JP2002202193A - 温度制御装置 - Google Patents
温度制御装置Info
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- JP2002202193A JP2002202193A JP2000401141A JP2000401141A JP2002202193A JP 2002202193 A JP2002202193 A JP 2002202193A JP 2000401141 A JP2000401141 A JP 2000401141A JP 2000401141 A JP2000401141 A JP 2000401141A JP 2002202193 A JP2002202193 A JP 2002202193A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 駆動状態にある計測物体の温度を正確に制御
する。 【解決手段】 駆動状態の計測物体２を温度制御対象と
し、計測物体２を囲む壁体１０を介して計測物体を加熱
する加熱装置６と、加熱装置６で加熱された壁体１０の
温度を計測する計測装置７と、計測物体２の温度を予め
計測した結果に基づいて計測装置７の計測結果を較正す
る較正装置９とを有する。
する。 【解決手段】 駆動状態の計測物体２を温度制御対象と
し、計測物体２を囲む壁体１０を介して計測物体を加熱
する加熱装置６と、加熱装置６で加熱された壁体１０の
温度を計測する計測装置７と、計測物体２の温度を予め
計測した結果に基づいて計測装置７の計測結果を較正す
る較正装置９とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、評価試験等に用い
られる温度制御装置に関し、例えば、規定された温度環
境下での回転試験に用いて好適な温度制御装置に関する
ものである。
られる温度制御装置に関し、例えば、規定された温度環
境下での回転試験に用いて好適な温度制御装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガスタービンエンジンの翼やロ
ータ（以下、計測物体と称する）に対する回転試験等の
評価試験は、例えば計測物体としての供試体を真空中で
回転することで実施されている。そして、この種の評価
試験では、供試体を規定の温度（例えば、エンジンの燃
焼ガス温度以上の温度）に加熱した状態で試験を行う必
要があるため、供試体に対する正確な温度制御が求めら
れている。
ータ（以下、計測物体と称する）に対する回転試験等の
評価試験は、例えば計測物体としての供試体を真空中で
回転することで実施されている。そして、この種の評価
試験では、供試体を規定の温度（例えば、エンジンの燃
焼ガス温度以上の温度）に加熱した状態で試験を行う必
要があるため、供試体に対する正確な温度制御が求めら
れている。
【０００３】従来、上記の試験において供試体の温度を
計測するには、試験中は供試体が回転し接触式の温度計
を取り付けられない等の理由により、ある波長帯域の光
のエネルギーを取り出して温度に変換する非接触式のパ
イロメータ（放射温度計）が多く用いられている。そし
て、温度計測の正確性を期すために、試験前に供試体に
熱電対等を貼付し、静止状態で供試体を加熱したときの
熱電対の計測値とパイロメータの計測値とを比較するこ
とにより、予めパイロメータの計測値に対する較正を行
う。そして、パイロメータの較正が完了すると熱電対を
取り外して試験を行うが、試験中はパイロメータによる
計測値のみを用いて供試体の温度を制御していた。
計測するには、試験中は供試体が回転し接触式の温度計
を取り付けられない等の理由により、ある波長帯域の光
のエネルギーを取り出して温度に変換する非接触式のパ
イロメータ（放射温度計）が多く用いられている。そし
て、温度計測の正確性を期すために、試験前に供試体に
熱電対等を貼付し、静止状態で供試体を加熱したときの
熱電対の計測値とパイロメータの計測値とを比較するこ
とにより、予めパイロメータの計測値に対する較正を行
う。そして、パイロメータの較正が完了すると熱電対を
取り外して試験を行うが、試験中はパイロメータによる
計測値のみを用いて供試体の温度を制御していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の温度制御装置には、以下のような問題が
存在する。パイロメータは、供試体の周囲の温度やパイ
ロメータ自体の取付角度等、外乱に影響されやすく、計
測精度の信頼性に欠けるという問題があった。
たような従来の温度制御装置には、以下のような問題が
存在する。パイロメータは、供試体の周囲の温度やパイ
ロメータ自体の取付角度等、外乱に影響されやすく、計
測精度の信頼性に欠けるという問題があった。
【０００５】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、計測物体の温度を正確に制御することがで
きる温度制御装置を提供することを目的とする。
れたもので、計測物体の温度を正確に制御することがで
きる温度制御装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、以下の構成を採用している。請求項１記
載の温度制御装置は、駆動状態の計測物体を温度制御対
象とする温度制御装置であって、前記計測物体を囲む壁
体を介して前記計測物体を加熱する加熱装置と、該加熱
装置で加熱された前記壁体の温度を計測する計測装置
と、前記計測物体の温度を予め計測した結果に基づいて
前記計測装置の計測結果を較正する較正装置とを有する
ことを特徴とするものである。
めに本発明は、以下の構成を採用している。請求項１記
載の温度制御装置は、駆動状態の計測物体を温度制御対
象とする温度制御装置であって、前記計測物体を囲む壁
体を介して前記計測物体を加熱する加熱装置と、該加熱
装置で加熱された前記壁体の温度を計測する計測装置
と、前記計測物体の温度を予め計測した結果に基づいて
前記計測装置の計測結果を較正する較正装置とを有する
ことを特徴とするものである。
【０００７】従って、本発明の温度制御装置では、接触
式の計測装置を用いて正確に壁体の温度を計測すること
ができる。また、この計測装置の計測結果は、計測物体
の温度を予め計測した結果に基づいて較正されるので、
壁体の温度を介して計測物体の温度を正確に計測するこ
とができる。
式の計測装置を用いて正確に壁体の温度を計測すること
ができる。また、この計測装置の計測結果は、計測物体
の温度を予め計測した結果に基づいて較正されるので、
壁体の温度を介して計測物体の温度を正確に計測するこ
とができる。
【０００８】また、請求項２記載の温度制御装置は、請
求項１記載の温度制御装置において、前記計測物体の温
度を非接触で計測する放射温度計を備え、前記較正装置
は、前記計測物体の温度を予め計測した結果に基づいて
前記放射温度計の計測結果を較正することを特徴とする
ものである。
求項１記載の温度制御装置において、前記計測物体の温
度を非接触で計測する放射温度計を備え、前記較正装置
は、前記計測物体の温度を予め計測した結果に基づいて
前記放射温度計の計測結果を較正することを特徴とする
ものである。
【０００９】従って、本発明の温度制御装置では、計測
装置の温度計測結果と放射温度計の温度計測結果とを互
いに検証できるので、計測物体に対する温度計測結果の
信頼性をより高めることができる。
装置の温度計測結果と放射温度計の温度計測結果とを互
いに検証できるので、計測物体に対する温度計測結果の
信頼性をより高めることができる。
【００１０】そして、請求項３記載の温度制御装置は、
請求項１または２記載の温度制御装置において、前記較
正装置の較正結果に基づいて、前記加熱装置を制御する
制御部を有することを特徴とするものである。
請求項１または２記載の温度制御装置において、前記較
正装置の較正結果に基づいて、前記加熱装置を制御する
制御部を有することを特徴とするものである。
【００１１】従って、本発明の温度制御装置では、計測
物体の温度を規定された温度に容易に加熱することがで
きる。
物体の温度を規定された温度に容易に加熱することがで
きる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の温度制御装置の実
施の形態を、図１を参照して説明する。ここでは、例え
ば、ディスクの供試体の温度を制御する場合の例を用い
て説明する。図１は、回転軸１、１間に取り付けたディ
スクの供試体（計測物体）２に回転駆動を与える試験装
置３に温度制御装置４が設けられた概略構成図である。
施の形態を、図１を参照して説明する。ここでは、例え
ば、ディスクの供試体の温度を制御する場合の例を用い
て説明する。図１は、回転軸１、１間に取り付けたディ
スクの供試体（計測物体）２に回転駆動を与える試験装
置３に温度制御装置４が設けられた概略構成図である。
【００１３】この試験装置３では、回転軸１、１および
供試体２が炉体５内に収容されている。この炉体５内
は、図示しない負圧吸引装置を駆動することで真空状態
にすることができる構成になっている。
供試体２が炉体５内に収容されている。この炉体５内
は、図示しない負圧吸引装置を駆動することで真空状態
にすることができる構成になっている。
【００１４】温度制御装置４は、回転（駆動）状態にあ
る供試体２の温度を制御するものであって、高周波加熱
装置（加熱装置）６と熱電対（計測装置）７とパイロメ
ータ（放射温度計）８と制御・計測装置９とから構成さ
れている。高周波加熱装置６は、供試体２を取り囲む炉
壁（壁体）１０の外側に設けられており、炉壁１０を加
熱することによって、この炉壁１０からの輻射熱で供試
体２を加熱するものである。なお、高周波加熱装置６の
駆動は、制御部としての制御・計測装置９によって制御
される。
る供試体２の温度を制御するものであって、高周波加熱
装置（加熱装置）６と熱電対（計測装置）７とパイロメ
ータ（放射温度計）８と制御・計測装置９とから構成さ
れている。高周波加熱装置６は、供試体２を取り囲む炉
壁（壁体）１０の外側に設けられており、炉壁１０を加
熱することによって、この炉壁１０からの輻射熱で供試
体２を加熱するものである。なお、高周波加熱装置６の
駆動は、制御部としての制御・計測装置９によって制御
される。
【００１５】熱電対７は、炉壁１０の内側に複数貼付さ
れ当該炉壁１０の温度を計測するものであり、その計測
結果は制御・計測装置９に出力される。パイロメータ８
は、炉体５の上方に配置され、供試体２が発した光
（色）を炉体５の天板５ａに設けられた光透過部１１を
介して受光することで供試体２の温度を非接触で計測す
るものであり、その計測結果は制御・計測装置９に出力
される。制御・計測装置９は、供試体２の温度を予め計
測した結果に基づいて較正装置として、熱電対７および
パイロメータ８の計測した温度を較正するとともに、こ
れら較正した結果に基づいて高周波加熱装置６の駆動を
制御する構成になっている。
れ当該炉壁１０の温度を計測するものであり、その計測
結果は制御・計測装置９に出力される。パイロメータ８
は、炉体５の上方に配置され、供試体２が発した光
（色）を炉体５の天板５ａに設けられた光透過部１１を
介して受光することで供試体２の温度を非接触で計測す
るものであり、その計測結果は制御・計測装置９に出力
される。制御・計測装置９は、供試体２の温度を予め計
測した結果に基づいて較正装置として、熱電対７および
パイロメータ８の計測した温度を較正するとともに、こ
れら較正した結果に基づいて高周波加熱装置６の駆動を
制御する構成になっている。
【００１６】上記の構成の温度制御装置４を用いて供試
体２の温度を制御する動作について説明する。初めに予
め供試体２の温度と、熱電対７およびパイロメータ８が
計測する温度との相関関係を求める手順について説明す
る。まず、供試体２を回転させない状態（静止状態）で
供試体２に、計測結果を制御・計測装置９に出力する熱
電対１２を取り付ける。そして、高周波加熱装置６によ
り炉壁１０を介して供試体２を加熱する。このとき、制
御・計測装置９には、熱電対１２が計測した温度、すな
わち、供試体２の温度と、このときの温度に対応する熱
電対７が計測する炉壁１０の温度およびパイロメータ８
が計測する供試体２の温度とがそれぞれ入力する。そこ
で、制御・計測装置９では、これらの温度を相互に関連
づけて記憶しておく。
体２の温度を制御する動作について説明する。初めに予
め供試体２の温度と、熱電対７およびパイロメータ８が
計測する温度との相関関係を求める手順について説明す
る。まず、供試体２を回転させない状態（静止状態）で
供試体２に、計測結果を制御・計測装置９に出力する熱
電対１２を取り付ける。そして、高周波加熱装置６によ
り炉壁１０を介して供試体２を加熱する。このとき、制
御・計測装置９には、熱電対１２が計測した温度、すな
わち、供試体２の温度と、このときの温度に対応する熱
電対７が計測する炉壁１０の温度およびパイロメータ８
が計測する供試体２の温度とがそれぞれ入力する。そこ
で、制御・計測装置９では、これらの温度を相互に関連
づけて記憶しておく。
【００１７】続いて、熱電対１２を取り外した後、回転
軸１、１を介して供試体２を回転して評価試験を実行す
る。すなわち、供試体２を所定の回転数で回転すること
で供試体２に所定の荷重を負荷する。このとき、供試体
２を例えばエンジンの燃焼ガス温度以上の規定温度に加
熱するが、制御・計測装置９は熱電対７により計測され
た炉壁１０の温度を、予め熱電対１２により計測された
温度を用いて較正することで供試体２の温度を管理す
る。同様に、制御・計測装置９はパイロメータ８により
計測された供試体２の温度を、予め熱電対１２により計
測された温度を用いて較正することで供試体２の温度を
管理する。
軸１、１を介して供試体２を回転して評価試験を実行す
る。すなわち、供試体２を所定の回転数で回転すること
で供試体２に所定の荷重を負荷する。このとき、供試体
２を例えばエンジンの燃焼ガス温度以上の規定温度に加
熱するが、制御・計測装置９は熱電対７により計測され
た炉壁１０の温度を、予め熱電対１２により計測された
温度を用いて較正することで供試体２の温度を管理す
る。同様に、制御・計測装置９はパイロメータ８により
計測された供試体２の温度を、予め熱電対１２により計
測された温度を用いて較正することで供試体２の温度を
管理する。
【００１８】具体的な制御方式としては、例えばパイロ
メータ８の計測可能範囲外の温度から加熱を始める場
合、初期においては熱電対７の計測結果を用いて供試体
２の温度を管理し、パイロメータ８の計測可能範囲内の
温度では、パイロメータ８の計測結果を用いて供試体２
の温度を管理する方式に切り替える。また、パイロメー
タ８の計測結果を用いて供試体２の温度を管理する際に
も、適宜、熱電対７の計測結果から得られた供試体２の
温度を用いてパイロメータ８の計測した温度を照合し、
間接的に計測した供試体２の温度の正確性を検証する。
そして、制御・計測装置９では、これら得られた供試体
２の温度が規定温度に維持されるように、高周波加熱装
置６の駆動を制御する。
メータ８の計測可能範囲外の温度から加熱を始める場
合、初期においては熱電対７の計測結果を用いて供試体
２の温度を管理し、パイロメータ８の計測可能範囲内の
温度では、パイロメータ８の計測結果を用いて供試体２
の温度を管理する方式に切り替える。また、パイロメー
タ８の計測結果を用いて供試体２の温度を管理する際に
も、適宜、熱電対７の計測結果から得られた供試体２の
温度を用いてパイロメータ８の計測した温度を照合し、
間接的に計測した供試体２の温度の正確性を検証する。
そして、制御・計測装置９では、これら得られた供試体
２の温度が規定温度に維持されるように、高周波加熱装
置６の駆動を制御する。
【００１９】本実施の形態の温度制御装置では、熱電対
７が計測した炉壁１０の温度を予め計測した供試体２の
温度に較正して制御するので、パイロメータ８のみを用
いて計測した場合のように外乱に影響されることなく、
供試体２の温度を正確に制御することができる。また、
本実施の形態では、さらにパイロメータ８を併用するこ
とで、パイロメータ８の計測結果と熱電対７の計測結果
とを相互に検証することができ、供試体２の温度制御に
対する信頼性をより高めることができる。特に、上述し
たように、パイロメータ８を用いた温度制御と熱電対７
を用いた温度制御を、供試体２の温度に応じて区分する
ことで、パイロメータ８の計測可能範囲外の温度から加
熱する場合でも、自由に安定した制御が可能になる。ま
た、本実施の形態では、制御・計測装置９がパイロメー
タ８の計測結果と熱電対７の計測結果とを用いて高周波
加熱装置６の駆動を制御しているので、供試体２を自動
的に規定温度に加熱することができ、容易な温度制御を
実現することができる。
７が計測した炉壁１０の温度を予め計測した供試体２の
温度に較正して制御するので、パイロメータ８のみを用
いて計測した場合のように外乱に影響されることなく、
供試体２の温度を正確に制御することができる。また、
本実施の形態では、さらにパイロメータ８を併用するこ
とで、パイロメータ８の計測結果と熱電対７の計測結果
とを相互に検証することができ、供試体２の温度制御に
対する信頼性をより高めることができる。特に、上述し
たように、パイロメータ８を用いた温度制御と熱電対７
を用いた温度制御を、供試体２の温度に応じて区分する
ことで、パイロメータ８の計測可能範囲外の温度から加
熱する場合でも、自由に安定した制御が可能になる。ま
た、本実施の形態では、制御・計測装置９がパイロメー
タ８の計測結果と熱電対７の計測結果とを用いて高周波
加熱装置６の駆動を制御しているので、供試体２を自動
的に規定温度に加熱することができ、容易な温度制御を
実現することができる。
【００２０】なお、上記実施の形態において、熱電対７
とパイロメータ８の双方の計測結果を用いて供試体２の
温度を制御する構成としたが、これに限定されるもので
はなく、熱電対７の計測結果のみで供試体２の温度を制
御する構成としてもよい。また、本発明の温度制御装置
は、回転試験に限られず、駆動状態にある計測物体の温
度制御に関して広く適用可能である。
とパイロメータ８の双方の計測結果を用いて供試体２の
温度を制御する構成としたが、これに限定されるもので
はなく、熱電対７の計測結果のみで供試体２の温度を制
御する構成としてもよい。また、本発明の温度制御装置
は、回転試験に限られず、駆動状態にある計測物体の温
度制御に関して広く適用可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る温
度制御装置は、計測装置が加熱された壁体の温度を計測
し、予め計測した計測物体の温度に基づいて較正装置が
計測装置の計測結果を較正する構成となっている。これ
により、この温度制御装置では、外乱に影響されること
なく、計測物体の温度を正確に計測・制御できるという
効果が得られる。
度制御装置は、計測装置が加熱された壁体の温度を計測
し、予め計測した計測物体の温度に基づいて較正装置が
計測装置の計測結果を較正する構成となっている。これ
により、この温度制御装置では、外乱に影響されること
なく、計測物体の温度を正確に計測・制御できるという
効果が得られる。
【００２２】請求項２に係る温度制御装置は、計測物体
の温度を予め計測した結果に基づいて較正装置が放射温
度計の計測結果を較正する構成となっている。これによ
り、この温度制御装置では、放射温度計の計測結果と計
測装置の計測結果とを相互に検証することができ、計測
物体の温度制御に対する信頼性をより高めることができ
るという効果を奏する。
の温度を予め計測した結果に基づいて較正装置が放射温
度計の計測結果を較正する構成となっている。これによ
り、この温度制御装置では、放射温度計の計測結果と計
測装置の計測結果とを相互に検証することができ、計測
物体の温度制御に対する信頼性をより高めることができ
るという効果を奏する。
【００２３】請求項３に係る温度制御装置は、制御部が
較正装置の較正結果に基づいて加熱装置を制御する構成
となっている。これにより、この温度制御装置では、計
測物体を自動的に規定温度に加熱することができ、容易
な温度制御を実現できるという効果が得られる。
較正装置の較正結果に基づいて加熱装置を制御する構成
となっている。これにより、この温度制御装置では、計
測物体を自動的に規定温度に加熱することができ、容易
な温度制御を実現できるという効果が得られる。
【図１】 本発明の実施の形態を示す図であって、試
験装置に温度制御装置が設けられた概略構成図である。
験装置に温度制御装置が設けられた概略構成図である。
２ 供試体（計測物体） ４ 温度制御装置 ６ 高周波加熱装置（加熱装置） ７ 熱電対（計測装置） ８ パイロメータ（放射温度計） ９ 制御・計測装置（制御部、較正装置） １０ 炉壁（壁体）
Claims (3)
- 【請求項１】 駆動状態の計測物体を温度制御対象と
する温度制御装置であって、 前記計測物体を囲む壁体を介して前記計測物体を加熱す
る加熱装置と、 該加熱装置で加熱された前記壁体の温度を計測する計測
装置と、 前記計測物体の温度を予め計測した結果に基づいて前記
計測装置の計測結果を較正する較正装置とを有すること
を特徴とする温度制御装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の温度制御装置におい
て、 前記計測物体の温度を非接触で計測する放射温度計を備
え、 前記較正装置は、前記計測物体の温度を予め計測した結
果に基づいて前記放射温度計の計測結果を較正すること
を特徴とする温度制御装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の温度制御装置
において、 前記較正装置の較正結果に基づいて、前記加熱装置を制
御する制御部を有することを特徴とする温度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000401141A JP2002202193A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000401141A JP2002202193A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 温度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002202193A true JP2002202193A (ja) | 2002-07-19 |
Family
ID=18865620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000401141A Pending JP2002202193A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 温度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002202193A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014511957A (ja) * | 2011-03-15 | 2014-05-19 | シーメンス エナジー インコーポレイテッド | 曲線をもつガスタービンエンジン部品における熱電対 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0348127A (ja) * | 1989-04-19 | 1991-03-01 | Nkk Corp | 非接触温度計測方法及びその温度センサ |
| JPH05133816A (ja) * | 1991-11-11 | 1993-05-28 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 温度測定装置 |
| JPH05138075A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-06-01 | Hitachi Koki Co Ltd | 遠心分離機用非接触式温度計測システム |
| JPH06207859A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-07-26 | Nippon Steel Corp | 誘導加熱材の温度検出装置 |
| JPH10116885A (ja) * | 1996-10-08 | 1998-05-06 | Anelva Corp | 基板温度制御機構 |
| JPH10299688A (ja) * | 1997-04-22 | 1998-11-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ターボ分子ポンプ |
| JPH11326130A (ja) * | 1998-05-07 | 1999-11-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 高温回転破壊試験装置 |
-
2000
- 2000-12-28 JP JP2000401141A patent/JP2002202193A/ja active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0348127A (ja) * | 1989-04-19 | 1991-03-01 | Nkk Corp | 非接触温度計測方法及びその温度センサ |
| JPH05133816A (ja) * | 1991-11-11 | 1993-05-28 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 温度測定装置 |
| JPH05138075A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-06-01 | Hitachi Koki Co Ltd | 遠心分離機用非接触式温度計測システム |
| JPH06207859A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-07-26 | Nippon Steel Corp | 誘導加熱材の温度検出装置 |
| JPH10116885A (ja) * | 1996-10-08 | 1998-05-06 | Anelva Corp | 基板温度制御機構 |
| JPH10299688A (ja) * | 1997-04-22 | 1998-11-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ターボ分子ポンプ |
| JPH11326130A (ja) * | 1998-05-07 | 1999-11-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 高温回転破壊試験装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014511957A (ja) * | 2011-03-15 | 2014-05-19 | シーメンス エナジー インコーポレイテッド | 曲線をもつガスタービンエンジン部品における熱電対 |
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