JP2002106633A - Vibration controlling actuator, and active type vibration controller - Google Patents

Vibration controlling actuator, and active type vibration controller

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JP2002106633A
JP2002106633A JP2000297404A JP2000297404A JP2002106633A JP 2002106633 A JP2002106633 A JP 2002106633A JP 2000297404 A JP2000297404 A JP 2000297404A JP 2000297404 A JP2000297404 A JP 2000297404A JP 2002106633 A JP2002106633 A JP 2002106633A
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vibration
actuator
fitting
magnetic pole
axial direction
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JP2000297404A
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Japanese (ja)
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Katsuhiro Goto
勝博 後藤
Yoshihiko Hagino
吉彦 萩野
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Sumitomo Riko Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration controlling actuator for an active type vibration controller having a new structure capable of advantageously improving all of compact property, lighting property, and occurring efficiency of an exciting force to consumed power in a simple structure. SOLUTION: A coil 62 conventionally mounted to an outer member 14 is mounted on an inner member 12 side, and a permanent magnet 52 conventionally mounted to the inner member 12 is mounted on the outer member 14 side.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【技術分野】本発明は、防振対象部材に装着されること
により能動的な防振効果を発揮し得る能動型防振装置に
用いられる防振用アクチュエータと、それを用いた能動
型防振装置に係り、特に、自動車用のエンジンマウント
やボデーマウント，制振器などの防振装置において好適
に採用される防振用アクチュエータおよびそれを用いた
能動型防振装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an anti-vibration actuator used in an active vibration isolator capable of exhibiting an active vibration isolating effect by being mounted on a vibration-isolation target member, and an active vibration isolator using the same. More particularly, the present invention relates to an anti-vibration actuator suitably used in an anti-vibration device such as an engine mount, a body mount, and a vibration damper for an automobile, and an active vibration isolator using the same.

【０００２】[0002]

【背景技術】防振対象部材における振動を低減するため
に、従来では、一般に、ショックアブソーバやゴム弾性
体等の減衰効果を利用した振動減衰手段や、コイルスプ
リングやゴム弾性体等のばね効果を利用した振動絶縁手
段の如き防振装置が採用されているが、これらの防振装
置は何れも受動的な防振作用を発揮するものであるため
に、例えば防振すべき振動特性が変化する場合等におい
ては、十分な防振効果を得ることが難しいなどという問
題があった。そこで、近年では、防振対象部材や防振装
置に加振力を及ぼすことにより、防振すべき振動を積極
的乃至は相殺的に低減せしめるようにした能動的な防振
装置が開発され、検討されている。例えば、本出願人が
先に出願した特開平１１−３５１３２２号公報や特開２
０００−３５０８３号公報等に記載のものが、それであ
る。2. Description of the Related Art Conventionally, in order to reduce vibration in a member to be damped, conventionally, vibration damping means using a damping effect of a shock absorber or a rubber elastic body, or a spring effect of a coil spring or a rubber elastic body is generally used. Vibration isolating devices such as vibration isolating means are employed, but since all of these vibration isolating devices exhibit a passive vibration isolating action, for example, vibration characteristics to be damped change. In some cases, there is a problem that it is difficult to obtain a sufficient anti-vibration effect. Therefore, in recent years, active vibration isolators have been developed in which a vibration to be damped is positively or offsetly reduced by applying a vibrating force to a vibration-isolation target member or a vibration-isolation device. Are being considered. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-351322 and Japanese Patent Application Laid-Open No.
That described in JP-A-000-35083 and the like is that.

【０００３】ところで、能動的防振装置では、加振力を
発生するアクチュエータが必要であり、かかるアクチュ
エータにおいては、発生加振力の優れた周波数制御性が
要求される。そこで、能動的防振装置に採用される防振
用アクチュエータとしては、永久磁石とコイルを用い
て、コイルへの供給電流を制御することによって、生ぜ
しめられる加振力としての電磁力や磁力を制御するよう
にしたものが好適に採用される。具体的には、かかる防
振用アクチュエータにおいては、一般に、前記公報にも
記載されているように、インナ軸部材の外方に離隔して
筒状のアウタ筒部材を配設し、インナ軸部材に永久磁石
を固定すると共に、アウタ筒部材にコイルを固定せしめ
て、永久磁石によってインナ軸部材側に形成された磁極
乃至は磁界と、コイルへの通電によってアウタ筒部材側
に形成される磁極乃至は磁界の相互作用によって、イン
ナ軸部材とアウタ筒部材に対して中心軸方向における相
対的な加振力が及ぼされるようになっている。[0003] By the way, an active vibration isolator requires an actuator for generating an exciting force, and such an actuator is required to have excellent frequency controllability of the generated exciting force. Therefore, as an anti-vibration actuator used in an active anti-vibration device, a permanent magnet and a coil are used to control an electric current supplied to the coil to generate an electromagnetic force or a magnetic force as an exciting force generated. Controlled ones are preferably employed. Specifically, in such an anti-vibration actuator, generally, as described in the above-mentioned publication, a cylindrical outer cylinder member is disposed outside the inner shaft member so as to be separated from the inner shaft member. And a coil fixed to the outer cylinder member, and a magnetic pole or a magnetic field formed on the inner shaft member side by the permanent magnet and a magnetic pole or a magnetic field formed on the outer cylinder member side by energizing the coil. Are adapted to exert a relative excitation force in the central axis direction on the inner shaft member and the outer cylinder member due to the interaction of the magnetic field.

【０００４】また、能動的防振装置、なかでも特に自動
車等に用いられる能動的防振装置においては、防振用ア
クチュエータに対して、コンパクト性と、軽量性に加え
て、加振力の発生効率を向上させて、少ない消費電力で
大きな加振力を生ぜしめることが、要求される。Further, active vibration isolators, especially active vibration isolators used for automobiles and the like, are not only compact and lightweight, but also generate vibration force with respect to the vibration isolating actuator. It is required to improve efficiency and generate a large excitation force with low power consumption.

【０００５】ところが、上述の如き従来構造の防振用ア
クチュエータにおいては、これらの要求特性を十分に達
成し得るものではなかったのであり、（ｉ）コンパクト
性、（ii）軽量性、（iii ）消費電力に対する加振力の
発生効率の、何れについても、更なる向上が望まれてい
たのである。[0005] However, the above-mentioned conventional anti-vibration actuators have not been able to sufficiently achieve these required characteristics. Therefore, (i) compactness, (ii) lightweight, and (iii). It has been desired to further improve the efficiency of generating the exciting force with respect to the power consumption.

【０００６】[0006]

【解決課題】ここにおいて、本発明は、上述の如き事情
を背景として為されたものであって、その解決課題とす
るところは、コンパクト性と軽量性、および消費電力に
対する加振力の発生効率が、何れも、簡単な構造で有利
に向上され得る新規な構造の防振用アクチュエータと、
かかる防振用アクチュエータを用いた能動型防振装置を
提供することにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and has as its solution the problems of compactness and light weight, and the generation efficiency of an exciting force with respect to power consumption. However, each has a novel structure of an anti-vibration actuator that can be advantageously improved with a simple structure,
An object of the present invention is to provide an active vibration isolator using such a vibration isolating actuator.

【０００７】[0007]

【解決手段】以下、このような課題を解決するために為
された本発明の態様を記載する。なお、以下に記載の各
態様において採用される構成要素は、可能な限り任意の
組み合わせで採用可能である。また、本発明の態様乃至
は技術的特徴は、以下に記載のものに限定されることな
く、明細書全体および図面に記載され、或いはそれらの
記載から当業者が把握することの出来る発明思想に基づ
いて認識されるものであることが理解されるべきであ
る。An embodiment of the present invention which has been made to solve such a problem will be described below. The components employed in each of the embodiments described below can be employed in any combination as possible. In addition, aspects or technical features of the present invention are not limited to those described below, but are described in the entire specification and drawings, or based on the invention ideas that can be understood by those skilled in the art from the descriptions. It should be understood that it is recognized on the basis of.

【０００８】すなわち、防振用アクチュエータに関する
本発明の第一の態様は、（ａ）インナ軸部材と、（ｂ）
該インナ軸部材と同一中心軸上で、該インナ軸部材に対
して外周側に離隔して軸方向で相対変位可能に配設され
た筒状のアウタ筒部材と、（ｃ）前記インナ軸部材と同
一中心軸上に配されて、該インナ軸部材に対して固定的
に取り付けられたコイルと、（ｄ）該コイルに対して固
定的に配設されて、該コイルへの通電によって該コイル
の軸方向両側の外周面上にインナ側磁極を形成するイン
ナ側ヨークと、（ｅ）前記コイル及び／又は前記インナ
側ヨークの外周側に離隔位置して、前記アウタ筒部材と
同一中心軸上で周方向に延びるように配設されて、該ア
ウタ筒部材に対して固定的に取り付けられた永久磁石
と、（ｆ）該永久磁石に対して固定的に配設されて、前
記インナ側磁極に対して軸直角方向に離隔して、且つ該
インナ側磁極に対して軸方向にずれて、軸直角方向で対
向位置せしめられたアウタ側磁極を、該永久磁石と協働
して形成するアウタ側ヨークとを、含み、前記コイルへ
の通電によって前記インナ側磁極と前記アウタ側磁極の
間に軸方向の相対変位力が生ぜしめられるようにした防
振用アクチュエータを、特徴とする。That is, the first aspect of the present invention relating to the vibration damping actuator is as follows: (a) an inner shaft member;
A cylindrical outer cylinder member disposed on the same central axis as the inner shaft member and spaced from the inner shaft member on the outer peripheral side so as to be relatively displaceable in the axial direction; and (c) the inner shaft member. (D) fixedly mounted on the inner shaft member, and (d) fixedly mounted on the coil, and energized to the coil to energize the coil. An inner yoke forming inner magnetic poles on outer circumferential surfaces on both axial sides of the inner cylindrical yoke; and (e) spaced apart from the outer circumferential side of the coil and / or the inner yoke and on the same central axis as the outer cylindrical member. And a permanent magnet fixedly attached to the outer cylinder member, and (f) fixedly arranged with respect to the permanent magnet, and With respect to the inner side magnetic pole. An outer-side yoke formed in cooperation with the permanent magnet, and an outer-side magnetic pole that is displaced in the axial direction and is opposed to the axis perpendicular to the axis, and the inner-side magnetic pole and the outer magnetic pole are formed by energizing the coil. It is characterized by an anti-vibration actuator in which an axial relative displacement force is generated between the outer magnetic poles.

【０００９】このような本態様に従う構造とされた防振
用アクチュエータにおいては、従来からアウタ筒部材に
取り付けられていたコイルがインナ軸部材に取り付けら
れる。これにより、コイルが小径化されてコイルワイヤ
の巻回数に対するワイヤ長が短くされることから、ワイ
ヤ長に比例する抵抗値を小さくして消費電力を抑えるこ
とが出来ると共に、ワイヤ長に比例する重量も抑えるこ
とが可能となる。また、コイルのワイヤ長に対するワイ
ヤ巻回数が多くされることから、ワイヤ巻回数に略比例
して生ぜしめられる磁界の磁束密度、即ち磁力を大きく
して発生加振力を増大させることも可能となる。In the vibration damping actuator having such a structure according to this aspect, the coil conventionally attached to the outer cylinder member is attached to the inner shaft member. As a result, the diameter of the coil is reduced and the wire length with respect to the number of turns of the coil wire is reduced, so that the resistance value proportional to the wire length can be reduced to reduce power consumption, and the weight proportional to the wire length can be reduced. It can be suppressed. In addition, since the number of turns of the wire relative to the length of the coil is increased, it is possible to increase the magnetic flux density of the magnetic field generated in proportion to the number of turns of the wire, that is, to increase the generated excitation force by increasing the magnetic force. Become.

【００１０】更にまた、かかる防振用アクチュエータに
おいては、従来からインナ軸部材に取り付けられていた
永久磁石がアウタ筒部材に取り付けられる。これによ
り、永久磁石とアウタ側ヨークが大径化されることか
ら、それら永久磁石やアウタ側ヨークを径方向に厚肉化
しなくても、大きな周方向長さによって軸直角方向断面
での断面積、即ち磁路の断面積を全体として有利に得る
ことが出来るのであり、十分な磁路の断面積、延いては
発生磁力を確保しつつ、永久磁石やアウタ側ヨークの径
方向厚さ寸法を小さくして、防振用アクチュエータ全体
の外径寸法、即ちサイズを小さくすることが可能とな
る。Furthermore, in such an anti-vibration actuator, a permanent magnet conventionally attached to the inner shaft member is attached to the outer cylinder member. As a result, the diameter of the permanent magnet and the outer yoke is increased, so that the cross-sectional area of the permanent magnet and the outer yoke in the cross section perpendicular to the axis can be increased by the large circumferential length without increasing the thickness in the radial direction. In other words, the cross-sectional area of the magnetic path can be advantageously obtained as a whole, and the radial thickness of the permanent magnet and the outer yoke can be reduced while securing a sufficient cross-sectional area of the magnetic path and thus the generated magnetic force. By reducing the size, it is possible to reduce the outer diameter dimension, that is, the size of the entire vibration isolating actuator.

【００１１】なお、本態様において、インナ軸部材およ
びアウタ筒部材は、加振力の伝達経路を構成し得るよう
に剛性材で形成されることが望ましく、例えば、鉄鋼や
アルミニウム合金等の金属材によって形成されたものが
好適に採用される。また、インナ側ヨークおよびアウタ
側ヨークとしては、軟鉄など、透磁率の大きい強磁性材
であって、磁気的ヒステリシスの小さい材質が好適に採
用される。更にまた、永久磁石は、周方向の全周に亘っ
て連続して延びる環状乃至は筒状の他、周方向に分割さ
れた複数の弧状乃至は湾曲板状のものも採用可能であ
る。また、永久磁石は、配設位置や形状等によって、ア
ウタ筒部材の中心軸方向両側に各一方の磁極が位置する
ように着磁されたものと、アウタ筒部材の軸直角方向両
側、即ち内周側と外周側に各一方の磁極が位置するよう
に着磁されたものが、適宜に採用され得る。更にまた、
コイルや永久磁石は、それぞれ、インナ軸部材側とアウ
タ筒部材側にそれぞれ有効な磁極（インナ側磁極および
アウタ側磁極）を形成し得るように少なくとも一つ設け
られていれば良いが、その配設数は、特に限定されるも
のでない。また、インナ側磁極とアウタ側磁極は、総合
的に及ぼされる磁力、即ち磁気吸引力および反撥力によ
って、インナ軸部材とアウタ筒部材に軸方向の相対的駆
動力を与えるように、全てが軸直角方向で同一位置に対
向位置せしめられることなく、インナ側磁極とアウタ側
磁極の各単体での軸方向中心が、少なくとも一つ、好ま
しくは全ての磁極において、中心軸方向で相互にずれて
位置せしめられるように設定される。In this embodiment, the inner shaft member and the outer cylinder member are desirably formed of a rigid material so as to form a transmission path of the excitation force. Is preferably adopted. Further, as the inner yoke and the outer yoke, a ferromagnetic material having a high magnetic permeability and a small magnetic hysteresis, such as soft iron, is preferably used. Still further, the permanent magnet may be annular or cylindrical extending continuously over the entire circumference in the circumferential direction, or may be a plurality of arcs or curved plates divided in the circumferential direction. Further, the permanent magnet is magnetized such that one magnetic pole is located on both sides in the central axis direction of the outer cylinder member depending on the arrangement position, shape, and the like. Those magnetized so that one magnetic pole is located on each of the circumferential side and the outer circumferential side may be appropriately adopted. Furthermore,
At least one coil or permanent magnet may be provided so that effective magnetic poles (an inner magnetic pole and an outer magnetic pole) can be formed on the inner shaft member side and the outer cylinder member side, respectively. The number is not particularly limited. In addition, the inner magnetic pole and the outer magnetic pole are all axially driven so as to apply a relative driving force in the axial direction to the inner shaft member and the outer cylinder member by the magnetic force exerted comprehensively, that is, the magnetic attractive force and the repulsive force. The axial center of each of the inner magnetic pole and the outer magnetic pole alone is shifted from each other in the central axis direction in at least one, and preferably all magnetic poles, without being opposed to the same position in the perpendicular direction. It is set so that it can be executed.

【００１２】また、防振用アクチュエータに関する本発
明の第二の態様は、前記第一の態様に従う構造とされた
防振用アクチュエータであって、前記永久磁石におい
て、内周面と外周面の一方にＮ極を設定すると共に、他
方にＳ極を設定したことを、特徴とする。このような本
態様に従う構造とされた防振用アクチュエータにおいて
は、永久磁石の着磁方向に直交する断面積を十分に確保
しつつ、着磁方向に薄肉として、永久磁石の全体ボリュ
ーム（大きさ）を小さく設定することが可能となる。ま
た、永久磁石の一方の磁極によって、一つのアウタ側磁
極を形成することも可能となり、それによってアウタ側
ヨークの構造の簡略化も図られ得る。According to a second aspect of the present invention relating to an anti-vibration actuator, there is provided an anti-vibration actuator having a structure according to the first aspect, wherein the permanent magnet includes one of an inner peripheral surface and an outer peripheral surface. , And an S pole is set on the other side. In the vibration damping actuator having the structure according to the present aspect, the permanent magnet is thinned in the magnetization direction while sufficiently securing a cross-sectional area perpendicular to the magnetization direction of the permanent magnet. ) Can be set small. In addition, one outer magnetic pole can be formed by one magnetic pole of the permanent magnet, so that the structure of the outer yoke can be simplified.

【００１３】また、防振用アクチュエータに関する本発
明の第三の態様は、前記第一又は第二の態様に従う構造
とされた防振用アクチュエータにおいて、前記コイルの
軸方向両側に形成された前記インナ側磁極の軸方向中間
部分に位置するように、前記アウタ側磁極におけるＮ極
およびＳ極の一方を形成すると共に、該コイルの軸方向
両側に形成された該インナ側磁極のそれぞれに対して軸
方向にずれて軸直角方向で対向位置するように、該アウ
タ側磁極におけるＮ極およびＳ極の他方を形成したこと
を、特徴とする。このような本態様においては、コイル
への通電によってコイルの軸方向両側に発現される二つ
のインナ側磁極に対して、軸方向中央とその両側に形成
された三つのアウタ側磁極が、何れも軸方向で同一方向
に向かう磁力を生ぜしめることとなり、インナ側磁極と
アウタ側磁極の間に全体として大きな軸方向加振力が効
率的に発生され得るのである。According to a third aspect of the present invention relating to an anti-vibration actuator, in the anti-vibration actuator having a structure according to the first or second aspect, the inner member formed on both axial sides of the coil is provided. One of an N pole and an S pole of the outer magnetic pole is formed so as to be located at an axially intermediate portion of the side magnetic pole, and an axis is formed with respect to each of the inner magnetic poles formed on both axial sides of the coil. It is characterized in that the other of the N-pole and the S-pole of the outer magnetic pole is formed so as to be deviated in the direction and opposed in the direction perpendicular to the axis. In this embodiment, the three outer magnetic poles formed on the axial center and on both sides of the two inner magnetic poles generated on both axial sides of the coil by energizing the coil are all provided. As a result, a magnetic force directed in the same direction in the axial direction is generated, so that a large axial excitation force can be efficiently generated as a whole between the inner magnetic pole and the outer magnetic pole.

【００１４】また、防振用アクチュエータに関する本発
明の第四の態様は、前記第一乃至第三の何れかの態様に
従う構造とされた防振用アクチュエータにおいて、前記
コイルを、前記インナ軸部材の中心軸方向で相互に所定
距離を隔てて複数個設けたことを、特徴とする。このよ
うな本態様においては、各コイルの軸方向両側に形成さ
れるインナ側ヨークと、それに対応して配設されたアウ
タ側ヨークが、軸方向に複数組形成されて、それら複数
組のインナ側ヨークとアウタ側ヨークの磁力作用によっ
て加振力が相加的に生ぜしめられることから、アウタ筒
部材の外径寸法の大型化を回避しつつ、発生加振力の増
大が図られ得る。なお、複数のコイルの幾つかにおいて
給電制御装置や給電回路を共通化することも可能であ
り、アウタ側ヨークを共通化して形成することも可能で
ある。特に、アウタ側ヨークを共通化するに際しては、
一つの永久磁石を複数のアウタ側ヨークで共用しても良
い。According to a fourth aspect of the present invention relating to an anti-vibration actuator, in the anti-vibration actuator having a structure according to any of the first to third aspects, the coil is connected to the inner shaft member. It is characterized in that a plurality of them are provided at a predetermined distance from each other in the central axis direction. In such an embodiment, a plurality of sets of inner yokes formed on both sides in the axial direction of the respective coils and outer yokes arranged correspondingly are formed in the axial direction. Since the exciting force is generated by the magnetic action of the side yoke and the outer yoke, the generated exciting force can be increased while avoiding an increase in the outer diameter of the outer cylinder member. Note that the power supply control device and the power supply circuit can be shared in some of the plurality of coils, and the outer yoke can be formed in common. In particular, when sharing the outer yoke,
One permanent magnet may be shared by a plurality of outer yokes.

【００１５】また、防振用アクチュエータに関する本発
明の第五の態様は、前記第一乃至第六の何れかの態様に
従う構造とされた防振用アクチュエータにおいて、前記
アウタ側ヨークを、少なくとも二つの前記コイルの外周
側に跨がって軸方向に延びるように配設せしめることに
より、それら各コイルの軸方向両側に形成された前記イ
ンナ側磁極の軸方向中間部分に位置するように、かかる
各コイルの外周側に離隔してＮ極またはＳ極からなる単
一の前記アウタ側磁極を形成したことを、特徴とする。
このような本態様においては、少ないアウタ側磁極によ
って軸方向加振力を有効に得ることが可能となる。ま
た、複数のコイル間で、アウタ側ヨークが共通化されて
形成されることから、アウタ側ヨークの構造の簡単化や
永久磁石の共用化なども、容易に実現可能となる。According to a fifth aspect of the present invention relating to an anti-vibration actuator, in the anti-vibration actuator having a structure according to any one of the first to sixth aspects, the outer yoke is connected to at least two outer yokes. By arranging so as to extend in the axial direction over the outer peripheral side of the coil, each of the coils is positioned at an axially intermediate portion of the inner magnetic pole formed on both axial sides of the coil. The single outer-side magnetic pole composed of the N pole or the S pole is formed apart from the outer peripheral side of the coil.
In this embodiment, it is possible to effectively obtain the axial excitation force with a small number of outer magnetic poles. Further, since the outer yoke is formed in common among the plurality of coils, simplification of the structure of the outer yoke and sharing of the permanent magnet can be easily realized.

【００１６】また、防振用アクチュエータに関する本発
明の第六の態様は、前記第一乃至第五の何れかの態様に
従う構造とされた防振用アクチュエータにおいて、前記
インナ軸部材の内部に軸方向に延びる内孔を設けて、該
内孔を通じて、前記コイルへの給電用リード線を配設し
たことを、特徴とする。このような本態様においては、
給電用リード線の配設用スペースを効率的に確保するこ
とが出来ると共に、インナ側とアウタ側の相対変位せし
められる部材間を避けて給電用リード線を配設すること
が可能となり、給電用リードの干渉等による作動特性の
不安定化も回避され得る。According to a sixth aspect of the present invention relating to an anti-vibration actuator, in the anti-vibration actuator having a structure according to any one of the first to fifth aspects, an axial direction is provided inside the inner shaft member. And a power supply lead wire to the coil is provided through the inner hole. In this embodiment,
A space for arranging the power supply lead wire can be efficiently secured, and the power supply lead wire can be disposed so as to avoid between the members that can be relatively displaced on the inner side and the outer side. Instability of operating characteristics due to lead interference or the like can also be avoided.

【００１７】また、防振用アクチュエータに関する本発
明の第七の態様は、前記第一乃至第六の何れかの態様に
従う構造とされた防振用アクチュエータにおいて、前記
インナ軸部材と前記アウタ筒部材の間に配設されて、そ
れらインナ軸部材とアウタ筒部材の軸直角方向の相対変
位を抑えると共に、それらインナ軸部材とアウタ筒部材
の軸方向の相対変位を許容する案内手段を設けたこと
を、特徴とする。このような本態様においては、インナ
軸部材とアウタ筒部材の軸方向の相対変位、延いては加
振力の出力特性が安定化され得る。なお、案内手段とし
ては、例えば、インナ軸部材とアウタ筒部材を、軸方向
の相対変位を許容しつつ弾性的に連結する金属製や合成
樹脂製等の板バネや、ゴム弾性体などの他、インナ軸部
材およびアウタ筒部材の何れか一方に取り付けられて、
他方に突設されたガイドピンを摺動可能に案内するガイ
ドスリーブや摺動ブッシュなども、好適に採用され得
る。According to a seventh aspect of the present invention relating to an anti-vibration actuator, there is provided an anti-vibration actuator having a structure according to any one of the first to sixth aspects, wherein the inner shaft member and the outer cylindrical member are provided. And a guide means for suppressing relative displacement of the inner shaft member and the outer cylinder member in the direction perpendicular to the axis and allowing relative displacement of the inner shaft member and the outer cylinder member in the axial direction. Is the feature. In this aspect, the relative displacement of the inner shaft member and the outer cylinder member in the axial direction, and hence the output characteristics of the excitation force, can be stabilized. The guide means may be, for example, a leaf spring made of metal or synthetic resin, which elastically connects the inner shaft member and the outer cylinder member while allowing relative displacement in the axial direction, or a rubber elastic body. Attached to one of the inner shaft member and the outer cylinder member,
A guide sleeve or a sliding bush that slidably guides a guide pin protruding from the other side can also be suitably used.

【００１８】さらに、本発明は、相互に連結されること
により振動伝達系を構成する振動源側部材と防振対象部
材の間に介装されて、該防振対象部材に対して加振力を
及ぼす能動型防振用加振器であって、前記第一乃至第七
の何れかの態様に従う構造とされた防振用アクチュエー
タを用い、該防振用アクチュエータにおける前記インナ
軸部材と前記アウタ筒部材の一方を前記振動源側部材に
固着すると共に、それらインナ軸部材とアウタ筒部材の
他方を前記防振対象部材に固着するようにした能動型防
振用加振器も、特徴とする。Further, according to the present invention, a vibration source is interposed between a vibration source side member and a member to be vibration-isolated which constitute a vibration transmission system, and a vibration force is applied to the member to be vibration-isolated. An active-type vibration isolator that produces a vibration according to any one of the first to seventh aspects, wherein the inner shaft member and the outer member of the vibration-isolation actuator are used. An active vibration isolator for fixing one of the cylindrical members to the vibration source side member and fixing the other of the inner shaft member and the outer cylindrical member to the vibration isolation target member is also characterized. .

【００１９】また、本発明は、相互に連結されることに
より振動伝達系を構成する振動源側部材と防振対象部材
の一方に固着される第一の取付部材と、それら振動源側
部材と防振対象部材の他方に固着される第二の取付部材
を、本体ゴム弾性体で弾性的に連結すると共に、該本体
ゴム弾性体を介して、それら第一の取付部材と第二の取
付部材の間に加振力を及ぼすアクチュエータを設けた能
動型防振用マウントにおいて、前記アクチュエータとし
て、前記第一乃至第七の何れかの態様に従う構造とされ
た防振用アクチュエータを用い、該防振用アクチュエー
タにおける前記インナ軸部材と前記アウタ筒部材の間に
生ぜしめられる加振力が、前記本体ゴム弾性体を介し
て、前記第一の取付部材と前記第二の取付部材の間に及
ぼされるようにした能動型防振用マウントも、特徴とす
る。Further, the present invention provides a first mounting member which is fixed to one of a vibration source side member and a member to be vibration-isolated which constitutes a vibration transmission system by being mutually connected; A second mounting member fixed to the other of the vibration isolation target members is elastically connected by a main rubber elastic body, and the first mounting member and the second mounting member are connected via the main rubber elastic body. In an active vibration isolator mount provided with an actuator that exerts a vibration force between the vibration isolator, the vibration isolator having a structure according to any one of the first to seventh aspects is used as the actuator. A vibration force generated between the inner shaft member and the outer cylinder member in the actuator for use is applied between the first mounting member and the second mounting member via the main rubber elastic body. Did Dynamic type-proof cotton rose mount also, and features.

【００２０】更にまた、本発明は、かかる能動型防振用
マウントにおいて、前記本体ゴム弾性体によって壁部の
一部が構成されて非圧縮性流体が封入された主液室を形
成すると共に、該主液室の壁部の他の一部を加振部材で
構成し、該加振部材を前記防振用アクチュエータで加振
せしめて、該主液室に圧力変動を生ぜしめることによ
り、前記本体ゴム弾性体を介して、前記第一の取付部材
と前記第二の取付部材の間に加振力が及ぼされるように
した能動型防振用マウントも、特徴とする。Further, according to the present invention, in the active vibration isolating mount, a main liquid chamber in which an incompressible fluid is sealed is formed by forming a part of a wall portion by the rubber elastic body. The other part of the wall portion of the main liquid chamber is constituted by a vibration member, and the vibration member is vibrated by the vibration isolating actuator to generate a pressure fluctuation in the main liquid chamber, whereby An active vibration isolator mount in which a vibration force is applied between the first mounting member and the second mounting member via a rubber elastic body is also characterized.

【００２１】さらに、本発明は、防振対象部材に装着さ
れることにより、該防振対象部材に制振力を及ぼす能動
型防振用制振器であって、前記第一乃至第七の何れかの
態様に従う構造とされた防振用アクチュエータを用い、
該防振用アクチュエータにおける前記インナ軸部材と前
記アウタ筒部材を弾性的に連結する弾性連結部材を設け
る一方、それらインナ軸部材とアウタ筒部材の一方を前
記防振対象部材に固着せしめるようにすると共に、それ
らインナ軸部材とアウタ筒部材の他方に対してマス部を
固設した能動型防振用制振器も、特徴とする。このよう
な本態様に従う構造とされた能動型防振用制振器におい
ては、マス部が弾性連結部材を介して防振対象部材に弾
性支持される。そして、コイルへの通電によってマス部
に及ぼされる加振力が、弾性連結部材とマス部からなる
振動系によって優れた伝達効率で防振対象部材に及ぼさ
れることとなり、以て、防振対象部材に対して能動的な
制振効果が発揮される。Further, the present invention relates to an active vibration damper for mounting a vibration-damping force on the vibration-damping member when the vibration-damping member is mounted on the vibration-damping member. Using an anti-vibration actuator having a structure according to any of the aspects,
An elastic connection member for elastically connecting the inner shaft member and the outer cylinder member in the vibration-proof actuator is provided, and one of the inner shaft member and the outer cylinder member is fixed to the vibration-proof member. In addition, an active vibration damping device in which a mass portion is fixed to the other of the inner shaft member and the outer cylinder member is also characterized. In the active vibration damping device having the structure according to the present embodiment, the mass portion is elastically supported by the vibration-isolation target member via the elastic connecting member. Then, the excitation force exerted on the mass portion by energization of the coil is exerted on the vibration-proof target member with excellent transmission efficiency by the vibration system including the elastic connecting member and the mass portion. An active vibration damping effect is exhibited.

【００２２】そして、上述の如き、本発明に従う構造と
された能動型防振用加振器や、能動型防振用マウントお
よび能動型防振用制振器においては、何れも、前述の如
き本態様に従う構造とされた防振用アクチュエータを採
用することによって、大きな加振力を消費電力に対して
優れた効率で得ることが出来ると共に、軽量性とコンパ
クト性が高度に達成され得る能動型防振装置が、有利に
実現され得るのである。In the active vibration isolators, the active vibration isolators, and the active vibration isolators having the structure according to the present invention as described above, all of them are as described above. By adopting the vibration isolating actuator having the structure according to this aspect, it is possible to obtain a large excitation force with excellent efficiency with respect to power consumption, and at the same time, an active type that can achieve a high degree of lightness and compactness. An anti-vibration device can be advantageously implemented.

【００２３】[0023]

【発明の実施形態】以下、本発明を更に具体的に明らか
にするために、本発明の実施形態について、図面を参照
しつつ、詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, in order to clarify the present invention more specifically, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【００２４】先ず、図１には、防振用アクチュエータに
関する本発明の第一の実施形態が示されている。この防
振用アクチュエータ１０は、径方向に離隔して互いに同
軸的に配されたインナ軸部材としての内筒金具１２とア
ウタ筒部材としての外筒金具１４を備えており、それら
外筒金具１４と内筒金具１２に形成されるアウタ側磁極
としての外側磁極部１６とインナ側磁極としての内側磁
極部１８の間における磁力作用に基づいて、内筒金具１
２と外筒金具１４の間に軸方向の相対変位力が及ぼされ
るようになっている。なお、以下の説明において、上下
方向とは、図１中の上下方向をいうものとする。First, FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention relating to an anti-vibration actuator. The vibration isolating actuator 10 includes an inner cylindrical member 12 as an inner shaft member and an outer cylindrical member 14 as an outer cylindrical member which are coaxially arranged at a distance from each other in the radial direction. The inner cylinder fitting 1 is formed based on the magnetic force between the outer magnetic pole part 16 as the outer magnetic pole and the inner magnetic pole part 18 as the inner magnetic pole formed on the inner cylinder fitting 12.
An axial relative displacement force is exerted between the outer sleeve 2 and the outer tube fitting 14. In the following description, the vertical direction refers to the vertical direction in FIG.

【００２５】より詳細には、内筒金具１２は、軸方向に
略一定の断面積で貫通形成された内孔３２を有する全体
として小径厚肉の円筒形状とされている。また、内筒金
具１２の軸方向上下の両端部分が、それぞれ、中央部分
よりも外径寸法が小さい第一の嵌着筒部２０とされてい
る。それによって、内筒金具１２の軸方向中央部分に
は、外周面上に二つの段差面２２，２２が、軸方向で相
互に離隔して形成されている。更にまた、上側の第一の
嵌着筒部２０の軸方向上端部分および下側の第一の嵌着
筒部２０の軸方向下端部分が、それぞれ、第一の嵌着筒
部２０よりも外径寸法が小さい第二の嵌着筒部２４とさ
れている。それによって、各第一の嵌着筒部２０の軸方
向中央部分には、外周面上に一つの段差面２６が形成さ
れている。また、下側の第二の嵌着筒部２４の軸方向中
央部分には、ボルト部２８が形成されている。そして、
このボルト部２８にはナット３０が螺嵌されており、例
えば、図示しない防振対象部材に対して、内筒金具１２
がボルト固定可能とされている。なお、下側の第二の嵌
着筒部２４の軸方向下端部には、下端部の断面が正方形
となるように、下端部の外周面に面取りが施されてい
る。また、上側の第二の嵌着筒部２４の内径寸法は、上
側の第二の嵌着筒部２４の軸方向全体に亘って、内筒金
具１２の内径寸法、即ち、内孔３２の径方向寸法よりも
大きくされており、上側の第二の嵌着筒部２４がかしめ
加工可能に薄肉とされている。また、上側の第二の嵌着
筒部２４の内径寸法は、後述するボルト４４の頭の外径
寸法よりも大きくされている。More specifically, the inner cylindrical fitting 12 has a small-diameter and thick-walled cylindrical shape as a whole having an inner hole 32 formed therethrough with a substantially constant cross-sectional area in the axial direction. The upper and lower ends in the axial direction of the inner cylindrical fitting 12 are first fitting cylindrical portions 20 each having an outer diameter smaller than that of the central portion. As a result, two step surfaces 22 are formed on the outer peripheral surface of the inner cylindrical fitting 12 at the axial center thereof so as to be separated from each other in the axial direction. Furthermore, the upper end portion in the axial direction of the upper first fitting tube portion 20 and the lower end portion in the axial direction of the lower first fitting tube portion 20 are located outside the first fitting tube portion 20, respectively. The second fitting tube portion 24 has a small diameter. Thereby, one step surface 26 is formed on the outer peripheral surface at the axial center portion of each first fitting cylinder portion 20. Further, a bolt portion 28 is formed at a central portion in the axial direction of the lower second fitting cylinder portion 24. And
A nut 30 is screwed into the bolt part 28. For example, the inner cylinder fitting 12 is
Can be fixed by bolts. The lower end of the lower second fitting tube portion 24 in the axial direction is chamfered on the outer peripheral surface of the lower end so that the lower end has a square cross section. The inner diameter of the upper second fitting cylinder 24 is the inner diameter of the inner cylinder fitting 12, that is, the diameter of the inner hole 32, over the entire axial direction of the upper second fitting cylinder 24. The dimension is larger than the directional dimension, and the second fitting tube portion 24 on the upper side is made thin so that it can be caulked. Further, the inner diameter of the upper second fitting tube portion 24 is larger than the outer diameter of the head of a bolt 44 described later.

【００２６】一方、内筒金具１２の径方向外方には、所
定距離を隔てて大径の円筒形状を有する外筒金具１４が
配設されている。また、外筒金具１４の軸方向両端部に
は、薄肉円板形状の板ばね３４，３４が配されている。
この板ばね３４には、軸方向の弾性変形を容易とするた
めに、板ばね３４の中央から外周側に広がって延びる螺
旋状の孔３６が、軸方向に貫通して形成されている。そ
して、上側の板ばね３４は、上側の第二の嵌着筒部２４
に軸方向外方から外挿された後、上側の第二の嵌着筒部
２４が径方向外方に屈曲せしめられて、上側の板ばね３
４の内周縁部が段差面２６と上側の第二の嵌着部２４に
よって挟持されて、内筒金具１２にかしめ固定されてい
る。On the other hand, an outer cylindrical fitting 14 having a large-diameter cylindrical shape is disposed radially outward of the inner cylindrical fitting 12 at a predetermined distance. Further, thin-walled disk-shaped leaf springs 34, 34 are arranged at both ends in the axial direction of the outer cylinder fitting 14.
To facilitate elastic deformation in the axial direction, a helical hole 36 extending from the center of the leaf spring 34 to the outer peripheral side is formed in the leaf spring 34 so as to penetrate in the axial direction. The upper leaf spring 34 is connected to the upper second fitting cylinder 24.
After being externally inserted from the outside in the axial direction, the upper second fitting tube portion 24 is bent radially outward, and the upper leaf spring 3 is bent.
4 is held between the step surface 26 and the upper second fitting portion 24 and is caulked and fixed to the inner cylinder fitting 12.

【００２７】また、上側の板ばね３４の軸方向上方に
は、略逆向きのカップ状乃至は皿状の蓋体３８が配され
ている。この蓋体３８の開口周縁部は、径方向外方に広
がるフランジ部４０とされており、フランジ部４０が上
側の板ばね３４に重ね合わされている。また、蓋体３８
は、底部中央に中心孔４２を有しており、この中心孔４
２にボルト４４が軸方向下方から内挿されており、ナッ
ト４６でボルト４４が蓋体３８に固着されている。そし
て、このボルト４４によって、蓋体３８が、例えば図示
しない振動源に対してボルト固定可能とされている。Above the upper leaf spring 34 in the axial direction, a substantially inverted cup-shaped or dish-shaped lid 38 is disposed. The periphery of the opening of the lid body 38 is a flange portion 40 that spreads radially outward, and the flange portion 40 is superimposed on the upper leaf spring 34. Also, the lid 38
Has a central hole 42 at the center of the bottom.
2, a bolt 44 is inserted from below in the axial direction, and the nut 44 is fixed to the lid 38 with a nut 46. The bolt 44 allows the cover 38 to be fixed to, for example, a vibration source (not shown).

【００２８】さらに、下側の板ばね３４は、下側の第二
の嵌着筒部２４に軸方向外方から外挿された後、小径円
筒形状を有するスペーサ４８が、下側の第二の嵌着筒部
２４に外嵌固定されている。それによって、下側の板ば
ね３４の内周縁部が、段差面２６とスペーサ４８の軸方
向対向面間で挟持されて、内筒金具１２に固定されてい
る。また、下側の板ばね３４の外周縁部の軸方向下方に
は、大径円環形状のスペーサ５０が、外筒金具１４に軸
方向下方から内挿されて配設されている。Further, after the lower leaf spring 34 is externally inserted into the lower second fitting tube portion 24 from the outside in the axial direction, the spacer 48 having a small-diameter cylindrical shape is attached to the lower second spring portion 24. Is externally fitted and fixed to the fitting tube portion 24. As a result, the inner peripheral edge of the lower leaf spring 34 is sandwiched between the step surface 26 and the axially facing surface of the spacer 48, and is fixed to the inner cylinder fitting 12. A large-diameter annular spacer 50 is inserted into the outer tube fitting 14 from below in the axial direction below the outer peripheral edge of the lower leaf spring 34 in the axial direction.

【００２９】また、外筒金具１４の内周面には、その軸
方向中央部分において、円筒形状の永久磁石５２が配さ
れている。また、永久磁石５２の軸方向両側には、それ
ぞれ、円筒形状を有する外側ヨーク部材５４ａ，５４ｂ
が配されている。A cylindrical permanent magnet 52 is disposed on the inner peripheral surface of the outer tube fitting 14 at its axial center. Outer yoke members 54a and 54b each having a cylindrical shape are provided on both axial sides of the permanent magnet 52, respectively.
Is arranged.

【００３０】この外側ヨーク部材５４ａ，５４ｂには、
それらの軸方向中間部分において、全周に亘って径方向
内方に突出する凸部５６ａ，５６ｂが形成されている。
更に、外側ヨーク部材５４ａの軸方向下方は、上端部よ
りも内径寸法が大きい固定部５８ａとされている。それ
によって、外側ヨーク部材５４ａの下端部分には、内周
面上に段差面６０ａが形成されている。更にまた、外側
ヨーク部材５４ｂの軸方向上方も、下端部よりも内径寸
法が大きい固定部５８ｂとされている。それによって、
外側ヨーク部材５４ｂの上端部分には、内周面上に段差
面６０ｂが形成されている。そして、永久磁石５２の軸
方向両端面が、外側ヨーク部材５４ａ，５４ｂの段差面
６０ａ，６０ｂによって挟圧保持されている。また、か
かる配設状態下において、永久磁石５２の外周面は、固
定部５８ａ，５８ｂの内周面に当接されていると共に、
永久磁石５２の内周面は、凸部５６ａ，５６ｂの突出先
端面と略同じ突出高さで径方向内方に突出せしめられて
いる。更に、固定部５８ａ，５８ｂも軸方向対向端面で
互いに当接されている。そして、これら凸部５６ａ，５
６ｂと永久磁石５２の内周縁部によって、軸方向に互い
に離隔位置する３つの外側磁極部１６ａ，１６ｂ，１６
ｃが構成されているのである。The outer yoke members 54a and 54b have
Protrusions 56a and 56b projecting inward in the radial direction are formed over the entire circumference in the intermediate portions in the axial direction.
Further, a fixing portion 58a having a larger inner diameter than the upper end portion is provided below the outer yoke member 54a in the axial direction. Thus, a step surface 60a is formed on the inner peripheral surface at the lower end portion of the outer yoke member 54a. Further, the upper portion in the axial direction of the outer yoke member 54b is also a fixing portion 58b having an inner diameter larger than the lower end portion. Thereby,
At the upper end portion of the outer yoke member 54b, a step surface 60b is formed on the inner peripheral surface. Then, both end faces in the axial direction of the permanent magnet 52 are squeezed and held by the step surfaces 60a, 60b of the outer yoke members 54a, 54b. In this arrangement, the outer peripheral surface of the permanent magnet 52 is in contact with the inner peripheral surfaces of the fixing portions 58a and 58b, and
The inner peripheral surface of the permanent magnet 52 is protruded radially inward at substantially the same protruding height as the protruding tip surfaces of the protruding portions 56a and 56b. Further, the fixing portions 58a and 58b are also in contact with each other at the axially facing end surfaces. And these convex parts 56a, 5
6b and the inner peripheral edge of the permanent magnet 52, three outer magnetic pole portions 16a, 16b, 16 which are axially separated from each other.
That is, c is configured.

【００３１】さらに、永久磁石５２は、図２にモデル図
が示されているように、内周面にＮ極となり、外周面が
Ｓ極となるように径方向で着磁されている。これによ
り、永久磁石５２のＳ極側に当接されている外側ヨーク
部材５４ａ，５４ｂの凸部５６ａ，５６ｂによって形成
されている外側磁極部１６ａ，１６ｂがＳ極に設定され
ていると共に、永久磁石５２の内周縁部によって形成さ
れた外側磁極部１６ｃがＮ極に設定されている。Further, as shown in the model diagram of FIG. 2, the permanent magnet 52 is radially magnetized so that the inner peripheral surface has an N pole and the outer peripheral surface has an S pole. As a result, the outer magnetic pole portions 16a, 16b formed by the convex portions 56a, 56b of the outer yoke members 54a, 54b abutting on the S pole side of the permanent magnet 52 are set to the S pole and permanent. The outer magnetic pole portion 16c formed by the inner peripheral edge of the magnet 52 is set to the N pole.

【００３２】そして、外筒金具１４の軸方向両端部分
が、それぞれ、径方向内方に屈曲されることにより、蓋
体３８と上側の板ばね３４の各外周縁部が、外側ヨーク
部材５４ａと外筒金具１４の上側端部に挟持されると共
に、下側の板ばね３４の外周縁部とスペーサ５０が外側
ヨーク部材５４ｂと外筒金具１４の下側端部に挟持され
て固定されている。これにより、内筒金具１２と外筒金
具１４が、軸方向両端部分において、一対の板ばね３
４，３４によって、相互に弾性連結されており、軸直角
方向での相対変位が抑制されると共に、軸方向の相対変
位が弾性的に許容されるようになっている。Then, both ends in the axial direction of the outer tube fitting 14 are bent radially inward, so that the outer peripheral edges of the lid 38 and the upper leaf spring 34 are connected to the outer yoke member 54a. The outer peripheral edge of the lower leaf spring 34 and the spacer 50 are sandwiched and fixed between the outer yoke member 54b and the lower end of the outer cylinder 14 while being clamped by the upper end of the outer cylinder 14. . As a result, the inner cylindrical fitting 12 and the outer cylindrical fitting 14 are separated from each other by a pair of leaf springs 3 at both ends in the axial direction.
4, 34, they are elastically connected to each other so that relative displacement in the direction perpendicular to the axis is suppressed and relative displacement in the axial direction is elastically allowed.

【００３３】また一方、内筒金具１２の軸方向中央部分
には、周方向に巻回された円環形状のコイル６２が配さ
れている。更に、内筒金具１２には、軸方向上方の端部
から軸方向中央部分に至る長さで直線的に延びるスリッ
ト状の切欠き６４が形成されている。そして、この切欠
き６４から、内筒金具１２の内孔３２にコイル６２の給
電用リード線６６が配設されており、内筒金具１２の軸
方向下端から、給電用リード線６６が取り出されてい
る。On the other hand, an annular coil 62 wound in the circumferential direction is arranged at the axial center of the inner cylindrical fitting 12. Further, a slit-shaped notch 64 that extends linearly from the upper end in the axial direction to the central portion in the axial direction is formed in the inner cylindrical fitting 12. A power supply lead wire 66 of the coil 62 is provided in the notch 64 in the inner hole 32 of the inner cylinder 12, and the power supply lead 66 is taken out from an axial lower end of the inner cylinder 12. ing.

【００３４】また、コイル６２は、電気絶縁性のボビン
６８によって被覆されている。即ち、ボビン６８は、中
空の円環形状とされており、軸方向の上下の両端部分
が、それぞれ、中央部分よりも外径寸法が小さい固定部
７０とされている。それによって、ボビン６８の軸方向
中央部分には、外周面上に二つの段差面７２が形成され
ている。そして、ボビン６８は、内筒金具１２に外嵌固
定されており、以て、コイル６２が内筒金具１２の外周
面に固定されているのである。The coil 62 is covered with an electrically insulating bobbin 68. That is, the bobbin 68 is formed in a hollow annular shape, and the upper and lower ends of the bobbin 68 are fixed portions 70 each having an outer diameter smaller than that of the central portion. As a result, two step surfaces 72 are formed on the outer peripheral surface at the central portion of the bobbin 68 in the axial direction. The bobbin 68 is externally fitted and fixed to the inner cylinder fitting 12, so that the coil 62 is fixed to the outer peripheral surface of the inner cylinder fitting 12.

【００３５】さらに、ボビン６８の軸方向両側の固定部
７０には、円環形状の第一の内側ヨーク部材７６ａ，７
６ｂが、それぞれ、軸方向外方から固定部７０に外嵌固
定されている。また、ボビン６８の軸方向両側には、そ
れぞれ、円環ブロック形状を有する二つの第二の内側ヨ
ーク部材７４ａ，７４ｂが、配されている。そして、第
二の内側ヨーク部材７４ａ，７４ｂは、第一の嵌着筒部
２０に外嵌固定されており、段差面２２に当接位置決め
されている。更に、第二の内側ヨーク部材７４ａ，７４
ｂは、ボビン６８の軸方向端面および第一の内側ヨーク
部材７６ａ，７６ｂの軸方向端面にも当接されている。
また、第二の内側ヨーク部材７４ａ，７４ｂの軸方向長
さと外側ヨーク部材５４ａ，５４ｂの凸部５６ａ，５６
ｂの軸方向長さが、略同一とされていると共に、第二の
内側ヨーク部材７４ａ，７４ｂの外周面と外側ヨーク部
材５４ａ，５４ｂの凸部５６ａ，５６ｂの突出先端面と
が、軸方向に略同じ位置で対向位置せしめられている。
更に、第一の内側ヨーク部材７６ａ，７６ｂの軸方向長
さは、第二の内側ヨーク部材７４ａ，７４ｂと略同一と
されている。更にまた、第二の内側ヨーク部材７４ａ，
７４ｂと第一の内側ヨーク部材７６ａ，７６ｂとボビン
６８の外径寸法は、同一とされている。そして、本実施
形態においては、内筒金具１２と第二の内側ヨーク部材
７４と第一の内側ヨーク部材７６によって、内側ヨーク
７８が構成されており、内側ヨーク７８の外周部分によ
って、軸方向に離隔して位置する二つの内側磁極部１８
ａ，１８ｂが構成されている。Further, the first inner yoke members 76a, 76 having an annular shape are attached to the fixing portions 70 on both axial sides of the bobbin 68.
6b are externally fixed to the fixing portion 70 from outside in the axial direction. Further, two second inner yoke members 74a and 74b each having an annular block shape are arranged on both axial sides of the bobbin 68. The second inner yoke members 74 a and 74 b are externally fitted and fixed to the first fitting cylinder 20, and are positioned in contact with the step surface 22. Further, the second inner yoke members 74a, 74
b is also in contact with the axial end surfaces of the bobbin 68 and the axial end surfaces of the first inner yoke members 76a and 76b.
The axial lengths of the second inner yoke members 74a, 74b and the protrusions 56a, 56 of the outer yoke members 54a, 54b.
b has substantially the same axial length, and the outer peripheral surfaces of the second inner yoke members 74a, 74b and the protruding distal end surfaces of the convex portions 56a, 56b of the outer yoke members 54a, 54b are in the axial direction. At substantially the same position.
Further, the axial length of the first inner yoke members 76a, 76b is substantially the same as the second inner yoke members 74a, 74b. Furthermore, the second inner yoke member 74a,
74b, the first inner yoke members 76a and 76b, and the bobbin 68 have the same outer diameter. In the present embodiment, an inner yoke 78 is constituted by the inner cylinder fitting 12, the second inner yoke member 74, and the first inner yoke member 76. Two inner magnetic pole portions 18 which are spaced apart
a, 18b.

【００３６】これにより、円環状のコイル６２に対し
て、給電用リード線６６を通じて給電すると、電流の磁
気作用によって磁界が発生し、コイル６２が電磁石とし
て機能することにより、内側ヨーク７８ａ，７８ｂ、延
いては、内側磁極部１８ａ，１８ｂに対して、コイル６
２への通電方向に応じた磁極が与えられるようになって
いる。Thus, when power is supplied to the annular coil 62 through the power supply lead wire 66, a magnetic field is generated by the magnetic action of the current, and the coil 62 functions as an electromagnet, so that the inner yokes 78a, 78b, The inner magnetic pole portions 18a and 18b
2 is provided with a magnetic pole according to the direction of energization.

【００３７】また、これら内筒金具１２側に形成された
内側磁極部１８ａ，１８ｂは、外筒金具１４側に形成さ
れた外側磁極部１６ａ，１６ｂ，１６ｃに対して、略一
定の小さな間隙を隔てて、接触することなく、径方向に
対向位置せしめられている。しかも、内側磁極部１８
ａ，１８ｂと外側磁極部１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、軸
方向の位置が互いにずれた状態で配設されている。具体
的には、図２に示されているように、内側磁極部１８ａ
の軸方向中心線：Ｘａが、外側磁極部１６ａの軸方向中
心線：Ｙａよりも軸方向下方に位置せしめられていると
共に、内側磁極部１８ｂの軸方向中心線：Ｘｂが、外側
磁極部１６ｂの軸方向中心線：Ｙｂよりも軸方向上方に
位置せしめられている。そして、外側磁極部１６ｃの軸
方向中心線：Ｙｃは、内側磁極部１８ａ，１８ｂの何れ
からもずらされて、それら二つの内側磁極部１８ａ，１
８ｂの軸方向離隔略中央に位置せしめられている。ま
た、内側磁極部１８ａ，１８ｂの軸方向長さ：Ａは、外
側磁極部１６ａ，１６ｃ間および外側磁極部１６ｃ，１
６ｂの軸方向離隔距離：Ｂよりも大きく設定されてお
り、軸方向に傾斜することなく径方向で直接に対向位置
せしめられている。更に、本実施形態では、内側磁極部
１８ａ，１８ｂの軸方向長さ：Ａは、外側磁極部１６
ａ，１６ｂの軸方向長さ：Ｃよりも大きく設定されてい
ると共に、外側磁極部１６ｃの軸方向長さ：Ｄと略同一
に設定されている。The inner magnetic pole portions 18a and 18b formed on the inner cylinder fitting 12 have a substantially constant small gap with respect to the outer magnetic pole sections 16a, 16b and 16c formed on the outer cylinder fitting 14 side. They are spaced apart and do not come into contact with each other in the radial direction. Moreover, the inner magnetic pole portion 18
a, 18b and the outer magnetic pole portions 16a, 16b, 16c are arranged with their axial positions shifted from each other. Specifically, as shown in FIG.
Is positioned axially below the axial center line Ya of the outer magnetic pole portion 16a, and the axial center line Xb of the inner magnetic pole portion 18b is aligned with the outer magnetic pole portion 16b. Is positioned axially above Yb in the axial direction. The center line Yc in the axial direction of the outer magnetic pole portion 16c is shifted from any of the inner magnetic pole portions 18a and 18b, and the two inner magnetic pole portions 18a and 1b are shifted from each other.
8b is located substantially at the center in the axial direction. The axial length A of the inner magnetic pole portions 18a and 18b is defined between the outer magnetic pole portions 16a and 16c and between the outer magnetic pole portions 16c and 1c.
The axial separation distance 6b is set to be larger than B, and is directly opposed in the radial direction without tilting in the axial direction. Further, in the present embodiment, the axial length A of the inner magnetic pole portions 18a and 18b is equal to the outer magnetic pole portion 16a.
The axial lengths of a and 16b are set to be larger than C, and the axial length of the outer magnetic pole portion 16c is set to be substantially the same as D.

【００３８】また、上述の説明からも明らかなように、
本実施形態では、各磁極部における磁力の効率的な確保
などのために、内側ヨーク部材７４ａ，７４ｂや内側ヨ
ーク材７６ａ，７６ｂおよび外側ヨーク材５４ａ，５４
ｂが、鉄等の強磁性材で形成される一方、板ばね３４
が、ステンレス鋼等の非磁性材で形成されることが望ま
しい。また、内筒金具１２や外筒金具１４等は、特に限
定されるものではないが、永久磁石５２が装着される外
筒金具１４は、非磁性材で形成されることが望ましく、
一方、コイル６２が装着される内筒金具１２は、強磁性
材で形成されて内側ヨークを構成している。As is clear from the above description,
In the present embodiment, the inner yoke members 74a and 74b, the inner yoke members 76a and 76b, and the outer yoke members 54a and 54 are provided for efficiently securing magnetic force at each magnetic pole portion.
b is made of a ferromagnetic material such as iron while the leaf spring 34
Is desirably formed of a non-magnetic material such as stainless steel. The inner metal fitting 12 and the outer metal fitting 14 are not particularly limited, but the outer metal fitting 14 to which the permanent magnet 52 is attached is desirably formed of a non-magnetic material.
On the other hand, the inner cylinder fitting 12 to which the coil 62 is attached is formed of a ferromagnetic material and constitutes an inner yoke.

【００３９】次に、上述の如き構造とされた防振用アク
チュエータ１０の作動について説明する。即ち、コイル
６２への非通電状態下では、図２に示されているよう
に、内側磁極部１８ａ，１８ｂに磁極は与えられない
が、外側磁極部１６ａ，１６ｂ，１６ｃによって、内側
磁極部１８ａ，１８ｂに対してそれぞれ作用せしめられ
る磁力の釣り合いに基づき、内筒金具１２と外筒金具１
４に対して、図２に示されている如き、中立位置への保
持力が及ぼされる。しかも、内筒金具１２と外筒金具１
４が軸方向に相対変位せしめられた際には、かかる磁力
の釣り合い作用に基づいて、中立位置への軸方向の復帰
力が及ぼされることにより、内筒金具１２と外筒金具１
４に軸方向の相対駆動力が及ぼされて、中立位置に復元
されることとなる。なお、内筒金具１２と外筒金具１４
の軸方向の相対変位量が過大となった場合には、有効な
中立位置への復帰力が生ぜしめられなくなるおそれがあ
るが、本実施形態では、そのような過大な相対変位が、
板ばね（３４）で防止されることにより、内筒金具１２
と外筒金具１４が中立位置に安定して復元および保持さ
れ得る。また、内筒金具１２と外筒金具１４の過大な相
対変位が、軸方向上方に生ぜしめられた場合において
も、上側の第二の嵌着筒部（２４）の内径寸法が、ボル
ト（４４）の頭の外径寸法よりも大きくされているため
に、ボルト（４４）の内筒金具１２に対する干渉が防止
される。Next, the operation of the anti-vibration actuator 10 having the above-described structure will be described. That is, while the coil 62 is not energized, no magnetic pole is given to the inner magnetic pole portions 18a, 18b as shown in FIG. 2, but the inner magnetic pole portions 18a, 16b, 16c cause the inner magnetic pole portions 18a, 18b, 16c. , 18b on the basis of the balance of the magnetic force applied to each of the inner cylindrical fitting 12 and the outer cylindrical fitting 1.
4, a holding force is applied to the neutral position as shown in FIG. Moreover, the inner cylinder fitting 12 and the outer cylinder fitting 1
4 is relatively displaced in the axial direction, a return force in the axial direction to the neutral position is exerted on the basis of the balance action of the magnetic force, so that the inner cylindrical fitting 12 and the outer cylindrical fitting 1 are moved.
4, a relative driving force in the axial direction is exerted, and the shaft 4 is restored to the neutral position. In addition, the inner cylinder fitting 12 and the outer cylinder fitting 14
If the relative displacement amount in the axial direction becomes excessive, there is a possibility that the return force to the effective neutral position may not be generated, but in the present embodiment, such excessive relative displacement is
By being prevented by the plate spring (34), the inner cylinder fitting 12 is prevented.
And the outer tube fitting 14 can be stably restored and held at the neutral position. Further, even when an excessive relative displacement between the inner cylinder fitting 12 and the outer cylinder fitting 14 is generated in the upper direction in the axial direction, the inner diameter of the upper second fitting cylinder portion (24) is reduced by the bolt (44). ) Is made larger than the outer diameter of the head, so that the bolt (44) is prevented from interfering with the inner cylindrical fitting 12.

【００４０】また、コイル６２に対して通電すると、コ
イル６２が電磁石として機能する。そして、一方向への
通電により、例えば、図３に示されているように、内側
磁極部１８ａに対してＮ極が与えられると共に、内側磁
極部１８ｂに対してＳ極が与えられる。その結果、内側
磁極部１８ａ，１８ｂと外側磁極部１６ａ，１６ｂ，１
６ｃの間において、同極間に生ぜしめられる排斥力と、
異極間に生ぜしめられる吸引力に基づいて、内筒金具１
２と外筒金具１４における中立位置への復元，保持力が
崩壊せしめられ、内筒金具１２と外筒金具１４に対し
て、軸方向一方向の側への相対変位力が及ぼされて、外
筒金具１４が内筒金具１２に対して、図中、下方に相対
変位せしめられることとなる。When power is supplied to the coil 62, the coil 62 functions as an electromagnet. Then, by energizing in one direction, for example, as shown in FIG. 3, an N pole is given to the inner magnetic pole part 18a and an S pole is given to the inner magnetic pole part 18b. As a result, the inner magnetic pole portions 18a, 18b and the outer magnetic pole portions 16a, 16b, 1
6c, the repulsive force generated between the poles,
Based on the suction force generated between different poles,
2 and the outer cylinder 14 are restored to the neutral position and the holding force is collapsed, and a relative displacement force is applied to the inner cylinder 12 and the outer cylinder 14 in one axial direction. The tube fitting 14 is displaced downward relative to the inner tube fitting 12 in the figure.

【００４１】また一方、コイル６２に対して、逆方向に
通電すると、図４に示されているように、コイル６２に
よる電磁石の磁極が反転せしめられて、内側磁極部１８
ａに対してＳ極が与えられると共に、内側磁極部１８ｂ
に対してＮ極が与えられる。その結果、内側磁極部１８
ａ，１８ｂと外側磁極部１６ａ，１６ｂ，１６ｃの間に
おいて、同極間に生ぜしめられる排斥力と、異極間に生
ぜしめられる吸引力に基づいて、内筒金具１２と外筒金
具１４に対して、軸方向反対側への相対変位力が及ぼさ
れて、外筒金具１４が内筒金具１２に対して、図中、上
方に相対変位せしめられることとなる。On the other hand, when the coil 62 is energized in the opposite direction, the magnetic pole of the electromagnet is reversed by the coil 62 as shown in FIG.
a, and an inner magnetic pole portion 18b
Is given an N pole. As a result, the inner magnetic pole portion 18
a, 18b and the outer magnetic pole portions 16a, 16b, 16c, based on the repulsive force generated between the same poles and the attraction force generated between the different poles, the inner cylindrical metal fitting 12 and the outer cylindrical metal fitting 14. On the other hand, a relative displacement force is exerted on the opposite side in the axial direction, so that the outer cylinder 14 is relatively displaced upward with respect to the inner cylinder 12 in the drawing.

【００４２】このように、上述の如き構造とされた防振
用アクチュエータ１０においては、コイル６２に対し
て、交番電流や脈動電流等を通電し、或いは、コイル６
２への通電をＯＮ／ＯＦＦすること等によって、内筒金
具１２と外筒金具１４の間に軸方向の相対変位力が生ぜ
しめられるのである。In the vibration damping actuator 10 having the above-described structure, an alternating current, a pulsating current, or the like is supplied to the coil 62 or the coil 6
By turning on / off the power supply to 2, a relative displacement force in the axial direction is generated between the inner cylindrical fitting 12 and the outer cylindrical fitting 14.

【００４３】ここにおいて、かかる防振用アクチュエー
タ１０においては、従来から外筒金具１４に取り付けら
れていたコイル６２が、内筒金具１２に取り付けられて
いることにより、コイル６２が小径化されてコイルワイ
ヤの巻回数に対するワイヤ長が短くされる。それによ
り、ワイヤ長に比例する抵抗値を小さくして消費電力を
抑えることが出来ると共に、ワイヤ長に比例する重量も
抑えることが可能となる。Here, in the vibration isolating actuator 10, the coil 62 which has been conventionally attached to the outer cylinder fitting 14 is attached to the inner cylinder fitting 12, so that the coil 62 is reduced in diameter and the coil 62 is made smaller. The wire length with respect to the number of turns of the wire is reduced. Thereby, the power consumption can be suppressed by reducing the resistance value proportional to the wire length, and the weight proportional to the wire length can also be reduced.

【００４４】また、コイル６２のワイヤ長に対するワイ
ヤ巻回数が多くされることから、ワイヤ巻回数に略比例
して生ぜしめられる磁界の磁束密度、即ち磁力を大きく
して発生加振力を増大させることも可能となる。Further, since the number of turns of the wire with respect to the wire length of the coil 62 is increased, the magnetic flux density of a magnetic field generated substantially in proportion to the number of turns of the wire, that is, the magnetic force is increased to increase the generated excitation force. It is also possible.

【００４５】さらに、従来から内筒金具１２に取り付け
られていた永久磁石５２が外筒金具１４に取り付けられ
ることにより、永久磁石５２と外側ヨーク部材５４ａ，
５４ｂが大径化される。以て、それら永久磁石５２や外
側ヨーク部材５４ａ，５４ｂを径方向に厚肉化しなくて
も、大きな周方向長さによって軸直角方向断面での断面
積、即ち磁路の断面積を全体として有利に得ることが出
来るのであり、十分な磁路の断面積、延いては発生磁力
を確保しつつ、永久磁石５２や外側ヨーク部材５４ａ，
５４ｂの径方向厚さ寸法を小さくして、防振用アクチュ
エータ１０全体の外径寸法、即ちサイズを小さくするこ
とが可能となる。Further, by attaching the permanent magnet 52 conventionally attached to the inner cylinder fitting 12 to the outer cylinder fitting 14, the permanent magnet 52 and the outer yoke members 54a,
54b is enlarged in diameter. Thus, even if the permanent magnet 52 and the outer yoke members 54a and 54b are not thickened in the radial direction, the large cross-sectional area in the direction perpendicular to the axis, that is, the cross-sectional area of the magnetic path as a whole is advantageous due to the large circumferential length. The permanent magnet 52 and the outer yoke members 54a, 54a,
By reducing the radial thickness of 54b, it is possible to reduce the outer diameter of the entire vibration isolating actuator 10, that is, the size.

【００４６】また、本実施形態においては、板ばね３０
を採用したことにより、内筒金具１２と外筒金具１４の
軸方向の相対変位、延いては加振力の出力特性が安定化
され得る。In this embodiment, the leaf spring 30
By adopting the above, the relative displacement of the inner cylinder 12 and the outer cylinder 14 in the axial direction, and hence the output characteristics of the exciting force, can be stabilized.

【００４７】次に、上述の如き構造とされた防振用アク
チュエータ１０を、加振器として用いた場合の一具体例
を、図５に示す。なお、以下の説明において、図１に示
された防振用アクチュエータ（１０）と同様の部材およ
び部位については、図中に、図１と同一の符号を付すこ
とにより、その詳細な説明を省略する。Next, FIG. 5 shows a specific example in the case where the anti-vibration actuator 10 having the above structure is used as a vibrator. In the following description, the same members and parts as those of the anti-vibration actuator (10) shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals in FIG. I do.

【００４８】すなわち、本具体例の加振器８０は、図１
に示された防振用アクチュエータ（１０）と同様の構造
とされており、ボルト４４とナット４６によって、蓋体
３８、即ち、外筒金具１４が振動源側部材としてのエン
ジンのブラケット８２に対して固定されていると共に、
ボルト部２８とナット３０によって、内筒金具１２が防
振対象部材としてのボデ−８４に対して固定されてい
る。That is, the vibrator 80 of this embodiment is different from that of FIG.
And the cover 38, that is, the outer cylinder fitting 14 is attached to the engine bracket 82 as a vibration source side member by bolts 44 and nuts 46. And fixed
The inner cylindrical fitting 12 is fixed to the body 84 as a vibration-proof member by the bolt 28 and the nut 30.

【００４９】そして、上述の如き構造とされた加振器８
０においては、コイル６２に対して、交番電流や脈動電
流等を通電し、或いは、コイル６２への通電をＯＮ／Ｏ
ＦＦすること等によって、内筒金具１２と外筒金具１４
の間に軸方向の相対変位力が生ぜしめられる。それ故、
内筒金具１２と外筒金具１４を、それぞれ、ボデ−８４
側とエンジン側に固定したことにより、それら内筒金具
１２と外筒金具１４の間に生ぜしめられる軸方向の相対
変位力の反力を、加振力として、エンジンに対して及ぼ
すことが出来る。その際に、コイル６２への通電を、防
振すべき振動の周波数や大きさ、位相等に応じて制御す
ることにより、かかる振動に対して有効な能動的防振効
果を得ることが出来るのである。The vibrator 8 having the structure as described above
0, an alternating current, a pulsating current, or the like is applied to the coil 62, or the energization of the coil 62 is turned ON / O.
By performing FF or the like, the inner cylindrical fitting 12 and the outer cylindrical fitting 14 are formed.
An axial relative displacement force is generated. Therefore,
The inner cylinder fitting 12 and the outer cylinder fitting 14 are each fitted with a body 84
By fixing to the engine side and the engine side, a reaction force of an axial relative displacement force generated between the inner cylinder fitting 12 and the outer cylinder fitting 14 can be exerted on the engine as an exciting force. . At this time, by controlling the energization of the coil 62 in accordance with the frequency, magnitude, phase, and the like of the vibration to be damped, an effective active vibration damping effect can be obtained for such vibration. is there.

【００５０】ここにおいて、かかる加振器８０において
は、大きな加振力を消費電力に対して優れた効率で得る
ことが出来ると共に、軽量性とコンパクト性が高度に達
成され得る。Here, in the vibrator 80, a large vibrating force can be obtained with excellent efficiency with respect to power consumption, and lightness and compactness can be highly achieved.

【００５１】次に、上述の如き構造とされた防振用アク
チュエータ１０を採用した能動型防振用マウントの一具
体例を、図６に示す。本具体例のエンジンマウント８６
は、離隔して対向配置された第一の取付部材としての第
一の取付金具８８と、第二の取付部材としての第二の取
付金具９０が、本体ゴム弾性体９２で連結されてなる構
造とされており、第一の取付金具８８が振動源側部材
に、第二の取付金具００が防振対象部材に、それぞれ固
定されることにより、振動源側部材を防振対象部材に対
して防振支持せしめるようになっている。また、以下の
説明において、図１に示された防振用アクチュエータ
（１０）と同様の部材及び部位については、図中に、図
１と同一の符号を付すことにより、その詳細な説明を省
略する。なお、以下の説明中、上下方向とは、原則とし
て図６中の上下方向をいうものとする。Next, a specific example of an active anti-vibration mount employing the anti-vibration actuator 10 having the above-described structure is shown in FIG. Engine mount 86 of this specific example
Has a structure in which a first mounting member 88 as a first mounting member and a second mounting member 90 as a second mounting member are separated by a main body rubber elastic body 92. The first mounting bracket 88 is fixed to the vibration source-side member, and the second mounting bracket 00 is fixed to the vibration-proof target member. It is designed to support vibration isolation. Further, in the following description, the same members and parts as those of the vibration damping actuator (10) shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals in FIG. I do. In the following description, the vertical direction refers to the vertical direction in FIG. 6 in principle.

【００５２】より詳細には、第一の取付金具８８は、略
円板形状を有しており、その中央下面には、略カップ形
状のリテーナ金具９４が、その開口部において重ね合わ
されて溶着固定されている。また、第一の取付金具８８
の中央には、軸方向上方に向って突出する第一の取付ボ
ルト９６が植設されており、この第一の取付ボルト９６
によって、第一の取付金具８８の上面に重ね合わされる
図示しない振動源側部材としてのパワーユニットがボル
ト固定されるようになっている。More specifically, the first mounting member 88 has a substantially disk shape, and a substantially cup-shaped retainer member 94 is superposed and welded and fixed to the lower surface of the center at the opening thereof. Have been. Also, the first mounting bracket 88
A first mounting bolt 96 that projects upward in the axial direction is implanted in the center of the first mounting bolt 96.
Thereby, a power unit as a vibration source side member (not shown) superimposed on the upper surface of the first mounting bracket 88 is fixed by bolts.

【００５３】また一方、第二の取付金具９０は、上側筒
金具９８と下側筒金具１００によって構成されている。
上側筒金具９８は、大径円筒形状を有しており、軸方向
上端部分がくびれ状に屈曲されて、開口部が軸方向上方
に向ってテーパ状に拡開するテーパ状連結部１０２とさ
れている一方、軸方向下端部には、段差部１０４によっ
て大径化された円筒形状のかしめ部１０６が一体形成さ
れている。一方、下側筒金具１００は、軸方向上端部お
よび下端部の各開口周縁部が径方向外方に屈曲されてお
り、上側フランジ部１０８と下側フランジ部１１０が一
体形成されている。そして、これら上側筒金具９８と下
側筒金具１００は、軸方向に互いに重ね合わされて、下
側筒金具１００の上側フランジ部１０８に対して、上側
筒金具９８のかしめ部１０６がかしめ固定されることに
よって、全体として円筒形状を有する一体的な第二の取
付金具９０が形成されている。なお、第二の取付金具９
０は、下側筒金具１００の下側フランジ部１１０におい
て、図示しない防振対象部材としての自動車ボデ−に取
り付けられるようになっている。On the other hand, the second mounting member 90 includes an upper cylindrical member 98 and a lower cylindrical member 100.
The upper cylindrical fitting 98 has a large-diameter cylindrical shape, the upper end portion in the axial direction is bent in a constricted shape, and the opening portion is a tapered connecting portion 102 that expands in a tapered shape toward the upper side in the axial direction. On the other hand, at the lower end in the axial direction, a cylindrical caulking portion 106 whose diameter is increased by the step portion 104 is integrally formed. On the other hand, in the lower cylindrical metal fitting 100, each opening peripheral edge at the upper end and the lower end in the axial direction is bent radially outward, and the upper flange 108 and the lower flange 110 are integrally formed. The upper cylindrical member 98 and the lower cylindrical member 100 are overlapped with each other in the axial direction, and the caulked portion 106 of the upper cylindrical member 98 is fixed to the upper flange portion 108 of the lower cylindrical member 100 by caulking. Thereby, an integral second mounting member 90 having a cylindrical shape as a whole is formed. In addition, the second mounting bracket 9
Reference numeral 0 denotes a lower flange portion 110 of the lower cylindrical fitting 100, which is attached to an automobile body as a vibration-proof member (not shown).

【００５４】そして、第二の取付金具９０の軸方向上方
に離隔して、第一の取付金具８８が対向配置されている
と共に、それら第一の取付金具８８と第二の取付金具９
０が、本体ゴム弾性体９２によって弾性的に連結されて
いる。The first mounting bracket 88 is disposed facing the second mounting bracket 90 so as to be spaced above the second mounting bracket 90 in the axial direction, and the first mounting bracket 88 and the second mounting bracket 9 are separated from each other.
0 are elastically connected by a main rubber elastic body 92.

【００５５】かかる本体ゴム弾性体９２は、全体として
円錐台形状を有しており、その小径側端面に対して第一
の取付金具８８が重ね合わせられて加硫接着されている
一方、大径側端部外周面には、第二の取付金具９０を構
成する上側筒金具９８のテーパ状連結部１０２が重ね合
わせられて加硫接着されている。要するに、本体ゴム弾
性体９２は、第一の取付金具８８と上側筒金具９８を有
する一体加硫成形品として形成されているのである。な
お、本体ゴム弾性体９２の大径側端面には、軸方向下方
に開口するすり鉢形状の凹所１１２が設けられており、
振動源側部材の荷重の入力時に本体ゴム弾性体９２に生
ぜしめられる引張応力が軽減されるようになっている。
なお、上側筒金具９８の内周面には、略全面に亘ってシ
ールゴム層１１４が被着形成されており、かかるシール
ゴム層１１４は、本体ゴム弾性体９２と一体的に形成さ
れている。The main rubber elastic body 92 has a truncated conical shape as a whole, and the first mounting member 88 is overlapped and vulcanized and bonded to the small diameter side end face, while the large diameter rubber is attached. On the outer peripheral surface of the side end portion, a tapered connecting portion 102 of an upper cylindrical metal fitting 98 constituting the second mounting metal fitting 90 is overlapped and vulcanized and bonded. In short, the main rubber elastic body 92 is formed as an integrally vulcanized molded product having the first mounting member 88 and the upper cylindrical member 98. A mortar-shaped recess 112 that opens downward in the axial direction is provided on the large-diameter end surface of the main rubber elastic body 92.
The tensile stress generated in the main rubber elastic body 92 when the load of the vibration source side member is input is reduced.
A seal rubber layer 114 is formed on substantially the entire inner peripheral surface of the upper cylindrical metal fitting 98, and the seal rubber layer 114 is formed integrally with the main rubber elastic body 92.

【００５６】また、上述の如く、本体ゴム弾性体９２が
第一の取付金具８８と第二の取付金具９０に加硫接着さ
れることにより、第二の取付金具９０の上側開口部が本
体ゴム弾性体９２で流体密に閉塞されている。また、第
二の取付金具９０の中空内部には、仕切部材１１６とダ
イヤフラム１１８が、それぞれ略軸直角方向に広がって
収容配置されている。Further, as described above, the main rubber elastic body 92 is vulcanized and bonded to the first mounting bracket 88 and the second mounting bracket 90, so that the upper opening of the second mounting bracket 90 is opened. It is closed in a fluid-tight manner by the elastic body 92. Further, a partition member 116 and a diaphragm 118 are accommodated and arranged in the hollow interior of the second mounting member 90 so as to extend in a direction substantially perpendicular to the axis.

【００５７】このダイヤフラム１１８は、変形容易な薄
肉のゴム弾性膜によって構成されており、中央部分に
は、表裏に貫通した逆カップ形状の連結金具１２０が加
硫接着されている一方、外周縁部には、略円環形状の支
持金具１２２が加硫接着されている。なお、ダイヤフラ
ム１１８には、弾性変形が容易に許容されるように径方
向の弛みが付与されている。The diaphragm 118 is made of a thin rubber elastic film which is easily deformed. An inverted cup-shaped connecting metal member 120 penetrating from the front to the back is vulcanized and adhered to the central portion, while the outer peripheral portion is formed. , A substantially annular support metal member 122 is vulcanized and bonded. The diaphragm 118 is provided with a radial slack so that elastic deformation is easily allowed.

【００５８】そして、支持金具１２２が、上下筒金具９
８，１００の間でかしめ固定されることにより、ダイヤ
フラム１１８の外周縁部が第二の取付金具９０によって
支持されており、以て、第二の取付金具９０を構成する
上側筒金具９８における下側開口部がダイヤフラム１１
８によって流体密に閉塞されている。而して、上側筒金
具９８の内部には、本体ゴム弾性体９２とダイヤフラム
１１８の対抗面間において、外部空間に対して流体密に
遮断されて、非圧縮性流体が封入された流体室が形成さ
れている。なお、ダイヤフラム１１８を挟んで流体室と
反対側に位置する下側筒金具１００の内部には、ダイヤ
フラム１１８の変形を許容する空気室１２４が形成され
ている。また、空気室１２４は、下側筒金具１００に形
成された空気孔１２５によって、外部に接続されてい
る。Then, the support fitting 122 is mounted on the upper and lower cylindrical fittings 9.
The outer peripheral edge of the diaphragm 118 is supported by the second mounting member 90 by being swaged and fixed between the upper and lower portions of the upper cylindrical member 98 constituting the second mounting member 90. Side opening is diaphragm 11
8 are fluid-tightly closed. Thus, inside the upper cylindrical fitting 98, a fluid chamber in which an incompressible fluid is sealed is provided between the opposing surfaces of the main rubber elastic body 92 and the diaphragm 118 so as to be fluid-tightly shut off from the external space. Is formed. Note that an air chamber 124 that allows deformation of the diaphragm 118 is formed inside the lower cylindrical fitting 100 located on the opposite side of the fluid chamber with the diaphragm 118 interposed therebetween. The air chamber 124 is connected to the outside by an air hole 125 formed in the lower cylindrical fitting 100.

【００５９】また、仕切部材１１６は、蓋金具１２６と
上側および下側オリフィス金具１２８，１３０によって
構成されている。この蓋金具１２６は、円盤形状とされ
ており、蓋金具１２６の外周縁部が、上下筒金具９８，
１００の間でかしめ固定されることにより、第二の取付
金具９０によって支持されている。更に、蓋金具１２６
の下面には、略円板形状の上側オリフィス金具１２８が
重ね合わされており、かかる上側オリフィス金具１２８
の外周縁部が、蓋金具１２６の外周縁部と共に、上下筒
金具９８，１００の間でかしめ固定されることにより、
第二の取付金具９０によって支持されている。更にま
た、上側オリフィス金具１２８の下面には、略円環形状
の下側オリフィス金具１３０が重ね合わされており、か
かる下側オリフィス金具１３０の外周縁部が、蓋金具１
２６と上側オリフィス金具１２８の外周縁部と共に、上
下筒金具９８，１００の間でかしめ固定されることによ
り、第二の取付金具９０によって支持されている。The partitioning member 116 is composed of a cover fitting 126 and upper and lower orifice fittings 128 and 130. The lid fitting 126 is formed in a disk shape, and the outer peripheral edge of the lid fitting 126 has upper and lower cylindrical fittings 98, 98.
By being caulked and fixed between 100, it is supported by the second mounting bracket 90. Further, the lid fitting 126
A substantially disk-shaped upper orifice fitting 128 is superimposed on the lower surface of the upper orifice fitting 128.
Is fixed by caulking between the upper and lower cylindrical metal fittings 98 and 100 together with the outer circumferential edge of the lid metal fitting 126.
It is supported by a second mounting bracket 90. Furthermore, a substantially annular lower orifice fitting 130 is superimposed on the lower surface of the upper orifice fitting 128, and the outer peripheral edge of the lower orifice fitting 130 is attached to the lid fitting 1.
26 and the outer peripheral edge of the upper orifice fitting 128 are caulked and fixed between the upper and lower tubular fittings 98 and 100, and are supported by the second mounting fitting 90.

【００６０】これにより、上側筒金具９８内に形成され
た上述の流体室が、仕切部材１１６を挟んだ軸方向上側
と下側に流体密に二分されており、以て、仕切部材１１
６の軸方向上側には、壁部の一部が本体ゴム弾性体９２
で構成されて、振動入力時に本体ゴム弾性体９２の弾性
変形に基づいて圧力変化が惹起される受圧室１３２が形
成されていると共に、仕切部材１１６の軸方向下方に
は、壁部の一部がダイヤフラム１１８で構成されて、ダ
イヤフラム１１８の変形に基づいて容積変化が容易に許
容される平衡室１３４が形成されている。As a result, the above-mentioned fluid chamber formed in the upper cylindrical fitting 98 is divided into a fluid-tight upper part and a lower part in the axial direction with the partition member 116 interposed therebetween.
On the upper side in the axial direction of 6, a part of the wall portion is a rubber elastic body 92.
And a pressure receiving chamber 132 in which a pressure change is caused by the elastic deformation of the main rubber elastic body 92 at the time of vibration input is formed, and a part of the wall portion is provided below the partition member 116 in the axial direction. Is constituted by a diaphragm 118, and an equilibrium chamber 134 in which a volume change is easily allowed based on the deformation of the diaphragm 118 is formed.

【００６１】また、蓋金具１２６と上側オリフィス金具
１２８の中央部分には、それぞれ同じ径方向寸法を有す
る透孔１３６，１３８が形成されており、これらの透孔
１３６，１３８によって、蓋金具１２６と上側オリフィ
ス金具１２８が軸方向に貫通せしめられている。更に、
上側オリフィス金具１２８の外周部分には、上面に開口
して周方向に延びる環状の上側周溝１４０が設けられて
おり、上側周溝１４０が蓋金具１２６で覆蓋されること
によって、周方向に延びる上側環状流路１４２が形成さ
れている。更にまた、下側オリフィス金具１３０は、上
面に開口して周方向に延びる環状の下側周溝１４４が設
けられており、下側周溝１４４が上側オリフィス金具１
２８で覆蓋されることによって、周方向に延びる下側環
状流路１４６が形成されている。Further, through holes 136 and 138 having the same radial dimension are formed in the central portions of the lid fitting 126 and the upper orifice fitting 128, respectively. An upper orifice fitting 128 is axially penetrated. Furthermore,
An outer peripheral portion of the upper orifice fitting 128 is provided with an annular upper peripheral groove 140 which is open on the upper surface and extends in the circumferential direction. The upper peripheral groove 140 is circumferentially extended by being covered with the cover fitting 126. An upper annular channel 142 is formed. Further, the lower orifice fitting 130 is provided with an annular lower circumferential groove 144 which is open on the upper surface and extends in the circumferential direction, and the lower circumferential groove 144 is provided with the upper orifice fitting 1.
The lower annular flow path 146 extending in the circumferential direction is formed by being covered with 28.

【００６２】そして、上側環状流路１４２の周方向一端
部が、蓋金具１２６に設けられた連通孔１４８を通じて
受圧室１３２に接続されていると共に、周方向他端部
が、連通孔１５０を通じて、下側環状流路１４６の周方
向一端部に接続されている。また、下側環状流路１４６
の周方向他端部は、連通孔１５２を通じて平衡室１３４
に接続されており、以て、それら受圧室１３２と平衡室
１３４の間で、両室１３２，１３４での圧力差に基づい
て、かかる上側及び下側環状流路１４２，１４６を通じ
ての流体流動が許容されるようになっている。更に、上
述の説明から明らかなように、本実施形態では、上側及
び下側環状流路１４２，１４６によってオリフィス通路
が形成されている。そして、本実施形態では、かかるオ
リフィス通路を流動せしめられる流体の共振周波数が、
防振すべきシェイクの振動周波数になるように設定され
ている。One end in the circumferential direction of the upper annular flow path 142 is connected to the pressure receiving chamber 132 through a communication hole 148 provided in the cover fitting 126, and the other end in the circumferential direction is connected to the communication hole 150 through the communication hole 150. The lower annular flow path 146 is connected to one end in the circumferential direction. Also, the lower annular flow path 146
Of the balance chamber 134 through the communication hole 152.
Therefore, the fluid flow between the pressure receiving chamber 132 and the equilibrium chamber 134 through the upper and lower annular flow paths 142 and 146 is controlled based on the pressure difference between the two chambers 132 and 134. It is now acceptable. Further, as is clear from the above description, in the present embodiment, the orifice passage is formed by the upper and lower annular flow paths 142 and 146. In the present embodiment, the resonance frequency of the fluid caused to flow through the orifice passage is:
The vibration frequency of the shake to be damped is set.

【００６３】また、下側オリフィス金具１３０の中央部
分には、加振金具１５４が配設されている。この加振金
具１５４は、下側オリフィス金具１３０の内径寸法より
も小径の底壁部分を備えた略逆カップ形状を有してお
り、筒壁部の外周面には、径方向外方に広がる略円環板
形状の加振支持ゴム１５６が加硫接着されていると共
に、加振支持ゴム１５６の外周面は、下側オリフィス金
具１３０の径方向内方の外周面に加硫接着されている。
要するに、加振支持ゴム１５６は、同一中心軸上に配さ
れた加振金具１５４と下側オリフィス金具１３０を備え
た一体加硫成形品として形成されているのである。ま
た、加振金具１５４は、ダイヤフラム１１８の中央を貫
通して固着配置された連結金具１２０の上端部に外嵌固
定されている。なお、本実施形態においては、加振金具
１５４と加振支持ゴム１５６によって加振部材が構成さ
れている。At the center of the lower orifice fitting 130, a vibration fitting 154 is provided. The vibrating metal fitting 154 has a substantially inverted cup shape having a bottom wall portion smaller in diameter than the inner diameter of the lower orifice metal fitting 130, and spreads radially outward on the outer peripheral surface of the cylindrical wall portion. A substantially annular plate-shaped vibration supporting rubber 156 is vulcanized and bonded, and an outer peripheral surface of the vibration supporting rubber 156 is vulcanized and bonded to a radially inner peripheral surface of the lower orifice fitting 130. .
In short, the vibration supporting rubber 156 is formed as an integrally vulcanized molded product including the vibration fitting 154 and the lower orifice metal 130 arranged on the same central axis. Further, the vibration fitting 154 is externally fitted and fixed to an upper end portion of the connecting fitting 120 fixedly disposed through the center of the diaphragm 118. In the present embodiment, a vibration member is constituted by the vibration fitting 154 and the vibration supporting rubber 156.

【００６４】そして、かかる組付状態下、加振金具１５
４および加振支持ゴム１５６は、それらの上面が、透孔
１３６，１３８を通じて実質的に直接に受圧室１３２に
臨まされている。なお、加振支持ゴム１５６の下面は、
平衡室１３４に面しており、加振支持ゴム１５６によっ
て受圧室１３２と平衡室１３４が流体密に仕切られてい
る。Then, under such an assembled state, the vibrating bracket 15
4 and the vibration support rubber 156 have their upper surfaces substantially directly facing the pressure receiving chamber 132 through the through holes 136 and 138. The lower surface of the vibration support rubber 156 is
It faces the equilibrium chamber 134, and the pressure receiving chamber 132 and the equilibrium chamber 134 are fluid-tightly separated by the vibration support rubber 156.

【００６５】また、第二の取付金具９０を構成する下側
筒金具１００の軸方向下側には、大径の有底円筒形状の
底金具１５８が配設されており、底金具１５８の開口部
に一体形成された外フランジ状の外周縁部が下側筒金具
１００の下側フランジ部１１０に対してボルト固定され
ている。更に、底金具１５８の内部空所には、防振用ア
クチュエータ１６０が配設されており、ボルト４４によ
って蓋体３８、即ち、外筒金具１４が、有底円筒形状の
連結筒部１６２に対して、軸方向下方からスペーサ１６
３を介して固定されていると共に、ボルト部２８とナッ
ト３０によって内筒金具１２が底金具１５８に固定され
ている。また、連結筒部１６２は、連結金具１２０に軸
方向下方から圧入固定されている。更に、本エンジンマ
ウント８６に採用されている防振用アクチュエータ１６
０は、図１に示されている防振用アクチュエータ（１
０）に比して、切欠き６４の形成されている位置が異な
る。即ち、防振用アクチュエータ（１０）においては、
内筒金具に軸方向上方の端部から軸方向中央部分に至る
長さで直線的に延びるスリット状の切欠きが形成されて
いたが、この防振用アクチュエータ１６０においては、
内筒金具１２の軸方向下方の端部から軸方向中央部分に
至る長さで直線的に延びるスリット状の切欠き６４が形
成されている。また、防振用アクチュエータ１６０にお
いては、内筒金具１２に第一の嵌着筒部２０が設けられ
ていないことから、内側ヨーク部材７０が、内筒金具１
２の軸方向中央部分に外嵌固定されている。A cylindrical bottom fitting 158 having a large diameter and a bottom is provided on the lower side in the axial direction of the lower cylindrical fitting 100 constituting the second mounting fitting 90, and an opening of the bottom fitting 158 is provided. An outer flange-shaped outer peripheral edge integrally formed with the portion is bolted to a lower flange portion 110 of the lower cylindrical metal fitting 100. Further, an anti-vibration actuator 160 is provided in the inner space of the bottom fitting 158, and the cover 38, that is, the outer cylinder fitting 14 is moved by the bolt 44 to the connection cylinder 162 having a bottomed cylindrical shape. And the spacer 16 from below in the axial direction.
3 and the inner cylindrical fitting 12 is fixed to the bottom fitting 158 by bolts 28 and nuts 30. The connecting cylinder 162 is press-fitted and fixed to the connecting fitting 120 from below in the axial direction. Further, the anti-vibration actuator 16 employed in the engine mount 86 is used.
0 is the vibration isolating actuator (1
The position where the notch 64 is formed is different from the case of 0). That is, in the anti-vibration actuator (10),
A slit-shaped notch linearly extending from the upper end in the axial direction to the central portion in the axial direction was formed in the inner cylinder, but in this vibration-proof actuator 160,
A slit-shaped notch 64 extending linearly from the axially lower end of the inner cylindrical fitting 12 to the axial central portion is formed. Further, in the vibration damping actuator 160, since the first fitting cylinder portion 20 is not provided on the inner cylinder fitting 12, the inner yoke member 70 is
2 is externally fitted and fixed to the central portion in the axial direction.

【００６６】そして、防振用アクチュエータ１６０のコ
イル６２に対して、交番電流や脈動電流等を通電し、或
いは、コイル６２への通電をＯＮ／ＯＦＦすること等に
よって、内筒金具１２と外筒金具１４の間に軸方向の相
対変位力が生ぜしめられる。この相対変位力が連結筒部
１６２および連結金具１２０を通じて、加振金具１５４
に及ぼされることにより、加振金具１５４が板ばね３０
の弾性変形を伴って、軸方向上下に変位せしめられる。
そして、加振金具１５４が変位すると、加振金具１５４
が直接に壁部の一部を構成する受圧室１３２に圧力変化
が生ぜしめられることとなり、更に、この圧力変化に伴
って発生する加振力が防振対象部材に伝達されて能動的
な防振効果が発揮され得るのである。なお、本実施形態
では、例えば、アイドリング振動やこもり音等の中〜高
周波振動に対して能動的防振効果が利用される。Then, an alternating current, a pulsating current, or the like is applied to the coil 62 of the vibration isolating actuator 160, or the energization of the coil 62 is turned ON / OFF, and the like. An axial relative displacement force is generated between the fittings 14. The relative displacement force is applied to the vibration fitting 154 through the connecting cylinder 162 and the connecting fitting 120.
154 is applied to the leaf spring 30.
Is displaced up and down in the axial direction with elastic deformation.
When the vibration fitting 154 is displaced, the vibration fitting 154 is displaced.
The pressure change is directly generated in the pressure receiving chamber 132 which forms a part of the wall portion, and the exciting force generated by the pressure change is transmitted to the member to be damped, and the active damping is performed. A vibration effect can be exerted. In the present embodiment, for example, an active vibration isolation effect is used for medium to high frequency vibrations such as idling vibrations and muffled sounds.

【００６７】また、上述の如き構造とされたエンジンマ
ウント８６においては、その装着状態下で第一の取付金
具８８と第二の取付金具９０の間に防振すべき振動が入
力されると、本体ゴム弾性体９２の弾性変形に基づいて
受圧室１３２に圧力変化が生ぜしめられて、受圧室１３
２と平衡室１３４の相対的な圧力変動が惹起されること
によって、それら両室１３２，１３４間で、オリフィス
通路１４２，１４６を通じての流体流動が生ぜしめられ
ることとなる。それ故、オリフィス通路１４２，１４６
を流動せしめられる流体の共振作用に基づいてチューニ
ング周波数（本実施形態においては、エンジンシェイク
等の低周波振動）に対応した周波数域の振動に対して有
効な防振効果（高減衰効果）が発揮されるのである。In the engine mount 86 having the above-described structure, when vibration to be prevented is input between the first mounting bracket 88 and the second mounting bracket 90 in the mounted state, A pressure change is generated in the pressure receiving chamber 132 based on the elastic deformation of the main rubber elastic body 92, and the pressure receiving chamber 13
The relative pressure fluctuation between the chamber 2 and the equilibrium chamber 134 causes a fluid flow through the orifice passages 142 and 146 between the two chambers 132 and 134. Therefore, the orifice passages 142, 146
An effective vibration damping effect (high damping effect) against vibrations in a frequency range corresponding to a tuning frequency (in this embodiment, low-frequency vibrations such as engine shakes) is exhibited based on the resonance action of the fluid that causes the fluid to flow. It is done.

【００６８】更にまた、上述の如き構造とされたエンジ
ンマウント８６にあっては、加振金具１５４が受圧室１
３２に直接に臨まされており、オリフィス通路から独立
して形成されていることから、オリフィス通路のチュー
ニング周波数よりも高い周波数域においても、オリフィ
ス通路の実質的な目詰まりによる悪影響が回避されて、
加振金具１５４の加振によって受圧室１３２を圧力制御
することが出来るのであり、具体的には、シェイク振動
よりも高周波数域のアイドリング振動やこもり音等の中
高周波振動に対しても、有効な防振効果を得ることが可
能となる。Further, in the engine mount 86 having the above-described structure, the vibration fitting 154 is connected to the pressure receiving chamber 1.
32, and is formed independently of the orifice passage, so that even in a frequency range higher than the tuning frequency of the orifice passage, adverse effects due to substantial clogging of the orifice passage are avoided,
The pressure of the pressure receiving chamber 132 can be controlled by the vibration of the vibration metal fitting 154. More specifically, the pressure receiving chamber 132 is effective for medium to high frequency vibrations such as idling vibration and muffled sound in a higher frequency range than shake vibration. It is possible to obtain a great anti-vibration effect.

【００６９】ここにおいて、かかるエンジンマウント８
６においても、上述のような構造とされた防振用アクチ
ュエータ１６０を採用することによって、大きな加振力
を消費電力に対して優れた効率で得ることが出来ると共
に、軽量性とコンパクト性が高度に達成され得る。Here, the engine mount 8
6 also, by employing the anti-vibration actuator 160 having the above-described structure, a large excitation force can be obtained with excellent efficiency with respect to power consumption, and the lightness and compactness are improved. Can be achieved.

【００７０】次に、上述の如き構造とされた防振用アク
チュエータを採用した能動型制振器の一具体例を、図７
に示す。なお、以下の説明において、図１に示された防
振用アクチュエータ（１０）と同様の部材及び部位につ
いては、図中に、図１と同一の符号を付すことにより、
その詳細な説明を省略する。Next, a specific example of an active vibration damper employing the vibration damping actuator having the above-described structure is shown in FIG.
Shown in In the following description, the same members and parts as those of the vibration damping actuator (10) shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals in FIG.
The detailed description is omitted.

【００７１】すなわち、本具体例に採用されている防振
用アクチュエータ１６６は、防振用アクチュエータ（１
０）と同様の構造とされており、また、本具体例の能動
型加振器１６４は、防振用アクチュエータ１６６の外筒
金具１４にマス金具１６８が固定された構造とされてい
る。そして、ボルト部２８が、図示しない防振対象部材
に対して固定的に取り付けられており、以て、内筒金具
１２が防振対象部材に固定的に取り付けられている。な
お、以下の説明中、上下方向とは、原則として図１中の
上下方向をいうものとする。That is, the anti-vibration actuator 166 employed in this embodiment is the same as the anti-vibration actuator (1).
0), and the active vibration exciter 164 of this example has a structure in which a mass metal fitting 168 is fixed to the outer cylindrical metal fitting 14 of the vibration damping actuator 166. Then, the bolt portion 28 is fixedly attached to a vibration-proof target member (not shown), so that the inner cylindrical fitting 12 is fixedly attached to the vibration-proof target member. In the following description, the vertical direction refers to the vertical direction in FIG. 1 in principle.

【００７２】より詳細には、マス金具１６８は、円筒ブ
ロック形状を有しており、防振用アクチュエータ１６６
の外筒金具１４に対して外嵌固定されている。また、本
具体例に採用されている防振用アクチュエータ１６６
は、図１に示された防振用アクチュエータ（１０）に比
して、上側の第二の嵌着筒部２４にボルト部２８が設け
られており、それに伴って蓋体３８が設けられておら
ず、上側の板ばね３０が外部に対して剥き出しの構造と
されている。更に、上側の第二の嵌着筒部２４の上端部
は、上端部の断面が正方形になるように、上端部の外周
面が面取りされている。更にまた、大径の円環形状を有
するスペーサ５０が、上側の板ばね３０の軸方向上方に
位置せしめられており、上側の板ばね３０の外周縁部に
当接せしめられている。そして、スペーサ５０は、上側
の板ばね３０の外周縁部と共に、外筒金具１４の軸方向
上端部によって、かしめ固定されている。また、下側の
第二の嵌着筒部２４の内径寸法は、内筒金具１２の内径
寸法よりも大きくされており、以て、下側の第二の嵌着
筒部２４の筒壁部は薄肉化されている。そして、下側の
第二の嵌着部２４が径方向外方に屈曲されることによ
り、板ばね３０の内周縁部とスペーサ４８が、内筒金具
１２に対してかしめ固定されているのである。また、内
筒金具１２には、軸方向上方の端部から軸方向中央部分
に至る長さで直線的に延びるスリット状の切欠きは形成
されておらず、軸方向下方の端部から軸方向中央部分に
至る長さで直線的に延びるスリット状の切欠き６４が形
成されている。そして、本具体例の防振用アクチュエー
タ１６６においては、給電用リード線６６は、内筒金具
１２の軸方向上方の端部から外部に取り出されている。
更にまた、本具体例の能動型制振器１６４においては、
永久磁石５２と外側ヨーク部材５４ａ，５４ｂとマス金
具１６８によってマス部が構成されていると共に、板ば
ね３０によって弾性連結部材が構成されている。以て、
本具体例においては、マス部と板ばね３０によって、一
つの振動系が構成されている。More specifically, the mass metal fitting 168 has a cylindrical block shape, and is provided with an anti-vibration actuator 166.
Is externally fitted and fixed to the outer cylinder fitting 14. Further, the anti-vibration actuator 166 employed in this specific example is used.
Compared to the anti-vibration actuator (10) shown in FIG. 1, a bolt portion 28 is provided on the upper second fitting cylinder portion 24, and a lid 38 is provided accordingly. Instead, the upper leaf spring 30 is exposed to the outside. Further, the outer peripheral surface of the upper end of the upper second fitting tube portion 24 is chamfered so that the cross section of the upper end is square. Furthermore, a spacer 50 having a large-diameter annular shape is positioned above the upper leaf spring 30 in the axial direction, and is in contact with the outer peripheral edge of the upper leaf spring 30. The spacer 50 is fixed by caulking together with the outer peripheral edge of the upper leaf spring 30 by the upper end in the axial direction of the outer tube fitting 14. The inner diameter of the lower second fitting tube portion 24 is larger than the inner diameter of the inner tube fitting 12, so that the cylindrical wall portion of the lower second fitting tube portion 24 is formed. Is thinner. Then, by bending the lower second fitting portion 24 outward in the radial direction, the inner peripheral edge portion of the leaf spring 30 and the spacer 48 are caulked and fixed to the inner cylinder fitting 12. . Further, the inner cylindrical fitting 12 is not formed with a slit-shaped notch extending linearly from the upper end in the axial direction to the central portion in the axial direction. A slit-like notch 64 extending linearly with a length reaching the central portion is formed. In the anti-vibration actuator 166 of this specific example, the power supply lead wire 66 is drawn out from the axially upper end of the inner cylindrical fitting 12.
Furthermore, in the active vibration damper 164 of this specific example,
The mass portion is constituted by the permanent magnet 52, the outer yoke members 54a and 54b, and the mass metal fitting 168, and the elastic connection member is constituted by the leaf spring 30. Therefore,
In this specific example, one vibration system is configured by the mass portion and the leaf spring 30.

【００７３】そして、防振用アクチュエータ１６６のコ
イル６２に対して、交番電流や脈動電流等を通電し、或
いは、コイル６２への通電をＯＮ／ＯＦＦすること等に
よって、内筒金具１２と外筒金具１４の間に軸方向の相
対変位力が生ぜしめられる。この相対変位力が外筒金具
１４を通じて、マス部に及ぼされることにより、マス部
が板ばね３０の弾性変形を伴って、軸方向上下に変位せ
しめられる。それ故、制振すべき振動に対応した周波数
に基づいてコイル６２への通電を調節することにより、
制振すべき振動に対応した加振力を防振対象部材に及ぼ
しめて、かかる防振対象部材における振動を能動的乃至
は相殺的に低減することが出来るのである。Then, an alternating current, a pulsating current, or the like is applied to the coil 62 of the vibration isolating actuator 166, or the energization of the coil 62 is turned ON / OFF. An axial relative displacement force is generated between the fittings 14. When the relative displacement force is exerted on the mass portion through the outer tube fitting 14, the mass portion is displaced up and down in the axial direction with elastic deformation of the leaf spring 30. Therefore, by adjusting the energization to the coil 62 based on the frequency corresponding to the vibration to be damped,
By applying an exciting force corresponding to the vibration to be damped to the member to be damped, the vibration in the member to be damped can be reduced actively or offset.

【００７４】ここにおいて、かかる能動型制振器１６４
においても、上述のような構造とされた防振用アクチュ
エータ１６６を採用することによって、大きな加振力を
消費電力に対して優れた効率で得ることが出来ると共
に、軽量性とコンパクト性が高度に達成され得る。Here, the active vibration damper 164
Also, by employing the anti-vibration actuator 166 having the above-described structure, a large vibration force can be obtained with excellent efficiency with respect to power consumption, and the lightness and compactness are highly improved. Can be achieved.

【００７５】また、図８には、防振用アクチュエータに
関する本発明の第二の実施形態が示されている。すなわ
ち、本実施形態の防振用アクチュエータ１７０は、前記
第一の実施形態の防振用アクチュエータ（１０）に比し
て、コイルを二つ設けたことを、特徴とするものであ
り、前記第一の実施形態と異なる部材および部位につい
て、以下に説明する。なお、以下の説明において、上下
方向とは、図中の上下方向をいうものとする。FIG. 8 shows a second embodiment of the present invention relating to an anti-vibration actuator. That is, the anti-vibration actuator 170 of the present embodiment is characterized in that two coils are provided as compared with the anti-vibration actuator (10) of the first embodiment. Members and portions different from those of the first embodiment will be described below. In the following description, the vertical direction refers to the vertical direction in the figure.

【００７６】先ず、かかる防振用アクチュエータ１７０
においては、外筒金具１４の内周面の軸方向中央部分に
おいて、円環状の永久磁石５２が配されている。また、
永久磁石５２の軸方向上側には、円環形状を有する外側
ヨーク部材５４が配されている。First, the anti-vibration actuator 170
In the figure, an annular permanent magnet 52 is arranged at a central portion in the axial direction of the inner peripheral surface of the outer tube fitting 14. Also,
An outer yoke member 54 having an annular shape is disposed above the permanent magnet 52 in the axial direction.

【００７７】この外側ヨーク部材５４には、その軸方向
上端部分において、全周に亘って径方向内方に突出する
凸部５６が形成されている。更に、外側ヨーク部材５４
の軸方向下方は、軸方向中央部分よりも内径寸法が大き
い固定部５８とされている。それによって、外側ヨーク
部材５４の下端部分には、内周面上に段差面６０が形成
されている。更に、外側ヨーク部材５４および永久磁石
５２の軸方向両側には、円環形状のスペーサ１７２，１
７２が配されている。そして、外側ヨーク部材５４は、
これらスペーサ１７２，１７２によって軸方向で挟圧保
持せしめられていると共に、永久磁石５２は、外側ヨー
ク部材５４と下側のスペーサ１７２によって軸方向で挟
圧保持せしめられている。かかる配設状態下において、
永久磁石５２の外周面は、固定部５８の内周面に当接せ
しめられていると共に、永久磁石５２の内周面は、凸部
５６の突出先端面と略同じ突出高さで径方向内方に突出
せしめられている。そして、これら凸部５６と永久磁石
５２の内周縁部によって、軸方向に互いに離隔位置する
２つの外側磁極部１６ａ，１６ｂが構成されているので
ある。The outer yoke member 54 has a convex portion 56 projecting radially inward over the entire circumference at the upper end in the axial direction. Further, the outer yoke member 54
The lower part in the axial direction is a fixing part 58 having an inner diameter larger than the central part in the axial direction. Thereby, a step surface 60 is formed on the inner peripheral surface at the lower end portion of the outer yoke member 54. Further, annular spacers 172, 1 are provided on both sides of the outer yoke member 54 and the permanent magnet 52 in the axial direction.
72 are provided. And the outer yoke member 54
The permanent magnet 52 is squeezed and held in the axial direction by the outer yoke member 54 and the lower spacer 172 while the spacers 172 and 172 are squeezed and held in the axial direction. Under such arrangement,
The outer peripheral surface of the permanent magnet 52 is brought into contact with the inner peripheral surface of the fixed portion 58, and the inner peripheral surface of the permanent magnet 52 is radially inward at substantially the same protruding height as the protruding distal end surface of the convex portion 56. It is protruded in the direction. The two outer magnetic pole portions 16a and 16b which are separated from each other in the axial direction are constituted by the convex portion 56 and the inner peripheral edge portion of the permanent magnet 52.

【００７８】さらに、永久磁石５２は、図９にモデル図
が示されているように、径方向に着磁されて、内周面が
Ｎ極、外周面がＳ極とされている。これにより、永久磁
石５２のＳ極側に当接されている外側ヨーク部材５４の
凸部５６によって形成されている外側磁極部１６ａがＳ
極に設定されていると共に、永久磁石５２の内周縁部に
よって形成された外側磁極部１６ｂがＮ極に設定されて
いる。Further, as shown in the model diagram of FIG. 9, the permanent magnet 52 is magnetized in the radial direction, with the inner peripheral surface being the N pole and the outer peripheral surface being the S pole. As a result, the outer magnetic pole portion 16a formed by the convex portion 56 of the outer yoke member 54 abutting on the S pole side of the permanent magnet 52 is
The outer pole portion 16b formed by the inner peripheral edge of the permanent magnet 52 is set to the N pole while being set to the pole.

【００７９】一方、内筒金具１２の軸方向中央部分に、
周方向に巻回された二つの円環形状のコイル６２ａ，６
２ｂが、互いに軸方向に離隔して配されている。更に、
内筒金具１２には、軸方向上方の端部から軸方向中央部
分に至る長さで直線的に延びるスリット状の切欠き６４
が形成されている。そして、この切欠き６４から、内筒
金具１２の内孔３２にコイル６２ａ，６２ｂの給電用リ
ード線６６ａ，６６ｂが配設されており、内筒金具１２
の軸方向下方の端部から、給電用リード線６６ａ，６６
ｂが取り出されている。On the other hand, in the axially central portion of the inner cylindrical fitting 12,
Two annular coils 62a, 62 wound in the circumferential direction
2b are spaced apart from each other in the axial direction. Furthermore,
A slit-shaped notch 64 linearly extending from the upper end in the axial direction to the central portion in the axial direction is formed in the inner cylindrical fitting 12.
Are formed. From the notch 64, the power supply lead wires 66a, 66b of the coils 62a, 62b are provided in the inner hole 32 of the inner cylinder fitting 12, and the inner cylinder fitting 12 is provided.
Power supply lead wires 66a, 66
b has been taken out.

【００８０】また、各コイル６２は、電気絶縁性のボビ
ン６８によって被覆されている。即ち、各ボビン６８
は、中空の円環形状とされており、軸方向の上下の両端
部分が、それぞれ、中央部分よりも外径寸法が小さい固
定部７０とされている。それによって、各ボビン６８の
軸方向中央部分には、外周面上に二つの段差面７２が形
成されている。そして、各ボビン６８は、内筒金具１２
に外嵌固定されており、以て、各コイル６２が内筒金具
１２の外周面に固定されているのである。Each coil 62 is covered with an electrically insulating bobbin 68. That is, each bobbin 68
Is formed in a hollow annular shape, and upper and lower ends in the axial direction are fixed portions 70 each having an outer diameter smaller than that of a central portion. Thus, two step surfaces 72 are formed on the outer peripheral surface at the axial center of each bobbin 68. Each bobbin 68 is connected to the inner cylinder fitting 12.
Thus, each coil 62 is fixed to the outer peripheral surface of the inner cylinder fitting 12.

【００８１】さらに、ボビン６８ａ，６８ｂの軸方向両
側の固定部７０ａ，７０ｂ，７０ｃ，７０ｄには、円環
形状の第一の内側ヨーク部材７６ａ，７６ｂ，７６ｃ，
７６ｄが、それぞれ、軸方向外方から外嵌固定されてい
る。また、これら二つのボビン６８ａ，６８ｂの軸方向
間および軸方向両側には、それぞれ、円環ブロック形状
を有する三つの第二の内側ヨーク部材７４ａ，７４ｂ，
７４ｃが配されている。そして、第二の内側ヨーク部材
７４ａ，７４ｃは、それぞれ、上側及び下側の第一の嵌
着部２０，２０に外嵌固定されており、段差面２２に当
接位置決めされていると共に、第二の内側ヨーク部材７
４ｂは、内筒金具１２の軸方向中間部分に外嵌固定され
ている。また、第二の内側ヨーク部材７４ａ，７４ｃ
は、各ボビン６８の軸方向対向端面および第一の内側ヨ
ーク部材７６ａ，７６ｄの軸方向対向端面に当接されて
いると共に、第二の内側ヨーク部材７４ｂは、軸方向両
側に配されたボビン６８ａ，６８ｂの軸方向対向端面お
よび第一の内側ヨーク部材７６ｂ、７６ｃの軸方向対向
端面に当接されている。また、各第二の内側ヨーク部材
７４と各第一の内側ヨーク材７６と各ボビン６８の外径
寸法は、同一とされている。更に、本実施形態において
は、第二の内側ヨーク部材７４ａと第一の内側ヨーク部
材７６ａ，第二の内側ヨーク部材７４ｂと第一の内側ヨ
ーク部材７６ｂ，７６ｃ，第二の内側ヨーク部材７４ｃ
と第一の内側ヨーク部材７６ｄによって、内側ヨーク７
８ａ，７８ｂ，７８ｃが構成されており、各内側ヨーク
７８の外周部分によって、軸方向に離隔して位置する三
つの内側磁極部１８ａ，１８ｂ，１８ｃが構成されてい
る。Further, the first inner yoke members 76a, 76b, 76c, and 76c of the annular shape are attached to the fixing portions 70a, 70b, 70c, and 70d on both sides in the axial direction of the bobbins 68a, 68b.
76d are externally fitted and fixed from outside in the axial direction, respectively. Further, between the two bobbins 68a, 68b in the axial direction and on both sides in the axial direction, three second inner yoke members 74a, 74b,
74c. The second inner yoke members 74a, 74c are externally fitted and fixed to the upper and lower first fitting portions 20, 20, respectively. Second inner yoke member 7
4b is externally fitted and fixed to the axially intermediate portion of the inner cylindrical fitting 12. Also, the second inner yoke members 74a, 74c
Are in contact with the axially opposed end faces of the respective bobbins 68 and the axially opposed end faces of the first inner yoke members 76a and 76d, and the second inner yoke members 74b are disposed on the axially opposite sides of the bobbins. The first inner yoke members 76b and 76c are in contact with the axially opposed end surfaces of the first and second inner yoke members 76b and 76c. The outer diameter of each second inner yoke member 74, each first inner yoke member 76, and each bobbin 68 are the same. Further, in the present embodiment, the second inner yoke member 74a and the first inner yoke member 76a, the second inner yoke member 74b, the first inner yoke members 76b and 76c, and the second inner yoke member 74c
And the first inner yoke member 76d, the inner yoke 7
8a, 78b, and 78c, and three inner magnetic pole portions 18a, 18b, and 18c that are located in the axial direction and separated by the outer peripheral portion of each inner yoke 78.

【００８２】これにより、円環状のコイル６２ａ，６２
ｂに対して、給電用リード線６６ａ，６６ｂを通じて給
電すると、電流の磁気作用によって磁界が発生し、コイ
ル６２ａ，６２ｂが電磁石として機能することにより、
内側ヨーク７８ａ，７８ｂ，７８ｃ、延いては、内側磁
極部１８ａ，１８ｂ，１８ｃに対して、コイル６２ａ，
６２ｂへの通電方向に応じた磁極が与えられるようにな
っている。特に、本具体例においては、コイル６２ａと
コイル６２ｂで、通電方向が逆となるように設定されて
おり、コイル６２ａ，６２ｂの間に挟まれた内側ヨーク
７８ｂによって形成された内側磁極部１８ｂには、コイ
ル６２ａ，６２ｂの各軸方向外面に重ね合わされた内側
ヨーク７８ａ，７８ｃによって形成された各内側磁極部
１８ａ，１８ｃと反対の極性が生ぜしめられるようにな
っている。Thus, the annular coils 62a, 62a
When power is supplied to b through the power supply leads 66a and 66b, a magnetic field is generated by the magnetic action of the current, and the coils 62a and 62b function as electromagnets.
The coils 62a,
A magnetic pole according to the direction of current supply to 62b is provided. In particular, in this specific example, the energizing direction is set to be opposite between the coil 62a and the coil 62b, and the inner magnetic pole portion 18b formed by the inner yoke 78b sandwiched between the coils 62a and 62b. Are formed so that polarities opposite to those of the inner magnetic pole portions 18a, 18c formed by the inner yokes 78a, 78c superimposed on the respective axial outer surfaces of the coils 62a, 62b are generated.

【００８３】また、これら内筒金具１２側に形成された
内側磁極部１８ａ，１８ｂ，１８ｃは、外筒金具１４側
に形成された外側磁極部１６ａ，１６ｂに対して、略一
定の小さな間隙を隔てて、接触することなく、径方向に
対向位置せしめられている。しかも、内側磁極部１８
ａ，１８ｂ，１８ｃと外側磁極部１６ａ，１６ｂは、軸
方向の位置が互いにずれた状態で配設されている。具体
的には、図９に示されているように、内側磁極部１８ａ
の軸方向中心線：Ｘａが、外側磁極部１６ａの軸方向中
心線：Ｙａよりも軸方向上方に位置せしめられていると
共に、内側磁極部１８ｃの軸方向中心線：Ｘｃが、外側
磁極部１６ｂの軸方向中心線：Ｙｂよりも軸方向下方に
位置せしめられている。そして、内側磁極部１８ｂの軸
方向中心線：Ｘｂは、外側磁極部１６ａ，１６ｂの軸方
向離隔中心上に位置せしめられている。また、外側磁極
部１６ａ，１６ｂの軸方向長さ：Ａが、内側磁極部１８
ａ，１８ｂ間または１８ｂ，１８ｃの軸方向離隔距離：
Ｂよりも大きく設定されており、外側磁極部１６ａ，１
６ｂの軸方向両側部分が、それぞれ、軸方向に隣接配置
された二つの内側磁極部１８ａ，１８ｂまたは１８ｂ，
１８ｃに対して、径方向でオーバーラップして配設され
て、軸方向に傾斜することなく径方向で直接に対向位置
せしめられている。更に、本実施形態では、外側磁極部
１６ａ，１６ｂの軸方向長さ：Ａは、内側磁極部１８
ａ，１８ｃの軸方向長さ：Ｃと略同一に設定されている
と共に、内側磁極部１８ｂの軸方向長さ：Ｄより小さく
設定されている。即ち、内側磁極部１８ｂは、他の内側
磁極部１８ａ，１８ｃに比して、軸方向長さが大きく設
定されている。The inner magnetic pole portions 18a, 18b and 18c formed on the inner cylinder fitting 12 have a substantially constant small gap with respect to the outer magnetic pole portions 16a and 16b formed on the outer cylinder fitting 14 side. They are spaced apart and do not come into contact with each other in the radial direction. Moreover, the inner magnetic pole portion 18
The a, 18b, 18c and the outer magnetic pole portions 16a, 16b are arranged with their axial positions shifted from each other. Specifically, as shown in FIG.
Is positioned axially above the axial center line Ya of the outer magnetic pole portion 16a, and the axial center line Xc of the inner magnetic pole portion 18c is aligned with the outer magnetic pole portion 16b. Axial center line: is positioned axially below Yb. The axial center line Xb of the inner magnetic pole portion 18b is located on the center of the outer magnetic pole portions 16a and 16b in the axial direction. The axial length A of the outer magnetic pole portions 16a and 16b is
a, 18b or 18b, 18c axial separation distance:
B is set larger than the outer magnetic pole portions 16a, 1
6b are provided with two inner magnetic pole portions 18a, 18b or 18b,
18c is disposed so as to overlap in the radial direction, and is directly opposed in the radial direction without being inclined in the axial direction. Further, in the present embodiment, the axial length A of the outer magnetic pole portions 16a and 16b is
The axial lengths of a and 18c are set to be substantially the same as C, and the axial length of the inner magnetic pole portion 18b is set to be smaller than D. That is, the inner magnetic pole portion 18b is set to have a longer axial length than the other inner magnetic pole portions 18a and 18c.

【００８４】次に、上述の如き構造とされた防振用アク
チュエータ１７０の作動について説明する。即ち、コイ
ル６２ａ，６２ｂへの非通電状態下では、図９に示され
ているように、内側磁極部１８ａ，１８ｂ，１８ｃに磁
極は与えられないが、外側磁極部１６ａ，１６ｂによっ
て、内側磁極部１８ａ，１８ｂ，１８ｃに対してそれぞ
れ作用せしめられる磁力の釣り合いに基づき、内筒金具
１２と外筒金具１４に対して、図９に示されている如
き、中立位置への保持力が及ぼされる。しかも、内筒金
具１２と外筒金具１４が軸方向に相対変位せしめられた
際には、かかる磁力の釣り合い作用に基づいて、中立位
置への軸方向の復帰力が及ぼされることにより、内筒金
具１２と外筒金具１４に軸方向の相対駆動力が及ぼされ
て、中立位置に復元されることとなる。なお、内筒金具
１２と外筒金具１４の軸方向の相対変位量が過大となっ
た場合には、有効な中立位置への復帰力が生ぜしめられ
なくなるおそれがあるが、本実施形態においても、その
ような過大な相対変位が、板ばね（３０）で防止される
ことにより、内筒金具１２と外筒金具１４が中立位置に
安定して復元および保持され得る。また、内筒金具１２
と外筒金具１４の過大な相対変位が、軸方向上方に生ぜ
しめられた場合においても、上側の第二の嵌着筒部（２
４）の内径寸法が、ボルト（４４）の頭の外径寸法より
も大きくされているために、ボルト（４４）の内筒金具
１２に対する干渉が防止される。Next, the operation of the anti-vibration actuator 170 having the above-described structure will be described. That is, when the coils 62a and 62b are not energized, no magnetic pole is given to the inner magnetic pole portions 18a, 18b and 18c as shown in FIG. Based on the balance of the magnetic forces acting on the portions 18a, 18b, and 18c, the holding force to the neutral position is exerted on the inner cylindrical member 12 and the outer cylindrical member 14 as shown in FIG. . Moreover, when the inner cylinder fitting 12 and the outer cylinder fitting 14 are relatively displaced in the axial direction, a return force in the axial direction to the neutral position is exerted on the basis of the balancing action of the magnetic force. A relative driving force in the axial direction is applied to the metal fitting 12 and the outer cylindrical metal fitting 14, and the fitting is restored to the neutral position. If the relative displacement in the axial direction between the inner cylindrical member 12 and the outer cylindrical member 14 becomes excessive, there is a possibility that a return force to an effective neutral position may not be generated. By preventing such an excessive relative displacement by the leaf spring (30), the inner cylindrical member 12 and the outer cylindrical member 14 can be stably restored and held at the neutral position. Also, the inner tube fitting 12
When the excessive relative displacement of the outer cylinder fitting 14 and the outer cylinder fitting 14 is generated upward in the axial direction, the upper second fitting cylinder portion (2
Since the inner diameter of 4) is larger than the outer diameter of the head of the bolt (44), the interference of the bolt (44) with the inner cylindrical fitting 12 is prevented.

【００８５】また、コイル６２ａ，６２ｂに対して通電
すると、コイル６２ａ，６２ｂが電磁石として機能す
る。特に、本実施形態では、二つのコイル６２ａ，６２
ｂで通電方向が周方向反対向きに設定されていることに
より、その一方向への通電により、例えば、図１０に示
されているように、内側磁極部１８ｂに対してＳ極が与
えられると共に、内側磁極部１８ａ，１８ｃに対してＮ
極が与えられる。その結果、内側磁極部１８ａ，１８
ｂ，１８ｃと外側磁極部１６ａ，１６ｂの間において、
同極間に生ぜしめられる排斥力と、異極間に生ぜしめら
れる吸引力に基づいて、内筒金具１２と外筒金具１４に
おける中立位置への復元，保持力が崩壊せしめられ、内
筒金具１２と外筒金具１４に対して、軸方向一方向の側
への相対変位力が及ぼされて、外筒金具１４が内筒金具
１２に対して、図中、上方に相対変位せしめられること
となる。When current is supplied to the coils 62a and 62b, the coils 62a and 62b function as electromagnets. In particular, in the present embodiment, the two coils 62a and 62
By setting the energizing direction to the opposite direction in the circumferential direction at b, by applying the current in one direction, for example, as shown in FIG. , N with respect to the inner magnetic pole portions 18a and 18c.
The poles are given. As a result, the inner magnetic pole portions 18a, 18
b, 18c and the outer magnetic pole portions 16a, 16b,
On the basis of the repulsive force generated between the same poles and the suction force generated between the different poles, the restoring and holding force of the inner cylinder fitting 12 and the outer cylinder fitting 14 to the neutral position is collapsed, and the inner cylinder fitting is collapsed. A relative displacement force to one side in the axial direction is exerted on the outer cylinder 12 and the outer cylinder 14, and the outer cylinder 14 is relatively displaced upward in the drawing with respect to the inner cylinder 12. Become.

【００８６】また一方、コイル６２ａ，６２ｂに対し
て、逆方向に通電すると、図１１に示されているよう
に、コイル６２ａ，６２ｂによる電磁石の磁極が反転せ
しめられて、内側磁極部１８ｂに対してＮ極が与えられ
ると共に、内側磁極部１８ａ，１８ｃに対してＳ極が与
えられる。その結果、内側磁極部１８ａ，１８ｂ，１８
ｃと外側磁極部１６ａ，１６ｂの間において、同極間に
生ぜしめられる排斥力と、異極間に生ぜしめられる吸引
力に基づいて、内筒金具１２と外筒金具１４に対して、
軸方向反対側への相対変位力が及ぼされて、外筒金具１
４が内筒金具１２に対して、図中、下方に相対変位せし
められることとなる。On the other hand, when power is supplied to the coils 62a and 62b in the opposite direction, the magnetic poles of the electromagnets are reversed by the coils 62a and 62b as shown in FIG. As a result, an N pole is provided, and an S pole is provided to the inner magnetic pole portions 18a and 18c. As a result, the inner magnetic pole portions 18a, 18b, 18
c and the outer magnetic pole portions 16a and 16b, based on the repulsive force generated between the same poles and the attraction force generated between the different poles, the inner cylindrical fitting 12 and the outer cylindrical fitting 14
A relative displacement force is exerted on the opposite side in the axial direction, and the outer cylinder 1
4 is displaced downward relative to the inner cylinder fitting 12 in the figure.

【００８７】このように、上述の如き構造とされた防振
用アクチュエータ１７０においては、コイル６２ａ，６
２ｂに対して、交番電流や脈動電流等を通電し、或い
は、コイル６２ａ，６２ｂへの通電をＯＮ／ＯＦＦする
こと等によって、内筒金具１２と外筒金具１４の間に軸
方向の相対変位力が生ぜしめられるのである。As described above, in the anti-vibration actuator 170 having the above-described structure, the coils 62a, 6
By applying an alternating current, a pulsating current, or the like to the coil 2a, or turning on / off the current to the coils 62a and 62b, the relative displacement in the axial direction between the inner cylinder 12 and the outer cylinder 14 is performed. Power is created.

【００８８】ここにおいて、かかる防振用アクチュエー
タ１７０においても、前記第一の実施形態と同様の効果
を得ることが出来る。Here, the vibration damping actuator 170 can obtain the same effects as those of the first embodiment.

【００８９】また、本実施形態においては、各コイル６
２の軸方向両側に形成される各内側ヨーク７８と、それ
に対応して配設された外側ヨーク部材５４および永久磁
石５２の磁力作用によって加振力が相加的に生ぜしめら
れることから、外筒金具１４の外径寸法の大型化を回避
しつつ、発生加振力の増大が図られ得る。In this embodiment, each coil 6
Since the inner yoke 78 formed on both sides in the axial direction of the second and the outer yoke member 54 and the permanent magnet 52 disposed corresponding to the inner yoke 78 generate the exciting force additively, The generated vibration force can be increased while avoiding an increase in the outer diameter of the cylindrical fitting 14.

【００９０】さらに、本実施形態においては、外側ヨー
ク部材５４と永久磁石５２を、二つのコイル６２ａ，６
２ｂの外周側に跨がって軸方向に延びるように配設せし
めて、それら各コイル６２の軸方向両側に形成された内
側磁極部１８ａ，１８ｂおよび１８ｂ，１８ｃの軸方向
中間部分に位置するように、各コイル６２ａ，６２ｂの
外周側に離隔してＮ極またはＳ極からなる単一の外側磁
極部１８ａ，１８ｂを形成したことにより、少ない外側
磁極部１６ａ，１６ｂによって軸方向加振力を有効に得
ることが出来る。Further, in this embodiment, the outer yoke member 54 and the permanent magnet 52 are connected to the two coils 62a and 62a.
2b is disposed so as to extend in the axial direction so as to extend over the outer peripheral side thereof, and is located at an axial intermediate portion between the inner magnetic pole portions 18a, 18b and 18b, 18c formed on both axial sides of each coil 62. As described above, since the single outer magnetic pole portions 18a and 18b formed of N poles or S poles are formed spaced apart from the outer peripheral side of each of the coils 62a and 62b, the axial excitation force is reduced by the smaller outer magnetic pole portions 16a and 16b. Can be obtained effectively.

【００９１】更にまた、本実施形態の防振用アクチュエ
ータ１７０も、第一の実施形態の防振用アクチュエータ
（１０）と同様に、前述の加振器（８０），エンジンマ
ウント（８６），能動型制振器（１６４）等に採用可能
である。Further, the vibration damping actuator 170 of the present embodiment also has a vibration exciter (80), an engine mount (86), and an active damper, similarly to the vibration damping actuator (10) of the first embodiment. The present invention can be applied to a mold damper (164) and the like.

【００９２】また、図１２には、防振用アクチュエータ
に関する本発明の第三の実施形態が示されている。すな
わち、本実施形態の防振用アクチュエータ１７４は、前
記第一の実施形態の防振用アクチュエータ（１０）に比
して、軸方向に着磁した永久磁石を設けたことを、特徴
とするものであり、前記第一の実施形態と異なる部材及
び部位について、以下に説明する。FIG. 12 shows a third embodiment of the present invention relating to an anti-vibration actuator. That is, the anti-vibration actuator 174 of the present embodiment is characterized in that a permanent magnet magnetized in the axial direction is provided as compared with the anti-vibration actuator (10) of the first embodiment. In the following, members and portions different from those of the first embodiment will be described.

【００９３】先ず、かかる防振用アクチュエータ１７４
においては、外筒金具１４の内周面の軸方向中央部分に
おいて、円環状の永久磁石５２が配されている。また、
永久磁石５２の軸方向両側には、円環形状を有する外側
ヨーク部材５４ａ，５４ｂが配されている。First, the anti-vibration actuator 174 is used.
In the figure, an annular permanent magnet 52 is arranged at a central portion in the axial direction of the inner peripheral surface of the outer tube fitting 14. Also,
Outer yoke members 54a and 54b having an annular shape are arranged on both axial sides of the permanent magnet 52.

【００９４】この外側ヨーク部材５４ａ，５４ｂには、
それらの軸方向中間部分において、全周に亘って径方向
内方に突出する凸部５６ａ，５６ｂが形成されている。
そして、永久磁石５２は、その軸方向両端部が外側ヨー
ク部材５４ａ，５４ｂの軸方向端面によって挟圧保持さ
れている。そして、これら凸部５６ａ，５６ｂと永久磁
石５２の内周縁部によって、軸方向に互いに離隔位置す
る２つの外側磁極部１６ａ，１６ｂが構成されているの
である。また、永久磁石５２は、外側ヨーク部材５４
ａ，５４ｂの軸方向端部と同じぐらいの径方向厚さ寸法
を有している。更にまた、外側ヨーク部材５４ａ，５４
ｂの凸部５６ａ，５６ｂの軸方向長さと内側ヨーク部材
７４ａ，７４ｂの軸方向長さが、略同一とされていると
共に、外側ヨーク部材５４ａ，５４ｂの凸部５６ａ，５
６ｂの突出先端面と内側ヨーク部材７４ａ，７４ｂの外
周面とが、軸方向に同じ位置で対向位置せしめられてい
る。The outer yoke members 54a and 54b have
Protrusions 56a and 56b projecting inward in the radial direction are formed over the entire circumference in the intermediate portions in the axial direction.
The permanent magnet 52 is pinched and held at both axial ends thereof by axial end surfaces of the outer yoke members 54a and 54b. The two outer magnetic pole portions 16a and 16b axially separated from each other are formed by the convex portions 56a and 56b and the inner peripheral edge of the permanent magnet 52. The permanent magnet 52 is connected to the outer yoke member 54.
a, 54b have the same radial thickness as the axial ends. Furthermore, the outer yoke members 54a, 54
b, the axial lengths of the protrusions 56a, 56b and the inner yoke members 74a, 74b are substantially the same, and the protrusions 56a, 5b of the outer yoke members 54a, 54b.
6b and the outer peripheral surfaces of the inner yoke members 74a and 74b are opposed to each other at the same position in the axial direction.

【００９５】さらに、永久磁石５２は、図１３にモデル
図が示されているように、軸方向上方がＮ極に設定され
ている。これにより、永久磁石５２のＮ極側に当接され
ている外側ヨーク部材５４ａの凸部５６ａによって形成
されている外側磁極部１６ａがＮ極に設定されていると
共に、永久磁石５２のＳ極側に当接されている外側ヨー
ク部材５４ｂの凸部５６ｂによって形成されている外側
磁極部１６ｂがＳ極に設定されている。Further, as shown in the model diagram of FIG. 13, the permanent magnet 52 is set to have the N pole at the upper part in the axial direction. Thus, the outer magnetic pole portion 16a formed by the convex portion 56a of the outer yoke member 54a abutting on the N pole side of the permanent magnet 52 is set to the N pole, and the S pole side of the permanent magnet 52 is set. The outer magnetic pole portion 16b formed by the convex portion 56b of the outer yoke member 54b that is in contact with the outer yoke member 54b is set to the S pole.

【００９６】また、これら内筒金具１２側に形成された
内側磁極部１８ａ，１８ｂは、外筒金具１４側に形成さ
れた外側磁極部１６ａ，１６ｂに対して、略一定の小さ
な間隙を隔てて、接触することなく、径方向に対向位置
せしめられている。しかも、内側磁極部１８ａ，１８ｂ
と外側磁極部１６ａ，１６ｂは、軸方向の位置が互いに
ずれた状態で配設されている。具体的には、図１３に示
されているように、内側磁極部１８ａの軸方向中心線：
Ｘａが、外側磁極部１６ａの軸方向中心線：Ｙａよりも
軸方向下方に位置せしめられていると共に、内側磁極部
１８ｂの軸方向中心線：Ｘｂが、外側磁極部１６ｂの軸
方向中心線：Ｙｂよりも軸方向上方に位置せしめられて
いる。また、内側磁極部１８ａ，１８ｂの軸方向長さ：
Ａは、外側磁極部１６ａ，１６ｂ間の軸方向離隔距離：
Ｂよりも小さく設定されており、軸方向に傾斜すること
なく径方向で直接に対向位置せしめられている。更に、
本実施形態では、内側磁極部１８ａ，１８ｂの軸方向長
さ：Ａは、外側磁極部１６ａ，１６ｂの軸方向長さ：Ｃ
よりも大きく設定されている。The inner magnetic pole portions 18a and 18b formed on the inner cylindrical fitting 12 side are separated from the outer magnetic pole portions 16a and 16b formed on the outer cylindrical fitting 14 by a substantially constant small gap. , Without being in contact with each other. Moreover, the inner magnetic pole portions 18a, 18b
And the outer magnetic pole portions 16a, 16b are arranged in a state where their axial positions are shifted from each other. Specifically, as shown in FIG. 13, the axial center line of the inner magnetic pole portion 18a:
Xa is positioned axially below the axial center line of the outer magnetic pole portion 16a: Ya, and the axial center line of the inner magnetic pole portion 18b: Xb is the axial center line of the outer magnetic pole portion 16b: It is positioned axially above Yb. The axial length of the inner magnetic pole portions 18a and 18b is as follows:
A is an axial separation distance between the outer magnetic pole portions 16a and 16b:
It is set smaller than B and is directly opposed in the radial direction without tilting in the axial direction. Furthermore,
In this embodiment, the axial length A of the inner magnetic pole portions 18a and 18b is equal to the axial length C of the outer magnetic pole portions 16a and 16b.
It is set larger than.

【００９７】次に、上述の如き構造とされた防振用アク
チュエータ１７４の作動について説明する。即ち、コイ
ル６２への非通電状態下では、図１３に示されているよ
うに、内側磁極部１８ａ，１８ｂに磁極は与えられない
が、外側磁極部１６ａ，１６ｂによって、内側磁極部１
８ａ，１８ｂに対してそれぞれ作用せしめられる磁力の
釣り合いに基づき、内筒金具１２と外筒金具１４に対し
て、図１３に示されている如き、中立位置への保持力が
及ぼされる。しかも、内筒金具１２と外筒金具１４が軸
方向に相対変位せしめられた際には、かかる磁力の釣り
合い作用に基づいて、中立位置への軸方向の復帰力が及
ぼされることにより、内筒金具１２と外筒金具１４に軸
方向の相対駆動力が及ぼされて、中立位置に復元される
こととなる。なお、内筒金具１２と外筒金具１４の軸方
向の相対変位量が過大となった場合には、有効な中立位
置への復帰力が生ぜしめられなくなるおそれがあるが、
本実施形態でも、そのような過大な相対変位が、板ばね
（３０）で防止されることにより、内筒金具１２と外筒
金具１４が中立位置に安定して復元および保持され得
る。また、内筒金具１２と外筒金具１４の過大な相対変
位が、軸方向上方に生ぜしめられた場合においても、上
側の第二の嵌着筒部（２４）の内径寸法が、ボルト（４
４）の頭の外径寸法よりも大きくされているために、ボ
ルト（４４）の内筒金具１２に対する衝突が防止され
る。Next, the operation of the anti-vibration actuator 174 having the above-described structure will be described. That is, when the coil 62 is not energized, as shown in FIG. 13, no magnetic pole is applied to the inner magnetic pole portions 18a and 18b, but the outer magnetic pole portions 16a and 16b cause the inner magnetic pole portion 1
Based on the balance of the magnetic forces acting on the inner and outer cylinders 8a and 18b, a holding force to the neutral position is exerted on the inner cylinder 12 and the outer cylinder 14 as shown in FIG. Moreover, when the inner cylinder fitting 12 and the outer cylinder fitting 14 are relatively displaced in the axial direction, a return force in the axial direction to the neutral position is exerted on the basis of the balancing action of the magnetic force. A relative driving force in the axial direction is applied to the metal fitting 12 and the outer cylindrical metal fitting 14, and the fitting is restored to the neutral position. If the relative displacement in the axial direction between the inner cylindrical member 12 and the outer cylindrical member 14 becomes excessive, there is a possibility that a return force to an effective neutral position may not be generated.
Also in the present embodiment, such an excessive relative displacement is prevented by the leaf spring (30), so that the inner cylindrical member 12 and the outer cylindrical member 14 can be stably restored and held at the neutral position. Further, even when an excessive relative displacement between the inner cylinder fitting 12 and the outer cylinder fitting 14 is generated in the upper direction in the axial direction, the inner diameter of the upper second fitting cylinder portion (24) is reduced by the bolt (4).
Since the head is made larger than the outer diameter dimension of 4), the collision of the bolt (44) with the inner cylindrical fitting 12 is prevented.

【００９８】また、コイル６２に対して通電すると、コ
イル６２が電磁石として機能する。そして、一方向への
通電により、例えば、図１４に示されているように、内
側磁極部１８ａに対してＮ極が与えられると共に、内側
磁極部１８ｂに対してＳ極が与えられる。その結果、内
側磁極部１８ａ，１８ｂと外側磁極部１６ａ，１６ｂの
間において、同極間に生ぜしめられる排斥力と、異極間
に生ぜしめられる吸引力に基づいて、内筒金具１２と外
筒金具１４における中立位置への復元，保持力が崩壊せ
しめられ、内筒金具１２と外筒金具１４に対して、軸方
向一方向の側への相対変位力が及ぼされて、外筒金具１
４が内筒金具１２に対して、図中、下方に相対変位せし
められることとなる。Further, when electricity is supplied to the coil 62, the coil 62 functions as an electromagnet. Then, by energizing in one direction, for example, as shown in FIG. 14, an N pole is given to the inner magnetic pole portion 18a and an S pole is given to the inner magnetic pole portion 18b. As a result, between the inner magnetic pole portions 18a, 18b and the outer magnetic pole portions 16a, 16b, the inner cylindrical member 12 and the outer cylindrical metal fitting 12 are formed based on the repulsive force generated between the same poles and the attraction force generated between the different poles. The restoring and holding force of the tube fitting 14 to the neutral position is collapsed, and a relative displacement force in one axial direction is exerted on the inner tube fitting 12 and the outer tube fitting 14, so that the outer tube fitting 1 is removed.
4 is displaced downward relative to the inner cylinder fitting 12 in the figure.

【００９９】また一方、コイル６２に対して、逆方向に
通電すると、図１５に示されているように、コイル６２
による電磁石の磁極が反転せしめられて、内側磁極部１
８ａに対してＳ極が与えられると共に、内側磁極部１８
ｂに対してＮ極が与えられる。その結果、内側磁極部１
８ａ，１８ｂと外側磁極部１６ａ，１６ｂの間におい
て、同極間に生ぜしめられる排斥力と、異極間に生ぜし
められる吸引力に基づいて、内筒金具１２と外筒金具１
４に対して、軸方向反対側への相対変位力が及ぼされ
て、外筒金具１４が内筒金具１２に対して、図中、上方
に相対変位せしめられることとなる。On the other hand, when current is supplied to the coil 62 in the reverse direction, as shown in FIG.
The magnetic pole of the electromagnet is reversed by the
8a is provided with an S pole, and the inner magnetic pole portion 18 is provided.
An N pole is provided for b. As a result, the inner magnetic pole part 1
8a, 18b and the outer magnetic pole portions 16a, 16b, based on the repulsive force generated between the same poles and the attraction force generated between the different poles, the inner cylindrical fitting 12 and the outer cylindrical fitting 1 are formed.
4, a relative displacement force is exerted on the opposite side in the axial direction, and the outer cylinder 14 is relatively displaced upward relative to the inner cylinder 12 in the figure.

【０１００】このように、上述の如き構造とされた防振
用アクチュエータ１７４においては、コイル６２に対し
て、交番電流や脈動電流等を通電し、或いは、コイル６
２への通電をＯＮ／ＯＦＦすること等によって、内筒金
具１２と外筒金具１４の間に軸方向の相対変位力が生ぜ
しめられるのである。As described above, in the vibration damping actuator 174 having the above-described structure, an alternating current or a pulsating current is applied to the coil 62 or the coil 6
By turning on / off the power supply to 2, a relative displacement force in the axial direction is generated between the inner cylindrical fitting 12 and the outer cylindrical fitting 14.

【０１０１】ここにおいて、かかる防振用アクチュエー
タ１７４においても、前記第一の実施形態と同様の効果
を得ることが出来る。Here, the same effect as that of the first embodiment can be obtained also in the vibration damping actuator 174.

【０１０２】また、本実施形態の防振用アクチュエータ
１７４も、第一の実施形態の防振用アクチュエータ（１
０）と同様に、前述の加振器（８０），エンジンマウン
ト（８６），能動型制振器（１６４）等に採用可能であ
る。The vibration damping actuator 174 of the present embodiment is also the same as the vibration damping actuator (1) of the first embodiment.
As in the case of 0), the vibration exciter (80), the engine mount (86), the active vibration damper (164) and the like can be adopted.

【０１０３】以上、本発明の幾つかの実施形態について
詳述してきたが、これはあくまでも例示であって、本発
明は、かかる実施形態における具体的な記載によって、
何等、限定的に解釈されるものでない。[0103] Although some embodiments of the present invention have been described in detail above, these are merely examples, and the present invention is described by specific descriptions in the embodiments.
Nothing is to be construed as limiting.

【０１０４】例えば、前記実施形態においては、案内手
段として金属性の板ばねが採用されていたが、案内手段
は、かかる板ばねに限定されることなく、求められる特
性に応じて、例えば、ゴム弾性体等も採用可能である。For example, in the above-described embodiment, a metallic leaf spring is employed as the guide means. However, the guide means is not limited to such a leaf spring, and may be, for example, a rubber leaf according to required characteristics. An elastic body or the like can also be adopted.

【０１０５】また、前記実施形態においては、板ばねに
よってインナ軸部材とアウタ筒部材が軸方向で中立位置
に弾性的に保持されるようになっていた。しかし、その
ような軸方向中立位置への弾性保持機構は必ずしも設け
る必要はない。例えば、インナ側磁極部とアウタ側磁極
部の磁力によって、インナ軸部材とアウタ筒部材を軸方
向中立位置に保持せしめる構造を採用することも可能で
ある。その場合には、特開平１１−３５１３２２号公報
に記載の如く、インナ軸部材とアウタ筒部材の軸直角方
向における相対変位を阻止しつつ、インナ軸部材とアウ
タ筒部材の軸方向の相対変位を許容するガイドスリーブ
等の案内手段を設けることが望ましい。In the above-described embodiment, the inner shaft member and the outer cylinder member are elastically held at the neutral position in the axial direction by the leaf spring. However, it is not always necessary to provide such an elastic holding mechanism at the neutral position in the axial direction. For example, it is also possible to adopt a structure in which the inner shaft member and the outer cylindrical member are held at a neutral position in the axial direction by the magnetic force of the inner magnetic pole portion and the outer magnetic pole portion. In that case, as described in JP-A-11-351322, while the relative displacement of the inner shaft member and the outer cylinder member in the direction perpendicular to the axis is prevented, the relative displacement of the inner shaft member and the outer cylinder member in the axial direction is reduced. It is desirable to provide a guide means such as an allowable guide sleeve.

【０１０６】その他、一々列挙はしないが、本発明は、
当業者の知識に基づいて、種々なる変更，修正，改良等
を加えた態様において実施され得るものであり、また、
そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限
り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであること
は、言うまでもない。In addition, although not enumerated one by one, the present invention
Based on the knowledge of those skilled in the art, the present invention can be implemented in a form in which various changes, modifications, improvements, and the like are made.
It goes without saying that all such embodiments are included in the scope of the present invention without departing from the spirit of the present invention.

【０１０７】[0107]

【発明の効果】上述の説明から明らかなように、本発明
に従う構造とされた防振用アクチュエータにおいては、
従来から、アウタ筒部材に取り付けられていたコイルが
インナ軸部材に取り付けられていることにより、コイル
が小径化されてコイルワイヤの巻回数に対するワイヤ長
が短くされるのであり、以て、ワイヤ長に比例する抵抗
値を小さくして消費電力を抑えることが出来ると共に、
ワイヤ長に比例する重量も抑えることが出来る。また、
コイルのワイヤ長に対するワイヤ巻回数が多くされるこ
とから、ワイヤ巻回数に略比例して生ぜしめられる磁界
の磁束密度、即ち磁力を大きくして発生加振力を増大さ
せることも出来る。更に、インナ軸部材に取り付けられ
ていた永久磁石がアウタ筒部材に取り付けられているこ
とにより、永久磁石とアウタ側ヨークが大径化されて、
それら永久磁石やアウタ側ヨークを径方向に厚肉化しな
くても、大きな周方向長さによって軸直角方向断面での
断面積、即ち磁路の断面積を全体として有利に得ること
が出来るのであり、以て、十分な磁路の断面積、延いて
は発生磁力を確保しつつ、永久磁石やアウタ側ヨークの
径方向厚さ寸法を小さくして、防振用アクチュエータ全
体の外径寸法、即ちサイズを小さくすることが出来る。As is apparent from the above description, in the vibration damping actuator having the structure according to the present invention,
Conventionally, since the coil attached to the outer cylinder member is attached to the inner shaft member, the coil is reduced in diameter and the wire length with respect to the number of turns of the coil wire is shortened. Power consumption can be reduced by reducing the proportional resistance value,
The weight proportional to the wire length can also be suppressed. Also,
Since the number of turns of the wire with respect to the wire length of the coil is increased, the magnetic flux density of a magnetic field generated substantially in proportion to the number of turns of the coil, that is, the magnetic force can be increased to increase the generated excitation force. Furthermore, by the permanent magnet attached to the inner shaft member being attached to the outer cylinder member, the diameter of the permanent magnet and the outer yoke are increased,
Even without increasing the thickness of the permanent magnet or outer yoke in the radial direction, the cross-sectional area in the cross-section perpendicular to the axis, that is, the cross-sectional area of the magnetic path as a whole can be advantageously obtained by the large circumferential length. Thus, while securing a sufficient magnetic path cross-sectional area, and thus a generated magnetic force, the radial thickness of the permanent magnet and the outer yoke is reduced, and the outer diameter of the entire vibration-proof actuator, that is, The size can be reduced.

【０１０８】また、本発明に従う構造とされた能動型防
振用加振器や、能動型防振用マウントおよび能動型防振
用制振器においては、何れも、前述の如き本態様に従う
構造とされた防振用アクチュエータを採用したことによ
って、大きな加振力を消費電力に対して優れた効率で得
ることが出来るのであり、それによって、軽量性とコン
パクト性が高度に達成され得る能動型防振装置が、有利
に実現され得るのである。Further, in the active vibration isolators, the active vibration isolators, and the active vibration isolators having the structure according to the present invention, any of the structures according to the above-described embodiment is used. By adopting the anti-vibration actuator described above, a large excitation force can be obtained with excellent efficiency with respect to power consumption, and as a result, an active type that can achieve a high degree of lightness and compactness can be achieved. An anti-vibration device can be advantageously implemented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第一の実施形態としての防振用アクチ
ュエータを示す縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an anti-vibration actuator as a first embodiment of the present invention.

【図２】図１に示された防振用アクチュエータの主要構
造を概略的に示す縦断面モデル図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional model diagram schematically showing a main structure of an anti-vibration actuator shown in FIG.

【図３】図１に示された防振用アクチュエータの作動を
説明するための縦断面モデル図である。FIG. 3 is a longitudinal sectional model diagram for explaining the operation of the vibration isolating actuator shown in FIG. 1;

【図４】図１に示された防振用アクチュエータの別の作
動を説明するための縦断面モデル図である。FIG. 4 is a longitudinal sectional model diagram for explaining another operation of the vibration isolating actuator shown in FIG. 1;

【図５】本発明の第一の実施形態の防振用アクチュエー
タを加振器として採用した場合の一具体例を示す断面図
である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a specific example in which the vibration damping actuator according to the first embodiment of the present invention is used as a vibrator.

【図６】本発明の第一の実施形態の防振用アクチュエー
タを採用したエンジンマウントの一具体例を示す断面図
である。FIG. 6 is a sectional view showing a specific example of an engine mount employing the vibration damping actuator according to the first embodiment of the present invention.

【図７】本発明の第一の実施形態の防振用アクチュエー
タを採用した能動型制振器の一具体例を示す断面図であ
る。FIG. 7 is a sectional view showing a specific example of an active vibration damper employing the vibration damping actuator according to the first embodiment of the present invention.

【図８】本発明の第二の実施形態としての防振用アクチ
ュエータを示す縦断面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing an anti-vibration actuator as a second embodiment of the present invention.

【図９】図８に示された防振用アクチュエータの主要構
造を概略的に示す縦断面モデル図である。9 is a longitudinal sectional model diagram schematically showing a main structure of an anti-vibration actuator shown in FIG. 8;

【図１０】図８に示された防振用アクチュエータの作動
を説明するための縦断面モデル図である。10 is a longitudinal sectional model diagram for explaining the operation of the vibration isolating actuator shown in FIG. 8;

【図１１】図８に示された防振用アクチュエータの別の
作動を説明するための縦断面モデル図である。11 is a longitudinal sectional model diagram for explaining another operation of the vibration isolating actuator shown in FIG. 8;

【図１２】本発明の第三の実施形態としての防振用アク
チュエータを示す縦断面図である。FIG. 12 is a longitudinal sectional view showing a vibration damping actuator according to a third embodiment of the present invention.

【図１３】図１２に示された防振用アクチュエータの主
要構造を概略的に示す縦断面モデル図である。13 is a longitudinal sectional model diagram schematically showing a main structure of the vibration isolating actuator shown in FIG.

【図１４】図１２に示された防振用アクチュエータの作
動を説明するための縦断面モデル図である。14 is a longitudinal sectional model diagram for explaining the operation of the vibration isolating actuator shown in FIG.

【図１５】図１２に示された防振用アクチュエータの別
の作動を説明するための縦断面モデル図である。FIG. 15 is a longitudinal sectional model diagram for explaining another operation of the vibration damping actuator shown in FIG. 12;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ 防振用アクチュエータ １２ 内筒金具 １４ 外筒金具 ５２ 永久磁石 ５４ 外側ヨーク部材 ６２ コイル ７４ 内側ヨーク部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vibration-proof actuator 12 Inner tube fitting 14 Outer tube fitting 52 Permanent magnet 54 Outer yoke member 62 Coil 74 Inner yoke member

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 インナ軸部材と、 該インナ軸部材と同一中心軸上で、該インナ軸部材に対
して外周側に離隔して軸方向で相対変位可能に配設され
た筒状のアウタ筒部材と、 前記インナ軸部材と同一中心軸上に配されて、該インナ
軸部材に対して固定的に取り付けられたコイルと、 該コイルに対して固定的に配設されて、該コイルへの通
電によって該コイルの軸方向両側の外周面上にインナ側
磁極を形成するインナ側ヨークと、 前記コイル及び／又は前記インナ側ヨークの外周側に離
隔位置して、前記アウタ筒部材と同一中心軸上で周方向
に延びるように配設されて、該アウタ筒部材に対して固
定的に取り付けられた永久磁石と、 該永久磁石に対して固定的に配設されて、前記インナ側
磁極に対して軸直角方向に離隔して、且つ該インナ側磁
極に対して軸方向にずれて、軸直角方向で対向位置せし
められたアウタ側磁極を、該永久磁石と協働して形成す
るアウタ側ヨークとを、含み、前記コイルへの通電によ
って前記インナ側磁極と前記アウタ側磁極の間に軸方向
の相対変位力が生ぜしめられるようにしたことを特徴と
する防振用アクチュエータ。1. An inner shaft member, and a cylindrical outer tube disposed on the same central axis as the inner shaft member and separated from the inner shaft member on the outer peripheral side so as to be relatively displaceable in the axial direction. A coil disposed on the same central axis as the inner shaft member and fixedly attached to the inner shaft member; fixedly disposed with respect to the coil; An inner yoke that forms inner magnetic poles on outer circumferential surfaces on both axial sides of the coil when energized; and a central axis that is separated from the outer circumference of the coil and / or the inner yoke and that is the same central axis as the outer cylinder member. A permanent magnet arranged to extend in the circumferential direction above and fixedly attached to the outer cylinder member; and a permanent magnet fixedly arranged to the permanent magnet and relative to the inner magnetic pole. And separated from each other in the direction perpendicular to the axis. An outer yoke formed in cooperation with the permanent magnet and an outer magnetic pole that is axially shifted with respect to the outer magnet and is positioned opposite to the axis perpendicular to the axis. An anti-vibration actuator characterized in that an axial relative displacement force is generated between a magnetic pole and the outer magnetic pole. 【請求項２】 前記永久磁石において、内周面と外周面
の一方にＮ極を設定すると共に、他方にＳ極を設定した
請求項１に記載の防振用アクチュエータ。2. The anti-vibration actuator according to claim 1, wherein the permanent magnet has an N pole on one of an inner peripheral surface and an outer peripheral surface and an S pole on the other. 【請求項３】 前記コイルの軸方向両側に形成された前
記インナ側磁極の軸方向中間部分に位置するように、前
記アウタ側磁極におけるＮ極およびＳ極の一方を形成す
ると共に、該コイルの軸方向両側に形成された該インナ
側磁極のそれぞれに対して軸方向にずれて軸直角方向で
対向位置するように、該アウタ側磁極におけるＮ極およ
びＳ極の他方を形成した請求項１又は２に記載の防振用
アクチュエータ。3. An N-pole and an S-pole of the outer magnetic pole are formed so as to be located at axially intermediate portions of the inner magnetic pole formed on both axial sides of the coil, The other of the N-pole and the S-pole of the outer magnetic pole is formed so that the inner magnetic pole formed on both sides in the axial direction is axially deviated and is opposed to each other in the direction perpendicular to the axis. 3. The vibration damping actuator according to 2. 【請求項４】 前記コイルを、前記インナ軸部材の中心
軸方向で相互に所定距離を隔てて複数個設けた請求項１
乃至３の何れかに記載の防振用アクチュエータ。4. A plurality of coils are provided at a predetermined distance from each other in a central axis direction of the inner shaft member.
4. The anti-vibration actuator according to any one of claims 1 to 3. 【請求項５】 前記アウタ側ヨークを、少なくとも二つ
の前記コイルの外周側に跨がって軸方向に延びるように
配設せしめることにより、それら各コイルの軸方向両側
に形成された前記インナ側磁極の軸方向中間部分に位置
するように、かかる各コイルの外周側に離隔してＮ極ま
たはＳ極からなる単一の前記アウタ側磁極を形成した請
求項４に記載の防振用アクチュエータ。5. The inner yoke formed on both axial sides of each of the coils by disposing the outer yoke so as to extend in the axial direction across the outer peripheral sides of at least two of the coils. 5. The actuator for vibration damping according to claim 4, wherein the single outer magnetic pole composed of an N pole or an S pole is formed at an outer peripheral side of each of the coils so as to be located at an axially intermediate portion of the magnetic pole. 【請求項６】 前記インナ軸部材の内部に軸方向に延び
る内孔を設けて、該内孔を通じて、前記コイルへの給電
用リード線を配設した請求項１乃至５の何れかに記載の
防振用アクチュエータ。6. The power supply device according to claim 1, wherein an inner hole extending in the axial direction is provided inside the inner shaft member, and a power supply lead wire to the coil is provided through the inner hole. Anti-vibration actuator. 【請求項７】 前記インナ軸部材と前記アウタ筒部材の
間に配設されて、それらインナ軸部材とアウタ筒部材の
軸直角方向の相対変位を抑えると共に、それらインナ軸
部材とアウタ筒部材の軸方向の相対変位を許容する案内
手段を設けた請求項１乃至６の何れかに記載の防振用ア
クチュエータ。7. An inner cylindrical member and an outer cylindrical member are provided between the inner cylindrical member and the outer cylindrical member to suppress relative displacement of the inner cylindrical member and the outer cylindrical member in a direction perpendicular to the axis. The actuator for vibration damping according to any one of claims 1 to 6, further comprising guide means for permitting relative displacement in the axial direction. 【請求項８】 相互に連結されることにより振動伝達系
を構成する振動源側部材と防振対象部材の間に介装され
て、該防振対象部材に対して加振力を及ぼす能動型防振
用加振器であって、 請求項１乃至７の何れかに記載の防振用アクチュエータ
を用い、該防振用アクチュエータにおける前記インナ軸
部材と前記アウタ筒部材の一方を前記振動源側部材に固
着すると共に、それらインナ軸部材とアウタ筒部材の他
方を前記防振対象部材に固着するようにしたことを特徴
とする能動型防振用加振器。8. An active type that is interposed between a vibration source side member and a vibration isolation target member that constitute a vibration transmission system by being connected to each other, and applies an exciting force to the vibration isolation target member. A vibration isolator, comprising: using the vibration isolating actuator according to claim 1, wherein one of the inner shaft member and the outer cylindrical member in the vibration isolating actuator is the vibration source side. A vibrator for active vibration isolation, wherein the vibration isolator is fixed to a member, and the other of the inner shaft member and the outer cylindrical member is fixed to the vibration-isolation target member. 【請求項９】 相互に連結されることにより振動伝達系
を構成する振動源側部材と防振対象部材の一方に固着さ
れる第一の取付部材と、それら振動源側部材と防振対象
部材の他方に固着される第二の取付部材を、本体ゴム弾
性体で弾性的に連結すると共に、該本体ゴム弾性体を介
して、それら第一の取付部材と第二の取付部材の間に加
振力を及ぼすアクチュエータを設けた能動型防振用マウ
ントにおいて、 前記アクチュエータとして、請求項１乃至７の何れかに
記載の防振用アクチュエータを用い、該防振用アクチュ
エータにおける前記インナ軸部材と前記アウタ筒部材の
間に生ぜしめられる加振力が、前記本体ゴム弾性体を介
して、前記第一の取付部材と前記第二の取付部材の間に
及ぼされるようにしたことを特徴とする能動型防振用マ
ウント。9. A first attachment member fixed to one of a vibration source-side member and a vibration-damping member constituting a vibration transmission system by being interconnected, a vibration-source-side member and a vibration-damping member. The second mounting member fixed to the other of the first and second mounting members is elastically connected by a main rubber elastic body, and a force is applied between the first mounting member and the second mounting member via the main rubber elastic body. An active-type anti-vibration mount provided with an actuator that exerts a vibrating force, wherein the actuator uses the anti-vibration actuator according to any one of claims 1 to 7, wherein the inner shaft member and the inner shaft member in the anti-vibration actuator are used. An exciting force generated between outer cylinder members is exerted between the first mounting member and the second mounting member via the main rubber elastic body. Mold anti-vibration mau Door. 【請求項１０】 前記本体ゴム弾性体によって壁部の一
部が構成されて非圧縮性流体が封入された主液室を形成
すると共に、該主液室の壁部の他の一部を加振部材で構
成し、該加振部材を前記防振用アクチュエータで加振せ
しめて、該主液室に圧力変動を生ぜしめることにより、
前記本体ゴム弾性体を介して、前記第一の取付部材と前
記第二の取付部材の間に加振力が及ぼされるようにした
請求項９に記載の能動型防振用マウント。10. A main liquid chamber in which an incompressible fluid is sealed by forming a part of a wall portion by the main rubber elastic body, and another part of a wall portion of the main liquid chamber is added. By vibrating the vibrating member with the vibration isolating actuator to generate pressure fluctuations in the main liquid chamber,
The active vibration isolation mount according to claim 9, wherein a vibration force is applied between the first mounting member and the second mounting member via the main rubber elastic body. 【請求項１１】 防振対象部材に装着されることによ
り、該防振対象部材に制振力を及ぼす能動型防振用制振
器であって、 請求項１乃至７の何れかに記載の防振用アクチュエータ
を用い、該防振用アクチュエータにおける前記インナ軸
部材と前記アウタ筒部材を弾性的に連結する弾性連結部
材を設ける一方、それらインナ軸部材とアウタ筒部材の
一方を前記防振対象部材に固着せしめるようにすると共
に、それらインナ軸部材とアウタ筒部材の他方に対して
マス部を固設したことを特徴とする能動型防振用制振
器。11. An active-type vibration damper that is mounted on a vibration-damping target member to exert a vibration-damping force on the vibration-damping target member. While using an anti-vibration actuator, an elastic connecting member for elastically connecting the inner shaft member and the outer cylinder member in the anti-vibration actuator is provided, and one of the inner shaft member and the outer cylinder member is subjected to the anti-vibration object. An active vibration damper characterized by being fixed to a member and having a mass portion fixed to the other of the inner shaft member and the outer cylindrical member.
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