JP2002062475A

JP2002062475A - 光学系を設計するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び光学系設計システム

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Publication number: JP2002062475A
Application number: JP2000247864A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Mitarai; 潔御手洗
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2000-08-17
Filing date: 2000-08-17
Publication date: 2002-02-28

Abstract

(57)【要約】【課題】コンピュータ読み取り可能な記録媒体及び光
学系設計システムにおいて、光学系設計者の高度な判断
処理を促進させ、光学系設計の効率化及び設計時間の短
縮化を図ること。【解決手段】ディスプレイ上の光学素子図形Ａを直接
指示することにより光学特性を入力又は変更する光学素
子を認識し、その光学素子の光学特性のデータが入力又
は変更されると該データに基づいて光学系の光学計算を
行い、さらに計算結果である光学素子の形状、光学系を
通過する光線等の図形パターンなどの図形情報や収差値
等の数値情報をインタラクティブかつリアルタイムにデ
ィスプレイ上に表示させるので、光学系設計者の設計作
業の基本である「コマンド入力」「各種光学計算」「結
果表示」「判断」の一連の動作をコンピュータディスプ
レイ上で統合可能であり、光学系設計の高度な判断処理
を促進させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば露光装置に
おける投影光学系、照明光学系やアライメント光学系、
カメラ、顕微鏡、内視鏡、望遠鏡等の光学機器における
複数の光学素子からなる光学系を設計するためのプログ
ラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及
び光学系設計システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子、液晶表示素子、撮像素子
（ＣＣＤ等）又は薄膜磁気ヘッド等をフォトリソグラフ
ィ技術を用いて製造する装置として、一括露光方式や走
査露光方式等の投影露光装置（ステップ・アンド・リピ
ート型ステッパーやステップ・アンド・スキャン型ステ
ッパー等）等が用いられているが、これらの露光装置は
レンズ等の複数の光学素子で構成される投影光学系、照
明光学系やアライメント光学系等の光学系を備えてい
る。また、レンズ、プリズム、反射鏡、回折格子等の光
学素子を含む光学系として、例えば写真用レンズ、顕微
鏡用レンズ、内視鏡用レンズ等がある。

【０００３】このような光学素子を含む光学系の設計
は、従来から極めて困難な問題として知られている。こ
れは、光学系の持つパラメータ空間の多次元性、パラメ
ータの複雑な制約条件等の要因が関係しているためであ
る。従来から行われている光学系設計では、まず、与え
られた仕様に近い過去の蓄積されたデータの変更や全く
新規に初期データの作成を行う。そして、手作業による
収差補正あるいは自動収差補正等の機能を有する最適化
プログラム（オリジナルに開発したプログラムソフトや
市販ソフト）を用いた収差補正や性能評価を行うことに
より設計を進めることになる。

【０００４】現在の収差補正の最適化プログラムでは、
光学系の初期データの持つ潜在的な能力に左右されやす
い、すなわち最適化プログラムに与える初期データが適
切でない場合、ローカルミニマムと呼ばれる停留点に陥
り、設計解の探索はそこから先に進めなくなってしま
う。そのため、ローカルミニマムからの脱出方法とし
て、古くは、熱統計力学のBoltzmann分布、Simulated A
nnealing等の物理現象を利用したもの、最近では遺伝的
アルゴリズム(Genetic Algorithm:以下ＧＡという）や
エスケープ関数といった手法を最適化プログラムに組み
込む試みが行われているが、実際の光学系設計の例が少
なく、あまり効果的な方法とは言い難い。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】光学系の設計を行う
際、手作業による収差補正あるいは自動収差補正プログ
ラムを利用するにせよ、与える光学系の初期データが良
くないと膨大な時間をかけた計算を行ってもあまり良い
結果は得られない。すなわち、最初にいかに素姓が良
く、潜在的に優れた能力を持つ初期データを見つけるこ
とができるかが光学系の設計では重要である。この段階
の作業の効率化が図れれば、設計時間は大幅に短縮する
ことができる。

【０００６】前述したＧＡを利用した最適化プログラム
等は数式をコンピュータ上でいろいろ工夫した計算／評
価を行ってはいるが、計算結果の解釈が光学系設計者の
解釈と一致していないことが多い。このことは、最適化
プログラム等が計算を進めていく過程で、次々に訪れる
場面での適切な判断ができず、複数の場面の前後関係や
この場面が実際の光学系とどのような関係にあるかを最
適化プログラムは認識できないからである。これは、例
えるならば広大な砂漠で目隠しされた人が無くしたコイ
ンを手探りで探している姿に似ている。

【０００７】一方、光学系設計者は光学素子の形状、光
学系を通過する光線の状態を２次元あるいは３次元パタ
ーンとして視覚的に認識し、さらに収差等の評価値や過
去の経験等を基に高度な判断処理を行っている。すなわ
ち、光学系設計におけるすべての判断処理は光学素子の
形状、光学系を通過する光線の状態の図形パターン、収
差等の評価値を基に行われる。このように、従来の手法
では、光学系設計者の高度な判断処理を効果的に活用す
ることが困難であり、光学系設計が効率的でなく、設計
期間が長くなってしまう問題があった。

【０００８】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
ので、光学系設計者の高度な判断処理を促進させ、光学
系設計の効率化及び設計時間の短縮化を図ることができ
る光学系を設計するためのプログラムを記録したコンピ
ュータ読み取り可能な記録媒体及び光学系設計システム
を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成を採用した。すなわち、図１か
ら図２０とに対応づけて説明すると、本発明のコンピュ
ータ読み取り可能な記録媒体では、複数の光学素子から
なる光学系を設計するためのプログラムを記録したコン
ピュータ読み取り可能な記録媒体であって、前記プログ
ラムは、前記光学素子に対応した光学素子図形（Ａ、
Ｂ、Ｃ）としてディスプレイ（４）上に前記光学系を表
示する第１のステップと、前記ディスプレイ上の前記光
学素子図形を直接指示することにより光学特性を入力又
は変更する前記光学素子を認識する第２のステップと、
前記認識された光学素子の光学特性のデータが入力又は
変更されると、リアルタイムに該データに基づいて前記
光学系の光学計算を行う第３のステップと、前記光学計
算の結果をリアルタイムに前記ディスプレイ上に表示す
る第４のステップとをコンピュータに実行させることを
特徴とする。

【００１０】また、本発明の光学系設計システムでは、
複数の光学素子からなる光学系を設計する光学系設計シ
ステムであって、前記光学系の光学計算を行う演算部
（１）と、該演算部に前記光学系のデータを入力するデ
ータ入力部（３）と、前記光学系及び前記光学計算の情
報を表示するディスプレイ（４）とを備え、前記演算部
は、前記光学素子に対応した光学素子図形（Ａ、Ｂ、
Ｃ）として前記ディスプレイ上に前記光学系を表示する
図形表示部（８）と、前記データ入力部により直接指示
された前記ディスプレイ上の光学素子図形を用いて、光
学特性の入力又は変更を行う前記光学素子として認識す
る図形認識部（９）と、前記認識された光学素子の光学
特性のデータが入力又は変更されると、リアルタイムに
該データに基づいて前記光学系の光学計算を行う光学計
算部（１０）と、前記光学計算の結果をリアルタイムに
前記ディスプレイ上に表示する結果表示部（１１）とを
有することを特徴とする。

【００１１】これらのコンピュータ読み取り可能な記録
媒体及び光学系設計システムでは、ディスプレイ（４）
上の光学素子図形（Ａ、Ｂ、Ｃ）を直接指示することに
より光学特性を入力又は変更する光学素子を認識し、そ
の光学素子の光学特性のデータが入力又は変更されると
該データに基づいて光学系の光学計算を行い、さらに計
算結果である光学素子の形状、光学系を通過する光線等
の図形パターンなどの図形情報や収差値等の数値情報を
インタラクティブかつリアルタイムにディスプレイ上に
表示させるので、光学系設計者の設計作業の基本である
「コマンド入力」「各種光学計算」「結果表示」「判
断」の一連の動作をコンピュータディスプレイ上で統合
可能であり、光学系設計の高度な判断処理を促進させる
ことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光学系を設計
するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り
可能な記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態
を、図１から図２０を参照しながら説明する。これらの
図にあっては、符号１は演算部、２は記憶部、３は入力
部、４はディスプレイを示している。

【００１３】本実施形態の光学系設計システムは、例え
ば露光装置の投影光学系、照明光学系やアライメント光
学系、写真用レンズ、顕微鏡用レンズ、内視鏡用レンズ
等の複数の光学素子からなる光学系を設計するものであ
り、光学計算としては、光学系の光路などを計算する光
線追跡（近軸、非点、スキューなど）の機能を有し、光
学系の性能評価計算としては、収差やスポットダイヤグ
ラム等を計算する機能を有している。この光学系設計シ
ステムは、図１に示すように、光学系の光学計算及び性
能評価計算を行う演算部１と、演算部１で実行させる光
学系設計プログラム等を記憶するＲＡＭやＲＯＭ等から
なる記憶部２と、該演算部１に光学系のデータを入力す
る入力部（データ入力部）３と、光学系及び光学計算及
び性能評価計算の情報を表示するディスプレイ４を有す
る出力部５と、ハードディスク等の外部記憶装置６と、
入力部３、出力部５及び外部記憶装置６と演算部１及び
記憶部２との間のデータの入出力を行う入出力インター
フェース部７とを備えたコンピュータである。

【００１４】演算部１は、記憶部２に記憶された光学系
設計プログラムに基づいて、図２及び図３に示すよう
に、光学系を光学素子に対応した光学素子図形Ａ、Ｂ、
Ｃとしてディスプレイ４上に表示する図形表示部８と、
入力部３により直接指示されたディスプレイ４上の光学
素子図形Ａ、Ｂ、Ｃを、光学特性の入力又は変更すべき
光学素子として認識する図形認識部９と、認識した光学
素子の光学特性のデータが入力部３により入力されると
該データに基づいて光学系の光学計算及び性能評価計算
を行う光学計算部１０と、光学計算及び性能評価計算の
結果をディスプレイ４上に表示する結果表示部１１とか
ら構成される。

【００１５】入力部３は、光学素子図形Ａ、Ｂ、Ｃをキ
ー入力で直接指示可能なキーボード１２と、ディスプレ
イ４に表示される主画面１７上のポインタ１３の位置を
直接指示可能なポインティングデバイス（マウス、ペ
ン、トラックボール等）１４と、ＣＤ−ＲＯＭ、ＦＤ、
ＭＯ、磁気テープ等の記憶媒体からこれらに光学的ある
いは磁気的に記録された光学データや光学系設計プログ
ラムを記憶部２に入力可能なドライブ１６とを備えてい
る。なお、光学系設計プログラムは、予め記憶部２のＲ
ＯＭや外部記憶装置６に記憶させておいても構わない。

【００１６】また、出力部５は、ＣＲＴ等や液晶ディス
プレイ等の表示装置であるディスプレイ４の他に、ＦＤ
やＭＯ等の記憶媒体に光学系のデータ等を記憶させる出
力用のドライブ（図示略）と、光学系の図形表示や光学
計算の情報等を印刷するプリンタ（図示略）とを備えて
いる。

【００１７】図形表示部８は、図形認識部９で直接指示
された光学素子図形Ａ、Ｂ、Ｃのディスプレイ４上にお
ける表示状態を変更する機能を備え、例えば、指示され
た光学素子図形Ａ、Ｂ、Ｃの色、明度、模様又は線の種
類の少なくとも一つを変更したり、又は指示された光学
素子図形Ａ、Ｂ、Ｃを点滅させたりすることができる。

【００１８】また、図形表示部８は、光学系に追加可能
な光学素子に対応する追加光学素子図形Ｄ、Ｅ、Ｆをデ
ィスプレイ４上に光学素子図形Ａ、Ｂ、Ｃとは別に表示
し、図形認識部９は、追加光学素子図形Ｄ、Ｅ、Ｆを直
接指示して光学系に追加する光学素子を認識可能になっ
ている。

【００１９】光学計算部１０は、直接指示された光学素
子図形Ａ、Ｂ、Ｃに対応する光学素子の移動、追加及び
削除が可能になっている。そして、図形表示部８は、入
力部３により光学素子図形Ａ、Ｂ、Ｃを直接指示した状
態のままディスプレイ４上を移動可能であり、光学計算
部１０は、光学素子図形Ａ、Ｂ、Ｃの表示位置により対
応する光学素子の移動又は追加する位置をデータとして
入力可能になっている。また、光学計算部１０は、複数
の光学特性の間で従属関係を維持した状態で、複数の光
学特性のデータを同時に入力又は変更して計算可能にな
っている。

【００２０】結果表示部１１は、光学計算及び性能評価
計算の結果を図、グラフ又は表で表示するようになって
いる。また、図形表示部８は、光学素子図形Ａ、Ｂ、Ｃ
をディスプレイ４上の主画面１７に表示し、結果表示部
１１は、図９等に示すように、光学計算及び性能評価計
算の結果を主画面１７と独立した別画面である子画面１
８ａ、１８ｂ、…に表示可能になっている。

【００２１】演算部１は、複数の光学素子図形Ａ、Ｂ、
Ｃを直接指示して複数の光学素子に対するデータの入力
が可能になっている。また、演算部１は、本発明の光学
系設計プログラムとは別の光学系設計プログラム（ＯＲ
Ａ社のＣＯＤＥＶ等の市販プログラム等）で生成され
たデータを光学系のデータとして入力可能であると共
に、本発明の光学系設計プログラムによる光学系の設計
結果を本発明の光学系設計プログラムとは別の光学系設
計プログラム（市販プログラム等）で実行（入力）可能
なデータとして外部記憶装置６や出力部５のドライブを
介して他の記憶媒体等に出力可能になっている。

【００２２】次に、本実施形態の光学系設計システムに
よる光学系設計プログラムについて、図４に示すフロー
チャートに沿って説明する。なお、演算部１の機能を実
現するための本発明の光学系設計プログラムをコンピュ
ータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体
に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み
込ませ、実行することにより、光学系設計処理を行う。

【００２３】まず、最初にＯＲＡ社のＣＯＤＥＶ等の
市販プログラム等で作成されたレンズデータを入力部３
のドライブ１６から入出力インターフェース部７を介し
て読み込む（図４のステップＳ１）。この読み込まれた
レンズデータは、光学素子と１対１に対応した図５に示
すようなレンズオブジェクト１９を、図６に示すよう
に、ポインターで連結したリスト構造として記憶部２に
格納される。なお、レンズデータを、ドライブ１６から
読み込まずに、キーボード１２等で一から入力しても構
わないが、上述したように、市販プログラム等で作成さ
れたレンズデータをドライブ１６から入力することによ
り、データ入力の手間を省くことができると共に、予め
ある程度設計された光学系のデータに基づいて設計を行
うことができる。

【００２４】そして、このレンズデータに基づいて、演
算部１の図形表示部８が、図３に示すように、レンズデ
ータの各光学素子に対応した光学素子図形Ａ、Ｂ、Ｃを
ディスプレイ４上の主画面１７に表示する。このよう
に、本実施形態の光学系設計プログラムとは別の光学系
設計プログラムで生成されたデータを、光学系のデータ
として入力し、ディスプレイ４上に表示することができ
る。

【００２５】次に、マウス等のポインティングデバイス
１４を操作して、図７に示すように、変更したい光学素
子に対応した光学素子図形Ｂをディスプレイ４上で直接
指示し、選択する（ステップＳ２）。

【００２６】例えば、曲率半径の値を変更する場合につ
いて説明する。まず、マウス等のポインティングデバイ
ス１４を操作して、図７に示すように、ポインタ１３を
変更したい光学素子に対応した光学素子図形Ｂのレンズ
面に近づけ、該レンズ面をディスプレイ４上でポインテ
ィングデバイス１４で直接指示する。このとき、演算部
１の図形認識部９が、直接指示されたディスプレイ４上
の光学素子図形Ｂに対応する光学素子の光学特性の入力
又は変更指示であることを認識し、さらに、図形表示部
８が、図８に示すように、直接指示された光学素子図形
Ｂのディスプレイ４上における表示状態を変更する。

【００２７】すなわち、本実施形態では、指示された光
学素子図形Ｂのレンズ面を示す線をディスプレイ４上で
点滅させる。なお、図８では、点滅状態を図に表現する
ために、指示したレンズ面の周囲に複数の斜線を記載し
てあるが、実際の主画面１７に斜線が表示されるわけで
はない。また、他の表示状態の変更として、レンズ面を
示す線の色を黒色から赤色に変えたり、当該線の明度を
変更したり、又は当該線の種類を実線から破線に変えて
も構わない。また、光学素子図形全体を直接指示した場
合は、光学素子図形内の色を、ただの白色から赤色に変
えたり、光学素子図形内の模様を、ただの空白からハッ
チング等の模様に変えても構わない。

【００２８】次に、曲率半径の値の増減について動作機
能を予め登録されたポインティングデバイス１４のボタ
ンやキーボード１２のキーを押すことにより、直接指示
した光学素子図形Ｂのレンズ面における曲率半径を変更
していく（ステップＳ３）。このとき、演算部１の光学
計算部１０が、ポインティングデバイス１４等により入
力された曲率半径の入力又は変更データに基づいて光学
系の光学計算及びこの結果に基づいた光学系の性能評価
計算を行うと同時に、演算部１の結果表示部１１が、光
学計算及び性能評価計算の結果をディスプレイ４上に表
示する。

【００２９】すなわち、図８に示すように、光学計算部
１０で光学計算された光路Ｌが、図８に示すように、デ
ィスプレイ４上に連続的に再描画されると共に、指示し
た光学素子図形Ｂのレンズ面を表す線も曲率半径の値の
変化に応じてリアルタイムに変化し、表示される。

【００３０】また、結果表示部１１は、光学特性の入力
又は変更及び計算結果、例えば有効径等を表としてもデ
ィスプレイ４上に表示可能であり、例えば、主画面１７
に表示された操作ボタン「Ｆ１」をポインティングデバ
イス１４で指示すると、図９に示すように、面種、面番
号、曲率半径、面間隔、有効径及び硝材等を示した光学
特性の入力又は変更及び計算結果をリアルタイムに子画
面１８ａの表として主画面１７中に表示可能である。

【００３１】さらに、結果表示部１１は、光学系の性能
評価計算結果もグラフ表示することができる。例えば、
主画面１７に表示された操作ボタン「Ｆ２」をポインテ
ィングデバイス１４で指示すると、図１０に示すよう
に、球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差及び横
収差のグラフが子画面１８ｂとして主画面１７に重なっ
て表示される。また、主画面１７に表示された操作ボタ
ン「Ｆ３」をポインティングデバイス１４で指示する
と、図１１に示すように、波面収差のグラフが子画面１
８ｃとして主画面１７に重なって表示される。

【００３２】また、主画面１７に表示された他の操作ボ
タン等をポインティングデバイス１４で指示すると、図
１２、図１３、図１４及び図１５に示すように、それぞ
れ幾何光学的ＭＴＦのグラフ、波長に対する透過率のグ
ラフ、デフォーカスに対する点像強度のグラフ及び波動
光学的ＭＴＦのグラフが子画面１８ｄ、１８ｅ、１８
ｆ、１８ｇとして主画面１７に重なって表示される。

【００３３】次に、面間隔の値を変更する場合について
説明する。

【００３４】まず、マウス等のポインティングデバイス
１４を操作して、図１６に示すように、ポインタ１３を
変更したい光学素子に対応した光学素子図形Ａのレンズ
中央に近づけ、該レンズ中央をディスプレイ４上でポイ
ンティングデバイス１４で直接指示する。このとき、演
算部１の図形認識部９が、直接指示されたディスプレイ
４上の光学素子図形Ａに対応する光学素子の光学特性の
入力又は変更指示であることを認識し、さらに、図形表
示部８が、図１７に示すように、直接指示された光学素
子図形Ａのディスプレイ４上における表示状態を変更す
る。すなわち、指示された光学素子図形Ａ中央の中心線
部分を点滅させる。なお、図１７では、図８と同様に、
点滅状態を図に表現するために、指示した光学素子図形
Ａの中心線部分の周囲に複数の斜線を記載してあるが、
実際の主画面１７に斜線が表示されるわけではない。

【００３５】次に、面間隔の増減について動作機能を予
め登録されたポインティングデバイス１４のボタンやキ
ーボード１２のキーを押すことにより、直接指示した光
学素子図形Ａの面間隔を変更していく。このとき、演算
部１の光学計算部１０が、ポインティングデバイス１４
等により入力された面間隔の入力又は変更データに基づ
いて光学系の光学計算及びこの結果に基づいた光学系の
性能評価計算を行うと同時に、演算部１の結果表示部１
１が、上述した曲率半径の場合のように、光学計算及び
性能評価計算の結果をディスプレイ４上に表示する。な
お、これらの編集処理を行った後に編集前の状態に戻す
アンドウや同じ編集処理を繰り返すリドウも可能であ
る。

【００３６】また、ベンディング（ある光学特性を変更
したとき焦点距離を一定に保つために指定した面の曲率
半径を変化させる）操作を行う場合について説明する。
ここでは、光学素子の面間隔を変更して、光学系全体の
焦点距離を一定に保つ場合について説明する。

【００３７】まず、マウス等のポインティングデバイス
１４を操作して、図１８の（ａ）に示すように、ベンデ
ィングされる光学素子に対応する光学素子図形ｆのベン
ディングしたいレンズ面にポインタ１３を近づけ、該レ
ンズ面をディスプレイ４上でポインティングデバイス１
４で直接指示する。次に、光学素子図形ａ〜ｆのうち、
ポインタ１３を変更したい光学素子に対応した光学素子
図形ｃ、ｅのレンズ中央に近づけ、該レンズ中央をディ
スプレイ４上でポインティングデバイス１４で直接指示
する。

【００３８】このとき、演算部１の図形認識部９が、直
接指示されたディスプレイ４上の光学素子図形ｃに対応
する光学素子の面間隔の入力又は変更であることを認識
し、光学素子図形ｆの指定面を、ベンディングする光学
素子として認識する。さらに、図形表示部８が、図１８
の（ｂ）に示すように、直接指示された光学素子図形
ｃ、ｆのディスプレイ４上における表示状態を変更す
る。すなわち、指示された光学素子図形ｃ、ｅの中央の
中心線部分及び光学素子図形ｆのベンディング指定面を
点滅させる。

【００３９】次に、面間隔の増減について動作機能を予
め登録されたポインティングデバイス１４のボタンやキ
ーボード１２のキーを押すことにより、直接指示した光
学素子図形ｃ、ｅの面間隔を変更していく。このとき、
演算部１の光学計算部１０が、ポインティングデバイス
１４等により入力された面間隔の入力又は変更データに
基づいてベンディングの計算を行うと同時に、演算部１
の結果表示部１１が、図１９に示すように、光学計算の
結果をディスプレイ４上に表示する。すなわち、指示さ
れた光学素子図形ｃ、ｅの面間隔が変更されると、計算
結果に基づいてリアルタイムでベンディングされた光学
素子図形ｆの形状がディスプレイ４上で変形し、表示さ
れる。

【００４０】なお、これらの編集処理を行った後に編集
前（変更前）の状態に戻すアンドウや同じ編集処理を繰
り返すリドウも可能である。

【００４１】このように選択した光学素子図形の編集を
行い、所望の光学系の特性が得られたか否か、すなわち
設計又は変更が完了したか否かを判断し（図４のステッ
プＳ４）、完了していない場合は、さらにポインティン
グデバイス１４で光学素子図形Ａ等の選択を再び行って
編集又は光学素子パラメータの変更を行う。また、設計
又は変更が完了した場合は、この光学系データを基に他
の光学系設計プログラム用の自動設計機能を制御するデ
ータファイルとして作成し（ステップＳ５）、外部記憶
装置６又は出力部５のドライブを介して光学系データと
共にＦＤ等に出力（記憶）する。

【００４２】なお、上述した曲率半径や面間隔の値以外
に、以下のような光学素子の編集、光学素子パラメータ
の変更等が可能である。「光学素子の編集」としては、
光学素子の削除、追加、移動、コピー、光学素子単体の
反転、光学系全体／部分の反転、光学素子のグループの
コピー及び反転（元の光学素子グループと対称な光学素
子グループの作成）、他の光学系における光学素子のコ
ピー、光学系全体の比例拡大／縮小等が可能である。

【００４３】例えば、光学素子の追加を行う場合、ディ
スプレイ４上におけるポインティングデバイス１４のい
わゆるドラッグ・アンド・ドロップ操作で簡易に行うこ
とができる。すなわち、図３に示すように、光学系に追
加可能な光学素子に対応する追加光学素子図形Ｄ、Ｅ、
Ｆのいずれかをポインティングデバイス１４で直接指示
し、ポインティングデバイス１４の操作によるポインタ
ーの移動に追従して追加光学素子図形が移動する状態、
これをドラッグした状態とする。なお、追加光学素子図
形Ｄ、Ｅ、Ｆは、任意に表示可能な子画面１８ｈに表示
される。

【００４４】このとき、図形認識部９は、指示された追
加光学素子図形Ｄを光学系に追加する光学素子として認
識する。この追加光学素子図形Ｄを、図１８に示すよう
に、ディスプレイ４上でドラッグし、追加したい位置で
ドロップ（ポインティングデバイス１４のボタンを離
し、ドラッグ状態を解除すること）することにより、追
加位置を決定し、光学計算を行う。すなわち、追加光学
素子図形Ｄをドラッグして直接指示した状態のままディ
スプレイ４上を移動させ、追加光学素子図形Ｄのドロッ
プ位置により対応する光学素子の追加する位置をデータ
として入力させる。

【００４５】なお、光学素子の移動を行う場合も、対応
する光学素子図形をドラッグし、ドロップさせた光学素
子図形の表示位置により対応する光学素子の移動又は追
加する位置をデータとして入力させる。また、光学素子
の削除を行う場合は、対応する光学素子図形をポインテ
ィングデバイス１４で直接指示し、その状態でキーボー
ド１２上の削除キーをキー入力するか、ポインティング
デバイス１４で主画面１７上の操作ボタン「Ｅｄｉｔ」
を押していわゆるプルダウンメニューを表示させ、その
中の操作ボタン「ＤＥＬＥＴＥ」をポインティングデバ
イス１４で押すことにより、削除することができる。

【００４６】また、「光学素子パラメータ（光学特
性）」としては、硝材、屈折率分布型硝材の屈折率分
布、硝材の屈折率、硝材の透過率、曲率半径、面間隔、
非球面係数、回折次数、格子のピッチ、後述する特殊面
を構成するためのパラメータ等がある。また、「光学系
設計パラメータ（光学特性）」としては、球面、反射
面、特殊面（シリンドリカル面、コーニック面、トロイ
ダル面、非球面（二次曲面＋多項式）、スプライン面、
アナモルフィック非球面、回折格子、ホログラフィック
面、スーパーコーニック面、奇数次多項式面、標準ツェ
ルニケ面、ＸＹ多項式面、拡張スプライン面、混合楕円
集光面、直角円錐コーン上のフレネル面、平面基盤上の
フレネル面、セグメント面、レンチキュラー面、フライ
アイ面、トーリック面）、ノーシーケンシャル面、独自
に定義した面、ポリゴンミラー、全光学系の焦点距離、
全光学系の倍率、光学系の全長、像面のデフォーカス、
像高、物高、開口数（ＮＡ）、物体側開口数、入射瞳
径、入射瞳径に対するケラレ、波長、画角、波長の重
み、面のシフト量、面のチルト量、中心遮蔽量、特殊形
状開口（矩形、多角形、楕円、これらの組み合わせ）、
公差、ワーキングディスタンス、ミラーの反射率、主光
線等の光軸に対する角度、光線のスタート座標や方向余
弦、光学系の環境の屈折率（気圧／温度変化による空気
等の屈折率の変化）等がある。

【００４７】なお、１対１、１対ｎ又はｎ対ｍ（ｎ、ｍ
はともに２以上）の光学素子パラメータ間の関係を保っ
た状態での変更（例えば、ズーミング、フォーカシング
等）が可能であり、複数の光学特性の間で従属関係を維
持した状態で、複数の光学特性のデータを同時に入力又
は変更して自動的に計算するようになっている。さら
に、性能評価計算としては、部分光学系の焦点距離、光
路長、収差の計算、最良像面位置計算、波面収差の計
算、スポットダイヤグラム、点像強度分布の計算、幾何
光学的ＭＴＦの計算、波動光学的ＭＴＦの計算、三次／
五次以上の収差係数の計算、光学素子へ（から）の光線
の入射（出射）角の計算、スペクトルの透過率解析、ゴ
ースト解析、ナルシサス解析、分光解析、多層膜の透過
／反射解析、照明解析、ガウスビーム伝搬解析、ファイ
バー結合解析、部分コヒーレント解析、ズームコンスト
ラクションパラメータ解析、ズームレンズのカムデータ
計算、大気圧変動解析、温度変動解析、照射変動解析、
非球面の曲率及び曲率変化率、フレアー解析、テレセン
性、瞳の収差量、像面照度計算、色収差の計算、偏光解
析、原器合せ計算等が実行可能であると共に計算結果を
図及びグラフで表示可能である。また、光学素子のデー
タを入力する場合、複数の光学素子図形をポインティン
グデバイス１４で直接指示することにより、複数の光学
素子に対するデータの同時入力ができる。また、本発明
における「光学特性の入力又は変更」は、上述したよう
に光学素子の曲率半径や面間隔を変更すること、さらに
上記「光学素子の編集」「光学素子パラメータ」「光学
系設計パラメータ」の説明で記載した編集や特性の各変
更を含むものである。

【００４８】なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態
に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない
範囲において種々の変更を加えることが可能である。

【００４９】例えば、上記記憶部２は、ハードディスク
装置や光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮
発性のメモリや、ＣＤ−ＲＯＭ等の読み出しのみが可能
な記憶媒体、ＲＡＭ(Random Access Memory)のような揮
発性のメモリ、あるいはこれらの組み合わせにより構成
されるものとする。また、上記演算部１は、ＣＰＵ（中
央演算装置）等により構成され、上述したように、演算
部１の機能を実現するためのプログラムをメモリである
記憶部２にロードして実行することによりその機能を実
現させるもの以外に、専用のハードウェアにより実現さ
れるものであってもよい。

【００５０】また、「コンピュータ読み取り可能な記録
媒体」とは、フロッピー（登録商標）ディスク、光磁気
ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピ
ュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装
置のことをいう。さらに、「コンピュータ読み取り可能
な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや
電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場
合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを
保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなる
コンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一
定時間プログラムを保持しているものも含むものとす
る。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実
現するためのものであっても良く、さらに前述した機能
をコンピュータシステムに既に記録されているプログラ
ムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。

【００５１】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果を奏する。
本発明のコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び光学
系設計システムによれば、ディスプレイ上の光学素子図
形を直接指示することにより光学特性を入力又は変更す
る光学素子を認識し、その光学素子の光学特性のデータ
が入力又は変更されると、リアルタイムに該データに基
づいて光学系の光学計算を行い、さらに光学計算の結果
をリアルタイムにディスプレイ上に表示するので、光学
系設計者がコンピュータディスプレイ上の図形を直接指
示することにより、光学計算の結果を数値及び図等でリ
アルタイムで確認しながらインタラクティブに設計作業
を行うことができ、光学設計の高度な判断処理を促進さ
せることができる。したがって、光学系設計における一
連の動作を図形の概念を用いて統合処理することがで
き、光学系設計者の高度な判断処理を促進させ、光学系
設計の効率化及び設計時間の短縮化を図ることができ
る。また、上記光学計算及びその光学計算の結果表示を
光学特性の入力又は変更に応じて同時にリアルタイムで
行うので、計算結果を即座に知ることができ、光学系設
計者の判断処理をより促進させることができる。

【００５２】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、光学素子
図形をポインティングデバイスで直接指示可能とするこ
とにより、マウス等を用いてポインタによりディスプレ
イ上の光学素子図形を視覚的にとらえて指示することが
でき、高い操作性によって速くかつ正確に図形の指示が
可能となる。

【００５３】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、光学素子
図形をキーボードのキー入力で直接指示可能とすること
により、１回若しくは数回のキー入力で光学素子図形を
確実に指示することができると共に、光学データの数値
入力も同時に行うことが容易となる。

【００５４】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、直接指示
された前記光学素子図形の表示状態を変化させることに
より、指示された光学素子図形をディスプレイ上で容易
に把握することができる。

【００５５】さらに、本発明のコンピュータ読み取り可
能な記録媒体及び光学系設計システムによれば、表示状
態の変化を、直接指示された光学素子図形の色、明度、
模様又は線の種類の少なくとも一つの変化又は直接指示
された光学素子図形の点滅とすることにより、指示され
た光学素子図形が視覚的に明確になると共に、光学素子
図形の形状や配置自体は変更させないため、ディスプレ
イ上で光学系を正確に把握することができる。

【００５６】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、直接指示
された光学素子図形に対応する光学素子の移動、追加及
び削除を可能にすることにより、正確でかつ迅速な光学
系設計が可能になり、光学系設計者の創造意欲を高め
る。

【００５７】さらに、本発明のコンピュータ読み取り可
能な記録媒体及び光学系設計システムによれば、光学素
子図形を直接指示した状態のままディスプレイ上を移動
可能とし、光学素子図形の表示位置により対応する光学
素子の移動又は追加する位置をデータとして入力可能に
することにより、光学素子の移動又は追加の位置をディ
スプレイ上で視覚的に把握することができると共に、変
更する光学素子の位置データを容易に入力することがで
きる。

【００５８】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、光学系に
追加可能な光学素子に対応する追加光学素子図形をディ
スプレイ上に光学素子図形とは別に表示し、追加光学素
子図形を直接指示して光学系に追加する光学素子を認識
可能にすることにより、追加する光学素子をディスプレ
イ上で視覚的に選択することができると共に、追加する
光学素子のデータを最初から入力する手間を省くことが
でき、光学素子の追加が容易となる。

【００５９】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、光学計算
の結果に基づいて光学系の性能評価計算を行い、該性能
評価計算の結果を、グラフ又は表の少なくとも一つで表
示することにより、性能評価計算結果についてディスプ
レイ上で図やグラフで任意に又はリアルタイムに確認す
ることができ、設計の良否判断が容易になる。

【００６０】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、光学素子
図形をディスプレイ上の主画面に表示し、性能評価計算
の結果を主画面と独立した別画面に表示可能にすること
により、主画面の光学素子図形と比較しながら種々の性
能評価計算結果をディスプレイ上の別画面で確認するこ
とができる。

【００６１】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、複数の光
学特性の間で従属関係を維持した状態で、複数の光学特
性のデータを同時に入力又は変更して計算可能とするこ
とにより、従属関係のある相互のデータの入力又は変更
が容易になり、より設計が容易になる。

【００６２】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、複数の光
学素子図形を直接指示して複数の光学素子に対するデー
タの入力又は変更を可能とすることにより、複数の光学
素子のデータを同時に入力することができ、効率的にデ
ータ入力及び光学計算を行うことができる。

【００６３】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、本発明の
プログラムとは別の光学系設計プログラムで生成された
データを光学系のデータとして入力し、ディスプレイ上
に表示可能にすることにより、一から光学系のデータを
入力する必要が無いと共に、予めある程度設計された光
学系のデータに基づいて設計を行うことができ、より設
計の効率化を図ることができる。

【００６４】また、本発明のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体及び光学系設計システムによれば、光学計算
を基に光学特性のデータの変更結果を本発明のプログラ
ムとは別の光学系設計プログラムで実行可能なデータと
して出力可能とすることにより、本発明のプログラムで
求められた光学特性のデータの変更結果に基づいて他の
光学系設計プログラムにより、さらに詳細な光学系設計
や性能評価計算等を容易に行うことができる。

【００６５】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な記
録媒体及び光学系設計システムの一実施形態を示すシス
テム構成図である。

【図２】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な記
録媒体及び光学系設計システムの一実施形態において、
演算部の各機能構成を示すブロック図である。

【図３】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な記
録媒体及び光学系設計システムの一実施形態において、
ポインティングデバイスで光学素子図形を指示する前の
ディスプレイ上の主画面を示す図である。

【図４】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な記
録媒体及び光学系設計システムの一実施形態において、
光学系設計方法を示すフローチャートである。

【図５】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な記
録媒体及び光学系設計システムの一実施形態において、
光学系設計プログラムで採用した１個の光学素子のデー
タ構造を示すブロック図である。

【図６】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な記
録媒体及び光学系設計システムの一実施形態において、
光学系設計プログラムで採用した光学系全体のデータ構
造を示すブロック図である。

【図７】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な記
録媒体及び光学系設計システムの一実施形態において、
ポインティングデバイスで選択したい光学素子図形のレ
ンズ面にポインタを移動させた状態のディスプレイ上の
主画面を示す図である。

【図８】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な記
録媒体及び光学系設計システムの一実施形態において、
ポインティングデバイスで直接指示した光学素子図形の
レンズ面が点滅している状態の主画面を示す図である。

【図９】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な記
録媒体及び光学系設計システムの一実施形態において、
光学系のデータの表を示したディスプレイ上の子画面を
示す図である。

【図１０】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、性能評価計算結果のグラフ（球面収差等のグラフ）
を示したディスプレイ上の子画面を主画面に重ねた図で
ある。

【図１１】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、性能評価計算結果のグラフ（波面収差のグラフ）を
示したディスプレイ上の子画面を主画面に重ねて示す図
である。

【図１２】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、性能評価計算結果のグラフ（幾何光学的ＭＴＦ）を
示したディスプレイ上の子画面を示す図である。

【図１３】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、性能評価計算結果のグラフ（波長−透過率グラフ）
を示したディスプレイ上の子画面を示す図である。

【図１４】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、性能評価計算結果のグラフ（デフォーカス−点像強
度グラフ）を示したディスプレイ上の子画面を示す図で
ある。

【図１５】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、性能評価計算結果のグラフ（波動光学的ＭＴＦグラ
フ）を示したディスプレイ上の子画面を示す図である。

【図１６】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、ポインティングデバイスで選択したい光学素子図形
の中央部分にポインタを移動させた状態のディスプレイ
上の主画面を示す図である。

【図１７】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、ポインティングデバイスで直接指示した光学素子図
形の中央部分の中心線が点滅している状態の主画面を示
す図である。

【図１８】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、ベンディング操作前及びベンディングのための諸々
の指示状態の主画面を示す図である。

【図１９】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、ベンディングを行った後の主画面を示す図である。

【図２０】本発明に係るコンピュータ読み取り可能な
記録媒体及び光学系設計システムの一実施形態におい
て、光学素子図形の追加を行う際の主画面を示す図であ
る。

【符号の説明】

１演算部２記憶部３入力部（データ入力部）４ディスプレイ５出力部６外部記憶装置８図形表示部９図形認識部１０光学計算部１１結果表示部１２キーボード１３ポインタ１４ポインティングデバイス１６ドライブ１７主画面１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｅ、１８ｆ、１
８ｇ、１８ｈ子画面Ａ、Ｂ、Ｃ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ光学素子図形Ｄ、Ｅ、Ｆ追加光学素子図形Ｌ光路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の光学素子からなる光学系を設計す
るためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可
能な記録媒体であって、前記プログラムは、前記光学素子に対応した光学素子図
形としてディスプレイ上に前記光学系を表示する第１の
ステップと、前記ディスプレイ上の前記光学素子図形を直接指示する
ことにより光学特性を入力又は変更する前記光学素子を
認識する第２のステップと、前記認識された光学素子の光学特性のデータが入力又は
変更されると、リアルタイムに該データに基づいて前記
光学系の光学計算を行う第３のステップと、前記光学計算の結果をリアルタイムに前記ディスプレイ
上に表示する第４のステップとをコンピュータに実行さ
せることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録
媒体。
【請求項２】前記第２のステップは、前記光学素子図
形をポインティングデバイスで直接指示可能であること
を特徴とする請求項１に記載のコンピュータ読み取り可
能な記録媒体。
【請求項３】前記第２のステップは、前記光学素子図
形をキーボードのキー入力で直接指示可能であることを
特徴とする請求項１に記載のコンピュータ読み取り可能
な記録媒体。
【請求項４】前記第２のステップは、前記直接指示さ
れた前記光学素子図形の表示状態を変化させることを特
徴とする請求項１から３のいずれかに記載のコンピュー
タ読み取り可能な記録媒体。
【請求項５】前記表示状態の変化は、前記直接指示さ
れた前記光学素子図形の色、明度、模様又は線の種類の
少なくとも一つの変化又は直接指示された光学素子図形
の点滅であることを特徴とする請求項４に記載のコンピ
ュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項６】前記第３のステップは、直接指示された
前記光学素子図形に対応する前記光学素子の移動、追加
及び削除が前記データとして入力可能であることを特徴
とする請求項１から５のいずれかに記載のコンピュータ
読み取り可能な記録媒体。
【請求項７】前記第３のステップは、前記光学素子図
形を直接指示した状態のまま前記ディスプレイ上を移動
可能とし、光学素子図形の表示位置に対応する前記光学
素子の移動又は追加する位置を前記データとして入力可
能であることを特徴とする請求項６に記載のコンピュー
タ読み取り可能な記録媒体。
【請求項８】前記第１のステップは、前記光学系に追
加可能な光学素子に対応する追加光学素子図形を前記デ
ィスプレイ上に前記光学素子図形とは別に表示し、前記第２のステップは、前記追加光学素子図形を直接指
示して前記光学系に追加する光学素子を認識可能である
ことを特徴とする請求項６又は７に記載のコンピュータ
読み取り可能な記録媒体。
【請求項９】前記第３のステップは、前記光学計算の
結果に基づいて前記光学系の性能評価計算を行い、前記第４のステップは、前記性能評価計算の結果を、グ
ラフ又は表の少なくとも一つで表示することを特徴とす
る請求項１から８のいずれかに記載のコンピュータ読み
取り可能な記録媒体。
【請求項１０】前記第１のステップは、前記光学素子
図形を前記ディスプレイ上の主画面に表示し、前記第４のステップは、前記性能評価計算の結果を前記
主画面と独立した別画面に表示可能であることを特徴と
する請求項９に記載のコンピュータ読み取り可能な記録
媒体。
【請求項１１】前記第３のステップは、複数の光学特
性の間で従属関係を維持した状態で、複数の光学特性の
データを同時に入力又は変更して計算可能であることを
特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載のコンピ
ュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項１２】前記第３のステップは、複数の前記光
学素子図形を直接指示して複数の前記光学素子に対する
前記データの入力又は変更が可能であることを特徴とす
る請求項１から１１のいずれかに記載のコンピュータ読
み取り可能な記録媒体。
【請求項１３】前記第１のステップは、前記プログラ
ムとは別の光学系設計プログラムで生成されたデータを
前記光学系のデータとして入力し、前記ディスプレイ上
に表示可能であることを特徴とする請求項１から１２の
いずれかに記載のコンピュータ読み取り可能な記録媒
体。
【請求項１４】前記プログラムは、前記光学計算を基
に光学特性のデータの変更結果を前記プログラムとは別
の光学系設計プログラムで実行可能なデータとして出力
可能な第５のステップをコンピュータに実行させること
を特徴とする請求項１から１３のいずれかに記載のコン
ピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項１５】複数の光学素子からなる光学系を設計
する光学系設計システムであって、前記光学系の光学計算を行う演算部と、該演算部に前記光学系のデータを入力するデータ入力部
と、前記光学系及び前記光学計算の情報を表示するディスプ
レイとを備え、前記演算部は、前記光学素子に対応した光学素子図形と
して前記ディスプレイ上に前記光学系を表示する図形表
示部と、前記データ入力部により直接指示された前記ディスプレ
イ上の光学素子図形を用いて、光学特性の入力又は変更
を行う前記光学素子として認識する図形認識部と、前記認識された光学素子の光学特性のデータが入力又は
変更されると、リアルタイムに該データに基づいて前記
光学系の光学計算を行う光学計算部と、前記光学計算の結果をリアルタイムに前記ディスプレイ
上に表示する結果表示部とを有することを特徴とする光
学系設計システム。
【請求項１６】前記データ入力部は、前記光学素子図
形を直接指示可能なポインティングデバイスを備えてい
ることを特徴とする請求項１５に記載の光学系設計シス
テム。
【請求項１７】前記データ入力部は、前記光学素子図
形をキー入力で直接指示可能なキーボードを備えている
ことを特徴とする請求項１５に記載の光学系設計システ
ム。
【請求項１８】前記図形表示部は、前記図形認識部で
直接指示された前記光学素子図形の表示状態を変化させ
ることを特徴とする請求項１５から１７のいずれかに記
載の光学系設計システム。
【請求項１９】前記表示状態の変化は、前記直接指示
された前記光学素子図形の色、明度、模様又は線の種類
の少なくとも一つの変化又は直接指示された光学素子図
形の点滅であることを特徴とする請求項１７に記載の光
学系設計システム。
【請求項２０】前記光学計算部は、直接指示された前
記光学素子図形に対応する前記光学素子の移動、追加及
び削除が可能であることを特徴とする請求項１５から１
９のいずれかに記載の光学系設計システム。
【請求項２１】前記図形表示部は、前記データ入力部
により前記光学素子図形を直接指示した状態のまま前記
ディスプレイ上を移動可能であり、前記光学計算部は、前記光学素子図形の表示位置に対応
する前記光学素子の移動又は追加する位置を前記データ
として入力可能であることを特徴とする請求項２０に記
載の光学系設計システム。
【請求項２２】前記図形表示部は、前記光学系に追加
可能な光学素子に対応する追加光学素子図形を前記ディ
スプレイ上に前記光学素子図形とは別に表示し、前記図形認識部は、前記追加光学素子図形を直接指示し
て前記光学系に追加する光学素子を認識可能であること
を特徴とする請求項２０又は２１に記載の光学系設計シ
ステム。
【請求項２３】前記光学計算部は、前記光学計算の結
果に基づいて前記光学系の性能評価計算を行い、前記結果表示部は、該性能評価計算の結果を、グラフ又
は表の少なくとも一つで表示することを特徴とする請求
項１５から２２のいずれかに記載の光学系設計システ
ム。
【請求項２４】前記図形表示部は、前記光学素子図形
を前記ディスプレイ上の主画面に表示し、前記結果表示部は、前記性能評価計算の結果を前記主画
面と独立した別画面に表示可能であることを特徴とする
請求項２３に記載の光学系設計システム。
【請求項２５】前記光学計算部は、複数の光学特性の
間で従属関係を維持した状態で、複数の光学特性のデー
タを同時に入力又は変更して計算可能であることを特徴
とする請求項１５から２４のいずれかに記載の光学系設
計システム。
【請求項２６】前記演算部は、複数の前記光学素子図
形を直接指示して複数の前記光学素子に対する前記デー
タの入力又は変更が可能であることを特徴とする請求項
１５から２５のいずれかに記載の光学系設計システム。
【請求項２７】前記演算部は、前記プログラムとは別
の光学系設計プログラムで生成されたデータを前記光学
系のデータとして入力し、前記ディスプレイ上に表示可
能であることを特徴とする請求項１５から２６のいずれ
かに記載の光学系設計システム。
【請求項２８】前記演算部は、前記光学計算を基に光
学特性のデータの変更結果を前記プログラムとは別の光
学系設計プログラムで実行可能なデータとして出力可能
であることを特徴とする請求項１５から２７のいずれか
に記載の光学系設計システム。