JP2002143640A - ハロゲン系ガスの除去方法 - Google Patents
ハロゲン系ガスの除去方法Info
- Publication number
- JP2002143640A JP2002143640A JP2000343696A JP2000343696A JP2002143640A JP 2002143640 A JP2002143640 A JP 2002143640A JP 2000343696 A JP2000343696 A JP 2000343696A JP 2000343696 A JP2000343696 A JP 2000343696A JP 2002143640 A JP2002143640 A JP 2002143640A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- halogen
- based gas
- particle diameter
- granulated
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】吸着剤の発火を抑制し、ハロゲン系ガスの処理
能力が高く、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発
生を低減した、ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。 【解決手段】一次粒子の平均粒子径１０〜５００μｍの
炭酸水素塩を圧縮成形法により造粒し、前記ハロゲン系
ガスに接触させて除去する。造粒物は、平均粒子径が
０．５〜２０ｍｍであり、粒子径０．５〜１．０ｍｍ間
の粒子の平均硬度が１Ｎ以上、又は、粒子径１．０〜
１．５ｍｍ間の粒子の平均硬度が４Ｎ以上、又は、粒子
径１．５〜２．０ｍｍ間の粒子の平均硬度が１０Ｎ以
上、又は、粒子径２．０ｍｍ以上の粒子の平均硬度が３
０Ｎ以上のものを使用する。
能力が高く、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発
生を低減した、ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。 【解決手段】一次粒子の平均粒子径１０〜５００μｍの
炭酸水素塩を圧縮成形法により造粒し、前記ハロゲン系
ガスに接触させて除去する。造粒物は、平均粒子径が
０．５〜２０ｍｍであり、粒子径０．５〜１．０ｍｍ間
の粒子の平均硬度が１Ｎ以上、又は、粒子径１．０〜
１．５ｍｍ間の粒子の平均硬度が４Ｎ以上、又は、粒子
径１．５〜２．０ｍｍ間の粒子の平均硬度が１０Ｎ以
上、又は、粒子径２．０ｍｍ以上の粒子の平均硬度が３
０Ｎ以上のものを使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハロゲン単体又は
ハロゲン化合物からなるハロゲン系ガスの除去方法に関
し、例えば、ハロゲン系ガスを含有するドライエッチン
グ排ガス等からハロゲン系ガスを除去する方法に関す
る。
ハロゲン化合物からなるハロゲン系ガスの除去方法に関
し、例えば、ハロゲン系ガスを含有するドライエッチン
グ排ガス等からハロゲン系ガスを除去する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ハロゲン単体又はハロゲン化
合物からなるハロゲン系ガスを含有するドライエッチン
グ排ガスやＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）チャンバーの排ガス等の処理方法
として、設備の小型化及び操作の簡便化のため、活性炭
等の吸着剤を使用した乾式による処理方法等が採用され
ている。しかし、ガス吸着時の吸着熱による発火、使用
済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発生等が問題であっ
た。
合物からなるハロゲン系ガスを含有するドライエッチン
グ排ガスやＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）チャンバーの排ガス等の処理方法
として、設備の小型化及び操作の簡便化のため、活性炭
等の吸着剤を使用した乾式による処理方法等が採用され
ている。しかし、ガス吸着時の吸着熱による発火、使用
済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発生等が問題であっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
に鑑み、吸着剤の発火を抑制し、ハロゲン系ガスの処理
能力が高く、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発
生を低減した、ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。
に鑑み、吸着剤の発火を抑制し、ハロゲン系ガスの処理
能力が高く、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発
生を低減した、ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、一次粒子の平
均粒子径１０〜５００μｍの炭酸水素塩の粉末を圧縮成
形法により造粒し、得られた造粒物を、ハロゲン単体又
はハロゲン化合物からなるハロゲン系ガスに接触させて
ハロゲン系ガスを除去する、ハロゲン系ガスの除去方法
を提供する。
均粒子径１０〜５００μｍの炭酸水素塩の粉末を圧縮成
形法により造粒し、得られた造粒物を、ハロゲン単体又
はハロゲン化合物からなるハロゲン系ガスに接触させて
ハロゲン系ガスを除去する、ハロゲン系ガスの除去方法
を提供する。
【０００５】さらに、本発明は、炭酸水素塩の粉末を造
粒してなる平均粒子径０．５〜２０ｍｍの造粒物であっ
て、粒子径０．５〜１．０ｍｍ間の造粒物の平均硬度が
１Ｎ以上、又は、粒子径１．０〜１．５ｍｍ間の造粒物
の平均硬度が４Ｎ以上、又は、粒子径１．５〜２．０ｍ
ｍ間の造粒物の平均硬度が１０Ｎ以上、又は、粒子径
２．０ｍｍ以上の造粒物の平均硬度が３０Ｎ以上、であ
る造粒物を、ハロゲン単体又はハロゲン化合物からなる
ハロゲン系ガスに接触させてハロゲン系ガスを除去す
る、ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。
粒してなる平均粒子径０．５〜２０ｍｍの造粒物であっ
て、粒子径０．５〜１．０ｍｍ間の造粒物の平均硬度が
１Ｎ以上、又は、粒子径１．０〜１．５ｍｍ間の造粒物
の平均硬度が４Ｎ以上、又は、粒子径１．５〜２．０ｍ
ｍ間の造粒物の平均硬度が１０Ｎ以上、又は、粒子径
２．０ｍｍ以上の造粒物の平均硬度が３０Ｎ以上、であ
る造粒物を、ハロゲン単体又はハロゲン化合物からなる
ハロゲン系ガスに接触させてハロゲン系ガスを除去す
る、ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明において、炭酸水素塩とし
ては、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等が使用
できる。特に、大量かつ安価に入手できることから工業
的に適していることや、吸湿性がなく、造粒物の製造や
保存にあたって使用しやすいことから、炭酸水素ナトリ
ウムが好ましい。一方、除去処理後の排ガス等へのナト
リウムの混入を防ぎたい場合は炭酸水素カリウムが好ま
しい。
ては、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等が使用
できる。特に、大量かつ安価に入手できることから工業
的に適していることや、吸湿性がなく、造粒物の製造や
保存にあたって使用しやすいことから、炭酸水素ナトリ
ウムが好ましい。一方、除去処理後の排ガス等へのナト
リウムの混入を防ぎたい場合は炭酸水素カリウムが好ま
しい。
【０００７】本発明において、炭酸水素塩の粉末は造粒
物にする。造粒物は、炭酸水素塩を７０質量％以上含有
することが好ましい。造粒物中において、炭酸水素塩が
７０質量％未満であると、ハロゲン系ガス除去剤として
のガス処理容量が低下し、除去剤充填層の入れ替え頻度
が高くなるので好ましくない。炭酸水素塩の含有量は、
特に８０質量％以上であることが好ましい。なお、造粒
物中において、他に含まれる材料としては、炭酸水素塩
以外の吸着剤、バインダー等が挙げられる。
物にする。造粒物は、炭酸水素塩を７０質量％以上含有
することが好ましい。造粒物中において、炭酸水素塩が
７０質量％未満であると、ハロゲン系ガス除去剤として
のガス処理容量が低下し、除去剤充填層の入れ替え頻度
が高くなるので好ましくない。炭酸水素塩の含有量は、
特に８０質量％以上であることが好ましい。なお、造粒
物中において、他に含まれる材料としては、炭酸水素塩
以外の吸着剤、バインダー等が挙げられる。
【０００８】本発明における炭酸水素塩の粉末は、一次
粒子の平均粒子径が１０〜５００μｍであるものを使用
する。これは、造粒の容易さ及び工業的規模での入手し
やすさからであり、一次粒子の平均粒子径が１０μｍ未
満であると、圧縮成形において粉体圧縮時の脱気が不良
となることから、硬度の高い造粒物が得難くなり、５０
０μｍ超であると、技術的に造粒物の製造が困難であ
る。なお、一次粒子とは炭酸水素塩の単結晶であり、平
均粒子径とは重量基準による平均粒子径である。
粒子の平均粒子径が１０〜５００μｍであるものを使用
する。これは、造粒の容易さ及び工業的規模での入手し
やすさからであり、一次粒子の平均粒子径が１０μｍ未
満であると、圧縮成形において粉体圧縮時の脱気が不良
となることから、硬度の高い造粒物が得難くなり、５０
０μｍ超であると、技術的に造粒物の製造が困難であ
る。なお、一次粒子とは炭酸水素塩の単結晶であり、平
均粒子径とは重量基準による平均粒子径である。
【０００９】本発明において、炭酸水素塩の粉末の造粒
物の平均粒子径は０．５〜２０ｍｍである。造粒物の平
均粒子径が０．５〜２０ｍｍであることにより、ハロゲ
ン系ガスの処理の際、従来から使用されている充填塔等
を使用できる。造粒物の平均粒子径が０．５ｍｍ未満で
あると、ハロゲン系ガス又はそれを含有する被処理ガス
が充填層等を通過する際の圧力損失が高くなり、平均粒
子径が２０ｍｍを超えると、被処理ガスと造粒物との接
触面積が低下し、排ガスの除去性能を低下させる。造粒
物の平均粒子径としては、特に０．５〜１０ｍｍが好ま
しい。
物の平均粒子径は０．５〜２０ｍｍである。造粒物の平
均粒子径が０．５〜２０ｍｍであることにより、ハロゲ
ン系ガスの処理の際、従来から使用されている充填塔等
を使用できる。造粒物の平均粒子径が０．５ｍｍ未満で
あると、ハロゲン系ガス又はそれを含有する被処理ガス
が充填層等を通過する際の圧力損失が高くなり、平均粒
子径が２０ｍｍを超えると、被処理ガスと造粒物との接
触面積が低下し、排ガスの除去性能を低下させる。造粒
物の平均粒子径としては、特に０．５〜１０ｍｍが好ま
しい。
【００１０】本発明において、造粒物は、圧縮成形法に
よって得る。圧縮成形法は、工程が簡略なため工業的に
簡便であり、バインダーを使用しなくても造粒物を得る
ことができる。また、圧縮成形法により、硬度が高く壊
れにくい、ガス処理容量の大きな造粒物を得ることがで
きる。造粒物を得る方法として、具体的には、圧縮成形
機を使用し、乾式で成形した後、粗粉砕し、篩分ける方
法が挙げられる。また、水溶性のバインダーを使用して
湿式の圧縮成形機で成形し、その後乾燥させる方法も挙
げられる。
よって得る。圧縮成形法は、工程が簡略なため工業的に
簡便であり、バインダーを使用しなくても造粒物を得る
ことができる。また、圧縮成形法により、硬度が高く壊
れにくい、ガス処理容量の大きな造粒物を得ることがで
きる。造粒物を得る方法として、具体的には、圧縮成形
機を使用し、乾式で成形した後、粗粉砕し、篩分ける方
法が挙げられる。また、水溶性のバインダーを使用して
湿式の圧縮成形機で成形し、その後乾燥させる方法も挙
げられる。
【００１１】本発明において、炭酸水素塩の粉末の造粒
物は、ハロゲン系ガスの除去処理をするために、充填層
に充填されて使用される場合、強度が低いと、粉化して
充填層を通過する際の圧力損失が上昇することがある。
このため造粒物の強度は高くする。
物は、ハロゲン系ガスの除去処理をするために、充填層
に充填されて使用される場合、強度が低いと、粉化して
充填層を通過する際の圧力損失が上昇することがある。
このため造粒物の強度は高くする。
【００１２】本発明における造粒物の強度評価方法とし
て、硬度が挙げられる。ここで、硬度とは、造粒物粒子
の１個を上方より垂直に荷重をかけて圧縮して破壊する
に必要な力のことである。
て、硬度が挙げられる。ここで、硬度とは、造粒物粒子
の１個を上方より垂直に荷重をかけて圧縮して破壊する
に必要な力のことである。
【００１３】本発明での硬度の評価は、造粒物粒子を分
級して粒子径を揃えた粒子群について行う。例えば、目
開き１．５ｍｍの篩と目開き２．０ｍｍの篩を使用して
篩分け、１．５ｍｍ篩上かつ２．０ｍｍ篩下の粒子を２
０個採取し、各粒子の硬度を測定してその平均値を粒子
強度の評価基準として採用する。
級して粒子径を揃えた粒子群について行う。例えば、目
開き１．５ｍｍの篩と目開き２．０ｍｍの篩を使用して
篩分け、１．５ｍｍ篩上かつ２．０ｍｍ篩下の粒子を２
０個採取し、各粒子の硬度を測定してその平均値を粒子
強度の評価基準として採用する。
【００１４】本発明における炭酸水素塩の粉末の造粒物
の硬度は、造粒物粒子を篩分けたときの粒子径０．５〜
１．０ｍｍ間の造粒物の平均硬度が１Ｎ以上、又は、粒
子径１．０〜１．５ｍｍ間の造粒物の平均硬度が４Ｎ以
上、又は、粒子径１．５〜２．０ｍｍ間の造粒物の平均
硬度が１０Ｎ以上、又は、粒子径２．０ｍｍ以上の造粒
物の平均硬度が３０Ｎ以上、である。
の硬度は、造粒物粒子を篩分けたときの粒子径０．５〜
１．０ｍｍ間の造粒物の平均硬度が１Ｎ以上、又は、粒
子径１．０〜１．５ｍｍ間の造粒物の平均硬度が４Ｎ以
上、又は、粒子径１．５〜２．０ｍｍ間の造粒物の平均
硬度が１０Ｎ以上、又は、粒子径２．０ｍｍ以上の造粒
物の平均硬度が３０Ｎ以上、である。
【００１５】本発明では、ハロゲン単体又はハロゲン化
合物からなるハロゲン系ガスを除去する。例えば、ハロ
ゲン系ガスを含有するドライエッチング排ガス等を処理
して、該排ガス中のハロゲン系ガスを除去する。ハロゲ
ンとしては、フッ素、塩素、臭素等が挙げられる。具体
的なハロゲン単体又はハロゲン化合物としてはＢＣ
ｌ 3、ＣＣｌ4、Ｃｌ2、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣ
ｌ2、Ｆ2、ＳｉＦ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、Ｃ
ｌＦ3及びＨＢｒから選ばれる一種又は二種以上が挙げ
られる。
合物からなるハロゲン系ガスを除去する。例えば、ハロ
ゲン系ガスを含有するドライエッチング排ガス等を処理
して、該排ガス中のハロゲン系ガスを除去する。ハロゲ
ンとしては、フッ素、塩素、臭素等が挙げられる。具体
的なハロゲン単体又はハロゲン化合物としてはＢＣ
ｌ 3、ＣＣｌ4、Ｃｌ2、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣ
ｌ2、Ｆ2、ＳｉＦ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、Ｃ
ｌＦ3及びＨＢｒから選ばれる一種又は二種以上が挙げ
られる。
【００１６】本発明における被処理ガスの温度が０℃〜
１００℃であると、効率的に除去処理できる。被処理ガ
スの温度が０℃未満であると、反応速度が低下するので
好ましくない。また、１００℃以下であれば、充填塔等
の設備を高価な耐熱材料又は構造とする必要がなく、操
作及び設備等を簡略化できる。
１００℃であると、効率的に除去処理できる。被処理ガ
スの温度が０℃未満であると、反応速度が低下するので
好ましくない。また、１００℃以下であれば、充填塔等
の設備を高価な耐熱材料又は構造とする必要がなく、操
作及び設備等を簡略化できる。
【００１７】本発明において、炭酸水素塩は、ハロゲン
単体又はハロゲン化合物と反応し、水溶性の塩を生成す
る。炭酸水素塩自身も水溶性であるために、排ガス中の
ハロゲン系ガスの除去に使用した後の造粒物を水に溶解
できる。また、後述のように、例えば、炭酸水素塩と活
性炭を併用した場合、固形廃棄物を減少できる。
単体又はハロゲン化合物と反応し、水溶性の塩を生成す
る。炭酸水素塩自身も水溶性であるために、排ガス中の
ハロゲン系ガスの除去に使用した後の造粒物を水に溶解
できる。また、後述のように、例えば、炭酸水素塩と活
性炭を併用した場合、固形廃棄物を減少できる。
【００１８】炭酸水素塩は、ハロゲン単体又はハロゲン
化合物と反応して水溶性の塩を生成するため、活性炭吸
着の場合のようにハロゲン単体又はハロゲン化合物が脱
離して臭気を発生することがないため、充填層等の入れ
替え作業が容易にできる。また、炭酸水素塩自身に消火
性があるため発火の危険性がない。
化合物と反応して水溶性の塩を生成するため、活性炭吸
着の場合のようにハロゲン単体又はハロゲン化合物が脱
離して臭気を発生することがないため、充填層等の入れ
替え作業が容易にできる。また、炭酸水素塩自身に消火
性があるため発火の危険性がない。
【００１９】本発明において、前記造粒物を活性炭とと
もに充填塔等の容器に充填してハロゲン系ガスと接触さ
せてハロゲン系ガスを除去するのも好ましい。この方法
により、活性炭を単独使用した場合と比較して、ハロゲ
ン単体又はハロゲン化合物の除去量を増加できるのみで
なく、活性炭からの臭気の発生も低減できる。具体的に
は、炭酸水素塩と活性炭を層状に充填塔等の容器に配置
する等して使用する。
もに充填塔等の容器に充填してハロゲン系ガスと接触さ
せてハロゲン系ガスを除去するのも好ましい。この方法
により、活性炭を単独使用した場合と比較して、ハロゲ
ン単体又はハロゲン化合物の除去量を増加できるのみで
なく、活性炭からの臭気の発生も低減できる。具体的に
は、炭酸水素塩と活性炭を層状に充填塔等の容器に配置
する等して使用する。
【００２０】
【実施例】以下の各例において、硬度は、藤原製作所製
の木屋式デジタル硬度計ＫＨＴ−２０型を使用して測定
した。また、硬度は粒子の大きさにより異なるため、篩
分けして粒子径を揃えた。
の木屋式デジタル硬度計ＫＨＴ−２０型を使用して測定
した。また、硬度は粒子の大きさにより異なるため、篩
分けして粒子径を揃えた。
【００２１】[例１]一次粒子の平均粒子径が９１μｍの
食品添加物用炭酸水素ナトリウムの粉末（旭硝子株式会
社製）３００ｋｇをロールプレス式圧縮成形機（ターボ
工業社製、商品名：ローラーコンパクターＷＰ型、ロー
ル外径２３０ｍｍ、ロール長８０ｍｍ）を使用して線圧
３６．８ｋＮ／ｃｍで圧縮成形し、フレーク状の炭酸水
素ナトリウムの粉末の成形体を得た。得られたフレーク
状の成形体をフレークブレーカーで粗砕し、ロータリー
式整粒機のメッシュを４．７５ｍｍに設定して全通させ
た後、回転篩機（ターボ工業社製、商品名：ターボスク
リーナーＴＳ型）を使用して粒子径４．０ｍｍ以上の粒
子と粒子径１．０ｍｍ以下の粒子を除去し、平均粒子径
が２．３ｍｍの炭酸水素ナトリウムの粉末の造粒物を得
た。
食品添加物用炭酸水素ナトリウムの粉末（旭硝子株式会
社製）３００ｋｇをロールプレス式圧縮成形機（ターボ
工業社製、商品名：ローラーコンパクターＷＰ型、ロー
ル外径２３０ｍｍ、ロール長８０ｍｍ）を使用して線圧
３６．８ｋＮ／ｃｍで圧縮成形し、フレーク状の炭酸水
素ナトリウムの粉末の成形体を得た。得られたフレーク
状の成形体をフレークブレーカーで粗砕し、ロータリー
式整粒機のメッシュを４．７５ｍｍに設定して全通させ
た後、回転篩機（ターボ工業社製、商品名：ターボスク
リーナーＴＳ型）を使用して粒子径４．０ｍｍ以上の粒
子と粒子径１．０ｍｍ以下の粒子を除去し、平均粒子径
が２．３ｍｍの炭酸水素ナトリウムの粉末の造粒物を得
た。
【００２２】また、前述の硬度測定法によって、造粒物
の粒子強度を測定した。すなわち得られた平均粒子径
２．３ｍｍの造粒物を０．５ｍｍ、１．０ｍｍ、１．５
ｍｍ、２．０ｍｍ、２．５ｍｍの目開きの篩で篩分け、
各粒度の硬度を２０個測定し平均値を求めたところ、
０．５〜１．０ｍｍの間の粒子の平均硬度が３Ｎ、１．
０〜１．５ｍｍが１３Ｎ、１．５〜２．０ｍｍが２１
Ｎ、２．０ｍｍ以上が６０Ｎであった。
の粒子強度を測定した。すなわち得られた平均粒子径
２．３ｍｍの造粒物を０．５ｍｍ、１．０ｍｍ、１．５
ｍｍ、２．０ｍｍ、２．５ｍｍの目開きの篩で篩分け、
各粒度の硬度を２０個測定し平均値を求めたところ、
０．５〜１．０ｍｍの間の粒子の平均硬度が３Ｎ、１．
０〜１．５ｍｍが１３Ｎ、１．５〜２．０ｍｍが２１
Ｎ、２．０ｍｍ以上が６０Ｎであった。
【００２３】次に、底面が通気性焼結板で内径２５０ｍ
ｍ、長さ１７００ｍｍのフッ素樹脂ライニング付きステ
ンレス鋼製の充填容器に、充填物として前記造粒物を２
５ｋｇ充填した。被処理ガスとして、組成比がＢＣ
ｌ3：１６体積％、Ｃｌ2：４４体積％、アルゴン：４０
体積％のガスを流量２５０ｃｍ3／分、温度２５℃、常
圧下で、上記充填容器の底部から注入した。充填容器の
上部から流出したガスを分析したところ、ＢＣｌ3は検
出されず、Ｃｌ2は０．０３体積ｐｐｍであった。
ｍ、長さ１７００ｍｍのフッ素樹脂ライニング付きステ
ンレス鋼製の充填容器に、充填物として前記造粒物を２
５ｋｇ充填した。被処理ガスとして、組成比がＢＣ
ｌ3：１６体積％、Ｃｌ2：４４体積％、アルゴン：４０
体積％のガスを流量２５０ｃｍ3／分、温度２５℃、常
圧下で、上記充填容器の底部から注入した。充填容器の
上部から流出したガスを分析したところ、ＢＣｌ3は検
出されず、Ｃｌ2は０．０３体積ｐｐｍであった。
【００２４】処理開始から３０１時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が上昇し始めた。充填物を取り出したと
ころ、造粒物粒子の粉化や臭気の発生はなかった。ま
た、この充填物を水に溶解したところすべて溶解し、固
形廃棄物の発生はなかった。
中のＣｌ2濃度が上昇し始めた。充填物を取り出したと
ころ、造粒物粒子の粉化や臭気の発生はなかった。ま
た、この充填物を水に溶解したところすべて溶解し、固
形廃棄物の発生はなかった。
【００２５】[例２]例１と同様にして得た炭酸水素ナト
リウムの粉末の造粒物と活性炭とを、例１と同じ充填容
器に、下から順に活性炭５ｋｇ、造粒物１２．５ｋｇ、
活性炭５ｋｇ、造粒物１２．５ｋｇ、計３５ｋｇを充填
して使用する以外は例１と同様にして、流出ガスを分析
したところ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2は０．０１体
積ｐｐｍであった。
リウムの粉末の造粒物と活性炭とを、例１と同じ充填容
器に、下から順に活性炭５ｋｇ、造粒物１２．５ｋｇ、
活性炭５ｋｇ、造粒物１２．５ｋｇ、計３５ｋｇを充填
して使用する以外は例１と同様にして、流出ガスを分析
したところ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2は０．０１体
積ｐｐｍであった。
【００２６】処理開始から３７４時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が上昇し始めた。充填物を取り出したと
ころ、造粒物粒子の粉化や臭気の発生はなかった。ま
た、この充填物の内、造粒物を水に溶解したところすべ
て溶解した。
中のＣｌ2濃度が上昇し始めた。充填物を取り出したと
ころ、造粒物粒子の粉化や臭気の発生はなかった。ま
た、この充填物の内、造粒物を水に溶解したところすべ
て溶解した。
【００２７】[例３]被処理ガスとして、組成比がＢＣｌ
3：１６体積％、ＣＣｌ4：０．６体積％、Ｃｌ2：２
５．３体積％、ＳｉＣｌ4：０．６体積％、ＨＣｌ：
４．８体積％、ＣＯＣｌ2：０．６体積％、Ｆ2：２．７
体積％、ＳｉＦ4：０．６体積％、ＨＦ：４．８体積
％、ＣＯＦ2：０．６体積％、ＮＦ3：０．８体積％、Ｗ
Ｆ6：０．６体積％、ＣｌＦ3：０．６体積％、ＨＢｒ：
４．８体積％、アルゴン：３６．６体積％のガスを使用
する以外は例２と同様にして、流出ガスを分析したとこ
ろ、Ｃｌ2は０．０１体積ｐｐｍであり、ＢＣｌ3、ＣＣ
ｌ4、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、ＳｉＦ4、
ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3、ＨＢｒ等は検
出されなかった。
3：１６体積％、ＣＣｌ4：０．６体積％、Ｃｌ2：２
５．３体積％、ＳｉＣｌ4：０．６体積％、ＨＣｌ：
４．８体積％、ＣＯＣｌ2：０．６体積％、Ｆ2：２．７
体積％、ＳｉＦ4：０．６体積％、ＨＦ：４．８体積
％、ＣＯＦ2：０．６体積％、ＮＦ3：０．８体積％、Ｗ
Ｆ6：０．６体積％、ＣｌＦ3：０．６体積％、ＨＢｒ：
４．８体積％、アルゴン：３６．６体積％のガスを使用
する以外は例２と同様にして、流出ガスを分析したとこ
ろ、Ｃｌ2は０．０１体積ｐｐｍであり、ＢＣｌ3、ＣＣ
ｌ4、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、ＳｉＦ4、
ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3、ＨＢｒ等は検
出されなかった。
【００２８】処理開始から３７１時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が上昇し始めた。充填物を取り出したと
ころ、造粒物粒子の粉化や臭気の発生はなかった。ま
た、この充填物の内、造粒物を水に溶解したところ９０
質量％以上溶解した。
中のＣｌ2濃度が上昇し始めた。充填物を取り出したと
ころ、造粒物粒子の粉化や臭気の発生はなかった。ま
た、この充填物の内、造粒物を水に溶解したところ９０
質量％以上溶解した。
【００２９】[例４（比較例）]炭酸水素ナトリウムの粉
末の造粒物２５ｋｇのかわりに活性炭のみを３５ｋｇ充
填する以外は例１と同様にして、流出ガスを分析したと
ころ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2は０．０１体積ｐｐ
ｍであった。
末の造粒物２５ｋｇのかわりに活性炭のみを３５ｋｇ充
填する以外は例１と同様にして、流出ガスを分析したと
ころ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2は０．０１体積ｐｐ
ｍであった。
【００３０】処理開始から２５１時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が上昇し始めた。充填物を取り出したと
ころ、活性炭からは著しい塩素臭気が発生していた。ま
た、取り出した活性炭は固形廃棄物として処理した。
中のＣｌ2濃度が上昇し始めた。充填物を取り出したと
ころ、活性炭からは著しい塩素臭気が発生していた。ま
た、取り出した活性炭は固形廃棄物として処理した。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、使用時に粉化せず、除
去能力が高く、臭気の発生が少ない造粒物を用いてハロ
ゲン系ガスを除去できる。また、本発明によれば、従来
の活性炭を使用する充填塔等にそのまま適用できる。
去能力が高く、臭気の発生が少ない造粒物を用いてハロ
ゲン系ガスを除去できる。また、本発明によれば、従来
の活性炭を使用する充填塔等にそのまま適用できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 要一 福岡県北九州市戸畑区牧山５丁目１番１号 旭硝子株式会社内 (72)発明者 川辺 義勝 愛知県海部郡佐織町大字町方新田字五軒家 東24番地の２ サンワケミカル株式会社内 Ｆターム(参考） 4D002 AA17 AA18 AA19 AA22 AA23 AA24 AA26 AC10 BA03 BA04 CA07 DA02 DA16 DA41 GA01 GB08 GB12 GB20 4G066 AA05B AA13B AA43B AA80B BA09 BA20 BA35 CA31 CA32 DA02 FA02 FA26 FA37
Claims (6)
- 【請求項１】一次粒子の平均粒子径１０〜５００μｍの
炭酸水素塩の粉末を圧縮成形法により造粒し、得られた
造粒物を、ハロゲン単体又はハロゲン化合物からなるハ
ロゲン系ガスに接触させてハロゲン系ガスを除去する、
ハロゲン系ガスの除去方法。 - 【請求項２】炭酸水素塩の粉末を造粒してなる平均粒子
径０．５〜２０ｍｍの造粒物であって、粒子径０．５〜
１．０ｍｍ間の造粒物の平均硬度が１Ｎ以上、又は、粒
子径１．０〜１．５ｍｍ間の造粒物の平均硬度が４Ｎ以
上、又は、粒子径１．５〜２．０ｍｍ間の造粒物の平均
硬度が１０Ｎ以上、又は、粒子径２．０ｍｍ以上の造粒
物の平均硬度が３０Ｎ以上、である造粒物を、ハロゲン
単体又はハロゲン化合物からなるハロゲン系ガスに接触
させてハロゲン系ガスを除去する、ハロゲン系ガスの除
去方法。 - 【請求項３】前記炭酸水素塩が炭酸水素ナトリウムであ
る請求項１又は２に記載のハロゲン系ガスの除去方法。 - 【請求項４】前記造粒物が炭酸水素ナトリウムを７０質
量％以上含有する請求項１又は２に記載のハロゲン系ガ
スの除去方法。 - 【請求項５】前記ハロゲン系ガスが、ＢＣｌ3、ＣＣ
ｌ4、Ｃｌ2、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、Ｓ
ｉＦ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3及びＨ
Ｂｒからなる群より選ばれる一種以上であり、前記ハロ
ゲン系ガスの温度が０℃〜１００℃である請求項１〜４
のいずれかに記載のハロゲン系ガスの除去方法。 - 【請求項６】前記造粒物を活性炭とともに容器に充填し
て前記ハロゲン系ガスと接触させてハロゲン系ガスを除
去する請求項１〜５のいずれかに記載のハロゲン系ガス
の除去方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000343696A JP2002143640A (ja) | 2000-11-10 | 2000-11-10 | ハロゲン系ガスの除去方法 |
| DE60117909T DE60117909T2 (de) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Verfahren zum Entfernen eines Gases der Halogen(verbindungs)gruppe |
| EP01126470A EP1205230B1 (en) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Method for removing a halogen-containing gas |
| ES01126470T ES2260144T3 (es) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Metodo para eliminar un gas de la serie de los halogenos. |
| AT01126470T ATE320300T1 (de) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Verfahren zum entfernen von einem halogen- enthaltendem gas |
| US09/986,587 US6685901B2 (en) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Method for removing a halogen series gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000343696A JP2002143640A (ja) | 2000-11-10 | 2000-11-10 | ハロゲン系ガスの除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002143640A true JP2002143640A (ja) | 2002-05-21 |
Family
ID=18818023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000343696A Pending JP2002143640A (ja) | 2000-11-10 | 2000-11-10 | ハロゲン系ガスの除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002143640A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002316018A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-29 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
| WO2003033115A1 (en) * | 2001-10-12 | 2003-04-24 | Asahi Glass Company, Limited | Method for removing halogen-containing gas |
| JP2010064040A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Asahi Glass Co Ltd | ハロゲン系ガスの除去剤およびハロゲン系ガスの除去方法 |
| JP2011062697A (ja) * | 2010-11-26 | 2011-03-31 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62121621A (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-02 | Ube Ind Ltd | 気体吸着捕捉装置 |
| JP2000246059A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-09-12 | Showa Denko Kk | 難分解性有機塩素化合物の分解用反応剤および分解方法 |
| JP2000254438A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-19 | Showa Denko Kk | フッ化ハロゲンを含む排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 |
| JP2000296324A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-10-24 | Showa Denko Kk | フッ化窒素の分解用反応剤及び分解法 |
-
2000
- 2000-11-10 JP JP2000343696A patent/JP2002143640A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62121621A (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-02 | Ube Ind Ltd | 気体吸着捕捉装置 |
| JP2000246059A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-09-12 | Showa Denko Kk | 難分解性有機塩素化合物の分解用反応剤および分解方法 |
| JP2000296324A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-10-24 | Showa Denko Kk | フッ化窒素の分解用反応剤及び分解法 |
| JP2000254438A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-19 | Showa Denko Kk | フッ化ハロゲンを含む排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002316018A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-29 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
| WO2003033115A1 (en) * | 2001-10-12 | 2003-04-24 | Asahi Glass Company, Limited | Method for removing halogen-containing gas |
| US7306775B2 (en) | 2001-10-12 | 2007-12-11 | Asahi Glass Company, Limited | Method for removing halogen series gas |
| JP2010064040A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Asahi Glass Co Ltd | ハロゲン系ガスの除去剤およびハロゲン系ガスの除去方法 |
| JP2011062697A (ja) * | 2010-11-26 | 2011-03-31 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4111137B2 (ja) | ハロゲン系ガスの除去方法 | |
| US7976808B2 (en) | Method for removing halogen series gas and agent for removing halogen series gas | |
| JP4952250B2 (ja) | ハロゲン系ガスの除去方法及びハロゲン系ガスの除去剤 | |
| KR20150018874A (ko) | 수은 제거용 흡착제 | |
| JP4488545B2 (ja) | フッ化ハロゲンを含む排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 | |
| JP2002143640A (ja) | ハロゲン系ガスの除去方法 | |
| US6685901B2 (en) | Method for removing a halogen series gas | |
| JP5217819B2 (ja) | ハロゲン系ガスの除去剤およびハロゲン系ガスの除去方法 | |
| JP5008801B2 (ja) | ハロゲン系ガスの除去方法 | |
| JP4755364B2 (ja) | ハロゲン単体とハロゲン化物との除去方法 | |
| JP4711550B2 (ja) | ハロゲンガスの除去方法 | |
| JP4620897B2 (ja) | ハロゲン系ガスの除去方法 | |
| JP2011062697A (ja) | ハロゲン系ガスの除去方法 | |
| JP2005177576A (ja) | ハロゲン系ガス及び酸性ガスの除害剤 | |
| JP4767422B2 (ja) | オクタフルオロプロパンの精製方法および製造方法並びにその用途 | |
| JPH07275646A (ja) | 有害ガスの浄化剤 | |
| JP3330500B2 (ja) | 三弗化窒素ガスの除害剤及び除害方法 | |
| JPS63270310A (ja) | フツ化ナトリウムペレツトの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070719 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070820 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070820 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081216 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100615 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100810 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100811 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110712 |