JP2002181933A - 特殊な受光器を備えた広範囲測定用レーザー距離測定器 - Google Patents

特殊な受光器を備えた広範囲測定用レーザー距離測定器

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JP2002181933A JP2001316943A JP2001316943A JP2002181933A JP 2002181933 A JP2002181933 A JP 2002181933A JP 2001316943 A JP2001316943 A JP 2001316943A JP 2001316943 A JP2001316943 A JP 2001316943A JP 2002181933 A JP2002181933 A JP 2002181933A
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ザイフェルト ヘルムート
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シュッサー ゲーロ
Ullrich Krueger
クリューガー ウルリヒ
Martin Penzold
ペンツォルト マルティン
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Hilti AG
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Jenoptik Optical Systems GmbH
Hilti AG
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】広範囲測定用レーザー距離測定器において、受
光器自体の特殊な構成により、受光器にとって適当な強
度で測定光線を受光器上に結像させる。 【解決手段】互いに間隔aをおいて平行に配置される送
光チャネルと受光チャネルとを備え、送光チャネルがレ
ーザー光源2を焦点に配置した送光レンズ1を有し、受
光チャネルがフォトダイオードチップ装置4.1を焦点
面内に配置した受光レンズ3を有している広範囲測定用
レーザー距離測定器において、フォトダイオードチップ
装置4.1は少なくとも2つの能動的なフォトダイオー
ド面7.1,7.2を備えたフォトダイオードチップ装
置である。フォトダイオードチップ装置4.1は、前記
間隔aによって決定される方向に方向づけられた直線上
に配置され、レーザー光源2に最も近い能動的なフォト
ダイオード面がレーザー光源2に対し間隔aで設けられ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、互いに間隔をおい
て平行に配置される送光チャネルと受光チャネルとを備
え、送光チャネルがレーザー光源を焦点に配置した送光
レンズを有し、受光チャネルが受光装置を焦点面内に配
置した受光レンズを有している広範囲測定用レーザー距
離測定器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザー測定器は、パルス作動時間測定
原理または位相作動時間測定原理に基づいている。従来
の技術から知られている、パルス作動時間測定原理に基
づいているレーザー距離測定器と位相作動時間測定原理
に基づいているレーザー距離測定器とは、送光チャネル
と受光チャネルの基本的な配置構成の点で異なってお
り、すなわち送光チャネルが受光チャネルの横に配置さ
れている装置(両チャネルの光軸が互いに特定の間隔で
延びている装置)と、送光チャネルと受光チャネルとが
互いに同軸に配置されている装置(両チャネルの光軸が
ぶつかっている装置)の点で異なっている。
【0003】対象物を距離測定する際の受光器の光学的
クロストーク、たとえば近距離範囲からの塵埃粒子の後
方散乱によって生じる光学的クロストークは、光学的に
は2つの処置で実現されずにすぎず、すなわち受光面の
縮小と、送光チャネルと受光チャネルとの軸間距離の拡
大の2つの処置しかない。しかしながらこれら2つの処
置によると、対象物の距離が短い場合、対象物から反射
した測定光束が受光器から離間するように急速に変位す
る。
【0004】近距離範囲の対象物の距離測定のためにだ
け設計される距離測定器に対しては、基本的には、送光
チャネルと受光チャネルを同軸に配置したものが使用さ
れ、すなわち送光レンズ(単独レンズであってもよい)
は受光レンズでもある。このレンズの焦点距離範囲内に
はビームスプリッターが設けられ、これによりレンズの
焦点面は互いに共役の2つの面内に生じる。これらの焦
点面内には一方で送光器が設けられ、他方で受光器が設
けられ、その結果送光器から出た測定光線はレンズによ
りコリメートされ、対象物によって反射し、対象物の距
離とは関係なく常に受光器上に結像される。
【0005】この配置構成は近距離範囲の測定に適して
いる。これは、対象物から受光器へ反射した測定光線の
強度が比較的大きいために、 ・レンズのアパーチャー角が、測定光線の送光および反
射測定光線の受光にとって十分に最適化されている。 ・塵埃粒子での測定光線の反射が検出されないように受
光器のダイナミック範囲が設定されている。 ・ビームスプリッターによる強度ロスに問題がない。か
らである。
【0006】このような配置構成は遠距離の対象物の測
定には適していない。というのは、光学要素(ビームス
プリッター、レンズ)での反射と塵埃粒子での反射とに
より、遠距離で反射した測定光線の強度は小さく、近距
離範囲から反射してきた光線の強度は大きいからであ
る。
【0007】このため、遠距離範囲のための距離測定器
の設計に際しては、すなわち被測定対象物が受光レンズ
(単独レンズであってもよい)に対し無限遠にある場合
には、送光チャネルと受光チャネルの並列配置が選択さ
れる。被測定対象物で発生する測定スポットは常に無限
遠から来て受光レンズの焦点に結像するので、送光器と
受光器を互いに共役な面内に配置する必要がなくなり、
送光チャネルと受光チャネルとの分離が可能になる。
【0008】このような配置構成は遠距離の対象物の測
定に適している。これは、対象物から受光器へ反射した
測定光線に基づいて、必要に応じて、 ・受光レンズのアパーチャー角を送光レンズのアパーチ
ャー角よりも大きく選定できる。 ・塵埃粒子での測定光線の反射成分が受光器にあたった
ときにこの反射成分が検出されるように受光器のダイナ
ミック範囲を調整できる。塵埃粒子での測定光線の反射
成分が受光器にあたることは、送光チャネルと受光チャ
ネルの光軸の間隔と、小さな受光面とにより回避され
る。 ・ビームスプリッターによる付加的な強度ロスが生じな
い。 からである。
【0009】このような配置構成は、視差が生じるため
に近距離の測定対象物の測定には適していない。視差に
より、測定スポットの結像部位は、距離が短くなるにつ
れて受光レンズの光軸上に配置されている受光器から離
間するように変位する。
【0010】総じて、上記の配置構成は、広範囲の距離
測定、すなわち近距離の被対象物の測定と遠距離の被対
称物の測定の両方に適した距離測定器の設計を困難にさ
せる。この種の距離測定器の需要は、たとえば0.3m
ないし30mの距離範囲を対象とする建築分野にある。
【0011】広範囲距離測定型距離測定器に対しては、
同軸配置の場合光の強度が小さくなることと光学的なク
ロストークとのために、送光チャネルと受光チャネルを
並列に配置した構成のものしか使用できない。
【0012】この種の配置構成はEP0701702と
DE19860464に開示されている。EP0701
702に記載されているレーザー距離測定器では、測定
スポットの結像が近距離範囲においても常に受光器(こ
こでは光導波路の入射面)で行なわれるようにするた
め、基本的に異なる2つの解決法が提示されている。
【0013】1つの解決法は、光軸に対し横方向におけ
る測定スポットの結像位置の変位に応じて光導波路の入
射面をトラッキングすることである。この公報に記載さ
れているように、光軸に沿った完全なトラッキングはあ
えて行なわれない。というのは、具体的な結像位置へト
ラッキングすると、電子評価装置のオーバードライブに
なり、すなわち受光器のダイナミック範囲(このために
電子制御装置が設計されている)を越えるからである。
【0014】他の解決法は、光導波路の入射面を固定配
置し、且つ光軸の外側に配置される光学的転向手段によ
り、対象物までの距離が短い場合に傾斜する受光レンズ
入射測定光線を光導波路入射面のほうへ誘導するように
することである。この場合も、結像光学的に正確な転向
は問題ではない点を前提としている。というのは、対象
物の距離が短い場合、強度の問題は生じないからであ
る。第2の解決法の利点は、受光チャネル内に機械的に
移動可能な要素を設けなくてもよいことである。
【0015】しかしながら、欠点は、信号レベル(対象
物によって反射して、受光器にぶつかる測定光線の強
度)を受光器のダイナミック範囲に整合させることがほ
とんど不可能なことである。
【0016】適当な処置により、対象物で反射した測定
光線の一部が受光面にあたるよう確保されている限り
は、距離測定範囲は受光器の受光範囲(ダイナミック)
により制限される。
【0017】受光面にあたる光線の強度にとって重要な
ことは、 ・送光パワー ・光路の長さに対する強度ロス(対象物までの距離の2
倍に等しい) ・その都度有効なアパーチャー範囲、すなわち反射測定
光線をその都度受光器に結像させるために有効な、受光
レンズの面部分 である。
【0018】DE19860464では、受光器のオー
バードライブを回避するため、対象物の距離に依存して
異なるアパーチャー範囲が有効になる。受光レンズは、
像側に2つの焦点を備えた変調型受光レンズである。こ
れら2つの焦点は、受光レンズが1次レンズ範囲と2次
レンズ範囲からなり、2次レンズ範囲が受光レンズの全
径にわたって延びて送光軸線に対し垂直に延在し、且つ
送光軸線のほうへ狭くなる台形状の形状を有しているこ
とにより生じる。
【0019】両レンズ範囲のサイズは、所望の距離範囲
の全体にわたって、受光器の受光範囲内にある反射信号
が受光器により受信されるように選定されている。しか
しながら、この種の受光レンズの製造は困難であり、高
コストである。従来の技術の解決法の共通点は、高価な
光学アッセンブリか付加的な機械的アッセンブリを必要
とするようなビームガイド制御処置により、受光器にと
って適当な強度で測定光線を受光器上に結像させること
である。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、広範
囲測定用レーザー距離測定器において、受光器自体の特
殊な構成により、受光器にとって適当な強度で測定光線
を受光器上に結像させることである。
【0021】これにより、光学系の製造、組み立て、調
整、検査に対するコストを低減させることをも課題とす
る。また、測定精度および測定速度を向上させた広範囲
測定用レーザー距離測定器を提供させることをも課題と
するものである。
【0022】さらに、従来の技術から知られているこの
種の距離測定器に比べて小型に実施可能にすることをも
課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0023】本発明は、上記課題を解決するため、互い
に間隔をおいて平行に配置される送光チャネルと受光チ
ャネルとを備え、送光チャネルがレーザー光源を焦点に
配置した送光レンズを有し、受光チャネルが受光装置を
焦点面内に配置した受光レンズを有している広範囲測定
用レーザー距離測定器において、受光装置が少なくとも
2つの能動的なフォトダイオード面を備えたフォトダイ
オードチップ装置であり、フォトダイオードチップ装置
は、前記間隔によって決定される方向に方向づけられた
直線上に配置され、レーザー光源に最も近い能動的なフ
ォトダイオード面がレーザー光源に対し前記間隔で設け
られていることを特徴とするものである。
【0024】有利な構成は従属項に記載されている。光
学的な転向手段を必要としないので、受光レンズの焦点
距離は単独球面の単独レンズに比べて非常に短くするこ
とができる(ほぼ15mmないし25mm)。またこれ
により、非常に小さなフォトダイオード受光面で作動さ
せることができ、暗電流の減少、フォトダイオードのキ
ャパシティの低減になる。暗電流が減少すると、レーザ
ー距離測定器全体の受光性が向上する。フォトダイオー
ドのキャパシティが低減すると、これに比例して変調周
波数が高くなり、よって測定精度が向上し、測定時間が
短くなる。
【0025】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を添付の
図面を用いて詳細に説明する。本発明による距離測定器
の基本構成は以下に説明する実施形態に共通するもので
あり、図1のaを用いてこの基本構成を説明する。
【0026】距離測定器は、送光レンズ1とレーザー光
源2とを備えた送光チャネルを有し、レーザー光源2は
送光レンズ1の焦点に配置されている。送光チャネルに
平行に、間隔a(送光レンズと受光レンズの光軸の間隔
に等しい)をおいて、受光レンズ3とその焦点面内に配
置されたフォトダイオードチップ装置4.1とを備えた
受光チャネルが設けられている。レーザー光源2から送
出された光束は、送光レンズ1を介してコリメートさ
れ、被測定対象物にあたり、これから反射して戻ってく
る。受光レンズ3に当たる光線は、対象物の距離とフォ
トダイオードチップ装置の具体的構成とに依存して受光
電流I(受光信号)を生じさせる。
【0027】図1のaないしcを用いて説明する第1実
施形態においては、フォトダイオードチップ装置4.1
は、第1の絞り穴6.1および第2の絞り穴6.2の2
つの穴を備えた2穴絞り5.1と、放射方向においてそ
の後方に配置され、フォトダイオード面7を備えたフォ
トダイオードによって形成されている。フォトダイオー
ド面7は、2つの面部分(両絞り穴6.1と6.2によ
って決定される)を除いて覆われる。前記2つの面部分
は第1および第2の能動的なフォトダイオード面を形成
している。対象物によって反射した光線は、被測定対象
物の距離に依存して位置と径が異なる結像円でフォトダ
イオードチップ装置4.1上に結像する。無限遠にある
対象物の場合には、光線は受光レンズ3の焦点に結像
し、したがってレーザー光源2に対し間隔aを持ったほ
ぼ点状の結像円8(無限)になる。これに対応して第1
の絞り穴6.1はこの結像円8(無限)のまわりにあ
る。この場合、反射した光線はすべて第1の能動的なフ
ォトダイオード面7.1にあたる。距離が短くなると、
本来の像面が焦点面を起点として受光レンズ3から離間
する方向に移動するので、結像円は大きくなる。さら
に、結像円の中心はレーザー光源2から離間する方向に
変位する。これは、被測定対象物が送光レンズ1の光軸
上にあり、よって受光レンズ3の光軸に対し間隔aで位
置しているからである。
【0028】図1のbには、対象物の距離が30mのと
きの結像円8.30と、3mのときの結像円8.3とが
例示されている。第1の絞り穴6.1のサイズは、能動
的なフォトダイオード面7.1にあたった光線の強度が
フォトダイオードチップ装置のダイナミック範囲の上限
に達したときに、大きくなる結像円を部分的にシェーデ
ィングするように選定されている。結像円がさらに大き
くなると(距離の法則に応じて光線強度は常に大きくな
る)、第1の絞り穴6.1のサイズにより、結像円のま
すます小さくなっていく部分が第1の能動的なフォトダ
イオード面7.1に結像し、よってフォトダイオード面
7に結像し、その結果受光信号はほぼ一定になる。第1
の絞り穴6.1を通過する光線の一部がフォトダイオー
ドチップ装置のダイナミック範囲の下限に達するほどの
大きさに結像円が大きくなると、第2の絞り穴6.2が
有効になる。すなわち光線の一部は、第2の絞り穴6.
2によって画成される第2の能動的なフォトダイオード
面7.2にあたる。総じて、能動的なフォトダイオード
面7.1と7.2にあたる光線の一部により、ほぼ均一
な受光信号が生じる。
【0029】図1のcは、第1の絞り穴6.1によって
可能になる受光電流9.1と、第2の絞り穴6.2によ
り可能になる受光電流9.2の理想的な変化を示してい
る。この実施形態では、距離が12mよりも大きい場合
信号は距離の法則に従って減衰する。
【0030】最適化する上で問題となるのは絞り穴のサ
イズ、形状、間隔の選定であり、特にフォトダイオード
7のパラメータおよび受光レンズ3の焦点距離に依存し
て選定することである。一方では、絞り穴を可能な限り
小さくして、散乱光の衝突をできるだけ回避する必要が
あるが、他方第1の絞り穴6.1は、距離が12mより
も大きい場合に生じる結像円よりも大きくなければなら
ない。絞り穴の形状、特に間隔aの方向における形状
は、結像円の、2穴絞り5.1によってシェーディング
される範囲の大きさに影響力を持っている。たとえば図
1のbに示したように第1の絞り穴6.1の縦長の構成
を楕円形として実施すると、円形に実施した場合と比べ
て、結像円の中心がシェーディングされる距離が短くな
る。絞り穴を楔状に延在させる最適化の実施形態も可能
である。
【0031】受光フォトダイオード面7を備えたフォト
ダイオードと3穴絞り5.2を組み合わせ、且つより大
きなアパーチャーを持った受光レンズを使用すると、た
とえば30m以下のより大きな距離に対しても受光信号
を一定に維持することができ、これは特に建築分野にと
って重要である。
【0032】3穴絞り5.2を備えたこの種のフォトダ
イオードチップ装置4.2を図2のaないしcに示す。
図中8(無限)は対象物が無限遠にある場合の結像円、
8.40は対象物の距離が40mの場合の結像円、8.
5は対象物の距離が5mの場合の結像円、8.2は対象
物の距離が2mの場合の結像円である。
【0033】第1実施形態の場合と同様に、この実施形
態でも、絞り穴は間隔aによって決定される方向に方向
づけられた直線上に配置されている。フォトダイオード
面7は、能動的なフォトダイオード面7.1ないし7.
3を決定する3つの絞り穴6.1,6.2,6.3を除い
て覆われる。
【0034】図2のcは受光電流の変化を示すもので、
9.1は第1の絞り穴6.1によって生じる受光電流、
9.2は第2の絞り穴6.2によって生じる受光電流、
9.3は第3の絞り穴6.3によって生じる受光電流で
ある。
【0035】本発明は、図示した絞り穴の実施形態、す
なわち2穴絞り5.1および3穴絞り5.2に限定され
るものではない。絞り穴の数量、配置、形状、サイズは
レーザー距離測定器の所望の精度、距離範囲に依存し
て、且つフォトダイオード7および受光レンズ3のパラ
メータとの協働を考慮して最適化される。しかしなが
ら、2穴絞り5.1または3穴絞り5.2ですでに優れ
た結果が得られる。2穴絞り5.1を備えたフォトダイ
オードチップ装置の第1実施形態に対しては、焦点距離
が25mmで、アパーチャー径が20mmの受光レンズ
3を、230μmの径のフォトダイオード面7およびほ
ぼ32μmの径の絞り穴と組み合わせるのが有利であ
る。径がほぼ20μmのより小さな絞り穴は、第2の実
施形態による3穴絞りを備えたフォトダイオードチップ
装置の場合、焦点距離が15mmで、アパーチャー径が
10mmの受光レンズで達成できる。
【0036】ここで明らかなことは、本発明によるレー
ザー距離測定器は高効率が達成され、小型であり、コン
パクトに実施できることである。フォトダイオード面7
上へ穴絞りを形成、取り付けるためのコストは極めて少
ない。穴絞りは市販の完成したフォトダイオードチップ
またはアバランシュフォトダイオードチップに追加的に
設けることができ、或いはチップ上にフロントコンタク
トを設ける段階で設けることができる。
【0037】他の好ましい特性は、取り付けられた穴絞
りの絞り穴を非常に小型に構成可能なことによって達成
される。フォトダイオード面またはアバランシュフォト
ダイオード面の小さな面部分だけが作用するようなこの
種の構成により、実行時間のエラーも回避できる。これ
は、6ps以下の実行時間差を検出しなければならない
ような1mm以下の距離測定精度を可能にする。
【0038】従来の技術とは異なり、特に、対象物が無
限遠にあるときの全光線強度を利用することができる。
これは、光線の分割または偏向によるロスがないためで
ある。図3のaないしcを用いて説明する第3実施形態
では、フォトダイオードチップ装置4.3は、ともにチ
ップ上に配置され、アノード側またはカソード側で互い
に接続される2つのフォトダイオードによって実現され
る。このフォトダイオードは、それぞれ能動的なフォト
ダイオード面7.1と7.2であるフォトダイオード面
7を備えている。
【0039】非測定対象物の距離に依存して、対象物か
ら反射した光線は位置と径が異なる結像円に結像され
る。対象物が無限遠にある場合は、光線は受光レンズ3
の焦点に合焦され、したがってレーザー光源2から間隔
aを持ったほぼ点状の結像円8(無限)になる。これに
対応して、第1の能動的なフォトダイオード面7.1は
この結像円8(無限)のまわりにあり、よって反射した
全光線を受光する。距離が短くなると結像円は大きくな
り、且つ変位する。たとえば、図3のbにおいて、対象
物の距離が30mの場合に対しては結像円8.30が図
示され、対象物の距離が3mにすぎない場合に対しては
結像円8.3が図示されている。
【0040】第1の能動的なフォトダイオード面7.1
のサイズは、このフォトダイオード面に衝突した光線の
強度がフォトダイオードチップ装置のダイナミック範囲
の上限に達したときに、大きくなる結像円が完全に結像
しないように選定されている。結像円がさらに大きくな
ると(距離の法則に応じて、光線強度は常により高くな
る)、第1の能動的なフォトダイオード面7.1のサイ
ズにより、結像円のより小さな部分が有効になり、その
結果受光信号はほぼ一定になる。
【0041】フォトダイオード面7.1に衝突する光線
成分がフォトダイオードチップ装置のダイナミック範囲
の下限に達っするほどの大きさに結像円がなると、第2
のフォトダイオード面7.2が有効になり、更なる光線
成分を受光してほぼ一定の受光信号が得られる。
【0042】図3のcは、第1の能動的なフォトダイオ
ード面7.1によって生じる受光電流10.1と、第2
の能動的なフォトダイオード面7.2によって生じる受
光電流10.2の理想的な経過を示している。この実施
形態では、12mよりm大きな距離に対しては、信号は
距離の法則に応じて減衰する。
【0043】最適化する上で問題となるのは能動的なフ
ォトダイオード面7.1と7.2のサイズ、形状、間隔
の選定であり、特にこれらフォトダイオード面の他のパ
ラメータおよび受光レンズ3の焦点距離に依存して選定
することである。一方では、フォトダイオード面を可能
な限り小さくして、散乱光の衝突をできるだけ回避する
必要があるが、他方第1の能動的なフォトダイオード面
7.1は、距離が12mよりも大きい場合に生じる結像
円よりも大きくなければならない。
【0044】フォトダイオードの面の形状、特に間隔a
の方向における形状は、結像円の、能動的なフォトダイ
オード面に重畳される範囲の大きさに影響力を持ってい
る。たとえば図3のbに示したように縦長の構成を楕円
形として実施すると、円形に実施した場合と比べて、結
像円の中心は距離がより短くなるに及んでフォトダイオ
ード7.1と重畳しなくなる。フォトダイオード面を楔
状に延在させる最適化の実施形態も可能である。
【0045】重要なことは、面形状が異なるフォトダイ
オード面をも同時に且つ同一に製造でき、これらのフォ
トダイオード面はそのすべての初期パラメータに関し同
一であることである。異なる面形状は、載置される絞り
により実現される。
【0046】第4実施形態では、能動的なフォトダイオ
ード面7.1ないし7.3を形成するそれぞれ1つのフ
ォトダイオード面7を備えた3つのフォトダイオードが
チップ上で互いに結合されて配置され、より大きなアパ
ーチャーを備えた受光レンズが使用される。この第4実
施形態により、個々の能動的なフォトダイオード面7.
1ないし7.3をさらに小さくさせることができ、受光
信号をより大きな距離に対しても、たとえば30m以下
の距離に対してもほぼ一定に保持させ、これは特に建築
分野にとって重要である。
【0047】この種のフォトダイオードチップ装置4.
4は、図4のaないしcに示すように、ともに1つのチ
ップ上に配置され、アノード側で互いに接続されるフォ
トダイオードにより実現され、図中8(無限)は対象物
が無限遠にある場合に生じる結像円、8.40は対象物
の距離が40mの場合の結像円、8.5は対象物の距離
が5mの場合の結像円、8.2は対象物の距離が2mの
場合の結像円である。
【0048】第3実施形態の場合と同様に、この実施形
態でも、フォトダイオードは間隔aによって決定される
方向に方向づけられた直線上に配置されている。図4の
cは受光電流の変化を示すもので、10.1は第1の能
動的なフォトダイオード面7.1によって生じる受光電
流、10.2は第2の能動的なフォトダイオード面7.
2によって生じる受光電流、10.3は第3の能動的な
フォトダイオード面7.1によって生じる受光電流であ
る。
【0049】第3および第4の実施形態により、さらに
小さな、コンパクトな距離測定器を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】aは2穴絞り型のフォトダイオードチップ装置
を備えたレーザー距離測定器の光学的原理を示す図、b
は2穴絞り型のフォトダイオードチップ装置を示す図、
cはbのフォトダイオードチップ装置の受光電流I
距離Eとの関係を示すグラフである。
【図2】aは3穴絞り型のフォトダイオードチップ装置
を備えたレーザー距離測定器の光学的原理を示す図、b
は3穴絞り型のフォトダイオードチップ装置を示す図、
cはbのフォトダイオードチップ装置の受光電流I
距離Eとの関係を示すグラフである。
【図3】aは2つのフォトダイオードを配置したフォト
ダイオードチップ装置を備えるレーザー距離測定器の光
学的原理を示す図、bは2つのフォトダイオードを配置
したフォトダイオードチップ装置を示す図、cはbのフ
ォトダイオードチップ装置の受光電流Iと距離Eとの
関係を示すグラフである。
【図4】aは3つのフォトダイオードを配置したフォト
ダイオードチップ装置を備えるレーザー距離測定器の光
学的原理を示す図、bは3つのフォトダイオードを配置
したフォトダイオードチップ装置を示す図、cはbのフ
ォトダイオードチップ装置の受光電流Iと距離Eとの
関係を示すグラフである。
【符号の説明】
1 送光レンズ 2 レーザー光源 3 受光レンズ 4.1,4.2,4.3 フォトダイオー
ドチップ装置 5.1 2穴絞り 5.2 3穴絞り 6.1 第1の絞り穴 6.2 第2の絞り穴 6.3 第3の絞り穴 7 フォトダイオード面 7.1 第1の能動的なフォトダイオード
面 7.2 第2の能動的なフォトダイオード
面 7.3 第3の能動的なフォトダイオード
面 8(無限) 対象物が無限遠にある場合の結像
円 8.2 対象物の距離が2mの場合の結像
円 8.3 対象物の距離が3mの場合の結像
円 8.30 対象物の距離が30mの場合の結
像円 8.40 対象物の距離が40mの場合の結
像円 8.5 対象物の距離が5mの場合の結像
円 9.3 第3のフォトダイオード面によっ
て生じるじゃゅ光電流 10.1 第1の能動的なフォトダイオード
面によって生じる受光電流 10.2 第2の能動的なフォトダイオード
面によって生じる受光電流 10.3 第3の能動的なフォトダイオード
面よって生じる受光電流 a 送光チャネルと受光チャネルの
光軸の間隔 E 対象物までの距離 I 受光電流
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 501402718 ヒルティー アクチエンゲゼルシャフト リヒテンシュタイン エフエル・9494 シ ャーン フェルトキルヒャーシュトラーセ 100 (72)発明者 ヘルムート ザイフェルト ドイツ連邦共和国 デー・07616 ゼルバ アイゼンベルガー シュトラーセ 24ア ー (72)発明者 ゲーロ シュッサー ドイツ連邦共和国 デー・07616 ビュル ゲル アム シュタイングラーベン 79 (72)発明者 ウルリヒ クリューガー ドイツ連邦共和国 デー・07751 ミルダ ヒンター マルツェンス ガルテン 20 (72)発明者 マルティン ペンツォルト ドイツ連邦共和国 デー・07745 イェー ナ フーゴ・シュラーデ・シュトラーセ 38 Fターム(参考) 2F112 AD01 AD10 BA03 BA07 BA10 CA12 DA28 5J084 AA05 AD01 AD02 BA03 BA36 BA38 BB04 BB37 DA01 DA07 EA02 EA05 EA07 EA40 FA03

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】互いに間隔(a)をおいて平行に配置され
    る送光チャネルと受光チャネルとを備え、送光チャネル
    がレーザー光源(2)を焦点に配置した送光レンズ
    (1)を有し、受光チャネルが受光装置(4)を焦点面
    内に配置した受光レンズ(3)を有している広範囲測定
    用レーザー距離測定器において、 受光装置(4)が少なくとも2つの能動的なフォトダイ
    オード面(7.1,7.2)を備えたフォトダイオード
    チップ装置であり、フォトダイオードチップ装置は、前
    記間隔(a)によって決定される方向に方向づけられた
    直線上に配置され、レーザー光源(2)に最も近い能動
    的なフォトダイオード面がレーザー光源(2)に対し間
    隔(a)で設けられていることを特徴とする広範囲測定
    用レーザー距離測定器。
  2. 【請求項2】能動的なフォトダイオード面がフォトダイ
    オード面(7)を備えたフォトダイオードにより形成さ
    れ、フォトダイオード面(7)が前方に配置した穴絞り
    を備え、穴絞りが少なくとも2つの絞り穴(6.1,
    6.2)を備えていることを特徴とする、請求項1に記
    載の広範囲測定用レーザー距離測定器。
  3. 【請求項3】穴絞りが2穴絞り(5.1)であることを
    特徴とする、請求項1に記載の広範囲測定用レーザー距
    離測定器。
  4. 【請求項4】絞り穴が円形であり、または前記直線の方
    向に強く膨張した楕円形構成であり、または楔状の構成
    であることを特徴とする、請求項2または3に記載の広
    範囲測定用レーザー距離測定器。
  5. 【請求項5】フォトダイオードがアバランシュフォトダ
    イオードであることを特徴とする、請求項2から4まで
    のいずれか一つに記載の広範囲測定用レーザー距離測定
    器。
  6. 【請求項6】能動的なフォトダイオード面がそれぞれフ
    ォトダイオード面(7)を備えたフォトダイオードによ
    り形成され、フォトダイオードがともにチップ上に生成
    され、且つアノード側またはカソード側で互いに接続さ
    れていることを特徴とする、請求項1に記載の広範囲測
    定用レーザー距離測定器。
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