JP2002115689A - Cooling structure in vacuum pump - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently cool oil cooling a material to be cooled in a vacuum pump. SOLUTION: Gears 34, 35 are fixed while they mesh each other in protruding end parts of rotary shafts 19, 20 protruding into a gear housing 33. The rotary shafts 19, 20 are rotated in synchronization by the gears 34, 35. A hole 473 for heat radiation is provided on a bottom wall 472 of a peripheral wall 47 of the gear housing 33 storing the gears 34, 35 by passing through the bottom wall. The hole 473 for heat radiation is covered with a cooling device 50.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸の回転に基
づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送
体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真
空ポンプにおける冷却構造に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cooling structure for a vacuum pump which moves a gas transfer member in a pump chamber based on rotation of a rotating shaft and transfers gas by the operation of the gas transfer member to provide a suction effect. It is.

【０００２】[0002]

【従来の技術】特開平２−１５７４９０号広報、特開平
６−１０１６７４号公報に開示される真空ポンプでは、
隣合って２個で組をなすロータが噛合した状態で回転さ
れる。噛合しながら回転する２個のロータの回転動作
は、ガスを移送する。ロータの回転軸のうちの一方は、
モータから駆動力を得ており、他方の回転軸は歯車機構
を介して前記一方の回転軸から駆動力を得ている。2. Description of the Related Art In a vacuum pump disclosed in JP-A-2-157490 and JP-A-6-101677,
Two adjacent rotors are rotated in a meshed state. The rotating operation of the two rotors rotating while meshing transfers gas. One of the rotation axes of the rotor is
The driving force is obtained from the motor, and the other rotating shaft receives the driving force from the one rotating shaft via a gear mechanism.

【０００３】歯車機構を収容するハウジング内には潤滑
油が貯留されており、この貯留油が歯車機構を潤滑す
る。この潤滑油がポンプ室へ洩れ出ないようにするた
め、歯車機構の収容室とポンプ室とを隔てるハウジング
壁を貫通する回転軸の貫通部位とハウジング壁との間に
リップシールが設けられている。[0003] Lubricating oil is stored in a housing that houses the gear mechanism, and the stored oil lubricates the gear mechanism. In order to prevent this lubricating oil from leaking into the pump chamber, a lip seal is provided between the housing wall and a portion of the rotary shaft that penetrates the housing wall separating the housing chamber of the gear mechanism and the pump chamber. .

【０００４】真空ポンプでは排ガスを圧縮する行程で熱
が発生し、この発生熱によって真空ポンプの本体が高温
化する。リップシールは、高温環境に晒されると劣化
し、リップシールのシール機能が低下する。そこで、歯
車機構を潤滑するための油によってリップシールを直接
冷却したり、あるいは前記油によって回転軸を冷却して
リップシールを間接的に冷却する対策が図られる。[0004] In a vacuum pump, heat is generated during the process of compressing exhaust gas, and the generated heat raises the temperature of the main body of the vacuum pump. The lip seal deteriorates when exposed to a high-temperature environment, and the sealing function of the lip seal deteriorates. Therefore, measures are taken to directly cool the lip seal with oil for lubricating the gear mechanism, or to indirectly cool the lip seal by cooling the rotating shaft with the oil.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】リップシールあるいは
回転軸のような冷却対象を継続的に冷却するため、冷却
対象から熱を奪った油から熱を奪って真空ポンプの本体
の外部に放出する必要がある。即ち、冷却対象を冷却し
た油を冷却する必要がある。この熱放出は、歯車機構を
収容するハウジングの外壁に油から熱を伝えることによ
って行われる。しかし、歯車機構を収容するハウジング
の外壁は厚く、前記外壁における熱伝達効率は良くな
い。そのため、油を冷却する効率が悪く、冷却対象を効
率良く冷却することができない。このような冷却効率の
悪さは、リップシールの早期の劣化をもたらす。In order to continuously cool an object to be cooled such as a lip seal or a rotating shaft, it is necessary to take heat from oil which has taken heat from the object to be cooled and discharge it to the outside of the main body of the vacuum pump. There is. That is, it is necessary to cool the oil that has cooled the object to be cooled. This heat release is achieved by transferring heat from the oil to the outer wall of the housing containing the gear mechanism. However, the outer wall of the housing that houses the gear mechanism is thick, and the heat transfer efficiency at the outer wall is not good. Therefore, the efficiency of cooling the oil is low, and the cooling target cannot be efficiently cooled. Such poor cooling efficiency leads to early deterioration of the lip seal.

【０００６】本発明は、真空ポンプ内の冷却対象を冷却
する油を効率良く冷却することを目的とする。An object of the present invention is to efficiently cool oil for cooling an object to be cooled in a vacuum pump.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】そのために本発明は、回
転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動か
し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
作用をもたらす真空ポンプを対象とし、請求項１の発明
では、冷却用の油の存在領域を形成するオイルハウジン
グ内の油存在領域に前記回転軸を突出させ、外部に露出
する前記オイルハウジングの外壁に放熱用孔を貫通して
設け、前記放熱用孔を冷却器で被覆した。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention provides a vacuum pump which moves a gas transfer body in a pump chamber based on rotation of a rotating shaft and transfers gas by the operation of the gas transfer body to provide a suction action. According to the first aspect of the present invention, the rotation shaft is protruded from an oil-existing region in an oil housing that forms an oil-existing region for cooling, and a heat-dissipating hole is penetrated through an outer wall of the oil housing exposed to the outside. The heat dissipation hole was covered with a cooler.

【０００８】冷却器は油存在領域に露出するため、オイ
ルハウジング内の油を冷却する効率が高まる。請求項２
の発明では、請求項１において、前記放熱用孔は、前記
油を溜める前記オイルハウジングの底部の底壁に設け
た。[0008] Since the cooler is exposed to the oil existing area, the efficiency of cooling the oil in the oil housing increases. Claim 2
In the first aspect of the present invention, the heat dissipation hole is provided in a bottom wall of a bottom portion of the oil housing for storing the oil.

【０００９】オイルハウジング内の油は、底壁に向かい
易い。従って、底壁に放熱用孔を設けた構成は、油を冷
却する効率の向上に最適である。請求項３の発明では、
請求項１及び請求項２のいずれか１項において、前記冷
却器は、前記オイルハウジングの材質よりも熱伝達性能
の高い材質で形成した。[0009] The oil in the oil housing tends to go to the bottom wall. Therefore, the configuration in which the heat radiation holes are provided in the bottom wall is optimal for improving the efficiency of cooling oil. In the invention of claim 3,
In any one of claims 1 and 2, the cooler is formed of a material having higher heat transfer performance than a material of the oil housing.

【００１０】通常、オイルハウジングは鉄系の材質製で
ある。冷却器の材質として鉄系の材質よりも熱伝達性能
の高い材質を用いる構成は、オイルハウジング内の油を
冷却する効率の向上に有効である。Usually, the oil housing is made of an iron-based material. The configuration using a material having higher heat transfer performance than the iron-based material as the material of the cooler is effective for improving the efficiency of cooling the oil in the oil housing.

【００１１】請求項４の発明では、請求項３において、
前記オイルハウジングは鉄系の材質製とし、前記冷却器
はアルミニウム系もしくが真鍮の材質製とした。アルミ
ニウム系や真鍮の材質は、熱伝達性能に優れており、冷
却器の材質としてアルミニウム系もしくは真鍮の材質を
採用した構成は、オイルハウジング内の油を冷却する効
率の向上に有効である。According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect,
The oil housing was made of an iron-based material, and the cooler was made of an aluminum-based or brass material. Aluminum or brass materials are excellent in heat transfer performance, and a structure employing an aluminum or brass material as a material for the cooler is effective for improving the efficiency of cooling oil in the oil housing.

【００１２】請求項５の発明では、請求項１乃至請求項
４のいずれか１項において、前記油存在領域は、隔壁に
よって前記ポンプ室から隔てられ、前記回転軸は、前記
隔壁を貫通して前記油存在領域に突出し、前記回転軸と
前記隔壁との間には軸シール用の接触型シール手段を介
在した。According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the oil-existing region is separated from the pump chamber by a partition, and the rotating shaft passes through the partition. A contact-type sealing means for shaft sealing is interposed between the rotary shaft and the partition wall so as to protrude into the oil existing area.

【００１３】熱による接触型シール手段の劣化は、油に
よって接触型シール手段を直接冷却したり、あるいは前
記油によって回転軸を冷却して接触型シール手段を間接
的に冷却することによって抑制される。[0013] The deterioration of the contact-type sealing means due to heat is suppressed by directly cooling the contact-type sealing means with oil or indirectly cooling the contact-type sealing means by cooling the rotating shaft with the oil. .

【００１４】請求項６の発明では、請求項１乃至請求項
５のいずれか１項において、前記真空ポンプは、複数の
前記回転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上に
ロータを配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み
合わせ、互いに噛み合った状態の複数のロータを１組と
して収容する複数のポンプ室を前記回転軸の軸線方向へ
配列した多段真空ポンプであり、前記複数のポンプ室の
容積は、前記回転軸の軸線方向に沿って前記隔壁に近づ
く順に小さくなってゆき、前記ガスは、前記容積が小さ
くなってゆく順に前記複数のポンプ室を経由して移送さ
れ、前記油存在領域に隣合うポンプ室は最小容積のポン
プ室とした。According to a sixth aspect of the present invention, in any one of the first to fifth aspects, the vacuum pump arranges a plurality of the rotating shafts in parallel and arranges a rotor on each of the rotating shafts. A multistage vacuum pump in which rotors on adjacent rotary shafts are meshed with each other and a plurality of pump chambers accommodating a plurality of meshed rotors as a set are arranged in the axial direction of the rotary shaft. The volume of the pump chamber becomes smaller in the order of approaching the partition along the axial direction of the rotary shaft, and the gas is transferred through the plurality of pump chambers in the order of the smaller volume, The pump chamber adjacent to the oil existing area was a pump chamber having a minimum volume.

【００１５】このような真空ポンプは、本発明の適用対
象として好適である。請求項７の発明では、請求項６に
おいて、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期し
て回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容す
る領域とし、前記油存在領域には前記歯車機構を潤滑す
るための油が貯留されており、前記歯車機構を潤滑可能
に貯留油をかき上げるための油かき上げ手段が前記油存
在領域に設けられているようにした。Such a vacuum pump is suitable as an object to which the present invention is applied. In the invention of claim 7, in claim 6, the plurality of rotation shafts are synchronously rotated by using a gear mechanism, and the oil presence area is an area for accommodating the gear mechanism, and the oil presence area is The oil for lubricating the gear mechanism is stored, and oil scraping means for scraping the stored oil so as to lubricate the gear mechanism is provided in the oil existing area.

【００１６】歯車機構を潤滑するための油が冷却に利用
される。Oil for lubricating the gear mechanism is used for cooling.

【００１７】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明をルーツポンプに具
体化した第１の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment in which the present invention is embodied in a roots pump will be described below with reference to FIGS.

【００１８】図１（ａ）に示すように、多段ルーツポン
プ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウ
ジング１３が接合されており、フロントハウジング１３
には封鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１
２の後端には隔壁としてのリヤハウジング１４が接合さ
れている。ロータハウジング１２、フロントハウジング
１３及びリヤハウジング１４は、いずれも鉄系の材質製
である。ロータハウジング１２は、シリンダブロック１
５と複数の室形成壁１６とからなる。図２（ｂ）に示す
ように、シリンダブロック１５は、一対のブロック片１
７，１８からなり、室形成壁１６は一対の壁片１６１，
１６２からなる。図１（ａ）に示すように、フロントハ
ウジング１３と室形成壁１６との間の空間、隣合う室形
成壁１６の間の空間、及びリヤハウジング１４と室形成
壁１６との間の空間は、それぞれポンプ室３９，４０，
４１，４２，４３となっている。As shown in FIG. 1A, a front housing 13 is joined to a front end of a rotor housing 12 of the multi-stage roots pump 11, and a front housing 13 is provided.
The sealing body 36 is joined to the. Rotor housing 1
A rear housing 14 as a partition is joined to the rear end of 2. The rotor housing 12, the front housing 13, and the rear housing 14 are all made of an iron-based material. The rotor housing 12 includes the cylinder block 1
5 and a plurality of chamber forming walls 16. As shown in FIG. 2B, the cylinder block 15 includes a pair of block pieces 1.
7 and 18, and the chamber forming wall 16 has a pair of wall pieces 161,
162. As shown in FIG. 1A, the space between the front housing 13 and the room forming wall 16, the space between the adjacent room forming walls 16, and the space between the rear housing 14 and the room forming wall 16 are: , Pump chambers 39, 40, respectively
41, 42 and 43.

【００１９】フロントハウジング１３とリヤハウジング
１４とには一対の回転軸１９，２０が軸受けであるラジ
アルベアリング２１，３７，２２，３８を介して回転可
能に支持されている。両回転軸１９，２０は互いに平行
に配置されている。回転軸１９，２０は室形成壁１６に
通されている。A pair of rotating shafts 19, 20 are rotatably supported by the front housing 13 and the rear housing 14 via radial bearings 21, 37, 22, 38 as bearings. Both rotating shafts 19 and 20 are arranged parallel to each other. The rotation shafts 19 and 20 are passed through the chamber forming wall 16.

【００２０】回転軸１９にはガス移送体としての複数の
ロータ２３，２４，２５，２６，２７が一体形成されて
おり、回転軸２０には同数のロータ２８，２９，３０，
３１，３２が一体形成されている。ロータ２３〜３２
は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に見
て同形同大の形状をしている。ロータ２３，２４，２
５，２６，２７の厚みはこの順に小さくなってゆくよう
にしてあり、ロータ２８，２９，３０，３１，３２の厚
みも同様にこの順に小さくなってゆくようにしてある。
ロータ２３，２８は僅かの隙間を保って互いに噛合した
状態でポンプ室３９に収容されており、ロータ２４，２
９も同様に互いに噛合した状態でポンプ室４０に収容さ
れている。以下同様にしてロータ２５，３０はポンプ室
４１に、ロータ２６，３１はポンプ室４２に、ロータ２
７，３２はポンプ室４３にそれぞれ収容されている。A plurality of rotors 23, 24, 25, 26, 27 serving as gas transfer bodies are integrally formed on the rotating shaft 19, and the same number of rotors 28, 29, 30, are formed on the rotating shaft 20.
31 and 32 are integrally formed. Rotors 23-32
Have the same shape and the same size when viewed in the direction of the axes 191 and 201 of the rotating shafts 19 and 20. Rotors 23, 24, 2
The thicknesses of the rotors 5, 26, 27 decrease in this order, and the thicknesses of the rotors 28, 29, 30, 31, 32 also decrease in this order.
The rotors 23 and 28 are housed in the pump chamber 39 in a state of being engaged with each other with a slight gap therebetween.
Similarly, the pumps 9 are housed in the pump chamber 40 in a mutually meshed state. Similarly, the rotors 25 and 30 are in the pump chamber 41, the rotors 26 and 31 are in the pump chamber 42,
7, 32 are housed in the pump chamber 43, respectively.

【００２１】リヤハウジング１４には鉄系の材質製であ
る、オイルハウジングとしてのギヤハウジング３３がね
じ４６（図３に図示）の締め付けによって接合されてい
る。リヤハウジング１４の端面と、ギヤハウジング３３
の周壁４７の端縁４７１との間にはシールリング４８が
介在されている。回転軸１９，２０は、リヤハウジング
１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出しており、
各回転軸１９，２０の突出端部１９２，２０２には歯車
３４，３５が互いに噛合した状態で止着されている。ギ
ヤハウジング３３の端壁４９には電動モータＭが組み付
けられている。電動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手１０
を介して回転軸１９に伝えられ、回転軸１９は、電動モ
ータＭによって図２（ａ），（ｂ），（ｃ）の矢印Ｒ１
の方向に回転される。回転軸２０は、歯車３４，３５を
介して電動モータＭから駆動力を得ており、回転軸２０
は図２（ａ），（ｂ），（ｃ）の矢印Ｒ２で示すように
回転軸１９とは逆方向に回転する。A gear housing 33 as an oil housing made of an iron-based material is joined to the rear housing 14 by tightening a screw 46 (shown in FIG. 3). The end face of the rear housing 14 and the gear housing 33
A seal ring 48 is interposed between the peripheral wall 47 and the edge 471 of the peripheral wall 47. The rotating shafts 19 and 20 pass through the rear housing 14 and protrude into the gear housing 33.
Gears 34 and 35 are fastened to the protruding ends 192 and 202 of the respective rotating shafts 19 and 20 in a state of being meshed with each other. An electric motor M is mounted on an end wall 49 of the gear housing 33. The driving force of the electric motor M is
2A, 2B, and 2C by an electric motor M.
Rotated in the direction of. The rotating shaft 20 obtains a driving force from the electric motor M via gears 34 and 35, and the rotating shaft 20
Rotates in a direction opposite to the rotation shaft 19 as indicated by an arrow R2 in FIGS. 2 (a), 2 (b) and 2 (c).

【００２２】図３に示すように、歯車３４，３５からな
る歯車機構を収容するギヤ収容室３３１の底部には潤滑
油Ｙが貯留されており、歯車３４，３５の下方を浸して
いる。潤滑油Ｙは、歯車３４，３５の回転動作によって
かき上げられる。歯車３４，３５からなる歯車機構は、
貯留油をかき上げるための油かき上げ手段となる。潤滑
油Ｙは、歯車３４，３５、ラジアルベアリング３７，３
８を潤滑する。リヤハウジング１４は、油存在領域とな
るギヤ収容室３３１と、ポンプ室４３とを隣合わせに隔
てる隔壁となる。潤滑油Ｙは、回転軸１９，２０の突出
端部１９２，２０２付近を冷却する。As shown in FIG. 3, lubricating oil Y is stored at the bottom of a gear housing chamber 331 that houses a gear mechanism composed of gears 34 and 35, and the lower part of the gears 34 and 35 is immersed. The lubricating oil Y is swept up by the rotation of the gears 34 and 35. The gear mechanism composed of the gears 34 and 35
It serves as oil scraping means for scraping the stored oil. The lubricating oil Y is supplied to the gears 34 and 35 and the radial bearings 37 and 3
Lubricate 8. The rear housing 14 serves as a partition wall that separates the pump chamber 43 from the gear housing chamber 331 which is an oil existing area. The lubricating oil Y cools the vicinity of the protruding ends 192 and 202 of the rotating shafts 19 and 20.

【００２３】図２（ｂ）に示すように、室形成壁１６内
には通路１６３が形成されている。室形成壁１６には通
路１６３の入口１６４及び出口１６５が形成されてい
る。隣合うポンプ室３９，４０，４１，４２，４３は、
通路１６３を介して連通している。As shown in FIG. 2B, a passage 163 is formed in the chamber forming wall 16. An inlet 164 and an outlet 165 of the passage 163 are formed in the chamber forming wall 16. The adjacent pump chambers 39, 40, 41, 42, 43
It communicates via a passage 163.

【００２４】図２（ａ）に示すように、ブロック片１８
には導入口１８１がポンプ室３９に連通するように形成
されている。図２（ｃ）に示すように、ブロック片１７
には排出口１７１がポンプ室４３に連通するように形成
されている。導入口１８１からポンプ室３９に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって室形成壁１
６の入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５よ
り隣のポンプ室４０へ移送される。以下、同様にガス
は、ポンプ室の容積が小さくなる順、即ちポンプ室４
０，４１，４２，４３の順に移送される。ポンプ室４３
へ移送されたガスは、排出口１７１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。As shown in FIG. 2A, the block piece 18
Is formed so that an inlet 181 communicates with the pump chamber 39. As shown in FIG.
Is formed so that a discharge port 171 communicates with the pump chamber 43. The gas introduced into the pump chamber 39 from the inlet 181 is rotated by the rotation of the rotors 23 and 28 to form the chamber forming wall 1.
6 from the inlet 164 via the passage 163 to the adjacent pump chamber 40 from the outlet 165. Hereinafter, similarly, the gas flows in the order of decreasing the volume of the pump chamber, that is, the pump chamber 4
The transport is performed in the order of 0, 41, 42, 43. Pump room 43
The gas transferred to the discharge port is discharged from the discharge port 171 to the outside. The rotors 23 to 32 are gas transfer bodies that transfer gas.

【００２５】図１（ａ），（ｂ）に示すように、回転軸
１９，２０の突出端部１９２，２０２付近には接触型シ
ール手段となるゴム製のリップシール４４，４５が配置
されている。リップシール４４，４５は、回転軸１９，
２０の突出部位となる突出端部１９２，２０２付近の周
面に摺接してシール作用をもたらす。歯車３４，３５で
かき上げられた潤滑油Ｙは、ラジアルベアリング３７，
３８の内輪と外輪との間隙を経由してリップシール４
４，４５まで到達する。リップシール４４，４５は、潤
滑油Ｙによって潤滑されると共に、冷却される。As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), rubber lip seals 44 and 45 serving as contact-type sealing means are disposed near the protruding ends 192 and 202 of the rotating shafts 19 and 20, respectively. I have. The lip seals 44 and 45 are
Sliding contact is made with the peripheral surfaces near the protruding end portions 192 and 202, which are the protruding portions of 20, to provide a sealing effect. The lubricating oil Y scraped up by the gears 34 and 35 is supplied to the radial bearings 37 and
Lip seal 4 via the gap between the inner ring and the outer ring
It reaches 4,45. The lip seals 44 and 45 are lubricated by the lubricating oil Y and cooled.

【００２６】図３及び図４に示すように、回転軸１９，
２０の軸線１９１，２０１を包囲する周壁４７の底壁４
７２には放熱用孔４７３が貫通して設けられている。底
壁４７２は、多段ルーツポンプ１１の本体の外部に露出
する外壁の一部となる。放熱用孔４７３は、周壁４７の
端縁４７１付近、及び端壁４９を外すように設けられて
いる。As shown in FIGS. 3 and 4, the rotating shaft 19,
The bottom wall 4 of the peripheral wall 47 surrounding the 20 axes 191 and 201
A heat radiation hole 473 is provided through 72. The bottom wall 472 becomes a part of an outer wall exposed outside the main body of the multi-stage roots pump 11. The heat dissipation hole 473 is provided near the edge 471 of the peripheral wall 47 and so as to remove the end wall 49.

【００２７】底壁４７２の外面には冷却器５０がねじ５
１の締め付けによって固定されている。冷却器５０は、
放熱用孔４７３を被覆しており、冷却器５０と底壁４７
２の外面との間にはシールリング５２が介在されてい
る。シールリング５２は放熱用孔４７３を包囲してい
る。シールリング５２は、ギヤハウジング３３内の潤滑
油Ｙが冷却器５０と底壁４７２の外面との間から洩れる
ことを防止する。A cooler 50 is provided on the outer surface of the bottom wall 472 with screws 5.
1 is fixed by tightening. The cooler 50 is
The heat dissipation hole 473 is covered, and the cooler 50 and the bottom wall 47 are covered.
A seal ring 52 is interposed between the outer ring 2 and the outer surface. The seal ring 52 surrounds the heat dissipation hole 473. The seal ring 52 prevents the lubricating oil Y in the gear housing 33 from leaking from between the cooler 50 and the outer surface of the bottom wall 472.

【００２８】冷却器５０は、アルミニウム系の材質で形
成されている。冷却器５０には供給管５０１及び排出管
５０２が接続されている。供給管５０１は、図示しない
冷却液供給源から冷却液を冷却器５０へ送り、排出管５
０２は、冷却器５０を通過した冷却液を前記冷却液供給
源へ還流する。冷却器５０を通過する冷却液は、冷却器
５０の表面に接触する接触対象を冷却する。The cooler 50 is formed of an aluminum-based material. A supply pipe 501 and a discharge pipe 502 are connected to the cooler 50. The supply pipe 501 sends a coolant from a coolant supply source (not shown) to the cooler 50,
Numeral 02 recirculates the coolant passing through the cooler 50 to the coolant supply source. The cooling liquid passing through the cooler 50 cools a contact object that contacts the surface of the cooler 50.

【００２９】第１の実施の形態では以下の効果が得られ
る。 （１-1）冷却器５０の表面の一部は、油存在領域である
ギヤ収容室３３１に露出し、冷却器５０はギヤハウジン
グ３３の一部となる。冷却器５０の表面の一部をギヤ収
容室３３１に露出させた構成は、冷却器５０とギヤ収容
室３３１との間に壁を介在する構成に比べ、熱伝達効率
に関して優れている。従って、放熱用孔４７３を被覆す
る冷却器５０の部位における熱伝達効率は、放熱用孔４
７３のない周壁４７の他の部位における熱伝達効率より
も高くなる。周壁４７の一部における熱伝達効率の向上
は、オイルハウジングとなるギヤハウジング３３内の油
を冷却する効率を高める。ギヤハウジング３３内の油を
冷却する効率の向上は、軸シール用の接触型シール手段
であるリップシール４４，４５の効率の良い冷却をもた
らし、リップシール４４，４５の寿命が延びる。In the first embodiment, the following effects can be obtained. (1-1) A part of the surface of the cooler 50 is exposed to the gear storage chamber 331 which is an oil existing area, and the cooler 50 becomes a part of the gear housing 33. The configuration in which a part of the surface of the cooler 50 is exposed to the gear storage chamber 331 is more excellent in heat transfer efficiency than the configuration in which a wall is interposed between the cooler 50 and the gear storage chamber 331. Therefore, the heat transfer efficiency at the portion of the cooler 50 that covers the heat dissipation hole 473 is
The heat transfer efficiency is higher than the heat transfer efficiency in other parts of the peripheral wall 47 without the 73. The improvement of the heat transfer efficiency in a part of the peripheral wall 47 increases the efficiency of cooling the oil in the gear housing 33 serving as the oil housing. The improvement in the efficiency of cooling the oil in the gear housing 33 results in efficient cooling of the lip seals 44 and 45, which are contact-type sealing means for the shaft seal, and extends the life of the lip seals 44 and 45.

【００３０】（１-2）ギヤハウジング３３は鉄系の材質
製であり、冷却器５０はアルミニウム系の材質製であ
る。アルミニウム系の材質は、鉄系の材質よりも熱伝達
性能に優れている。冷却器５０の材質として鉄系の材質
よりも熱伝達性能の高いアルミニウム系の材質を用いる
構成は、潤滑油Ｙの熱を冷却器５０内の冷却液に伝達す
る効率の向上に非常に適している。冷却器５０の材質と
して鉄系の材質よりも熱伝達性能の高い材質を用いる構
成は、ギヤハウジング３３内の潤滑油Ｙを冷却する効率
の向上に有効である。特に、アルミニウム系の材質は、
軽量化、コストの点も考慮すると冷却器５０の材質とし
て最適である。(1-2) The gear housing 33 is made of an iron-based material, and the cooler 50 is made of an aluminum-based material. Aluminum-based materials have better heat transfer performance than iron-based materials. The configuration using an aluminum-based material having higher heat transfer performance than the iron-based material as the material of the cooler 50 is very suitable for improving the efficiency of transferring the heat of the lubricating oil Y to the cooling liquid in the cooler 50. I have. The configuration using a material having higher heat transfer performance than the iron-based material as the material of the cooler 50 is effective for improving the efficiency of cooling the lubricating oil Y in the gear housing 33. In particular, aluminum-based materials
It is optimal as a material of the cooler 50 in consideration of weight reduction and cost.

【００３１】（１-3）放熱用孔４７３は、周壁４７の一
部である底壁４７２にのみ設けられている。放熱用孔４
７３は、ギヤハウジング３３の全体の一部に限られてい
るため、ギヤハウジング３３の必要な強度確保も容易で
ある。(1-3) The heat radiation holes 473 are provided only in the bottom wall 472 which is a part of the peripheral wall 47. Heat dissipation hole 4
Since 73 is limited to a part of the entire gear housing 33, it is easy to secure necessary strength of the gear housing 33.

【００３２】（１-4）ギヤハウジング３３内の潤滑油Ｙ
は、ギヤ収容室３３１の底部、即ち放熱用孔４７３内、
及び放熱用孔４７３の周囲の底壁４７２の内面上に溜ま
る。放熱用孔４７３内に溜まる潤滑油Ｙは、冷却器５０
の表面に接触し、貯留油の熱が直接冷却器５０に伝達す
る。従って、貯留油の存在する放熱用孔４７３を冷却器
５０で被覆した構成は、潤滑油Ｙを冷却する効率の向上
に最適である。(1-4) Lubricating oil Y in gear housing 33
Are located at the bottom of the gear housing chamber 331, that is, in the heat dissipation hole 473;
And accumulate on the inner surface of the bottom wall 472 around the heat dissipation hole 473. The lubricating oil Y accumulated in the heat radiation holes 473 is supplied to the cooler 50.
And the heat of the stored oil is directly transmitted to the cooler 50. Therefore, the configuration in which the heat dissipation hole 473 in which the stored oil is present is covered with the cooler 50 is optimal for improving the efficiency of cooling the lubricating oil Y.

【００３３】（１-5）隔壁であるリヤハウジング１４と
回転軸１９，２０との間に介在されるリップシール４
４，４６の熱による劣化は、潤滑油Ｙによってリップシ
ール４４，４６を直接冷却したり、あるいは潤滑油Ｙに
よって回転軸１９，２０の突出端部１９２，２０２付近
を冷却してリップシール４４，４５を間接的に冷却する
ことによって抑制される。(1-5) The lip seal 4 interposed between the rear housing 14 as a partition and the rotating shafts 19 and 20
The deterioration of the lip seals 44 and 46 due to the heat is performed by directly cooling the lip seals 44 and 46 with the lubricating oil Y or cooling the vicinity of the protruding ends 192 and 202 of the rotating shafts 19 and 20 with the lubricating oil Y. It is suppressed by indirectly cooling 45.

【００３４】（１-6）ゴム製のリップシール４４，４５
は、回転軸１９，２０の周面に対する密接性に非常に優
れているが、潤滑油Ｙによる潤滑がないと耐久性が極端
に低下する。潤滑油Ｙによって潤滑を受けると共に、冷
却作用を受けるゴム製のリップシール４４，４５は、高
い耐久性及び高いシール性能の確保できる接触型シール
手段である。(1-6) Lip seals 44 and 45 made of rubber
Is extremely excellent in close contact with the peripheral surfaces of the rotating shafts 19 and 20, but the durability is extremely reduced without lubrication with the lubricating oil Y. The rubber lip seals 44 and 45 which are lubricated by the lubricating oil Y and subjected to a cooling action are contact-type sealing means capable of securing high durability and high sealing performance.

【００３５】（１-7）ポンプ室４３は、隔壁となるリヤ
ハウジング１４を介してギヤ収容室３３１に隣合う最小
容積のポンプ室である。最小容積のポンプ室４３は最も
温度の高くなる箇所である。従って、リヤハウジング１
４及び回転軸１９，２０の突出端部１９２，２０２の温
度も高くなり易く、リップシール４４，４５は，過酷な
高温環境に晒される。そのため、リップシール４４，４
５の冷却は、極めて重要であり、本発明は、重要な冷却
対象であるリップシール４４，４５を備えた多段ルーツ
ポンプ１１への適用に特に好適である。(1-7) The pump chamber 43 is a pump chamber having a minimum volume adjacent to the gear housing chamber 331 via the rear housing 14 serving as a partition. The pump chamber 43 having the minimum volume is a place where the temperature is highest. Therefore, the rear housing 1
The temperatures of the protruding ends 192 and 202 of the shaft 4 and the rotating shafts 19 and 20 are also likely to be high, and the lip seals 44 and 45 are exposed to a severe high temperature environment. Therefore, the lip seals 44, 4
5 is extremely important, and the present invention is particularly suitable for application to the multi-stage roots pump 11 having the lip seals 44 and 45, which are important cooling targets.

【００３６】次に、図５（ａ），（ｂ）の第２の実施の
形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が付してある。ギヤハウジング３３の周壁４７の
底壁４７２には複数の放熱用孔４７４，４７５（本実施
の形態では２つ）が設けられている。放熱用孔４７４，
４７５を区画する区画壁４７６は、回転軸１９，２０の
軸線１９１，２０１の方向に沿っている。放熱用孔４７
４，４７５は、単一の冷却器５０によって被覆されてい
る。Next, a second embodiment shown in FIGS. 5A and 5B will be described. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. The bottom wall 472 of the peripheral wall 47 of the gear housing 33 is provided with a plurality of heat dissipation holes 474 and 475 (two in this embodiment). Hole 474 for heat radiation
The partition wall 476 that defines the partition 475 extends along the directions of the axes 191 and 201 of the rotating shafts 19 and 20. Heat dissipation hole 47
4,475 are covered by a single cooler 50.

【００３７】第２の実施の形態においても第１の実施の
形態と同じ効果が得られる。又、区画壁４７６は、ギヤ
ハウジング３３の強度確保に寄与する。従って、区画壁
４７６は、放熱用孔４７４，４７５の全体の孔面積を第
１の実施の形態の放熱用孔４７３の孔面積よりも更に大
きくすることを可能にする。The same effects as those of the first embodiment can be obtained in the second embodiment. The partition wall 476 contributes to securing the strength of the gear housing 33. Therefore, the partition wall 476 allows the entire hole area of the heat dissipation holes 474 and 475 to be further larger than the hole area of the heat dissipation hole 473 of the first embodiment.

【００３８】次に、図６（ａ），（ｂ）の第３の実施の
形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が付してある。ギヤハウジング３３の周壁４７の
底壁４７２には複数の放熱用孔４７７，４７８（本実施
の形態では２つ）が設けられている。放熱用孔４７７，
４７８を区画する区画壁４７９は、回転軸１９，２０の
軸線１９１，２０１と直交する方向に沿っている。放熱
用孔４７７，４７８は、単一の冷却器５０によって被覆
されている。Next, a third embodiment shown in FIGS. 6A and 6B will be described. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. The bottom wall 472 of the peripheral wall 47 of the gear housing 33 is provided with a plurality of heat dissipation holes 477 and 478 (two in this embodiment). Heat dissipation holes 477,
A partition wall 479 that partitions 478 extends along a direction orthogonal to the axes 191 and 201 of the rotating shafts 19 and 20. The heat dissipation holes 477 and 478 are covered by a single cooler 50.

【００３９】第３の実施の形態においても第２の実施の
形態と同じ効果が得られる。ギヤハウジング３３の底部
の貯留油を歯車３４，３５によってかき上げる際のかき
上げ抵抗は、多段ルーツポンプ１１の動力損失をもたら
す。歯車３４，３５の回転方向と交差する区画壁は、貯
留油の流れの抵抗となり、前記かき上げ抵抗が増大す
る。回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１と直交する
方向に区画壁４７９を沿わせた構成は、区画壁の存在に
よる前記かき上げ抵抗の増大を抑制する上で有効であ
る。In the third embodiment, the same effects as in the second embodiment can be obtained. The scraping resistance when the stored oil at the bottom of the gear housing 33 is scraped by the gears 34 and 35 causes power loss of the multi-stage roots pump 11. The partition wall that intersects with the rotation direction of the gears 34 and 35 becomes a resistance to the flow of the stored oil, and the above-described lifting resistance increases. The configuration in which the partition wall 479 extends along the direction orthogonal to the axes 191 and 201 of the rotating shafts 19 and 20 is effective in suppressing the increase in the scraping resistance due to the presence of the partition wall.

【００４０】次に、図７（ａ），（ｂ）の第４の実施の
形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が付してある。ギヤハウジング３３の周壁４７の
底壁４７２には放熱用孔４７３が設けられており、放熱
用孔４７３には冷却器５０Ａが嵌めこまれている。冷却
器５０Ａは、アルミニウム系の材質製である。Next, a fourth embodiment shown in FIGS. 7A and 7B will be described. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. A heat dissipation hole 473 is provided in a bottom wall 472 of the peripheral wall 47 of the gear housing 33, and a cooler 50A is fitted into the heat dissipation hole 473. The cooler 50A is made of an aluminum-based material.

【００４１】第４の実施の形態では、第１の実施の形態
と同じ効果が得られる。又、放熱用孔４７３に冷却器５
０Ａを嵌め込む構成は、ギヤハウジング３３の壁の外面
から突出する冷却器５０Ａの突出体積が少なくなり、第
１〜第３の実施の形態の場合よりも、多段ルーツポンプ
１１の体格が小さくなる。In the fourth embodiment, the same effects as in the first embodiment can be obtained. In addition, the cooler 5 is
In the configuration in which 0A is fitted, the projecting volume of the cooler 50A projecting from the outer surface of the wall of the gear housing 33 is reduced, and the physical size of the multi-stage roots pump 11 is smaller than in the first to third embodiments. .

【００４２】本発明では以下のような実施の形態も可能
である。 （１）ギヤハウジング３３の周壁４７の側壁に放熱用孔
を設け、この放熱用孔を冷却器で被覆すること。 （２）ギヤハウジング３３の周壁４７の上壁に放熱用孔
を設け、この放熱用孔を冷却器で被覆すること。 （３）ギヤハウジング３３の端壁４９において、電動モ
ータＭとは重ならない部位に放熱用孔を設け、この放熱
用孔を冷却器で被覆すること。 （４）ギヤハウジング３３の外壁に複数の放熱用孔を設
け、各放熱用孔を別々の冷却器で被覆すること。 （５）ギヤハウジング３３の外壁に３つ以上の放熱用孔
を設けること。 （６）冷却器５０の材質をアルミニウム系に代えて真鍮
にすること。In the present invention, the following embodiments are also possible. (1) A heat radiation hole is provided on the side wall of the peripheral wall 47 of the gear housing 33, and the heat radiation hole is covered with a cooler. (2) A heat dissipation hole is provided in the upper wall of the peripheral wall 47 of the gear housing 33, and the heat dissipation hole is covered with a cooler. (3) In the end wall 49 of the gear housing 33, a heat radiation hole is provided in a portion that does not overlap with the electric motor M, and the heat radiation hole is covered with a cooler. (4) A plurality of heat dissipation holes are provided on the outer wall of the gear housing 33, and each heat dissipation hole is covered with a separate cooler. (5) Three or more heat dissipation holes are provided on the outer wall of the gear housing 33. (6) The material of the cooler 50 is brass instead of aluminum.

【００４３】前記した実施の形態から把握できる請求項
記載以外の発明について以下に記載する。 （１）前記放熱用孔の設定位置は、前記オイルハウジン
グの他の部材に対する結合部から外してある請求項１乃
至請求項６のいずれか１項に記載の真空ポンプにおける
冷却構造。The inventions other than those described in the claims which can be grasped from the above embodiment will be described below. (1) The cooling structure of the vacuum pump according to any one of claims 1 to 6, wherein a setting position of the heat radiation hole is removed from a coupling portion of the oil housing with another member.

【００４４】この場合、結合部は、周壁４７の端縁４７
１である。In this case, the joint is formed by the edge 47 of the peripheral wall 47.
It is one.

【００４５】[0045]

【発明の効果】以上詳述したように本発明では、冷却用
の油の存在領域を形成するオイルハウジング内の油存在
領域に前記回転軸を突出させ、外部に露出する前記オイ
ルハウジングの外壁に放熱用孔を貫通して設け、前記放
熱用孔を冷却器で被覆したので、真空ポンプ内の冷却対
象を冷却する油を効率良く冷却し得るという優れた効果
を奏する。As described above in detail, according to the present invention, the rotating shaft is protruded from the oil existing area in the oil housing forming the oil existing area, so that the outer wall of the oil housing is exposed to the outside. Since the heat radiating hole is provided so as to penetrate and the heat radiating hole is covered with the cooler, there is an excellent effect that the oil for cooling the object to be cooled in the vacuum pump can be efficiently cooled.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】第１の実施の形態を示し、（ａ）は多段ルーツ
ポンプ１１全体の平断面図。（ｂ）はリップシール４
４，４５の拡大平断面図。FIG. 1 shows a first embodiment, in which (a) is a plan sectional view of the whole multi-stage roots pump 11; (B) Lip seal 4
4 and 45 are enlarged plan sectional views.

【図２】（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は図１
のＢ−Ｂ線断面図。（ｃ）は図１のＣ−Ｃ線断面図。FIG. 2A is a sectional view taken along line AA of FIG. (B) is FIG.
BB sectional drawing of FIG. (C) is a sectional view taken along line CC of FIG. 1.

【図３】図１のＤ−Ｄ線断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line DD of FIG. 1;

【図４】図３のＥ−Ｅ線断面図。FIG. 4 is a sectional view taken along line EE of FIG. 3;

【図５】第２の実施の形態を示し、（ａ）は断面図。
（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線断面図。FIG. 5 shows a second embodiment, in which (a) is a sectional view.
(B) is a sectional view taken along line FF of (a).

【図６】第３の実施の形態を示し、（ａ）は断面図。
（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線断面図。FIG. 6 shows a third embodiment, in which (a) is a sectional view.
(B) is GG sectional drawing of (a).

【図７】第４の実施の形態を示し、（ａ）は断面図。
（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ線断面図。FIG. 7 shows a fourth embodiment, in which (a) is a sectional view.
(B) is a sectional view taken along line HH in (a).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１…真空ポンプである多段ルーツポンプ。１４…隔壁
となるリヤハウジング。１９，２０…回転軸。１９１，
２０１…軸線。１９２，２０２…回転軸の突出端部。２
３〜３２…ガス移送体となるロータ。３３…オイルハウ
ジングとなるギヤハウジング。３３１…油存在領域とな
るギヤ収容室。３４，３５…歯車機構を構成する歯車。
３９〜４３…ポンプ室。４４，４５…接触型シール手段
となるリップシール。４７…外壁の一部である周壁。４
７２…底壁。４７３，４７４，４７５，４７７，４７８
…放熱用孔。５０，５０Ａ…冷却器。Ｙ…潤滑油。11 Multi-stage roots pump which is a vacuum pump. 14. Rear housing serving as a partition. 19, 20 ... rotating shaft. 191,
201 ... axis. 192, 202: Protruding ends of the rotating shaft. 2
3 to 32: rotors serving as gas transfer bodies. Reference numeral 33 denotes a gear housing serving as an oil housing. Reference numeral 331 denotes a gear storage chamber serving as an oil existing area. 34, 35 ... gears constituting a gear mechanism.
39-43 ... Pump room. 44, 45: Lip seals serving as contact-type sealing means. 47 ... A peripheral wall which is a part of the outer wall. 4
72 ... Bottom wall. 473,474,475,477,478
... holes for heat radiation. 50, 50A ... cooler. Y: Lubricating oil.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川口 真広 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 (72)発明者 正路 仁 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 Ｆターム(参考） 3H029 AA06 AA17 AA21 AB06 BB12 CC09 CC23 CC26 CC48 CC56 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Masahiro Kawaguchi 2-1-1 Toyota-cho, Kariya-shi, Aichi Pref. Inside Toyota Industries Corporation (72) Inventor Hitoshi Masaji 2-1-1 Toyota-cho, Kariya-shi, Aichi Pref. F term in Toyota Industries Corporation (reference) 3H029 AA06 AA17 AA21 AB06 BB12 CC09 CC23 CC26 CC48 CC56

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス
移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを
移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、 冷却用の油の存在領域を形成するオイルハウジング内の
油存在領域に前記回転軸を突出させ、外部に露出する前
記オイルハウジングの外壁に放熱用孔を貫通して設け、
前記放熱用孔を冷却器で被覆した真空ポンプにおける冷
却構造。1. A vacuum pump for moving a gas transfer body in a pump chamber based on rotation of a rotating shaft and transferring a gas by an operation of the gas transfer body to provide a suction action, wherein a region where a cooling oil exists is formed. Projecting the rotating shaft into an oil existing region in the oil housing to be provided, and providing a heat radiation hole through an outer wall of the oil housing exposed to the outside,
A cooling structure in a vacuum pump in which the heat dissipation holes are covered with a cooler. 【請求項２】前記放熱用孔は、前記油を溜める前記オイ
ルハウジングの底部の底壁に設けられる請求項１に記載
の真空ポンプにおける冷却構造。2. The cooling structure according to claim 1, wherein said heat radiation hole is provided in a bottom wall of a bottom portion of said oil housing for storing said oil. 【請求項３】前記冷却器は、前記オイルハウジングの材
質よりも熱伝達性能の高い材質で形成されている請求項
１及び請求項２のいずれか１項に記載の真空ポンプにお
ける冷却構造。3. The cooling structure for a vacuum pump according to claim 1, wherein said cooler is formed of a material having a higher heat transfer performance than a material of said oil housing. 【請求項４】前記オイルハウジングは鉄系の材質製であ
り、前記冷却器はアルミニウム系もしくは真鍮の材質製
である請求項３に記載の真空ポンプにおける冷却構造。4. The cooling structure according to claim 3, wherein said oil housing is made of an iron-based material, and said cooler is made of an aluminum-based or brass material. 【請求項５】前記油存在領域は、隔壁によって前記ポン
プ室から隔てられ、前記回転軸は、前記隔壁を貫通して
前記油存在領域に突出し、前記回転軸と前記隔壁との間
には軸シール用の接触型シール手段を介在した請求項１
乃至請求項４のいずれか１項に記載の真空ポンプにおけ
る冷却構造。5. The oil-existing region is separated from the pump chamber by a partition, the rotary shaft penetrates the partition and protrudes into the oil-existing region, and a shaft is provided between the rotary shaft and the partition. 2. A method according to claim 1, further comprising contact type sealing means for sealing.
A cooling structure in the vacuum pump according to claim 4. 【請求項６】前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平
行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置
し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互い
に噛み合った状態の複数のロータを１組として収容する
複数のポンプ室を前記回転軸の軸線方向へ配列した多段
真空ポンプであり、前記複数のポンプ室の容積は、前記
回転軸の軸線方向に沿って前記隔壁に近づく順に小さく
なってゆき、前記ガスは、前記容積が小さくなってゆく
順に前記複数のポンプ室を経由して移送され、前記油存
在領域に隣合うポンプ室は最小容積のポンプ室である請
求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の真空ポンプ
における冷却構造。6. The vacuum pump according to claim 1, wherein a plurality of said rotating shafts are arranged in parallel, a rotor is arranged on each of said rotating shafts, rotors on adjacent rotating shafts are meshed with each other, and said vacuum pump is in a state of being meshed with each other. A multi-stage vacuum pump in which a plurality of pump chambers accommodating a plurality of rotors as one set are arranged in the axial direction of the rotating shaft, and the volumes of the plurality of pump chambers are formed in the partition along the axial direction of the rotating shaft. The gas is transferred through the plurality of pump chambers in the order of decreasing volume, and the pump chamber adjacent to the oil existing area is a pump chamber having a minimum volume. A cooling structure in the vacuum pump according to any one of claims 1 to 5. 【請求項７】複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同
期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収
容する領域とし、前記油存在領域には前記歯車機構を潤
滑するための油が貯留されており、前記歯車機構を潤滑
可能に貯留油をかき上げるための油かき上げ手段が前記
油存在領域に設けられている請求項６に記載の真空ポン
プにおける冷却構造。7. A plurality of said rotating shafts are synchronously rotated by using a gear mechanism, said oil present area is an area for accommodating said gear mechanism, and said oil present area lubricates said gear mechanism. 7. The cooling structure of the vacuum pump according to claim 6, wherein oil for oil storage is stored, and oil scraping means for scraping the oil so as to lubricate the gear mechanism is provided in the oil existing area.