JP2002134437A - スクライブ用カッタ及びこのカッタを用いたスクライブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークに深い垂直クラックを形成することが
でき、且つワークに凹みを形成するエッジ部が複数得ら
れるスクライブ用カッタを提供する。 【解決手段】 スクライブ用カッタ１２は、四角形の底
面１２ａと、側面１２ｂ…とを有する。底面１２ａと側
面１２ｂ…との交わりの角には、底面１２ａの角近傍に
四角錘のエッジ部４１…を形成するように面取りがされ
る。そして、この四角錘のエッジ部４１…をワーク１１
に当てる。四角錘のエッジ部４１…をワークに食い込ま
せると、従来の三角錐のエッジ部を食い込ませる場合に
比べ、水平方向への凹みを抑え、垂直方向への凹みを大
きくとることができる。したがって、ワーク１１に深い
垂直クラックを形成し、且つワーク１１に水平クラック
が発生するのを防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体等の脆性材
料からなるワークにスクライブ線を形成するスクライブ
用カッタ及びスクライブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から脆性材料のワークの表面にスク
ライブ線を形成するスクライブ装置が知られている。ス
クライブ装置は、振動するスクライブ用カッタをワーク
表面に押し付け、スクライブ用カッタをワークに沿って
移動することで、ワークにスクライブ線（刻線）を形成
する。

【０００３】図７は、従来のスクライブ用カッタの一例
を示す。この図は、スクライブ用カッタ１を底面側から
見た斜視図である。スクライブ用カッタ１は、ダイヤ等
を所定の形状にカッティングしたもので、シャンク２に
取り付けられている。このスクライブ用カッタ１は、截
頭角スイ形状をなし、四角形の底面１ａと４つの側面１
ｂ…とを有する。側面１ｂ…同士が交わる角には、稜線
１ｃ…が形成される。底面１ａと側面１ｂが交わる角に
は、稜線１ｄ…が形成される。底面１ａの角には４つの
三角錐のエッジ部３…が形成され、このエッジ部３…が
刃として使用される。

【０００４】図８に示すように、三角錐のエッジ部３を
ワーク４の表面に当て、スクライブ用カッタ１を上下方
向に振動すると、ワーク４の表面に三角錐の凹み５が形
成される（図中凹み５は平面形状でも示されている）。
そして、この凹み５によってワークに垂直クラックが生
じる。そして、稜線１ｃ側にスクイブ用カッタを移動す
ることで、ワーク４の表面にスクライブ線として連続し
た垂直クラックが形成される。

【０００５】スクライブ用カッタ１の三角錐のエッジ部
３は、使用により徐々に摩耗し、その稜線１ｃ及び１ｄ
が丸まってくる。エッジ部３が摩耗すると、ワーク４に
良好な垂直クラックを形成することができなくなる。こ
のため、エッジ部３が摩耗すると、スクライブ用カッタ
１を回転し、新たな尖っているエッジ部３をワーク４の
表面に当接する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】スクライブ用カッタ１
には、ワーク４に深い垂直クラックを形成できること、
並びに一つのスクライブ用カッタにできるだけ多くのエ
ッジ部３…が得られることが望まれる。しかしながら、
従来のスクライブ用カッタ１にあっては、ワーク４に深
い垂直クラックを形成するためにスクライブ用カッタ１
を深くワーク４に食い込ませると、垂直方向のみならず
水平方向へも凹み５が必然的に広がってしまい、この結
果、ワークに垂直クラックのみならず大きな水平クラッ
クが生じてしまうという問題が生じた。

【０００７】そこで、本発明は、ワークに深い垂直クラ
ックを形成することができ、且つワークに凹みを形成す
るエッジ部が複数得られるスクライブ用カッタ及びこの
スクライブ用カッタを用いたスクライブ装置を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以下、本発明について説
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものでない。

【０００９】上記課題を解決するために、本発明者は、
多角形の底面と、側面とを有するスクライブ用カッタに
おいて、底面と側面との交わりの角に、底面の角近傍に
四角錘のエッジ部を形成するように面取りした。そし
て、この四角錘のエッジ部をワークに当てた。すなわ
ち、本発明は、多角形の底面（１２ａ）と、側面（１２
ｂ…）とを有し、前記底面（１２ａ）と側面（１２ｂ
…）との交わりの角に、前記底面（１２ａ）の角近傍に
四角錘のエッジ部（４１…）を形成するように面取りが
され、前記四角錘のエッジ部（４１…）をワーク（１
１）に当てることを特徴とするスクライブ用カッタによ
り、上述した課題を解決した。

【００１０】四角錘のエッジ部をワークに食い込ませる
と、従来の三角錐のエッジ部を食い込ませる場合に比
べ、水平方向への凹みを抑え、垂直方向への凹みを大き
くとることができる。したがって、ワークに深い垂直ク
ラックを形成し、且つワークに水平クラックが発生する
のを防止することができる。さらに、多角形の底面の角
には従来と同様に三角錘のエッジ部も形成される。した
がって、より多くの切り込み用のエッジ部をスクライブ
用カッタに形成することができる。

【００１１】また、本発明は、前記四角錘のエッジ部
（４１）は、前記側面（１２ｂ，１２ｂ）同士が交わる
第１の稜線（４２）及びこの第１の稜線（４２）に向か
い合う第２の稜線（４５）が含まれる平面に対して、面
対称に形成されることを特徴とする。

【００１２】この発明によれば、平面上第１の稜線及び
第２の稜線を中心線として左右対称のエッジ部を形成す
ることができる。したがって、ワークに形成された凹み
の中心にセンターラインが形成され、しかも凹みはこの
センターラインに沿って平面上左右対称に形成される。
スクライブ用カッタを、このセンターラインが延びる方
向に移動すると、ワークに良好なスクライブ線を形成す
ることができる。

【００１３】また、本発明は、前記スクライブ用カッタ
（１２）は、前記底面（１２ａ）が四角形となる四角柱
あるいは四角錘をなし、前記エッジ部（４１…）は、四
角形の前記底面（１２ａ）の角近傍に４箇所形成される
ことを特徴とする。

【００１４】この発明によれば、４箇所の四角錘のエッ
ジ部と、４箇所の三角錐のエッジ部とで、合計８箇所の
エッジ部を形成することができる。また、エッジ部の進
行方向と直交する平面内でのエッジ部の開き角度を略９
０度に設定することができ、エッジ部の強度（対摩耗
性）とワークへの深い凹みの形成とのバランスを良くす
ることができる。

【００１５】また、本発明は、多角形の底面（１２ａ）
と、側面（１２ｂ…）とを有し、前記底面（１２ａ）と
側面（１２ｂ…）との交わりの角に、前記底面（１２
ａ）の角近傍に四角錘のエッジ部（４１…）を形成する
ように面取りがされるスクライブ用カッタ（１２）と、
前記スクライブ用カッタ（１２）を振動する加振機構
（１７）と、前記スクライブ用カッタをワーク面に沿っ
て移動する移動機構（２３）と、を備えることを特徴と
するスクライブ装置としても構成することができる。

【００１６】さらに、本発明は、前記移動機構が前記ス
クライブ用カッタを移動する方向は、前記四角錘のエッ
ジ部（４１…）における、前記側面（１２ｂ）同士が交
わる第１の稜線（４２）及びこの第１の稜線（４２）に
向かい合う第２の稜線（４５）が含まれる平面と平行で
あることを特徴とする。

【００１７】第１の稜線及び第２の稜線の開き角度は、
第３の稜線及び第４の稜線の開き角度に比べ比較的大き
くとれる。したがって、スクライブ用カッタのエッジ部
は第１の稜線及び第２の稜線に沿う方向に細長く形成さ
れる。この発明によれば、スクライブ用カッタを、第１
の稜線及び第２の稜線が含まれる平面と平行な方向に移
動するので、スクライブ用カッタの進行方向の両側に形
成される凹みを少なくすることができ、ひいては水平ク
ラックが生じるのを防止することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態におけ
るスクライブ用カッタを組み込んだスクライブ装置を示
す。スクライブ装置は、半導体（シリコン、ガリウム砒
素）、サファイヤ、水晶等の脆性材料からなる薄板状の
ワーク１１に、スクライブ用カッタ１２（ヘッド、当接
部材）を用いて、垂直クラックからなるスクライブ線を
形成する。ワーク１１の表面にはスクライブ用カッタ１
２（以下単にカッタ１２という）が当接している。カッ
タ１２を振動することによって、ワーク表面１１ａ部分
に垂直クラック１４（ワークの表面に対して垂直方向へ
延びる縦クラック）を発生させる。

【００１９】スクライブ装置は、ベースプレート１５
と、ベースプレート１５を水平方向に２次元的に移動す
る移動機構２３と、このベースプレートに取り付けられ
たリニアガイド等の直線案内装置２１と、この直線案内
装置２１に垂直方向に直線運動可能に取り付けられ、カ
ッタ１２を垂直方向に振動する加振機構としてのスクラ
イブ本体１７と、スクライブ本体１７に荷重を加える錘
１８と、磁力を用いて錘１８の荷重をスクライブ本体１
７に伝える一対の荷重用磁石１９と、磁力を用いてカッ
タ１２からワーク１１に加わる静荷重を調整する一対の
浮上用磁石２０とから構成される。ベースプレート１５
と錘１８との間には、錘１８がベースプレート１５に対
して垂直方向に直線運動可能なようにリニアガイド等の
直線案内装置２２が設けられる。

【００２０】図１に示すように、錘１８の下端部には、
荷重用板ばね２４が取付けられる。錘１８の下端には凹
部２５が形成される。荷重用板ばね２４が可撓可能なよ
うに、荷重用板ばね２４は凹部２５の両側の縁２６に掛
け渡されている。荷重用板ばね２４の下端中央には、荷
重用磁石１９ａが取り付けられる。

【００２１】スクライブ本体１７および錘１８は、それ
ぞれ直線案内装置２１，２２を介してベースに取付けら
れている。スクライブ本体１７と錘１８との間には、磁
力を用いて錘１８の荷重をスクライブ本体１７に伝える
一対の荷重用磁石１９ａ，１９ｂが設けられる。この一
対の荷重用磁石１９ａ，１９ｂは、それぞれが永久磁石
からなり、その一方１９ａが板ばね荷重用板ばね２４の
下面に取り付けられ、他方１９ｂがスクライブ本体１７
の上面に取り付けられる。また、一対の荷重用磁石１９
ａ，１９ｂは、同極（例えばＮ極同士）が対面するよう
に垂直方向に並べて配置され、互いに反発している。磁
力の反発力によって、錘１８の荷重をスクライブ本体１
７に伝えている。

【００２２】スクライブ本体１７の下方には、カッタ１
２からワーク１１に加わる静荷重を、磁力を用いて調整
する一対の浮上用磁石２０ａ，２０ｂが設けられる。こ
の一対の浮上用磁石２０ａ，２０ｂは、それぞれが永久
磁石からなり、浮上用磁石の一方２０ａは、スクライブ
本体１７の下面に取り付けられる。他方は、ベースプレ
ート１５から突出した水平板２７に設けた高さ調整機構
２８に取り付けられる。この高さ調整機構２８は、周知
のマイクロメータと同様な構造で、浮上用磁石２０ｂの
高さを調整する。

【００２３】一対の浮上用磁石２０ａ，２０ｂは、同極
（例えばＮ極同士）が対面するように垂直方向に並べて
配置され、互いに反発している。磁力の反発力によっ
て、スクライブ本体１７に浮上する力を与え、カッタ１
２からワーク１１に加わる静荷重を調整する。また、浮
上用磁石２０ｂには、永久磁石の代わりに、磁力を調整
可能な電磁石を用いてもよい。電磁石を用いる場合、電
圧を調整することによって磁力を調整する。

【００２４】図２は、スクライブ本体１７の一例を示
す。スクライブ本体１７は、下端にカッタ１２を有し、
このカッタ１２を振動させる。このスクライブ本体１７
は、ボディ３０と、ボディ３０内にスライド可能に支持
され、カッタ１２を保持するホルダ３１と、ホルダ３１
の下端に設けたカッタ１２と、カッタ１２を振動する振
動発生部材としてのピエゾアクチュエータ３２，３２
と、を備える。ボディ３０、ホルダ３１およびピエゾア
クチュエータ３２，３２は、その中心線Ｌが一致する。
中心線Ｌは垂直方向を向いている。ピエゾアクチュエー
タ３２，３２に高周波電界をかけると、ピエゾアクチュ
エータ３２，３２が周期的に伸縮し、ひいてはカッタ１
２が振動する。このピエゾアクチュエータ３２，３２
は、上下に２個組み合わされている。

【００２５】ボディ３０は、縦型の箱形状をなし、その
内部にホルダ３１が収納されている。ホルダ３１も縦形
の箱形状をなし、その内部にピエゾアクチュエータ３
２，３２が収納されている。ボディ３０に対するホルダ
３１の中心線Ｌ方向へのスライドを案内するように、ボ
ディ３０の上端部にはボディ３０内部に突出する突起３
３が設けられ、ホルダ３１の上端部にはこの突起３３に
嵌合する孔３４が開けられる。ホルダ３１の下端には、
ピエゾアクチュエータ３２，３２に予圧を付与するボー
ル３５及び板ばね３６が設けられる。このボール３５
は、ゴムや樹脂等の弾性材料からなり、ボディ３０の下
端に取付けた受け板３７に支持される。また、ボール３
５の上方にはボディ３０に掛け渡された板ばね３６が配
置される。ボール３５及び板ばね３６は、その弾性復元
力によって、ピエゾアクチュエータ３２，３２を上方に
付勢している。ピエゾアクチュエータ３２，３２に付与
される予圧は、ボディ３０の上端部に設けた調整ねじ３
８を回すことで調整される。

【００２６】ホルダ３１は、板ばね３６を跨ぐように、
２股に分かれて下方に延びる。図１に示すように、ホル
ダ３１の下端には、アタッチメント３９及びシャンク４
０を介してカッタ１２が首振り可能に取り付けられてい
る。アタッチメント３９は、ホルダ３１に対して角度調
整可能である。なお、スクライブ本体１７は、カッタ１
２を加振できるものであれば上述の構成に限られること
はなく、種々の設計変更が可能である。

【００２７】図３は、シャンク４０に取り付けられるカ
ッタ１２を示す。この図は、カッタ１２を底面側から見
た斜視図である。カッタ１２は、ダイヤ等を四角柱ある
いは截頭角スイ形状にカッティングすることで形成され
る。このカッタ１２は、例えば正四角形の底面１２ａ
と、４つの側面１２ｂ…とを有する。底面１２ａと側面
１２ｂ…との交わりの角には、底面１２ａの角近傍に４
つの四角錘のエッジ部４１…を形成するように面取りが
される。四角錘のエッジ部４１…は、側面１２ｂ…同士
が交わる第１の稜線４２、第１の稜線４２に向かい合
い、面取りした斜面１２ｃ…同士が交わる第２の稜線４
５、側面１２ｂと斜面１２ｃとが交わり、互いに向かい
合う第３及び第４の稜線４３，４４を有する。側面１２
ｂに対する斜面１２ｃの傾斜角は、４つの側面１２ｂ全
てにわたって一定に設定される。そして、エッジ部４１
は、第１の稜線４２及び第２の稜線４５が含まれる平面
に対して面対称に形成される。この四角錘のエッジ部４
１がワーク１１に当接する刃となる。

【００２８】また、底面１２ａの角には、三角錐のエッ
ジ部４６…が形成される。三角錐のエッジ部４６…は、
斜面１２ｃ…同士が交わる第２の稜線４５と、斜面１２
ｃと底面１２ａとが交わる第６及び第７の稜線４７，４
８とを有する。この三角錐のエッジ部４６…もワーク１
１に当接する刃となる。

【００２９】図４は、エッジ部４１，４６でワーク１１
を凹ませた状態を示す（図中（Ａ）は四角錘のエッジ部
４１を示し、図中（Ｂ）は三角錐のエッジ部４６を示
す）。図中（Ａ）に示すように、四角錘のエッジ部４１
をワーク１１に当接し、エッジ部４１を振動すると、ワ
ーク１１には四角錘の凹み５０が形成される。エッジ部
４１の第１の稜線４２及び第２の稜線４５の開き角度α
は、第３の稜線４３及び第４の稜線４４の開き角度β
（略９０度、図５参照）よりも大きくされる。したがっ
て、凹み５０は、平面上、第１の稜線４２及び第２の稜
線４５に沿う方向に細長く形成される。また、凹み５０
の中心には、第１の稜線４２及び第２の稜線４５によっ
てセンターライン５１が形成される。凹み５０は、セン
ターライン５１を中心にして左右対称に形成される。エ
ッジ部４１は、移動機構２３によって、第１の稜線４２
及び第２の稜線４５が含まれる平面と平行なＸ方向に移
動される。なお、この実施形態では、第３の稜線４３及
び第４の稜線４４の開き角度は、９０度に設定されてい
るが、６０度、１２０度等、ワークの種類、ダイヤモン
ドの結晶方位に応じて種々設定される。

【００３０】図中（Ｂ）に示すように、三角錐のエッジ
部４６をワーク１１に当接し、エッジ部４６を振動する
と、ワーク１１には三角錐の凹み５２が形成される。エ
ッジ部４６は、移動機構２３によって、第２の稜線４５
が位置するＸ方向に移動される。

【００３１】図４中（Ａ）と（Ｂ）とを比較してわかる
ように、四角錘のエッジ部４１をワーク１１に当接した
場合は、三角錐のエッジ部４６をワーク１１に当接した
場合に比べ、凹み５０が水平方向に広がるのを抑え、且
つ凹み５０を垂直方向に深くすることができる。すなわ
ち、四角錘のエッジ部４１がワーク１１を押し付ける力
を、垂直方向へ深い凹みを形成する力として集中的に使
用することができる。したがって、四角錘のエッジ部４
１を使用すると、ワーク１１に深い垂直クラックを形成
し、且つワーク１１に水平クラックが発生するのを防止
することができる。

【００３２】図５は、ワーク１１に形成された垂直クラ
ック１４を示す。この図は、エッジ部４１を進行方向か
ら見た図である。エッジ部４１でワーク１１に凹み５０
を形成すると、凹み５０のセンターライン５１から鉛直
下方に向かって垂直クラック１４が生成される。

【００３３】上記スクライブ装置の使用方法を説明す
る。まず、図１に示すように、錘１８の質量およびスク
ライブ本体１７の質量を、ガリウム砒素、シリコン等の
ワーク１１の材料、および厚み等に合わせて決定する。

【００３４】次に、水平のテーブル１３にワーク１１を
載せ、ワーク１１を所定位置に位置決めする。カッタ１
２は、エッジ部４１がワーク１１に当接するようにアタ
ッチメント３９によって傾けられる。カッタ１２がワー
ク１１に載り上げると、カッタ１２からワーク１１に静
荷重が付与される。この静荷重がワーク１１に合わせて
略一定になるように、高さ調整機構２８によって浮上用
磁石２０ｂの高さを調整する。浮上用磁石２０ａ，２０
ｂを設けることによって、磁力による反発力の分だけ静
荷重が減じられる。静荷重を大きくしすぎると、ワーク
表面１１ａに水平クラックが発生してしまうことがあ
る。逆に、静荷重をあまりに小さくしすぎると、スクラ
イブ本体１７を振動させたとき、カッタ１２がワーク１
１から浮き上がり、カッタ１２がワーク１１に衝突し、
ワーク表面１１ａにダメージを与える。このため、静荷
重は、ワーク１１に合わせて慎重に決定される。

【００３５】所定の静荷重が得られたら、ピエゾアクチ
ュエータ３２，３２に高周波電界をかける。これによ
り、ピエゾアクチュエータ３２，３２が周期的に伸縮
し、エッジ部４１がワーク１１に凹み５０を形成する。
カッタ１２は、静荷重によってワーク１１に接触してい
るので、カッタ１２を振動すると、スクライブ本体１７
も振動する。スクライブ本体１７の振動に伴って、荷重
用磁石１９ａ，１９ｂの反発力によって浮いている錘１
８も振動する。したがって、一対の荷重用磁石１９ａ，
１９ｂ間の距離が変化することが少なく、一対の荷重用
磁石１９ａ，１９ｂの磁力の反発力が変動することもな
い。さらに、ワーク１１の板厚が変化したり、あるいは
ワーク１１がうねっていても、ワーク１１に追従して錘
１８が移動するので、このような場合でも磁力の反発力
が変動することがない。

【００３６】ベースプレート１５は、移動機構２３によ
って水平方向に移動される。これにより、エッジ部４１
がワーク１１の表面１１ａに沿って移動し、ワーク１１
に連続したスクライブ線が形成される。スクライブ線が
形成されたワーク１１は、テーブル１３から取り外さ
れ、図示しない破断装置により、スクライブ線に沿って
破断される。

【００３７】図６は、カッタ１２の底面図を示す。カッ
タ１２のエッジ部４１…は、使用により摩耗し、稜線近
傍が丸まる。エッジ部４１…が摩耗すると、ワーク１１
に凹み５０を形成することはできるが、凹み５０にくっ
きりしたセンターライン５１を形成することができなく
なる。したがって、ワーク１１に深い垂直クラック１４
を形成することができなくなる。垂直クラック１４を形
成するために、エッジ部４１の食い込み量を大きくとる
と、ワーク１１に水平クラックが生じてしまう。このた
め、エッジ部４１が摩耗すると、カッタ１２を回転し、
新たな尖っているエッジ部４１を刃として使用する必要
がある。本発明によれば、面取りすることで四角錘部の
エッジ部４１…（〜）を４箇所形成することがで
き、また三角錐部のエッジ部４６…（〜）を４箇所
形成することができるので、合計８箇所のエッジ部４１
…，４６…を形成することができる。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
多角形の底面と、側面とを有するスクライブ用カッタに
おいて、底面と側面との交わりの角に、底面の角近傍に
四角錘のエッジ部を形成するように面取りし、そして、
この四角錘のエッジ部をワークに当てたので、スクライ
ブ用カッタの底面の角近傍に、ワークの表面に当接する
複数の四角錘のエッジ部を形成することができる。ま
た、この四角錘のエッジ部をワークに食い込ませると、
従来の三角錐のエッジ部を食い込ませる場合に比べ、水
平方向への凹みを抑え、垂直方向への凹みを大きくとる
ことができる。したがって、ワークに深い垂直クラック
を形成し、且つワークに水平クラックが発生するのを防
止することができる。さらに、多角形の底面の角には従
来と同様に三角錘のエッジ部も形成される。したがっ
て、より多くの切り込み用のエッジ部をスクライブ用カ
ッタに形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態のスクライブ用カッタが組
み込まれるスクライブ装置を示す側面図。

【図２】上記図１のスクライブ装置のスクライブ本体の
垂直方向断面図。

【図３】スクライブ用カッタの底面側の斜視図。

【図４】スクライブ用カッタのエッジ部によって形成さ
れた凹みを示す図（図中（Ａ）は四角錘のエッジによっ
て形成された凹みを示し、図中（Ｂ）は三角錐のエッジ
によって形成された凹みを示す図）。

【図５】スクライブ用カッタのエッジ部によって形成さ
れた垂直クラックを示す断面図。

【図６】スクライブ用カッタの底面図。

【図７】従来のスクライブ用カッタの底面側の斜視図。

【図８】従来のスクライブ用カッタのエッジ部によって
形成された凹みを示す図。

【符号の説明】

１１ ワーク １２ａ 底面 １２ｂ 側面 １７ スクライブ本体（加振機構） ２３ 移動機構 ４１ 四角錘のエッジ部 ４２ 第１の稜線 ４５ 第２の稜線

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多角形の底面と、側面とを有し、 前記底面と側面との交わりの角に、前記底面の角近傍に
   四角錘のエッジ部を形成するように面取りがされ、 前記四角錘のエッジ部をワークに当てることを特徴とす
   るスクライブ用カッタ。
2. 【請求項２】 前記四角錘のエッジ部は、前記側面同士
   が交わる第１の稜線及びこの第１の稜線に向かい合う第
   ２の稜線が含まれる平面に対して、面対称に形成される
   ことを特徴とする請求項１に記載のスクライブ用カッ
   タ。
3. 【請求項３】 前記スクライブ用カッタは、前記底面が
   四角形となる四角柱あるいは四角錘をなし、 前記エッジ部は、四角形の前記底面の角近傍に４箇所形
   成されることを特徴とする請求項１又は２に記載のスク
   ライブ用カッタ。
4. 【請求項４】 多角形の底面と、側面とを有し、 前記底面と側面との交わりの角に、前記底面の角近傍に
   四角錘のエッジ部を形成するように面取りがされるスク
   ライブ用カッタと、 前記スクライブ用カッタを振動する加振機構と、 前記スクライブ用カッタをワーク面に沿って移動する移
   動機構と、 を備えることを特徴とするスクライブ装置。
5. 【請求項５】 前記移動機構が前記スクライブ用カッタ
   を移動する方向は、前記四角錘のエッジ部における、前
   記側面同士が交わる第１の稜線及びこの第１の稜線に向
   かい合う第２の稜線が含まれる平面と平行であることを
   特徴とする請求項４に記載のスクライブ装置。