JP2002082216A - Device for manufacture of color filter and method for controlling position of nozzle in the device - Google Patents
Device for manufacture of color filter and method for controlling position of nozzle in the deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、パーソナルコンピ
ュータのディスプレイやパチンコ遊技台等に用いられる
カラー液晶ディスプレイ等に使用されるカラーフィルタ
の製造装置に関し、特に、被着色基板に対してインクジ
ェットヘッドを相対的に走査しながら該ヘッドの備えた
ノズルよりインクを吐出して着色部を形成するカラーフ
ィルタ製造装置、及び、該装置のノズル位置調整方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a color filter used in a display of a personal computer, a color liquid crystal display used in a pachinko game machine, etc. The present invention relates to a color filter manufacturing apparatus that forms a colored portion by ejecting ink from nozzles provided in the head while performing specific scanning, and a nozzle position adjusting method of the apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）
の発達、特に携帯用ＰＣの発達に伴い、液晶ディスプレ
イ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する
傾向にある。しかしながら、さらなる普及のためには液
晶ディスプレイのコストダウンが必要であり、特にコス
ト的に比重の高いカラーフィルタのコストダウンに対す
る要求が高まっている。2. Description of the Related Art In recent years, personal computers (PCs)
With the development of LCDs, especially portable PCs, the demand for liquid crystal displays, especially color liquid crystal displays, tends to increase. However, for further widespread use, it is necessary to reduce the cost of the liquid crystal display. In particular, there is an increasing demand for reducing the cost of a color filter having a high cost.
【０００３】従来から、カラーフィルタの要求特性を満
足しつつ、上記の要求に応えるべく種々の方法が試みら
れているが、未だ全ての要求特性を満足する方法は確立
されていない。以下にそれぞれの方法を説明する。Conventionally, various methods have been tried to satisfy the above-mentioned requirements while satisfying the required characteristics of the color filter, but no method has yet been established which satisfies all the required characteristics. The respective methods will be described below.
【０００４】第一の方法は顔料分散法である。この方法
は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、こ
れをパターニングすることにより単色のパターンを得
る。更にこの工程を３回繰り返すことにより、Ｒ、Ｇ、
Ｂの３色の着色部を形成する。The first method is a pigment dispersion method. In this method, a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed is formed on a substrate, and a monochromatic pattern is obtained by patterning the photosensitive resin layer. By repeating this step three more times, R, G,
The three colored portions B are formed.
【０００５】第二の方法は染色法である。染色法は、基
板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗布し、
これをフォトリソグラフィ工程により所望の形状にパタ
ーニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して
着色されたパターンを得る。これを３回繰り返すことに
より、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の着色部を形成する。[0005] The second method is a dyeing method. In the dyeing method, a water-soluble polymer material, which is a material for dyeing, is applied on a substrate,
After patterning this into a desired shape by a photolithography process, the obtained pattern is immersed in a dye bath to obtain a colored pattern. By repeating this three times, colored portions of three colors of R, G, and B are formed.
【０００６】第三の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第一の色の
着色部を電着する。この工程を３回繰り返して、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色の着色部を形成する。A third method is an electrodeposition method. In this method, a transparent electrode is patterned on a substrate, and immersed in an electrodeposition coating solution containing a pigment, a resin, an electrolytic solution, and the like to electrodeposit a colored portion of a first color. This process is repeated three times,
G and B colored portions are formed.
【０００７】第四の方法としては、印刷法がある。この
方法は熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰
り返すことにより、Ｒ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を
熱硬化させることにより着色層を形成するものである。
また、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成
するのが一般的である。A fourth method is a printing method. In this method, a pigment is dispersed in a thermosetting resin, and printing is repeated three times to separately apply R, G, and B, and then the resin is thermoset to form a colored layer.
In any method, a protective layer is generally formed on the colored layer.
【０００８】これらの方法に共通している点は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色を着色するために、同一の工程を３回繰り
返す必要があり、コスト高になることである。また、工
程数が多いほど、歩留まりが低下するという問題も有し
ている。さらに、電着法においては、形成可能なパター
ン形状が限定されるため、現状の技術ではＴＦＴ方式
（薄膜トランジスタを用いたアクティブマトリクス駆動
方式）のカラー液晶ディスプレイには適用が難しい。ま
た、印刷法は、解像性、平滑性が悪いため、ファインピ
ッチのパターンの形成が難しい。[0008] These methods have in common that R,
In order to color the three colors G and B, it is necessary to repeat the same process three times, which increases the cost. There is also a problem that the yield decreases as the number of steps increases. Further, in the electrodeposition method, since the pattern shape that can be formed is limited, it is difficult to apply the current technology to a TFT type (active matrix driving type using a thin film transistor) color liquid crystal display. Further, the printing method has poor resolution and smoothness, so that it is difficult to form a fine pitch pattern.
【０００９】これらの問題を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報、特
開昭６３−２９４５０３号公報、或いは、特開平１−２
１７３２０号公報、特開平９−２７７５７１号公報等に
は、インクジェット方式を用いてカラーフィルタを製造
する方法が記載されている。To compensate for these problems, Japanese Patent Application Laid-Open No.
No. 5205, JP-A-63-235901, JP-A-63-294503, or JP-A-Heisei 1-2.
No. 17320, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-277571, and the like describe a method of manufacturing a color filter using an ink jet method.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】インクジェット方式を
用いてカラーフィルタを製造する場合、複数のノズルを
備えた長尺のインクジェットヘッドをカラーフィルタを
形成する基板に対して相対的に走査させ、カラーフィル
タの複数の着色部（画素）列を１回の走査で着色する方
法が一般的に行われている。この場合、カラーフィルタ
には、その表示面積や各画素のピッチ間隔などに複数の
種類があるため、長尺のインクジェットヘッドを走査方
向に対して所定角度傾けて、複数個おきのノズルのピッ
チ間隔をカラーフィルタの画素列のピッチ間隔に合わせ
ている。即ち、インクジェットヘッドとしては、１種類
のノズルピッチのものを使用し、複数種類の画素列ピッ
チに対応するために、インクジェットヘッドの走査方向
に対する傾き角を変更している。When a color filter is manufactured by using an ink jet method, a long ink jet head having a plurality of nozzles is scanned relative to a substrate on which the color filter is formed, and the color filter is formed. The method of coloring a plurality of colored portion (pixel) rows by one scan is generally performed. In this case, since there are a plurality of types of color filters in the display area, the pitch interval of each pixel, and the like, the long inkjet head is inclined at a predetermined angle with respect to the scanning direction, and the pitch interval of every plural nozzles is changed. Is adjusted to the pitch interval of the pixel row of the color filter. That is, an inkjet head having one type of nozzle pitch is used, and the inclination angle of the inkjet head with respect to the scanning direction is changed to correspond to a plurality of types of pixel row pitches.
【００１１】更に近年、液晶パネルの大きさは、ノート
型ＰＣ用から、デスクトップモニタ用等、拡大の一途を
たどっている。また、普及を拡大するためにコストダウ
ンや生産性の向上が求められており、中でも描画処理時
間の短縮等が求められている。In recent years, the size of a liquid crystal panel has been steadily expanding from a notebook PC to a desktop monitor. Further, cost reduction and improvement in productivity are demanded in order to expand the spread, and in particular, reduction in drawing processing time is required.
【００１２】従来、上記インクジェットヘッドを用いた
カラーフィルタの製造装置においては、長尺ヘッドの採
用、ステージ駆動の高速化等によって描画時間の短縮等
が図られてきた。しかしながら、急速なパネルサイズの
拡大、コスト削減要求に対して、インクジェット描画プ
ロセスに伴う高速性向上への対応が遅れてきている。特
に、混色マージン、吐出ムラの関係から、描画時の走査
速度の高速化が難しくなっていることやヘッドの長尺化
の開発も難しくなっている。そのため、製造ライン全体
の生産量を向上させるために描画機を複数台構成する必
要性が発生し、そのことがカラーフィルタの生産コスト
増大を招く状況となっている。Heretofore, in a color filter manufacturing apparatus using the above-described ink jet head, a long head has been employed, and a stage driving speed has been increased to shorten a drawing time. However, in response to the demand for rapid increase in panel size and cost reduction, the response to the improvement of the high speed associated with the ink jet drawing process has been delayed. In particular, it is difficult to increase the scanning speed during drawing and to develop a longer head due to the relationship between the color mixing margin and the ejection unevenness. For this reason, it is necessary to configure a plurality of drawing machines in order to improve the production amount of the entire production line, which leads to an increase in the production cost of the color filters.
【００１３】本発明の課題は、従来のインクジェットヘ
ッド技術でパネルサイズ拡大に任意に対応することがで
き、同時に、描画時間の大幅な短縮を達成し、これらに
より、カラーフィルタの製造において生産性を大幅に向
上させるカラーフィルタ製造装置を提供することにあ
る。It is an object of the present invention to respond to the increase in panel size with the conventional ink jet head technology, and at the same time, achieve a drastic reduction in drawing time, thereby increasing productivity in the production of color filters. An object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a color filter which is greatly improved.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明の第一は、複数の
ノズルを直線状に配列してなるインクジェットヘッド
を、ステージ上に載置された基板に対して相対的に走査
しながら、複数のノズルから同時にインクを吐出して上
記基板上に上記走査方向とは直交する方向に複数配列す
る着色部を形成するカラーフィルタ製造装置であって、
上記インクジェットヘッドを複数本平行配置して支持
し、上記基板表面の法線方向を軸として上記インクジェ
ットヘッドを回転・制御する手段を少なくとも有するヘ
ッドユニットを、上記走査方向に対して直交する方向に
複数個、有することを特徴とするカラーフィルタ製造装
置である。A first aspect of the present invention is that an ink jet head having a plurality of nozzles arranged in a straight line scans a plurality of nozzles while relatively scanning a substrate mounted on a stage. A color filter manufacturing apparatus for simultaneously forming a plurality of colored portions on the substrate by discharging ink from the nozzles in a direction orthogonal to the scanning direction,
A plurality of the ink jet heads are arranged and supported in parallel, and a plurality of head units having at least means for rotating and controlling the ink jet heads around an axis normal to the substrate surface are provided in a direction orthogonal to the scanning direction. A color filter manufacturing apparatus comprising:
【００１５】上記本発明の第一は、下記の構成を好まし
い態様として含むものである。The first aspect of the present invention includes the following configuration as a preferred embodiment.
【００１６】走査方向に対して直交する方向において、
各ヘッドユニットの位置を制御する手段を備えたこと。In a direction orthogonal to the scanning direction,
A means for controlling the position of each head unit is provided.
【００１７】基板上に吐出されたインクの着弾位置検出
手段及び／または基板を載置したステージ側からノズル
の位置を検出する手段を備えたこと。[0017] A means for detecting a landing position of the ink discharged onto the substrate and / or a means for detecting the position of the nozzle from the stage on which the substrate is mounted is provided.
【００１８】上記ヘッドユニットの位置を１個おきに走
査方向にずらし、互い違いに配列してなること、特に、
ｎ番目のヘッドユニットにおけるｎ＋１番目のヘッドユ
ニット側の端部のノズルと、ｎ＋１番目のヘッドユニッ
トにおけるｎ番目のヘッドユニット側の端部のノズル
が、走査方向同一ライン上に配置してインクの着弾位置
が重複していること、及び、走査方向に対して直交する
方向に対する、ｎ番目のヘッドユニットのインクジェッ
トヘッドの傾き方向と、ｎ＋１番目のヘッドユニットの
インクジェットヘッドの傾き方向とが、同じ或いは逆で
あること。The head units are shifted in the scanning direction every other head unit, and are alternately arranged.
The nozzle at the end of the (n + 1) -th head unit in the n-th head unit and the nozzle at the end of the (n + 1) -th head unit on the side of the n-th head unit are arranged on the same line in the scanning direction to land ink. The position overlaps, and the inclination direction of the inkjet head of the n-th head unit and the inclination direction of the inkjet head of the (n + 1) -th head unit with respect to the direction orthogonal to the scanning direction are the same or opposite. That.
【００１９】また、本発明は、上記本発明第一のカラー
フィルタ製造装置のノズル位置調整方法を提供するもの
である。即ち本発明の第二は、本発明のカラーフィルタ
製造装置のノズル位置調整方法であって、各インクジェ
ットヘッドのノズルのピッチ或いは少なくとも１個おき
のノズルのピッチが所定のインク着弾位置のピッチに対
応するように各インクジェットヘッドを回転させて走査
方向に対して直交する方向に対してインクジェットヘッ
ドを傾け、次いで、着弾位置が重複するｎ番目のヘッド
ユニットのノズルと、ｎ＋１番目のノズルについて、走
査方向同一ライン上に着弾位置をずらせてインクを吐出
し、走査方向に対して直交する方向における着弾位置の
ずれを検出し、該ずれに基づいてｎ＋１番目のヘッドユ
ニットの走査方向に対して直交する方向における位置を
調整することを特徴とするカラーフィルタ製造装置のノ
ズル位置調整方法である。The present invention also provides a nozzle position adjusting method of the first color filter manufacturing apparatus of the present invention. That is, a second aspect of the present invention is a nozzle position adjusting method of the color filter manufacturing apparatus of the present invention, wherein the pitch of the nozzles of each inkjet head or the pitch of at least every other nozzle corresponds to the pitch of the predetermined ink landing position. Each ink jet head is rotated so that the ink jet head is tilted in a direction perpendicular to the scanning direction, and then the nozzles of the n-th head unit and the (n + 1) -th nozzle whose landing positions overlap each other are scanned in the scanning direction. The ink is ejected by shifting the landing position on the same line, a deviation of the landing position in a direction orthogonal to the scanning direction is detected, and a direction orthogonal to the scanning direction of the (n + 1) th head unit is detected based on the deviation. A nozzle position adjusting method for a color filter manufacturing apparatus, characterized by adjusting the position of the nozzle.
【００２０】また、本発明の第三は、本発明のカラーフ
ィルタ製造装置のノズル位置調整方法であって、各イン
クジェットヘッドのノズルのピッチ或いは少なくとも１
個おきのノズルのピッチが所定のインク着弾位置のピッ
チに対応するように各インクジェットヘッドを回転させ
て走査方向に対して直交する方向に対してインクジェッ
トヘッドを傾け、次いで、着弾位置が重複するｎ番目の
ヘッドユニットのノズルと、ｎ＋１番目のノズルについ
て、基板を載置したステージ側よりノズル位置の走査方
向に対して直交する方向におけるずれを検出し、該ずれ
に基づいてｎ＋１番目のヘッドユニットの走査方向に対
して直交する方向における位置を調整することを特徴と
するカラーフィルタ製造装置のノズル位置調整方法であ
る。A third aspect of the present invention is a method of adjusting a nozzle position of the color filter manufacturing apparatus according to the present invention, wherein the nozzle pitch of each ink jet head or at least one of the nozzle pitches is adjusted.
Each inkjet head is rotated so that the pitch of every other nozzle corresponds to the pitch of the predetermined ink landing position, and the inkjet head is tilted in a direction orthogonal to the scanning direction. With respect to the nozzle of the n-th head unit and the nozzle of the (n + 1) -th head unit, a shift in a direction orthogonal to the scanning direction of the nozzle position is detected from the stage on which the substrate is mounted, and the (n + 1) -th head unit is determined based on the shift. A nozzle position adjusting method for a color filter manufacturing apparatus, comprising: adjusting a position in a direction orthogonal to a scanning direction.
【００２１】上記本発明の第三は、上記ｎ＋１番目のヘ
ッドユニットの位置を調整した後に、着弾位置が重複す
るｎ番目のヘッドユニットのノズルと、ｎ＋１番目のノ
ズルについて、走査方向同一ライン上に着弾位置をずら
せてインクを吐出し、走査方向に対して直交する方向に
おける着弾位置のずれを検出し、該ずれに基づいてｎ＋
１番目のヘッドユニットの走査方向に対して直交する方
向における位置を調整することを好ましい態様として含
むものである。The third aspect of the present invention is that, after adjusting the position of the (n + 1) th head unit, the nozzles of the (n) th head unit and the (n + 1) th nozzle having overlapping landing positions are on the same line in the scanning direction. The ink is ejected with the landing position shifted, a deviation of the landing position in a direction orthogonal to the scanning direction is detected, and based on the deviation, n +
In a preferred embodiment, the position of the first head unit in a direction orthogonal to the scanning direction is adjusted.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルタ製造装置
は、複数のノズルを直線状に配列してなるインクジェッ
トヘッドを複数本、例えば、着色部の色（通常は、Ｒ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青））毎に用意し、これらを平
行配置して支持して構成したヘッドユニットを走査方向
とは直交する方向、即ち画素列の配列方向に複数個配列
させて構成したことを特徴とする。該ヘッドユニット
は、従来と同様に着色すべき画素列ピッチにノズルピッ
チを対応させるべく、インクジェットヘッドを回転させ
てノズル配列方向を傾けるための手段を有している。本
発明は、ヘッドユニットを複数個用いることで、形成す
るカラーフィルタのパネルサイズに１種類のヘッドユニ
ットで対応し、且つ、サイズ拡大による描画時間の増大
を防ぐことができる。以下に、本発明を詳細に説明す
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The color filter manufacturing apparatus of the present invention comprises a plurality of ink jet heads each having a plurality of nozzles arranged in a straight line.
(Red), G (green), and B (blue)), and a plurality of head units configured in parallel with each other and supported are arranged in a direction orthogonal to the scanning direction, that is, in a pixel array direction. It is characterized by being arranged in an array. The head unit has means for rotating the inkjet head to incline the nozzle arrangement direction in order to make the nozzle pitch correspond to the pixel row pitch to be colored as in the related art. According to the present invention, by using a plurality of head units, one type of head unit can cope with a panel size of a color filter to be formed, and it is possible to prevent an increase in drawing time due to an increase in size. Hereinafter, the present invention will be described in detail.
【００２３】先ず、本発明のカラーフィルタ製造装置の
基本的な動作について、ヘッドユニットが一つの場合を
例に挙げて説明する。First, the basic operation of the color filter manufacturing apparatus of the present invention will be described with reference to a case where there is one head unit.
【００２４】図１は、ヘッドユニットが一つのカラーフ
ィルタ製造装置の構成を示す概略図である。図中、１は
装置搭載用の定盤、２は定盤１を支持し、外部振動を遮
断するための除振台、３は定盤１上に設けられた、大ス
トローク移動を行うＸＹステージ、４はＲ、Ｇ、Ｂの各
インクを吐出するインクジェットヘッド（但し、図１に
おいては便宜上、１本のヘッドのみを示す）、５はカラ
ーフィルタを形成する基板（通常、ガラス基板）、６は
基板５のＸ、Ｙ、θ方向のアライメント検出用光学系、
７はＺ検出用光学系、８はインクジェットヘッド４が吐
出するインクの着弾位置検出手段である、着弾位置検出
用光学系、９はインクジェットヘッド４のθ回転などの
ヘッド位置調整ユニット、１０は測長用のレーザ、１１
は測長用の超平面ミラー、１２は画素検出用光学系であ
る。また、図中のＸ方向は画素列の配列方向、Ｙ方向は
インクジェットヘッド４の走査方向である。FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of a color filter manufacturing apparatus having one head unit. In the figure, 1 is a surface plate for mounting the device, 2 is a vibration isolation table that supports the surface plate 1 and shuts off external vibrations, and 3 is an XY stage provided on the surface plate 1 and that moves a large stroke. Reference numeral 4 denotes an inkjet head for discharging R, G, and B inks (however, only one head is shown in FIG. 1 for convenience), 5 denotes a substrate (usually a glass substrate) on which a color filter is formed, 6 Is an optical system for detecting the alignment of the substrate 5 in the X, Y, and θ directions;
7 is an optical system for Z detection, 8 is an impact position detecting optical system for detecting the impact position of the ink ejected from the inkjet head 4, 9 is a head position adjusting unit for rotating the inkjet head 4 by θ, and 10 is a measuring unit. Long laser, 11
Is a hypermetric mirror for length measurement, and 12 is an optical system for pixel detection. The X direction in the drawing is the arrangement direction of the pixel rows, and the Y direction is the scanning direction of the inkjet head 4.
【００２５】図２は、図１中のＸＹステージ３の詳細図
であり、図中、１３はＺ−チルトステージ、１４はθス
テージ、１５、１６はそれらを駆動するピエゾ素子等の
駆動素子である。FIG. 2 is a detailed view of the XY stage 3 in FIG. 1. In FIG. 2, 13 is a Z-tilt stage, 14 is a θ stage, and 15 and 16 are driving elements such as piezo elements for driving them. is there.
【００２６】上記構成におけるカラーフィルタの描画工
程を、図３に示したフローチャートに沿って説明する。The drawing process of the color filter in the above configuration will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
【００２７】ステップＳ５１：基板５をＸＹステージ３
に搭載する。Step S51: The substrate 5 is placed on the XY stage 3.
To be mounted on.
【００２８】ステップＳ５２：基板５の表面がアライメ
ント検出用光学系６の検出範囲（焦点深度）に収まるよ
うにＺ−チルトステージ１３によりＺ−チルト方向を合
わせる。Step S52: The Z-tilt direction is adjusted by the Z-tilt stage 13 so that the surface of the substrate 5 falls within the detection range (depth of focus) of the alignment detection optical system 6.
【００２９】ステップＳ５３：アライメント検出用光学
系６により、基板５上のアライメントマークが基準位置
になるように、Ｘ、Ｙ、θ３方向のずれ量を検出する。
ここで、アライメント検出用光学系６は、ＣＣＤ等のセ
ンサでアライメントマークを読み取り、そこで得られた
画像情報を画像処理部で解析し、ずれ量を算出する。こ
の検出は、複数のマークを複数の光学系６で行っても良
いし、複数の検出マークを一箇所の光学系でＸＹステー
ジ３を移動させて行っても良い。Step S53: The amounts of displacement in the X, Y, and θ3 directions are detected by the alignment detecting optical system 6 so that the alignment mark on the substrate 5 is at the reference position.
Here, the alignment detection optical system 6 reads the alignment mark with a sensor such as a CCD, and analyzes image information obtained therefrom by an image processing unit to calculate a shift amount. This detection may be performed by using a plurality of optical systems 6 for a plurality of marks, or by moving the XY stage 3 using a single optical system for a plurality of detection marks.
【００３０】ステップＳ５４：上記Ｓ５３における検出
結果に基づき、θ成分のずれは、θステージ１４により
補正し、Ｘ方向のずれはＸＹステージ３のＸ位置を合わ
せることにより補正する。また、Ｙ方向のずれはＸＹス
テージ３の位置合わせ、或いは、インクジェットヘッド
４からの吐出タイミングを制御することにより行う。Step S54: Based on the detection result in S53, the deviation of the θ component is corrected by the θ stage 14, and the deviation in the X direction is corrected by adjusting the X position of the XY stage 3. The displacement in the Y direction is performed by adjusting the position of the XY stage 3 or controlling the ejection timing from the inkjet head 4.
【００３１】ステップＳ５５、Ｓ５６：インクジェット
ヘッド４の吐出方向やヘッドの姿勢が傾いている場合に
は、図４に示すように、基板５とインクジェットヘッド
４との距離が変動すると（５→５’）、着弾位置が移動
する（図４中の矢印はインクの吐出方向を示す）。従っ
て、Ｚ検出用光学系７により上記距離が一定になるよう
にＺ−チルトステージ１３を制御しながら、インクジェ
ットヘッド４を基板５に対して相対的にＹ方向に走査し
ながら画素列に対応したノズルからインクを吐出し、画
素を描画する。精度によってはこれらの距離及び傾きは
基板５搭載時に測定し、Ｚ−チルトステージ１３により
補正して、描画中は固定しても良い。Steps S55 and S56: If the ejection direction of the ink jet head 4 or the attitude of the head is inclined, the distance between the substrate 5 and the ink jet head 4 varies as shown in FIG. 4 (5 → 5 ′). ), And the landing position moves (the arrow in FIG. 4 indicates the direction of ink ejection). Therefore, while controlling the Z-tilt stage 13 so that the distance becomes constant by the Z detection optical system 7, the inkjet head 4 scans in the Y direction relative to the substrate 5 to correspond to the pixel column. Ink is ejected from the nozzle to draw a pixel. Depending on the accuracy, these distances and inclinations may be measured when the substrate 5 is mounted, corrected by the Z-tilt stage 13, and fixed during drawing.
【００３２】また、レーザ１０及び超平面ミラー１１
は、レーザ干渉測長系を構成しており、描画走査時の走
査方向（Ｙ方向）の基板位置を計測する。ここで、イン
クジェットヘッド４のインクの着弾位置は、インクジェ
ットヘッド４を装置に取り付けた際にインクを吐出し、
着弾位置検出用光学系８によりＸＹステージ３の基準に
対するずれ量を検出し、ヘッド位置調整ユニット９によ
り調整しておく。Further, the laser 10 and the hyper-planar mirror 11
Constitutes a laser interferometer, and measures the substrate position in the scanning direction (Y direction) during drawing scanning. Here, the ink landing position of the ink jet head 4 is determined by ejecting the ink when the ink jet head 4 is attached to the apparatus.
The displacement amount of the XY stage 3 with respect to the reference is detected by the landing position detection optical system 8 and adjusted by the head position adjustment unit 9.
【００３３】従来のカラーフィルタ製造装置の場合、通
常、インクジェットヘッド４の幅が描画領域よりも狭い
ため、ヘッドユニットを画素列の配列方向にずらしなが
ら複数回走査することで、全領域を描画していた。その
ため、画素列が多くなればなるほど、走査数が増加し、
描画時間が長くなっていた。In the case of the conventional color filter manufacturing apparatus, since the width of the ink jet head 4 is usually smaller than the drawing area, the whole area is drawn by scanning the head unit a plurality of times while shifting the head unit in the arrangement direction of the pixel rows. I was Therefore, as the number of pixel rows increases, the number of scans increases,
The drawing time was long.
【００３４】本発明においては、画素列に対応してヘッ
ドユニットを複数個用いることで、全画素列を同時に走
査して描画することが可能になり、パネルサイズの異な
るカラーフィルタを同じ時間で描画することができる。
以下に、複数個のヘッドユニットの配列構成と、そのノ
ズル位置の調整方法について説明する。In the present invention, by using a plurality of head units corresponding to the pixel rows, it becomes possible to simultaneously scan and draw all pixel rows, and draw color filters of different panel sizes in the same time. can do.
Hereinafter, an arrangement configuration of a plurality of head units and a method of adjusting the nozzle position will be described.
【００３５】図５は、本発明のカラーフィルタ製造装置
の一実施形態の構成を示す概略図である。図中、１０１
は装置搭載用の定盤、１０２は定盤１０１を支持し、外
部振動を遮断するための除振台、１０３は定盤１０１上
に設けられた、大ストローク移動を行うＸＹステージ、
１０４はインクジェットヘッド、１０５はカラーフィル
タを形成する基板、１０７は基板１０５のＸ、Ｙ、θ方
向のアライメント検出用光学系であり、インクの着弾位
置検出手段としての光学系を兼ねている。また、ステー
ジ１０３には、ステージ１０３側からノズルの位置を検
出する手段として、ノズル位置検出機構１１０を備えて
いる。また、１１１はヘッドユニットを支持するユニッ
ト支持機構である。FIG. 5 is a schematic diagram showing the configuration of an embodiment of the color filter manufacturing apparatus of the present invention. In the figure, 101
Is a surface plate for mounting the device, 102 is a vibration isolation table that supports the surface plate 101 and shuts off external vibrations, 103 is an XY stage provided on the surface plate 101 and that performs a large stroke movement,
Reference numeral 104 denotes an inkjet head; 105, a substrate on which a color filter is formed; 107, an optical system for detecting the alignment of the substrate 105 in the X, Y, and θ directions, which also serves as an optical system as ink landing position detecting means. The stage 103 is provided with a nozzle position detecting mechanism 110 as means for detecting the position of the nozzle from the stage 103 side. A unit support mechanism 111 supports the head unit.
【００３６】図６に、ヘッドユニット周辺構造の概略図
を示す。また、図７は図６中のヘッドユニット２０１の
構成例である。図中、２０１はヘッドユニット、２０２
はＸ座標駆動機構、２０３は回転角度設定機構、２０４
はヘッド支持機構である。カラーフィルタは通常、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色で構成されるため、図６、図７に示される
ように、３本一組でヘッド支持機構２０４に取り付けら
れ、ヘッドユニット２０１を構成する。FIG. 6 is a schematic view showing the structure around the head unit. FIG. 7 shows a configuration example of the head unit 201 in FIG. In the figure, 201 is a head unit, 202
Is an X coordinate drive mechanism, 203 is a rotation angle setting mechanism, 204
Is a head support mechanism. Color filters are usually R,
As shown in FIGS. 6 and 7, the head unit 201 is configured as a set of three colors, and the head unit 201 is formed.
【００３７】ヘッドユニット２０１には、インクジェッ
トヘッド１０４を、基板表面の法線方向を軸として回転
させ、画素列ピッチにノズルピッチ或いは１個以上おき
のノズルピッチが対応するように、インクジェットヘッ
ド１０４のノズルの配列方向を画素列の配列方向（Ｘ方
向）に対して傾きを持たせる回転・制御手段を有してお
り、図７においては回転角度設定機構２０３がその回転
・制御手段であり、図７の構成では、ヘッド支持機構２
０４を回転させる構成としているが、各インクジェット
ヘッドを個別に回転させる構成でもかまわない。In the head unit 201, the inkjet head 104 is rotated about the normal direction of the substrate surface as an axis, and the nozzle pitch of the inkjet head 104 or the nozzle pitch of every other nozzle corresponds to the pixel row pitch. A rotation / control means for tilting the nozzle arrangement direction with respect to the pixel row arrangement direction (X direction) is provided. In FIG. 7, a rotation angle setting mechanism 203 is the rotation / control means. 7, the head support mechanism 2
Although the configuration is such that the inkjet heads 04 are rotated, a configuration in which each inkjet head is individually rotated may be employed.
【００３８】また、本発明において望ましくは、ヘッド
ユニット２０１のＸ方向における位置を制御するＸ座標
駆動機構２０２を設けておく。In the present invention, preferably, an X coordinate driving mechanism 202 for controlling the position of the head unit 201 in the X direction is provided.
【００３９】図８は、図５、図６に示したノズル位置検
出機構１１０の構成例であり、ノズル位置検出用光源２
０５とノズル位置検出用カメラ２０６で構成されてい
る。FIG. 8 shows an example of the configuration of the nozzle position detecting mechanism 110 shown in FIGS.
05 and a nozzle position detection camera 206.
【００４０】図９は、図５、図６の装置におけるインク
ジェットヘッド１０４の配置例を示す上面概略図であ
る。図９に示されるように、本発明においては、ヘッド
ユニット２０１（図９においては３本平行配置している
インクジェットヘッド１０４の一組）を、１個おきに走
査方向（Ｙ方向）にずらせた千鳥配列とすることによ
り、隣接するヘッドユニットの回転・制御を互いに干渉
せずに行うことができる。尚、図９の構成では、全ての
インクジェットヘッド１０４が同じ方向に傾いている
が、図１０に示すように、ｎ番目とｎ＋１番目のインク
ジェットヘッド（３０１と３０２、３０２と３０３）の
傾きが逆になるように構成することにより、走査方向の
ヘッド間隔を最小にすることができる。尚、図１０にお
いては、各ヘッドユニットのインクジェットヘッドを便
宜上１本で示した。FIG. 9 is a schematic top view showing an example of the arrangement of the ink jet head 104 in the apparatus shown in FIGS. As shown in FIG. 9, in the present invention, every other head unit 201 (a set of three inkjet heads 104 arranged in parallel in FIG. 9) is shifted in the scanning direction (Y direction). With the staggered arrangement, rotation and control of adjacent head units can be performed without interfering with each other. In the configuration of FIG. 9, all the inkjet heads 104 are inclined in the same direction, but as shown in FIG. 10, the inclinations of the n-th and (n + 1) -th inkjet heads (301 and 302, 302 and 303) are opposite. With such a configuration, the head interval in the scanning direction can be minimized. In FIG. 10, the inkjet head of each head unit is shown as one for convenience.
【００４１】また、上記した千鳥配列のヘッドユニット
においては、ｎ番目のヘッドユニットにおけるｎ＋１番
目のヘッドユニット側の端部のノズルと、ｎ＋１番目の
ヘッドユニットにおけるｎ番目のヘッドユニット側の端
部のノズルが、Ｙ方向同一ライン上に配列し、インクの
着弾位置が重複するように、ヘッドユニットを配置する
ことで、全ての画素列にノズルを対応させることがで
き、且つ、後述するノズル位置調整を行うことでノズル
位置のずれも防止することができ、製造歩留まりを向上
することができる。In the above-described staggered head unit, the nozzle at the end of the (n + 1) -th head unit in the n-th head unit and the nozzle at the end of the (n + 1) -th head unit on the n-th head unit side are arranged. By arranging the head unit so that the nozzles are arranged on the same line in the Y direction and the ink landing positions overlap, the nozzles can correspond to all the pixel rows, and the nozzle position adjustment described later By doing so, it is possible to prevent the nozzle position from shifting, and it is possible to improve the production yield.
【００４２】具体的には、図１０の構成の場合、同じ色
のインクを吐出するインクジェットヘッドについて、３
０１のヘッドの、ヘッド３０２側の端部のノズル３１１
ｂと、ヘッド３０２の、ヘッド３０１側の端部のノズル
３１２ａのＸ方向における位置を合わせ、Ｙ方向同一ラ
イン上に配列するように調整する。このように着弾位置
を重複させるノズルは、いずれも実際に画素列に対応し
たノズルであり、描画の際には、いずれか一方のみを用
いることで、インク吐出の重複を避ける。尚、ここでい
う「端部のノズル」とは、当該ヘッドのノズル配列にお
いて、末端のみならずその近傍のノズルも含めて意味す
るものとする。More specifically, in the case of the configuration shown in FIG.
No. 311 at the end of head No. 01 on the side of head 302
b and the position of the nozzle 312a at the end of the head 302 on the side of the head 301 in the X direction are adjusted, and the nozzles 312a are adjusted to be arranged on the same line in the Y direction. In this manner, the nozzles whose landing positions overlap each other are nozzles actually corresponding to the pixel rows. In drawing, only one of the nozzles is used to avoid overlapping of ink ejection. Here, the term “end nozzle” means not only the end but also the nozzles in the vicinity of the end in the nozzle arrangement of the head.
【００４３】次に、図７、図８、図１０の構成を備えた
図５、図６の装置におけるノズル位置の調整方法につい
て説明する。図１１はその一実施形態のフローチャート
である。Next, a method for adjusting the nozzle position in the apparatus shown in FIGS. 5 and 6 having the structures shown in FIGS. 7, 8 and 10 will be described. FIG. 11 is a flowchart of the embodiment.
【００４４】ステップＳ４００：各ヘッドユニット２０
１を調整後、ユニット支持機構１１１に搭載し、初期設
定条件により回転角度を設定する。この時、千鳥配列の
ヘッドユニット２０１の傾きは走査方向が最小になるよ
うに組み合わせる。次に、ヘッドユニット２０１をＸ軸
方向の初期設定位置に移動させる。Step S400: Each head unit 20
After the adjustment of 1, it is mounted on the unit support mechanism 111 and the rotation angle is set according to the initial setting conditions. At this time, the staggered arrangement of the head units 201 is combined so that the scanning direction is minimized. Next, the head unit 201 is moved to an initial setting position in the X-axis direction.
【００４５】ステップＳ４０１：１番目のヘッドユニッ
トのインクジェットヘッド３０１の吐出に用いる端部の
ノズル３１１ｂのノズル位置を計測する。即ち、図１２
に示すように、ＸＹステージ１０３に取り付けられたノ
ズル位置検出機構１１０が１番目のヘッドユニットのイ
ンクジェットヘッド３０１のノズル３１１ｂの直下に位
置するように、ＸＹステージ１０３を移動させ、ノズル
３１１ｂの位置をＸＹステージ１０３の座標値で測定す
る。Step S401: The nozzle position of the nozzle 311b at the end used for discharging the ink jet head 301 of the first head unit is measured. That is, FIG.
The XY stage 103 is moved so that the nozzle position detection mechanism 110 attached to the XY stage 103 is located immediately below the nozzle 311b of the inkjet head 301 of the first head unit, and the position of the nozzle 311b is changed as shown in FIG. It is measured by the coordinate value of the XY stage 103.
【００４６】ステップＳ４０２：インクジェットヘッド
３０１のノズル３１１ｂに対応させる、２番目のヘッド
ユニットのインクジェットヘッド３０２のノズル３１２
ａの位置を上記ステップＳ４０１と同様に計測する。Step S402: The nozzle 312 of the ink jet head 302 of the second head unit is made to correspond to the nozzle 311b of the ink jet head 301.
The position a is measured in the same manner as in step S401.
【００４７】ステップＳ４０３：ノズル３１１ｂと３１
２ｂのＸ方向の座標が一致するように、２番目のヘッド
ユニットのＸ軸座標駆動機構２０５を駆動し、２番目の
ヘッドユニットのＸ方向における位置を調整する。Step S403: Nozzles 311b and 31
The X-axis coordinate driving mechanism 205 of the second head unit is driven so that the coordinates of the second head unit in the X direction coincide with each other, and the position of the second head unit in the X direction is adjusted.
【００４８】ステップＳ４０４：ノズル３１１ｂと３１
２ｂの位置を再度測定し、Ｘ方向の座標のずれを確認
し、該ずれ量が許容量を超える場合には、再度ステップ
Ｓ４０３に戻って２番目のヘッドユニットの位置を調整
する。Step S404: Nozzles 311b and 31
The position of 2b is measured again, and the deviation of the coordinates in the X direction is confirmed. If the deviation exceeds the allowable amount, the process returns to step S403 again to adjust the position of the second head unit.
【００４９】ステップＳ４０５：同様にして、２番目の
ヘッドユニットのノズル３１２ｂと３番目のヘッドユニ
ットのノズル３１３ａの位置を計測して、３番目のヘッ
ドユニットの位置を調整する。当該工程を以降のヘッド
ユニットにおいても順次行い、全てのヘッドユニットの
ノズルの位置を調整する。Step S405: Similarly, the positions of the nozzles 312b of the second head unit and the nozzles 313a of the third head unit are measured to adjust the position of the third head unit. This process is sequentially performed in the subsequent head units, and the positions of the nozzles of all the head units are adjusted.
【００５０】本発明においては、ノズル位置の調整を、
インクの着弾位置を検出することでも行うことができ
る。以下に当該方法について説明する。In the present invention, the adjustment of the nozzle position is
It can also be performed by detecting the landing position of the ink. Hereinafter, the method will be described.
【００５１】図１３は当該方法の説明のための上面模式
図であり、Ｎ個のヘッドユニット２０１を配列した例で
ある。図中、（ａ）はインクジェットヘッド５１１〜５
Ｎ３の配列を示している。（ｂ）は当該配列のインクジ
ェットヘッドにより同時にインクを吐出した際のインク
の描画領域を模式的に示している。各ヘッドユニット２
０１において、Ｒ、Ｇ、Ｂの各インクジェットヘッド
（例えば、５１１、５１２、５１３）は所定の間隔をお
いて平行配置し、描画すべき画素列は順に配列している
ため、同時に吐出すると、（ｂ）に示したように、Ｘ方
向にずれて描画される。FIG. 13 is a schematic top view for explaining the method, and is an example in which N head units 201 are arranged. In the figure, (a) shows inkjet heads 511 to 5.
2 shows the sequence of N3. (B) schematically shows a drawing area of the ink when the ink is simultaneously ejected by the ink jet heads of the arrangement. Each head unit 2
In FIG. 01, the R, G, and B inkjet heads (for example, 511, 512, and 513) are arranged in parallel at a predetermined interval, and the pixel rows to be drawn are arranged in order. As shown in b), the image is drawn shifted in the X direction.
【００５２】また、図１３（ｃ）は、本形態を実施する
際の好ましいインクの着弾位置を示す模式図であり、ｎ
番目のヘッドユニットとｎ＋１番目のヘッドユニットの
それぞれの同じ色のインクジェットヘッド（例えば、５
１１と５２１）について、着弾位置が重複するようにＸ
方向における位置を一致させたノズルから吐出されたイ
ンクの着弾位置が重複しないように、それぞれＹ方向同
一ライン上でずらせて吐出した様子を示す。具体的に
は、６０１はｎ番目のヘッドユニットのノズルから吐出
されたインク滴を、６０２はｎ＋１番目のヘッドユニッ
トのノズルから吐出されたインク滴を示している。６０
３と６０４、６０５と６０６も同様の関係のインク滴を
示している。FIG. 13C is a schematic view showing a preferred ink landing position when the present embodiment is carried out.
The same color ink jet head (for example, 5th head unit and n + 1th head unit)
11 and 521) so that the landing positions overlap.
This figure shows a state in which the inks ejected from the nozzles whose positions in the direction are matched are shifted on the same line in the Y direction so that the landing positions of the ink ejected from the nozzles do not overlap. Specifically, reference numeral 601 denotes an ink droplet ejected from the nozzle of the n-th head unit, and 602 denotes an ink droplet ejected from the nozzle of the (n + 1) -th head unit. 60
3 and 604, and 605 and 606 also indicate ink droplets having a similar relationship.
【００５３】図１３（ｃ）のようにずらせてインクを吐
出し、図１４に示すように、インクの着弾位置検出手段
を兼ねたアライメント検出用光学系１０７によって、そ
の着弾位置を検出する。図１５に示すように、６０１と
６０２（同様に、６０３と６０４、６０５と６０６）の
Ｘ方向における座標がずれている場合、該座標が一致す
るように、Ｘ座標駆動機構２０２によりｎ＋１番目のヘ
ッドユニットのＸ方向における位置を調整すれば、ノズ
ル位置の調整を行うことができる。同様の工程を、順
次、ｎ＋２番目以降のヘッドユニットに行うことによ
り、全部のヘッドユニットの位置を調整し、ノズル位置
を調整することができる。As shown in FIG. 13C, the ink is ejected while being shifted, and as shown in FIG. 14, the landing position is detected by the alignment detecting optical system 107 also serving as the ink landing position detecting means. As shown in FIG. 15, when the coordinates in the X direction of 601 and 602 (similarly, 603 and 604, and 605 and 606) are shifted, the (X + 1) -th coordinate is set by the X coordinate driving mechanism 202 so that the coordinates match. The nozzle position can be adjusted by adjusting the position of the head unit in the X direction. By sequentially performing the same process for the (n + 2) th head unit and thereafter, the positions of all the head units can be adjusted, and the nozzle positions can be adjusted.
【００５４】上記した、ノズル位置の検出によるノズル
位置調整方法、及び、インクの着弾位置の検出によるノ
ズル位置調整方法は、いずれも一方だけでも良いが、組
み合わせることでさらに正確にノズル位置を調整するこ
とができ、具体的には、ノズル位置の検出によってノズ
ル位置を調整した後に、インクの着弾位置を検出して再
度ノズル位置を調整することが望ましい。The above-described method of adjusting the nozzle position by detecting the nozzle position and the method of adjusting the nozzle position by detecting the landing position of the ink may be either one or the other, but the nozzle position is more accurately adjusted by combining them. Specifically, it is desirable to adjust the nozzle position by detecting the nozzle position, and then detect the ink landing position and adjust the nozzle position again.
【００５５】また、当該ノズル位置の検出によるノズル
位置調整工程は、実際にカラーフィルタを製造する描画
工程とは別に、ノズル位置調整用に装置を用意し、当該
装置において調整した後、ユニット支持機構ごと交換
し、交換時にインクの着弾位置を確認する工程のみを行
うことで、インクジェットヘッドの交換時間を短縮し
て、カラーフィルタの生産性をさらに高めることが可能
となる。Further, in the nozzle position adjusting step by detecting the nozzle position, an apparatus is prepared for nozzle position adjustment separately from the drawing step of actually manufacturing a color filter, and after adjusting in the apparatus, a unit support mechanism is provided. By exchanging the ink jet heads and performing only the step of confirming the ink landing position at the time of the exchange, the exchange time of the ink jet head can be reduced, and the productivity of the color filters can be further increased.
【００５６】[0056]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カラーフィルタの製造において、１種類のインクジェッ
トヘッドでパネルサイズの拡大に対応することができ、
且つ、該拡大に伴う描画時間の増加も防止することがで
きる。また、同じサイズのカラーフィルタの製造におい
ては、より短時間で描画することが可能となる。よっ
て、本発明によれば、カラーフィルタの製造コストを削
減して、より安価にカラー液晶ディスプレイを提供する
事が可能となる。As described above, according to the present invention,
In the production of color filters, one type of inkjet head can respond to the expansion of panel size,
In addition, it is possible to prevent the drawing time from increasing due to the enlargement. Further, in manufacturing color filters of the same size, drawing can be performed in a shorter time. Therefore, according to the present invention, it is possible to reduce the manufacturing cost of the color filter and to provide a color liquid crystal display at lower cost.
【図１】本発明のカラーフィルタ製造装置による描画工
程を説明するための装置の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of an apparatus for explaining a drawing process by a color filter manufacturing apparatus of the present invention.
【図２】図１の装置におけるＸＹステージの詳細図であ
る。FIG. 2 is a detailed view of an XY stage in the apparatus of FIG.
【図３】図１の装置によるカラーフィルタの描画工程の
フローチャートである。FIG. 3 is a flowchart of a drawing process of a color filter by the apparatus of FIG. 1;
【図４】インクの吐出方向が傾きを有する場合の着弾位
置のずれの説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a deviation of a landing position when an ink ejection direction has an inclination.
【図５】本発明のカラーフィルタ製造装置の一実施形態
の構成を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a configuration of an embodiment of a color filter manufacturing apparatus of the present invention.
【図６】図５の装置のヘッドユニット周辺構造の概略図
である。FIG. 6 is a schematic diagram of a structure around a head unit of the apparatus of FIG. 5;
【図７】図６の装置におけるヘッドユニットの構成例を
示す概略図である。FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a configuration example of a head unit in the apparatus of FIG. 6;
【図８】図５、図６の装置におけるノズル位置検出機構
の構成例を示す概略図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing a configuration example of a nozzle position detection mechanism in the apparatus shown in FIGS. 5 and 6;
【図９】図５、図６の装置におけるインクジェットヘッ
ドの配置例を示す上面概略図である。FIG. 9 is a schematic top view showing an example of the arrangement of ink jet heads in the apparatus shown in FIGS. 5 and 6;
【図１０】インクジェットヘッドの傾き方向を互い違い
なるように構成した例を示す概略図である。FIG. 10 is a schematic diagram illustrating an example in which the inclination directions of the inkjet heads are alternately arranged.
【図１１】本発明のノズル位置調整方法の一実施形態の
フローチャートである。FIG. 11 is a flowchart of an embodiment of a nozzle position adjusting method according to the present invention.
【図１２】ノズル位置の検出工程を示す模式図である。FIG. 12 is a schematic view illustrating a process of detecting a nozzle position.
【図１３】本発明のノズル位置調整方法の他の実施形態
の説明のための上面模式図である。FIG. 13 is a schematic top view for explaining another embodiment of the nozzle position adjusting method of the present invention.
【図１４】インクの着弾位置の検出工程を示す模式図で
ある。FIG. 14 is a schematic diagram showing a process of detecting an ink landing position.
【図１５】インクの着弾位置の検出工程を示す模式図で
ある。FIG. 15 is a schematic diagram illustrating a process of detecting an ink landing position.
１、１０１ 定盤 ２、１０２ 除振台 ３、１０３ ＸＹステージ ４、１０４ インクジェットヘッド ５、５’、１０５ 基板 ６、１０７ アライメント検出用光学系 ７ Ｚ検出用光学系 ８ 着弾位置検出用光学系 ９ ヘッド位置調整ユニット １０ 測長用レーザ １１ 測長用超平面ミラー １２ 画素検出用光学系 １３ Ｚ−チルトステージ １４ θステージ １５、１６ 駆動素子 １１０ ノズル位置検出機構 １１１ ユニット支持機構 １２０ インクジェットヘッドの傾き ２０１ ヘッドユニット ２０２ Ｘ座標駆動機構 ２０３ 回転角度設定機構 ２０４ ヘッド支持機構 ２０５ ノズル位置検出用光源 ２０６ ノズル位置検出用カメラ ３０１〜３０３ インクジェットヘッド ３１１ａ〜３１１ｂ ノズル ５１１〜５Ｎ３ インクジェットヘッド ６０１〜６０６ インク滴 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 101 Surface plate 2, 102 Vibration isolation table 3, 103 XY stage 4, 104 Ink jet head 5, 5 ', 105 Substrate 6, 107 Alignment detection optical system 7 Z detection optical system 8 Impact position detection optical system 9 Head position adjustment unit 10 Laser for length measurement 11 Ultra-flat mirror for length measurement 12 Optical system for pixel detection 13 Z-tilt stage 14 θ stage 15, 16 Drive element 110 Nozzle position detection mechanism 111 Unit support mechanism 120 Inclination of inkjet head 201 Head unit 202 X coordinate drive mechanism 203 Rotation angle setting mechanism 204 Head support mechanism 205 Nozzle position detection light source 206 Nozzle position detection camera 301-303 Inkjet head 311a-311b Nozzle 511-5N3 Inkjet head 601-606 Ink droplets
Claims (11)
ンクジェットヘッドを、ステージ上に載置された基板に
対して相対的に走査しながら、複数のノズルから同時に
インクを吐出して上記基板上に上記走査方向とは直交す
る方向に複数配列する着色部を形成するカラーフィルタ
製造装置であって、 上記インクジェットヘッドを複数本平行配置して支持
し、上記基板表面の法線方向を軸として上記インクジェ
ットヘッドを回転・制御する手段を少なくとも有するヘ
ッドユニットを、上記走査方向に対して直交する方向に
複数個、有することを特徴とするカラーフィルタ製造装
置。An ink jet head having a plurality of nozzles arranged in a straight line is scanned relative to a substrate mounted on a stage while simultaneously discharging ink from the plurality of nozzles to discharge the ink from the substrate. A color filter manufacturing apparatus for forming a plurality of colored portions arranged in a direction perpendicular to the scanning direction on the color filter manufacturing apparatus, wherein a plurality of the inkjet heads are arranged and supported in parallel, and an axis is defined by a normal direction of the substrate surface as an axis. An apparatus for manufacturing a color filter, comprising: a plurality of head units having at least means for rotating and controlling the inkjet head in a direction orthogonal to the scanning direction.
て、各ヘッドユニットの位置を制御する手段を備えた請
求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。2. The color filter manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising means for controlling a position of each head unit in a direction orthogonal to the scanning direction.
出手段を備えた請求項１または２に記載のカラーフィル
タ製造装置。3. The color filter manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising means for detecting a landing position of ink ejected on the substrate.
位置を検出する手段を備えた請求項１〜３のいずれかに
記載のカラーフィルタ製造装置。4. The color filter manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising means for detecting a position of the nozzle from a stage on which the substrate is mounted.
走査方向にずらし、互い違いに配列してなる請求項１〜
４のいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置。5. The head unit according to claim 1, wherein the positions of the head units are shifted every other unit in the scanning direction and are alternately arranged.
5. The color filter manufacturing apparatus according to any one of 4.
番目のヘッドユニット側の端部のノズルと、ｎ＋１番目
のヘッドユニットにおけるｎ番目のヘッドユニット側の
端部のノズルが、走査方向同一ライン上に配置してイン
クの着弾位置が重複している請求項５に記載のカラーフ
ィルタ製造装置。6. The (n + 1) -th head unit
The nozzle at the end on the side of the n-th head unit and the nozzle at the end on the n-th head unit side of the (n + 1) -th head unit are arranged on the same line in the scanning direction, and the ink landing positions overlap. Item 6. A color filter manufacturing apparatus according to item 5.
る、ｎ番目のヘッドユニットのインクジェットヘッドの
傾き方向と、ｎ＋１番目のヘッドユニットのインクジェ
ットヘッドの傾き方向とが、同じである請求項３または
４に記載のカラーフィルタ製造装置。7. The inclination direction of the inkjet head of the nth head unit and the inclination direction of the inkjet head of the (n + 1) th head unit with respect to a direction orthogonal to the scanning direction are the same. 2. The color filter manufacturing apparatus according to 1.
る、ｎ番目のヘッドユニットのインクジェットヘッドの
傾き方向と、ｎ＋１番目のヘッドユニットのインクジェ
ットヘッドの傾き方向とが、逆である請求項３または４
に記載のカラーフィルタ製造装置。8. The tilt direction of the inkjet head of the n-th head unit and the tilt direction of the inkjet head of the (n + 1) -th head unit are opposite to the direction orthogonal to the scanning direction.
2. The color filter manufacturing apparatus according to 1.
ィルタ製造装置のノズル位置調整方法であって、各イン
クジェットヘッドのノズルのピッチ或いは少なくとも１
個おきのノズルのピッチが所定のインク着弾位置のピッ
チに対応するように各インクジェットヘッドを回転させ
て走査方向に対して直交する方向に対してインクジェッ
トヘッドを傾け、次いで、着弾位置が重複するｎ番目の
ヘッドユニットのノズルと、ｎ＋１番目のノズルについ
て、走査方向同一ライン上に着弾位置をずらせてインク
を吐出し、走査方向に対して直交する方向における着弾
位置のずれを検出し、該ずれに基づいてｎ＋１番目のヘ
ッドユニットの走査方向に対して直交する方向における
位置を調整することを特徴とするカラーフィルタ製造装
置のノズル位置調整方法。9. A method for adjusting a nozzle position of a color filter manufacturing apparatus according to claim 6, wherein the nozzle pitch of at least one of the inkjet heads is at least one.
Each inkjet head is rotated so that the pitch of every other nozzle corresponds to the pitch of the predetermined ink landing position, and the inkjet head is tilted in a direction orthogonal to the scanning direction. For the nozzle of the head unit and the (n + 1) th nozzle, the ink is ejected by shifting the landing position on the same line in the scanning direction, and the deviation of the landing position in the direction orthogonal to the scanning direction is detected. A nozzle position adjusting method for a color filter manufacturing apparatus, comprising: adjusting a position of a (n + 1) -th head unit in a direction orthogonal to a scanning direction based on the position.
フィルタ製造装置のノズル位置調整方法であって、各イ
ンクジェットヘッドのノズルのピッチ或いは少なくとも
１個おきのノズルのピッチが所定のインク着弾位置のピ
ッチに対応するように各インクジェットヘッドを回転さ
せて走査方向に対して直交する方向に対してインクジェ
ットヘッドを傾け、次いで、着弾位置が重複するｎ番目
のヘッドユニットのノズルと、ｎ＋１番目のノズルにつ
いて、基板を載置したステージ側よりノズル位置の走査
方向に対して直交する方向におけるずれを検出し、該ず
れに基づいてｎ＋１番目のヘッドユニットの走査方向に
対して直交する方向における位置を調整することを特徴
とするカラーフィルタ製造装置のノズル位置調整方法。10. The nozzle position adjusting method for a color filter manufacturing apparatus according to claim 6, wherein the pitch of the nozzles of each inkjet head or the pitch of at least every other nozzle is a predetermined ink landing position. Each inkjet head is rotated so as to correspond to the pitch of the nozzles, and the inkjet head is tilted with respect to the direction orthogonal to the scanning direction. Then, the nozzles of the n-th head unit whose landing positions overlap, and the (n + 1) -th nozzle With respect to the above, a shift in the direction orthogonal to the scanning direction of the nozzle position is detected from the stage side on which the substrate is mounted, and the position in the direction orthogonal to the scanning direction of the (n + 1) th head unit is adjusted based on the shift. A nozzle position adjusting method for a color filter manufacturing apparatus.
置を調整した後に、着弾位置が重複するｎ番目のヘッド
ユニットのノズルと、ｎ＋１番目のノズルについて、走
査方向同一ライン上に着弾位置をずらせてインクを吐出
し、走査方向に対して直交する方向における着弾位置の
ずれを検出し、該ずれに基づいてｎ＋１番目のヘッドユ
ニットの走査方向に対して直交する方向における位置を
調整する請求項１０に記載のカラーフィルタ製造装置の
ノズル位置調整方法。11. After adjusting the position of the (n + 1) -th head unit, the ink of the nozzles of the (n) -th head unit whose landing positions overlap and the (n + 1) -th nozzle are shifted on the same line in the scanning direction. The method according to claim 10, further comprising: detecting a displacement of a landing position in a direction perpendicular to the scanning direction, and adjusting a position of the (n + 1) th head unit in a direction perpendicular to the scanning direction based on the displacement. Nozzle position adjusting method for the color filter manufacturing apparatus of the present invention.
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Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003057432A (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-26 | Ind Technol Res Inst | Ink jet printing device for manufacturing color filter and its method |
| JP2005181476A (en) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | Pattern formation device |
| JP2005181472A (en) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | Pattern forming device and method |
| JP2005534464A (en) * | 2002-05-29 | 2005-11-17 | シュミット リナー アーゲー | How to apply a coating to a surface |
| JP2006043682A (en) * | 2003-12-17 | 2006-02-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Apparatus for forming pattern, head unit and positioning jig |
| JP2006061827A (en) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Seiko Epson Corp | Drawing control method for liquid drop delivery apparatus, liquid drop delivery apparatus, production method electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic component |
| JP2006136879A (en) * | 2004-11-04 | 2006-06-01 | Applied Materials Inc | Device for inkjet head support with inkjet head capable of independently moving in lateral direction and method for the same |
| JP2006205004A (en) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | Pattern forming apparatus, head unit and head positioning method |
| JP2006239976A (en) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | Pattern forming apparatus, and position correcting method |
| JP2006272285A (en) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Shibaura Mechatronics Corp | Ink jet coating device and method |
| JP2007298961A (en) * | 2006-03-24 | 2007-11-15 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for inkjet printing using multiple sets of print heads |
| CN100357102C (en) * | 2004-02-19 | 2007-12-26 | 精工爱普生株式会社 | Ejection device, material coating method, method of manufacturing color filter substrate |
| KR100848162B1 (en) * | 2004-01-19 | 2008-07-23 | 삼성전자주식회사 | A ink-jet printing apparatus and head position adjustment method thereof |
| JP2008229565A (en) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Coating apparatus |
| JP2008268637A (en) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Toppan Printing Co Ltd | Ink discharging printing device |
| JP2009095690A (en) * | 2007-10-12 | 2009-05-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Inkjet head apparatus |
| JP4793884B2 (en) * | 2005-04-25 | 2011-10-12 | 株式会社アルバック | Printing device |
| US8348368B2 (en) | 2009-02-17 | 2013-01-08 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Method for arraying head assemblies of inkjet printer and apparatus for performing the same |
| JP2013132628A (en) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Toray Eng Co Ltd | Coating device |
| US11526076B2 (en) * | 2020-11-18 | 2022-12-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Nanofabrication system with dispensing system for rotational dispensing |
-
2000
- 2000-09-07 JP JP2000270875A patent/JP2002082216A/en not_active Withdrawn
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003057432A (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-26 | Ind Technol Res Inst | Ink jet printing device for manufacturing color filter and its method |
| JP2005534464A (en) * | 2002-05-29 | 2005-11-17 | シュミット リナー アーゲー | How to apply a coating to a surface |
| US7927669B2 (en) | 2002-05-29 | 2011-04-19 | Schmid Rhyner Ag | Method for applying coatings to surfaces |
| JP2005181476A (en) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | Pattern formation device |
| JP2005181472A (en) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | Pattern forming device and method |
| JP2006043682A (en) * | 2003-12-17 | 2006-02-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Apparatus for forming pattern, head unit and positioning jig |
| JP4679895B2 (en) * | 2003-12-17 | 2011-05-11 | 大日本印刷株式会社 | Pattern forming device, head unit |
| KR100848162B1 (en) * | 2004-01-19 | 2008-07-23 | 삼성전자주식회사 | A ink-jet printing apparatus and head position adjustment method thereof |
| CN100357102C (en) * | 2004-02-19 | 2007-12-26 | 精工爱普生株式会社 | Ejection device, material coating method, method of manufacturing color filter substrate |
| JP2006061827A (en) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Seiko Epson Corp | Drawing control method for liquid drop delivery apparatus, liquid drop delivery apparatus, production method electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic component |
| JP4631355B2 (en) * | 2004-08-26 | 2011-02-16 | セイコーエプソン株式会社 | Drawing control method for liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus, and electro-optical device manufacturing method |
| JP2006198607A (en) * | 2004-11-04 | 2006-08-03 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for aligning print head |
| JP2006136879A (en) * | 2004-11-04 | 2006-06-01 | Applied Materials Inc | Device for inkjet head support with inkjet head capable of independently moving in lateral direction and method for the same |
| JP2006205004A (en) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | Pattern forming apparatus, head unit and head positioning method |
| JP2006239976A (en) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | Pattern forming apparatus, and position correcting method |
| JP2006272285A (en) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Shibaura Mechatronics Corp | Ink jet coating device and method |
| JP4793884B2 (en) * | 2005-04-25 | 2011-10-12 | 株式会社アルバック | Printing device |
| JP2007298961A (en) * | 2006-03-24 | 2007-11-15 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for inkjet printing using multiple sets of print heads |
| JP2008229565A (en) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Coating apparatus |
| JP2008268637A (en) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Toppan Printing Co Ltd | Ink discharging printing device |
| JP2009095690A (en) * | 2007-10-12 | 2009-05-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Inkjet head apparatus |
| US8348368B2 (en) | 2009-02-17 | 2013-01-08 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Method for arraying head assemblies of inkjet printer and apparatus for performing the same |
| JP2013132628A (en) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Toray Eng Co Ltd | Coating device |
| US11526076B2 (en) * | 2020-11-18 | 2022-12-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Nanofabrication system with dispensing system for rotational dispensing |
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