JP2002148662A - 表示装置とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐久性が高く、高精細な表示が可能な電気泳
動表示装置を提供する。 【解決手段】 第１隔壁５ａは第１基板１の側から形成
し、第２隔壁５ｂは第２基板２の側から形成して、貼り
合わせる。このような構造をとることで、極めて微細な
隔壁を容易に形成することができ、耐久性が高く、高精
細な表示が可能な表示装置を提供することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電界によって電気
泳動粒子を移動させることにより表示を行う表示装置と
その製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報機器の発達に伴い、低消費電
力且つ薄型の表示装置の需要が増しており、これらの需
要に合わせた表示装置の研究、開発が盛んに行われてい
る。中でも液晶分子の配列を電気的に制御して液晶の光
学的特性を変化させる事で表示を行う液晶表示装置は、
上記の需要に対応できる表示装置として活発な開発が行
われ、商品化されている。しかしながら液晶表示装置で
は、画面を見る角度や反射光による画面上の文字の見づ
らさや、光源のちらつき・低輝度等から生じる視覚への
負担が未だ十分に解決されていない。この為、視覚への
負担の少ない表示装置の研究が盛んである。

【０００３】このような低消費電力、眼への負担軽減の
要求などの観点から反射型表示装置が期待されている。
その１つとして、ハロルド ディ リー（Ｈａｒｏｌｄ
Ｄ．Ｌｅｅｓ）等により発明された電気泳動表示装置
（米国特許ＵＳＰ３６１２７５８公報）が知られてい
る。

【０００４】従来の電気泳動表示装置の断面を表す概念
図を５図に示す。１は第１基板、２は第２基板、３は第
１電極、４は第２電極、５は隔壁、６は接着層、７は電
気泳動粒子、８は液体分散媒、９は画素領域、１０は表
示装置をそれぞれ表している。

【０００５】この装置は、互いに対向配置し少なくとも
一方が透明な一対の基板である第１基板１及び第２基板
２と、該基板間に複数の小区域を形成する為の隔壁５
と、前記小区域に封入された液体分散媒８中に電気泳動
粒子７を分散して成る分散系と、該分散系に電圧を印加
する少なくとも一方が透明な一対の電極である第１電極
３及び第２電極４と、から成る。この装置では少なくと
も、観察者が表示装置を観察する側である観察者側の前
記基板及び前記電極が透明であることが必要である。

【０００６】表示装置の駆動は、電極３、４に電圧を印
加して液体分散媒８中に電界を形成し、電気泳動粒子７
が持つ電気的極性に応じていずれかの電極に電気泳動粒
子７を引き寄せることにより行う。

【０００７】表示装置の表示は、この電気泳動粒子７の
色と、電気泳動粒子７と異なる色の着色色素が溶解され
た液体分散媒８の色を利用して行われる。すなわち、電
極間に電圧を印加して電気泳動粒子７が観察者側と反対
の側に移動した場合は、観察者には電気泳動粒子７の色
は認識されず、液体分散媒８の色が観察される。一方、
電極間に印加する電圧を逆転し、電気泳動粒子７を観察
者側に移動させた場合には、観察者には電気泳動粒子７
の色が認識され、電気泳動粒子７と液体分散媒８の色に
よって二値表示を行うことができる。

【０００８】製造方法としては例えば次のような方法が
ある。先ず第１基板１上に第１電極３を形成する。この
上に、第１基板１と第２基板２との間に一定の間隔を保
持し且つ各画素領域９を区分する隔壁５、を形成する。
そして画素領域９を電気泳動粒子７と液体分散媒８から
なる分散系で満たし、第２電極４が形成された第２基板
２を貼り合わせて表示装置を作製する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし電気泳動表示装
置の高精細化を図るためには、画素領域９の面積を小さ
くし、更に各画素領域９を隔てている隔壁５を極めて微
細な幅で形成する必要がある。

【００１０】このとき隔壁の高さを低くすれば、隔壁の
幅を容易に微細化することができる。しかし隔壁を低く
した場合は、表示コントラストが低下する問題が起こ
る。これは、電気泳動表示装置においては、前記のよう
に両電極に電圧を印加して電気泳動粒子を観察者側に引
き寄せたときには、観察者は電気泳動粒子の色を見るこ
とになる一方、観察者側と反対の側に電気泳動粒子を引
き寄せた場合は、観察者は液体分散媒の色を見ることに
なるが、隔壁が低い場合には液体分散媒を透して電気泳
動粒子の色も見えてしまうからである。こうして二値表
示の二値間の差が小さくなるので、コントラストが低く
なる。

【００１１】このように電気泳動表示装置では、表示コ
ントラストを維持するために、隔壁の高さを低くするこ
とができないという制限がある。従って、電気泳動表示
装置の高精細化を図るには、高いアスペクト比（高さ／
幅）の隔壁が必要となる。

【００１２】しかし高いアスペクト比のパターンを形成
するプロセスは非常に困難なものであるという問題があ
る。またアスペクト比の高い隔壁には、構造的に倒壊し
易い、隔壁と基板との密着部分の面積が狭いために剥離
し易い、などの問題があった。

【００１３】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、微細で、高いアスペクト比を持ち、し
かも倒壊や剥離などを起こしにくい隔壁を容易に形成で
きるようにし、耐久性が高く高精細な電気泳動表示装置
を提供することを目的としている。

【００１４】

【発明を解決するための手段】本発明の表示装置の製造
方法は、互いに対向配置し少なくとも一方が透明な一対
の基板である第１基板及び第２基板と、該基板間に複数
の小区域を形成する為の隔壁と、前記小区域に封入され
た液体分散媒中に電気泳動粒子を分散して成る分散系
と、該分散系に電圧を印加する一対の電極である第１電
極及び第２電極と、を少なくとも有し、第１電極と第２
電極の間に印加した電圧により生ずる電界によって電気
泳動粒子を移動させることで表示を行う表示装置の製造
方法であって、第１基板上に第１隔壁を形成する工程
と、第２基板上に第２隔壁を形成する工程と、第１隔壁
と第２隔壁が相対する配置で第１基板と第２基板とを接
着によって固定する工程と、を少なくとも含むことを特
徴とする。

【００１５】上記本発明においては、第１隔壁及び第２
隔壁は、幅が５乃至１００μｍ、高さが５乃至１００μ
ｍ、アスペクト比が０．１乃至１０、という形状で夫々
を形成すること、第１隔壁及び第２隔壁は、感光性樹脂
を用いて形成すること、第１隔壁と第２隔壁のうち少な
くとも一方は、膨潤性材料を用いて形成すること、を好
ましい態様として含むものである。

【００１６】また、本発明の表示装置は、互いに対向配
置し少なくとも一方が透明な一対の基板である第１基板
及び第２基板と、該基板間に複数の小区域を形成する為
の隔壁と、前記小区域に封入された液体分散媒中に電気
泳動粒子を分散して成る分散系と、該分散系に電圧を印
加する一対の電極である第１電極及び第２電極と、を少
なくとも有し、第１電極と第２電極の間に印加した電圧
により生ずる電界によって電気泳動粒子を移動させるこ
とで表示を行う表示装置であって、請求項１から４のう
ちのいずれか一項に記載の製造方法を用いて製造された
ことを特徴とする。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態を具体的に説明するが、本発明はこれらに
制限されるものではない。

【００１８】図４は本発明の表示装置の断面を表す模式
図である。１は第１基板、２は第２基板、３は第１電
極、４は第２電極、５ａ及び５ｂは本発明に特徴的な構
造の第１隔壁及び第２隔壁であり、６は接着層、７は電
気泳動粒子、８は液体分散媒、９は画素領域、をそれぞ
れ表している。

【００１９】第１隔壁５ａは第１基板１の側から形成さ
れ、第２隔壁５ｂは第２基板２の側から形成されてい
る。このような構造をとることで、最終製品での隔壁の
アスペクト比が同じならば、従来のように隔壁をどちら
かの基板側から単層で形成する構造に比べて、第１基板
側、第２基板側のそれぞれに形成する隔壁のアスペクト
比（高さ／幅）を下げることができる。これにより極め
て微細な隔壁を容易に形成することができ、高精細な表
示が可能な表示装置を提供することができる。また、表
示装置を構成する基板及び隔壁として可撓性の材料を用
いた場合には、基板を曲げたとき２枚の基板の曲率の差
により発生する応力は、第１隔壁と第２隔壁がずれるこ
とで緩和され、このことから隔壁および隔壁と基板の密
着部分への負荷が大きく低減されるため、隔壁の倒壊や
剥離などの問題も起り難くなる。さらに、同じ耐久性を
求めるのであれば、従来よりも強度の低い材料も使うこ
とができるため、隔壁の材料の選択の自由度が増すこと
になる。なお第１隔壁５ａと第２隔壁５ｂは接着しても
良く、接着していなくても良い。

【００２０】第１基板１及び第２基板２のうち少なくと
も一方には透明な材料を用い、各基板の一方の面上に第
１電極３及び第２電極４を形成する。この際、透明な材
料を用いて表示装置内の分散媒を観察できるようにした
側が観察者側となるが、以下においては説明の便宜のた
め、第２基板２に透明な材料を用いて第２基板２の側を
観察者側とした場合の形態を示す。なお、第１基板１、
第２基板２、第１電極３、第２電極４の全てに透明な材
料を用いて表示装置を作製すれば、互いに、二値の逆転
した画像で、左右も反転した画像となるが両面表示の可
能な表示装置が得られる。

【００２１】以下の説明では第１電極が形成された第１
基板は第１電極板、第２電極が形成された第２基板は第
２電極板と記す。

【００２２】図１〜図３は本発明の表示装置の製造方法
の実施例を表す工程図であるが、これらを用いて本発明
の表示装置の製造方法の実施の形態を具体的に説明す
る。６ａ及び６ｂはそれぞれ第１電極板上及び第２電極
板上に形成された接着層である。１０は表示装置、１１
は押圧用平板、１２はヒーター、１３は真空容器、をそ
れぞれ表している。

【００２３】工程１−（ａ） 第１基板１上に、第１電極３、第１隔壁５ａ、接着層６
ａを形成する。

【００２４】まず第１基板１上に導電性材料からなる薄
膜を成膜し、該導電性膜を表示装置の設計に合わせてパ
ターニングして第１電極３を形成する。

【００２５】第１基板１の材料としては、耐熱性の高い
材料、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）、
ＰＥＳ（ポリエーテルサルフォン）、ポリイミド等の樹
脂フィルム、或いはガラス、石英などの無機材料を使用
することができる。

【００２６】第１基板１の厚さは用途に合わせた設計に
より適宜決められるが、表示装置に可撓性を与える場合
には好ましくは１０乃至１０００μｍ程度である。この
場合、材料は可撓性材料を使用し、例えばＰＥＴなどの
プラスチックを用いるのが好適である。

【００２７】第１電極３の材料である導電性材料として
は、金属材料や、金属酸化物などが使用でき、例えばＡ
ｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｃｒや、ＩＴＯ
（インジウム・チン・オキサイド）、ＺｎＯ、ＳｎＯ₂
等がある。またＴｉＣなども使用できる。

【００２８】導電性材料の成膜には、イオンプレーティ
ングなどの真空蒸着法や、スパッタリング、或いはＣＶ
Ｄ（ケミカル・ヴェイパー・デポジション）などの化学
的方法などが使用できる。また、導電性膜のパターニン
グは、フォトエッチングなどのマスク法や、広く用いら
れているリソグラフィなどの方法で行うことができる。

【００２９】さらに図には示していないが、第１電極３
を被覆する絶縁層を適宜形成しても良い。絶縁層の材料
としてはアクリル樹脂、ポリイミド樹脂などが使用でき
る。

【００３０】次に第１電極板上に第１隔壁５ａを形成す
る。第１隔壁５ａ及び、後述の工程にて形成する第２隔
壁５ｂには、容易に精密なパターニングが可能である感
光性樹脂が好ましく用いられるため、ここではその方法
を説明する。

【００３１】第１電極板上に感光性樹脂を成膜し、該感
光性樹脂膜をパターニングして第１隔壁５ａを形成す
る。

【００３２】感光性樹脂としては、環化ゴムをベースと
したフォトレジストや、ポリけい皮酸系、キノンジアジ
ド系フォトレジストなどが使用できる。特に、十分な高
さの隔壁を形成するために厚膜用感光性樹脂を用いるの
が好ましく、例えば東京応化工業株式会社製の感光性樹
脂「ＰＭＥＲ−ＮＣＡ３０００」等がある。

【００３３】感光性樹脂の成膜にはスピンコートやロー
ルコートなどの方法がある。

【００３４】感光性樹脂膜のパターニングは、周知のリ
ソグラフィなどの方法で行うことができる。

【００３５】第１隔壁５ａの寸法は、表示装置の大きさ
によって異なるが、通常は、幅５乃至１００μｍ、高さ
５乃至１００μｍ、アスペクト比０．１乃至１０程度の
範囲で選択するのが好ましい。

【００３６】第１電極板と第１隔壁５ａとの密着性が良
くない場合には、これらの間に、不図示の接着層を適宜
形成しても良い。この接着剤としては、エポキシ樹脂、
フェノール樹脂、ビニル樹脂などが使用できる。

【００３７】後で液体分散媒８を各画素領域９に注入す
るための流路として用いるために、第１隔壁５ａの頂部
には、隣り合う画素領域９を連通するための凹部（不図
示）を設ける。該凹部は、ドライエッチングなどにより
形成できる。なお、該凹部は後で第２隔壁５ｂに設けて
も良く、第２隔壁５ｂの頂部に該凹部を設ける場合は第
１隔壁５ａの頂部に必ずしも該凹部を設ける必要はない
が、設けておいても構わない。

【００３８】流路の大きさは電気泳動粒子７が通過でき
ない程度の大きさにすることが好ましい。例えば電気泳
動粒子７の粒径が、５μｍ程度であれば、流路は、深さ
３μｍ、幅３μｍ程度で形成すればよい。

【００３９】第１電極板上に、外縁を囲むように接着層
６ａを形成する。

【００４０】接着層６ａには、この後の工程の便利さか
らホットメルト接着剤が好ましく用いられる。

【００４１】工程１−（ｂ） 第１隔壁５ａによって隔てられた画素領域９に電気泳動
粒子７を均等に分配する。

【００４２】電気泳動粒子７の材料としては酸化チタン
（白）が代表的であるが、周知のコロイド粒子の他、種
々の有機質又は無機質顔料、染料、金属粉、ガラスある
いは樹脂などの微粉末、これらに着色剤を添加したも
の、例えばポリスチレンとカーボンの混合物等を適宜使
用できる。また、これら１種類だけで使用しても、これ
らのうち２種類以上を混ぜて使用しても良いし、必要に
応じて荷電制御剤などを混ぜ合わせても良い。

【００４３】工程１−（ｃ） 前記工程１−（ａ）で作製した第１電極板と同様の方法
で作製された第２電極板上に形成された第２隔壁５ｂ
と、第１隔壁５ａとを着接する。

【００４４】第２基板２として使用できる材料も第１基
板と同様であるが、それに加えて透光性を持たせるため
に、ＰＥＴなどのプラスチックが好ましく用いられる。

【００４５】第２基板２の厚さも第１基板１と同様に、
用途に合わせた設計により適宜決められるが、表示装置
に可撓性を与える場合には好ましくは１０乃至１０００
μｍ程度である。この場合、材料は可撓性材料を使用
し、例えばＰＥＴなどのプラスチックを用いるのが好適
である。

【００４６】第２電極４には金属酸化物などの透明な導
電性材料が使用でき、例えばＩＴＯなど上記の第１電極
３の説明で述べたものと同様な材料が好ましく使用でき
る。またＡｕ、Ａｇその他の金属を２００Å程度以下で
成膜することで透明な導電膜を形成することもでき、こ
れも第２電極４として使用できる。また、成膜方法、パ
ターニング方法も、上記の第１電極３の説明で述べたも
のと同様な方法が好ましく使用できる。

【００４７】第２隔壁５ｂ、接着層６ｂについても、使
える材料などは、上記の第１隔壁５ａ、接着層６ａの説
明と同様である。また第２電極板と第２隔壁５ｂとの密
着性が良くない場合には、これらの間に、不図示の接着
層を適宜設けても良い。この接着剤としては、前記第１
電極板と第１隔壁５ａとの場合と同様に、エポキシ樹
脂、フェノール樹脂、ビニル樹脂などが使用できる。

【００４８】さらに図には示していないが、第２電極４
を被覆する絶縁層を適宜形成しても良い。絶縁層の材料
としてはアクリル樹脂、ポリイミド樹脂などが使用でき
る。

【００４９】工程１−（ｄ） 前記工程１−（ｃ）までで形成した表示装置を、必要十
分な量の液体分散媒８の入った真空容器１３の気相部分
に入れる。その後、真空容器１３内部の気相部分を真空
排気し、表示装置を液体分散媒８中に沈める。表示装置
が液中に浸されたら、真空容器１３の中の圧力を大気圧
力まで増大させて、表示装置中に液体分散媒８を注入す
る。すべての画素領域９に十分に液体分散媒８が注入さ
れたところで接着層６ａと接着層６ｂとを熱融着し、分
散系を封入する。

【００５０】本実施の形態においては分散系の封入方法
の一例として、ヒーター１２を具備した押圧用平板１１
を上記表示装置の上面に押し当て、ヒーター１２を用い
て接着層６ａ、６ｂを加熱しながら流路を通じて余分な
液体分散媒８を押し出しながら接着層６ａと接着層６ｂ
との熱融着接合を行う方法を図で示しているが、本発明
における接着層の加熱方法はヒーターの発生する熱の熱
伝導に限らず、熱伝達や赤外線などの電磁波を用いても
良い。また押圧方法についてもここに示した平板を用い
た方法に限らず、例えば、ローラー形状やその他の形状
の物体を用いて端或いは中央から順次押圧していくなど
の方法を用いても良い。

【００５１】液体分散媒８の材料としては、水、アルコ
ール類、炭化水素、ハロゲン化炭化水素などの他、天然
または合成の各種油等が使用でき、更にこれらに着色剤
として染料などを溶解、分散させたもの等も使用でき
る。具体的には例えば、ヘキシルベンゼンとオイルブル
ーの混合液に界面活性剤を溶かしたものや、シリコーン
オイルなどが使用できる。

【００５２】工程１−（ｅ） 上記工程１−（ｄ）によって、各画素領域９に分散系が
封入された表示装置を真空容器１３から取り出す。

【００５３】工程１−（ｆ） 表示装置１０に電気回路を接続する。これにより表示を
行うことが可能となる。

【００５４】上記実施の形態においては、第１隔壁５ａ
及び第２隔壁５ｂは感光性樹脂で形成する方法を説明し
たが、その他にも、エポキシ樹脂や、液体分散媒８で膨
潤する材料である膨潤性材料で形成する方法もある。

【００５５】第１隔壁及び第２隔壁のうちの少なくとも
一方に膨潤性材料を使用した場合には、膨潤性材料を用
いた隔壁は液体分散媒８を注入後に膨潤し、各画素領域
９を略密封することができる。このため隣り合った画素
領域９の間を電気泳動粒子７及び液体分散媒８が移動し
ないので、粒子濃度分布の不均一化による表示品質の劣
化などの問題を防ぐことができる。特に表示装置に可撓
性を付与する場合は、電気泳動粒子の移動防止がより起
こりにくい隔壁、曲げに強い隔壁を得るために第１隔壁
５ａ及び第２隔壁５ｂのうちの少なくとも一方が膨潤性
材料で構成されることが好ましい。

【００５６】また、この場合には前記流路を設ける必要
はないが、第１隔壁５ａと第２隔壁５ｂを着接する上記
工程１−（ｃ）とは異なり、接着層６ａ、６ｂを着接し
た状態で次の工程１−（ｄ）に進むため、接着層６ａ、
６ｂは外縁を完全に囲んでは形成せず、液体分散媒８の
注入および排出に用いる流路を確保するために少なくと
も２個所は各画素領域９が外部と通ずるように、接着し
ない部分を残して形成する。

【００５７】膨潤性材料としては、スチレン−ブタジエ
ン系、イソプレン系、エチレン−プロピレン系、アクリ
ロニトリル−ブタジエン系、クロロプレン系の如き合成
ゴムや天然ゴム等を用いることが出来る。具体的には例
えばシリコーンゴムなどがある。

【００５８】このような膨潤性材料を使用する場合に
は、膨潤性材料に角状またはスリット状などの他、角状
あるいは長方形状で、規則的もしくは不規則的に、打ち
抜き加工やドリル加工の手段で適宜透孔を設けること
で、膨潤率を上げることができる。

【００５９】膨潤性材料を用いて所望の形状の隔壁を得
る方法としては、まずスクリーン印刷またはスプレーな
どにより、おおよその形で隔壁を形成し、さらに該隔壁
が膨潤した状態での隔壁の大きさが適切なものとなるよ
うに、熱プレスなどで所望の形状により精密に成形する
などがある。

【００６０】また上記実施の形態においては、電気泳動
粒子７と液体分散媒８を別々の工程で表示装置内に入れ
る例を示したが、予め電気泳動粒子７と液体分散媒８と
を混合して分散系としておき、第１隔壁５ａと第２隔壁
５ｂを重ねあわせる前段階で該分散系を表示装置に注入
する製造方法もある。この場合にも上述した流路は設け
なくて良い。

【００６１】更に上記実施の形態においては、第１基板
１上に第１電極３を、第２基板２上に第２電極４を形成
する例を示したが、第１電極３及び第２電極４が第１基
板１側に形成して表示装置を製造することも可能であ
る。

【００６２】この場合は上記工程１−（ａ）に代えて、
次のような方法で第１基板側の作製を行う。これを本発
明の表示装置の製造方法の後述の第３の実施例を表す工
程図である図３の３−（ａ）を用いて説明する。１４ａ
及び１４ｂは絶縁層である。

【００６３】第１基板１上に第１電極３を上記工程１−
（ａ）と同様な方法で形成し、これを絶縁層１４ａで覆
う。該絶縁層１４ａ上に第２電極４を第１電極３と同様
の方法で形成する。更にそのうえを絶縁層１４ｂで覆
い、その上に工程１−（ａ）と同様な方法で、第１隔壁
５ａ及び接着層６ａを形成する。

【００６４】またこの場合、第２基板２側には電極は不
要であるので、上記工程１−（ｃ）において説明した第
２電極板の作製法のうち、第２電極４を作製する工程を
省いて第２基板側を作製すればよい。

【００６５】なお、この場合の表示装置の表示方法は、
上述の表示方法とは少し異なった性質を持つ。すなわ
ち、第１電極３と第２電極４との面積比ができる限り大
きくなるよう設計しておくことで、電圧の印加により面
積の大きい方の電極に電気泳動粒子７が引き寄せられた
時には電気泳動粒子７の色が観察され、電圧の印加によ
り面積の小さい方の電極に電気泳動粒子７が引き寄せら
れた時には液体分散媒８の色あるいは観察者側と反対の
基板側の内側表面の色が観察され、これらの二値表示に
より表示を行う。

【００６６】この観察者側と反対の基板側の内側表面の
色を用いる場合においても、隔壁の高さが低いと、電気
泳動粒子の濃度を十分に得ることができなくなり、コン
トラストの低下をもたらす。また、隔壁の高さと液体分
散媒の対流の状態は密接に関係しており、それゆえに隔
壁の高さは電気泳動粒子の直径、帯電率、液体分散媒の
粘度などの相関により決定されるので、隔壁の高さを変
更できる幅は広いほど良い。従って、この場合にもやは
り隔壁の高さはある程度必要となり、本発明が有効とな
る。

【００６７】

【実施例】（実施例１）本発明の表示装置の製造方法の
第１の実施例を表す工程図である図１を用いて本実施例
を説明する。

【００６８】工程１−（ａ） 厚さ１００μｍのＰＥＴからなる第１基板１上面にＩＴ
Ｏをスパッタによって１００ｎｍの厚さで成膜し、フォ
トリソグラフィー及びウエットエッチングによりパター
ニングして第１電極３を形成し、第１電極板を作製し
た。

【００６９】第１電極板上に、東京応化工業株式会社製
の感光性樹脂「ＰＭＥＲ−ＮＣＡ３０００」をスピンコ
ートによって膜厚３０μｍで成膜し、フォトリソグラフ
ィによって画素領域９となる２５０μｍ角の領域の感光
性樹脂を幅１０μｍの間隔をあけて縦横に除去した。こ
うして画素領域９となる２５０μｍ角の領域を囲む格子
状パターンで、高さ３０μｍ、幅１０μｍの第１隔壁５
ａを形成した。

【００７０】さらに図には示してないが、第１隔壁５ａ
の頂部には適宜間隔をあけて、深さ６μｍ、幅２０μｍ
の流路をドライエッチングにより形成した。

【００７１】第１隔壁５ａの周囲にシリコーン接着剤を
用いて接着層６ａを形成した。

【００７２】工程１−（ｂ） 次に電気泳動粒子７を各画素領域９に均等に分配した。
電気泳動粒子７としては、平均粒径５μｍの酸化チタン
（白色）を用いた。

【００７３】工程１−（ｃ） 上記工程１−（ａ）に示した作製方法と同じ方法で、第
２電極板とその上の第２隔壁５ｂ、接着層６ｂを作製し
た。そして第１隔壁５ａと第２隔壁５ｂとを着接した。

【００７４】工程１−（ｄ） 上記工程１−（ｃ）までで形成した表示装置を、必要十
分な量の液体分散媒８の入った真空容器１３の気相部分
に入れる。液体分散媒８としては、ヘキシルベンゼンと
オイルブルーからなる濃紺の染料に界面活性剤を溶かし
たものを用いた。その後、真空容器１３内部の気相部分
を真空排気し、表示装置を液体分散媒８中に沈める。表
示装置が液中に浸されたら、真空容器１３の中の圧力を
大気圧力まで徐々に増大させて、表示装置中に液体分散
媒８を注入する。

【００７５】すべての画素領域９に十分に液体分散媒８
が注入されたところでヒーター１２を具備した押圧用平
板１１を表示装置の上面からゆっくりと押し当てながら
ヒーター１２を加熱して、流路を通じて余分な液体分散
媒８を押し出しながら接着層６ａと接着層６ｂとを熱融
着接合した。

【００７６】工程１−（ｅ） 全ての画素領域９に完全に分散系が封入された表示装置
を、真空容器１３から取り出した。

【００７７】工程１−（ｆ） 表示装置１０に電気回路を接続した。こうして表示を行
うことが可能となった。

【００７８】表示は電極間に電圧を印加することにより
行った。印加電圧は±１００Ｖとした。本実施例で用い
た白色の電気泳動粒子７は、青色の液体分散媒８中で正
に帯電していたために、電圧印加により負に印加された
電極上に移動した。これにより第２電極４を正極に、第
１電極を負極にした場合、第１電極上に白色の電気泳動
粒子７は移動するので、第２基板２の上面から第２電極
４を透して観察される表示面は青色表示となった。一
方、電極の極性を反転させて、第１電極３を正極に、第
２電極４を負極にした場合、第２電極上に白色の電気泳
動粒子７が移動するので、第２基板２の上面から第２電
極４を透して観察される表示面は白色表示となった。

【００７９】このとき表示コントラストが４、応答速度
が１００ｍｓｅｃ程度の値が得られた。

【００８０】本実施例の表示装置１０では、第１隔壁５
ａと第２隔壁５ｂとを合わせる事で、高さ６０μｍ、幅
１０μｍの隔壁を形成することができた。このような高
いアスペクト比の隔壁を従来の方法で形成することは非
常に困難であり、また構造的に倒壊し易く、剥離し易い
問題も抱えていたが、本実施例の構成を取ることによ
り、従来に比べて容易に高精細な表示が可能となり、ま
た隔壁の倒壊や剥離などの問題が起こり難くなった。

【００８１】（実施例２）本発明の表示装置の製造方法
の第２の実施例を表す工程図である図２を用いて本実施
例を説明する。

【００８２】工程２−（ａ） 厚さ１００μｍのＰＥＴからなる第１基板１上面にＩＴ
Ｏをスパッタによって１００ｎｍの厚さで成膜し、フォ
トリソグラフィー及びウエットエッチングによりパター
ニングして第１電極３を形成し、第１電極板を作製し
た。

【００８３】第１電極板上に、多数の透孔を有するシリ
コーンゴムシートをスクリーン印刷法によって成形する
ことで、画素領域９となる２５０μｍ角の領域を囲む格
子状パターンで、高さ１５μｍ、幅１５μｍの第１隔壁
５ａを形成した。

【００８４】そして第１隔壁５ａの周囲にシリコーン接
着剤を用いて接着層６ａを形成した。

【００８５】工程２−（ｂ） 次に電気泳動粒子７を各画素領域９に均等に分配した。
電気泳動粒子７としては、平均粒径５μｍの酸化チタン
（白色）を用いた。

【００８６】工程２−（ｃ） 上記工程２−（ａ）に示した作製方法と同じ方法で、第
２電極板を形成し、その上の第２隔壁５ｂは、実施例１
の工程１−（ａ）に示した第１隔壁５ａの形成方法と同
じ方法で、画素領域９となる２５０μｍ角の領域を囲む
格子状パターンで、高さ３０μｍ、幅１５μｍで形成し
た。接着層６ｂは工程２−（ａ）と同様に形成した。

【００８７】そして第１電極板と第２電極板の間のギャ
ップを５０μｍで保持した状態で、接着層６ａと６ｂと
を熱融着接合した。図には示していないが、このとき接
着層６ａと接着層６ｂには、注入口および排気口となる
流路を作るため少なくとも２個所は画素領域が大気中に
通ずるように接着しない部分を残しておいた。

【００８８】工程２−（ｄ） 上記工程２−（ｃ）までで形成した表示装置を、必要十
分な量の液体分散媒８の入った真空容器１３の気相部分
に入れる。液体分散媒８としては、ヘキシルベンゼンと
オイルブルーからなる濃紺の染料に界面活性剤を溶かし
たものを用いた。その後、真空容器１３内部の気相部分
を真空排気し、表示装置を液体分散媒８中に沈める。表
示装置が液中に浸されたら、真空容器１３の中の圧力を
大気圧力まで徐々に増大させて、表示装置中に液体分散
媒８を注入する。

【００８９】すべての画素領域９に十分に液体分散媒８
が注入されたところでヒーター１２を具備した押圧用平
板１１を表示装置の上面からゆっくりと押し当てながら
ヒーター１２を加熱して、流路を通じて余分な液体分散
媒８を押し出しながら接着層６ａと接着層６ｂとを熱融
着接合した。

【００９０】工程２−（ｅ） 全ての画素領域９に完全に分散系が封入された表示装置
を、真空容器１３から取り出した。

【００９１】工程２−（ｆ） 表示装置１０に電気回路を接続した。こうして表示を行
うことが可能となった。

【００９２】表示は電極間に電圧を印加することにより
行った。印加電圧は±１００Ｖとした。実施例１と同様
に、表示コントラストが４、応答速度が１００ｍｓｅｃ
程度の値が得られた。

【００９３】本実施例の表示装置１０では、第１隔壁５
ａとして膨潤性材料を用いたことにより、各画素領域９
を略密閉できるので、隣り合った画素領域９間を電気泳
動粒子７及び液体分散媒８が移動せず、濃度分布の不均
一化が起り難くなった。さらに、基板を曲げたとき、２
枚の基板の曲率の差により発生する応力は、重ね合わせ
た隔壁面がずれることや、また第１隔壁５ａが柔軟性を
持っているので緩衝材の役目をすることで緩和され、隔
壁および隔壁と基板の密着部分への負荷が大きく低減さ
れる。従って、隔壁の剥離、位置ずれおよび倒壊が起り
難くなった。

【００９４】（実施例３）本発明の表示装置の製造方法
の第３の実施例を表す工程図である図３を用いて本実施
例を説明する。

【００９５】工程３−（ａ） 厚さ１００μｍのＰＥＴにスピンコートによって光乱反
射層（図示無し）を付けた第１基板１上にＩＴＯをスパ
ッタによって１００ｎｍの厚さで成膜し、第１電極３を
形成した。第１電極３上には絶縁層１４ａとしてアクリ
ル樹脂層を２μｍ程度の厚さで形成した。絶縁層１４ａ
上に第２電極４としてＴｉＣをスパッタによって１００
ｎｍの厚さで成膜し、フォトリソグラフィー及びドライ
エッチングにより画素領域内で７０％の開口率をもつよ
うにライン状にパターニングした。これによって、第１
電極３に対して第１基板１に水平な方向及び垂直な方向
に位置をずらし、且つ第１電極３と第１基板１に水平な
方向に重なる領域を有するように第２電極４が形成され
た。さらに絶縁層１４ｂとしてアクリル樹脂層を形成し
た。

【００９６】工程３−（ｂ）〜工程３−（ｆ） 実施例１の工程１−（ａ）〜工程１−（ｆ）と同様。

【００９７】ただし、液体分散媒８としてはシリコーン
オイルを使用した。また電気泳動粒子７としてはポリス
チレンとカーボンの混合物で構成し、黒色で平均粒径６
μｍのものを使用した。

【００９８】本実施例で用いた黒色の電気泳動粒子７は
シリコーンオイル中で正に帯電していたために、電圧印
加により負の電極上に移動した。これにより第２電極４
を正極に、第１電極３を負極にした場合、第１電極３の
上に黒色の電気泳動粒子１０が移動して、黒色の電気泳
動粒子７で透明な第１電極３を透して観察される光乱反
射層をもつ第１基板１が覆われる。第２基板２の上面か
ら見た表示面は黒色表示となった。

【００９９】一方電極に印加する電圧の極性を反転し
て、第１電極３を正極に、第２電極４を負極にした場
合、暗黒色の第２電極上に黒色の電気泳動粒子７が移動
して、透明な第１電極３を透して観察される光反射性を
有する第１基板１が露出する。第２基板２の上面から見
た表示面は白色表示となった。

【０１００】本実施例で作製した表示装置１０を駆動電
圧±１００Ｖで駆動したところ、表示コントラストは
４、応答速度が３０ｍｓｅｃ以下であった。

【０１０１】本実施例の表示装置は、実施例１と同様
に、第１隔壁５ａと第２隔壁５ｂとを合わせる事で、高
さ６０μｍ、幅１０μｍの隔壁を形成することができ、
隔壁については実施例１と同様な効果が得られた。

【０１０２】

【発明の効果】以上詳細に述べてきたように、本発明の
表示装置の製造方法によれば、微細で、高いアスペクト
比を持ち、しかも倒壊や剥離などを起こしにくい隔壁を
容易に形成でき、耐久性が高く高精細な電気泳動表示装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の表示装置の製造方法の第１の実施例を
表す工程図

【図２】本発明の表示装置の製造方法の第２の実施例を
表す工程図

【図３】本発明の表示装置の製造方法の第３の実施例を
表す工程図

【図４】本発明の表示装置の断面を表す模式図

【図５】従来の電気泳動表示装置の断面を表す概念図

【符号の説明】

１ 第１基板 ２ 第２基板 ３ 第１電極 ４ 第２電極 ５ 隔壁 ５ａ 第１隔壁 ５ｂ 第２隔壁 ６，６ａ，６ｂ 接着層 ７ 電気泳動粒子 ８ 液体分散媒 ９ 画素領域 １０ 表示装置 １１ 押圧用平板 １２ ヒーター １３ 真空容器 １４ａ，１４ｂ 絶縁層

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに対向配置し少なくとも一方が透明
   な一対の基板である第１基板及び第２基板と、該基板間
   に複数の小区域を形成する為の隔壁と、前記小区域に封
   入された液体分散媒中に電気泳動粒子を分散して成る分
   散系と、該分散系に電圧を印加する一対の電極である第
   １電極及び第２電極と、を少なくとも有し、第１電極と
   第２電極の間に印加した電圧により生ずる電界によって
   電気泳動粒子を移動させることで表示を行う表示装置の
   製造方法であって、第１基板上に第１隔壁を形成する工
   程と、第２基板上に第２隔壁を形成する工程と、第１隔
   壁と第２隔壁が相対する配置で第１基板と第２基板とを
   接着によって固定する工程と、を少なくとも含むことを
   特徴とする表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】 第１隔壁及び第２隔壁は、幅が５乃至１
   ００μｍ、高さが５乃至１００μｍ、アスペクト比が
   ０．１乃至１０、という形状で夫々を形成することを特
   徴とする請求項１記載の表示装置の製造方法。
3. 【請求項３】 第１隔壁及び第２隔壁は、感光性樹脂を
   用いて形成することを特徴とする請求項１又は２のうち
   のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】 第１隔壁と第２隔壁のうち少なくとも一
   方は、膨潤性材料を用いて形成することを特徴とする請
   求項１又は２のうちのいずれか一項に記載の表示装置の
   製造方法。
5. 【請求項５】 互いに対向配置し少なくとも一方が透明
   な一対の基板である第１基板及び第２基板と、該基板間
   に複数の小区域を形成する為の隔壁と、前記小区域に封
   入された液体分散媒中に電気泳動粒子を分散して成る分
   散系と、該分散系に電圧を印加する一対の電極である第
   １電極及び第２電極と、を少なくとも有し、第１電極と
   第２電極の間に印加した電圧により生ずる電界によって
   電気泳動粒子を移動させることで表示を行う表示装置で
   あって、請求項１から４のうちのいずれか一項に記載の
   製造方法を用いて製造されたことを特徴とする表示装
   置。