JP2002130276A - 磁気軸受装置の校正・調整方法及び校正・調整システム - Google Patents
磁気軸受装置の校正・調整方法及び校正・調整システムInfo
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- JP2002130276A JP2002130276A JP2000323957A JP2000323957A JP2002130276A JP 2002130276 A JP2002130276 A JP 2002130276A JP 2000323957 A JP2000323957 A JP 2000323957A JP 2000323957 A JP2000323957 A JP 2000323957A JP 2002130276 A JP2002130276 A JP 2002130276A
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ローカルの磁気軸受装置において、その装置
内で異常を検知した時、ユーザーが自動校正・自動診断
を選択した時、予め時間・日間隔を設定した時、自己診
断機能を兼ね備えた自立形磁気軸受装置によって必要と
判断された時などに、ローカル側から基準器と交信し、
校正・調整ができる磁気軸受装置の校正・調整方法及び
校正・調整システムを提供すること。 【解決手段】 回転体の位置を検出する変位センサー及
び回転体を磁気的に非接触支持する磁気軸受を有する回
転機械１０と、変位センサーからの信号に基づいて磁気
軸受を制御する制御手段２０を具備する磁気軸受装置の
校正・調整システムであって、制御手段２０と離れた位
置に配置した基準器３０と、制御手段２０と基準器３０
を通信回線Ｌで接続するための通信手段とを備え、制御
手段２０は、校正・調整の要否を自己判定する判定器又
は校正・調整開始をする入力器を備えると共に、判定器
又は入力器の信号に基づき、基準器との間で校正・調整
に必要なデータの交信を行う機能を備えた。
内で異常を検知した時、ユーザーが自動校正・自動診断
を選択した時、予め時間・日間隔を設定した時、自己診
断機能を兼ね備えた自立形磁気軸受装置によって必要と
判断された時などに、ローカル側から基準器と交信し、
校正・調整ができる磁気軸受装置の校正・調整方法及び
校正・調整システムを提供すること。 【解決手段】 回転体の位置を検出する変位センサー及
び回転体を磁気的に非接触支持する磁気軸受を有する回
転機械１０と、変位センサーからの信号に基づいて磁気
軸受を制御する制御手段２０を具備する磁気軸受装置の
校正・調整システムであって、制御手段２０と離れた位
置に配置した基準器３０と、制御手段２０と基準器３０
を通信回線Ｌで接続するための通信手段とを備え、制御
手段２０は、校正・調整の要否を自己判定する判定器又
は校正・調整開始をする入力器を備えると共に、判定器
又は入力器の信号に基づき、基準器との間で校正・調整
に必要なデータの交信を行う機能を備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は回転体を磁気力で非
接触で支持する磁気軸受装置の校正・調整を行う磁気軸
受装置の校正・調整方法及び校正・調整システムに関す
るものである。
接触で支持する磁気軸受装置の校正・調整を行う磁気軸
受装置の校正・調整方法及び校正・調整システムに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造分野においても、数多くの磁
気軸受を採用した製品が使用されている。例えば、高速
回転領域では、ａ）ターボモレキュラポンプ、ｂ）ニュ
ートロンチョッパ等、中速回転領域では、ｃ）回転円盤
のポンプ効果を積極的に利用したＣＶＤ（薄膜気相成
長）装置、ｄ）基板回転乾燥装置、ｅ）ガス循環ファン
等、低速回転領域では、ｆ）基板の受ける放射エネルギ
ーを均一化する目的で回転を採用したＣＶＤ装置やＲＴ
Ｐ装置（急速熱処理装置）、ｇ）磁気浮上基板搬送装置
などの機構がある。
気軸受を採用した製品が使用されている。例えば、高速
回転領域では、ａ）ターボモレキュラポンプ、ｂ）ニュ
ートロンチョッパ等、中速回転領域では、ｃ）回転円盤
のポンプ効果を積極的に利用したＣＶＤ（薄膜気相成
長）装置、ｄ）基板回転乾燥装置、ｅ）ガス循環ファン
等、低速回転領域では、ｆ）基板の受ける放射エネルギ
ーを均一化する目的で回転を採用したＣＶＤ装置やＲＴ
Ｐ装置（急速熱処理装置）、ｇ）磁気浮上基板搬送装置
などの機構がある。
【０００３】制御形磁気軸受では、被支持体の特性変化
や変位センサーなどの構成機器の特性変化によって制御
状態が不安定になることがある。上記ａ）〜ｇ）の例で
も被支持体がその装置目的から変化する（交換・改良変
更・積み降ろしなど）。また、ｃ）、ｄ）、ｆ）、ｇ）
では想定される変化範囲を許容できるように構成する必
要がある。
や変位センサーなどの構成機器の特性変化によって制御
状態が不安定になることがある。上記ａ）〜ｇ）の例で
も被支持体がその装置目的から変化する（交換・改良変
更・積み降ろしなど）。また、ｃ）、ｄ）、ｆ）、ｇ）
では想定される変化範囲を許容できるように構成する必
要がある。
【０００４】また、変位センサーなどの構成機器の劣化
は，腐蝕性ガスや高温環境の影響によって多少なりとも
発生することがある。特に変位センサー機能の感度（ゲ
イン）やオフセット量の変化は、制御状態への影響が大
きい。このような問題に対する対策として、例えば下記
〜のような様々なアイデアを含む技術が開発・公開
されている。
は，腐蝕性ガスや高温環境の影響によって多少なりとも
発生することがある。特に変位センサー機能の感度（ゲ
イン）やオフセット量の変化は、制御状態への影響が大
きい。このような問題に対する対策として、例えば下記
〜のような様々なアイデアを含む技術が開発・公開
されている。
【０００５】磁気浮上装置に関するものとして、特開
平６−１６５３１５号公報には、移動する被支持体と固
定監視装置との間で、非接触で通信装置により情報の送
受を行う、遠隔操作・遠隔監視方法に関する技術が開示
されている。
平６−１６５３１５号公報には、移動する被支持体と固
定監視装置との間で、非接触で通信装置により情報の送
受を行う、遠隔操作・遠隔監視方法に関する技術が開示
されている。
【０００６】上記ｃ）のＣＶＤ装置やｆ）のＣＶＤ装
置やＲＴＰ装置として、特開平９−５３１８１号公報に
は、自己診断機能と学習機能を兼ね備えた自立形磁気軸
受装置に関する技術が開示されている。ここでは、制御
対象諸元などを収納（記憶）したデータベースと連携す
る構成と通信機能を介して上位制御部と連携した構成を
具備している。
置やＲＴＰ装置として、特開平９−５３１８１号公報に
は、自己診断機能と学習機能を兼ね備えた自立形磁気軸
受装置に関する技術が開示されている。ここでは、制御
対象諸元などを収納（記憶）したデータベースと連携す
る構成と通信機能を介して上位制御部と連携した構成を
具備している。
【０００７】ターボモレキュラポンプなどの磁気軸受
装置向けとして、特開平９−１７７７８１号公報には、
電話回線を利用し、磁気軸受メーカからユーザ装置を遠
隔監視する方法に関する技術が開示されている。
装置向けとして、特開平９−１７７７８１号公報には、
電話回線を利用し、磁気軸受メーカからユーザ装置を遠
隔監視する方法に関する技術が開示されている。
【０００８】磁気軸受スピンドルなどの磁気軸受装置
向けとして、特開２０００−９７２３６号公報には上記
と同様な技術が開示されている。
向けとして、特開２０００−９７２３６号公報には上記
と同様な技術が開示されている。
【０００９】上記の特開平９−５３１８１号公報の技
術を除く他の方法は、１つの監視側が複数多数の磁気軸
受装置を監視・調整する考え方である。今日の、１つの
半導体製造工場をとっても、磁気軸受採用機器は、数百
〜数千台使用されている。そのため、監視側が桁違いに
多い磁気軸受機器を監視・調整するシステムでは、その
目的と効果が十分に発揮できなく、正常な機器も交信し
て確認しないと済まないため、この時間も無視できない
ほどの無駄な時間となる。
術を除く他の方法は、１つの監視側が複数多数の磁気軸
受装置を監視・調整する考え方である。今日の、１つの
半導体製造工場をとっても、磁気軸受採用機器は、数百
〜数千台使用されている。そのため、監視側が桁違いに
多い磁気軸受機器を監視・調整するシステムでは、その
目的と効果が十分に発揮できなく、正常な機器も交信し
て確認しないと済まないため、この時間も無視できない
ほどの無駄な時間となる。
【００１０】また、ユーザ側からすると、磁気軸受採用
機器を使いたいときに、ユーザが選択的に磁気軸受装置
の自動校正・自動調整を実現したいという要求もある
が、従来の技術ではこのような要求に応えることができ
ない。
機器を使いたいときに、ユーザが選択的に磁気軸受装置
の自動校正・自動調整を実現したいという要求もある
が、従来の技術ではこのような要求に応えることができ
ない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、ローカルの磁気軸受装置におい
て、その装置内で異常を検知した時、ユーザーが自動校
正・自動診断を選択した時、予め時間・日間隔を設定し
た時、自己診断機能を兼ね備えた自立形磁気軸受装置に
よって必要と判断された時などに、ローカル側から基準
器と交信し、校正・調整ができる磁気軸受装置の校正・
調整方法及び校正・調整システムを提供することを目的
とする。
みてなされたもので、ローカルの磁気軸受装置におい
て、その装置内で異常を検知した時、ユーザーが自動校
正・自動診断を選択した時、予め時間・日間隔を設定し
た時、自己診断機能を兼ね備えた自立形磁気軸受装置に
よって必要と判断された時などに、ローカル側から基準
器と交信し、校正・調整ができる磁気軸受装置の校正・
調整方法及び校正・調整システムを提供することを目的
とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、回転体の位置を検出する変位
センサー及び回転体を磁気的に非接触支持する磁気軸受
を有する回転機械と、変位センサーからの信号に基づい
て磁気軸受を制御する制御手段を具備する磁気軸受装置
の校正・調整方法であって、制御手段は磁気軸受の校正
・調整を行う場合、離れた位置に配置された基準器に対
して通信回線を介して交信要求を出し、該基準器との間
で該校正・調整に必要なデータの交信を行い、該交信で
得たデータに基づいて校正・調整を行うことを特徴とす
る。
請求項１に記載の発明は、回転体の位置を検出する変位
センサー及び回転体を磁気的に非接触支持する磁気軸受
を有する回転機械と、変位センサーからの信号に基づい
て磁気軸受を制御する制御手段を具備する磁気軸受装置
の校正・調整方法であって、制御手段は磁気軸受の校正
・調整を行う場合、離れた位置に配置された基準器に対
して通信回線を介して交信要求を出し、該基準器との間
で該校正・調整に必要なデータの交信を行い、該交信で
得たデータに基づいて校正・調整を行うことを特徴とす
る。
【００１３】上記のように制御手段は磁気軸受の校正・
調整を行う場合、通信回線を介して該校正・調整に必要
なデータの交信を行うので、従来のように監視側で多数
の磁気軸受を監視・調整する場合と異なり、ユーザ側が
磁気軸受装置の校正・調整を行いたいときに選択的に磁
気軸受装置の校正・調整を行うことができる。
調整を行う場合、通信回線を介して該校正・調整に必要
なデータの交信を行うので、従来のように監視側で多数
の磁気軸受を監視・調整する場合と異なり、ユーザ側が
磁気軸受装置の校正・調整を行いたいときに選択的に磁
気軸受装置の校正・調整を行うことができる。
【００１４】請求項２に記載の発明は、回転体の位置を
検出する変位センサー及び回転体を磁気的に非接触支持
する磁気軸受を有する回転機械と、変位センサーからの
信号に基づいて磁気軸受を制御する制御手段を具備する
磁気軸受装置の校正・調整システムであって、制御手段
と離れた位置に配置した基準器と、制御手段と基準器を
通信回線で接続するための通信手段とを備え、制御手段
は、校正・調整の要否を自己判定する判定器又は校正・
調整開始をする入力器を備えると共に、判定器又は入力
器の信号に基づき、基準器との間で校正・調整に必要な
データの交信を行う機能を備えたことを特徴する。
検出する変位センサー及び回転体を磁気的に非接触支持
する磁気軸受を有する回転機械と、変位センサーからの
信号に基づいて磁気軸受を制御する制御手段を具備する
磁気軸受装置の校正・調整システムであって、制御手段
と離れた位置に配置した基準器と、制御手段と基準器を
通信回線で接続するための通信手段とを備え、制御手段
は、校正・調整の要否を自己判定する判定器又は校正・
調整開始をする入力器を備えると共に、判定器又は入力
器の信号に基づき、基準器との間で校正・調整に必要な
データの交信を行う機能を備えたことを特徴する。
【００１５】上記のように制御手段は、判定器が校正・
調整が必要と判定し信号を発したとき又は入力器が校正
・調整の信号を発した時、該信号に基づき基準器との間
で校正・調整に必要なデータの交信を行うので、従来の
ように監視側で多数の磁気軸受を監視・調整するシステ
ムとは異なり、ユーザ側からの要求により、磁気軸受装
置の校正・調整を行うことができる。また、正常な磁気
軸受との交信・確認が省略できるので、時間の無駄がな
い。
調整が必要と判定し信号を発したとき又は入力器が校正
・調整の信号を発した時、該信号に基づき基準器との間
で校正・調整に必要なデータの交信を行うので、従来の
ように監視側で多数の磁気軸受を監視・調整するシステ
ムとは異なり、ユーザ側からの要求により、磁気軸受装
置の校正・調整を行うことができる。また、正常な磁気
軸受との交信・確認が省略できるので、時間の無駄がな
い。
【００１６】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の磁気軸受装置の校正・調整システムにおいて、基準器
はメーカ側又は各ユーザ単位に配置することを特徴とす
る。
の磁気軸受装置の校正・調整システムにおいて、基準器
はメーカ側又は各ユーザ単位に配置することを特徴とす
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１は本発明に係る磁気軸受装
置の校正・調整システムの構成を示す図である。軸受に
磁気軸受を採用した回転機械１０はケーブルＣＢによっ
て制御手段２０に接続され、各制御手段２０は該制御手
段２０から離れた位置に配置された基準器３０に通信回
線Ｌを介して接続されている。
面に基づいて説明する。図１は本発明に係る磁気軸受装
置の校正・調整システムの構成を示す図である。軸受に
磁気軸受を採用した回転機械１０はケーブルＣＢによっ
て制御手段２０に接続され、各制御手段２０は該制御手
段２０から離れた位置に配置された基準器３０に通信回
線Ｌを介して接続されている。
【００１８】各制御手段２０は制御部２１、校正・調整
判定器２２及び交信器２３を具備し、基準器３０は交信
器３１及び基準部３２を具備する。各制御手段２０の交
信器２３と基準器３０の交信器３１の間では通信回線
（公衆電話回線、専用通信回線、私用通信回線）を介し
てデータの送受ができるようになっている。
判定器２２及び交信器２３を具備し、基準器３０は交信
器３１及び基準部３２を具備する。各制御手段２０の交
信器２３と基準器３０の交信器３１の間では通信回線
（公衆電話回線、専用通信回線、私用通信回線）を介し
てデータの送受ができるようになっている。
【００１９】図２は回転機械１０の構成例を示す図であ
る。回転機械１０は回転体１１を具備し、該回転体１１
は上ラジアル磁気軸受１２、下ラジアル磁気軸受１３、
アキシャル磁気軸受１４により磁気的に非接触で支持さ
れている。回転体１１はモータ１６の回転力で回転する
ようになっている。回転体１１の位置は上ラジアルセン
サー１７、下ラジアルセンサー１８、アキシャルセンサ
ー１９で検知するようになっている。
る。回転機械１０は回転体１１を具備し、該回転体１１
は上ラジアル磁気軸受１２、下ラジアル磁気軸受１３、
アキシャル磁気軸受１４により磁気的に非接触で支持さ
れている。回転体１１はモータ１６の回転力で回転する
ようになっている。回転体１１の位置は上ラジアルセン
サー１７、下ラジアルセンサー１８、アキシャルセンサ
ー１９で検知するようになっている。
【００２０】上ラジアルセンサー１７、下ラジアルセン
サー１８、アキシャルセンサー１９で検知された回転体
１１の位置の検知信号は、制御手段２０の制御部２１に
伝送され、制御部２１は該検知信号に基づき上ラジアル
磁気軸受１２、下ラジアル磁気軸受１３及びアキシャル
磁気軸受１４を制御して回転体１１を磁気浮上支持する
と共に、モータ１６により回転体１１を回転させる。
サー１８、アキシャルセンサー１９で検知された回転体
１１の位置の検知信号は、制御手段２０の制御部２１に
伝送され、制御部２１は該検知信号に基づき上ラジアル
磁気軸受１２、下ラジアル磁気軸受１３及びアキシャル
磁気軸受１４を制御して回転体１１を磁気浮上支持する
と共に、モータ１６により回転体１１を回転させる。
【００２１】図３は制御部２１の構成例を示す図であ
る。制御部２１は制御部２１−１、推定器／検出器部２
１−２、データベース部２１−３等から構成される。制
御部２１−１は相対変位量、回転パルス数等の信号に基
づいて制御対象である回転体１１に各軸の制御力を与え
る。即ち、制御部２１−１は磁気軸受ローカルコントロ
ール、回転ローカルコントロール、位置決めローカルコ
ントロール等の制御ユニットから構成される。推定器／
検出器部２１−２は、相対変位量、回転パルス数等の信
号の他に、ステータ側に設けられた加速度検出器からの
加速度信号に基づき、回転体１１の不釣合い量を推定／
検出する。
る。制御部２１は制御部２１−１、推定器／検出器部２
１−２、データベース部２１−３等から構成される。制
御部２１−１は相対変位量、回転パルス数等の信号に基
づいて制御対象である回転体１１に各軸の制御力を与え
る。即ち、制御部２１−１は磁気軸受ローカルコントロ
ール、回転ローカルコントロール、位置決めローカルコ
ントロール等の制御ユニットから構成される。推定器／
検出器部２１−２は、相対変位量、回転パルス数等の信
号の他に、ステータ側に設けられた加速度検出器からの
加速度信号に基づき、回転体１１の不釣合い量を推定／
検出する。
【００２２】上記推定／検出された結果は、制御部２１
−１に伝達され、回転体制御パラメータが変更され、制
御対象にフィードバックされる。また、推定器／検出器
部２１−２には各磁気軸受制御電流、モータ制御電流等
の信号も入力される。そして、この回転不釣合い量の推
定／検出に当っては、データベース部２１−３が参照さ
れる。また、制御部２１−１は校正・調整判定器２２に
接続され、回転体の不釣合い量等が使用の継続に耐え得
るか否かの判定を行う。
−１に伝達され、回転体制御パラメータが変更され、制
御対象にフィードバックされる。また、推定器／検出器
部２１−２には各磁気軸受制御電流、モータ制御電流等
の信号も入力される。そして、この回転不釣合い量の推
定／検出に当っては、データベース部２１−３が参照さ
れる。また、制御部２１−１は校正・調整判定器２２に
接続され、回転体の不釣合い量等が使用の継続に耐え得
るか否かの判定を行う。
【００２３】図４は、推定器／検出器部２１−２の構成
例を示す。推定器／検出器部２１−２には、入力信号と
して各軸の相対変位量、回転パルス数（回転数）、ステ
ータ側加速度、各軸制御電流、モータ制御電流、各軸偏
差、回転数偏差等の諸元が入力される。そして推定／検
出する項目としては、質量変化分、慣性モーメント（Ｉ
ｄ，Ｉｐ）、制御剛性、不釣合い量、回転トルク、固有
振動数、磁気軸受の各軸周波数特性等が入力信号に基づ
いて演算され求められる。そして出力信号として磁気軸
受制御定数、不釣合い量補償制御定数・変数、モータ制
御定数、曲げ振動補償定数等の信号が制御部２１−１に
出力される。
例を示す。推定器／検出器部２１−２には、入力信号と
して各軸の相対変位量、回転パルス数（回転数）、ステ
ータ側加速度、各軸制御電流、モータ制御電流、各軸偏
差、回転数偏差等の諸元が入力される。そして推定／検
出する項目としては、質量変化分、慣性モーメント（Ｉ
ｄ，Ｉｐ）、制御剛性、不釣合い量、回転トルク、固有
振動数、磁気軸受の各軸周波数特性等が入力信号に基づ
いて演算され求められる。そして出力信号として磁気軸
受制御定数、不釣合い量補償制御定数・変数、モータ制
御定数、曲げ振動補償定数等の信号が制御部２１−１に
出力される。
【００２４】図５は、データベース部２１−３の構成例
を示す図である。データベース部２１−３は、回転体質
量、回転体慣性モーメント、磁気軸受定数、モータ定
数、回転体基準諸元等の諸機能を備えている。
を示す図である。データベース部２１−３は、回転体質
量、回転体慣性モーメント、磁気軸受定数、モータ定
数、回転体基準諸元等の諸機能を備えている。
【００２５】図６は、校正・調整判定器２２の構成例を
示す図である。校正・調整判定器２２は、上ラジアルセ
ンサー１７、下ラジアルセンサー１８及びアキシャルセ
ンサー１９で検出した回転体１１の相対変位量、回転数
等の信号から回転の危険度により回転継続の可否を判定
する。この判定はタッチダウンまでの余裕度を算出する
ことによって行う。また、磁気軸受定数、不釣合い量推
定値、不釣合い量補償定数・変数から不釣合い量補償の
可否を判定する。また、固有振動数から固有振動数補償
の可否を判定する。また、回転数偏差、回転トルク、モ
ータ定数（ハード的定数）、モータ制御定数から、回転
数制御の可否を判定する。以上の判定から、回転体の使
用を継続して行なうことができるか否か、即ち校正・調
整が必要か否かを判定する。
示す図である。校正・調整判定器２２は、上ラジアルセ
ンサー１７、下ラジアルセンサー１８及びアキシャルセ
ンサー１９で検出した回転体１１の相対変位量、回転数
等の信号から回転の危険度により回転継続の可否を判定
する。この判定はタッチダウンまでの余裕度を算出する
ことによって行う。また、磁気軸受定数、不釣合い量推
定値、不釣合い量補償定数・変数から不釣合い量補償の
可否を判定する。また、固有振動数から固有振動数補償
の可否を判定する。また、回転数偏差、回転トルク、モ
ータ定数（ハード的定数）、モータ制御定数から、回転
数制御の可否を判定する。以上の判定から、回転体の使
用を継続して行なうことができるか否か、即ち校正・調
整が必要か否かを判定する。
【００２６】上記校正・調整判定器２２が校正・調整を
必要と判断した場合、交信器２３に出力信号を出力する
ことにより、該交信器２３は通信回線Ｌを介して基準器
３０の交信器３１に交信要求を出し、該基準器３０の基
準部３２との間で該校正・調整に必要なデータの交信を
行う。制御部２１はこの交信で得たデータに基づいて校
正・調整を行う。
必要と判断した場合、交信器２３に出力信号を出力する
ことにより、該交信器２３は通信回線Ｌを介して基準器
３０の交信器３１に交信要求を出し、該基準器３０の基
準部３２との間で該校正・調整に必要なデータの交信を
行う。制御部２１はこの交信で得たデータに基づいて校
正・調整を行う。
【００２７】なお、上記例では、制御手段２０は、校正
・調整の要否を自己判定する校正・調整判定器２２を設
け、この校正・調整判定器２２が校正・調整を必要と判
断した場合に基準器３０と交信するようにしたが、校正
・調整判定器２２に替え、校正・調整開始をする入力器
を設け、該入力器から任意に又は定期的（予め時間・日
間隔を設定）に基準器３０に交信要求を出力するように
してもよい。
・調整の要否を自己判定する校正・調整判定器２２を設
け、この校正・調整判定器２２が校正・調整を必要と判
断した場合に基準器３０と交信するようにしたが、校正
・調整判定器２２に替え、校正・調整開始をする入力器
を設け、該入力器から任意に又は定期的（予め時間・日
間隔を設定）に基準器３０に交信要求を出力するように
してもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上、説明したように各請求項に記載の
発明によれば下記の優れた効果が得られる。
発明によれば下記の優れた効果が得られる。
【００２９】請求項１に記載の発明によれば、制御手段
は磁気軸受の校正・調整を行う場合、通信回線を介して
該校正・調整に必要なデータの交信を行うので、従来の
ように監視側で多数の磁気軸受を監視・調整する場合と
異なり、ユーザ側が磁気軸受装置の校正・調整を行いた
いときに選択的に磁気軸受装置の校正・調整を行うこと
ができる。
は磁気軸受の校正・調整を行う場合、通信回線を介して
該校正・調整に必要なデータの交信を行うので、従来の
ように監視側で多数の磁気軸受を監視・調整する場合と
異なり、ユーザ側が磁気軸受装置の校正・調整を行いた
いときに選択的に磁気軸受装置の校正・調整を行うこと
ができる。
【００３０】請求項２及び３に記載の発明によれば、上
記のように制御手段は、判定器が校正・調整が必要と判
定し信号を発したとき又は入力器が校正・調整の信号を
発した時、該信号に基づき基準器との間で校正・調整に
必要なデータの交信を行うので、従来のように監視側で
多数の磁気軸受を監視・調整するシステムとは異なり、
ユーザ側からの要求により、磁気軸受装置の校正・調整
を行うことができる。また、正常な磁気軸受との交信・
確認が省略できるので、時間の無駄がない。
記のように制御手段は、判定器が校正・調整が必要と判
定し信号を発したとき又は入力器が校正・調整の信号を
発した時、該信号に基づき基準器との間で校正・調整に
必要なデータの交信を行うので、従来のように監視側で
多数の磁気軸受を監視・調整するシステムとは異なり、
ユーザ側からの要求により、磁気軸受装置の校正・調整
を行うことができる。また、正常な磁気軸受との交信・
確認が省略できるので、時間の無駄がない。
【図１】本発明に係る磁気軸受装置の校正・調整システ
ムの構成を示す図である。
ムの構成を示す図である。
【図２】磁気軸受装置で浮上支持される回転機械の構成
例を示す図である。
例を示す図である。
【図３】本発明に係る磁気軸受装置の校正・調整システ
ムの制御部の構成例を示す図である。
ムの制御部の構成例を示す図である。
【図４】本発明に係る磁気軸受装置の校正・調整システ
ムの推定器／検出器部の構成例を示す図である。
ムの推定器／検出器部の構成例を示す図である。
【図５】本発明に係る磁気軸受装置の校正・調整システ
ムのデータベース部の構成例を示す図である。
ムのデータベース部の構成例を示す図である。
【図６】本発明に係る磁気軸受装置の校正・調整システ
ムの校正・調整判定器の構成例を示す図である。
ムの校正・調整判定器の構成例を示す図である。
１０ 回転機械 ２０ 制御手段 ２１ 制御部 ２２ 校正・調整判定器 ２３ 交信器 ３０ 基準器 ３１ 交信器 ３２ 基準部 ＣＢ ケーブル Ｌ 通信回線
Claims (3)
- 【請求項１】 回転体の位置を検出する変位センサー及
び前記回転体を磁気的に非接触支持する磁気軸受を有す
る回転機械と、前記変位センサーからの信号に基づいて
磁気軸受を制御する制御手段を具備する磁気軸受装置の
校正・調整方法であって、 前記制御手段は磁気軸受の校正・調整を行う場合、離れ
た位置に配置された基準器に対して通信回線を介して交
信要求を出し、該基準器との間で該校正・調整に必要な
データの交信を行い、該交信で得たデータに基づいて校
正・調整を行うことを特徴とする磁気軸受装置の校正・
調整方法。 - 【請求項２】 回転体の位置を検出する変位センサー及
び前記回転体を磁気的に非接触支持する磁気軸受を有す
る回転機械と、前記変位センサーからの信号に基づいて
前記磁気軸受を制御する制御手段を具備する磁気軸受装
置の校正・調整システムであって、 前記制御手段と離れた位置に配置した基準器と、前記制
御手段と前記基準器を通信回線で接続するための通信手
段とを備え、 前記制御手段は、校正・調整の要否を自己判定する判定
器又は校正・調整開始をする入力器を備えると共に、前
記判定器又は入力器の信号に基づき、前記基準器との間
で校正・調整に必要なデータの交信を行う機能を備えた
ことを特徴とする磁気軸受装置の校正・調整システム。 - 【請求項３】 請求項２に記載の磁気軸受装置の校正・
調整システムにおいて、 前記基準器はメーカ側又は各ユーザ単位に配置すること
を特徴とする磁気軸受装置の校正・調整システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000323957A JP2002130276A (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 磁気軸受装置の校正・調整方法及び校正・調整システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000323957A JP2002130276A (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 磁気軸受装置の校正・調整方法及び校正・調整システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002130276A true JP2002130276A (ja) | 2002-05-09 |
Family
ID=18801561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000323957A Pending JP2002130276A (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 磁気軸受装置の校正・調整方法及び校正・調整システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002130276A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104061239A (zh) * | 2013-03-22 | 2014-09-24 | 里特捷克有限公司 | 用于校正主动磁轴承参数变化的方法以及主动磁轴承 |
| CN116772699A (zh) * | 2023-08-17 | 2023-09-19 | 苏州苏磁智能科技有限公司 | 磁悬浮电机特性的标定方法及装置 |
-
2000
- 2000-10-24 JP JP2000323957A patent/JP2002130276A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104061239A (zh) * | 2013-03-22 | 2014-09-24 | 里特捷克有限公司 | 用于校正主动磁轴承参数变化的方法以及主动磁轴承 |
| EP2781774A1 (en) * | 2013-03-22 | 2014-09-24 | Rieter CZ s.r.o. | Method for correcting variations of parameters of components and/or of assembly of active magnetic bearing and active magnetic bearing for bearing rotating working means |
| US9945417B2 (en) | 2013-03-22 | 2018-04-17 | Rieter Cz S.R.O. | Method for correcting variations of parameters of components and/or of assembly of active magnetic bearing and active magnetic bearing for bearing rotating working means |
| CN116772699A (zh) * | 2023-08-17 | 2023-09-19 | 苏州苏磁智能科技有限公司 | 磁悬浮电机特性的标定方法及装置 |
| CN116772699B (zh) * | 2023-08-17 | 2023-12-26 | 苏州苏磁智能科技有限公司 | 磁悬浮电机特性的标定方法及装置 |
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