JP2002170862A - ウェハー把持装置 - Google Patents
ウェハー把持装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェハーの直径にばらつきがあってもウェハ
ー把持装置に対してウェハーの中心は一定の位置になる
ように把持できるウェハー把持装置を提供する。 【解決手段】平板状の基材３と、基材３の根元部側に取
り付けられ、基材の長さ方向に進退自在な移動子４Ａを
有する駆動手段４と、移動子４Ａに固定された第１の把
持爪５と、基材３の先端部に進退自在に取付けられると
もに、移動子４Ａにリンク機構７を介して連結された第
２の把持爪６を備え、移動子４Ａを基材３の根元から先
端に進めることにより、第１および第２の把持爪５，６
を連動し、第１および第２の把持爪５，６でウェハーＷ
の周縁部を押圧してウェハーＷを把持する。
ー把持装置に対してウェハーの中心は一定の位置になる
ように把持できるウェハー把持装置を提供する。 【解決手段】平板状の基材３と、基材３の根元部側に取
り付けられ、基材の長さ方向に進退自在な移動子４Ａを
有する駆動手段４と、移動子４Ａに固定された第１の把
持爪５と、基材３の先端部に進退自在に取付けられると
もに、移動子４Ａにリンク機構７を介して連結された第
２の把持爪６を備え、移動子４Ａを基材３の根元から先
端に進めることにより、第１および第２の把持爪５，６
を連動し、第１および第２の把持爪５，６でウェハーＷ
の周縁部を押圧してウェハーＷを把持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置
内、あるいは半導体製造装置間でウェハーの搬送を行う
ロボットのアーム先端部に取り付けられるウェハー把持
装置に関し、特に、ウェハーの周縁部を把持してウェハ
ーを支持するウェハー把持装置に関するものである。
内、あるいは半導体製造装置間でウェハーの搬送を行う
ロボットのアーム先端部に取り付けられるウェハー把持
装置に関し、特に、ウェハーの周縁部を把持してウェハ
ーを支持するウェハー把持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウェハー搬送ロボットのアームの先端部
に取り付けられて、ウェハーの把持を行う装置として、
ウェハーの周縁部を把持してウェハーを支持するように
したものが従来から知られている。このようなウェハー
把持装置の第１の従来例を図４に示す。図において、１
はロボットアームであり、２’はロボットアーム１に取
り付けられたウェハー把持装置である。ウェハー把持装
置２’は、薄板状の基材３と、基材３に取り付けられ、
進退可能な移動子４Ａを有する駆動手段４と、前記駆動
手段４の移動子４Ａに固定されて、基材３の先端部側へ
ウェハー周縁部を押圧する可動爪２１と、前記基材の先
端部に固定された固定爪２２、２２' と、基材３のウェ
ハーＷの裏面と対向する面に設けた、ウェハーＷの裏面
を支持する複数の支持座１６とから構成されている。こ
のウェハー把持装置２’は、まず、可動爪２１と固定爪
２２、２２' の間隔をウェハーＷを挿入できる広さに広
げた状態で、可動爪２１と固定爪２２、２２' の間にウ
ェハーＷを挿入し、支持座１６上に載置し、次に、前記
駆動手段４の移動子４Ａを駆動して、可動爪２１をウェ
ハーＷの周縁部に当接してウェハーＷを押し出し、さら
に、固定爪２２、２２' でウェハーＷの周縁部を受け
て、可動爪２１と固定爪２２、２２' の間でウェハーＷ
を把持するものである。次に、第２の従来例として、特
開平４−３４３４４８に記載されたウェハー把持装置を
示す。この装置は、長手方向に移動できる第１の可動指
と、第１可動指の先端部に回転自在に取り付けられ、ウ
ェハー端面に当接してウェハーを支持する支持爪と、第
１可動指と並列に設けられる第２可動指と、第２可動指
の先端部に回転自在に取り付けられ、ウェハー端面に当
接してウェハーを支持する支持爪と、第１可動指の支持
爪でウェハー端面を押して第２可動指の支持爪にウェハ
ー端面を当接し、第１および第２の可動指の前記支持爪
でウェハーを挟持する第１可動指駆動機構とを具備した
ものである。この装置によるウェハーの支持は、まず、
第１および第２可動指の支持爪の間隔を、ウェハーを挿
入できる広さに広げた状態で、第１および第２可動指の
支持爪の間にウェハーを介挿し、次に、第１可動指駆動
機構を駆動して、ウェハーに第１可動指の支持爪を接触
させて引き寄せ、さらに、第２可動指の支持爪に接触さ
せてウェハーを支持爪間で挟むようにしたものである。
に取り付けられて、ウェハーの把持を行う装置として、
ウェハーの周縁部を把持してウェハーを支持するように
したものが従来から知られている。このようなウェハー
把持装置の第１の従来例を図４に示す。図において、１
はロボットアームであり、２’はロボットアーム１に取
り付けられたウェハー把持装置である。ウェハー把持装
置２’は、薄板状の基材３と、基材３に取り付けられ、
進退可能な移動子４Ａを有する駆動手段４と、前記駆動
手段４の移動子４Ａに固定されて、基材３の先端部側へ
ウェハー周縁部を押圧する可動爪２１と、前記基材の先
端部に固定された固定爪２２、２２' と、基材３のウェ
ハーＷの裏面と対向する面に設けた、ウェハーＷの裏面
を支持する複数の支持座１６とから構成されている。こ
のウェハー把持装置２’は、まず、可動爪２１と固定爪
２２、２２' の間隔をウェハーＷを挿入できる広さに広
げた状態で、可動爪２１と固定爪２２、２２' の間にウ
ェハーＷを挿入し、支持座１６上に載置し、次に、前記
駆動手段４の移動子４Ａを駆動して、可動爪２１をウェ
ハーＷの周縁部に当接してウェハーＷを押し出し、さら
に、固定爪２２、２２' でウェハーＷの周縁部を受け
て、可動爪２１と固定爪２２、２２' の間でウェハーＷ
を把持するものである。次に、第２の従来例として、特
開平４−３４３４４８に記載されたウェハー把持装置を
示す。この装置は、長手方向に移動できる第１の可動指
と、第１可動指の先端部に回転自在に取り付けられ、ウ
ェハー端面に当接してウェハーを支持する支持爪と、第
１可動指と並列に設けられる第２可動指と、第２可動指
の先端部に回転自在に取り付けられ、ウェハー端面に当
接してウェハーを支持する支持爪と、第１可動指の支持
爪でウェハー端面を押して第２可動指の支持爪にウェハ
ー端面を当接し、第１および第２の可動指の前記支持爪
でウェハーを挟持する第１可動指駆動機構とを具備した
ものである。この装置によるウェハーの支持は、まず、
第１および第２可動指の支持爪の間隔を、ウェハーを挿
入できる広さに広げた状態で、第１および第２可動指の
支持爪の間にウェハーを介挿し、次に、第１可動指駆動
機構を駆動して、ウェハーに第１可動指の支持爪を接触
させて引き寄せ、さらに、第２可動指の支持爪に接触さ
せてウェハーを支持爪間で挟むようにしたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来のウェハー把持装置においては、次のような問題
があった。まず、第１の従来例の場合では、可動爪２１
と固定爪２２，２２' の間隔を狭めて、ウェハーＷを把
持するとき、可動爪２１のみを駆動してウェハーＷを固
定爪２２，２２' 側に押し出して把持するので、ウェハ
ーＷの直径にばらつきがあると、把持したウェハーＷに
よって、ウェハー支持装置の基準位置に対してウェハー
Ｗの中心位置がばらつく。このため、搬送先へウェハー
Ｗを載置したとき、ウェハーＷによって載置位置に位置
ずれを生じるという問題があった。また、可動爪２１と
固定爪２２，２２' の間隔を広げて把持状態を解除する
ときには、可動爪２１のみしか移動しないので、固定爪
２２，２２' はウェハーＷの周縁部に接触したままであ
る。このため、この状態で、搬送先にウェハーＷを載置
すると、ウェハーＷと固定爪２２，２２' が摩擦するの
で、パーティクルが発生し、ウェハーＷを汚染するとい
う問題があった。第２の従来例のウェハー把持装置にお
いても、第２可動指は可動とはいうものの、第１可動指
によってウェハーが引き寄せられ、ウェハーと第２可動
指の支持爪が接触した時に受動的に可動するものなの
で、把持状態を解除した時に第２可動指の支持爪はウェ
ハーの周縁部に接触したままになるので、第１の従来例
と同様に、ウェハーと支持爪の摩擦によるパーティクル
の発生という問題があった。そこで、本発明はウェハー
の直径にばらつきがあってもウェハー把持装置に対して
ウェハーの中心は一定の位置になるように把持できるウ
ェハー把持装置を提供することを目的とする。
な従来のウェハー把持装置においては、次のような問題
があった。まず、第１の従来例の場合では、可動爪２１
と固定爪２２，２２' の間隔を狭めて、ウェハーＷを把
持するとき、可動爪２１のみを駆動してウェハーＷを固
定爪２２，２２' 側に押し出して把持するので、ウェハ
ーＷの直径にばらつきがあると、把持したウェハーＷに
よって、ウェハー支持装置の基準位置に対してウェハー
Ｗの中心位置がばらつく。このため、搬送先へウェハー
Ｗを載置したとき、ウェハーＷによって載置位置に位置
ずれを生じるという問題があった。また、可動爪２１と
固定爪２２，２２' の間隔を広げて把持状態を解除する
ときには、可動爪２１のみしか移動しないので、固定爪
２２，２２' はウェハーＷの周縁部に接触したままであ
る。このため、この状態で、搬送先にウェハーＷを載置
すると、ウェハーＷと固定爪２２，２２' が摩擦するの
で、パーティクルが発生し、ウェハーＷを汚染するとい
う問題があった。第２の従来例のウェハー把持装置にお
いても、第２可動指は可動とはいうものの、第１可動指
によってウェハーが引き寄せられ、ウェハーと第２可動
指の支持爪が接触した時に受動的に可動するものなの
で、把持状態を解除した時に第２可動指の支持爪はウェ
ハーの周縁部に接触したままになるので、第１の従来例
と同様に、ウェハーと支持爪の摩擦によるパーティクル
の発生という問題があった。そこで、本発明はウェハー
の直径にばらつきがあってもウェハー把持装置に対して
ウェハーの中心は一定の位置になるように把持できるウ
ェハー把持装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明はウェハー搬送ロボットの
先端部に取り付けられて、ウェハーの把持を行うウェハ
ー把持装置において、平板状の基材と、前記基材の根元
部側に取り付けられ、前記基材の長さ方向に進退自在な
移動子を有する駆動手段と、前記移動子に固定された第
１の把持爪と、前記基材の先端部に進退自在に取付けら
れるとともに、前記移動子にリンク機構を介して連結さ
れた第２の把持爪を備え、前記移動子を前記基材の根元
から先端に進めることにより、前記第１および第２の把
持爪を連動し、前記第１および第２の把持爪でウェハー
の周縁部を押圧して前記ウェハーを把持するようにした
ものである。また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のウェハー把持装置において、前記リンク機構
を、前記移動子に固定されるとともに、先端に長穴を開
けた連結バーと、前記基材に設けた支点ピンを中心に回
動可能で、両端に第１および第２の節点ピンを有するリ
ンクと、一端に長穴を開け、他端を前記第２の把持爪に
固定したロッドからなり、前記リンクの第１の節点ピン
は前記連結バーの先端の前記長穴に差し込まれ、前記リ
ンクの第２の節点ピンは前記ロッドの前記長穴に差し込
んだものとしたものである。また、請求項３に記載の発
明は、請求項１または２に記載のウェハー把持装置にお
いて、前記基材のウェハーの裏面と対向する面に、ウェ
ハーの裏面を支持する複数の支持座を備えた構成とした
ものである。また、請求項４に記載の発明は、請求項１
から３のいずれかに記載のウェハー把持装置において、
前記第１および第２の把持爪のウェハーと当接する面
に、Ｖ字形断面あるいは矩形断面を有する溝が形成され
た構成としたものである。
めに、請求項１に記載の発明はウェハー搬送ロボットの
先端部に取り付けられて、ウェハーの把持を行うウェハ
ー把持装置において、平板状の基材と、前記基材の根元
部側に取り付けられ、前記基材の長さ方向に進退自在な
移動子を有する駆動手段と、前記移動子に固定された第
１の把持爪と、前記基材の先端部に進退自在に取付けら
れるとともに、前記移動子にリンク機構を介して連結さ
れた第２の把持爪を備え、前記移動子を前記基材の根元
から先端に進めることにより、前記第１および第２の把
持爪を連動し、前記第１および第２の把持爪でウェハー
の周縁部を押圧して前記ウェハーを把持するようにした
ものである。また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のウェハー把持装置において、前記リンク機構
を、前記移動子に固定されるとともに、先端に長穴を開
けた連結バーと、前記基材に設けた支点ピンを中心に回
動可能で、両端に第１および第２の節点ピンを有するリ
ンクと、一端に長穴を開け、他端を前記第２の把持爪に
固定したロッドからなり、前記リンクの第１の節点ピン
は前記連結バーの先端の前記長穴に差し込まれ、前記リ
ンクの第２の節点ピンは前記ロッドの前記長穴に差し込
んだものとしたものである。また、請求項３に記載の発
明は、請求項１または２に記載のウェハー把持装置にお
いて、前記基材のウェハーの裏面と対向する面に、ウェ
ハーの裏面を支持する複数の支持座を備えた構成とした
ものである。また、請求項４に記載の発明は、請求項１
から３のいずれかに記載のウェハー把持装置において、
前記第１および第２の把持爪のウェハーと当接する面
に、Ｖ字形断面あるいは矩形断面を有する溝が形成され
た構成としたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に従っ
て説明する。図１は、本発明の実施例を示す平面図であ
る。図において、１は、ウェハー搬送ロボットのロボッ
トアームであり、２はロボットアーム１の先端に取り付
けられたウェハー把持装置である。ウェハー把持装置２
は先端が二股に分かれた薄平板からなる基材３を有す
る。４は基材３の根元部側に取り付けられた駆動手段４
であり、駆動手段４は基材３の根元部から先端部に向け
て自在に進退する移動子４Ａを備えている。駆動手段４
は、たとえば空気圧式のエアシリンダ、電磁式のリニア
モータ、あるいは超音波リニアモータなどを用いること
ができる。移動子４Ａには、基材３の先端部側へウェハ
ーＷの周縁部を押圧する第１の把持爪５が固定されてお
り、基材３の先端部側には、基材３の根元部側へウェハ
ーＷの周縁部を押圧する第２の把持爪６，６' が取り付
けられている。７，７' は移動子４Ａに一端を連結し、
他端を第２の把持爪６、６' に連結したリンク機構であ
る。リンク機構７，７' は、それぞれ、移動子４Ａに固
定された連結バー８と、第２の把持爪６，６' に連結し
たロッド９，９’と、基材３に設けた支点ピン１０，１
０’を中心に回動可能で、両端に第１および第２の節点
ピン１１，１１’，１２，１２’を有するリンク１３，
１３’とからなり、前記リンク１３，１３’の一端を前
記第１の節点ピン１１，１１’を前記連結バー８，８’
の先端に開けた長穴に差し込んで連結し、前記リンク１
３，１３’の他端を前記第２の節点ピン１２，１２’を
ロッド９，９’の一端に開けた長穴に差し込んで連結し
ている。なお、第２の把持爪６，６' は、ロッド９，
９’をガイド１４，１４，１５，１５’で支持すること
により、ロッド９，９’の長手方向にのみ進退可能とな
っている。１６は、基材３のウェハーＷの裏面と対向す
る面に設けた、ウェハーＷの裏面を支持する複数の支持
座である。
て説明する。図１は、本発明の実施例を示す平面図であ
る。図において、１は、ウェハー搬送ロボットのロボッ
トアームであり、２はロボットアーム１の先端に取り付
けられたウェハー把持装置である。ウェハー把持装置２
は先端が二股に分かれた薄平板からなる基材３を有す
る。４は基材３の根元部側に取り付けられた駆動手段４
であり、駆動手段４は基材３の根元部から先端部に向け
て自在に進退する移動子４Ａを備えている。駆動手段４
は、たとえば空気圧式のエアシリンダ、電磁式のリニア
モータ、あるいは超音波リニアモータなどを用いること
ができる。移動子４Ａには、基材３の先端部側へウェハ
ーＷの周縁部を押圧する第１の把持爪５が固定されてお
り、基材３の先端部側には、基材３の根元部側へウェハ
ーＷの周縁部を押圧する第２の把持爪６，６' が取り付
けられている。７，７' は移動子４Ａに一端を連結し、
他端を第２の把持爪６、６' に連結したリンク機構であ
る。リンク機構７，７' は、それぞれ、移動子４Ａに固
定された連結バー８と、第２の把持爪６，６' に連結し
たロッド９，９’と、基材３に設けた支点ピン１０，１
０’を中心に回動可能で、両端に第１および第２の節点
ピン１１，１１’，１２，１２’を有するリンク１３，
１３’とからなり、前記リンク１３，１３’の一端を前
記第１の節点ピン１１，１１’を前記連結バー８，８’
の先端に開けた長穴に差し込んで連結し、前記リンク１
３，１３’の他端を前記第２の節点ピン１２，１２’を
ロッド９，９’の一端に開けた長穴に差し込んで連結し
ている。なお、第２の把持爪６，６' は、ロッド９，
９’をガイド１４，１４，１５，１５’で支持すること
により、ロッド９，９’の長手方向にのみ進退可能とな
っている。１６は、基材３のウェハーＷの裏面と対向す
る面に設けた、ウェハーＷの裏面を支持する複数の支持
座である。
【０００６】次に、上記のように構成されたウェハー把
持装置２の動作について説明する。まず、移動子４Ａの
位置を調整して、第１および第２の把持爪５，６，６'
の間にウェハーＷを挿入できるように広げておく。この
状態で、ウェハーＷを第１および第２の把持爪５，６，
６' の間に挿入し、支持座１６上に載置して、駆動手段
４の移動子４Ａを基材３の先端部側、すなわち、図１の
１７Ａの方向に移動させる。このとき、第１の把持爪５
は、移動子４に直接固定されているので、移動子４とと
もに１７Ａの方向に移動する。同時に、第２の把持爪
６，６' は、リンク機構７，７' を介して移動子４Ａに
連結されているので、移動子４が１７Ａの方向に移動す
ると、図１の１８Ａの方向に移動する。よって、移動子
４Ａが１７Ａの方向に移動するにしたがって、把持爪
５，６，６' の間隔は狭まっていき、やがて、それぞれ
の把持爪がウェハーＷの周縁部と当接し、ウェハーＷが
把持される。把持したウェハーの解除は、上記把持動作
の逆であり、駆動手段４の移動子４Ａを基材３の根元部
側、すなわち、図１の１７Ｂの方向に移動させると、把
持爪５，６，６' の間隔が広がり、ウェハーＷの把持が
解除される。このように移動子４Ａを１７Ａの方向に移
動させることにより、第１および第２の把持爪５，６，
６' が連動し、全ての把持爪が可動してウェハーＷを把
持するので、ウェハーＷが一方の把持爪側に片寄ったの
ち、把持されるということがない。したがって、ウェハ
ーＷの直径にばらつきがあっても、ウェハー把持装置２
のある基準位置に対してウェハーＷの中心位置は一定と
なり、搬送先へウェハーＷを精度良く載置することがで
きる。さらに、ウェハーＷを把持するとき、基材３に設
けた支持座１６上に一旦ウェハーＷを置いたのち、駆動
手段４の移動子４Ａを駆動して、ウェハーＷを把持する
ので、第１および第２の把持爪５，６，６' に対して、
ウェハーＷの位置が常に一定に保たれ、ウェハーＷを確
実に把持することができ、搬送の信頼性が向上する。ま
た、ウェハーＷの把持状態を解除する際は、駆動手段４
の移動子４Ａを１７Ｂの方向に移動させることにより、
第１および第２の把持爪５，６，６' が連動し、全ての
把持爪がウェハーＷから回避する。したがって、搬送先
にウェハーＷを載置するとき、ウェハーＷと把持爪５，
６，６' が摩擦しないので、パーティクルが発生するこ
とがなく、ウェハーＷを汚染するということがない。
持装置２の動作について説明する。まず、移動子４Ａの
位置を調整して、第１および第２の把持爪５，６，６'
の間にウェハーＷを挿入できるように広げておく。この
状態で、ウェハーＷを第１および第２の把持爪５，６，
６' の間に挿入し、支持座１６上に載置して、駆動手段
４の移動子４Ａを基材３の先端部側、すなわち、図１の
１７Ａの方向に移動させる。このとき、第１の把持爪５
は、移動子４に直接固定されているので、移動子４とと
もに１７Ａの方向に移動する。同時に、第２の把持爪
６，６' は、リンク機構７，７' を介して移動子４Ａに
連結されているので、移動子４が１７Ａの方向に移動す
ると、図１の１８Ａの方向に移動する。よって、移動子
４Ａが１７Ａの方向に移動するにしたがって、把持爪
５，６，６' の間隔は狭まっていき、やがて、それぞれ
の把持爪がウェハーＷの周縁部と当接し、ウェハーＷが
把持される。把持したウェハーの解除は、上記把持動作
の逆であり、駆動手段４の移動子４Ａを基材３の根元部
側、すなわち、図１の１７Ｂの方向に移動させると、把
持爪５，６，６' の間隔が広がり、ウェハーＷの把持が
解除される。このように移動子４Ａを１７Ａの方向に移
動させることにより、第１および第２の把持爪５，６，
６' が連動し、全ての把持爪が可動してウェハーＷを把
持するので、ウェハーＷが一方の把持爪側に片寄ったの
ち、把持されるということがない。したがって、ウェハ
ーＷの直径にばらつきがあっても、ウェハー把持装置２
のある基準位置に対してウェハーＷの中心位置は一定と
なり、搬送先へウェハーＷを精度良く載置することがで
きる。さらに、ウェハーＷを把持するとき、基材３に設
けた支持座１６上に一旦ウェハーＷを置いたのち、駆動
手段４の移動子４Ａを駆動して、ウェハーＷを把持する
ので、第１および第２の把持爪５，６，６' に対して、
ウェハーＷの位置が常に一定に保たれ、ウェハーＷを確
実に把持することができ、搬送の信頼性が向上する。ま
た、ウェハーＷの把持状態を解除する際は、駆動手段４
の移動子４Ａを１７Ｂの方向に移動させることにより、
第１および第２の把持爪５，６，６' が連動し、全ての
把持爪がウェハーＷから回避する。したがって、搬送先
にウェハーＷを載置するとき、ウェハーＷと把持爪５，
６，６' が摩擦しないので、パーティクルが発生するこ
とがなく、ウェハーＷを汚染するということがない。
【０００７】図２はウェハー把持装置２を図１のＸ−Ｘ
線で切断した断面図であり、図３は、同じくＹ−Ｙ線で
切断した断面図である。図２および第３図に示すよう
に、第１の把持爪５および第２把持爪６，６' のウェハ
ーＷと当接する面５Ａ，６Ａ，６Ａ' には、Ｖ字形断面
を有する溝を形成している。この溝はウェハーの厚さに
多少の余裕を加えた幅を持つ矩形断面を持つ溝であって
もよい。ウェハー把持装置２でウェハーＷを把持するす
るとき、ウェハーＷの周縁部と第１および第２の把持爪
の５，６，６' 面に形成した前記溝が係合するので、ウ
ェハーＷは水平方向のみならず、垂直方向にも拘束され
る。したがって、ウェハーＷの垂直方向の位置が常に一
定に保たれるとともに、ウェハーＷの落下の危険性がな
くなり、搬送の信頼性が向上する。また、ウェハーＷの
落下の危険性がないので、ウェハーＷを垂直状態で搬送
したり、ウェハーＷを反転して載置することが容易であ
る。一方、ウェハーＷの把持状態を解除してウェハーＷ
を載置するときは、全ての把持爪がウェハーＷから遠ざ
かるので、ウェハーＷと把持爪５，６，６' の前記溝と
の係合もなくなる。したがってウェハーＷの擦れによっ
てパーティクルが発生するという問題も起きない。
線で切断した断面図であり、図３は、同じくＹ−Ｙ線で
切断した断面図である。図２および第３図に示すよう
に、第１の把持爪５および第２把持爪６，６' のウェハ
ーＷと当接する面５Ａ，６Ａ，６Ａ' には、Ｖ字形断面
を有する溝を形成している。この溝はウェハーの厚さに
多少の余裕を加えた幅を持つ矩形断面を持つ溝であって
もよい。ウェハー把持装置２でウェハーＷを把持するす
るとき、ウェハーＷの周縁部と第１および第２の把持爪
の５，６，６' 面に形成した前記溝が係合するので、ウ
ェハーＷは水平方向のみならず、垂直方向にも拘束され
る。したがって、ウェハーＷの垂直方向の位置が常に一
定に保たれるとともに、ウェハーＷの落下の危険性がな
くなり、搬送の信頼性が向上する。また、ウェハーＷの
落下の危険性がないので、ウェハーＷを垂直状態で搬送
したり、ウェハーＷを反転して載置することが容易であ
る。一方、ウェハーＷの把持状態を解除してウェハーＷ
を載置するときは、全ての把持爪がウェハーＷから遠ざ
かるので、ウェハーＷと把持爪５，６，６' の前記溝と
の係合もなくなる。したがってウェハーＷの擦れによっ
てパーティクルが発生するという問題も起きない。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明には次のよう
な効果がある。請求項１または２に記載の発明によれ
ば、移動子を前進させることにより、第１および第２の
把持爪が連動してウェハーを把持するので、ウェハーが
一方の把持爪側に引き寄せられて把持されるということ
がない。したがって、ウェハーの直径にばらつきがあっ
ても、ウェハー把持装置の基準位置に対してウェハーの
中心位置は一定となり、搬送先へウェハーを精度良く載
置することができる。また、ウェハーの把持状態を解除
する際は、駆動手段の移動子を後退させることにより、
第１および第２の把持爪が連動して回避する。したがっ
て、搬送先にウェハーを載置するとき、ウェハーと把持
爪の擦れがないので、パーティクルが発生することがな
く、パーティクルによるウェハーの汚染がない。請求項
３に記載の発明によれば、請求項１または２に記載の発
明の効果に加えて、ウェハーを把持するとき、基材に設
けた支持座上に一旦ウェハーを置いたのち、ウェハーを
把持することができるので、第１および第２の把持爪に
対して、ウェハーの垂直方向の位置が常に一定に保た
れ、ウェハーを確実に把持することができ、搬送の信頼
性が向上する。請求項４に記載の発明によれば、請求項
１から３のいずれかに記載の発明の効果に加えて、ウェ
ハーの周縁部を第１および第２の把持爪により把持する
とき、ウェハーの周縁部と、第１および第２の把持爪に
形成したＶ字形断面あるいは矩形断面を有する溝が係合
し、ウェハーは水平方向のみならず、垂直方向にも拘束
される。したがって、ウェハーの垂直方向の位置が常に
一定に保たれるとともに、ウェハーの落下の危険性がな
くなり、搬送の信頼性が向上する。またウェハーを垂直
状態で搬送したり、ウェハーを反転して載置することも
容易になる。
な効果がある。請求項１または２に記載の発明によれ
ば、移動子を前進させることにより、第１および第２の
把持爪が連動してウェハーを把持するので、ウェハーが
一方の把持爪側に引き寄せられて把持されるということ
がない。したがって、ウェハーの直径にばらつきがあっ
ても、ウェハー把持装置の基準位置に対してウェハーの
中心位置は一定となり、搬送先へウェハーを精度良く載
置することができる。また、ウェハーの把持状態を解除
する際は、駆動手段の移動子を後退させることにより、
第１および第２の把持爪が連動して回避する。したがっ
て、搬送先にウェハーを載置するとき、ウェハーと把持
爪の擦れがないので、パーティクルが発生することがな
く、パーティクルによるウェハーの汚染がない。請求項
３に記載の発明によれば、請求項１または２に記載の発
明の効果に加えて、ウェハーを把持するとき、基材に設
けた支持座上に一旦ウェハーを置いたのち、ウェハーを
把持することができるので、第１および第２の把持爪に
対して、ウェハーの垂直方向の位置が常に一定に保た
れ、ウェハーを確実に把持することができ、搬送の信頼
性が向上する。請求項４に記載の発明によれば、請求項
１から３のいずれかに記載の発明の効果に加えて、ウェ
ハーの周縁部を第１および第２の把持爪により把持する
とき、ウェハーの周縁部と、第１および第２の把持爪に
形成したＶ字形断面あるいは矩形断面を有する溝が係合
し、ウェハーは水平方向のみならず、垂直方向にも拘束
される。したがって、ウェハーの垂直方向の位置が常に
一定に保たれるとともに、ウェハーの落下の危険性がな
くなり、搬送の信頼性が向上する。またウェハーを垂直
状態で搬送したり、ウェハーを反転して載置することも
容易になる。
【図１】本発明の実施例を示すウェハー把持装置の平面
図である。
図である。
【図２】本発明の実施例を示すウェハー把持装置を図１
におけるＸ−Ｘ線で切った断面図である。
におけるＸ−Ｘ線で切った断面図である。
【図３】本発明の実施例を示すウェハー把持装置を図１
におけるＹ−Ｙ線で切った断面図である。
におけるＹ−Ｙ線で切った断面図である。
【図４】第１の従来例を示すウェハー把持装置の平面図
である。
である。
１：ロボットアーム ２，２’：ウェハー把持装置 ３：基材 ４：駆動手段 ４Ａ：移動子 ５：第１の把持爪 ６，６' ：第２の把持爪 ７，７' ：リンク機構 ８：連結バー ９：ロッド １０：支点ピン １１：第１の節点ピン １２：第２の節点ピン １３：リンク １４，１５：ガイド １６：支持座 １７Ａ，１７Ｂ：移動子、または、第１の把持爪の移動
の向き １８Ａ，１８Ｂ：第２の把持爪の移動の向き ２１：可動爪 ２２，２２' ：固定爪 Ｗ：ウェハー
の向き １８Ａ，１８Ｂ：第２の把持爪の移動の向き ２１：可動爪 ２２，２２' ：固定爪 Ｗ：ウェハー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 DS01 ES04 ET08 EU07 EV07 EW03 HS12 HS24 NS09 NS11 NS17 3F061 AA01 BA04 BB08 BC09 BD01 BD05 BE12 BF04 DB00 DB04 DB06 5F031 CA02 FA01 FA07 GA06 GA10 GA13 GA14 GA15 GA38 KA11 LA08 LA15 PA16 PA26
Claims (4)
- 【請求項１】ウェハー搬送ロボットの先端部に取り付け
られて、ウェハーの把持を行うウェハー把持装置におい
て、 平板状の基材と、前記基材の根元部側に取り付けられ、
前記基材の長さ方向に進退自在な移動子を有する駆動手
段と、前記移動子に固定された第１の把持爪と、前記基
材の先端部に進退自在に取付けられるとともに、前記移
動子にリンク機構を介して連結された第２の把持爪を備
え、前記移動子を前記基材の根元から先端に進めること
により、前記第１および第２の把持爪を連動し、前記第
１および第２の把持爪でウェハーの周縁部を押圧して前
記ウェハーを把持することを特徴とするウェハー把持装
置。 - 【請求項２】前記リンク機構は、前記移動子に固定され
るとともに、先端に長穴を開けた連結バーと、前記基材
に設けた支点ピンを中心に回動可能で、両端に第１およ
び第２の節点ピンを有するリンクと、一端に長穴を開
け、他端を前記第２の把持爪に固定したロッドからな
り、前記リンクの第１の節点ピンは前記連結バーの先端
の前記長穴に差し込まれ、前記リンクの第２の節点ピン
は前記ロッドの前記長穴に差し込まれていることを特徴
とする請求項１に記載のウェハー把持装置。 - 【請求項３】前記基材のウェハーの裏面と対向する面
に、ウェハーの裏面を支持する複数の支持座を備えたこ
とを特徴とする請求項１、または、２のいずれかに記載
のウェハー把持装置。 - 【請求項４】前記第１および第２の把持爪は、ウェハー
と当接する面に、それぞれ、Ｖ字形断面あるいは矩形断
面を有する溝が形成されていることを特徴とする請求項
１から３のいずれかに記載のウェハー把持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000367615A JP2002170862A (ja) | 2000-12-01 | 2000-12-01 | ウェハー把持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000367615A JP2002170862A (ja) | 2000-12-01 | 2000-12-01 | ウェハー把持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002170862A true JP2002170862A (ja) | 2002-06-14 |
Family
ID=18838007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000367615A Pending JP2002170862A (ja) | 2000-12-01 | 2000-12-01 | ウェハー把持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002170862A (ja) |
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- 2000-12-01 JP JP2000367615A patent/JP2002170862A/ja active Pending
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