JP2002062492A - Projection optical system using interferometric modulation device - Google Patents
Projection optical system using interferometric modulation deviceInfo
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- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明が属する技術分野】本発明は、干渉性変調（Inte
rferometric Modulation：IMOD）及びそれを用いた画
像表示装置に関し、特に、発熱を抑制したIMOD素子及び
それを用いた明るい画像表示装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to coherent modulation (Inte
More particularly, the present invention relates to an IMOD device that suppresses heat generation and a bright image display device using the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光の干渉作用を利用して光の変調を行う
画像表示素子が、特表2000‐500245号公報、特表平10-5
00224号公報、Digital Paper:Reflective Display Usin
g Interferomtric Modulation: (M.W.Miles, SID '00)
などにより開示されている。これらは、MEMS(micro ele
ctric mechanical system)の技術とファブリ・ペロー干
渉計などに見られる光の共振作用とを複合して光を変調
する干渉性変調（IMOD)素子を実現するものである。以
下に図を用いて原理を簡単に説明する。図８は、光変調
器の概要を示したものであり、反射器100は、スペーサ1
02を介して膜104、106、108を含む誘導吸収体105と対抗
して配置されており、入射媒体110は誘導吸収体105と片
方の境界で接している。同図に示したように、非常に簡
単な構成をしている。光は、入射媒体110より入射し、
反射器100により反射され、入射媒体100から射出するよ
うな構成になっている。反射器100と誘導吸収体105の間
隔Tが可変となっておりこの間隔を変更することで光学
特性を変化させることができる。2. Description of the Related Art An image display device that modulates light by utilizing the interference of light is disclosed in JP-T-2000-500245, JP-T-Hei 10-5.
No. 00224, Digital Paper: Reflective Display Usin
g Interferomtric Modulation: (MWMiles, SID '00)
And the like. These are MEMS (micro ele
It realizes an interferometric modulation (IMOD) element that modulates light by combining the technology of ctric mechanical system) with the resonance effect of light found in a Fabry-Perot interferometer or the like. The principle will be briefly described below with reference to the drawings. FIG. 8 shows an outline of the optical modulator.
The incident medium 110 is disposed opposite the guided absorber 105 including the membranes 104, 106, and 108 via the 02, and is in contact with the guided absorber 105 at one boundary. As shown in the figure, the configuration is very simple. Light enters from the incident medium 110,
The light is reflected by the reflector 100 and emitted from the incident medium 100. The interval T between the reflector 100 and the induction absorber 105 is variable, and by changing this interval, the optical characteristics can be changed.
【０００３】誘導吸収体105を構成する膜104、106、108
はたとえば、二酸化ジルコニウム、タングステン、２酸
化シリコンとすることが開示されている。間隔Tを変化
させるための構造としては、図７のような誘電体膜と金
属膜にて構成されるMEMS(micro electric mechanical s
ystem)構造が採用されている。反射鏡は、静電気により
非常に高速に駆動され、光変調を行うことができる。図
９から図１２までは、スペーサとの間隔が異なる場合の
光学特性の変化である。各図とも縦軸が反射率、横軸が
波長である。図９は、スペーサの間隔がある値Tblackの
時に示す光学特性であり、図に示したように反射率が可
視光域全般にわたって低い状態である。この場合、
“黒”を表示している。図１０‐図１２は、それぞれ間
隔Tがそれぞれある値のときの特性であり、それぞれ
青、緑、赤を表示することが出来る間隔TB、TG、TRであ
る。誘電吸収体の一例によれば、TG>TB> TR>Tblackであ
る。こうした構造を２次元的に配置し、制御することで
カラーの画像を表示することができる。反射器100の駆
動には、たとえば静電力が使われる。このため、非常に
高速の動作ができる。画像表示の階調性の表現にあたっ
ては、あるエリア内の反射率の高い状態の画素の割合を
変える面積階調、あるいは、高速で動作できることを利
用した時分割の階調表現を利用することができる。[0003] The membranes 104, 106, 108 constituting the induction absorber 105
Discloses, for example, zirconium dioxide, tungsten, and silicon dioxide. As a structure for changing the interval T, a MEMS (micro electric mechanical s) composed of a dielectric film and a metal film as shown in FIG.
ystem) structure is adopted. The reflecting mirror is driven at a very high speed by static electricity and can perform light modulation. 9 to 12 show changes in optical characteristics when the distance between the spacer and the spacer is different. In each figure, the vertical axis represents the reflectance, and the horizontal axis represents the wavelength. FIG. 9 shows the optical characteristics when the spacer interval is a certain value Tblack, and the reflectance is low over the entire visible light range as shown in the figure. in this case,
“Black” is displayed. FIG. 10 to FIG. 12 show characteristics when the interval T is a certain value, respectively, and are the intervals TB, TG, and TR in which blue, green, and red can be displayed, respectively. According to an example of the dielectric absorber, TG>TB>TR> Tblack. By arranging and controlling such a structure two-dimensionally, a color image can be displayed. For driving the reflector 100, for example, an electrostatic force is used. Therefore, a very high-speed operation can be performed. In expressing the gradation of an image display, it is possible to use an area gradation that changes the ratio of pixels having a high reflectance state in a certain area, or a time-division gradation expression that utilizes high-speed operation. it can.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した干渉
性変調（IMOD)素子を、ある光源により適切に照明し
て、その画像をスクリーン上に形成するような場合、明
るい画像を得ようとすると、黒の表示時に大きな光の吸
収が起こるため表示素子自体の発熱が問題となる。However, in the case where the above-described coherent modulation (IMOD) element is appropriately illuminated by a certain light source to form an image on a screen, a bright image is obtained. In addition, since large light absorption occurs when displaying black, heat generation of the display element itself becomes a problem.
【０００５】そこで、本発明は、IMOD素子の発熱を低減
するとともに、そのIMOD素子を使用して、輝度の高い画
像投影装置を提供することを課題としている。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a high-luminance image projection device using the IMOD element while reducing the heat generated by the IMOD element.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの本発明のIMOD素子は、絶縁体層と金属層を複数透明
基板上に積層した光共振層を含む光入射部と、可動反射
鏡とを、対峙させた干渉性変調（IMOD）素子であって、
前記IMOD素子に伝熱体を配置している。According to the present invention, there is provided an IMOD device comprising: a light incident portion including an optical resonance layer in which a plurality of insulator layers and metal layers are laminated on a transparent substrate; An interferometric modulation (IMOD) element facing a mirror,
A heat conductor is arranged on the IMOD element.
【０００７】これによりIMOD素子に熱が放熱されるよう
になり、破損などの問題が軽減される。また、放熱する
ための構造を設けるため、開口効率が低下するためIMOD
素子を１次元の画像を表示する構造としている。As a result, heat is radiated to the IMOD element, and problems such as breakage are reduced. In addition, since a heat dissipation structure is provided, the aperture efficiency decreases, so IMOD
The element has a structure for displaying a one-dimensional image.
【０００８】加えて、２次元の画像を得るために、光学
的に１次元の画像と垂直に走査するための手段を設けて
いる。[0008] In addition, in order to obtain a two-dimensional image, means for optically scanning vertically with the one-dimensional image is provided.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１０】図１は、第１実施他形態のIMOD素子の１つ
の画素構造近傍の主要構造を示したものである。実際の
素子としては、この構造を多数有することになる。１
は、基板ガラスをあらわしており、入射光はこの基板ガ
ラスを透過する。４，６，８はそれぞれ、誘電体あるい
は金属の薄膜であり、これらの厚みを適切に選ぶことで
光の共振層５を形成している。FIG. 1 shows a main structure in the vicinity of one pixel structure of the IMOD device of the first embodiment. An actual device will have many such structures. 1
Represents a substrate glass, and incident light passes through the substrate glass. Reference numerals 4, 6, and 8 denote dielectric or metal thin films, respectively, and the light resonance layer 5 is formed by appropriately selecting their thicknesses.
【００１１】２は反射器であり、図示しない駆動構造に
共振層と反射器２の間隔Tが変化する。このTを変化させ
ることにより、光の吸収と反射の特性が変化し、光を変
調し、画像を表示することが可能である。反射光は、入
射光と逆にガラス基板１より射出していく。間隔Tを制
御し光を吸収させると、反射率が低くなり画像としては
“黒”を表示するようになる。このとき、光の吸収が起
こるので、素子が発熱する。特に積極的に素子を照明し
て、明るい画像を得るような場合、この熱が大きく問題
となる。このため、光の共振層５の熱を伝導しやすいよ
うな伝熱体７を、共振層５の側面に設けている。さらに
図示しない表示装置の放熱手段３とこの伝熱体７を機械
的に接続している。Reference numeral 2 denotes a reflector, and the distance T between the resonance layer and the reflector 2 changes in a driving structure (not shown). By changing this T, the characteristics of light absorption and reflection change, and it is possible to modulate light and display an image. The reflected light exits from the glass substrate 1 in reverse to the incident light. When the light is absorbed by controlling the interval T, the reflectance decreases and the image is displayed as “black”. At this time, since light absorption occurs, the element generates heat. In particular, when a bright image is obtained by actively illuminating the element, this heat is a serious problem. For this reason, a heat conductor 7 that easily conducts the heat of the light resonance layer 5 is provided on the side surface of the resonance layer 5. Further, the heat dissipating means 3 of the display device (not shown) and the heat transfer body 7 are mechanically connected.
【００１２】この構造により、熱が発生してもIMOD素子
の温度上昇を抑えることが可能となる。With this structure, it is possible to suppress a rise in the temperature of the IMOD element even when heat is generated.
【００１３】伝熱体７については、金属などの伝導性の
よいものであれば、同様の効果が得られ、その種類につ
いてはとくに限定しない。又、伝熱体７は、主として共
振層５中の金属等の伝導層に接触していればよい。The same effect can be obtained as long as the heat conductor 7 has good conductivity, such as a metal, and the type thereof is not particularly limited. Further, the heat transfer member 7 only needs to be in contact with a conductive layer such as a metal in the resonance layer 5.
【００１４】基板ガラス１については、耐熱性を有する
ことがのぞましい。The substrate glass 1 preferably has heat resistance.
【００１５】図２には、本実施他形態の別様態を示す。
同じ符号のものは同じ機能を表すものとして、説明を省
略する。図１については、ある画素構造について示した
が、図２では、基板ガラス１や伝熱体７が、各画素9a,9
b,9cに対して共通に取り付けられている。これによっ
て、基板構造が簡素になる。FIG. 2 shows another embodiment of the present embodiment.
The same reference numerals denote the same functions, and a description thereof will be omitted. Although FIG. 1 shows a certain pixel structure, FIG. 2 shows that the substrate glass 1 and the heat transfer member 7 are provided with the respective pixels 9a and 9a.
Commonly attached to b and 9c. This simplifies the substrate structure.
【００１６】基本的に伝熱体７を共振層５の側面に配置
したことにより、表示素子における開口効率は低下して
いるが、１次元構造としたことにより、開口効率の低下
を抑えることができる。また、各画素の駆動用の回路な
ども、画素構造の側面に配置することが可能となる。Although the aperture efficiency of the display element is basically lowered by disposing the heat transfer member 7 on the side surface of the resonance layer 5, the reduction of the aperture efficiency is suppressed by the one-dimensional structure. it can. Further, a driving circuit for each pixel can be arranged on the side surface of the pixel structure.
【００１７】本実施他形態においては、１つの共振層５
に伝熱体７を配置する場合を示したが、これに限定する
ものではない。たとえば、面積階調を行う場合など、あ
る１つの画素として同時に駆動されるエリアの共振層５
に対して共通の伝熱体を設けても良い。In the present embodiment, one resonance layer 5
Although the case where the heat transfer body 7 is arranged is described above, the present invention is not limited to this. For example, when performing area gradation, the resonance layer 5 in an area that is simultaneously driven as a certain pixel is used.
May be provided with a common heat conductor.
【００１８】次に、第２の実施他形態について説明す
る。Next, a second embodiment will be described.
【００１９】図３は、伝熱体７を有するIMOD素子を１次
元配列して、２次元の大画面を得ることが可能な投射型
の表示機器の構成を示したものである。この投影装置
は、紙面垂直方向に画素列を有するIMOD素子10の画像を
スクリーン12上に拡大投影し画素列と直交する方向に走
査することにより２次元の画像を得るものである。FIG. 3 shows a configuration of a projection display device capable of obtaining a two-dimensional large screen by arranging IMOD elements having the heat transfer elements 1 in one dimension. This projection apparatus obtains a two-dimensional image by enlarging and projecting an image of an IMOD element 10 having a pixel array in a direction perpendicular to the paper surface onto a screen 12 and scanning in a direction orthogonal to the pixel array.
【００２０】照明光学系14は光源と光量均一化手段など
から構成され、光源像を走査手段13の近傍に形成する。
照明光は投射光学系11の一部11aを介して、略並行にIMO
D素子を照明する。IMOD素子からの光は、光学系11aを介
して走査手段13aにあたる。光走査手段13aは、IMOD素子
からの光については反射するように構成されており、ス
クリーン12の方に光路を偏向する働きを有する。さらに
投射光学系のもう一部11bを介して、IMOD素子の像をス
クリーン上に結像する。光走査手段13は、IMOD素子の画
素列と平行に回転軸を有しており、回転することが可能
となっている。これによりスクリーン上を走査でき、結
果として２次元の画像を得ることができる。また、IMOD
10には、伝熱体が設けられ、その伝熱体は、装置の放熱
手段3と接続されている。これにより、照明光学系14か
らの光がIMOD素子10で吸収されても、温度上昇を低くす
ることが可能となる。The illumination optical system 14 includes a light source and a light amount equalizing means, and forms a light source image near the scanning means 13.
The illumination light passes through the portion 11a of the projection optical system 11 and is substantially parallel to the IMO.
Illuminates the D element. Light from the IMOD element hits the scanning means 13a via the optical system 11a. The optical scanning means 13a is configured to reflect light from the IMOD element, and has a function of deflecting an optical path toward the screen 12. Further, an image of the IMOD element is formed on a screen via another part 11b of the projection optical system. The optical scanning means 13 has a rotation axis parallel to the pixel rows of the IMOD element, and can rotate. Thereby, it is possible to scan on the screen, and as a result, a two-dimensional image can be obtained. Also, IMOD
A heat transfer body is provided in 10, and the heat transfer body is connected to the heat radiating means 3 of the device. Thereby, even if the light from the illumination optical system 14 is absorbed by the IMOD element 10, the temperature rise can be reduced.
【００２１】次に、照明光学系14と、IMOD素子10と光学
系11aの構成について説明する。Next, the configuration of the illumination optical system 14, the IMOD element 10, and the optical system 11a will be described.
【００２２】図４は、画素列に対して垂直な方向からの
断面の概略を示している。IMOD素子10は、紙面内に画素
列を有する。FIG. 4 schematically shows a cross section from a direction perpendicular to the pixel columns. The IMOD element 10 has a pixel row in the plane of the paper.
【００２３】照明光学系14からの光は、前述したように
光走査手段13の近傍に光源像15aを形成する。この光源
像15aの位置は、本図の断面に対して光学系11aの前側焦
点面付近にあり、IMOD素子10を図４の断面では、略平行
光で照明する。光源像15aの位置は、光学系11aに対して
オフセットしているので、IMOD素子に対して、斜めに入
射するように構成されている。IMOD素子10からの反射光
は、この構成により15aとは異なった15bの位置に再度光
源像を形成する。The light from the illumination optical system 14 forms a light source image 15a near the optical scanning means 13 as described above. The position of the light source image 15a is near the front focal plane of the optical system 11a with respect to the cross section of this figure, and the IMOD element 10 is illuminated with substantially parallel light in the cross section of FIG. Since the position of the light source image 15a is offset with respect to the optical system 11a, the light source image 15a is configured to be obliquely incident on the IMOD element. The reflected light from the IMOD element 10 forms a light source image again at a position 15b different from 15a due to this configuration.
【００２４】光学系の構成から、光源像15aとは、光学
的に対称な位置である。この第２の光源像15bを光走査
手段13で走査することになる。Due to the configuration of the optical system, the light source image 15a is located at an optically symmetric position. The second light source image 15b is scanned by the optical scanning means 13.
【００２５】図５は、光走査手段13aの構成を示したも
のである。図４に示したように、照明光学系14からの光
は、透過し、IMOD素子10からの光は走査するために反射
する必要がある。従って、光走査手段は、２つの領域13
R，13Tに分かれており、13Rは、光を走査するために反
射する領域、13Tは透過あるいは空洞となっており通過
するようになっている。FIG. 5 shows the structure of the optical scanning means 13a. As shown in FIG. 4, light from the illumination optical system 14 needs to be transmitted, and light from the IMOD element 10 needs to be reflected for scanning. Therefore, the optical scanning means is provided in two regions 13.
R is divided into R and 13T, 13R is a region which reflects light for scanning light, and 13T is a transmissive or hollow so as to pass therethrough.
【００２６】投射光学系11に対して、光走査手段13は、
瞳近傍に設けられおり、図５のように走査手段13を構成
することにより瞳分割して照明、投影の光路を分離する
ことができる。白色光により照明し、IMOD素子の特性を
高速に変化させることで、カラー画像を表示することが
可能である。また、階調性に関しては、面積階調でおこ
なってもよいし、より高速に画素を駆動することで、時
分割で行ってよい。図６は、本実施他形態の別様態であ
る。同じ符号のものは、同じ機能を表すものとして、説
明は省略する。図６で、16は色合成分離手段であり、例
えば、ダイクロイックプリズムが用いられる。With respect to the projection optical system 11, the light scanning means 13
The pupil is provided in the vicinity of the pupil. By configuring the scanning means 13 as shown in FIG. 5, the pupil can be divided to separate the optical paths of illumination and projection. By illuminating with white light and changing the characteristics of the IMOD element at high speed, a color image can be displayed. Further, the gradation may be performed by area gradation or by time division by driving pixels at higher speed. FIG. 6 shows another embodiment of the present embodiment. The same reference numerals denote the same functions, and a description thereof will be omitted. In FIG. 6, reference numeral 16 denotes a color combining / separating means, for example, a dichroic prism is used.
【００２７】照明光学系１４から出射した白色光は、光
学系11aを介して、波長領域ごとの光変調を行うIMOD素
子10a、10b、10cに各波長領域ごとに対応するように色
合成分離光学系16で分離される。各IMOD素子10a、10b、
10cからの光は色分離合成光学系16で合成され、光走査
手段13を介して、スクリーン12上を走査され２次元のカ
ラー画像を表示する。色分離合成光学系および光源の特
性、種類については、公知のものがいずれも好適に用い
られる。走査手段13、各IMOD素子は、表示すべき画像信
号に対して、同期が取られ、所望の画像が得られるよう
に電気的に制御される。２次元のカラー表示に用いられ
る各IMOD素子は、強い照明により発生する熱を放熱でき
るように、伝熱体7が設けられ、さらに、放熱手段3が接
続されているので、スクリーン上に明るい画像を表示す
ることができ、又、長時間使用してもIMOD素子の劣化は
小さい。又、本発明では、光源を白色光源としたが、単
色光源を複数組み合わせるものであってもよい。The white light emitted from the illumination optical system 14 is passed through an optical system 11a to color modulating / separating optics so as to correspond to IMOD elements 10a, 10b, and 10c that perform light modulation for each wavelength region for each wavelength region. Separated in system 16. Each IMOD element 10a, 10b,
The light from 10c is synthesized by the color separation / synthesis optical system 16, and is scanned on the screen 12 via the optical scanning means 13 to display a two-dimensional color image. As for the characteristics and types of the color separation / synthesis optical system and the light source, any known ones are suitably used. The scanning means 13 and each IMOD element are synchronized with an image signal to be displayed and are electrically controlled so that a desired image is obtained. Each IMOD element used for two-dimensional color display is provided with a heat transfer member 7 and further connected with a heat radiating means 3 so that heat generated by strong illumination can be radiated, so that a bright image is displayed on a screen. Can be displayed, and the deterioration of the IMOD element is small even when used for a long time. In the present invention, the light source is a white light source, but a plurality of monochromatic light sources may be combined.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、干渉性変
調（IMOD)素子に伝熱体と放熱手段を配置することで温
度上昇を低減させることができる。またさらに、伝熱体
を側面に有するような１次元配列のIMOD素子で、投射型
表示装置を実現することができる。According to the present invention described above, the temperature rise can be reduced by arranging the heat transfer element and the heat radiating means in the coherent modulation (IMOD) element. Still further, a projection display device can be realized with a one-dimensional array of IMOD elements having a heat transfer body on a side surface.
【図１】本発明にかかる第１実施他形態の概略図FIG. 1 is a schematic diagram of a first alternative embodiment according to the present invention.
【図２】本発明にかかる第１実施他形態の別様態の概略
図FIG. 2 is a schematic view of another embodiment of the first embodiment according to the present invention;
【図３】本発明にかかる第２実施他形態の構成図FIG. 3 is a configuration diagram of a second embodiment according to the present invention;
【図４】第２実施他形態の照明光学系の構成図FIG. 4 is a configuration diagram of an illumination optical system according to a second embodiment and another embodiment.
【図５】走査手段の構成図FIG. 5 is a configuration diagram of a scanning unit.
【図６】第２実施他形態の別様態FIG. 6 shows another embodiment of the second embodiment.
【図７】干渉型反射型表示装置の構成図FIG. 7 is a configuration diagram of an interference-type reflective display device.
【図８】反射器の構成図FIG. 8 is a configuration diagram of a reflector.
【図９】干渉型反射型表示装置の特性FIG. 9 shows characteristics of an interference-type reflective display device.
【図１０】干渉型反射型表示装置の特性FIG. 10 shows characteristics of an interference-type reflective display device.
【図１１】干渉型反射型表示装置の特性FIG. 11 shows characteristics of an interference-type reflective display device.
【図１２】干渉型反射型表示装置の特性FIG. 12 shows characteristics of an interference-type reflective display device.
１ 基板ガラス ２ 反射器 ３ 放熱手段 ４ 薄膜 ５ 光共振層 ６ 薄膜 ７ 伝熱体部 ８ 薄膜 ９ 画素 １０ １次元配列の干渉性変調（IMOD）素子 １１ 投射光学系 １２ スクリーン １３ 走査手段 １４ 照明光学系 １５ 光源像 １６ 色合成分離手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate glass 2 Reflector 3 Heat radiating means 4 Thin film 5 Optical resonance layer 6 Thin film 7 Heat transfer part 8 Thin film 9 Pixel 10 One-dimensional array coherent modulation (IMOD) element 11 Projection optical system 12 Screen 13 Scanning means 14 Illumination optics System 15 Light source image 16 Color synthesis separation means
Claims (6)
素子であって、放熱手段を有することを特徴とする干渉
性変調素子。1. An interferometric modulation element that modulates light by utilizing interference, comprising a heat radiating means.
複数の層を透明基板上に積層した光共振層を有する光入
射部と、可動反射鏡とを、対峙させた干渉性変調素子で
あって、前記干渉性変調素子に伝熱体を配置することを
特徴とする干渉性変調素子。2. A coherent modulation element in which a light incident portion having an optical resonance layer in which a plurality of layers each composed of a combination of a dielectric layer and a metal layer are laminated on a transparent substrate, and a movable reflecting mirror are opposed to each other. A coherent modulation element, wherein a heat conductor is arranged on the coherent modulation element.
空気層を介して対峙させたことを特徴とする請求項２記
載の干渉性変調素子。3. The light incident portion and the movable reflecting mirror,
3. The coherent modulation element according to claim 2, wherein the elements face each other via an air layer.
接触していることを特徴とする請求項２記載のIMOD素
子。4. The IMOD device according to claim 2, wherein said heat transfer body is in contact with at least said metal layer.
れた前記干渉性変調素子を１次元に配列することを特徴
とする画像表示素子。5. An image display device, wherein the coherent modulation devices according to claim 1 are arranged one-dimensionally.
備え、 前記画像表示素子を前記投射光学系の瞳分割により照明
し、 前記走査手段により走査することで２次元の投射画像を
得ることを特徴とする画像表示装置。6. The image display device according to claim 5, further comprising: a projection optical system configured to project the image display device; and a scanning unit disposed near an aperture of the projection optical system. An image display device, wherein illumination is performed by pupil division of an optical system, and a two-dimensional projected image is obtained by scanning by the scanning unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000246389A JP2002062492A (en) | 2000-08-15 | 2000-08-15 | Projection optical system using interferometric modulation device |
Applications Claiming Priority (1)
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