JP2002140051A - 液晶表示装置及びその駆動方法ならびに液晶表示装置を用いた携帯情報装置の駆動方法 - Google Patents
液晶表示装置及びその駆動方法ならびに液晶表示装置を用いた携帯情報装置の駆動方法Info
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Abstract
示装置及び液晶表示装置を用いた携帯情報装置の提供を
課題とする。 【解決手段】 nビット(nは自然数)のデジタル信号
を入力して画像表示を行う液晶表示装置において、1画
素あたりn個の記憶回路を内臓する。このn個の記憶回
路に記憶されたnビットのデジタル信号は、画素毎に形
成されたD/Aコンバータにより対応するアナログ信号
に変換され、液晶素子に入力される。よって、静止画像
を表示する際は、一旦記憶回路にデジタル信号を書き込
んだ後は、記憶されたデジタル信号を、反復して用い
る。この際、ソース信号線駆動回路その他の駆動を停止
することができる。こうして液晶表示装置の消費電力を
低減する。
Description
(以下、表示装置と表記する)に関し、特に、絶縁体上
に作製される薄膜トランジスタを有するアクティブマト
リクス型表示装置に関する。その中で特に、映像信号と
してデジタル信号を用いるアクティブマトリクス型液晶
表示装置に関する。また、この表示装置を用いた携帯情
報装置に関する。特に、アクティブマトリクス型液晶表
示装置を用いた携帯電話、PDA、携帯パーソナルコン
ピュータ、携帯ナビゲーションシステム、電子書籍など
の携帯情報装置に関する。
導体薄膜を形成した表示装置、特に薄膜トランジスタ
(以下、TFTと表記する)を用いたアクティブマトリ
クス型表示装置の普及が顕著となっている。TFTを使
用したアクティブマトリクス型表示装置は、マトリクス
状に配置された数十万から数百万個のTFTを有し、各
画素の電荷を制御することによって画像の表示を行って
いる。
画素TFTの他に、画素部の周辺部に、TFTを用いて
駆動回路を同時形成するポリシリコンTFTに関する技
術が発展してきており、装置の小型化、低消費電力化に
大いに貢献している。それに伴って、近年その応用分野
の拡大が著しいモバイル機器の表示部等に、液晶表示装
置は不可欠なデバイスとなってきている。
図を、図13に示す。中央に画素部1308が配置され
ている。画素部の上側には、ソース信号線を制御するた
めの、ソース信号線駆動回路1301が配置されてい
る。ソース信号線駆動回路1301は、シフトレジスタ
回路1303、第1のラッチ回路1304、第2のラッ
チ回路1305、D/A変換回路(D/Aコンバータ)
1306、アナログスイッチ1307等を有する。画素
部の左右には、ゲート信号線を制御するための、ゲート
信号線駆動回路1302が配置されている。なお、図1
3においては、ゲート信号線駆動回路1302は、画素
部の左右両側に配置されているが、片側配置でも構わな
い。ただし、両側配置としたほうが、駆動効率、駆動信
頼性の面から見て望ましい。
は、図14に示すような構成を有している。図14に例
として示す駆動回路は、水平方向解像度1024画素、
3ビットデジタル階調信号に対応したソース信号線駆動
回路であり、シフトレジスタ回路(SR)1401、第
1のラッチ回路(LAT1)1402、第2のラッチ回
路(LAT2)1403、D/A変換回路(D/A)1
404等を有する。なお、図14では図示していない
が、必要に応じてバッファ回路、レベルシフタ回路等を
配置しても良い。
簡単に説明する。まず、シフトレジスタ回路1303
(図14中、SRと表記)にクロック信号(S−CL
K、S−CLKb)およびスタートパルス(S−SP)
が入力され、順次パルスが出力される。続いて、それら
のパルスは第1のラッチ回路1304(図14中、LA
T1と表記)に入力され、同じく第1のラッチ回路13
04に入力されたデジタル信号(Digital Data)をそれ
ぞれ保持していく。ここで、D1が最上位ビット(MS
B:Most Significant Bit)、D3が最下位ビット(L
SB:Least Significant Bit)である。第1のラッチ
回路1304において、1水平周期分のデジタル信号の
保持が完了すると、帰線期間中に、第1のラッチ回路1
304で保持されているデジタル信号は、ラッチ信号
(Latch Pulse)の入力に従い、一斉に第2のラッチ回
路1305(図14中、LAT2と表記)へと転送され
る。
が動作し、次の水平周期分のデジタル信号の保持が開始
される。同時に、第2のラッチ回路1305で保持され
ているデジタル信号は、D/Aコンバータ1306(図
14中、D/Aと表記)にてアナログ信号へと変換され
る。このアナログ信号は、ソース信号線を経由して画素
に書き込まれる。この動作を繰り返すことによって、画
像の表示が行われる。
携帯情報端装置について説明する。
説明する。図34に、従来の携帯情報端末のブロック図
を示す。携帯情報端末ではユーザーが必要に応じて、求
める情報を引き出すことが要求される。その情報は、ま
ず、その携帯情報端末内の記憶装置(DRAM150
9、フラッシュメモリ1510など)に記憶されている
もの、または携帯情報端末に差し込まれるメモリーカー
ド1503に記憶されているもの、外部インターフェイ
スポート1505を介して外部機器と接続して情報を得
る物などがある。これらの情報はペン入力タブレット1
501より入力されるユーザーの指示に基づいて、CP
U1506により処理され、液晶表示装置1513は表
示を行う。
より入力された信号は、検出回路1502により検出さ
れ、ダブレットインターフェイス1518に入力され
る。この入力信号は、ダブレットインターフェイス15
18により処理され、映像信号入力回路1507等に入
力される。必要なデータをCPU1506が処理し、そ
れをVRAM1511に格納してある画像フォーマット
に基づき、画像データに変換し、LCDコントローラ1
512に送付する。ここでLCDコントローラ1512
は液晶表示装置1513を駆動する信号を生成し、表示
装置を駆動し、表示を行う。
する。図35に、従来の携帯電話のブロック図を示す。
携帯電話は電波を送受信する送受信回路1615と、受
信した信号を音声処理する音声処理回路1602、スピ
ーカ1614、マイク1608、またデータを入力する
キーボード1601、キーボード1601より入力され
た信号を処理する、キーボードインターフェイス161
8などを有している。
に基づいて、記憶装置(DRAM1609、フラッシュ
メモリ1610など)に記憶されているもの、または携
帯電話に差し込まれるメモリーカード1603に記憶さ
れているもの、外部インターフェイスポート1605を
介して外部機器と接続して得る情報等がCPU1606
により処理され、液晶表示装置1613は表示を行う。
された信号は、キーボードインターフェイス1618に
より処理され、映像信号処理回路1607等に入力され
る。必要なデータをCPU1606が処理し、それをV
RAM1611に格納してある画像フォーマットに基づ
き、画像データに変換し、LCDコントローラ1612
に送付する。ここでLCDコントローラ1612は液晶
表示装置1613を駆動する信号を生成し、表示装置を
駆動し、表示を行う。
て、図26を示す。
2、フィルタ2663、2667、2668、267
2、2676、スイッチ2664、アンプ2665、2
666、2677、第1周波数変換回路2669、第2
周波数変換回路2673、周波数変換回路2671、発
振回路2670、2674、直交変換器2675、デー
タ復調回路2678、データ変調回路2679を含む。
トリクス型液晶表示装置においては、動画の表示をスム
ーズに行うため、1秒間に60回前後、画面表示の更新
が行われる。すなわち、1フレーム毎にデジタル信号を
供給し、その都度画素への書き込みを行う必要がある。
たとえ、映像が静止画であったとしても、1フレーム毎
に同一の信号を供給しつづけなければならないため、外
部回路、駆動回路などが連続して同じデジタル信号の繰
り返し処理を行う必要がある。
回路に書き込み、以後は1フレーム毎に外部の記憶回路
から液晶表示装置にデジタル信号を供給する方法もある
が、いずれの場合にも外部の記憶回路と駆動回路とは動
作し続ける必要があることに変わりはない。
れた表示装置が画像を表示する場合、たとえその画像が
静止画像であっても、同一の映像のデータを1秒間に6
0回づつ、表示装置に送り続けていた。即ち、図34
中、破線で囲った部分(CPU1506にある映像信号
処理回路1507、VRAM1511、LCDコントロ
ーラ1512、液晶表示装置1513のソース信号線駆
動回路及びゲート信号線駆動回路、ペン入力ダブレット
1501、検出回路1502、ダブレットインターフェ
イス1518)は画像の表示を行っている限り、動作を
行い続けていた。また、図35中、破線で囲った部分
(CPU1606にある映像信号処理回路1607、V
RAM1611、LCDコントローラ1612、液晶表
示装置1613のソース信号線駆動回路及びゲート信号
線駆動回路、キーボード1601、キーボードインター
フェイス1618)は画像の表示を行っている限り、動
作を行い続けていた。
ス型表示装置においては、記憶回路を表示装置のドライ
バICもしくはコントローラの中に内蔵し、VRAMを
停止するものも存在するが、アクティブマトリクス型表
示装置のような多数の画素を用いる表示装置では、ドラ
イバ内もしくはコントローラ内に記憶回路を有するのは
チップサイズの観点から、非現実的である。よって、従
来の携帯情報装置では、静止画を表示する場合において
も、多くの回路は動作を続けねばならず、消費電力の低
減に対して、妨げと成っていた。
力化が大きく望まれている。さらに、このモバイル機器
においては、静止画モードで使用されることが大部分を
占めているにもかかわらず、前述のように駆動回路は静
止画表示の際にも動作し続けているため、低消費電力化
への足かせとなっている。
止画の表示時における駆動回路などの消費電力を低減す
ることを課題とする。
めに、本発明では次のような手段を用いた。
タル信号を記憶させる。静止画の場合、一度書き込みを
行えば、それ以降、画素に書き込まれる情報は同様であ
るので、フレーム毎に信号の入力を行わなくとも、記憶
回路に記憶されている信号を読み出すことによって静止
画を継続的に表示することができる。すなわち、静止画
を表示する際は、最低1フレーム分の信号の処理動作を
行って以降は、ソース信号線駆動回路や画像信号処理回
路等を停止させておくことが可能となり、それに伴って
電力消費を大きく低減することが可能となる。
用いた携帯情報装置の構成について記載する。
置において、前記画素は、複数の記憶回路と、D/Aコ
ンバータとを有することを特徴とする液晶表示装置が提
供される。
置において、前記画素は、n(nは、2以上の自然数)
個の記憶回路と、前記n個の記憶回路に記憶されたデジ
タル信号をアナログ信号に変換するD/Aコンバータと
を有することを特徴とする液晶表示装置が提供される。
は、液晶素子を有し、アナログ信号が前記液晶素子に入
力される液晶表示装置において、前記画素は、n(nは
2以上の自然数)個の記憶回路と、前記n個の記憶回路
に記憶されたデジタル信号を前記アナログ信号に変換す
るD/Aコンバータとを有することを特徴とする液晶表
示装置が提供される。
置において、前記画素は、n×m(n及びmは、2以上
の自然数)個の記憶回路と、前記n×m個の記憶回路に
記憶されたnビット分のデジタル信号をアナログ信号に
変換するD/Aコンバータとを有することを特徴とする
液晶表示装置が提供される。
置の駆動方法において、前記画素は、n×m(n及びm
は、2以上の自然数)個の記憶回路と、前記n×m個の
記憶回路に記憶されたnビット分のデジタル信号をアナ
ログ信号に変換するD/Aコンバータとを有し、前記画
素が、mフレーム分のデジタル信号を記憶することを特
徴とする液晶表示装置が提供される。
記D/Aコンバータは、前記ソース信号線と重なって配
置されていることを特徴とした液晶表示装置であっても
よい。
記D/Aコンバータは、前記ゲート信号線と重なって配
置されていることを特徴とした液晶表示装置であっても
よい。
は、液晶素子を有する液晶表示装置において、前記画素
は、ソース信号線と、n(nは2以上の自然数)本のゲ
ート信号線と、n個のTFTと、n個の記憶回路と、D
/Aコンバータとを有し、前記n個のTFTのゲート電
極はそれぞれ、前記n本のゲート信号線のうちのそれぞ
れ1本に接続され、ソース領域とドレイン領域の一方
は、前記ソース信号線に接続され、もう一方はそれぞ
れ、前記n個の記憶回路のうちのそれぞれ1つの入力端
子に接続され、前記n個の記憶回路の出力端子はそれぞ
れ、前記D/Aコンバータの入力端子に接続され、前記
D/Aコンバータの出力端子は、液晶素子に接続されて
いることを特徴とする液晶表示装置が提供される。
は、液晶素子を有する液晶表示装置において、前記画素
は、n(nは2以上の自然数)本のソース信号線と、ゲ
ート信号線と、n個のTFTと、n個の記憶回路と、D
/Aコンバータとを有し、前記n個のTFTのゲート電
極は、前記ゲート信号線に接続され、ソース領域とドレ
イン領域の一方はそれぞれ、前記n本のソース信号線の
うちのそれぞれ1つに接続され、もう一方はそれぞれ、
前記n個の記憶回路のうちのそれぞれ1つの入力端子に
接続され、前記n個の記憶回路の出力端子はそれぞれ、
前記D/Aコンバータの入力端子に接続され、前記D/
Aコンバータの出力端子は、前記液晶素子に接続されて
いることを特徴とする液晶表示装置が提供される。
信号線駆動回路は、シフトレジスタと、前記シフトレジ
スタからのサンプリングパルスによってnビットのデジ
タル信号を保持する第1のラッチ回路と、前記第1のラ
ッチ回路に保持された前記nビットのデジタル信号が転
送される第2のラッチ回路と、前記第2のラッチ回路に
転送された前記nビットのデジタル信号を1ビットずつ
順に選択し前記ソース信号線に入力するスイッチとを有
することを特徴とする液晶表示装置であってもよい。
信号線駆動回路は、シフトレジスタと、前記シフトレジ
スタからのサンプリングパルスによって1ビットのデジ
タル信号を保持する第1のラッチ回路と、前記第1のラ
ッチ回路に保持された前記1ビットのデジタル信号が転
送される第2のラッチ回路とを有することを特徴とする
液晶表示装置であってもよい。
信号線駆動回路は、シフトレジスタと、前記シフトレジ
スタからのサンプリングパルスによってnビットのデジ
タル信号を保持する第1のラッチ回路とを有することを
特徴とする液晶表示装置であってもよい。
信号線駆動回路は、シフトレジスタと、前記シフトレジ
スタからのサンプリングパルスによってnビットのデジ
タル信号を保持する第1のラッチ回路と、前記第1のラ
ッチ回路に保持されたnビットのデジタル信号を前記n
本のソース信号線に入力するn個のスイッチとを有する
ことを特徴とする液晶表示装置であってもよい。
RAM)、強誘電体メモリ(FRAM)またはダイナミ
ック型メモリ(DRAM)であることを特徴とする液晶
表示装置であってもよい。
ック基板上、ステンレス基板上または単結晶ウェハ上に
形成されていることを特徴とする液晶表示装置であって
もよい。
るテレビ、パーソナルコンピュータ、携帯端末、ビデオ
カメラまたはヘッドマウントディスプレイであってもよ
い。
た複数の画素を有する液晶表示装置の駆動方法におい
て、前記複数の画素はそれぞれ、複数の記憶回路と、D
/Aコンバータとを有し、前記複数の画素のうち、特定
の行の画素または特定の列の画素が有する前記複数の記
憶回路のデータを書き換えることを特徴とする液晶表示
装置の駆動方法が提供される。
の画素に映像信号を入力するソース信号線駆動回路とを
有する液晶表示装置の駆動方法において、前記複数の画
素はそれぞれ、複数の記憶回路と、D/Aコンバータと
を有し、静止画を表示するとき、前記ソース信号線駆動
回路の動作を停止することを特徴とする液晶表示装置の
駆動方法が提供される。
RAM)、強誘電体メモリ(FRAM)またはダイナミ
ック型メモリ(DRAM)であることを特徴とする液晶
表示装置の駆動方法であってもよい。
ック基板上、ステンレス基板上または単結晶ウェハ上に
形成されていることを特徴とする液晶表示装置の駆動方
法であってもよい。
ことを特徴とするテレビ、パーソナルコンピュータ、携
帯端末、ビデオカメラまたはヘッドマウントディスプレ
イであってもよい。
とを有する携帯情報装置の駆動方法において、前記液晶
表示装置は、画素中に、複数の記憶回路と、D/Aコン
バータと、前記複数の記憶回路に信号を出力する駆動回
路とを有し、前記CPUは、前記駆動回路を制御する第
1の回路と、前記携帯情報装置に入力される信号を制御
する第2の回路とを有し、前記液晶表示装置が静止画を
表示するとき、前記第1の回路を停止することを特徴と
する携帯情報装置の駆動方法が提供される。
Mとを有する携帯情報装置の駆動方法において、前記液
晶表示装置は、画素中に、複数の記憶回路と、D/Aコ
ンバータとを有し、前記液晶表示装置が静止画を表示す
るとき、前記VRAMのデータの読み出し操作を停止す
ることを特徴とする携帯情報装置の駆動方法が提供され
る。
帯情報装置の駆動方法において、前記液晶表示装置は、
画素中に、複数の記憶回路と、D/Aコンバータとを有
し、前記液晶表示装置が静止画を表示するとき、前記液
晶表示装置のソース信号線駆動回路を停止することを特
徴とする携帯情報装置の駆動方法が提供される。
1度読み出し操作が行われることを特徴とする携帯情報
装置の駆動方法であってもよい。
帯情報装置の駆動方法において、前記液晶表示装置はマ
トリクス状に配置された複数の画素を有し、前記複数の
画素はそれぞれ、複数の記憶回路と、D/Aコンバータ
とを有し、前記液晶表示装置は、前記複数の画素のう
ち、特定の行の画素または特定の列の画素が有する前記
複数の記憶回路のデータを書き換えることを特徴とする
携帯情報装置の駆動方法が提供される。
ルコンピュータ、ナビゲーションシステム、PDAまた
は電子書籍であることを特徴とする携帯情報装置の駆動
方法であってもよい。
用いた表示装置における、ソース信号線駆動回路および
一部の画素の構成を示したものである。この回路は、3
ビットデジタル階調信号に対応したものであり、シフト
レジスタ回路(SR)201、第1のラッチ回路(LA
T1)202、第2のラッチ回路(LAT2)203、
ビット信号選択スイッチ(SW)204、画素(Pix
el)205を有する。210は、ゲート信号線駆動回
路あるいは外部から直接供給される信号であり、画素の
説明とともに後述する。
回路構成を詳細に示したものである。この画素は、3ビ
ットデジタル階調信号に対応したものであり、液晶素子
(LC)、保持容量(Cs)、記憶回路(105〜10
7)及びD/A(D/Aコンバータ:111)等を有し
ている。101はソース信号線、102〜104は書き
込み用ゲート信号線、108〜110は書き込み用TF
Tである。
にて記述するが、実施例に記述された以外の方式を用い
てD/Aコンバータを構成してもかまわない。
おけるタイミングチャートである。表示装置は3ビット
デジタル階調信号、VGAのものを対象としている。図
1〜図3を用いて、駆動方法について説明する。なお、
各番号は、図1〜図3のものをそのまま用いる(図番は
省略する)。
図3(A)において、各フレーム期間をα、β、γと表
記して説明する。まず、区間αにおける回路動作につい
て説明する。
様に、シフトレジスタ回路201にクロック信号(S−
CLK、S−CLKb)およびスタートパルス(S−S
P)が入力され、順次サンプリングパルスが出力され
る。続いて、サンプリングパルスは第1のラッチ回路2
02(LAT1)に入力され、同じく第1のラッチ回路
202に入力されたデジタル信号(Digital Data)をそ
れぞれ保持していく。この期間を、本明細書においては
ドットデータサンプリング期間と表記する。1水平期間
分のドットデータサンプリング期間は、図3(A)にお
いて1〜480で示す各期間である。デジタル信号は3
ビットであり、D1がMSB(Most Significant Bi
t)、D3がLSB(Least Significant Bit)である。
第1のラッチ回路202において、1水平周期分のデジ
タル信号の保持が完了すると、帰線期間中に、第1のラ
ッチ回路202で保持されているデジタル信号は、ラッ
チ信号(Latch Pulse)の入力に従い、一斉に第2のラ
ッチ回路203(LAT2)へと転送される。
ら出力されるサンプリングパルスに従い、次の水平周期
分のデジタル信号の保持動作が行われる。
たデジタル信号は、画素内に配置された記憶回路に書き
込まれる。図3(B)に示すように、次列のドットデー
タサンプリング期間をI、IIおよびIIIと3分割し、第2
のラッチ回路に保持されているデジタル信号をソース信
号線に出力する。このとき、ビット信号選択スイッチ2
04によって、各ビットの信号が順番にソース信号線に
出力されるようにする。
2にパルスが入力されてTFT108が導通し、記憶回
路105にデジタル信号が書き込まれる。続いて、期間
IIでは、書き込み用ゲート信号線103にパルスが入力
されてTFT109が導通し、記憶回路106にデジタ
ル信号が書き込まれる。最後に、期間IIIでは、書き込
み用ゲート信号線104にパルスが入力されてTFT1
10が導通し、記憶回路107にデジタル信号が書き込
まれる。
理が終了する。図3(B)の期間は、図3(A)におい
て※印で示された期間である。以上の動作を最終段まで
行うことにより、1フレーム分のデジタル信号が記憶回
路105に書き込まれる。
1によってアナログ信号に変換され、液晶素子に入力さ
れる。このアナログ信号に応じて液晶素子の透過率が変
化し、階調を表現する。ここでは、3ビットであるか
ら、輝度は0〜7までの8段階が得られる。
続的に行われる。ここで、静止画を表示する場合には、
最初の動作で記憶回路105〜107に、いったんデジ
タル信号が記憶されてからは、各フレーム期間で記憶回
路105〜107に記憶されたデジタル信号を反復して
読み出せば良い。
憶されたデジタル信号を反復して読み出し、D/A11
1においてアナログ信号に変換する操作は、DACコン
トローラを用いて制御すればよい。
み出し用TFT(図示せず)を介してD/A111に入
力するようにする。この読み出し用TFTのオン・オフ
を操作することによって、各フレーム期間毎に、記憶回
路に記憶されたデジタル信号を反復して読み出してもよ
い。
が接続された読み出し用ゲート信号線(図示せず)に信
号を入力する動作は、読み出し用のゲート信号線駆動回
路(図示せず)を用いて行う。
中は、ソース信号線駆動回路の駆動を停止させることが
出来る。
込み、あるいは記憶回路からのデジタル信号の読み出し
は、ゲート信号線1本単位で行うことが可能である。す
なわち、ソース信号線駆動回路を短期間のみ動作させ、
画面の一部のみを書き換えるなどといった表示方法をと
ることも出来る。
て、デコーダを使うのが望ましい。デコーダを使用する
場合には、特開平8−101669に開示された回路を
用いればよく、図23に一例を示す。また、ソース信号
線駆動回路にもデコーダを用いて部分書き換えを行うこ
とも可能である。
3つの記憶回路を有し、3ビットのデジタル信号を1フ
レーム分だけ記憶する機能を有しているが、本発明は、
記憶回路をこの数に限定しない。例えば、n(nは、2
以上の自然数)ビットのデジタル信号をm(mは、2以
上の自然数)フレーム分だけ記憶するには、1画素内に
n×m個の記憶回路を有していれば良い。
憶回路を用いてデジタル信号の記憶を行うことにより、
静止画を表示する際に各フレーム期間で記憶回路に記憶
されたデジタル信号を反復して用いる。これによって、
外部回路、ソース信号線駆動回路などを駆動することな
く、継続的に静止画表示が可能となる。よって、液晶表
示装置の低消費電力化に大きく貢献することが出来る。
ビット数に応じて増加するラッチ回路等の配置の問題か
ら、必ずしも絶縁体上に一体形成する必要はなく、その
一部あるいは全部を外付けで構成しても良い。
線駆動回路においては、ビット数に応じたラッチ回路を
配置しているが、1ビット分のみ配置して動作させるこ
とも可能である。この場合、上位ビットから下位ビット
のデジタル信号を直列にラッチ回路に入力すれば良い。
用いた本発明の携帯情報装置の構成を示したものであ
る。静止画を表示する場合、表示装置2413の画素の
内部にある、記憶回路に映像信号を記憶させ、記憶した
映像信号を呼び出すことによって、表示をおこなう。よ
って、従来、動作させていたCPU2406の内部回路
のうち、映像信号処理回路2407、VRAM(Video
RAM)2411、表示装置2413の中のソース信号線
駆動回路を停止することが可能となる。
こなう。ペン入力タブレット2401からの入力が一定
時間の間行われない、もしくは外部インターフェイスポ
ート2405から、映像表示を変えなければならないよ
うな信号入力が一定時間されない場合、CPU2406
は静止画モードであると判断をおこなう。CPU240
6がそのような判断を行った場合、CPU2406は以
下のような動作をおこなう。LCDコントローラ241
2を介して、表示装置2413のソース信号線駆動回路
を停止させる。具体的には、ソース信号線駆動回路への
スタートパルス、クロック信号、映像データ信号の供給
を停止することによって、ソース信号線駆動回路の動作
を停止させることができる。このときゲート信号線駆動
回路は停止させずに、信号の供給をうけ、記憶回路のデ
ータを反復して読み出す操作をおこなう。
回路に比べて、一般的には、1/100以下の周波数で
駆動されるため、動作を停止しなくとも,消費電力上は
問題にならない。もちろん、液晶の画質上の問題、例え
ば、焼きつき現象が発生しないような液晶材料を使用す
る場合には、ゲート信号線駆動回路を停止してもよい。
このような動作によって、表示装置2413はゲート信
号線駆動回路のみ、または、ソース信号線駆動回路とゲ
ート信号線駆動回路の両方の信号線駆動回路を停止させ
て、表示をおこなう。
内部の映像信号処理回路2407および、VRAM24
11を停止する。前述したように、表示装置2413
は、その内部の記憶回路に蓄えられた映像データで表示
を行っているので、新たに映像データを表示装置に入力
する必要性がない。よって、映像データを発生、加工す
る映像信号処理回路2407、VRAM2411などは
動作していなくてもかまわない。以上により、CPU2
406内部の電力削減、VRAM2411の電力削減、
ソース信号線駆動回路の電力削減が達成される。
がされ、映像信号が入力された場合は、ペン入力タブレ
ットの検出回路2402からダブレットインターフェイ
ス2418を介して、CPU2406に表示内容を変え
るような指示がだされ、CPU2406は停止していた
VRAM2411、映像信号処理回路2407を動作さ
せる。そして、LCDコントローラ2412を介して、
表示装置2413のソース線信号駆動回路にスタートパ
ルス、クロック信号、映像データを供給し、新たな映像
信号を画素に書き込むことができる。
(ゲート信号線駆動回路、LCDコントローラ241
2、ペン入力ダブレット2401、検出回路2402、
ダブレットインターフェイス2418)が動作していれ
ば、この携帯情報端末は静止画を表示し続けることがで
きる。
ある。動作は図24の携帯情報端末とおおよそ同じであ
る。携帯情報端末と異なるのは、携帯電話では、入力
は、キーボード2501によって行われ、キーボードイ
ンターフェイス2518を介してCPU2506で制御
されることと、外部からのデータは、電話会社の通信系
を介して、アンテナに入力され、送受信回路2515で
増幅されたのち、CPU2506で制御されることであ
る。静止画を表示する場合は、携帯情報端末と同様に、
映像信号処理回路2507、VRAM2511、ソース
信号線駆動回路などは停止させることができる。
(ゲート信号線駆動回路、LCDコントローラ251
2、キーボード2501、キーボードインターフェイス
2518)が動作していれば、この携帯電話は静止画を
表示し続けることができる。
において示した回路における画素を、具体的にトランジ
スタ等を用いて構成し、その動作について説明する。
で、D/A111を実際に回路で構成した例である。図
中、各部に付した番号において、図1と同じ部位につい
ては、図1と同じ番号を付している。記憶回路105〜
107の各々に、書き込み用TFT108〜110を設
け、記憶回路選択信号線(書き込み用ゲート信号線)1
02〜104をもって制御する。
る。点線枠450で示される部分が記憶回路(図8中、
105〜107で示す部分)であり、451は書き込み
用TFT(図8中、108〜110で示す部分)であ
る。ここで示した記憶回路450には、フリップフロッ
プを利用したスタティック型メモリ(Static RAM : SRA
M)を用いているが、記憶回路に関してはこの構成に限
定しない。
実施形態にて図3を用いて示したタイミングチャートに
従って駆動することが出来る。図3、図8を用いて、記
憶回路選択部の実際の駆動方法を加えて、回路動作につ
いて説明する。なお、各番号は、図3、図8のものをそ
のまま用いる(図番は省略する)。
において、各フレーム期間をα、β、γと表記して説明
する。まず、区間αにおける回路動作について説明す
る。
までの駆動方法に関しては実施形態にて示したものと同
様であるのでそれに従う。
2にパルスが入力されてTFT108が導通し、記憶回
路105にデジタル信号が書き込まれる。続いて、期間
IIでは、書き込み用ゲート信号線103にパルスが入力
されてTFT109が導通し、記憶回路106にデジタ
ル信号が書き込まれる。最後に、期間IIIでは、書き込
み用ゲート信号線104にパルスが入力されてTFT1
10が導通し、記憶回路107にデジタル信号が書き込
まれる。
理が終了する。図3(B)の期間は、図3(A)におい
て※印で示された期間である。以上の動作を最終段まで
行うことにより、1フレーム分のデジタル信号が記憶回
路105〜107に書き込まれる。
1によってアナログ信号に変換され、液晶素子に入力さ
れる。このアナログ信号に応じて液晶素子の透過率は変
化し、階調を表現する。ここでは、3ビットであるか
ら、輝度は0〜7までの8段階が得られる。
示が行われる。一方、駆動回路側では、同時に次のフレ
ーム期間のデジタル信号の処理が行われている。
表示を行う。
フレームのデジタル信号の、記憶回路への書き込みが終
了したら、ソース信号線駆動回路を停止させ、同じ記憶
回路に書き込まれている信号を、毎フレームで読み込ん
で表示を行う。
各画素の各記憶回路の出力が、読み出し用TFTを介し
てD/Aに入力されるようにし、この読み出し用TFT
を、操作することによって、フレーム期間毎に記憶回路
の信号を反復して読み出すことができる。この読み出し
用TFTを操作する回路は、公知の構成の回路を自由に
用いることができる。
D/A回路に入力し、対応するアナログ信号を液晶素子
に出力して、静止画の表示を行うこともできる。この場
合は、書き込み用TFTが選択され、新たに記憶回路に
情報が書き込まれるまで、画素は、同じ輝度の表示を続
ける。この駆動方法では、前述の読み出し用TFT等は
必要ない。
おける消費電力を大きく低減することが出来る。
記憶回路への書き込みを点順次で行うことにより、ソー
ス信号線駆動回路の第2のラッチ回路を省略した例につ
いて記す。
晶表示装置における、ソース信号線駆動回路および一部
の画素の構成を示したものである。この回路は、3ビッ
トデジタル階調信号に対応したものであり、シフトレジ
スタ回路(SR)501、ラッチ回路(LAT1)50
2、画素(Pixel)503を有する。510は、ゲ
ート信号線駆動回路等から直接供給される信号であり、
画素の説明とともに後述する。
成の詳細図である。実施例1と同様、3ビットデジタル
階調信号に対応したものであり、液晶素子(LC)、保
持容量(Cs)、記憶回路(605〜607)及びD/
A(D/Aコンバータ:611)等を有している。60
1は第1ビット(MSB)信号用ソース信号線、602
は第2ビット信号用ソース信号線、603は第3ビット
(LSB)信号用ソース信号線、604は書き込み用ゲ
ート信号線、608〜610は書き込み用TFTであ
る。
関するタイミングチャートである。図6および図7を用
いて説明する。
(LAT1)502までの動作は実施形態および実施例
1と同様に行われる。図7(B)に示すように、第1段
目でのラッチ動作が終了すると、直ちに画素の記憶回路
への書き込みを開始する。書き込み用ゲート信号線60
4にパルスが入力され、書き込み用TFT608〜61
0が導通し、記憶回路への書き込みが可能な状態とな
る。ラッチ回路502に保持されたビット毎のデジタル
信号は、3本のソース信号線601〜603を経由し
て、同時に書き込まれる。
ル信号が、記憶回路へ書き込まれているとき、次段では
続くサンプリングパルスに従って、ラッチ回路において
デジタル信号の保持が行われている。このようにして、
順次記憶回路への書き込みが行われていく。
間が終了する。
(A)において、※※で示す期間に相当する。
操作を行う。
る。区間βでは、次のフレームにおけるデジタル信号の
処理が行われる。
表示を行う。なお、静止画の表示を行う場合には、ある
フレームのデジタル信号の、記憶回路への書き込みが終
了したら、ソース信号線駆動回路を停止させ、同じ記憶
回路に書き込まれている信号を毎フレームで読み込んで
表示を行う。このような方法により、静止画の表示中に
おける消費電力を大きく低減することが出来る。さら
に、実施形態にて示した回路と比較すると、ラッチ回路
の数を1/2とすることが出来、回路配置の省スペース
化による装置全体の小型化に貢献出来る。
にて示した、第2のラッチ回路を省略した液晶表示装置
の回路構成を応用し、線順次駆動により画素内の記憶回
路への書き込みを行う方法を用いた液晶表示装置の例に
ついて記す。
のソース信号線駆動回路の回路構成例を示している。こ
の回路は、3ビットデジタル階調信号に対応したもので
あり、シフトレジスタ回路1701、ラッチ回路170
2、スイッチ回路1703、画素1704を有する。1
710は、ゲート信号線駆動回路あるいは外部から直接
供給される信号である。画素の回路構成に関しては、実
施例2のものと同様で良いので、図6をそのまま参照す
る。
に関するタイミングチャートである。図6、図17およ
び図18を用いて説明する。
ングパルスが出力され、ラッチ回路1702で、サンプ
リングパルスに従ってデジタル信号を保持するまでの動
作は、実施例1および実施例2と同様である。本実施例
では、ラッチ回路1702と画素1704内の記憶回路
との間に、スイッチ回路1703を有しているため、ラ
ッチ回路でのデジタル信号の保持が完了しても、直ちに
記憶回路への書き込みが開始されない。ドットデータサ
ンプリング期間が終了するまでの間は、スイッチ回路1
703は閉じたままであり、その間、ラッチ回路ではデ
ジタル信号が保持され続ける。
のデジタル信号の保持が完了すると、その後の帰線期間
中にラッチ信号(Latch Pulse)が入力されてスイッチ
回路1703が一斉に開き、ラッチ回路1702で保持
されていたデジタル信号は一斉に画素1704内の記憶
回路に書き込まれる。このときの書き込み動作に関わ
る、画素1704内の動作、さらに次のフレーム期間に
おける表示の際の読み出し動作に関わる、画素1704
内の動作については、実施例2と同様で良いので、ここ
では説明を省略する。
において、※※※で示す期間である。
省略したソース信号線駆動回路においても、線順次の書
き込み駆動を容易に行うことが出来る。
タとして、複数の階調電圧線を選択する方式のものを用
いた例を示す。図8に、その回路図を示す。
8本の階調電圧線があり、それぞれにスイッチTFTが
接続されている。記憶回路の出力は、デコーダを介し
て、それらのスイッチTFTを選択的に駆動する。スイ
ッチはトランスミッションゲートを用いても良い。
07のそれぞれからの出力は、記憶回路に記憶された信
号及びその信号の反転信号によって構成される。
組み合わせて実施することが可能である。
て図8で示したD/Aコンバータとは異なる構造のもの
を用いた例を示す。図9に、その回路図を示す。
に階調電圧線を選択する方式であるが、図8では、素子
の数が多く、画素内で素子の占める面積が大きくなる。
そのため、図9では、スイッチを直列接続し、デコーダ
とスイッチを兼ねて素子数を減らしている。スイッチは
トランスミッションゲートを用いても良い。
07のそれぞれからの出力は、記憶回路に記憶された信
号及びその信号の反転信号によって構成される。
組み合わせて実施することが可能である。
例5において図8や図9で示したD/Aコンバータとは
異なる構造のものを用いた例を示す。図20に、その回
路図を示す。
は、階調電圧線を用いるため、階調数の分だけ配線が必
要となり、多階調化には適さない。そのため、図20で
は、容量C1〜C3の組み合わせによって、基準電圧を
分圧し、階調電圧を作っている。この様な容量分割方式
では、容量C1〜C3の比で階調が作られるため、多様
な階調が表現可能である。
は、AMLCD99 Digest of Technical Papers p29〜32に記
載してある。
組み合わせて実施することが可能である。
例5及び実施例6において図8や図9及び図20で示し
たD/Aコンバータとは異なる構造のものを用いた例を
示す。図21に、その回路図を示す。
図20のD/Aコンバータをさらに簡略化したものであ
る。容量C1〜C3それぞれの2つの電極のうち液晶素
子と接続されていない方の電極は、リセット時にはVL
に接続され、非リセット時には、VHまたはVLのいずれ
かに接続されるが、その接続をスイッチのみで構成でき
る。スイッチはトランスミッションゲートを用いても良
い。
107のそれぞれからの出力は、記憶回路に記憶された
信号及びその信号の反転信号によって構成される。
組み合わせて実施することが可能である。
線駆動回路のラッチ回路を1ビット分のみ有し、代わり
にソース信号線駆動回路を3倍の速度で動作させ、1ラ
イン期間中に、第1ビットデータ、第2ビットデータ、
第3ビットデータの順にデータをソース信号線駆動回路
に入力し、実施例1のソース信号線駆動回路と同様の効
果を得られる。
えるための回路が必要であるが、ソース信号線駆動回路
は小さくすることが可能である。
置の画素部とその周辺に設けられる駆動回路部(ソース
信号線側駆動回路、ゲート信号線側駆動回路、画素選択
信号線側駆動回路)のTFTを同時に作製する方法につ
いて説明する。但し、説明を簡単にするために、駆動回
路部に関しては基本単位であるCMOS回路を図示する
こととする。
ング社の#7059ガラスや#1737ガラスなどに代
表されるバリウムホウケイ酸ガラス、またはアルミノホ
ウケイ酸ガラスなどのガラスから成る基板5001上に
酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコ
ン膜などの絶縁膜から成る下地膜5002を形成する。
例えば、プラズマCVD法でSiH4、NH3、N2Oか
ら作製される酸化窒化シリコン膜5002aを10〜2
00[nm](好ましくは50〜100[nm])形成し、同様
にSiH4、N2Oから作製される酸化窒化水素化シリコ
ン膜5002bを50〜200[nm](好ましくは100
〜150[nm])の厚さに積層形成する。本実施例では下
地膜5002を2層構造として示したが、前記絶縁膜の
単層膜または2層以上積層させた構造として形成しても
良い。
質構造を有する半導体膜をレーザー結晶化法や公知の熱
結晶化法を用いて作製した結晶質半導体膜で形成する。
この島状半導体層5003〜5006の厚さは25〜8
0[nm](好ましくは30〜60[nm])の厚さで形成す
る。結晶質半導体膜の材料に限定はないが、好ましくは
シリコンまたはシリコンゲルマニウム(SiGe)合金
などで形成すると良い。
するには、パルス発振型または連続発光型のエキシマレ
ーザーやYAGレーザー、YVO4レーザーを用いる。
これらのレーザーを用いる場合には、レーザー発振器か
ら放射されたレーザー光を光学系で線状に集光し半導体
膜に照射する方法を用いると良い。結晶化の条件は実施
者が適宣選択するものであるが、エキシマレーザーを用
いる場合はパルス発振周波数30[Hz]とし、レーザーエ
ネルギー密度を100〜400[mJ/cm2](代表的には2
00〜300[mJ/cm2])とする。また、YAGレーザー
を用いる場合にはその第2高調波を用いパルス発振周波
数1〜10[kHz]とし、レーザーエネルギー密度を30
0〜600[mJ/cm2](代表的には350〜500[mJ/c
m2])とすると良い。そして幅100〜1000[μm]、
例えば400[μm]で線状に集光したレーザー光を基板
全面に渡って照射し、この時の線状レーザー光の重ね合
わせ率(オーバーラップ率)を80〜98[%]として行
う。
を覆うゲート絶縁膜5007を形成する。ゲート絶縁膜
5007はプラズマCVD法またはスパッタ法を用い、
厚さを40〜150[nm]としてシリコンを含む絶縁膜で
形成する。本実施例では、120[nm]の厚さで酸化窒化
シリコン膜で形成する。勿論、ゲート絶縁膜はこのよう
な酸化窒化シリコン膜に限定されるものでなく、他のシ
リコンを含む絶縁膜を単層または積層構造として用いて
も良い。例えば、酸化シリコン膜を用いる場合には、プ
ラズマCVD法でTEOS(Tetraethyl Orthosilicat
e)とO2とを混合し、反応圧力40[Pa]、基板温度30
0〜400[℃]とし、高周波(13.56[MHz])、電
力密度0.5〜0.8[W/cm2]で放電させて形成するこ
とが出来る。このようにして作製される酸化シリコン膜
は、その後400〜500[℃]の熱アニールによりゲー
ト絶縁膜として良好な特性を得ることが出来る。
電極を形成するための第1の導電膜5008と第2の導
電膜5009とを形成する。本実施例では、第1の導電
膜5008をTaで50〜100[nm]の厚さに形成し、
第2の導電膜5009をWで100〜300[nm]の厚さ
に形成する。
をArでスパッタすることにより形成する。この場合、
Arに適量のXeやKrを加えると、Ta膜の内部応力
を緩和して膜の剥離を防止することが出来る。また、α
相のTa膜の抵抗率は20[μΩcm]程度でありゲート電
極に使用することが出来るが、β相のTa膜の抵抗率は
180[μΩcm]程度でありゲート電極とするには不向き
である。α相のTa膜を形成するために、Taのα相に
近い結晶構造をもつ窒化タンタルを10〜50[nm]程度
の厚さでTaの下地に形成しておくとα相のTa膜を容
易に得ることが出来る。
としたスパッタ法で形成する。その他に6フッ化タング
ステン(WF6)を用いる熱CVD法で形成することも
出来る。いずれにしてもゲート電極として使用するため
には低抵抗化を図る必要があり、W膜の抵抗率は20
[μΩcm]以下にすることが望ましい。W膜は結晶粒を大
きくすることで低抵抗率化を図ることが出来るが、W中
に酸素などの不純物元素が多い場合には結晶化が阻害さ
れ高抵抗化する。このことより、スパッタ法による場
合、純度99.9999[%]のWターゲットを用い、さ
らに成膜時に気相中からの不純物の混入がないように十
分配慮してW膜を形成することにより、抵抗率9〜20
[μΩcm]を実現することが出来る。
8をTa、第2の導電膜5009をWとしたが、特に限
定されず、いずれもTa、W、Ti、Mo、Al、Cu
などから選ばれた元素、または前記元素を主成分とする
合金材料もしくは化合物材料で形成してもよい。また、
リン等の不純物元素をドーピングした多結晶シリコン膜
に代表される半導体膜を用いてもよい。本実施例以外の
組み合わせの一例で望ましいものとしては、第1の導電
膜5008を窒化タンタル(TaN)で形成し、第2の
導電膜5009をWとする組み合わせ、第1の導電膜5
008を窒化タンタル(TaN)で形成し、第2の導電
膜5009をAlとする組み合わせ、第1の導電膜50
08を窒化タンタル(TaN)で形成し、第2の導電膜
5009をCuとする組み合わせ等が挙げられる。
成し、電極及び配線を形成するための第1のエッチング
処理を行う。本実施例ではICP(Inductively Couple
d Plasma:誘導結合型プラズマ)エッチング法を用い、
エッチング用ガスにCF4とCl2を混合し、1[Pa]の圧
力でコイル型の電極に500[W]のRF(13.56[MH
z])電力を投入してプラズマを生成して行う。基板側
(試料ステージ)にも100[W]のRF(13.56[MH
z])電力を投入し、実質的に負の自己バイアス電圧を印
加する。CF4とCl2を混合した場合にはW膜及びTa
膜とも同程度にエッチングされる。
マスクの形状を適したものとすることにより、基板側に
印加するバイアス電圧の効果により第1の導電層及び第
2の導電層の端部がテーパー形状となる。テーパー部の
角度は15〜45°となる。ゲート絶縁膜上に残渣を残
すことなくエッチングするためには、10〜20[%]程
度の割合でエッチング時間を増加させると良い。W膜に
対する酸化窒化シリコン膜の選択比は2〜4(代表的に
は3)であるので、オーバーエッチング処理により、酸
化窒化シリコン膜が露出した面は20〜50[nm]程度エ
ッチングされることになる。こうして、第1のエッチン
グ処理により第1の導電層と第2の導電層から成る第1
の形状の導電層5011〜5016(第1の導電層50
11a〜5016aと第2の導電層5011b〜501
6b)を形成する。このとき、ゲート絶縁膜5007に
おいては、第1の形状の導電層5011〜5016で覆
われない領域は20〜50[nm]程度エッチングされ薄く
なった領域が形成される。(図10(B))
を付与する不純物元素を添加する。ドーピングの方法は
イオンドープ法もしくはイオン注入法で行えば良い。イ
オンドープ法の条件はドーズ量を1×1013〜5×10
14[atoms/cm2]とし、加速電圧を60〜100[keV]とし
て行う。N型を付与する不純物元素として15族に属す
る元素、典型的にはリン(P)または砒素(As)を用
いるが、ここではリン(P)を用いる。この場合、導電
層5011〜5016がn型を付与する不純物元素に対
するマスクとなり、自己整合的に第1の不純物領域50
17〜5020が形成される。第1の不純物領域501
7〜5020には1×1020〜1×1021[atoms/cm3]
の濃度範囲でn型を付与する不純物元素を添加する。
(図10(B))
トマスクは除去しないまま、第2のエッチング処理を行
う。エッチングガスにCF4とCl2とO2とを用い、W
膜を選択的にエッチングする。この時、第2のエッチン
グ処理により第2の形状の導電層5021〜5026
(第1の導電層5021a〜5026aと第2の導電層
5021b〜5026b)を形成する。このとき、ゲー
ト絶縁膜5007においては、第2の形状の導電層50
21〜5026で覆われない領域はさらに20〜50[n
m]程度エッチングされ薄くなった領域が形成される。
によるエッチング反応は、生成されるラジカルまたはイ
オン種と反応生成物の蒸気圧から推測することが出来
る。WとTaのフッ化物と塩化物の蒸気圧を比較する
と、Wのフッ化物であるWF6が極端に高く、その他の
WCl5、TaF5、TaCl5は同程度である。従っ
て、CF4とCl2の混合ガスではW膜及びTa膜共にエ
ッチングされる。しかし、この混合ガスに適量のO2を
添加するとCF4とO2が反応してCOとFになり、Fラ
ジカルまたはFイオンが多量に発生する。その結果、フ
ッ化物の蒸気圧が高いW膜のエッチング速度が増大す
る。一方、TaはFが増大しても相対的にエッチング速
度の増加は少ない。また、TaはWに比較して酸化され
やすいので、O2を添加することでTaの表面が酸化さ
れる。Taの酸化物はフッ素や塩素と反応しないため、
さらにTa膜のエッチング速度は低下する。従って、W
膜とTa膜とのエッチング速度に差を作ることが可能と
なりW膜のエッチング速度をTa膜よりも大きくするこ
とが可能となる。
ドーピング処理を行う。この場合、第1のドーピング処
理よりもドーズ量を下げて高い加速電圧の条件としてn
型を付与する不純物元素をドーピングする。例えば、加
速電圧を70〜120[keV]とし、1×1013[atoms/cm
2]のドーズ量で行い、図10(B)で島状半導体層に形
成された第1の不純物領域の内側に新たな不純物領域を
形成する。ドーピングは、第2の形状の導電層5021
〜5026を不純物元素に対するマスクとして用い、第
1の導電層5021a〜5026aの下側の領域の半導
体層にも不純物元素が添加されるようにドーピングす
る。こうして、第2の不純物領域5027〜5031が
形成される。この第2の不純物領域5027〜5031
に添加されたリン(P)の濃度は、第1の導電層502
1a〜5026aのテーパー部の膜厚に従って緩やかな
濃度勾配を有している。なお、第1の導電層5021a
〜5026aのテーパー部と重なる半導体層において、
第1の導電層5021a〜5026aのテーパー部の端
部から内側に向かって若干、不純物濃度が低くなってい
るものの、ほぼ同程度の濃度である。
エッチング処理を行う。エッチングガスにCHF6を用
い、反応性イオンエッチング法(RIE法)を用いて行
う。第3のエッチング処理により、第1の導電層502
1a〜5026aのテーパー部を部分的にエッチングし
て、第1の導電層が半導体層と重なる領域が縮小され
る。第3のエッチング処理によって、第3の形状の導電
層5032〜5037(第1の導電層5032a〜50
37aと第2の導電層5032b〜5037b)を形成
する。このとき、ゲート絶縁膜5007においては、第
3の形状の導電層5032〜5037で覆われない領域
はさらに20〜50[nm]程度エッチングされ薄くなった
領域が形成される。
純物領域5027〜5031においては、第1の導電層
5032a〜5037aと重なる第2の不純物領域50
27a〜5031aと、第1の不純物領域と第2の不純
物領域との間の第3の不純物領域5027b〜5031
bとが形成される。
ャネル型TFTを形成する島状半導体層5004に、第
1の導電型とは逆の導電型の第4の不純物領域5039
〜5044を形成する。第3の形状の導電層5033b
を不純物元素に対するマスクとして用い、自己整合的に
不純物領域を形成する。このとき、nチャネル型TFT
を形成する島状半導体層5003、5005、保持容量
部5006および配線部5034はレジストマスク50
38で全面を被覆しておく。不純物領域5039〜50
44にはそれぞれ異なる濃度でリンが添加されている
が、ジボラン(B 2H6)を用いたイオンドープ法で形成
し、そのいずれの領域においても不純物濃度が2×10
20〜2×1021[atoms/cm3]となるようにする。
に不純物領域が形成される。島状半導体層と重なる第3
の形状の導電層5032、5033、5035、503
6がゲート電極として機能する。また、5034は島状
のソース信号線として機能する。5037は容量配線と
して機能する。
電型の制御を目的として、それぞれの島状半導体層に添
加された不純物元素を活性化する工程を行う。この工程
はファーネスアニール炉を用いる熱アニール法で行う。
その他に、レーザーアニール法、またはラピッドサーマ
ルアニール法(RTA法)を適用することが出来る。熱
アニール法では酸素濃度が1[ppm]以下、好ましくは
0.1[ppm]以下の窒素雰囲気中で400〜700
[℃]、代表的には500〜600[℃]で行うものであ
り、本実施例では500[℃]で4時間の熱処理を行う。
ただし、第3の形状の導電層5032〜5037に用い
た配線材料が熱に弱い場合には、配線等を保護するため
層間絶縁膜(シリコンを主成分とする)を形成した後で
活性化を行うことが好ましい。
気中で、300〜450[℃]で1〜12時間の熱処理を
行い、島状半導体層を水素化する工程を行う。この工程
は熱的に励起された水素により半導体層のダングリング
ボンドを終端する工程である。水素化の他の手段とし
て、プラズマ水素化(プラズマにより励起された水素を
用いる)を行っても良い。
窒化シリコン膜を100〜200[nm]の厚さで形成す
る。その上に有機絶縁物材料から成る第2の層間絶縁膜
5046を形成する。次いで、コンタクトホールを形成
するためのエッチング工程を行う。
のソース領域とコンタクトを形成するソース配線504
7、5048、ドレイン領域とコンタクトを形成するド
レイン配線5049を形成する。また、画素部において
は、接続電極5050、画素電極5051、5052を
形成する(図12(A))。この接続電極5050によ
り、ソース信号線5034は、画素TFTと電気的に接
続される。なお、画素電極5052及び保持容量は隣り
合う画素のものである。
pチャネル型TFTを有する駆動回路部と、画素TF
T、保持容量を有する画素部とを同一基板上に形成する
ことができる。本明細書中ではこのような基板をアクテ
ィブマトリクス基板と呼ぶ。
素電極間の隙間を遮光することができるように、画素電
極の端部をソース信号線やゲート信号線と重なるように
配置されている。
ティブマトリクス基板の作製に必要なフォトマスクの数
を5枚(島状半導体層パターン、第1配線パターン(ソ
ース信号線、ゲート信号線、容量配線)、pチャネル領
域のマスクパターン、コンタクトホールパターン、第2
配線パターン(画素電極、接続電極含む))とすること
ができる。その結果、工程を短縮し、製造コストの低減
及び歩留まりの向上に寄与することができる。
マトリクス基板を得た後、図12(B)において、アク
ティブマトリクス基板上に配向膜5053を形成しラビ
ング処理を行う。
基板5054にはカラーフィルター層5055〜505
7、オーバーコート層5058を形成する。カラーフィ
ルター層はTFTの上方で赤色のカラーフィルター層5
055と青色のカラーフィルター層5056とを重ねて
形成し遮光膜を兼ねる構成とする。少なくともTFT
と、接続電極と画素電極との間を遮光する必要があるた
め、それらの位置を遮光するように赤色のカラーフィル
ターと青色のカラーフィルターを重ねて配置することが
好ましい。
カラーフィルター層5055、青色のカラーフィルター
層5056、緑色のカラーフィルター層5057とを重
ね合わせてスペーサを形成する。各色のカラーフィルタ
ーはアクリル樹脂に顔料を混合したもので1〜3[μm]
の厚さで形成する。これは感光性材料を用い、マスクを
用いて所定のパターンに形成することができる。スペー
サの高さはオーバーコート層5058の厚さ1〜4[μ
m]を考慮することにより2〜7[μm]、好ましくは4〜
6[μm]とすることができ、この高さによりアクティブ
マトリクス基板と対向基板とを貼り合わせた時のギャッ
プを形成する。オーバーコート層5058は光硬化型ま
たは熱硬化型の有機樹脂材料で形成し、例えば、ポリイ
ミドやアクリル樹脂などを用いる。
が、例えば図12(B)で示すように接続電極上に位置
が合うように対向基板5054上に配置すると良い。ま
た、駆動回路部のTFT上にその位置を合わせてスペー
サを対向基板5054上に配置してもよい。このスペー
サは駆動回路部の全面に渡って配置しても良いし、ソー
ス配線およびドレイン配線を覆うようにして配置しても
良い。
対向電極5059をパターニング形成し、配向膜506
0を形成した後ラビング処理を行う。
アクティブマトリクス基板と対向基板とをシール剤50
62で貼り合わせる。シール剤5062にはフィラーが
混入されていて、このフィラーとスペーサによって均一
な間隔を持って2枚の基板が貼り合わせられる。その
後、両基板の間に液晶材料5061を注入し、封止剤
(図示せず)によって完全に封止する。液晶材料506
1には公知の液晶材料を用いれば良い。このようにして
図12(B)に示すアクティブマトリクス型液晶表示装
置が完成する。
ィブマトリクス型液晶表示装置におけるTFTはトップ
ゲート構造をとっているが、ボトムゲート構造のTFT
やその他の構造のTFTに対しても本実施例は容易に適
用され得る。
を使用しているが、ガラス基板に限らず、プラスチック
基板、ステンレス基板、単結晶ウェハ等、ガラス基板以
外のものを使用することによっても実施が可能である。
組み合わせて実施することが可能である。
の画素部に記憶回路を複数有するため、1つの画素を構
成する素子の数が通常の画素よりも多くなる。よって、
透過型の液晶表示装置の場合、開口率の低下による輝度
不足が考えられることから、本発明は、反射型の液晶表
示装置に適用されるのが望ましい。本実施例において、
作製工程の一例を示す。
ティブマトリクス基板(図12(A)と同様)を作製す
る。続いて、第3の層間絶縁膜5201として、樹脂膜
を形成した後、画素電極部にコンタクトホールを開口
し、反射電極5202を形成する。反射電極5202と
しては、Al、Agを主成分とする膜、あるいはそれら
の積層膜等の、反射性に優れた材料を用いることが望ま
しい。
基板5054には、本実施例においては対向電極520
5をパターニングして形成している。対向電極5205
は、透明導電膜として形成する。透明導電膜としては、
酸化インジウムと酸化スズとの化合物(ITOと呼ばれ
る)または酸化インジウムと酸化亜鉛との化合物からな
る材料を用いることが出来る。
置の作製の際には、カラーフィルタ層を形成する。この
とき、隣接した色の異なるカラーフィルタ層を重ねて形
成し、TFT部分の遮光膜を兼ねる構成とすると良い。
対向基板に、配向膜5203および5204を形成し、
ラビング処理を行う。
アクティブマトリクス基板と対向基板とをシール剤52
06で貼り合わせる。シール剤5206にはフィラーが
混入されていて、このフィラーとスペーサによって均一
な間隔を持って2枚の基板が貼り合わせられる。その
後、両基板の間に液晶材料5207を注入し、封止剤
(図示せず)によって完全に封止する。液晶材料520
7には公知の液晶材料を用いれば良い。このようにして
図19(B)に示す反射型の液晶表示装置が完成する。
限らず、プラスチック基板、ステンレス基板、単結晶ウ
ェハ等、ガラス基板以外のものを使用することも可能で
ある。
透明電極とした、半透過型の表示装置として作製する場
合にも、本発明は容易に適用することが出来る。
組み合わせて実施することが可能である。
表示装置を作製した例について、図27を用いて説明す
る。
の間に液晶を封止することによって形成された液晶表示
装置の上面図であり、図27(B)は、図27(A)の
A−A’における断面図、図27(C)は図27(A)
のB−B’における断面図である。
4002と、ソース信号線駆動回路4003と、第1及
び第2のゲート信号線駆動回路4004a、bとを囲む
ようにして、シール材4009が設けられている。また
画素部4002と、ソース信号線駆動回路4003と、
第1及び第2のゲート信号線駆動回路4004a、bと
の上に対向基板4008が設けられている。TFT基板
4001とシール材4009と対向基板4008とで囲
まれた空間に液晶4210が充填されている。
素部4002と、ソース信号線駆動回路4003と、第
1及び第2のゲート信号線駆動回路4004a、bと
は、複数のTFTを有している。図27(B)では代表
的に、下地膜4010上に形成された、ソース信号線駆
動回路4003に含まれる駆動TFT(但し、ここでは
nチャネル型TFTとpチャネル型TFTを図示する)
4201及び画素部4002に含まれる画素TFT(画
素電極にかかる電圧を制御するTFT)4202を図示
した。
知の方法で作製されたpチャネル型TFT及びnチャネ
ル型TFTが用いられ、画素TFT4202には公知の
方法で作製されたpチャネル型TFTが用いられる。ま
た、画素部4002には画素TFT4202のゲート電
極に電気的に接続された保持容量(図示せず)が設けら
れる。
2上には層間絶縁膜(平坦化膜)4301が形成され、
その上に画素TFT4202のドレインと電気的に接続
する画素電極4203が形成される。
が形成されている。なお図27(B)では図示していな
いが、カラーフィルターや偏光板を適宜設ける。そして
対向電極4205には所定の電圧が与えられている。
晶4210及び対向電極4205からなる液晶セルが形
成される。
002、ソース信号線駆動回路4003、第1のゲート
信号線駆動回路4004a、第2のゲート信号線駆動回
路4004bと外部の電源とを接続している。引き回し
配線4005aはシール材4009とTFT基板400
1との間を通り、異方導電性フィルム4300を介して
FPC4006が有するFPC用配線4301に電気的
に接続される。
属材(代表的にはステンレス材)、セラミックス材、プ
ラスチック材(プラスチックフィルムも含む)を用いる
ことができる。プラスチック材としては、FRP(Fi
berglass−Reinforced Plast
ics)板、PVF(ポリビニルフルオライド)フィル
ム、マイラーフィルム、ポリエステルフィルムまたはア
クリル樹脂フィルムを用いることができる。また、アル
ミニウムホイルをPVFフィルムやマイラーフィルムで
挟んだ構造のシートを用いることもできる。
ー材側に向かう場合にはカバー材は透明でなければなら
ない。その場合には、ガラス板、プラスチック板、ポリ
エステルフィルムまたはアクリルフィルムのような透明
物質を用いる。
03が形成されると同時に、引き回し配線4005a上
に接するように導電性膜4203aが形成される。
性フィラー4300aを有している。TFT基板400
1とFPC4006とを熱圧着することで、TFT基板
4001上の導電性膜4203aとFPC4006上の
FPC用配線4301とが、導電性フィラー4300a
によって電気的に接続される。
に組み合わせて実施することが可能である。
表示装置として、透過型の液晶表示装置を使用した場合
の例を示す。
チを100ppi程度とすれば、画素内部の記憶回路及
びD/Aコンバータ等は、ソース信号線の下に配置する
ことが可能となり、開口率の低下の問題を解決すること
ができる。これにより、本発明を反射型の液晶表示装置
だけでなく透過型の液晶表示装置にも適用できる。
の画素の上面図を模式的に示す。
憶回路、3305はD/Aコンバータ(図中D/Aと記
載)、3306は画素電極、3307はソース信号線で
ある。なお、対向電極やカラーフィルタ及び保持容量等
は図示していない。ここで、記憶回路3302〜330
4及びD/Aコンバータ3305は、ソース信号線33
07と重ねて形成されている。
07の下ではなくゲート信号線と重ねて、これらの記憶
回路3302〜3304及びD/Aコンバータ3305
等を配置することも可能である。
した、本発明の液晶表示装置の画素部においては、記憶
回路は、スタティック型メモリ(Static RAM : SRAM)
を用いて構成していたが、記憶回路はSRAMのみに限
定されない。本発明の液晶表示装置の画素部に適用可能
な記憶回路には、他にダイナミック型メモリ(Dynamic
RAM : DRAM)等があげられる。
憶回路として、強誘電体メモリ(Ferroelectric RAM :
FRAM)を利用して本発明の液晶表示装置の画素部を構成
することも可能である。FRAMは、SRAMやDRA
Mと同等の書き込み速度を有する不揮発性メモリであ
り、その書き込み電圧が低い等の特徴を利用して、本発
明の液晶表示装置のさらなる低消費電力化が可能であ
る。またその他、フラッシュメモリ等によっても、構成
は可能である。
に組み合わせて実施することが可能である。
動回路を用いたアクティブマトリクス型液晶表示装置に
は様々な用途がある。本実施例では、本発明を適用して
作製した駆動回路を用いた表示装置を組み込んだ半導体
装置について説明する。
(電子手帳、モバイルコンピュータ、携帯電話等)、ビ
デオカメラ、デジタルカメラ、パーソナルコンピュー
タ、テレビ等が挙げられる。それらの一例を図15およ
び図16に示す。
01、音声出力部2602、音声入力部2603、表示
部2604、操作スイッチ2605、アンテナ2606
から構成されている。本発明は表示部2604に適用す
ることができる。
2611、表示部2612、音声入力部2613、操作
スイッチ2614、バッテリー2615、受像部261
6から成っている。本発明は表示部2612に適用する
ことができる。
いは携帯情報端末であり、本体2621、カメラ部26
22、受像部2623、操作スイッチ2624、表示部
2625で構成されている。本発明は表示部2625に
適用することができる。
イであり、本体2631、表示部2632、アーム部2
633で構成される。本発明は表示部2632に適用す
ることができる。
1、スピーカー2642、表示部2643、受信装置2
644、増幅装置2645等で構成される。本発明は表
示部2643に適用することができる。
51、表示部2652、記憶媒体2653、操作スイッ
チ2654、アンテナ2655から構成されており、ミ
ニディスク(MD)やDVD(Digital Ver
satile Disc)に記憶されたデータや、アン
テナで受信したデータを表示するものである。本発明は
表示部2652に適用することができる。
あり、本体2201、画像入力部2202、表示部22
03、キーボード2204で構成される。本発明は表示
部2203に適用することができる。
媒体を用いるプレーヤーであり、本体2211、表示部
2212、スピーカー部2213、記録媒体2214、
操作スイッチ2215で構成される。なお、この装置は
記録媒体としてDVD(Digtial Versat
ile Disc)、CD等を用い、音楽鑑賞や映画鑑
賞やゲームやインターネットを行うことができる。本発
明は表示部2212に適用することができる。
体2221、表示部2222、接眼部2223、操作ス
イッチ2224、受像部(図示しない)で構成される。
本発明は表示部2222に適用することができる。
スプレイであり、表示部2231、バンド部2232で
構成される。本発明は表示部2231に適用することが
できる。
情報端末の外観図について述べる。図31に示すのは本
発明の構成を有する携帯情報端末であり、2701は表
示用パネル、2702は操作用パネルである。表示用パ
ネル2701と操作用パネル2702とは接続部270
3において接続されている。そして接続部2703にお
ける、表示用パネル2701の表示部2704が設けら
れている面と操作用パネル2702の操作キー2706
が設けられている面との角度θは、任意に変えることが
できる。
有している。また図31に示した携帯情報端末は電話と
しての機能を有しており、表示用パネル2701は音声
出力部2705を有しており、音声が音声出力部270
5から出力される。表示部2704には本発明の液晶表
示装置が用いられている。
9、4:3など任意に選択することができる。表示部2
704のサイズは対角1インチ〜4.5インチ程度が望
ましい。
6、電源スイッチ2707、音声入力部2708を有し
ている。なお図31では操作キー2706と電源スイッ
チ2707とを別個に設けたが、操作キー2706の中
に電源スイッチ2707が含まれる構成にしても良い。
音声入力部2708において、音声が入力される。
声出力部2705を有し、操作用パネル2702が音声
入力部2708を有しているが、本実施例はこの構成に
限定されない。表示用パネル2701が音声入力部27
08を有し、操作用パネル2702が音声出力部270
5を有していても良い。また音声出力部2705と音声
入力部2708とが共に表示用パネル2701に設けら
れていても良いし、音声出力部2705と音声入力部2
708とが共に操作用パネル2702に設けられていて
も良い。
末の操作キー2706を人差し指で操作している例につ
いて示した。また図33では図31で示した携帯情報端
末の操作キー2706を親指で操作している例について
示した。なお操作キー2706は操作用パネル2702
の側面に設けても良い。操作は片手(きき手)の人差し
指のみ、または親指のみでも可能である。
情報装置を応用した電子機器について、図28及び図2
9を用いて説明する。
ンピュータがある。図28(A)はパーソナルコンピュ
ータであり、本体2801、画像入力部2802、表示
部2803、キーボード2804等を含む。表示部28
03として、画素毎に記憶回路を有する液晶表示装置を
用いることで、パーソナルコンピュータの低消費電力化
を実現できる。
ン装置がある。図28(B)はナビゲーション装置であ
り、本体2811、表示部2812、スピーカ部281
3、記憶媒体2814、操作スイッチ2815等を含
む。表示部2812として、画素毎に記憶回路を有する
液晶表示装置を用いることで、ナビゲーション装置の低
消費電力化を実現できる。
る。図28(C)は電子書籍であり、本体2851、表
示部2852、記憶媒体2853、操作スイッチ285
4、アンテナ2855等を含み、ミニディスク(MD)
やDVD(DigitalVersatile Dis
c)に記憶されたデータや、アンテナで受信したデータ
を表示するものである。表示部2852として、画素毎
に記憶回路を有する液晶表示装置を用いることで、電子
書籍の低消費電力化を実現できる。
る。図29(A)は携帯電話であり、表示用パネル29
01、操作用パネル2902、接続部2903、表示部
2904、音声出力部2905、操作キー2906、電
源スイッチ2907、音声入力部2908、アンテナ2
909、CCD受光部2910、外部入力ポート291
1等を含む。表示部2904として、画素毎に記憶回路
を有する液晶表示装置を用いることで、携帯電話の低消
費電力化を実現できる。
る。図29(B)はPDAであり、表示部及びペン入力
ダブレット3004、操作キー3006、電源スイッチ
3007、外部入力ポート3011、入力用ペン301
2等を含む。表示部3004として、画素毎に記憶回路
を有する液晶表示装置を用いることで、PDAの低消費
電力化を実現できる。
た構成と同様の構成の画素を有する液晶表示装置におい
て、各画素の有する記憶回路に保持されD/Aコンバー
タに入力されている信号を、対応するアナログ信号に変
換する操作を、DACコントローラ(図示せず)を用い
て制御する場合について図37を用いて説明する。
記憶回路に保持されD/Aコンバータに入力されている
信号を、対応するアナログ信号に変換し、D/Aコンバ
ータから出力する操作を、記憶回路の読み出し操作と呼
ぶことにする。
T108〜110と、記憶回路105〜107と、ソー
ス信号線101と、書き込み用ゲート信号線102〜1
04と、D/Aコンバータ400と、液晶素子LCと、
保持容量Csとを有する。
領域もしくはドレイン領域の一方は、ソース信号線10
1に接続され、もう一方はそれぞれ、記憶回路105〜
107の入力にそれぞれ接続されている。書き込み用T
FT108〜110のゲート電極はそれぞれ、書き込み
用ゲート信号線102〜104にそれぞれ接続されてい
る。記憶回路105〜107の出力は、D/Aコンバー
タ400の入力in1〜in3にそれぞれ接続されてい
る。D/Aコンバータ400の出力outは、液晶素子
LC及び保持容量Csの一方の電極に接続されている。
441〜443、インバータ444〜446及び46
1、スイッチ447a〜449a、スイッチ447b〜
449b、スイッチ460、コンデンサC1〜C3、リ
セット用信号線452、低圧側階調電源線453、高圧
側階調電源線454、中間圧側階調電源線455によっ
て構成されている。
記憶するまでの動作については、実施の形態や実施例1
で示した動作と同様であるので、説明は省略する。
いて説明する。
resによって、スイッチ460が導通状態になり、容
量C1〜C3の、out端子に接続された側の電位は、
中間圧側階調電源線455の電位VMに固定されてい
る。また、高圧側階調電源線454の電位は、低圧側階
調電源線453の電位VLと等しく設定されている。こ
のとき、in1〜in3にデジタル信号が入力されて
も、容量C1〜C3には、信号は書き込まれない。
esが変化し、スイッチ460がオフとなって、容量C
1〜C3のout端子側の電位の固定が解除される。次
に、高圧側階調電源線454の電位が、低圧側階調電源
線453の電位VLと異なる値VHに変化する。この時端
子in1〜in3に入力された信号に応じて、NAND
回路441〜443の出力が変化し、スイッチ447〜
449のそれぞれにおいて、2つのスイッチのどちらか
がオンの状態となって、高圧側階調電源線の電位VHも
しくは低圧側階調電源線VLの電位が、容量C1〜C3
の電極に印加される。
ットに対応して設定されている。例えば、C1:C2:
C3が1:2:4となるように設定されている。
って容量C1〜C3のout端子側の電位が変化し、出
力の電位が変化する。つまり、入力されたin1〜in
3のデジタル信号に応じたアナログの信号がout端子
より出力される。
res及び、高圧側階調電源線454の電位等を、DA
Cコントローラによって制御することによって、入力さ
れたデジタル信号に対するアナログ信号の、D/Aコン
バータ400からの出力を制御することができる。
を書き込んだ後は、DACコントローラを用いて上記動
作を繰り返し、記憶回路に保持されたデジタル信号の読
み出し操作を反復することによって、静止画を表示する
ことができる。
ト信号線駆動回路の動作を停止することができる。
した構成の画素を例に説明したが、これに限定されな
い。一般に、各画素にn(nは、2以上の自然数)個の
記憶回路を配置した構成の画素を有する液晶表示装置に
応用することができる。
を自由に用いることができる。
の構成の例について図36を用いて説明する。
号を用いて示し、説明は省略する。
の出力はそれぞれ、読み出し用TFT121〜123を
介して、D/A111に入力されている。ここで、読み
出し用TFT121〜123のゲート電極は、読み出し
用ゲート信号線124に接続されている。
105〜107に信号を書き込む動作は、実施形態及び
実施例と同じであるので、ここでは説明は省略する。
〜107にデジタル信号を記憶した後は、読み出し用ゲ
ート信号線124に信号を入力することによって、読み
出し用TFT121〜123をオンにし、記憶回路10
5〜107に保持されたデジタル信号をD/A111に
入力する。ここで本実施例のように各画素が読み出し用
TFTを有する場合、記憶回路105〜107に保持さ
れたデジタル信号をD/A111に入力することを、記
憶回路の信号の読み出し操作と呼ぶことにする。
オフを切り換え、読み出し操作を、反復することによっ
て、静止画を表示することができる。
ト信号線を選択して行われるが、この読み出し用ゲート
信号線124は、読み出し用ゲート信号線駆動回路を用
いて駆動することができる。
公知のゲート信号線駆動回路等を自由に用いることがで
きる。
した構成の画素を例に説明したが、これに限定されな
い。一般に、各画素にn(nは、2以上の自然数)個の
記憶回路を配置した構成の画素を有する液晶表示装置に
応用することができる。
表示装置の画素の構成を図38に示す。
号を用いて示し、説明は省略する。
141b〜143bが各画素に配置されている。
108と記憶回路141aまたは記憶回路141bとの
接続を選択する。選択スイッチ152は、書き込み用T
FT109と記憶回路142aまたは記憶回路142b
との接続を選択する。選択スイッチ153は、書き込み
用TFT110と記憶回路143aまたは記憶回路14
3bとの接続を選択する。
憶回路141aまたは記憶回路141bとの接続を選択
する。選択スイッチ155は、D/A111と記憶回路
142aまたは記憶回路142bとの接続を選択する。
選択スイッチ156は、D/A111と記憶回路143
aまたは記憶回路143bとの接続を選択する。
ッチ154〜156によって、記憶回路141a〜14
3aにデジタル信号を記憶する場合と、記憶回路141
b〜143bにデジタル信号を記憶する場合とを選択す
ることができる。また、記憶回路141a〜143aか
らデジタル信号をD/A111に入力する場合と、記憶
回路141b〜143bからデジタル信号をD/A11
1に入力する場合とを選択することができる。
デジタル信号を入力する動作、及び選択された各記憶回
路に保持されたデジタル信号を読み出す動作について
は、実施の形態や実施例1と同様であるので説明は省略
する。
いて、1フレーム期間分の3ビットのデジタル信号を記
憶し、記憶回路141b〜143bを用いて、前記フレ
ーム期間とは別のフレーム期間の3ビット分の信号を記
憶することができる。
信号を2フレーム分記憶する回路を示すが、本実施例は
これに限定されない。一般に、n(nは、2以上の自然
数)ビット分のデジタル信号をm(mは、2以上の自然
数)フレーム分記憶可能な画素を有する液晶表示装置に
応用することができる。
路を用いてデジタル信号の記憶を行うことにより、静止
画を表示する際に各フレーム期間で記憶回路に記憶され
たデジタル信号を反復して用いる。これによって、継続
的に静止画表示を行う際に、ソース信号線駆動回路を停
止させておくことが可能となる。よって、液晶表示装置
全体の低消費電力化に大きく貢献することが出来る。
装置において、液晶表示装置に入力する信号を処理す
る、映像信号処理回路等の回路も、継続的に静止画表示
を行う際は、停止させておくことが可能になるため、携
帯情報装置の低消費電力化に大きく貢献する。
素の回路図。
ース信号線駆動回路の回路構成を示す図。
イミングチャートを示す図。
駆動回路の回路構成を示す図。
される本発明の画素の回路図。
行うためのタイミングチャートを示す図。
の構成を示す図。
の構成を示す図。
工程例を示す図。
工程例を示す図。
工程例を示す図。
略に示す図。
路の回路構成を示す図。
能な電子装置を示す図。
能な電子装置を示す図。
駆動回路の回路構成を示す図。
めのタイミングチャートを示す図。
図。
の構成を示す図。
の構成を示す図。
ス信号線駆動回路の回路構成を示す図。
示す図。
図。
面図及び断面図。
素の上面図。
す図。
す図。
す図。
Claims (27)
- 【請求項1】画素を有する液晶表示装置において、 前記画素は、複数の記憶回路と、D/Aコンバータとを
有することを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項2】画素を有する液晶表示装置において、 前記画素は、n(nは、2以上の自然数)個の記憶回路
と、前記n個の記憶回路に記憶されたデジタル信号をア
ナログ信号に変換するD/Aコンバータとを有すること
を特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項3】画素を有し、 前記画素は、液晶素子を有し、 アナログ信号が前記液晶素子に入力される液晶表示装置
において、 前記画素は、n(nは2以上の自然数)個の記憶回路
と、前記n個の記憶回路に記憶されたデジタル信号を前
記アナログ信号に変換するD/Aコンバータとを有する
ことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項4】画素を有する液晶表示装置において、 前記画素は、n×m(n及びmは、2以上の自然数)個
の記憶回路と、前記n×m個の記憶回路に記憶されたn
ビット分のデジタル信号をアナログ信号に変換するD/
Aコンバータとを有することを特徴とする液晶表示装
置。 - 【請求項5】画素を有する液晶表示装置の駆動方法にお
いて、 前記画素は、n×m(n及びmは、2以上の自然数)個
の記憶回路と、前記n×m個の記憶回路に記憶されたn
ビット分のデジタル信号をアナログ信号に変換するD/
Aコンバータとを有し、 前記画素が、mフレーム分のデジタル信号を記憶するこ
とを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項6】請求項1乃至請求項5のいずれか一項にお
いて、 ソース信号線を有し、 前記記憶回路及び前記D/Aコンバータは、前記ソース
信号線と重なって配置されていることを特徴とした液晶
表示装置。 - 【請求項7】請求項1乃至請求項5のいずれか一項にお
いて、 ゲート信号線を有し、 前記記憶回路及び前記D/Aコンバータは、前記ゲート
信号線と重なって配置されていることを特徴とした液晶
表示装置。 - 【請求項8】画素を有し、 前記画素は、液晶素子を有する液晶表示装置において、 前記画素は、ソース信号線と、n(nは2以上の自然
数)本のゲート信号線と、n個のTFTと、n個の記憶
回路と、D/Aコンバータとを有し、 前記n個のTFTのゲート電極はそれぞれ、前記n本の
ゲート信号線のうちのそれぞれ1本に接続され、ソース
領域とドレイン領域の一方は、前記ソース信号線に接続
され、もう一方はそれぞれ、前記n個の記憶回路のうち
のそれぞれ1つの入力端子に接続され、 前記n個の記憶回路の出力端子はそれぞれ、前記D/A
コンバータの入力端子に接続され、 前記D/Aコンバータの出力端子は、液晶素子に接続さ
れていることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項9】画素を有し、 前記画素は、液晶素子を有する液晶表示装置において、 前記画素は、n(nは2以上の自然数)本のソース信号
線と、ゲート信号線と、n個のTFTと、n個の記憶回
路と、D/Aコンバータとを有し、 前記n個のTFTのゲート電極は、前記ゲート信号線に
接続され、ソース領域とドレイン領域の一方はそれぞ
れ、前記n本のソース信号線のうちのそれぞれ1つに接
続され、もう一方はそれぞれ、前記n個の記憶回路のう
ちのそれぞれ1つの入力端子に接続され、 前記n個の記憶回路の出力端子はそれぞれ、前記D/A
コンバータの入力端子に接続され、 前記D/Aコンバータの出力端子は、前記液晶素子に接
続されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項10】請求項8において、 ソース信号線駆動回路を有し、 前記ソース信号線駆動回路は、シフトレジスタと、前記
シフトレジスタからのサンプリングパルスによってnビ
ットのデジタル信号を保持する第1のラッチ回路と、前
記第1のラッチ回路に保持された前記nビットのデジタ
ル信号が転送される第2のラッチ回路と、前記第2のラ
ッチ回路に転送された前記nビットのデジタル信号を1
ビットずつ順に選択し前記ソース信号線に入力するスイ
ッチとを有することを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項11】請求項8において、 ソース信号線駆動回路を有し、 前記ソース信号線駆動回路は、シフトレジスタと、前記
シフトレジスタからのサンプリングパルスによって1ビ
ットのデジタル信号を保持する第1のラッチ回路と、前
記第1のラッチ回路に保持された前記1ビットのデジタ
ル信号が転送される第2のラッチ回路とを有することを
特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項12】請求項9において、 ソース信号線駆動回路を有し、 前記ソース信号線駆動回路は、シフトレジスタと、前記
シフトレジスタからのサンプリングパルスによってnビ
ットのデジタル信号を保持する第1のラッチ回路とを有
することを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項13】請求項9において、 ソース信号線駆動回路を有し、 前記ソース信号線駆動回路は、シフトレジスタと、前記
シフトレジスタからのサンプリングパルスによってnビ
ットのデジタル信号を保持する第1のラッチ回路と、前
記第1のラッチ回路に保持されたnビットのデジタル信
号を前記n本のソース信号線に入力するn個のスイッチ
とを有することを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項14】請求項1乃至請求項13のいずれか一項
において、 前記記憶回路はスタティック型メモリ(SRAM)、強
誘電体メモリ(FRAM)またはダイナミック型メモリ
(DRAM)であることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項15】請求項1乃至請求項14のいずれか一項
において、 前記記憶回路は、ガラス基板上、プラスチック基板上、
ステンレス基板上または単結晶ウェハ上に形成されてい
ることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項16】請求項1乃至請求項15のいずれか一項
において、 前記液晶表示装置を用いることを特徴とするテレビ、パ
ーソナルコンピュータ、携帯端末、ビデオカメラまたは
ヘッドマウントディスプレイ。 - 【請求項17】マトリクス状に配置された複数の画素を
有する液晶表示装置の駆動方法において、 前記複数の画素はそれぞれ、複数の記憶回路と、D/A
コンバータとを有し、 前記複数の画素のうち、特定の行の画素または特定の列
の画素が有する前記複数の記憶回路のデータを書き換え
ることを特徴とする液晶表示装置の駆動方法。 - 【請求項18】複数の画素と、前記複数の画素に映像信
号を入力するソース信号線駆動回路とを有する液晶表示
装置の駆動方法において、 前記複数の画素はそれぞれ、複数の記憶回路と、D/A
コンバータとを有し、 静止画を表示するとき、前記ソース信号線駆動回路の動
作を停止することを特徴とする液晶表示装置の駆動方
法。 - 【請求項19】請求項17または請求項18において、 前記記憶回路はスタティック型メモリ(SRAM)、強
誘電体メモリ(FRAM)またはダイナミック型メモリ
(DRAM)であることを特徴とする液晶表示装置の駆
動方法。 - 【請求項20】請求項17乃至請求項19のいずれか一
項において、 前記記憶回路は、ガラス基板上、プラスチック基板上、
ステンレス基板上または単結晶ウェハ上に形成されてい
ることを特徴とする液晶表示装置の駆動方法。 - 【請求項21】請求項17乃至請求項20のいずれか一
項において、 前記駆動方法の前記液晶表示装置を用いることを特徴と
するテレビ、パーソナルコンピュータ、携帯端末、ビデ
オカメラまたはヘッドマウントディスプレイ。 - 【請求項22】液晶表示装置と、CPUとを有する携帯
情報装置の駆動方法において、 前記液晶表示装置は、画素中に、複数の記憶回路と、D
/Aコンバータと、前記複数の記憶回路に信号を出力す
る駆動回路とを有し、 前記CPUは、前記駆動回路を制御する第1の回路と、
前記携帯情報装置に入力される信号を制御する第2の回
路とを有し、 前記液晶表示装置が静止画を表示するとき、前記第1の
回路を停止することを特徴とする携帯情報装置の駆動方
法。 - 【請求項23】液晶表示装置と、VRAMとを有する携
帯情報装置の駆動方法において、 前記液晶表示装置は、画素中に、複数の記憶回路と、D
/Aコンバータとを有し、 前記液晶表示装置が静止画を表示するとき、前記VRA
Mのデータの読み出し操作を停止することを特徴とする
携帯情報装置の駆動方法。 - 【請求項24】液晶表示装置を有する携帯情報装置の駆
動方法において、 前記液晶表示装置は、画素中に、複数の記憶回路と、D
/Aコンバータとを有し、 前記液晶表示装置が静止画を表示するとき、前記液晶表
示装置のソース信号線駆動回路を停止することを特徴と
する携帯情報装置の駆動方法。 - 【請求項25】請求項22乃至請求項24のいずれか一
項において、 前記複数の記憶回路は、1フレーム期間に1度読み出し
操作が行われることを特徴とする携帯情報装置の駆動方
法。 - 【請求項26】液晶表示装置を有する携帯情報装置の駆
動方法において、 前記液晶表示装置はマトリクス状に配置された複数の画
素を有し、 前記複数の画素はそれぞれ、複数の記憶回路と、D/A
コンバータとを有し、 前記液晶表示装置は、前記複数の画素のうち、特定の行
の画素または特定の列の画素が有する前記複数の記憶回
路のデータを書き換えることを特徴とする携帯情報装置
の駆動方法。 - 【請求項27】請求項22乃至請求項26のいずれか一
項において、 前記携帯情報装置は、携帯電話、パーソナルコンピュー
タ、ナビゲーションシステム、PDAまたは電子書籍で
あることを特徴とする携帯情報装置の駆動方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001242296A JP3949407B2 (ja) | 2000-08-18 | 2001-08-09 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000249090 | 2000-08-18 | ||
JP2000253196 | 2000-08-23 | ||
JP2000-253196 | 2000-08-23 | ||
JP2000-249090 | 2000-08-23 | ||
JP2001242296A JP3949407B2 (ja) | 2000-08-18 | 2001-08-09 | 液晶表示装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007075173A Division JP2007249215A (ja) | 2000-08-18 | 2007-03-22 | 液晶表示装置及びその駆動方法ならびに液晶表示装置を用いた携帯情報装置の駆動方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002140051A true JP2002140051A (ja) | 2002-05-17 |
JP2002140051A5 JP2002140051A5 (ja) | 2005-08-04 |
JP3949407B2 JP3949407B2 (ja) | 2007-07-25 |
Family
ID=27344382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001242296A Expired - Fee Related JP3949407B2 (ja) | 2000-08-18 | 2001-08-09 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3949407B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
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