JP2002041108A

JP2002041108A - プロセス制御方法及びこれを用いたプロセス制御装置

Info

Publication number: JP2002041108A
Application number: JP2000223511A
Authority: JP
Inventors: Mitsutaka Fukuzawa; 充孝福沢
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2000-07-25
Filing date: 2000-07-25
Publication date: 2002-02-08

Abstract

(57)【要約】【課題】定常状態において分析値を用いて推定値を補
正することが可能なプロセス制御方法及びこれを用いた
プロセス制御装置を実現する。【解決手段】制御対象の挙動を表したモデルを有する
プロセス制御方法において、制御対象の操作量と状態量
とを用いてモデルに基づき制御量を推定した推定値及び
目標値により制御対象を制御しておき、定常状態になっ
た場合に分析値と推定値の差分を補正値として推定値に
加算して推定値を補正する。また、プロセスとモデルの
ミスマッチにより生じた差分を可変パラメータの調整に
よりモデルに反映させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、制御対象の挙動を
表したモデルを有するプロセス制御方法に関し、特に制
御量の測定値が非定周期で離散時間的にしか得られない
場合に毎制御周期に当該制御量を推定してプロセス制御
するプロセス制御方法及びこれを用いたプロセス制御装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の重合反応プロセス等においては、
製品の性状を示す粘度や密度等はオンラインで直接測定
することが困難であり、一般には分析室等で手分析によ
り粘度や密度等の性状を得ていた。

【０００３】このため、粘度や密度等のような直接測定
が困難な性状を制御する場合には制御対象の挙動を表し
たモデル（以下、単にモデルと呼ぶ。）を構築して当該
モデルにプロセスに対する操作量及び測定可能な状態量
に基づき粘度や密度等の値である制御量を推定して制御
に用いるプロセス制御方法が存在する。

【０００４】図７はこのような従来のプロセス制御方法
を用いたプロセス制御装置の一例を示す構成ブロック図
である。図７において１はコントローラ、２は制御対象
であるプロセス、３は制御対象であるプロセス２の挙動
を表したモデル予測手段、１００は目標値、１０１は操
作量、１０２はオンラインで直接測定が困難な制御量、
１０３は温度等の直接測定が可能な状態量、１０４は推
定値である。

【０００５】目標値１００はコントローラ１に入力さ
れ、コントローラ１の出力である操作量１０１はプロセ
ス２及びモデル予測手段３にそれぞれ供給される。操作
量１０１の設定に基づきプロセス２の制御量１０２は変
化し、測定可能な状態量１０３はモデル予測手段３に供
給される。

【０００６】モデル予測手段３の出力である制御量１０
２を推定した推定値１０４はコントローラ１に供給され
る。

【０００７】ここで、図７に示す従来例の動作を説明す
る。コントローラ１は入力された目標値１００に基づき
操作量１０１を決定してプロセス２及びモデル予測手段
３に出力する。

【０００８】モデル予測手段３は操作量１０１とオンラ
インで測定可能な状態量１０３に基づき制御量１０２を
推定した推定値１０４を求めてコントローラ１にフィー
ドバックさせる。具体的には、モデル予測手段３は操作
量１０１と状態量１０３に基づき構築されたモデルを用
いて開ループ計算を行い推定値１０４を求める。

【０００９】そして、コントローラ１はモデル予測手段
３からフィードバックされてきた推定値１０４に基づき
先に決定した操作量１０１を制御してプロセス２の制御
を行う。

【００１０】この結果、実際にオンラインで直接測定が
困難な制御量１０２であっても操作量１０１と状態量１
０３に基づき制御対象であるプロセス２の挙動を表した
モデル予測手段３により当該制御量１０２を推定して推
定値１０４を求めてこの推定値１０４に基づきコントロ
ーラ１が操作量１０１を制御することにより、オンライ
ンで直接測定が困難な制御量１０２の制御を行うことが
可能になる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図７に示す従
来のプロセス制御装置では推定値１０４を求めるモデル
予測手段３のモデルの精度が問題となるが、日々変化す
る運転条件に対して満足が行く推定精度を得るためには
適宜モデルを修正して推定値１０４がより制御量１０２
に一致するようにする必要がある。

【００１２】但し、直接オンラインで測定が困難であ
り、且つ、制御量の測定値が非定周期で離散時間的にし
か得られない分析値を用いて推定値を補正することは非
常に困難であると言った問題点があった。従って本発明
が解決しようとする課題は、定常状態において分析値を
用いて推定値を補正することが可能なプロセス制御方法
及びこれを用いたプロセス制御装置を実現することにあ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、制御対
象の挙動を表したモデルを有するプロセス制御方法にお
いて、前記制御対象の操作量と状態量とを用いて前記モ
デルに基づき制御量を推定した推定値及び目標値により
前記制御対象を制御しておき、定常状態になった場合に
分析値と前記推定値の差分を補正値として前記推定値に
加算して前記推定値を補正することにより、定常状態に
おいて分析値を用いて推定値を補正することが可能にな
る。

【００１４】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明であるプロセス制御方法において、前記目標値が一定
時間変動せず、且つ、前記状態量が一定の閾値内に納ま
っている場合に定常状態と判断して前記推定値を補正す
ることにより、定常状態において分析値を用いて推定値
を補正することが可能になる。

【００１５】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明であるプロセス制御方法において、前記状態量の移動
平均を２個所で行い２つの移動平均の値が閾値内に納ま
っていて、且つ、前記目標値が一定時間変動していない
場合に定常状態と判断して前記推定値を補正することに
より、定常状態において分析値を用いて推定値を補正す
ることが可能になる。

【００１６】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明であるプロセス制御方法において、前記分析値と前記
推定値との差分が予め設定された誤差範囲を超えた場合
に前記推定値を補正することにより、定常状態において
分析値を用いて推定値を補正することが可能になる。

【００１７】請求項５記載の発明は、請求項１記載の発
明であるプロセス制御方法において、前記補正値を遅れ
フィルタを介して前記推定値に加算することにより、制
御がバンプすることを防止できる。

【００１８】請求項６記載の発明は、請求項１記載の発
明であるプロセス制御方法において、補正された前記推
定値が安定した時点で、前記補正値をリセットすると共
に前記モデルを修正して前記分析値と前記推定値を等し
くすることにより、推定精度を向上させると共にモデル
調整を容易に行うことができる。

【００１９】請求項７記載の発明は、制御対象の挙動を
表したモデルを有するプロセス制御装置において、前記
制御対象の操作量と状態量とを用いて前記モデルにより
制御量の推定値を求めるモデル予測手段と、定常状態で
分析値と前記推定値の差分を求め補正値として出力する
推定値補正手段と、前記推定値と前記補正値を加算して
補正推定値を出力する加算手段と、目標値と前記補正推
定値に基づき前記制御対象の前記操作量を制御するコン
トローラとを備えたことにより、定常状態において分析
値を用いて推定値を補正することが可能になる。

【００２０】請求項８記載の発明は、請求項７記載の発
明であるプロセス制御装置において、前記推定値補正手
段が、前記目標値が一定時間変動せず、且つ、前記状態
量が一定の閾値内に納まっている場合に定常状態と判断
して前記補正値を出力することにより、定常状態におい
て分析値を用いて推定値を補正することが可能になる。

【００２１】請求項９記載の発明は、請求項７記載の発
明であるプロセス制御装置において、前記推定値補正手
段が、前記状態量の移動平均を２個所で行い２つの移動
平均の値が閾値内に納まっていて、且つ、前記目標値が
一定時間変動していない場合に定常状態と判断して前記
補正値を出力することにより、定常状態において分析値
を用いて推定値を補正することが可能になる。

【００２２】請求項１０記載の発明は、請求項７記載の
発明であるプロセス制御装置において、前記推定値補正
手段が、前記分析値と前記推定値との差分が予め設定さ
れた誤差範囲を超えた場合に前記補正値を出力すること
により、定常状態において分析値を用いて推定値を補正
することが可能になる。

【００２３】請求項１１記載の発明は、請求項７記載の
発明であるプロセス制御装置において、前記推定値補正
手段が、前記補正値を遅れフィルタを介して前記加算手
段に出力することにより、制御がバンプすることを防止
できる。

【００２４】請求項１２記載の発明は、請求項７記載の
発明であるプロセス制御装置において、前記補正推定値
が安定した時点で、前記推定値補正手段をリセットする
と共に前記モデル予測手段のモデルを修正して前記分析
値と前記推定値を等しくするモデル修正手段を備えたこ
とにより、推定精度を向上させると共にモデル調整を容
易に行うことができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係るプロセス制御方法を用い
たプロセス制御装置の一実施例を示す構成ブロック図で
ある。図１において１〜３，１００〜１０４は図７と同
一符号を付してあり、４は推定値補正手段、５は加算手
段、１０５は分析値、１０６は補正値、１０７は補正推
定値である。

【００２６】目標値１００はコントローラ１に入力さ
れ、コントローラ１の出力である操作量１０１はプロセ
ス２及びモデル予測手段３にそれぞれ供給される。操作
量１０１の設定に基づきプロセス２の制御量１０２は変
化し、測定可能な状態量１０３はモデル予測手段３に供
給される。

【００２７】モデル予測手段３の出力である制御量１０
２を推定した推定値１０４は推定値補正手段４及び加算
手段５の一方の入力に供給され、推定値補正手段４には
非定周期で離散時間的に得られた分析値１０５が入力さ
れる。

【００２８】推定値補正手段４の出力である補正値１０
６は加算手段５の他方の入力に供給され、加算手段５の
出力である補正推定値１０７はコントローラ１に供給さ
れる。

【００２９】ここで、図１に示す実施例の動作を図２及
び図３を用いて説明する。図２はプロセス制御の動作を
説明するフロー図、図３は図２に示すプロセス制御によ
り変化する推定値等の状態を示すタイミング図である。

【００３０】図２中”Ｓ００１”においてモデル予測手
段３は操作量１０１及び状態量１０３に基づき推定値１
０４を求める。図２中”Ｓ００２”においてコントロー
ラ１はこの推定値１０４に基づき操作量１０１を決定し
てプロセス２を制御する。

【００３１】但し、この状態での補正量１０６は”０”
としている。このため、推定値１０４がそのまま補正推
定値１０７としてコントローラ１にフィードバックされ
る。

【００３２】ここで、モデル予測手段３のモデルに関し
て更に説明する。モデルは状態ベクトル（状態値）を”
ｘ”、入力ベクトル（操作量）を”ｕ”、外乱ベクトル
を”ｄ”、既知パラメータベクトルを”ｐ”、可変パラ
メータを”ｐｖ”とし、”ｆ”を解析的関数とした場
合、ｘ＝ｆ（ｘ，ｕ，ｄ，ｐ，ｐｖ）（１）のように表される。

【００３３】このモデルを用いて前回の値に微小時間変
動”Δｔ”時間の変動分（微係数）を足し込んで、Ｘ_e＝Ｘ_e-1＋ｆ（ｘｓ，ｕｓ，ｄｓ，ｐ，ｐｖ）×Δｔ（２）から推定値１０４を推定する。但し、”Ｘ_e”は今回推
定値、”Ｘ_e-1”は前回推定値、”ｘｓ”は状態測定
値、”ｕｓ”は操作入力値、”ｄｓ”は外乱測定値であ
る。

【００３４】そして、図２中”Ｓ００３”においてプロ
セス制御装置が定常状態であるか否かを判断する。例え
ば、目標値１００が一定時間変動しておらず、且つ、プ
ロセス２の状態量１０３が一定の閾値内に納まっている
場合に定常状態と判断する。

【００３５】もし、定常状態でなければ図２中”Ｓ００
１”及び”Ｓ００２”の動作を繰り返す。一方、定常状
態であると判断された場合には、図２中”Ｓ００４”に
おいて推定値補正手段４は入力された分析値に基づき補
正値１０６を求めて出力する。また、補正値１０６は加
算手段５により推定値１０４に加算されて補正推定値１
０７としてコントローラ１にフィードバックされる。

【００３６】例えば、推定値補正手段４は分析値１０５
と推定値１０４の差分を補正値１０６とする。すなわ
ち、分析値１０５、推定値１０４及び補正値１０６を”
ＶＬ”、”ＶＰ”及び”ＶＣ”とすれば、ＶＣ＝ＶＬ−ＶＰ（３）となる。

【００３７】但し、式（３）の値を推定値１０４に単純
に足し込むと制御がバンプしてまう可能性がある場合に
は遅れフィルタを介して補正値１０６を出力する。

【００３８】例えば、図３中”Ｔ００１”に示すタイミ
ングで分析値１０５が”１．９０”、推定値１０４が”
２．００”であった場合には、補正値１０６は”０”か
ら”−０．１０”まで遅れフィルタの時定数に応じて順
次変化する。

【００３９】これに伴い補正推定値１０７も”２．０
０”から”１．９０”へ順次変化して、図３中”Ｔ００
２”に示すタイミングでは分析値１０５と補正推定値１
０７が等しくなり、実質的に定常状態において分析値を
用いて推定値が補正されたことになる。

【００４０】同様に、例えば、図３中”Ｔ００３”に示
すタイミングで分析値１０５が”１．９０”から”２．
０５”に変化した場合、推定値１０４は”２．００”に
ままであり、補正値１０６は”−０．１０”から”０．
０５”まで遅れフィルタの時定数に応じて順次変化す
る。

【００４１】これに伴い補正推定値１０７も”１．９
０”から”２．０５”へ順次変化して、図３中”Ｔ００
４”に示すタイミングでは分析値１０５と補正推定値１
０７が等しくなり、実質的に定常状態において分析値を
用いて推定値が補正されたことになる。

【００４２】この結果、分析値１０５と推定値１０４の
差分である補正値１０６を求めて推定値１０４に加算す
ることにより、定常状態において分析値を用いて推定値
を補正することが可能になる。

【００４３】但し、この補正値が大きくなる場合にはモ
デル予測手段３内のモデルがプロセス２の挙動を正確に
表していないことになる。このため、この補正分のモデ
ルのずれを合わせ込む必要性がある。

【００４４】図４はこのようなモデル修正機能を有する
プロセス制御装置の一実施例を示す構成ブロック図であ
る。図４において１，２，４，１００〜１０７は図１と
同一符号を付してあり、３ａはオンラインでモデル修正
が可能なモデル予測手段、６はモデル修正手段、１０８
は補正値リセット信号、１０９は可変パラメータ修正信
号である。

【００４５】目標値１００はコントローラ１に入力さ
れ、コントローラ１の出力である操作量１０１はプロセ
ス２及びモデル予測手段３ａにそれぞれ供給される。操
作量１０１の設定に基づきプロセス２の制御量１０２は
変化し、測定可能な状態量１０３はモデル予測手段３ａ
及びモデル修正手段６に供給される。

【００４６】モデル予測手段３ａの出力である制御量１
０２を推定した推定値１０４は推定値補正手段４及び加
算手段５の一方の入力に供給され、推定値補正手段４及
びモデル修正手段６には非定周期で離散時間的に得られ
た分析値１０５が入力される。

【００４７】推定値補正手段４の出力である補正値１０
６は加算手段５の他方の入力に供給され、加算手段５の
出力である補正推定値１０７はコントローラ１に供給さ
れる。さらに、モデル修正手段６の補正値リセット信号
１０８は推定値補正手段４に、可変パラメータ修正信号
１０９はモデル予測手段３ａにそれぞれ印加される。

【００４８】ここで、図４に示す実施例の動作を図５及
び図６を用いて説明する。図５はプロセス制御の動作を
説明するフロー図、図６は図５に示すプロセス制御によ
り変化する推定値等の状態を示すタイミング図である。

【００４９】図５中”Ｓ１０１”においてモデル予測手
段３ａは操作量１０１及び状態量１０３に基づき推定値
１０４を求める。図５中”Ｓ１０２”においてコントロ
ーラ１はこの推定値１０４に基づき操作量１０１を決定
してプロセス２を制御する。

【００５０】但し、この状態での補正量１０６は”０”
としている。このため、推定値１０４がそのまま補正推
定値１０７としてコントローラ１にフィードバックされ
る。

【００５１】そして、図５中”Ｓ１０３”においてプロ
セス制御装置が定常状態であるか否かを判断する。例え
ば、目標値１００が一定時間変動しておらず、且つ、プ
ロセス２の状態量１０３が一定の閾値内に納まっている
場合に定常状態と判断する。

【００５２】もし、定常状態でなければ図５中”Ｓ１０
１”及び”Ｓ１０２”の動作を繰り返す。一方、定常状
態であると判断された場合には、図５中”Ｓ１０４”に
おいて推定値補正手段４は入力された分析値に基づき補
正値１０６を求めて出力する。また、補正値１０６は加
算手段５により推定値４に加算されて補正推定値１０７
としてコントローラ１にフィードバックされる。

【００５３】図５中”Ｓ１０５”において補正値１０６
が安定したか否かを判断し、もし、安定していなければ
図５中”Ｓ１０１”及び”Ｓ１０２”の動作を繰り返
す。

【００５４】一方、補正値１０６が安定していれば、言
い換えれば、補正終了範囲内に入れば図５中”Ｓ１０
６”においてモデル修正手段６が可変パラメータ修正信
号１０９を出力し、分析値に基づきモデル予測手段３ａ
の可変パラメータを修正すると共に補正値リセット信号
１０８を推定値補正手段４に出力して補正値１０６を”
０”にする。

【００５５】モデル修正手段６は具体的には式（２）に
おける可変パラメータ”ｐｖ”を操作して推定値１０４
が分析値１０５に等しくなるように値を調整する。

【００５６】例えば、図６中”Ｔ１０１”に示すタイミ
ングで分析値１０５が”１．９０”、推定値１０４が”
２．００”であった場合には、補正値１０６は”０”か
ら”−０．１０”まで遅れフィルタの時定数に応じて順
次変化する。

【００５７】これに伴い補正推定値１０７も”２．０
０”から”１．９０”へ順次変化して、図６中”Ｔ１０
２”に示すタイミングでは分析値１０５と補正推定値１
０７が等しくなり、実質的に定常状態において分析値を
用いて推定値が補正されたことになる。

【００５８】さらに、図６中”Ｔ１０２”に示すタイミ
ングでは補正値が安定しているのでモデル修正手段６に
よりモデル修正がなされ推定値１０４が”１．９０”に
修正されると共に補正値１０６がリセットされて”０”
になる。

【００５９】但し、補正推定値１０７は推定値１０４と
補正値１０６との和であるので”１．９０”のまま変化
しない。

【００６０】同様に、例えば、図６中”Ｔ１０３”に示
すタイミングで分析値１０５が”１．９０”から”２．
０５”に変化した場合、推定値１０４は”１．９０”の
ままであるので、補正値１０６は”０”から”０．１
５”まで遅れフィルタの時定数に応じて順次変化する。

【００６１】これに伴い補正推定値１０７も”１．９
０”から”２．０５”へ順次変化して、図６中”Ｔ１０
４”に示すタイミングでは分析値１０５と補正推定値１
０７が等しくなり、実質的に定常状態において分析値を
用いて推定値が補正されたことになる。

【００６２】さらに、図６中”Ｔ１０４”に示すタイミ
ングでは補正値が安定しているのでモデル修正手段６に
よりモデル修正がなされ推定値１０４が”２．０５”に
修正されると共に補正値１０６がリセットされて”０”
になる。

【００６３】但し、補正推定値１０７は推定値１０４と
補正値１０６との和であるので”２．０５”のまま変化
しない。

【００６４】この結果、分析値１０５と推定値１０４の
差分である補正値１０６を求めて推定値１０４に加算す
ることにより、定常状態において分析値を用いて推定値
を補正することが可能になり、さらに、分析値１０５と
推定値１０４とが等しくなるようにモデルを修正するこ
とにより、推定精度を向上させると共にモデル調整を容
易に行うことができる。

【００６５】なお、図１等に示す実施例の説明に際して
定常状態の判定では、目標値１００が一定時間変動して
おらず、且つ、プロセス２の状態量１０３が一定の閾値
内に納まっている場合に定常状態と判断するとしている
が、単一の状態量１０３のみで判断するのではなく、移
動平均を２個所で行い２つの移動平均の値が閾値内に納
まっていて、且つ、目標値１００が一定時間変動してい
なければ定常状態と判断しても構わない。

【００６６】また、図１に示す実施例の説明に際して
は、推定値１０４に単純に足し込むと制御がバンプして
しまう可能性がある場合には遅れフィルタを介して補正
値１０６を出力すると記載しているが、勿論、制御がバ
ンプしないのであれば遅れフィルタは不要である。

【００６７】また、補正値１０６の加算に関しては常時
加算しているが、分析値１０５と推定値１０４との差分
が予め設定された誤差以内であれば補正を行わないよう
にしても構わない。

【００６８】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１乃至４
及び請求項７乃至請求項１０の発明によれば、分析値と
推定値の差分である補正値を求めて推定値に加算するこ
とにより、定常状態において分析値を用いて推定値を補
正することが可能になる。

【００６９】また、請求項５及び請求項１１の発明によ
れば、補正値を遅れフィルタを介して推定値に加算する
ことにより、制御がバンプすることを防止できる。

【００７０】また、請求項６及び請求項１２の発明によ
れば、分析値と推定値とが等しくなるようにモデルを修
正することにより、推定精度を向上させると共にモデル
調整を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプロセス制御方法を用いたプロセ
ス制御装置の一実施例を示す構成ブロック図である。

【図２】プロセス制御の動作を説明するフロー図であ
る。

【図３】図２に示すプロセス制御により変化する推定値
等の状態を示すタイミング図である。

【図４】モデル修正機能を有するプロセス制御装置の一
実施例を示す構成ブロック図である。

【図５】プロセス制御の動作を説明するフロー図であ
る。

【図６】図５に示すプロセス制御により変化する推定値
等の状態を示すタイミング図である。

【図７】従来のプロセス制御方法を用いたプロセス制御
装置の一例を示す構成ブロック図である。

【符号の説明】

１コントローラ２プロセス３，３ａモデル予測手段４推定値補正手段５加算手段６モデル修正手段１００目標値１０１操作量１０２制御量１０３状態量１０４推定値１０５分析値１０６補正値１０７補正推定値１０８補正値リセット信号１０９可変パラメータ修正信号

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】制御対象の挙動を表したモデルを有するプ
ロセス制御方法において、前記制御対象の操作量と状態量とを用いて前記モデルに
基づき制御量を推定した推定値及び目標値により前記制
御対象を制御しておき、定常状態になった場合に分析値と前記推定値の差分を補
正値として前記推定値に加算して前記推定値を補正する
ことを特徴とするプロセス制御方法。
【請求項２】前記目標値が一定時間変動せず、且つ、前
記状態量が一定の閾値内に納まっている場合に定常状態
と判断して前記推定値を補正することを特徴とする請求
項１記載のプロセス制御方法。
【請求項３】前記状態量の移動平均を２個所で行い２つ
の移動平均の値が閾値内に納まっていて、且つ、前記目
標値が一定時間変動していない場合に定常状態と判断し
て前記推定値を補正することを特徴とする請求項１記載
のプロセス制御方法。
【請求項４】前記分析値と前記推定値との差分が予め設
定された誤差範囲を超えた場合に前記推定値を補正する
ことを特徴とする請求項１記載のプロセス制御方法。
【請求項５】前記補正値を遅れフィルタを介して前記推
定値に加算することを特徴とする請求項１記載のプロセ
ス制御方法。
【請求項６】補正された前記推定値が安定した時点で、
前記補正値をリセットすると共に前記モデルを修正して
前記分析値と前記推定値を等しくすることを特徴とする
請求項１記載のプロセス制御方法。
【請求項７】制御対象の挙動を表したモデルを有するプ
ロセス制御装置において、前記制御対象の操作量と状態量とを用いて前記モデルに
より制御量の推定値を求めるモデル予測手段と、定常状態で分析値と前記推定値の差分を求め補正値とし
て出力する推定値補正手段と、前記推定値と前記補正値を加算して補正推定値を出力す
る加算手段と、目標値と前記補正推定値に基づき前記制御対象の前記操
作量を制御するコントローラとを備えたことを特徴とす
るプロセス制御装置。
【請求項８】前記推定値補正手段が、前記目標値が一定時間変動せず、且つ、前記状態量が一
定の閾値内に納まっている場合に定常状態と判断して前
記補正値を出力することを特徴とする請求項７記載のプ
ロセス制御装置。
【請求項９】前記推定値補正手段が、前記状態量の移動平均を２個所で行い２つの移動平均の
値が閾値内に納まっていて、且つ、前記目標値が一定時
間変動していない場合に定常状態と判断して前記補正値
を出力することを特徴とする請求項７記載のプロセス制
御装置。
【請求項１０】前記推定値補正手段が、前記分析値と前記推定値との差分が予め設定された誤差
範囲を超えた場合に前記補正値を出力することを特徴と
する請求項７記載のプロセス制御装置。
【請求項１１】前記推定値補正手段が、前記補正値を遅れフィルタを介して前記加算手段に出力
することを特徴とする請求項７記載のプロセス制御装
置。
【請求項１２】前記補正推定値が安定した時点で、前記
推定値補正手段をリセットすると共に前記モデル予測手
段のモデルを修正して前記分析値と前記推定値を等しく
するモデル修正手段を備えたことを特徴とする請求項７
記載のプロセス制御装置。