JP2002147364A - Fixed volume delivery system - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ポンプからの吐出
量を計測して一定量の液体を吐出すべく、ポンプ、流量
計及びコントローラを備えた定量吐出システムに関し、
更に詳細には、液体粘度などの使用条件に適応して正確
に定量の液体を吐出することが可能な定量吐出システム
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metering system including a pump, a flow meter and a controller for measuring a discharge amount from a pump and discharging a fixed amount of liquid.
More specifically, the present invention relates to a quantitative discharge system capable of accurately discharging a fixed amount of liquid in accordance with use conditions such as liquid viscosity.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体の製造では、例えば試薬をウェハ
上に塗布するため、薬液の充填された薬液タンクから所
定流量の薬液を正確に搬送することが行われている。そ
れには、液体流路搬送上にポンプ及び流量計が設けら
れ、その流量計による計測信号に基づいてコントローラ
がポンプの駆動を制御し、ポンプからの吐出量が一定に
なるように調整される。そして、こうした定量吐出制御
を行うための手段として、ポンプ、流量計、コントロー
ラを備えた定量吐出システムが構成されている。定量吐
出システムの具体例としては、特開平８−２９２０７８
号公報に記載されたものを挙げることができる。2. Description of the Related Art In the manufacture of semiconductors, for example, in order to apply a reagent onto a wafer, a predetermined amount of a chemical solution is accurately conveyed from a chemical solution tank filled with a chemical solution. For this, a pump and a flow meter are provided on the liquid flow path conveyance, and a controller controls the drive of the pump based on a measurement signal from the flow meter, and the discharge amount from the pump is adjusted to be constant. As a means for performing such a quantitative discharge control, a quantitative discharge system including a pump, a flow meter, and a controller is configured. As a specific example of the quantitative discharge system, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-292078.
Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. H10-26095 can be mentioned.
【０００３】当該公報に開示された定量吐出システムを
簡単に説明すれば、以下のようなものである。定量吐出
システムは、ギヤポンプ及び変形楕円歯車を備えた容積
式の流量計とを一体に設け、そのギヤポンプから吐出さ
れた液体が流量計を通って流れる際に楕円歯車が回転す
る。流量計は、楕円歯車によってできる一定容積分の液
体を二次側に送る容積式であるため、楕円歯車の回転に
比例して液体が送られる。そこで、楕円歯車の回転を検
出した流量計からの検出信号がコントローラに送信さ
れ、それを受けたコントローラによって流量が算出され
て、定量吐出を行うべくポンプ動作が制御される。[0003] The following is a brief description of the metering system disclosed in this publication. The fixed-rate discharge system is provided integrally with a gear pump and a positive displacement type flow meter provided with a modified elliptical gear, and the elliptical gear rotates when the liquid discharged from the gear pump flows through the flow meter. Since the flow meter is a positive displacement type that sends a fixed volume of liquid formed by the elliptical gear to the secondary side, the liquid is sent in proportion to the rotation of the elliptical gear. Therefore, a detection signal from the flow meter that detects the rotation of the elliptical gear is transmitted to the controller, and the controller receives the signal, calculates the flow rate, and controls the pump operation to perform the constant-rate discharge.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、こうしたこ
れまでの定量吐出システムでは、搬送する液体の粘性や
圧力変化等の使用条件によって、コントローラによる制
御で必ずしも正確な流量の液体吐出を行うことがきるわ
けではなかった。即ち、比較的正確な計測が期待できる
容積式の流量計であっても、楕円歯車と計測室壁面との
隙間や楕円歯車同士の隙間などから漏れ出る量は測定で
きず、また加工精度のバラツキなどによって製品間に計
測誤差が生じてしまうからである。更に、配管される接
続管の形状、元圧、或いは接続管中のゴミの蓄積などに
よって液体圧力の変化や、各液体の粘性の違いによって
も計測流量に誤差が生じてしまうからである。しかし、
こうして生じる計測流量と実流量との誤差を許容してし
まったのでは、定量吐出システム本来の目的を達成する
ことはできない。However, in such a conventional fixed-rate discharge system, it is possible to discharge a liquid at an accurate flow rate under control of a controller depending on use conditions such as viscosity and pressure change of the liquid to be conveyed. It did not mean. In other words, even with a positive displacement type flow meter that can be expected to measure relatively accurately, the amount leaked from the gap between the elliptical gear and the wall of the measurement chamber or the gap between the elliptical gears cannot be measured, and the processing accuracy varies. This is because a measurement error occurs between products due to factors such as the following. Further, an error occurs in the measured flow rate due to a change in the liquid pressure or a difference in the viscosity of each liquid due to the shape of the connecting pipe to be piped, the original pressure, or accumulation of dust in the connecting pipe. But,
If the error between the measured flow rate and the actual flow rate generated in this way is allowed, the original purpose of the quantitative discharge system cannot be achieved.
【０００５】そこで、本発明は、こうした使用条件に適
応して正確に定量の液体を吐出する定量吐出システムを
提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a fixed-quantity discharge system that discharges a fixed amount of liquid accurately according to such use conditions.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の定量吐出システ
ムは、液体の搬送を行うためのポンプと、そのポンプに
よって搬送された液体流量を検出する流量計と、その流
量計から送信された検出信号に基づいて流量推定式に従
った流量を算出することにより、定量の液体を吐出する
ように前記ポンプの駆動を制御するコントローラとを有
するものであって、前記コントローラは、予め使用条件
を入力して行った定量吐出による実際の吐出流量と、前
記使用条件の一つとして入力した設定流量値との誤差に
基づき、吐出流量が設定流量と一致するように前記流量
推定式の補正処理を行うことを特徴とする。According to the present invention, there is provided a fixed-quantity discharge system comprising: a pump for transporting a liquid; a flow meter for detecting a flow rate of the liquid transported by the pump; and a detection meter transmitted from the flow meter. A controller that controls the driving of the pump so as to discharge a fixed amount of liquid by calculating a flow rate according to a flow rate estimation equation based on the signal, and the controller inputs a use condition in advance. Based on an error between the actual discharge flow rate of the fixed discharge performed and the set flow rate value input as one of the use conditions, the flow rate estimation formula is corrected so that the discharge flow rate matches the set flow rate. It is characterized by the following.
【０００７】よって、本発明の定量吐出システムによれ
ば、ユーザが使用する液体の粘度や、ポンプ及び流量計
が組み込まれる回路などの条件によって、予め設定され
た流量推定式に基づいて算出される流量と実際の吐出流
量との間に誤差が生じたとしても、流量推定式の補正処
理を行うことによって、使用条件に適応して正確に定量
の液体を吐出することができる。Therefore, according to the quantitative discharge system of the present invention, the flow rate is calculated based on the flow rate estimation formula which is set in advance according to the viscosity of the liquid used by the user and the conditions of the circuit in which the pump and the flow meter are incorporated. Even if an error occurs between the flow rate and the actual discharge flow rate, by performing the correction processing of the flow rate estimation formula, a fixed amount of liquid can be discharged accurately in accordance with the use conditions.
【０００８】また、本発明の定量吐出システムは、前記
コントローラが、前記使用条件の入力値や実際の吐出流
量の入力値が所定の範囲を超える場合にエラーを知らせ
るものであることを特徴とする。よって、本発明の定量
吐出システムによれば、入力ミスを無くし、的確に流量
推定式の補正処理を行うことができ、使用条件に適応し
て正確に定量の液体を吐出することができる。[0008] Further, in the quantitative discharge system according to the present invention, the controller notifies an error when the input value of the use condition or the input value of the actual discharge flow rate exceeds a predetermined range. . Therefore, according to the quantitative discharge system of the present invention, an input error can be eliminated, the correction processing of the flow rate estimation formula can be accurately performed, and the quantitative liquid can be discharged accurately according to the use conditions.
【０００９】また、本発明の定量吐出システムは、前記
コントローラが、前記補正処理後の定量吐出動作の際、
吐出流量が設定流量に対する許容誤差範囲を超える場合
に、前記ポンプの駆動を調整するものであることを特徴
とする。よって、本発明の定量吐出システムによれば、
ポンプの経時劣化などによって搬送能力が低下したよう
な場合にでも、ポンプの駆動を調整することによって搬
送機能を向上させて設定流量における定量吐出ができ
る。Further, in the quantitative discharge system of the present invention, when the controller performs the quantitative discharge operation after the correction processing,
When the discharge flow rate exceeds an allowable error range with respect to the set flow rate, the driving of the pump is adjusted. Therefore, according to the quantitative discharge system of the present invention,
Even in the case where the transfer capacity is reduced due to deterioration with time of the pump or the like, it is possible to improve the transfer function by adjusting the drive of the pump, and to perform the constant discharge at the set flow rate.
【００１０】また、本発明の定量吐出システムは、前記
ポンプが、圧電振動子によって振動させる振動面をもっ
たポンプ室に、一次流路側及び二次流路側にそれぞれ逆
止弁を設け、振動面の振動によるポンプ動作によって液
体搬送を行うものであって、前記一次流路及び二次流路
を共通にして、２つのポンプ室を１つのポンプ本体に設
けたものであることを特徴とする。よって、本発明の定
量吐出システムによれば、圧電振動子を使用した容積式
ポンプとしたことにより、周波数電圧を変化させるだけ
で簡単に流量を可変でき、更に脈動が少ないので微少な
流量変化が可能である。また、搬送する液体の粘性に応
じてシングル又はダブル、或いは圧電振動子の振動周波
数を適宜制御することにより、適切な流量の液体を搬送
することができる。しかも、ダブルポンプでありながら
圧電ポンプ自体はコンパクトに構成することができる。[0010] Also, in the quantitative discharge system according to the present invention, the pump is provided with a check valve on a primary flow path side and a secondary flow path side in a pump chamber having a vibration surface vibrated by a piezoelectric vibrator. The liquid is transferred by a pump operation due to the vibration described above, wherein two pump chambers are provided in one pump main body by using the primary flow path and the secondary flow path in common. Therefore, according to the fixed-quantity discharge system of the present invention, by using a positive displacement pump using a piezoelectric vibrator, the flow rate can be easily varied only by changing the frequency voltage, and further, since there is little pulsation, a minute change in the flow rate can be achieved. It is possible. Also, by appropriately controlling the vibration frequency of the single or double or piezoelectric vibrator according to the viscosity of the liquid to be conveyed, it is possible to convey the liquid at an appropriate flow rate. In addition, the piezoelectric pump itself can be made compact while being a double pump.
【００１１】また、本発明の定量吐出システムは、前記
流量計が、計測室内に回転自在に軸支されて噛合した三
葉以上の一対の変形楕円歯車と、前記変形楕円歯車の回
転を検出する検出手段とを有するものであることを特徴
とする。よって、本発明の定量吐出システムによれば、
変形楕円歯車として三葉以上の歯車を使用したため、二
次側に流体を送るための空間を小さくし、流体流量を大
幅に減らすことができ、また一回転当たりに送る回数も
増やすことができたので、脈動を小さくして分解能を向
上させることができた。Further, in the quantitative discharge system according to the present invention, the flow meter detects a pair of three or more deformed elliptical gears rotatably supported and engaged in the measurement chamber and rotation of the deformed elliptical gear. And a detecting means. Therefore, according to the quantitative discharge system of the present invention,
Since three or more gears were used as the deformed elliptical gears, the space for sending fluid to the secondary side was reduced, the fluid flow rate was significantly reduced, and the number of times of sending per rotation was increased. Therefore, the pulsation was reduced and the resolution was improved.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る定量吐出シス
テムの一実施形態について図面を参照して説明する。図
１は、本実施形態の定量吐出システムをイメージした外
観斜視図である。本実施形態の定量吐出システム１は、
図１に示すように流量計２と圧電ポンプ３とが一体にな
って構成されたものであり、一次側に流量計２を、二次
側に圧電ポンプ３を配置して流路をつなぎ、それぞれに
形成した入力ポート５と出力ポート６に配管できるよう
にしたものである。一次側に流量計２を設けたのは、流
量計２に後述する容積式を採用したため、流量計２で生
じた脈動を圧電ポンプ３で吸収させるためである。そし
て、その流量計２及び圧電ポンプ３には、流量計２から
の検出信号に基づいて圧電ポンプ３の駆動を制御するよ
うにコントローラ４が接続されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an embodiment of a quantitative discharge system according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an external perspective view of a quantitative discharge system according to the present embodiment. The quantitative discharge system 1 according to the present embodiment includes:
As shown in FIG. 1, the flow meter 2 and the piezoelectric pump 3 are integrally formed, and the flow meter 2 is arranged on the primary side and the piezoelectric pump 3 is arranged on the secondary side to connect the flow paths. The piping can be connected to the input port 5 and the output port 6 formed respectively. The reason why the flow meter 2 is provided on the primary side is that the piezoelectric pump 3 absorbs the pulsation generated by the flow meter 2 because the flow meter 2 employs a positive displacement type described later. A controller 4 is connected to the flow meter 2 and the piezoelectric pump 3 so as to control the driving of the piezoelectric pump 3 based on a detection signal from the flow meter 2.
【００１３】次に、図２は、定量吐出システム１を構成
する流量計２及び圧電ポンプ３を示した断面図である。
流量計２と圧電ポンプ３は、ともにベースプレート７上
に固定され、カバー８によって被われたボック内に一装
置として構成されている。流量計２及び圧電ポンプ３
は、ボディ２０，３０にそれぞれ流路が形成されてお
り、連結管９を介して接続され、流路計２の入力ポート
５から圧電ポンプ３の出力ポート６まで、一本の流路が
形成されている。そして、流量計２からの検出信号を送
るための信号線１０と、制御信号を圧電ポンプ３へ受け
るための信号線１１とが、集合管１２に納められてコン
トローラ４へと配線されている。Next, FIG. 2 is a cross-sectional view showing the flow meter 2 and the piezoelectric pump 3 constituting the fixed-quantity discharge system 1.
The flow meter 2 and the piezoelectric pump 3 are both fixed on a base plate 7 and are configured as one device in a box covered by a cover 8. Flow meter 2 and piezoelectric pump 3
Are formed in the bodies 20 and 30, respectively, and are connected via the connecting pipe 9 to form one flow path from the input port 5 of the flow path meter 2 to the output port 6 of the piezoelectric pump 3. Have been. A signal line 10 for sending a detection signal from the flow meter 2 and a signal line 11 for receiving a control signal to the piezoelectric pump 3 are housed in the collecting pipe 12 and wired to the controller 4.
【００１４】流量計２は、計測室２１がボディ２０に対
して図面左側に開設され、入力ポート５からの一次流路
２２と、圧電ポンプ３側への二次流路２３とが形成され
ている。ここで、図３は、図２の左側から見た流量計２
の計測室２１を示した図である。計測室２１は、図３に
示すように、ボディ２０の側面に外径が略長円形状の凹
部が形成され、その周りの環状溝内にシール用のＯリン
グ２４が装填され、図２に示すように板状の蓋体２５に
よって塞がれている。蓋体２５は、計測室２１内の状態
を外から確認できるように透明な材質で形成されたもの
である。The flowmeter 2 has a measurement chamber 21 opened on the left side of the body 20 with respect to the body 20, and a primary flow path 22 from the input port 5 and a secondary flow path 23 to the piezoelectric pump 3 are formed. I have. Here, FIG. 3 is a flow meter 2 viewed from the left side of FIG.
FIG. As shown in FIG. 3, the measurement chamber 21 has a substantially oval concave portion formed on the side surface of the body 20, and an O-ring 24 for sealing is loaded in an annular groove around the concave portion. As shown, it is closed by a plate-like lid 25. The lid 25 is formed of a transparent material so that the state inside the measurement chamber 21 can be checked from the outside.
【００１５】計測室２１は、上下にある一次流路２２と
二次流路２３とを連通するように設けられたものであ
り、ここに容積式流量計が構成されている。具体的に
は、一対の変形楕円歯車２６，２７が、噛合した状態で
回転自在に軸支され、変形楕円歯車２６，２７の回転に
よって一定量の液体を順次送れるようにしたものであ
る。本実施形態では、変形楕円歯車２６，２７として多
葉歯車を使用し、特に三葉歯車を選択している。The measurement chamber 21 is provided so as to communicate the upper and lower primary flow paths 22 and the secondary flow paths 23, and a positive displacement flow meter is formed here. More specifically, a pair of deformed elliptical gears 26 and 27 are rotatably supported in a meshed state so that a fixed amount of liquid can be sequentially sent by rotation of the deformed elliptical gears 26 and 27. In the present embodiment, a multi-leaf gear is used as the modified elliptical gears 26 and 27, and a tri-leaf gear is particularly selected.
【００１６】三葉歯車は、１２０度回転する毎に計測室
２１の内壁との間で空間Ｋを作り出すための３辺の歯面
が形成されたものである。即ち、変形楕円歯車のなかで
も、こうした多葉歯車は、１回転する間に空間Ｋを作り
出すための辺を複数もった歯車であり、本実施形態では
三葉としているが、三葉以上の四葉、五葉或いはそれ以
上の歯車であってもよい。なお、本実施形態では多葉歯
車としたが、楕円形歯車の場合でも本発明に係る定量吐
出システムの効果を奏するのに何ら問題はない。The trilobal gear has three tooth surfaces for creating a space K between itself and the inner wall of the measuring chamber 21 every time it rotates 120 degrees. That is, among the modified elliptical gears, such a multi-leaf gear is a gear having a plurality of sides for creating a space K during one rotation, and in the present embodiment, it is a three-leaf gear. , Five or more gears. In this embodiment, a multi-leaf gear is used. However, even if an elliptical gear is used, there is no problem in achieving the effects of the quantitative discharge system according to the present invention.
【００１７】流量計２は、こうした変形楕円歯車２６，
２７のうち一方の変形楕円歯車２６に、３個のマグネッ
ト２８…が隣り合う歯面の間に位置するようにそれぞれ
埋設されており、更に液体を送り出す空間Ｋの状態変化
に対応してマグネット２８…が所定の位置に移動したこ
とを検出する磁気センサ２９が、蓋体２４に形成された
取り付け穴に挿入されている。そして、この磁気センサ
２９から検出信号を送るための信号線１０がコントロー
ラ４に接続されている。The flowmeter 2 is provided with such a modified elliptical gear 26,
27 are embedded in one of the deformed elliptical gears 26 so as to be located between adjacent tooth surfaces. Further, the magnets 28 correspond to changes in the state of the space K for sending out the liquid. Have been inserted into mounting holes formed in the lid 24. The magnetic sensor 29 detects that... Has moved to a predetermined position. A signal line 10 for sending a detection signal from the magnetic sensor 29 is connected to the controller 4.
【００１８】次に、図４は、圧電ポンプ３を示した図２
におけるＡ−Ａ部分の断面図である。なお、図２は、図
３のＢ−Ｂ部分で圧電ポンプ３（及び流量計２）を示し
た断面図である。本実施形態の圧電圧電ポンプ３は、２
つのポンプを一体に設けたダブルポンプである。そのた
めボディ３０には、流量計２側に連通する一次流路３１
と出力ポート６へ連通する二次流路３２とが中央に形成
され（図２参照）、その流路３１，３２を挟んだ両面に
円形凹状のポンプ組立部３０Ａ，３０Ｂが設けられ、蓋
体３３，３３によって閉じられている。両方のポンプ組
立部３０Ａ，３０Ｂには、同じ構造のポンプが対称的に
組み付けられているため、各部材について両ポンプとも
同じ番号を付すこととし、以下、片側のみを示して説明
することにする。Next, FIG. 4 shows the piezoelectric pump 3 shown in FIG.
3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the piezoelectric pump 3 (and the flow meter 2) at a portion BB in FIG. The piezoelectric piezoelectric pump 3 of the present embodiment
This is a double pump in which two pumps are provided integrally. Therefore, a primary flow path 31 communicating with the flowmeter 2 side is provided in the body 30.
And a secondary flow passage 32 communicating with the output port 6 is formed at the center (see FIG. 2), and circular concave pump assembly portions 30A, 30B are provided on both surfaces sandwiching the flow passages 31, 32, and a lid body is provided. It is closed by 33,33. Since pumps having the same structure are symmetrically mounted on both pump assembly sections 30A and 30B, the same numbers are assigned to both members for each member, and only one side will be described below. .
【００１９】ポンプ組立部３０Ａ，３０Ｂには、逆止弁
３４，３５を備えたインナープレート３６と、圧電振動
子３７が接着されたカートリッジ３８とが重ねて装填さ
れ、ボディ３０にネジ止めされた蓋体３３によって押し
付けられている。インナープレート３６は、逆止弁３
４，３５が、ボディ３０に形成された一次流路３１及び
二次側流路３２（図２参照）の分岐部分３１Ａ，３２Ｂ
に適切に配置されるよう、突起にはめ込む等して位置決
めできるようになっている。The pump assemblies 30A and 30B are loaded with an inner plate 36 having check valves 34 and 35 and a cartridge 38 to which a piezoelectric vibrator 37 is adhered, and screwed to the body 30. It is pressed by the lid 33. The inner plate 36 is a check valve 3
4, 35 are branched portions 31A, 32B of a primary flow path 31 and a secondary flow path 32 (see FIG. 2) formed in the body 30.
In order to be properly arranged, it can be positioned by fitting it into a projection or the like.
【００２０】一方、カートリッジ３８は、圧電振動子３
７が接着された底面の振動部３８Ａと、その周縁部に起
立した厚肉円筒状のガイド部３８Ｂとからなる、いわゆ
る器型をしたものである。そして、そのガイド部３８Ｂ
の外側面をボディ３０に気密に摺接させ、押圧リング３
９を介してインナープレート３６をボディ３０へ強く押
し付けるようにして装填されている。こうして組み込ま
れたインナープレート３６には、シール用のＯリングの
内側が浅く凹んで形成され、カートリッジ３８の振動部
３８Ａに塞がれて形成された僅かな隙間がポンプ室４０
として構成される。On the other hand, the cartridge 38 includes the piezoelectric vibrator 3
It is a so-called container-shaped vibrating part comprising a vibrating part 38A on the bottom surface to which the base 7 is adhered and a thick cylindrical guide part 38B standing upright on the peripheral part. And the guide portion 38B
Of the pressure ring 3
The inner plate 36 is mounted so as to strongly press the inner plate 36 against the body 30 via the inner plate 9. In the inner plate 36 incorporated in this manner, the inside of the sealing O-ring is formed to be shallowly concave, and a slight gap formed by being closed by the vibrating portion 38A of the cartridge 38 is formed in the pump chamber 40.
Is configured as
【００２１】そして、圧電振動子３７には信号線１１が
接続され、コントローラ４へと接続されている。コント
ローラ４は、ＣＰＵ、メモリなどから構成され、流量計
２からの検出信号を受け、流量推定式に基づいて流量を
算出し、圧電ポンプ３の駆動を制御する駆動制御プログ
ラムや、本実施形態では特に流量推定式について補正処
理手続を行うためのプログラムが記憶されている。The signal line 11 is connected to the piezoelectric vibrator 37, and is connected to the controller 4. The controller 4 includes a CPU, a memory, and the like, receives a detection signal from the flow meter 2, calculates a flow rate based on a flow rate estimation formula, and controls a drive of the piezoelectric pump 3, and a drive control program in the present embodiment. In particular, a program for performing a correction processing procedure for the flow rate estimation formula is stored.
【００２２】続いて、こうした構成からなる定量吐出シ
ステム１によって、次のようにして定量吐出が行われ
る。先ず、圧電ポンプ３は、圧電振動子３７に電圧が印
加されると、圧電振動子３７が径方向に伸縮して撓み振
動が生じる。そのため、カートリッジ３８の振動部３８
Ａが、接着された圧電振動子３７と同様に撓み振動を起
こし、ポンプ室４０の容積が拡張及び縮小することによ
って室内が負圧になり、また加圧され、液体の吸引及び
吐出を繰り返すポンプ動作が行われる。具体的には、先
ずカートリッジ３８の振動部３８Ａが、圧電振動子３７
に従ってポンプ室４０の容積を拡張する方向に撓めば、
負圧になったポンプ室４０内に液体が吸引されて流れ込
む。このとき、二次側の液体は、逆止弁３５によって弁
孔が閉じられ、ポンプ室４０内へ流れ込むことはない。Subsequently, the fixed-quantity discharge system 1 having such a configuration performs the fixed-quantity discharge as follows. First, in the piezoelectric pump 3, when a voltage is applied to the piezoelectric vibrator 37, the piezoelectric vibrator 37 expands and contracts in the radial direction, and flexural vibration occurs. Therefore, the vibration part 38 of the cartridge 38
A causes flexural vibration in the same manner as the bonded piezoelectric vibrator 37, and the volume of the pump chamber 40 expands and contracts, thereby creating a negative pressure in the chamber and increasing the pressure. The operation is performed. Specifically, first, the vibrating portion 38A of the cartridge 38
If it bends in the direction of expanding the volume of the pump chamber 40 according to
The liquid is sucked and flows into the pump chamber 40 that has been under negative pressure. At this time, the liquid on the secondary side has its valve hole closed by the check valve 35 and does not flow into the pump chamber 40.
【００２３】そして、液体の吸入によってポンプ室４０
が充填された後、圧電振動子３７に逆向きの電圧が印加
され、振動部３８Ａがポンプ室４０の容積を縮小する方
向に撓めば、充填された液体が加圧されて押し出され
る。加圧された液体は、逆止弁３４によって一次側へ逆
流することはなく、逆止弁３５側から二次側へと吐出さ
れる。従って、圧電ポンプ３では、圧電振動子３７へ印
加する電圧の切り換えを制御することにより、ポンプ室
４０を構成するカートリッジ３８の振動部３８Ａを振動
させ、一次側から吸引した液体を継続して二次側へ吐出
する液体搬送が行われることとなる。The pump chamber 40 is sucked by the liquid.
Is charged, a reverse voltage is applied to the piezoelectric vibrator 37, and when the vibrating part 38A bends in a direction to reduce the volume of the pump chamber 40, the filled liquid is pressurized and pushed out. The pressurized liquid does not flow back to the primary side by the check valve 34 but is discharged from the check valve 35 side to the secondary side. Therefore, in the piezoelectric pump 3, by controlling the switching of the voltage applied to the piezoelectric vibrator 37, the vibration part 38A of the cartridge 38 constituting the pump chamber 40 is vibrated, and the liquid sucked from the primary side is continuously discharged. The liquid to be discharged to the next side is conveyed.
【００２４】こうしたポンプ動作は、コントローラ４か
ら圧電振動子３７へ駆動周波数の電圧信号が送信されて
実行される。そして、そのポンプ動作によって吐出され
る液体流量は、一次側に設けられた流量計２によって検
出され、その検出信号がコントローラ４へ送信されて吐
出流量が確認される。即ち、コントローラ４では、流量
計２の検出信号に基づいて流量推定式に従った演算処理
が行われ、圧電ポンプ３によって搬送される液体の吐出
流量が算出される。そうした流量計２による流量検出
は、次のようにして行われる。Such a pump operation is performed by transmitting a voltage signal of a drive frequency from the controller 4 to the piezoelectric vibrator 37. The flow rate of the liquid discharged by the pump operation is detected by the flow meter 2 provided on the primary side, and the detection signal is transmitted to the controller 4 to confirm the discharge flow rate. That is, the controller 4 performs a calculation process according to the flow rate estimation formula based on the detection signal of the flow meter 2, and calculates the discharge flow rate of the liquid conveyed by the piezoelectric pump 3. Such flow rate detection by the flow meter 2 is performed as follows.
【００２５】圧電ポンプ３によって送られる液体がこの
流量計２を通って流れる際、入力ポート５から流入した
液体の圧力によって変形楕円歯車２６，２７に回転が生
じる。計測室２１へ流入した液体は、変形楕円歯車２
６，２７によって形成される空間Ｋに閉じこめられ、回
転に従って順次、計測室２１の壁面に沿って外回りで送
られて二次側の圧電ポンプ３へと流れる。そして、流量
計２では、磁気センサ２９によって、液体の流れに従っ
た変形楕円歯車２６の回転が検出される。即ち、変形楕
円歯車２６の回転に従ってマグネット１８…が検出位置
を通過すると、それを検出した磁気センサ２９によって
検出信号がコントローラ４へ送られる。When the liquid sent by the piezoelectric pump 3 flows through the flow meter 2, rotation of the deformed elliptical gears 26 and 27 is caused by the pressure of the liquid flowing from the input port 5. The liquid flowing into the measuring chamber 21 is the deformed elliptical gear 2
6 and 27, and are sequentially sent outward along the wall surface of the measurement chamber 21 according to the rotation, and flow to the piezoelectric pump 3 on the secondary side. Then, in the flow meter 2, the rotation of the modified elliptical gear 26 according to the flow of the liquid is detected by the magnetic sensor 29. That is, when the magnets 18 pass the detection position in accordance with the rotation of the deformed elliptical gear 26, a detection signal is sent to the controller 4 by the magnetic sensor 29 that has detected the magnets.
【００２６】コントローラ４では、その検出信号をカウ
ントすることによって液体を二次側へ流すための空間Ｋ
が変形楕円歯車２６，２７によってどれだけ形成された
かが確認できる。従って、計算や実測によって空間Ｋの
流量は予め記憶されており、その値に基づいた流量推定
式に従い、検出信号のカウント数からどれだけの流量が
二次側へ流れたかがコントローラ４によって演算処理さ
れる。The controller 4 counts the detection signal to count the space K for flowing the liquid to the secondary side.
Is formed by the deformed elliptical gears 26 and 27. Accordingly, the flow rate in the space K is stored in advance by calculation or actual measurement, and the controller 4 calculates how much flow rate flows to the secondary side from the count number of the detection signal according to a flow rate estimation formula based on the value. You.
【００２７】ところで、定量吐出システムは、ユーザ側
で使用する液体の粘性や、使用経過による詰まりなどの
諸条件によって、製品出荷段階での設定にズレが生じて
しまい、計測流量と実流量との間で誤差が生じてしまう
ことがある。そのため、本実施形態の定量吐出システム
１では、こうした問題を解消する目的で、コントローラ
４に流量精度補正手段が設けられている。流量精度補正
手段は、流量推定式の補正を行うためのプログラムがメ
モリに記憶され、次のような手順で実行できるようにし
たものである。そこで、以下に補正手続について順を追
って説明する。図５は、その補正手続のフローチャート
を示した図である。In the fixed-rate discharge system, the setting at the product shipping stage is shifted due to various conditions such as the viscosity of the liquid used on the user side and clogging due to the use of the liquid. There may be an error between the two. Therefore, in the fixed-quantity ejection system 1 of the present embodiment, the controller 4 is provided with a flow rate accuracy correcting means for the purpose of solving such a problem. The flow rate accuracy correction means stores a program for correcting the flow rate estimation formula in a memory, and can execute the program in the following procedure. Therefore, the correction procedure will be described below step by step. FIG. 5 is a diagram showing a flowchart of the correction procedure.
【００２８】先ず、コントローラ４の電源をＯＮにし
（Ｓ（ステップ）１）、圧電素子ポンプ及び流量計の制
御が可能な状態にしてから、吐出量、タクト、粘度係数
についてユーザの使用条件に応じて所定の値をコントロ
ーラ４に入力する（Ｓ２）。入力された値は、圧電ポン
プ３の能力を超えない正常値か否かが確認される（Ｓ
３）。値を１桁間違えたりする入力ミスを防止するため
である。本実施形態の圧電ポンプ３の能力は、吐出量が
０．０５〜９９．９５ｍｌで、１タクト０．１〜１０．
０秒であるるため、入力値がこの範囲を外れた場合（Ｓ
３：ＮＯ）には入力値エラー表示やブザーが鳴らされる
（Ｓ４）。そうした場合には、ユーザは再び吐出量及び
タクトの値を入れ直さなければならない（Ｓ２）。First, the power of the controller 4 is turned on (S (step) 1) to make the piezoelectric element pump and the flow meter controllable, and then the discharge amount, tact, and viscosity coefficient according to the user's use conditions. A predetermined value is input to the controller 4 (S2). It is confirmed whether or not the input value is a normal value that does not exceed the capacity of the piezoelectric pump 3 (S
3). This is to prevent an input error such as an incorrect value by one digit. The capacity of the piezoelectric pump 3 according to the present embodiment is such that the discharge amount is 0.05 to 99.95 ml and one tact is 0.1 to 10.
0 seconds, the input value is out of this range (S
At 3: NO), an input value error display and a buzzer are sounded (S4). In such a case, the user must reset the ejection amount and the tact value again (S2).
【００２９】入力値が正常な場合には（Ｓ３：ＹＥ
Ｓ）、ポンプ動作及び吐出流量計測が行われる（Ｓ
５）。即ち、コントローラ４から入力値に基づいた駆動
信号が発信され、それに従って圧電ポンプ３が駆動して
前述したポンプ動作が行われる。また、ポンプ動作によ
って送られる液体は流量計２によって前述したように計
測され、その計測信号に基づいてコントローラ４では吐
出中の流量が順次算出される。そして、所定量の液体が
吐出されたことが計測によって確認されると、圧電ポン
プ３による１タクト分のポンプ動作を止め、液体吐出を
終了する。If the input value is normal (S3: YE
S), pump operation and discharge flow rate measurement are performed (S)
5). That is, a drive signal based on the input value is transmitted from the controller 4, and the piezoelectric pump 3 is driven according to the drive signal to perform the above-described pump operation. The liquid sent by the pump operation is measured by the flow meter 2 as described above, and the controller 4 sequentially calculates the flow rate during discharge based on the measurement signal. When the measurement confirms that the predetermined amount of liquid has been discharged, the pump operation for one tact by the piezoelectric pump 3 is stopped, and the liquid discharge is terminated.
【００３０】本補正処理では、ユーザが実際に圧電ポン
プ３によって吐出された液体流量を計測し、その値をコ
ントローラ４へと入力する（Ｓ６）。ここでも、入力値
が、先に入力した値と比較して１桁違う場合等、明らか
な入力ミスを防ぐため、入力された値が正常か否かが確
認される（Ｓ７）。入力ミスが起きた場合には（Ｓ７：
ＮＯ）、入力値エラー表示やブザーが鳴らされ（Ｓ
８）、ユーザは再び実測値を入れ直さなければならない
（Ｓ６）。一方、入力値が正常な場合には（Ｓ７：ＹＥ
Ｓ）、実際の吐出流量と計測流量との誤差を補正する補
正処理が行われる（Ｓ９）。補正処理には、例えば流量
計２について基本式（流量推定式）における補正係数の
修正などが行われる。このように、ユーザ側で使用され
る場合の液体粘度や元圧などに応じた条件に基づいて、
流量を算出するための新たなデータが更新される。In this correction process, the user measures the flow rate of the liquid actually discharged by the piezoelectric pump 3, and inputs the value to the controller 4 (S6). Here, it is confirmed whether the input value is normal or not in order to prevent a clear input error when the input value differs by one digit from the previously input value (S7). If an input error occurs (S7:
NO), an input value error display or a buzzer sounds (S
8), the user must reset the measured values again (S6). On the other hand, if the input value is normal (S7: YE
S), a correction process for correcting an error between the actual discharge flow rate and the measured flow rate is performed (S9). In the correction processing, for example, correction of a correction coefficient in a basic formula (flow rate estimation formula) for the flow meter 2 is performed. In this way, based on conditions such as the liquid viscosity and the original pressure when used on the user side,
New data for calculating the flow rate is updated.
【００３１】補正処理が行われた後は、定量吐出動作を
行うためのスタート信号の入力待ちとなり、スタートス
イッチが入れられているか否かが確認される（Ｓ１
０）。そこで、スイッチＯＮによってスタート信号が入
力されると（Ｓ１０：ＹＥＳ）、圧電ポンプ３が駆動し
て前述したポンプ動作によって液体が吐出され、その吐
出流量が流量計２によって前述したように計測され、コ
ントローラ４によって算出される（Ｓ１１）。そして、
１タクトの吐出終了毎に、こうして計測した流量と設定
した流量との誤差が許容誤差範囲内にあるか否かが確認
される（Ｓ１２）。ここで、許容誤差は０．５％以内と
する。許容誤差内であれば（Ｓ１２：ＹＥＳ）、スター
ト信号の入力状況が再び確認され（Ｓ１０）、ＯＦＦ状
態になっていなければ圧電ポンプ３の駆動が継続され、
流量を計測しながらの液体吐出が繰り返される（Ｓ１０
〜Ｓ１２）。After the correction process has been performed, input of a start signal for performing a fixed-quantity discharge operation is awaited, and it is confirmed whether or not the start switch is turned on (S1).
0). Therefore, when a start signal is input by turning on the switch (S10: YES), the piezoelectric pump 3 is driven to discharge the liquid by the above-described pump operation, and the discharge flow rate is measured by the flow meter 2 as described above. It is calculated by the controller 4 (S11). And
Each time the ejection of one tact is completed, it is confirmed whether or not the error between the flow rate thus measured and the set flow rate is within an allowable error range (S12). Here, the allowable error is within 0.5%. If it is within the allowable error (S12: YES), the input state of the start signal is confirmed again (S10), and if it is not in the OFF state, the driving of the piezoelectric pump 3 is continued,
The liquid ejection while measuring the flow rate is repeated (S10
To S12).
【００３２】一方、吐出流量の誤差が許容量を超えてい
る場合には（Ｓ１２：ＮＯ）、誤差が補正処理範囲内か
否かが確認される（Ｓ１３）。補正処理範囲を超えるよ
うな場合としては、吐出流量が設定値に対して２００％
の増減があるような場合であり、例えば、流量計２にお
ける変形楕円歯車２６，２７の摩耗等により、液体の漏
れ量が大きくなってしまうような場合が考えられる。そ
こで、誤差が補正処理範囲内であれば（Ｓ１３：ＹＥ
Ｓ）、吐出量の補正処理が行われる（Ｓ１４）。補正処
理が可能な誤差が生じる原因としては、圧電ポンプ３の
経時劣化などにより、圧電振動子３７の撓み量が少なく
なってしまうような場合である。On the other hand, if the error of the discharge flow rate exceeds the allowable amount (S12: NO), it is confirmed whether the error is within the correction processing range (S13). In the case where the correction flow rate exceeds the correction processing range, the discharge flow rate is 200% of the set value.
For example, there is a case where the amount of leakage of the liquid increases due to wear of the deformed elliptical gears 26 and 27 in the flow meter 2 or the like. Therefore, if the error is within the correction processing range (S13: YE
S), an ejection amount correction process is performed (S14). An error that can be corrected is caused when the amount of bending of the piezoelectric vibrator 37 is reduced due to the deterioration of the piezoelectric pump 3 with time or the like.
【００３３】補正処理には、１タクト終了時の流量計２
によって計測された流量がフィードバックされ、それに
よって算出された流量と設定流量との誤差に基づき、次
回タクトにてユーザが設定した吐出量になるように、圧
電ポンプ３における圧電振動子３７の駆動周波数が補正
される。一方、誤差が補正処理範囲を超えてしまうよう
な場合には（Ｓ１３：ＮＯ）、エラー表示やブザーによ
って補正処理が不可能であることが知らされ（Ｓ１
５）、圧電ポンプ３の駆動停止によって液体吐出が終了
する。そして、誤差原因となった箇所の部品交換など、
メンテナンスが行われる。In the correction process, the flow meter 2 at the end of one tact
The measured flow rate is fed back, and based on the error between the calculated flow rate and the set flow rate, the driving frequency of the piezoelectric vibrator 37 in the piezoelectric pump 3 is set so that the discharge rate set by the user at the next tact is obtained. Is corrected. On the other hand, when the error exceeds the correction processing range (S13: NO), it is notified by an error display or a buzzer that the correction processing is impossible (S1).
5), the liquid discharge ends when the driving of the piezoelectric pump 3 is stopped. And, such as replacing parts at the location that caused the error,
Maintenance is performed.
【００３４】以上、本実施形態で説明した定量吐出ユニ
ット１によれば、予め設定した流量推定式を流体粘度な
どの使用条件に従って補正処理を行うので、高精度な定
量吐出を安定して行うことができるようになった。ま
た、本実施形態の流量計２には、変形楕円歯車２６，２
７に三葉歯車を使用したため、空間Ｋによる流体流量を
大幅に減らすことができ、また一回転当たりに送る回数
も増やすことができたので、脈動を小さくして分解能を
向上させることができた。従って、回転が途中で停止し
たために加算されない実流量が少なくなり、計測値との
誤差が小さくなった。As described above, according to the fixed-quantity discharge unit 1 described in the present embodiment, the correction process is performed on the preset flow rate estimation formula according to the use conditions such as the fluid viscosity. Is now available. In addition, the flow meter 2 of the present embodiment includes modified elliptical gears 26, 2
The use of a trilobal gear in 7 significantly reduced the fluid flow rate due to the space K, and also increased the number of feeds per revolution, thus reducing pulsation and improving resolution. . Therefore, the actual flow rate that is not added because the rotation stopped halfway was reduced, and the error from the measured value was reduced.
【００３５】また、流量計２では、透明な蓋体２４で計
測室２１を密閉したので、計測室２１内を外から見るこ
とができるため、吐出量が許容誤差（図５のＳ１４）を
超えるような原因となる、例えば異物の噛み込み等の不
具合を簡単に発見できるようになった。また、本実施形
態の圧電ポンプ３は、ダブルポンプ構造としたので、流
量が低下しがちな高粘度の液体を吐出する場合でも、十
分な流量の液体を搬送することができる。一方で、片側
だけを駆動させることによってシングルポンプとするこ
ともでき、液体粘度に応じて効率良く適量の液体を搬送
することができる。また、圧電ポンプ３は、圧電振動子
３７を使用した容積式ポンプとしたことにより、周波数
電圧を変化させるだけで簡単に流量を可変でき、更に脈
動が少ないので微少な流量変化が可能である。In the flow meter 2, since the measuring chamber 21 is sealed with the transparent lid 24, the inside of the measuring chamber 21 can be seen from the outside, so that the discharge amount exceeds the allowable error (S14 in FIG. 5). Such a cause, for example, a defect such as a bite of a foreign substance can be easily found. Further, since the piezoelectric pump 3 of the present embodiment has a double pump structure, a sufficient flow rate of liquid can be conveyed even when a high-viscosity liquid whose flow rate tends to decrease is discharged. On the other hand, by driving only one side, a single pump can be used, and an appropriate amount of liquid can be transported efficiently according to the viscosity of the liquid. In addition, since the piezoelectric pump 3 is a positive displacement pump using the piezoelectric vibrator 37, the flow rate can be easily changed only by changing the frequency voltage, and the pulsation is small, so that the flow rate can be minutely changed.
【００３６】なお、本発明は、前記実施形態のものに限
定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な
変更が可能である。前記実施形態では流量計に、ギヤを
用いた容積式の流量計２を設け、ポンプには圧電振動子
を用いた圧電ポンプとしたが、流量計及びポンプとも多
の構成によるものであってもよい。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes can be made without departing from the spirit of the present invention. In the embodiment, the flow meter is provided with the positive displacement type flow meter 2 using a gear, and the pump is a piezoelectric pump using a piezoelectric vibrator. However, the flow meter and the pump may have many configurations. Good.
【００３７】[0037]
【発明の効果】本発明は、予め使用条件を入力して行っ
た定量吐出による実際の吐出流量と、使用条件の一つと
して入力した設定流量値との誤差に基づき、吐出流量が
設定流量と一致するように、コントローラで流量推定式
の補正処理を行うようにしたので、使用条件に適応して
正確に定量の液体を吐出する定量吐出システムを提供す
ることが可能となった。According to the present invention, the discharge flow rate is set to the set flow rate based on the error between the actual discharge flow rate by the quantitative discharge performed by inputting the use conditions in advance and the set flow rate value input as one of the use conditions. Since the controller performs the correction process of the flow rate estimation formula so that they coincide with each other, it is possible to provide a quantitative discharge system that discharges a fixed amount of liquid accurately according to the use conditions.
【図１】本発明に係る定量吐出システムをイメージした
外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a quantitative discharge system according to the present invention.
【図２】実施形態における定量吐出システムの流量計及
びポンプを示した断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a flow meter and a pump of the fixed-rate discharge system according to the embodiment.
【図３】図２の左側から見た流量計の計測室を示した図
である。FIG. 3 is a view showing a measurement chamber of the flow meter as viewed from the left side of FIG. 2;
【図４】ポンプを示した図２におけるＡ−Ａ部分の断面
図である。FIG. 4 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 2 showing the pump.
【図５】補正手続のフローチャートを示した図である。FIG. 5 is a diagram showing a flowchart of a correction procedure.
１ 定量吐出システム ２ 流量計 ３ 圧電ポンプ ４ コントローラ ２１ 計測室 ２６，２７ 変形楕円歯車 ２８ マグネット ２９ 磁気センサ ３４，３５ 逆止弁 ３６ インナープレート ３７ 圧電振動子 ３８ カートリッジ ４０ ポンプ室 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fixed-quantity discharge system 2 Flow meter 3 Piezoelectric pump 4 Controller 21 Measurement room 26, 27 Deformed elliptical gear 28 Magnet 29 Magnetic sensor 34, 35 Check valve 36 Inner plate 37 Piezoelectric vibrator 38 Cartridge 40 Pump room
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｆ 1/00 Ｇ０１Ｆ 1/00 Ｗ ４Ｆ０４２ 3/10 3/10 Ａ ５Ｆ０４６ Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｂ６７Ｄ 5/30 Ａ // Ｂ６７Ｄ 5/30 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６４Ｃ (72)発明者 塚原 雅博 愛知県春日井市堀ノ内町850番地 シーケ ーディ株式会社春日井事業所内 (72)発明者 内藤 正博 愛知県春日井市堀ノ内町850番地 シーケ ーディ株式会社春日井事業所内 Ｆターム(参考） 2F030 CA01 CC01 CD04 CE04 CE12 CF05 CF07 CG02 3E083 AB01 AB20 AC03 3H045 AA03 AA08 AA12 AA22 BA19 CA06 CA29 DA04 EA34 3H075 AA01 BB02 CC11 DA14 DB02 EE02 EE12 4D075 AC84 AC94 DA06 DC22 4F042 AA07 BA12 CB02 CB08 5F046 JA01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G01F 1/00 G01F 1/00 W 4F042 3/10 3/10 A 5F046 H01L 21/027 B67D 5/30 A // B67D 5/30 H01L 21/30 564C (72) Inventor Masahiro Tsukahara 850 Horinouchi-cho, Kasugai-shi, Aichi Prefecture KK Kasugai Office (72) Inventor Masahiro Naito 850-850 Horinouchi-cho, Kasugai-shi, Aichi Prefecture F-term (reference) at Kasugai Works Co., Ltd. CB08 5F046 JA01
Claims (5)
ポンプによって搬送された液体流量を検出する流量計
と、その流量計から送信された検出信号に基づいて流量
推定式に従った流量を算出することにより、定量の液体
を吐出するように前記ポンプの駆動を制御するコントロ
ーラとを有する定量吐出システムにおいて、 前記コントローラは、予め使用条件を入力して行った定
量吐出による実際の吐出流量と、前記使用条件の一つと
して入力した設定流量値との誤差に基づき、吐出流量が
設定流量と一致するように前記流量推定式の補正処理を
行うことを特徴とする定量吐出システム。1. A pump for transporting a liquid, a flow meter for detecting a flow rate of the liquid transported by the pump, and a flow rate in accordance with a flow rate estimation formula based on a detection signal transmitted from the flow meter. By calculating, in a quantitative discharge system having a controller that controls the drive of the pump so as to discharge a fixed amount of liquid, the controller outputs an actual discharge flow rate by quantitative discharge performed by inputting use conditions in advance. And performing a correction process of the flow rate estimation formula based on an error with a set flow rate value input as one of the use conditions so that the discharge flow rate matches the set flow rate.
いて、 前記コントローラは、前記使用条件の入力値や実際の吐
出流量の入力値が所定の範囲を超える場合にエラーを知
らせるものであることを特徴とする定量吐出システム。2. The fixed-rate discharge system according to claim 1, wherein the controller notifies an error when an input value of the use condition or an input value of an actual discharge flow rate exceeds a predetermined range. Characterized quantitative discharge system.
システムにおいて、 前記コントローラは、前記補正処理後の定量吐出動作の
際、吐出流量が設定流量に対する許容誤差範囲を超える
場合に、前記ポンプの駆動を調整するものであることを
特徴とする定量吐出システム。3. The fixed-quantity discharge system according to claim 1, wherein the controller performs the fixed-quantity discharge operation after the correction processing, when the discharge flow rate exceeds an allowable error range with respect to a set flow rate. A fixed-rate discharge system for adjusting the driving of a pump.
の定量吐出システムにおいて、 前記ポンプは、圧電振動子によって振動させる振動面を
もったポンプ室に、一次流路側及び二次流路側にそれぞ
れ逆止弁を設け、振動面の振動によるポンプ動作によっ
て液体搬送を行うものであって、前記一次流路及び二次
流路を共通にして、２つのポンプ室を１つのポンプ本体
に設けたものであることを特徴とする定量吐出システ
ム。4. The fixed-rate discharge system according to claim 1, wherein the pump has a primary chamber side and a secondary channel side in a pump chamber having a vibration surface vibrated by a piezoelectric vibrator. , Each of which is provided with a check valve, and performs liquid transfer by a pump operation by vibration of a vibrating surface, wherein two pump chambers are provided in one pump main body by using the primary flow path and the secondary flow path in common. A fixed-quantity discharge system characterized by the following.
の定量吐出システムにおいて、 前記流量計は、計測室内に回転自在に軸支されて噛合し
た三葉以上の一対の多葉歯車と、前記多葉歯車の回転を
検出する検出手段とを有するものであることを特徴とす
る定量吐出システム。5. The fixed-quantity discharge system according to claim 1, wherein the flowmeter is a rotatable and rotatably supported pair of three or more multi-leaf gears in a measurement chamber. And a detecting means for detecting rotation of the multi-leaf gear.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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Country Status (1)
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