JP2002098615A - Fringe detector, sensing drum inspection device thereof, liquid crystal panel inspection device thereof, fringe detection method and recording medium for recording fringe detection program - Google Patents
Fringe detector, sensing drum inspection device thereof, liquid crystal panel inspection device thereof, fringe detection method and recording medium for recording fringe detection programInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象物の表面
に現れる干渉縞やモアレ縞等の光学的縞を検出して評価
する技術に関し、特に、光学的縞の向きを含んだ縞特徴
量を算出して検査対象物の表面状態を評価する縞検出装
置、それを用いた感光体ドラム検査装置、それを用いた
液晶パネル検査装置、縞検出方法および縞検出プログラ
ムを記録した媒体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for detecting and evaluating optical fringes such as interference fringes and moiré fringes appearing on the surface of an inspection object, and more particularly to a fringe feature quantity including the direction of optical fringes. The present invention relates to a fringe detecting device for calculating the surface state of an inspection object by calculating the following, a photosensitive drum inspecting device using the same, a liquid crystal panel inspecting device using the same, a fringe detecting method, and a medium on which a fringe detecting program is recorded.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、製品の大量生産に伴って、検査対
象物を自動的に検査する技術が種々開発されており、そ
の１つとして検査対象物の表面状態に依存して光学的に
発生する縞を撮像し、その縞を解析することによって検
査対象物の不良箇所を検出する技術がある。この技術に
関連するものとして、特開平７−２６０４５７号公報、
特開平９−６１１２５号公報および特開平１０−１３２
５３５号公報に開示された発明がある。2. Description of the Related Art In recent years, with the mass production of products, various techniques for automatically inspecting an inspection object have been developed. One of the techniques is optically generated depending on the surface state of the inspection object. There is a technique for detecting a defective portion of an inspection object by imaging a stripe to be inspected and analyzing the stripe. Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 7-260457,
JP-A-9-61125 and JP-A-10-132
There is an invention disclosed in JP-A-535-535.
【０００３】特開平７−２６０４５７号公報に開示され
た表面検査装置は、被検査面の干渉縞パターン像を撮像
する撮像部と、撮像部からの映像信号に基づく画像デー
タを得るＡ／Ｄ変換部と、Ａ／Ｄ変換部によって得られ
た画像データにおける所定の単位期間に相当する単位区
分毎に、それが表わす干渉縞パターン像を形成する干渉
縞の配置状態を検出する干渉縞状態検出部と、干渉縞状
態検出部からの検出出力に基づいて被検査面における欠
陥に起因する干渉縞の変化を検出する欠陥検出部とを含
む。A surface inspection apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-260457 discloses an image pickup unit for picking up an interference fringe pattern image of a surface to be inspected, and an A / D converter for obtaining image data based on a video signal from the image pickup unit. And an interference fringe state detection unit for detecting an arrangement state of interference fringes forming an interference fringe pattern image represented by a unit section corresponding to a predetermined unit period in image data obtained by the A / D conversion unit And a defect detection unit that detects a change in interference fringes due to a defect on the surface to be inspected based on a detection output from the interference fringe state detection unit.
【０００４】この表面検査装置は、不良箇所における干
渉縞が密になることを利用して、被検査面の欠陥を検出
している。すなわち、干渉縞状態検出部が干渉縞を含む
撮像画像に対して、各水平方向のライン単位の濃淡プロ
フィールを基づいて縞の間隔（縞の周期）を算出する。
そして、欠陥検出部は、被検査面における縞の周期が所
定の良品における縞の周期よりも小さくなる部分、また
は被検査面における縞の周期から換算される所定範囲内
毎の縞数が所定の良品における縞数よりも多くなる部分
を不良箇所として検出する。This surface inspection apparatus detects a defect on a surface to be inspected by utilizing the fact that interference fringes at a defective portion become dense. That is, the interference fringe state detection unit calculates the fringe interval (fringe cycle) for the captured image including the interference fringes based on the grayscale profile of each horizontal line.
Then, the defect detection unit determines whether the number of fringes in each of a predetermined range converted from the fringe period on the inspected surface or the portion where the fringe period on the inspected surface is smaller than the fringe period on the predetermined non-defective product is a predetermined number. A portion having more stripes than a good product is detected as a defective portion.
【０００５】また、特開平９−６１１２５号公報に開示
された積層板検査システムは、被検査物（２枚の平板ガ
ラスを貼り合わせた積層板）にレーザ光ビームを照射す
るレーザ光源と、レーザ光ビームの照射によって現れる
被検査物の干渉縞像を撮像するＴＶカメラと、ＴＶカメ
ラによって撮像された干渉縞の縞ピッチが所定値よりも
密となる領域を判別するＣＰＵ（Central Processing U
nit ）とを含む。Further, a laminated plate inspection system disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-61125 discloses a laser light source for irradiating an object to be inspected (a laminated plate in which two flat glass plates are bonded) with a laser light beam, A TV camera that captures an interference fringe image of the inspection object that appears due to the irradiation of the light beam, and a CPU (Central Processing U) that determines an area where the fringe pitch of the interference fringe captured by the TV camera is denser than a predetermined value.
nit).
【０００６】ＣＰＵは、ＴＶカメラによって撮像された
干渉縞像に対してＦＦＴ（高速フーリエ変換）処理を行
ない、所定の周波数以上の部分を残すようにハイパスフ
ィルタ処理を行なった後に逆ＦＦＴ処理を行なう。ＣＰ
Ｕは、この逆ＦＦＴ処理によって得られた画像の中か
ら、高周波数領域として残された部分を不良箇所として
検出する。The CPU performs an FFT (fast Fourier transform) process on the interference fringe image picked up by the TV camera, performs a high-pass filter process so as to leave a portion having a frequency equal to or higher than a predetermined frequency, and then performs an inverse FFT process. . CP
U detects, from the image obtained by the inverse FFT processing, a portion left as a high frequency region as a defective portion.
【０００７】また、特開平１０−１３２５３５号公報に
開示された表面検査装置は、レーザ光を２分割して被検
査面に照射する投光部と、被検査面からの反射光を受光
する受光部と、被検査面上に形成された干渉縞を光学的
にフーリエ変換する像変換部と、像変換部によって形成
された光学的フーリエ変換像を表示する表示部とを含
む。像変換部によって形成された光学的フーリエ変換像
を表示部に表示することによって、被検査面の欠陥の有
無を明らかにしている。The surface inspection apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-132535 discloses a light projecting unit that divides a laser beam into two and irradiates the surface to be inspected, and a light receiving unit that receives light reflected from the surface to be inspected. An image conversion unit that optically Fourier-transforms interference fringes formed on the surface to be inspected, and a display unit that displays an optical Fourier transform image formed by the image conversion unit. The presence or absence of a defect on the surface to be inspected is clarified by displaying the optical Fourier transform image formed by the image conversion unit on the display unit.
【０００８】この表面検査装置は、レーザ光を被検査面
に照射するスポット計測によって検査を行なうものであ
り、レーザ光を２次元的に走査して広範な領域における
欠陥部分の検出を可能としている。This surface inspection apparatus performs inspection by spot measurement by irradiating a surface to be inspected with laser light, and enables two-dimensional scanning with laser light to detect a defective portion in a wide area. .
【０００９】さらには、精密工学会「外観検査の自動
化」ワークショップ（１９９９年１１月）で発表された
「ＯＰＣ外観検査装置」（シャープ株式会社、重山ら）
における縞検出装置は、単一波長の光を被検査面に照射
する投光部と、被検査面からの反射光を受光する受光部
と、受光部によって撮像された画像を電子処理する処理
部とを含む。処理部は、受光部によって撮像された画像
を複数の画素で構成されるブロックに分割し、そのブロ
ック毎にＤＣＴ（離散コサイン変換）を行ない、相対的
に高周波で振幅が大きいブロックを抽出して縞候補ブロ
ックとする。そして、この縞候補ブロックの中から、検
出すべき欠陥の干渉縞形状に合致する連続した形状部分
を取出すことで、被検査面の欠陥の有無を明らかにして
いる。[0009] Furthermore, "OPC visual inspection equipment" (Sharp Corporation, Shigeyama et al.), Which was announced at the workshop of the Society of Precision Engineering "Automation of visual inspection" (November 1999).
The fringe detecting device in (1) includes a light projecting unit that irradiates light of a single wavelength to a surface to be inspected, a light receiving unit that receives light reflected from the surface to be inspected, and a processing unit that electronically processes an image captured by the light receiving unit. And The processing unit divides the image captured by the light receiving unit into blocks each including a plurality of pixels, performs DCT (discrete cosine transform) for each of the blocks, and extracts a block having a relatively high frequency and a large amplitude. Let it be a stripe candidate block. Then, by extracting a continuous shape portion that matches the interference fringe shape of the defect to be detected from the fringe candidate blocks, the presence or absence of a defect on the inspection surface is clarified.
【００１０】この縞検出装置は、ＤＣＴにより縞の向き
を含んだ縞特徴量を算出することによって、照明強度の
変化や検査対象物表面の光反射率の変化による縞コント
ラストの変化の影響を受けないロバスト性の高い検査を
可能にしている。The fringe detecting device calculates the fringe feature quantity including the direction of the fringe by DCT, thereby being affected by a change in the illumination intensity and a change in the fringe contrast due to a change in the light reflectance of the surface of the inspection object. It enables a highly robust inspection.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平７−２
６０４５７号公報に開示された表面検査装置において、
干渉縞の周期を正確に計測することができるのは、図１
６（ａ）に示すように撮像画像１０２の水平方向１０３
に対して縞１０１が垂直になっている場合である。すな
わち、この場合には実際の干渉縞１０１の周期Ｄと計測
値ｄとが一致することになる。しかし、図１６（ｂ）に
示すように撮像画像１０２の水平方向１０３に対して干
渉縞１０１が垂直になっていない場合（撮像画像の水平
方向１０３に対して干渉縞１０１が角度θ( θ＜９０
°）となっている場合）には、濃淡プロフィールから算
出される干渉縞１０１の周期ｄは実際の干渉縞１０１の
周期Ｄよりも大きく（１／ｓｉｎθ倍に）なるという問
題点があった。However, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-2
In the surface inspection apparatus disclosed in Japanese Patent No. 60457,
Figure 1 shows that the period of the interference fringes can be measured accurately.
6A, the horizontal direction 103 of the captured image 102
This is the case where the stripe 101 is perpendicular to. That is, in this case, the actual period D of the interference fringes 101 matches the measured value d. However, when the interference fringes 101 are not perpendicular to the horizontal direction 103 of the captured image 102 as shown in FIG. 16B (the interference fringes 101 have an angle θ (θ <θ 90
°)), there is a problem that the period d of the interference fringes 101 calculated from the shading profile is larger (1 / sin θ times) than the period D of the actual interference fringes 101.
【００１２】また、図１６（ｃ）に示すように縞１０１
が撮像画像１０２の水平方向１０３と一致する場合に
は、干渉縞１０１の特徴が濃淡プロフィールに現れなく
なり、事実上干渉縞１０１の周期の計測が不可能とな
る。また、干渉縞１０１が図１６（ａ）〜図１６（ｃ）
に示すように直線となるのは極めて稀であり、一般には
干渉縞１０１は曲線となるため、撮像画像の水平方向１
０３に対する干渉縞１０１の角度θの値が計測位置によ
って変動することになる。したがって、ライン単位（縞
周期）の計測では角度θを算出することは不可能であ
り、任意の位置における干渉縞１０１の周期の正確な計
測が不可能であるという問題点があった。Further, as shown in FIG.
Is coincident with the horizontal direction 103 of the captured image 102, the characteristics of the interference fringes 101 do not appear in the shading profile, and the measurement of the period of the interference fringes 101 is practically impossible. The interference fringes 101 are shown in FIGS. 16 (a) to 16 (c).
It is extremely rare that a straight line is formed as shown in FIG.
The value of the angle θ of the interference fringe 101 with respect to 03 varies depending on the measurement position. Therefore, it is impossible to calculate the angle θ in line-by-line (fringe period) measurement, and it is impossible to accurately measure the period of the interference fringe 101 at an arbitrary position.
【００１３】また、特開平９−６１１２５号公報に開示
された積層板検査システムにおいては、検査領域内に全
面的に発生する縞に対しては有効であるが、検査領域内
に部分的に発生する縞に対しては有効でないというＦＦ
Ｔ特有の問題がある。すなわち、ＦＦＴによって得られ
る周波数分布において、検査領域内に部分的に発生する
縞の特性があまり強く現われないため感度が弱く、その
縞の検出が困難となるという問題がある。Further, in the laminated board inspection system disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-61125, it is effective for fringes generated entirely in the inspection area, but partially generated in the inspection area. FF that is not effective for stripes
There is a problem specific to T. That is, in the frequency distribution obtained by the FFT, the characteristics of the stripes partially generated in the inspection area do not appear so strongly, so that there is a problem that the sensitivity is weak and the detection of the stripes becomes difficult.
【００１４】また、検査領域内に部分的に発生する縞を
検出できたとしても、その縞が検査領域内に存在するこ
とを確認できるに過ぎず、その縞の位置まで検出するこ
とはできないという問題点もあった。この問題は、フー
リエ変換が無限に繰り返される正弦波を基底とする信号
変換であることに起因するものである。したがって、画
像信号処理においてＦＦＴを有効に利用できるのは、予
め対象とする画像の周波数が判っており、検査領域内全
体に広がる高周波ノイズを除去することを目的とする場
合であると言える。Further, even if a stripe generated partially in the inspection area can be detected, it can only be confirmed that the stripe exists in the inspection area, and it cannot be detected up to the position of the stripe. There were also problems. This problem is due to the fact that the Fourier transform is a signal transform based on a sine wave that is repeated infinitely. Therefore, it can be said that the FFT can be effectively used in the image signal processing when the frequency of the target image is known in advance and the purpose is to remove high-frequency noise that spreads over the entire inspection area.
【００１５】特開平１０−１３２５３５号公報に開示さ
れた表面検査装置は、上記フーリエ変換の問題点を解決
するものである。すなわち、この表面検査装置において
は、微小範囲（レーザスポット径）内の画像に対して光
学的フーリエ変換を行なって縞を検出する。そして、こ
の処理を２次元的に走査しながら行なうことによって、
広範囲の計測を可能にしている。したがって、レーザス
ポット径と同程度またはそれ以上の大きさの領域に広が
る縞の有無を正確に判定することができる。また、その
時の走査位置から縞の位置を特定することもできるた
め、レーザスポット径を十分に小さくしておけば縞が発
生する部分を感度よく検出することが可能となる。The surface inspection apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-132535 solves the problem of the Fourier transform. That is, in this surface inspection apparatus, stripes are detected by performing an optical Fourier transform on an image in a minute range (laser spot diameter). By performing this processing while scanning two-dimensionally,
It enables a wide range of measurements. Therefore, it is possible to accurately determine the presence or absence of a fringe that spreads over a region having a size equal to or larger than the laser spot diameter. In addition, since the position of the stripe can be specified from the scanning position at that time, if the laser spot diameter is made sufficiently small, the portion where the stripe occurs can be detected with high sensitivity.
【００１６】しかし、縞の向きや２次元的連続性を考慮
した処理ではないため、光干渉によって現れる縞以外の
画像、たとえば白色ノイズ、検査対象物表面の反射率ム
ラまたはテクスチャ等による明度変化の影響を受けた場
合には、これらを干渉縞と区別して除去することができ
ないという問題点があった。However, since the process is not a process taking into account the direction of the fringes and the two-dimensional continuity, images other than fringes appearing due to optical interference, for example, white noise, unevenness in the reflectivity of the surface of the inspection object, or change in brightness due to texture, etc. When affected, there is a problem that these cannot be removed separately from interference fringes.
【００１７】「ＯＰＣ外観検査装置」（シャープ株式会
社、重山ら）における縞検出装置は、上述した問題点を
解決している。すなわち、この縞検出装置においては、
照射部が単一波長の光を被検査物体に照射し、被検査面
に形成された干渉縞が撮像される。そして、撮像画像を
微小ブロックに分割し、ブロックのそれぞれに対して２
次元ＤＣＴが施される。２次元ＤＣＴによって、ブロッ
ク内の縞周期、縞強度および縞の方向が算出され、その
値によって縞抽出候補ブロックが決められる。この縞抽
出候補ブロックの連続性を判断することによって、ノイ
ズと縞との分離を行ない、正確な縞の抽出を可能として
いる。また、縞強度を統計処理によって無次元化するこ
とによって、照度の変化や被検査物の反射率の変化の影
響を排除することができる。The fringe detecting device in the “OPC visual inspection device” (Sharp Corporation, Shigeyama et al.) Solves the above-mentioned problems. That is, in this fringe detection device,
The irradiating unit irradiates the object to be inspected with light of a single wavelength, and an interference fringe formed on the surface to be inspected is imaged. Then, the captured image is divided into small blocks, and each block is divided into two.
A dimensional DCT is performed. The two-dimensional DCT calculates the fringe period, fringe intensity, and fringe direction in the block, and the fringe extraction candidate block is determined based on the calculated values. By judging the continuity of the fringe extraction candidate blocks, noise and fringes are separated, and accurate fringe extraction is possible. Further, by making the fringe intensity dimensionless by statistical processing, it is possible to eliminate the influence of a change in illuminance and a change in reflectance of the inspection object.
【００１８】しかし、縞干渉の連続性を縞抽出候補ブロ
ックが連続しているか否かによって判断しているため、
被検査面のテクスチャやその他の要因によって干渉縞が
分断された場合には、縞を正確に抽出することができな
いという問題点があった。また、縞をできるだけ検出す
るように連続性判断の条件を小さくすると、ノイズやテ
クスチャ等の縞以外のものを縞として検出してしまうと
いう問題点があった。However, since the continuity of fringe interference is determined by whether or not fringe extraction candidate blocks are continuous,
When the interference fringes are divided by the texture of the surface to be inspected or other factors, there is a problem that the fringes cannot be accurately extracted. Further, when the condition of the continuity determination is reduced so as to detect the fringes as much as possible, there is a problem that a pattern other than the fringes such as noise and texture is detected as the fringes.
【００１９】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、第１の目的は、テクスチャやノイズ
の影響を受けない、ロバスト性の高い縞検出が可能な縞
検出装置、縞検出方法および縞検出プログラムを記録し
た記録媒体を提供することである。The present invention has been made to solve the above problems, and a first object of the present invention is to provide a fringe detecting apparatus and a fringe detecting apparatus which are not affected by texture and noise and which can detect fringes with high robustness. An object of the present invention is to provide a recording medium on which a detection method and a fringe detection program are recorded.
【００２０】第２の目的は、不良箇所を正確に検出する
ことができ、テクスチャやノイズの影響を受けない、ロ
バスト性の高い縞検出が可能な感光体ドラム検査装置を
提供することである。A second object of the present invention is to provide a photoreceptor drum inspection apparatus which can accurately detect a defective portion, is not affected by texture and noise, and can detect a highly robust fringe.
【００２１】第３の目的は、不良箇所を正確に検出する
ことができ、テクスチャやノイズの影響を受けない、ロ
バスト性の高い縞検出が可能な液晶パネル検査装置を提
供することである。A third object of the present invention is to provide a liquid crystal panel inspection apparatus which can accurately detect a defective portion, is not affected by texture and noise, and can detect a highly robust fringe.
【００２２】[0022]
【課題を解決するための手段】本発明のある局面に従え
ば、縞検出装置は、撮像された検査対象物の光学的縞の
画像を複数の画素集合で構成されるブロックに分割する
ための分割手段と、分割手段によって分割されたブロッ
ク内の情報に対して離散コサイン変換を行なうための処
理手段と、処理手段によって得られた変換係数毎の２次
元マトリクスを生成し、変換係数のうちＤＣ成分を表わ
す変換係数に対応する２次元マトリクスの統計量に基づ
いて、ＡＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マト
リクスの値を調整するための調整手段と、調整手段によ
って調整された２次元マトリクスに基づいて検査対象物
を評価するための評価手段とを含む。According to one aspect of the present invention, a fringe detecting apparatus is provided for dividing a captured image of an optical fringe of an inspection object into blocks each including a plurality of pixel sets. Dividing means, processing means for performing discrete cosine transform on the information in the block divided by the dividing means, and generating a two-dimensional matrix for each transform coefficient obtained by the processing means; Adjusting means for adjusting the value of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the AC component based on the statistics of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the component; and the two-dimensional matrix adjusted by the adjusting means Evaluation means for evaluating the inspection target based on the
【００２３】調整手段が変換係数のうちＤＣ成分を表わ
す変換係数に対応する２次元マトリクスの統計量に基づ
いて、ＡＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マト
リクスの値を調整するので、照明強度の変化や検査対象
物の表面における光反射率の変化による縞コントラスト
の変化の影響がなく、縞の向きを含めた縞特徴量を算出
することができ、縞を正確に検出することが可能とな
る。The adjusting means adjusts the value of the two-dimensional matrix corresponding to the conversion coefficient representing the AC component based on the statistics of the two-dimensional matrix corresponding to the conversion coefficient representing the DC component among the conversion coefficients. It is possible to calculate the fringe feature amount including the direction of the fringe without the influence of the fringe contrast change due to the change of the light and the light reflectance on the surface of the inspection object. Become.
【００２４】好ましくは、調整手段は、処理手段によっ
て得られた各ブロック毎の変換係数マトリクスから、変
換係数位置毎に２次元マトリクスを生成するためのマト
リクス生成手段と、マトリクス生成手段によって生成さ
れたＤＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マトリ
クスの統計量を算出するための算出手段と、算出手段に
よって算出された統計量に基づいて、マトリクス生成手
段によって生成されたＡＣ成分を表わす変換係数に対応
する２次元マトリクスの値を正規化するための正規化手
段とを含む。Preferably, the adjusting means includes a matrix generating means for generating a two-dimensional matrix for each transform coefficient position from the transform coefficient matrix for each block obtained by the processing means, and the adjusting means generates the two-dimensional matrix. Calculating means for calculating a statistic of the two-dimensional matrix corresponding to the conversion coefficient representing the DC component; and converting coefficients representing the AC component generated by the matrix generating means based on the statistic calculated by the calculating means. And a normalizing means for normalizing the value of the corresponding two-dimensional matrix.
【００２５】したがって、容易に縞コントラストの変化
の影響をなくすことが可能となる。さらに好ましくは、
算出手段は、マトリクス生成手段によって生成されたＤ
Ｃ成分を表わす変換係数に対応する２次元マトリクスに
含まれる値の標準偏差を算出する。Therefore, it is possible to easily eliminate the influence of the change in the fringe contrast. More preferably,
The calculating means calculates the D generated by the matrix generating means.
The standard deviation of the values contained in the two-dimensional matrix corresponding to the conversion coefficient representing the C component is calculated.
【００２６】したがって、算出手段は、統計量の算出を
的確に行なうことが可能となる。さらに好ましくは、正
規化手段は、算出手段によって算出された統計量と、マ
トリクス生成手段によって生成されたＡＣ成分を表わす
変換係数に対応する２次元マトリクスの値との比を算出
して正規化を行なう。Therefore, the calculating means can accurately calculate the statistics. More preferably, the normalizing means calculates the ratio between the statistic calculated by the calculating means and the value of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the AC component generated by the matrix generating means to perform normalization. Do.
【００２７】したがって、正規化手段は、正規化処理を
的確に行なうことが可能となる。好ましくは、評価手段
は、調整手段によって得られた変換係数毎の２次元マト
リクスから、縞検出に用いる２次元マトリクスを選択す
るための手段と、選択された２次元マトリクス内におい
て、検出したい縞の大きさと形状とに合せて予め指定さ
れた縞抽出領域でマトリクス要素の絶対値の平均値を算
出するための手段と、平均値が予め定められた閾値を超
える縞抽出領域を縞領域として検出するための手段とを
含む。Therefore, the normalization means can perform the normalization processing accurately. Preferably, the evaluation means includes means for selecting a two-dimensional matrix to be used for fringe detection from the two-dimensional matrix for each conversion coefficient obtained by the adjustment means, and a method for selecting a fringe to be detected in the selected two-dimensional matrix. Means for calculating the average value of the absolute values of the matrix elements in a predetermined stripe extraction area according to the size and shape, and detecting a stripe extraction area whose average value exceeds a predetermined threshold value as a stripe area Means for
【００２８】縞抽出領域内のマトリクス要素の絶対値の
平均値が、予め定められた閾値を超える縞抽出領域を縞
領域として検出するので、縞が分断されている場合であ
っても縞を確実に検出することが可能となる。Since a fringe extraction area in which the average value of the absolute values of the matrix elements in the fringe extraction area exceeds a predetermined threshold value is detected as a fringe area, even if the fringe is divided, the fringe can be reliably detected. Can be detected.
【００２９】本発明の別の局面に従えば、感光体ドラム
検査装置は、感光体ドラムに光を照射するための発光手
段と、発光手段からの光の反射光によって発生する感光
体ドラムの光学的縞を撮像するための撮像手段と、感光
体ドラムの回転を制御するための制御手段と、撮像手段
によって撮像された画像を複数の画素集合で構成される
ブロックに分割するための分割手段と、分割手段によっ
て分割されたブロック内の情報に対して離散コサイン変
換を行なうための処理手段と、処理手段によって得られ
た変換係数毎の２次元マトリクスを生成し、変換係数の
うちＤＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マトリ
クスの統計量に基づいて、ＡＣ成分を表わす変換係数に
対応する２次元マトリクスの値を調整するための調整手
段と、調整手段によって調整された２次元マトリクスに
基づいて感光体ドラムを評価するための評価手段とを含
む。According to another aspect of the present invention, a photoconductor drum inspection device includes a light emitting unit for irradiating light to the photoconductor drum, and a photoconductor drum optical device generated by reflected light of the light from the light emitting unit. Image capturing means for capturing a target stripe, control means for controlling the rotation of the photosensitive drum, and dividing means for dividing an image captured by the image capturing means into blocks composed of a plurality of pixel sets. Processing means for performing discrete cosine transform on the information in the block divided by the dividing means, and a two-dimensional matrix for each transform coefficient obtained by the processing means, and representing a DC component of the transform coefficients Adjusting means for adjusting the value of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the AC component based on the statistics of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient; Based on the two-dimensional matrix which has been adjusted I and a evaluation means for evaluating a photoreceptor drum.
【００３０】調整手段が変換係数のうちＤＣ成分を表わ
す変換係数に対応する２次元マトリクスの統計量に基づ
いて、ＡＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マト
リクスの値を調整するので、照明強度の変化や検査対象
物の表面における光反射率の変化による縞コントラスト
の変化の影響がなく、縞の向きを含めた縞特徴量を算出
することができ、感光体ドラムの検査を正確に行なうこ
とが可能となる。The adjusting means adjusts the value of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the AC component based on the statistics of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the DC component among the transform coefficients. It is possible to calculate the fringe feature amount including the direction of the fringe without being affected by the change in fringe contrast due to changes in the light reflectivity on the surface of the inspection object due to the change in the photoreceptor drum. Becomes possible.
【００３１】本発明のさらに別の局面に従えば、液晶パ
ネル検査装置は、液晶パネルに光を照射するための発光
手段と、発光手段からの光の反射光によって発生する液
晶パネルの光学的縞を撮像するための撮像手段と、撮像
手段によって撮像された画像を複数の画素集合で構成さ
れるブロックに分割するための分割手段と、分割手段に
よって分割されたブロック内の情報に対して離散コサイ
ン変換を行なうための処理手段と、処理手段によって得
られた変換係数毎の２次元マトリクスを生成し、変換係
数のうちＤＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マ
トリクスの統計量に基づいて、ＡＣ成分を表わす変換係
数に対応する２次元マトリクスの値を調整するための調
整手段と、調整手段によって調整された２次元マトリク
スに基づいて液晶パネルを評価するための評価手段とを
含む。According to still another aspect of the present invention, a liquid crystal panel inspection apparatus comprises: a light emitting means for irradiating the liquid crystal panel with light; and an optical fringe of the liquid crystal panel generated by light reflected from the light emitting means. Imaging means for imaging the image, a dividing means for dividing the image taken by the imaging means into blocks composed of a plurality of pixel sets, and a discrete cosine for information in the blocks divided by the dividing means. Processing means for performing the conversion, and a two-dimensional matrix for each transform coefficient obtained by the processing means, and generating the two-dimensional matrix based on the statistics of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the DC component among the transform coefficients. Adjusting means for adjusting a value of a two-dimensional matrix corresponding to a conversion coefficient representing a component; and a liquid crystal based on the two-dimensional matrix adjusted by the adjusting means. And an evaluation means for evaluating the panel.
【００３２】調整手段が変換係数のうちＤＣ成分を表わ
す変換係数に対応する２次元マトリクスの統計量に基づ
いて、ＡＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マト
リクスの値を調整するので、照明強度の変化や検査対象
物の表面における光反射率の変化による縞コントラスト
の変化の影響がなく、縞の向きを含めた縞特徴量を算出
することができ、液晶パネルの検査を正確に行なうこと
が可能となる。The adjusting means adjusts the value of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the AC component based on the statistics of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the DC component among the transform coefficients. It is possible to calculate the fringe feature amount including the direction of the fringe without being affected by the change in fringe contrast due to the change in the light reflection rate on the surface of the inspection object. It becomes possible.
【００３３】本発明のさらに別の局面に従えば、縞検出
方法は、撮像された検査対象物の光学的縞の画像を複数
の画素集合で構成されるブロックに分割するステップ
と、分割されたブロック内の情報に対して離散コサイン
変換を行なうステップと、離散コサイン変換によって得
られた変換係数毎の２次元マトリクスを生成するステッ
プと、変換係数のうちＤＣ成分を表わす変換係数に対応
する２次元マトリクスの統計量に基づいて、ＡＣ成分を
表わす変換係数に対応する２次元マトリクスの値を調整
するステップと、調整された２次元マトリクスに基づい
て検査対象物を評価するステップとを含む。According to still another aspect of the present invention, a fringe detecting method includes a step of dividing a captured image of an optical fringe of an inspection object into blocks each including a plurality of pixel sets. Performing a discrete cosine transform on the information in the block, generating a two-dimensional matrix for each transform coefficient obtained by the discrete cosine transform, and a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing a DC component among the transform coefficients The method includes the steps of: adjusting a value of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing an AC component based on a statistic of the matrix; and evaluating an inspection object based on the adjusted two-dimensional matrix.
【００３４】変換係数のうちＤＣ成分を表わす変換係数
に対応する２次元マトリクスの統計量に基づいて、ＡＣ
成分を表わす変換係数に対応する２次元マトリクスの値
を調整するので、照明強度の変化や検査対象物の表面に
おける光反射率の変化による縞コントラストの変化の影
響がなく、縞の向きを含めた縞特徴量を算出することが
でき、縞を正確に検出することが可能となる。Based on statistics of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing a DC component among the transform coefficients, AC
Since the value of the two-dimensional matrix corresponding to the conversion coefficient representing the component is adjusted, there is no influence of the change of the stripe contrast due to the change of the illumination intensity or the change of the light reflectance on the surface of the inspection object, and the direction of the stripe is included. The fringe feature can be calculated, and the fringes can be accurately detected.
【００３５】本発明のさらに別の局面に従えば、縞検出
方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記
録したコンピュータで読取可能な記録媒体であって、縞
検出方法は、撮像された検査対象物の光学的縞の画像を
複数の画素集合で構成されるブロックに分割するステッ
プと、分割されたブロック内の情報に対して離散コサイ
ン変換を行なうステップと、離散コサイン変換によって
得られた変換係数毎の２次元マトリクスを生成するステ
ップと、変換係数のうちＤＣ成分を表わす変換係数に対
応する２次元マトリクスの統計量に基づいて、ＡＣ成分
を表わす変換係数に対応する２次元マトリクスの値を調
整するステップと、調整された２次元マトリクスに基づ
いて検査対象物を評価するステップとを含む。According to still another aspect of the present invention, there is provided a computer-readable recording medium having recorded thereon a program for causing a computer to execute the fringe detecting method, wherein the fringe detecting method comprises the steps of: Dividing the image of the optical fringe into blocks composed of a plurality of pixel sets, performing a discrete cosine transform on information in the divided blocks, and transforming each of the transform coefficients obtained by the discrete cosine transform. And adjusting the value of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the AC component based on the statistics of the two-dimensional matrix corresponding to the transform coefficient representing the DC component among the transform coefficients. And evaluating the test object based on the adjusted two-dimensional matrix.
【００３６】変換係数のうちＤＣ成分を表わす変換係数
に対応する２次元マトリクスの統計量に基づいて、ＡＣ
成分を表わす変換係数に対応する２次元マトリクスの値
を調整するので、照明強度の変化や検査対象物の表面に
おける光反射率の変化による縞コントラストの変化の影
響がなく、縞の向きを含めた縞特徴量を算出することが
でき、縞を正確に検出することが可能となる。Based on statistics of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing a DC component among the transform coefficients, AC
Since the value of the two-dimensional matrix corresponding to the conversion coefficient representing the component is adjusted, there is no influence of a change in the stripe contrast due to a change in illumination intensity or a change in light reflectance on the surface of the inspection object, and the direction of the stripe is included. The fringe feature can be calculated, and the fringes can be accurately detected.
【００３７】[0037]
【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１は、本発明
の実施の形態１における縞検出装置の概略構成を示すブ
ロック図である。この縞検出装置は、撮像画像を複数の
画素集合で構成される矩形ブロックに分割する矩形ブロ
ック分割部２１と、矩形ブロックに対してＤＣＴ（離散
コサイン変換）処理を行なうＤＣＴ処理部２２と、ＤＣ
Ｔ処理によって求められた変換係数毎に２次元マトリク
スを生成するマトリクス生成部２３と、ＤＣ（Direct C
urrent）成分を表わす変換係数の２次元マトリクスの標
準偏差を算出する標準偏差算出部２４と、ＤＣ成分以外
のＡＣ（Alternating Current）成分を表わす変換係数
の２次元マトリクスの各要素の値を標準偏差算出部２４
によって算出された標準偏差との比に変換する正規化部
２５と、正規化部２５によって正規化されたＡＣ成分を
表わす変換係数の２次元マトリクスから検出したい縞の
周波数、方向などの縞特徴量の抽出に適した２次元マト
リクスを選択し、選択された２次元マトリクス内の各要
素に対して、検出したい縞の大きさ、形状に合せた縞抽
出領域に含まれるマトリクス要素の平均値を算出し、そ
の平均値が検出したい縞の縞強度以上の縞抽出領域を抽
出する抽出部２６とを含む。(Embodiment 1) FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a fringe detecting device according to Embodiment 1 of the present invention. This fringe detecting device includes a rectangular block dividing unit 21 that divides a captured image into rectangular blocks each including a plurality of pixel sets, a DCT processing unit 22 that performs DCT (discrete cosine transform) processing on the rectangular blocks,
A matrix generation unit 23 that generates a two-dimensional matrix for each conversion coefficient obtained by the T processing;
a standard deviation calculator 24 for calculating a standard deviation of a two-dimensional matrix of a conversion coefficient representing an urrent component, and a standard deviation of a value of each element of a two-dimensional matrix of a conversion coefficient representing an AC (Alternating Current) component other than the DC component. Calculation unit 24
A normalization unit 25 that converts the ratio to the standard deviation calculated by the above, and a fringe feature amount such as a frequency and a direction of the fringe to be detected from the two-dimensional matrix of the conversion coefficient representing the AC component normalized by the normalization unit 25 Calculates the average value of the matrix elements contained in the stripe extraction area according to the size and shape of the stripe to be detected for each element in the selected two-dimensional matrix. And an extraction unit 26 for extracting a fringe extraction region whose average value is equal to or greater than the fringe intensity of the fringe to be detected.
【００３８】図２は、本実施の形態における縞検出装置
の処理手順を説明するためのフローチャートである。適
宜他の図面を参照しながら、この縞検出装置の処理手順
について説明する。FIG. 2 is a flowchart for explaining the processing procedure of the fringe detecting device according to the present embodiment. The processing procedure of this fringe detection device will be described with reference to other drawings as appropriate.
【００３９】図３は、検査対象物の表面状態に依存して
発生する干渉縞等の光学的縞を撮像したときの画像を模
式的に示している。図３は、撮像画像３２全体に光学的
縞３１が撮像されている様子を示しており、分解能を５
１２×５１２画素（画素ＭＩ＝｛Ｉij；０≦ｉ，ｊ≦５
１１｝）としている。なお、この撮像画像３２の分解能
は他の画素数であっても良いし、画素３４は正方形でな
くても良い。FIG. 3 schematically shows an image when an optical fringe such as an interference fringe generated depending on the surface condition of the inspection object is imaged. FIG. 3 illustrates a state in which the optical fringe 31 is captured in the entire captured image 32, and the resolution is 5%.
12 × 512 pixels (pixel MI = ｛I ij ; 0 ≦ i, j ≦ 5
11｝). Note that the resolution of the captured image 32 may be another number of pixels, and the pixels 34 may not be square.
【００４０】まず、矩形ブロック分割部２１は、撮像画
像３２を複数の画素集合で構成される矩形ブロックに細
分化する（Ｓ１）。図４は、撮像画像３２を矩形ブロッ
ク３５に細分化した様子を示している。この矩形ブロッ
クを８×８画素の正方ブロック（ＭＰ＝｛Ｐxy；０≦
ｘ，ｙ≦７｝）とすることによって、撮像画像３２を６
４×６４のブロックマトリックス（ＭＢ＝｛ＭＰmn；０
≦ｍ，ｎ≦６３｝）に細分化している。なお、この矩形
ブロックＭＰはこれ以外のサイズであっても良く、正方
形でなくても良い。First, the rectangular block dividing section 21 divides the captured image 32 into rectangular blocks each composed of a plurality of pixel sets (S1). FIG. 4 shows a state where the captured image 32 is subdivided into rectangular blocks 35. This rectangular block is converted into a square block of 8 × 8 pixels (MP = ｛P xy ; 0 ≦
x, y ≦ 7}), the captured image 32
4 × 64 block matrix (MB = ｛MP mn ; 0
≦ m, n ≦ 63}. Note that the rectangular block MP may have any other size, and may not be a square.
【００４１】次に、ＤＣＴ処理部２２は、矩形ブロック
分割部２１によって得られた矩形ブロック単位でＤＣＴ
処理を行ない、８×８個（８×８画素の場合）の変換係
数からなる変換係数マトリックスを求める（Ｓ２）。矩
形ブロックＭＰを構成する各画素の位置座標を（ｘ，
ｙ）、画素の濃淡値をＰxy；０≦ｘ，ｙ≦７、変換係数
マトリックスＭＳ内の変換係数位置を（ｕ，ｖ）、その
変換係数をＳuv；０≦ｕ，ｖ≦７とすると、直交変換式
は次式となる。Next, the DCT processing unit 22 performs the DCT processing for each rectangular block obtained by the rectangular block dividing unit 21.
Processing is performed to obtain a transform coefficient matrix composed of 8 × 8 (in the case of 8 × 8 pixels) transform coefficients (S2). The position coordinates of each pixel constituting the rectangular block MP are represented by (x,
y), the gray value of the pixel is P xy ; 0 ≦ x, y ≦ 7, the conversion coefficient position in the conversion coefficient matrix MS is (u, v), and the conversion coefficient is S uv ; 0 ≦ u, v ≦ 7. Then, the orthogonal transformation equation is as follows.
【００４２】[0042]
【数１】 (Equation 1)
【００４３】図５は、変換係数Ｓuvに対応する基底画像
を示す図である。基底画像の濃淡変化はＣＯＳ波形とな
るが、図表現の便宜上ＣＯＳの値が正となる部分を白、
負となる部分を黒として２値で表わすものとする。ま
た、図５に示す基底画像のそれぞれは、６４個の直交基
底画像行列の（ｕ，ｖ）位置の画像に対応しており、変
換係数Ｓuvの値が大きいと（ｕ，ｖ）位置の基底画像の
成分が強く含まれていることを意味している。FIG. 5 is a diagram showing a base image corresponding to the transform coefficient Suv . The shading change of the base image becomes a COS waveform, but for convenience of illustration, the portion where the value of COS is positive is white,
It is assumed that a negative portion is represented by binary values as black. Further, each of the base images shown in FIG. 5 corresponds to the image at the (u, v) position of the 64 orthogonal base image matrices, and if the value of the transform coefficient S uv is large, the base image at the (u, v) position This means that the components of the base image are strongly included.
【００４４】図５から判るように、基底画像は左から右
に進むにつれて高周波の水平周波成分（縦縞）を多く含
み、上から下に進むにつれて高周波の垂直周波成分（横
縞）を多く含むことになり、８×８画素の矩形ブロック
ＭＰはこの６４個の基底画像の線形結合で表わされるこ
とになる。したがって、変換係数マトリックスＭＳにお
けるＳuv値の分布状態を読み取ることによって、どの周
波数成分が強く含まれているか、およびどの方向の縞が
どれほど強く含まれているかという縞の特徴量（向き、
周期、振幅）を容易に把握することが可能になる。As can be seen from FIG. 5, the base image contains many high-frequency horizontal frequency components (vertical stripes) as going from left to right, and contains many high-frequency vertical frequency components (horizontal stripes) as going from top to bottom. Thus, a rectangular block MP of 8 × 8 pixels is represented by a linear combination of the 64 base images. Therefore, by reading the distribution state of the S uv value in the transform coefficient matrix MS, the stripe feature amount (direction, direction,
(Cycle, amplitude) can be easily grasped.
【００４５】次に、マトリクス生成部２３は、ＤＣＴ処
理部２２によって得られた各矩形ブロックＭＰ毎の変換
係数マトリクスＭＳから、変換係数Ｓuvを変換係数位置
毎に、変換係数Ｓuvの元となる矩形ブロックＭＰのブロ
ックマトリクスＭＢ内の位置（ｍ，ｎ）にしたがって配
列した２次元マトリクスＭＴを生成する（Ｓ３）。Next, the matrix generation unit 23 converts the transform coefficient S uv for each transform coefficient position from the transform coefficient matrix MS for each rectangular block MP obtained by the DCT processing unit 22 and the element of the transform coefficient S uv . A two-dimensional matrix MT arranged according to the position (m, n) of the rectangular block MP in the block matrix MB is generated (S3).
【００４６】図６は、ＤＣＴ処理部２２によって得られ
た変換係数マトリクスＭＳを示す図である。また、図７
は、マトリクス生成部２３によって生成された２次元マ
トリクスＭＴを示す図である。図７に示すように、２次
元マトリクスＭＴ（ｕ，ｖ）は、各変換係数マトリクス
ＭＳから（ｕ，ｖ）位置にある変換係数Ｓuvを抽出して
配列したものであり、周波数成分毎の画像を表わすとい
う意味合いがある。図８は、マトリクス生成部２３によ
って生成された撮像画像（２次元マトリクスＭＴの画
像）の一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a transform coefficient matrix MS obtained by the DCT processing section 22. FIG.
3 is a diagram showing a two-dimensional matrix MT generated by the matrix generation unit 23. FIG. As shown in FIG. 7, the two-dimensional matrix MT (u, v) is obtained by extracting and arranging the transform coefficients S uv at the position (u, v) from each transform coefficient matrix MS. It has the meaning of representing an image. FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a captured image (an image of a two-dimensional matrix MT) generated by the matrix generation unit 23.
【００４７】次に、標準偏差算出部２４は、マトリクス
生成部２３によって生成された２次元マトリクスＭＴか
ら、ＤＣ成分を表わす変換係数位置（ｕ，ｖ）＝（０，
０）の２次元マトリクスを抽出し、この抽出された２次
元マトリクスに含まれる変換係数の標準偏差を算出する
（Ｓ４）。標準偏差算出部２４で算出された標準偏差
は、撮像画像３２全体のコントラストを評価する指標と
して用いられる。Next, the standard deviation calculator 24 calculates a transform coefficient position (u, v) = (0,0) representing a DC component from the two-dimensional matrix MT generated by the matrix generator 23.
The two-dimensional matrix of 0) is extracted, and the standard deviation of the conversion coefficient included in the extracted two-dimensional matrix is calculated (S4). The standard deviation calculated by the standard deviation calculation unit 24 is used as an index for evaluating the contrast of the entire captured image 32.
【００４８】次に、正規化部２５は、２次元マトリクス
のうち、ＡＣ成分を表わす変換係数で構成された２次元
マトリクスの各変換係数と、標準偏差算出部２４で算出
された標準偏差との比を演算し、演算された比で各変換
係数を表わすことにより正規化を行なう（Ｓ５）。この
処理によって、撮像画像３２のコントラストに影響を受
けることなく、ＡＣ成分の評価を行なうことが可能とな
る。Next, the normalizing unit 25 calculates the standard deviation calculated by the standard deviation calculating unit 24 from each conversion coefficient of the two-dimensional matrix composed of the conversion coefficients representing the AC components in the two-dimensional matrix. The ratio is calculated, and normalization is performed by expressing each conversion coefficient by the calculated ratio (S5). With this processing, it is possible to evaluate the AC component without being affected by the contrast of the captured image 32.
【００４９】最後に、抽出部２６は、正規化部２５によ
って正規化された２次元マトリクスＭＴのＡＣ成分を表
わす変換係数の中から、予め検出したい縞に合せて変換
係数位置、たとえば（０，４）、（０，５）の２つの変
換係数位置の２次元マトリクスを選択する。そして、選
択した２次元マトリクス内の変換係数に対して、検出し
たい縞の形状と大きさとに合せて予め指定された縞抽出
領域を重ね合わせ、２次元マトリクスの全体にわたって
１行ずつ、１列ずつずらしながら縞抽出領域に含まれる
変換係数の絶対値の平均値を演算する。そして、予め検
出したい縞に合せて指定された縞閾値よりも平均値が高
い縞抽出領域を抽出する（Ｓ６）。Finally, the extraction unit 26 selects a conversion coefficient position, for example, (0, 0, 1), from among the conversion coefficients representing the AC components of the two-dimensional matrix MT normalized by the normalization unit 25, in accordance with the stripe to be detected in advance. 4) A two-dimensional matrix of two transform coefficient positions of (0, 5) is selected. Then, a predetermined fringe extraction region is superimposed on the transform coefficient in the selected two-dimensional matrix in accordance with the shape and size of the fringe to be detected, and one line at a time and one column at a time over the entire two-dimensional matrix. The average value of the absolute values of the conversion coefficients included in the stripe extraction area is calculated while shifting. Then, a fringe extraction region having an average value higher than a fringe threshold specified according to a fringe to be detected in advance is extracted (S6).
【００５０】図９は、縞抽出領域の一例を示す図であ
る。図９（ａ）は７×６の矩形縞抽出領域９１を示して
おり、図９（ｂ）は１４×３の矩形縞抽出領域９２を示
している。なお、選択する変換係数位置は上述した位置
以外でも良く、上述した個数以外であっても良い。ま
た、縞抽出領域のサイズおよび数も、図９に示すもの以
外でも良く、矩形でなくても良い。さらには、選択した
変換係数位置毎に異なる縞抽出領域を定めても良い。FIG. 9 is a diagram showing an example of a stripe extraction area. FIG. 9A shows a 7 × 6 rectangular stripe extraction area 91, and FIG. 9B shows a 14 × 3 rectangular stripe extraction area 92. The position of the transform coefficient to be selected may be other than the above-mentioned position, and may be other than the above-mentioned number. Also, the size and number of the stripe extraction regions may be other than those shown in FIG. 9 and need not be rectangular. Furthermore, a different stripe extraction region may be determined for each selected conversion coefficient position.
【００５１】以上説明した縞検出装置は、コンピュータ
に縞検出プログラムを実行させることによって実現可能
である。このコンピュータによって縞検出装置を実現す
る方法について以下に説明するが、本実施の形態におけ
る縞検出装置はこれに限られるものではない。たとえ
ば、プログラム処理の中で最も時間を要するＤＣＴ処理
をハードウェア化し、処理の高速化を図ることも可能で
ある。The fringe detecting device described above can be realized by causing a computer to execute a fringe detecting program. A method for realizing a fringe detecting device by this computer will be described below, but the fringe detecting device in the present embodiment is not limited to this. For example, the DCT processing that requires the longest time in the program processing can be implemented by hardware to speed up the processing.
【００５２】図１０は、本実施の形態における縞検出装
置の外観例を示す図である。縞検出装置は、コンピュー
タ本体１、グラフィックディスプレイ装置２、磁気テー
プ４が装着される磁気テープ装置３、キーボード５、マ
ウス６、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc-Read Only Memor
y ）８が装着されるＣＤ−ＲＯＭ装置７、および通信モ
デム９を含む。縞検出プログラムは、磁気テープ４また
はＣＤ−ＲＯＭ８等の記憶媒体によって供給され、コン
ピュータ本体１によって実行される。また、縞検出プロ
グラムは他のコンピュータより通信回線を経由し、通信
モデム９を介してコンピュータ本体１に供給されてもよ
い。FIG. 10 is a diagram showing an example of the appearance of the fringe detecting device according to this embodiment. The fringe detecting device includes a computer main body 1, a graphic display device 2, a magnetic tape device 3 on which a magnetic tape 4 is mounted, a keyboard 5, a mouse 6, a CD-ROM (Compact Disc-Read Only Memor).
y) includes a CD-ROM device 7 to which 8 is mounted, and a communication modem 9. The fringe detection program is supplied by a storage medium such as the magnetic tape 4 or the CD-ROM 8 and is executed by the computer main body 1. Further, the fringe detection program may be supplied to the computer main body 1 from another computer via a communication line and a communication modem 9.
【００５３】図１１は、本実施の形態における縞検出装
置の構成例を示すブロック図である。図１０に示すコン
ピュータ本体１は、ＣＰＵ１０、ＲＯＭ(Read Only Mem
ory)１１、ＲＡＭ（Random Access Memory）１２および
ハードディスク１３を含む。ＣＰＵ１０は、グラフィッ
クディスプレイ装置２、磁気テープ装置３、キーボード
５、マウス６、ＣＤ−ＲＯＭ装置７、通信モデム９、Ｒ
ＯＭ１１、ＲＡＭ１２またはハードディスク１３との間
でデータを入出力しながら処理を行う。磁気テープ４ま
たはＣＤ−ＲＯＭ８に記録された縞検出プログラムは、
ＣＰＵ１０により磁気テープ装置３またはＣＤ−ＲＯＭ
装置７を介して一旦ハードディスク１３に格納される。
ＣＰＵ１０は、ハードディスク１３から適宜縞検出プロ
グラムをＲＡＭ１２にロードして実行することによって
縞の検出を行う。FIG. 11 is a block diagram showing an example of the configuration of the fringe detecting device according to this embodiment. A computer body 1 shown in FIG. 10 includes a CPU 10, a ROM (Read Only Mem
ory) 11, a RAM (Random Access Memory) 12, and a hard disk 13. The CPU 10 includes a graphic display device 2, a magnetic tape device 3, a keyboard 5, a mouse 6, a CD-ROM device 7, a communication modem 9,
The processing is performed while inputting / outputting data to / from the OM 11, the RAM 12, or the hard disk 13. The fringe detection program recorded on the magnetic tape 4 or the CD-ROM 8 is
Magnetic tape device 3 or CD-ROM by CPU 10
The data is temporarily stored in the hard disk 13 via the device 7.
The CPU 10 detects a fringe by appropriately loading a fringe detection program from the hard disk 13 into the RAM 12 and executing the program.
【００５４】以上説明したように、本実施の形態におけ
る縞検出装置によれば、撮像画像を矩形ブロックに細分
化し、矩形ブロックのそれぞれにＤＣＴ処理を行なって
縞の空間周波数解析を行なうようにしたので、縞の方向
を含めた２次元的な特徴解析が可能となった。As described above, according to the fringe detecting apparatus of the present embodiment, the captured image is subdivided into rectangular blocks, and the rectangular blocks are subjected to DCT processing to analyze the spatial frequency of the fringes. Therefore, two-dimensional feature analysis including the direction of the stripe can be performed.
【００５５】また、縞の空間周波数解析結果のＤＣ成分
の標準偏差から、ＡＣ成分の空間周波数解析結果を正規
化することで、撮像画像のコントラストによらない安定
した縞検出を行なうことが可能となった。Further, by normalizing the spatial frequency analysis result of the AC component from the standard deviation of the DC component of the spatial frequency analysis result of the fringe, it is possible to perform stable fringe detection independent of the contrast of a captured image. became.
【００５６】また、縞の特徴量（縞の向き、周期、振
幅、縞の発生サイズ）に合せた抽出を行なえるようにし
たので、検出したい縞のみを検出することが可能となっ
た。Further, since the extraction can be performed in accordance with the characteristic amount of the fringe (the direction, the period, the amplitude, and the fringe generation size), it is possible to detect only the fringe to be detected.
【００５７】さらには、縞抽出領域での平均値を指標と
することによって、抽出したい縞がノイズ、テクスチャ
などの要因によって複数に分割された場合であっても、
縞を検出することが可能となった。Further, by using the average value in the stripe extraction area as an index, even if the stripe to be extracted is divided into a plurality of parts due to factors such as noise and texture,
It has become possible to detect fringes.
【００５８】（実施の形態２）実施の形態２における感
光体ドラム検査装置は、実施の形態１における縞検出装
置を複写機等に用いられる感光体ドラム表面の薄膜の検
査に応用したものである。(Embodiment 2) The photosensitive drum inspection apparatus according to Embodiment 2 applies the fringe detection apparatus according to Embodiment 1 to inspection of a thin film on the surface of a photosensitive drum used in a copying machine or the like. .
【００５９】図１２は、感光体ドラムの表面付近の断面
構造を示している。感光体ドラム４０は、アルミ素管４
１と、アルミ素管４１の表面に形成された感光体である
多層薄膜４２とを含む。この感光体ドラム４０の表面
に、波長λの単一波長の光源４３を照射すると、多層薄
膜４２の厚さｄに依存した光干渉が発生する。そのた
め、厚さｄに変化がある場合には地図の等高線のような
干渉縞が観察される。多層薄膜４２の厚さが急激に変化
する不良部分があると、複写機においては複写紙上にこ
の不良部分に対応した濃淡ムラが発生する。この不良部
分においては、干渉縞の間隔が狭くなるので、干渉縞の
縞周期が短い部分を検出することによって感光体ドラム
４０の不良箇所を検出することが可能となる。FIG. 12 shows a sectional structure near the surface of the photosensitive drum. The photoconductor drum 40 is made of an aluminum pipe 4
1 and a multilayer thin film 42 which is a photoconductor formed on the surface of the aluminum tube 41. When the surface of the photosensitive drum 40 is irradiated with a light source 43 having a single wavelength of λ, light interference depending on the thickness d of the multilayer thin film 42 occurs. Therefore, when there is a change in the thickness d, interference fringes such as contour lines of a map are observed. If there is a defective portion where the thickness of the multilayer thin film 42 changes abruptly, in a copying machine, shading unevenness corresponding to the defective portion occurs on the copy paper. In this defective portion, the interval between the interference fringes becomes narrow, so that it is possible to detect a defective portion of the photosensitive drum 40 by detecting a portion where the fringe cycle of the interference fringes is short.
【００６０】図１３は、本実施の形態における感光体ド
ラム検査装置の概略構成を示すブロック図である。この
感光体ドラム検査装置は、単一波長の光源４３と、感光
体ドラム４０からの正反射光を撮像するラインセンサ４
４と、感光体ドラム４０を回転させる回転駆動部４５
と、回転駆動部４５の回転を制御する回転制御部４６
と、ラインセンサ４４によって撮像された画像を記憶す
る画像メモリ４７と、縞検出を行なう縞検出処理部４８
とを含む。FIG. 13 is a block diagram showing a schematic configuration of a photosensitive drum inspection apparatus according to the present embodiment. The photoconductor drum inspection apparatus includes a light source 43 having a single wavelength, and a line sensor 4 for imaging regular reflection light from the photoconductor drum 40.
4 and a rotation drive unit 45 for rotating the photosensitive drum 40
And a rotation control unit 46 for controlling the rotation of the rotation drive unit 45.
, An image memory 47 for storing an image captured by the line sensor 44, and a fringe detection processing unit 48 for performing fringe detection
And
【００６１】光源４３は、光が感光体ドラム４０の長手
方向全域に照射されるように配置されている。また、ラ
インセンサ４４は、感光体ドラム４０の長手方向全域を
撮像するように配置されている。回転制御部４６は、ラ
インセンサ４４による撮像に同期して回転駆動部４５の
回転を制御する。たとえば、画像メモリ４７の記憶容量
が２０４８画素×２０４８画素分であれば、回転制御部
４６は感光体ドラム４０の表面全域の画像（１フレー
ム）が画像メモリ４７の記憶容量に収まるように回転駆
動部４５を制御して感光体ドラム４０を回転させる。The light source 43 is arranged so that light is applied to the entire area of the photosensitive drum 40 in the longitudinal direction. The line sensor 44 is arranged so as to capture an image of the entire photosensitive drum 40 in the longitudinal direction. The rotation control unit 46 controls the rotation of the rotation drive unit 45 in synchronization with the imaging by the line sensor 44. For example, if the storage capacity of the image memory 47 is 2048 pixels × 2048 pixels, the rotation control unit 46 rotates the image (one frame) of the entire surface of the photosensitive drum 40 so that the image (one frame) fits in the storage capacity of the image memory 47. The controller 45 is controlled to rotate the photosensitive drum 40.
【００６２】縞検出処理部４８は、画像メモリ４７に格
納された１フレーム分の画像に対して縞検出処理を行な
うが、実施の形態１における縞検出装置の処理手順と同
じであるので、詳細な説明は繰り返さない。The fringe detection processing unit 48 performs fringe detection processing on one frame of the image stored in the image memory 47. Since the processing procedure is the same as that of the fringe detection apparatus in the first embodiment, the details are described in detail. Detailed description will not be repeated.
【００６３】以上説明したように、本実施の形態におけ
る感光体ドラム検査装置によれば、感光体ドラムの表面
の不良部分を自動的に検出することが可能となり、実施
の形態１における縞検出装置において説明した効果を感
光体ドラムの検査においても得ることが可能となった。As described above, according to the photoconductor drum inspection apparatus of the present embodiment, it is possible to automatically detect a defective portion on the surface of the photoconductor drum. Can be obtained also in the inspection of the photosensitive drum.
【００６４】（実施の形態３）実施の形態３における液
晶パネル検査装置は、実施の形態１における縞検出装置
を液晶パネルにおける貼り合わせガラス間のギャップム
ラ検査に応用したものである。(Embodiment 3) The liquid crystal panel inspection apparatus according to Embodiment 3 is an application of the fringe detection apparatus according to Embodiment 1 to the inspection of gap unevenness between bonded glasses in a liquid crystal panel.
【００６５】図１４は、液晶パネル４９の断面構造を示
している。液晶パネル４９は、２枚のガラス５０と、こ
の２枚のガラス５０間のギャップに注入される液晶５１
とを含む。この液晶パネル４９の表面に波長λの単一波
長の光源５３を照射すると、ガラス間ギャップの値ｄに
依存した光干渉が発生する。そのため、ガラス間ギャッ
プの値ｄに変化がある場合には地図の等高線のような干
渉縞が観察される。FIG. 14 shows a sectional structure of the liquid crystal panel 49. The liquid crystal panel 49 includes two glasses 50 and a liquid crystal 51 injected into a gap between the two glasses 50.
And When the surface of the liquid crystal panel 49 is irradiated with the light source 53 having a single wavelength of λ, optical interference occurs depending on the value d of the gap between the glasses. Therefore, when there is a change in the value d of the gap between glasses, an interference fringe like a contour line of a map is observed.
【００６６】液晶パネルの製造工程においては、ガラス
間ギャップに液晶５１が注入されるため、ガラス間ギャ
ップのギャップムラが製品品質を左右することになる。
したがって、干渉縞が発生する部分を抽出することによ
ってギャップムラを検出し、液晶パネル４９の不良を発
見することが可能となる。In the manufacturing process of the liquid crystal panel, since the liquid crystal 51 is injected into the gap between the glasses, the unevenness of the gap between the glasses affects the product quality.
Therefore, it is possible to detect gap unevenness by extracting a portion where interference fringes occur, and to find out a defect of the liquid crystal panel 49.
【００６７】図１５は、本実施の形態における液晶パネ
ル検査装置の概略構成を示すブロック図である。この液
晶パネル検査装置は、単一波長の光源５３と、液晶パネ
ル４９に発生した干渉縞を撮像するラインセンサ５２
と、ラインセンサ５２によって撮像された画像を記憶す
る画像メモリ４７と、縞検出を行なう縞検出処理部４８
とを含む。FIG. 15 is a block diagram showing a schematic configuration of a liquid crystal panel inspection apparatus according to the present embodiment. The liquid crystal panel inspection apparatus includes a light source 53 having a single wavelength and a line sensor 52 for imaging interference fringes generated on the liquid crystal panel 49.
, An image memory 47 for storing an image captured by the line sensor 52, and a fringe detection processing unit 48 for performing fringe detection
And
【００６８】光源５３は、光が液晶パネル４９の表面の
全域に拡散照射されるように配置されている。また、ラ
インセンサ５２は、液晶パネル４９の全域を撮像するよ
うに配置されている。たとえば、画像メモリ４７の記憶
容量が５１２画素×５１２画素分であれば、液晶パネル
４９の表面全域の画像（１フレーム）が画像メモリ４７
の記憶容量に収まるように撮像が行なわれる。The light source 53 is arranged so that light is diffused and radiated over the entire surface of the liquid crystal panel 49. Further, the line sensor 52 is disposed so as to capture an image of the entire area of the liquid crystal panel 49. For example, if the storage capacity of the image memory 47 is 512 pixels × 512 pixels, an image (one frame) of the entire surface of the liquid crystal panel 49 is stored in the image memory 47.
The imaging is performed so as to fit in the storage capacity of.
【００６９】縞検出処理部４８は、画像メモリ４７に格
納された１フレーム分の画像に対して縞検出処理を行な
うが、実施の形態１における縞検出装置の処理手順と同
じであるので、詳細な説明は繰り返さない。The fringe detection processing section 48 performs fringe detection processing on the image of one frame stored in the image memory 47. Since the processing procedure is the same as that of the fringe detection apparatus in the first embodiment, the details are described in detail. Detailed description will not be repeated.
【００７０】以上説明したように、本実施の形態におけ
る液晶パネル検査装置によれば、液晶パネルの表面の不
良部分を自動的に検出することが可能となり、実施の形
態１における縞検出装置において説明した効果を液晶パ
ネルの検査においても得ることが可能となった。As described above, according to the liquid crystal panel inspection apparatus of the present embodiment, it is possible to automatically detect a defective portion on the surface of the liquid crystal panel. This effect can be obtained even in the inspection of the liquid crystal panel.
【００７１】今回開示された実施の形態は、すべての点
で例示であって制限的なものではないと考えられるべき
である。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請
求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味
および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図さ
れる。The embodiments disclosed this time are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
【図１】 本発明の実施の形態１における縞検出装置の
概略構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a fringe detection device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施の形態１における縞検出装置の
処理手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart illustrating a processing procedure of the fringe detection device according to the first embodiment of the present invention.
【図３】 検査対象物の表面に現れる光学的縞を模式的
に示す図である。FIG. 3 is a diagram schematically showing optical fringes appearing on the surface of an inspection object.
【図４】 撮像画像を矩形ブロックに細分化した様子を
示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a state in which a captured image is subdivided into rectangular blocks.
【図５】 変換係数Ｓuvに対応する基底画像を示す図で
ある。FIG. 5 is a diagram showing a base image corresponding to a transform coefficient S uv .
【図６】 ＤＣＴ処理部によって得られた変換係数マト
リクスの構造を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a structure of a transform coefficient matrix obtained by a DCT processing unit.
【図７】 マトリクス生成部によって生成された２次元
マトリクスの構造を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a structure of a two-dimensional matrix generated by a matrix generation unit.
【図８】 マトリクス生成部によって生成された撮像画
像の一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a captured image generated by a matrix generation unit.
【図９】 縞抽出領域の一例を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a stripe extraction region.
【図１０】 実施の形態１における縞検出を実現するコ
ンピュータの外観の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an example of an external appearance of a computer that realizes fringe detection according to the first embodiment.
【図１１】 図１０に示すコンピュータの構成例を示す
図である。11 is a diagram illustrating a configuration example of a computer illustrated in FIG.
【図１２】 感光体ドラムの表面付近の断面構造を示す
図である。FIG. 12 is a diagram illustrating a cross-sectional structure near a surface of a photoconductor drum.
【図１３】 感光体ドラム検査装置の概略構成を示す図
である。FIG. 13 is a view showing a schematic configuration of a photoconductor drum inspection device.
【図１４】 液晶パネルの断面構造を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a cross-sectional structure of a liquid crystal panel.
【図１５】 液晶パネル検査装置の概略構成を示す図で
ある。FIG. 15 is a view showing a schematic configuration of a liquid crystal panel inspection device.
【図１６】 従来の縞の周期の計測における問題点を説
明するための図である。FIG. 16 is a diagram for explaining a problem in the conventional measurement of the fringe period.
１ コンピュータ本体、２ グラフィックディスプレイ
装置、３ 磁気テープ装置、４ 磁気テープ、５ キー
ボード、６ マウス、７ ＣＤ−ＲＯＭ装置、８ ＣＤ
−ＲＯＭ、９ 通信モデム、１０ ＣＰＵ、１１ ＲＯ
Ｍ、１２ ＲＡＭ、１３ ハードディスク、２１ 矩形
ブロック分割部、２２ ＤＣＴ処理部、２３ マトリク
ス生成部、２４ 標準偏差算出部、２５ 正規化部、２
６ 抽出部、３１ 光学的縞、３２ 撮像画像、３４
画素、３５ 矩形ブロック、４０感光体ドラム、４１
アルミ素管、４２ 多層薄膜、４３，５３ 光源、４
４，５２ ラインセンサ、４５ 回転駆動部、４６ 回
転制御部、４７ 画像メモリ、４８ 縞検出処理部、４
９ 液晶パネル、５０ ガラス、５１ 液晶。1 Computer main body, 2 Graphic display device, 3 Magnetic tape device, 4 Magnetic tape, 5 Keyboard, 6 Mouse, 7 CD-ROM device, 8 CD
-ROM, 9 communication modem, 10 CPU, 11 RO
M, 12 RAM, 13 hard disk, 21 rectangular block division unit, 22 DCT processing unit, 23 matrix generation unit, 24 standard deviation calculation unit, 25 normalization unit, 2
6 extraction unit, 31 optical fringe, 32 captured image, 34
Pixel, 35 rectangular block, 40 photosensitive drum, 41
Aluminum tube, 42 multilayer thin film, 43, 53 light source, 4
4, 52 line sensor, 45 rotation drive unit, 46 rotation control unit, 47 image memory, 48 stripe detection processing unit, 4
9 liquid crystal panel, 50 glass, 51 liquid crystal.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０３Ｇ 21/00 Ｇ０６Ｔ 7/40 Ｂ Ｇ０６Ｔ 7/40 Ｇ０１Ｂ 11/24 Ｄ Ｆターム(参考） 2F065 AA49 AA56 CC00 DD09 FF42 FF51 GG01 GG21 JJ02 JJ25 MM04 QQ21 QQ24 QQ26 QQ36 QQ41 QQ42 2G051 AA73 AB07 CA04 CB01 CD07 DA08 EA11 EB01 EC02 2G086 EE10 2H034 FA07 5L096 AA03 AA06 BA03 CA02 DA01 EA05 EA11 FA23 FA26 FA32 FA39 GA19 JA11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G03G 21/00 G06T 7/40 B G06T 7/40 G01B 11/24 DF term (Reference) 2F065 AA49 AA56 CC00 DD09 FF42 FF51 GG01 GG21 JJ02 JJ25 MM04 QQ21 QQ24 QQ26 QQ36 QQ41 QQ42 2G051 AA73 AB07 CA04 CB01 CD07 DA08 EA11 EB01 EC02 2G086 EE10 2H034 FA07 5L096 AA03 AA13 GA03 FA01 FA01 FA01
Claims (9)
を複数の画素集合で構成されるブロックに分割するため
の分割手段と、 前記分割手段によって分割されたブロック内の情報に対
して離散コサイン変換を行なうための処理手段と、 前記処理手段によって得られた変換係数毎の２次元マト
リクスを生成し、変換係数のうちＤＣ成分を表わす変換
係数に対応する２次元マトリクスの統計量に基づいて、
ＡＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マトリクス
の値を調整するための調整手段と、 前記調整手段によって調整された２次元マトリクスに基
づいて前記検査対象物を評価するための評価手段とを含
む縞検出装置。A dividing unit configured to divide a captured image of an optical fringe of an inspection object into blocks each including a plurality of pixel sets; Processing means for performing a discrete cosine transform; generating a two-dimensional matrix for each transform coefficient obtained by the processing means; based on statistics of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing a DC component among the transform coefficients hand,
Adjusting means for adjusting a value of a two-dimensional matrix corresponding to a conversion coefficient representing an AC component; and evaluating means for evaluating the inspection object based on the two-dimensional matrix adjusted by the adjusting means. Fringe detector.
得られた各ブロック毎の変換係数マトリクスから、変換
係数位置毎に２次元マトリクスを生成するためのマトリ
クス生成手段と、 前記マトリクス生成手段によって生成されたＤＣ成分を
表わす変換係数に対応する２次元マトリクスの統計量を
算出するための算出手段と、 前記算出手段によって算出された統計量に基づいて、前
記マトリクス生成手段によって生成されたＡＣ成分を表
わす変換係数に対応する２次元マトリクスの値を正規化
するための正規化手段とを含む、請求項１記載の縞検出
装置。2. The image processing apparatus according to claim 1, wherein the adjusting unit is configured to generate a two-dimensional matrix for each transform coefficient position from the transform coefficient matrix for each block obtained by the processing unit. Calculating means for calculating a statistic of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing the obtained DC component; and converting the AC component generated by the matrix generating means based on the statistic calculated by the calculating means. 2. The fringe detecting device according to claim 1, further comprising a normalizing means for normalizing a value of a two-dimensional matrix corresponding to the transformation coefficient to be represented.
段によって生成されたＤＣ成分を表わす変換係数に対応
する２次元マトリクスに含まれる値の標準偏差を算出す
る、請求項２記載の縞検出装置。3. The fringe detecting device according to claim 2, wherein said calculating means calculates a standard deviation of a value included in a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing a DC component generated by said matrix generating means.
て算出された統計量と、前記マトリクス生成手段によっ
て生成されたＡＣ成分を表わす変換係数に対応する２次
元マトリクスの値との比を算出して正規化を行なう、請
求項２または３記載の縞検出装置。4. The normalizing means calculates a ratio between a statistic calculated by the calculating means and a value of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing an AC component generated by the matrix generating means. The fringe detecting device according to claim 2, wherein normalization is performed by performing the normalization.
得られた変換係数毎の２次元マトリクスから、縞検出に
用いる２次元マトリクスを選択するための手段と、 前記選択された２次元マトリクス内において、検出した
い縞の大きさと形状とに合せて予め指定された縞抽出領
域でマトリクス要素の絶対値の平均値を算出するための
手段と、 前記平均値が予め定められた閾値を超える縞抽出領域を
縞領域として検出するための手段とを含む、請求項１〜
４のいずれかに記載の縞検出装置。5. The evaluation unit includes: a unit for selecting a two-dimensional matrix used for fringe detection from a two-dimensional matrix for each transform coefficient obtained by the adjustment unit; Means for calculating the average value of the absolute values of the matrix elements in a pre-designated fringe extraction area according to the size and shape of the fringe to be detected, and a fringe extraction area in which the average value exceeds a predetermined threshold And means for detecting as a fringe region.
5. The fringe detection device according to any one of 4.
手段と、 前記発光手段からの光の反射光によって発生する感光体
ドラムの光学的縞を撮像するための撮像手段と、 前記感光体ドラムの回転を制御するための制御手段と、 前記撮像手段によって撮像された画像を複数の画素集合
で構成されるブロックに分割するための分割手段と、 前記分割手段によって分割されたブロック内の情報に対
して離散コサイン変換を行なうための処理手段と、 前記処理手段によって得られた変換係数毎の２次元マト
リクスを生成し、変換係数のうちＤＣ成分を表わす変換
係数に対応する２次元マトリクスの統計量に基づいて、
ＡＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マトリクス
の値を調整するための調整手段と、 前記調整手段によって調整された２次元マトリクスに基
づいて前記感光体ドラムを評価するための評価手段とを
含む感光体ドラム検査装置。6. A light emitting means for irradiating light to the photosensitive drum, an imaging means for imaging optical fringes of the photosensitive drum generated by reflected light of the light from the light emitting means, and the photosensitive body Control means for controlling the rotation of the drum; dividing means for dividing the image taken by the image pickup means into blocks composed of a plurality of pixel sets; information in the blocks divided by the dividing means Processing means for performing a discrete cosine transform on the matrix, generating a two-dimensional matrix for each transform coefficient obtained by the processing means, and obtaining statistics of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing a DC component among the transform coefficients Based on quantity
An adjusting unit for adjusting a value of a two-dimensional matrix corresponding to a conversion coefficient representing an AC component; and an evaluating unit for evaluating the photosensitive drum based on the two-dimensional matrix adjusted by the adjusting unit. Photoconductor drum inspection device.
段と、 前記発光手段からの光の反射光によって発生する液晶パ
ネルの光学的縞を撮像するための撮像手段と、 前記撮像手段によって撮像された画像を複数の画素集合
で構成されるブロックに分割するための分割手段と、 前記分割手段によって分割されたブロック内の情報に対
して離散コサイン変換を行なうための処理手段と、 前記処理手段によって得られた変換係数毎の２次元マト
リクスを生成し、該変換係数のうちＤＣ成分を表わす変
換係数に対応する２次元マトリクスの統計量に基づい
て、ＡＣ成分を表わす変換係数に対応する２次元マトリ
クスの値を調整するための調整手段と、 前記調整手段によって調整された２次元マトリクスに基
づいて前記液晶パネルを評価するための評価手段とを含
む液晶パネル検査装置。7. A light emitting unit for irradiating the liquid crystal panel with light, an imaging unit for imaging optical fringes of the liquid crystal panel generated by reflected light of the light from the light emitting unit, and an image pickup by the imaging unit Dividing means for dividing the divided image into blocks composed of a plurality of pixel sets, processing means for performing discrete cosine transform on information in the blocks divided by the dividing means, and the processing means A two-dimensional matrix for each transform coefficient obtained by the above is generated, and a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing an AC component is calculated based on statistics of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing a DC component among the transform coefficients. Adjusting means for adjusting the values of the matrix; and evaluation means for evaluating the liquid crystal panel based on the two-dimensional matrix adjusted by the adjusting means. LCD panel inspection and means.
を複数の画素集合で構成されるブロックに分割するステ
ップと、 前記分割されたブロック内の情報に対して離散コサイン
変換を行なうステップと、 前記離散コサイン変換によって得られた変換係数毎の２
次元マトリクスを生成するステップと、 変換係数のうちＤＣ成分を表わす変換係数に対応する２
次元マトリクスの統計量に基づいて、ＡＣ成分を表わす
変換係数に対応する２次元マトリクスの値を調整するス
テップと、 前記調整された２次元マトリクスに基づいて前記検査対
象物を評価するステップとを含む縞検出方法。8. A step of dividing a captured image of an optical fringe of an inspection object into blocks formed of a plurality of pixel sets, and a step of performing discrete cosine transform on information in the divided blocks. And 2 for each transform coefficient obtained by the discrete cosine transform.
Generating a dimensional matrix; and 2 corresponding to a transform coefficient representing a DC component among the transform coefficients.
Adjusting a value of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing an AC component based on a statistic of the two-dimensional matrix; and evaluating the inspection object based on the adjusted two-dimensional matrix. Stripe detection method.
ためのプログラムを記録したコンピュータで読取可能な
記録媒体であって、 前記縞検出方法は、撮像された検査対象物の光学的縞の
画像を複数の画素集合で構成されるブロックに分割する
ステップと、 前記分割されたブロック内の情報に対して離散コサイン
変換を行なうステップと、 前記離散コサイン変換によって得られた変換係数毎の２
次元マトリクスを生成するステップと、 変換係数のうちＤＣ成分を表わす変換係数に対応する２
次元マトリクスの統計量に基づいて、ＡＣ成分を表わす
変換係数に対応する２次元マトリクスの値を調整するス
テップと、 前記調整された２次元マトリクスに基づいて前記検査対
象物を評価するステップとを含む、コンピュータで読取
可能な記録媒体。9. A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for causing a computer to execute the fringe detection method, wherein the fringe detection method includes a plurality of imaged optical fringe images of an inspection object. Dividing the block into blocks each including a set of pixels, performing discrete cosine transform on information in the divided block, and dividing each block by 2 for each transform coefficient obtained by the discrete cosine transform.
Generating a dimensional matrix; and 2 corresponding to a transform coefficient representing a DC component among the transform coefficients.
Adjusting a value of a two-dimensional matrix corresponding to a transform coefficient representing an AC component based on a statistic of the two-dimensional matrix; and evaluating the inspection object based on the adjusted two-dimensional matrix. , A computer-readable recording medium.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000288388A JP2002098615A (en) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | Fringe detector, sensing drum inspection device thereof, liquid crystal panel inspection device thereof, fringe detection method and recording medium for recording fringe detection program |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000288388A JP2002098615A (en) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | Fringe detector, sensing drum inspection device thereof, liquid crystal panel inspection device thereof, fringe detection method and recording medium for recording fringe detection program |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002098615A true JP2002098615A (en) | 2002-04-05 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2000288388A Withdrawn JP2002098615A (en) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | Fringe detector, sensing drum inspection device thereof, liquid crystal panel inspection device thereof, fringe detection method and recording medium for recording fringe detection program |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002098615A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010286940A (en) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Dainippon Printing Co Ltd | Object detection system |
| WO2012042705A1 (en) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | パナソニック株式会社 | Method of detecting moving object and moving object detecting device |
-
2000
- 2000-09-22 JP JP2000288388A patent/JP2002098615A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071204 |