JP2002174506A - Electronic chart projector - Google Patents

Electronic chart projector

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JP2002174506A
JP2002174506A JP2000373399A JP2000373399A JP2002174506A JP 2002174506 A JP2002174506 A JP 2002174506A JP 2000373399 A JP2000373399 A JP 2000373399A JP 2000373399 A JP2000373399 A JP 2000373399A JP 2002174506 A JP2002174506 A JP 2002174506A
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JP
Japan
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chart
image
display device
measured
projection optical
Prior art date
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Application number
JP2000373399A
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Japanese (ja)
Inventor
Takahiko Matsumoto
孝彦 松本
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that the conventional chart measurement needs the replacement of a chart sheet corresponding to an object under measurement and takes labor for replacing and stocking or managing the chart sheet. SOLUTION: A guiding optical system guides a light from a first projection lens for projecting the image of an object and a light from a second projection lens for projecting the image of a chart corresponding to the object displayed on an electric display illuminated by a back light to a screen of a projector to display the image of the object superposed on the image of the chart, thereby making the chart measurement possible. An electric display is controlled by a personal computer to replace the object and a corresponding chart for the change of the magnification factor of an image under measurement, thereby saving labor for replacing works, etc.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ステージ上に置か
れた被測定物の寸法等の合否判定に用いられるチャート
測定に用いられるチャート投影機に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chart projector used for measuring a chart used for determining whether or not the size of an object to be measured placed on a stage is acceptable.

【0002】[0002]

【従来技術】従来のチャート測定は投影機等のスクリー
ンの上に被測定物に対応するチャートを書き込んだチャ
ートシートを貼り付け、スクリーンに表示された被測定
物の像とチャートシートに描かれた被測定物の寸法許容
範囲等を示す刻線等のチャートとを比較し、被測定物の
像が寸法許容範囲にあるか否かにより被測定物の合否判
定を行うものであった。なお、このような投影機の代表
的構成は例えば、特開平8−327313の図2に開示
されている。
2. Description of the Related Art In a conventional chart measurement, a chart sheet on which a chart corresponding to an object to be measured is written is pasted on a screen of a projector or the like, and an image of the object to be measured displayed on the screen and drawn on the chart sheet. A pass / fail judgment of the measured object is made based on whether or not the image of the measured object is within the dimensional allowable range by comparing the measured image with a chart such as a ruled line indicating the allowable size range of the measured object. A typical configuration of such a projector is disclosed, for example, in FIG. 2 of JP-A-8-327313.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来のチャート測定で
は、被測定物に対応したチャートシートを投影機等のス
クリーンの上に貼り付ける作業が必要である。この作業
は被測定物が変わるたびに対応するチャートシートに交
換する必要があり、交換のための手間がかかる。
In the conventional chart measurement, it is necessary to attach a chart sheet corresponding to an object to be measured on a screen of a projector or the like. In this operation, it is necessary to replace the chart sheet with a corresponding one each time the object to be measured is changed, which takes time and effort.

【0004】また、一つの被測定物であっても、判定精
度を確保するために被測定物の投影倍率を高倍率にした
場合には、測定個所毎に所望の精度に対応するチャート
シートに交換する必要があり、交換のための手間が倍増
される。
[0004] Further, even if only one object is measured, if the projection magnification of the object to be measured is set to be high in order to secure the judgment accuracy, a chart sheet corresponding to the desired accuracy is provided for each measurement position. They need to be replaced, which doubles the labor for replacement.

【0005】また、種々の被測定物に対応するチャート
シートや高倍率用のチャートシートなど合否判定に用い
る多数のチャートシートの保管・管理も問題となってい
る。
Another problem is the storage and management of a large number of chart sheets used for pass / fail determination, such as chart sheets corresponding to various objects to be measured and chart sheets for high magnification.

【0006】本発明の目的は、上記課題に鑑み被測定物
に対応するチャートの交換を簡便に行うことが出来ると
共に、チャートシートの保管・管理を容易にするチャー
ト投影機を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a chart projector capable of easily exchanging a chart corresponding to an object to be measured and facilitating storage and management of a chart sheet. .

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記した課題を達成する
ために、本発明の請求項1では、スクリーンと、被測定
物を載置する載置面と、該載置面に載置された被測定物
を照明する照明部と、前記被測定物に対応するチャート
を表示可能な電気的表示装置と、前記照明部により照明
された被測定物の拡大像及び前記電気的表示装置に表示
された前記チャートの拡大像を前記スクリーン上に重畳
して表示するための拡大投影光学系とを具備してなるこ
とを特徴とする電子チャート投影機を提供する。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a screen, a mounting surface on which an object to be measured is mounted, and a screen mounted on the mounting surface are provided. An illumination unit that illuminates the device under test, an electrical display device capable of displaying a chart corresponding to the device under test, an enlarged image of the device under test illuminated by the illumination unit, and an electric image displayed on the electrical display device An enlarged projection optical system for superimposing and displaying an enlarged image of the chart on the screen.

【0008】更に、本発明の請求項2では、請求項1に
記載の電子チャート投影機において、前記拡大投影光学
系は、 前記被測定物の像を拡大して投影するための第
1の拡大投影光学レンズ系と、前記電気的表示装置によ
り表示されたチャートの像を拡大して投影するための第
2の拡大投影光学レンズ系と、前記第1及び第2の拡大
投影光学レンズ系から出射される光線が共通の光軸をも
って前記スクリーン上に投影されるよう案内する光案内
装置とからなることを特徴とする電子チャート投影機を
提供する。
According to a second aspect of the present invention, in the electronic chart projector according to the first aspect, the magnifying projection optical system includes a first magnifying device for magnifying and projecting the image of the object to be measured. A projection optical lens system, a second enlarged projection optical lens system for enlarging and projecting an image of the chart displayed by the electric display device, and light emitted from the first and second enlarged projection optical lens systems. A light guide device for guiding the light beam to be projected onto the screen with a common optical axis.

【0009】更に、本発明の請求項3では、請求項1に
記載の電子チャート投影機において、前記拡大投影光学
系は、前記照明部により照明され,前記載置面上に支持
された被測定物の像を結像するための対物レンズを含
み、前記電気的表示装置は、前記対物レンズの中間像形
成位置に配置され、前記被測定物に対応するチャートを
表示可能であり、且つ前記照明部で照明された前記被測
定物からの光線を透過する構成であり、前記拡大投影光
学系は、前期被測定物の像と前記電気的表示装置内に表
示されたチャートの像とを拡大して前記スクリーン上に
投影するための拡大投影光学レンズ系を具備してなるこ
とを特徴とする電子チャート投影機を提供する。
According to a third aspect of the present invention, in the electronic chart projector according to the first aspect, the magnifying projection optical system is illuminated by the illumination unit and supported on the mounting surface. An objective lens for forming an image of an object, wherein the electric display device is arranged at an intermediate image forming position of the objective lens, and is capable of displaying a chart corresponding to the object to be measured, and The configuration is such that light from the object illuminated by the unit is transmitted, and the magnifying projection optical system enlarges the image of the object to be measured and the image of the chart displayed in the electrical display device. And an enlargement projection optical lens system for projecting onto the screen.

【0010】更に、本発明の請求項4では、請求項1又
は2又は3に記載の電子チャート投影機において、前記
電気的表示装置は、前記チャートの表示制御を行う制御
装置を有し、前記制御装置は、複数の被測定物に対応し
たチャートデータを有し、前記チャートデータに基づい
た前記チャートを前記電気的表示装置に表示可能である
ことを特徴とする電子チャート投影機を提供する。
According to a fourth aspect of the present invention, in the electronic chart projector according to the first or second or third aspect, the electric display device has a control device for controlling display of the chart. The control device has chart data corresponding to a plurality of objects to be measured, and the electronic chart projector is characterized in that the chart based on the chart data can be displayed on the electric display device.

【0011】更に、本発明の請求項5では、請求項1又
は2又は4に記載の電子チャート投影機において、前記
電気的表示装置は、前記スクリーンに対し前記載置面と
光学的に等価な位置に配置されることを特徴とする電子
チャート投影機を提供する。
According to a fifth aspect of the present invention, in the electronic chart projector according to the first or second or fourth aspect, the electric display device is optically equivalent to the screen with respect to the screen. Provided is an electronic chart projector, wherein the electronic chart projector is arranged at a position.

【0012】[0012]

【発明の実施形態】次に、本発明の実施形態について図
面を用いて詳細に説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0013】図1において、載置面1に載置された被測
定物は、透過照明部3又は同軸落射照明部5からの照明
光線で照射される。次いで照明光は拡大投影レンズ7を
通過し、案内光学系を構成する小ミラー9で反射され、
ハーフミラー11を通過して大ミラー13で再び反射し
てスクリーン15に被測定物の拡大像を結像する。スク
リーン15の表示像の焦点調整は載置面1の上下動や拡
大投影レンズ7の上下動により達成される。従って、本
投影機は載置面1の上下動調整機構又は拡大投影レンズ
7の上下動調整機構を当然備えているが、これらは発明
に直接関係が無いので説明を省略する。また,上述した
同軸照明装置5は本実施形態の場合、拡大投影レンズ7
内に設けられたハーフミラーを介して載置面1を真上か
ら照射できるようになっている。
In FIG. 1, an object to be measured mounted on a mounting surface 1 is illuminated by an illumination light beam from a transmission illumination unit 3 or a coaxial incident illumination unit 5. Next, the illumination light passes through the magnifying projection lens 7 and is reflected by the small mirror 9 constituting the guide optical system.
The light passes through the half mirror 11 and is reflected again by the large mirror 13 to form an enlarged image of the measured object on the screen 15. The focus adjustment of the display image on the screen 15 is achieved by the vertical movement of the mounting surface 1 and the vertical movement of the magnifying projection lens 7. Therefore, the present projector naturally has a mechanism for adjusting the vertical movement of the mounting surface 1 or the mechanism for adjusting the vertical movement of the magnifying projection lens 7, but these are not directly related to the present invention and will not be described. In the case of the present embodiment, the above-described coaxial illumination device 5 is an enlarged projection lens 7.
The mounting surface 1 can be irradiated from directly above via a half mirror provided therein.

【0014】一方、スクリーン15に関し載置面1と光
学的に等価な位置(光学的に物***置と共役な位置)に
は、電気的表示装置17が設けられている。電気的表示
装置17は被測定物に対応するチャートを表示可能であ
り、表示されたチャートは該電気的表示装置17の裏面
に配置されたバックライト19により照明され、その照
明光線は拡大投影レンズ21を通過して前述した案内光
学系のハーフミラー11に入射し、該ハーフミラー11
で反射されて大ミラー13に至り、該大ミラー13によ
り反射されてスクリーン15上にチャートの拡大像を表
示する。
On the other hand, at a position optically equivalent to the mounting surface 1 with respect to the screen 15 (a position optically conjugate with the object position), an electric display device 17 is provided. The electric display device 17 is capable of displaying a chart corresponding to the device under test, and the displayed chart is illuminated by a backlight 19 disposed on the back surface of the electric display device 17, and the illuminating light is transmitted through a magnifying projection lens. 21 and enters the above-described half mirror 11 of the guide optical system.
The reflected light reaches the large mirror 13 and is reflected by the large mirror 13 to display an enlarged image of the chart on the screen 15.

【0015】このような構成であるので、照明部3から
被測定物に照明され、拡大投影レンズ7により拡大され
た被測定物表示用の光線と、バックライト19により電
気的表示装置17のチャートに照明され、拡大投影レン
ズ21により拡大されたチャート像表示用の光線とは、
ハーフミラー11により共通の光路にされて、大ミラー
13により反射されてスクリーン15上の同一視野内に
重畳して結像表示され,観察者に視覚可能となる。
With such a configuration, the object to be measured is illuminated from the illumination unit 3 and is enlarged by the magnifying projection lens 7, and the light beam for displaying the object to be measured and the backlight 19 are used to chart the electric display device 17. And the light beam for displaying the chart image enlarged by the magnifying projection lens 21 is
The light is made to have a common optical path by the half mirror 11, is reflected by the large mirror 13, is superimposed and formed in the same field of view on the screen 15, and is displayed to the observer.

【0016】スクリーン15に投影されたそれぞれの像
の照度調整は、被測定物の方は透過照明部3及び同軸落
射照明部5の調整により、またチャートの像の方はバッ
クライト19の調整により、スクリーン15で両方の像
が観察できるように行われる。
The illuminance of each image projected on the screen 15 is adjusted by adjusting the transmission illumination unit 3 and the coaxial incident illumination unit 5 for the object to be measured, and by adjusting the backlight 19 for the chart image. , So that both images can be observed on the screen 15.

【0017】ここで使われるチャート表示用の電気的表
示装置17は、電気的表示層を透明基板(例えばガラス
等)で挟み、電気的表示層に表示されたチャートがバッ
クライト19で照明できる構造である。そして電気的表
示装置17は、例えば液晶ディスプレイ(LCD:Li
quid Crystal Display)のような表
裏に透明基板を用いた表示装置が使用可能である。
The electrical display device 17 for displaying a chart used here has a structure in which an electrical display layer is sandwiched between transparent substrates (eg, glass or the like), and a chart displayed on the electrical display layer can be illuminated by a backlight 19. It is. The electric display device 17 is, for example, a liquid crystal display (LCD: Li
A display device using a transparent substrate on the front and back, such as a liquid crystal display (quid Crystal Display), can be used.

【0018】また、電気的表示装置17は、電気的表示
装置17を制御する駆動回路23及びチャートデータを
保管並びに駆動回路23の制御を行うパーソナルコンピ
ュータ25に接続されている。被測定物に対応するチャ
ートはパーソナルコンピュータ25に被測定物に関する
情報を入力することによって、パーソナルコンピュータ
25から呼び出され電気的表示装置17上に表示され
る。こうして、駆動回路23及びパーソナルコンピュー
タ25とにより制御装置を構成している。
The electric display device 17 is connected to a drive circuit 23 for controlling the electric display device 17 and a personal computer 25 for storing chart data and controlling the drive circuit 23. The chart corresponding to the measured object is called from the personal computer 25 by inputting information relating to the measured object to the personal computer 25, and is displayed on the electric display device 17. Thus, a control device is constituted by the drive circuit 23 and the personal computer 25.

【0019】上記の構成により、観察者は被測定物の像
と電気的表示装置17に表示されたチャートの像が重畳
した像をスクリーン15で観察できるため、両者を比較
し被測定物の寸法等の合否判定を行うことが出来る。
According to the above configuration, the observer can observe an image in which the image of the object to be measured and the image of the chart displayed on the electric display device 17 are superimposed on the screen 15. Etc. can be determined.

【0020】次に本発明の第2の実施形態について図2
を用いて説明する.図2は本発明の第2の実施形態に係
る電子チャート投影機の光学的構成を示す図である。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This is explained using. FIG. 2 is a diagram showing an optical configuration of an electronic chart projector according to a second embodiment of the present invention.

【0021】第2の実施形態において、電気的表示装置
117は対物レンズ102の中間像形成位置に配置され
ている。載置面101上の被測定物は、対物レンズ10
2の反対側から照明する透過照明部103又は対物レン
ズ102内に設けられたハーフミラーを介して照明する
同軸落射照明部105により照明され、その照明光線は
対物レンズ102を通過して電気的表示装置117上に
中間像として結像される。
In the second embodiment, the electric display device 117 is arranged at an intermediate image forming position of the objective lens 102. The object to be measured on the mounting surface 101 is
The illumination light is illuminated by a transmission illumination unit 103 that illuminates from the opposite side of the light source 2 or a coaxial incident illumination unit 105 that illuminates via a half mirror provided in the objective lens 102, and the illumination light passes through the objective lens 102 and is electrically displayed. An image is formed on the device 117 as an intermediate image.

【0022】電気的表示装置117は、例えば液晶ディ
スプレイ(LCD:LiquidCrystal Di
splay)のような電気的表示層の表裏を例えばガラ
スの基板で挟み込んだ構造であり、被測定物に対応した
チャートを表示可能である。
The electric display device 117 is, for example, a liquid crystal display (LCD: Liquid Crystal Di).
This is a structure in which the front and back of an electrical display layer such as a display (spray) are sandwiched between, for example, glass substrates, and can display a chart corresponding to an object to be measured.

【0023】電気的表示装置117には、第1の実施形
態同様、駆動回路123を介してパーソナルコンピュー
タ125が接続されている。駆動回路123及びパーソ
ナルコンピュータ125の機構及び役割は図1に示した
駆動回路23及びパーソナルコンピュータ25と実質的
に同じである。
As in the first embodiment, a personal computer 125 is connected to the electric display device 117 via a drive circuit 123. The mechanism and role of the drive circuit 123 and the personal computer 125 are substantially the same as those of the drive circuit 23 and the personal computer 25 shown in FIG.

【0024】電気的表示装置117に対物レンズ102
の中間像として結像された被測定物の像と、駆動回路1
23の制御により電気的表示装置117に表示されたチ
ャートの像との光線は共通の光路を通り小ミラー109
により反射され、拡大投影レンズ120により拡大さ
れ、大ミラー113により反射されてスクリーン115
上に結像表示される。
The objective lens 102 is provided on the electric display device 117.
Image of the device under test formed as an intermediate image of
The light beam with the chart image displayed on the electric display device 117 under the control of the control unit 23 passes through a common optical path and is transmitted to the small mirror 109.
, Is magnified by the magnifying projection lens 120, is reflected by the large mirror 113, and is
The image is displayed above.

【0025】本実施形態の場合、電気的表示装置117
に表示されるチャートの像は被測定物照明用の照明部1
03または105により照明されることにより拡大投影
されるため、第1の実施形態におけるバックライトを必
要としない。
In the case of the present embodiment, the electric display device 117
The image of the chart displayed on the illuminating section 1 for illuminating the DUT
Since it is enlarged and projected by being illuminated by 03 or 105, the backlight in the first embodiment is not required.

【0026】上記の構成により、観察者は被測定物の像
と電気的表示装置117に表示されたチャートの像とを
重畳した投影像をスクリーン115で観察できるため、
両者を比較し被測定物の寸法等の合否判定を行うことが
出来る。
With the above configuration, the observer can observe on the screen 115 a projected image in which the image of the object to be measured and the image of the chart displayed on the electric display device 117 are superimposed.
By comparing the two, it is possible to determine whether or not the size of the measured object is acceptable.

【0027】第1及び第2の実施形態に係る電気的表示
装置(17、117)として液晶ディスプレイ(LC
D)と同等の機能を有する他の表示装置を用いてもよ
い。
A liquid crystal display (LC) is used as the electric display device (17, 117) according to the first and second embodiments.
Another display device having the same function as D) may be used.

【0028】また、第1及び第2の実施形態によれば、
複数のチャートデータを制御装置で表示制御できるた
め、電気的表示装置(17、117)にチャート表示を
行うことが出来、被測定物の交換、倍率の変更などに伴
う従来のようなチャートシートの交換に相当する作業が
不要となり、検査時間の短縮化、判定作業の効率化がで
きると共に、チャートデータの保管・管理をパーソナル
コンピュータ(25,125)で行えるため、従来の図
面ベースに比べチャートデータの保管・管理が容易とな
る。
According to the first and second embodiments,
Since a plurality of chart data can be displayed and controlled by the control device, the chart display can be performed on the electric display devices (17, 117), and a conventional chart sheet can be displayed in accordance with the exchange of the DUT and the change of the magnification. The work equivalent to replacement becomes unnecessary, shortening the inspection time, improving the efficiency of the judgment work, and storing and managing the chart data with a personal computer (25, 125). Storage and management becomes easier.

【0029】更にまた、チャートデータは電子ファイル
化できるため、データの差し替え、検索や保管がパーソ
ナルコンピュータ(25,125)により容易に行うこ
とが出来ると共に、CAD(Computer Aid
ed Design)とのリンクが可能であり、CAD
データを直ちにチャートデータに変換でき、チャートの
作成期間の短縮やチャート修正などが迅速に行えるな
ど、チャート作成費用や期間の削減が出来る。
Furthermore, since the chart data can be converted into an electronic file, the data can be easily replaced, searched and stored by a personal computer (25, 125), and the CAD (Computer Aid) can be used.
ed Design) and CAD
Data can be immediately converted to chart data, and chart creation costs and time can be reduced, such as by shortening the chart creation period and quickly correcting the chart.

【0030】なお、第2の実施の形態では電気的表示装
置に照明光を透過させてチャート表示を拡大投影する構
成としたが、電気的表示装置からの反射光を拡大投影す
る構成としても良い。
In the second embodiment, the configuration is such that the illumination light is transmitted to the electric display device to enlarge and project the chart display. However, the configuration may be such that the reflected light from the electric display device is enlarged and projected. .

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被測定物の像に対応するチャートは電気的表示装置に接
続されたコンピュータを用いて制御されるため、従来の
ようなチャートシートの交換作業が不要となり、検査作
業の効率化及チャートデータの保管・管理が容易とな
る。
As described above, according to the present invention,
The chart corresponding to the image of the device under test is controlled using a computer connected to the electrical display device, eliminating the need for conventional chart sheet replacement work, increasing the efficiency of inspection work and storing chart data.・ Easy management.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態の光学的構成を示す図
である。
FIG. 1 is a diagram illustrating an optical configuration according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施形態の光学的構成を示す図
である。
FIG. 2 is a diagram illustrating an optical configuration according to a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 … 載置面 3、103 … 透過照明部(DIA:Diametr
al照明部) 5、105 … 同軸落射照明部(EPI:Episc
opic照明部) 7、21、120 … 投影レンズ 9、109 … 小ミラー 11 … ハーフミラー 13、113 … 大ミラー 15、115 … スクリーン 17、117 … 電気的表示装置(LCD:Liqu
id Crystal Display) 19 … バックライト 23、123 … 駆動回路 25、125 … パーソナルコンピュータ 102 … 対物レンズ
1 ... mounting surface 3, 103 ... transmission illumination part (DIA: Diameter)
al illumination part) 5, 105 ... coaxial incident illumination part (EPI: Episc)
7, 21, 120 ... Projection lens 9, 109 ... Small mirror 11 ... Half mirror 13, 113 ... Large mirror 15, 115 ... Screen 17, 117 ... Electric display device (LCD: Liquid)
id Crystal Display) 19 Backlight 23, 123 Drive circuit 25, 125 Personal computer 102 Objective lens

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】スクリーンと、 被測定物を載置する載置面と、 該載置面に載置された被測定物を照明する照明部と、 前記被測定物に対応するチャートを表示可能な電気的表
示装置と、 前記照明部により照明された被測定物の拡大像及び前記
電気的表示装置に表示された前記チャートの拡大像を前
記スクリーン上に重畳して表示するための拡大投影光学
系とを具備してなることを特徴とする電子チャート投影
機。
1. A screen, a mounting surface on which an object to be measured is mounted, an illumination unit for illuminating the object to be mounted mounted on the mounting surface, and a chart corresponding to the object to be measured can be displayed. Electrical display device, and an enlarged projection optical system for displaying an enlarged image of the device under test illuminated by the illumination unit and an enlarged image of the chart displayed on the electrical display device on the screen in a superimposed manner. An electronic chart projector comprising:
【請求項2】前記拡大投影光学系は、 前記被測定物の像を拡大して投影するための第1の拡大
投影光学レンズ系と、 前記電気的表示装置により表示されたチャートの像を拡
大して投影するための第2の拡大投影光学レンズ系と、 前記第1及び第2の拡大投影光学レンズ系から出射され
る光線が共通の光軸をもって前記スクリーン上に投影さ
れるよう案内する光案内装置とからなることを特徴とす
る請求項1に記載の電子チャート投影機。
2. An enlargement projection optical system, comprising: a first enlargement projection optical lens system for enlarging and projecting an image of the device under test; and an enlargement of a chart image displayed by the electric display device. A second magnifying projection optical lens system for projecting light, and light for guiding light emitted from the first and second magnifying projection optical lens systems to be projected onto the screen with a common optical axis. The electronic chart projector according to claim 1, further comprising a guide device.
【請求項3】前記拡大投影光学系は、 前記照明部により照明され,前記載置面上に支持された
被測定物の像を結像するための対物レンズを含み、 前記電気的表示装置は、前記対物レンズの中間像形成位
置に配置され、前記被測定物に対応するチャートを表示
可能であり、且つ前記照明部で照明された前記被測定物
からの光線を透過する構成であり、 前記拡大投影光学系は、前期被測定物の像と前記電気的
表示装置内に表示されたチャートの像とを拡大して前記
スクリーン上に投影するための拡大投影光学レンズ系を
具備してなることを特徴とする請求項1に記載の電子チ
ャート投影機。
3. The magnifying projection optical system includes an objective lens illuminated by the illumination unit and forming an image of an object to be measured supported on the mounting surface. It is arranged at an intermediate image forming position of the objective lens, is capable of displaying a chart corresponding to the object to be measured, and transmits light rays from the object to be illuminated by the illumination unit, The enlargement projection optical system includes an enlargement projection optical lens system for enlarging the image of the object to be measured and the image of the chart displayed in the electric display device and projecting the enlarged image on the screen. The electronic chart projector according to claim 1, wherein:
【請求項4】前記電気的表示装置は、前記チャートの表
示制御を行う制御装置を有し、 前記制御装置は、複数の被測定物に対応したチャートデ
ータを有し、 前記チャートデータに基づいた前記チャートを前記電気
的表示装置に表示可能であることを特徴とする請求項1
又は2又は3に記載の電子チャート投影機。
4. The electric display device has a control device for controlling display of the chart, the control device has chart data corresponding to a plurality of devices under test, and is based on the chart data. 2. The chart according to claim 1, wherein the chart can be displayed on the electronic display device.
Or the electronic chart projector according to 2 or 3.
【請求項5】前記電気的表示装置は、前記スクリーンに
対し前記載置面と光学的に等価な位置に配置されること
を特徴とする請求項1又は2又は4に記載の電子チャー
ト投影機。
5. The electronic chart projector according to claim 1, wherein the electric display device is disposed at a position optically equivalent to the placement surface with respect to the screen. .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012532314A (en) * 2009-07-02 2012-12-13 クオリティー ヴィジョン インターナショナル インコーポレイテッド Optical comparator with digital gauge

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