JP2002116718A - Display - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性膜により複数
の液室を形成し、この液室内の液室液体を発熱部材の発
熱により加熱して前記液室内に気泡を発生させ、これに
より前記液室を膨張させて画素表示を行うディスプレイ
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a plurality of liquid chambers with an elastic film, and heating the liquid in the liquid chamber by the heat generated by a heat generating member to generate bubbles in the liquid chamber. The present invention relates to a display that performs pixel display by expanding a liquid chamber.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ディスプレイとしては、ＣＲＴ（Cathod
e Ray Tube）、液晶ディスプレイ、及びＰＤＰ（Plasma
Display Panel）等が周知であるが、これらは精細な画
像を表示できるものの、極めて高価で、重くて消費電力
が高く、体積も大きく、更にフレキシビリティもないた
め、例えば携帯端末の表示ディスプレイとしては使用で
きない。また、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）は軽
く比較的フレキシビリティもあるが、高価である。この
ため、従来、簡易に画像を表示できるディスプレイが要
望されている。2. Description of the Related Art A CRT (Cathod) is used as a display.
e Ray Tube), LCD, and PDP (Plasma
Display Panels) are well known, but they are capable of displaying fine images, but are extremely expensive, heavy, have high power consumption, are large in volume, and have no flexibility. I can not use it. LCDs (Liquid Crystal Displays) are light and relatively flexible, but expensive. For this reason, conventionally, a display capable of easily displaying an image has been demanded.
【０００３】そこで、本発明者等は、アクチュエータを
画像表示に利用できないかという着想をもち、この着想
に基づいて従来のアクチュエータを種々検討した。[0003] The inventors of the present invention have an idea of whether an actuator can be used for image display, and based on this idea, have studied various conventional actuators.
【０００４】従来のアクチュエータとしては、例えば圧
電素子を使用した圧電アクチュエータ又は静電力を利用
した静電アクチュエータが知られている。また、大きな
変位量が得られるアクチュエータとしてバイモルフがあ
る。このバイモルフは熱膨張率が異なる２枚の平板を重
ね合わせて一端部を固定すると、低温時と高温時とで屈
曲方向が変化することを利用したものである。[0004] As a conventional actuator, for example, a piezoelectric actuator using a piezoelectric element or an electrostatic actuator using electrostatic force is known. Further, there is a bimorph as an actuator capable of obtaining a large displacement. This bimorph utilizes the fact that when two flat plates having different coefficients of thermal expansion are overlapped and one end is fixed, the bending direction changes between a low temperature and a high temperature.
【０００５】しかしながら、これらの圧電アクチュエー
タ及び静電アクチュエータは発生する力も弱く、大電力
を必要とするという問題点がある。また、バイモルフ型
のアクチュエータは応答性が悪く、大きさが１００μｍ
程度のものでも、数十ｋＨｚが限界である。[0005] However, these piezoelectric actuators and electrostatic actuators have a problem that they generate a small force and require large power. In addition, the bimorph type actuator has poor response and is 100 μm in size.
Even if it is of the order of magnitude, tens of kHz is the limit.
【０００６】また、特開平５−３０６６７７号公報に
は、変位方向の指向性を強くして、大きな変位量を取り
出すことを目的として、自走機構、紙送り機構等に利用
されるアクチュエータが開示されている。このアクチュ
エータは、平板に薄肉となる部分を局部的に設け、この
薄肉部分を柔軟部（ヒンジ部）として前記平板が変形で
きるようにし、前記平板の片面側にて前記ヒンジ部を覆
う弾性膜を設け、この弾性膜の内部に液体を密封して液
室とし、この液室内に熱発生部材を設け、この熱発生部
材の発熱により液体中に泡を発生させ、この泡の圧力で
液室の体積を膨張させて前記ヒンジ部を屈曲させ、前記
平板を前記ヒンジ部で撓ませるように構成したものであ
る。これにより、大きな変位を取り出すことができる。Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-306677 discloses an actuator used for a self-propelled mechanism, a paper feed mechanism, and the like for the purpose of enhancing the directivity in the direction of displacement and extracting a large amount of displacement. Have been. In this actuator, a thin portion is locally provided on a flat plate, and the thin portion is formed as a flexible portion (hinge portion) so that the flat plate can be deformed. An elastic film covering the hinge portion on one side of the flat plate is provided. A liquid chamber is sealed inside the elastic film to form a liquid chamber, a heat generating member is provided in the liquid chamber, and bubbles are generated in the liquid by the heat generated by the heat generating member. The hinge is bent by expanding the volume, and the flat plate is bent by the hinge. Thereby, a large displacement can be taken out.
【０００７】しかしながら、特開平５−３０６６７７号
公報に記載されたアクチュエータは、柔軟部（ヒンジ
部）の屈曲により大きな変位量と、変位方向の指向性と
を得ているものの、その大きさが数ｍｍ以上になり、こ
れ以上の微細化が難しいという問題点がある。However, the actuator described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-306677 has a large displacement and a directivity in the displacement direction due to the bending of the flexible portion (hinge portion). mm or more, and there is a problem that further miniaturization is difficult.
【０００８】このように、これらのアクチュエータは、
主として大きな変位を取り出すことを目的としている。
これは、これらのアクチュエータが紙送り機構（特開平
５−３０６６７７号公報）等に利用することを前提とし
ているためであり、本発明者等の着想のように、微細化
が要求されるディスプレイとして上述の従来のアクチュ
エータを利用することは不可能であった。Thus, these actuators are:
Its main purpose is to extract large displacements.
This is based on the premise that these actuators are used for a paper feed mechanism (Japanese Patent Laid-Open No. 5-306677) or the like, and as a display that requires miniaturization as invented by the present inventors. It was not possible to use the above-mentioned conventional actuator.
【０００９】而して、アクチュエータを使用したディス
プレイとして、従来、触覚ディスプレイ（肌で触れて感
じるディスプレイ）及び静電アクチュエータを使用した
ディスプレイ（特開平４−１９９０８４号公報）があ
る。また、アクチュエータではないが、機能性ゲルの変
形を利用したディスプレイ（特開平９−１６００８１号
公報）も提案されている。Conventionally, as displays using an actuator, there are a tactile display (a display touching the skin) and a display using an electrostatic actuator (JP-A-4-199084). In addition, a display utilizing a deformation of a functional gel, which is not an actuator (JP-A-9-160081), has also been proposed.
【００１０】このようなアクチュエータを使用するディ
スプレイでは、特に液晶に対して、完全反射型で高コン
トラスト表示、つまり、紙の白に近い表示ができる可能
性があり、また、コスト面でも安い。In a display using such an actuator, there is a possibility that a full reflection type, particularly a liquid crystal, can be displayed with high contrast, that is, a display close to white on paper, and the cost is low.
【００１１】触覚ディスプレイは、触覚を利用し、ヒュ
ーマンインターフェイス又は福祉を目的に開発されたも
のである。この場合、画素としては、ソレノイドの他
に、アクチュエータであるＰＺＴ等の圧電素子を使用し
たものがある。触覚ディスプレイにおいて、アクチュエ
ータが圧電素子の場合、高周波に追従できるため、応答
速度は速い。The tactile display utilizes the tactile sense and has been developed for human interface or welfare. In this case, some pixels use a piezoelectric element such as PZT as an actuator in addition to the solenoid. In the tactile display, when the actuator is a piezoelectric element, the actuator can follow a high frequency, so that the response speed is high.
【００１２】また、静電アクチュエータを使用したディ
スプレイは、例えば特開平４−１９９０８４号公報に記
載されているようなフィルム状の抵抗体を静電気的に滑
らせ、画素を表示するタイプである。A display using an electrostatic actuator is of a type in which pixels are displayed by electrostatically sliding a film-shaped resistor as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-199084.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、触覚デ
ィスプレイで、アクチュエータが圧電素子である場合、
板状の素子であるため、マトリクス状に配置するには、
大きな空間が必要であり、微細化には不向きであるとい
う問題点がある。However, in a tactile display, when the actuator is a piezoelectric element,
Since these are plate-shaped elements, to arrange them in a matrix,
There is a problem that a large space is required, which is not suitable for miniaturization.
【００１４】また、特開平４−１９９０８４号公報に記
載されたディスプレイは、駆動電圧が±５００Ｖと高く
なるという問題点がある。Further, the display described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-199084 has a problem that the driving voltage is as high as ± 500 V.
【００１５】上述のいずれのアクチュエータを利用した
ディスプレイにおいても、製造プロセスが複雑且つ高価
であり、また特殊な材料（機能性ゲル）を使用すること
から十分なコストパフォーマンスが得られないという虞
がある。In any of the displays using any of the above-described actuators, the manufacturing process is complicated and expensive, and there is a possibility that sufficient cost performance cannot be obtained because a special material (functional gel) is used. .
【００１６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、動作部分を小さくして微細化が可能である
と共に、応答速度が早いアクチュエータを組み込んだデ
ィスプレイを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a display which incorporates an actuator which can be miniaturized by reducing an operation portion and has a high response speed. .
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】本発明に係るディスプレ
イは、相互に対向するように配置された第１及び第２の
板材と、前記第１の板材における前記第２の板材との対
向面に重ねられ前記第１の板材との間で複数個の液室を
形成する弾性膜と、前記液室内に配置され通電発熱する
発熱部材と、前記液室内に封入された液室液体と、前記
第２の板材と前記弾性膜との間に充填された充填液体
と、を有し、前記発熱部材の発熱により前記液室液体が
加熱されて気泡が発生し、前記弾性膜が膨張して前記第
２の板材に接触することを特徴とする。A display according to the present invention comprises first and second plate members disposed so as to face each other, and a surface of the first plate member facing the second plate member. An elastic film that is stacked and forms a plurality of liquid chambers with the first plate member, a heating member that is disposed in the liquid chamber and generates heat when energized, a liquid chamber liquid sealed in the liquid chamber, And a filling liquid filled between the plate member and the elastic film. The liquid chamber liquid is heated by the heat generated by the heat generating member to generate bubbles, and the elastic film expands to expand the second liquid. It is characterized in that it comes into contact with the second plate material.
【００１８】また、本発明に係る他のディスプレイは、
相互に対向するように配置された第１及び第２の板材
と、前記第１の板材における前記第２の板材との対向面
に重ねられ前記第１の板材との間で複数個の第１の液室
を形成する第１の弾性膜と、前記第１の液室内に配置さ
れ通電発熱する第１の発熱部材と、前記第１の液室内に
封入された第１液室液体と、前記第２の板材における前
記第１の板材との対向面に重ねられ前記第２の板材との
間で複数個の第２の液室を形成する第２の弾性膜と、前
記第２の液室内に配置され通電発熱する第２の発熱部材
と、前記第２の液室内に封入された第２の液室液体と、
前記第１の弾性膜と前記第２の弾性膜との間に充填され
た充填液体と、を有し、前記第１及び第２の液室は相互
に整合する位置に設けられ、相互に整合する位置の前記
第１及び第２の発熱部材の発熱により前記第１及び第２
の液室液体が加熱されて気泡が発生し、前記第１及び第
２の弾性膜が同時に膨張して相互に接触することを特徴
とする。Further, another display according to the present invention comprises:
First and second plate members arranged so as to face each other, and a plurality of first plates between the first plate member and the first plate member which is overlapped on a surface of the first plate member facing the second plate member. A first elastic film that forms a liquid chamber of the first type, a first heat generating member that is disposed in the first liquid chamber and generates heat, and a first liquid chamber liquid sealed in the first liquid chamber; A second elastic film superposed on a surface of the second plate member facing the first plate member and forming a plurality of second liquid chambers with the second plate member; and the second liquid chamber. A second heat generating member disposed in the second liquid chamber and configured to generate heat, and a second liquid chamber liquid sealed in the second liquid chamber;
A filling liquid filled between the first elastic film and the second elastic film, wherein the first and second liquid chambers are provided at positions that match each other, and match each other. The first and second heat generating members generate heat in the first and second heat generating members.
The liquid in the liquid chamber is heated to generate air bubbles, and the first and second elastic films expand simultaneously and come into contact with each other.
【００１９】これらのディスプレイにおいて、前記第１
及び第２の板材は透明であり、前記充填液体は有色液体
であるように構成することができる。In these displays, the first
And the second plate is transparent, and the filling liquid can be a colored liquid.
【００２０】また、請求項１又は２に記載の各液室は、
その周囲が夫々前記第１の板材又は第１の板材及び第２
の板材に密着していて前記液室液体は個別的に各液室内
に封入されているか、又は請求項１又は２に記載の各液
室は、夫々隣接する液室に連通しているように構成する
ことができる。Further, each of the liquid chambers according to claim 1 or 2 is
The surroundings are the first plate material or the first plate material and the second plate material, respectively.
So that the liquid chamber liquid is individually sealed in each liquid chamber or each liquid chamber according to claim 1 or 2 is communicated with an adjacent liquid chamber. Can be configured.
【００２１】本発明においては、発熱部材の発熱により
液室液体を加熱し、蒸発させて気泡とし、この気泡の圧
力により弾性膜で形成された液室を膨張させて、相手側
の板材（請求項１）又は液室（請求項２）に接触させ
る。このため、この液室の近傍では充填液体が存在しな
い。これにより、相手側の板材又は液室に接触した液室
と、膨張していない液室とで、光の透過状態が相違する
ため、これを利用して画素表示することができる。この
アクチュエータとしての液室の膨張及び伸縮の移動距離
は、第１及び第２の板材の相互間隔程度以下で足りるた
め、アクチュエータとしての液室自体は極めて小さくす
ることができる。また、弾性膜と板材との間に形成され
る液室には液体の出し入れがないので、装置全体の小型
化が容易である。In the present invention, the liquid in the liquid chamber is heated by the heat generated by the heat-generating member and evaporated to form bubbles, and the pressure of the bubbles expands the liquid chamber formed of the elastic film to form a plate material on the other side (claim). Item 1) or contact with the liquid chamber (claim 2). For this reason, the filling liquid does not exist near this liquid chamber. As a result, since the light transmission state of the liquid chamber that is in contact with the plate material or the liquid chamber on the other side is different from that of the liquid chamber that has not expanded, pixel display can be performed by using this. The movement distance of the expansion and contraction of the liquid chamber as the actuator is less than the distance between the first and second plate members, so that the liquid chamber itself as the actuator can be extremely small. Further, the liquid chamber formed between the elastic film and the plate member does not allow liquid to flow in and out, so that the size of the entire apparatus can be easily reduced.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例に係るディ
スプレイについて添付の図面を参照して詳細に説明す
る。図１は本発明の第１の実施例に係るディスプレイに
て使用されるアクチュエータを示す断面図、図２はアク
チュエータの製造工程を示す斜視図、図３はアクチュエ
ータにおける液室の配列を示す斜視図、図４はこのアク
チュエータを組み込んだ本実施例のディスプレイを示す
断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a display according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a sectional view showing an actuator used in a display according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a manufacturing process of the actuator, and FIG. 3 is a perspective view showing an arrangement of liquid chambers in the actuator. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a display of this embodiment incorporating the actuator.
【００２３】本実施例のディスプレイに使用されるアク
チュエータ１００は、例えばガラスからなる平板１の表
面に矩形の浅い凹部４ａを格子状（図１では１個のみ図
示する）に配列して複数個形成し、平板１の表面に弾性
膜３を重ね合わせて凹部４ａ以外の部分で弾性膜３と平
板１とを密着し、液密的に接合する。これにより、各凹
部４ａに液室４が形成される。そして、この弾性膜３の
接合の前に、図２（ａ）に示すように、各液室４内に通
電により抵抗発熱する発熱部材２が格納され、接合前又
は接合後に、各液室４内に液室液体５が封入される。各
液室４内に配置された発熱部材２は外部に電気的に導出
されており、外部の駆動装置により通電されて抵抗発熱
するようになっている。The actuator 100 used in the display of the present embodiment is formed by arranging a plurality of rectangular shallow recesses 4a in a grid pattern (only one is shown in FIG. 1) on the surface of a flat plate 1 made of glass, for example. Then, the elastic film 3 is superimposed on the surface of the flat plate 1 so that the elastic film 3 and the flat plate 1 are in close contact with each other at a portion other than the concave portion 4a, and liquid-tightly joined. Thereby, the liquid chamber 4 is formed in each recess 4a. Prior to the joining of the elastic film 3, as shown in FIG. 2A, the heat generating members 2 that generate resistance heat by energization are stored in the respective liquid chambers 4. The liquid chamber liquid 5 is sealed therein. The heat generating members 2 disposed in the respective liquid chambers 4 are electrically led out to the outside, and are energized by an external driving device to generate resistance heat.
【００２４】このように構成されたアクチュエータ１０
０は、アクチュエータの微細化を促進するため、半導体
装置の製造プロセスを利用して、製造することができ
る。即ち、先ず、図２（ａ）に示すように、例えば、ガ
ラスからなる平板１上に、スパッタリングにより、例え
ば膜厚が１μｍのＣｒ膜を成膜する。次に、Ｃｒ膜上に
レジスト膜を形成し、このレジスト膜を液室４の形状に
パターニングした後、レジスト膜をマスクとしてＣｒ膜
をエッチングし、液室４のパターンを有するＣｒマスク
を作製する。次に、ＡｒとＳＦ6との混合ガスを使用し
て平板１をプラズマエッチングし、例えば深さが１０乃
至１００μｍの液室４の凹部４ａとなる座ぐり孔を形成
する。The actuator 10 constructed as described above
0 can be manufactured using a semiconductor device manufacturing process in order to promote miniaturization of the actuator. That is, first, as shown in FIG. 2A, a Cr film having a thickness of, for example, 1 μm is formed on a flat plate 1 made of, for example, glass by sputtering. Next, a resist film is formed on the Cr film, the resist film is patterned into the shape of the liquid chamber 4, and then the Cr film is etched using the resist film as a mask to produce a Cr mask having the pattern of the liquid chamber 4. . Next, the flat plate 1 is plasma-etched using a mixed gas of Ar and SF 6 to form, for example, a counterbore hole having a depth of 10 to 100 μm and serving as the concave portion 4 a of the liquid chamber 4.
【００２５】次に、発熱部材２を高抵抗ポリシリコンに
より形成する。即ち、平板１上に、例えばＰをドーパン
トとして、発熱部材２（発熱体）となるｎ型ポリシリコ
ン膜を化学気相成長法（ＣＶＤ）により例えば４００ｎ
ｍの膜厚に形成する。次に、ｎ型ポリシリコン膜上にレ
ジスト膜を形成し、レジスト膜を発熱部材２の形状にパ
ターニングする。次に、このレジスト膜をマスクにし
て、ｎ型ポリシリコン膜をプラズマエッチングすること
により、発熱部材２を形成する。更に、液体５を液室４
に満たした後、例えばシリコンゴム又はポリイミドから
なる弾性膜３を平板１の全面に接着する。これにより、
弾性膜３と発熱部材２とを有する液室４が形成される。
この液室４に充填される液体５は、例えばフッ素系不活
性液体であるフロリナート（商標名）等の体積抵抗が低
い液体である。このような製造方法によって、アクチュ
エータの大きさは１００μｍ角の大きさに微細化するこ
とができ、アクチュエータの変位量が小さくなるもの
の、大幅にアクチュエータの応答速度を上げることが可
能になる。Next, the heat generating member 2 is formed of high-resistance polysilicon. That is, an n-type polysilicon film serving as a heat-generating member 2 (heat-generating body) is formed on the flat plate 1 by using, for example, P as a dopant by, for example,
m. Next, a resist film is formed on the n-type polysilicon film, and the resist film is patterned into the shape of the heat generating member 2. Next, using the resist film as a mask, the n-type polysilicon film is subjected to plasma etching to form the heat generating member 2. Further, the liquid 5 is transferred to the liquid chamber 4.
Then, an elastic film 3 made of, for example, silicon rubber or polyimide is adhered to the entire surface of the flat plate 1. This allows
A liquid chamber 4 having the elastic film 3 and the heat generating member 2 is formed.
The liquid 5 filled in the liquid chamber 4 is a liquid having a low volume resistance, such as Fluorinert (trade name), which is a fluorine-based inert liquid. According to such a manufacturing method, the size of the actuator can be reduced to a size of 100 μm square, and although the displacement amount of the actuator is reduced, the response speed of the actuator can be greatly increased.
【００２６】このように製造されたアクチュエータ１０
０は、発熱部材２から外部に配線を引き出し、電圧を印
加すると、発熱部材２が発熱して液室液体５に気泡６が
発生し、液室４内の体積が増えて弾性膜３が押し広げら
れる。液室液体５は液室４の外部に対して出し入れがな
く、密閉状態であるため、アクチュエータの小型化が可
能である。また、液室４に液室液体５に替えて液体より
も熱膨張率が高い熱膨張部材を封入することもできる。
これにより、熱容量が大きくなるので、アクチュエータ
は応答性が低くなり、更に駆動に必要な電力も大きくな
るが、大きな変位を得ることができる。なお、液室４に
充填される液室液体としては種々のものを適用できる。
また、液体よりも熱膨張率が高い熱膨張部材としては、
昇華する物質、例えばＣＯ2がある。この場合、加熱に
よって昇華物質が気化し液室４が膨張し、逆に冷却する
と昇華物質が凝縮し液室４が収縮する。このように、本
発明のディスプレイは、液室４内の物質を揮発させる
（気化させる）ことにより、体積膨張率が格段に増す現
象を利用したデバイスである。The actuator 10 manufactured as described above
0, when the wiring is drawn out from the heat generating member 2 to the outside and a voltage is applied, the heat generating member 2 generates heat and bubbles 6 are generated in the liquid chamber liquid 5, the volume in the liquid chamber 4 increases, and the elastic film 3 is pushed. Can be spread. Since the liquid chamber liquid 5 does not enter or leave the liquid chamber 4 and is in a sealed state, the actuator can be downsized. Further, in place of the liquid chamber liquid 5, a thermal expansion member having a higher thermal expansion coefficient than the liquid can be sealed in the liquid chamber 4.
As a result, the heat capacity is increased, so that the responsiveness of the actuator is lowered and the power required for driving is also increased, but a large displacement can be obtained. Various liquids can be applied to the liquid chamber liquid filled in the liquid chamber 4.
In addition, as a thermal expansion member having a higher thermal expansion coefficient than liquid,
Subliming substances, for example, a CO 2. In this case, the sublimation material is vaporized by heating, and the liquid chamber 4 expands. Conversely, when cooled, the sublimation substance condenses and the liquid chamber 4 contracts. As described above, the display of the present invention is a device that utilizes the phenomenon that the volume expansion coefficient is significantly increased by volatilizing (vaporizing) the substance in the liquid chamber 4.
【００２７】また、半導体製造工程を使用してアクチュ
エータ１００を製造することにより、アクチュエータを
一括して平板１上に形成することができ、図３に示すよ
うに、液室４が格子状に配列されたアクチュエータ（配
列体）を容易に製造することができる。Also, by manufacturing the actuator 100 using a semiconductor manufacturing process, the actuator can be formed on the flat plate 1 at a time, and the liquid chambers 4 are arranged in a grid as shown in FIG. The manufactured actuator (array) can be easily manufactured.
【００２８】このようにして、透明ガラスからなる平板
１上に液室４を格子状に配置した後、図４に示すよう
に、平板１に対して、同様に透明なガラス基板からなる
平板８を平行に配置し、平板８と弾性膜３との間に、充
填液体７を充填する。平板１と平板８との間の間隔はア
クチュエータ１００の変位量ΔＸ以下である。また、充
填液体７は色素により着色されており、有色の液体であ
る。After the liquid chambers 4 are arranged in a grid on the flat plate 1 made of transparent glass in this manner, as shown in FIG. Are arranged in parallel, and the filling liquid 7 is filled between the flat plate 8 and the elastic film 3. The distance between the flat plate 1 and the flat plate 8 is equal to or less than the displacement ΔX of the actuator 100. The filling liquid 7 is colored with a pigment and is a colored liquid.
【００２９】図４には、図示の便宜上、１個の液室４の
み図示されているが、前述の如く、液室４は格子状に複
数個配置されている。図６は行方向に３個、列方向に３
個の計９個の液室が配置されたディスプレイ１０１を示
す。従って、このディスプレイ１０１は９個の画素を有
する。FIG. 4 shows only one liquid chamber 4 for convenience of illustration, but as described above, a plurality of liquid chambers 4 are arranged in a grid. FIG. 6 shows three in the row direction and three in the column direction.
1 shows a display 101 on which nine liquid chambers are arranged. Therefore, this display 101 has nine pixels.
【００３０】このように構成された本実施例のディスプ
レイ１０１においては、図５に示すように、当初、全画
素において、有色液体７が存在するので、いずれの画素
も着色している。しかし、図６に示すように、選択され
た画素について（図示例は中央の画素）、発熱部材２に
通電して液室液体５を加熱すると、図４に示すように、
その液室４内で気泡６が発生し、その液室４の弾性膜３
が膨張して対向する平板８に接触する。そうすると、平
板１と弾性膜３との間に充填されていた液体７が取り除
かれるので、平板１の背面側から光が透過して、図６に
示すように、この選択された画素は白くなり、選択され
ていない画素との間でコントラストが得られる。In the display 101 of this embodiment having the above-described configuration, as shown in FIG. 5, since the colored liquid 7 is present in all the pixels at first, all the pixels are colored. However, as shown in FIG. 6, when the heating member 2 is energized to heat the liquid chamber liquid 5 for the selected pixel (the illustrated example is the center pixel), as shown in FIG.
Bubbles 6 are generated in the liquid chamber 4 and the elastic film 3 of the liquid chamber 4 is formed.
Expands and comes into contact with the opposing flat plate 8. Then, the liquid 7 filled between the flat plate 1 and the elastic film 3 is removed, so that light is transmitted from the back side of the flat plate 1 and the selected pixel becomes white as shown in FIG. , A contrast can be obtained with the non-selected pixels.
【００３１】本実施例においては、図１に示すアクチュ
エータ１００を使用して画像表示するので、画像を簡易
に表示できると共に、アクチュエータ１００は動作部分
が小さく、微細化が可能であり、応答性も速いため、十
分にディスプレイとして機能することができる。In this embodiment, since an image is displayed by using the actuator 100 shown in FIG. 1, the image can be displayed easily, and the actuator 100 has a small operating portion, can be miniaturized, and has a high responsiveness. Because it is fast, it can function sufficiently as a display.
【００３２】なお、図６に示す実施例は、画素数が９個
であり、文字の表示は困難であるが、図７に示すよう
に、この画素数を行方向が６個、列方向が６個の計３６
個とすると、例えば、アルファベットであれば、“Ａ”
等の文字を表示することができるようになる。In the embodiment shown in FIG. 6, the number of pixels is nine, and it is difficult to display characters. However, as shown in FIG. 7, the number of pixels is six in the row direction and in the column direction. 6 in total 36
For example, if it is an alphabet, "A"
Etc. can be displayed.
【００３３】本実施例のディスプレイ１０１は、液晶表
示装置と同様に、画素を行列方向に複数個配列し、映像
信号線と走査線とを設けて画素を駆動することにより、
映像を表示することも可能である。図８はこの本実施例
のディスプレイの駆動装置を示す図である。ディスプレ
イパネル２０には行方向に延びる複数本の走査線２２と
列方向に延びる複数本の信号線２１とが設けられてお
り、各走査線２２は走査線駆動回路２５により順次駆動
され、各信号線２１は信号線駆動回路２４により駆動さ
れる。パネル２０の外部には、電源、コントローラ（タ
イミング制御用ゲートアレイ）及びＤ／Ａコンバータ等
の外部インターフェイスボード２６が設けられており、
この外部インターフェイスボード２６から走査線駆動回
路２５及び信号線駆動回路２４が制御されるとともに、
信号線２１に所定の表示電圧が印加されるようになって
いる。外部インターフェイスボード２６には、パーソナ
ルコンピュータ等の端末本体から表示信号が入力され
る。In the display 101 of this embodiment, as in the liquid crystal display device, a plurality of pixels are arranged in the matrix direction, and the pixels are driven by providing video signal lines and scanning lines.
It is also possible to display an image. FIG. 8 is a diagram showing a display driving device according to this embodiment. The display panel 20 is provided with a plurality of scanning lines 22 extending in a row direction and a plurality of signal lines 21 extending in a column direction. Each scanning line 22 is sequentially driven by a scanning line driving circuit 25, The line 21 is driven by the signal line driving circuit 24. An external interface board 26 such as a power supply, a controller (a gate array for timing control), and a D / A converter is provided outside the panel 20.
The scanning line driving circuit 25 and the signal line driving circuit 24 are controlled by the external interface board 26,
A predetermined display voltage is applied to the signal line 21. A display signal is input to the external interface board 26 from a terminal body such as a personal computer.
【００３４】走査線２２と信号線２１とが交差する位置
には、夫々ＣＭＯＳ等のスイッチング素子２３が設けら
れており、このスイッチング素子２３の出力端１３に
は、各画素の発熱部材２が接続されている。発熱部材２
は高抵抗ポリシリコンからなり、通電することにより抵
抗発熱し、表示素子として機能する。スイッチング素子
２３を構成するＣＭＯＳは、例えば図９に示すように接
続されている。スイッチング素子２３のＰＭＯＳトラン
ジスタ１２及びＮＭＯＳトランジスタ１１は信号線２１
と接地との間に直列接続されており、走査線２２はスイ
ッチング素子２３の入力端１０を介してＰＭＯＳトンラ
ジスタ１２及びＮＭＯＳトランジスタ１１のゲートに接
続されている。また、ＰＭＯＳトランジスタ１２とＮＭ
ＯＳトランジスタ１１との間の接続点はスイッチング素
子２３の出力端１３を介して発熱部材２に接続されてい
る。発熱部材２の他端は接地されている。これにより、
走査線２２がロウになって、ＮＭＯＳトランジスタ１１
がオフし、ＰＭＯＳトランジスタ１２はオンになると、
発熱部材２に信号線２１から電流が供給される（スイッ
チング素子２３がオン）。これにより、発熱部材２は抵
抗発熱し、画像表示状態となる。一方、走査線２２がハ
イの場合は、ＰＭＯＳトランジスタ１２がオフし、ＮＭ
ＯＳトランジスタ１１がオンになるので（スイッチング
素子２３はオフ）、出力端１３は接地され、発熱部材２
には通電されない。これらの発熱部材２、スイッチング
素子２３、走査線駆動回路２５及び信号線駆動回路２４
はシリコン基板上又はガラス等の透明基板上に形成され
ている。A switching element 23 such as a CMOS is provided at each position where the scanning line 22 and the signal line 21 intersect. Have been. Heating member 2
Is made of high-resistance polysilicon, and generates heat by resistance when energized, and functions as a display element. The CMOS constituting the switching element 23 is connected, for example, as shown in FIG. The PMOS transistor 12 and the NMOS transistor 11 of the switching element 23 are connected to the signal line 21.
The scanning line 22 is connected to the gate of the PMOS transistor 12 and the gate of the NMOS transistor 11 via the input terminal 10 of the switching element 23. Also, the PMOS transistor 12 and the NM
A connection point with the OS transistor 11 is connected to the heat generating member 2 via the output terminal 13 of the switching element 23. The other end of the heat generating member 2 is grounded. This allows
When the scanning line 22 goes low, the NMOS transistor 11
Turns off and the PMOS transistor 12 turns on,
A current is supplied to the heating member 2 from the signal line 21 (the switching element 23 is turned on). As a result, the heat generating member 2 generates resistance heat and enters an image display state. On the other hand, when the scanning line 22 is high, the PMOS transistor 12 is turned off, and NM
Since the OS transistor 11 is turned on (the switching element 23 is turned off), the output terminal 13 is grounded, and the heat generating member 2 is turned on.
Is not energized. These heating member 2, switching element 23, scanning line drive circuit 25, and signal line drive circuit 24
Is formed on a silicon substrate or a transparent substrate such as glass.
【００３５】図１０（ａ）は信号線駆動回路を示す回路
図、（ｂ）は走査線駆動回路を示す回路図である。信号
線駆動回路２４は、アナログサンプル・ホールド型であ
り、外部インターフェイスボード２６からの転送クロッ
クとスタート信号とが入力されるシフトレジスタ２７
と、シフトレジスタ２７の出力がゲートに入力され、ビ
デオ信号がビデオバス２９を介して入力されるトランジ
スタからなるアナログスイッチ２８とが設けられてい
る。アナログスイッチ２８は信号線２１に接続されてい
る。この信号線駆動回路２４は、ビデオバス２９に供給
された電圧をアナログスイッチ２８の開閉により信号線
２１へ書き込み保持する。シフトレジスタ２７は、アナ
ログスイッチ２８の開閉を制御し、外部インターフェイ
スボード２６からのスタート信号と、転送クロックとを
受けてアナログスイッチ２８を順次開閉させて全信号線
２１にビデオ電圧を書き込む。サンプルホールド方式で
は隣接映像との干渉を防ぐために、信号線書き込み時間
とビデオ信号とアナログスイッチ開閉タイミングとを適
切に設計することが重要となる。FIG. 10A is a circuit diagram showing a signal line driving circuit, and FIG. 10B is a circuit diagram showing a scanning line driving circuit. The signal line drive circuit 24 is of an analog sample and hold type, and is provided with a shift register 27 to which a transfer clock and a start signal from the external interface board 26 are input.
And an analog switch 28 composed of a transistor to which an output of the shift register 27 is input to a gate and a video signal is input via a video bus 29. The analog switch 28 is connected to the signal line 21. The signal line drive circuit 24 writes and holds the voltage supplied to the video bus 29 to the signal line 21 by opening and closing the analog switch 28. The shift register 27 controls opening and closing of the analog switch 28, receives the start signal from the external interface board 26 and the transfer clock, sequentially opens and closes the analog switch 28, and writes the video voltage to all the signal lines 21. In the sample-and-hold method, it is important to appropriately design the signal line writing time, the video signal, and the analog switch opening / closing timing in order to prevent interference with an adjacent image.
【００３６】走査線駆動回路２５は、転送クロックとス
タート信号とが入力されるシフトレジスタ３０と、シフ
トレジスタ３０の出力が入力されるレベルシフタ３１
と、レベルシフタ３１の出力が入力されるバッファ３２
とが設けられている。バッファ３２は走査線２２に接続
されている。走査線駆動回路２５では走査線２２を１水
平期間（全信号線２１にビデオ電圧を書き込む周期）毎
に走査し、信号線２１に印加された電圧を画素に書き込
ませる。外部インターフェイスボード２６からのスター
ト信号はシフトレジスタ３０により転送され、全走査線
２２が順次走査される。シフトレジスタ出力はレベルシ
フタ３１で走査線駆動に必要な電圧にレベル変換され、
走査線容量を駆動するためのバッファ３２で電力増幅さ
れる。The scanning line driving circuit 25 includes a shift register 30 to which a transfer clock and a start signal are inputted, and a level shifter 31 to which an output of the shift register 30 is inputted.
And a buffer 32 to which the output of the level shifter 31 is input
Are provided. The buffer 32 is connected to the scanning line 22. The scanning line driving circuit 25 scans the scanning lines 22 every one horizontal period (a cycle of writing a video voltage to all the signal lines 21), and writes the voltage applied to the signal lines 21 to the pixels. The start signal from the external interface board 26 is transferred by the shift register 30, and all the scanning lines 22 are sequentially scanned. The output of the shift register is level-converted by a level shifter 31 to a voltage required for scanning line driving,
The power is amplified by the buffer 32 for driving the scanning line capacitance.
【００３７】本実施例においては、外部インターフェイ
スボード２６からの信号により、ディスプレイ１０１の
画素を駆動させて、ディスプレイ１０１に文字等を表示
させることができる。また、以上のように、本実施例に
おいては、信号線２１及び走査線２２を駆動するのに必
要な主要回路を集積した構成とすることで表示部分のコ
ンパクト化が実現できる。In this embodiment, the pixels of the display 101 can be driven by the signal from the external interface board 26 to display characters and the like on the display 101. Further, as described above, in the present embodiment, a compact display portion can be realized by integrating the main circuits necessary for driving the signal lines 21 and the scanning lines 22.
【００３８】図１１は本発明の第２の実施例に係るディ
スプレイ１０２を示す断面図である。本実施例のディス
プレイ１０２は、図１及び３に示すアクチュエータ１０
０を２枚用意し、その各アクチュエータ１００の液室４
同士を整合させて且つ対向するように２枚のアクチュエ
ータ１００を重ね、アクチュエータ１００の弾性膜３間
に着色した有色液体７を充填することにより、製造する
ことができる。この場合のアクチュエータ１００の平板
１（弾性膜３）間の間隔は、アクチュエータ１００の変
位量ΔＸの２倍以下である。FIG. 11 is a sectional view showing a display 102 according to a second embodiment of the present invention. The display 102 according to the present embodiment includes the actuator 10 shown in FIGS.
0, and the liquid chamber 4 of each actuator 100 is prepared.
The two actuators 100 are overlapped so that they are aligned with each other and face each other, and the colored liquid 7 filled between the elastic films 3 of the actuator 100 can be manufactured. In this case, the interval between the flat plates 1 (elastic film 3) of the actuator 100 is not more than twice the displacement amount ΔX of the actuator 100.
【００３９】本実施例においては、１対のアクチュエー
タ１００の対応する画素において、同時に発熱部材２に
通電して発熱させ、液体５から気泡６を発生させて弾性
膜３を膨張させる。そして、この選択された画素におい
て、弾性膜３同士が接触し、これによりこの画素におい
てディスプレイ１０２の厚さ方向に光が透過するように
なる。一方、駆動されない画素においては、着色液体７
が存在するため、光は透過しない。これにより、コント
ラストが生じ、画像を表示できる。In this embodiment, in the corresponding pixels of the pair of actuators 100, the heat generating member 2 is simultaneously energized to generate heat, thereby generating bubbles 6 from the liquid 5 to expand the elastic film 3. Then, in the selected pixel, the elastic films 3 come into contact with each other, so that light is transmitted in the thickness direction of the display 102 in this pixel. On the other hand, in the pixels that are not driven, the colored liquid 7
Does not transmit light. Thereby, a contrast is generated, and an image can be displayed.
【００４０】本実施例においては、１対のアクチュエー
タ１００の対向する画素が同時に駆動されて画像を表示
するため、平板１間の間隔を、アクチュエータ１００の
変位量ΔＸの２倍以下とすることができ、図４に示す第
１実施例に比して平板１（弾性膜３）間の間隔を広くす
ることができる。このため、充填液体７の量を多くする
ことができるので、駆動されていない画素における光の
透過量を著しく規制することができ、コントラストをあ
げることができる。In the present embodiment, since the opposed pixels of the pair of actuators 100 are simultaneously driven to display an image, the interval between the flat plates 1 is set to be twice or less the displacement amount ΔX of the actuator 100. As a result, the distance between the flat plates 1 (elastic film 3) can be made wider than in the first embodiment shown in FIG. For this reason, since the amount of the filling liquid 7 can be increased, the amount of light transmission in the pixels that are not driven can be significantly restricted, and the contrast can be increased.
【００４１】図１２は本発明の第３の実施例に係るディ
スプレイ１０３を示す断面図である。本実施例において
は、図１乃至４に示す第１実施例に比べて、液室４０が
分離されておらず、従って、弾性膜３は液室４０の周辺
部で平板１に密着して接合されていない点が異なる。即
ち、弾性膜３は格子状に配列された画素群の外側の周縁
部において、平板１に密着して接合されている。このた
め、液室４０に封入された液室液体５は隣接する液室４
０間を自由に移動できる。また、発熱部材２の周囲に、
例えばＳｉＯ2からなる断熱材（図示せず）が設けられ
ている。それ以外の構成は第１の実施例と同様である。FIG. 12 is a sectional view showing a display 103 according to the third embodiment of the present invention. In this embodiment, as compared with the first embodiment shown in FIGS. 1 to 4, the liquid chamber 40 is not separated, and therefore, the elastic film 3 is tightly joined to the flat plate 1 at the periphery of the liquid chamber 40. The difference is that they are not. That is, the elastic film 3 is closely adhered to the flat plate 1 at the outer peripheral portion of the pixel group arranged in a lattice. For this reason, the liquid chamber liquid 5 sealed in the liquid chamber 40 is
You can move freely between zero. Also, around the heating member 2,
For example, a heat insulating material (not shown) made of SiO 2 is provided. Other configurations are the same as in the first embodiment.
【００４２】本実施例においては、発熱部材２の周囲に
断熱材が設けられているので、発熱部材２が他から断熱
されて局所的に加熱され、発熱部材２の発熱の最適化
（揮発現象の空間的な制限）によって、発熱部材２の近
傍にのみ気泡６が発生する状態に制御されるので、隔壁
を設ける必要がない。このため、発熱部材２の駆動時に
は、発熱部材２の近傍の液体５が相変化して気泡６が発
生する。この気泡６により、発熱部材２の上方の弾性膜
３が平板８側に押し上げられるように変形し、弾性膜３
の頂部が平板８に接触する。第１の実施例では、隣接す
る液室４間には液体５が存在せず、駆動されて白くなる
部分には、画素間で間隙がある。しかし、本実施例にお
いては、液室４０が分離されずに液体５が移動可能にな
っているので、隣接する液室４を駆動させた場合に、各
液室４を区画する部分がないので、弾性膜３は隣接する
液室４０間を跨いで膨張する。従って、隣接する画素が
同時に駆動された場合には、その隣接画素間に黒い部分
が存在しない。In this embodiment, since the heat insulating member is provided around the heat generating member 2, the heat generating member 2 is insulated from the others and is locally heated, so that the heat generation of the heat generating member 2 is optimized (volatilization phenomenon). Due to the spatial limitation described above, the air bubbles 6 are controlled to be generated only in the vicinity of the heat-generating member 2, so that there is no need to provide a partition. Therefore, when the heating member 2 is driven, the liquid 5 near the heating member 2 undergoes a phase change and bubbles 6 are generated. Due to the bubbles 6, the elastic film 3 above the heat generating member 2 is deformed so as to be pushed up to the flat plate 8 side.
Contact the flat plate 8. In the first embodiment, the liquid 5 does not exist between the adjacent liquid chambers 4, and there is a gap between pixels in a portion that is driven to be white. However, in this embodiment, since the liquid 5 can be moved without separating the liquid chambers 40, when the adjacent liquid chambers 4 are driven, there is no portion for partitioning each liquid chamber 4. The elastic film 3 expands across the adjacent liquid chambers 40. Therefore, when adjacent pixels are driven at the same time, there is no black portion between the adjacent pixels.
【００４３】上述の第１乃至第３の実施例において、画
素毎にカラーフィルタを設けることもできる。また、本
発明のディスプレイは、画像表示に使用する以外に、光
を遮り、発熱部材２の駆動時に光を透過させるシャッタ
ーとして応用することもできる。また、液体７の色素の
濃淡を調整して窓ガラスとして使用すれば、通常は曇り
ガラス又は遮光ガラスとし、必要なときには透過ガラス
とするような用途に使用することができる。また、この
窓ガラスの相乗効果としては、ガラスを２枚合わせた構
成であるため、遮音効果及び断熱効果が期待できる。In the first to third embodiments, a color filter can be provided for each pixel. In addition to being used for displaying images, the display of the present invention can also be applied as a shutter that blocks light and transmits light when the heating member 2 is driven. In addition, when the liquid 7 is used as a window glass by adjusting the density of the pigment, the liquid 7 can be used as a frosted glass or a light-shielding glass, and when necessary, a transparent glass. Further, as a synergistic effect of this window glass, a sound insulating effect and a heat insulating effect can be expected because the structure is a combination of two glasses.
【００４４】[0044]
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、ア
クチュエータを使用して、簡易に画像を表示できると共
に、このアクチュエータの動作部分が小さく、微細化が
可能であると共に、応答性が速く、ディスプレイとして
優れた性能を有するディスプレイを得ることができる。As described in detail above, according to the present invention, an image can be easily displayed by using an actuator, the operation portion of the actuator is small, miniaturization is possible, and responsiveness is improved. It is possible to quickly obtain a display having excellent performance as a display.
【図１】本発明の第１の実施例に係るディスプレイに使
用されるアクチュエータを示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an actuator used for a display according to a first embodiment of the present invention.
【図２】（ａ）乃至（ｃ）はこのアクチュエータの製造
方法を工程順に示す模式図である。FIGS. 2A to 2C are schematic views showing a method of manufacturing the actuator in the order of steps.
【図３】本実施例のディスプレイに使用されるアクチュ
エータを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an actuator used in the display of the embodiment.
【図４】本実施例のアクチュエータを示す断面図であ
る。FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the actuator of the present embodiment.
【図５】同じく本実施例のディスプレイにおいて非駆動
時を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing the display of the present embodiment when not driven.
【図６】同じく本実施例のディスプレイにおいて中央の
画素が駆動された場合の平面図である。FIG. 6 is a plan view of the display of the present embodiment when a central pixel is driven.
【図７】本実施例の変形例を示す図であり、アルファベ
ットの“Ａ”を表示したものである。FIG. 7 is a diagram showing a modification of the present embodiment, in which an alphabet “A” is displayed.
【図８】本実施例のディスプレイの駆動装置を示す模式
図である。FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a display driving device according to the present embodiment.
【図９】本実施例のディスプレイのスイッチング回路を
示す回路図である。FIG. 9 is a circuit diagram showing a switching circuit of the display of the present embodiment.
【図１０】（ａ）は信号線駆動回路を示す回路図、
（ｂ）は走査線駆動回路を示す回路図である。FIG. 10A is a circuit diagram illustrating a signal line driving circuit,
(B) is a circuit diagram showing a scanning line driving circuit.
【図１１】本発明の第２の実施例に係るディスプレイを
示す断面図である。FIG. 11 is a sectional view showing a display according to a second embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第３の実施例に係るディスプレイを
示す断面図である。FIG. 12 is a sectional view showing a display according to a third embodiment of the present invention.
【符号の説明】 １、８；平板 ２；発熱部材 ３；弾性膜 ４；液室 ５；液室液体 ６；気泡 ７；充填液体 １０；入力端 １３；出力端 ２０：ディスプレイ ２１；信号線 ２２；走査線 ２４；信号線駆動回路 ２５；走査線駆動回路 ２６；外部インターフェイスボード ２７、３０；シフトレジスタ ２８；アナログスイッチ １００：アクチュエータ １０１〜１０３：ディスプレイDESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 8; flat plate 2; heat generating member 3; elastic film 4; liquid chamber 5; liquid chamber liquid 6; bubble 7; filling liquid 10; input end 13; Scanning line 24; signal line driving circuit 25; scanning line driving circuit 26; external interface boards 27 and 30; shift register 28; analog switch 100: actuator 101 to 103: display
Claims (8)
び第２の板材と、前記第１の板材における前記第２の板
材との対向面に重ねられ前記第１の板材との間で複数個
の液室を形成する弾性膜と、前記液室内に配置され通電
発熱する発熱部材と、前記液室内に封入された液室液体
と、前記第２の板材と前記弾性膜との間に充填された充
填液体と、を有し、前記発熱部材の発熱により前記液室
液体が加熱されて気泡が発生し、前記弾性膜が膨張して
前記第２の板材に接触することを特徴とするディスプレ
イ。1. A method according to claim 1, wherein the first and second plate members are arranged so as to face each other, and the first plate member overlaps a surface of the first plate member facing the second plate member. An elastic film forming a plurality of liquid chambers, a heating member disposed in the liquid chamber and energizing and generating heat, a liquid chamber liquid sealed in the liquid chamber, and between the second plate member and the elastic film. Wherein the liquid chamber liquid is heated by the heat generated by the heat generating member to generate bubbles, and the elastic film expands and comes into contact with the second plate material. display.
び第２の板材と、前記第１の板材における前記第２の板
材との対向面に重ねられ前記第１の板材との間で複数個
の第１の液室を形成する第１の弾性膜と、前記第１の液
室内に配置され通電発熱する第１の発熱部材と、前記第
１の液室内に封入された第１液室液体と、前記第２の板
材における前記第１の板材との対向面に重ねられ前記第
２の板材との間で複数個の第２の液室を形成する第２の
弾性膜と、前記第２の液室内に配置され通電発熱する第
２の発熱部材と、前記第２の液室内に封入された第２の
液室液体と、前記第１の弾性膜と前記第２の弾性膜との
間に充填された充填液体と、を有し、前記第１及び第２
の液室は相互に整合する位置に設けられ、相互に整合す
る位置の前記第１及び第２の発熱部材の発熱により前記
第１及び第２の液室液体が加熱されて気泡が発生し、前
記第１及び第２の弾性膜が同時に膨張して相互に接触す
ることを特徴とするディスプレイ。2. A method according to claim 1, wherein the first and second plate members are arranged so as to face each other, and the first plate member overlaps with a surface of the first plate member facing the second plate member. A first elastic film that forms a plurality of first liquid chambers, a first heating member that is disposed in the first liquid chamber and generates heat, and a first liquid that is sealed in the first liquid chamber. A chamber liquid, a second elastic film that is overlapped on a surface of the second plate member facing the first plate member and forms a plurality of second liquid chambers with the second plate member; A second heat generating member disposed in the second liquid chamber and configured to generate and generate electricity, a second liquid chamber liquid sealed in the second liquid chamber, the first elastic film, and the second elastic film; And a filling liquid filled between the first and second liquids.
Liquid chambers are provided at positions where they are aligned with each other, and the first and second liquid chamber liquids are heated by the heat generated by the first and second heat generating members at the mutually aligned positions to generate bubbles, A display, wherein the first and second elastic membranes expand and contact each other simultaneously.
前記充填液体は有色液体であることを特徴とする請求項
１又は２に記載のディスプレイ。3. The first and second plate members are transparent,
3. The display according to claim 1, wherein the filling liquid is a colored liquid.
板材に密着していて前記液室液体は個別的に各液室内に
封入されていることを特徴とする請求項１に記載のディ
スプレイ。4. The liquid chamber according to claim 1, wherein each of the liquid chambers has its periphery in close contact with the first plate member, and the liquid chamber liquid is individually sealed in each liquid chamber. Display.
ていることを特徴とする請求項１に記載のディスプレ
イ。5. The display according to claim 1, wherein each of the liquid chambers communicates with an adjacent liquid chamber.
が夫々前記第１及び第２の板材に密着していて前記第１
及び第２の液室液体は個別的に各液室内に封入されてい
ることを特徴とする請求項２に記載のディスプレイ。6. The first and second liquid chambers have their peripheries in close contact with the first and second plate members, respectively.
The display according to claim 2, wherein the second liquid chamber liquid and the second liquid chamber liquid are individually sealed in each liquid chamber.
する第１及び第２の液室に連通していることを特徴とす
る請求項２に記載のディスプレイ。7. The display according to claim 2, wherein each of the first and second liquid chambers communicates with an adjacent first and second liquid chamber, respectively.
方向に配列された発熱部材と、列方向に配列された発熱
部材とを映像信号線及び走査線により選択的に駆動し
て、前記充填液体の存在及び非存在により画像を表示す
ることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記
載のディスプレイ。8. The liquid chambers are arranged in rows and columns, and a heating member arranged in a row direction and a heating member arranged in a column direction are selectively driven by a video signal line and a scanning line. The display according to any one of claims 1 to 7, wherein an image is displayed based on the presence and absence of the filling liquid.
Priority Applications (1)
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| JP2000310433A JP3827515B2 (en) | 2000-10-11 | 2000-10-11 | display |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000310433A JP3827515B2 (en) | 2000-10-11 | 2000-10-11 | display |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002116718A true JP2002116718A (en) | 2002-04-19 |
| JP3827515B2 JP3827515B2 (en) | 2006-09-27 |
Family
ID=18790398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000310433A Expired - Fee Related JP3827515B2 (en) | 2000-10-11 | 2000-10-11 | display |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3827515B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2116988A1 (en) * | 2008-05-08 | 2009-11-11 | Palo Alto Research Center Incorporated | Fluid actuator for digitally controllable microfluidic display |
| EP2116987A1 (en) * | 2008-05-08 | 2009-11-11 | Palo Alto Research Center Incorporated | Large format microfluidic digital display |
| US9549191B2 (en) | 2002-07-15 | 2017-01-17 | Thomson Licensing | Adaptive weighting of reference pictures in video encoding |
-
2000
- 2000-10-11 JP JP2000310433A patent/JP3827515B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9549191B2 (en) | 2002-07-15 | 2017-01-17 | Thomson Licensing | Adaptive weighting of reference pictures in video encoding |
| US9930335B2 (en) | 2002-07-15 | 2018-03-27 | Thomson Licensing | Adaptive weighting of reference pictures in video encoding |
| US10326993B2 (en) | 2002-07-15 | 2019-06-18 | Interdigital Vc Holdings, Inc. | Adaptive weighting of reference pictures in video encoding |
| US10721472B2 (en) | 2002-07-15 | 2020-07-21 | Interdigital Vc Holdings, Inc. | Adaptive weighting of reference pictures in video encoding |
| US11102486B2 (en) | 2002-07-15 | 2021-08-24 | Interdigital Vc Holdings, Inc. | Adaptive weighting of reference pictures in video encoding |
| EP2116988A1 (en) * | 2008-05-08 | 2009-11-11 | Palo Alto Research Center Incorporated | Fluid actuator for digitally controllable microfluidic display |
| EP2116987A1 (en) * | 2008-05-08 | 2009-11-11 | Palo Alto Research Center Incorporated | Large format microfluidic digital display |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3827515B2 (en) | 2006-09-27 |
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| JPH0412328A (en) | Tft active matrix type liquid crystal display device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040401 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050829 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050906 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051107 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060322 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060417 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060606 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20060704 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060704 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |