JP2002093359A - 電子ビーム画像生成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 電子ビームをサンプルに照射しつつＣＣＤセ
ンサの複数素子の方向と直角方向に直線状に走査すると
共に、簡易な構造のステージなどを用いてジグザグ走査
などのない極めて高精度で直線状に走査した画像を生成
することを目的とする。 【解決手段】 レンズで結像された画像を、複数画素を
直線状に並べて検出する検出器と、サンプルを、複数画
素を直線状に並べた方向とほぼ直角方向になるように直
線状に走査する走査手段と、走査手段によって直線状に
走査されたときに、走査された方向と直角方向の移動変
動量を検出する検出手段と、検出手段で検出された移動
変動量を打ち消すように画像を偏向する偏向器に、ある
いはサンプルの移動機構に制御信号を出力する補正手段
とを備えるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、サンプルの画像を
高速に生成する電子ビーム画像生成装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウエハ上に形成されたパターンの
欠陥の検査は、レーザ光を用いた検査装置を使って行っ
ていた。この種の装置では最小０．１３μｍ程度が最高
の検出性能である。ウエハ上に形成されたパターンが微
細化されるに従いより小さな０．１０μｍ以下の欠陥の
検査が必要となっている。この領域になると光を使った
装置では波長による限界によりほぼ検出不可能になる。

【０００３】検出感度が０．１０μｍ以下ではより波長
の短い電子線を使った電子顕微鏡の応用が適し、欠陥観
察用の走査型電子顕微鏡（以下ＳＥＭという）が商品化
されている。この種のＳＥＭの本体は、通常のＳＥＭの
本体と同じで、光検査装置で検査し、その位置（座標）
を使って欠陥を観察することが主目的となっている。

【０００４】しかし、これまでの上述したＳＥＭなど電
子線を用いた検査装置の欠陥観察への応用は、その格段
に優れた分解能に係らず、非常に限定されたものでしか
なく、光の検査装置に置き換わって使用されるに至って
いない。その理由は、検査に要する時間がかかり過ぎる
という問題である。

【０００５】もし現在の代表的なＳＥＭでウエハ全面の
欠陥検査を行うとして、それに要する時間を推定してみ
る。画像（５００×５００画素）上で欠陥の存在を検知
できる最小画素数を３（２ピッチ分）とし、検出感度
（検出可能な最小のサイズ）を０．０５μｍとする。こ
のとき画像の視野サイズ１２．５μｍ角となるから、直
径が８インチのウエハの全面（３００ｃｍ^２）で画像は
１．９２×１０^８枚となる。１画像の取得時間を１秒と
すると、２２２２日となる。実際には、この他にステー
ジ移動時間が加わるからさらに長時間がかかる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述したようにＳＥＭ
によるウエハ上のパターンの欠陥検査の問題点は検査処
理能力（スループット）の低さにある。ＳＥＭによる検
査では光検査に比較し検査感度（分可能）が高いので同
じ面積を検査する場合の情報量が増大している。したが
って、ある程度のスループットの低下はやむをえない
が、実際には情報量の比以上の検査時間の増大があり、
これが前述の光検査との置き換えが進まない大きな理由
と推測される。

【０００７】検査時間の増大の主たる原因は単一ビーム
でウエハを順次走査することにある。時間短縮のために
はビーム電流を増やして高速走査する必要があるが、ウ
エハに対する損傷を避けるためにビーム電流の増強には
限界がある。

【０００８】これらの欠点を避けるために、帯状の電子
ビームをサンプルに向けて照射およびサンプルに負のバ
イアス電圧を印加してサンプル表面あるいはその直前で
反転させて結像した帯状の電子像を直線状の複数検出素
子で検出すると共に、帯状の電子ビームの直角方向に走
査を行いつつ直線状の複数検出素子を平行に並べて検出
して画像を生成し、サンプルの表面の画像の生成速度を
高速化することが考えられる。

【０００９】しかしながら、検査対象の全面を検査する
ためにサンプルを搭載したステージを移動する。ステー
ジ移動はライン検出器のライン方向と直角に直線的に行
われるが、実際のステージ移動は機械的精度の限界のた
め常に直線からのずれを含んでいる。このような直線移
動からのずれは 移動速度の変動 移動方向と直交するずれ 移動面内での回転(Yawing) 移動面の回転(Pitching) などがある。とについては移動距離が小さい場合に
は無視できる。はライン検出器に与える同期信号によ
って自動的に補正できる。はこれら従来技術では解決
できなく、本願発明で解決する主目的である。

【００１０】本発明は、これらの問題を解決するため、
電子ビームをサンプルに照射しつつＣＣＤセンサの複数
素子の方向と直角方向に直線状に走査すると共に、走査
方向と直角方向への移動変動量を検出して電子ビームを
偏向補正あるいはサンプル移動機構で補正し、電子ビー
ムに対するサンプルの走査方向を極めて正確に直線状に
移動させ、簡易な構造のステージなどを用いてジグザグ
走査などのない極めて高精度で直線状に走査した画像を
生成することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】図１を参照して課題を解
決するための手段を説明する。

【００１２】図１において、電子銃１は、電子ビームを
発生するものである。

【００１３】集束レンズ３は、電子銃１から放出された
電子ビームを集束するものである。

【００１４】マスク（サンプル）４は、サンプルの例で
あって、ここでは、電子ビームを透過させてその拡大し
た透過像を形成する対象である。尚、サンプル（マス
ク）４に負電圧を印加し、上方あるいは斜め上方向から
電子ビームをサンプル４に照射して当該サンプル４の表
面の近傍で反射（反転）して当該サンプル４の表面の画
像を生成するようにしてもよい。

【００１５】ステージ５は、マスク（サンプル）４を移
動させるものである。

【００１６】偏向器８は、電子像を任意の位置に補正し
たりなどするものである。

【００１７】ＣＣＤセンサ１４は、複数個の素子をライ
ン状に１列あるいは複数列並べて画像を検出するもので
ある。

【００１８】次に、動作を説明する。

【００１９】電子銃１および集束レンズ３によって発生
されて集束された電子ビームをサンプル（マスク）４に
照射し、透過した電子ビームあるいは図示外の負電圧を
印加したサンプル（マスク）４の表面で反射（反転）し
た電子ビームを対物レンズ６で結像し、結像した電子像
を直接あるいは蛍光スクリーン１０で光に変換した後の
光画像をＣＣＤセンサ１４で検出する状態で、ここで
は、ステージ５をＣＣＤセンサ１４の複数素子の方向と
ほぼ直角方向に直線状に走査すると共に走査方向と直角
方向の移動変動量を検出し、移動変動量を打ち消すよう
に偏向器８あるいはサンプル４の移動機構に制御信号を
出力するようにしている。

【００２０】この際、ＣＣＤセンサ１４として、結像さ
れた画像に対して直線状の複数画素を配置し、直線状の
複数画素と隣接する直角方向に電荷を電子ビームの走査
に同期して転送して蓄積する、１列あるいは複数列の直
線状の複数画素を設けた検出器とするようにしている。

【００２１】また、検出器として、電子像を直接に検出
する直線状の複数検出素子からなるＣＣＤセンサ、ある
いは電子像を光像に変換した後の光像を結像して検出す
る直線状の複数検出素子からなるＣＣＤセンサとするよ
うにしている。

【００２２】また、ＣＣＤセンサの直線状の複数画素の
直角方向に、走査方向をほぼ一致させる回転装置を備え
るようにしている。

【００２３】また、電子ビームを帯状の電子ビームとし
てマスク（サンプル）４の不要な部分への電子ビームの
照射を無くすようにしている。

【００２４】従って、電子ビームをサンプル４に照射し
つつＣＣＤセンサの複数素子の方向と直角方向に直線状
にサンプル４を走査すると共に、走査方向と直角方向へ
の移動変動量を検出して電子ビームを偏向補正あるいは
サンプル移動機構で移動補正することにより、電子ビー
ムに対するサンプル４の走査方向を極めて正確に直線状
に移動させ、簡易な構造のステージなどを用いてジグザ
グ走査などのない極めて高精度で直線状に走査した画像
を生成することが可能となる。

【００２５】

【発明の実施の形態】次に、図１から図３を用いて本発
明の実施の形態および動作を順次詳細に説明する。

【００２６】図１は、本発明のシステム構成図を示す。

【００２７】図１において、電子銃１は、エミッタ２か
ら放出された電子ビームを加速して放射するものであ
る。尚、帯状の電子ビームを形成するために、・エミッ
タ２の先端の電子ビームを放出する部分の形状を帯状に
形成して帯状の電子ビームを放射させたり、・エミッタ
２の先端部分に電子ビームの放出し易い物質を帯状に形
成して取り付けて帯状の電子ビームを放射させたり、・
電子銃１より放出された円形状の電子ビームから集束レ
ンズ３をビーム焦点面をつくり成形絞りで切り出して帯
状の電子ビームを形成したり、・４極子レンズあるいは
多極子レンズを用いて円形状の電子ビームを帯状（楕円
状）に形成したり、などの手法がある。いずれにしてマ
スク（サンプル）４を透過あるいは図示外の負の電圧を
印加したマスク（サンプル）４の表面近傍で反射する際
に、帯状の電子ビームとなればよく、帯状の電子ビーム
の形成の仕方は上記仕方に限られるものではない。

【００２８】ここで、実際に検出されるビームの形状は
検出器（ＣＣＤセンサ１４）の形状で決まるので、電子
ビームの外形の形状は本願発明の原理上、重要なもので
はない。電子ビームを帯状とする主目的は無駄な電子ビ
ームをサンプル（マスク）４に照射することによる熱の
発生や電子ビームによる周辺の汚染を防ぐためである。

【００２９】集束レンズ３は、電子銃１を構成するエミ
ッタ２から放出された電子ビームを集束するものであ
る。

【００３０】マスク（サンプル）４は、拡大した電子像
を形成する対象のサンプル（マスク）である。図示の状
態では、透過型のマスク（サンプル）４を示す。この他
に、図示しないが、反射型のサンプル４があり、この反
射型の場合には、負の電圧をサンプル４に印加し、図示
の上方あるいは斜め上方から帯状の電子ビームを照射し
て当該サンプル４に印加された負の電圧により表面の近
傍で反射（反転）して上方に戻り、対物レンズ６によっ
てサンプル４の表面の凹凸の形状に対応した電子像が結
像されるものである。

【００３１】ステージ５は、マスク（サンプル）４を搭
載してＸ方向、Ｙ方向に移動させるものである。この
際、後述する図２に示すように、レーザ計測器２３によ
ってＸ方向、Ｙ方向の移動量が正確に計測される。

【００３２】対物レンズ６は、マスク４を透過あるいは
反射した帯状の電子ビームを結像させて電子像を形成す
るものである。尚、反射した帯状の電子ビームを結像さ
れる場合には、対物レンズ６の図示外の後焦点面の近傍
にあるスリットを通過した部分の電子ビームが帯状の電
子像の形成に寄与し、遮断された部分が帯状の電子像に
寄与しなくなり、結果として、サンプル４の表面の凹凸
に対応したコントラストを持つ帯状の電子像が形成され
る。

【００３３】真空チャンバ７は、マスク４、ステージ５
などを真空中に配置して電子ビームが空気によって散乱
したり、減衰したりすることを防ぐための真空部屋であ
る。

【００３４】偏向器８は、電子像の位置を任意の方向に
偏向（補正）したりなどするものである。

【００３５】投影レンズ９は、対物レンズ６で結像され
た電子像を蛍光スクリーン１０上に任意の倍率で投影し
たりなどするものである。

【００３６】蛍光スクリーン１０は、電子像を光像に変
換するものである。

【００３７】観察窓１１は、蛍光スクリーン１０の部分
に設けて当該蛍光スクリーン１０上に形成された光像を
真空外に取り出し、ここでは、ＣＣＤセンサ１４に投影
するためのものである。

【００３８】ＣＣＤカメラ１２は、蛍光スクリーン１０
上に形成された光像をＣＣＤ素子で検出するものであっ
て、ここでは、レンズ１３、ＣＣＤセンサ１４、信号処
理装置１５などから構成されるものである。ＣＣＤカメ
ラ１２には蛍光スクリーン１０に対して回転可能にする
機構が設けられており、ＣＣＤセンサ１４の複数素子の
直線状の方向に対して、画像がほぼ直角方向に移動（走
査）するように、回転角度を任意に調整する。

【００３９】レンズ１３は、蛍光スクリーン１０上に形
成された光像をＣＣＤセンサ１４上に焦点合わせ（結
像）するものである。

【００４０】ＣＣＤセンサ１４は、複数検出素子をライ
ン状に配列および直角方向に並列に設けて電荷を転送し
ていわゆる蓄積型ラインセンサである。

【００４１】信号処理装置１５は、ＣＣＤセンサ１４を
制御して取り出した信号を処理して外部に出力したりな
どするものである。

【００４２】制御装置１６は、モータ１７を用いてステ
ージ５を移動させるのに同期して、ＣＣＤセンサ１４上
に蓄積した信号を隣接する他のライン上の素子に転送
し、蓄積型の検出を行うための制御装置である。

【００４３】モータ１７は、ステージ５を移動制御する
モータである。

【００４４】次に、図１の構成の動作を説明する。

【００４５】（１） 電子銃１を構成するエミッタ２か
ら放出された電子ビームを集束レンズ３で集束してマス
ク（サンプル）４に照射して透過した電子ビームを発生
させる。尚、反射型の場合には、図示しないが、上方向
あるいは斜上方向から、電子銃１を構成するエミッタ２
から放出された電子ビームを集束レンズ３で集束して負
電圧の印加されたマスク（サンプル）４に照射して当該
マスク（サンプル）４の表面近傍で反射（反転）して元
の方向に電子ビームが戻る。

【００４６】（２） （１）でマスク（サンプル）４を
透過した電子ビームあるいはマスク（サンプル）４の表
面近傍で反射した電子ビームは、対物レンズ６で結像さ
れる。そして、投影レンズ８で任意の倍率にして、ここ
では、蛍光スクリーン１０に投影する。

【００４７】（３） （２）で蛍光スクリーン１０に投
影された電子像が光像に変換され、レンズ１３でＣＣＤ
センサ１４に結像され、電気信号に変換された画像信号
を出力する。この際、ＣＣＤセンサ１４は、複数素子を
直線状に配列してあり、当該直線状に配列した複数素子
によって、光像が切り出され、結果として、切り出され
たライン状の部分（帯状の部分）に対応するマスク（サ
ンプル）４上の画像のみが抽出・拡大して検出されるこ
ととなる。

【００４８】（４） （３）でＣＣＤセンサ１４の複数
素子を直線状に配列した部分で検出したマスク（サンプ
ル）４の対応する直線状の部分（帯状の部分）と直角方
向にステージ５を直線状に連続に移動すると共に、当該
移動に同期してＣＣＤセンサ１４の直線状に配列した複
数素子列で検出した信号を隣接する次の列の直線上に配
列した複数素子列に電荷を転送することを繰り返し、遅
延積分型の増幅を行う。

【００４９】（５） （４）でＣＣＤセンサ１４の複数
素子を直線状に配列した方向と直角方向にマスク（サン
プル）４を直線状に連続走査するときに、当該直線状の
連続走査の方向と直角方向への移動変動量をレーザ計測
器で精密に測定し、測定した移動変動量をもとに、マス
ク（サンプル）４を補正移動させたり、あるいは偏向器
８に信号を出力して補正移動させたりし、ＣＣＤセンサ
１４の複数素子の直線状に配列した方向に対して、直角
方向でかつジグザグのない正確に直線状に走査すること
が可能となる。

【００５０】以上のように、電子ビームをマスク（サン
プル）４に照射して透過あるいは反射した電子ビームを
結像し、結像した電子像（あるいは更に光に変換した光
像）をＣＣＤセンサ１４に投影して当該ＣＣＤセンサ１
４の複数素子を直線状に配列した部分でライン状の部分
のみを検出すると共に、複数素子の直線状の方向とほぼ
直角方向にマスク（サンプル）４を直線状に走査すると
共に走査方向と直角方向の移動変動量をレーザ計測器で
精密に測定してマスク（サンプル）４の移動を補正ある
いは偏向器８に信号を出力して補正し、電子ビームに対
するマスク（サンプル）４の走査方向を極めて正確に直
線状に移動させ、簡易な構造のステージなどを用いてジ
グザグ走査などのない極めて高精度で直線状に走査した
画像を生成することが可能となる。

【００５１】図２は、本発明の１実施例構成図を示す。

【００５２】図２において、中間レンズ９−１は、投影
レンズ９と一体となって２段レンズを構成し、蛍光スク
リーン１０上に、対物レンズ６で結像された電子像を任
意倍率で投影するためのものである。

【００５３】偏向電源２２は、偏向器８に偏向電圧ある
いは偏向電流を供給し、既述した走査方向と直角方向の
移動変動量を補正するためのものである。

【００５４】レーザ計測器２３は、ステージ５のＸ方向
およびＹ方向のそれぞれの移動量を正確に測定するもの
である（図示しないがＸ方向用と、Ｙ方向用との２組を
設けている）。

【００５５】位置制御装置２４は、レーザ計測器２３で
計測した走査方向と直角方向のマスク（サンプル）４の
移動変動量をもとに、偏向電源２２を介して偏向器８に
電圧あるいは電流を供給し。当該移動変動量を補正し、
極めて正確に直線状に走査制御するものである。

【００５６】ステージ電源２５は、ステージ５をＸ方
向、Ｙ方向に移動させるモータに電源を供給するもので
ある。

【００５７】次に、図２の動作を説明する。

【００５８】（１） ステージ５の移動量はレーザ計測
器２３によって計測し、位置制御装置２４がＣＣＤセン
サ１４のライン方向に対応する移動方向Ｙ、およびライ
ン方向と直角方向に対応する移動方向Ｘを求める。

【００５９】（２） （１）で求めたＸ方向の移動量を
もとにＣＣＤカメラ１２のＣＣＤセンサ１４の直線状の
複数素子の列で検出した各素子で蓄積した電荷（信号）
を隣接する直線状の複数素子に順次転送することを繰り
返す。

【００６０】（３） （１）で求めたＹ方向の移動量を
もとに走査方向が直線からずれた移動変動量に相当する
分だけ補正するように、偏向器８に電圧あるいは電流を
供給する。これにより、電子像がＣＣＤセンサ１４の直
線状の複数素子の方向とほぼ直角方向に、ジグザグする
ことなく直線状に正確に走査されることとなる。

【００６１】以上のようにして、マスク（サンプル）４
をＣＣＤカメラ１２のＣＣＤセンサ１４の複数素子の直
線状の方向とほぼ直角方向に走査し、そのときの走査量
をレーザ計測器２３で計測し、マスク（サンプル）４の
移動量と同期してその画像を検出するＣＣＤセンサ１４
の複数素子の隣接する列の複数素子に電荷を転送するこ
とを繰り返して遅延型積分を行って高画質の画像を生成
すると共に、マスク（サンプル）４の走査方向と直角方
向の移動変動量をレーザ計測器２３で計測して偏向器８
に補正電圧あるいは補正電流を供給して補正し、簡易な
構造のステージなどを用いてもジグザグ走査などのない
極めて高精度で直線状に走査した画像を生成することが
可能となる。

【００６２】図３は、本発明の説明図を示す。ここで、
横軸は図１，２のステージ５の送り方向（走査方向）を
示し、縦軸はステージを走査したときの直角方向へのず
れ量（移動変動量）を示す。

【００６３】図３において、ＣＣＤセンサ１４の複数素
子の直線状とほぼ直角方向に、マスク（サンプル）４を
搭載したステージ５を図示のステージ送り方向として移
動させる。このとき、時刻ｔ＝０、ｔ１、ｔ２における
ずれ量がそれぞれＳ（ｔ＝０）、Ｓ（ｔ＝ｔ１），Ｓ
（ｔ＝ｔ２）と、図２のレーザ計測器２３で計測された
とすると、このずれ量Ｓ（ｔ＝０）、Ｓ（ｔ＝ｔ１），
Ｓ（ｔ＝ｔ２）を補正するために、偏向器８に対応する
電圧あるいは電流を供給し、結果としてずれ量がＣＣＤ
センサ１４の複数素子上で無いようにすることができ
る。これにより、ステージ５の構造を簡単にして走査方
向が若干ジグザグとなったとしてもレーザ計測器２３で
そのジグザグ（図３のずれ量）を計測して偏向器８で補
正し、結果として精密に直線状に走査した画像を生成で
きる。

【００６４】尚、マスク（サンプル）４は移動可能なス
テージ５上に置かれて、電子ビームの照射を受けつつＣ
ＣＤセンサ１４の複数素子の方向に対してほぼ直角方向
にステージ５で移動される。ＣＣＤセンサ１４は、２次
元配列型ＣＣＤとして各素子は配列の縦横のいずれの方
向にも同期信号に同期させて電荷の転送が可能なもので
ある。ステージ５の移動に対応してマスク（サンプル）
４を透過あるいは反射して結像された画像が、ＣＣＤセ
ンサ１４上を移動する。この画像の移動に追従させてＣ
ＣＤセンサ１４の各素子の電荷を移動方向に転送する
（時間遅延積分を行う）。電子像の１点がＣＣＤセンサ
１４の検出素子に入ってきたときから電荷の蓄積が開始
され、その点が検出素子を外れるときまで続く。この結
果、ステージ５を停止することなく連続にマスク（サン
プル）４を移動させながら検出信号強度を上げることが
できる。更に、検出は、ＣＣＤセンサ１４の配列の各素
子で同時に同様に行われるから配列の素子の個数（例え
ば１列の４０９６個）だけの並列検出ができ、画像の検
出の高速化が可能となる。

【００６５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電子ビームをサンプル（マスク）に照射しつつＣＣＤセ
ンサの複数素子の方向と直角方向に直線状にサンプルを
走査すると共に、走査方向と直角方向への移動変動量を
検出して電子ビームを偏向補正あるいはサンプル移動機
構で移動補正する構成を採用しているため、電子ビーム
に対するサンプル（マスク）の走査方向を極めて正確に
直線状に移動させ、簡易な構造のステージなどを用いて
もジグザグ走査などのない極めて高精度で直線状に走査
した画像を生成することが可能となる。これらにより、
（１）ステージ送りと直角方向のずれは画像を記録した
後に、画像を補正するという複雑で時間のかかる処理を
不要とし、迅速に高精度の画像を生成することが可能と
なる。

【００６６】（２）ステージ送りの精度を改善してステ
ージのずれ量を小さくすることも考えられるが、この場
合にはステージの再設計が必要となると共にコスト高と
なる。

【００６７】（３）記録した画像上でずれ量を補正する
必要がなく、これらデータ処理を含めたスループットを
改善でき、しかも、コストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のシステム構成図である。

【図２】本発明の１実施例構成図である。

【図３】本発明の説明図である。

【符号の説明】

１：電子銃 ２：エミッタ ３：集束レンズ ４：サンプル（マスク） ５：ステージ ６：対物レンズ ７：真空チャンバ ８：偏向器 ９：投影レンズ １０：蛍光スクリーン １１：観察窓 １２：ＣＣＤカメラ １３：レンズ １４：ＣＣＤセンサ １５：信号処理装置 １６：制御装置 １７：モータ ２２：偏向電源 ２３：レーザ計測器 ２４：位置制御装置 ２５：ステージ電源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ Ｆターム(参考） 4M106 AA01 BA02 CA39 DB04 DB05 DB12 DB18 DB30 DJ02 DJ04 DJ17 5C001 AA03 AA06 CC01 CC04 5C033 EE03 EE06 FF05 FF06 NN02 NN03 NP06 SS01 SS03 SS04 UU01 UU03 UU04

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】サンプルの画像を高速に生成する電子ビー
   ム画像生成装置において、 電子ビームを発生する電子ビーム発生手段と、 上記発生された電子ビームをサンプルに照射するレンズ
   と、 上記電子ビームの照射されたサンプルを透過した電子ビ
   ーム、あるいは負電圧の印加されたサンプル面の近傍で
   反転した電子ビームを結像するレンズと、 上記レンズで結像された画像を、複数画素を直線状に並
   べて検出する検出器と、 上記サンプルを、上記複数画素を直線状に並べた方向と
   ほぼ直角方向になるように直線状に走査する走査手段
   と、 上記走査手段によって直線状に走査されたときに、当該
   走査された方向と直角方向の移動変動量を検出する検出
   手段と、 上記検出手段で検出された移動変動量を打ち消すように
   画像を偏向する偏向器に、あるいはサンプルの移動機構
   に制御信号を出力する補正手段とを備えたことを特徴と
   する画像生成装置。
2. 【請求項２】上記検出器として、上記結像された画像に
   対して直線状の複数画素を配置し、当該直線状の複数画
   素と隣接する直角方向に電荷を上記電子ビームの走査に
   同期して転送して蓄積する、１列あるいは複数列の直線
   状の複数画素を設けた検出器としたことを特徴とする請
   求項１記載の電子ビーム画像生成装置。
3. 【請求項３】上記検出器として、電子像を直接に検出す
   る直線状の複数検出素子からなる検出器、あるいは電子
   像を光像に変換した後の光像を結像して検出する直線状
   の複数検出素子からなる検出器としたことを特徴とする
   請求項１あるいは請求項２記載の電子ビーム画像生成装
   置。
4. 【請求項４】上記検出器の直線状の複数画素と直角方向
   に、上記走査方向をほぼ一致させる回転装置を備えたこ
   とを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載
   の電子ビーム画像生成装置。
5. 【請求項５】上記電子ビームを帯状の電子ビームとして
   サンプルの不要な部分への電子ビームの照射を無くした
   ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記
   載の電子ビーム画像生成装置。