward the second bus electrode 13B in parallel with the second direction, and the second protrusion 22B and the second protrusion 22B
, The second discharge sustaining electrode 12B extends from the second bus electrode 13B toward the first bus electrode 13A in parallel with the second direction, and the tip of the first discharge sustaining electrode 12A. 12a 'and the tip 12 of the second sustaining electrode 12B
A glow discharge occurs between b. The tip 12a 'of the first sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 1
The shape of the tip portion 12b 'of 2B can be linear or zigzag (for example, a combination of "-", a combination of "S" and an arc, or a combination of arbitrary curves). . With this configuration, the area of the discharge sustaining electrode can be reduced, so that the electrode capacity can be reduced and power consumption can be reduced.

【０１２１】あるいは又、第１の電極に相当する放電維
持電極１２Ａ，１２Ｂと、バス電極１３Ａ，１３Ｂと、
第２の凸部２２Ｂの配置関係を図２２に模式的に示す。
この例においては、各第１の電極を、（Ａ）第１の方向
に延びる第１のバス電極１３Ａ、（Ｂ）該第１のバス電
極１３Ａと平行に延びる第２のバス電極１３Ｂ、（Ｃ）
第２の凸部２２Ｂと第２の凸部２２Ｂの間で、第１のバ
ス電極１３Ａから、第２のバス電極１３Ｂに向かって、
且つ、第２のバス電極１３Ｂの手前まで、第２の方向と
平行に延びる第１の放電維持電極１２Ａ、並びに、
（Ｄ）第２の凸部２２Ｂと第２の凸部２２Ｂの間で、第
２のバス電極１３Ｂから、第１のバス電極１３Ａに向か
って、且つ、第１のバス電極１３Ａの手前まで、第１の
放電維持電極１２Ａと向かい合って、第２の方向と平行
に延びる第２の放電維持電極１２Ｂから構成してもよ
い。そして、第２の放電維持電極１２Ｂと対向する第１
の放電維持電極１２Ａの部分１２ａ”と、第１の放電維
持電極１２Ａと対向する第２の放電維持電極１２Ｂの部
分１２ｂ”との間でグロー放電が生じる。Alternatively, the sustain electrodes 12A and 12B corresponding to the first electrodes, the bus electrodes 13A and 13B,
FIG. 22 schematically shows the arrangement relationship of the second convex portions 22B.
In this example, (A) a first bus electrode 13A extending in a first direction, (B) a second bus electrode 13B extending in parallel with the first bus electrode 13A, C)
Between the second convex portion 22B and the second convex portion 22B, from the first bus electrode 13A toward the second bus electrode 13B.
In addition, the first discharge sustaining electrodes 12A extending in parallel with the second direction up to a position before the second bus electrode 13B, and
(D) Between the second convex portion 22B and the second convex portion 22B, from the second bus electrode 13B toward the first bus electrode 13A and before the first bus electrode 13A. It may be constituted by a second discharge sustaining electrode 12B facing the first discharge sustaining electrode 12A and extending in parallel with the second direction. Then, the first discharge sustaining electrode 12 </ b> B
A glow discharge is generated between the portion 12a "of the discharge sustaining electrode 12A and the portion 12b" of the second sustaining electrode 12B facing the first discharge maintaining electrode 12A.

【０１２２】尚、一対の第２の凸部２２Ｂによって挟ま
れた領域における、第１のバス電極１３Ａから延びる第
１の放電維持電極１２Ａの数をＮ₁、第２のバス電極１
３Ｂから延びる第２の放電維持電極１２Ｂの数をＮ₂と
したとき、Ｎ₁＝Ｎ₂＝１としてもよいし、ｎを１以上の
整数としたとき、Ｎ₁＝２ｎ−１、Ｎ₂＝２ｎとしてもよ
いし、Ｎ₁＝２ｎ、Ｎ₂＝２ｎ−１としてもよいし、Ｎ₁
＝Ｎ₂＝２ｎとしてもよい。The number of _first discharge sustaining electrodes 12A extending from the first bus electrode 13A in the region sandwiched by the pair of second convex portions 22B is N ₁ , and the second bus electrode 1
When the number of second sustain electrode 12B was set to N ₂ extending from 3B, N ₁ = may be used as the N ₂ = 1, when the integer of 1 or more _{n, N 1 = 2n-1} , N 2 = 2n, N ₁ = 2n, N ₂ = 2n−1, and N ₁
= N ₂ = 2n.

【０１２３】図２２に示した構成のプラズマ表示装置に
おいては、第１の放電維持電極１２Ａと第２の放電維持
電極１２Ｂとは、互いに向かい合って延びているが、第
１の放電維持電極１２Ａと第２の放電維持電極１２Ｂの
間隔は、所定の間隔であることが好ましく、更には、一
定の間隔であることが一層好ましい。第１の放電維持電
極１２Ａ及び第２の放電維持電極１２Ｂの平面形状を概
ね矩形とする（即ち、第１の放電維持電極１２Ａと第２
の放電維持電極１２Ｂとを直線状の形状とする）ことも
できるし（図２２参照）、ジグザグ状（例えば、「く」
の字の組合せ、「Ｓ」字の組合せや弧の組合せ、任意の
曲線の組合せ）とすることもできる。後者の場合、第１
の放電維持電極１２Ａと第２の放電維持電極１２Ｂとの
間の異常放電の発生を防止するために、第１の放電維持
電極１２Ａ及び第２の放電維持電極１２Ｂの対向部分１
２ａ”，１２ｂ”には角部が無いことが好ましい。ある
いは又、第１の放電維持電極１２Ａの先端部の角部（コ
ーナー部）あるいは第２の放電維持電極１２Ｂの先端部
の角部（コーナー部）からの異常放電の発生を防止する
ために、第１の放電維持電極１２Ａの先端部及び第２の
放電維持電極１２Ｂの先端部は、角が取られ、あるい
は、角が丸められていることが望ましい。即ち、図２３
に示すように、第１の放電維持電極１２Ａの先端部及び
第２の放電維持電極１２Ｂの先端部は、角が取られ、あ
るいは、角が丸められていることが好ましい。In the plasma display device having the structure shown in FIG. 22, the first sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B extend to face each other. The interval between the second discharge sustaining electrodes 12B is preferably a predetermined interval, and more preferably a constant interval. The planar shape of each of the first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B is substantially rectangular (that is, the first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B have the same shape).
May be formed in a linear shape (see FIG. 22) or a zigzag shape (for example, “く”).
, A combination of “S” characters, a combination of arcs, and a combination of arbitrary curves. In the latter case, the first
In order to prevent the occurrence of abnormal discharge between the first sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B, the facing portion 1 of the first sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B is prevented.
It is preferable that 2a ″ and 12b ″ have no corners. Alternatively, in order to prevent the occurrence of abnormal discharge from the corner (corner) of the tip of the first discharge sustaining electrode 12A or the corner (corner) of the tip of the second discharge sustaining electrode 12B, It is desirable that the distal end of the first sustaining electrode 12A and the distal end of the second discharge sustaining electrode 12B have rounded corners or rounded corners. That is, FIG.
As shown in (2), it is preferable that the tip of the first discharge sustaining electrode 12A and the tip of the second discharge sustaining electrode 12B have rounded corners or rounded corners.

【０１２４】また、第１の放電維持電極１２Ａの先端部
と第２のバス電極１３Ｂとの間の異常放電を防止し、あ
るいは、第２の放電維持電極１２Ｂの先端部と第１のバ
ス電極１３Ａとの間の異常放電を防止するために、第１
の放電維持電極１２Ａと第２の放電維持電極１２Ｂとの
間の間隔をＬ₁、第１のバス電極１３Ａと第２の放電維
持電極１２Ｂの先端部との間の間隔、若しくは第２のバ
ス電極１３Ｂと第１の放電維持電極１２Ａの先端部との
間の間隔をＬ₂としたとき、Ｌ₁＜Ｌ₂を満足することが
好ましい。具体的には、例えば、Ｌ₁＝５×１０^-5ｍ
（５０μｍ）、Ｌ₂＝８×１０^-5ｍ（８０μｍ）とすれ
ばよい。Further, abnormal discharge between the tip of the first discharge sustaining electrode 12A and the second bus electrode 13B is prevented, or the tip of the second discharge sustaining electrode 12B is connected to the first bus electrode 13B. 13A to prevent abnormal discharge between
The distance between the discharge sustaining electrode 12A and the second discharge maintaining electrode 12B is L ₁ , the distance between the first bus electrode 13A and the tip of the second discharge maintaining electrode 12B, or the second bus. when the distance between the electrode 13B and the front end portion of the first discharge sustaining electrodes 12A was L _2, it is preferable to satisfy L ₁ <L _2. Specifically, for example, L ₁ = 5 × 10 ⁻⁵ m
(50 μm) and L ₂ = 8 × 10 ⁻⁵ m (80 μm).

【０１２５】図２２あるいは図２３に示した構成におい
ては、第１の放電維持電極１２Ａと第２の放電維持電極
１２Ｂとは、互いに向かい合ってバス電極１３Ａ，１３
Ｂから、第２の方向と平行に延びている。１画素の外形
は概ね正方形であり、１画素は第２の凸部によって３つ
の区画（放電セル）に区切られており、各区画から３原
色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の内の１色が発光するが、１画素の外
形寸法をＬ₀としたとき、各区画の寸法は（Ｌ₀／３）×
（Ｌ₀）よりも若干小さな寸法である。従って、対にな
った放電維持電極１２Ａ，１２Ｂにおいて、グロー放電
に寄与する放電維持電極１２Ａ，１２Ｂの部分の長さは
（Ｌ₀）に近い値である。即ち、図４に示したプラズマ
表示装置と比較して、グロー放電に寄与する部分の長さ
を約３倍とすることができる結果、放電領域を拡大する
ことができる。従って、プラズマ表示装置の輝度の一層
の向上を図ることが可能となる。また、このような構成
にすることによって、放電維持電極の面積を縮小するこ
とができる結果、電極容量を小さくすることができ、消
費電力の低減を図ることができる。In the configuration shown in FIG. 22 or FIG. 23, first discharge sustaining electrode 12A and second discharge sustaining electrode 12B face bus electrodes 13A, 13A facing each other.
B extends in parallel with the second direction. The outer shape of one pixel is substantially square, and one pixel is divided into three sections (discharge cells) by the second convex portion. Although light emission, when the external dimensions of one pixel was set to L _0, the dimension of each compartment (L _0/3) ×
The dimension is slightly smaller than (L ₀ ). Therefore, in the paired discharge sustaining electrodes 12A and 12B, the length of the portion of the discharge sustaining electrodes 12A and 12B that contributes to the glow discharge is a value close to (L ₀ ). That is, as compared with the plasma display device shown in FIG. 4, the length of the portion contributing to the glow discharge can be made about three times, so that the discharge region can be enlarged. Therefore, it is possible to further improve the brightness of the plasma display device. In addition, with such a configuration, the area of the discharge sustaining electrode can be reduced, so that the electrode capacity can be reduced and power consumption can be reduced.

【０１２６】一対の放電維持電極の対向する縁部の間の
ギャップ形状を、放電維持電極の幅方向に屈曲したパタ
ーン若しくは湾曲したパターン（例えば、「く」の字の
組合せ、「Ｓ」字の組合せや弧の組合せ等、任意の曲線
の組合せ）とすることもできる。このような構成にする
ことによって、一対の放電維持電極の対向する縁部の長
さを長くすることができ、放電効率の向上を期すること
ができる。このような構造を有する一対の放電維持電極
の２組の模式的な部分的平面図を、図２４の（Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ）に示す。The gap shape between the opposing edges of the pair of discharge sustaining electrodes is determined by forming a pattern bent or curved in the width direction of the discharge sustaining electrode (for example, a combination of the letter “C” or the letter “S”). Any combination of curves, such as combinations and combinations of arcs, can be used. With such a configuration, the lengths of the opposing edges of the pair of discharge sustaining electrodes can be increased, and the discharge efficiency can be improved. FIG. 24A is a schematic partial plan view of two sets of a pair of discharge sustaining electrodes having such a structure.
(B) and (C) show.

【０１２７】更には、３電極型のプラズマ表示装置にお
ける一対の放電維持電極をＡＬＩＳ（Alternate Lighti
ng of Surfaces）方式とすることもできる。放電維持電
極１２Ａ，１２Ｂとバス電極１３Ａ，１３Ｂと第２の凸
部２２Ｂの配置関係を、図２５に模式的に示す。尚、点
線で囲まれた領域が１画素に相当する。各構成要素を明
確にするために、図２５において斜線を付した。図２５
では長方形で表示したが、実際には、１画素の外形は概
ね正方形である。このプラズマ表示装置においては、第
１の電極を構成する第１のバス電極と、この第１の電極
に隣接する第１の電極を構成する第２のバス電極は共通
である。即ち、これらのバス電極は、ストライプ状の１
つの導電性材料層から構成されている。かかる共通の第
１のバス電極と第２のバス電極とを、共通バス電極１３
で表示する。各第１の電極は、第１のバス電極（共通バ
ス電極）１３と、共通バス電極１３と接する第１の放電
維持電極１２Ａと、かかる共通バス電極１３と平行に延
びる第２のバス電極（隣接する共通バス電極１３）と、
かかる共通バス電極１３と接し、第１の放電維持電極１
２Ａと対向した第２の放電維持電極１２Ｂから構成され
ている。尚、第１の電極を構成する第１の放電維持電極
１２Ａと、この第１の電極に隣接する第１の電極を構成
する第２の放電維持電極１２Ｂとは、ストライプ状の１
つの導電性材料層から構成されている。そして、共通バ
ス電極１３は、放電維持電極構成導電材料層の中央部に
形成されている。更には、共通バス電極１３は、第１の
方向に沿って隣接する放電セルで共通であり、第１の放
電維持電極１２Ａ及び第２の放電維持電極１２Ｂも第１
の方向に沿って隣接する放電セルで共通である。Further, a pair of discharge sustaining electrodes in a three-electrode type plasma display device is formed by ALIS (Alternate Lighting).
ng of Surfaces) method. FIG. 25 schematically shows an arrangement relationship between the discharge sustaining electrodes 12A and 12B, the bus electrodes 13A and 13B, and the second protrusion 22B. Note that a region surrounded by a dotted line corresponds to one pixel. In order to clarify each component, hatching is added in FIG. FIG.
Although the display is rectangular, the outline of one pixel is actually a square. In this plasma display device, the first bus electrode forming the first electrode and the second bus electrode forming the first electrode adjacent to the first electrode are common. In other words, these bus electrodes are striped 1
It is composed of two conductive material layers. The common first bus electrode and the second bus electrode are connected to a common bus electrode 13.
To display. Each first electrode includes a first bus electrode (common bus electrode) 13, a first discharge sustaining electrode 12A in contact with the common bus electrode 13, and a second bus electrode (parallel to the common bus electrode 13). An adjacent common bus electrode 13);
The first sustain electrode 1 is in contact with the common bus electrode 13.
The second discharge sustaining electrode 12B is opposed to the second sustaining electrode 12B. In addition, the first discharge sustaining electrode 12A constituting the first electrode and the second discharge sustaining electrode 12B constituting the first electrode adjacent to the first electrode have a stripe-like shape.
It is composed of two conductive material layers. The common bus electrode 13 is formed at the center of the conductive material layer constituting the sustain electrode. Further, the common bus electrode 13 is common to adjacent discharge cells along the first direction, and the first discharge sustaining electrode 12A and the second discharge sustaining electrode 12B
Are common to the discharge cells adjacent to each other along the direction.

【０１２８】[0128]

【発明の効果】本発明においては、第２の電極が第１の
凸部の頂面に形成されているが故に、第２の電極と第１
の電極との間の距離に関する設計自由度を高くすること
ができる。その結果、２電極型のプラズマ表示装置にあ
っては、放電のために第１の電極（第１の放電維持電
極）及び第２の電極（第２の放電維持電極）に印加する
交流電圧の値を低くすることが可能となるし、３電極型
のプラズマ表示装置にあっては、放電を開始させるため
に第１の電極（放電維持電極）と第２の電極（アドレス
電極）とに印加する電圧の値を低くすることが可能とな
る。また、第１の凸部と、この第１の凸部の両側に位置
する第２の凸部との間に同色を発光する蛍光体層が形成
されているが故に、蛍光体層の面積を拡大することがで
きるので、プラズマ表示装置の輝度の向上を図ることが
できる。尚、２電極型のプラズマ表示装置にあっては、
蛍光体層よりも上方に位置する第２の電極と第１の電極
との間で放電が生じるので、蛍光体層に損傷が発生し難
い。According to the present invention, since the second electrode is formed on the top surface of the first projection, the second electrode and the first electrode are formed.
The degree of design freedom with respect to the distance between the electrodes can be increased. As a result, in the two-electrode type plasma display device, the AC voltage applied to the first electrode (first discharge sustaining electrode) and the second electrode (second discharge sustaining electrode) for discharge is increased. The value can be reduced, and in a three-electrode type plasma display device, a voltage is applied to a first electrode (discharge sustaining electrode) and a second electrode (address electrode) to start discharge. It is possible to reduce the value of the applied voltage. Further, since the phosphor layer emitting the same color is formed between the first protrusion and the second protrusions located on both sides of the first protrusion, the area of the phosphor layer is reduced. Since it can be enlarged, the brightness of the plasma display device can be improved. In the case of a two-electrode type plasma display device,
Since a discharge occurs between the second electrode and the first electrode located above the phosphor layer, damage to the phosphor layer hardly occurs.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】第１の構成に係るプラズマ表示装置の第１の方
向と平行な垂直面でプラズマ表示装置を切断したときの
模式的な一部断面図である。FIG. 1 is a schematic partial cross-sectional view of a plasma display device according to a first configuration cut along a vertical plane parallel to a first direction.

【図２】第１の構成に係るプラズマ表示装置において、
第１の基板における第１の電極等の模式的な配置図、及
び、第２の方向と平行な垂直面で第１の基板を切断した
ときの模式的な一部断面図である。FIG. 2 shows a plasma display device according to a first configuration,
3A and 3B are a schematic layout diagram of a first electrode and the like on a first substrate, and a schematic partial cross-sectional view of the first substrate cut along a vertical plane parallel to a second direction.

【図３】第１の構成に係るプラズマ表示装置を分解した
状態の模式的な部分的斜視図である。FIG. 3 is a schematic partial perspective view of a state in which the plasma display device according to the first configuration is disassembled.

【図４】図２とは異なる構造を有する第１の構成に係る
プラズマ表示装置において、第１の基板における第１の
電極等の模式的な配置図、及び、第２の方向と平行な垂
直面で第１の基板を切断したときの模式的な一部断面図
である。4 is a schematic layout view of a first electrode and the like on a first substrate in a plasma display device according to a first configuration having a structure different from that in FIG. 2, and a vertical direction parallel to a second direction. FIG. 4 is a schematic partial cross-sectional view when the first substrate is cut along a plane.

【図５】図４に示すプラズマ表示装置を分解した状態の
模式的な部分的斜視図である。FIG. 5 is a schematic partial perspective view of the plasma display device shown in FIG. 4 in an exploded state.

【図６】第２の構成に係るプラズマ表示装置の第１の方
向と平行な垂直面でプラズマ表示装置を切断したときの
模式的な一部断面図である。FIG. 6 is a schematic partial cross-sectional view of the plasma display device according to the second configuration when the plasma display device is cut along a vertical plane parallel to a first direction.

【図７】第２の構成に係るプラズマ表示装置の第１の方
向と平行な垂直面でプラズマ表示装置を切断したときの
模式的な一部断面図である。FIG. 7 is a schematic partial cross-sectional view of the plasma display device according to the second configuration when the plasma display device is cut along a vertical plane parallel to a first direction.

【図８】第２の構成に係るプラズマ表示装置において、
第１の基板における第１の電極等の模式的な配置図、及
び、第２の方向と平行な垂直面で第１の基板を切断した
ときの模式的な一部断面図である。FIG. 8 shows a plasma display device according to a second configuration,
3A and 3B are a schematic layout diagram of a first electrode and the like on a first substrate, and a schematic partial cross-sectional view of the first substrate cut along a vertical plane parallel to a second direction.

【図９】第３の構成に係るプラズマ表示装置の第１の方
向と平行な垂直面でプラズマ表示装置を切断したときの
模式的な一部断面図である。FIG. 9 is a schematic partial cross-sectional view of the plasma display device according to the third configuration when the plasma display device is cut along a vertical plane parallel to a first direction.

【図１０】第３の構成に係るプラズマ表示装置の第１の
方向と平行な垂直面でプラズマ表示装置を切断したとき
の模式的な一部断面図である。FIG. 10 is a schematic partial cross-sectional view of the plasma display device according to the third configuration when the plasma display device is cut along a vertical plane parallel to a first direction.

【図１１】第３の構成に係るプラズマ表示装置におい
て、第１の基板における第１の電極等の模式的な配置
図、及び、第２の方向と平行な垂直面で第１の基板を切
断したときの模式的な一部断面図である。FIG. 11 is a schematic layout view of a first electrode and the like on a first substrate in the plasma display device according to a third configuration, and the first substrate is cut along a vertical plane parallel to a second direction. It is a schematic partial sectional view at the time of doing.

【図１２】第４の構成に係るプラズマ表示装置の第１の
方向と平行な垂直面でプラズマ表示装置を切断したとき
の模式的な一部断面図である。FIG. 12 is a schematic partial cross-sectional view of the plasma display device according to the fourth configuration when the plasma display device is cut along a vertical plane parallel to a first direction.

【図１３】第４の構成に係るプラズマ表示装置の第１の
方向と平行な垂直面でプラズマ表示装置を切断したとき
の模式的な一部断面図である。FIG. 13 is a schematic partial cross-sectional view of the plasma display device according to the fourth configuration when the plasma display device is cut along a vertical plane parallel to a first direction.

【図１４】第４の構成に係るプラズマ表示装置におい
て、第１の基板における第１の電極等の模式的な配置
図、及び、第２の方向と平行な垂直面で第１の基板を切
断したときの模式的な一部断面図である。FIG. 14 is a schematic layout view of a first electrode and the like on a first substrate in the plasma display device according to the fourth configuration, and the first substrate is cut along a vertical plane parallel to a second direction. It is a schematic partial sectional view at the time of doing.

【図１５】発明の実施の形態２における交流駆動型プラ
ズマ表示装置の製造方法を説明するための第２の基板等
の模式的な一部断面図である。FIG. 15 is a schematic partial cross-sectional view of a second substrate and the like for describing a method of manufacturing an AC-driven plasma display device according to Embodiment 2 of the present invention.

【図１６】発明の実施の形態３における交流駆動型プラ
ズマ表示装置の製造方法を説明するための第２の基板等
の模式的な一部断面図である。FIG. 16 is a schematic partial cross-sectional view of a second substrate and the like for describing a method of manufacturing an AC-driven plasma display device according to Embodiment 3 of the present invention.

【図１７】発明の実施の形態４における交流駆動型プラ
ズマ表示装置の製造方法を説明するための第２の基板等
の模式的な一部断面図である。FIG. 17 is a schematic partial cross-sectional view of a second substrate and the like for describing a method of manufacturing an AC-driven plasma display device in Embodiment 4 of the present invention.

【図１８】発明の実施の形態５における交流駆動型プラ
ズマ表示装置の製造方法を説明するための第２の基板等
の模式的な一部断面図である。FIG. 18 is a schematic partial cross-sectional view of a second substrate and the like for describing a method of manufacturing an AC-driven plasma display device according to Embodiment 5 of the present invention.

【図１９】発明の実施の形態６における交流駆動型プラ
ズマ表示装置の製造方法を説明するための第２の基板等
の模式的な一部断面図である。FIG. 19 is a schematic partial cross-sectional view of a second substrate and the like for describing a method for manufacturing an AC-driven plasma display device according to Embodiment 6 of the present invention.

【図２０】発明の実施の形態７における交流駆動型プラ
ズマ表示装置の製造方法を説明するための第２の基板等
の模式的な一部断面図である。FIG. 20 is a schematic partial cross-sectional view of a second substrate and the like for describing a method of manufacturing an AC-driven plasma display device according to Embodiment 7 of the present invention.

【図２１】３電極型の本発明のプラズマ表示装置におけ
る放電維持電極とバス電極と第２の凸部の配置関係の変
形例を模式的に示す図である。FIG. 21 is a diagram schematically showing a modification of the arrangement of the sustain electrodes, the bus electrodes, and the second protrusions in the three-electrode type plasma display device of the present invention.

【図２２】３電極型の本発明のプラズマ表示装置におけ
る放電維持電極とバス電極と第２の凸部の配置関係の変
形例を模式的に示す図である。FIG. 22 is a view schematically showing a modification of the arrangement of the sustain electrodes, the bus electrodes, and the second projections in the three-electrode type plasma display device of the present invention.

【図２３】３電極型の本発明のプラズマ表示装置におけ
る放電維持電極とバス電極と第２の凸部の配置関係の変
形例を模式的に示す図である。FIG. 23 is a diagram schematically showing a modification of the arrangement of the sustain electrodes, the bus electrodes, and the second protrusions in the three-electrode type plasma display device of the present invention.

【図２４】３電極型の本発明のプラズマ表示装置におい
て、一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャップ
形状を、放電維持電極の幅方向に屈曲したパターン若し
くは湾曲したパターンとしたときの、一対の放電維持電
極の２組の模式的な部分的平面図である。FIG. 24 shows a three-electrode type plasma display device according to the present invention, in which a gap shape between opposing edges of a pair of discharge sustaining electrodes is a pattern bent or curved in the width direction of the discharge sustaining electrodes. FIG. 3 is a schematic partial plan view of two sets of a pair of discharge sustaining electrodes.

【図２５】ＡＬＩＳ方式の本発明のプラズマ表示装置に
おける放電維持電極とバス電極と第２の凸部の配置関係
を模式的に示す図である。FIG. 25 is a diagram schematically showing an arrangement relationship between a discharge sustaining electrode, a bus electrode, and a second projection in an ALIS-type plasma display device of the present invention.

【図２６】従来の交流駆動型プラズマ表示装置の典型的
な構成例の一部分の模式的な分解斜視図である。FIG. 26 is a schematic exploded perspective view of a part of a typical configuration example of a conventional AC-driven plasma display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０・・・第１パネル、１１・・・第１の基板、１２，
１２Ａ，１２Ｂ・・・第１の電極、１３，１３Ａ，１３
Ｂ・・・バス電極、１４・・・第１の誘電体層、１５・
・・第１の保護層、１６Ａ，１６Ｂ，１１６Ａ，１１６
Ｂ・・・突起部、２０・・・第２パネル、２１・・・第
２の基板、２２Ａ・・・第１の凸部、２２Ｂ・・・第２
の凸部、２３・・・第２の電極、２３Ａ・・・導電材料
層、２４・・・第２の誘電体層、２５・・・第２の保護
層、２６，２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂ・・・蛍光体層10 first panel, 11 first substrate, 12,
12A, 12B... First electrode, 13, 13A, 13
B: bus electrode, 14: first dielectric layer, 15.
..First protective layer, 16A, 16B, 116A, 116
B: Projection, 20: Second panel, 21: Second substrate, 22A: First projection, 22B: Second
23, a second electrode, 23A, a conductive material layer, 24, a second dielectric layer, 25, a second protective layer, 26, 26R, 26G, 26B. ..Phosphor layers

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉川 英太郎 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 手代木 仁 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA01 AA09 5C040 FA02 FA04 GB03 GB14 GC02 GC03 GF02 GF03 GF04 GF12 GF14 GG05 JA15 JA17 MA03 MA17 MA18 MA22  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Eitaro Yoshikawa, Inventor 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Jin Jinjiro 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation F term (reference) 5C027 AA01 AA09 5C040 FA02 FA04 GB03 GB14 GC02 GC03 GF02 GF03 GF04 GF12 GF14 GG05 JA15 JA17 MA03 MA17 MA18 MA22

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】（Ａ）第１の基板、 （Ｂ）第１の基板に対向して配された第２の基板、 （Ｃ）第１の基板上に形成され、第１の方向に延びる複
数の第１の電極、 （Ｄ）第１の基板と対向した第２の基板の表面に交互に
設けられ、第１の方向とは異なる第２の方向に延びる複
数の第１の凸部及び第２の凸部、 （Ｅ）第１の凸部の頂面に形成された第２の電極、 （Ｆ）第１の凸部と、該第１の凸部の両側に位置する第
２の凸部との間に形成され、同色を発光する蛍光体層、
並びに、 （Ｇ）第１の基板と第２の基板との間に形成された空間
内に充填された放電ガス、から成ることを特徴とする交
流駆動型プラズマ表示装置。(A) a first substrate; (B) a second substrate facing the first substrate; (C) formed on the first substrate and extending in a first direction. A plurality of first electrodes; (D) a plurality of first projections provided alternately on the surface of the second substrate facing the first substrate and extending in a second direction different from the first direction; (E) a second electrode formed on the top surface of the first protrusion, (F) a first protrusion, and a second electrode located on both sides of the first protrusion. A phosphor layer formed between the projections and emitting the same color,
And (G) a discharge gas filled in a space formed between the first substrate and the second substrate. 【請求項２】第２の基板の表面から第２の凸部の頂面ま
での高さは、第２の基板の表面から第１の凸部の頂面に
形成された第２の電極までの高さよりも高く、 第１の基板と第２の基板が対向して配された状態におい
て、第２の凸部の頂面が第１の基板に接することを特徴
とする請求項１に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。2. The height from the surface of the second substrate to the top surface of the second projection is from the surface of the second substrate to the second electrode formed on the top surface of the first projection. The top surface of the second convex portion is in contact with the first substrate when the first substrate and the second substrate are disposed so as to face each other. AC driven plasma display device. 【請求項３】隣接する第１の電極の間の第１の基板の領
域には、第１の方向に延びる突起部が形成され、 第１の基板と第２の基板が対向して配された状態におい
て、少なくとも該突起部の頂部と第２の凸部の頂面とが
接し、あるいは又、該突起部の頂部と第１の凸部の頂面
に形成された第２の電極とが接することを特徴とする請
求項１に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。3. A projection extending in a first direction is formed in a region of the first substrate between adjacent first electrodes, and the first substrate and the second substrate are arranged to face each other. In this state, at least the top of the projection and the top of the second projection are in contact with each other, or alternatively, the top of the projection and the second electrode formed on the top of the first projection are in contact with each other. 2. The AC driven plasma display device according to claim 1, wherein the plasma display device is in contact with the plasma display device. 【請求項４】第２の凸部と対向する第１の基板の領域に
は、第２の方向に延びる突起部が形成され、 第１の基板と第２の基板が対向して配された状態におい
て、該突起部の頂部と第２の凸部の頂面とが接すること
を特徴とする請求項１に記載の交流駆動型プラズマ表示
装置。4. A projecting portion extending in a second direction is formed in a region of the first substrate facing the second convex portion, and the first substrate and the second substrate are arranged to face each other. 2. The AC-driven plasma display device according to claim 1, wherein in the state, the top of the projection and the top of the second projection are in contact with each other. 【請求項５】隣接する第１の電極の間の第１の基板の領
域には、第１の方向に延びる第１の突起部が形成され、 更に、第２の凸部と対向する第１の基板の領域には、第
２の方向に延びる第２の突起部が形成され、 第１の突起部と第２の突起部とによって、井桁状の突起
部が形成され、 第１の基板と第２の基板が対向して配された状態におい
て、少なくとも該第２の突起部の頂部と第２の凸部の頂
面とが接し、あるいは又、該第１の突起部の頂部と第１
の凸部の頂面に形成された第２の電極とが接することを
特徴とする請求項１に記載の交流駆動型プラズマ表示装
置。5. A first projection extending in a first direction is formed in a region of a first substrate between adjacent first electrodes, and a first projection facing a second projection is provided. A second protrusion extending in the second direction is formed in a region of the substrate, and a first girder-like protrusion is formed by the first protrusion and the second protrusion. In a state in which the second substrate is disposed to face, at least the top of the second projection is in contact with the top of the second projection, or alternatively, the top of the first projection is in contact with the first projection.
2. The AC-driven plasma display device according to claim 1, wherein the second electrode formed on the top surface of the convex portion contacts the second electrode. 3. 【請求項６】複数の第１の電極は第１の放電維持電極を
構成し、複数の第２の電極は第２の放電維持電極を構成
することを特徴とする請求項１に記載の交流駆動型プラ
ズマ表示装置。6. The alternating current according to claim 1, wherein the plurality of first electrodes form a first sustaining electrode, and the plurality of second electrodes form a second sustaining electrode. Drive type plasma display device. 【請求項７】複数の第１の電極は一対の放電維持電極の
複数から成り、複数の第２の電極はアドレス電極を構成
することを特徴とする請求項１に記載の交流駆動型プラ
ズマ表示装置。7. The AC-driven plasma display according to claim 1, wherein the plurality of first electrodes comprise a plurality of a pair of sustain electrodes, and the plurality of second electrodes constitute address electrodes. apparatus. 【請求項８】（Ａ）第１の基板、 （Ｂ）第１の基板に対向して配された第２の基板、 （Ｃ）第１の基板上に形成され、第１の方向に延びる複
数の第１の電極、 （Ｄ）第１の基板と対向した第２の基板の表面に交互に
設けられ、第１の方向とは異なる第２の方向に延びる複
数の第１の凸部及び第２の凸部、 （Ｅ）第１の凸部の頂面に形成された第２の電極、 （Ｆ）第１の凸部と、該第１の凸部の両側に位置する第
２の凸部との間に形成され、同色を発光する蛍光体層、
並びに、 （Ｇ）第１の基板と第２の基板との間に形成された空間
内に充填された放電ガス、から成る交流駆動型プラズマ
表示装置の製造方法であって、 （ａ）第２の基板に、第１の凸部及び第２の凸部を形成
する工程、 （ｂ）第１の凸部の頂面に、第２の電極を形成する工
程、並びに、 （ｃ）第１の凸部と、該第１の凸部の両側に位置する第
２の凸部との間に位置する第２の基板の領域に同色を発
光する蛍光体層を形成する工程、を具備することを特徴
とする交流駆動型プラズマ表示装置の製造方法。(A) a first substrate; (B) a second substrate facing the first substrate; (C) formed on the first substrate and extending in a first direction. A plurality of first electrodes; (D) a plurality of first protrusions provided alternately on the surface of the second substrate facing the first substrate and extending in a second direction different from the first direction; (E) a second electrode formed on the top surface of the first protrusion, (F) a first protrusion, and a second electrode located on both sides of the first protrusion. A phosphor layer formed between the projections and emitting the same color,
And (G) a method for manufacturing an AC-driven plasma display device, comprising: a discharge gas filled in a space formed between the first substrate and the second substrate; (B) forming a second electrode on the top surface of the first protrusion, and (c) forming a first electrode on the top surface of the first protrusion. Forming a phosphor layer that emits the same color in a region of the second substrate located between the convex portion and the second convex portion located on both sides of the first convex portion. A method for manufacturing an AC-driven plasma display device. 【請求項９】（Ａ）第１の基板、 （Ｂ）第１の基板に対向して配された第２の基板、 （Ｃ）第１の基板上に形成され、第１の方向に延びる複
数の第１の電極、 （Ｄ）第１の基板と対向した第２の基板の表面に交互に
設けられ、第１の方向とは異なる第２の方向に延びる複
数の第１の凸部及び第２の凸部、 （Ｅ）第１の凸部の頂面に形成された第２の電極、 （Ｆ）第１の凸部と、該第１の凸部の両側に位置する第
２の凸部との間に形成され、同色を発光する蛍光体層、
並びに、 （Ｇ）第１の基板と第２の基板との間に形成された空間
内に充填された放電ガス、から成る交流駆動型プラズマ
表示装置の製造方法であって、 （ａ）第２の基板上に、第２の方向に延びる第２の電極
を形成する工程、 （ｂ）第２の電極と第２の電極との間の第２の基板の領
域に凹部を形成し、以て、第１の凸部及び第２の凸部を
形成する工程、 （ｃ）第１の凸部と、該第１の凸部の両側に位置する第
２の凸部との間に位置する第２の基板の領域に同色を発
光する蛍光体層を形成する工程、を具備することを特徴
とする交流駆動型プラズマ表示装置の製造方法。9. A first substrate, B a second substrate facing the first substrate, C formed on the first substrate and extending in a first direction. A plurality of first electrodes; (D) a plurality of first protrusions provided alternately on the surface of the second substrate facing the first substrate and extending in a second direction different from the first direction; (E) a second electrode formed on the top surface of the first protrusion, (F) a first protrusion, and a second electrode located on both sides of the first protrusion. A phosphor layer formed between the projections and emitting the same color,
And (G) a method for manufacturing an AC-driven plasma display device, comprising: a discharge gas filled in a space formed between the first substrate and the second substrate; Forming a second electrode extending in a second direction on the substrate, (b) forming a recess in a region of the second substrate between the second electrode and the second electrode, Forming a first convex portion and a second convex portion, and (c) a second convex portion located between the first convex portion and the second convex portions located on both sides of the first convex portion. Forming a phosphor layer that emits light of the same color in the region of the second substrate. 【請求項１０】（Ａ）第１の基板、 （Ｂ）第１の基板に対向して配された第２の基板、 （Ｃ）第１の基板上に形成され、第１の方向に延びる複
数の第１の電極、 （Ｄ）第１の基板と対向した第２の基板の表面に交互に
設けられ、第１の方向とは異なる第２の方向に延びる複
数の第１の凸部及び第２の凸部、 （Ｅ）第１の凸部の頂面に形成された第２の電極、 （Ｆ）第１の凸部と、該第１の凸部の両側に位置する第
２の凸部との間に形成され、同色を発光する蛍光体層、
並びに、 （Ｇ）第１の基板と第２の基板との間に形成された空間
内に充填された放電ガス、から成る交流駆動型プラズマ
表示装置の製造方法であって、 （ａ）第２の基板上に、第２の電極を構成する導電材料
層を形成する工程、 （ｂ）第２の基板に凹部を形成し、以て、頂面に導電材
料層から成る第２の電極が形成された第１の凸部、及
び、頂面に導電材料層が形成された第２の凸部を形成す
る工程、 （ｃ）第２の凸部の頂面に形成された導電材料層を除去
する工程、並びに、 （ｄ）第１の凸部と、該第１の凸部の両側に位置する第
２の凸部との間に位置する第２の基板の領域に同色を発
光する蛍光体層を形成する工程、を具備することを特徴
とする交流駆動型プラズマ表示装置の製造方法。10. A first substrate, B a second substrate facing the first substrate, C formed on the first substrate and extending in a first direction. A plurality of first electrodes; (D) a plurality of first protrusions provided alternately on the surface of the second substrate facing the first substrate and extending in a second direction different from the first direction; (E) a second electrode formed on the top surface of the first protrusion, (F) a first protrusion, and a second electrode located on both sides of the first protrusion. A phosphor layer formed between the projections and emitting the same color,
And (G) a method for manufacturing an AC-driven plasma display device, comprising: a discharge gas filled in a space formed between the first substrate and the second substrate; Forming a conductive material layer constituting a second electrode on the substrate, (b) forming a concave portion on the second substrate, thereby forming a second electrode made of the conductive material layer on the top surface Forming the formed first convex portion and the second convex portion having the conductive material layer formed on the top surface thereof, and (c) removing the conductive material layer formed on the top surface of the second convex portion. And (d) a phosphor that emits the same color in a region of the second substrate located between the first convex portion and the second convex portions located on both sides of the first convex portion. A method for manufacturing an AC-driven plasma display device, comprising: forming a layer.