JP2002181660A - 液晶表示装置の検査装置および液晶表示装置の検査方法ならびに液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
液晶表示装置の検査装置および液晶表示装置の検査方法ならびに液晶表示装置の製造方法Info
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- JP2002181660A JP2002181660A JP2000384839A JP2000384839A JP2002181660A JP 2002181660 A JP2002181660 A JP 2002181660A JP 2000384839 A JP2000384839 A JP 2000384839A JP 2000384839 A JP2000384839 A JP 2000384839A JP 2002181660 A JP2002181660 A JP 2002181660A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の液晶パネルの製造工程においては、個
々の液晶パネルに分断した後、対向基板と張り合わせて
液晶を注入するパネル化工程を経て、個々の液晶パネル
に対して点灯画質検査を行っているため、点灯画質検査
において薄膜トランジスタの不良による画質不良が発生
した場合、その液晶パネルは不良品ということになり、
材料、時間のロスが生じていた。 【解決手段】 薄膜トランジスタおよび、ゲートドライ
バ部およびソースドライバを形成完成した時点でアレイ
基板を分割することなく、アレイ基板の少なくとも1つ
の液晶表示パネル領域の四方を取り囲む位置に気密を保
つパッキングが設けた対向電極を有する対向電極板を圧
着し、対向電極板と前記ガラス基板との空間を減圧して
液晶材料を注入し、液晶表示パネルの画質検査および表
示検査を行なう。
々の液晶パネルに分断した後、対向基板と張り合わせて
液晶を注入するパネル化工程を経て、個々の液晶パネル
に対して点灯画質検査を行っているため、点灯画質検査
において薄膜トランジスタの不良による画質不良が発生
した場合、その液晶パネルは不良品ということになり、
材料、時間のロスが生じていた。 【解決手段】 薄膜トランジスタおよび、ゲートドライ
バ部およびソースドライバを形成完成した時点でアレイ
基板を分割することなく、アレイ基板の少なくとも1つ
の液晶表示パネル領域の四方を取り囲む位置に気密を保
つパッキングが設けた対向電極を有する対向電極板を圧
着し、対向電極板と前記ガラス基板との空間を減圧して
液晶材料を注入し、液晶表示パネルの画質検査および表
示検査を行なう。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は表示装置、特に液晶
表示装置の検査装置および検査方法に関するものであ
る。
表示装置の検査装置および検査方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、液晶パネルは薄型、軽量なため、
モバイルPC、携帯電話等の携帯端末機器において、盛
んに用いられている。また、従来のCRTと比較して低
消費電力なため、家電製品あるいはOA機器等の表示装
置として広く用いられるようになってきた。
モバイルPC、携帯電話等の携帯端末機器において、盛
んに用いられている。また、従来のCRTと比較して低
消費電力なため、家電製品あるいはOA機器等の表示装
置として広く用いられるようになってきた。
【0003】従来、液晶パネルは、以下のようにして製
造されている。
造されている。
【0004】まず、スイッチング素子として、例えば薄
膜トランジスタ(TFT)を備えるTFT基板と、これ
に対向配設される対向基板とを作製する。このとき、T
FT基板としては、1つの液晶パネルに必要な電極配線
等のパターンを複数形成し、分断により複数の液晶パネ
ルの一方の基板を形成できる構成に作製する。また、対
向基板についても、分断により複数の液晶パネルの他方
の基板を形成できるように、複数のパターンで、ブラッ
クマトリックス若しくはカラーフィルタが設けられてい
る構成に作製する。次に、それぞれの基板に配向処理を
行い、両基板をシール材を介して接着した後に、個々の
液晶パネルに分断する。その後、液晶パネルに液晶を注
入して封止する。続いて、複数の液晶パネルの点灯検査
を別々に行う。このとき、検査用テストパッドは各液晶
パネルごとに独立して設けられているものであった。
膜トランジスタ(TFT)を備えるTFT基板と、これ
に対向配設される対向基板とを作製する。このとき、T
FT基板としては、1つの液晶パネルに必要な電極配線
等のパターンを複数形成し、分断により複数の液晶パネ
ルの一方の基板を形成できる構成に作製する。また、対
向基板についても、分断により複数の液晶パネルの他方
の基板を形成できるように、複数のパターンで、ブラッ
クマトリックス若しくはカラーフィルタが設けられてい
る構成に作製する。次に、それぞれの基板に配向処理を
行い、両基板をシール材を介して接着した後に、個々の
液晶パネルに分断する。その後、液晶パネルに液晶を注
入して封止する。続いて、複数の液晶パネルの点灯検査
を別々に行う。このとき、検査用テストパッドは各液晶
パネルごとに独立して設けられているものであった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の液
晶パネルの製造工程においては、個々の液晶パネルに分
断した後、対向基板と張り合わせて液晶を注入するパネ
ル化工程を経て、個々の液晶パネルに対して点灯画質検
査を行っている。そのため点灯画質検査において、画素
の薄膜トランジスタの不良による縦筋、横筋、ドット点
灯不良等の画質不良が発生した場合、その液晶パネルは
不良品ということになり、パネル化工程に伴う材料、時
間のロスが生じ、多大なコストが無駄となっていた。
晶パネルの製造工程においては、個々の液晶パネルに分
断した後、対向基板と張り合わせて液晶を注入するパネ
ル化工程を経て、個々の液晶パネルに対して点灯画質検
査を行っている。そのため点灯画質検査において、画素
の薄膜トランジスタの不良による縦筋、横筋、ドット点
灯不良等の画質不良が発生した場合、その液晶パネルは
不良品ということになり、パネル化工程に伴う材料、時
間のロスが生じ、多大なコストが無駄となっていた。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記、課題を解決するた
め、本発明では薄膜トランジスタおよび、ゲートドライ
バ部およびソースドライバを形成完成した時点でアレイ
基板を分割することなく、アレイ基板の少なくとも1つ
の液晶表示パネル領域の四方を取り囲む位置に気密を保
つパッキングが設けた対向電極を有する対向電極板を圧
着し、対向電極板と前記ガラス基板との空間を減圧して
液晶材料を注入し、液晶表示パネルの画質検査および表
示検査を行ない、良品のみでパネル化工程を行うことに
より、不良となったパネル化に伴う、材料的、時間的コ
ストの浪費を削減する。
め、本発明では薄膜トランジスタおよび、ゲートドライ
バ部およびソースドライバを形成完成した時点でアレイ
基板を分割することなく、アレイ基板の少なくとも1つ
の液晶表示パネル領域の四方を取り囲む位置に気密を保
つパッキングが設けた対向電極を有する対向電極板を圧
着し、対向電極板と前記ガラス基板との空間を減圧して
液晶材料を注入し、液晶表示パネルの画質検査および表
示検査を行ない、良品のみでパネル化工程を行うことに
より、不良となったパネル化に伴う、材料的、時間的コ
ストの浪費を削減する。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明の液晶表示装置の検査装置
および、検査方法を図面を用いて説明する。本発明での
液晶表示パネルは図1に示すように大判のガラス基板
1’上に整列した状態で複数この液晶表示パネル5は一
括で作製され、ソースドライバ27およびゲートドライ
バ28の駆動回路および、電極17を同時形成した低温
ポリシリコンプロセスによるモノリシック型液晶パネル
である。
および、検査方法を図面を用いて説明する。本発明での
液晶表示パネルは図1に示すように大判のガラス基板
1’上に整列した状態で複数この液晶表示パネル5は一
括で作製され、ソースドライバ27およびゲートドライ
バ28の駆動回路および、電極17を同時形成した低温
ポリシリコンプロセスによるモノリシック型液晶パネル
である。
【0008】図2(a)はアレイ基板の本発明における
液晶表示装置の検査装置の構成を示したものである。
液晶表示装置の検査装置の構成を示したものである。
【0009】アレイ基板1を搭載するステージ2にはア
レイ基板1を真空で固定するための真空吸着孔3が設け
られ、透過型の液晶表示パネルの検査が可能なようにス
テージに光照射開口部14とバックライト(図示せず)
が設けられている。また、ステージ2全体はX,Y方向
4に移動できるものである。
レイ基板1を真空で固定するための真空吸着孔3が設け
られ、透過型の液晶表示パネルの検査が可能なようにス
テージに光照射開口部14とバックライト(図示せず)
が設けられている。また、ステージ2全体はX,Y方向
4に移動できるものである。
【0010】アレイ基板1に形成された液晶表示パネル
領域5上には対向電極板6が配置される。この対向電極
板6には一つの液晶表示パネル領域5の四方を取り囲む
位置に弾性を有する材料で気密を保つパッキング7と液
晶表示パネル領域5と対向する面にはITO等の透明導
電膜材料による対向電極8が形成されている。なお、対
向電極8は対向電極接続電極9と電気的に導通している
ものである。さらには、対向電極板6にはパッキング7
の内側の空間を加減圧するための加圧孔10と減圧孔1
1が設けられた構成となっているものである。なお、対
向電極板6はアレイ基板1上の液晶表示パネル領域5と
位置合わせのため、回転機構12を有しているものであ
る。図2(a)においてステージ2上にアレイ基板1を
置き、真空吸着孔3の真空吸着により固定を行い、検査
を行う領域にステージ2を移動させる。
領域5上には対向電極板6が配置される。この対向電極
板6には一つの液晶表示パネル領域5の四方を取り囲む
位置に弾性を有する材料で気密を保つパッキング7と液
晶表示パネル領域5と対向する面にはITO等の透明導
電膜材料による対向電極8が形成されている。なお、対
向電極8は対向電極接続電極9と電気的に導通している
ものである。さらには、対向電極板6にはパッキング7
の内側の空間を加減圧するための加圧孔10と減圧孔1
1が設けられた構成となっているものである。なお、対
向電極板6はアレイ基板1上の液晶表示パネル領域5と
位置合わせのため、回転機構12を有しているものであ
る。図2(a)においてステージ2上にアレイ基板1を
置き、真空吸着孔3の真空吸着により固定を行い、検査
を行う領域にステージ2を移動させる。
【0011】図2(b)で対向電極板6を徐々に降下A
して、パッキング7をアレイ基板1に接触、圧着させ、
対向電極板6とアレイ基板1との間に5〜10μmの間
隔を持たせた状態で保持する。そして、減圧孔11より
この対向電極板6とアレイ基板1との間隔の空間を減圧
させ、真空状態にする。
して、パッキング7をアレイ基板1に接触、圧着させ、
対向電極板6とアレイ基板1との間に5〜10μmの間
隔を持たせた状態で保持する。そして、減圧孔11より
この対向電極板6とアレイ基板1との間隔の空間を減圧
させ、真空状態にする。
【0012】その後、図2(c)において加圧孔10よ
り液晶を導入し、対向電極板6とアレイ基板1の空間に
液晶15を注入させる(図2(c))。
り液晶を導入し、対向電極板6とアレイ基板1の空間に
液晶15を注入させる(図2(c))。
【0013】次に液晶表示パネル5を表示動作させるた
め検査用電極16を液晶表示パネル5の電極17と接針
させる。そして動作信号および、電圧18を印加させ、
液晶表示パネル5を表示動作させる。
め検査用電極16を液晶表示パネル5の電極17と接針
させる。そして動作信号および、電圧18を印加させ、
液晶表示パネル5を表示動作させる。
【0014】この状態において、図3(a)に示すよう
にステージ2側よりアレイ基板1にバックライト光源1
9により光20を照射することで目視21で液晶表示パ
ネル5の表示検査を行うことができ、図4に示すような
横すじ不良22や縦すじ不良23および、ドットむら不
良24を容易に事前に検出することが可能となり、パネ
ル化工程に伴う材料、時間のロスがなく、コストを軽減
することが可能となるものである。
にステージ2側よりアレイ基板1にバックライト光源1
9により光20を照射することで目視21で液晶表示パ
ネル5の表示検査を行うことができ、図4に示すような
横すじ不良22や縦すじ不良23および、ドットむら不
良24を容易に事前に検出することが可能となり、パネ
ル化工程に伴う材料、時間のロスがなく、コストを軽減
することが可能となるものである。
【0015】なお、対向電極板6に液晶分子の配向を特
定の方向に配列させる配向処理は対向電極板6にあらか
じめ施しておくことにより、その都度、アレイ基板1を
配向処理する必要はないものである。また、対向電極板
6に偏光板およびカラーフィルタを設けておくことによ
り、モノクロ、カラーを問わず同様な方法で液晶表示パ
ネルの画質検査を行えるものであり、さらには図5に示
すように、ステージ2側に反射板26を設けることによ
り反射型液晶表示パネルの検査も可能となる。
定の方向に配列させる配向処理は対向電極板6にあらか
じめ施しておくことにより、その都度、アレイ基板1を
配向処理する必要はないものである。また、対向電極板
6に偏光板およびカラーフィルタを設けておくことによ
り、モノクロ、カラーを問わず同様な方法で液晶表示パ
ネルの画質検査を行えるものであり、さらには図5に示
すように、ステージ2側に反射板26を設けることによ
り反射型液晶表示パネルの検査も可能となる。
【0016】そして図3(b)に示すように、検査完了
後、加圧孔10より加圧25を行い、減圧孔11より減
圧13することによって対向電極板6とアレイ基板1の
空間に注入された液晶15を吸引、回収する。
後、加圧孔10より加圧25を行い、減圧孔11より減
圧13することによって対向電極板6とアレイ基板1の
空間に注入された液晶15を吸引、回収する。
【0017】液晶を吸引、回収後、図3(c)に示すよ
うに対向電極板6を上昇Bさせ、順次アレイ基板1上の
液晶表示パネルの検査を同様に行う。
うに対向電極板6を上昇Bさせ、順次アレイ基板1上の
液晶表示パネルの検査を同様に行う。
【0018】なお、本発明はエレクトロ・ルミネセンス
型表示装置における薄膜トランジスタの動作検査にも適
用できる。すなわち、薄膜トランジスタを作製後、ある
いは、陰極または陽極を形成後、本発明による検査を行
うことにより、不良が生じた場合でも不良パネルについ
ては以降のプロセスを行う必要がなく、良品のみ工程を
継続することによって、製品化工程に伴う材料、時間の
ロスが生じず、生産コスト削減に多大な効果を有するも
のである。
型表示装置における薄膜トランジスタの動作検査にも適
用できる。すなわち、薄膜トランジスタを作製後、ある
いは、陰極または陽極を形成後、本発明による検査を行
うことにより、不良が生じた場合でも不良パネルについ
ては以降のプロセスを行う必要がなく、良品のみ工程を
継続することによって、製品化工程に伴う材料、時間の
ロスが生じず、生産コスト削減に多大な効果を有するも
のである。
【0019】
【発明の効果】本発明は上記の説明で明らかなとおり、
アレイ基板作製完了後、アレイ基板を割断、分割およ
び、対向基板と張り合わせて液晶を注入するパネル化工
程以前にアレイ基板の状態で液晶表示パネルの画質検査
を順次行うことにより、画質不良が発生した液晶表示パ
ネルにおけるパネル化工程に伴う材料、時間のロスが生
じず、生産コスト削減に多大な効果を有するものであ
る。
アレイ基板作製完了後、アレイ基板を割断、分割およ
び、対向基板と張り合わせて液晶を注入するパネル化工
程以前にアレイ基板の状態で液晶表示パネルの画質検査
を順次行うことにより、画質不良が発生した液晶表示パ
ネルにおけるパネル化工程に伴う材料、時間のロスが生
じず、生産コスト削減に多大な効果を有するものであ
る。
【図1】本発明の実施形態におけるアレイ基板を示した
構成斜視図
構成斜視図
【図2】本発明の第1の実施形態における検査装置によ
る検査方法を示した工程断面図
る検査方法を示した工程断面図
【図3】本発明の第1の実施形態における検査装置によ
る検査方法を示した工程断面図
る検査方法を示した工程断面図
【図4】本発明の実施形態における検査装置で検出でき
る不良パターン図
る不良パターン図
【図5】本発明の第2の実施形態における表示装置によ
る検査方法を示した構成断面図
る検査方法を示した構成断面図
1 アレイ基板 2 ステージ 3 真空吸着孔 5 液晶表示パネル 6 対向電極板 7 パッキング 8 対向電極 9 対向電極接続電極 10 加圧孔 11 液晶注入、減圧孔 12 回転機構 13 減圧 14 光照射開口部 15 液晶 16 検査用電極 17 電極 18 動作信号、電圧 19 バックライト光源 20 光 22 横すじ不良 23 縦すじ不良 24 ドットむら不良 25 加圧 26 反射板 27 ソースドライバ 28 ゲートドライバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G036 AA19 AA27 BA32 BA33 CA07 2G086 EE10 2H088 FA12 HA08 HA12 HA14 HA28 MA20 5G435 AA17 BB05 BB12 CC09 CC12 EE22 EE26 EE32 EE37 EE41 FF05 FF13 GG22 KK05 KK10
Claims (19)
- 【請求項1】 画素となる薄膜トランジスタがマトリク
ス状に配置され、前記薄膜トランジスタを動作するゲー
トドライバ部およびソースドライバの一部を内蔵したド
ライバモノリシック型の液晶表示パネルの表示画像を検
査する装置であって、複数繰り返し液晶表示パネルが形
成されたガラス基板を搭載固定し、X方向、Y方向に移
動するステージと前記ガラス基板上に形成された複数の
液晶表示パネルの少なくとも1つの液晶表示パネル領域
の四方を取り囲む位置に気密を保つパッキングと前記液
晶表示パネル領域と対向する対向電極板に電極が設けら
れ、前記対向電極板の一辺に検査用電極を具備すること
を特徴とする液晶表示装置の検査装置。 - 【請求項2】 前記パッキングが液晶表示パネル領域を
取り囲む位置関係で対向電極板を降下する手段と前記ガ
ラス基板表面と前記パッキングを密着させ、対向電極板
と前記ガラス基板との間に間隔を設けて圧着保持する手
段と対向電極板と前記ガラス基板との空間を減圧して保
持する手段と対向電極板と前記ガラス基板との空間を減
圧した状態で前記対向電極板と前記ガラス基板との空間
に液晶材料を注入、導入する手段と前記対向電極板の電
極に電界を印加する手段と前記検査用電極を液晶表示パ
ネルの電極と接続し、表示信号を印加する手段と対向電
極板と前記ガラス基板との空間を加圧する手段と前記対
向電極板と前記ガラス基板との空間の液晶材料を吸引、
除去する手段と前記ガラス基板への対向電極板の圧着を
解除する手段を有することを特徴とする請求項1記載の
液晶表示装置の検査装置。 - 【請求項3】 対向電極板の電極が透明導電膜によって
形成されることを特徴とする請求項1または2記載の液
晶表示装置の検査装置。 - 【請求項4】 対向電極板の電極領域が透明であること
を特徴とする請求項1または2記載の液晶表示装置の検
査装置。 - 【請求項5】 ステージ側よりガラス基板に光を照射す
る手段を有することを特徴とする請求項1または2記載
の液晶表示装置の検査装置。 - 【請求項6】 ステージ表面に反射板が形成されたこと
を特徴とする請求項1または2記載の液晶表示装置の検
査装置。 - 【請求項7】 対向電極板を通して、ガラス基板に光を
照射する手段が設けられたことを特徴とする請求項1ま
たは2記載の液晶表示装置の検査装置。 - 【請求項8】 対向電極板に偏光板が設けられたことを
特徴とする請求項1または2記載の液晶表示装置の検査
装置。 - 【請求項9】 対向電極板にカラーフィルタが設けられ
たことを特徴とする請求項1または2記載の液晶表示装
置の検査装置。 - 【請求項10】 対向電極板にブラックマトリクスが設
けられたことを特徴とする請求項1または2記載の液晶
表示装置の検査装置。 - 【請求項11】 ステージに加熱機構を設けることを特
徴とする請求項1または2記載の液晶表示装置の検査装
置。 - 【請求項12】 対向電極板がX方向、Y方向、θ方向
に移動、回転することを特徴とする請求項1または2記
載の液晶表示装置の検査装置。 - 【請求項13】 対向電極板と液晶表示パネル領域との
間の空間の液晶材料を吸引、除去後、液晶表示パネル領
域表面を洗浄乾燥する手段を有することを特徴とする請
求項1または2記載の液晶表示装置の検査装置。 - 【請求項14】 ステージ上にガラス基板を固定する工
程と対向電極板の周辺に設けられたシール部材が液晶表
示パネル領域を取り囲むようガラス基板と透明板を位置
合わせを行う工程と対向電極板を降下してシール部材を
ガラス基板に圧接し、一定間隔を有して保持する工程と
対向電極板と液晶表示パネル領域との間の空間を減圧す
る工程と対向電極板と液晶表示パネル領域との間の空間
に液晶材料を注入する工程と前記液晶表示パネルの電極
に検査用電極を接続する工程と対向電極板の電極に電界
を印加する工程と前記検査用電極に表示信号を印加する
工程と液晶表示パネルの液晶表示状態を検査する工程と
対向電極板と液晶表示パネル領域との間の空間を加圧す
る工程と前記対向電極板と液晶表示パネル領域との間の
空間に注入されていた液晶材料を吸引、除去する工程と
前記ガラス基板と対向電極板との圧接を解除し、対向電
極板を上昇させる工程からなる液晶表示装置の検査方
法。 - 【請求項15】 ステージ側よりガラス基板に光を照射
する工程を含むことを特徴とする請求項14記載の液晶
表示装置の検査方法。 - 【請求項16】 ステージを加熱する工程を含むことを
特徴とする請求項14記載の液晶表示装置の検査方法。 - 【請求項17】 ガラス基板を洗浄乾燥する工程を含む
ことを特徴とする請求項14記載の液晶表示装置の検査
方法。 - 【請求項18】 液晶表示パネルの画質検査工程後にパ
ネル化工程を行うことを特徴とする請求項14記載の液
晶表示装置の検査方法。 - 【請求項19】 薄膜トランジスタが配置され、前記薄
膜トランジスタを動作するゲートドライバ部およびソー
スドライバの一部を内蔵したドライバモノリシック型の
エレクトロルミネセンス型表示パネルを検査する装置で
あって、ガラス基板を搭載固定し、X方向、Y方向に移
動するステージと、前記ガラス基板上に形成された複数
の表示パネルの少なくとも1つの表示パネル領域を気密
を保って取り囲むパッキングと、前記表示パネル領域と
対向する電極を有する電極板とを有し、前記電極板の一
辺に検査用電極を具備することを特徴とするエレクトロ
ルミネセンス型表示装置の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000384839A JP2002181660A (ja) | 2000-12-19 | 2000-12-19 | 液晶表示装置の検査装置および液晶表示装置の検査方法ならびに液晶表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000384839A JP2002181660A (ja) | 2000-12-19 | 2000-12-19 | 液晶表示装置の検査装置および液晶表示装置の検査方法ならびに液晶表示装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002181660A true JP2002181660A (ja) | 2002-06-26 |
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ID=18852214
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000384839A Pending JP2002181660A (ja) | 2000-12-19 | 2000-12-19 | 液晶表示装置の検査装置および液晶表示装置の検査方法ならびに液晶表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002181660A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004177193A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ評価装置 |
JP2012129020A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Japan Display East Inc | 照明装置の点灯検査装置 |
CN105974237A (zh) * | 2016-06-16 | 2016-09-28 | 昆山金箭机械设备有限公司 | 液晶屏幕检测设备的测试机构 |
KR20170021868A (ko) * | 2014-06-25 | 2017-02-28 | 센젠 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 | 컬러 필름 기판 및 곡면 디스플레이 장치 |
-
2000
- 2000-12-19 JP JP2000384839A patent/JP2002181660A/ja active Pending
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---|---|---|---|---|
JP2004177193A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ評価装置 |
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