JP2002067309A - 液体噴射装置 - Google Patents
液体噴射装置Info
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Abstract
に十分な接着圧力を得られる液体噴射装置を提供する。 【解決手段】 ノズルプレート17と、圧力発生室2な
らびにインク貯留室4が形成されて上記ノズルプレート
17に積層された流路形成部30と、上記流路形成部3
0に積層された振動板11と、上記圧力発生室2に圧力
を発生させる圧電素子6と、上記ノズルプレート17と
流路形成部30と振動板11を含む積層体が貼着される
ケース部材23とを備え、上記積層体のケース部材23
と貼着される領域において、上記積層体に、厚みを有す
るプレート部材としてダンパ室形成板21を含めたこと
により、ケース部材32との接着面の平坦度が確保され
るとともに、ケース部材32と接着する際に十分な接着
圧力を加えることができ、記録ヘッドとケース部材32
との接合強度を十分確保できる。
Description
等によりノズル開口から液体を噴射させる液体噴射装置
に関するものである。
の説明では、インクジェット式記録ヘッドに適用した例
を示し、「記録ヘッド」という)は、一般に、図35に
示すように、上面に圧電素子6が貼着され、上記圧電素
子6に対応する圧力発生室2が形成されたアクチュエー
タユニット1と、ノズル開口3およびインク貯留室4が
形成され上記アクチュエータユニット1の下面に貼着さ
れた流路ユニット5とを備え、上記圧電素子6の振動に
より圧力発生室2に圧力を発生させ、ノズル開口3から
インク滴を吐出させるようになっている。
生室2を形成する空間が形成された圧力発生室形成板1
0と、この圧力発生室形成板10の上面に位置して上記
空間の上面開口を塞ぐ振動板11と、上記圧力発生室形
成板10の下面に位置する連通穴形成板14とを備えて
いる。この連通穴形成板14には、インク貯留室4と圧
力発生室2を連通させる連通穴12と、圧力発生室2と
ノズル開口3を連通させるノズル連通路8とが形成され
ている。
振動板11の上面に、共通の下部電極19が形成されて
いる。そして、上記下部電極19の上面に、平板状の圧
電素子6が形成され、上記圧電素子6の上面には、個別
の上部電極20が形成されている。そして、上記下部電
極19および上部電極20を介して圧電素子6に駆動信
号を入力するようになっている。
室4を形成する空間が形成されたインク貯留室形成板1
6と、ノズル開口3が穿設され、上記インク貯留室形成
板16の下面に位置するノズルプレート17と、上記イ
ンク貯留室形成板16の上面に位置する供給口形成板1
8とから構成されている。上記インク貯留室形成板16
には、圧力発生室2とノズル開口3を連通させるノズル
連通路8が形成されている。また、上記供給口形成板1
8には、インク貯留室4から連通穴12を介して圧力発
生室2にインクを供給するインク供給口9が穿設される
とともに、圧力発生室2とノズル開口3を連通させるノ
ズル連通路8が形成されている。
ンク貯留室4に対応する部分に、インク貯留室4内の圧
力変動を緩和するダンパ室7となる空間が形成されてい
る。そして、上記供給口形成板18とインク貯留室形成
板16との間には、上記ダンパ室7の開口を塞ぐダンパ
板13が挟まれている。
ックスから形成された振動板11,圧力発生室形成板1
0,連通穴形成板14が積層され、一体的に焼成されて
形成されている。一方、上記流路ユニット5は、ステン
レス鋼から形成された供給口形成板18,ダンパ板1
3,インク貯留室形成板16,ノズルプレート17が、
接着剤層15を介して積層されている。そして、アクチ
ュエータユニット1と流路ユニット5とは、接着剤層1
5を介して接合されている。
ッドでは、圧力発生室2はアクチュエータユニット1に
設けられ、圧力発生室2にインクを供給するインク貯留
室4と、圧力発生室2のインクを吐出するノズル開口3
が流路ユニット5に設けられている。しかも、アクチュ
エータユニット1はセラミックス製で流路ユニット5は
ステンレス鋼製である。このため、圧力発生室2とイン
ク貯留室4ならびにノズル開口3を連通させるために複
数のパーツを接着剤で貼り合わせて積層する必要があ
り、構造や製造工程が複雑化してコストアップの要因に
なっている。また、貼り合わせ部の熱収縮率や線膨張係
数の相違により歪や剥離が発生するおそれがある。さら
に、インクがステンレス鋼や接着剤と直接接触するた
め、例えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のあ
るインクや、接着剤を溶出させるようなインクを用いる
ことができず、使用するインクの特性や、適用分野に制
限がある。
ックスで形成したインクジェット式記録ヘッドも検討さ
れている。このようなセラミックス製の記録ヘッドは、
図36に示すように、振動板11,圧力発生室形成板1
0,連通穴形成板14だけでなく、供給口形成板18,
ダンパ板13,インク貯留室形成板16,ノズルプレー
ト17もセラミックスで形成することが考えられる。上
記セラミックス製の記録ヘッドを製造する際には、振動
板11,圧力発生室形成板10,連通穴形成板14,供
給口形成板18,ダンパ板13,インク貯留室形成板1
6,ノズルプレート17に対応するセラミックス材料の
グリーンシートを積層して焼成することにより、接着剤
層15を介さずに各プレートを接合することができると
考えられる。
に、四角筒状のケースが貼着され、上記ケースを介して
インクカートリッジのインクをインク貯留室に供給等す
ることが行なわれる。しかしながら、上記のようなセラ
ミックス製の記録ヘッドでは、グリーンシートの積層体
を焼成することにより製造されるため、振動板11のよ
うな厚みの薄い部材では、反りが生じたり外力によって
破損したりしやすいと考えられる。したがって、ケース
と貼着される部分が厚みの薄いプレートであると、ケー
スとの接着面の平坦度が低下したり、十分な接着圧力が
得られず、記録ヘッドとケースとの接合が不十分となり
やすい。
もので、ケースとの接着面の平坦度を確保するとともに
十分な接着圧力を得られ、記録ヘッドとケースとの接合
強度を十分に確保できる液体噴射装置の提供を目的とす
る。
め、本発明の液体噴射装置は、ノズル開口が穿設された
セラミックス製のノズルプレートと、上記ノズル開口に
連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に供給する
液体を貯留する液体貯留室が形成されて上記ノズルプレ
ートに積層されたセラミックス製の流路形成部と、上記
流路形成部に積層されて圧力発生室の開口を封止するセ
ラミックス製の封止板と、上記圧力発生室に圧力を発生
させる圧力発生素子と、上記ノズルプレートと流路形成
部と封止板を含む積層体が貼着されるケース部材とを備
え、上記積層体のケース部材と貼着される領域におい
て、上記積層体に厚みを有するプレート部材が含まれて
いることを要旨とする。
体のケース部材と貼着される領域において、上記積層体
に厚みを有するプレート部材が含まれている。上記厚み
を有するプレート部材は、焼成による反りが生じにく
く、破損もしにくいため、ケース部材との接着面の平坦
度が確保されるとともに、ケース部材と接着する際に十
分な接着圧力を加えることができる。したがって、記録
ヘッドとケース部材との接合強度を十分確保できるよう
になる。
形成部が、圧力発生室が形成された圧力発生室形成板
と、上記圧力発生室とノズル開口を連通させるノズル連
通路ならびに液体貯留室が形成された液体貯留室形成板
と、上記液体貯留室から圧力発生室に液体を供給する供
給口ならびにノズル開口と圧力発生室を連通させるノズ
ル連通路が形成された供給口形成板を含む場合や、上記
流路形成部が、液体貯留室内の圧力変動を吸収するダン
パ室が形成されたダンパ室形成板と、上記ダンパ室と液
体貯留室との間に挟まれるダンパ板とを含む場合には、
積層構造により、グリーンシートの積層体を焼成するセ
ラミックス製の記録ヘッドを容易に作ることができる。
パ室形成板に、圧力発生室とノズル開口を連通させるノ
ズル連通路ならびに圧力発生室と供給口を連通させる連
通穴が穿設され、厚みを有するプレート部材が上記ダン
パ室形成板である場合には、比較的厚みが必要なダンパ
室形成板を厚みを有するプレート部材とすることによ
り、構造的に無駄がなくシンプルになる。
成板がダンパ板を兼ねている場合には、供給口形成板が
ダンパ板を兼ねることにより、構造がシンプルになる。
室形成板にダンパ室が形成され、この圧力発生室形成板
がダンパ室形成板を兼ねている場合には、圧力発生室形
成板がダンパ板を兼ねることにより構造がシンプルにな
るとともに、記録ヘッドを構成するプレート数も少なく
てすみ、コスト面で有利であり、記録ヘッドの小型化の
面でも有利である。
を有するプレート部材が圧力発生室形成板である場合に
は、比較的厚みが必要な圧力発生室形成板を厚みを有す
るプレート部材とすることにより、構造的に無駄がなく
シンプルになる。
板面に、厚みを有するプレート部材として接着部基板が
積層されている場合には、接着部基板により確実にケー
ス部材との接着面の平坦度を確保するとともに、ケース
部材との接着において十分な接着圧力を加えることがで
きるようになる。
部が、圧力発生室ならびに液体貯留室が形成された流路
形成板と、圧力発生室とノズル開口を連通させるノズル
連通路ならびに液体貯留室の液体を圧力発生室に供給す
る供給口が形成された供給口形成板とを含む場合には、
1枚の流路形成板に圧力発生室と液体貯留室とが形成さ
れていることから、構造がシンプルになるとともに、記
録ヘッドを構成するプレート数も少なくてすみ、コスト
面で有利であり、記録ヘッドの小型化の面でも有利であ
る。
部の液体貯留室に対応する部分の接着部基板に空間が形
成され、上記空間が液体貯留室内の圧力変動を吸収する
ようになっている場合には、上記空間がダンパ室として
機能することから、ダンパ室形成板やダンパ板を積層す
る必要がなく、構造がシンプルになるとともに、記録ヘ
ッドを構成するプレート数も少なくてすみ、コスト面で
有利であり、記録ヘッドの小型化の面でも有利である。
材が全体として略筒状を呈する筒状体であり、上記筒状
体の端面が積層体の周縁部と貼着される場合には、圧力
発生素子をケース部材内に収容して保護できる。
発生室形成板のケース部材と貼着される領域において空
間部が存在しない場合には、ケース部材と貼着される領
域の接着部近傍において空間部が存在しない構造とな
り、ケースと接着する際十分に接着圧力を加えることが
できる。
するプレート部材の厚みが20μm以上である場合に
は、ケース部材との接着面の平坦度が十分確保されると
ともに、ケース部材と接着する際に十分な接着圧力を加
えることができる。
しく説明する。
の基本構造を示す図である。この実施の形態では、本発
明の液体噴射装置をインクジェット式記録ヘッドに適用
した例を示している。この記録ヘッドは、ノズル開口3
が穿設されたノズルプレート17と、上記ノズル開口3
から吐出されるインクの流路が形成されて上記ノズルプ
レート17の上に積層された流路形成部30と、上記流
路形成部30の上に積層された振動板(封止板)11と
を備えている。
に連通する圧力発生室2が形成された圧力発生室形成板
10と、上記圧力発生室2に供給するインクが貯留され
るインク貯留室4が形成されたインク貯留室形成板16
と、上記インク貯留室4内の圧力変動を吸収するダンパ
室7が形成されたダンパ室形成板21とを備えている。
室4の上部開口を塞ぐとともに、インク貯留室4に貯留
されたインクを圧力発生室2に供給するインク供給口9
が穿設された供給口形成板18を備えている。この供給
口形成板18は、ダンパ室7とインク貯留室4に挟まれ
てダンパ室7の下部開口を塞ぎ、インク貯留室4内の圧
力変動によって弾性変形することにより、上記圧力変動
をダンパ室7に逃がすダンパ板としても機能する。
レート17側から、インク貯留室形成板16,供給口形
成板18,ダンパ室形成板21,圧力発生室形成板10
の順に積層されて構成されている。ここで、上記インク
貯留室形成板16,供給口形成板18,ダンパ室形成板
21には、それぞれ、ノズル開口3と圧力発生室2とを
連通させるノズル連通路8が穿設されている。また、ダ
ンパ室形成板21には、インク供給口9と圧力発生室2
とを連通させる連通穴12が穿設されている。
の下部電極19が形成されている。この下部電極19の
各櫛歯部19Aは、それぞれ圧力発生室2の上部を覆う
部分に形成されている。また、上記下部電極19の各櫛
歯部19A上面に、それぞれ平板状の圧電素子6が形成
され、上記圧電素子6の上面には、個別の上部電極20
が形成されている。上記上部電極20および下部電極1
9を介して各圧電素子6に駆動信号を印加するようにな
っている。
部30が積層され、この流路形成部30上に、圧電素子
6,下部電極19および上部電極20が形成された振動
板11が積層されている。さらに、ノズルプレート1
7,流路形成部30,振動板11の積層体の上面周縁部
に、四角筒状のケース部材23の端面が貼着されてい
る。図において、26はインクカートリッジ(図示せ
ず)等からインク貯留室4にインクを補給するインク補
給口、39は上記インク補給口26に連通するインク補
給路である。
動信号が印加されると、圧電素子6が横方向に収縮す
る。このとき、圧電素子6の振動板11に固定された下
面側は収縮せず、上面側だけが収縮するため、圧電素子
6および振動板11が下方にたわみ、圧力発生室2を圧
縮する。そして、圧力発生室2内の圧力上昇により、圧
力発生室2内のインクがノズル開口3からインク滴とし
て吐出され、記録紙等にドットが形成されて印刷が行わ
れる。ついで、圧電素子6が放電されて元の状態に戻る
と、圧力発生室2内が減圧され、インク貯留室4からイ
ンク供給口9を通して圧力発生室2へ新しいインクが供
給される。
面図を示す。図3は、ノズルプレート17であり、図4
は、上記ノズルプレート17にインク貯留室形成板16
が積層された状態、図5は、さらに供給口形成板18が
積層された状態、図6は、さらにダンパ室形成板21が
積層された状態、図7は、さらに圧力発生室形成板10
が積層された状態、図8は、さらに振動板11が積層さ
れた状態、図9は、さらに下部電極19が積層された状
態、図10は、さらに圧電素子6が積層された状態(下
部電極19は示していない)、図11は、さらに上部電
極20が積層された状態(下部電極19と圧電素子6は
示していない)、図12は、さらに端子31が積層され
た状態である(下部電極19,圧電素子6および上部電
極20は示していない)。また、図13は、上記各プレ
ートの積層体の透視図である。各図において、22は、
各プレートを積層する際に位置決めを行なう位置決め穴
である。また、図13において、斜線部32は、ケース
部材23が貼着される領域を示している。
の列をなすように列設されている。そして、下部電極1
9の各櫛歯部19A先端は、端子嵩上げ部材27の上に
配置されるとともに、圧力発生室2の列の両端部を除く
各櫛歯部19A先端は、絶縁部29によって絶縁されて
いる。そして、圧力発生室2の列の両端部に位置する櫛
歯部19A先端は、下部電極19に駆動信号を入力する
際の共通端子28として用いられる。したがって、各共
通端子28に対応する列両端部の圧力発生室2Aは駆動
されることがなく、インク滴を吐出しないようになって
いる。
板18,インク貯留室形成板16それぞれの、列両端部
の圧力発生室2Aに対応する部分には、それぞれノズル
連通路8が形成されていない。また、供給口形成板18
の、列両端部の圧力発生室2Aに対応する部分にはイン
ク供給口9および連通穴12が形成されておらず、ノズ
ルプレート17の、列両端部の圧力発生室2Aに対応す
る部分にはノズル開口3が形成されていない。
は、ノズル開口3およびインク貯留室4と連通せず、イ
ンク流路以外の独立空間となっている。一方、ダンパ室
7も、インク流路と連通しない流路以外の独立空間とな
っている。
ート17、流路形成部30(インク貯留室形成板16,
供給口形成板18,ダンパ室形成板21,圧力発生室形
成板10)、振動板11がすべてセラミックスから形成
されている。
のようにしてつくられる。すなわち、まず、セラミック
スのグリーンシートを準備し、上記グリーンシートを打
ち抜いて、ノズルプレート17,インク貯留室形成板1
6,供給口形成板18,ダンパ室形成板21,圧力発生
室形成板10,振動板11にそれぞれ対応するプレート
を形成する。このとき、インク貯留室4,ダンパ室7,
インク供給口9,圧力発生室2,ノズル連通路8,連通
穴12にそれぞれ対応する空間を打ち抜き等で形成して
おく。
貯留室形成板16,供給口形成板18,ダンパ室形成板
21,圧力発生室形成板10,振動板11に対応するグ
リーンシートを所定の順序で積層したのち焼成すること
により、接着剤を介することなくセラミックスで一体的
に形成された記録ヘッドを得ることができる。
23が貼着される領域である斜線部32において、各プ
レートの積層体に、厚みを有するプレート部材として圧
力発生室形成板10が積層されている。すなわち、ダン
パ室形成板21を圧力発生室形成板10とインク貯留室
形成板16の間に位置させることにより、圧力発生室形
成板10を、厚みを有するプレート部材として機能させ
ている。このようにすることにより、上記厚みを有する
ダンパ室形成板21は、焼成による反りが生じにくく、
破損もしにくいため、ケース部材23との接着面の平坦
度が確保されるとともに、ケース部材23と接着する際
十分に接着圧力を加えることができる。
としては、少なくとも20μm以上に設定するのが好ま
しい。上記厚み寸法としてより好ましいのは、50μm
以上であり、もっとも好ましいのは80μm以上であ
る。上記厚み寸法が20μm未満では、焼成による反り
が生じやすく、破損もしやすくなるため、ケース部材2
3との接着面の平坦度が確保できず、ケース部材23と
接着する際十分な接着圧力を加えることができなくなる
からである。
インク貯留室形成板16と供給口形成板18とダンパ室
形成板21の積層順序として、まず、供給口形成板18
の上にダンパ室形成板21を積層して上下に圧力を加え
て圧着したのち、供給口形成板18の下面にインク貯留
室形成板16を積層して上下に圧力を加えて圧着するの
が好ましい。このようにすることにより、この例のよう
にインク貯留室4よりダンパ室7が小さくても、供給口
形成板18とダンパ室形成板21とがあらかじめ密着さ
れることから、インク貯留室4に対応する空間部におけ
る供給口形成板18とダンパ室形成板21の密着不良が
生じない。
力発生室2Aおよびダンパ室7が、インク流路と連通し
ない流路以外の独立空間となっているため、これらの独
立空間を閉塞状態で存在させると、グリーンシートを積
層する工程で上記独立空間内の空気が十分逃げない。そ
して、積層体を焼成する工程では、上記独立空間内に閉
じ込められた空気が膨張し、独立空間周辺のプレートの
接合部に歪が生じ、プレート同士が十分接合されなかっ
たり接合部が剥離しやすい。
10より上側に積層されるプレートには、その上記ダン
パ室7に対応する箇所に、独立空間であるダンパ室7を
外部と連通させる第2外部連通孔25が穿設され、上記
ダンパ室7をノズルプレート17と反対側に大気開放さ
せるようになっている。また、圧力発生室形成板10よ
り上側に積層されるプレートに独立空間である圧力発生
室2Aを外部と連通させる第1外部連通孔24が穿設さ
れ、ダンパ室形成板21に上記第1外部連通孔24と独
立空間である圧力発生室2Aとを連通させる長孔38が
形成され、上記圧力発生室2Aをノズルプレート17と
反対側に大気開放させるようになっている。ここで、圧
力発生室2Aの上側には上部電極20,下部電極19や
圧電素子6が積層されていることから、第2外部連通孔
25のように直接外部に連通させることが困難である。
したがって、長孔38を形成させることにより、上部電
極20,下部電極19や圧電素子6が存在しないところ
まで連通路を延長させているのである。
力発生室2Aやダンパ室7のようなインク流路ではない
独立空間が存在したとしても、上記独立空間は、第1お
よび第2外部連通孔24,25を介して大気開放される
ため、グリーンシートを積層する段階で独立空間内の空
気が十分逃げ、積層体を焼成する段階で独立空間内に閉
じ込められた空気が膨張しても上記第1および第2外部
連通孔24,25から空気が排出される。したがって、
独立空間周辺のプレートの接合部に歪が生じたり、プレ
ート同士の接合が不十分になるようなことがほとんどな
くなる。
4,25をノズルプレート17と反対側に開口させてい
るため、第1および第2外部連通孔24,25からダン
パ室7等にインクが進入してダンパ効果に支障をきたす
等の不具合が生じない。しかも、列設された圧力発生室
2の列の両端部に位置する圧力発生室2Aをノズル開口
3と連通させず、インク滴を吐出しないようにしたこと
により、インク滴が吐出される圧力発生室2が必ず両側
を他の圧力発生室2,2Aで挟まれることとなり、イン
ク滴を吐出する圧力発生室2が製造上安定して得られ、
吐出特性も安定する。
クス材料としては、特に限定するものではなく、各種の
材料を用いることができる。例えば、炭化珪素,炭化チ
タン,炭化クロム,炭化ニオブ,炭化バナジウム,炭化
ジルコニウム,炭化モリブデン,炭化ボロン等の各種炭
化物、酸化ジルコニウム(ジルコニア),酸化アルミニ
ウム,酸化マグネシウム,酸化珪素,酸化チタン,酸化
ベリリウム等の各種酸化物、窒化アルミニウム,,窒化
珪素,窒化ベリリウム,窒化ボロン等の各種窒化物,ほ
う化ジルコニウム,ほう化クロム,ほう化チタン等の各
種ほう化物、サイアロン等のような複合化合物等をあげ
ることができる。これらは、単独でもしくは併せて用い
られる。これらのなかでも、ジルコニアは、機械的強度
や靭性に優れるうえ耐食性にも優れ、液体噴射装置を構
成する材料として好適である。
じにくく、破損もしにくいため、ケース部材23との接
着面の平坦度が確保されるとともに、ケース部材23と
接着する際十分に接着圧力を加えることができる。した
がって、記録ヘッドとケース部材23との十分な接合強
度を確保できる。しかも、比較的厚みが必要な圧力発生
室形成板10を厚みを有するプレート部材とすることに
より、構造的に無駄がなくシンプルになるうえ、供給口
形成板18がダンパ板として機能するため、構造がさら
にシンプルになる。
0,振動板11,ノズルプレート17がそれぞれセラミ
ックスから形成されているため、インクと接触する流路
がすべてセラミックスから形成されることとなり、流路
の耐インク性が飛躍的に向上する。したがって、使用す
るインクの種類に制限を受けず、例えば、ステンレス鋼
に対してエッチング作用のあるインクや、接着剤を溶出
させるようなインクも使用でき、使用するインクの特性
に制限がほとんどなくなる。また、流路の化学的安定性
が向上して有機物の溶出等がなくなるため、例えば、食
品分野や医療分野等にも使用できるようになり、適用分
野の制限もほとんどなくなる。
成部30,振動板11,ノズルプレート17の積層体
が、接着層を介さずに一体的に形成されているため、貼
り合わせの作業が不要になるうえ、熱収縮率や線膨張係
数の相違による歪の発生や剥離のおそれがない。さら
に、積層構造であるため、セラミックスのグリーンシー
トからの製造に適している。
体噴射装置を示す。 ここで、図15〜図23に、各プ
レートの平面図を示す。図15は、ノズルプレート17
であり、図16は、上記ノズルプレート17にインク貯
留室形成板16が積層された状態、図17は、さらに供
給口形成板18が積層された状態、図18は、さらに圧
力発生室形成板10が積層された状態、図19は、さら
に振動板11が積層された状態、図20は、さらに下部
電極19が積層された状態、図21は、さらに圧電素子
6が積層された状態(下部電極19は示していない)、
図22は、さらに上部電極20が積層された状態(下部
電極19と圧電素子6は示していない)、図23は、さ
らに端子31が積層された状態である(下部電極19,
圧電素子6および上部電極20は示していない)。ま
た、図24は、上記各プレートの積層体の透視図であ
る。図24において、斜線部32は、ケース部材23が
貼着される領域を示している。
ンパ室形成板21がなく、圧力発生室形成板10のイン
ク貯留室4に対応する部分にダンパ室7が形成されてい
る。また、圧力発生室形成板10のケース部材23と貼
着される領域である斜線部32に対応する部分に、ダン
パ室7が存在していない。さらに、インク貯留室形成板
16に肉抜き部33が形成され、供給口形成板18より
上側に積層されるプレートには、上記肉抜き部33内を
外部と連通させる第3外部連通孔34が穿設されてい
る。それ以外は、上記第1の実施の形態と同様であり、
同様の部分には同じ符号を付している。
0のケース部材23と貼着される領域の近傍において空
間部が存在しない構造であり、ケース部材23と接着す
る際十分に接着圧力を加えることができる。また、圧力
発生室形成板10にダンパ室7が形成され、この圧力発
生室形成板10がダンパ室形成板を兼ねているため、構
造がシンプルになるとともに、記録ヘッドを構成するプ
レート数も少なくてすみ、コスト面で有利であり、記録
ヘッド小型化の面でも有利である。しかも、インク貯留
室形成板16に肉抜き部33を設けたため、インク貯留
室形成板16の肉厚が全体に均一に近くなり、焼成時の
反りを防止できる。それ以外は、上記第1の実施の形態
と同様の作用効果を奏する。
体噴射装置を示す。 ここで、図26〜図33に、各プ
レートの平面図を示す。図26は、ノズルプレート17
であり、図27は、上記ノズルプレート17に供給口形
成板18が積層された状態、図28は、さらに流路形成
板35が積層された状態、図29は、さらに振動板11
および接着部基板36が積層された状態、図30は、さ
らに下部電極19が積層された状態、図31は、さらに
圧電素子6が積層された状態(下部電極19は示してい
ない)、図32は、さらに上部電極20が積層された状
態(下部電極19と圧電素子6は示していない)、図3
3は、さらに端子31が積層された状態である(下部電
極19,圧電素子6および上部電極20は示していな
い)。また、図34は、上記各プレートの積層体の透視
図である。図34において、斜線部32は、ケース部材
23が貼着される領域を示している。
圧力発生室2ならびにインク貯留室4が形成された流路
形成板35と、圧力発生室2とノズル開口3を連通させ
るノズル連通路8ならびにインク貯留室4のインクを圧
力発生室2に供給する供給口9が形成された供給口形成
板18とが積層されてなる。また、振動板11の板面
に、厚みを有するプレート部材として接着部基板36が
積層されている。この接着部基板36は、ケース部材2
3が貼着される領域に対応する枠状を呈している。さら
に、振動板11上部のインク貯留室4に対応する部分に
空間37が形成され、インク貯留室4内の圧力変動によ
り振動板11が弾性変形して上記空間37が上記圧力変
動を吸収するようになっている。それ以外は、上記第1
の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を
付している。
して接着部基板36を積層していることから、接着部基
板36により確実にケース部材23との接着面の平坦度
を確保するとともに、ケース部材23との接着において
十分な接着圧力を加えることができる。また、1枚の流
路形成板35に圧力発生室2とインク貯留室4とが形成
されているとともに、振動板11上部の空間37がダン
パ室として機能することから、ダンパ室形成板やダンパ
板を積層する必要がなく、構造がシンプルになるととも
に、記録ヘッドを構成するプレート数も少なくてすみ、
コスト面で有利であり、記録ヘッドの小型化の面でも有
利である。さらに、振動板11がダンパ板として機能す
ることから、ダンパ効果に優れている。それ以外は、上
記第1の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
み振動モードの圧電振動子が用いられたインクジェット
式記録ヘッドに適用した例を示したが、これに限定する
ものではなく、縦振動モードの圧電振動子が用いられた
インクジェット式記録ヘッドに適用することもできる
し、圧力発生素子として流路内のインクを加熱する加熱
素子が用いられた記録ヘッドに適用することも可能であ
る。
体噴射装置を、インクジェット式記録ヘッドに適用した
例を示したが、これに限定するものではなく、例えば、
吐出する液体をガソリン等の燃料とし、内燃機関の燃料
噴射装置として用いることもできる。さらに、透明基板
上にマトリックス状に形成された透明電極の上に有機発
光層を形成する表示体の、有機発光層の形成等にも応用
することができる。このように、本発明の液体噴射装置
では、噴射する液体として各種の液体を適用することが
でき、各種の産業分野に応用することが可能である。
よれば、積層体のケース部材と貼着される領域におい
て、上記積層体に厚みを有するプレート部材が含まれて
いることから、上記厚みを有するプレート部材は、焼成
による反りが生じにくく、破損もしにくいため、ケース
部材との接着面の平坦度が確保されるとともに、ケース
部材と接着する際に十分な接着圧力を加えることができ
る。したがって、記録ヘッドとケースとの接合強度を十
分確保できるようになる。
本構造を示す分解斜視図である。
示す平面図である。
層された状態を示す平面図である。
面図である。
平面図である。
す平面図である。
ある。
である。
図である。
図である。
ある。
A−A断面図である。
示す平面図である。
積層された状態を示す平面図である。
平面図である。
示す平面図である。
である。
図である。
図である。
図である。
ある。
A−A断面図である。
示す平面図である。
れた状態を示す平面図である。
面図である。
状態を示す平面図である。
図である。
図である。
図である。
ある。
る。
Claims (13)
- 【請求項1】 ノズル開口が穿設されたセラミックス製
のノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発
生室ならびに上記圧力発生室に供給する液体を貯留する
液体貯留室が形成されて上記ノズルプレートに積層され
たセラミックス製の流路形成部と、上記流路形成部に積
層されて圧力発生室の開口を封止するセラミックス製の
封止板と、上記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生
素子と、上記ノズルプレートと流路形成部と封止板を含
む積層体が貼着されるケース部材とを備え、上記積層体
のケース部材と貼着される領域において、上記積層体に
厚みを有するプレート部材が含まれていることを特徴と
する液体噴射装置。 - 【請求項2】 上記流路形成部が、圧力発生室が形成さ
れた圧力発生室形成板と、上記圧力発生室とノズル開口
を連通させるノズル連通路ならびに液体貯留室が形成さ
れた液体貯留室形成板と、上記液体貯留室から圧力発生
室に液体を供給する供給口ならびにノズル開口と圧力発
生室を連通させるノズル連通路が形成された供給口形成
板を含む請求項1記載の液体噴射装置。 - 【請求項3】 上記流路形成部が、液体貯留室内の圧力
変動を吸収するダンパ室が形成されたダンパ室形成板
と、上記ダンパ室と液体貯留室との間に挟まれるダンパ
板とを含む請求項2記載の液体噴射装置。 - 【請求項4】 上記ダンパ室形成板に、圧力発生室とノ
ズル開口を連通させるノズル連通路ならびに圧力発生室
と供給口を連通させる連通穴が穿設され、厚みを有する
プレート部材が上記ダンパ室形成板である請求項3記載
の液体噴射装置。 - 【請求項5】 供給口形成板がダンパ板を兼ねている請
求項3または4記載の液体噴射装置。 - 【請求項6】 圧力発生室形成板にダンパ室が形成さ
れ、この圧力発生室形成板がダンパ室形成板を兼ねてい
る請求項3記載の液体噴射装置。 - 【請求項7】 上記厚みを有するプレート部材が圧力発
生室形成板である請求項2〜6のいずれか一項に記載の
液体噴射装置。 - 【請求項8】 振動板の板面に、厚みを有するプレート
部材として接着部基板が積層されている請求項1記載の
液体噴射装置。 - 【請求項9】 流路形成部が、圧力発生室ならびに液体
貯留室が形成された流路形成板と、圧力発生室とノズル
開口を連通させるノズル連通路ならびに液体貯留室の液
体を圧力発生室に供給する供給口が形成された供給口形
成板とを含む請求項8記載の液体噴射装置。 - 【請求項10】 振動板上部の液体貯留室に対応する部
分の接着部基板に空間が形成され、上記空間が液体貯留
室内の圧力変動を吸収するようになっている請求項9記
載の液体噴射装置。 - 【請求項11】 ケース部材が全体として略筒状を呈す
る筒状体であり、上記筒状体の端面が積層体の周縁部と
貼着される請求項1〜10のいずれか一項に記載の液体
噴射装置。 - 【請求項12】 上記圧力発生室形成板のケース部材と
貼着される領域において空間部が存在しない請求項1〜
3のいずれか一項に記載の液体噴射装置。 - 【請求項13】 厚みを有するプレート部材の厚みが2
0μm以上である請求項1〜12のいずれか一項に記載
の液体噴射装置。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006123309A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
JP2009220557A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-10-01 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009241579A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2011171446A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp用研磨液及びこれを用いた研磨方法 |
JP2013157614A (ja) * | 2008-12-11 | 2013-08-15 | Hitachi Chemical Co Ltd | Cmp用研磨液及びこれを用いた研磨方法 |
JP2014193448A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Seiko Epson Corp | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
JP2015006755A (ja) * | 2013-06-25 | 2015-01-15 | セイコーエプソン株式会社 | 流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置 |
JPWO2012165378A1 (ja) * | 2011-05-28 | 2015-02-23 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08169111A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-07-02 | Seiko Epson Corp | 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 |
JPH0999557A (ja) * | 1995-10-06 | 1997-04-15 | Seiko Epson Corp | インクジェット式印字ヘッド |
JPH09239978A (ja) * | 1996-03-07 | 1997-09-16 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
JPH11138801A (ja) * | 1997-11-06 | 1999-05-25 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
JP2000141649A (ja) * | 1998-11-11 | 2000-05-23 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
-
2000
- 2000-08-24 JP JP2000254362A patent/JP4724905B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08169111A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-07-02 | Seiko Epson Corp | 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 |
JPH0999557A (ja) * | 1995-10-06 | 1997-04-15 | Seiko Epson Corp | インクジェット式印字ヘッド |
JPH09239978A (ja) * | 1996-03-07 | 1997-09-16 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
JPH11138801A (ja) * | 1997-11-06 | 1999-05-25 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
JP2000141649A (ja) * | 1998-11-11 | 2000-05-23 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006123309A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
JP4662023B2 (ja) * | 2004-10-28 | 2011-03-30 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2009220557A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-10-01 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009241579A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2013157614A (ja) * | 2008-12-11 | 2013-08-15 | Hitachi Chemical Co Ltd | Cmp用研磨液及びこれを用いた研磨方法 |
JP2013175731A (ja) * | 2008-12-11 | 2013-09-05 | Hitachi Chemical Co Ltd | Cmp用研磨液及びこれを用いた研磨方法 |
JP2011171446A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp用研磨液及びこれを用いた研磨方法 |
JPWO2012165378A1 (ja) * | 2011-05-28 | 2015-02-23 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置 |
JP2014193448A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Seiko Epson Corp | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
JP2015006755A (ja) * | 2013-06-25 | 2015-01-15 | セイコーエプソン株式会社 | 流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置 |
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