JP2002195258A - Load supporting structure and load supporting unit - Google Patents
Load supporting structure and load supporting unitInfo
- Publication number
- JP2002195258A JP2002195258A JP2000394853A JP2000394853A JP2002195258A JP 2002195258 A JP2002195258 A JP 2002195258A JP 2000394853 A JP2000394853 A JP 2000394853A JP 2000394853 A JP2000394853 A JP 2000394853A JP 2002195258 A JP2002195258 A JP 2002195258A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- main load
- supplied
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、工作機械
で切削加工される重量物（被加工物）の位置決め、水平
出し等の芯出作業を行うのに最適な荷重支承構造及び荷
重支承ユニットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a load-bearing structure and a load-bearing unit which are optimal for performing a centering operation such as positioning and leveling of a heavy object (workpiece) to be cut by a machine tool. About.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、例えば工作機械にて被加工物とし
てのワークの加工を行う際には、工作機械側の定盤に、
ワークを載置する。そして、ワークに対して工作機械の
加工部を移動させながら切削加工（例えばフライス加
工）するため、ワークを定盤に設置した後に、工作機械
の座標系とワークの座標系を合致させる微調整（芯出作
業）を行う必要がある。ところが、ワークは十数トンの
重量を持ったものを加工する場合が多く、一旦定盤に載
置されると、定盤との間の摩擦係数が大きいため、容易
に移動させることはできない。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, when processing a workpiece as a workpiece with a machine tool,
Place the work. Then, in order to perform cutting (for example, milling) while moving the processing portion of the machine tool with respect to the workpiece, after the work is set on the surface plate, fine adjustment (coordinates of the coordinate system of the machine tool and the coordinate system of the workpiece are performed) ( Centering work). However, a work having a weight of more than ten tons is often processed, and once placed on a surface plate, it cannot be easily moved due to a large friction coefficient between the work and the surface plate.
【０００３】そこで、従来では、ワーク側の下面と定盤
の上面との間に、所定圧の油を圧送して両者間の摩擦力
を小さくした静圧支持装置が公知である。かかる装置
は、図８（イ）に示す如く、定盤５０の上面に、上部材
としてのテーブル５１を載置し、該テーブル５１に重量
物のワーク５３を載置する。Therefore, conventionally, a static pressure supporting device is known in which oil of a predetermined pressure is pumped between a lower surface on a work side and an upper surface of a surface plate to reduce a frictional force therebetween. In this apparatus, as shown in FIG. 8A, a table 51 as an upper member is placed on the upper surface of a surface plate 50, and a heavy work 53 is placed on the table 51.
【０００４】また、テーブル５１の下面には、環状溝５
５が形成されており、モータ５６で作動するポンプ５７
が、配管５８を介してテーブル５１の環状溝５５に所定
圧に設定された圧油を供給する。環状溝５５により油圧
ポケットが形成されてテーブル５１の下面５１ａと定盤
５０の上面５０ａとの間には、油膜部分（例えば、十数
μ）の間隙が生じ、テーブル５１の下面及び定盤の上面
は、それぞれ摩擦係数の小さな滑面となり、重量物のワ
ーク５３を図８（ロ）に示す如く容易に水平方向に移動
させて芯出しを行える。On the lower surface of the table 51, an annular groove 5 is provided.
5 and a pump 57 operated by a motor 56
Supplies pressure oil set at a predetermined pressure to the annular groove 55 of the table 51 via the pipe 58. A hydraulic pocket is formed by the annular groove 55, and a gap of an oil film portion (for example, more than ten μ) is generated between the lower surface 51 a of the table 51 and the upper surface 50 a of the surface plate 50, and the lower surface of the table 51 and the surface plate The upper surface is a smooth surface with a small coefficient of friction, and can easily move the heavy workpiece 53 in the horizontal direction as shown in FIG.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記装
置は、環状溝５５内に高圧の圧油を供給する構造である
ため、圧油は、定盤５０とテーブル５１との間から外部
に漏洩することとなる。このため、洩れる油を補充すべ
く大量で且つ高圧の油を前記油圧ポケットに供給する必
要があり、また、漏洩した油は回収して使用している。
この結果、多量の高圧油を圧送、回収すべく油圧ポンプ
やモータ等の装置の大型化を招来する欠点があった。However, since the above-mentioned device has a structure for supplying high-pressure oil into the annular groove 55, the oil leaks from the space between the platen 50 and the table 51 to the outside. It will be. Therefore, it is necessary to supply a large amount of high-pressure oil to the hydraulic pocket to replenish the leaking oil, and the leaked oil is collected and used.
As a result, there is a drawback that a device such as a hydraulic pump or a motor is increased in size in order to pump and recover a large amount of high-pressure oil.
【０００６】そこで、上記問題を解決すべく、環状溝５
５内に環状のＯリングを嵌入し、流体圧ポケットから外
部に漏洩していた油が可及的に漏洩するのを防止する手
段が講じられている。しかしながら、かかる装置は、油
圧ポケットの外側のテーブル５１の下面５１ａと定盤５
０の上面５０ａは、油圧ポケットから漏洩した油によ
り、それぞれ滑り面となっているが、充分な滑り面を形
成することはできず、この結果、テーブル５１の下面５
１ａと定盤５０の上面５０ａに片当り現象が発生し、ワ
ーク及びテーブル５１の摺動抵抗が不安定になる欠点が
あった。Therefore, in order to solve the above problem, the annular groove 5 is required.
An annular O-ring is fitted into the inside 5 so as to prevent oil leaking from the fluid pressure pocket to the outside as much as possible. However, such a device comprises a lower surface 51a of the table 51 outside the hydraulic pocket and a surface plate 5;
The upper surface 50a of the table 51 has a sliding surface due to the oil leaked from the hydraulic pocket, but cannot form a sufficient sliding surface.
There was a disadvantage that a one-sided contact phenomenon occurred between 1a and the upper surface 50a of the surface plate 50, and the sliding resistance of the work and the table 51 became unstable.
【０００７】本発明はこのような問題を解決すべくなさ
れたものであり、主荷重保持ポケットの外側に、補助静
圧ポケットを設け、該補助静圧ポケットに供給された圧
力流体と、主荷重保持ポケットに供給された圧力流体と
の協働により、荷重の作用する上部材と下部材との滑り
面間隙を均一にでき、上部材の摺動抵抗の低減を図るこ
とを課題とする。The present invention has been made to solve such a problem. An auxiliary static pressure pocket is provided outside a main load holding pocket, and a pressure fluid supplied to the auxiliary static pressure pocket and a main load are provided. It is an object to cooperate with a pressurized fluid supplied to a holding pocket to make uniform a sliding surface gap between an upper member and a lower member on which a load acts, and to reduce sliding resistance of the upper member.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
すべく、荷重支承構造及び荷重支承ユニットとしてなさ
れたものであり、荷重支承構造としての特徴は、上部材
と、該上部材を支持する下部材と、互いに対向する上部
材の面と下部材の面との間に、所定圧の流体を供給する
流体圧供給装置とを備え、前記上部材及び下部材の一方
の面には、環状のシール部材が嵌入される環状溝が形成
され、前記流体圧供給装置により前記シール部材の内側
に形成れる主荷重保持ポケットに供給される圧力流体を
介して上部材と下部材は水平方向に相対移動自在に支持
されている荷重支承構造において、前記主荷重保持ポケ
ットの外側には、圧力流体が供給される補助静圧ポケッ
トが設けられていることにある。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, the present invention has been made as a load bearing structure and a load bearing unit. The features of the load bearing structure are an upper member and a support member for the upper member. A lower member, and a fluid pressure supply device for supplying a fluid of a predetermined pressure between a surface of the upper member and a surface of the lower member facing each other, and one surface of the upper member and the lower member includes: An annular groove into which an annular seal member is inserted is formed, and the upper member and the lower member are horizontally moved through a pressure fluid supplied to a main load holding pocket formed inside the seal member by the fluid pressure supply device. In the load bearing structure supported so as to be relatively movable, an auxiliary static pressure pocket to which a pressure fluid is supplied is provided outside the main load holding pocket.
【０００９】そして、補助静圧ポケットに供給される圧
力流体により、上部材と下部材の互いの対向面側には静
圧滑り面が形成され、主荷重保持ポケットに供給される
圧力流体が主に保持する上部材と、下部材との滑り面間
隙を均一にでき、上部材と下部材との片当り現象を防止
し、上部材の摺動抵抗が減少する。[0009] The pressure fluid supplied to the auxiliary static pressure pocket forms a static pressure sliding surface on the opposing surfaces of the upper member and the lower member, and the pressure fluid supplied to the main load holding pocket is mainly supplied to the main load holding pocket. The gap between the sliding surface of the upper member and the lower member can be made uniform, preventing the one-side contact between the upper member and the lower member, and reducing the sliding resistance of the upper member.
【００１０】荷重支承ユニットとしての特徴は、被支持
体側が載置される上部材と、該上部材を移動自在に支持
する下部材とを備え、前記上部材及び下部材の一方の面
には、環状のシール部材が嵌入される環状溝が形成さ
れ、流体圧供給装置により前記シール部材の内側に形成
れる主荷重保持ポケットに供給される圧力流体を介して
上部材と下部材は水平方向に相対移動自在に支持されて
いる荷重支承ユニットにおいて、前記主荷重保持ポケッ
トの外側には、圧力流体が供給される補助静圧ポケット
が設けられていることにある。The load bearing unit is characterized in that it comprises an upper member on which the supported member is placed, and a lower member which movably supports the upper member, and one surface of the upper member and the lower member has An annular groove into which an annular seal member is inserted is formed, and the upper member and the lower member are horizontally arranged through a pressure fluid supplied to a main load holding pocket formed inside the seal member by a fluid pressure supply device. In the load bearing unit supported to be relatively movable, an auxiliary static pressure pocket to which a pressure fluid is supplied is provided outside the main load holding pocket.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１〜図５は本発明の一実施の形態を示
し、１は例えば、ＮＣフロア形横フライス中ぐり盤等の
工作機械の側方に固定された定盤で、該定盤１の上方
に、前記工作機械で加工される被支持体（ワーク）３側
が支持されるようになっている。尚、ワーク３は、例え
ば十数トンの重量を持ったものが使用される。Embodiments of the present invention will be described below. 1 to 5 show an embodiment of the present invention, wherein 1 is a surface plate fixed to the side of a machine tool such as an NC floor type horizontal milling boring machine, for example. The supported body (work) 3 to be machined by the machine tool is supported. The work 3 has a weight of, for example, more than ten tons.
【００１２】また、ワーク３と定盤１との間には、芯出
用の荷重支承ユニット５が複数介在されている。尚、本
実施の形態では支承ユニット５が定盤１の４箇所に設け
られ、各支承ユニット５にテーブル６が載置されてい
る。A plurality of centering load bearing units 5 are interposed between the work 3 and the surface plate 1. In the present embodiment, the bearing units 5 are provided at four positions on the surface plate 1, and the table 6 is mounted on each bearing unit 5.
【００１３】各支承ユニット５は、定盤１側に固定され
る下部材としての支持部材７と、テーブル６の下面に固
定される上部材としての移動部材９とを備えている。ま
た、両方の部材７，９間には、流体圧供給装置としての
油圧供給装置１０から所定圧力の圧油が圧送されるよう
になっている。Each support unit 5 includes a support member 7 as a lower member fixed to the base 1 and a moving member 9 as an upper member fixed to the lower surface of the table 6. Further, between the two members 7 and 9, pressure oil at a predetermined pressure is fed from a hydraulic pressure supply device 10 as a fluid pressure supply device.
【００１４】各支持部材７の上面（滑面）７ａは図３に
示す如く水平面（平滑面）となっており、各支持部材７
の中央部分には、該平滑面７ａに油を供給するための油
路１２が、単数又は複数形成されている。また、平滑面
７ａには、前記油路１２に連通する環状溝１３が形成さ
れ、該環状溝１３にはシール部材としてのゴム材料等か
らなるＯリング１５が嵌入されている。尚、シール部材
１５は、特に限定されるものではなく、例えば図６
（イ）に示す如く中空金属のものや、また、同図（ロ）
に示す如く断面Ｃ形を呈するものであっても良い。The upper surface (smooth surface) 7a of each support member 7 is a horizontal plane (smooth surface) as shown in FIG.
A single or a plurality of oil passages 12 for supplying oil to the smooth surface 7a are formed in a central part of the oil passage. An annular groove 13 communicating with the oil passage 12 is formed in the smooth surface 7a, and an O-ring 15 made of a rubber material or the like as a seal member is fitted in the annular groove 13. Note that the seal member 15 is not particularly limited.
(B) As shown in (b), hollow metal
May have a C-shaped cross section as shown in FIG.
【００１５】前記移動部材９の下面（滑面）９ａは、前
記支持部材７の滑面７ａと同様に平滑面となっている。The lower surface (smooth surface) 9a of the moving member 9 is a smooth surface like the smooth surface 7a of the support member 7.
【００１６】前記環状溝１３には、環状で且つ断面略矩
形状のバックアップリング２７が前記Ｏリング１５を閉
塞するように嵌入されている。バックアップリング２７
は、金属材料や硬質の合成樹脂材料からなり、前記シー
ル部材１５よりも硬質のものが好ましく、前記Ｏリング
１５の上側に位置していると共に、Ｏリング１５とバッ
クアップリング２７とは、接着剤を介して一体的に接着
されている。尚、Ｏリング１５とバックアップリング２
７とは接着して一体化することにより、一体的に環状溝
１３に容易に装着できるため好ましいが、必ずしも接着
する必要はない。バックアップリング２７の上面は、前
記移動部材９の滑面９ａに摺動自在な摺動面２７ａとな
っている。An annular backup ring 27 having a substantially rectangular cross section is fitted in the annular groove 13 so as to close the O-ring 15. Backup ring 27
Is preferably made of a metal material or a hard synthetic resin material, and is preferably harder than the seal member 15. The seal member 15 is located above the O-ring 15, and the O-ring 15 and the backup ring 27 Are integrally adhered to each other. O-ring 15 and backup ring 2
7 is preferable because it can be easily and integrally attached to the annular groove 13 by being bonded and integrated, but it is not necessarily required to be bonded. The upper surface of the backup ring 27 is a sliding surface 27a slidable on the smooth surface 9a of the moving member 9.
【００１７】また、バックアップリングの摺動面２７ａ
には、その摺動面に油を供給するための流体路としての
油路２８が形成されている。かかる油路２８は、環状の
流体路（環状の油路）３０と、該環状油路３０とバック
アップリング２７の内周面側とを連通すべく、バックア
ップリング２７の直径方向に形成された連通流路（連通
油路）３１とからなる。尚、前記シール部材（Ｏリン
グ）１５とバックアップリング２７により、二重のシー
ル手段３３が構成され、かかるシール手段３３の内側に
は、主荷重保持ポケット２９が形成されている。Further, the sliding surface 27a of the backup ring
Is formed with an oil passage 28 as a fluid passage for supplying oil to the sliding surface. The oil passage 28 is formed in a diametrical direction of the backup ring 27 so as to communicate the annular fluid passage (annular oil passage) 30 with the inner peripheral surface of the backup ring 27. And a flow path (communication oil path) 31. The sealing member (O-ring) 15 and the backup ring 27 constitute a double sealing means 33, and a main load holding pocket 29 is formed inside the sealing means 33.
【００１８】前記各支持部材７の油路１２は、図２に示
す如く主配管２１を介して前記油圧供給装置１０に接続
されている。油圧供給装置１０は、モータ１８で駆動す
る油圧ポンプ２０を備え、該油圧ポンプ２０から油が主
配管２１を通して各支承ユニット５に供給されるように
なっている。各主配管２１には、流量制御手段３３がそ
れぞれ設けられている。かかる流量制御手段３３は、移
動部材９に作用する荷重の変化にかかわりなく、設定さ
れた油の流量が一定となるように油の流量を制御する流
量調整弁である。尚、２５は所定圧の油を各支承ユニッ
ト５に供給するためのリリーフバルブである。該リリー
フバルブ２５は、テーブル６に載置される最大のワーク
３の荷重よりも大きな荷重に設定されたものが使用され
る。The oil passage 12 of each of the support members 7 is connected to the hydraulic supply device 10 through a main pipe 21 as shown in FIG. The hydraulic supply device 10 includes a hydraulic pump 20 driven by a motor 18, from which oil is supplied to each bearing unit 5 through a main pipe 21. Each main pipe 21 is provided with a flow control means 33. The flow control unit 33 is a flow control valve that controls the oil flow so that the set oil flow is constant irrespective of the change in the load acting on the moving member 9. Reference numeral 25 denotes a relief valve for supplying a predetermined pressure of oil to each of the support units 5. As the relief valve 25, a valve set to a load larger than the maximum load of the work 3 placed on the table 6 is used.
【００１９】前記主荷重保持ポケット２９の外側（周
囲）には、補助静圧ポケット３５が、複数又は単数設け
られている。尚、本実施の形態では、４カ所に補助静圧
ポケット３５が設けられた場合を例示するが、その個数
及び配置位置は任意に設定可能である。各補助静圧ポケ
ット３５は、主荷重保持ポケットに沿う円弧部３６ａを
有するように、各支持部材７に環状に形成された環状溝
３６から形成される。尚、かかる環状溝３６の形状は任
意に設定可能である。Outside or around the main load holding pocket 29, a plurality or a single auxiliary static pressure pocket 35 is provided. In the present embodiment, the case where the auxiliary static pressure pockets 35 are provided at four locations is exemplified, but the number and the arrangement position thereof can be arbitrarily set. Each auxiliary static pressure pocket 35 is formed from an annular groove 36 formed in an annular shape in each support member 7 so as to have an arc portion 36a along the main load holding pocket. The shape of the annular groove 36 can be set arbitrarily.
【００２０】そして、各環状溝３６には、前記油圧供給
装置１０から所定圧の圧油が圧送されるように、前記主
配管２１から分岐された補助静圧ポケット用配管２１ａ
がそれぞれ接続されている。各補助静圧ポケット用配管
２１ａには、減圧手段としての絞り弁３６がそれぞれ設
けられており、該絞り弁３６により、各補助静圧ポケッ
ト３５に供給される油の圧力は、主荷重保持ポケット２
９に供給される圧力よりも小さく設定されている。The auxiliary static pressure pocket pipes 21a branched from the main pipe 21 are supplied to the respective annular grooves 36 so that a predetermined pressure oil is supplied from the hydraulic pressure supply device 10.
Are connected respectively. Each auxiliary static pressure pocket pipe 21a is provided with a throttle valve 36 as a pressure reducing means. The throttle valve 36 controls the pressure of the oil supplied to each auxiliary static pressure pocket 35 to the main load holding pocket. 2
9 is set to be smaller than the pressure supplied thereto.
【００２１】本実施の形態の装置は、以上の構成からな
り、次に該装置の使用例について説明する。先ず、定盤
１に各支承ユニット５をセットし、支承ユニット５にテ
ーブル６を載置した後に、例えばクレーン等で吊り下げ
たワーク３を、テーブル上に載置する。The apparatus according to the present embodiment has the above-described configuration. Next, an example of use of the apparatus will be described. First, each support unit 5 is set on the base 1, and the table 6 is mounted on the support unit 5, and then the work 3 suspended by, for example, a crane is mounted on the table.
【００２２】油圧供給装置１０のモータ１８を作動させ
ると、油圧ポンプ２０から圧送された油は、それぞれの
主配管２１及び補助静圧ポケット用配管２１ａを通って
各支承ユニット５に供給される。即ち、主配管２１を流
れる圧油は、支持部材７の滑面７ａと移動部材９の滑面
９ａとの間で、且つ、シール手段３３の内側で形成され
る主荷重保持ポケット２９に供給される。このとき、ワ
ーク３は相当の重量を有しているものの、シール手段３
３の内側の主荷重保持ポケット２９内の圧油が支持部材
７の滑面７ａと移動部材９の滑面９ａとの間に介在され
るため、油膜を介して支持部材７の滑面７ａと移動部材
９の滑面９ａとの間には、十数μ程度の微小間隙が形成
されることとなる。従って、この圧油が潤滑油として機
能し、移動部材９の支持部材７に対する滑り摩擦係数は
非常に小さくなる。When the motor 18 of the hydraulic supply device 10 is operated, the oil pumped from the hydraulic pump 20 is supplied to each bearing unit 5 through the respective main pipe 21 and the auxiliary static pressure pocket pipe 21a. That is, the pressure oil flowing through the main pipe 21 is supplied to the main load holding pocket 29 formed between the smooth surface 7a of the support member 7 and the smooth surface 9a of the moving member 9 and inside the sealing means 33. You. At this time, although the work 3 has a considerable weight, the sealing means 3
Since the pressurized oil in the main load holding pocket 29 inside 3 is interposed between the smooth surface 7a of the support member 7 and the smooth surface 9a of the moving member 9, the oil is interposed between the smooth surface 7a of the support member 7 and the oil film. A minute gap of about several tens μ is formed between the moving member 9 and the smooth surface 9a. Therefore, this pressure oil functions as a lubricating oil, and the coefficient of sliding friction of the moving member 9 with respect to the support member 7 becomes very small.
【００２３】また、各補助静圧ポケット用配管２１ａに
導入される油は、絞り弁３６により所定圧に減圧され
て、移動部材９の滑面９ａと環状溝３６からなる各補助
静圧ポケット３５に供給される。このように、補助静圧
ポケット３５にも、所定圧の圧油が所定量供給されてい
ることから、補助静圧ポケット３５が位置する支持部材
７の滑面７ａと、移動部材９の滑面９ａとの間で静圧滑
り面が形成され、滑り面間隙（浮き上がり量）が均一に
なり、片当り浮き上がりが防止され、ワ−ク３が載置さ
れた移動部材９の支持部材７に対する摺動抵抗の大幅な
低減が図れ、移動部材９と共にワーク３を容易に所定の
位置まで移動させて芯出を行うことが可能となる。The oil introduced into each auxiliary static pressure pocket pipe 21a is reduced to a predetermined pressure by a throttle valve 36, and each auxiliary static pressure pocket 35 formed by the smooth surface 9a of the moving member 9 and the annular groove 36. Supplied to As described above, since a predetermined amount of pressure oil is also supplied to the auxiliary static pressure pocket 35, the smooth surface 7a of the support member 7 where the auxiliary static pressure pocket 35 is located and the smooth surface of the moving member 9 are provided. 9a, a static pressure sliding surface is formed, the sliding surface gap (lift amount) becomes uniform, the one-sided lifting is prevented, and the moving member 9 on which the work 3 is placed slides on the support member 7. The dynamic resistance can be greatly reduced, and the work 3 can be easily moved to a predetermined position together with the moving member 9 to perform centering.
【００２４】また、支承ユニット５に油を供給している
際には、バックアップリング２７の上面には、若干の油
が供給され、バックアップリング２７の上面は潤滑面と
なる。尚、バックアップリング２７の上面への油の供給
は、主荷重保持ポケット２９に連通する油路２８を介し
て効果的に行われる。When oil is supplied to the bearing unit 5, a slight amount of oil is supplied to the upper surface of the backup ring 27, and the upper surface of the backup ring 27 becomes a lubricating surface. The supply of oil to the upper surface of the backup ring 27 is effectively performed via an oil passage 28 communicating with the main load holding pocket 29.
【００２５】バックアップリング２７と支持部材７の滑
面７ａとの間から若干の油が漏洩することとなるが、ワ
ーク３はバックアップリング２７及びシール部材１５を
シールする方向（支持部材の滑面７ａに押圧する方向）
に付勢するため、漏洩する油量は極僅かであり、仮に漏
洩したとしても、シール手段３３の外側の支持部材７の
滑面７ａと移動部材９の滑面９ａを潤滑させる機能を有
し、更に、両方の摩擦力の軽減に寄与する。尚、バック
アップリング２７の上面を移動部材９の滑面９ａが、油
膜を介して摺動することから、バックアップリング２７
は、移動部材９により上方への移動が規制され、環状溝
１３内のＯリング１５が、主荷重保持ポケット２９内の
油圧ではみ出るのを防止する。このため、Ｏリング１５
の機能が低下するおそれもない。Although some oil leaks from between the backup ring 27 and the smooth surface 7a of the support member 7, the work 3 is sealed in the direction of sealing the backup ring 27 and the seal member 15 (the smooth surface 7a of the support member). Direction to press)
The amount of oil leaking is very small, and even if it leaks, it has a function of lubricating the smooth surface 7a of the support member 7 and the smooth surface 9a of the moving member 9 outside the sealing means 33. Further, it contributes to reduction of both frictional forces. Since the smooth surface 9a of the moving member 9 slides on the upper surface of the backup ring 27 via an oil film, the backup ring 27
The upward movement is restricted by the moving member 9, and the O-ring 15 in the annular groove 13 is prevented from protruding by the hydraulic pressure in the main load holding pocket 29. Therefore, the O-ring 15
There is no possibility that the function of the device will be reduced.
【００２６】しかも、主配管２１に流量制手段３３を設
け、テーブル６に載置されるワーク３の重量とは関係な
く定量の油を主荷重保持ポケット２９及び補助静圧ポケ
ット３５に供給して、移動部材９と支持部材７との摺動
面を定流量型滑り面にすることで、外荷重の変化に対し
て滑り面間隙の変化量が最小に押さえられるため、移動
部材９の浮き上がり量が一定化され、位置決め精度の向
上が図れ、且つ、荷重に対してリリーフバルブ２５等の
調整等が不要となる。Furthermore, a flow control means 33 is provided in the main pipe 21 to supply a fixed amount of oil to the main load holding pocket 29 and the auxiliary static pressure pocket 35 irrespective of the weight of the work 3 placed on the table 6. By making the sliding surface between the moving member 9 and the support member 7 a constant flow type sliding surface, the amount of change in the sliding surface gap can be suppressed to a minimum with respect to a change in external load. , The positioning accuracy is improved, and adjustment of the relief valve 25 and the like with respect to the load becomes unnecessary.
【００２７】尚、本発明は、前記実施の形態に限定され
るものではない。例えば、図７（イ）に示す如く前記油
圧供給装置１０は、必ずしも流量制御弁３３を設ける必
要はない。かかる場合には、リリーフバルブ２５はワー
ク３の荷重によって設定を変更する必要がある。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, as shown in FIG. 7A, the hydraulic pressure supply device 10 does not necessarily need to include the flow control valve 33. In such a case, the setting of the relief valve 25 needs to be changed depending on the load of the work 3.
【００２８】また、図７（ロ）に示す如く、定流量型ポ
ンブ２０を使用することも可能である。かかる場合に
は、定流量型ポンブ２０が前記流量制御弁３３の機能を
備えている。Further, as shown in FIG. 7B, a constant flow rate pump 20 can be used. In such a case, the constant flow type pump 20 has the function of the flow control valve 33.
【００２９】更に、前記流体は、油以外の液体又は気体
であっても良い。また、前記各実施の形態では、ワーク
３と各支承ユニット５との間に、テーブル６を介在させ
たが、テーブル６は必ずしも必要ではなく、支承ユニッ
ト５にワーク３を直接に載置する構成であっても良い。Further, the fluid may be a liquid or gas other than oil. Further, in each of the above embodiments, the table 6 is interposed between the work 3 and each of the support units 5, but the table 6 is not always necessary, and the work 3 is directly mounted on the support unit 5. It may be.
【００３０】しかも、補助静圧ポケット３５は、支持部
材（下部材）７側に設けたが、移動部材側（上部材側）
９に設けることも可能である。また、シール手段３３
は、下部材側に設けたものを例示したが、上部材側に設
けることも可能であり、バックアップリング２７は、必
ずしも設ける必要はない。また、支承ユニット５は、支
持部材７と移動部材９とから構成したが、移動部材９の
みであっても良い。かかる場合には、定盤１が下部材を
構成する。しかも、前記テーブル６又はワーク３を上部
材することもでき、該テーブル６又はワーク３の複数箇
所にシール部材１５（シール手段３３）を設けることも
可能である。また、移動部材９側に、油路１２を、単数
又は複数形成したり、または、支持部材７と移動部材９
の両方に油路１２を形成することも可能である。In addition, the auxiliary static pressure pocket 35 is provided on the support member (lower member) 7 side, but on the moving member side (upper member side).
9 can also be provided. Also, the sealing means 33
Is provided on the lower member side, but may be provided on the upper member side, and the backup ring 27 is not necessarily provided. Further, the support unit 5 is constituted by the support member 7 and the moving member 9, but may be constituted only by the moving member 9. In such a case, the base 1 constitutes a lower member. In addition, the table 6 or the work 3 can be used as an upper member, and the seal member 15 (seal means 33) can be provided at a plurality of positions of the table 6 or the work 3. Also, one or more oil passages 12 are formed on the moving member 9 side, or the support member 7 and the moving member 9
It is also possible to form the oil passage 12 in both.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上のように、本発明は、主荷重保持ポ
ケットに供給される圧力流体にて主に上部材に作用する
荷重を受け、且つ、補助静圧ポケットに供給される圧力
流体にて、荷重をバランス良く保持するため、上部材と
下部材の片当りを防止でき、両者上部材と下部材の摩擦
抵抗が低減し、上部材と下部材との相対移動をスムーズ
に行える利点がある。As described above, according to the present invention, the pressure fluid supplied to the main load holding pocket receives a load mainly acting on the upper member, and the pressure fluid supplied to the auxiliary static pressure pocket is In order to maintain the load in a well-balanced manner, it is possible to prevent the upper member and the lower member from coming into contact with each other, reduce the frictional resistance between the upper member and the lower member, and smoothly move the relative movement between the upper member and the lower member. is there.
【００３２】しかも、油圧供給装置は、前記主荷重保持
ポケット及び補助静圧ポケットに配管を介して接続さ
れ、該配管には、前記前記主荷重保持ポケット及び補助
静圧ポケットに供給する圧力流体の量が一定となるよう
に、流量制御手段が設けられている場合には、上部材に
作用する荷重が変化しても、流体圧供給装置は、常時一
定量の圧力流体を主荷重保持ポケット及び補助静圧ポケ
ットに供給するため、上部材と下部材との間隙を一定で
且つ安定でき、荷重の変化に応じて流量制御手段の調整
が不要となる。Further, the hydraulic supply device is connected to the main load holding pocket and the auxiliary static pressure pocket via a pipe, and the pipe has a pressure fluid for supplying the main load holding pocket and the auxiliary static pressure pocket to the main load holding pocket and the auxiliary static pressure pocket. When the flow rate control means is provided so that the amount becomes constant, even if the load acting on the upper member changes, the fluid pressure supply device always supplies a constant amount of pressure fluid to the main load holding pocket and Since the space is supplied to the auxiliary static pressure pocket, the gap between the upper member and the lower member can be made constant and stable, and adjustment of the flow control means according to a change in load becomes unnecessary.
【図１】本発明の一実施の形態を示す一部断面を含む全
体正面図。FIG. 1 is an overall front view including a partial cross section showing an embodiment of the present invention.
【図２】同荷重支承ユニットの配置を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing an arrangement of the load bearing unit.
【図３】同荷重支承ユニットの要部を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing a main part of the load bearing unit.
【図４】同下部材の平面図。FIG. 4 is a plan view of the lower member.
【図５】（イ）はシール手段を示す断面図、（ロ）はバ
ックアップリングの要部を示す平面図。5A is a cross-sectional view showing a sealing means, and FIG. 5B is a plan view showing a main part of a backup ring.
【図６】（イ）及び（ロ）は、Ｏリングの他の実施の形
態を示す要部断面図。FIGS. 6A and 6B are cross-sectional views of main parts showing another embodiment of an O-ring.
【図７】（イ）及び（ロ）は、油圧供給装置の他の実施
の形態を示す概略図。FIGS. 7A and 7B are schematic diagrams showing another embodiment of a hydraulic pressure supply device.
【図８】従来例を示し、（イ）は一部断面を含む概略
図、（ロ）はワークの移動状態を示す平面図。8A and 8B show a conventional example, wherein FIG. 8A is a schematic view including a partial cross section, and FIG. 8B is a plan view showing a moving state of a work.
３…ワーク（被支持体）、７…支持部材（下部材）、７
ａ…滑面（面）、９…移動部材（上部材）、９ｂ…滑面
（面）、１０…油圧供給装置（流体圧供給装置）、１５
…Ｏリング（シール部材）、２７…バックアップリン
グ、２９…主荷重保持ポケット、３５…補助静圧ポケッ
ト、３６…環状溝3 Work (supported member) 7 Support member (lower member) 7
a: smooth surface (surface), 9: moving member (upper member), 9b: smooth surface (surface), 10: hydraulic supply device (fluid pressure supply device), 15
... O-ring (seal member), 27 ... Backup ring, 29 ... Main load holding pocket, 35 ... Auxiliary static pressure pocket, 36 ... Circular groove
Claims (4)
と、互いに対向する上部材の面と下部材の面との間に、
所定圧の流体を供給する流体圧供給装置とを備え、前記
上部材及び下部材の一方の面には、環状のシール部材が
嵌入される環状溝が形成され、前記流体圧供給装置によ
り前記シール部材の内側に形成れる主荷重保持ポケット
に供給される圧力流体を介して上部材と下部材は水平方
向に相対移動自在に支持されている荷重支承構造におい
て、前記主荷重保持ポケットの外側には、圧力流体が供
給される補助静圧ポケットが設けられていることを特徴
とする荷重支承構造。An upper member, a lower member supporting the upper member, and a surface of the upper member and a surface of the lower member facing each other.
A fluid pressure supply device for supplying a fluid of a predetermined pressure, wherein an annular groove into which an annular seal member is fitted is formed on one surface of the upper member and the lower member, and the seal is formed by the fluid pressure supply device In a load bearing structure in which the upper member and the lower member are supported so as to be relatively movable in a horizontal direction via a pressure fluid supplied to a main load holding pocket formed inside the member, an outer side of the main load holding pocket is provided. And a supplemental static pressure pocket to which a pressure fluid is supplied.
ケット及び補助静圧ポケットに配管を介して接続され、
該配管には、前記前記主荷重保持ポケット及び補助静圧
ポケットに供給する圧力流体の量が一定となるように、
流量制御手段が設けられている請求項１に記載の荷重支
承構造。2. The hydraulic pressure supply device is connected to the main load holding pocket and the auxiliary static pressure pocket via a pipe,
In the pipe, the amount of pressure fluid supplied to the main load holding pocket and the auxiliary static pressure pocket is constant.
The load bearing structure according to claim 1, further comprising a flow control means.
される圧力流体を主荷重保持ポケットに供給される圧力
流体よりも減圧するための減圧手段が設けられている請
求項２に記載の荷重支承構造。3. The pipe according to claim 2, wherein a pressure reducing means for reducing a pressure fluid supplied to the auxiliary static pressure pocket to a pressure fluid supplied to the main load holding pocket is provided in the pipe. Load bearing structure.
部材を移動自在に支持する下部材とを備え、前記上部材
及び下部材の一方の面には、環状のシール部材が嵌入さ
れる環状溝が形成され、流体圧供給装置により前記シー
ル部材の内側に形成れる主荷重保持ポケットに供給され
る圧力流体を介して上部材と下部材は水平方向に相対移
動自在に支持されている荷重支承ユニットにおいて、前
記主荷重保持ポケットの外側には、圧力流体が供給され
る補助静圧ポケットが設けられていることを特徴とする
荷重支承ユニット。4. An upper member on which a supported body is placed, and a lower member movably supporting the upper member, and an annular seal member is provided on one surface of the upper member and the lower member. An annular groove to be fitted is formed, and the upper member and the lower member are supported so as to be relatively movable in a horizontal direction via a pressure fluid supplied to a main load holding pocket formed inside the seal member by a fluid pressure supply device. The load bearing unit according to claim 1, wherein an auxiliary static pressure pocket to which a pressure fluid is supplied is provided outside the main load holding pocket.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000394853A JP2002195258A (en) | 2000-12-26 | 2000-12-26 | Load supporting structure and load supporting unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000394853A JP2002195258A (en) | 2000-12-26 | 2000-12-26 | Load supporting structure and load supporting unit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002195258A true JP2002195258A (en) | 2002-07-10 |
Family
ID=18860415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000394853A Pending JP2002195258A (en) | 2000-12-26 | 2000-12-26 | Load supporting structure and load supporting unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002195258A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009195993A (en) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | Surface grinding head system for substrate |
-
2000
- 2000-12-26 JP JP2000394853A patent/JP2002195258A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009195993A (en) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | Surface grinding head system for substrate |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1534969B1 (en) | Hydrostatic bearing for linear motion guidance | |
| US9845828B2 (en) | Guide mechanism of machine tool and machine tool | |
| KR101795157B1 (en) | Guide mechanism of machine tool and machine tool | |
| US3484064A (en) | Plumb control for horizontal boring drilling and milling machine | |
| US7101080B2 (en) | Hydrostatic pressure linear guide device | |
| JPS5832015Y2 (en) | Fluid hydrostatic bearing | |
| JP2011136408A (en) | Machine tool | |
| US6367977B1 (en) | Hybrid hydrostatic spindle | |
| EP2759373B1 (en) | A method of fluid pressure control in a hydrostatic burnishing tool and hydrostatic burnishing tool | |
| JP2002195258A (en) | Load supporting structure and load supporting unit | |
| EP3951199A1 (en) | Dual membrane restrictor | |
| JP4877690B2 (en) | Static pressure slider | |
| JP2002070862A (en) | Hydrostatic supporting construction and hydrostatic supporting unit | |
| JP3099012B1 (en) | Hydrostatic bearing unit | |
| US5462364A (en) | Variable speed fluid bearing and method of use | |
| US4376556A (en) | Linear bearing arrangement | |
| JP4356385B2 (en) | Sliding guide device | |
| CN111577764B (en) | Hydrostatic bearing, hydrostatic rotary table and hydrostatic spindle | |
| EP0708251A1 (en) | Holding check control valve | |
| JPH10138081A (en) | Balance mechanism for driven body | |
| JP2006266287A (en) | Guiding device | |
| JP6512930B2 (en) | Machine Tools | |
| EP4089294A1 (en) | Negative-pressure adsorption static-pressure supporting guide rail of machining machine tool, and cylindrical grinding machine comprising negative-pressure adsorption static-pressure supporting guide rail | |
| CA2317854A1 (en) | Hybrid hydrostatic spindle | |
| JP5269078B2 (en) | Sealing device for wire electric discharge machine |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040706 |