JP2002181870A - Printed circuit board inspection device - Google Patents
Printed circuit board inspection deviceInfo
- Publication number
- JP2002181870A JP2002181870A JP2000384778A JP2000384778A JP2002181870A JP 2002181870 A JP2002181870 A JP 2002181870A JP 2000384778 A JP2000384778 A JP 2000384778A JP 2000384778 A JP2000384778 A JP 2000384778A JP 2002181870 A JP2002181870 A JP 2002181870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed circuit
- electrode
- circuit board
- inspection
- brush
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、プリント基板の
製造工程において、その配線パターンの良否を検査する
ためのプリント基板検査装置に関するものであり、特
に、配線パターンと同時にスルーホールの良否を容易に
検査することのできるプリント基板検査装置に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board inspection apparatus for inspecting the quality of a wiring pattern in a manufacturing process of a printed circuit board. The present invention relates to a printed circuit board inspection device capable of inspecting.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、プリント基板の検査は、プリント
基板のエッチング終了後に画像検査装置で配線パターン
の仕上がり具合を検査し、シルク・レジスト工程を経た
後、ランド等にピン状電極を接触させて電気試験機によ
る電気的導通の検査（線路の切断、他のパターンとの接
触等の検査）を行っていた。一般的には、画像試験を行
っているところは少なく、電気試験機による検査のみと
いう場合も多かった。これらの検査後に、プリント基板
が製品として出荷されている。電気試験機には、専用治
具チェッカー、ユニバーサルチェッカー、フライングプ
ローブチェッカーの３種類の試験機がある。2. Description of the Related Art Conventionally, a printed circuit board is inspected by inspecting the finished state of a wiring pattern with an image inspecting device after etching of the printed circuit board, and after passing through a silk resist process, a pin-shaped electrode is brought into contact with a land or the like. Inspection of electrical continuity (inspection of line cutting, contact with other patterns, etc.) was performed by an electric tester. Generally, there are few places where an image test is performed, and in many cases, only an inspection using an electric tester is performed. After these inspections, the printed circuit boards are shipped as products. There are three types of electrical testing machines: dedicated jig checkers, universal checkers, and flying probe checkers.
【０００３】図１は、専用治具チェッカーを示す図であ
る。専用治具チェッカーは、検査対象のプリント基板専
用の専用治具１０，１０を製作し、その専用治具１０の
ピン状電極１３をプリント基板５に押し当てて、配線パ
ターンにおける切断個所の有無や、他のパターンとの短
絡個所の有無を検査する。専用治具１０は、プリント基
板５の各配線パターンの一端部と他端部に接触するよう
に、ピン状電極１３がピンソケット１１の取付面上に配
置され、サポート板１２により位置決めされている。FIG. 1 is a diagram showing a dedicated jig checker. The dedicated jig checker manufactures dedicated jigs 10 and 10 dedicated to the printed circuit board to be inspected, and presses the pin-shaped electrode 13 of the dedicated jig 10 against the printed circuit board 5 to determine whether there is a cut portion in the wiring pattern. Inspect for short-circuited portions with other patterns. In the dedicated jig 10, the pin-shaped electrodes 13 are arranged on the mounting surface of the pin socket 11 so as to contact one end and the other end of each wiring pattern of the printed board 5, and are positioned by the support plate 12. .
【０００４】この専用治具チェッカーは、プリント基板
上のパターン・ランドが微小化してきたため、ピン状電
極を配置できない場合もあるが、基本的には高速かつ確
実な試験が行える。しかし、プリント基板の種類ごと
に、その種類のプリント基板に対応させた専用治具１
０，１０を製作する必要があるため、大量生産の製品の
検査には適しているが、少量品の検査の場合は治具製作
費用の負担が大きくなるという問題点がある。さらに、
この専用治具チェッカーでは配線パターンの導通検査の
みが可能であり、より詳細かつ高度な検査である、配線
パターンの微小な欠陥や変形等の有無の検査を行うこと
はできなかった。[0004] This dedicated jig checker may not be able to arrange pin-shaped electrodes because the pattern land on the printed circuit board has been miniaturized. However, basically, a high-speed and reliable test can be performed. However, for each type of printed circuit board, a dedicated jig 1 corresponding to that type of printed circuit board
Since it is necessary to manufacture 0 and 10, it is suitable for inspection of mass-produced products. However, in the case of inspection of a small number of products, there is a problem that the burden of jig manufacturing cost increases. further,
With this dedicated jig checker, only the continuity inspection of the wiring pattern can be performed, and it is not possible to perform a more detailed and advanced inspection for the presence / absence of minute defects or deformation of the wiring pattern.
【０００５】ユニバーサルチェッカーは、所定面積の中
に２．５４ｍｍ間隔、またはそれ以下の一定間隔（１．
８ｍｍ、１．５ｍｍ、１．２７ｍｍ等）の２次元格子状
にピン状電極を配置したものである。この格子状のピン
状電極にプリント基板を押し当ててパターンの一端部と
他端部に接触しているピンを割り出し、これを基に専用
治具チェッカーと同様な試験を行う。プリント基板上の
パターン・ランドが比較的大型であれば、このユニバー
サルチェッカーで検査できるが、最近のプリント基板は
パターン・ランドが微小化しているため、ユニバーサル
チェッカーでは検査不可能な場合が多い。The universal checker has a fixed area of 2.54 mm or less in a predetermined area (1.
(8 mm, 1.5 mm, 1.27 mm, etc.). A printed board is pressed against the grid-like pin-shaped electrodes to determine the pins that are in contact with one end and the other end of the pattern, and a test similar to that of the dedicated jig checker is performed based on the pins. If the pattern land on the printed circuit board is relatively large, the inspection can be performed with the universal checker. However, in recent printed circuit boards, the pattern checker land is too small, so that the universal checker often cannot perform the inspection.
【０００６】図２は、これを改良したユニバーサルチェ
ッカー１００を示す図である。プリント基板５の検査点
に幾何学的に一対一に対応して孔あけされたパターン板
１０４をプリント基板５の種類ごとに作成し、図２のよ
うにプリント基板５に近接して配置する。ピンソケット
１０１に格子状に配置されたピン１０５に軸方向長さの
長いロングピン１０６を接続し、ロングピン１０６をガ
イド板１０２、ロングピンサポート板１０３を介してパ
ターン板１０４のパターン孔に挿入する。そして、ロン
グピン１０６の先端部を検査点に接触させることによ
り、専用治具チェッカーと同様に、その配線パターンの
切断や他のパターンとの短絡の有無を検査する。FIG. 2 is a diagram showing a universal checker 100 in which this is improved. A pattern board 104, which is perforated so as to be geometrically one-to-one with respect to the inspection points of the printed board 5, is created for each type of the printed board 5, and is arranged close to the printed board 5 as shown in FIG. A long pin 106 having a long axial length is connected to a pin 105 arranged in a lattice on the pin socket 101, and the long pin 106 is inserted into a pattern hole of a pattern plate 104 via a guide plate 102 and a long pin support plate 103. Then, the tip of the long pin 106 is brought into contact with the inspection point, thereby inspecting whether the wiring pattern is cut or short-circuited with another pattern, similarly to the dedicated jig checker.
【０００７】この改良型のユニバーサルチェッカー１０
０においても、プリント基板の種類ごとに、その種類の
プリント基板に対応させた専用のガイド板１０２、ロン
グピンサポート板１０３、パターン板１０４等を製作す
る必要があり、プリント基板の種類に応じてそれらを交
換する必要があるという、専用治具チェッカーと同様の
問題点がある。[0007] This improved universal checker 10
0, it is necessary to manufacture a dedicated guide plate 102, a long pin support plate 103, a pattern plate 104, etc. corresponding to a type of printed circuit board for each type of printed circuit board. There is a problem similar to that of the dedicated jig checker that they need to be replaced.
【０００８】フライングプローブチェッカーは、専用治
具チェッカー、ユニバーサルチェッカーの問題点を解決
すべく開発されたものであり、測定電極（プローブ）が
平面（Ｘ−Ｙ座標）上を任意に移動できるように作られ
ている。そのため、プリント基板の配線パターンの一端
部と他端部にプローブを移動させ押し当てることによ
り、配線パターンの切断や他のパターンとの短絡の有無
を検査することができる。専用治具が不要であり、かつ
測定電極を含む測定部が簡素な構成となり、少量のプリ
ント基板の検査には適している。しかし、プリント基板
の多数の配線パターンを、パターンごとに順次測定部の
移動および位置決めを行いながら検査する必要があるた
め、検査に時間がかかるという問題点がある。The flying probe checker has been developed to solve the problems of the special jig checker and the universal checker, and enables the measuring electrode (probe) to move arbitrarily on a plane (XY coordinates). It is made. Therefore, by moving and pressing the probe to one end and the other end of the wiring pattern on the printed circuit board, it is possible to inspect whether the wiring pattern is cut or short-circuited with another pattern. No special jig is required, and the measuring section including the measuring electrodes has a simple configuration, which is suitable for inspection of a small amount of printed circuit boards. However, since it is necessary to inspect a large number of wiring patterns on a printed circuit board while sequentially moving and positioning the measurement unit for each pattern, there is a problem that the inspection takes time.
【０００９】以上のような電気試験機に対して、画像検
査装置は、エッチング終了後にプリント基板に印刷され
た配線パターンをＣＣＤイメージセンサーによるパター
ン認識を通して検査するものである。画像検査装置によ
れば、微細なパターンまで判別可能であるが、スルーホ
ール（プリント基板の表面と裏面の配線パターンを電気
的に接続するための微小な貫通孔）の内面が見えないた
め、スルーホールの導通状態が検査できないという問題
点がある。In contrast to the above-described electric tester, an image inspection apparatus inspects a wiring pattern printed on a printed circuit board after completion of etching through pattern recognition by a CCD image sensor. According to the image inspection apparatus, it is possible to distinguish even a fine pattern, but since the inner surface of a through hole (a minute through hole for electrically connecting the wiring pattern on the front surface and the back surface of the printed circuit board) is not visible, the through hole is not visible. There is a problem that the conduction state of the hole cannot be inspected.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
電気試験機にはそれぞれに問題点があり、画像検査装置
を使用してもスルーホールの検査が行えないという問題
点があった。そのため、多種類のプリント基板にも迅速
に対応でき、配線パターンとスルーホールの検査を短時
間で行うことのできる検査装置はいまだ実現されていな
かった。As described above, each of the conventional electric testers has a problem, and there has been a problem that the inspection of through holes cannot be performed even when an image inspection apparatus is used. Therefore, an inspection apparatus that can quickly respond to various types of printed circuit boards and that can inspect a wiring pattern and a through hole in a short time has not yet been realized.
【００１１】そこで、本発明は、多種類のプリント基板
にも迅速に対応でき、スルーホールの検査または配線パ
ターンとスルーホールの検査を短時間で実行することの
できるプリント基板検査装置を提供することを目的とす
る。Accordingly, the present invention provides a printed circuit board inspection apparatus capable of quickly responding to various types of printed circuit boards and performing inspection of through holes or inspection of wiring patterns and through holes in a short time. With the goal.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のプリント基板検査装置は、プリント基板の
一方の面側に設けられ、前記プリント基板の配線パター
ンの検査部分に接触するように所定ピッチで配列された
複数の線状電極を備えたブラシ状電極と、前記プリント
基板の他方の面側に前記プリント基板の配線パターンと
絶縁されて設けられた平面状電極と、前記ブラシ状電極
と前記プリント基板とを所定の方向に相対的に移動させ
る移動手段と、前記ブラシ状電極のそれぞれの前記線状
電極と前記平面状電極との間の静電容量を検出する静電
容量検出手段と、前記移動手段および前記静電容量検出
手段を制御して、前記プリント基板に設けられた配線パ
ターンの検査を行う検査手段とを有するものである。In order to achieve the above object, a printed circuit board inspection apparatus according to the present invention is provided on one side of a printed circuit board so as to be in contact with an inspection portion of a wiring pattern of the printed circuit board. A brush-like electrode having a plurality of linear electrodes arranged at a predetermined pitch, a planar electrode provided on the other surface side of the printed board insulated from a wiring pattern of the printed board, and the brush-shaped electrode. Moving means for relatively moving an electrode and the printed circuit board in a predetermined direction; and capacitance detection for detecting a capacitance between the linear electrode and the planar electrode of each of the brush electrodes. Means and an inspection means for controlling the moving means and the capacitance detecting means to inspect a wiring pattern provided on the printed circuit board.
【００１３】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記検査手段は、前記移動手段により前記ブラシ状
電極を移動させるとともに配線パターンの検査位置ごと
に前記ブラシ状電極を停止させ、前記静電容量検出手段
によりその検査位置での前記線状電極と前記平面状電極
との間の静電容量の検出を行うものであることが好まし
い。Further, in the above-mentioned printed circuit board inspection apparatus, the inspection means moves the brush-like electrode by the moving means and stops the brush-like electrode at each inspection position of the wiring pattern. It is preferable that the detecting means detects the capacitance between the linear electrode and the planar electrode at the inspection position.
【００１４】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記静電容量検出手段は、複数の前記線状電極を切
り換えて、配線パターンの検査部分に接触する前記線状
電極と前記平面状電極との間の静電容量を検出するもの
であることが好ましい。Further, in the above-mentioned printed circuit board inspection apparatus, the capacitance detecting means switches a plurality of the linear electrodes, and determines whether the linear electrodes and the planar electrodes contact the inspection portion of the wiring pattern. It is preferable to detect the capacitance between them.
【００１５】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記ブラシ状電極は、前記線状電極が複数列の直線
上に配置されているものであることが好ましい。Further, in the above-mentioned printed circuit board inspection apparatus, it is preferable that the brush-like electrode is one in which the linear electrodes are arranged on a plurality of straight lines.
【００１６】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記ブラシ状電極は、前記線状電極が複数の電極ブ
ロックに分けて設けられ、それぞれの前記電極ブロック
が交換可能に前記ブラシ状電極の本体に取り付けられて
いるものであることが好ましい。In the above-mentioned printed circuit board inspection apparatus, the brush-like electrode is provided such that the linear electrode is divided into a plurality of electrode blocks, and each of the electrode blocks is exchangeably mounted on the main body of the brush-like electrode. It is preferred that they are attached.
【００１７】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記線状電極は、前記移動手段による移動方向と直
交する方向のピッチが、スルーホールのランド部の直径
以下の寸法に設定されたものであることが好ましい。In the above-mentioned printed circuit board inspection apparatus, the pitch of the linear electrodes in a direction perpendicular to the moving direction of the moving means is set to be equal to or smaller than the diameter of the land portion of the through hole. Is preferred.
【００１８】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記線状電極は、前記移動手段による移動方向と直
交する方向のピッチが、０．５ｍｍ以下に設定されたも
のであることが好ましい。In the above-mentioned printed circuit board inspection apparatus, it is preferable that the pitch of the linear electrodes in a direction orthogonal to the moving direction of the moving means is set to 0.5 mm or less.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。図３、図４および図５は、本発明
のプリント基板検査装置の構成を示す図である。図３
は、プリント基板検査装置を上方から見た平面図であ
る。図４は、ブラシ状電極３の近傍部分を図３における
右方向から見た図である。図５は、ブラシ状電極３の近
傍部分を図４における左方向から見た図である。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIGS. 3, 4 and 5 are views showing the configuration of the printed board inspection apparatus of the present invention. FIG.
FIG. 2 is a plan view of the printed circuit board inspection apparatus as viewed from above. FIG. 4 is a view of the vicinity of the brush-like electrode 3 as viewed from the right in FIG. FIG. 5 is a view of the vicinity of the brush-like electrode 3 as viewed from the left in FIG.
【００２０】プリント基板検査装置の基台１の上面に
は、ほぼ水平に平面状電極４が設置されている。平面状
電極４の上面には、絶縁被膜が被覆されているかまたは
絶縁板が固定されており、プリント基板５を絶縁状態で
載置固定することができる。すなわち、プリント基板５
を平面状電極４の上面に載置固定しても、プリント基板
５の配線パターンが平面状電極４に電気的に接続される
ことはない。On the upper surface of the base 1 of the printed circuit board inspection apparatus, a planar electrode 4 is provided substantially horizontally. The upper surface of the planar electrode 4 is covered with an insulating film or an insulating plate is fixed, and the printed circuit board 5 can be placed and fixed in an insulated state. That is, the printed circuit board 5
Is fixed on the upper surface of the planar electrode 4, the wiring pattern of the printed circuit board 5 is not electrically connected to the planar electrode 4.
【００２１】また、基台１の上面には、ガイド棒２３，
２３が平面状電極４と平行に設けられており、そのガイ
ド棒２３，２３に案内されてブラシ状電極３がプリント
基板５の所定方向（長さ方向）に移動可能に設けられて
いる。ブラシ状電極３の本体３０が、ガイド棒２３，２
３に案内されて移動可能に設置されており、送りねじ２
２を移動駆動部２によって回転駆動することにより本体
３０を矢印方向またはその反対方向（図３における左右
方向）に移動させることができる。また、ブラシ状電極
３はガイド棒２３方向の任意の位置で位置決め停止させ
ることができる。On the upper surface of the base 1, guide rods 23,
The brush-like electrode 3 is provided so as to be movable in a predetermined direction (length direction) of the printed circuit board 5 by being guided by the guide rods 23, 23. The main body 30 of the brush-like electrode 3 is
3 so as to be movable and guided by the feed screw 2
The main body 30 can be moved in the direction of the arrow or in the opposite direction (the left-right direction in FIG. 3) by rotating and driving the body 2 by the movement drive unit 2. Further, the positioning of the brush-like electrode 3 can be stopped at an arbitrary position in the direction of the guide rod 23.
【００２２】ブラシ状電極３の本体３０の下面には、多
数の線状電極３１が下方に向けて設置されている。線状
電極３１は、プリント基板５の全幅をカバーするよう
に、一定のピッチで直線状に配置されている。各線状電
極３１は、下端部がプリント基板５の上面の配線パター
ンに接触するように設置されている。なお、配線パター
ンといっても、検査時には、通常、ランド部以外はレジ
スト処理が施されているので、各線状電極３１は実際に
はランド部（スルーホールを含む）のみと接触する。プ
リント基板５の検査は、ブラシ状電極３を図３、図５に
おける矢印方向（右方向）に移動させ、所定の検査位置
で停止させて、各線状電極３１と平面状電極４との間の
静電容量を測定することにより検査を行う。１つの検査
位置での測定が終了すれば、ブラシ状電極３をさらに矢
印方向に移動させ、次の測定位置での測定を行う。On the lower surface of the main body 30 of the brush-like electrode 3, a number of linear electrodes 31 are installed facing downward. The linear electrodes 31 are linearly arranged at a constant pitch so as to cover the entire width of the printed board 5. Each linear electrode 31 is installed such that the lower end portion is in contact with the wiring pattern on the upper surface of the printed circuit board 5. Regarding the wiring pattern, usually, at the time of inspection, a resist process is applied to portions other than the lands, so that each linear electrode 31 actually contacts only the lands (including through holes). The inspection of the printed circuit board 5 is performed by moving the brush-like electrode 3 in the direction of the arrow (rightward) in FIGS. 3 and 5 and stopping the brush-like electrode 3 at a predetermined inspection position. The inspection is performed by measuring the capacitance. When the measurement at one inspection position is completed, the brush-like electrode 3 is further moved in the direction of the arrow, and the measurement at the next measurement position is performed.
【００２３】次に、本発明におけるプリント基板５の検
査原理を説明する。図６は、ブラシ状電極３の線状電極
３１、プリント基板５および平面状電極４により測定が
行われる検査領域の拡大断面図である。プリント基板５
の上面および下面には配線パターン５１やランド５２が
形成されており、また、上下の所定のランド５２間がス
ルーホール５３によって接続されている。Next, the inspection principle of the printed circuit board 5 according to the present invention will be described. FIG. 6 is an enlarged sectional view of an inspection area where measurement is performed by the linear electrode 31 of the brush-like electrode 3, the printed circuit board 5, and the planar electrode 4. Printed circuit board 5
A wiring pattern 51 and a land 52 are formed on the upper surface and the lower surface, and predetermined upper and lower lands 52 are connected by through holes 53.
【００２４】このプリント基板５が載置されている平面
状電極４の上面は絶縁被膜４１によって被覆されてい
る。なお、絶縁被膜４１に換えて絶縁板を平面状電極４
の上面に固定するようにしてもよい。そのため、プリン
ト基板５の下面側のランド５２や配線パターン５１と平
面状電極４とは絶縁状態に保たれている。これに対し
て、ブラシ状電極３の各線状電極３１は、プリント基板
５の上面側のランド５２や配線パターン５１と電気的に
接続可能である。The upper surface of the planar electrode 4 on which the printed board 5 is mounted is covered with an insulating film 41. The insulating plate is replaced with an insulating plate instead of the flat electrode 4.
May be fixed to the upper surface. Therefore, the land 52 and the wiring pattern 51 on the lower surface side of the printed board 5 and the planar electrode 4 are kept in an insulated state. On the other hand, each linear electrode 31 of the brush-like electrode 3 can be electrically connected to the land 52 and the wiring pattern 51 on the upper surface side of the printed board 5.
【００２５】ブラシ状電極３は矢印方向に移動して、図
６のように線状電極３１がランド５２に接触する検査位
置で停止する。各線状電極３１と平面状電極４とは、直
流的には絶縁されており、線状電極３１に接続される配
線パターン等と平面状電極４の間には静電容量が存在す
る。この検査位置で、各線状電極３１と平面状電極４と
の間の静電容量を測定することにより、パターンの異状
すなわち配線パターン、スルーホール等にパターンの断
線や隣接パターンの接触等が存在するかどうかが判別で
きる。The brush electrode 3 moves in the direction of the arrow, and stops at the inspection position where the linear electrode 31 contacts the land 52 as shown in FIG. Each linear electrode 31 and the planar electrode 4 are insulated in terms of direct current, and a capacitance exists between the planar electrode 4 and a wiring pattern or the like connected to the linear electrode 31. By measuring the capacitance between each linear electrode 31 and the planar electrode 4 at this inspection position, there is a pattern abnormality, that is, a disconnection of the pattern in a wiring pattern, a through hole, a contact of an adjacent pattern, or the like. Can be determined.
【００２６】図７は、ブラシ状電極３と平面状電極４に
よる配線パターン５１の検査状態を示す図である。線状
電極３１に接続された配線パターン５１と平面状電極４
との間の静電容量が、静電容量検出部６によって測定さ
れる。もし、配線パターン５１に断線がなく、左右の配
線パターン５１が正常に接続されていれば、静電容量と
してＣ１＋Ｃ２が測定される。しかし、図７の場合、配
線パターン５１に断線があるため、静電容量としてＣ１
が測定される。したがって、この静電容量が検査位置に
おける正常値とは異なることとなり、配線パターン５１
に異状があることが検出できる。同様に、スルーホール
５３に断線がある場合にも静電容量が異常値を示すこと
となり、異状が検出できる。また、パターン間に異常接
触がある場合には、静電容量が正常値よりも増加するこ
ととなり、これにより配線パターン５１の異状を検出で
きる。FIG. 7 is a diagram showing an inspection state of the wiring pattern 51 using the brush-like electrode 3 and the planar electrode 4. Wiring pattern 51 connected to linear electrode 31 and planar electrode 4
Is measured by the capacitance detection unit 6. If there is no disconnection in the wiring pattern 51 and the left and right wiring patterns 51 are normally connected, C1 + C2 is measured as the capacitance. However, in the case of FIG. 7, since there is a break in the wiring pattern 51, the capacitance C1
Is measured. Therefore, this capacitance differs from the normal value at the inspection position, and the wiring pattern 51
Can be detected as abnormal. Similarly, when the through-hole 53 has a disconnection, the capacitance indicates an abnormal value, and the abnormality can be detected. Further, if there is an abnormal contact between the patterns, the capacitance will be larger than the normal value, whereby the abnormality of the wiring pattern 51 can be detected.
【００２７】図８は、ブラシ状電極３における線状電極
３１の配置の例を示す図である。この例では、線状電極
３１は所定のピッチＰで一直線上に配置されている。ラ
ンドの中で最も寸法の小さなものはスルーホールのラン
ド５２である。一般的なプリント基板のスルーホールの
設置位置は、２．５４ｍｍ、１．２７ｍｍ、０．６３５
ｍｍ、０．３１７５ｍｍ等の各種寸法を単位とする格子
上の任意の位置に設けられる。ただし、設計上の都合に
より、０．３ｍｍ間隔等のように単位寸法を丸めること
もある。また、現時点での最小のスルーホールの寸法
は、穴の内径ｒが０．３ｍｍであり、ランド部の直径Ｒ
が０．５ｍｍとなっている。FIG. 8 is a diagram showing an example of the arrangement of the linear electrodes 31 in the brush-like electrode 3. In this example, the linear electrodes 31 are arranged on a straight line at a predetermined pitch P. The smallest dimension of the land is the land 52 of the through hole. The installation position of the through hole of the general printed circuit board is 2.54 mm, 1.27 mm, 0.635
It is provided at an arbitrary position on the grid in units of various dimensions such as mm, 0.3175 mm and the like. However, the unit dimensions may be rounded at intervals of 0.3 mm or the like for design reasons. At the present time, the minimum size of the through hole is that the inner diameter r of the hole is 0.3 mm and the diameter R of the land portion is
Is 0.5 mm.
【００２８】この場合、スルーホールどうしが横に並ぶ
際の最小間隔Ｑは０．６３５ｍｍとなる。線状電極３１
のピッチＰを０．５ｍｍ以下とすれば、少なくとも一つ
の線状電極３１が、最小のランド５２にも接触すること
になる。このように、線状電極３１のピッチＰをスルー
ホールのランド５２の直径Ｒ以下の寸法とすることが好
ましい。また、１本の線状電極３１が同時に２個所以上
のパターンに接触することを防止するために、線状電極
３１の幅は、０．１ｍｍ程度以下とすることが好まし
い。In this case, the minimum distance Q when the through holes are arranged side by side is 0.635 mm. Linear electrode 31
Is set to 0.5 mm or less, at least one linear electrode 31 also contacts the smallest land 52. As described above, it is preferable that the pitch P between the linear electrodes 31 is set to be equal to or smaller than the diameter R of the land 52 of the through hole. Further, in order to prevent one linear electrode 31 from simultaneously contacting two or more patterns, the width of the linear electrode 31 is preferably about 0.1 mm or less.
【００２９】以上のように、スルーホールが０．３１７
５ｍｍ間隔の格子上の任意の位置に配置され、ランド５
２の直径Ｒが０．５ｍｍである場合には、幅０．１ｍｍ
の線状電極３１を０．５ｍｍ間隔で一直線上に配置した
ブラシ状電極３によって、プリント基板５の全てのラン
ドを測定することができる。パターンの基本寸法がこれ
よりも微細な場合には、それに対応して線状電極３１の
幅と間隔を小さくする必要がある。As described above, the through-hole is 0.317
Arranged at an arbitrary position on the grid at 5 mm intervals, land 5
2 is 0.1 mm in width when the diameter R is 0.5 mm.
All the lands of the printed circuit board 5 can be measured by the brush-like electrodes 3 in which the linear electrodes 31 are arranged in a straight line at intervals of 0.5 mm. If the basic dimensions of the pattern are finer than this, the width and spacing of the linear electrodes 31 need to be correspondingly reduced.
【００３０】図９は、静電容量検出部６の構成を示す図
である。ブラシ状電極３における線状電極３１の本数は
かなり多数となるため、各線状電極３１を高速で切り換
えながら平面状電極４との間の静電容量を測定する。そ
れぞれの線状電極３１は、切換回路６１によって高速で
順次切り換えられて静電容量検出回路６０に接続され
る。切換回路６１としてはアナログスイッチやマルチプ
レクサが使用できる。切換回路６１は、切換制御回路６
２からの切換信号により線状電極３１が順次１本ずつ静
電容量検出回路６０に接続されるように制御される。FIG. 9 is a diagram showing the configuration of the capacitance detecting section 6. As shown in FIG. Since the number of the linear electrodes 31 in the brush-like electrode 3 is considerably large, the capacitance between the linear electrodes 31 and the planar electrode 4 is measured while switching each linear electrode 31 at high speed. Each linear electrode 31 is sequentially switched at high speed by a switching circuit 61 and connected to a capacitance detection circuit 60. As the switching circuit 61, an analog switch or a multiplexer can be used. The switching circuit 61 includes a switching control circuit 6
Control is performed so that the linear electrodes 31 are sequentially connected one by one to the capacitance detection circuit 60 in accordance with the switching signal from 2.
【００３１】このようにして、ブラシ状電極３の各線状
電極３１と平面状電極４との間の静電容量を時系列的に
順次測定することによって、一つの検査位置におけるプ
リント基板５の全幅をカバーする直線上の全ての線状電
極３１に関する静電容量を測定することができる。それ
らの測定値を比較データと比較することにより、プリン
ト基板５の全幅における配線パターン等の検査を行うこ
とができる。一つの検査位置における検査が終了すれ
ば、ブラシ状電極３を次の検査位置に移動して、同様に
その位置でのプリント基板５全幅の検査を行う。これを
繰り返すことにより、プリント基板５全面の検査を行う
ことができる。As described above, the capacitance between each linear electrode 31 of the brush-like electrode 3 and the planar electrode 4 is sequentially measured in time series, whereby the entire width of the printed circuit board 5 at one inspection position is measured. Can be measured for all the linear electrodes 31 on a straight line that covers. By comparing those measured values with the comparison data, the inspection of the wiring pattern or the like over the entire width of the printed circuit board 5 can be performed. When the inspection at one inspection position is completed, the brush-like electrode 3 is moved to the next inspection position, and the entire width of the printed circuit board 5 is inspected at that position. By repeating this, the entire surface of the printed circuit board 5 can be inspected.
【００３２】図１０は、本発明のプリント基板検査装置
の内部構成を示すブロック図である。プリント基板検査
装置は、検査部７、移動駆動部２および静電容量検出部
６を含んでいる。移動駆動部２は、送りねじ２２を回転
駆動することによりブラシ状電極３をガイド棒２３方向
（プリント基板５の長さ方向）の任意の位置に移動させ
位置決めするものである。移動駆動部２は、送りねじ２
２を回転駆動するための駆動モータ２１と、駆動モータ
２１を駆動するための駆動回路２０とを含んでいる。FIG. 10 is a block diagram showing the internal configuration of the printed circuit board inspection apparatus according to the present invention. The printed circuit board inspection device includes an inspection unit 7, a movement driving unit 2, and a capacitance detection unit 6. The movement drive unit 2 moves and positions the brush-like electrode 3 to an arbitrary position in the direction of the guide rod 23 (the length direction of the printed circuit board 5) by rotating and driving the feed screw 22. The moving drive unit 2 includes a feed screw 2
2 includes a drive motor 21 for rotating and driving the drive motor 2, and a drive circuit 20 for driving the drive motor 21.
【００３３】静電容量検出部６は、前述のように、ブラ
シ状電極３の各線状電極３１と平面状電極４との間の静
電容量を時系列的に順次測定するためのものである。静
電容量検出部６は、図９にも示したように、静電容量検
出回路６０、切換回路６１、切換制御回路６２を含むも
のである。そして、検査部７は、移動駆動部２と静電容
量検出部６を制御して、プリント基板５上下の全面の配
線パターン、スルーホール等の検査を行うものである。As described above, the capacitance detecting section 6 is for sequentially measuring the capacitance between each linear electrode 31 of the brush-like electrode 3 and the planar electrode 4 in time series. . The capacitance detection unit 6 includes a capacitance detection circuit 60, a switching circuit 61, and a switching control circuit 62, as shown in FIG. The inspection unit 7 controls the movement driving unit 2 and the capacitance detection unit 6 to inspect the wiring patterns, through holes, and the like on the entire upper and lower surfaces of the printed circuit board 5.
【００３４】検査部７には、種々のデータ処理を行うた
めのＣＰＵ７０が設けられており、ＣＰＵ７０にはバス
７１を介してＲＯＭやＲＡＭ等からなるメモリ７２が接
続されている。ＣＰＵ７０は、メモリ７２に記憶されて
いるプログラムおよびデータに従って動作する。メモリ
７２に記憶されているプログラムとしては、移動駆動部
２を制御してブラシ状電極３の移動および所定の検査位
置への位置決めを行うための移動制御プログラム７２
１、静電容量検出部６を制御して検査位置における静電
容量を測定するための検出制御プログラム７２２、静電
容量の検出データを比較データと比較してパターンの良
否を判定するための判定プログラム７２３等がある。The inspection section 7 is provided with a CPU 70 for performing various data processing. The CPU 70 is connected via a bus 71 to a memory 72 such as a ROM or a RAM. The CPU 70 operates according to programs and data stored in the memory 72. The programs stored in the memory 72 include a movement control program 72 for controlling the movement drive unit 2 to move the brush-like electrode 3 and position the brush-like electrode 3 at a predetermined inspection position.
1. A detection control program 722 for controlling the capacitance detection unit 6 to measure the capacitance at the inspection position, and determining the quality of the pattern by comparing the capacitance detection data with the comparison data. Program 723 and the like.
【００３５】この他にも、基本プログラムであるＯＳ
（オペレーティング・システム）や、表示部８に対して
文字や画像の表示を行う表示制御プログラム等がメモリ
７２に記憶されている。また、メモリ７２には、現在検
査中のプリント基板５の静電容量測定値が検出データ７
２５として記憶される。検出データ７２５としては、プ
リント基板５全面の測定値を記憶するようにしてもよい
が、一つの検査位置におけるプリント基板５全幅の測定
値を記憶するようにしてもよい。In addition to the above, an OS which is a basic program
(Operating system), a display control program for displaying characters and images on the display unit 8, and the like are stored in the memory 72. The memory 72 stores the measured capacitance value of the printed circuit board 5 currently being inspected in the detection data 7.
25 is stored. As the detection data 725, a measured value of the entire surface of the printed circuit board 5 may be stored, or a measured value of the entire width of the printed circuit board 5 at one inspection position may be stored.
【００３６】そして、この検出データ７２５が比較デー
タ７２４と比較され、プリント基板５のパターンの良否
が判定される。比較データ７２４は、プリント基板５全
面の測定値が記憶されている。比較データ７２４は、検
査を開始した１枚目のプリント基板５の測定データを比
較データ７２４として記憶することができる。この際、
あらかじめ１枚目のプリント基板５が良品であることを
他の検査装置により確認しておけば、比較データ７２４
と異なる測定値が検出された場合に、そのプリント基板
を不良品であると判定することができる。Then, the detection data 725 is compared with the comparison data 724, and the quality of the pattern of the printed circuit board 5 is determined. As the comparison data 724, measured values of the entire surface of the printed circuit board 5 are stored. As the comparison data 724, measurement data of the first printed circuit board 5 from which the inspection has been started can be stored as comparison data 724. On this occasion,
If it is previously confirmed that the first printed circuit board 5 is a good product by another inspection device, the comparison data 724 can be obtained.
When a measurement value different from the above is detected, the printed circuit board can be determined to be defective.
【００３７】なお、直前に検査の終了したプリント基板
の検出データ７２５を比較データ７２４として記憶する
ようにしてもよい。この場合には、検出データ７２５と
してプリント基板５全面の測定値を記憶しておく。比較
データ７２４を直前の検出データ７２５とすることによ
り、検査中のプリント基板の配線パターン等が直前に検
査の終了したプリント基板と同じであるかどうかの判定
ができる。このように判定を行うと、比較データ７２４
を特別に設定する作業が必要でなくなり、連続して検査
を行ったプリント基板の配線パターン等が直前のプリン
ト基板と異なるものであったときにその旨を表示するこ
とができる。It should be noted that the detection data 725 of the printed circuit board whose inspection has been completed immediately before may be stored as comparison data 724. In this case, a measured value of the entire surface of the printed circuit board 5 is stored as the detection data 725. By using the comparison data 724 as the immediately preceding detection data 725, it is possible to determine whether or not the wiring pattern or the like of the printed board under inspection is the same as the printed board that has just been inspected. When the determination is made in this manner, the comparison data 724
Is unnecessary, and when the wiring pattern of the printed circuit board which has been continuously inspected is different from the immediately preceding printed circuit board, the fact can be displayed.
【００３８】検査部７には、インターフェース回路７３
〜７６を介して、種々の入出力機器が接続されている。
入出力機器としては、まず、文字および画像を表示する
表示部８、操作者がデータ等を入力するための入力部９
が接続されている。表示部８としてはＣＲＴや液晶表示
板等が使用でき、入力部９としてはキーボードやポイン
ティングディバイス等が使用できる。さらに検査部７に
は、移動駆動部２および静電容量検出部６が接続されて
いる。The inspection section 7 includes an interface circuit 73.
Various input / output devices are connected via.
The input / output device includes a display unit 8 for displaying characters and images, and an input unit 9 for an operator to input data and the like.
Is connected. As the display unit 8, a CRT, a liquid crystal display panel, or the like can be used, and as the input unit 9, a keyboard, a pointing device, or the like can be used. Further, the movement drive unit 2 and the capacitance detection unit 6 are connected to the inspection unit 7.
【００３９】次に、以上のように構成されたプリント基
板検査装置による、プリント基板５の検査手順の概要を
説明する。比較データ７２４は、あらかじめメモリ７２
に記憶されているものとする。まず、ブラシ状電極３を
初期位置（図３におけるストローク左端近傍位置）に移
動停止させ、検査対象となるプリント基板５を平面状電
極４の上面に載置固定する。そして、ブラシ状電極３を
プリント基板５の長さ方向（図３における左方向）に移
動させ、プリント基板５の最初の検査位置に位置決め停
止させる。Next, an outline of a procedure for inspecting the printed circuit board 5 by the printed circuit board inspection apparatus configured as described above will be described. The comparison data 724 is stored in the memory 72 in advance.
Is stored. First, the brush-like electrode 3 is stopped at the initial position (position near the left end of the stroke in FIG. 3), and the printed circuit board 5 to be inspected is placed and fixed on the upper surface of the planar electrode 4. Then, the brush-like electrode 3 is moved in the length direction of the printed board 5 (to the left in FIG. 3), and the positioning is stopped at the first inspection position of the printed board 5.
【００４０】なお、プリント基板５の長さ方向における
複数の検査位置は、各ランドやスルーホールの位置をプ
リント基板の設計データや加工データから取り込んでお
き、それらのデータから全配線パターンの検査を効率的
に行うことのできる複数の検査位置を設定しておく。こ
のようにすれば、停止回数および検査回数を必要最小限
に減少させて、検査時間を短縮することができる。ま
た、静電容量の検出データ数が減少するのでデータ処理
も容易になる。As for a plurality of inspection positions in the length direction of the printed circuit board 5, the positions of the lands and through holes are fetched from the design data and processing data of the printed circuit board, and the inspection of all wiring patterns is performed from the data. A plurality of inspection positions that can be efficiently performed are set. In this way, the number of stops and the number of inspections can be reduced to the required minimum, and the inspection time can be shortened. Further, since the number of detection data of capacitance is reduced, data processing is also facilitated.
【００４１】そして、プリント基板５の最初の検査位置
において、静電容量検出部６によりプリント基板５の全
幅の各線状電極３１と平面状電極４との間の静電容量を
測定し、それぞれの測定値をデジタル化して検出データ
７２５としてメモリ７２に記憶する。各ランドやスルー
ホールに接触する線状電極３１の位置を前述のプリント
基板の設計データや加工データから求め、静電容量の測
定は、各ランドやスルーホールに接触する線状電極３１
に対してのみ行う。すなわち、検出データ７２５として
測定値が各ランドやスルーホールに接触する線状電極３
１の数だけ順番に記憶される。Then, at the first inspection position of the printed circuit board 5, the capacitance between the linear electrodes 31 and the planar electrodes 4 of the entire width of the printed circuit board 5 is measured by the capacitance detecting section 6, and each of them is measured. The measured value is digitized and stored in the memory 72 as detection data 725. The position of the linear electrode 31 in contact with each land or through hole is determined from the above-described printed circuit board design data or processing data, and the capacitance is measured by using the linear electrode 31 in contact with each land or through hole.
Perform only for. That is, the measured value as the detection data 725 is such that the measured value
One number is stored in order.
【００４２】このように、測定する必要のある点のみを
測定することにより、測定回数を必要最小限に減少させ
て、検査時間をさらに短縮することができる。また、静
電容量の検出データ数が減少するのでデータ処理もさら
に容易になる。次に、判定プログラム７２３により、検
出データ７２５を比較データ７２４と比較し、それらの
間に許容範囲を超える差違が存在する場合には、表示部
８に不良の表示あるいは直前のものと異なる旨の表示を
行う。それとともに、そのプリント基板を特定すること
のできる識別情報と、不良あるいは相違のあった部分の
位置情報とを記憶して、ブラシ状電極３を次の検査位置
に移動して位置決め停止させる。As described above, by measuring only the points that need to be measured, the number of measurements can be reduced to a necessary minimum, and the inspection time can be further reduced. Further, since the number of detected capacitance data is reduced, data processing is further facilitated. Next, the detection data 725 is compared with the comparison data 724 by the determination program 723, and if there is a difference between them exceeding an allowable range, it is displayed on the display unit 8 that a defect is present or that it is different from the immediately preceding one. Display. At the same time, the identification information that can identify the printed board and the position information of the defective or different portion are stored, and the brush-like electrode 3 is moved to the next inspection position to stop the positioning.
【００４３】検出データ７２５が比較データ７２４と許
容範囲内で一致した場合には、その検査位置における検
査結果は正常であるから、そのまま、ブラシ状電極３を
次の検査位置に移動して位置決め停止させる。そして、
その検査位置において同様にプリント基板５全幅の検査
を行う。このように順次、複数の検査位置での検査を繰
り返し、プリント基板５の最終の検査位置における検査
が終了すれば、１枚のプリント基板５の検査が終了す
る。また、複数のプリント基板を連続して検査すること
もできる。その場合でも、不良あるいは相違のあったプ
リント基板の識別情報と不良あるいは相違部分の位置情
報が記憶されているので、後から、不良基板およびその
不良部分の位置を特定することができる。If the detection data 725 matches the comparison data 724 within an allowable range, the inspection result at that inspection position is normal, so the brush-like electrode 3 is moved to the next inspection position and the positioning is stopped. Let it. And
At the inspection position, the entire width of the printed circuit board 5 is similarly inspected. As described above, the inspection at the plurality of inspection positions is sequentially repeated, and when the inspection at the final inspection position of the printed circuit board 5 is completed, the inspection of one printed circuit board 5 is completed. Further, a plurality of printed boards can be inspected continuously. Even in such a case, since the identification information of the defective or different printed circuit board and the position information of the defective or different part are stored, the defective substrate and the position of the defective part can be specified later.
【００４４】以上のように、ブラシ状電極３により所定
の検査位置におけるプリント基板５全幅のパターンの良
否をほぼ同時に検査することができ、プリント基板全面
の検査も短時間で行うことができる。従来のフライング
プローブチェッカーでは、プローブをある検査位置から
次の検査位置に移動させる際に、プローブをプリント基
板のパターンからいったん離し、次の検査位置で再びパ
ターンに接触させるというプローブの上下運動が常時発
生していたため、検査時間が長時間となっていた。As described above, the quality of the pattern of the entire width of the printed circuit board 5 at a predetermined inspection position can be inspected almost simultaneously by the brush-like electrode 3, and the inspection of the entire printed circuit board can be performed in a short time. With the conventional flying probe checker, when the probe is moved from one inspection position to the next inspection position, the vertical movement of the probe, which once separates the probe from the pattern on the printed circuit board and makes contact with the pattern again at the next inspection position, is constantly Because of the occurrence, the inspection time was long.
【００４５】本発明では、ブラシ状電極のこのような上
下運動は不要であり、ブラシ状電極をプリント基板の長
さ方向の複数の検査位置に移動停止するだけで、プリン
ト基板全面の検査を行うことができる。したがって、従
来のフライングプローブチェッカーに比較すれば著しく
検査時間を短縮することができる。そして、プリント基
板のパターンの検査は、専用治具を作成する必要もなく
正確な検査が行えるため、検査時間ひいてはプリント基
板の作成期間も短縮させることができ、検査のためのラ
ンニングコストも減少させることができる。In the present invention, such an up-and-down movement of the brush-like electrode is unnecessary, and the entire surface of the printed-circuit board is inspected simply by stopping the movement of the brush-shaped electrode at a plurality of inspection positions in the longitudinal direction of the printed-circuit board. be able to. Therefore, the inspection time can be significantly reduced as compared with the conventional flying probe checker. In addition, since the inspection of the pattern of the printed circuit board can be performed accurately without the necessity of creating a dedicated jig, the inspection time and, consequently, the production period of the printed circuit board can be reduced, and the running cost for the inspection can be reduced. be able to.
【００４６】図１１は、ブラシ状電極３における線状電
極３１の他の配置例を示す図である。この配置例では、
線状電極３１は幅方向の２列の直線上に所定のピッチ２
Ｐ（必要なピッチＰの２倍のピッチ）で配置されてい
る。それぞれの直線上の線状電極３１は幅方向にピッチ
Ｐだけずれて交互に配置されており、実効的にはピッチ
Ｐでの検査が可能になっている。線状電極３１の幅は、
図８のものと同様に０．１ｍｍ程度以下とすることが好
ましい。FIG. 11 is a view showing another example of the arrangement of the linear electrodes 31 in the brush-like electrodes 3. In this example,
The linear electrode 31 has a predetermined pitch 2 on two straight lines in the width direction.
P (pitch twice as large as the required pitch P). The linear electrodes 31 on the respective straight lines are alternately arranged with a shift of the pitch P in the width direction, and the inspection at the pitch P can be effectively performed. The width of the linear electrode 31 is
As in the case of FIG. 8, the thickness is preferably about 0.1 mm or less.
【００４７】図８の配置では、線状電極３１の電極間の
間隔が小さいため変形による隣接電極との短絡や異物に
よる短絡等が生じやすくなってしまう。線状電極３１を
図１１のように、２列に配置することにより、線状電極
３１間の間隔を大きくすることができ、隣接電極との短
絡や異物による短絡等を減少させることができる。図１
１では、線状電極３１を２列に配置しているが、同様に
３列以上の複数列に配置するようにしてもよい。なお、
配線パターンやスルーホール等の寸法が将来さらに微小
化したとしても、線状電極３１の配置の列数を増やすこ
とにより対応することができる。In the arrangement shown in FIG. 8, since the distance between the linear electrodes 31 is small, short-circuiting between adjacent electrodes due to deformation, short-circuiting due to foreign matter, and the like are likely to occur. By arranging the linear electrodes 31 in two rows as shown in FIG. 11, the interval between the linear electrodes 31 can be increased, and short-circuiting with an adjacent electrode, short-circuiting due to foreign matter, and the like can be reduced. FIG.
In FIG. 1, the linear electrodes 31 are arranged in two rows, but may be arranged in a plurality of rows of three or more rows. In addition,
Even if the dimensions of the wiring pattern, the through hole, and the like are further miniaturized in the future, it can be dealt with by increasing the number of rows of the linear electrodes 31 arranged.
【００４８】図１２は、ブラシ状電極３の他の構成例を
示す図である。この構成例では、ブラシ状電極３の本体
３０の下面に、線状電極３１を所定ピッチで幅方向に配
置した電極ブロック３２が複数取り付けられている。各
電極ブロック３２は、コネクタによって交換可能に本体
３０に取り付けられている。線状電極３１が幅方向に所
定ピッチで規則的に配置されるように、各電極ブロック
３２は交互に位置をずらせて配置されている。このよう
にすれば、線状電極３１が検査により摩耗した場合で
も、電極ブロック３２を交換することにより容易に新し
い線状電極３１に交換することができる。FIG. 12 is a diagram showing another example of the configuration of the brush-like electrode 3. In this configuration example, a plurality of electrode blocks 32 in which the linear electrodes 31 are arranged in the width direction at a predetermined pitch are attached to the lower surface of the main body 30 of the brush-like electrode 3. Each electrode block 32 is exchangeably attached to the main body 30 by a connector. The electrode blocks 32 are alternately shifted so that the linear electrodes 31 are regularly arranged at a predetermined pitch in the width direction. In this way, even if the linear electrode 31 is worn by the inspection, it can be easily replaced with a new linear electrode 31 by replacing the electrode block 32.
【００４９】なお、以上の実施の形態においては、プリ
ント基板を停止させて、ブラシ状電極をプリント基板の
長さ方向に移動させるものとして説明したが、ブラシ状
電極を停止させておき、プリント基板をその長さ方向の
検査位置に順次移動させて検査を行うようにしてもよ
い。In the above embodiment, the printed circuit board is stopped and the brush-like electrodes are moved in the length direction of the printed board. However, the brush-like electrodes are stopped and the printed circuit board is stopped. May be sequentially moved to the inspection position in the length direction to perform the inspection.
【００５０】[0050]
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下のような効果を奏する。Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.
【００５１】ブラシ状電極の各線状電極に接触したパタ
ーンと平面状電極との間の静電容量によりプリント基板
のパターンの検査を行うようにしたので、専用治具を作
成する必要もなく正確な検査を短時間で行うことがで
き、検査時間および検査費用を削減することができる。
また、ブラシ状電極により、プリント基板の幅方向の全
てのパターンを同時に検査することができるので、検査
時間を著しく短縮することができる。The pattern of the printed circuit board is inspected by the capacitance between the pattern in contact with each linear electrode of the brush-like electrode and the planar electrode. The inspection can be performed in a short time, and the inspection time and the inspection cost can be reduced.
In addition, since all the patterns in the width direction of the printed circuit board can be inspected simultaneously by the brush-like electrodes, the inspection time can be significantly reduced.
【００５２】移動手段によりブラシ状電極を移動させ所
定の検査位置ごとに停止させ、その停止位置でのプリン
ト基板のパターンの検査を行うようにしたので、停止回
数および検査回数を必要最小限に減少させて、検査時間
を短縮することができる。また、静電容量の検出データ
数が減少するのでデータ処理も容易になる。Since the brush-like electrode is moved by the moving means and stopped at each predetermined inspection position, and the pattern of the printed circuit board is inspected at the stop position, the number of stops and the number of inspections can be reduced to a minimum. As a result, the inspection time can be reduced. Further, since the number of detection data of capacitance is reduced, data processing is also facilitated.
【００５３】複数の線状電極を切り換えて、順次、配線
パターンの検査部分に接触する線状電極と平面状電極と
の間の静電容量を検出するようにしたので、各線状電極
と平面状電極との間の静電容量を時系列的に順次測定す
ることができ、一つの検査位置におけるプリント基板の
全幅をカバーする直線上の全ての検査部分に関する静電
容量を短時間で測定することができる。そして、測定す
る必要のある点のみを測定することにより、測定回数を
必要最小限に減少させて、検査時間をさらに短縮するこ
とができる。また、静電容量の検出データ数が減少する
のでデータ処理もさらに容易になる。By switching the plurality of linear electrodes and detecting the capacitance between the linear electrodes and the planar electrodes that are in contact with the inspection portion of the wiring pattern, the linear electrodes are connected to the planar electrodes. Capacitance between electrodes can be measured sequentially in chronological order, and capacitance of all inspection parts on a straight line covering the entire width of the printed circuit board at one inspection position can be measured in a short time. Can be. Then, by measuring only points that need to be measured, the number of measurements can be reduced to a necessary minimum, and the inspection time can be further reduced. Further, since the number of detected capacitance data is reduced, data processing is further facilitated.
【００５４】ブラシ状電極の線状電極を複数列の直線上
に配置するようにしたので、線状電極間の間隔を大きく
することができ、隣接電極との短絡や異物による短絡等
を減少させることができる。また、スルーホールの寸法
がさらに微小化しても、線状電極の配置の列数を増やす
ことにより対応することができる。Since the linear electrodes of the brush-like electrodes are arranged on a plurality of straight lines, the distance between the linear electrodes can be increased, and short-circuits with adjacent electrodes and short-circuits due to foreign matter can be reduced. be able to. Further, even if the size of the through hole is further reduced, it can be dealt with by increasing the number of rows of the linear electrodes.
【００５５】ブラシ状電極の線状電極を複数の電極ブロ
ックに分けて設け、それぞれの電極ブロックを交換可能
にブラシ状電極の本体に取り付けるようにしたので、線
状電極が検査により摩耗した場合でも、電極ブロックを
交換することにより容易に新しい線状電極に交換するこ
とができる。The linear electrodes of the brush-like electrode are provided separately in a plurality of electrode blocks, and each of the electrode blocks is exchangeably attached to the main body of the brush-like electrode. By replacing the electrode block, the electrode can be easily replaced with a new linear electrode.
【００５６】線状電極は、移動手段による移動方向と直
交する方向のピッチが、スルーホールのランド部の直径
以下の寸法に設定されているので、全てのランドに対し
てもれなく線状電極が接触することになり、正確な検査
が行える。Since the pitch of the linear electrodes in the direction perpendicular to the direction of movement by the moving means is set to be equal to or less than the diameter of the land portion of the through-hole, the linear electrodes contact all the lands without leakage. Therefore, accurate inspection can be performed.
【００５７】線状電極は、移動手段による移動方向と直
交する方向のピッチが、０．５ｍｍ以下に設定されてい
るので、現時点での最小のスルーホールのランドにも対
応でき、正確な検査が行える。Since the pitch of the linear electrode in the direction perpendicular to the direction of movement by the moving means is set to 0.5 mm or less, it is possible to cope with even the smallest land of a through hole at the present time, and accurate inspection is possible. I can do it.
【図１】図１は、従来の電気試験機である専用治具チェ
ッカーを示す図である。FIG. 1 is a view showing a dedicated jig checker which is a conventional electric tester.
【図２】図２は、改良型のユニバーサルチェッカーを示
す図である。FIG. 2 is a diagram showing an improved universal checker;
【図３】図３は、本発明のプリント基板検査装置を上方
から見た平面図である。FIG. 3 is a plan view of the printed board inspection apparatus of the present invention as viewed from above.
【図４】図４は、ブラシ状電極の近傍部分の側面図であ
る。FIG. 4 is a side view of a portion near a brush-like electrode.
【図５】図５は、ブラシ状電極の近傍部分の正面図であ
る。FIG. 5 is a front view of a portion near a brush-like electrode.
【図６】図６は、配線パターンの検査領域の拡大断面図
である。FIG. 6 is an enlarged sectional view of an inspection region of a wiring pattern.
【図７】図７は、ブラシ状電極と平面状電極による配線
パターンの検査状態を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating an inspection state of a wiring pattern using a brush-like electrode and a planar electrode.
【図８】図８は、ブラシ状電極における線状電極の配置
の例を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the arrangement of linear electrodes in a brush-like electrode.
【図９】図９は、静電容量検出部の構成を示す図であ
る。FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of a capacitance detection unit;
【図１０】図１０は、検査部、移動部および静電容量検
出部の構成を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration of an inspection unit, a moving unit, and a capacitance detection unit;
【図１１】図１１は、ブラシ状電極における線状電極の
他の配置例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing another example of the arrangement of the linear electrodes in the brush-like electrode.
【図１２】図１２は、ブラシ状電極の他の構成例を示す
図である。FIG. 12 is a diagram showing another configuration example of the brush-like electrode.
１…基台 ２…移動駆動部 ３…ブラシ状電極 ４…平面状電極 ５…プリント基板 ６…静電容量検出部 ７…検査部 ８…表示部 ９…入力部 １０…専用治具 １１…ピンソケット １２…サポート板 １３…ピン状電極 ２０…駆動回路 ２１…駆動モータ ２２…送りねじ ２３…ガイド棒 ３０…本体 ３１…線状電極 ３２…電極ブロック ４１…絶縁被膜 ５１…配線パターン ５２…ランド ５３…スルーホール ６０…静電容量検出回路 ６１…切換回路 ６２…切換制御回路 ７０…ＣＰＵ ７１…バス ７２…メモリ １００…ユニバーサルチェッカー １０１…ピンソケット １０２…ガイド板 １０３…ロングピンサポート板 １０４…パターン板 １０５…ピン １０６…ロングピン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base 2 ... Moving drive part 3 ... Brush-like electrode 4 ... Planar electrode 5 ... Printed circuit board 6 ... Capacitance detection part 7 ... Inspection part 8 ... Display part 9 ... Input part 10 ... Special jig 11 ... Pin Socket 12 ... Support plate 13 ... Pin electrode 20 ... Drive circuit 21 ... Drive motor 22 ... Feed screw 23 ... Guide rod 30 ... Main body 31 ... Linear electrode 32 ... Electrode block 41 ... Insulating coating 51 ... Wiring pattern 52 ... Land 53 ... Through hole 60 ... Capacitance detection circuit 61 ... Switching circuit 62 ... Switching control circuit 70 ... CPU 71 ... Bus 72 ... Memory 100 ... Universal checker 101 ... Pin socket 102 ... Guide plate 103 ... Long pin support plate 104 ... Pattern plate 105 ... pin 106 ... long pin
Claims (7)
れ、前記プリント基板（５）の配線パターンの検査部分
に接触するように所定ピッチで配列された複数の線状電
極（３１）を備えたブラシ状電極（３）と、 前記プリント基板（５）の他方の面側に前記プリント基
板（５）の配線パターンと絶縁されて設けられた平面状
電極（４）と、 前記ブラシ状電極（３）と前記プリント基板（５）とを
所定の方向に相対的に移動させる移動手段（２，２２，
２３）と、 前記ブラシ状電極（３）のそれぞれの前記線状電極（３
１）と前記平面状電極（４）との間の静電容量を検出す
る静電容量検出手段（６）と、 前記移動手段（２，２２，２３）および前記静電容量検
出手段（６）を制御して、前記プリント基板（５）に設
けられた配線パターンの検査を行う検査手段（７）とを
有するプリント基板検査装置。A plurality of linear electrodes (31) provided on one surface side of a printed circuit board (5) and arranged at a predetermined pitch so as to contact an inspection portion of a wiring pattern of the printed circuit board (5). A brush-like electrode (3) comprising: a planar electrode (4) provided on the other surface side of the printed board (5) insulated from a wiring pattern of the printed board (5); Moving means (2, 22,...) For relatively moving the electrode (3) and the printed board (5) in a predetermined direction;
23), and the respective linear electrodes (3) of the brush-like electrodes (3).
1) a capacitance detecting means (6) for detecting a capacitance between the planar electrode (4), and the moving means (2, 22, 23) and the capacitance detecting means (6). Inspection means (7) for inspecting a wiring pattern provided on the printed circuit board (5) by controlling the printed circuit board.
であって、 前記検査手段（７）は、前記移動手段（２，２２，２
３）により前記ブラシ状電極（３）を移動させるととも
に配線パターンの検査位置ごとに前記ブラシ状電極
（３）を停止させ、前記静電容量検出手段（６）により
その検査位置での前記線状電極（３１）と前記平面状電
極（４）との間の静電容量の検出を行うものであるプリ
ント基板検査装置。2. A printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein said inspection means comprises: said moving means.
3) The brush-like electrode (3) is moved and the brush-like electrode (3) is stopped at each test position of the wiring pattern, and the linear shape at the test position is detected by the capacitance detecting means (6). A printed circuit board inspection device for detecting a capacitance between an electrode (31) and the planar electrode (4).
リント基板検査装置であって、 前記静電容量検出手段（６）は、複数の前記線状電極
（３１）を切り換えて、配線パターンの検査部分に接触
する前記線状電極（３１）と前記平面状電極（４）との
間の静電容量を検出するものであるプリント基板検査装
置。3. The printed circuit board inspection device according to claim 1, wherein said capacitance detection means switches a plurality of said linear electrodes, A printed circuit board inspection apparatus for detecting a capacitance between the linear electrode (31) and the planar electrode (4) that comes into contact with an inspection portion of a wiring pattern.
リント基板検査装置であって、 前記ブラシ状電極（３）は、前記線状電極（３１）が複
数列の直線上に配置されているものであるプリント基板
検査装置。4. The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein said brush-like electrodes (3) are such that said linear electrodes (31) are arranged on a plurality of rows of straight lines. Printed circuit board inspection equipment.
リント基板検査装置であって、 前記ブラシ状電極（３）は、前記線状電極（３１）が複
数の電極ブロック（３２）に分けて設けられ、それぞれ
の前記電極ブロック（３２）が交換可能に前記ブラシ状
電極（３）の本体（３０）に取り付けられているもので
あるプリント基板検査装置。5. The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein said brush-like electrode (3) comprises a plurality of electrode blocks (32). A printed circuit board inspection device, wherein each of the electrode blocks (32) is replaceably attached to the main body (30) of the brush-like electrode (3).
リント基板検査装置であって、 前記線状電極（３１）は、前記移動手段（２，２２，２
３）による移動方向と直交する方向のピッチ（Ｐ）が、
スルーホールのランド部の直径以下の寸法に設定された
ものであるプリント基板検査装置。6. The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein said linear electrode (31) is connected to said moving means (2, 22, 2).
The pitch (P) in the direction orthogonal to the moving direction according to 3) is
A printed circuit board inspection device having a dimension equal to or less than a diameter of a land portion of a through hole.
であって、 前記線状電極（３１）は、前記移動手段（２，２２，２
３）による移動方向と直交する方向のピッチ（Ｐ）が、
０．５ｍｍ以下に設定されたものであるプリント基板検
査装置。7. The printed circuit board inspection device according to claim 6, wherein said linear electrode (31) is connected to said moving means (2, 22, 2).
The pitch (P) in the direction orthogonal to the moving direction according to 3) is
A printed circuit board inspection device set to 0.5 mm or less.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000384778A JP2002181870A (en) | 2000-12-19 | 2000-12-19 | Printed circuit board inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000384778A JP2002181870A (en) | 2000-12-19 | 2000-12-19 | Printed circuit board inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002181870A true JP2002181870A (en) | 2002-06-26 |
Family
ID=18852165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000384778A Pending JP2002181870A (en) | 2000-12-19 | 2000-12-19 | Printed circuit board inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002181870A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013039024A1 (en) * | 2011-09-12 | 2013-03-21 | シャープ株式会社 | Wiring defect detection method and wiring defect detection device |
-
2000
- 2000-12-19 JP JP2000384778A patent/JP2002181870A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013039024A1 (en) * | 2011-09-12 | 2013-03-21 | シャープ株式会社 | Wiring defect detection method and wiring defect detection device |
| JP2013061193A (en) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Sharp Corp | Wiring defect detection method, and wiring defect detection device |
| CN103765202A (en) * | 2011-09-12 | 2014-04-30 | 夏普株式会社 | Wiring defect detection method and wiring defect detection device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20020001752A (en) | Tester and testing method, and testing unit | |
| JP3285215B2 (en) | Conductor device inspection method and device | |
| KR20090027610A (en) | Substrate inspecting apparatus and substrate inspecting method | |
| TWI474012B (en) | Detecting device of conductive pattern and detecting method | |
| JP4607295B2 (en) | Circuit board inspection equipment | |
| JP2000221227A (en) | Apparatus and method for inspecting conductive pattern | |
| JP2002181870A (en) | Printed circuit board inspection device | |
| JP3285499B2 (en) | Continuity inspection device, its inspection method, and its inspection probe | |
| JP2001337050A (en) | Method and apparatus for inspecting printed board | |
| US6952104B2 (en) | Inspection method and apparatus for testing fine pitch traces | |
| JPH09230005A (en) | Circuit board testing device | |
| JP6999327B2 (en) | Board inspection equipment | |
| JP3717578B2 (en) | Method of determining the presence or absence of poor connection leads by the four-terminal measurement method | |
| JPS62285072A (en) | Wire pattern inspecting device for printed circuit board | |
| JPH10221365A (en) | Method and apparatus for inspecting probe card | |
| JP2673241B2 (en) | Contact inspection method and probing method | |
| JP2001291942A (en) | Printed circuit board examination device | |
| JP2001298252A (en) | Method and apparatus for testing printed board | |
| KR101312079B1 (en) | Probe unit assembly and testing method of flat panel display using the same | |
| JP6768411B2 (en) | Board inspection equipment | |
| KR100982830B1 (en) | Short inspecting apparatus and short inspecting method for circuit substrate pattern | |
| JP4369002B2 (en) | Circuit board inspection equipment | |
| KR0127639B1 (en) | Probing test method and apparatus | |
| JP2006064637A (en) | Inspecting jig for printed circuit board | |
| JPS63250568A (en) | Prober device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040604 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050307 |