JP2002067146A - Apparatus and method for manufacturing clean film - Google Patents

Apparatus and method for manufacturing clean film

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JP2002067146A
JP2002067146A JP2000255663A JP2000255663A JP2002067146A JP 2002067146 A JP2002067146 A JP 2002067146A JP 2000255663 A JP2000255663 A JP 2000255663A JP 2000255663 A JP2000255663 A JP 2000255663A JP 2002067146 A JP2002067146 A JP 2002067146A
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clean
fine dust
suction
immediately
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Mikiro Yamaguchi
幹郎 山口
Takashi Uno
高史 鵜野
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Toppan Printing Co Ltd
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    • B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and a method for manufacturing a clean film reduced in the adhesion of fine dust or the like and requiring high-degree cleanliness. SOLUTION: In an inflation type melt extrusion molding apparatus for extruding a molten resin from a circular die 10 to firm a film 11, an inner surface suction part 20 is provided to the inner surface 11a immediately after extruded from the circular die 10, an inner surface blowing part 22 for blowing clean air to the inner surface of the film is provided immediately after the inner surface suction part 20, an outer surface suction part 30 is provided to the outer surface 11b of the film immediately after extruded from the circular die 10, and an outer surface blowing part 32 for blowing clean air to the outer surface 11b of the film is provided immediately after the outer surface suction part 30 to constitute the clean film manufacturing apparatus 100.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、微塵埃（パーティ
クル）等を嫌う電子部品等の包装に用いるクリーンフィ
ルムの製造装置とそれを用いた製造方法に関するもので
あり、特にインフレーション式（円形ダイ式ともいう）
溶融押出成形法でクリーンフィルムとする製造装置と製
造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for producing a clean film used for packaging electronic parts and the like which do not like fine dust (particles) and a production method using the same, and particularly to an inflation type (circular die type). Also called)
The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method for forming a clean film by a melt extrusion molding method.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、プラスチックフィルムの製造方法
の一つとして、ポリエチレンやポリプロピレンなどの溶
融樹脂を環状（チューブ状）に押し出し、引き伸ばしな
がら封筒状に巻き取るインフレーション式溶融押出成形
法（円形ダイ式ともいう）が知られ、その代表的な構成
は、溶融樹脂を円形ダイの押出口から上に向かってチュ
ーブ状に押し出しを行い、上側で封筒状に押しつぶしな
がら巻き取りを行っている。この円形ダイの押出口から
封筒状に押しつぶすまでの間のフィルムの形状は円筒状
となっている。この円筒状の部分は、円筒内部に空気が
吹き込まれており円筒がつぶれないようになっている。
この円筒状の部分で押し出された樹脂の自然冷却が行わ
れ、場合によっては延伸が行われる。2. Description of the Related Art Conventionally, as one method of manufacturing a plastic film, an inflation type melt extrusion molding method (a circular die type) in which a molten resin such as polyethylene or polypropylene is extruded in a ring shape (tube shape) and wound up in an envelope shape while being stretched. In a typical configuration, the molten resin is extruded in a tube shape upward from an extrusion opening of a circular die, and is wound while being crushed in an envelope shape on the upper side. The shape of the film from the extrusion opening of the circular die to the crushing into the envelope shape is cylindrical. In this cylindrical portion, air is blown into the cylinder so that the cylinder is not crushed.
The resin extruded in the cylindrical portion is naturally cooled, and in some cases, stretched.

【０００３】上記プラスチックフィルムは、食品等いろ
いろな物の包装に使われているが、これら包装される内
容物と接触する面は、インフレーション式溶融押出成形
法で製造されたフィルムを包装材に使用する場合、フィ
ルム成形時に円筒内面になっている面を、包装される内
容物に接するように使用されていることが多い。これは
フィルム内面は、製造環境の外気と直接的に接しないた
め、外部の機械類などの油ミストや、外気の粉塵の影響
が少なく、フィルム内面には微塵埃等の付着が少ないか
らと考えられているからである。[0003] The plastic film is used for packaging various things such as foods, and the surface which comes into contact with the contents to be packaged is made of a film produced by an inflation type melt extrusion molding method. In many cases, the inner surface of the cylinder during film formation is used so as to contact the contents to be packaged. This is because the inner surface of the film does not come into direct contact with the outside air in the manufacturing environment, so there is little effect of oil mist from external machinery and dust from the outside air, and there is little adhesion of fine dust etc. on the inner surface of the film. Because it is

【０００４】しかしながら、前記インフレーション式溶
融押出成形法の場合、押出し成形時以外でフィルム内面
へ微塵埃等が付着することは少ないが、従来のインフレ
ーション式溶融押出成形装置では、内部へ吹き込む空気
は機械の油ミストや製造所の微塵埃等を含んだまま送風
機やブロアで送り込まれることが多く、それらがフィル
ム内面へ付着することが多い事が知られている。またフ
ィルム外面は、そのまま製造所の外気環境にさらされて
おり、やはり機械の油ミストや製造所の微塵埃が付着す
ることが多い。However, in the case of the inflation-type melt extrusion molding method, it is unlikely that fine dust and the like adhere to the inner surface of the film except at the time of extrusion molding. However, in the conventional inflation-type melt extrusion molding apparatus, the air blown into the inside is mechanical. It is often known that oil mist and fine dust from a factory are sent by a blower or a blower, and that they often adhere to the inner surface of the film. In addition, the outer surface of the film is directly exposed to the outside air environment of the factory, and the oil mist of the machine and the fine dust of the factory often adhere thereto.

【０００５】一方、押出し樹脂に由来する微塵埃とし
て、例えばポリエチレン樹脂は押出し後フィルム状に成
形されるが、すべての樹脂がフィルムを構成する高分子
量になるわけではなく、数％程度は低分子量のポリエチ
レンとして存在している。押し出されたフィルム内部の
空気に樹脂臭がするのはこの低分子量の樹脂がモノマー
ガスとして発生するためである。また押出し直後の溶融
樹脂周辺から蒸気の様な物が立ち登るのも、このモノマ
ーガスと考えられている。これらが微塵埃（パーティク
ル）としてフィルムへ付着することも知られている。On the other hand, as fine dust derived from the extruded resin, for example, polyethylene resin is formed into a film after extrusion, but not all resins have a high molecular weight constituting the film. Exists as polyethylene. The reason why the air inside the extruded film has a resin smell is that this low molecular weight resin is generated as a monomer gas. It is also considered that the monomer gas is such that vapor-like substances rise from around the molten resin immediately after extrusion. It is also known that these adhere to the film as fine dust (particles).

【０００６】また先端に円形ダイを有する押出機の押出
口の形状は、樹脂が滞留しにくいように構成されている
が、若干の滞留が常に確認されていて、この滞留により
樹脂に過大な熱が加わり続け、樹脂の酸化、分解や炭化
が発生し、これらが微塵埃となってフィルム面へ付着す
ることも知られている。[0006] The shape of the extrusion port of an extruder having a circular die at the tip is designed so that the resin does not easily stay. However, a slight stay is always observed. It is also known that oxidization, decomposition and carbonization of the resin occur, and these become fine dust and adhere to the film surface.

【０００７】またエレクトロニクス関連分野に使用され
るフィルム用の樹脂は、酸化防止剤や、その他の添加物
の少ない樹脂が使われている事が多い。これは酸化防止
剤や添加物が、高温処理によるフィルム化に際し、表面
に例えば塩素イオン等各種イオンがブリードアウトし、
そのイオンがイオン性不純物としてエレクトロニクス部
品に悪影響を与えるためであり、使用量を極力少なくし
ているが、そのイオン性不純物の介在はゼロではない。As a resin for a film used in the electronics-related field, a resin containing little antioxidant or other additives is often used. This is because antioxidants and additives bleed out various ions such as chlorine ions on the surface when the film was formed by high temperature treatment,
This is because the ions adversely affect electronic components as ionic impurities, and the amount of use is minimized. However, the presence of the ionic impurities is not zero.

【０００８】このように、特に微塵埃（パーティクル）
やイオン性不純物等を嫌うエレクトロニクス関連分野に
おいて、例えばハードディスク装置に使用されるハード
ディスクの包装材用として、上記のような従来方法で製
造されたフィルムでは、フィルムに付着している微塵埃
やイオン性不純物が要求されている量よりはるかに多
く、使用は不可能という問題があった。[0008] Thus, particularly fine dust (particles)
In the electronics-related field, which dislikes ionic impurities and the like, for example, for packaging materials for hard disks used in hard disk devices, films manufactured by the above-described conventional method require fine dust or ionic substances adhering to the films. There is a problem that impurities are much larger than required and cannot be used.

【０００９】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、特にエレクトロニクス関連分野におけるよう
に、フィルムに付着するモノマーガスを含む微塵埃やイ
オン性不純物等の少ないより高度の清浄性が要求される
クリーンフィルムをインフレーション式溶融押出成形法
で製造する製造装置とそれを用いた製造方法を提供する
ことにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and particularly, as in the field of electronics, includes fine particles containing a monomer gas adhering to a film. An object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus for manufacturing a clean film, which requires less cleanliness with less dust and ionic impurities, by an inflation-type melt extrusion molding method, and a manufacturing method using the same.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項１の発明では、溶融樹脂
を円形ダイから押し出してフィルムとするインフレーシ
ョン式溶融押出成形装置において、前記円形ダイから押
し出された直後のフィルム内面に内面吸引部と、該内面
吸引部の直後の前記フィルム内面にクリーンエアーを吹
き付ける内面吹付部とを設け、および／または前記円形
ダイから押し出された直後のフィルム外面に外面吸引部
と、該外面吸引部の直後の前記フィルム外面にクリーン
エアーを吹き付ける外面吹付部とを設けたことを特徴と
するクリーンフィルムの製造装置としたものである。Means for Solving the Problems In order to achieve the above object in the present invention, first, according to the invention of claim 1, in an inflation type melt extrusion molding apparatus for extruding a molten resin from a circular die to form a film, An inner surface suction unit is provided on the inner surface of the film immediately after being extruded from the circular die, and an inner surface blowing unit for blowing clean air onto the inner surface of the film immediately after the inner surface suction unit is provided, and / or immediately after being extruded from the circular die. An apparatus for producing a clean film, characterized in that an outer surface suction unit is provided on the outer surface of the film, and an outer surface blowing unit that blows clean air onto the outer surface of the film immediately after the outer surface suction unit is provided.

【００１１】上記請求項１の発明によれば、円形ダイか
ら押し出された直後のフィルムの内面に設けられた内面
吸引部によって、樹脂の熱溶融で発生したモノマーガス
やイオン性不純物等を吸引し、その直後に設けられた内
面吹付部によって、フィルム内面をクリーンな状態にす
ることができ、および／または円形ダイから押し出され
た直後のフィルムの外面に設けられた外面吸引部によっ
て、樹脂の熱溶融で発生したモノマーガスやイオン性不
純物の他に外気からの油ミストや微塵埃をも吸引し、そ
の直後に設けられた外面吹付部によって、フィルム外面
をクリーンな状態にすることを可能にするクリーンフィ
ルムの製造装置とすることができる。According to the first aspect of the present invention, monomer gas, ionic impurities, and the like generated by the thermal melting of the resin are sucked by the inner suction portion provided on the inner surface of the film immediately after being extruded from the circular die. The inner surface spraying portion provided immediately thereafter can keep the inner surface of the film clean, and / or the outer surface suction portion provided on the outer surface of the film immediately after being extruded from the circular die, causes the resin to be heated. In addition to monomer gas and ionic impurities generated by melting, it also sucks oil mist and fine dust from the outside air, and the outer surface spraying part provided immediately after that makes it possible to keep the outer surface of the film clean. A clean film manufacturing apparatus can be provided.

【００１２】また、請求項２の発明では、前記外面吸引
部と外面吹付部を含めフィルム外面を覆うカバーシート
を設けたことを特徴とする請求項１記載のクリーンフィ
ルムの製造装置としたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided the apparatus for manufacturing a clean film according to the first aspect of the present invention, wherein a cover sheet covering the outer surface of the film including the outer suction unit and the outer spray unit is provided. is there.

【００１３】上記請求項２の発明によれば、フィルム外
面を覆うカバープレートを設けることによって、外気か
ら遮断することができるので、製造職場から発生する油
ミストや微塵埃等の付着を防止するクリーンフィルムの
製造装置を提供できる。According to the second aspect of the present invention, by providing a cover plate that covers the outer surface of the film, the film can be shielded from the outside air. Therefore, the clean plate that prevents the adhesion of oil mist, fine dust, and the like generated from the manufacturing workplace. An apparatus for manufacturing a film can be provided.

【００１４】また、請求項３の発明では、前記内面吹付
部および外面吹付部の吹出口が複数重構造とした乱流発
生機構でなることを特徴とする請求項１または２記載の
クリーンフィルムの製造装置としたものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided the clean film according to the first or second aspect, wherein the inner surface blowing portion and the outer surface blowing portion have a turbulent flow generation mechanism having a plurality of outlets. It is a manufacturing device.

【００１５】上記請求項３の発明によれば、前記内面吹
付部および外面吹付部の吹出口を複数重構造として吹出
し流路を複数設けることによって、吹き付けられるクリ
ーンエアーに強力な乱流を発生させるので、フィルム外
面上に前記外面吸引部で吸引しきれずまだ付着している
モノマーガスやイオン性不純物等を吹き飛ばし、フィル
ム内面、外面をよりクリーンな状態にすることを可能に
するクリーンフィルムの製造装置とすることができる。According to the third aspect of the present invention, a strong turbulent flow is generated in the clean air to be blown by providing a plurality of blow-out passages with a plurality of blowout ports of the inner blower and the outer blower. A clean film manufacturing apparatus capable of blowing off monomer gas, ionic impurities, and the like which cannot be completely sucked by the outer surface suction portion on the outer surface of the film and which are still attached to the film, thereby making the inner and outer surfaces of the film more clean. It can be.

【００１６】また、請求項４の発明では、前記内面吸引
部および外面吸引部に、フィルムの内面および外面から
吸引された微塵埃等を計測するパーティクル測定部と、
その後に、該微塵埃等を収集するパーティクル収集フィ
ルターを設けたことを特徴とする請求項１、２または３
記載のクリーンフィルムの製造装置としたものである。Further, in the invention according to claim 4, a particle measuring unit for measuring fine dust and the like sucked from the inner surface and the outer surface of the film is provided on the inner suction unit and the outer suction unit.
A particle collection filter for collecting the fine dust and the like is provided thereafter.
This is an apparatus for producing the clean film described in the above.

【００１７】上記請求項４の発明によれば、内面吸引部
および外面吸引部にパーティクル計測部とその後にパー
ティクル収集フィルターを設けることによって、フィル
ム面の微塵埃等の量や組成が把握でき、製品であるフィ
ルムの品質管理を容易にすることができ、さらに吸引さ
れた微塵埃等の一部がこのフィルターで捕集されるの
で、この微塵埃で外気を汚染することを少なくするクリ
ーンフィルムの製造装置とすることができる。According to the fourth aspect of the present invention, the amount and composition of fine dust and the like on the film surface can be grasped by providing a particle measuring section and a particle collecting filter after that at the inner suction section and the outer suction section. The quality of the film can be easily controlled, and a part of the sucked fine dust and the like is collected by this filter. Therefore, the production of a clean film that reduces the contamination of the outside air with the fine dust. It can be a device.

【００１８】さらにまた、請求項５の発明では、前記請
求項１、２または３記載のクリーンフィルムの製造装置
を用いてクリーンフィルムを製造するクリーンフィルム
の製造方法としたものである。Further, according to a fifth aspect of the present invention, there is provided a clean film manufacturing method for manufacturing a clean film using the clean film manufacturing apparatus according to the first, second or third aspect.

【００１９】上記本発明のクリーンフィルムの製造方法
によれば、インフレーション式溶融押出成形法によって
製造されるプラスチックフィルムを、エレクトロニクス
関連分野などで要求されている微塵埃等の付着の少ない
クリーンな包装材として提供することができる。According to the method for producing a clean film of the present invention, a plastic film produced by an inflation-type melt extrusion molding method is used to form a clean packaging material with little adhesion of fine dust and the like required in the field of electronics. Can be provided as

【００２０】[0020]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
用いながら説明する。本発明のクリーンフィルムの製造
装置は、図１の斜視図を側断面で表した概略図に示すよ
うに、例えば溶融樹脂を円形ダイ（１０）から押し出し
てチューブ状のフィルム（１１）とするインフレーショ
ン式溶融押出成形装置（１００）において、前記円形ダ
イ（１０）から押し出された直後のチューブ状のフィル
ム（１１）の内面（１１ａ）にリング状の内面吸引部
（２０）と、この内面吸引部（２０）の直後の前記チュ
ーブ状のフィルム（１１）の内面（１１ａ）にクリーン
エアーを吹き付けるリング状の内面吹付部（２２）とを
設け、さらに前記円形ダイ（１０）から押し出された直
後のチューブ状のフィルム（１１）の外面（１１ｂ）に
リング状の外面吸引部（３０）と、この外面吸引部（３
０）の直後のチューブ状のフィルム（１１）の外面（１
１ｂ）にクリーンエアーを吹き付けるリング状の外面吹
付部（３２）とを設けたものである。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The apparatus for producing a clean film according to the present invention is, as shown in a schematic view in which the perspective view of FIG. In the melt-extrusion molding apparatus (100), a ring-shaped inner suction part (20) is provided on the inner surface (11a) of the tubular film (11) immediately after being extruded from the circular die (10), and the inner suction part is provided. A ring-shaped inner surface spray portion (22) for blowing clean air is provided on the inner surface (11a) of the tubular film (11) immediately after (20), and further immediately after being extruded from the circular die (10). On the outer surface (11b) of the tubular film (11), a ring-shaped outer surface suction part (30) and this outer surface suction part (3
0) immediately after the outer surface (1) of the tubular film (11).
1b) is provided with a ring-shaped outer surface blowing portion (32) for blowing clean air.

【００２１】また、本発明のクリーンフィルムの製造装
置は、前記円形ダイ（１０）から押し出された直後のチ
ューブ状のフィルム（１１）の内面（１１ａ）にリング
状の内面吸引部（２０）と、この内面吸引部（２０）の
直後の前記チューブ状のフィルム（１１）の内面（１１
ａ）にクリーンエアーを吹き付けるリング状の内面吹付
部（２２）とを設けたもの、あるいは前記円形ダイ（１
０）から押し出された直後のチューブ状のフィルム（１
１）の外面（１１ｂ）にリング状の外面吸引部（３０）
と、この外面吸引部（３０）の直後のチューブ状のフィ
ルム（１１）の外面（１１ｂ）にクリーンエアーを吹き
付けるリング状の外面吹付部（３２）とを設けたもの、
すなわち内面吸引部（２０）と内面吹付部（２２）のみ
を設けたもの、あるいは外面吸引部（２０）と外面吹付
部（２２）のみを設けたものとすることもできる。The apparatus for producing a clean film according to the present invention further comprises a ring-shaped inner suction section (20) on the inner face (11a) of the tubular film (11) immediately after being extruded from the circular die (10). The inner surface (11) of the tubular film (11) immediately after the inner surface suction section (20).
a) provided with a ring-shaped inner surface spraying portion (22) for blowing clean air or the circular die (1).
0) immediately after being extruded from the tubular film (1).
A ring-shaped outer surface suction portion (30) is provided on the outer surface (11b) of 1).
And a tube-shaped film (11) provided with a ring-shaped outer surface blowing portion (32) for blowing clean air onto the outer surface (11b) immediately after the outer surface suction portion (30).
That is, it is possible to provide only the inner suction unit (20) and the inner spray unit (22), or to provide only the outer suction unit (20) and the outer spray unit (22).

【００２２】また、本発明では、図１に示すように、例
えばリング状の外面吸引部（３０）と外面吹付部（３
２）を含めチューブ状のフィルム（１１）の外面（１１
ｂ）を覆うカバープレート（４０）を設けたクリーンフ
ィルムの製造装置（１００）とするものである。In the present invention, as shown in FIG. 1, for example, a ring-shaped outer suction unit (30) and an outer spray unit (3) are provided.
The outer surface (11) of the tubular film (11) including (2)
b) A clean film manufacturing apparatus (100) provided with a cover plate (40) covering the same.

【００２３】また、本発明では、図１に示す例えばリン
グ状の内面吹付部（２２）および外面吹付部（３２）の
内部先端が、図２の側断面概略図に示すように、例えば
３つのリング状の流路（３６）をもつ吹出口（２６）で
なる乱流発生機構としたものである。Further, in the present invention, as shown in the schematic side sectional view of FIG. 2, for example, the inner tips of the ring-shaped inner spray portion (22) and the outer spray portion (32) shown in FIG. This is a turbulence generating mechanism comprising an outlet (26) having a ring-shaped flow path (36).

【００２４】さらにまた、本発明では、図３の側面概略
図に示すように、例えばリング状の内面吸引部（２０）
および外面吸引部（３０）に、吸引ダクト（２７）を介
してフィルムの内面および外面から吸引された微塵埃等
の量を把握するパーティクルカウンター（２８）を設
け、その後に微塵埃等を捕集してその組成を把握するパ
ーティクル収集フィルター（２９）を設けたものであ
る。このパーティクル収集フィルター（２９）は、捕集
された分だけ外気の汚染を少なくする役目も有するもの
である。Furthermore, in the present invention, as shown in the schematic side view of FIG. 3, for example, a ring-shaped inner suction portion (20)
And a particle counter (28) for ascertaining the amount of fine dust and the like sucked from the inner and outer surfaces of the film via the suction duct (27) in the outer suction unit (30), and thereafter collecting the fine dust and the like. And a particle collection filter (29) for grasping the composition. The particle collecting filter (29) also has a role of reducing the contamination of the outside air by the amount collected.

【００２５】以下に本発明のクリーンフィルムの製造装
置（１００）について、より具体的に説明する。まず、
図１に示すように、リング状の内面吸引部（２０）およ
び外面吸引部（３０）の内部先端は、リング状のフィル
ム（１１）面から１０ｍｍ程度離れた位置に設置し、フ
ィルム面全体を覆う幅５０ｍｍ程度のリング状の吸引口
で構成されている。この吸引用動力は、例えば図３に示
すように、電動ブロア（３８）を使用し、その吸引風量
は、１リング当たり１００リットル／分〜５００リット
ル／分程度が微塵埃等を吸引するには好適であり、チュ
ーブ状のフィルム（１１）のサイズ等で適宜選定するこ
とができる。Hereinafter, the apparatus (100) for producing a clean film according to the present invention will be described more specifically. First,
As shown in FIG. 1, the inner tips of the ring-shaped inner suction part (20) and the outer suction part (30) are set at positions about 10 mm apart from the ring-shaped film (11), and the entire film surface is removed. It is composed of a ring-shaped suction port with a width of about 50 mm to cover. For this suction power, for example, as shown in FIG. 3, an electric blower (38) is used, and the suction air volume is about 100 liters / minute to 500 liters / minute per ring to suck fine dust and the like. It is suitable and can be appropriately selected depending on the size of the tubular film (11) and the like.

【００２６】また、図１に示すように、リング状の内面
吹付部（２２）および外面吹付部（３２）の内部先端
は、リング状のフィルム（１１）面から１０ｍｍ〜２０
ｍｍ程度離れた位置に設置し、フィルム面全体を覆う幅
５０ｍｍ程度のリング状の吹出口で構成されている。こ
の吹付用動力は、図示しないが上記吸引用動力と同様に
電動ブロアを使用し、その吹付風量は、１リング当たり
１００リットル／分〜５００リットル／分程度が好適で
あり、吸引風量と同等として内面や外面の風圧のバラン
スをとることが望ましい。As shown in FIG. 1, the inner ends of the ring-shaped inner spray portion (22) and the outer surface spray portion (32) are 10 mm to 20 mm from the surface of the ring-shaped film (11).
It is installed at a position separated by about mm and has a ring-shaped outlet having a width of about 50 mm covering the entire film surface. This blowing power is not shown, but an electric blower is used in the same manner as the suction power, and the blowing air volume is preferably about 100 liters / minute to 500 liters / minute per ring, which is equivalent to the suction air volume. It is desirable to balance the internal and external wind pressures.

【００２７】上記内面吹付部（２２）および外面吹付部
（３２）からの吹付用空気は、吹き付け用電動ブロアの
後段に微塵埃除去用のフィルタを取り付け、微塵埃等の
ないクリーンエアーとする。この吹出すクリーンエアー
と吸引する空気の通路を循環型としてもよい。この循環
型の場合、吹出し用電動ブロアの後段にフィルタを取付
け、微塵埃のない吹付けエアーとし、リング状の吸引口
と吹出口を個別に設けてもよいが一つのブロアとしても
よい。またこの循環型の場合、電動ブロアで熱が発生
し、吹き出し空気の温度が６０℃〜８０℃程度と高温の
吹出し空気となる事がある。この熱風が問題となる場
合、吹出口とフィルタの間に、冷却用の熱交換器を設
け、吹出し空気の温度をプラスチックフィルムに問題が
生じない４０℃程度に下げたほうがよい。The blowing air from the inner blowing section (22) and the outer blowing section (32) is provided with a filter for removing fine dust at a stage subsequent to the electric blower for blowing, so that clean air free of fine dust and the like is obtained. The passage between the blown clean air and the sucked air may be of a circulation type. In the case of this circulation type, a filter may be attached to the subsequent stage of the blower electric blower so that blowing air without fine dust may be provided, and a ring-shaped suction port and a blowout port may be separately provided, or one blower may be used. In the case of this circulation type, heat is generated by the electric blower, and the temperature of the blown air may be as high as about 60 ° C to 80 ° C. If this hot air poses a problem, it is better to provide a heat exchanger for cooling between the outlet and the filter, and to lower the temperature of the blown air to about 40 ° C. where no problem occurs in the plastic film.

【００２８】また、上記内外面吸引部（２０、３０）と
内外面吹付部（２２、３２）を複数組設けてより微塵埃
等の除去効果を上げることも可能である。It is also possible to improve the effect of removing fine dust and the like by providing a plurality of sets of the inner and outer surface suction portions (20, 30) and the inner and outer surface spraying portions (22, 32).

【００２９】また、製造所環境に直接晒され、油ミスト
や微塵埃が付着する危惧のある押出成形時のフィルム外
面は、図１に示すように、インフレーション部全体を覆
うカバープレート（４０）を設けることによって、油ミ
ストや微塵埃の付着を防止することが可能である。この
カバープレート（４０）は、外面吸引部（３０）と外面
吹付部（３２）を覆うような構成とするものである。ま
たこのカバープレート（４０）は、腐食に強く加工しや
すいステンレス板（厚さ１ｍｍ〜２ｍｍ程度）で構成す
るとよく、より軽い重量が必要な場合、アクリル板、チ
タン板などの他の材料で構成してもよい。Further, as shown in FIG. 1, a cover plate (40) covering the entire inflation portion is provided on the outer surface of the film at the time of extrusion molding, which is directly exposed to the environment of the factory and to which oil mist and fine dust may adhere. By providing such an arrangement, it is possible to prevent adhesion of oil mist and fine dust. The cover plate (40) is configured to cover the outer suction unit (30) and the outer spray unit (32). The cover plate (40) is preferably made of a stainless steel plate (thickness of about 1 mm to 2 mm) which is resistant to corrosion and easily processed. If a lighter weight is required, it is made of another material such as an acrylic plate or a titanium plate. May be.

【００３０】また、本発明では、さらにフィルムからの
微塵埃等の剥離を促すように、内面吹付部（２２）と外
面吹付部（２２）の吹出口（２６）からの空気（クリー
ンエアー）に脈動を与える乱流発生機構を設けるもの
で、この乱流発生機構は、例えば図２に示すように、リ
ング状の吹出口（２６）を３重構造として吹出し流路
（３６）を３つ設け、それぞれの流路（３６）の風速を
替えれば強力な乱流を発生することができる。一つの流
路（３６）の風速を変えるのは流路の出口を絞る事で達
成でき、例えば図２に示す真ん中の流路（３６）の出口
の幅を３０％〜５０％程度に絞ることで効果的に強力な
乱流を発生でき、上下２つの絞られていない流路（３
６）とを合わせると両外側への渦巻き状の乱流（３５）
となり効果的にフィルムに付着している微塵埃等の剥離
を促すことができる。Further, in the present invention, the air (clean air) from the air outlet (26) of the inner spraying part (22) and the outer spraying part (22) is further increased so as to promote the separation of fine dust and the like from the film. A turbulent flow generating mechanism for providing pulsation is provided. For example, as shown in FIG. 2, the turbulent flow generating mechanism has a ring-shaped outlet (26) having a triple structure and three outlet passages (36). By changing the wind speed of each flow path (36), a strong turbulent flow can be generated. Changing the wind speed of one flow path (36) can be achieved by narrowing the outlet of the flow path. For example, the width of the outlet of the middle flow path (36) shown in FIG. 2 is reduced to about 30% to 50%. Can effectively generate strong turbulence, and the upper and lower two unrestricted flow paths (3
When combined with 6), spiral turbulent flow to both outer sides (35)
Thus, the separation of fine dust and the like adhering to the film can be effectively promoted.

【００３１】また、本発明では、微塵埃等の量と組成を
知り、製造されるフィルムの品質管理を行うために、図
３に示すように、内面吸引部（２０）から吸引された空
気、外面吸引部（３０）から吸引された空気の一部の微
塵埃等を計測するパーティクルカウンター（２８）を設
ける。さらにこのパーティクルカウンター（２８）の後
へ、パーティクル収集フィルター（２９）を設けること
によって微塵埃等をサンプリングし、これらにより微塵
埃等の数量と組成の関連を把握することが可能となる。
従来は微塵埃等の数量の把握が主体であり、微塵埃の発
生原因を特定できないような状況であった。本発明のク
リーンフィルムの製造装置では、さらに進めてその組成
まで分析することが可能となり微塵埃の組成分析からそ
の発生原因を究明できるようになった。In the present invention, in order to know the amount and composition of fine dust and the like and to control the quality of the film to be produced, as shown in FIG. A particle counter (28) for measuring a part of the air sucked from the outer suction part (30) is provided. Further, by providing a particle collecting filter (29) after the particle counter (28), it is possible to sample fine dust and the like, thereby making it possible to grasp the relationship between the quantity and composition of the fine dust and the like.
Conventionally, the amount of fine dust and the like has been mainly grasped, and the cause of the generation of fine dust cannot be specified. In the clean film manufacturing apparatus of the present invention, it is possible to further analyze the composition thereof, and the cause of the generation can be determined from the composition analysis of the fine dust.

【００３２】前記のパーティクルカウンター（２８）
は、吸引用ブロア（３８）までの吸引ダクト（２７）か
ら空気をサンプリングしてこのパーティクルカウンター
（２８）で微塵埃を計測する。このパーティクルカウン
ター（２８）で計測する空気は、吸引用ブロア（３８）
までの吸引ダクト（２７）に垂直方向に設けた直径１０
ｍｍ程度の静圧ホール（３１）からフレキシブルなパイ
プ（汚染の少ないフッ素樹脂チューブなど）で採取しパ
ーティクルカウンター（２８）で計測する。このパーテ
ィクルカウンター（２８）は市販品（リオン社製など）
で、計測範囲が０．３μｍ〜５μｍ程度の計器と、１μ
ｍ〜１００μｍ程度の計器を複数台使用することが望ま
しい。The aforementioned particle counter (28)
Sample air from the suction duct (27) up to the suction blower (38) and measure fine dust with the particle counter (28). The air measured by the particle counter (28) is supplied to a suction blower (38).
With a diameter of 10 provided vertically in the suction duct (27)
The sample is collected from a static pressure hole (31) of about mm with a flexible pipe (such as a fluorine resin tube with little contamination) and measured with a particle counter (28). This particle counter (28) is a commercial product (Rion, etc.)
And a measuring instrument with a measuring range of about 0.3 μm to 5 μm and 1 μm
It is desirable to use a plurality of meters of about m to 100 μm.

【００３３】さらに微塵埃等を計測するパーティクルカ
ウンター（２８）の後段にパーティクル収集フィルター
（２９）を取付け微塵埃等を捕収する。このパーティク
ル収集フィルター（２９）は市販品（ミリポア社製な
ど）の孔径０．１μｍ程度のメンブレンフィルターを使
用し微塵埃を捕収する。捕収された微塵埃等はこのフィ
ルタ上に捕らえられており電子顕微鏡で形を観測したり
ＥＰＭＡ（電子組成分析装置）などで組成を分析するこ
とができる。Further, a particle collecting filter (29) is attached at a stage subsequent to the particle counter (28) for measuring fine dust and the like, and the fine dust and the like are collected. The particle collection filter (29) uses a commercially available membrane filter (manufactured by Millipore or the like) having a pore diameter of about 0.1 μm to collect fine dust. The collected fine dust and the like are captured on this filter, and the shape can be observed with an electron microscope or the composition can be analyzed with an EPMA (Electronic Composition Analyzer) or the like.

【００３４】このように、本発明のクリーンフィルムの
製造装置は、従来、製品の微塵埃の量を製造段階でチェ
ックできなかったが本発明のクリーンフィルムの製造装
置では微塵埃の管理が可能となり、さらに数量と組成の
関連を把握することが可能となった。また、このパーテ
ィクル収集フィルター（２９）を設けることによって、
一部の微塵埃が捕集されるので外気の汚染もその分だけ
少なくすることができる。As described above, the clean film manufacturing apparatus of the present invention could not check the amount of fine dust of a product at the manufacturing stage, but the clean film manufacturing apparatus of the present invention can manage fine dust. In addition, it became possible to grasp the relationship between quantity and composition. Also, by providing this particle collection filter (29),
Since a part of the fine dust is collected, the pollution of the outside air can be reduced correspondingly.

【００３５】[0035]

【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。即ち、溶融樹脂を円形ダイから押
し出してフィルムとするインフレーション式溶融押出成
形装置において、前記円形ダイから押し出された直後の
フィルムの内面に設けられた内面吸引部によって、樹脂
の熱溶融で発生したモノマーガスやイオン性不純物等を
吸引し、その直後に設けられた内面吹付部によって、フ
ィルム内面をクリーンな状態にすることができ、および
／または円形ダイから押し出された直後のフィルムの外
面に設けられた外面吸引部によって、樹脂の熱溶融で発
生したモノマーガスやイオン性不純物の他に外気からの
油ミストや微塵埃をも吸引し、その直後に設けられた外
面吹付部によって、フィルム外面をクリーンな状態にす
ることを可能にするクリーンフィルムの製造装置とする
ことができる。As described above, the present invention has the following effects. That is, in an inflation-type melt-extrusion molding apparatus in which a molten resin is extruded from a circular die to form a film, an internal suction unit provided on the inner surface of the film immediately after being extruded from the circular die causes a monomer generated by thermal melting of the resin. A gas or ionic impurities are sucked in, and the inner surface of the film can be kept clean by an inner surface spraying portion provided immediately thereafter and / or provided on the outer surface of the film immediately after being extruded from a circular die. In addition to the monomer gas and ionic impurities generated by the thermal melting of the resin, it also sucks oil mist and fine dust from the outside air, and the outer surface spraying section provided immediately thereafter cleans the outer surface of the film. It is possible to provide an apparatus for producing a clean film capable of achieving a clean state.

【００３６】また、前記外面吸引部と外面吹付部を含め
フィルム外面を覆うカバープレートを設けることによっ
て、外気から遮断することができるので、製造職場から
発生する油ミストや微塵埃等の付着を防止するクリーン
フィルムの製造装置とすることができる。Further, by providing a cover plate for covering the outer surface of the film including the outer surface suction portion and the outer surface spraying portion, the film can be shielded from the outside air, thereby preventing the adhesion of oil mist, fine dust and the like generated from the manufacturing workplace. And a clean film manufacturing apparatus.

【００３７】また、内面吹付部および外面吹付部の吹出
口を複数重構造として吹出し流路を複数設けた乱流発生
機構とすることによって、吹き付けられるクリーンエア
ーに強力な乱流を発生させるので、フィルム外面上の微
塵埃（モノマーガスやイオン性不純物を含む）等をより
効果的に吹き飛ばし、フィルム内面、外面をよりクリー
ンな状態にすることを可能にするクリーンフィルムの製
造装置とすることができる。Further, since a turbulence generating mechanism having a plurality of outlets of the inner surface blowing portion and the outer surface blowing portion and having a plurality of blow-out channels is provided, strong turbulence is generated in the clean air to be blown. A clean film manufacturing apparatus capable of more effectively blowing off fine dust (including monomer gas and ionic impurities) on the outer surface of the film and making the inner and outer surfaces of the film more clean. .

【００３８】さらにまた、内面吸引部および外面吸引部
にパーティクル計測部とその後にパーティクル収集フィ
ルターを設けることによって、フィルム面の微塵埃等の
量や組成が把握でき、製品であるフィルムの品質管理を
容易にすることができ、さらに吸引された微塵埃等がこ
のフィルターで捕集されるので、その分だけ外気の汚染
を少なくするクリーンフィルムの製造装置とすることが
できる。Further, by providing a particle measuring section and a particle collecting filter after that at the inner suction section and the outer suction section, the quantity and composition of fine dust and the like on the film surface can be grasped, and quality control of the product film can be performed. Since it is possible to facilitate the cleaning and furthermore, the sucked fine dust and the like are collected by this filter, it is possible to provide a clean film manufacturing apparatus that reduces the contamination of the outside air by that much.

【００３９】従って本発明は、特にエレクトロニクス関
連分野の部品等を包装する、パーティクル等を極端に嫌
う包装材の製造装置およびそれを用いた製造方法とし
て、優れた実用上の効果を発揮する。Accordingly, the present invention exerts an excellent practical effect as a manufacturing apparatus and a manufacturing method using the packaging material, which extremely dislikes particles and the like, for packaging parts and the like in the field of electronics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明のクリーンフィルムの製造装置の一実施
の形態を側断面と斜視図で表した説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing a side view and a perspective view of an embodiment of a clean film manufacturing apparatus according to the present invention.

【図２】本発明のクリーンフィルムの製造装置を構成す
る内外面吹付部の吹出口の一実施の形態を側断面で表し
た説明図である。FIG. 2 is an explanatory view showing a side cross section of one embodiment of an outlet of an inner / outer surface spraying part constituting the apparatus for producing a clean film of the present invention.

【図３】本発明のクリーンフィルムの製造装置を構成す
る内外面吸引部の一実施の形態を模式的に表した説明図
である。FIG. 3 is an explanatory view schematically showing an embodiment of an inner / outer surface suction section constituting the apparatus for producing a clean film of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０‥‥円形ダイ １１‥‥チューブ状のフィルム １１ａ‥‥チューブ状のフィルムの内面 １１ｂ‥‥チューブ状のフィルムの外面 ２０‥‥内面吸引部 ２２‥‥内面吹付部 ２６‥‥吹出口 ２７‥‥吸引ダクト ２８‥‥パーティクルカウンター ２９‥‥パーティクル収集フィルター ３０‥‥外面吸引部 ３１‥‥静圧ホール ３２‥‥外面吹付部 ３５‥‥渦巻き状の乱流 ３６‥‥流路 ３７‥‥吸引ポンプ ３８‥‥吸引ブロア ４０‥‥カバープレート １００‥‥クリーンフィルムの製造装置 10 {circular die} 11} tube-shaped film 11a {inside surface of tube-shaped film 11b} outer surface of tube-shaped film 20 {inner surface suction unit 22} inner surface spray unit 26 {outlet 27} Suction duct 28 Particle counter 29 Particle collection filter 30 External suction unit 31 Static pressure hole 32 External spraying unit 35 Spiral turbulent flow 36 Channel 37 Suction pump 38 ‥‥ Suction blower 40 ‥‥ Cover plate 100 ‥‥ Clean film manufacturing equipment

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】溶融樹脂を円形ダイから押し出してフィル
ムとするインフレーション式溶融押出成形装置におい
て、前記円形ダイから押し出された直後のフィルムの内
面に内面吸引部と、該内面吸引部の直後の前記フィルム
内面にクリーンエアーを吹き付ける内面吹付部とを設
け、および／または前記円形ダイから押し出された直後
のフィルム外面に外面吸引部と、該外面吸引部の直後の
前記フィルム外面にクリーンエアーを吹き付ける外面吹
付部とを設けたことを特徴とするクリーンフィルムの製
造装置。1. An inflation-type melt extrusion molding apparatus for extruding a molten resin from a circular die to form a film, wherein an inner surface of the film immediately after being extruded from the circular die is provided with an inner suction portion, and the inner surface of the film is provided immediately after the inner suction portion. An inner surface spraying portion for blowing clean air onto the inner surface of the film, and / or an outer surface suction portion on the outer surface of the film immediately after being extruded from the circular die, and an outer surface blowing clean air on the outer surface of the film immediately after the outer surface suction portion An apparatus for producing a clean film, comprising a spraying section. 【請求項２】前記外面吸引部と外面吹付部を含めフィル
ム外面を覆うカバープレートを設けたことを特徴とする
請求項１記載のクリーンフィルムの製造装置。2. The apparatus for producing a clean film according to claim 1, further comprising a cover plate for covering the outer surface of the film including the outer suction unit and the outer spray unit. 【請求項３】前記内面吹付部および外面吹付部の吹出口
が複数重構造とした乱流発生機構でなることを特徴とす
る請求項１または２記載のクリーンフィルムの製造装
置。3. The apparatus for producing a clean film according to claim 1, wherein the blow-out ports of the inner surface spraying portion and the outer surface spraying portion are constituted by a turbulence generating mechanism having a multi-layer structure. 【請求項４】前記内面吸引部および外面吸引部に、フィ
ルムの内面および外面から吸引された微塵埃等を計測す
るパーティクル測定部とその後に、該微塵埃等を収集す
るパーティクル収集フィルターを設けたことを特徴とす
る請求項１、２または３記載のクリーンフィルムの製造
装置。4. A particle measuring unit for measuring fine dust and the like sucked from the inner and outer surfaces of the film, and a particle collecting filter for collecting the fine dust and the like are provided at the inner suction unit and the outer suction unit. 4. The apparatus for producing a clean film according to claim 1, 2 or 3. 【請求項５】前記請求項１、２または３記載のクリーン
フィルムの製造装置を用いてクリーンフィルムを製造す
るクリーンフィルムの製造方法。5. A method for producing a clean film using the apparatus for producing a clean film according to claim 1, 2 or 3.
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