JP2002151235A - Manufacturing method of ceramic heater - Google Patents

Manufacturing method of ceramic heater

Info

Publication number
JP2002151235A
JP2002151235A JP2000339161A JP2000339161A JP2002151235A JP 2002151235 A JP2002151235 A JP 2002151235A JP 2000339161 A JP2000339161 A JP 2000339161A JP 2000339161 A JP2000339161 A JP 2000339161A JP 2002151235 A JP2002151235 A JP 2002151235A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating element
resistance heating
ceramic substrate
ceramic
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000339161A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Kariya
悟 苅谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP2000339161A priority Critical patent/JP2002151235A/en
Publication of JP2002151235A publication Critical patent/JP2002151235A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Surface Heating Bodies (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a ceramic heater which can suppress first pulse energy and prevent a conductive layer or a heating element pattern from being trimmed more than necessary as well as to prevent a ceramic substrate from a deep scar. SOLUTION: The method of manufacturing a ceramic heater is, after forming a resistance heating element of a predetermined pattern on the surface of a ceramic substrate, to irradiate laser light on the resistance heating element to form a groove or a notch and to adjust resistance value of the resistance heating element. The laser light is to be pulse light, the frequency of which is to be not more than 2 kHz.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、主に、半導体の製
造や検査のために用いられるセラミックヒータ（ホット
プレート）の製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a ceramic heater (hot plate) mainly used for manufacturing and inspecting semiconductors.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、エッチング装置や化学的気相成長
装置等を含む半導体製造・検査装置等として、ステンレ
ス鋼やアルミニウム合金などの金属製基材を用いたヒー
タやウエハプローバ等が用いられてきた。2. Description of the Related Art Conventionally, heaters and wafer probers using a metal base material such as stainless steel or an aluminum alloy have been used as semiconductor manufacturing / inspection devices including etching devices and chemical vapor deposition devices. Was.

【０００３】しかし、金属製のヒータは、ヒータ板が厚
いため、ヒータの重量が重く、嵩張る等の問題があり、
さらに、これらに起因して温度追従性にも問題があっ
た。However, since the heater made of metal has a thick heater plate, there is a problem that the heater is heavy and bulky.
Further, there is a problem in the temperature followability due to these.

【０００４】そこで、特開平１１−４０３３０号公報等
には、基板として、熱伝導率が高く、強度も大きい窒化
物セラミックや炭化物セラミックを使用し、これらのセ
ラミックからなる板状体（セラミック基板）の表面に、
金属粒子を焼結して形成した発熱体を設けてなるセラミ
ックヒータが開示されている。Therefore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-40330 discloses a plate-like body (ceramic substrate) made of a nitride ceramic or a carbide ceramic having a high thermal conductivity and a high strength as a substrate. On the surface of
A ceramic heater provided with a heating element formed by sintering metal particles is disclosed.

【０００５】このような、セラミックヒータを製造する
際に抵抗発熱体を形成する方法としては、従来、所定形
状のセラミック基板を製造した後、スクリーン印刷等の
方法を用いた塗布法により抵抗発熱体を形成する方法
や、スパッタリング等の物理的蒸着法やめっき法を用い
て抵抗発熱体を形成する方法があった。As a method of forming a resistance heating element when manufacturing such a ceramic heater, conventionally, a ceramic substrate having a predetermined shape is manufactured, and then the resistance heating element is formed by a coating method using a method such as screen printing. And a method of forming a resistance heating element using a physical vapor deposition method such as sputtering or a plating method.

【０００６】塗布法により抵抗発熱体を形成する方法で
は、所定形状のセラミック基板を製造した後、このセラ
ミック基板の表面に、スクリーン印刷等の方法を用いて
発熱体パターンの導体ペースト層を形成し、加熱、焼成
を行って、抵抗発熱体を形成していた。In the method of forming a resistance heating element by a coating method, a ceramic substrate having a predetermined shape is manufactured, and then a conductor paste layer of a heating element pattern is formed on the surface of the ceramic substrate by a method such as screen printing. , Heating and baking to form a resistance heating element.

【０００７】しかし、この方法では、比較的低コストで
抵抗発熱体を形成することができるものの、精密なパタ
ーンを作製しようとすると、印刷時のわずかなミスで短
絡等が発生してしまい、精密なパターンの抵抗発熱体を
形成するのが難しいという問題があった。また、印刷の
厚さがばらつくため抵抗値にばらつきが発生するという
問題を抱えていた。However, in this method, although a resistance heating element can be formed at a relatively low cost, when a precise pattern is to be produced, a short circuit or the like occurs due to a slight mistake at the time of printing. There is a problem that it is difficult to form a resistive heating element having a simple pattern. Further, there is a problem that the resistance value varies due to the variation in the thickness of printing.

【０００８】また、スパッタリング等の物理的蒸着法や
めっき法を用いて抵抗発熱体を形成する方法では、所定
形状のセラミック基板を製造した後、セラミック基板の
所定領域に、これらの方法により金属層を形成してお
き、その後、発熱体パターンの部分を覆うようにエッチ
ングレジストを形成した後、エッチング処理を施すこと
により、所定パターンの抵抗発熱体を形成したり、ま
た、初めに、発熱体パターン以外の部分を樹脂等で被覆
しておき、この後、上記処理を施すことにより、一度の
処理でセラミック基板の表面に所定パターンの抵抗発熱
体を形成していた。In a method of forming a resistance heating element using a physical vapor deposition method such as sputtering or a plating method, after a ceramic substrate having a predetermined shape is manufactured, a metal layer is formed on a predetermined region of the ceramic substrate by these methods. After that, an etching resist is formed so as to cover a portion of the heating element pattern, and then an etching process is performed to form a resistance heating element having a predetermined pattern. The other parts are covered with a resin or the like, and thereafter, the above-described processing is performed, thereby forming a predetermined pattern of the resistance heating element on the surface of the ceramic substrate by one processing.

【０００９】しかし、この、スパッタリングやめっき等
の方法では、精密なパターンを形成することができるも
のの、所定パターンの抵抗発熱体を形成するために、セ
ラミック基板表面にフォトリソグラフィーの手法を用い
てエッチングレジストやめっきレジスト等を形成する必
要があるため、コストが高くつくという問題があった。[0009] However, in this method such as sputtering or plating, a precise pattern can be formed. However, in order to form a resistive heating element having a predetermined pattern, the surface of the ceramic substrate is etched using a photolithography technique. Since it is necessary to form a resist, a plating resist and the like, there has been a problem that the cost is high.

【００１０】これらの問題を解決するための方法とし
て、精密な発熱体パターンを比較的低コストで形成する
ことをができるという利点を持つ方法、つまり、所定幅
の帯状または円環形状の導体層を形成した後、レーザ光
照射装置等を用い、発熱体パターン以外の部分を除去す
ることにより、精密な発熱体パターンの形成を行なった
り、上記方法により抵抗発熱体を形成した後、レーザ光
を照射することにより、抵抗発熱体の厚みを調整した
り、抵抗発熱体の一部を除去することで抵抗値を調整す
る方法が行なわれてきた。As a method for solving these problems, there is a method having an advantage that a precise heating element pattern can be formed at a relatively low cost, that is, a strip-shaped or annular conductor layer having a predetermined width. After forming, a precise heating element pattern is formed by removing portions other than the heating element pattern using a laser light irradiation device or the like, or after forming a resistance heating element by the above method, the laser beam is irradiated. Irradiation has been used to adjust the thickness of the resistance heating element, or to remove a part of the resistance heating element to adjust the resistance value.

【００１１】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このレ
ーザー光を用いた照射でのトリミングの際、レーザーパ
ルスの周波数を高くしすぎると、いわゆるファーストパ
ルスのエネルギーが高くなり過ぎ、導体層または発熱体
パターンが必要以上にトリミングされてしまい、場合に
よってはセラミック基板にも深い傷がついてしまうこと
があった。However, if the frequency of the laser pulse is too high during the trimming by the irradiation using the laser light, the energy of the so-called first pulse becomes too high, and the conductor layer or the heating element pattern becomes too high. Was trimmed more than necessary, and in some cases, the ceramic substrate was deeply damaged.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上述した
問題点に鑑み、鋭意研究を行った結果、レーザーパルス
の周波数を２ｋＨｚ以下にすることにより、ファースト
パルスのエネルギーを低く抑えることができ、導体層ま
たは発熱体パターンが必要以上にトリミングされたり、
セラミック基板に深い傷がついてしまうことを防止する
ことができることを見いだした。Means for Solving the Problems In view of the above-mentioned problems, the present inventors have conducted intensive studies and as a result, it has been found that the energy of the first pulse can be suppressed low by setting the frequency of the laser pulse to 2 kHz or less. The conductor layer or heating element pattern is trimmed more than necessary,
It has been found that it is possible to prevent deep scratches on the ceramic substrate.

【００１３】すなわち、第一の本発明のセラミックヒー
タの製造方法は、セラミック基板の表面に所定パターン
の抵抗発熱体を形成した後、上記抵抗発熱体にレーザ光
を照射して溝または切欠を形成し、抵抗発熱体の抵抗値
を調整するセラミックヒータの製造方法であって、上記
レーザ光は、パルス光であり、上記パルス光の周波数
は、２ｋＨｚ以下であることを特徴とするものである。That is, according to the first method of manufacturing a ceramic heater of the present invention, after forming a resistance heating element of a predetermined pattern on the surface of a ceramic substrate, the resistance heating element is irradiated with laser light to form a groove or a notch. A method of manufacturing a ceramic heater for adjusting a resistance value of a resistance heating element, wherein the laser light is pulsed light, and the frequency of the pulsed light is 2 kHz or less.

【００１４】また、第二の本発明のセラミックヒータの
製造方法は、セラミック基板表面の所定領域に帯状また
は円環状の導体層を形成した後、レーザ光を照射して上
記導体層の一部をトリミングし、所定パターンの抵抗発
熱体を形成するセラミックヒータの製造方法であって、
上記レーザ光は、パルス光であり、上記パルス光の周波
数は、２ｋＨｚ以下であることを特徴とするものであ
る。According to a second method of manufacturing a ceramic heater according to the present invention, a band-shaped or annular conductor layer is formed on a predetermined region of a ceramic substrate surface, and then a part of the conductor layer is irradiated by irradiating a laser beam. A method for manufacturing a ceramic heater that trims and forms a resistance heating element having a predetermined pattern,
The laser light is pulsed light, and the frequency of the pulsed light is 2 kHz or less.

【００１５】第一および第二の本発明では、レーザ光の
周波数は、２ｋＨｚ以下であることが必要である。バイ
トサイズ（レーザのある時間のスポット位置と次のパル
スで形成されるスポット位置の距離）が一定であれば、
周波数は大きい方がよいが、２ｋＨｚを超えると、ファ
ーストパルスが大きくなり、設定した大きさよりも大き
な溝が形成され、抵抗発熱体の抵抗値の制御ができず、
加熱面のばらつきが大きくなる。しかし、第一および第
二の本発明において使用するレーザパルス光の周波数
は、２ｋＨｚ以下であるため、ファーストパルスのエネ
ルギーを低く抑えることができ、導体層や発熱体パター
ンが必要以上にトリミングされてしまうことを防止する
ことができる。上記レーザ光の周波数は、１ｋＨｚ以下
であることが望ましい。ファーストパルスの影響が殆ど
なく、ほぼ設定した通りの溝や切欠が形成され、かつ、
セラミック基板に損傷を与えることもないからである。In the first and second aspects of the present invention, the frequency of the laser beam needs to be 2 kHz or less. If the byte size (the distance between the spot position at a certain time of the laser and the spot position formed by the next pulse) is constant,
It is better that the frequency is large, but if it exceeds 2 kHz, the first pulse becomes large, a groove larger than the set size is formed, and the resistance value of the resistance heating element cannot be controlled.
Variations in the heating surface increase. However, since the frequency of the laser pulse light used in the first and second inventions is 2 kHz or less, the energy of the first pulse can be kept low, and the conductor layer and the heating element pattern are trimmed more than necessary. Can be prevented. The frequency of the laser light is desirably 1 kHz or less. There is almost no influence of the first pulse, grooves and notches are formed almost as set, and
This is because the ceramic substrate is not damaged.

【００１６】また、第一の本発明のセラミックヒータの
製造方法によれば、レーザ光を用いて抵抗値を調整する
ため、比較的短時間で精密に抵抗値を調整することがで
き、これにより、半導体ウエハ等を加熱する面（以下、
加熱面という）の温度を均一にすることができ、半導体
ウエハ等の被加熱物を均一な温度で加熱することができ
る。According to the first method for manufacturing a ceramic heater of the present invention, the resistance value is adjusted using a laser beam, so that the resistance value can be adjusted precisely in a relatively short time. , The surface that heats the semiconductor wafer, etc.
(Referred to as a heating surface) can be made uniform, and an object to be heated such as a semiconductor wafer can be heated at a uniform temperature.

【００１７】また、第二の本発明のセラミックヒータの
製造方法によれば、比較的短時間で容易に、抵抗発熱体
パターンを形成することが可能となり、製造コストを抑
えることができるとともに、複雑で精密なパターンを形
成することが可能となる。従って、このような発熱体パ
ターンを有するセラミックヒータは、比較的安価なもの
になるとともに、複雑かつ精密なパターンを有し、加熱
面の温度を精度良く均一にすることができる。Further, according to the second method of manufacturing a ceramic heater of the present invention, it is possible to easily form a resistance heating element pattern in a relatively short time, thereby reducing the manufacturing cost and increasing the complexity. Thus, a precise pattern can be formed. Therefore, the ceramic heater having such a heating element pattern is relatively inexpensive, has a complicated and precise pattern, and can make the temperature of the heating surface uniform with high accuracy.

【００１８】[0018]

【発明の実施の形態】第一の本発明のセラミックヒータ
の製造方法は、セラミック基板の表面に所定パターンの
抵抗発熱体を形成した後、上記抵抗発熱体にレーザ光を
照射して溝または切欠を形成し、抵抗発熱体の抵抗値を
調整するセラミックヒータの製造方法であって、上記レ
ーザ光は、パルス光であり、上記パルス光の周波数は、
２ｋＨｚ以下であることを特徴とする。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In a first method of manufacturing a ceramic heater according to the present invention, a resistive heating element having a predetermined pattern is formed on a surface of a ceramic substrate, and then the resistive heating element is irradiated with a laser beam to form a groove or a notch. Forming a ceramic heater for adjusting the resistance value of the resistance heating element, wherein the laser light is pulsed light, and the frequency of the pulsed light is
The frequency is 2 kHz or less.

【００１９】また、第二の本発明のセラミックヒータの
製造方法は、セラミック基板表面の所定領域に帯状また
は円環状の導体層を形成した後、レーザ光を照射して前
記導体層の一部をトリミングし、所定パターンの抵抗発
熱体を形成するセラミックヒータの製造方法であって、
前記レーザ光は、パルス光であり、前記パルス光の周波
数は、２ｋＨｚ以下であることを特徴とする。Further, in a second method of manufacturing a ceramic heater according to the present invention, a band-shaped or annular conductor layer is formed on a predetermined region of a ceramic substrate surface, and then a part of the conductor layer is irradiated by irradiating a laser beam. A method for manufacturing a ceramic heater that trims and forms a resistance heating element having a predetermined pattern,
The laser light is pulsed light, and the frequency of the pulsed light is 2 kHz or less.

【００２０】第一の本発明では、所定パターンに形成さ
れた抵抗発熱体の抵抗値を調整し、また、第二の本発明
では、レーザ光を照射して前記導体層の一部を除去し、
抵抗発熱体パターンを形成する点で異なる。しかしなが
ら、セラミック基板の特定領域にレーザ光を照射し、照
射した部分の導体層（抵抗発熱体）を除去する点では共
通し、同じレーザトリミング装置を使用することができ
る。In the first aspect of the present invention, the resistance value of the resistance heating element formed in a predetermined pattern is adjusted, and in the second aspect of the present invention, a part of the conductor layer is removed by irradiating a laser beam. ,
The difference is that a resistance heating element pattern is formed. However, the same laser trimming device can be used in common in that a specific region of the ceramic substrate is irradiated with laser light and the irradiated portion of the conductor layer (resistance heating element) is removed.

【００２１】従って、以下において、別々に説明する必
要がある場合を除いて、上記した二つの発明を同時に説
明していくことにし、二つの発明を区別する必要がない
場合には、単に本発明ということにする。Accordingly, in the following, the two inventions described above will be described at the same time, except for the case where they need to be described separately. If there is no need to distinguish between the two inventions, the present invention is simply described. I will say that.

【００２２】まず、本発明に係るセラミックヒータの製
造方法において、レーザトリミングを行う際に用いられ
るトリミング装置について説明し、続いて、この装置を
用いたレーザトリミングについて説明する。First, in the method of manufacturing a ceramic heater according to the present invention, a trimming apparatus used for performing laser trimming will be described, and then laser trimming using this apparatus will be described.

【００２３】図１は、本発明のセラミックヒータの製造
に用いるレーザトリミング装置の概要を示すブロック図
である。レーザトリミングを行う際には、図１に示した
ように、形成する抵抗発熱体の回路を含むように、所定
幅の同心円形状（円環形状）に導体層１２ｍが形成され
ているか、または、所定パターンの抵抗発熱体が形成さ
れたセラミック基板１１をステージ１０ｃ上に固定す
る。FIG. 1 is a block diagram showing an outline of a laser trimming apparatus used for manufacturing a ceramic heater according to the present invention. When performing laser trimming, as shown in FIG. 1, the conductor layer 12m is formed in a concentric shape (annular shape) having a predetermined width so as to include the circuit of the resistance heating element to be formed, or The ceramic substrate 11 on which a resistance heating element of a predetermined pattern is formed is fixed on the stage 10c.

【００２４】このステージ１０ｃには、モータ等（図示
せず）が設けられているとともに、このモータ等は制御
部１７に接続されており、制御部１７からの信号でモー
タ等を駆動させることにより、ステージ１０ｃをθ方向
（セラミック基板の回転方向）およびｘ−ｙ方向に自由
に移動させることができるようになっている。The stage 10c is provided with a motor and the like (not shown). The motor and the like are connected to the control unit 17, and the motor and the like are driven by a signal from the control unit 17. , The stage 10c can be freely moved in the θ direction (the rotation direction of the ceramic substrate) and the xy direction.

【００２５】一方、このステージ１０ｃの上方には、ガ
ルバノミラー１５が設けられているが、このガルバノミ
ラー１５は、モータ１６によりｘ方向に自由に角度を変
更することができるようになっており、同じくステージ
１０ｃの上方に配置されたレーザ照射装置１４から照射
されたレーザ光２２が、このガルバノミラー１５に当た
って反射し、セラミック基板１１を照射するように構成
されている。On the other hand, a galvanometer mirror 15 is provided above the stage 10c, and the angle of the galvanometer mirror 15 can be freely changed in the x direction by a motor 16. The laser beam 22 emitted from the laser irradiation device 14 similarly arranged above the stage 10c is configured to irradiate the galvanomirror 15 to be reflected and irradiate the ceramic substrate 11.

【００２６】また、モータ１６およびレーザ照射装置１
４は、制御部１７に接続されており、制御部１７からの
信号でモータ１６、レーザ照射装置１４を駆動させるこ
とにより、ガルバノミラーをｘ方向を軸として所定の角
度回転させる。また、制御部１７からの信号でステージ
１０ｃに設けられたモータ（図示せず）を駆動させるこ
とにより、テーブルをθ方向へ回転させる。ガルバノミ
ラーのｘ方向を軸とした回転、および、テーブルのθ方
向についての回転により、セラミック基板１１上の照射
位置を自由に設定することができるようになっている。
なお、テーブルは、θ方向についての回転だけではな
く、ｘ−ｙ方向への移動も可能である。The motor 16 and the laser irradiation device 1
Reference numeral 4 is connected to the control unit 17, and drives the motor 16 and the laser irradiation device 14 by a signal from the control unit 17, thereby rotating the galvanometer mirror by a predetermined angle around the x direction. The table is rotated in the θ direction by driving a motor (not shown) provided on the stage 10 c by a signal from the control unit 17. The irradiation position on the ceramic substrate 11 can be freely set by rotation of the galvanometer mirror around the x direction and rotation of the table in the θ direction.
The table can be moved not only in the θ direction but also in the xy directions.

【００２７】このように、セラミック基板１１を載置し
たステージ１０ｃおよび／またはガルバノミラー１５を
動かすことにより、セラミック基板１１上の任意の位置
にレーザ光２２を照射することができる。As described above, by moving the stage 10c on which the ceramic substrate 11 is mounted and / or the galvanomirror 15, it is possible to irradiate an arbitrary position on the ceramic substrate 11 with the laser beam 22.

【００２８】一方、ステージ１０ｃの上方には、カメラ
２１も設置されており、これにより、セラミック基板１
１の位置（ｘ、ｙ）を認識することができるようになっ
ている。このカメラ２１は、記憶部１８に接続され、こ
れによりセラミック基板１１の導体層１２ｍの位置
（ｘ、ｙ）等を認識し、その位置にレーザ光２２を照射
する。On the other hand, above the stage 10c, a camera 21 is also provided, whereby the ceramic substrate 1
1 (x, y) can be recognized. The camera 21 is connected to the storage unit 18, thereby recognizing the position (x, y) of the conductor layer 12 m of the ceramic substrate 11 and irradiating the position with the laser beam 22.

【００２９】また、入力部２０は、記憶部１８に接続さ
れるとともに、端末としてキーボード等（図示せず）を
有しており、記憶部１８やキーボード等を介して、所定
の指示等が入力されるようになっている。The input unit 20 is connected to the storage unit 18 and has a keyboard or the like (not shown) as a terminal. A predetermined instruction or the like is input via the storage unit 18 or the keyboard. It is supposed to be.

【００３０】さらに、このレーザトリミング装置は、演
算部１９を備えており、カメラ２１により認識されたセ
ラミック基板１１の位置や導体層や抵抗発熱体の厚さ等
のデータに基づいて、レーザ光２２の照射位置、照射速
度、レーザ光の強度等を制御するための演算を行い、こ
の演算結果に基づいて制御部１７からモータ１６、レー
ザ照射装置１４等に指示を出し、ガルバノミラー１５を
回転させるか、または、ステージ１０ｃを移動または回
転させながらレーザ光２２を照射し、導体層１２ｍの不
要部分のトリミング等を行う。The laser trimming apparatus further includes an operation unit 19, and based on data such as the position of the ceramic substrate 11 and the thickness of the conductor layer and the resistance heating element recognized by the camera 21, the laser beam 22 For controlling the irradiation position, irradiation speed, laser light intensity, etc. of the laser beam, and issues an instruction from the control unit 17 to the motor 16, the laser irradiation device 14, etc. based on the calculation result, and rotates the galvanomirror 15. Alternatively, the laser beam 22 is irradiated while moving or rotating the stage 10c to trim unnecessary portions of the conductor layer 12m.

【００３１】また、このレーザトリミング装置は、抵抗
測定部２３を有している。抵抗測定部２３は、複数のテ
スタピン２４を備えており、抵抗発熱体を複数の区画に
区分し、各区画毎にテスタピン２４を接触させて、形成
された抵抗発熱体パターンの抵抗値を測定する。そし
て、測定された抵抗値に基づき、抵抗値が低い区画にレ
ーザを照射し、抵抗発熱体の電流が流れる方向に概ね平
行に溝（図２参照）を形成するか、電流が流れる方向に
ほぼ垂直に切欠を形成することにより、その抵抗値を調
整し、抵抗値のばらつきが少ない抵抗発熱体とする。The laser trimming device has a resistance measuring unit 23. The resistance measurement unit 23 includes a plurality of tester pins 24, divides the resistance heating element into a plurality of sections, and contacts the tester pins 24 for each section to measure the resistance value of the formed resistance heating element pattern. . Then, based on the measured resistance value, a laser is irradiated to a section having a low resistance value, and a groove (see FIG. 2) is formed substantially parallel to the direction in which the current of the resistance heating element flows, or substantially in the direction in which the current flows. By forming a notch vertically, the resistance value is adjusted, and a resistance heating element with little variation in resistance value is obtained.

【００３２】次に、このようなレーザトリミング装置を
用いたトリミング方法について具体的に説明する。ここ
では、帯状または円環状の導体層が形成されたセラミッ
ク基板の不要部分を除去することにより、抵抗発熱体を
形成する方法について主に説明し、抵抗発熱体の抵抗値
を調整する方法については、後で説明する。また、本発
明のセラミックヒータの製造方法におけるレーザトリミ
ング工程以外の工程については、後ほど詳しく説明する
ので、ここでは簡単に説明する。Next, a trimming method using such a laser trimming device will be specifically described. Here, a method of forming a resistance heating element by removing unnecessary portions of a ceramic substrate on which a strip-shaped or annular conductor layer is formed will be mainly described, and a method of adjusting the resistance value of the resistance heating element will be described. Will be described later. The steps other than the laser trimming step in the method for manufacturing a ceramic heater according to the present invention will be described in detail later, and will be briefly described here.

【００３３】最初に、セラミック基板の製造を行うが、
まず、セラミック粉末と樹脂とからなる生成形体を作製
する。この生成形体の作製方法としては、セラミック粉
末と樹脂とを含む顆粒を製造した後、これを金型等に投
入してプレス圧をかけることにより作製する方法と、グ
リーンシートを積層圧着することにより作製する方法と
があり、内部に静電電極等の他の導体層を形成するか否
か等により、より適切な方法を選択する。この後、生成
形体の脱脂、焼成を行うことにより、セラミック基板を
製造する。この後、セラミック基板にリフターピンを挿
通するための貫通孔の形成、測温素子を埋設するための
有底孔の形成等を行う。First, a ceramic substrate is manufactured.
First, a formed body made of a ceramic powder and a resin is prepared. As a method of producing the formed body, a method of producing granules containing a ceramic powder and a resin, then putting the granules in a mold or the like and applying a press pressure, and a method of laminating and pressing green sheets are used. There is a manufacturing method, and a more appropriate method is selected depending on whether or not another conductive layer such as an electrostatic electrode is formed inside. Thereafter, the formed substrate is degreased and fired to produce a ceramic substrate. Thereafter, a through hole for inserting a lifter pin into the ceramic substrate, a bottomed hole for burying a temperature measuring element, and the like are formed.

【００３４】次に、このセラミック基板１１上に、抵抗
発熱体となる部分を含む広い領域に、スクリーン印刷等
により図１に示した形状の導体ペースト層を形成し、こ
の後焼成を行なうことにより導体層１２ｍとする。めっ
き法やスパッタリング等の物理蒸着法を用いて導体層を
形成してもよい。めっきの場合には、めっきレジストを
形成することにより、スパッタリング等の場合には、選
択的なエッチングを行うことにより、所定領域に導体層
１２ｍを形成することができる。また、導体層は、上述
したようにその一部が抵抗発熱体パターンとして形成さ
れていてもよい。Next, a conductor paste layer having the shape shown in FIG. 1 is formed on the ceramic substrate 11 over a wide area including a portion serving as a resistance heating element by screen printing or the like, and then sintering is performed. The conductor layer is 12 m. The conductor layer may be formed using a physical vapor deposition method such as a plating method or a sputtering method. In the case of plating, a conductive layer 12m can be formed in a predetermined region by forming a plating resist, and in the case of sputtering or the like, by performing selective etching. Further, a part of the conductor layer may be formed as a resistance heating element pattern as described above.

【００３５】次に、図１に示すように、ステージ１０ｃ
に形成されたセラミック基板１１の側面と接触する固定
用突起１０ｂとリフターピンを挿入する貫通孔に嵌合す
る嵌合用突起（図示せず）とを用いて、セラミック基板
１１をステージ１０ｃ上に固定する。Next, as shown in FIG.
The ceramic substrate 11 is fixed on the stage 10c by using the fixing protrusions 10b formed in contact with the side surfaces of the ceramic substrate 11 and the fitting protrusions (not shown) fitted in the through holes into which the lifter pins are inserted. I do.

【００３６】また、予め抵抗発熱体パターンのデータを
入力部２０から入力し、記憶部１８に格納する。すなわ
ち、トリミングにより形成しようとする抵抗発熱体パタ
ーンのデータを記憶しておくのである。抵抗発熱体パタ
ーンデータとは、面状（いわゆるベタ状または円環状）
に印刷された導体層をトリミングして抵抗発熱体パター
ンを形成するために使用されるデータである。The data of the resistance heating element pattern is input from the input unit 20 in advance and stored in the storage unit 18. That is, the data of the resistive heating element pattern to be formed by trimming is stored. The resistance heating element pattern data is planar (so-called solid or annular)
Is used to form a resistance heating element pattern by trimming the printed conductor layer.

【００３７】次に、固定されたセラミック基板１１をカ
メラ２１で撮影することにより、導体層１２ｍの形成位
置が記憶部１８に記憶される。この導体層の位置のデー
タに基づいて、演算部１９で演算が行われ、その結果が
制御データとして記憶部１８に記憶される。Next, the position of the conductor layer 12m is stored in the storage unit 18 by photographing the fixed ceramic substrate 11 with the camera 21. An operation is performed in the operation unit 19 based on the data on the position of the conductor layer, and the result is stored in the storage unit 18 as control data.

【００３８】そして、この演算結果に基づいて、制御部
１７から制御信号を発生させ、ガルバノミラー１５のモ
ータ１６、および／または、ステージ１０ｃのモータを
駆動させながら、２ｋＨｚ以下の周波数のパルスからな
るレーザ光を照射することにより、導体層１２ｍの不必
要な部分をトリミングし、抵抗発熱体１２を形成する。Based on the calculation result, a control signal is generated from the control unit 17 to drive the motor 16 of the galvanomirror 15 and / or the motor of the stage 10c. By irradiating the laser beam, unnecessary portions of the conductor layer 12m are trimmed to form the resistance heating element 12.

【００３９】このようにして導体層等の不要部分を除去
する際に、レーザ光照射により導体層等のトリミングす
べき部分はトリミングするものの、その下に存在するセ
ラミック基板には、レーザ光照射により大きな影響を与
えないことが重要になる。When the unnecessary portions such as the conductor layer are removed in this manner, the portion to be trimmed such as the conductor layer is trimmed by irradiating the laser beam, but the underlying ceramic substrate is irradiated with the laser beam. It is important not to have a significant impact.

【００４０】従って、レーザ光は、導体層等を構成する
金属粒子等には良好に吸収され、一方、セラミック基板
に吸収されにくいものを選定する必要がある。このよう
なレーザの種類としては、例えば、ＹＡＧレーザ、炭酸
ガスレーザ、エキシマ（ＫｒＦ）レーザ、ＵＶ（紫外
線）レーザ等が挙げられる。これらのなかでは、ＹＡＧ
レーザ、エキシマ（ＫｒＦ）レーザが最適である。Therefore, it is necessary to select a laser beam which is well absorbed by metal particles and the like constituting the conductor layer and the like, but is hardly absorbed by the ceramic substrate. Examples of such a type of laser include a YAG laser, a carbon dioxide laser, an excimer (KrF) laser, a UV (ultraviolet) laser, and the like. Among them, YAG
Lasers and excimer (KrF) lasers are most suitable.

【００４１】ＹＡＧレーザとしては、日本電気社製のＳ
Ｌ４３２Ｈ、ＳＬ４３６Ｇ、ＳＬ４３２ＧＴ、ＳＬ４１
１Ｂなどを採用することができる。レーザは、上述のよ
うに２ｋＨｚ以下の周波数のパルス光を用いる。極めて
短い時間に大きなエネルギーを抵抗発熱体に照射するこ
とができ、セラミック基板に対するダメージを小さくす
ることができるからである。レーザパルスの周波数が２
ｋＨｚを超えると、レーザのファーストパルスのエネル
ギーが高くなり、必要以上にセラミック基板がトリミン
グされてしまい、設定した形状の抵抗発熱体を形成する
ことが困難となる。As the YAG laser, an SAG manufactured by NEC Corporation is used.
L432H, SL436G, SL432GT, SL41
1B can be adopted. As described above, the laser uses pulsed light having a frequency of 2 kHz or less. This is because large energy can be applied to the resistance heating element in an extremely short time, and damage to the ceramic substrate can be reduced. Laser pulse frequency is 2
If the frequency exceeds kHz, the energy of the first pulse of the laser becomes high, and the ceramic substrate is trimmed more than necessary, making it difficult to form a resistance heating element having a set shape.

【００４２】また、加工スピードは、１００ｍｍ／秒以
下が望ましい。１００ｍｍ／秒を超えると、周波数を高
くしないかぎり、溝を形成することができないからであ
る。前述のように、周波数は２ｋＨｚ以下を上限とする
ため、１００ｍｍ／秒以下が望ましい。The processing speed is desirably 100 mm / sec or less. If the speed exceeds 100 mm / sec, grooves cannot be formed unless the frequency is increased. As described above, since the upper limit of the frequency is 2 kHz or less, the frequency is preferably 100 mm / sec or less.

【００４３】なお、レーザの出力は０．３Ｗ以上が望ま
しい。０．３Ｗ未満であれば、抵抗発熱体のパターンを
形成するために除去すべき導体層を完全にトリミングで
きない可能性があるからである。特に抵抗発熱体が金属
粒子の焼結体の場合は、０．３Ｗ以上の出力でトリミン
グすることで、セラミック基板まで到達するトリミング
が実現でき、導体層を完全に除去することができる。The output of the laser is desirably 0.3 W or more. If it is less than 0.3 W, the conductor layer to be removed to form the pattern of the resistance heating element may not be completely trimmed. In particular, when the resistance heating element is a sintered body of metal particles, by performing trimming with an output of 0.3 W or more, trimming reaching the ceramic substrate can be realized, and the conductor layer can be completely removed.

【００４４】トリミングは、導体ペースト層に施しても
よいが、上述したように、抵抗発熱体ペーストを印刷し
た後焼成して導体層を形成し、その後に実施することが
望ましい。焼成により抵抗値が変動したり、ペーストが
レーザ光の照射に起因して剥離することがあるからであ
る。本発明は、導体ペーストを円環状（いわゆるベタ
状）に形成し、トリミングによりパターン化する方法で
あるので、均一な厚さの発熱体パターンを得ることがで
きる。最初から発熱体パターン状に印刷しようとする
と、印刷方向により厚さのばらつきが発生するため、均
一な厚さの抵抗発熱体を形成することが困難になる。The trimming may be performed on the conductor paste layer. However, as described above, it is preferable that the conductor layer is formed by printing the resistive heating element paste, firing it, and thereafter performing the trimming. This is because the resistance value may fluctuate due to firing, or the paste may be peeled off due to irradiation with laser light. The present invention is a method in which a conductor paste is formed in an annular shape (so-called solid shape) and patterned by trimming, so that a heating element pattern having a uniform thickness can be obtained. If it is attempted to print the heating element pattern from the beginning, the thickness will vary depending on the printing direction, making it difficult to form a resistance heating element having a uniform thickness.

【００４５】上記説明では、レーザ光の照射により抵抗
発熱体を形成する方法について説明したが、セラミック
基板上に所定パターンの抵抗発熱体を形成した後、トリ
ミングにより抵抗発熱体の抵抗値を調整する場合には、
図２に示したように、抵抗発熱体１２の電流が流れる方
向に概ね平行に溝１３０を形成し、これにより抵抗発熱
体の抵抗値を調整する。抵抗発熱体の電流が流れる方向
に、ほぼ垂直に切欠を形成して抵抗を調整してもよい
が、溝を形成する方法が発熱体を断線させるおそれが少
ないため好ましい。この場合には、上述したように、テ
スターピン２４を用い、形成された抵抗発熱体を多数の
区画に分割してその抵抗値を測定し、トリミングにより
その抵抗値を調整する。In the above description, a method of forming a resistance heating element by irradiating a laser beam has been described. After a resistance heating element having a predetermined pattern is formed on a ceramic substrate, the resistance value of the resistance heating element is adjusted by trimming. in case of,
As shown in FIG. 2, the groove 130 is formed substantially parallel to the direction in which the current of the resistance heating element 12 flows, thereby adjusting the resistance value of the resistance heating element. The resistance may be adjusted by forming a notch substantially perpendicularly to the direction in which the current of the resistance heating element flows, but a method of forming a groove is preferable because there is little possibility of disconnection of the heating element. In this case, as described above, the formed resistance heating element is divided into a number of sections using the tester pins 24, the resistance value is measured, and the resistance value is adjusted by trimming.

【００４６】このようなレーザトリミングにより形成さ
れる抵抗発熱体のパターンは、特に限定されるものでは
ないが、例えば、以下に示すような抵抗発熱体パターン
が形成されたセラミックヒータが挙げられる。Although the pattern of the resistance heating element formed by such laser trimming is not particularly limited, for example, a ceramic heater having the following resistance heating element pattern formed thereon can be used.

【００４７】図３は、第一の本発明のセラミックヒータ
の製造方法により製造されたセラミックヒータを模式的
に示す底面図であり、図４は、その部分拡大断面図であ
る。なお、図４に示した抵抗発熱体１２ａ〜１２ｇに
は、トリミングにより形成された溝は示していない。FIG. 3 is a bottom view schematically showing a ceramic heater manufactured by the first method of manufacturing a ceramic heater according to the present invention, and FIG. 4 is a partially enlarged sectional view thereof. The grooves formed by trimming are not shown in the resistance heating elements 12a to 12g shown in FIG.

【００４８】このセラミックヒータ１０は、円板状に形
成されたセラミック基板１１の加熱面１１ａの反対側で
ある底面１１ｂに、抵抗発熱体１２（１２ａ〜１２ｇ）
が形成されている。The ceramic heater 10 has a resistance heating element 12 (12a to 12g) on a bottom surface 11b opposite to a heating surface 11a of a disk-shaped ceramic substrate 11.
Are formed.

【００４９】この抵抗発熱体１２は、加熱面１１ａの全
体の温度が均一になるように加熱するため、同心円の一
部を描くように繰り返して形成された円弧および同心円
を基本として構成されるパターンにより形成されてい
る。Since the resistance heating element 12 is heated so that the entire temperature of the heating surface 11a becomes uniform, a pattern formed on the basis of arcs and concentric circles repeatedly formed so as to draw a part of concentric circles is used. Is formed.

【００５０】すなわち、最も外周に近い抵抗発熱体１２
ａ〜１２ｄは、同心円を４分割した円弧状のパターンが
繰り返して形成され、隣り合う円弧の端部は、屈曲線に
より接続され一連の回路を構成している。そして、この
ようなパターンの抵抗発熱体１２ａ〜１２ｄからなる４
つの回路が、外周を取り囲むように近接して形成され、
全体的に円環状のパターンを構成している。That is, the resistance heating element 12 closest to the outer periphery
In a to 12d, an arc-shaped pattern obtained by dividing a concentric circle into four parts is repeatedly formed, and ends of adjacent arcs are connected by bending lines to form a series of circuits. Then, the 4 comprising the resistance heating elements 12a to 12d having such a pattern.
Two circuits are formed close to each other around the outer circumference,
An overall annular pattern is formed.

【００５１】また、この抵抗発熱体１２ａ〜１２ｄから
なる回路の端部は、クーリングスポット等の発生を防止
するために、円環状パターンの内側に形成されており、
そのため、外側の回路の端部は内側の方に向かって延設
されている。The ends of the circuit composed of the resistance heating elements 12a to 12d are formed inside an annular pattern in order to prevent the occurrence of a cooling spot or the like.
Therefore, the end of the outer circuit is extended toward the inner side.

【００５２】外周に形成された抵抗発熱体１２ａ〜１２
ｄの内側には、そのごく一部が切断された同心円パター
ンの回路からなる抵抗発熱体１２ｅ、１２ｆ、１２ｇが
形成されており、この抵抗発熱体１２ｅ、１２ｆ、１２
ｇでは、隣り合う同心円の端部が、順次直線からなる抵
抗発熱体で接続されることにより一連の回路が構成され
ている。Resistance heating elements 12a-12 formed on the outer periphery
On the inner side of d, resistance heating elements 12e, 12f, and 12g, each of which is formed of a circuit of a concentric pattern with a very small part cut off, are formed.
In g, a series of circuits is configured by connecting the ends of adjacent concentric circles sequentially with a resistance heating element formed of a straight line.

【００５３】また、それぞれの抵抗発熱体１２ａ〜１２
ｄ、１２ｅ、１２ｆ、１２ｇの間には、帯状（円環状）
の発熱体非形成領域が設けられており、中心部分にも、
円形の発熱体非形成領域が設けられている。The resistance heating elements 12a to 12a
Between d, 12e, 12f and 12g, belt-like (annular)
Heating element non-forming area is provided, and also in the center part,
A circular heating element non-formation area is provided.

【００５４】従って、全体的に見ると、円環状の抵抗発
熱体形成領域と発熱体非形成領域とが、外側から内側に
交互に形成されており、これらの領域をセラミック基板
の大きさ（口径）や厚さ等を考慮して、適当に設定する
ことにより、加熱面の温度を均一にすることができるよ
うになっている。Accordingly, as a whole, the annular resistance heating element forming area and the heating element non-forming area are alternately formed from the outside to the inside, and these areas are defined by the size (diameter) of the ceramic substrate. ), Thickness, etc., the temperature can be made uniform by setting the temperature appropriately.

【００５５】また、抵抗発熱体１２ａ〜１２ｇは、トリ
ミング処理された後、図４に示すように、腐食等を防止
するために、金属被覆層１２０が形成されており、その
端部には、半田層１２０を介して外部端子３３が接続さ
れている。After the resistance heating elements 12a to 12g are trimmed, as shown in FIG. 4, a metal coating layer 120 is formed in order to prevent corrosion and the like. The external terminal 33 is connected via the solder layer 120.

【００５６】このセラミック基板１１には、発熱体非形
成領域となる位置に３個の貫通孔３５が設けられてお
り、シリコンウエハ３９等の被加熱物をセラミック基板
１１の加熱面１１ａに接触させた状態で載置して加熱す
るほか、図４に示すように、これらの貫通孔３５にリフ
ターピン３６を挿通し、リフターピン３６でシリコンウ
エハ３９等の被加熱物を保持することにより、セラミッ
ク基板１１より一定の距離離間させた状態で被加熱物を
加熱することができるようになっている。The ceramic substrate 11 is provided with three through holes 35 at positions where no heating element is to be formed, and an object to be heated such as a silicon wafer 39 is brought into contact with the heating surface 11 a of the ceramic substrate 11. In addition to being placed in a state of being heated in a state in which the object is heated, as shown in FIG. The object to be heated can be heated while being separated from the substrate 11 by a certain distance.

【００５７】また、このリフターピン３６を上下させる
ことにより、搬送機からシリコンウエハ３９等の被加熱
物を受け取ったり、被加熱物をセラミック基板１１上に
載置したり、被加熱物を支持したまま加熱したりするこ
とができるようになっている。セラミック基板１１の加
熱面１１ａに凹部等を形成し、この凹部等に加熱面１１
ａからわずかに突出するように支持ピンを設置し、この
支持ピンでシリコンウエハ３９を支持することより、シ
リコンウエハ３９を加熱面から５〜５０００μｍ離間さ
せた状態で支持し、加熱等を行ってもよい。By moving the lifter pins 36 up and down, a heated object such as a silicon wafer 39 is received from the transfer device, the heated object is placed on the ceramic substrate 11, and the heated object is supported. It can be heated as it is. A recess or the like is formed on the heating surface 11a of the ceramic substrate 11, and the heating surface 11a is formed on the recess or the like.
A support pin is provided so as to slightly protrude from a, and by supporting the silicon wafer 39 with the support pin, the silicon wafer 39 is supported at a distance of 5 to 5000 μm from the heating surface, and heating is performed. Is also good.

【００５８】セラミック基板１１の底面１１ｂの発熱体
非形成領域には、有底孔３４が形成されており、この有
底孔３４には、熱電対等の測温素子３７が挿入され、セ
ラミック基板１１の加熱面１１ａに近い部分の温度を測
定することができるようになっている。A bottomed hole 34 is formed in a region of the bottom surface 11b of the ceramic substrate 11 where no heating element is formed. A temperature measuring element 37 such as a thermocouple is inserted into the bottomed hole 34, and the ceramic substrate 11 The temperature of a portion near the heating surface 11a can be measured.

【００５９】上記抵抗発熱体パターンを有するセラミッ
クヒータでは、円板状のセラミック基板に、同心円の一
部を描くように繰り返して形成された円弧と屈曲線の組
み合わせで一連の回路が構成されたパターン（以下、円
弧繰り返しパターンともいう）と、一部が切断された同
心円が隣り合う端部で直線的に接続され、一連の回路が
構成されているパターン（以下、同心円状パターンとも
いう）で抵抗発熱体が構成されているため、このような
抵抗発熱体パターンの大部分は、セラミック基板の中心
からの距離ｒと回転角（θ1 −θ2 ）とで表すことがで
きる。In the ceramic heater having the above-described resistance heating element pattern, a pattern in which a series of circuits are formed by a combination of arcs and bent lines repeatedly formed so as to draw a part of a concentric circle on a disk-shaped ceramic substrate. (Hereinafter, also referred to as a circular arc repetition pattern), and a partially cut concentric circle is linearly connected at adjacent ends to form a series of circuits (hereinafter, also referred to as a concentric pattern). Since the heating element is configured, most of such a resistance heating element pattern can be represented by the distance r from the center of the ceramic substrate and the rotation angle (θ 1 −θ 2 ).

【００６０】従って、レーザトリミングを行う際にも、
セラミック基板を中心に回転させれば、比較的容易に抵
抗発熱体の抵抗値を調整することができる。また、第二
の本発明の製造方法、すなわち、円環状の導体層が形成
されたセラミックヒータの導体層をトリミングすること
によっても、図３に示した発熱体パターンを有するセラ
ミックヒータを製造することができる。以下のセラミッ
クヒータにおいても同様である。Therefore, when performing laser trimming,
By rotating around the ceramic substrate, the resistance value of the resistance heating element can be adjusted relatively easily. Further, the second manufacturing method of the present invention, that is, the ceramic heater having the heating element pattern shown in FIG. 3 can also be manufactured by trimming the conductor layer of the ceramic heater on which the annular conductor layer is formed. Can be. The same applies to the following ceramic heaters.

【００６１】本発明の製造方法により製造されるセラミ
ックヒータは、図３に示したパターンを有する抵抗発熱
体に限定されるものではなく、例えば、上記した円弧繰
り返しパターン、同心円状パターンや屈曲線の繰り返し
パターン等を単独を形成してもよく、これらのパターン
を任意に組み合わせてもよい。The ceramic heater manufactured by the manufacturing method of the present invention is not limited to the resistance heating element having the pattern shown in FIG. 3, but may be, for example, the above-described circular arc repetition pattern, concentric pattern or bent line. A single repetitive pattern or the like may be formed, or these patterns may be arbitrarily combined.

【００６２】図５は、本発明に係る方法で製造されるセ
ラミックヒータの別の実施形態を模式的に示した平面で
ある。このセラミックヒータでは、図５に示すように、
屈曲線を主体とする、それぞれが円環状に形成されてい
る抵抗発熱体４２ａ、４２ｂ，４２ｃが、円環状の発熱
体非形成領域および中心部分にある発熱体非形成領域を
挟んで、全体的に放射状に形成されている。FIG. 5 is a plan view schematically showing another embodiment of the ceramic heater manufactured by the method according to the present invention. In this ceramic heater, as shown in FIG.
The resistance heating elements 42a, 42b, and 42c, each of which is formed in an annular shape and mainly composed of a bent line, are formed as a whole with the annular heating element non-forming area and the heating element non-forming area in the center portion interposed therebetween. It is formed radially.

【００６３】なお、セラミック基板の表面に形成される
抵抗発熱体は、図３、５に示すように、少なくとも２以
上の回路に分割されていることが望ましい。回路を分割
することにより、各回路に投入する電力を制御して発熱
量を変えることができ、シリコンウエハの加熱面の温度
を調整することができるからである。It is preferable that the resistance heating element formed on the surface of the ceramic substrate is divided into at least two or more circuits as shown in FIGS. This is because, by dividing the circuit, the amount of heat generated can be changed by controlling the power supplied to each circuit, and the temperature of the heating surface of the silicon wafer can be adjusted.

【００６４】このような抵抗発熱体パターンを形成する
際、図５に示したような抵抗発熱体の配線間が広いパタ
ーンの場合には、スクリーン印刷により抵抗発熱体を容
易に形成することができるが、図３に示したようなその
間隔が狭く複雑な（混みいった）パターンを形成する場
合には、幅広い帯状の線からなる円環状の導体層を形成
しておき、レーザ光を用いて抵抗発熱体でない部分（不
要部分）をトリミングする方法が、比較的容易に抵抗発
熱体を形成することができるため有利である。When such a resistive heating element pattern is formed, if the pattern of the resistive heating element wiring is wide as shown in FIG. 5, the resistive heating element can be easily formed by screen printing. However, when forming a complicated (crowded) pattern with a narrow interval as shown in FIG. 3, an annular conductor layer composed of a wide band-shaped line is formed, and a laser beam is used. A method of trimming a portion (unnecessary portion) that is not the resistance heating element is advantageous because the resistance heating element can be formed relatively easily.

【００６５】セラミック基板の表面に抵抗発熱体を形成
する場合に、抵抗発熱体の厚さは、１〜３０μｍが好ま
しく、１〜１０μｍがより好ましい。また、抵抗発熱体
の幅は、０．１〜２０ｍｍが好ましく、０．１〜５ｍｍ
がより好ましい。抵抗発熱体は、その幅や厚さにより抵
抗値に変化を持たせることができるが、上記した範囲が
最も実用的である。When the resistance heating element is formed on the surface of the ceramic substrate, the thickness of the resistance heating element is preferably 1 to 30 μm, more preferably 1 to 10 μm. Further, the width of the resistance heating element is preferably 0.1 to 20 mm, and 0.1 to 5 mm.
Is more preferred. Although the resistance value of the resistance heating element can be varied depending on its width or thickness, the above range is most practical.

【００６６】抵抗発熱体は、断面形状が矩形であっても
楕円であってもよいが、偏平であることが望ましい。偏
平の方が加熱面に向かって放熱しやすいため、加熱面の
温度分布ができにくいからである。断面のアスペクト比
（抵抗発熱体の幅／抵抗発熱体の厚さ）は、１０〜５０
００であることが望ましい。この範囲に調整することに
より、抵抗発熱体の抵抗値を大きくすることができると
ともに、加熱面の温度の均一性を確保することができる
からである。The resistance heating element may have a rectangular or elliptical cross section, but is preferably flat. This is because the flat surface is more likely to dissipate heat toward the heating surface, so that the temperature distribution on the heating surface is less likely to occur. The aspect ratio of the cross section (the width of the resistance heating element / the thickness of the resistance heating element) is 10 to 50.
00 is desirable. By adjusting to this range, the resistance value of the resistance heating element can be increased, and the uniformity of the temperature of the heating surface can be ensured.

【００６７】抵抗発熱体の厚さを一定とした場合、アス
ペクト比が上記範囲より小さいと、セラミック基板の加
熱面方向への熱の伝搬量が小さくなり、抵抗発熱体のパ
ターンに近似した熱分布が加熱面に発生してしまい、逆
にアスペクト比が大きすぎると抵抗発熱体の中央の直上
部分が高温となってしまい、結局、抵抗発熱体のパター
ンに近似した熱分布が加熱面に発生してしまう。従っ
て、温度分布を考慮すると、断面のアスペクト比は、１
０〜５０００であることが好ましいのである。When the thickness of the resistance heating element is constant, if the aspect ratio is smaller than the above range, the amount of heat transmitted in the direction of the heating surface of the ceramic substrate becomes small, and the heat distribution approximates the pattern of the resistance heating element. If the aspect ratio is too large, on the other hand, if the aspect ratio is too large, the temperature immediately above the center of the resistance heating element becomes high, and eventually, a heat distribution similar to the pattern of the resistance heating element occurs on the heating surface. Would. Therefore, considering the temperature distribution, the aspect ratio of the cross section is 1
It is preferably from 0 to 5000.

【００６８】抵抗発熱体の抵抗値のばらつきに関し、平
均抵抗値に対する抵抗値のばらつきは５％以下が望まし
く、１％がより望ましい。本発明の抵抗発熱体は複数回
路に分割しているが、このように抵抗値のばらつきを小
さくすることにより、抵抗発熱体の分割数を減らすこと
ができ温度を制御しやすくすることができる。さらに、
昇温の過渡時の加熱面の温度を均一にすることが可能と
なる。Regarding the variation of the resistance value of the resistance heating element, the variation of the resistance value with respect to the average resistance value is preferably 5% or less, more preferably 1%. Although the resistance heating element of the present invention is divided into a plurality of circuits, by reducing the variation of the resistance value in this way, the number of divisions of the resistance heating element can be reduced, and the temperature can be easily controlled. further,
It is possible to make the temperature of the heating surface uniform during the transition of the temperature rise.

【００６９】上記導体ペーストとしては特に限定されな
いが、導電性を確保するための金属粒子または導電性セ
ラミックが含有されているほか、樹脂、溶剤、増粘剤な
どを含むものが好ましい。The conductive paste is not particularly limited, but preferably contains not only metal particles or conductive ceramic for ensuring conductivity, but also resin, solvent, thickener and the like.

【００７０】上記金属粒子としては、例えば、貴金属
（金、銀、白金、パラジウム）、鉛、タングステン、モ
リブデン、ニッケルなどが好ましい。これらは、単独で
用いてもよく、２種以上を併用してもよい。これらの金
属は、比較的酸化しにくく、発熱するに充分な抵抗値を
有するからである。上記導電性セラミックとしては、例
えば、タングステン、モリブデンの炭化物などが挙げら
れる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用
してもよい。The metal particles are preferably, for example, noble metals (gold, silver, platinum, palladium), lead, tungsten, molybdenum, nickel and the like. These may be used alone or in combination of two or more. This is because these metals are relatively hard to oxidize and have a resistance value sufficient to generate heat. Examples of the conductive ceramic include carbides of tungsten and molybdenum. These may be used alone or in combination of two or more.

【００７１】これら金属粒子または導電性セラミック粒
子の粒径は、０．１〜１００μｍが好ましい。０．１μ
ｍ未満と微細すぎると、酸化されやすく、一方、１００
μｍを超えると、焼結しにくくなり、抵抗値が大きくな
るからである。The metal particles or conductive ceramic particles preferably have a particle size of 0.1 to 100 μm. 0.1μ
If the particle size is too small, it is easily oxidized.
If the thickness exceeds μm, sintering becomes difficult and the resistance value increases.

【００７２】上記金属粒子の形状は、球状であっても、
リン片状であってもよい。これらの金属粒子を用いる場
合、上記球状物と上記リン片状物との混合物であってよ
い。上記金属粒子がリン片状物、または、球状物とリン
片状物との混合物の場合は、金属粒子間の金属酸化物を
保持しやすくなり、抵抗発熱体と窒化物セラミック等と
の密着性を確実にし、かつ、抵抗値を大きくすることが
できるため有利である。The shape of the metal particles may be spherical,
It may be scaly. When these metal particles are used, they may be a mixture of the above-mentioned spheres and the above-mentioned flakes. When the metal particles are flakes or a mixture of spheres and flakes, the metal oxide between the metal particles is easily retained, and the adhesion between the resistance heating element and the nitride ceramic or the like is improved. And it is advantageous because the resistance value can be increased.

【００７３】導体ペーストに使用される樹脂としては、
例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などが挙げられ
る。また、溶剤としては、例えば、イソプロピルアルコ
ールなどが挙げられる。増粘剤としては、セルロースな
どが挙げられる。As the resin used for the conductor paste,
For example, an epoxy resin, a phenol resin, and the like can be given. Examples of the solvent include isopropyl alcohol. Examples of the thickener include cellulose and the like.

【００７４】導体ペーストには、金属粒子に金属酸化物
を添加し、抵抗発熱体と金属粒子および金属酸化物とを
焼結させたものとすることが望ましい。このように、金
属酸化物を金属粒子とともに焼結させることにより、セ
ラミック基板である窒化物セラミック等と金属粒子とを
より密着させることができる。It is preferable that the conductor paste is obtained by adding a metal oxide to metal particles and sintering the resistance heating element, the metal particles and the metal oxide. In this way, by sintering the metal oxide together with the metal particles, the ceramic substrate, such as a nitride ceramic, and the metal particles can be more closely adhered.

【００７５】金属酸化物を混合することにより、窒化物
セラミック等との密着性が改善される理由は明確ではな
いが、金属粒子表面や窒化物セラミック等の表面は、わ
ずかに酸化されて酸化膜が形成されており、この酸化膜
同士が金属酸化物を介して焼結して一体化し、金属粒子
と窒化物セラミック等とが密着するのではないかと考え
られる。また、セラミック基板を構成するセラミックが
酸化物セラミックの場合は、当然に表面が酸化物からな
るので、密着性に優れた導体層が形成される。It is not clear why the mixing with the metal oxide improves the adhesion to the nitride ceramic or the like, but the surface of the metal particles or the surface of the nitride ceramic is slightly oxidized to form an oxide film. It is considered that these oxide films are sintered and integrated via the metal oxide, and the metal particles and the nitride ceramics or the like adhere to each other. Further, when the ceramic constituting the ceramic substrate is an oxide ceramic, the surface is naturally made of an oxide, so that a conductor layer having excellent adhesion is formed.

【００７６】上記金属酸化物としては、例えば、酸化
鉛、酸化亜鉛、シリカ、酸化ホウ素（Ｂ 2 Ｏ3 ）、アル
ミナ、イットリアおよびチタニアからなる群から選ばれ
る少なくとも１種が好ましい。これらの酸化物は、抵抗
発熱体１２の抵抗値を大きくすることなく、金属粒子と
窒化物セラミック等との密着性を改善することができる
からである。As the metal oxide, for example, oxidized
Lead, zinc oxide, silica, boron oxide (B Two OThree ), Al
Selected from the group consisting of Mina, Yttria and Titania
At least one is preferred. These oxides have resistance
Without increasing the resistance value of the heating element 12,
Adhesion with nitride ceramics etc. can be improved
Because.

【００７７】上記酸化鉛、酸化亜鉛、シリカ、酸化ホウ
素（Ｂ2 Ｏ3 ）、アルミナ、イットリア、チタニアの割
合は、金属酸化物の全量を１００重量部とした場合、重
量比で、酸化鉛が１〜１０、シリカが１〜３０、酸化ホ
ウ素が５〜５０、酸化亜鉛が２０〜７０、アルミナが１
〜１０、イットリアが１〜５０、チタニアが１〜５０で
あって、その合計が１００重量部を超えない範囲で調整
されていることが望ましい。これらの範囲で、これらの
酸化物の量を調整することにより、特に窒化物セラミッ
ク等との密着性を改善することができる。The ratio of the above-mentioned lead oxide, zinc oxide, silica, boron oxide (B 2 O 3 ), alumina, yttria, and titania is as follows: 1-10, silica 1-30, boron oxide 5-50, zinc oxide 20-70, alumina 1
-10, yttria 1-50, titania 1-50, and the total is preferably adjusted within a range not exceeding 100 parts by weight. By adjusting the amounts of these oxides within these ranges, the adhesion to nitride ceramics and the like can be particularly improved.

【００７８】上記金属酸化物の金属粒子に対する添加量
は、０．１重量％以上１０重量％未満が好ましい。ま
た、このような構成の導体ペーストを使用して抵抗発熱
体１２を形成した際の面積抵抗率は、１〜４５ｍΩ／□
が好ましい。The amount of the metal oxide added to the metal particles is preferably 0.1% by weight or more and less than 10% by weight. The area resistivity when the resistance heating element 12 is formed using the conductor paste having such a configuration is 1 to 45 mΩ / □.
Is preferred.

【００７９】面積抵抗率が４５ｍΩ／□を超えると、印
加電圧量に対して発熱量は大きくなりすぎて、セラミッ
ク基板の表面に抵抗発熱体１２を設けたセラミック基板
１１では、その発熱量を制御しにくいからである。な
お、金属酸化物の添加量が１０重量％以上であると、面
積抵抗率が５０ｍΩ／□を超えてしまい、発熱量が大き
くなりすぎて温度制御が難しくなり、温度分布の均一性
が低下する。また、必要に応じて面積抵抗率を５０ｍΩ
／□〜１０Ω／□にすることができる。面積抵抗率を大
きくすると、パターンを幅を広くすることができるた
め、断線の問題がない。When the area resistivity exceeds 45 mΩ / □, the amount of heat generated becomes too large with respect to the applied voltage, and the amount of heat generated in the ceramic substrate 11 having the resistance heating element 12 provided on the surface of the ceramic substrate is controlled. Because it is hard to do. If the addition amount of the metal oxide is 10% by weight or more, the sheet resistivity exceeds 50 mΩ / □, the calorific value becomes too large, the temperature control becomes difficult, and the uniformity of the temperature distribution decreases. . Further, if necessary, the sheet resistivity is set to 50 mΩ.
/ □ to 10Ω / □. When the sheet resistivity is increased, the width of the pattern can be increased, so that there is no problem of disconnection.

【００８０】抵抗発熱体がセラミック基板の表面に形成
される場合には、抵抗発熱体の表面部分に、金属被覆層
が形成されていることが望ましい。内部の金属焼結体が
酸化されて抵抗値が変化するのを防止するためである。
形成する金属被覆層の厚さは、０．１〜１０μｍが好ま
しい。When the resistance heating element is formed on the surface of the ceramic substrate, it is desirable that a metal coating layer is formed on the surface of the resistance heating element. This is to prevent the internal metal sintered body from being oxidized to change the resistance value.
The thickness of the metal coating layer to be formed is preferably 0.1 to 10 μm.

【００８１】金属被覆層を形成する際に使用される金属
は、非酸化性の金属であれば特に限定されないが、具体
的には、例えば、金、銀、パラジウム、白金、ニッケル
等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、２種
以上を併用してもよい。これらのなかでは、ニッケルが
好ましい。The metal used for forming the metal coating layer is not particularly limited as long as it is a non-oxidizing metal, and specific examples thereof include gold, silver, palladium, platinum and nickel. . These may be used alone or in combination of two or more. Of these, nickel is preferred.

【００８２】抵抗発熱体には、電源と接続するための端
子が必要であり、この端子は、半田を介して抵抗発熱体
に取り付けるが、ニッケルは、半田の熱拡散を防止する
からである。接続端子としては、例えば、コバール製の
ものが挙げられる。The resistance heating element requires a terminal for connection to a power supply, and this terminal is attached to the resistance heating element via solder. Nickel prevents thermal diffusion of solder. Examples of the connection terminal include those made of Kovar.

【００８３】本発明のセラミックヒータにおけるセラミ
ック基板は、円板であることが望ましく、その直径は１
９０ｍｍを超えるものが望ましい。このような直径が大
きいものほど加熱面での温度ばらつきが大きくなるから
である。The ceramic substrate in the ceramic heater of the present invention is preferably a disk, and has a diameter of 1
Those exceeding 90 mm are desirable. This is because the larger the diameter, the greater the temperature variation on the heating surface.

【００８４】また、本発明のセラミックヒータのセラミ
ック基板の厚さは、２５ｍｍ以下であることが望まし
い。上記セラミック基板の厚さが２５ｍｍを超えると温
度追従性が低下するからである。また、その厚さは、
１．５ｍｍを超え５ｍｍ以下であることがより望まし
い。５ｍｍより厚くなると、熱が伝搬しにくくなり、加
熱の効率が低下する傾向が生じ、一方、１．５ｍｍ以下
であると、セラミック基板中を伝搬する熱が充分に拡散
しないため加熱面に温度ばらつきが発生することがあ
り、また、セラミック基板の強度が低下して破損する場
合があるからである。The thickness of the ceramic substrate of the ceramic heater of the present invention is desirably 25 mm or less. This is because if the thickness of the ceramic substrate exceeds 25 mm, the temperature followability decreases. Also, its thickness is
More preferably, it is more than 1.5 mm and 5 mm or less. When the thickness is more than 5 mm, the heat is difficult to propagate, and the heating efficiency tends to decrease. On the other hand, when the thickness is less than 1.5 mm, the heat propagating in the ceramic substrate is not sufficiently diffused, so that the temperature variation on the heating surface is caused. May occur, and the strength of the ceramic substrate may be reduced to cause breakage.

【００８５】本発明のセラミックヒータ１０では、基板
の材料としてセラミックを使用しているが、セラミック
としては特に限定されず、例えば、窒化物セラミック、
炭化物セラミックおよび酸化物セラミック等を挙げるこ
とができる。セラミック基板１１の材料として、これら
のなかでは、窒化物セラミックや炭化物セラミックが好
ましい。熱伝導特性に優れるからである。In the ceramic heater 10 of the present invention, ceramic is used as the material of the substrate. However, the ceramic is not particularly limited.
Examples thereof include carbide ceramics and oxide ceramics. Among these, a nitride ceramic or a carbide ceramic is preferable as the material of the ceramic substrate 11. This is because it has excellent heat conduction characteristics.

【００８６】上記窒化物セラミックとしては、例えば、
窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化チタ
ン等が挙げられる。また、上記炭化物セラミックとして
は、炭化珪素、炭化チタン、炭化硼素等が挙げられる。
さらに、上記酸化物セラミックとしては、アルミナ、コ
ージェライト、ムライト、シリカ、ベリリア等が挙げら
れる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用
してもよい。これらのなかでは、窒化アルミニウムが最
も好ましい。熱伝導率が１８０Ｗ／ｍ・Ｋと最も高いか
らである。As the above nitride ceramic, for example,
Examples include aluminum nitride, silicon nitride, boron nitride, and titanium nitride. Examples of the carbide ceramic include silicon carbide, titanium carbide, and boron carbide.
Further, examples of the oxide ceramic include alumina, cordierite, mullite, silica, beryllia and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Of these, aluminum nitride is most preferred. This is because the thermal conductivity is the highest at 180 W / m · K.

【００８７】ただし、セラミック基板１１は、レーザ光
が吸収されにくい材質のものが好ましく、例えば、窒化
アルミニウム基板の場合には、炭素含有量が５０００ｐ
ｐｍ以下の炭素含有量が少ないものが好ましい。また、
表面を研磨して表面の面粗度をＪＩＳ Ｂ ０６０１
Ｒａで２０μｍ以下にすることが望ましい。面粗度が大
きい場合は、レーザ光を吸収してしまうからである。ま
た必要に応じて、抵抗発熱体とセラミック基板の間に耐
熱性セラミック層を設けてもよい。例えば、非酸化物系
セラミックの場合は、表面に酸化物セラミックを形成し
ておいてもよい。However, the ceramic substrate 11 is preferably made of a material that does not easily absorb laser light. For example, in the case of an aluminum nitride substrate, the carbon content is 5000p.
Those having a small carbon content of pm or less are preferred. Also,
Polish the surface to determine the surface roughness of the surface according to JIS B 0601
It is desirable that Ra be 20 μm or less. This is because when the surface roughness is large, the laser light is absorbed. If necessary, a heat-resistant ceramic layer may be provided between the resistance heating element and the ceramic substrate. For example, in the case of a non-oxide ceramic, an oxide ceramic may be formed on the surface.

【００８８】上記方法を用い、抵抗発熱体をセラミック
基板の表面に形成する方法としては、セラミック基板の
所定領域に導体ペーストを面状（円環状）に塗布した
後、レーザトリミングにて発熱体パターンを形成する方
法、または、導体ペーストを焼き付けた後、レーザトリ
ミングを行い、所定パターンの抵抗発熱体を形成する方
法が挙げられる。これらの方法のうち、導体ペーストを
焼き付けた後、抵抗発熱体パターンを形成する方法が、
レーザ光の照射による導体ペースト層の剥離等が発生し
ないため好ましい。As a method of forming a resistance heating element on the surface of a ceramic substrate by using the above method, a conductive paste is applied to a predetermined area of the ceramic substrate in a planar shape (annular shape), and then the heating element pattern is formed by laser trimming. Or a method of baking a conductive paste and then performing laser trimming to form a resistive heating element having a predetermined pattern. Of these methods, after baking the conductor paste, a method of forming a resistance heating element pattern,
This is preferable because peeling of the conductive paste layer due to laser light irradiation does not occur.

【００８９】なお、金属の焼結は、金属粒子同士および
金属粒子とセラミックとが融着していれば充分である。
また、めっき法やスパッタリング等の方法を用いて所定
領域に導体層を形成し、レーザトリミングによる抵抗発
熱体パターンの形成を行ってもよい。The sintering of the metal is sufficient if the metal particles and the metal particles and the ceramic are fused.
Alternatively, a conductor layer may be formed in a predetermined region by using a method such as plating or sputtering, and a resistance heating element pattern may be formed by laser trimming.

【００９０】次に、上述したレーザトリミング工程以外
の本発明のセラミックヒータの製造方法について、図６
に基づいて説明する。図６（ａ）〜（ｄ）は、レーザ処
理を含む本発明のセラミックヒータの製造方法の一部を
模式的に示す断面図である。Next, a method of manufacturing a ceramic heater according to the present invention other than the laser trimming step described above will be described with reference to FIG.
It will be described based on. 6A to 6D are cross-sectional views schematically showing a part of the method for manufacturing a ceramic heater of the present invention including laser processing.

【００９１】(1) セラミック基板の作製工程 窒化アルミニウム等のセラミックの粉末に、必要に応じ
て、イットリア（Ｙ2 Ｏ 3 ）等の焼結助剤、Ｎａ、Ｃａ
を含む化合物、バインダ等を配合してスラリーを調製し
た後、このスラリーをスプレードライ等の方法で顆粒状
にし、この顆粒を金型などに入れて加圧することにより
板状などに成形し、生成形体（グリーン）を作製する。
なお、ドクターブレード法等により形成したグリーンシ
ートを積層することにより生成形体を作製してもよい。(1) Manufacturing process of ceramic substrate Powder of ceramic such as aluminum nitride is added
Yttria (YTwo O Three ), Sintering aids, Na, Ca
Is prepared by blending a compound containing
After this, the slurry is granulated by a method such as spray drying.
And put the granules in a mold and press
It is formed into a plate or the like to produce a formed body (green).
Note that the green sheet formed by the doctor blade method, etc.
The formed form may be produced by laminating the sheets.

【００９２】次に、生成形体に、必要に応じて、シリコ
ンウエハ３９等の被加熱物を運搬等するためのリフター
ピン３６を挿入する貫通孔３５となる部分や熱電対など
の測温素子を埋め込むための有底孔となる部分等を形成
する。Next, as necessary, a portion serving as a through hole 35 into which a lifter pin 36 for transporting an object to be heated such as a silicon wafer 39 is inserted, or a temperature measuring element such as a thermocouple is provided. A portion having a bottomed hole for embedding is formed.

【００９３】次に、この生成形体を加熱、焼成して焼結
させ、セラミック製の板状体を製造する。この後、所定
の形状に加工することにより、セラミック基板１１を作
製する（図６（ａ）参照）が、焼成後にそのまま使用す
ることができる形状としてもよい。また、例えば、上下
より加圧しながら加熱、焼成を行うことにより、気孔の
ないセラミック基板１１を製造することが可能となる。
加熱、焼成は、焼結温度以上であればよいが、例えば、
窒化物セラミックでは、１０００〜２５００℃である。Next, the formed body is heated, fired and sintered to produce a ceramic plate. Thereafter, the ceramic substrate 11 is manufactured by processing into a predetermined shape (see FIG. 6A), but may be formed into a shape that can be used as it is after firing. Further, for example, by performing heating and baking while applying pressure from above and below, it becomes possible to manufacture a ceramic substrate 11 having no pores.
Heating and firing may be at least the sintering temperature, for example,
For nitride ceramics, the temperature is 1000-2500C.

【００９４】なお、通常は、焼成を行った後に、貫通孔
３５や測温素子を挿入するための有底孔（図示せず）を
設ける。貫通孔３５等は、表面研磨後に、ＳｉＣ粒子等
を用いたサンドブラスト等のブラスト処理を行うことに
より形成することができる。Normally, after firing, a through hole 35 and a bottomed hole (not shown) for inserting a temperature measuring element are provided. The through holes 35 and the like can be formed by performing blasting such as sand blasting using SiC particles or the like after surface polishing.

【００９５】(2) セラミック基板に導体ペーストを印刷
する工程 導体ペーストは、一般に、金属粒子、樹脂、溶剤からな
る粘度の高い流動物である。この導体ペーストをスクリ
ーン印刷などを用い、抵抗発熱体を設けようとする領域
一体に帯状または円環状に印刷を行うことにより、導体
ペースト層１２ｍを形成する（図６（ｂ））。抵抗発熱
体のパターンは、セラミック基板全体を均一な温度にす
る必要があることから、図３に示すような同心円の一部
を描くように繰り返して形成された円弧、または、同心
円を基本とするパターンが望ましい。(2) Step of Printing Conductive Paste on Ceramic Substrate The conductive paste is generally a high-viscosity fluid composed of metal particles, resin and solvent. This conductor paste is printed in a band or ring shape integrally with the area where the resistance heating element is to be provided by screen printing or the like, thereby forming a conductor paste layer 12m (FIG. 6B). Since it is necessary to make the temperature of the entire ceramic substrate uniform, the pattern of the resistance heating element is based on an arc or a concentric circle repeatedly formed so as to draw a part of a concentric circle as shown in FIG. Patterns are preferred.

【００９６】(3) 導体ペーストの焼成 セラミック基板１１の底面に印刷した導体ペースト層を
加熱焼成して、樹脂、溶剤を除去するとともに、金属粒
子を焼結させ、セラミック基板１１の底面に焼き付け、
所定の幅を有する導体層を形成（図４参照）した後、上
述したレーザによるトリミング処理を行い、抵抗発熱体
を形成する（図６（ｃ）参照）。加熱焼成の温度は、５
００〜１０００℃が好ましい。スクリーン印刷、めっき
法、スパッタリング等により抵抗発熱体パターンの導体
ペースト層を形成した後、焼成して抵抗発熱体１２と
し、レーザトリミングにより抵抗発熱体の抵抗値を調整
してもよい。(3) Firing of Conductive Paste The conductive paste layer printed on the bottom surface of the ceramic substrate 11 is heated and fired to remove the resin and the solvent, and sinter the metal particles.
After a conductor layer having a predetermined width is formed (see FIG. 4), the above-described trimming process using a laser is performed to form a resistance heating element (see FIG. 6C). The temperature of heating and firing is 5
00-1000 ° C is preferred. After forming the conductor paste layer of the resistance heating element pattern by screen printing, plating, sputtering, or the like, the resistance heating element 12 may be baked to adjust the resistance value of the resistance heating element by laser trimming.

【００９７】(4) 金属被覆層の形成 抵抗発熱体１２表面には、図４に示したように、金属被
覆層１２０を設けることが望ましい。金属被覆層１２０
は、電解めっき、無電解めっき、スパッタリング等によ
り形成することができるが、量産性を考慮すると、無電
解めっきが最適である。(4) Formation of Metal Coating Layer It is desirable to provide a metal coating layer 120 on the surface of the resistance heating element 12, as shown in FIG. Metal coating layer 120
Can be formed by electrolytic plating, electroless plating, sputtering, or the like, but in consideration of mass productivity, electroless plating is optimal.

【００９８】(5) 端子等の取り付け 抵抗発熱体１２のパターンの端部に電源との接続のため
の端子（外部端子３３）を半田を介して取り付ける（図
６（ｄ）参照）。また、有底孔３４（図示せず）に熱電
対を挿入し、ポリイミド等の耐熱樹脂等を用いて封止
し、セラミックヒータの製造を終了する。(5) Attachment of Terminals, etc. Terminals (external terminals 33) for connection to a power supply are attached to the ends of the pattern of the resistance heating element 12 via solder (see FIG. 6D). In addition, a thermocouple is inserted into the bottomed hole 34 (not shown) and sealed with a heat-resistant resin such as polyimide or the like, and the production of the ceramic heater is completed.

【００９９】なお、本発明のセラミックヒータでは、セ
ラミック基板の内部に静電電極を設けることにより静電
チャックとして使用することができ、また、表面にチャ
ップトップ導体層を設け、内部にガード電極やグランド
電極を設けることによりウエハプローバとして使用する
ことができる。The ceramic heater of the present invention can be used as an electrostatic chuck by providing an electrostatic electrode inside the ceramic substrate, and a chaptop conductor layer is provided on the surface, and a guard electrode or the like is provided inside. By providing a ground electrode, it can be used as a wafer prober.

【０１００】[0100]

【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説
明する。 （実施例１）レーザトリミングによる抵抗発熱体の抵抗
値の調整 (1) 窒化アルミニウム粉末（平均粒径：０．６μｍ）１
００重量部、イットリア（平均粒径：０．４μｍ）４重
量部、アクリルバインダ１２重量部およびアルコールか
らなる組成物のスプレードライを行い、顆粒状の粉末を
作製した。The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. Example 1 Adjustment of Resistance Value of Resistance Heating Element by Laser Trimming (1) Aluminum Nitride Powder (Average Particle Size: 0.6 μm) 1
A composition comprising 00 parts by weight, 4 parts by weight of yttria (average particle size: 0.4 μm), 12 parts by weight of an acrylic binder and alcohol was spray-dried to prepare a granular powder.

【０１０１】(2) 次に、この顆粒状の粉末を金型に入
れ、平板状に成形して生成形体（グリーン）を得た。(2) Next, this granular powder was put into a mold and molded into a flat plate to obtain a green body (green).

【０１０２】(3) 次に、この生成形体を１８００℃、圧
力：２０ＭＰａでホットプレスし、厚さがほぼ３ｍｍの
窒化アルミニウム板状体を得た。次に、この板状体から
直径２１０ｍｍの円板体を切り出し、セラミック製の板
状体（セラミック基板１１）とした。このセラミック基
板にドリル加工を施し、シリコンウエハのリフターピン
３６を挿入する貫通孔３５、熱電対を埋め込むための有
底孔３４（直径：１．１ｍｍ、深さ：２ｍｍ）を形成し
た。(3) Next, the green compact was hot-pressed at 1800 ° C. and a pressure of 20 MPa to obtain an aluminum nitride plate having a thickness of about 3 mm. Next, a disk having a diameter of 210 mm was cut out from the plate to obtain a ceramic plate (ceramic substrate 11). The ceramic substrate was drilled to form a through hole 35 for inserting a lifter pin 36 of a silicon wafer and a bottomed hole 34 (diameter: 1.1 mm, depth: 2 mm) for embedding a thermocouple.

【０１０３】(4) 上記(3) で得たセラミック基板１１
に、スクリーン印刷にて導体ペースト層を形成した。印
刷パターンは、図３に示したようなパターンであった。
上記導体ペーストとしては、Ａｇ４８重量％、Ｐｔ２１
重量％、ＳｉＯ2 １．０重量％、Ｂ2 Ｏ3 １．２重量
％、ＺｎＯ４．１重量％、ＰｂＯ３．４重量％、酢酸エ
チル３．４重量％、ブチルカルビトール１７．９重量％
からなる組成のものを使用した。この導体ペーストは、
Ａｇ−Ｐｔペーストであり、銀粒子は、平均粒径が４．
５μｍで、リン片状のものであった。また、Ｐｔ粒子
は、平均粒子径０．５μｍの球状であった。(4) The ceramic substrate 11 obtained in the above (3)
Then, a conductor paste layer was formed by screen printing. The print pattern was a pattern as shown in FIG.
As the conductor paste, Ag 48% by weight, Pt21
Wt%, SiO 2 1.0 wt%, B 2 O 3 1.2 wt%, ZnO4.1 wt%, PbO3.4 wt%, ethyl acetate 3.4 wt%, butyl carbitol 17.9 wt%
The composition having the following composition was used. This conductor paste
It is an Ag-Pt paste, and the silver particles have an average particle size of 4.
It was 5 μm and scaly. Further, the Pt particles were spherical with an average particle diameter of 0.5 μm.

【０１０４】(5) さらに、発熱体パターンの導体ペース
ト層を形成した後、セラミック基板１１を８５０℃で加
熱、焼成して、導体ペースト中のＡｇ、Ｐｔを焼結させ
るとともにセラミック基板１１に焼き付けた。(5) Further, after the conductor paste layer of the heating element pattern is formed, the ceramic substrate 11 is heated and fired at 850 ° C. to sinter Ag and Pt in the conductor paste and to bake the ceramic paste on the ceramic substrate 11. Was.

【０１０５】抵抗発熱体のパターンは、図３に示したよ
うに、１２ａ〜１２ｇの７チャンネルである。外周の４
つのチャンネル（抵抗発熱体１２ａ〜１２ｄ）のトリミ
ング前のチャンネル内の抵抗値のばらつきは、７．４〜
１２．４％であった。なお、チャンネルとは、制御を行
う際に、同一電圧を印加して一の制御を行う回路をいう
が、本実施例では、連続体として形成された各抵抗発熱
体（１２ａ〜１２ｇ）を示す。As shown in FIG. 3, the pattern of the resistance heating element is seven channels 12a to 12g. Perimeter 4
The variation of the resistance value in one of the channels (the resistance heating elements 12a to 12d) before trimming is 7.4 to
12.4%. Note that a channel refers to a circuit that performs one control by applying the same voltage when performing control. In the present embodiment, each resistance heating element (12a to 12g) formed as a continuous body is shown. .

【０１０６】また、各チャンネル（抵抗発熱体１２ａ〜
１２ｄ）内の抵抗ばらつきは、以下のようにして求め
た。すなわち、まず、チャンネル内を２０分割し、分割
した範囲内の両端で抵抗を測定し、その平均を平均分割
抵抗値とし、さらに、チャンネル内の最高抵抗値と最低
抵抗値との差と平均分割抵抗値とから、ばらつきを計算
した。また、各チャンネル（抵抗発熱体１２ａ〜１２
ｄ）内の抵抗値は、分割して測定した全抵抗値の総和で
ある。Further, each channel (the resistance heating elements 12a to 12a)
The resistance variation in 12d) was obtained as follows. That is, first, the channel is divided into 20, the resistance is measured at both ends within the divided range, the average is taken as the average divided resistance value, and the difference between the highest resistance value and the lowest resistance value in the channel and the average divided value are calculated. Variation was calculated from the resistance value. In addition, each channel (the resistance heating elements 12a to 12
The resistance value in d) is the sum of all resistance values measured separately.

【０１０７】(6) 次に、トリミング用の装置として、波
長が１０６０ｎｍのＹＡＧレーザ（日本電気製 Ｓ１４
３ＡＬ 出力５Ｗ、パルス周波数設定範囲 ０．１〜４
０ｋＨｚ）を用い、パルス周波数を１．０ｋＨｚに設定
した。この装置は、Ｘ−Ｙステージ、ガルバノミラー、
ＣＣＤカメラ、Ｎｄ：ＹＡＧレーザを備え、また、ステ
ージとガルバノミラーを制御するコントローラを内蔵
し、コントローラは、コンピュータ（日本電気製 ＦＣ
−９８２１）に接続されている。コンピュータは、演算
部と記憶部を兼ねるＣＰＵを有している。また、記憶部
と入力部を兼ねるハードディスクと３．５インチＦＤド
ライブを有している。(6) Next, as a trimming device, a YAG laser having a wavelength of 1060 nm (S14 manufactured by NEC Corporation)
3AL output 5W, pulse frequency setting range 0.1-4
0 kHz) and the pulse frequency was set to 1.0 kHz. This device consists of an XY stage, a galvanometer mirror,
It has a CCD camera, an Nd: YAG laser, and a built-in controller that controls the stage and galvanometer mirror. The controller is a computer (NEC FC
-9821). The computer has a CPU that doubles as an arithmetic unit and a storage unit. In addition, it has a hard disk serving as a storage unit and an input unit, and a 3.5-inch FD drive.

【０１０８】このコンピュータにＦＤドライブから発熱
体パターンデータを入力し、また、抵抗発熱体の位置を
読み取って（読み取りは、導体層の特定箇所またはセラ
ミック基板に形成されたマーカを基準にする）、必要な
制御データを演算し、発熱体パターンを電流が流れる方
向に沿って概ね平行に照射し、その部分の導体層を除去
し、セラミック基板に到達する幅５０μｍの溝を形成す
ることにより、抵抗値を調整した。抵抗発熱体は、厚さ
が５μｍ、幅２．４ｍｍであった。レーザは、１ｋＨｚ
の周波数で、０．４Ｗの出力、バイトサイズは１０μ
ｍ、加工スピードは１０ｍｍ／秒であった。The heating element pattern data is input from the FD drive to the computer, and the position of the resistance heating element is read (reading is based on a specific portion of the conductor layer or a marker formed on the ceramic substrate). The required control data is calculated, the heating element pattern is irradiated substantially parallel to the direction in which the current flows, the conductor layer in that part is removed, and a groove having a width of 50 μm reaching the ceramic substrate is formed. The value was adjusted. The resistance heating element had a thickness of 5 μm and a width of 2.4 mm. Laser is 1kHz
0.4W output, byte size is 10μ
m, the processing speed was 10 mm / sec.

【０１０９】このようにトリミングを行い、抵抗発熱体
の抵抗値を調整した後の外周の４つのチャンネル（抵抗
発熱体１２ａ〜１２ｄ）の抵抗値のばらつきは、１．０
〜５．０％と大きく減少した。また、レーザパルスの周
波数を１ｋＨｚと、２ｋＨｚ以下に設定しているため、
ファーストパルスのエネルギーは大きくならず、溝の深
さおよび幅は、溝全体において均一であった。After the trimming is performed and the resistance value of the resistance heating element is adjusted, the variation in the resistance value of the outer four channels (resistance heating elements 12a to 12d) is 1.0%.
５5.0%. Also, since the frequency of the laser pulse is set to 1 kHz and 2 kHz or less,
The energy of the first pulse did not increase, and the depth and width of the groove were uniform throughout the groove.

【０１１０】(8) 次に、電源との接続を確保するための
外部端子３３を取り付ける部分にＮｉめっきした後、ス
クリーン印刷により、銀−鉛半田ペースト（田中貴金属
社製）を印刷して半田層を形成した。次いで、半田層の
上にコバール製の外部端子３３を載置して、４２０℃で
加熱リフローし、外部端子３３を抵抗発熱体１２の表面
に取り付けた。(8) Next, a portion to which the external terminal 33 for securing connection to the power supply is to be Ni-plated, and then silver-lead solder paste (manufactured by Tanaka Kikinzoku Co., Ltd.) is printed by screen printing to perform soldering. A layer was formed. Next, the external terminal 33 made of Kovar was placed on the solder layer, and heated and reflowed at 420 ° C., and the external terminal 33 was attached to the surface of the resistance heating element 12.

【０１１１】(9) 温度制御のための熱電対をポリイミド
で封止し、セラミックヒータ１０を得た。(9) A thermocouple for temperature control was sealed with polyimide to obtain a ceramic heater 10.

【０１１２】（実施例２）セラミックヒータの製造（レ
ーザトリミングによる抵抗発熱体形成） 本実施例では、図３に示す抵抗発熱体パターンを有する
セラミックヒータを製造した。 (1) まず、窒化アルミニウム粉末（平均粒径：１．１μ
ｍ）１００重量部、イットリア（平均粒径：０．４μ
ｍ）４重量部、アクリルバインダ１２重量部およびアル
コールからなる組成物のスプレードライを行い、顆粒状
の粉末を作製した。Example 2 Production of Ceramic Heater (Formation of Resistance Heating Element by Laser Trimming) In this example, a ceramic heater having the resistance heating element pattern shown in FIG. 3 was produced. (1) First, aluminum nitride powder (average particle size: 1.1 μm)
m) 100 parts by weight, yttria (average particle size: 0.4 μm)
m) A composition comprising 4 parts by weight, 12 parts by weight of an acrylic binder and alcohol was spray-dried to prepare a granular powder.

【０１１３】(2) 次に、この顆粒状の粉末を金型に入
れ、平板状に成形して生成形体（グリーン）を得た。(2) Next, the granular powder was put into a mold and molded into a flat plate to obtain a green body.

【０１１４】(3) 次に、この生成形体を１８００℃、圧
力：２０ＭＰａでホットプレスし、厚さがほぼ３ｍｍの
窒化アルミニウム板状体を得た。次に、この板状体から
直径２１０ｍｍの円板体を切り出し、セラミック製の板
状体（セラミック基板１１）とした。このセラミック基
板にドリル加工を施し、シリコンウエハのリフターピン
３６を挿入する貫通孔３５、熱電対を埋め込むための有
底孔（図示せず）（直径：１．１ｍｍ、深さ：２ｍｍ）
を形成した（図６（ａ）参照）。(3) Next, the formed product was hot-pressed at 1800 ° C. and a pressure of 20 MPa to obtain an aluminum nitride plate having a thickness of about 3 mm. Next, a disk having a diameter of 210 mm was cut out from the plate to obtain a ceramic plate (ceramic substrate 11). This ceramic substrate is drilled, a through hole 35 for inserting a lifter pin 36 of a silicon wafer, a bottomed hole (not shown) for embedding a thermocouple (diameter: 1.1 mm, depth: 2 mm)
Was formed (see FIG. 6A).

【０１１５】(4) 上記(3) で得たセラミック基板１１
に、スクリーン印刷にて導体ペースト層１２ｍを形成し
た。印刷パターンは、図３の抵抗発熱体１２の各回路と
なる抵抗発熱体１２ａ〜１２ｇを含むように面状に塗布
された所定幅を有する同心円形状（円環形状）のパター
ンであった（図６（ｂ）参照）。上記導体ペーストとし
ては、プリント配線板のスルーホール形成に使用されて
いる徳力化学研究所製のソルベストＰＳ６０３Ｄを使用
した。この導体ペーストは、銀−鉛ペーストであり、銀
１００重量部に対して、酸化鉛（５重量％）、酸化亜鉛
（５５重量％）、シリカ（１０重量％）、酸化ホウ素
（２５重量％）およびアルミナ（５重量％）からなる金
属酸化物を７．５重量部含むものであった。また、銀粒
子は、平均粒径が４．５μｍで、リン片状のものであっ
た。(4) The ceramic substrate 11 obtained in the above (3)
Then, a conductor paste layer 12m was formed by screen printing. The printing pattern was a concentric pattern (annular shape) having a predetermined width and applied in a plane so as to include the resistance heating elements 12a to 12g to be the respective circuits of the resistance heating element 12 in FIG. 6 (b)). As the conductive paste, Solvest PS603D manufactured by Tokuri Chemical Laboratory, which is used for forming through holes in a printed wiring board, was used. This conductor paste is a silver-lead paste, and based on 100 parts by weight of silver, lead oxide (5% by weight), zinc oxide (55% by weight), silica (10% by weight), and boron oxide (25% by weight). And 7.5 parts by weight of a metal oxide comprising alumina (5% by weight). The silver particles had an average particle size of 4.5 μm and were scaly.

【０１１６】(5) さらに、発熱体パターンの導体ペース
ト層を形成した後、セラミック基板１１を７８０℃で加
熱、焼成して、導体ペースト中の銀、鉛を焼結させると
ともにセラミック基板１１に焼き付けた。(5) Further, after the conductor paste layer of the heating element pattern is formed, the ceramic substrate 11 is heated and fired at 780 ° C. to sinter silver and lead in the conductor paste and to bake the ceramic paste on the ceramic substrate 11. Was.

【０１１７】(6) 次に、波長が１０６０ｎｍのＹＡＧレ
ーザ（日本電気社製 Ｓ１４３ＡＬ出力５Ｗ、パルス周
波数設定範囲 ０．１〜４０ｋＨｚ）を用い、レーザパ
ルスの周波数を１．０ｋＨｚとしてトリミングを行っ
た。この装置は、Ｘ−Ｙステージ、ガルバノミラー、Ｃ
ＣＤカメラ、Ｎｄ：ＹＡＧレーザを備え、また、ステー
ジとガルバノミラーを制御するコントローラを内蔵して
いる。このコントローラは、コンピュータ（日本電気社
製 ＦＣ−９８２１）に接続されている。また、上記コ
ンピュータは、演算部と記憶部を兼ねるＣＰＵを有して
いるとともに、記憶部と入力部を兼ねるハードディスク
と３．５インチＦＤドライブを有している。なお、Ｘ−
Ｙステージは、固定されたセラミック基板の中心軸Ａを
中心として、任意の角度θだけ回転することができるよ
うになっている。(6) Next, using a YAG laser having a wavelength of 1060 nm (S143AL output 5 W manufactured by NEC Corporation, pulse frequency setting range: 0.1 to 40 kHz), trimming was performed with a laser pulse frequency of 1.0 kHz. . This device consists of an XY stage, a galvanometer mirror,
It has a CD camera, an Nd: YAG laser, and a built-in controller for controlling the stage and the galvanometer mirror. This controller is connected to a computer (FC-9821 manufactured by NEC Corporation). In addition, the computer has a CPU that also serves as an arithmetic unit and a storage unit, and has a hard disk and a 3.5-inch FD drive that also serves as a storage unit and an input unit. X-
The Y stage can rotate by an arbitrary angle θ about the center axis A of the fixed ceramic substrate.

【０１１８】このコンピュータにＦＤドライブから発熱
体パターンデータを入力し、また、導体層の位置を読み
取って（読み取りは、導体層の特定箇所またはセラミッ
ク基板に形成されたマーカを基準にする）、必要な制御
データを演算し、セラミック基板１１を回転させなが
ら、導体ペースト層の発熱体パターン形成予定領域以外
の部分にレーザ光を照射し、その部分の導体ペースト層
を除去し、図３に示すパターンを持つ抵抗発熱体１２を
形成した（図６（ｃ）参照）。銀−鉛の抵抗発熱体は、
厚さが５μｍ、幅２．４ｍｍ、面積抵抗率が７．７ｍΩ
／□であった。The heating element pattern data is input from the FD drive to the computer, and the position of the conductive layer is read (reading is performed with reference to a specific portion of the conductive layer or a marker formed on the ceramic substrate). While the ceramic substrate 11 is rotated, a portion of the conductive paste layer other than the area where the heating element pattern is to be formed is irradiated with laser light to remove the conductive paste layer, and the pattern shown in FIG. Was formed (see FIG. 6C). The silver-lead resistance heating element
The thickness is 5 μm, the width is 2.4 mm, and the sheet resistivity is 7.7 mΩ.
/ □.

【０１１９】(7) 硫酸ニッケル８０ｇ／ｌ、次亜リン酸
ナトリウム２４ｇ／ｌ、酢酸ナトリウム１２ｇ／ｌ、ほ
う酸８ｇ／ｌ、塩化アンモニウム６ｇ／ｌの濃度の水溶
液からなる無電解ニッケルめっき浴に上記(6) で作製し
たセラミック基板１１を浸漬し、銀−鉛の抵抗発熱体１
２の表面に厚さ１μｍの金属被覆層（ニッケル層）１２
０を析出させた。(7) The above electroless nickel plating bath composed of an aqueous solution having a concentration of 80 g / l of nickel sulfate, 24 g / l of sodium hypophosphite, 12 g / l of sodium acetate, 8 g / l of boric acid, and 6 g / l of ammonium chloride was used. The ceramic substrate 11 prepared in (6) is immersed in the silver-lead resistance heating element 1.
2 a 1 μm thick metal coating layer (nickel layer) 12
0 was precipitated.

【０１２０】(8) 電源との接続を確保するための外部端
子３３を取り付ける部分に、スクリーン印刷により、銀
−鉛半田ペースト（田中貴金属社製）を印刷して半田層
を形成した。次いで、半田層の上にコバール製の外部端
子３３を載置して、４２０℃で加熱リフローし、外部端
子３３を抵抗発熱体１２の表面に取り付けた（図６
（ｄ）参照）。(8) A silver-lead solder paste (manufactured by Tanaka Kikinzoku Co., Ltd.) was printed by screen printing on the portion where the external terminal 33 for securing the connection to the power supply was to be formed, to form a solder layer. Next, an external terminal 33 made of Kovar was placed on the solder layer and heated and reflowed at 420 ° C. to attach the external terminal 33 to the surface of the resistance heating element 12 (FIG. 6).
(D)).

【０１２１】(9) 温度制御のための熱電対をポリイミド
で封止し、セラミックヒータ１０を得た。(9) A thermocouple for temperature control was sealed with polyimide to obtain a ceramic heater 10.

【０１２２】（実施例３）本実施例では、波長１０６０
ｎｍのＹＡＧレーザでのトリミングのレーザパルスの周
波数を２．０ｋＨｚとした他は、実施例１と同様に行な
った。その結果、レーザパルスの周波数を２ｋＨｚと、
２ｋＨｚ以下に設定しているため、ファーストパルスの
エネルギーは大きくならず、溝の深さおよび幅は、溝全
体においてほぼ均一であった。(Embodiment 3) In this embodiment, a wavelength of 1060
Example 3 was carried out in the same manner as in Example 1 except that the frequency of the trimming laser pulse with the YAG laser of 2.0 nm was changed to 2.0 kHz. As a result, the frequency of the laser pulse is 2 kHz,
Since the frequency was set to 2 kHz or less, the energy of the first pulse did not increase, and the depth and width of the groove were almost uniform over the entire groove.

【０１２３】（比較例１）本比較例では、波長１０６０
ｎｍのＹＡＧレーザでのトリミングのレーザパルスの周
波数を２．５ｋＨｚとした他は、実施例１と同様に行な
った。その結果、レーザパルスの周波数が２ｋＨｚを超
えていたため、形成された溝は、最初にレーザ光が照射
された部分の幅が広くなりすぎており、これに起因し
て、抵抗発熱体の抵抗値が設定した値より高くなってい
た。Comparative Example 1 In this comparative example, a wavelength of 1060
Example 3 was carried out in the same manner as in Example 1 except that the frequency of the trimming laser pulse with the YAG laser of 2.5 nm was changed to 2.5 kHz. As a result, since the frequency of the laser pulse exceeded 2 kHz, the width of the formed groove was too large at the portion where the laser beam was first irradiated, and as a result, the resistance value of the resistance heating element was increased. Was higher than the set value.

【０１２４】評価方法 （１）加熱面の温度測定 実施例および比較例に係るセラミックヒータを３００℃
に昇温した後、セラミック基板の加熱面の温度をサーモ
ビュア（日本データム社製 ＩＲ−１６２０１２−００
１２）により測定し、最低温度と最高温度との温度差を
求めた。その結果を表１に示す。表１の温度差とは、最
低温度と最高温度との温度差である。 （２）トリミング速度 バイトサイズを１０μｍに設定した際のトリミング速度
を計算した。その結果を表１に示した。[0124]Evaluation method  (1) Temperature Measurement of Heating Surface The ceramic heaters according to the examples and comparative examples were set at 300 °
After the temperature has risen to
Viewer (Nippon Datum IR-162012-00)
12) Measure the temperature difference between the lowest and highest temperature.
I asked. Table 1 shows the results. The temperature difference in Table 1
The temperature difference between the low temperature and the maximum temperature. (2) Trimming speed Trimming speed when the byte size is set to 10 μm
Was calculated. The results are shown in Table 1.

【０１２５】（３）曲げ強度 セラミック基板への損傷を曲げ強度を測定することで評
価した。曲げ強度の測定は、インストロン万能試験機
（４５０７型 ロードセル；５０００Ｎ）を用い、温度
が２５℃の大気中、クロスヘッド速度；０．５ｍｍ／
分、スパン距離Ｌ；３０ｍｍ、試験片の厚さ；３．０６
ｍｍ、試験片の幅；４．０３ｍｍで実施し、以下の計算
式（１）を用いて３点曲げ強度σ（ＭＰａ）を算出し
た。その結果を表１に示す。(3) Flexural Strength Damage to the ceramic substrate was evaluated by measuring flexural strength. The bending strength was measured using an Instron universal tester (type 4507 load cell; 5000N) in the air at a temperature of 25 ° C, at a crosshead speed of 0.5 mm /
Min, span distance L; 30 mm, thickness of test piece; 3.06
mm, the width of the test piece: 4.03 mm, and the three-point bending strength σ (MPa) was calculated using the following formula (1). Table 1 shows the results.

【０１２６】[0126]

【数１】 (Equation 1)

【０１２７】[0127]

【表１】 [Table 1]

【０１２８】表１に示す表より明らかなように、実施例
１では、レーザ光の周波数が１ｋＨｚであり、ほぼ完全
に抵抗値が制御されているので、温度差が小さい。ま
た、実施例２は、トリミングで発熱体を形成するもので
あるが、周波数が１ｋＨｚのレーザ光を用いることによ
り、正確にパターンが形成されているので温度差が小さ
い。実施例３でも、レーザ光の周波数が２ｋＨｚである
ので、依然として温度差は小さい。ただし、表１に示す
ように、トリミング速度は、周波数が高いほど大きい。
一方、比較例１のように、レーザ光の周波数が２ｋＨｚ
を超えると、抵抗値の制御ができず、温度差が大きくな
りすぎて実用的でないことがわかる。このように、実施
例で得られたセラミックヒータは、２ｋＨｚ以下のパル
ス周波数を持つパルス光のレーザ光でトリミングを行な
ったので、いわゆるファーストパルスのエネルギーが高
くなり過ぎることにより、抵抗発熱体の表面を必要以上
トリミングしてしまうことがなく、容易に精密なパター
ンを形成することができ、また、正確な幅の溝を形成す
ることができた。As is clear from the table shown in Table 1, in Example 1, the frequency of the laser beam was 1 kHz and the resistance value was almost completely controlled, so that the temperature difference was small. In the second embodiment, the heating element is formed by trimming. However, the temperature difference is small because the pattern is accurately formed by using a laser beam having a frequency of 1 kHz. Also in the third embodiment, since the frequency of the laser beam is 2 kHz, the temperature difference is still small. However, as shown in Table 1, the trimming speed increases as the frequency increases.
On the other hand, as in Comparative Example 1, the frequency of the laser light was 2 kHz.
It is understood that, when it exceeds, the resistance value cannot be controlled, and the temperature difference becomes too large to be practical. As described above, since the ceramic heater obtained in the example is trimmed with the pulsed laser beam having a pulse frequency of 2 kHz or less, the energy of the so-called first pulse becomes excessively high, and the surface of the resistance heating element is increased. Was not trimmed more than necessary, a precise pattern could be easily formed, and a groove having an accurate width could be formed.

【０１２９】[0129]

【発明の効果】以上説明したように、第一の本発明のセ
ラミックヒータの製造方法によれば、セラミック基板上
に形成された抵抗発熱体に、パルス周波数が２ｋＨｚ以
下のレーザ光を照射し、トリミングを行って抵抗発熱体
の抵抗値を調整するので、いわゆるファーストパルスの
エネルギーが高くなり過ぎて、発熱体パターンが必要以
上にトリミングされてしまうことがなく、抵抗発熱体の
抵抗値を精密に調整することができる。As described above, according to the first method for manufacturing a ceramic heater of the present invention, a resistance heating element formed on a ceramic substrate is irradiated with a laser beam having a pulse frequency of 2 kHz or less. Since the resistance value of the resistance heating element is adjusted by trimming, the energy of the so-called first pulse does not become too high, and the heating element pattern is not trimmed more than necessary. Can be adjusted.

【０１３０】また、第二の本発明のセラミックヒータの
製造方法によれば、セラミック基板上に形成された導体
層に、パルス周波数が２ｋＨｚ以下のレーザ光を照射
し、トリミングを行って所定パターンの抵抗発熱体を形
成するので、いわゆるファーストパルスのエネルギーが
高くなり過ぎて、発熱体パターンが必要以上にトリミン
グされてしまうことがなく、精密なパターンを有する加
熱面の温度均一性に優れたセラミックヒータを得ること
ができる。Further, according to the ceramic heater manufacturing method of the second aspect of the present invention, the conductor layer formed on the ceramic substrate is irradiated with a laser beam having a pulse frequency of 2 kHz or less, and trimmed to form a predetermined pattern. Since the resistance heating element is formed, the energy of the so-called first pulse becomes too high, and the heating element pattern is not trimmed more than necessary. Can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明のセラミックヒータの製造方法に用いら
れる、レーザトリミング装置の概要を示すブロック図で
ある。FIG. 1 is a block diagram showing an outline of a laser trimming apparatus used in a method of manufacturing a ceramic heater according to the present invention.

【図２】抵抗発熱体にトリミング処理を施した際に形成
される溝を模式的に示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view schematically showing grooves formed when a trimming process is performed on a resistance heating element.

【図３】本発明のセラミックヒータの製造方法で製造さ
れるセラミックヒータの一例を模式的に示す底面図であ
る。FIG. 3 is a bottom view schematically illustrating an example of a ceramic heater manufactured by the method for manufacturing a ceramic heater of the present invention.

【図４】図３に示したセラミックヒータの部分拡大断面
図である。4 is a partially enlarged cross-sectional view of the ceramic heater shown in FIG.

【図５】本発明の製造方法で製造されるセラミックヒー
タの別の一例を模式的に示す平面図である。FIG. 5 is a plan view schematically showing another example of the ceramic heater manufactured by the manufacturing method of the present invention.

【図６】（ａ）〜（ｄ）は、本発明のセラミックヒータ
の製造工程の一部を模式的に示す断面図である。FIGS. 6A to 6D are cross-sectional views schematically showing a part of the manufacturing process of the ceramic heater of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０、４０ セラミックヒータ １１、４１ セラミック基板 １１ａ 加熱面 １１ｂ 底面 １２（１２ａ〜１２ｇ）、４２（４２ａ〜４２ｄ） 抵
抗発熱体 １２０ 金属被覆層 １３０ 溝 １０ レーザトリミングステージ １０ｂ 固定用突起 １０ｃ ステージ １２ｍ 導体層 １４ レーザ照射装置 １５ ガルバノミラー １６ モータ １７ 制御部 １８ 記憶部 １９ 演算部 ２０ 入力部 ２１ カメラ ２２ レーザ光 ３３ 外部端子 ３４、４４ 有底孔 ３５、４５ 貫通孔 ３６ リフターピン ３９ シリコンウエハ10, 40 Ceramic heater 11, 41 Ceramic substrate 11a Heating surface 11b Bottom surface 12 (12a to 12g), 42 (42a to 42d) Resistance heating element 120 Metal coating layer 130 Groove 10 Laser trimming stage 10b Fixing projection 10c Stage 12m Conductive layer Reference Signs List 14 laser irradiation device 15 galvanometer mirror 16 motor 17 control unit 18 storage unit 19 calculation unit 20 input unit 21 camera 22 laser beam 33 external terminal 34, 44 bottomed hole 35, 45 through hole 36 lifter pin 39 silicon wafer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 3/16 Ｈ０５Ｂ 3/20 ３２８ 3/20 ３２８ 3/68 3/68 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６７ Ｆターム(参考） 3K034 AA02 AA03 AA08 AA10 AA21 AA22 AA31 AA34 AA35 BC03 BC15 BC24 BC29 CA02 CA15 CA26 CA35 DA04 DA08 EA13 HA01 HA10 JA01 JA02 3K092 PP20 QA05 QB02 QB04 QB18 QB33 QB44 QB45 QB47 QB61 QB74 QB76 QB78 QB80 QC02 QC18 QC38 QC42 QC52 RF03 RF11 RF17 RF22 RF25 TT09 UA05 UA17 UC07 VV18 VV22 4M106 AA01 BA01 DH44 5F031 HA02 HA03 HA08 HA10 HA16 HA33 HA37 JA01 JA46 PA11 5F046 KA04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05B 3/16 H05B 3/20 328 3/20 328 3/68 3/68 H01L 21/30 567 F term ( Reference) 3K034 AA02 AA03 AA08 AA10 AA21 AA22 AA31 AA34 AA35 BC03 BC15 BC24 BC29 CA02 CA15 CA26 CA35 DA04 DA08 EA13 HA01 HA10 JA01 JA02 3K092 PP20 QA05 QB02 QB04 QB18 QB33 QB44 QB45 QB47 QB78 QBQC RF22 RF25 TT09 UA05 UA17 UC07 VV18 VV22 4M106 AA01 BA01 DH44 5F031 HA02 HA03 HA08 HA10 HA16 HA33 HA37 JA01 JA46 PA11 5F046 KA04

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 セラミック基板の表面に所定パターンの
抵抗発熱体を形成した後、前記抵抗発熱体にレーザ光を
照射して溝または切欠を形成し、抵抗発熱体の抵抗値を
調整するセラミックヒータの製造方法であって、前記レ
ーザ光は、パルス光であり、前記パルス光の周波数は、
２ｋＨｚ以下であることを特徴とするセラミックヒータ
の製造方法。1. A ceramic heater for forming a resistance heating element having a predetermined pattern on the surface of a ceramic substrate, and then irradiating the resistance heating element with a laser beam to form a groove or a notch, thereby adjusting a resistance value of the resistance heating element. The method of manufacturing, wherein the laser light is pulsed light, the frequency of the pulsed light,
A method for manufacturing a ceramic heater, wherein the frequency is 2 kHz or less. 【請求項２】 セラミック基板表面の所定領域に帯状ま
たは円環状の導体層を形成した後、レーザ光を照射して
前記導体層の一部をトリミングし、所定パターンの抵抗
発熱体を形成するセラミックヒータの製造方法であっ
て、前記レーザ光は、パルス光であり、前記パルス光の
周波数は、２ｋＨｚ以下であることを特徴とするセラミ
ックヒータの製造方法。2. A ceramic for forming a strip-shaped or annular conductor layer in a predetermined region on the surface of a ceramic substrate and then irradiating a laser beam to trim a part of the conductor layer to form a resistance heating element having a predetermined pattern. A method for manufacturing a heater, wherein the laser light is pulsed light, and the frequency of the pulsed light is 2 kHz or less.
JP2000339161A 2000-11-07 2000-11-07 Manufacturing method of ceramic heater Pending JP2002151235A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000339161A JP2002151235A (en) 2000-11-07 2000-11-07 Manufacturing method of ceramic heater

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000339161A JP2002151235A (en) 2000-11-07 2000-11-07 Manufacturing method of ceramic heater

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002151235A true JP2002151235A (en) 2002-05-24

Family

ID=18814268

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000339161A Pending JP2002151235A (en) 2000-11-07 2000-11-07 Manufacturing method of ceramic heater

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002151235A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005071916A (en) * 2003-08-27 2005-03-17 Kyocera Corp Ceramic heater
JP2006013262A (en) * 2004-06-28 2006-01-12 Kyocera Corp Heater and manufacturing method thereof, and wafer heating apparatus using it
US7361865B2 (en) 2003-08-27 2008-04-22 Kyocera Corporation Heater for heating a wafer and method for fabricating the same
JP2009206503A (en) * 2008-01-30 2009-09-10 Canon Anelva Engineering Corp Substrate heating apparatus, heating method, and semiconductor device manufacturing method
CN103152847A (en) * 2013-02-28 2013-06-12 包头稀土研究院 Method for manufacturing lanthanum chromite electric heating element in welding manner
KR20210010086A (en) * 2019-07-19 2021-01-27 세메스 주식회사 Apparatus for treating substrate and method for treating apparatus
KR102484368B1 (en) * 2021-12-28 2023-01-04 신성전자정밀 주식회사 Manufacturing method of ceramic heater

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005071916A (en) * 2003-08-27 2005-03-17 Kyocera Corp Ceramic heater
US7361865B2 (en) 2003-08-27 2008-04-22 Kyocera Corporation Heater for heating a wafer and method for fabricating the same
JP2006013262A (en) * 2004-06-28 2006-01-12 Kyocera Corp Heater and manufacturing method thereof, and wafer heating apparatus using it
JP2009206503A (en) * 2008-01-30 2009-09-10 Canon Anelva Engineering Corp Substrate heating apparatus, heating method, and semiconductor device manufacturing method
CN103152847A (en) * 2013-02-28 2013-06-12 包头稀土研究院 Method for manufacturing lanthanum chromite electric heating element in welding manner
KR20210010086A (en) * 2019-07-19 2021-01-27 세메스 주식회사 Apparatus for treating substrate and method for treating apparatus
KR102403198B1 (en) 2019-07-19 2022-05-27 세메스 주식회사 Apparatus for treating substrate and method for treating apparatus
KR102484368B1 (en) * 2021-12-28 2023-01-04 신성전자정밀 주식회사 Manufacturing method of ceramic heater

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPWO2002043441A1 (en) Ceramic heater and method for manufacturing ceramic heater
US6967312B2 (en) Semiconductor manufacturing/testing ceramic heater, production method for the ceramic heater and production system for the ceramic heater
JP2002246155A (en) Ceramic heater
KR100615443B1 (en) Ceramic heater
US20040155025A1 (en) Ceramic heater
JP2002329567A (en) Ceramic substrate and method of manufacturing junction body
EP1341215A1 (en) Ceramic heater for semiconductor manufacturing and inspecting devices
JP2002151235A (en) Manufacturing method of ceramic heater
WO2002007196A1 (en) Semiconductor manufacturing/testing ceramic heater
JP2002373846A (en) Ceramic heater and hot plate unit for semiconductor manufacturing and inspection apparatus
JP2002141159A (en) Ceramic heater
JP2002203666A (en) Ceramic heater and manufacturing method of the same
JP2002190373A (en) Manufacturing method of ceramic heater
JP2001257200A (en) Ceramic substrate for semiconductor manufacturing and checking device
JP2002083667A (en) Ceramic heater
JP2002175867A (en) Ceramic heater
JP2001223257A (en) Ceramic substrate for semiconductor production and inspection device
JP2002093551A (en) Ceramic heater
JP2002083668A (en) Manufacturing method of ceramic heater for semiconductor manufacturing/inspecting apparatus, and ceramic heater, and manufacturing system of the ceramic heater
JP2004296445A (en) Ceramic heater, manufacturing method of the same, and ceramic heater manufacturing system
JP2002198302A (en) Hot plate for semiconductor manufacture/inspection system
JP2002093552A (en) Ceramic heater
JP2002083670A (en) Ceramic heater
JP2002100460A (en) Ceramic heater and hot plate unit
JP2001338747A (en) Ceramic heater for semiconductor manufacturing and inspection apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20040318