JP2002131010A - 粉末焼結体の高さ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 面倒な調整作業を必要とせず、しかも高い精
度で姿勢の正誤を検査できる粉末焼結体の高さ検査装置
を提供する。 【解決手段】 上下方向に駆動される検出台５０と、降
下時に検出台５０を停止位置にて停止する停止手段と、
検出台５０に上下方向に移動自在にそれぞれ設けられた
検出子６０および基準検出子７０と、検出子６０に対す
る基準検出子７０の上下方向の相対位置を検出する相対
位置検出センサＲとを備えた構成とした。ここで、相対
位置検出センサＲは、基準検出子７０に固定された位置
指標板８０と、位置指標体８０と上下方向で対向するよ
うに検出子６０に固定された位置検出センサ８１とを備
えた構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ターンテーブル上
の粉末焼結体の高さを検査する粉末焼結体の高さ検査装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転するターンテーブル上に粉末焼結体
を載置して粉末焼結体を矯正する際、粉末焼結体がター
ンテーブル上で反転、あるいは傾いたりした状態にない
かどうか、ターンテーブル上での粉末焼結体の姿勢があ
らかじめ検査される。粉末焼結体は、多くは端面に凸部
が形成された形状であり、したがって、粉末焼結体がタ
ーンテーブル上で反転などしている場合には、この凸部
の高さの分だけターンテーブルからの上端面の高さが変
化する。ターンテーブル上の粉末焼結体の姿勢を検査す
るため、この上端面の高さが正しいかどうかを検査する
ことが行われている。

【０００３】粉末焼結体の高さを検査するために、例え
ば図６に示すような、粉末焼結体の高さ検査装置Ｂ（以
後、単に検査装置Ｂと称す。）が用いられている。この
高さ検査装置Ｂは、図示されぬ駆動機構によって上下方
向に駆動される検出台１００と、降下時に検出台１００
を調整可能な所定の停止位置にて停止させる図示されぬ
停止手段と、検出台１００に対し上下方向に移動自在、
かつ下方にバネ２２０等で付勢されて検出台１００に設
けられた検出子２００とを備えている。検出台１００
は、上下方向に駆動されるようガイドレール１１０に摺
動自在に設けられており、さらに、このガイドレール１
１０が高さ調整部１２０に固定されている。高さ調整部
１２０は支柱１３０が嵌合する貫通孔を備えており、こ
の支柱１３０に対し、上下方向に摺動自在、かつ軸回り
に回転自在に設けられている。高さ調整部１２０を支柱
１３０上で上下方向にスライドさせ、かつ支柱１３０の
軸周りで回転させた後、支柱１３０に固定することによ
り、検出台１００の基準高さ及び支柱１３０回りの向き
が調整されるようになっている。検出台１００の基準高
さと向きは、検出台１００の下降時に、検出子２００の
先端がターンテーブル（作業台）上の粉末焼結体Ｗの端
面部Ｈに当接し、かつ検出台１００の停止位置で、検出
子２００が上方に押し上げられるように調整されてい
る。一方、検出子２００は、略棒状の形状とされ、検出
台１００に固定された支持板２１０に摺動自在に挿通さ
れ、バネ２２０によって下方に付勢された状態で取り付
けられている。さらに、この検出子２００の上端には、
水平方向に隙間Ｓを有するスリット部２３０が設けられ
ている。さらに、検出台１００には、検出部３００が設
けられている。検出部３００は、水平方向に対向配置さ
れた光源３１０と、受光部３２０とを備えており、前記
検出子２００が粉末焼結体Ｗに当接して上に押し上げら
れると、スリット部２３０が入るような間隔が光源３１
０と受光部３２０との間に設けられている。この検出部
３００は、検出台１００上の任意の高さ位置に固定可能
であり、検出子２００が押し上げられる際、スリット部
２３０の隙間Ｓがちょうど光源３１０と受光部３２０の
間に位置するように調整され、検出台１００上に固定さ
れている。

【０００４】図６に示される検査装置Ｂは、ターンテー
ブル上の粉末焼結体Ｗが検査位置に移送されると、検出
台１００が停止位置に至るまで下降し、検出子２００の
先端が粉末焼結体Ｗの端面部Ｈに当接して検出子２００
が上方に押し上げられる。この時、スリット部２３０
が、検出部３００の光源３１０と受光部３２０との間に
入る。隙間Ｓが光源３１０と受光部３２０の間に位置す
るようにあらかじめ検出部３００の位置が調整されてい
るので、光源３１０から発せられる光は、隙間Ｓを通り
抜けて受光部３２０によって検出される。仮に、粉末焼
結体Ｗの表裏が反転していたりして正しい姿勢にないと
すると、粉末焼結体Ｗの高さは、例えば端面部Ｈ上に設
けられた凸部Ｔの分だけ高くなるので、隙間Ｓは光源３
１０と受光部３２０よりも高い位置にまで押し上げられ
てしまう。こうして、光源３１０から出た光がスリット
部２３０によって遮られるので、光は検出されない。こ
のように、検出信号の有無によって、粉末焼結体Ｗのタ
ーンテーブル上での姿勢の正誤が検査、判断される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
な構成の高さ検査装置Ｂは、以下のような欠点を有して
いた。すなわち、ターンテーブル上の粉末焼結体の種類
が変わると、それに応じて検出子２００の押し上げられ
る高さが変わる。この高さの変化は、例えば高さ調整部
１２０の支柱１３０に対する固定位置を変え、検出台１
００の基準高さが高くなるよう調整すれば小さくするこ
とができる。しかし、隙間Ｓの高さ位置も若干変わるか
ら、検出部３００の高さ位置も隙間Ｓの高さに合わせて
調整し直さなければならない。ところが実際には、受光
部３２０が光量の変化に敏感で、隙間Ｓに光が通るよう
に検出部３００を調整し、かつ光をうまく受光部３２０
で検出するように検出台１００上に固定するのは困難な
作業であり、粉末焼結体の種類が変わる毎に面倒な調整
作業を強いられていた。さらに、粉末焼結体Ｗに設けら
れる凸部の高さ寸法が小さくなると、反転した時に生じ
る高さの差が小さくなり、姿勢の正誤を検出しにくくな
るという問題があった。これは、光源３１０から発せら
れる大きいエミッタンスの光ビームを細くするため隙間
Ｓを狭くすると、回折の影響が出てビームが広がり、僅
かな高さの差を検出する程度に光ビームの幅を細く出来
ないこと、また、隙間Ｓの幅を狭くすればするほど光量
も減って受光部３２０の検出誤差も増えることなどに起
因しており、現在用いられている直径１ｍｍ程度の光源
及び受光部、幅０．５ｍｍ程度の隙間では、凸部の高さ
が１ｍｍを下回ると、粉末焼結体の姿勢の正誤の判別が
しにくくなっていた。こうして、粉末焼結体の姿勢を上
手く検査できない結果として、粉末焼結体の逆矯正を招
きやすいという問題があった。さらに、検出子２００が
粉末焼結体Ｗの端面部Ｈに一個所にしか当接しないた
め、当接面の平坦性、全体の捩じれ等、粉末焼結体Ｗ全
体に関係する寸法精度による高さの差を、粉末焼結体Ｗ
の誤った姿勢として誤認知しやすくなるという問題もあ
り、姿勢の正誤判断をより確実なものとする適切な技術
の開発が望まれていた。

【０００６】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、異なる高さを有する粉末焼結体を検査する
際、面倒な調整作業を必要としない粉末焼結体の高さ検
査装置を提供することにある。また、他の目的として
は、粉末焼結体の端面に形成される凸部の端面からの高
さ寸法が小さく、反転した時の高さの差が小さい場合で
も、姿勢の正誤を検出できる粉末焼結体の高さ検査装置
を提供することにある。また、他の目的としては、粉末
焼結体の全体にかかる高さの寸法精度に起因する姿勢の
誤判断を引き起こさない粉末焼結体の高さ検査装置を提
供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、上下方向に駆動される検出台と、降下時に前記検出
台を停止位置にて停止する停止手段と、前記検出台に上
下方向に移動自在に設けられた検出子とを備えてなり、
前記検出台の前記停止位置で、前記検出子が作業台上の
粉末焼結体に当接して上方に押し上げられるように構成
された粉末焼結体の高さ検査装置であって、前記検出子
および前記検出台のいずれか一方には、位置指標体が固
定され、前記位置指標体が固定されない他方には、前記
位置指標体と上下方向で対向するように位置検出センサ
が固定され、前記位置検出センサは、前記位置指標体ま
での距離を検出するように設けられていることを特徴と
する。

【０００８】このような構成としたことにより、検出台
が降下し、停止手段によって所定の停止位置にて停止さ
せられると、検出子が作業台上に載置された粉末焼結体
に当接して上方に押し上げられる。この時、検出子に固
定された位置指標体も上に押し上げられる。一方、位置
検出センサは検出台に位置指標体と上下方向で対向する
ように固定されており、位置指標体が上に押し上げられ
るとともに位置検出センサと位置指標体との間が離間す
る。粉末焼結体の正常な姿勢の時とそうでない時の位置
指標体と位置検出センサとの間の距離を比較することに
より、姿勢の正誤の判断を行う。例えば、正常な姿勢の
時の高さを零点に設定しておき、位置検出センサが示す
値が零であるかそうでないかによって、姿勢の正誤の判
断を行う。なお、位置検出センサと位置指標体との間の
距離が分かればよいので、位置検出センサが検出子に固
定され、位置指標体が検出台に固定される構成としても
よい。正常な姿勢の時にのみ信号が検出される従来の検
査装置と異なり、位置検出センサからは、位置指標体の
位置の信号が常に検出され、その指し示す値は連続して
いる。換言すれば、粉末焼結体の種類が変われば、正常
な姿勢の時の示す値が変化するだけである。粉末焼結体
の種類毎に新しい値を正常な姿勢の判断基準として採用
すれば、検出センサそのもの位置を調整し直す必要がな
い。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の粉末焼結体の高さ検査装置であって、 前記位置指標
体は、導電性を有する金属板体とされ、前記位置検出セ
ンサは、前記金属板体に渦電流を発生させて前記金属板
体までの距離を検出する渦電流近接センサとされている
ことを特徴とする。

【００１０】このような構成としたことにより、渦電流
近接センサが位置指標体である金属板体に渦電流を発生
させて金属板体までの距離を検出する。精度的には、例
えば、０．５〜１０ｍｍの範囲内で金属板体までの距離
を４〜６μｍの精度で検出することが可能である。した
がって、検出台が降下し、検出子が粉末焼結体に当接し
て上に押し上げられた状態で、金属板体と位置検出セン
サとの間の距離が５ｍｍ程度になるよう検出台の停止位
置等をあらかじめ設定しておくと、±５ｍｍの範囲内の
高さの異なる粉末焼結体の姿勢の正誤を４〜６μｍの精
度で判断できる。

【００１１】請求項３に記載の発明は、上下方向に駆動
される検出台と、降下時に前記検出台を停止位置にて停
止する停止手段と、前記検出台に上下方向に移動自在に
それぞれ設けられた第一の検出子および第二の検出子
と、前記第一の検出子に対する前記第二の検出子の上下
方向の相対位置を検出する相対位置検出センサとを備え
てなり、前記検出台の前記停止位置で、前記第一の検出
子および前記第二の検出子が作業台上の粉末焼結体の異
なる箇所に当接してそれぞれ上方に押し上げられるよう
に構成されていることを特徴とする。

【００１２】このような構成としたことにより、検出台
が降下し、停止手段によって所定の停止位置にて停止さ
せられると、第一の検出子と第二の検出子とがそれぞれ
作業台上に載置された粉末焼結体の異なる位置に当接し
て上方に押し上げられる。この時、例えば粉末焼結体が
段差を有するものであるとき、段差を有して高さの異な
る二つの箇所に第一の検出子と第二の検出子がそれぞれ
当接して、第一の検出子と第二の検出子との上下方向の
相対位置が変化する。この相対位置の変化を相対位置検
出センサで検出することにより、粉末焼結体の段差を直
接測定することができる。仮に、姿勢が正しくないと、
正常な段差が検出されず、誤姿勢と判断される。検出子
が一つしかなく、粉末焼結体の一点にのみ当接して高さ
を検査する場合、作業台上に載置される粉末焼結体の作
業台に載置される側の接触面の平坦性、さらには、全体
の形状の歪みや捩じれ等、全体にかかる寸法精度に起因
する高さのばらつきが検出される高さに全て反映され
る。これに比較して、測定点を二点とし、段差を直接検
査することで、全体の寸法誤差に起因する姿勢の誤判断
を防ぐことができる。

【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の粉末焼結体の高さ検査装置であって、 前記相対位置
検出センサは、前記第一の検出子に固定された位置指標
体と、前記位置指標体と上下方向で対向するように前記
第二の検出子に固定された位置検出センサとを備えてな
り、前記位置検出センサは、前記位置指標体までの距離
を検出するようになっていることを特徴とする。

【００１４】このような構成としたことにより、第一の
検出子と第二の検出子との間の相対位置の変化の検出
が、第一の検出子に固定された位置指標体と、第二の検
出子に固定された位置検出センサとの間の距離の測定に
より行われる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明による粉末焼結体の
高さ検査装置を図面に基づき説明する。

【００１６】[第一の実施の形態]図１〜３に、本発明に
係る粉末焼結体の高さ検査装置の第一の実施形態を示
す。図１において、粉末焼結体の高さ検査装置Ａ１（以
後、単に検査装置Ａ１と称す。）は、図示されぬ駆動機
構によって上下方向に駆動される検出台１０と、降下時
に検出台１０を調整可能な所定の停止位置にて停止させ
る図示されぬ停止手段と、検出台１０に対し上下方向に
移動自在に検出台１０に設けられた検出子２０とを備え
ている。

【００１７】検出台１０は、上下方向に駆動されるよう
ガイドレール１１に摺動自在に設けられており、さら
に、このガイドレール１１が高さ調整部１２に固定され
ている。高さ調整部１２は支柱１３が嵌合する貫通孔１
４を備えており、この支柱１３に対し、上下方向に摺動
自在、かつ軸回りに回転自在に設けられている。高さ調
整部１２を支柱１３上で上下方向にスライドさせ、かつ
支柱１３の軸周りで回転させた後、支柱１３に固定する
ことにより、検出台１０の基準高さ及び支柱１３回りの
向きが調整されるようになっている。検出台１０の基準
高さと向きは、検出台１０の下降時に、検出子２０の先
端がターンテーブル（作業台）上の粉末焼結体Ｗの端面
部Ｈに当接し、かつ検出台１０の停止位置で、検出子２
０が上方に押し上げられるように調整されている。

【００１８】一方、検出子２０は、略棒状の形状とさ
れ、やや径の大きい上部２５と、上部２５より径の細く
なっている下部２６とから構成され、下部２６の下端に
は、粉末焼結体Ｗに当接する先細とされた先端部２７が
形成されている。検出子２０の下部２６は、支持板２１
に設けられた挿通孔２３に摺動自在に挿通されている。
この時、上部２５は、挿通孔２３で係止されている。下
部２６には、バネ２２が外嵌され、さらにバネ支持円板
２４が取り付けられている。ここで、バネ支持円板２４
は、バネ２２の先端に当接してバネ２２を縮めた状態で
下部２６に取り付けられるため、検出子２０は、下方に
付勢された状態で支持板２１に取り付けられている。こ
の支持板２１が検出台１０に固定されることによって、
検出子２０は、検出台１０に対し上下方向に移動自在、
かつ下方に付勢されて検出台１０に設けられるようにな
っている。

【００１９】検出子２０の上端には、導電性を有する金
属からなる位置指標板３０（位置指標体）が取り付けら
れている。また、位置指標板３０と上下方向で対向する
ように位置検出センサ３１が、検出台１０に固定された
センサ取付板３２に取り付けられている。ここで、位置
検出センサ３１は、金属製の位置指標板３０に渦電流を
発生させて位置指標板３０までの距離を検出する渦電流
近接センサとされている。

【００２０】検査装置Ａ１主要部の上下方向の位置関係
が図２に示されている。支持板２１とセンサ取付板３２
とは、検出子２０が下方に付勢された状態で、位置指標
板３０と位置検出センサ３１の間に０．５ｍｍ程度の間
隙Ｃを有するように検出台１０に取り付けられている。
図３は、これら主要部の分解斜視図である。本実施例で
は、位置検出センサ３１の外径Ｄはおよそ２０ｍｍ程
度、これに対し、位置検出センサ３１が取り付けられる
センサ取付板３２の幅Ｌはおよそ４０ｍｍ程度、位置指
標板３０の幅Ｍはおよそ３０ｍｍ程度とされている。

【００２１】本実施の形態による粉末焼結体の高さ検査
装置Ａ１は、上述の構成を備えており、次にその作用を
説明する。検出台１０が降下し、図示されぬ停止手段に
よって所定の停止位置にて停止させられると、検出子２
０がターンテーブル上に載置された粉末焼結体Ｗの端面
部Ｈに当接して上方に押し上げられる。この時、検出子
２０に固定された位置指標板３０も上に押し上げられ
る。一方、位置検出センサ３１は検出台１０に位置指標
板３０と上下方向で対向するように固定されており、位
置指標板３０が上に押し上げられるとともに位置検出セ
ンサ３１と位置指標板３０との間が離間する。粉末焼結
体Ｗの正常な姿勢の時とそうでない時の位置指標板３０
と位置検出センサ３１との間の距離を比較することによ
り、姿勢の正誤の判断を行う。例えば、正常な姿勢の時
の高さを零点に設定しておき、位置検出センサ３１が示
す値が零であるかそうでないかによって、姿勢の正誤の
判断を行う。

【００２２】正常な姿勢の時にのみ信号が検出される従
来の検査装置と異なり、位置検出センサ３１からは、位
置指標板３０の位置の信号が常に検出され、その指し示
す値は連続している。換言すれば、粉末焼結体の種類が
変われば、正常な姿勢の時の示す値が変化するだけであ
る。粉末焼結体の種類毎に新しい値を正常な姿勢の判断
基準として採用すれば、位置検出センサ３１の位置を調
整し直す必要がない。

【００２３】位置指標板３０である金属板体に、渦電流
近接センサが渦電流を発生させて金属板体までの距離を
検出する。精度的には、例えば、０．５〜１０ｍｍの範
囲内で金属板体までの距離を４〜６μｍの精度で検出す
ることが可能である。したがって、検出台１０が降下
し、検出子２０が粉末焼結体Ｗに当接して上に押し上げ
られた状態で、金属板体と位置検出センサとの間の距離
が５ｍｍ程度になるよう検出台１０の停止位置と支柱１
３に取り付ける高さ調整部１２の位置等をあらかじめ設
定しておくと、±５ｍｍの範囲内の高さの異なる粉末焼
結体の姿勢の正誤を４〜６μｍの精度で判断できる。

【００２４】上述のように本実施の形態によれば、粉末
焼結体の種類が変わっても、位置検出センサ３１の高さ
位置を調整し直す必要がない。また、高さの検査精度が
増すので、粉末焼結体の端面に設けられる凸部の高さが
１ｍｍ以下となった場合も反転などの粉末焼結体の誤姿
勢を検査、判断することができる。

【００２５】なお、上記の実施例では、位置指標板３０
を検出子２０に、位置検出センサ３１を検出台１０にそ
れぞれ設ける構成としたが、位置指標板３０を検出台１
０に、位置検出センサ３１を検出子２０に設ける構成と
してもよい。

【００２６】また、検出子２０の検出台１０に対する相
対移動距離を測定するものであればなんでもよく、検出
子２０に位置を指し示す位置指標体を設け、検出台１０
に位置指標体の移動距離を測定する手段を設ける構成と
してもよい。

【００２７】また、上記の実施例では、検出子２０を下
方に付勢する手段として、バネ２２を用いる構成とした
が、他の弾性体として例えばゴムのようなものを用いて
もよい。あるいは、圧縮空気、油圧等を用いて下方に付
勢する構成としてもよい。

【００２８】[第二の実施の形態]図４および図５に、本
発明に係る粉末焼結体の高さ検査装置の第二の実施形態
を示す。図において、粉末焼結体の高さ検査装置Ａ２
（以後、検査装置Ａ２と称す。）は、図示されぬ駆動機
構によって上下方向に駆動される検出台５０と、降下時
に検出台５０を調整可能な所定の停止位置にて停止する
図示されぬ停止手段と、検出台５０に上下方向に移動自
在にそれぞれ設けられた検出子６０（第二の検出子）お
よび基準検出子７０（第一の検出子）と、検出子６０に
対する基準検出子７０の上下方向の相対位置を検出する
相対位置検出センサＲとを備えてなり、検出台５０の前
記停止位置で、検出子６０および基準検出子７０がター
ンテーブル（作業台）上の粉末焼結体Ｗの段差の存在す
る異なる二箇所、例えば、端面部Ｈ、および端面部Ｈに
設けられた凸部Ｔの上端面にそれぞれ当接して上方に押
し上げられるように構成されている。

【００２９】検出台５０は、上下方向に駆動されるよう
ガイドレール５１に摺動自在に設けられている。この検
出台５０に、検出子６０を装着するための支持板６１、
及び基準検出子７０を装着するための支持板７１がそれ
ぞれ固定されている。

【００３０】検出子６０は、板状体の上下両端が折曲さ
れて水平になっている略断面コ字状の検出子本体６５
と、上端に設けられたバネ軸６７と、下端に設けられた
粉末焼結体Ｗに当接する先細とされた下部６６とから概
略構成されている。検出子本体６５は、支持板６１に上
下方向に摺動自在に取り付けられた摺動部６３に固定さ
れており、検出台５０に対し検出子６０が上下方向に移
送自在となるよう設けられている。さらに、バネ軸６７
は、上端がバネ支持板６４によって支持されたバネ６２
に嵌入されており、このバネ６２が縮められた状態で、
摺動部６３が支持板６１に取り付けられ、検出子６０
は、下方に付勢された状態で検出台５０に設けられてい
る。なお、支持板６１の下端には、検出子６０の下降時
に摺動部６３が当接して位置決めされる高さ調整ネジ６
８が螺合されており、この高さ調整ネジ６８のねじ込み
の深さによって、摺動部６３が当接する高さ位置が調整
されるようになっている。

【００３１】基準検出子７０は、検出子６０と略同様の
構成とされ、板体の上下両端が折曲されて水平になって
いる略断面コ字状の検出子本体７５と、上端に設けられ
たバネ軸７７と、下端に設けられた粉末焼結体Ｗに当接
する下部７６とから概略構成されており、下部７６の下
端には、ヘッド部７６ａが装着され、粉末焼結体Ｗに面
接触するよう下面に当接面７６ｂが形成されている。検
出子本体７５は、支持板７１に上下方向に摺動自在に取
り付けられた摺動部７３に固定されており、検出台５０
に対し基準検出子７０が上下方向に移送自在となるよう
設けられている。さらに、バネ軸７７は、上端がバネ支
持板７４によって支持されたバネ７２に嵌入されてお
り、このバネ７２が縮められた状態で、摺動部７３が支
持板７１に取り付けられ、基準検出子７０は、下方に付
勢された状態で検出台５０に設けられている。なお、支
持板７１の下端には、基準検出子７０の下降時に摺動部
７３が当接して位置決めされる高さ調整ネジ７８が螺合
されており、この高さ調整ネジ７８のねじ込みの深さに
よって、摺動部７３が当接する高さ位置が調整されるよ
うになっている。

【００３２】バネ軸６７上端は、バネ支持板６４に摺動
自在に挿通されて上方に突き出しており、このバネ軸６
７上端には、図４紙面奥行き方向奥に向けて、また、図
５右方向に向けて延在するセンサ取付板８２が設けられ
ており、このセンサ取り付け板８２のバネ支持板６４に
取り付けられる反対の側に位置検出センサ８１が設けら
れている。位置検出センサ８１は、金属板に渦電流を発
生させて金属板までの距離を検出する渦電流近接センサ
とされており、前記センサ取付板８２の上側に取り付け
られている。

【００３３】バネ軸７７上端は、バネ支持板７４に摺動
自在に挿通されて上方に突き出しており、このバネ軸７
７上端には、図４紙面奥行き方向奥側に向けて、また、
図５中右方向に向けて延在する位置指標板８０（位置指
標体）が取り付けられ、前記位置検出センサ８１と上下
方向で対向するように設けられている。ここで、位置指
標板８０は、導電性を有する金属板体よりなり、渦電流
近接センサとされた位置検出センサ８１により渦電流が
発生させられるようになっている。さらに、位置指標板
８０には、センサ調整ネジ８３が設けられている。この
ように検出子６０と基準検出子７０とに設けられた位置
指標板８０と位置検出センサ８１とによって相対位置検
出センサＲが構成されている。

【００３４】本実施の形態による粉末焼結体の高さ検査
装置Ａ２は、上述の構成を備えており、次にその作用を
説明する。検出台５０は、例えば圧縮空気、あるいはモ
ーター等の駆動機構によって降下し、図示されぬ、例え
ば前記駆動機構の制御などの停止手段によって所定の停
止位置に停止させられる。この時、検出子６０と基準検
出子７０とがターンテーブル上に載置された粉末焼結体
Ｗの異なる位置、例えば検出子６０の下部６６に形成さ
れた先細の先端が端面部Ｈに、基準検出子７０のヘッド
部７６ａ下面に形成された当接面７６ｂが凸部Ｔ上端面
にそれぞれ当接して上方に押し上げられる。ここで、検
出台５０が上方の待機位置にある時、検出子６０と基準
検出子７０とは、共に下方に付勢されており、高さ調整
ネジ６８および高さ調整ネジ７８に当接して押し付けら
れた状態となっている。ここで、この高さ調整ネジ６８
と高さ調整ネジ７８とをそれぞれ調整し、検出台５０が
停止位置まで下降した時、検出子６０と基準検出子７０
の先端が粉末焼結体Ｗに当接して若干押し上げられるよ
うに予め調整しておく。検出子６０と基準検出子７０と
が正しく載置された粉末焼結体Ｗに当接して押し上げら
れた際、相対位置検出センサＲによって検出子６０に対
する基準検出子７０との距離を測定し、例えば、この時
の値を零点に取るなどして、正常姿勢の時の基準の値を
決定する。この値が正しく示されるか否かによって、粉
末焼結体Ｗの姿勢が正しいかそうでないかを検査して判
別する。例えば、粉末焼結体Ｗが図に示す如く端面に段
差を有するものであるとき、検出子６０が端面部Ｈに、
また基準検出子７０が凸部Ｔの上端面に当接してその段
差ｈ１を基準段差ｈ１として検出する一方、仮に粉末焼
結体Ｗが反転し、検出子６０と基準検出子７０の相対位
置の変化から段差ｈ２が検出されたとすると、粉末焼結
体Ｗの姿勢が正しくないことが判別される。この段差の
差は、位置検出センサ８１として、例えば本実施例のよ
うに渦電流検出センサを用いれば、±５ｍｍの範囲で４
〜６μｍの精度で判別が可能である。

【００３５】このように、図４及び図５に示される検査
装置Ａ２によれば、粉末焼結体Ｗの姿勢のより確実な検
査ができる。すなわち、検出子が一つしかなく、粉末焼
結体Ｗの一点にのみ当接して高さを検査する場合、ター
ンテーブル上に載置される粉末焼結体Ｗの載置される側
の接触面の平坦性、さらには、全体の形状の歪みや捩じ
れ等、全体にかかる寸法精度に起因する高さのばらつき
が、検出される高さに全て反映される。これに比較し
て、測定点を二点とし、段差を直接検査することで、全
体の寸法誤差に起因する姿勢の誤判断を防ぐことができ
る。また、検出子６０および基準検出子７０の絶対位置
ではなく、これらの間の相対的な距離の変化のみを測定
することによって、調整の手間を少なくすることができ
る。さらに、渦電流近接センサを用いているので、精度
の高い検査が可能である。

【００３６】なお、上記の実施例では、検出子６０に位
置検出センサ８１を基準検出子７０に位置指標板８０を
設ける構成としたが、これらの取り付け方を逆にしても
よい。また、検出子６０と、基準検出子７０との間に信
号送受信装置を取り付け、正しい姿勢で正しい段差の時
のみ信号が検出されるような構成としてもよい。この場
合、粉末焼結体の種類が変わるごとに、正しい姿勢の時
に信号が検出されるように、信号送受信装置を調整し直
す必要があるが、段差を直接検査する利点は生かすこと
ができる。

【００３７】

【発明の効果】本発明は、以下に記載されるような効果
を奏する。以上説明したように、請求項１に記載の発明
によれば、検出子と検出台のそれぞれに、位置指標体と
位置検出センサとがそれぞれ上下方向に対向するように
固定され、位置検出センサが位置指標体までの距離を検
出するように構成したので、粉末焼結体の正常な姿勢の
時とそうでない時の位置指標体と位置検出センサとの間
の距離を比較することにより、姿勢の正誤の判断を行う
ことができる。異なる種類の粉末焼結体を検査する場合
でも正常姿勢の基準値を変えればよく、位置検出センサ
の位置を粉末焼結体の種類毎に調整し直す必要がない。

【００３８】また、請求項２に記載の発明によれば、位
置指標体を導電性を有する金属板体とするとともに、位
置検出センサを渦電流近接センサとしたので、例えば±
５ｍｍ程度の範囲にある高さの異なる粉末焼結体の姿勢
の正誤を４〜６μｍの精度で判断できる。

【００３９】また、請求項３に記載の発明によれば、上
下方向に駆動され、下降時に所定の停止位置で停止させ
ることのできる検出台に、第一の検出子と第二の検出子
を設け、検出台が停止位置にあるとき、これら第一の検
出子と第二の検出子が粉末焼結体の段差のある異なる二
個所に当接して上に押し上げられ、相対位置の変化から
姿勢の正誤を判断するので、粉末焼結体の全体の寸法精
度にかかる高さの違いに起因する姿勢の誤判断を防ぐこ
とができる。

【００４０】また、請求項４に記載の発明によれば、位
置検出センサが位置指標体までの距離を検出するように
構成したので、粉末焼結体の正常な姿勢の時とそうでな
い時の位置指標体と位置検出センサとの間の距離を比較
することにより、姿勢の正誤の判断を行うことができ
る。異なる段差を有する異なる種類の粉末焼結体を検査
する場合でも正常姿勢の基準値を変えればよく、位置検
出センサの位置を調整する必要がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第一の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の一例を示す斜視図であ
る。

【図２】本発明に係る第一の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の主要部を正面から見た
図である。

【図３】本発明に係る第一の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の主要部の分解斜視図で
ある。

【図４】本発明に係る第二の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の正面図である。

【図５】本発明に係る第二の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の側面図である。

【図６】従来の粉末焼結体の高さ検査装置の斜視図であ
る。

【符号の説明】

Ａ１，Ａ２・・・粉末焼結体の高さ検査装置 Ｒ・・・相対位置検出センサ １０，５０・・・検出台 ２０・・・検出子 ３０，８０・・・位置指標板（位置指標体） ３１，８１・・・位置検出センサ ６０・・・検出子（第二の検出子） ７０・・・基準検出子（第一の検出子）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下方向に駆動される検出台と、降下時
   に前記検出台を停止位置にて停止する停止手段と、前記
   検出台に上下方向に移動自在に設けられた検出子とを備
   えてなり、前記検出台の前記停止位置で、前記検出子が
   作業台上の粉末焼結体に当接して上方に押し上げられる
   ように構成された粉末焼結体の高さ検査装置であって、 前記検出子および前記検出台のいずれか一方には、位置
   指標体が固定され、前記位置指標体が固定されない他方
   には、前記位置指標体と上下方向で対向するように位置
   検出センサが固定され、前記位置検出センサは、前記位
   置指標体までの距離を検出するように設けられているこ
   とを特徴とする粉末焼結体の高さ検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の粉末焼結体の高さ検査
   装置であって、 前記位置指標体は、導電性を有する金属板体とされ、前
   記位置検出センサは、前記金属板体に渦電流を発生させ
   て前記金属板体までの距離を検出する渦電流近接センサ
   とされていることを特徴とする粉末焼結体の高さ検査装
   置。
3. 【請求項３】 上下方向に駆動される検出台と、降下時
   に前記検出台を停止位置にて停止する停止手段と、前記
   検出台に上下方向に移動自在にそれぞれ設けられた第一
   の検出子および第二の検出子と、前記第一の検出子に対
   する前記第二の検出子の上下方向の相対位置を検出する
   相対位置検出センサとを備えてなり、前記検出台の前記
   停止位置で、前記第一の検出子および前記第二の検出子
   が作業台上の粉末焼結体の異なる箇所に当接してそれぞ
   れ上方に押し上げられるように構成されていることを特
   徴とする粉末焼結体の高さ検査装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の粉末焼結体の高さ検査
   装置であって、 前記相対位置検出センサは、前記第一の検出子に固定さ
   れた位置指標体と、前記位置指標体と上下方向で対向す
   るように前記第二の検出子に固定された位置検出センサ
   とを備えてなり、前記位置検出センサは、前記位置指標
   体までの距離を検出するようになっていることを特徴と
   する粉末焼結体の高さ検査装置。